JP2001080033A - Method for transferring pattern - Google Patents

Method for transferring pattern

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JP2001080033A
JP2001080033A JP25900399A JP25900399A JP2001080033A JP 2001080033 A JP2001080033 A JP 2001080033A JP 25900399 A JP25900399 A JP 25900399A JP 25900399 A JP25900399 A JP 25900399A JP 2001080033 A JP2001080033 A JP 2001080033A
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JP
Japan
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sheet
plate
shaped plate
work
fixed
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JP25900399A
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Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Hasegawa
豊 長谷川
Hiromi Nakamura
弘洋 中村
Shogo Serizawa
祥吾 芹沢
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for transferring a pattern having high position accuracy and shape accuracy and a relatively easy work. SOLUTION: A sheet frame 10 is disposed oppositely to a work 1, and a sheet-like plate 5 is stretched over its lower side. The plate 5 is made of a steel base sheet and a hard rubber surface layer. The frame 10 is constituted of a rectangular outer frame 11, a stainless steel mesh fixed sheet 13, and an attracting block 16 made of a permanent magnet having flexibility. Many through holes are formed at the sheet 13 along an inner periphery of the frame 11. The block 16 is fixed to an upper surface of the sheet 13 along the inner periphery of the frame 11, and a groove-like vent route is formed at its lower surface so as to cover above the holes. The plate 5 is fixed to a lower surface of the sheet 13 by a magnetic force of the block 16 and vacuum sucking through the holes.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、平板状のワークの
表面へのパターン転写方法に係り、特に、高い位置精度
及び形状精度が要求される印刷あるいは成形の際に利用
される好適な方法に関する。また、本発明は、上記パタ
ーン転写方法を実施する際にシート状の版を保持する手
段として使用されるシートフレームの構造に係る
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of transferring a pattern onto a surface of a flat work, and more particularly to a method suitable for printing or molding which requires high positional accuracy and shape accuracy. . Further, the present invention relates to a structure of a sheet frame used as a means for holding a sheet-like plate when performing the pattern transfer method.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明のパターン転写方法に類似する従
来技術として、スクリーン印刷法またはオフセットスク
リーン印刷法(例えば、特開平4−364953号公
報)がある。これらの方法においては、平板状のワーク
(被印刷物)の正面に、インクが盛り付けられた版また
はオフセットスクリーンを僅かなクリアランスを介して
近接させて保持し、スキージを用いて版またはオフセッ
トスクリーンをワークに対して押し付ける様にしてしご
き、ワークの表面にインクによるパターンを転写してい
る。
2. Description of the Related Art As a conventional technique similar to the pattern transfer method of the present invention, there is a screen printing method or an offset screen printing method (for example, JP-A-4-364953). In these methods, a plate or offset screen provided with ink is held close to the front of a flat work (substrate to be printed) through a slight clearance, and the plate or offset screen is placed on the work using a squeegee. Then, the pattern is formed by transferring the ink pattern onto the surface of the work.

【0003】(従来技術の問題点)電子部品などの製造
において印刷法を利用して微細な凹凸パターンを形成す
る際、硬化性を有し比較的粘着力が強いペースト状の材
料(以下、単にペーストと呼ぶ)がインクとして使用さ
れる。
(Problems of the prior art) When forming a fine concavo-convex pattern by using a printing method in the production of electronic parts and the like, a paste-like material having curability and relatively strong adhesive strength (hereinafter simply referred to as “paste material”). Paste) is used as ink.

【0004】この様な場合、版またはオフセットスクリ
ーンとワークとの間のクリアランスを狭く設定し過ぎる
と、版またはオフセットスクリーンがワークの表面に押
し付けられた状態のまま、ワークの表面から離れ難くな
って、印刷機の運転の継続が困難になる。一方、クリア
ランスを大きく設定し過ぎると、スキージを用いてしご
いたときの版またはオフセットスクリーンの変形が大き
くなり、ワークの表面に印刷される画線の位置精度及び
形状精度の低下を招き、更に、版またはオフセットスク
リーンの寿命を低下させる要因ともなる。
In such a case, if the clearance between the plate or the offset screen and the work is set too narrow, it becomes difficult to separate the plate or the offset screen from the surface of the work while being pressed against the surface of the work. This makes it difficult to continue the operation of the printing press. On the other hand, when the clearance is set too large, the deformation of the plate or the offset screen when the plate is squeezed with the squeegee becomes large, and the positional accuracy and the shape accuracy of the image printed on the surface of the work are reduced, and , And may also shorten the life of the plate or offset screen.

【0005】この様な問題は、ワークの面積、ワークの
材質、インク(またはインクとして使用されるペース
ト)の種類、各種の運転パラメータの設定値などの多く
の条件からの影響を受けるので、印刷装置の運転に際し
て高度な習熟が必要となっている。
[0005] Such problems are affected by many conditions such as the area of the work, the material of the work, the type of ink (or paste used as ink), and the set values of various operation parameters. A high level of skill is required when operating the device.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の様な
従来のパターン転写方法の問題点に鑑み成されたもの
で、本発明の目的は、高い位置精度及び形状精度を備
え、且つ作業が比較的容易なパターン転写方法を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the conventional pattern transfer method, and it is an object of the present invention to provide a high position accuracy and a high shape accuracy and a high workability. Is to provide a relatively easy pattern transfer method.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のパターン転写方
法は、テーブル上に保持された平板状のワークに、表面
に盛り付けられたインクあるいは表面に形成された凹凸
によって二次元のパターンが形成されたシート状の版を
用いてパターンを転写するパターン転写方法において、
前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシー
ト上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを
準備する第一準備工程と、外枠、外枠の下側に長手方向
に張り渡され、外枠の内周に沿って上面から下面に貫通
する複数の貫通孔が形成された非磁性材料製の固定シー
ト、及び外枠の内周に沿って固定シートの上面側に固定
され、下面に前記貫通孔の上方を覆う様に溝状の通気経
路が形成され、可撓性を有する永久磁石製の吸着ブロッ
ク、を備えたシートフレームを準備する第二準備工程
と、前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、前
記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって前
記固定シートの下面に保持する第二工程と、前記通気経
路を介して前記貫通孔内を減圧し、前記シート状の版の
裏面を前記固定シートの下面に密着させる第三工程と、
前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前
記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第四工程
と、前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧
し、前記シート状の版の表面を前記ワークに密着させる
第五工程と、前記通気経路を介して前記貫通孔内を加圧
し、前記シート状の版の裏面を前記固定シートの下面か
ら引き離す第六工程と、前記シート状の版の表面を前記
ワークから引剥がす第七工程と、を備えたことを特徴と
する。
According to the pattern transfer method of the present invention, a two-dimensional pattern is formed on a flat work held on a table by ink applied on the surface or unevenness formed on the surface. In the pattern transfer method of transferring a pattern using a sheet-shaped plate,
A first preparation step of preparing a composite sheet in which a surface layer portion made of an elastic material is laminated on a base sheet made of a ferromagnetic material as the sheet-shaped plate, and an outer frame, which is stretched in a longitudinal direction below the outer frame. A fixed sheet made of a non-magnetic material having a plurality of through holes penetrating from the upper surface to the lower surface along the inner periphery of the outer frame, and being fixed to the upper surface side of the fixed sheet along the inner periphery of the outer frame. A second preparation step of preparing a seat frame having a grooved ventilation path formed on the lower surface so as to cover above the through-hole and having a flexible permanent magnet suction block; and The first step of holding on a table, the second step of holding the sheet-shaped plate on the lower surface of the fixed sheet by the magnetic force of the suction block, and depressurizing the inside of the through-hole through the ventilation path, Place the back of the sheet-shaped plate on the fixed sheet A third step of adhering the the lower surface,
The work, the fourth step of approaching the surface of the sheet-shaped plate and holding the sheet-shaped plate in a parallel position, and pressing the fixed sheet using a press roller from above, the sheet A fifth step of bringing the surface of the plate-shaped plate into close contact with the work, and a sixth step of pressing the inside of the through-hole through the ventilation path and separating the back surface of the sheet-shaped plate from the lower surface of the fixed sheet, And a seventh step of peeling the surface of the sheet-like plate from the work.

【0008】本発明のパターン転写方法によれば、パタ
ーン転写の際、吸着ブロックを用いて固定シートの下面
に前記シート状の版を密着させて保持するとともに、そ
の後のワークから前記シート状の版の引き離しを、別工
程で実施している。これによって、パターン転写の際、
ワークの表面と前記シート状の版との間のクリアランス
を狭く設定することができるので、固定シートの上面で
プレスローラを転動させた際、前記シート状の版の弾性
変形を小さく抑えることができる。この結果、転写によ
る位置精度及び形状精度に関し高い精度を実現すること
が可能になる。
According to the pattern transfer method of the present invention, at the time of pattern transfer, the sheet-shaped plate is held in close contact with the lower surface of the fixed sheet using a suction block, and the sheet-shaped plate is transferred from a subsequent work. Is performed in a separate process. As a result, during pattern transfer,
Since the clearance between the surface of the work and the sheet-shaped plate can be set narrow, when the press roller is rolled on the upper surface of the fixed sheet, the elastic deformation of the sheet-shaped plate can be reduced. it can. As a result, it is possible to realize high accuracy regarding positional accuracy and shape accuracy by transfer.

【0009】なお、前記シート状の版とワークとの間の
接着力が強く、且つパターン転写前の段階における前記
シート状の版とワークとの間のクリアランスが比較的大
きい場合には、前記貫通孔内の減圧を停止して前記貫通
孔内を大気圧に戻すことによって、固定シート自体の弾
性復元力で固定シートの下面が前記シート状の版の裏面
から引き離される。その様な場合、上記の工程の内、第
六工程において前記貫通孔内を加圧する必要がなくな
る。
In the case where the adhesive force between the sheet-shaped plate and the work is strong and the clearance between the sheet-shaped plate and the work at the stage before the pattern transfer is relatively large, the penetration is prevented. By stopping the pressure reduction in the hole and returning the inside of the through hole to the atmospheric pressure, the lower surface of the fixed sheet is separated from the back surface of the sheet-like plate by the elastic restoring force of the fixed sheet itself. In such a case, it is not necessary to pressurize the inside of the through hole in the sixth step of the above steps.

【0010】また、前記シート状の版のサイズあるいは
重量などの条件によっては、磁力のみで固定シートの下
面に前記シート状の版を密着させることも可能である。
その様な場合、上記の工程の内、第三工程を省略するこ
ともできる。
Further, depending on conditions such as the size or weight of the sheet-shaped plate, the sheet-shaped plate can be brought into close contact with the lower surface of the fixed sheet only by magnetic force.
In such a case, the third step of the above steps can be omitted.

【0011】更に、前記シート状の版のサイズあるいは
重量、前記シート状の版とワークとの間の接着力、及び
パターン転写前の段階における前記シート状の版とワー
クとの間のクリアランスその他の条件によっては、上記
の工程の内、第三工程及び第六工程の双方を省略するこ
ともできる。その様な場合、固定シートに貫通孔を設け
ることが不要になるとともに、吸着ブロックの下面に通
気経路を設けることも不要になる。
Further, the size or weight of the sheet-shaped plate, the adhesive force between the sheet-shaped plate and the work, the clearance between the sheet-shaped plate and the work in a stage before pattern transfer, and other factors. Depending on conditions, both the third step and the sixth step among the above steps can be omitted. In such a case, it is not necessary to provide a through hole in the fixing sheet, and it is not necessary to provide a ventilation path on the lower surface of the suction block.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1に、本発明に基づくパターン
転写方法に使用される装置の主要部の概略構成を示す。
図2に、図1のA部分の拡大図を示す。
FIG. 1 shows a schematic structure of a main part of an apparatus used for a pattern transfer method according to the present invention.
FIG. 2 shows an enlarged view of a portion A in FIG.

【0013】平板状のワーク1(被印刷物)は、テーブ
ル2の上に保持されている。テーブル2の上面に対向し
てその上方にはシートフレーム10が配置され、シート
フレーム10の下側には、シート状の版5が張り渡され
ている。このシート状の版5は、鋼製のベースシート6
の上(図1では下側)に硬質ゴム製の表層部7が積層さ
れた複合シートであって、その表面(図1では下面)に
は、先行する工程において盛り付けられたインクによっ
て、所定の二次元パターンが形成されている。
A flat work 1 (substrate to be printed) is held on a table 2. A sheet frame 10 is arranged above the table 2 so as to face the upper surface of the table 2, and a sheet-like plate 5 is stretched below the sheet frame 10. This sheet-shaped plate 5 is made of a steel base sheet 6.
Is a composite sheet in which a hard rubber surface layer 7 is laminated on the upper side (the lower side in FIG. 1), and the surface (the lower side in FIG. 1) of the composite sheet is coated with a predetermined amount of ink provided in the preceding step. A two-dimensional pattern is formed.

【0014】シートフレーム10は、矩形の外枠11、
固定シート13及び吸着ブロック16などから構成され
ている。固定シート13は、厚さ0.05mmのステン
レス鋼メッシュ製のシートで、外枠11の下側に長手方
向(図1では左右方向)に張り渡されている。固定シー
ト13には、図2に示す様に、外枠11の内周に沿って
上面から下面に貫通する多数の貫通孔14が形成されて
いる。吸着ブロック16は、可撓性を有する永久磁石製
であって、外枠11の内周に沿って固定シート13の上
面に固定されている。吸着ブロック16の下面には、図
2に示す様に、上記貫通孔14の上方を覆う様に溝状の
通気経路17が形成されている。
The seat frame 10 has a rectangular outer frame 11,
It is composed of a fixing sheet 13 and a suction block 16. The fixing sheet 13 is a sheet made of stainless steel mesh having a thickness of 0.05 mm, and is stretched under the outer frame 11 in the longitudinal direction (the left-right direction in FIG. 1). As shown in FIG. 2, the fixing sheet 13 has a large number of through holes 14 penetrating from the upper surface to the lower surface along the inner periphery of the outer frame 11. The suction block 16 is made of a flexible permanent magnet, and is fixed to the upper surface of the fixing sheet 13 along the inner periphery of the outer frame 11. As shown in FIG. 2, a groove-shaped ventilation path 17 is formed on the lower surface of the suction block 16 so as to cover the upper part of the through hole 14.

【0015】図2に示す様に、シート状の版5は、固定
シート13を介して吸着ブロック16から作用する磁力
によって、固定シート13の下側に吸着される様になっ
ている。更に、吸着ブロック16の下面に形成された通
気経路17を介して貫通孔14内を減圧することによっ
て、固定シート13の下面とシート状の版5の裏面とが
全面に渡って密着し、固定シート13に対してシート状
の版5が強固に固定される様になっている。
As shown in FIG. 2, the sheet-shaped plate 5 is attracted to the lower side of the fixed sheet 13 by a magnetic force acting from a suction block 16 via the fixed sheet 13. Further, the inside of the through-hole 14 is depressurized through the ventilation path 17 formed on the lower surface of the suction block 16, so that the lower surface of the fixing sheet 13 and the rear surface of the sheet-shaped plate 5 adhere to each other over the entire surface, and are fixed. The sheet-shaped plate 5 is firmly fixed to the sheet 13.

【0016】印刷直前の段階において、図1に示す様
に、シート状の版5は、僅かなクリアランスGを介して
ワーク1と対向する状態で保持されている。この状態
で、固定シート13の上面でプレスロール8を転動させ
て、シート状の版5の表面(下面)をワーク1の表面
(上面)に密着させる。
At a stage immediately before printing, as shown in FIG. 1, the sheet-like plate 5 is held in a state of facing the work 1 via a slight clearance G. In this state, the press roll 8 is rolled on the upper surface of the fixed sheet 13 to bring the surface (lower surface) of the sheet-shaped plate 5 into close contact with the surface (upper surface) of the work 1.

【0017】次いで、吸着ブロック16の下面に形成さ
れた通気経路17を介して貫通孔14内を加圧すると、
図3に示す様に、シート状の版5は、固定シート13の
下面から離れて、ワーク1の上に移される。
Next, when the inside of the through hole 14 is pressurized through the ventilation path 17 formed on the lower surface of the suction block 16,
As shown in FIG. 3, the sheet-like plate 5 is transferred onto the work 1 while being separated from the lower surface of the fixed sheet 13.

【0018】次に、引離し装置(図示せず)を使用し
て、図4に示す様に、ワーク1からシート状の版5を引
き剥がす。これによって、ワーク1上への印刷が完了す
る。
Next, as shown in FIG. 4, the sheet-like plate 5 is peeled off from the work 1 using a separating device (not shown). Thus, printing on the work 1 is completed.

【0019】上記の方法によれば、図1に示す様に、シ
ート状の版5をワーク1と対向させた状態で保持したと
き、シート状の版5の表面とワーク1の表面との間のク
リアランスGを、0.5〜1mm程度の値に設定するこ
とができる(但し、ワークのサイズが、500mm×5
00mm程度の場合)。このクリアランスの値は、同様
なサイズのワークに対して、従来のオフセットスクリー
ン印刷法を用いて印刷する場合と比較して、約1/3〜
1/5と小さい。従って、上記の方法によれば、ワーク
の表面に印刷される画線の位置精度及び形状精度につい
て、高い精度を実現することができる。
According to the above-described method, as shown in FIG. 1, when the sheet-shaped plate 5 is held in a state of facing the work 1, the gap between the surface of the sheet-shaped plate 5 and the surface of the work 1 is maintained. Can be set to a value of about 0.5 to 1 mm (provided that the size of the work is 500 mm × 5 mm).
In the case of about 00 mm). The value of this clearance is about 1/3 to about 1/3 as compared with the case of printing the same size work using the conventional offset screen printing method.
It is as small as 1/5. Therefore, according to the above-described method, it is possible to realize high accuracy in positional accuracy and shape accuracy of an image printed on the surface of a work.

【0020】図5に、本発明に基づくパターン転写方法
において使用されるシート状の版の他の例を示す。
FIG. 5 shows another example of a sheet-like plate used in the pattern transfer method according to the present invention.

【0021】この例では、シート状の版61は、一種の
凹版であって、鋼製のベースシート62と硬質シリコー
ンゴム製の表層部63から構成されている。表層部63
の表面には、多数の微小な溝64によって二次元パター
ンが形成されている。
In this example, the sheet-shaped plate 61 is a kind of intaglio, and is composed of a steel base sheet 62 and a surface layer 63 made of hard silicone rubber. Surface section 63
A two-dimensional pattern is formed on the surface by a number of minute grooves 64.

【0022】溝64の中に、硬化性を有するペースト状
のインクを充填し、先に説明したものと同様な手順に従
って、このインクをガラス基板(ワーク)上に転写する
ことによって、ガラス基板上に微細な突起で二次元パタ
ーンを形成することができる。
The groove 64 is filled with a curable paste-like ink, and the ink is transferred onto a glass substrate (work) according to the same procedure as described above. A two-dimensional pattern can be formed with fine projections.

【0023】この方法を用いて、例えば、幅30μm、
高さ160μm程度の微細な突起で二次元パターンを形
成する場合、べースシート62の厚さT1は、0.1〜
0.5mm程度、表層部63の厚さT2は、0.1〜
0.7mm程度が適当である。
Using this method, for example, a width of 30 μm,
When a two-dimensional pattern is formed with fine protrusions having a height of about 160 μm, the thickness T1 of the base sheet 62 is 0.1 to 0.1 μm.
About 0.5 mm, the thickness T2 of the surface layer 63 is 0.1 to
About 0.7 mm is appropriate.

【0024】図6に、本発明に基づくパターン転写方法
において使用されるシート状の版の更に他の例を示す。
FIG. 6 shows still another example of a sheet-like plate used in the pattern transfer method according to the present invention.

【0025】この例では、シート状の版71は、一種の
成形型であって、鋼製のベースシート72と硬質フッ素
樹脂製の表層部73から構成されている。表層部73の
表面には、多数の微小な突起74によって二次元パター
ンが形成されている。
In this example, the sheet-shaped plate 71 is a kind of mold and is composed of a steel base sheet 72 and a hard fluororesin surface layer 73. A two-dimensional pattern is formed on the surface of the surface layer 73 by a large number of minute projections 74.

【0026】ワーク1として、表面に粘土状の軟質層が
積層された複合板を使用し、先に説明したものと同様な
手順に従って、突起74による二次元パターンを軟質層
の表面に転写することによって、複合板の表面に微細な
溝で二次元パターンを形成することができる。
Using a composite plate having a clay-like soft layer laminated on the surface thereof as the work 1 and transferring a two-dimensional pattern of the projections 74 to the surface of the soft layer according to the same procedure as described above. Accordingly, a two-dimensional pattern can be formed with fine grooves on the surface of the composite plate.

【0027】この方法を用いて、例えば、幅200μ
m、高さ150μm程度の微細な突起で二次元パターン
を形成する場合、べースシート72の厚さT3は、0.
1〜0.5mm程度、表層部73の厚さT4は、0.1
〜0.3mm程度が適当である。
Using this method, for example, a width of 200 μm
When a two-dimensional pattern is formed with fine projections having a height of about 150 μm and a height of about 150 μm, the thickness T3 of the base sheet 72 is set to 0.1 mm.
The thickness T4 of the surface portion 73 is about 0.1 to 0.5 mm,
About 0.3 mm is appropriate.

【0028】なお、上記の例において、固定シート13
の下面にシート状の版5を吸着する際、外枠11の内周
に沿って形成された貫通孔14内を減圧することによっ
て、固定シート13に対してシート状の版5を全面に渡
って密着させ、次いで、貫通孔14内を加圧することに
よって、固定シート13からシート状の版5を引き離し
ている。
In the above example, the fixing sheet 13
When adsorbing the sheet-shaped plate 5 on the lower surface of the outer frame 11, the inside of the through-hole 14 formed along the inner periphery of the outer frame 11 is depressurized, so that the sheet-shaped plate 5 Then, the sheet-shaped plate 5 is separated from the fixing sheet 13 by pressurizing the inside of the through-hole 14.

【0029】しかし、シート状の版5とワーク1との間
の接着力に比べて、吸着ブロック16による磁力がかな
り弱い場合、貫通孔14内の減圧を停止して貫通孔14
内を大気圧に戻すことによって、固定シート13自体の
弾性復元力で固定シート13の下面がシート状の版5の
裏面から離れる。従って、その様な場合には、固定シー
ト13からシート状の版5を引き離す際、貫通孔14内
を加圧する必要がなくなる。
However, when the magnetic force by the suction block 16 is considerably weaker than the adhesive force between the sheet-like plate 5 and the work 1, the pressure reduction in the through-hole 14 is stopped and the through-hole 14 is stopped.
By returning the inside to the atmospheric pressure, the lower surface of the fixed sheet 13 is separated from the back surface of the sheet-shaped plate 5 by the elastic restoring force of the fixed sheet 13 itself. Therefore, in such a case, it is not necessary to pressurize the inside of the through-hole 14 when separating the sheet-like plate 5 from the fixing sheet 13.

【0030】更に、ワーク1のサイズが、例えば、30
0mm×300mm以下と比較的小さい場合、シート状
の版5の表面とワーク1との間のクリアランスGの値を
0.5mm程度にすることが可能である。その様な場合
には、シート状の版5を固定シート13に対して真空吸
着しなくても、固定シート13の上面でプレスローラ8
を転動させた際の、固定シート13に対するシート状の
版5の相対位置の変動を小さく抑えることができる。従
って、その様な場合、固定シート13に貫通孔14を設
けることが不要になるとともに、吸着ブロック16の下
面に通気経路17を設けることも不要になる。
Further, the size of the work 1 is, for example, 30
When it is relatively small, such as 0 mm × 300 mm or less, the value of the clearance G between the surface of the sheet-shaped plate 5 and the work 1 can be set to about 0.5 mm. In such a case, even if the sheet-shaped plate 5 is not vacuum-sucked to the fixed sheet 13, the pressing roller 8
Of the sheet-shaped plate 5 relative to the fixed sheet 13 when the roller is rolled can be suppressed to be small. Therefore, in such a case, it is not necessary to provide the through holes 14 in the fixing sheet 13, and it is not necessary to provide the ventilation path 17 on the lower surface of the suction block 16.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明に基づくパターン転写方法によれ
ば、シート状の版を固定シートの下面に吸着して保持す
ることによって、パターン転写直前の段階におけるシー
ト状の版とワークとの間のクリアランスを、従来のスク
リーン印刷法あるいはオフセットスクリーン印刷法の場
合と比較して、1/3〜1/5程度の値に抑えることが
できる。その結果、転写されるパターンの位置精度及び
形状精度が大幅に改善される。
According to the pattern transfer method of the present invention, the sheet-like plate is attracted to and held on the lower surface of the fixed sheet, so that the sheet-like plate and the work between the stage immediately before the pattern transfer are held. The clearance can be suppressed to a value of about 1/3 to 1/5 as compared with the conventional screen printing method or offset screen printing method. As a result, the positional accuracy and shape accuracy of the transferred pattern are greatly improved.

【0032】また、本発明に基づくパターン転写方法に
よれば、固定シートを用いることによってシート状の版
の保持を比較的容易に行うことができるので、装置の運
転手順を簡易化することができる。
Further, according to the pattern transfer method of the present invention, since the holding of the sheet-like plate can be performed relatively easily by using the fixed sheet, the operation procedure of the apparatus can be simplified. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に基づくパターン転写方法において使用
される装置の概略構成を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an apparatus used in a pattern transfer method according to the present invention.

【図2】図1のA部の拡大断面図。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a portion A in FIG.

【図3】本発明に基づくパターン転写方法において、版
をワークに密着させた状態でワーク上に移した状態を示
す図。
FIG. 3 is a view showing a state in which the plate is transferred onto the work in a state in which the plate is in close contact with the work in the pattern transfer method according to the present invention.

【図4】本発明に基づくパターン転写方法において、版
をワークの表面から引き剥がした状態を示す図。
FIG. 4 is a view showing a state in which the plate is peeled off from the surface of the work in the pattern transfer method according to the present invention.

【図5】本発明に基づくパターン転写方法の他の例にお
いて使用されるシート状の版の構造を示す部分断面図。
FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the structure of a sheet-like plate used in another example of the pattern transfer method according to the present invention.

【図6】本発明に基づくパターン転写方法の他の例にお
いて使用されるシート状の版の構造を示す部分断面図。
FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing the structure of a sheet-like plate used in another example of the pattern transfer method according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・ワーク、 2・・・テーブル、 5・・・シート状の版、 6・・・ベースシート、 7・・・表層部、 8・・・プレスローラ、 10・・・シートフレーム、 11・・・外枠、 13・・・固定シート、 14・・・貫通孔、 16・・・吸着ブロック、 17・・・通気経路、 61・・・シート状の版、 62・・・ベースシート、 63・・・表層部、 64・・・溝、 71・・・シート状の版、 72・・・ベースシート、 73・・・表層部、 74・・・突起。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Work, 2 ... Table, 5 ... Sheet-shaped plate, 6 ... Base sheet, 7 ... Surface part, 8 ... Press roller, 10 ... Seat frame, 11 ... Outer frame, 13 ... Fixed sheet, 14 ... Through hole, 16 ... Suction block, 17 ... Ventilation path, 61 ... Sheet plate, 62 ... Base sheet, 63: surface layer, 64: groove, 71: sheet-like plate, 72: base sheet, 73: surface layer, 74: protrusion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芹沢 祥吾 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械テク ノ株式会社内 Fターム(参考) 2C035 AA06 AA08 FC04 FC10 FD01 FD25 FF01 FF04 FF22 FF26 2H113 AA01 AA05 BA21 BA22 BB09 BB22 CA17 FA28  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Shogo Serizawa 2068-3 Ooka, Numazu City, Shizuoka Prefecture F-term in Toshiba Machine Techno Co., Ltd. 2C035 AA06 AA08 FC04 FC10 FD01 FD25 FF01 FF04 FF22 FF26 2H113 AA01 AA05 BA21 BA22 BB09 BB22 CA17 FA28

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 テーブル上に保持された平板状のワーク
に、表面に盛り付けられたインクあるいは表面に形成さ
れた凹凸によって二次元のパターンが形成されたシート
状の版を用いてパターンを転写するパターン転写方法に
おいて、 前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシー
ト上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを
準備する第一準備工程と、 外枠、外枠の下側に長手方向に張り渡され、外枠の内周
に沿って上面から下面に貫通する複数の貫通孔が形成さ
れた非磁性材料製の固定シート、及び外枠の内周に沿っ
て固定シートの上面側に固定され、下面に前記貫通孔の
上方を覆う様に溝状の通気経路が形成され、可撓性を有
する永久磁石製の吸着ブロック、を備えたシートフレー
ムを準備する第二準備工程と、 前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、 前記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって
前記固定シートの下面に保持する第二工程と、 前記通気経路を介して前記貫通孔内を減圧し、前記シー
ト状の版の裏面を前記固定シートの下面に密着させる第
三工程と、 前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前
記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第四工程
と、 前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧し、
前記シート状の版の表面を前記ワークに密着させる第五
工程と、 前記通気経路を介して前記貫通孔内を加圧し、前記シー
ト状の版の裏面を前記固定シートの下面から引き離す第
六工程と、 前記シート状の版の表面を前記ワークから引剥がす第七
工程と、 を備えたことを特徴とするパターン転写方法。
1. A pattern is transferred to a plate-like work held on a table using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface. In the pattern transfer method, a first preparation step of preparing a composite sheet in which a surface layer portion made of an elastic material is laminated on a base sheet made of a ferromagnetic material as the sheet-shaped plate, A fixing sheet made of a non-magnetic material having a plurality of through-holes extending from the upper surface to the lower surface along the inner periphery of the outer frame, and a fixing sheet formed along the inner periphery of the outer frame. A second preparation step of preparing a seat frame provided with a flexible permanent magnet suction block, which is fixed to the upper surface side and has a groove-shaped ventilation path formed on the lower surface so as to cover above the through hole; And the wa A first step of holding the workpiece on a table, a second step of holding the sheet-like plate on the lower surface of the fixed sheet by the magnetic force of the suction block, and passing the inside of the through-hole through the ventilation path. A third step of reducing the pressure and bringing the back surface of the sheet-shaped plate into close contact with the lower surface of the fixed sheet; and bringing the work closer to the surface of the sheet-shaped plate, and in a posture parallel to the sheet-shaped plate. And a fourth step of holding with, pressing from above the fixed sheet using a press roller,
A fifth step of bringing the surface of the sheet-shaped plate into close contact with the work; and a sixth step of pressing the inside of the through-hole through the ventilation path and separating the back surface of the sheet-shaped plate from the lower surface of the fixed sheet. And a seventh step of peeling off the surface of the sheet-like plate from the work.
【請求項2】 テーブル上に保持された平板状のワーク
に、表面に盛り付けられたインクあるいは表面に形成さ
れた凹凸によって二次元のパターンが形成されたシート
状の版を用いてパターンを転写するパターン転写方法に
おいて、 前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシー
ト上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを
準備する第一準備工程と、 外枠、外枠の下側に長手方向に張り渡され、外枠の内周
に沿って上面から下面に貫通する複数の貫通孔が形成さ
れた非磁性材料製の固定シート、及び外枠の内周に沿っ
て固定シートの上面側に固定され、下面に前記貫通孔の
上方を覆う様に溝状の通気経路が形成され、可撓性を有
する永久磁石製の吸着ブロック、を備えたシートフレー
ムを準備する第二準備工程と、 前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、 前記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって
前記固定シートの下面に保持する第二工程と、 前記通気経路を介して前記貫通孔内を減圧し、前記シー
ト状の版の裏面を前記固定シートの下面に密着させる第
三工程と、 前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前
記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第四工程
と、 前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧し、
前記シート状の版の表面を前記ワークに密着させる第五
工程と、 前記貫通孔内を大気圧に戻し、前記シート状の版の裏面
を前記固定シートの下面から引き離す第六工程と、 前記シート状の版の表面を前記ワークから引剥がす第七
工程と、 を備えたことを特徴とするパターン転写方法。
2. A pattern is transferred to a plate-like work held on a table using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface. In the pattern transfer method, a first preparation step of preparing a composite sheet in which a surface layer portion made of an elastic material is laminated on a base sheet made of a ferromagnetic material as the sheet-shaped plate, A fixing sheet made of a non-magnetic material having a plurality of through-holes extending from the upper surface to the lower surface along the inner periphery of the outer frame, and a fixing sheet formed along the inner periphery of the outer frame. A second preparation step of preparing a seat frame provided with a flexible permanent magnet suction block, which is fixed to the upper surface side and has a groove-shaped ventilation path formed on the lower surface so as to cover above the through hole; And the wa A first step of holding the workpiece on a table, a second step of holding the sheet-like plate on the lower surface of the fixed sheet by the magnetic force of the suction block, and passing the inside of the through-hole through the ventilation path. A third step of reducing the pressure and bringing the back surface of the sheet-shaped plate into close contact with the lower surface of the fixed sheet; and bringing the work closer to the surface of the sheet-shaped plate, and in a posture parallel to the sheet-shaped plate. And a fourth step of holding with, pressing from above the fixed sheet using a press roller,
A fifth step of bringing the surface of the sheet-shaped plate into close contact with the work; a sixth step of returning the inside of the through-hole to atmospheric pressure and separating the back surface of the sheet-shaped plate from the lower surface of the fixed sheet; A seventh step of peeling off the surface of the plate from the work.
【請求項3】 テーブル上に保持された平板状のワーク
に、表面に盛り付けられたインクあるいは表面に形成さ
れた凹凸によって二次元のパターンが形成されたシート
状の版を用いてパターンを転写するパターン転写方法に
おいて、 前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシー
ト上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを
準備する第一準備工程と、 外枠、外枠の下側に長手方向に張り渡され、外枠の内周
に沿って上面から下面に貫通する複数の貫通孔が形成さ
れた非磁性材料製の固定シート、及び外枠の内周に沿っ
て固定シートの上面側に固定され、下面に前記貫通孔の
上方を覆う様に溝状の通気経路が形成され、可撓性を有
する永久磁石製の吸着ブロック、を備えたシートフレー
ムを準備する第二準備工程と、 前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、 前記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって
前記固定シートの下面に保持する第二工程と、 前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前
記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第三工程
と、 前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧し、
前記シート状の版の表面を前記ワークに密着させる第四
工程と、 前記通気経路を介して前記貫通孔内を加圧し、前記シー
ト状の版の裏面を前記固定シートの下面から引き離す第
五工程と、 前記シート状の版の表面を前記ワークから引剥がす第六
工程と、 を備えたことを特徴とするパターン転写方法。
3. A pattern is transferred to a plate-like work held on a table using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface. In the pattern transfer method, a first preparation step of preparing a composite sheet in which a surface layer portion made of an elastic material is laminated on a base sheet made of a ferromagnetic material as the sheet-shaped plate, A fixing sheet made of a non-magnetic material having a plurality of through-holes extending from the upper surface to the lower surface along the inner periphery of the outer frame, and a fixing sheet formed along the inner periphery of the outer frame. A second preparation step of preparing a seat frame provided with a flexible permanent magnet suction block, which is fixed to the upper surface side and has a groove-shaped ventilation path formed on the lower surface so as to cover above the through hole; And the wa A first step of holding a workpiece on a table, a second step of holding the sheet-shaped plate on the lower surface of the fixed sheet by the magnetic force of the suction block, and a surface of the sheet-shaped plate. And a third step of holding the sheet-shaped plate in a parallel position, and pressing the fixed sheet using a press roller,
A fourth step of bringing the surface of the sheet-shaped plate into close contact with the work; and a fifth step of pressing the inside of the through-hole through the ventilation path and separating the back surface of the sheet-shaped plate from the lower surface of the fixed sheet. And a sixth step of peeling off the surface of the sheet-shaped plate from the work.
【請求項4】 テーブル上に保持された平板状のワーク
に、表面に盛り付けられたインクあるいは表面に形成さ
れた凹凸によって二次元のパターンが形成されたシート
状の版を用いてパターンを転写するパターン転写方法に
おいて、 前記シート状の版として、強磁性体からなるベースシー
ト上に弾性体からなる表層部が積層された複合シートを
準備する第一準備工程と、 外枠、外枠の下側に長手方向に張り渡された非磁性材料
製の固定シート、及び外枠の内周に沿って固定シートの
上面側に固定され、可撓性を有する永久磁石製の吸着ブ
ロック、を備えたシートフレームを準備する第二準備工
程と、 前記ワークをテーブル上に保持する第一工程と、 前記シート状の版を、前記吸着ブロックの磁力によって
前記固定シートの下面に保持する第二工程と、 前記ワークを、前記シート状の版の表面に接近させ、前
記シート状の版に対して平行な姿勢で保持する第三工程
と、 前記固定シートの上からプレスローラを用いて押圧する
ことによって、前記シート状の版の表面を前記ワークに
密着させるとともに前記シート状の版の裏面を前記固定
シートの下面から引き離す第四工程と、 前記シート状の版の表面を前記ワークから引剥がす第五
工程と、 を備えたことを特徴とするパターン転写方法。
4. A pattern is transferred to a plate-like work held on a table using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface. In the pattern transfer method, a first preparation step of preparing a composite sheet in which a surface layer portion made of an elastic material is laminated on a base sheet made of a ferromagnetic material as the sheet-shaped plate, A fixed sheet made of a non-magnetic material stretched in the longitudinal direction, and a flexible permanent magnet suction block fixed to the upper surface side of the fixed sheet along the inner periphery of the outer frame. A second preparation step of preparing a frame, a first step of holding the work on a table, and a second step of holding the sheet-like plate on the lower surface of the fixed sheet by the magnetic force of the suction block. And a third step of bringing the work closer to the surface of the sheet-shaped plate and holding the work in a posture parallel to the sheet-shaped plate, and pressing the fixed sheet using a press roller from above. Thereby, a fourth step of bringing the surface of the sheet-shaped plate into close contact with the work and separating the back surface of the sheet-shaped plate from the lower surface of the fixed sheet, and peeling the surface of the sheet-shaped plate from the work A pattern transfer method, comprising: a fifth step.
【請求項5】 前記シート状の版として、鋼製のベース
シート上に、硬質ゴムまたはプラスチックスからなる表
層部が積層された複合シートを使用することを特徴とす
る請求項1から4までのいずれかに記載されたパターン
転写方法。
5. A composite sheet comprising a steel base sheet and a surface layer made of hard rubber or plastics laminated on a steel base sheet as the sheet-shaped plate. The pattern transfer method described in any of the above.
【請求項6】 前記固定シートとして、ステンレス鋼メ
ッシュ製または有孔金属薄板製で、厚さ0.01mm以
上0.3mm以下のシートを使用することを特徴とする
請求項1から4までのいずれかに記載されたパターン転
写方法。
6. The fixing sheet according to claim 1, wherein a sheet made of stainless steel mesh or perforated metal sheet and having a thickness of 0.01 mm or more and 0.3 mm or less is used as the fixing sheet. Or the pattern transfer method described above.
【請求項7】 平板状のワークに、表面に盛り付けられ
たインクあるいは表面に形成された凹凸によって二次元
のパターンが形成されたシート状の版を用いてパターン
を転写する際、このシート状の版を保持するために使用
されるシートフレームであって、 外枠と、 外枠の下側に長手方向に張り渡され、外枠の内周に沿っ
て上面から下面に貫通する複数の貫通孔が形成された非
磁性材料製の固定シートと、 外枠の内周に沿って固定シートの上面側に固定され、下
面に前記貫通孔の上方を覆う様に溝状の通気経路が形成
され、可撓性を有する永久磁石製の吸着ブロックと、 を備えたことを特徴とするシートフレーム。
7. When transferring a pattern to a flat work using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface, A seat frame used for holding a plate, comprising: an outer frame; and a plurality of through holes extending longitudinally below the outer frame and penetrating from an upper surface to a lower surface along an inner periphery of the outer frame. A fixing sheet made of a non-magnetic material and having a groove-shaped ventilation path formed on the upper surface side of the fixing sheet along the inner periphery of the outer frame so as to cover above the through hole on the lower surface, And a suction block made of a permanent magnet having flexibility.
【請求項8】 平板状のワークに、表面に盛り付けられ
たインクあるいは表面に形成された凹凸によって二次元
のパターンが形成されたシート状の版を用いてパターン
を転写する際、このシート状の版を保持するために使用
されるシートフレームであって、 外枠と、 外枠の下側に長手方向に張り渡された非磁性材料製の固
定シートと、 外枠の内周に沿って固定シートの上面側に固定され、可
撓性を有する永久磁石製の吸着ブロックと、 を備えたことを特徴とするシートフレーム。
8. When a pattern is transferred onto a flat work using a sheet-like plate on which a two-dimensional pattern is formed by ink provided on the surface or irregularities formed on the surface, the sheet-like form is transferred. A seat frame used to hold a plate, an outer frame, a fixing sheet made of a non-magnetic material stretched longitudinally below the outer frame, and fixed along an inner periphery of the outer frame. And a suction block made of a permanent magnet having flexibility and fixed to an upper surface side of the seat.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112721406A (en) * 2021-01-07 2021-04-30 昆山良品丝印器材有限公司 Method for recycling screen printing plate

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