JP2001074554A - Spectrograph - Google Patents

Spectrograph

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JP2001074554A
JP2001074554A JP25018899A JP25018899A JP2001074554A JP 2001074554 A JP2001074554 A JP 2001074554A JP 25018899 A JP25018899 A JP 25018899A JP 25018899 A JP25018899 A JP 25018899A JP 2001074554 A JP2001074554 A JP 2001074554A
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JP
Japan
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holder
base
light beam
crystal
bragg angle
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Motoharu Marushita
元治 丸下
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IHI Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a Bragg angle hardly shifted. SOLUTION: A moving amount along a longitudinal direction x1 of the first holder 19 and an oscillation amount thereof along a lateral direction α1 with respect to a reference position, an oscillation amount along a lateral direction α2 of the second holder 20 with respect to the reference position, and a tilting amount in a longitudinal direction γ1 of a base 18 having a horizontal axis Z as a center are reduced, when mounted conditions for crystals 21, 22 onto the respective holders 19, 20 are made to bring a Bragg angle into a substantially central value of a setting range thereof in the reference position wherein oscillation angles in the left and right directions α1, α2 of the holder 19, 20 with respect to the base 18 are set into zero, so as to change the Bragg angle upto the maximium value or the minimum value of the setting range.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は分光器に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectroscope.

【0002】[0002]

【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光とよばれる電磁波(光)を放出する。
2. Description of the Related Art When an electron moving at a speed close to the speed of light is bent by a magnetic field or an electric field, an electromagnetic wave (light) called a radiation is emitted in a tangential direction of an electron orbit.

【0003】図5は放射光発生手段の一例を示すもので
あり、この放射光発生手段は、線形加速装置1とシンク
ロトロン(電子蓄積リング)7とを備えている。
FIG. 5 shows an example of a radiation light generating means, which comprises a linear accelerator 1 and a synchrotron (electron storage ring) 7.

【0004】線形加速装置1は、電子(荷電粒子)eを
出射する電子発生装置2と、一端が電子発生装置2に接
続された直管状の加速ダクト3と、該加速ダクト3の内
部を移動する電子eに高周波を付与して該電子eを加速
する高周波加速装置4とによって構成されている。
[0004] The linear accelerator 1 includes an electron generator 2 for emitting electrons (charged particles) e, a straight tubular acceleration duct 3 having one end connected to the electron generator 2, and a movement inside the acceleration duct 3. And a high-frequency accelerator 4 for applying high frequency to the electrons e to accelerate the electrons e.

【0005】加速ダクト3の他端には、湾曲管状の偏向
ダクト5の一端が接続されており、偏向ダクト5には、
その内部を移動する電子eの軌道を曲げるための偏向電
磁石6が設けられている。
[0005] The other end of the acceleration duct 3 is connected to one end of a curved tubular deflection duct 5.
A bending electromagnet 6 is provided to bend the trajectory of the electron e moving inside.

【0006】シンクロトロン7は、電子eに周回軌道を
形成させるための無端状ダクト8を有しており、該無端
状ダクト8の所要箇所には、前記の偏向ダクト5の他端
が接続されている。
The synchrotron 7 has an endless duct 8 for causing the electron e to form a circular orbit. The other end of the deflection duct 5 is connected to a required portion of the endless duct 8. ing.

【0007】この無端状ダクト8の湾曲部分には、その
内部を移動する電子eの軌道を曲げるための偏向電磁石
9が設けられ、無端状ダクト8の所要箇所には、該無端
状ダクト8の内部を移動する電子eに高周波を付与して
該電子eを加速する高周波加速装置10が設けられてい
る。
The bending portion of the endless duct 8 is provided with a deflecting electromagnet 9 for bending the trajectory of the electrons e moving inside the endless duct 8. A high-frequency accelerator 10 is provided for applying a high frequency to the electrons e moving inside and accelerating the electrons e.

【0008】また、無端状ダクト8の所要箇所の湾曲部
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動する電子
eの進行方向が曲げられることにより放出される放射光
ビームSを、無端状ダクト8の外部へ導くためのビーム
ライン11の一端が接続され、ビームライン11の他端
には、放射光ビームSを照射光源とする実験を行なう実
験装置12が設けられている。
A radiation light beam S emitted when the traveling direction of the electrons e moving at a speed close to the speed of light is bent in the curved portion at a required portion of the endless duct 8 is applied to the endless duct 8. One end of a beam line 11 for leading to the outside of the duct 8 is connected, and the other end of the beam line 11 is provided with an experimental device 12 for performing an experiment using the emitted light beam S as an irradiation light source.

【0009】更に、ビームライン11の他端には、ビー
ムライン11の内部を真空状態に保持するためのベリリ
ウム窓(図示せず)が設けられている。
Further, at the other end of the beam line 11, a beryllium window (not shown) for keeping the inside of the beam line 11 in a vacuum state is provided.

【0010】図5に示す放射光発生手段によって放射光
ビームSを放出させる際には、加速ダクト3、偏向ダク
ト5、無端状ダクト8、ビームライン11の内部を超高
真空状態に減圧して、電子eが光速に近い速度で移動で
きる状態とした後、電子発生装置2から電子eを出射さ
せる。
When the radiation light beam S is emitted by the radiation light generating means shown in FIG. 5, the inside of the acceleration duct 3, the deflection duct 5, the endless duct 8, and the beam line 11 is depressurized to an ultra-high vacuum state. After the state in which the electrons e can move at a speed close to the speed of light, the electrons e are emitted from the electron generator 2.

【0011】電子発生装置2から出射される電子eは、
高周波加速装置4によって加速され、更に、偏向電磁石
6により軌道を曲げられることにより無端状ダクト8に
入射する。
The electrons e emitted from the electron generator 2 are:
The beam is accelerated by the high-frequency accelerator 4, and further enters the endless duct 8 by being bent by the bending electromagnet 6.

【0012】無端状ダクト8に入射する電子eは、高周
波加速装置10により加速されるとともに、偏向電磁石
9により各湾曲部において軌道を曲げられ、これによ
り、電子eから該電子eの軌道の接線方向へ放射光ビー
ムSが放出される。
The electron e incident on the endless duct 8 is accelerated by the high-frequency accelerating device 10 and its trajectory is bent at each bending portion by the bending electromagnet 9, whereby the tangent of the trajectory of the electron e to the trajectory of the electron e. A radiation light beam S is emitted in the direction.

【0013】無端状ダクト8の所定箇所の湾曲部におい
て放出される放射光ビームSは、ビームライン11を経
て実験装置12に入射する。
A radiation light beam S emitted from a predetermined curved portion of the endless duct 8 enters a test device 12 via a beam line 11.

【0014】この放射光ビームSは、可視領域からX線
領域にわたる波長の電磁波を含み、また、無端状ダクト
8を周回する電子eの軌道上を発光点として進行方向に
広がる発散光である。
The emitted light beam S is a divergent light that includes an electromagnetic wave having a wavelength ranging from the visible region to the X-ray region, and spreads in the traveling direction as a light emitting point on the orbit of the electron e orbiting the endless duct 8.

【0015】そこで、実験装置12において、特定波長
領域の電磁波を利用する実験を行なう場合には、ビーム
ライン11に分光器を組み込むようにしている。
Therefore, when performing an experiment using an electromagnetic wave in a specific wavelength region in the experimental apparatus 12, a spectroscope is incorporated in the beam line 11.

【0016】図3及び図4は従来の分光器の一例を示す
ものであり、この分光器は、略水平に出射される放射光
ビームSの光路の一側に配置され且つ当該光路に対して
垂直な基準面13aを有する基盤13と、放射光ビーム
Sの光路の他側に配置され且つ基盤13の放射光ビーム
S進行方向上流寄り部分に変位可能に取り付けた第1の
ホルダ14と、放射光ビームSの光路の一側に配置され
且つ基盤13の放射光ビームS進行方向下流寄り部分に
変位可能に取り付けた第2のホルダ15と、下記のよう
に入射光に対する結晶面16a,17aの角度(ブラッ
グ角θB)に応じた波長領域の光を反射する第1の結晶
体16及び第2の結晶体17とを備えている。
FIGS. 3 and 4 show an example of a conventional spectroscope. This spectroscope is arranged on one side of the optical path of a radiation light beam S which is emitted substantially horizontally, and is arranged with respect to the optical path. A base 13 having a vertical reference surface 13a, a first holder 14 disposed on the other side of the optical path of the emitted light beam S and displaceably attached to a portion of the base 13 near the upstream in the traveling direction of the emitted light beam S; A second holder 15 disposed on one side of the optical path of the light beam S and displaceably attached to a portion of the substrate 13 on the downstream side in the traveling direction of the emitted light beam S, and a crystal surface 16a, 17a for incident light as described below. The first crystal body 16 and the second crystal body 17 that reflect light in a wavelength range corresponding to the angle (Bragg angle θB) are provided.

【0017】[0017]

【数1】nλ=2d・sinθB θB:ブラッグ角 d:結晶の格子間隔 λ:光の波長 n:整数## EQU1 ## nλ = 2d · sin θB θB: Bragg angle d: lattice spacing of crystal λ: wavelength of light n: integer

【0018】第1のホルダ14と基盤13との間には、
放射光ビームSの光軸Oに交差して上下に延びる第1の
縦軸Y1を中心に第1のホルダ14を左右α1方向へ揺
動させるヨーイング機構と、第1のホルダ14を基盤1
3の基準面13aに沿って第1の縦軸Y1に直交する前
後x1方向へ移動させる前進後退機構と、第1の縦軸Y
1に沿って第1のホルダ14を上下y1方向へ移動させ
る昇降機構と、第1の縦軸Y1に直交する第1の横軸X
1を中心に第1のホルダ14を左右β1方向へ傾動させ
るローリング機構とが介在しており、放射光ビームSの
光軸Oに対して第1の縦軸Y1が常時交差している。
Between the first holder 14 and the base 13,
A yawing mechanism for swinging the first holder 14 in the left-right α1 direction about a first longitudinal axis Y1 extending vertically along the optical axis O of the radiation light beam S;
A forward / backward movement mechanism for moving in a front-back x1 direction orthogonal to the first longitudinal axis Y1 along the third reference plane 13a;
An elevating mechanism for moving the first holder 14 in the vertical y1 direction along a first vertical axis Y1 and a first horizontal axis X orthogonal to the first vertical axis Y1
A rolling mechanism for tilting the first holder 14 in the left / right direction β1 around the center 1 is interposed, and the first vertical axis Y1 always intersects the optical axis O of the emitted light beam S.

【0019】第1のホルダ14の放射光ビームSの光路
側に位置する腹面14a及びその背面14bは、第1の
ホルダ14の左右α1方向への揺動角が0°で且つ左右
β1方向への傾動角が0°であるときに、図4(A)に
示すように、基盤13の基準面13aに対して平行にな
るように形成されている。
The abdominal surface 14a and the back surface 14b of the first holder 14 located on the optical path side of the radiated light beam S have a swing angle of 0 ° in the left and right α1 direction of the first holder 14 and a right and left β1 direction. When the tilt angle is 0 °, as shown in FIG. 4A, it is formed so as to be parallel to the reference surface 13 a of the base 13.

【0020】第2のホルダ15と基盤13との間には、
前記の第1の縦軸Y1に平行な第2の縦軸Y2を中心に
第2のホルダ15を左右α2方向へ揺動させるヨーイン
グ機構と、第2の縦軸Y2に沿って第2のホルダ15を
上下y2方向へ移動させる昇降機構と、第2の縦軸Y2
に直交し且つ前記の第1の横軸X1に平行な第2の横軸
X2を中心に第2のホルダ15を左右β2方向へ傾動さ
せるローリング機構とが介在している。
Between the second holder 15 and the base 13,
A yawing mechanism for swinging the second holder 15 in the left-right α2 direction about a second longitudinal axis Y2 parallel to the first longitudinal axis Y1, and a second holder along the second longitudinal axis Y2. And a second vertical axis Y2 for moving the upper / lower 15 in the vertical y2 direction.
And a rolling mechanism for tilting the second holder 15 in the left and right directions β2 around a second horizontal axis X2 parallel to the first horizontal axis X1.

【0021】第2のホルダ15の放射光ビームSの光路
側に位置する腹面15a及びその背面15bは、第2の
ホルダ15の左右α2方向への揺動角が0°で且つ左右
β2方向への傾動角が0°であるときに、図4(A)に
示すように、基盤13の基準面13aに対して平行にな
るように形成されている。
The abdominal surface 15a and the back surface 15b of the second holder 15 located on the optical path side of the emitted light beam S have a swing angle of 0 ° in the left and right α2 direction of the second holder 15 and a right and left β2 direction. When the tilt angle is 0 °, as shown in FIG. 4A, it is formed so as to be parallel to the reference surface 13 a of the base 13.

【0022】第1の結晶体16は、第1の縦軸Y1が結
晶面16a上に位置し且つ当該結晶面16aが腹面14
a及び背面14bに対して平行になるように、第1のホ
ルダ14に装着されている。
In the first crystal body 16, the first vertical axis Y1 is located on the crystal plane 16a, and the crystal plane 16a is
a and is mounted on the first holder 14 so as to be parallel to the rear surface 14b.

【0023】第2の結晶体17は、第2の縦軸Y2が結
晶面17a上に位置し且つ当該結晶面17aが腹面15
a及び背面15bに対して平行になるように、第2のホ
ルダ15に装着されている。
In the second crystal body 17, the second vertical axis Y2 is located on the crystal plane 17a and the crystal plane 17a is
a and the second holder 15 so as to be parallel to the rear surface 15b.

【0024】更に、基盤13は、放射光ビームSの光軸
Oに対して直角に延び且つ第2の縦軸Y2に直交する水
平軸Zを中心として前後γ1方向へ傾動し得るように構
成されている。
Further, the base 13 extends perpendicularly to the optical axis O of the emitted light beam S and is tiltable in the forward and backward γ1 directions about a horizontal axis Z perpendicular to the second longitudinal axis Y2. ing.

【0025】これにより、基盤13が傾動すると、第1
のホルダ14に装着した第1の結晶体16と第2のホル
ダ15に装着した第2の結晶体17とが、水平軸Zを中
心に変位することになる。
Thus, when the base 13 is tilted, the first
The first crystal 16 mounted on the holder 14 and the second crystal 17 mounted on the second holder 15 are displaced about the horizontal axis Z.

【0026】放射光ビームSから所定波長領域の光を得
る際には、第1のホルダ14と基盤13との間に介在し
ているヨーイング機構、前進後退機構、昇降機構、ロー
リング機構によって、第2のホルダ15に対する第1の
ホルダ14の相対位置及び姿勢を調整し、水平軸Zを中
心とする基盤13の前後への傾動によって、放射光ビー
ムSに対する第1のホルダ14の位置を調整すると、た
とえば、図4(B)に示すように、放射光ビームSが第
1の結晶体16に斜入射し、該第1の結晶体16の結晶
面16aから第2の結晶体17へ向かってブラッグ角θ
Bに応じた波長領域の光が出射される。
When light of a predetermined wavelength range is obtained from the emitted light beam S, the light is controlled by a yawing mechanism, a forward / backward mechanism, an elevating mechanism, and a rolling mechanism interposed between the first holder 14 and the base 13. When the relative position and posture of the first holder 14 with respect to the second holder 15 are adjusted and the position of the first holder 14 with respect to the emitted light beam S is adjusted by tilting the base 13 back and forth about the horizontal axis Z. For example, as shown in FIG. 4B, the emitted light beam S is obliquely incident on the first crystal 16 and moves from the crystal plane 16 a of the first crystal 16 toward the second crystal 17. Bragg angle θ
Light in a wavelength range corresponding to B is emitted.

【0027】また、第2のホルダ15と基盤13との間
に介在しているヨーイング機構、昇降機構、ローリング
機構によって、第2の結晶体17の結晶面17aが第1
の結晶体16の結晶面16aと平行になるように第2の
ホルダ15の姿勢を調整すると、第1の結晶体16の反
射光が第2の結晶体17に斜入射し、該第2の結晶体1
7の結晶面17aからブラッグ角θBに応じた波長領域
の単色光ビームS1が放射光ビームSに平行に出射され
る。
The crystal plane 17a of the second crystal body 17 is moved to the first crystal plane 17 by a yawing mechanism, a lifting mechanism, and a rolling mechanism interposed between the second holder 15 and the base 13.
When the attitude of the second holder 15 is adjusted so as to be parallel to the crystal plane 16a of the crystal body 16, the reflected light of the first crystal body 16 is obliquely incident on the second crystal body 17, and Crystal 1
The monochromatic light beam S1 in the wavelength region corresponding to the Bragg angle θB is emitted from the crystal plane 17a of the X-ray 7 in parallel with the emitted light beam S.

【0028】図4(C)に示すように、ブラッグ角θB
を変える場合には、第1のホルダ14と基盤13との間
に介在するヨーイング機構、前後進機構、第2のホルダ
15と基盤13との間に介在するヨーイング機構、及び
基盤13の前後への傾動によって、単色光ビームS1の
光軸Pの位置を一定に保つようにしている。
As shown in FIG. 4C, the Bragg angle θB
Is changed, the yaw mechanism interposed between the first holder 14 and the base 13, the forward / reverse mechanism, the yaw mechanism interposed between the second holder 15 and the base 13, and the front and rear of the base 13 The position of the optical axis P of the monochromatic light beam S1 is kept constant.

【0029】更に、分光器の組立調整にあたっては、縦
軸Y1,Y2が垂直となるように基盤13の水平軸Zを
中心とする前後γ1方向への傾動角を0°に設定し且つ
第1のホルダ14を基盤13の放射光ビームS進行方向
上流側へ移動させたうえ、ホルダ14,15の縦軸Y
1,Y2を中心とする左右α1,α2方向への揺動角、
及び横軸X1,X2を中心とする左右β1,β2方向へ
の傾動角などを0°に設定して、ブラッグ角θBが0°
になるように、結晶体16,17をホルダ14,15に
装着している。
Further, in assembling and adjusting the spectroscope, the tilt angle in the front-back γ1 direction about the horizontal axis Z of the base 13 is set to 0 ° so that the vertical axes Y1 and Y2 are vertical, and the first tilt angle is set to 0 °. Is moved to the upstream side of the base 13 in the traveling direction of the emitted light beam S, and the vertical axis Y of the holders 14 and 15 is moved.
Swing angles in the left and right α1 and α2 directions around 1, Y2,
And the tilt angles in the left and right directions β1 and β2 around the horizontal axes X1 and X2 are set to 0 °, and the Bragg angle θB is set to 0 °.
Crystals 16 and 17 are mounted on holders 14 and 15 such that

【0030】[0030]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
分光器では、放射光ビームSから得るべき光の波長領域
に応じて両結晶体16,17のブラッグ角θBを、たと
えば、15°〜30°に設定する際は、第1のホルダ1
4を組立調整時の基準位置から第2のホルダ15へ向か
って大幅に近接させ且つ基盤13を前後γ1方向へ傾動
させるとともに、縦軸Y1,Y2を中心として各ホルダ
14,15を左右α1,α2方向へ揺動させる必要があ
り、このため、基盤13の傾きや各部材の変位に起因し
た重心位置の移動などによって、ブラッグ角θBにずれ
が生じることが懸念される。
However, in the conventional spectroscope, the Bragg angle θB of both crystals 16 and 17 is set to, for example, 15 ° to 30 ° according to the wavelength range of the light to be obtained from the emitted light beam S. Is set to the first holder 1
4 from the reference position at the time of assembling adjustment toward the second holder 15 and the base 13 is tilted in the forward and backward γ1 directions, and the respective holders 14 and 15 are shifted left and right α1 around the vertical axes Y1 and Y2. It is necessary to swing in the α2 direction. For this reason, there is a concern that the Bragg angle θB may be shifted due to the inclination of the base 13 or the movement of the position of the center of gravity due to the displacement of each member.

【0031】本発明は上述した実情に鑑みてしたもの
で、ブラッグ角にずれが生じにくい分光器を提供するこ
とを目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a spectroscope in which the Bragg angle is less likely to shift.

【0032】[0032]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の分光器では、略水平に出射される放射光ビ
ームの光路側方に配置した基盤と、放射光ビームの光軸
に交差して上下に延びる第1の縦軸を中心に左右へ揺動
可能に且つ放射光ビームの光路に沿って前後へ移動可能
に基盤に取り付けた第1のホルダと、該第1のホルダよ
りも放射光ビーム進行方向下流側に位置し且つ第1の縦
軸に平行な第2の縦軸を中心に左右へ揺動可能に基盤に
取り付けた第2のホルダと、放射光ビームが結晶面に斜
入射し得るように第1のホルダに装着され且つブラッグ
角に応じた波長領域の光を反射する第1の結晶体と、該
第1の結晶体からの出射光が結晶面に斜入射し得るよう
に第2のホルダに装着され且つブラッグ角に応じた波長
領域の光を単色光ビームとして反射する第2の結晶体と
を備え、放射光ビームの光軸に対して直角に延び且つ第
2の縦軸に直交する水平軸を中心に基盤及び両ホルダが
一体的に前後へ傾動し得るように構成された分光器にお
いて、基盤に対する各ホルダの左右への揺動角が0°に
設定される基準位置で、ブラッグ角がその設定範囲の略
中央値になるように、結晶体をホルダに装着している。
In order to achieve the above object, a spectroscope according to the present invention intersects a substrate disposed on a side of an optical path of a radiated light beam emitted substantially horizontally with an optical axis of the radiated light beam. A first holder attached to the base so as to swing right and left around a first vertical axis extending vertically and to move back and forth along the optical path of the emitted light beam; A second holder positioned on the downstream side in the traveling direction of the emitted light beam and swingably mounted on the base so as to be able to swing left and right around a second longitudinal axis parallel to the first longitudinal axis; A first crystal attached to the first holder so as to be capable of oblique incidence and reflecting light in a wavelength region corresponding to the Bragg angle; and light emitted from the first crystal is obliquely incident on the crystal plane. Light in a wavelength range according to the Bragg angle, attached to the second holder so as to obtain And a second crystal body reflecting as a beam, the base and both holders integrally tilting back and forth about a horizontal axis extending perpendicular to the optical axis of the emitted light beam and orthogonal to the second vertical axis. In a spectrometer configured to be capable of performing the above-described operations, the crystal body is set so that the Bragg angle becomes substantially the center value of the setting range at a reference position where the right and left swing angles of each holder with respect to the base are set to 0 °. Is attached to the holder.

【0033】本発明の分光器においては、各ホルダへの
結晶体の装着状態を、基盤に対するホルダの左右方向へ
の揺動角が0°に設定される基準位置で、ブラッグ角が
その設定範囲の略中央値になるようにし、ブラッグ角を
設定範囲の最大値あるいは最小値まで変化させるとき
の、基準位置に対する第1のホルダの前後方向への移動
量、基準位置に対する両ホルダの左右方向への揺動量、
及び水平軸を中心とする基盤の前後方向への傾動量の減
少を図る。
In the spectroscope of the present invention, the mounting state of the crystal on each holder is determined by setting the Bragg angle to the reference position where the horizontal swing angle of the holder with respect to the base is set to 0 °. When the Bragg angle is changed to the maximum value or the minimum value of the set range, the amount of movement of the first holder in the front-rear direction with respect to the reference position, and in the left-right direction of both holders with respect to the reference position. Swing amount of
In addition, the amount of tilt of the base in the front-rear direction about the horizontal axis is reduced.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0035】図1及び図2は本発明の分光器の実施の形
態の一例であり、この分光器は、略水平に出射される放
射光ビームSの光路の一側に配置され且つ当該光路に対
して垂直な基準面18aを有する基盤18と、放射光ビ
ームSの光路の他側に配置され且つ基盤18の放射光ビ
ームS進行方向上流寄り部分に変位可能に取り付けた第
1のホルダ19と、放射光ビームSの光路の一側に配置
され且つ基盤18の放射光ビームS進行方向下流寄り部
分に変位可能に取り付けた第2のホルダ20と、入射光
に対するブラッグ角θBに応じた波長領域の光を反射す
る第1の結晶体21及び第2の結晶体22とを備えてい
る。
FIGS. 1 and 2 show an example of an embodiment of the spectroscope of the present invention. This spectroscope is arranged on one side of the optical path of a radiation light beam S which is emitted substantially horizontally, and is connected to the optical path. A base 18 having a reference surface 18a perpendicular to the base 18 and a first holder 19 disposed on the other side of the optical path of the emitted light beam S and displaceably attached to a portion of the base 18 near the upstream in the traveling direction of the emitted light beam S. A second holder 20 disposed on one side of the optical path of the emitted light beam S and displaceably attached to a portion of the substrate 18 on the downstream side in the traveling direction of the emitted light beam S, and a wavelength region corresponding to the Bragg angle θB with respect to the incident light. A first crystal body 21 and a second crystal body 22 that reflect the light.

【0036】第1のホルダ19と基盤18との間には、
放射光ビームSの光軸Oに交差して上下に延びる第1の
縦軸Y1を中心に第1のホルダ19を左右α1方向へ揺
動させるヨーイング機構と、第1のホルダ19を基盤1
8の基準面18aに沿って第1の縦軸Y1に直交する前
後x1方向へ移動させる前進後退機構と、第1の縦軸Y
1に沿って第1のホルダ19を上下y1方向へ移動させ
る昇降機構と、第1の縦軸Y1に直交する第1の横軸X
1を中心に第1のホルダ19を左右β1方向へ傾動させ
るローリング機構とが介在しており、放射光ビームSの
光軸Oに対して第1の縦軸Y1が常時交差している。
Between the first holder 19 and the base 18,
A yawing mechanism for swinging the first holder 19 in the left-right α1 direction about a first longitudinal axis Y1 extending vertically along the optical axis O of the radiation light beam S;
A forward / backward movement mechanism for moving in a front-rear x1 direction orthogonal to the first longitudinal axis Y1 along the reference plane 18a of the first and the second longitudinal axes Y;
An elevating mechanism for moving the first holder 19 in the vertical y1 direction along a first horizontal axis X and a first horizontal axis X orthogonal to the first vertical axis Y1
A rolling mechanism for tilting the first holder 19 in the left and right directions β1 around the center 1 is interposed, and the first vertical axis Y1 always intersects the optical axis O of the emitted light beam S.

【0037】第1のホルダ19は、その左右α1方向へ
の揺動角が0°で且つ左右β1方向への傾動角が0°で
あるときに、図2(A)に示すように、第1のホルダ1
9の放射光ビームSの光路側に位置する腹面19aが基
盤18の基準面18aに対して15°の角度をなし、ま
た、背面19bが基盤18の基準面18aに対して平行
になるように形成されている。
As shown in FIG. 2A, when the first holder 19 has a swing angle of 0 ° in the left and right α1 direction and a tilt angle of 0 ° in the left and right β1 direction, as shown in FIG. 1 holder 1
9 so that the abdominal surface 19a located on the optical path side of the radiation light beam 9 forms an angle of 15 ° with the reference surface 18a of the base 18 and the back surface 19b is parallel to the reference surface 18a of the base 18. Is formed.

【0038】第2のホルダ20と基盤18との間には、
前記の第1の縦軸Y1に平行な第2の縦軸Y2を中心に
第2のホルダ20を左右α2方向へ揺動させるヨーイン
グ機構と、第2の縦軸Y2に沿って第2のホルダ20を
上下y2方向へ移動させる昇降機構と、第2の縦軸Y2
に直交し且つ前記の第1の横軸X1に平行な第2の横軸
X2を中心に第2のホルダ20を左右β2方向へ傾動さ
せるローリング機構とが介在している。
Between the second holder 20 and the base 18,
A yawing mechanism for swinging the second holder 20 in the left-right α2 direction about a second longitudinal axis Y2 parallel to the first longitudinal axis Y1, and a second holder along the second longitudinal axis Y2 An elevating mechanism for moving the actuator 20 in the vertical y2 direction, and a second vertical axis Y2
And a rolling mechanism for tilting the second holder 20 in the left-right direction β2 around a second horizontal axis X2 parallel to the first horizontal axis X1.

【0039】第2のホルダ20は、その左右α2方向へ
の揺動角が0°で且つ左右β2方向への傾動角が0°で
あるときに、図2(A)に示すように、第2のホルダ2
0の放射光ビームSの光路側に位置する腹面20aが基
盤18の基準面18aに対して15°の角度をなし、ま
た、背面20bが基盤18の基準面18aに対して平行
になるように形成されている。
When the swing angle in the left and right α2 direction is 0 ° and the tilt angle in the right and left β2 direction is 0 °, the second holder 20, as shown in FIG. 2 holder 2
The abdominal surface 20a located on the optical path side of the zero emitted light beam S forms an angle of 15 ° with the reference surface 18a of the base 18, and the back surface 20b is parallel to the reference surface 18a of the base 18. Is formed.

【0040】第1の結晶体21は、第1の縦軸Y1が結
晶面21aに位置するように、また、第1のホルダ19
の第1の縦軸Y1を中心とする左右α1方向への揺動角
が0°に設定され且つ第1の横軸X1を中心とする左右
β1方向への傾動角が0°に設定される基準位置で、放
射光ビームSの光軸Oに対するブラッグ角θBが15°
(ブラッグ角θBの設定範囲が0°〜30°であるとき
の中央値)になるように、第1のホルダ19に装着され
ている。
The first crystal body 21 is positioned such that the first vertical axis Y1 is positioned on the crystal plane 21a and the first holder 19
Is set to 0 ° in the left / right α1 direction about the first vertical axis Y1 and the tilt angle in the left / right β1 direction about the first horizontal axis X1 is set to 0 °. At the reference position, the Bragg angle θB of the emitted light beam S with respect to the optical axis O is 15 °
It is mounted on the first holder 19 so as to be (median value when the setting range of the Bragg angle θB is 0 ° to 30 °).

【0041】第2の結晶体22は、第1の縦軸Y2が結
晶面22aに位置するように、また、第2のホルダ20
の第2の縦軸Y2を中心とする左右α2方向への揺動角
が0°に設定され且つ第2の横軸X2を中心とする左右
β2方向への揺動角が0°に設定される基準位置で、第
1の結晶体21からの出射光に対するブラッグ角θBが
15°(ブラッグ角θBの設定範囲が0°〜30°であ
るときの中央値)になるように、第2のホルダ20に装
着されている。
The second crystal body 22 is positioned such that the first vertical axis Y2 is positioned on the crystal plane 22a.
Is set at 0 ° in the left-right α2 direction about the second vertical axis Y2, and is set at 0 ° in the left-right β2 direction about the second horizontal axis X2. At the reference position, the second angle is set so that the Bragg angle θB with respect to the light emitted from the first crystal body 21 is 15 ° (median value when the setting range of the Bragg angle θB is 0 ° to 30 °). It is mounted on the holder 20.

【0042】更に、基盤18は、放射光ビームSの光軸
Oに対して直角に延び且つ第2の縦軸Y2に直交する水
平軸Zを中心として前後γ1方向へ傾動し得るように構
成されている。
Further, the base 18 extends perpendicular to the optical axis O of the radiated light beam S and can be tilted in the forward and backward γ1 directions about a horizontal axis Z orthogonal to the second vertical axis Y2. ing.

【0043】これにより、基盤18が傾動すると、第1
のホルダ19に装着した第1の結晶体21と第2のホル
ダ20に装着した第2の結晶体22とが、水平軸Zを中
心に変位することになる。
Thus, when the base 18 is tilted, the first
The first crystal body 21 mounted on the holder 19 and the second crystal body 22 mounted on the second holder 20 are displaced about the horizontal axis Z.

【0044】放射光ビームSから所定波長領域の光を得
る際には、第1のホルダ19と基盤18との間に介在し
ているヨーイング機構、前進後退機構、昇降機構、ロー
リング機構によって、第2のホルダ20に対する第1の
ホルダ19の相対位置及び姿勢を調整し、水平軸Zを中
心とする基盤18の前後への傾動によって、放射光ビー
ムSに対する第1のホルダ19の位置を調整すると、図
2(A)(B)(C)に示すように、放射光ビームSが
第1の結晶体21に斜入射し、該第1の結晶体21の結
晶面21aから第2の結晶体22へ向かってブラッグ角
θBに応じた波長領域の光が出射される。
When light of a predetermined wavelength range is obtained from the radiated light beam S, the light is controlled by a yawing mechanism, a forward / backward mechanism, an elevating mechanism, and a rolling mechanism interposed between the first holder 19 and the base 18. When the relative position and orientation of the first holder 19 with respect to the second holder 20 are adjusted, and the position of the first holder 19 with respect to the emitted light beam S is adjusted by tilting the base 18 back and forth about the horizontal axis Z. As shown in FIGS. 2A, 2B, and 2C, the radiation light beam S is obliquely incident on the first crystal body 21 and is shifted from the crystal plane 21a of the first crystal body 21 to the second crystal body. The light in the wavelength region corresponding to the Bragg angle θB is emitted toward 22.

【0045】また、第2のホルダ20と基盤18との間
に介在しているヨーイング機構、昇降機構、ローリング
機構によって、第2の結晶体22の結晶面22aが第1
の結晶体21の結晶面21aと平行になるように第2の
ホルダ20の姿勢を調整すると、第1の結晶体21の反
射光が第2の結晶体22に斜入射し、該第2の結晶体2
2の結晶面22aからブラッグ角θBに応じた波長領域
の単色光ビームS1が放射光ビームSに平行に出射され
る。
The crystal plane 22a of the second crystal body 22 is moved to the first crystal plane 22 by a yawing mechanism, a lifting mechanism, and a rolling mechanism interposed between the second holder 20 and the base 18.
When the attitude of the second holder 20 is adjusted so as to be parallel to the crystal plane 21a of the crystal body 21, the reflected light of the first crystal body 21 obliquely enters the second crystal body 22, and Crystal 2
A monochromatic light beam S1 in a wavelength region corresponding to the Bragg angle θB is emitted from the second crystal plane 22a in parallel with the radiation light beam S.

【0046】図1及び図2に示す分光器においては、各
ホルダ19,20への結晶体21,22の装着状態を、
基盤18に対するホルダ19,20の左右α1,α2方
向への揺動角が0°に設定される基準位置で、ブラッグ
角θBがその設定範囲の中央値である15°になるよう
にしているので、ブラッグ角θBを設定範囲の最大値3
0°あるいは最小値0°まで変化させるときの、基準位
置に対する第1のホルダ19の前後x1方向への移動量
及び左右α1方向への揺動量、基準位置に対する第2の
ホルダ20の左右α2方向への揺動量、水平軸Zを中心
とする基盤18の前後γ1方向への傾動量が減少し、ブ
ラッグ角θBがずれにくくなる。
In the spectroscope shown in FIGS. 1 and 2, the mounting state of the crystal bodies 21 and 22 to the holders 19 and 20 is as follows.
At the reference position where the swing angles of the holders 19 and 20 with respect to the base 18 in the left and right directions α1 and α2 are set to 0 °, the Bragg angle θB is set to 15 ° which is the median of the set range. , Set the Bragg angle θB to the maximum value of the setting range 3
When the angle is changed to 0 ° or the minimum value 0 °, the amount of movement of the first holder 19 in the front-back x1 direction and the amount of swing in the left-right α1 direction with respect to the reference position, and the left-right α2 direction of the second holder 20 with respect to the reference position And the amount of tilt of the base 18 about the horizontal axis Z in the front-back γ1 direction is reduced, and the Bragg angle θB is less likely to shift.

【0047】なお、本発明は上述した実施の形態のみに
限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範
囲において変更を加え得ることは勿論である。
It should be noted that the present invention is not limited to only the above-described embodiment, and it goes without saying that changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

【0048】[0048]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の分光器によ
れば、各ホルダへの結晶体の装着状態を、基盤に対する
ホルダの左右方向への揺動角が0°に設定される基準位
置で、ブラッグ角がその設定範囲の略中央値になるよう
にしているので、ブラッグ角を設定範囲の最大値あるい
は最小値まで変化させるときの、基準位置に対する第1
のホルダの前後方向への移動量及び左右方向への揺動
量、基準位置に対する第2のホルダの左右方向への揺動
量、水平軸を中心とする基盤の前後方向への傾動量が減
少し、ブラッグ角がずれにくくなる、という優れた効果
を奏し得る。
As described above, according to the spectroscope of the present invention, the mounting state of the crystal on each holder is determined based on the criterion for setting the horizontal swing angle of the holder with respect to the base to 0 °. At the position, the Bragg angle is set to be approximately the center value of the set range, so that when the Bragg angle is changed to the maximum value or the minimum value of the set range, the first position relative to the reference position.
The amount of movement of the holder in the front-rear direction and the amount of swing in the left-right direction, the amount of swing of the second holder in the left-right direction with respect to the reference position, and the amount of tilt of the base about the horizontal axis in the front-rear direction are reduced. An excellent effect that the Bragg angle is less likely to shift can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の分光器の実施の形態の一例を示す斜視
図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an embodiment of a spectroscope of the present invention.

【図2】図1における結晶体及びホルダの位置とブラッ
グ角との関係を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing the relationship between the position of a crystal and a holder in FIG. 1 and the Bragg angle.

【図3】従来の分光器の一例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional spectroscope.

【図4】図3における結晶体及びホルダの位置とブラッ
グ角との関係を示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing the relationship between the position of the crystal and holder in FIG. 3 and the Bragg angle.

【図5】放射光発生手段の一例を示す概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating an example of a radiation light generating unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

18 基盤 19 第1のホルダ 20 第2のホルダ 21 第1の結晶体 21a 結晶面 22 第2の結晶体 22a 結晶面 O 光軸 S 放射光ビーム S1 単色光ビーム X1 第1の横軸 Y1 第1の縦軸 Y2 第2の縦軸 Z 水平軸 θB ブラッグ角 Reference Signs List 18 base 19 first holder 20 second holder 21 first crystal 21a crystal plane 22 second crystal 22a crystal plane O optical axis S radiation light beam S1 monochromatic light beam X1 first horizontal axis Y1 first Vertical axis Y2 second vertical axis Z horizontal axis θB Bragg angle

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 略水平に出射される放射光ビームの光路
側方に配置した基盤と、放射光ビームの光軸に交差して
上下に延びる第1の縦軸を中心に左右へ揺動可能に且つ
放射光ビームの光路に沿って前後へ移動可能に基盤に取
り付けた第1のホルダと、該第1のホルダよりも放射光
ビーム進行方向下流側に位置し且つ第1の縦軸に平行な
第2の縦軸を中心に左右へ揺動可能に基盤に取り付けた
第2のホルダと、放射光ビームが結晶面に斜入射し得る
ように第1のホルダに装着され且つブラッグ角に応じた
波長領域の光を反射する第1の結晶体と、該第1の結晶
体からの出射光が結晶面に斜入射し得るように第2のホ
ルダに装着され且つブラッグ角に応じた波長領域の光を
単色光ビームとして反射する第2の結晶体とを備え、放
射光ビームの光軸に対して直角に延び且つ第2の縦軸に
直交する水平軸を中心に基盤及び両ホルダが一体的に前
後へ傾動し得るように構成された分光器において、基盤
に対する各ホルダの左右への揺動角が0°に設定される
基準位置で、ブラッグ角がその設定範囲の略中央値にな
るように、結晶体をホルダに装着したことを特徴とする
分光器。
1. A base disposed on the side of an optical path of a radiation light beam emitted substantially horizontally, and capable of swinging left and right about a first vertical axis which extends vertically up and down across the optical axis of the radiation light beam. A first holder attached to the base so as to be movable back and forth along the optical path of the emitted light beam, and a first holder which is located downstream of the first holder in the traveling direction of the emitted light beam and parallel to the first longitudinal axis. A second holder attached to the base so as to be able to swing left and right about a second vertical axis, and mounted on the first holder so that the radiated light beam can be obliquely incident on the crystal plane and according to the Bragg angle. Crystal body that reflects light in the wavelength region, and a wavelength region that is mounted on the second holder and that corresponds to the Bragg angle so that light emitted from the first crystal body can obliquely enter the crystal plane. And a second crystal body that reflects the light as a monochromatic light beam. In a spectroscope configured so that the base and both holders can be integrally tilted back and forth about a horizontal axis that extends at right angles to the base and that is orthogonal to the second vertical axis, the right and left swing of each holder with respect to the base is provided. A spectroscope characterized in that a crystal is mounted on a holder such that a Bragg angle is substantially at a center value of a set range at a reference position where a moving angle is set to 0 °.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101475693B1 (en) * 2013-10-16 2014-12-23 주식회사 벡트론 Monochromator for obtaining high resolution x-ray image

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