JP2001084965A - 誘電体バリア放電ランプ - Google Patents
誘電体バリア放電ランプInfo
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- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
せた誘電体バリア放電ランプを提供する。 【解決手段】 本体部が石英を主成分とする二重管で構
成され、その内部には誘電体バリア放電によってエキシ
マ分子を形成する希ガスが封入された発光管1と、放電
ランプを固定する構造を有し、かつ放電するためのステ
ンレススチール製の内側電極2と、外部電極に接続する
ための端子3と、外側電極を固定する円筒状の金属棒4
と、外側電極固定用の金属棒を押さえる押えボルト5
と、外側電極が金属の棒によって押し込まれる力によっ
て外側電極が発光管1の円周に沿って倣うように密着さ
れる外側電極固定用V溝部6と、樹脂等の絶縁材料によ
り成るランプ筺体7と、空冷放熱部(フィン)8と、乱
反射用に浮き彫り状態に加工された(エンボス加工され
た)反射鏡面9と、モネル、ステンレススチール、アル
ミニウム等の金属薄板で作られた外側電極10とから構成
されている
Description
ランプに関し、特にエキシマ分子から放出されるエキシ
マ光を放射する誘電体バリア放電ランプの構造、及び電
極の構成を改良して発光効率を改善するとともに生産効
率を向上させるようにしたものである。
式)としては、例えば特開平8−153493号公報に
見られるように、隣接する円筒形誘電体バリア放電ラン
プ間の直下の放射照度が十分に高く、かつ、点灯時間の
経過に連れて照度分布が不均一にならないようにした誘
電体バリア放電ランプが知られている。
バリア放電ランプ(多灯式)の構成を示すものである。
図5に示されるように誘電体バリア放電ランプは、外形
が概略円筒状である光透過性の放電容器、前記放電容器
の外面の一部の全周に設けた金属網状電極、前記金属網
状電極の内側に前記放電容器と概略同軸に設けた内側電
極、及び前記放電容器内に充填され、誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる円
筒状誘電体バリア放電ランプ31a〜31cと、複数本
の前記ランプ31a〜31cを並列に配置し、エキシマ
分子から放出されるエキシマ光を取り出す光取り出し窓
20を有するランプハウス21と、誘電体バリア放電を
行なうための電源とを備え、隣接する前記ランプ31a
〜31cの間に概略V字型の光反射板17、18を設け
るようにして構成されている。
は不活性ガスを不活性ガス導入口24から注入すると共
に不活性ガスをガス排出口25から排出するようにして
放電空間に不活性ガス、例えば窒素ガスを充満させるよ
うにして、円筒状誘電体バリア放電ランプ31a〜31
cから放出された真空紫外線が吸収されないようにして
いる。
部の全周に設けた金属網状電極は、モネル線を軸方向に
伸縮性のあるシームレスに編んだ円筒状網で、前記円筒
状金属網のなかに前記放電容器を挿入し、ランプの軸方
向に引っ張ることによって外側管の外側に密接された網
状電極が形成されている。
板17、18は、真空紫外線のうち隣接した誘電体バリ
ア放電ランプに向かう部分を反射して光取り出し窓20
に方向転換させ、光取り出し窓20から放出されるよう
にして、真空紫外線の取り出し効率を増大させる作用を
有している。
誘電体バリア放電ランプ(多灯式)の構成では、外側電
極の構造が複雑であり、また発光管への密着取付けが困
難であり、且つ作業性が悪いという問題があった。
式)の構成では、隣接するランプ31a〜31cの間に
概略V字型の光反射板17、18を設けて放射照度を十
分に高くなるように、かつ、点灯時間の経過に連れて照
度分布が不均一にならないようにしているが、個々のラ
ンプ自体には照度分布を均一にするような工夫はなされ
ていないために個々のランプの照度分布に問題があっ
た。
になされたもので、外側電極の構造を改良して発光効率
を向上させた誘電体バリア放電ランプを提供することを
目的とするものである。
明は、本体部が石英を主成分とする二重管で構成され、
その内部には誘電体バリア放電によってエキシマ分子を
形成する希ガスが封入された発光管と、前記発光管を駆
動するための外側電極と、前記発光管を駆動するための
前記外側電極の内側に設けられた内側電極を備えた誘電
体バリア放電ランプにおいて、前記外側電極は、開口面
積が逐次変化するようにされた金属薄板から構成され、
前記金属薄板が樹脂等の絶縁材料によるランプ筺体部の
側面に設けられた前記外側電極を固定するための外側電
極固定用V溝部に円筒形の金属棒をもって押し込みなが
ら加圧することによって、前記発光管の円周に沿って倣
うように密着されることを特徴とするものである。
つ、外側電極を発光管に密着させて取り付けることがで
きる。
1に記載の誘電体バリア放電ランプにおいて、放電発光
した電極より上面の発光を効率良く反射するように浮き
彫り状態に加工された反射鏡面を更に備えたことを特徴
とするものである。
光を乱反射によって平均化することができる。
1に記載の誘電体バリア放電ランプにおいて、放電によ
って発光する際に発生する熱を放出する放熱部を備えた
ことを特徴とするものである。
に発生する熱を放出することができる。
1に記載の誘電体バリア放電ランプにおいて、前記外側
電極を構成する金属薄板は、発光の中心から外側に向か
って開口面積を1/2、さらにその外側の開口部は1/
4と順次開口率を下げて中央部の発光効率を上げるよう
にしたことを特徴とするものである。
ることができる。
1に記載の誘電体バリア放電ランプにおいて、照射する
面積に合わせて任意に放電ランプを増設するために放電
ランプ間の間隔を調整しうる放電ランプ保持部を備えた
ことを特徴とするものである。
整することができる。
5に記載の誘電体バリア放電ランプにおいて、放電ラン
プの発光を効率良く照射できる勾配面を持ちその表面に
浮き彫り状態に加工された反射鏡面を設けて放射された
光を有効に照射するように乱反射させる反射面を備えた
ことを特徴とするものである。
射するように乱反射させることができる。
て、図1から図4を用いて説明する。
の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ(単灯式)の
構成を示す横断面図である。図2は同じく本発明の第1
の実施形態に係る誘電体バリア放電ランプ(単灯式)の
構成を示す長手方向の一部断面図を含む長手方向正面図
である。図3は本発明の第1の実施形態に係る誘電体バ
リア放電ランプ(単灯式)に用いられる外側電極の構成
を示す展開図である。
態に係る誘電体バリア放電ランプ(単灯式)の構成を説
明する。すなわち誘電体バリア放電ランプ(単灯式)
は、本体部が石英を主成分とする二重管で構成され、そ
の内部には誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形
成する希ガスが封入された発光管1と、放電ランプを固
定する構造を有し、かつ放電するためのステンレススチ
ール製の内側電極2と、外部電極に接続するための端子
3と、外側電極を固定する円筒状の金属棒4と、外側電
極固定用の金属棒を押さえる押えボルト5と、外側電極
が金属の棒によって押し込まれる力によって外側電極が
発光管1の円周に沿って倣うように密着される外側電極
固定用V溝部6と、樹脂等の絶縁材料により成るランプ
筺体7と、空冷放熱部(フィン)8と、乱反射用に浮き
彫り状態に加工された(エンボス加工された)反射鏡面
9と、モネル、ステンレススチール、アルミニウム等の
金属薄板で作られた外側電極10とから構成されてい
る。
に、外側電極の中心から外側にエキスパンド加工された
放電発光用の第1の穴(この第1の穴は四角形のような
多角形でも円形の穴でも良い)11、外側電極の中心と
外側の中間に位置する部分にエキスパンド加工された放
電発光用の第2の穴(この第2の穴は四角形のような多
角形でも円形の穴でも良い)12及び外側電極の中心部
分にエキスパンド加工された放電発光用の第3の穴(こ
の第3の穴は四角形のような多角形でも円形の穴でも良
い)13とで構成されている。なお、第2の穴12は最
外側の第1の穴に比べて開口面積が4倍程度に広くなっ
ており、また第3の穴13は最外側の第1の穴に比べて
開口面積が8倍、中間部の第2の穴12に比べて開口面
積が2倍程度に設定されている。こうすると、例えば、
中心開口部の発光を100とすると中心より外側の開口
率が50%の場合に発光は70%となり、さらに外側部
の開口率を40%とすると発光は60%となることが実
験により確かめることができた。
に係る誘電体バリア放電ランプにおいて、外側電極10
は、開口面積が逐次変化するようにされた金属薄板から
構成されることになり、この金属薄板が樹脂等の絶縁材
料によるランプ筺体部7の側面に設けられた外側電極固
定用V溝部6に円筒形の金属棒4をもって押し込みなが
ら加圧されることになるので、発光管1の円周に沿って
倣うように密着されるものとなる。
側電極を発光管に密着させて取り付けることができる。
効率良く反射するように浮き彫り状態に加工された(エ
ンボス)反射鏡面9を備えているので、個々の発光管に
おける発光を乱反射によって平均化することができる。
熱を放出する放熱部(フィン)8を備えているので、放
電によって発光する際に発生する熱を放出することがで
きる。
の実施の形態に係る誘電体バリア放電ランプ(多灯式)
の構成を示す横断面図である。図4に示す誘電体バリア
放電ランプ(多灯式)は灯数が3の場合であり、図1乃
至図3に示した誘電体バリア放電ランプ(単灯式)を3
個並列に並べたものであり、誘電体バリア放電ランプ
(単灯式)の構成についての説明は上記したことをその
まま援用することができるので、ここではそれ以外の構
成について説明する。
灯式)は、各放電灯(ランプ)及び放電灯間の光照射にお
いて、発光側は照射幅(面積)に適合するように放電灯
の間隔を調整してさらに放電灯の発光を効率良く照射で
きる勾配を持つ放電灯保持部14と、この放電灯保持部
14の表面に取り付けられた乱反射用エンボス(浮き彫
り状態に)加工された反射鏡面15と、複数の放電灯を
固定するために最外側の放電灯側部に設けられた保持部
16を備えている。
に係る誘電体バリア放電ランプ(多灯式)において、照
射する面積(照射幅)に合わせて任意に放電ランプを増
設するために放電ランプ間の間隔を調整しうる放電ラン
プ保持部14を備えたので、放電ランプ間の間隔を任意
に調整することができる。
きる勾配面を持ちその表面に浮き彫り状態に(エンボ
ス)加工された反射鏡面15を設けて放射された光を有
効に照射するように乱反射させる反射面を備えたので、
放射された光を有効に照射するように乱反射させること
ができる。
リア放電ランプによれば、外側電極10は、開口面積が
逐次変化するようにされた金属薄板から構成されること
になり、この金属薄板が樹脂等の絶縁材料によるランプ
筺体部7の側面に設けられた外側電極固定用V溝部6に
円筒形の金属棒4をもって押し込みながら加圧されるこ
とになるので、発光管1の円周に沿って倣うように密着
されるものとなる。
側電極を発光管に密着させて取り付けることができる。
効率良く反射するように浮き彫り状態に加工された(エ
ンボス)反射鏡面9を備えているので、個々の発光管に
おける発光を乱反射によって平均化することができる。
熱を放出する放熱部(フィン)8を備えているので、放
電によって発光する際に発生する熱を放出することがで
きる。
任意に放電ランプを増設するために放電ランプ間の間隔
を調整しうる放電ランプ保持部14を備えたので、放電
ランプ間の間隔を任意に調整することができる。
きる勾配面を持ちその表面に浮き彫り状態に(エンボ
ス)加工された反射鏡面15を設けて放射された光を有
効に照射するように乱反射させる反射面を備えたので、
放射された光を有効に照射するように乱反射させること
ができる。
電ランプ(単灯式)の構成を示す横断面図、
電ランプ(単灯式)の構成を示す長手方向の一部断面図
を含む長手方向正面図、
電ランプ(単灯式)に用いられる外側電極の構成を示す
展開図、
放電ランプ(多灯式)の構成を示す横断面図、
成を示す横断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 本体部が石英を主成分とする二重管で構
成され、その内部には誘電体バリア放電によってエキシ
マ分子を形成する希ガスが封入された発光管と、前記発
光管を駆動するための外側電極と、前記発光管を駆動す
るための前記外側電極の内側に設けられた内側電極を備
えた誘電体バリア放電ランプにおいて、前記外側電極
は、開口面積が逐次変化するようにされた金属薄板から
構成され、前記金属薄板が樹脂等の絶縁材料によるラン
プ筺体部の側面に設けられた前記外側電極を固定するた
めの外側電極固定用V溝部に円筒形の金属棒をもって押
し込みながら加圧することによって、前記発光管の円周
に沿って倣うように密着されることを特徴とする誘電体
バリア放電ランプ。 - 【請求項2】 放電発光した電極より上面の発光を効率
良く反射するように浮き彫り状態に加工された反射鏡面
を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の誘電体
バリア放電ランプ。 - 【請求項3】 放電によって発光する際に発生する熱を
放出する放熱部を備えたことを特徴とする請求項に1記
載の誘電体バリア放電ランプ。 - 【請求項4】 前記外側電極を構成する金属薄板は、発
光の中心から外側に向かって開口面積を1/2、さらに
その外側の開口部は1/4と順次開口率を下げて中央部
の放電効率を上げるようにしたことを特徴とする請求項
1に記載の誘電体バリア放電ランプ。 - 【請求項5】 照射する面積に合わせて任意に放電ラン
プを増設するために放電ランプ間の間隔を調整しうる放
電ランプ保持部を備えたことを特徴とする請求項1に記
載の誘電体バリア放電ランプ。 - 【請求項6】 放電ランプの発光を効率良く照射できる
勾配面を持ちその表面に浮き彫り状態に加工された反射
鏡面を設けて放射された光を有効に照射するように乱反
射させる反射面を備えたことを特徴とする請求項5に記
載の誘電体バリア放電ランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26044899A JP3481170B2 (ja) | 1999-09-14 | 1999-09-14 | 誘電体バリア放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26044899A JP3481170B2 (ja) | 1999-09-14 | 1999-09-14 | 誘電体バリア放電ランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001084965A true JP2001084965A (ja) | 2001-03-30 |
JP3481170B2 JP3481170B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=17348088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26044899A Expired - Fee Related JP3481170B2 (ja) | 1999-09-14 | 1999-09-14 | 誘電体バリア放電ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001023579A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
KR100730818B1 (ko) | 2004-01-20 | 2007-06-20 | 하리슨 도시바 라이팅 가부시키가이샤 | 유전체 배리어 방전램프 및 자외선조사장치 |
JP2008010387A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Ind Technol Res Inst | 誘電体バリア放電ランプ |
WO2009019978A1 (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-12 | Orc Manufacturing Co., Ltd | 放電ランプ |
JP2012049305A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空紫外光処理装置 |
-
1999
- 1999-09-14 JP JP26044899A patent/JP3481170B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001023579A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
KR100730818B1 (ko) | 2004-01-20 | 2007-06-20 | 하리슨 도시바 라이팅 가부시키가이샤 | 유전체 배리어 방전램프 및 자외선조사장치 |
JP2008010387A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Ind Technol Res Inst | 誘電体バリア放電ランプ |
JP4660455B2 (ja) * | 2006-06-29 | 2011-03-30 | 財団法人工業技術研究院 | 誘電体バリア放電ランプ |
WO2009019978A1 (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-12 | Orc Manufacturing Co., Ltd | 放電ランプ |
JP2012049305A (ja) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空紫外光処理装置 |
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