JP2001074621A - Manufacture of sample for electron microscope - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は透過型電子顕微鏡
（ＴＥＭ：Transmission Electron Microscope）観察用
試料を金属メッシュからなる支持部材に貼付ける電子顕
微鏡用試料の作製方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for preparing a transmission electron microscope (TEM) observation sample, which is attached to a support member made of a metal mesh.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハなどの結晶構造を調べる場
合、ＦＩＢ（Focused Ion Beam system）を用いて半導
体ウエハを掘り込み加工することによって試料１５を形
成し、図９に示すように静電ピンセット１４の先端部に
この試料１５を付着させることによって採取し、この採
取された試料１５を、膜厚が薄い有機膜、例えばコロジ
オン膜１６が表面に張られた金属メッシュ１７上に貼付
けた後、透過型電子顕微鏡で観察するようにしている。2. Description of the Related Art When examining a crystal structure of a semiconductor wafer or the like, a sample 15 is formed by digging a semiconductor wafer using a focused ion beam system (FIB), and an electrostatic tweezer 14 is formed as shown in FIG. The sample 15 is collected by attaching the sample 15 to the tip of the sample, and the sample 15 thus collected is attached to a thin organic film, for example, a metal mesh 17 on which a collodion film 16 is stretched. Observation with a scanning electron microscope.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来では、
静電ピンセット１４に付着した試料１５をコロジオン膜
１６が張られた金属メッシュ１７上に直接貼付けるよう
にしているので、以下のような問題点が生じる。By the way, conventionally,
Since the sample 15 attached to the electrostatic tweezers 14 is directly stuck on the metal mesh 17 on which the collodion film 16 is stretched, the following problems occur.
【０００４】まず、１つ目として、静電ピンセット１４
の静電気による吸引力が強い場合、試料１５が金属メッ
シュ１７に触れても静電ピンセット１４から離れず、金
属メッシュ１７に張り付かないことが挙げられる。[0004] First, the electrostatic tweezers 14
When the suction force due to the static electricity is strong, even if the sample 15 touches the metal mesh 17, the sample 15 does not separate from the electrostatic tweezers 14 and does not stick to the metal mesh 17.
【０００５】２つ目として、図１０に示すように、試料
１５が静電ピンセット１４の上側に張り付いた場合、試
料１５が金属メッシュ１７側となるように静電ピンセッ
ト１４の位置を人手によって変える必要がある。このと
き試料１５を破壊してしまったり、飛ばして紛失してし
まう危険がある。[0005] Second, as shown in FIG. 10, when the sample 15 is stuck on the upper side of the electrostatic tweezers 14, the position of the electrostatic tweezers 14 is manually adjusted so that the sample 15 is on the metal mesh 17 side. I need to change. At this time, there is a risk that the sample 15 may be destroyed or may be lost by flying.
【０００６】３つ目として、図１１に示すように、試料
１５が金属メッシュ１７の表面に対して垂直に立ってし
まった場合には、張り付ける際に表面のコロジオン膜１
６を破ってしまい、張り付けることができない。Third, as shown in FIG. 11, when the sample 15 stands upright with respect to the surface of the metal mesh 17, the collodion film 1 on the surface is adhered when the sample 15 is attached.
I break 6 and can't stick it.
【０００７】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、試料を破壊したり、飛
ばして紛失したりすることがなく、また金属メッシュに
張られた有機膜を破ることなく、容易に金属メッシュ上
に試料を接着させることができる電子顕微鏡用試料の作
製方法を提供することにある。The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and has as its object to prevent the sample from being destroyed or flying away from being lost, and to provide an organic film stretched on a metal mesh. An object of the present invention is to provide a method for preparing a sample for an electron microscope, which can easily adhere a sample on a metal mesh without breaking the sample.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明の電子顕微鏡用
試料の作製方法は、表面に有機膜が張られた金属メッシ
ュからなる支持台上に揮発可能な液体を予め塗布してお
き、静電ピンセットの先端部に試料を付着させることに
よって試料を採取し、この採取された試料を上記液体に
接触させることによって上記支持台上に上記試料を載置
し、接着するようにしたことを特徴とする。According to a method for preparing a sample for an electron microscope of the present invention, a volatile liquid is applied in advance to a support made of a metal mesh having an organic film stretched on its surface, and an electrostatic charge is applied to the support. A sample is collected by attaching the sample to the tip of the tweezers, and the sample is placed on the support base by bringing the collected sample into contact with the liquid, so that the sample is adhered. I do.
【０００９】この発明の電子顕微鏡用試料の作製方法
は、液体供給用の中空部を有する静電ピンセットの先端
部に試料を付着させることによって試料を採取し、上記
静電ピンセットの中空部を介し先端部に向かって揮発可
能な液体を供給し、表面に有機膜が張られた金属メッシ
ュからなる支持台上に上記試料を上記液体と共に滴下さ
せることによって支持台上に上記試料を載置し、接着す
るようにしたことを特徴とする。In the method of preparing a sample for an electron microscope according to the present invention, the sample is collected by attaching the sample to the tip of an electrostatic tweezer having a hollow portion for supplying a liquid, and the sample is collected through the hollow portion of the electrostatic tweezer. Supplying a volatile liquid toward the tip, placing the sample on a support by dropping the sample together with the liquid on a support made of a metal mesh with an organic film stretched on the surface, It is characterized in that it is adhered.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明を
実施の形態により説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described by way of embodiments with reference to the drawings.
【００１１】まず、第１の実施の形態による電子顕微鏡
用試料の作製方法について説明する。例えば半導体ウエ
ハの結晶構造を調べる場合、試料は以下のようにして作
製される。まず、ＦＩＢ（Focused Ion Beam system）
を用いて、半導体ウエハ１０に対し、図１の平面図に示
すように例えば０．１μｍの幅の試料部分１１を介して
２個の角形孔１２、１３が隣接して形成されるようにエ
ッチング加工を行う。First, a method for manufacturing a sample for an electron microscope according to the first embodiment will be described. For example, when examining the crystal structure of a semiconductor wafer, a sample is prepared as follows. First, FIB (Focused Ion Beam system)
The semiconductor wafer 10 is etched such that two rectangular holes 12 and 13 are formed adjacent to each other via a sample portion 11 having a width of 0.1 μm as shown in the plan view of FIG. Perform processing.
【００１２】次に、図２の平面図に示すように、先端部
の直径が例えば４〜６μｍとなるように加工された例え
ばガラスからなる静電ピンセット１４を上記試料部分１
１の側面に押し当て、試料部分１１を元の半導体ウエハ
１０から分離させる。このとき、静電ピンセット１４は
予め帯電しており、元の半導体ウエハ１０から分離した
試料部分１１は静電ピンセット１４の先端部に付着し、
これによって試料１５が採取される。この試料１５は、
厚みが元の幅の０．１μｍ、長辺の長さが例えば１０μ
ｍ、短辺の長さが半導体ウエハ１０の厚みの例えば７〜
８μｍの小片である。Next, as shown in the plan view of FIG. 2, electrostatic tweezers 14 made of, for example, glass and processed to have a tip portion having a diameter of, for example, 4 to 6 μm are placed on the sample portion 1.
The sample portion 11 is separated from the original semiconductor wafer 10 by pressing against the side surface of the semiconductor wafer 10. At this time, the electrostatic tweezers 14 are charged in advance, and the sample portion 11 separated from the original semiconductor wafer 10 adheres to the tip of the electrostatic tweezers 14,
Thereby, the sample 15 is collected. This sample 15
The thickness is 0.1 μm of the original width, and the length of the long side is 10 μm, for example.
m, the length of the short side is, for example, 7 to 7 of the thickness of the semiconductor wafer 10.
It is a small piece of 8 μm.
【００１３】一方、図３の平面図に示すように、例えば
膜厚が０．１μｍ以下のコロジオン膜（有機膜）１６が
表面に張られた金属メッシュ１７からなる支持台１８を
用意しておく。上記金属メッシュ１７には複数の（図３
では１６個）の開口部１８が設けられており、これら各
開口部１８に対応した位置のコロジオン膜１６上に観察
すべき試料が載置される。このようにコロジオン膜１６
が表面に張られた金属メッシュ１７からなる支持台１８
は、一般に金属や生物細胞などを透過型電子顕微鏡によ
って観察する際に試料が載置、接着される観察用支持台
として良く使用されているものである。On the other hand, as shown in the plan view of FIG. 3, a support base 18 made of a metal mesh 17 having a collodion film (organic film) 16 having a thickness of, for example, 0.1 μm or less is prepared. . The metal mesh 17 has a plurality (see FIG. 3).
In this case, 16 openings 18 are provided, and a sample to be observed is placed on the collodion film 16 at a position corresponding to each of the openings 18. Thus, the collodion film 16
A support 18 made of a metal mesh 17 having a surface stretched
Is generally used as an observation support on which a sample is placed and adhered when observing a metal, a biological cell, or the like with a transmission electron microscope.
【００１４】そして、図４の断面図に示すように、上記
支持台１８をスライドカラス２０上に載置した後に、有
機膜、例えばコロジオン膜１６の表面に純水などの揮発
可能な液体を塗布する。この塗布は、例えば、霧吹きな
どによって純水を噴霧し、金属メッシュ１７の開口部１
９に対応した位置のコロジオン膜１６の表面上に純水か
らなる微小な水滴２１を形成することにより行われる。Then, as shown in the sectional view of FIG. 4, after mounting the support base 18 on the slide crow 20, a volatile liquid such as pure water is applied to the surface of an organic film, for example, the collodion film 16. I do. For this application, for example, pure water is sprayed by spraying or the like, and the opening 1
This is performed by forming minute water droplets 21 made of pure water on the surface of the collodion film 16 at a position corresponding to 9.
【００１５】次に、図５の断面図に示すように、先端部
に試料１５が付着した静電ピンセット１４を上記コロジ
オン膜１６表面上の水滴２１の位置まで移動し、試料１
５を水滴２１に接触させる。これにより、静電ピンセッ
ト１４に帯電していた静電気が逃がされ、試料１５が水
滴２１の表面に浮かぶ。Next, as shown in the cross-sectional view of FIG. 5, the electrostatic tweezers 14 having the sample 15 attached to the tip end are moved to the position of the water droplet 21 on the surface of the collodion film 16 and the sample 1 is moved.
5 is brought into contact with the water droplet 21. Thereby, the static electricity charged on the electrostatic tweezers 14 is released, and the sample 15 floats on the surface of the water droplet 21.
【００１６】この後、水滴２１が自然に蒸発することに
より、図６の断面図に示すように、試料１５がコロジオ
ン膜１６の表面に張り付き、接着される。Thereafter, as the water droplets 21 evaporate spontaneously, the sample 15 adheres to and adheres to the surface of the collodion film 16 as shown in the sectional view of FIG.
【００１７】この後は、支持台１８を透過型電子顕微鏡
の位置に移動して、試料の観察が行われる。Thereafter, the support table 18 is moved to the position of the transmission electron microscope to observe the sample.
【００１８】このように上記実施の形態による試料の作
製方法によれば、静電ピンセット１４に帯電した静電気
は、試料１５が水滴２１の表面に接触する際に逃がされ
るので、静電ピンセット１４の吸引力が強い場合でも試
料１５を静電ピンセット１４から確実に離すことができ
る。この結果、試料１５を金属メッシュ１７上に確実に
接着することができる。As described above, according to the method for manufacturing a sample according to the above-described embodiment, the static electricity charged on the electrostatic tweezers 14 is released when the sample 15 comes into contact with the surface of the water droplet 21. Even when the suction force is strong, the sample 15 can be reliably separated from the electrostatic tweezers 14. As a result, the sample 15 can be securely bonded onto the metal mesh 17.
【００１９】また、先の図１０に示すように試料１５が
静電ピンセット１４の上側に張り付いた場合であって
も、静電ピンセット１４の先端部が水滴２１の表面に接
触する際に除電されるので、そのままの状態で試料１５
を水滴２１の表面に滴下することができる。従って、従
来のように静電ピンセット１４の位置を人手によって変
える必要がなくなり、試料１５を破壊してしまったり、
飛ばして紛失してしまう恐れがない。Further, even when the sample 15 is stuck on the upper side of the electrostatic tweezers 14 as shown in FIG. 10, the static electricity is removed when the tip of the electrostatic tweezers 14 comes into contact with the surface of the water droplet 21. Sample 15
Can be dropped on the surface of the water droplet 21. Therefore, there is no need to manually change the position of the electrostatic tweezers 14 as in the related art, and the sample 15 may be destroyed,
There is no risk of being lost by skipping.
【００２０】さらに、先の図１１に示すように試料１５
が金属メッシュ１７の表面に対して垂直に立ってしまっ
たような場合でも、まず、試料１５がまず水滴２１に接
触した後に水滴２１の表面に滴下されるので、従来のよ
うにコロジオン膜１６が破れる恐れもない。Further, as shown in FIG.
When the sample stands upright with respect to the surface of the metal mesh 17, the sample 15 first contacts the water droplet 21 and then is dropped onto the surface of the water droplet 21. There is no danger of breaking.
【００２１】なお、上記実施の形態では、コロジオン膜
１６の表面に純水を塗布する場合について説明したが、
これは揮発可能な液体であればどのようなものであって
もよく、純水の他に例えばアルコールや有機溶剤などが
使用可能である。さらに、上記実施の形態では、金属メ
ッシュ１７上の有機膜がコロジオン膜１６である場合に
ついて説明したが、これはその他の有機膜、例えばフォ
ルムバール膜やトリアセチルセルロース膜を用いるよう
にしてもよい。In the above embodiment, the case where pure water is applied to the surface of the collodion film 16 has been described.
This may be any liquid as long as it can be volatilized, and for example, alcohol or organic solvent can be used in addition to pure water. Further, in the above-described embodiment, the case where the organic film on the metal mesh 17 is the collodion film 16 has been described. However, another organic film such as a formvar film or a triacetyl cellulose film may be used. .
【００２２】次にこの発明の第２の実施の形態による電
子顕微鏡用試料の作製方法について説明する。試料の採
取方法について第１の実施の形態の場合と同様なのでそ
の説明は省略する。ただし、この実施の形態では静電ピ
ンセット１４として、図７の断面図に示すように中空部
３１を有するものが使用される。そして、前記と同様に
試料の採取に当たり、静電ピンセット１４は予め帯電さ
れる。図７（ａ）は帯電した静電ピンセット１４の先端
部に試料１５が付着した状態を示している。次に、静電
ピンセット１４を先の支持台１８のコロジオン膜１６上
の位置まで移動し、図７（ｂ）に示すように、中空部３
１を介して純水などの揮発可能な液体を先端部に供給す
る。これにより、表面張力で丸まった状態の純水からな
る水滴２１の下部に試料１５がぶら下った状態となり、
この状態で図８の断面図に示すように、水滴２１が試料
１５と共にコロジオン膜１６上に滴下される。滴下後
に、試料１５は水滴２１の表面に浮かぶ。Next, a method of manufacturing a sample for an electron microscope according to a second embodiment of the present invention will be described. The method for collecting a sample is the same as that in the first embodiment, and a description thereof will be omitted. However, in this embodiment, the electrostatic tweezers 14 having a hollow portion 31 as shown in the sectional view of FIG. 7 is used. Then, in the same manner as described above, the electrostatic tweezers 14 are charged in advance when collecting the sample. FIG. 7A shows a state in which the sample 15 has adhered to the tip of the charged electrostatic tweezers 14. Next, the electrostatic tweezers 14 is moved to a position on the collodion film 16 of the support base 18, and as shown in FIG.
A volatilizable liquid such as pure water is supplied to the distal end portion through 1. As a result, the sample 15 is hung below the water droplet 21 made of pure water curled by surface tension,
In this state, a water droplet 21 is dropped on the collodion film 16 together with the sample 15 as shown in the sectional view of FIG. After the drop, the sample 15 floats on the surface of the water droplet 21.
【００２３】この後、水滴２１が自然に蒸発することに
より、先の図６の断面図に示すように、試料１５がコロ
ジオン膜１６の表面に張り付き、接着される。Thereafter, as the water droplets 21 evaporate spontaneously, the sample 15 adheres to and adheres to the surface of the collodion film 16 as shown in the cross-sectional view of FIG.
【００２４】このように上記実施の形態による試料の作
製方法によれば、試料１５は水滴２１と共に滴下される
ので、静電ピンセット１４の吸引力が強い場合でも試料
１５を静電ピンセット１４から確実に離すことができ
る。この結果、試料１５を金属メッシュ１７に確実に接
着させることができる。As described above, according to the method for manufacturing a sample according to the above-described embodiment, since the sample 15 is dropped together with the water droplet 21, even if the suction force of the electrostatic tweezers 14 is strong, the sample 15 can be securely removed from the electrostatic tweezers 14. Can be separated. As a result, the sample 15 can be securely bonded to the metal mesh 17.
【００２５】また、先の図１０に示すように試料１５が
静電ピンセット１４の上側に張り付いた場合であって
も、静電ピンセット１４の先端部に水滴２１が形成さ
れ、試料１５はこの水滴２１の下部にぶら下った状態と
なるので、従来のように静電ピンセット１４の位置を人
手によって変える必要がなくなり、試料１５を破壊して
しまったり、飛ばして紛失してしまう恐れがない。Also, even when the sample 15 is stuck on the upper side of the electrostatic tweezers 14 as shown in FIG. 10, water droplets 21 are formed at the tip of the electrostatic tweezers 14 and the sample 15 Since it is hung below the water droplet 21, there is no need to manually change the position of the electrostatic tweezers 14 as in the related art, and there is no possibility that the sample 15 will be destroyed or fly away.
【００２６】さらに、先の図１１に示すように試料１５
が金属メッシュ１７の表面に対して垂直に立ってしまっ
たような場合でも、静電ピンセット１４の先端部に水滴
２１が形成され、試料１５はこの水滴２１の下部にぶら
下った状態となり、その後、試料１５は水滴２１と共に
コロジオン膜１６上に滴下されるので、従来のようにコ
ロジオン膜１６が破れる恐れもない。Further, as shown in FIG.
Even when the sample stands vertically with respect to the surface of the metal mesh 17, a water droplet 21 is formed at the tip of the electrostatic tweezers 14, and the sample 15 hangs below the water droplet 21. Since the sample 15 is dropped onto the collodion film 16 together with the water droplet 21, there is no possibility that the collodion film 16 is broken unlike the conventional case.
【００２７】なお、上記実施の形態では、静電ピンセッ
ト１４の先端部に中空部３１を介して純水を供給する場
合について説明したが、これは揮発可能な液体であれば
どのようなものであってもよく、純水の他に例えばアル
コールや有機溶剤などが使用可能である。さらに、上記
実施の形態では、金属メッシュ１７上の有機膜がコロジ
オン膜１６である場合について説明したが、これはその
他の有機膜、例えばフォルムバール膜やトリアセチルセ
ルロース膜を用いるようにしてもよい。In the above embodiment, the case where pure water is supplied to the tip of the electrostatic tweezers 14 through the hollow portion 31 has been described. For example, an alcohol or an organic solvent may be used in addition to pure water. Further, in the above-described embodiment, the case where the organic film on the metal mesh 17 is the collodion film 16 is described, but another organic film, for example, a formvar film or a triacetyl cellulose film may be used. .
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
試料を破壊したり、飛ばして紛失したりすることがな
く、また金属メッシュに張られた有機膜を破ることな
く、容易に金属メッシュ上に試料を接着させることがで
きる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供することができ
る。As described above, according to the present invention,
A method for preparing a sample for an electron microscope that can easily adhere a sample to a metal mesh without breaking the sample or losing the sample by flying, and without breaking an organic film stretched on the metal mesh. Can be provided.
【図１】半導体ウエハを加工して試料を作製する際の平
面図。FIG. 1 is a plan view when a sample is manufactured by processing a semiconductor wafer.
【図２】上記試料を半導体ウエハから分離して試料を採
取する状態を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a state in which the sample is separated from a semiconductor wafer and a sample is collected.
【図３】この発明に用いられる支持台を示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing a support base used in the present invention.
【図４】第１の実施の形態の方法において支持台をスラ
イドカラス上に載置した後にコロジオン膜の表面に液体
を塗布した状態を示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a liquid is applied to the surface of a collodion film after a support base is placed on a slide crow in the method of the first embodiment.
【図５】第１の実施の形態の方法において支持台のコロ
ジオン膜の表面に試料を載置した状態を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state where a sample is placed on the surface of the collodion film of the support in the method according to the first embodiment.
【図６】第１の実施の形態の方法において支持台のコロ
ジオン膜の表面に試料が接着された状態を示す断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where the sample is adhered to the surface of the collodion film of the support in the method according to the first embodiment.
【図７】第２の実施の形態の方法で使用される静電ピン
セット及びこの静電ピンセットの先端部に液体を供給し
た状態を示す断面図。FIG. 7 is a sectional view showing an electrostatic tweezer used in the method of the second embodiment and a state in which a liquid is supplied to the tip of the electrostatic tweezer.
【図８】第２の実施の形態の方法において支持台のコロ
ジオン膜の表面に試料を載置した状態を示す断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state where a sample is placed on the surface of a collodion film of a support in the method according to the second embodiment.
【図９】従来方法を説明するための断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining a conventional method.
【図１０】従来方法を説明するための断面図。FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining a conventional method.
【図１１】従来方法を説明するための断面図。FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining a conventional method.
１０…半導体ウエハ、 １１…試料部分、 １２、１３…角形孔、 １４…静電ピンセット、 １５…試料、 １６…コロジオン膜（有機膜）、 １７…金属メッシュ、 １８…支持台、 １９…開口部、 ２０…スライドカラス、 ２１…水滴、 ３１…中空部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor wafer, 11 ... Sample part, 12 and 13 ... Square hole, 14 ... Electrostatic tweezers, 15 ... Sample, 16 ... Collodion film (organic film), 17 ... Metal mesh, 18 ... Support base, 19 ... Opening Reference numeral 20: slide crow, 21: water drop, 31: hollow part.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 直久 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA03 BA11 CA03 GA01 GA06 GA09 HA09 HA13 JA12 KA08 LA11 MA05 RA08 RA10 4M106 AA01 AA20 BA02 BA12 CB17 DH24 DH55 DH60 DJ02 DJ32 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Naohisa Suzuki 25-1, Ekimae Honcho, Kawasaki-ku, Kawasaki-ku, Kanagawa Prefecture F-term (reference) 2G001 AA03 BA11 CA03 GA01 GA06 GA09 HA09 HA13 JA12 KA08 LA11 MA05 RA08 RA10 4M106 AA01 AA20 BA02 BA12 CB17 DH24 DH55 DH60 DJ02 DJ32
Claims (7)
らなる支持台上に揮発可能な液体を予め塗布しておき、
静電ピンセットの先端部に試料を付着させることによっ
て試料を採取し、この採取された試料を上記液体に接触
させることによって上記支持台上に上記試料を載置し、
接着するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡用試料
の作製方法。1. A volatilizable liquid is applied in advance to a support made of a metal mesh having an organic film stretched on its surface,
A sample is collected by attaching the sample to the tip of the electrostatic tweezers, and the sample is placed on the support by bringing the collected sample into contact with the liquid,
A method for manufacturing a sample for an electron microscope, wherein the sample is bonded.
霧することよって塗布するようにした請求項１に記載の
電子顕微鏡用試料の作製方法。2. The method for preparing a sample for an electron microscope according to claim 1, wherein the volatile liquid is applied by spraying onto the support base.
ル、有機溶剤のいずれか１つである請求項１に記載の電
子顕微鏡用試料の作製方法。3. The method for preparing a sample for an electron microscope according to claim 1, wherein the volatilizable liquid is any one of pure water, alcohol, and an organic solvent.
ール膜、トリアセチルセルロース膜のいずれか１の膜で
ある請求項１に記載の電子顕微鏡用試料の作製方法。4. The method for producing a sample for an electron microscope according to claim 1, wherein the organic film is any one of a collodion film, a formvar film, and a triacetyl cellulose film.
ットの先端部に試料を付着させることによって試料を採
取し、上記静電ピンセットの中空部を介し先端部に向か
って揮発可能な液体を供給し、表面に有機膜が張られた
金属メッシュからなる支持台上に上記試料を上記液体と
共に滴下させることによって支持台上に上記試料を載置
し、接着するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡用
試料の作製方法。5. A sample is collected by attaching a sample to the tip of an electrostatic tweezer having a hollow portion for supplying liquid, and a liquid that can be volatilized toward the tip portion through the hollow portion of the electrostatic tweezer. The sample is placed on the support by supplying and dropping the sample together with the liquid on the support made of a metal mesh having an organic film stretched on the surface, and the sample is placed and adhered. Method for preparing electron microscope sample.
ル、有機溶剤のいずれか１つである請求項５に記載の電
子顕微鏡用試料の作製方法。6. The method for preparing a sample for an electron microscope according to claim 5, wherein the volatilizable liquid is any one of pure water, alcohol, and an organic solvent.
ール膜、トリアセチルセルロース膜のいずれか１の膜で
ある請求項５に記載の電子顕微鏡用試料の作製方法。7. The method for producing a sample for an electron microscope according to claim 5, wherein the organic film is any one of a collodion film, a formvar film, and a triacetyl cellulose film.
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010133710A (en) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | Minute specimen sampler |
| JP2010521656A (en) * | 2007-03-02 | 2010-06-24 | プロトチップス，インコーポレイテッド | Membrane support with reinforcing features |
| JP2010281655A (en) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Aoi Electronics Co Ltd | Device and method for immobilization of fine specimen |
| JP2012230112A (en) * | 2012-06-22 | 2012-11-22 | Aoi Electronics Co Ltd | Device and method for immobilization of fine specimen |
| JP2016156823A (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ | Preparation of sample for charged-particle microscopy |
| CN113504255A (en) * | 2021-05-18 | 2021-10-15 | 华东师范大学 | Air sensitive sample transfer method applied to X-ray photoelectron spectrometer |
-
1999
- 1999-09-08 JP JP25456199A patent/JP2001074621A/en not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010521656A (en) * | 2007-03-02 | 2010-06-24 | プロトチップス，インコーポレイテッド | Membrane support with reinforcing features |
| US9040939B2 (en) | 2007-03-02 | 2015-05-26 | Protochips, Inc. | Membrane supports with reinforcement features |
| JP2010133710A (en) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Hitachi High-Technologies Corp | Minute specimen sampler |
| JP2010281655A (en) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Aoi Electronics Co Ltd | Device and method for immobilization of fine specimen |
| JP2012230112A (en) * | 2012-06-22 | 2012-11-22 | Aoi Electronics Co Ltd | Device and method for immobilization of fine specimen |
| JP2016156823A (en) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | エフ イー アイ カンパニＦｅｉ Ｃｏｍｐａｎｙ | Preparation of sample for charged-particle microscopy |
| CN113504255A (en) * | 2021-05-18 | 2021-10-15 | 华东师范大学 | Air sensitive sample transfer method applied to X-ray photoelectron spectrometer |
| CN113504255B (en) * | 2021-05-18 | 2022-08-16 | 华东师范大学 | Air sensitive sample transfer method applied to X-ray photoelectron spectrometer |
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