JP2001065509A - Slide table reciprocating device - Google Patents

Slide table reciprocating device

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JP2001065509A
JP2001065509A JP23944499A JP23944499A JP2001065509A JP 2001065509 A JP2001065509 A JP 2001065509A JP 23944499 A JP23944499 A JP 23944499A JP 23944499 A JP23944499 A JP 23944499A JP 2001065509 A JP2001065509 A JP 2001065509A
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JP
Japan
Prior art keywords
slide table
piston
tube
rail member
reciprocating device
Prior art date
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Pending
Application number
JP23944499A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akiyoshi Horikawa
昭芳 堀川
Fumie Sakurai
史恵 桜井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koganei Corp
Original Assignee
Koganei Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JP2001065509A publication Critical patent/JP2001065509A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To downsize a slide table driven in a desired reciprocating stroke by magnetically coupling a piston built in a tube with the slide table. SOLUTION: A slide table 26 for supporting objects to be conveyed such as work-pieces and tools is mounted on a rail member 11 with U-shaped cross section for free reciprocation in a linear direction. Between end plates 13 at both ends of the rail member 11, a tube 16 is provided which is equipped with a piston therein for free reciprocation. A piston is driven by providing fluid to a fluid chamber in the tube 16. The piston has a permanent magnet 19 for driving, and is magnetically coupled with a driven member 33 so as to transmit the piston's movement to the slide table 26 via magnetic force.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はスライドテーブルを
流体圧により直線方向に往復動するようにし、スライド
テーブルに配置されたワークや治工具などの被搬送物を
移動するようにしたスライドテーブル往復動装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reciprocating slide table in which a slide table is reciprocated in a linear direction by a fluid pressure, and a conveyed object such as a work or a jig disposed on the slide table is moved. Related to the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧縮空気を駆動媒体としてスライドテー
ブルを直線方向に往復動するようにし、スライドテーブ
ルの上に配置されたワークや治工具などの被搬送物を移
動させるためにスライドテーブル往復動装置が使用され
ている。
2. Description of the Related Art A slide table reciprocating device for reciprocating a slide table in a linear direction by using compressed air as a drive medium and for moving a conveyed object such as a work or a jig disposed on the slide table. Is used.

【0003】このような往復動装置としては、シリンダ
室を有するシリンダブロックに設けられたガイドレール
に沿ってワークテーブルとも言われるスライドテーブル
を往復動自在に装着し、シリンダ室内を往復動するピス
トンにより駆動されるピストンロッドをスライドテーブ
ルに連結し、空気圧によってスライドテーブルを往復動
するようにしたものがあり、このタイプの往復動装置は
ロッドスライダとして知られている。
As such a reciprocating device, a slide table, also called a work table, is reciprocally mounted along a guide rail provided on a cylinder block having a cylinder chamber, and a piston reciprocates in the cylinder chamber. There is a type in which a driven piston rod is connected to a slide table so as to reciprocate the slide table by air pressure, and this type of reciprocating device is known as a rod slider.

【0004】このように、ピストンロッドによりスライ
ドテーブルを駆動するようにした場合には、スライドテ
ーブルがシリンダブロックの端面からせり出すことにな
るので、スライドテーブルは被搬送物が配置される部分
の面積よりも大きくしなければならず、装置全体が大き
くなってしまう。
When the slide table is driven by the piston rod as described above, the slide table protrudes from the end face of the cylinder block. Must also be made large, and the whole device becomes large.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】スライドテーブルをこ
れを支持するガイドレールの全長内で直線方向に往復動
するようにするために、ガイドレールを有する装置本体
にスリット式のロッドレスシリンダを取り付けるように
したタイプのスライドテーブル往復動装置が開発されて
いる。このタイプの装置にあっては、スライドテーブル
はガイドレールの端部から外方にせり出すことはなく、
スライドテーブルを小さくすることが可能となるが、ス
リット式のロッドレスシリンダは構造が複雑となり、製
造コストが高くなる。
In order to make the slide table reciprocate linearly within the entire length of the guide rail supporting the slide table, a slit type rodless cylinder is mounted on the apparatus body having the guide rail. A slide table reciprocating device of the type described above has been developed. In this type of device, the slide table does not protrude outward from the end of the guide rail,
Although the size of the slide table can be reduced, the structure of the slit type rodless cylinder becomes complicated, and the manufacturing cost increases.

【0006】本発明の目的は、チューブ内に組み込まれ
たピストンとスライドテーブルとを磁気結合させること
により、所望の往復動ストロークの範囲で駆動されるス
ライドテーブルを小型化し得るようにすることにある。
It is an object of the present invention to reduce the size of a slide table driven within a desired reciprocating stroke range by magnetically coupling a piston incorporated in a tube and a slide table. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のスライドテーブ
ル往復動装置は、底壁部とこれの両側に設けられた側壁
部とを有し、断面U字形状のレール部材と、前記レール
部材に沿って直線方向に往復動自在に装着されたスライ
ドテーブルと、前記レール部材の両端部のエンドプレー
トに取り付けられたチューブと、前記チューブ内に往復
動自在に装着されたピストンと、前記チューブの外側に
前記チューブに沿って往復動自在に装着されるととも
に、前記スライドテーブルに取り付けられて前記ピスト
ンと磁気結合された従動側部材と、前記チューブ内の前
記ピストンの両側に形成された流体室に連通させて形成
された給排ポートとを有し、前記ピストンと前記スライ
ドテーブルとを磁気結合させて前記ピストンの移動を前
記スライドテーブルに伝達するようにしたことを特徴と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION A slide table reciprocating device of the present invention has a bottom wall and side walls provided on both sides of the bottom wall. A slide table mounted reciprocally in a linear direction along a tube, a tube mounted on end plates at both ends of the rail member, a piston mounted reciprocally in the tube, and an outer side of the tube And a driven member attached to the slide table and magnetically coupled to the piston, and communicates with a fluid chamber formed on both sides of the piston in the tube. And a supply / discharge port formed so as to magnetically couple the piston and the slide table to move the piston. Characterized by being adapted to transmit.

【0008】本発明のスライドテーブル往復動装置にお
いては、前記レール部材の前記側壁部に形成された案内
溝に接触するボールを有するガイド部材を介して前記ス
ライドテーブルを前記レール部材に往復動自在に装着す
るようにしている。また、本発明のスライドテーブル往
復動装置においては、前記スライドテーブルのガイド中
心と前記ピストンの駆動中心とを前記レール部材の幅方
向中心部にほぼ一致させるようにしている。
In the slide table reciprocating device according to the present invention, the slide table can be reciprocated to the rail member via a guide member having a ball contacting a guide groove formed in the side wall of the rail member. I am trying to attach it. Further, in the slide table reciprocating device of the present invention, the guide center of the slide table and the drive center of the piston are made to substantially coincide with the center in the width direction of the rail member.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の一実施の形態であるスライ
ドテーブル往復動装置を示す一部省略斜視図であり、図
2は図1の正面図であり、図3は図2におけるA−A線
に沿う断面図であり、図4は図3におけるB−B線に沿
う断面図である。
FIG. 1 is a partially omitted perspective view showing a slide table reciprocating device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along a line BB in FIG. 3.

【0011】この往復動装置は、図3に示すように、底
壁部11aとこの両側に設けられた側壁部11b,11
cとを有し断面U字形状となったトラックレールつまり
レール部材11を備え、レール部材11が装置本体を構
成している。レール部材11の両端部にはエンドプレー
ト12,13がそれぞれ複数の固定ねじ14により取り
付けられており、両方のエンドプレート12,13の間
には円形のチューブ16が取り付けられている。
As shown in FIG. 3, the reciprocating device comprises a bottom wall 11a and side walls 11b, 11b provided on both sides thereof.
c, a track rail having a U-shaped cross section, that is, a rail member 11 is provided, and the rail member 11 constitutes an apparatus main body. End plates 12 and 13 are respectively attached to both ends of the rail member 11 with a plurality of fixing screws 14, and a circular tube 16 is attached between both end plates 12 and 13.

【0012】チューブ16の一端部内には、図4に示す
ように、補強用の芯金17が嵌合されており、チューブ
16と芯金17の端部はエンドプレート12に形成され
た凹部内に嵌合されている。同様に、チューブ16の端
部内には同様の他の芯金が嵌合されており、チューブ1
6と芯金の端部はエンドプレート13に形成された凹部
内に嵌合されている。
As shown in FIG. 4, a reinforcing core 17 is fitted into one end of the tube 16, and the ends of the tube 16 and the core 17 are formed in recesses formed in the end plate 12. Is fitted. Similarly, another similar metal core is fitted in the end of the tube 16 and the tube 1
The end of the metal core 6 is fitted into a recess formed in the end plate 13.

【0013】チューブ16内には往復動自在にピストン
18が装着され、ピストン18には図3および図4に示
すように永久磁石19が設けられている。ピストン18
は、それぞれウエアーリングとシール部材が設けられた
2つのピストン要素18a,18bと、これらの間に設
けられる複数のリング状の永久磁石19と磁性材料製の
複数のプレート21とを有し、これらは連結ロッド22
により組み付けられており、この連結ロッド22の両端
部には雄ねじ部が形成されている。
A piston 18 is reciprocally mounted in the tube 16, and a permanent magnet 19 is provided on the piston 18, as shown in FIGS. Piston 18
Has two piston elements 18a and 18b each provided with a wear ring and a seal member, a plurality of ring-shaped permanent magnets 19 provided between them, and a plurality of plates 21 made of a magnetic material. Is the connecting rod 22
The connecting rod 22 has external thread portions at both ends.

【0014】チューブ16内にはピストン18の両側に
それぞれ空気圧室23a,23bが形成されている。一
方の空気圧室23aに外部から圧縮空気を供給するとと
もに内部の空気を排出するために、空気圧室23aに連
通させてエンドプレート12には給排ポート24aが形
成され、他方の空気圧室23bに外部から圧縮空気を供
給するとともに内部の空気を排出するために、空気圧室
23bに連通させてエンドプレート13には給排ポート
24bが形成されている。
In the tube 16, pneumatic chambers 23a and 23b are formed on both sides of the piston 18, respectively. A supply / discharge port 24a is formed in the end plate 12 in communication with the pneumatic chamber 23a to supply compressed air to the one pneumatic chamber 23a from the outside and to discharge the internal air. A supply / discharge port 24b is formed in the end plate 13 so as to communicate with the pneumatic chamber 23b in order to supply compressed air from and to discharge the internal air.

【0015】レール部材11の側壁部11b,11cの
内面には断面半円形のガイド溝11dが側壁部11b,
11cの一端から他端にまで形成されている。レール部
材11には、図3に示すように、ガイド部材25が直線
方向に往復動自在に装着されており、このガイド部材2
5内を循環するように組み込まれたボールがガイド溝1
1dに接触するようになっている。
A guide groove 11d having a semicircular cross section is formed on the inner surface of the side wall portions 11b and 11c of the rail member 11.
11c is formed from one end to the other end. As shown in FIG. 3, a guide member 25 is mounted on the rail member 11 so as to be able to reciprocate linearly.
5 are circulated in the guide groove 1
1d.

【0016】ガイド部材25にはスライドテーブル26
が取り付けられており、スライドテーブル26はガイド
部材25を介してレール部材11に往復動自在に支持さ
れている。スライドテーブル26は薄肉の中央部26a
と、幅方向両端部に一体に形成された肉厚の支持部26
bとを有している。図1および図3に示すように、中央
部26aはエンドプレート12,13にねじ止めされた
カバー31により覆われており、支持部26bはカバー
31の側面から両側に突出するとともに、カバー31よ
りも上方に突出している。支持部26bに形成されたね
じ孔32に結合されるねじ部材によってスライドテーブ
ル26に図示しない支持部材を取り付け、その支持部材
の上にワークや治工具などを配置してスライドテーブル
26により搬送することができる。
The guide member 25 has a slide table 26
The slide table 26 is supported by the rail member 11 via the guide member 25 so as to be reciprocally movable. The slide table 26 has a thin central portion 26a.
And a thick supporting portion 26 integrally formed at both ends in the width direction.
b. As shown in FIGS. 1 and 3, the central portion 26 a is covered with a cover 31 screwed to the end plates 12 and 13, and the support portions 26 b project from both sides from the side surface of the cover 31, and extend from the cover 31. Also project upward. A support member (not shown) is attached to the slide table 26 by a screw member coupled to a screw hole 32 formed in the support portion 26b, and a work, a jig, a tool, or the like is arranged on the support member and transported by the slide table 26. Can be.

【0017】スライドテーブル26には、永久磁石から
なる従動側部材33が装着されており、この従動側部材
33は駆動側の永久磁石19に磁気結合されてピストン
18の移動に追従移動する。従動側部材33は駆動側の
永久磁石19に対応した厚みのリング状となって複数個
設けられており、従動側部材33の間には磁性材料製の
リング34が挟み付けられている。ただし、ピストン1
8と従動側部材33は、相互に磁気結合されていれば、
従動側部材33として永久磁石を使用することなく、磁
性材料を使用するようにしても良く、従動側部材33を
永久磁石としてピストン18に磁性材料を組み込むよう
にしても良い。
A driven member 33 made of a permanent magnet is mounted on the slide table 26. The driven member 33 is magnetically coupled to the drive-side permanent magnet 19 and moves following the movement of the piston 18. A plurality of driven members 33 are provided in a ring shape having a thickness corresponding to the permanent magnets 19 on the driving side, and a ring 34 made of a magnetic material is sandwiched between the driven members 33. However, piston 1
8 and the driven member 33 are magnetically coupled to each other,
Instead of using a permanent magnet as the driven member 33, a magnetic material may be used, or a magnetic material may be incorporated into the piston 18 using the driven member 33 as a permanent magnet.

【0018】したがって、一方の給排ポート24aから
空気圧を空気圧室23a内に供給すると、ピストン18
は図2において左側から右側に駆動され、ピストン18
に磁気的に結合された従動側部材33を介してスライド
テーブル26がピストン18に追従移動することにな
る。このときには、他方の空気圧室23b内の空気は給
排ポート24bから外部に排出される。スライドテーブ
ル26を逆方向に駆動する際には、給排ポート24bか
ら圧縮空気を供給し、給排ポート24aから空気を排出
することになる。
Therefore, when air pressure is supplied from one supply / discharge port 24a into the air pressure chamber 23a, the piston 18
Is driven from left to right in FIG.
The slide table 26 follows the piston 18 via the driven-side member 33 magnetically coupled to the piston 18. At this time, the air in the other air pressure chamber 23b is discharged to the outside from the supply / discharge port 24b. When the slide table 26 is driven in the reverse direction, compressed air is supplied from the supply / discharge port 24b, and air is discharged from the supply / discharge port 24a.

【0019】このように、スライドテーブル26はレー
ル部材11に支持されて往復動するようになっているの
で、スライドテーブル26に加わる荷重はレール部材1
1にガイド部材25を介して支持されることになる。こ
れにより、チューブ16にはスライドテーブル26に作
用する荷重が加わることなく、チューブ16はピストン
18を案内する機能のみを有しているので、チューブ1
6の肉厚を薄くすることができ、駆動側と従動側の永久
磁石19,38の磁気的結合力を高めることができる。
As described above, since the slide table 26 is supported by the rail member 11 and reciprocates, the load applied to the slide table 26 is limited to the rail member 1.
1 is supported via the guide member 25. Thus, the tube 16 has only a function of guiding the piston 18 without applying a load acting on the slide table 26 to the tube 16.
6 can be made thinner, and the magnetic coupling force between the drive-side and driven-side permanent magnets 19, 38 can be increased.

【0020】図3に示すように、ガイド部材25内を循
環するボールがガイド溝11dに接触する位置をO1 ,
O2 とすると、これらの中心のガイド中心Oは、ピスト
ン18の中心Pと装置の幅方向の中心位置において一致
することになり、しかも、スライドテーブル26とガイ
ド部材25の中間にピストン18が位置することから、
ピストン18を介してスライドテーブル26を駆動する
際に、スライドテーブル26には幅方向に推力が偏位す
ることなく、バランス良くスライドテーブル26を駆動
することができる。これにより、スライドテーブル26
を円滑に駆動することが可能となる。
As shown in FIG. 3, the position at which the ball circulating in the guide member 25 contacts the guide groove 11d is O1,
If O2 is set, the guide center O of these centers coincides with the center P of the piston 18 at the center position in the width direction of the apparatus, and the piston 18 is located between the slide table 26 and the guide member 25. From that
When driving the slide table 26 via the piston 18, the thrust is not deviated in the width direction of the slide table 26, and the slide table 26 can be driven in a well-balanced manner. Thereby, the slide table 26
Can be driven smoothly.

【0021】スライドテーブル26が所定の往復動位置
となったことを検出するために、レール部材11の両方
の側壁部11b,11cの外面にはそれぞれセンサプレ
ート35がねじ止めされており、それぞれのセンサプレ
ート35には2つずつ断面U字形状のセンサ溝36が形
成されている。
In order to detect that the slide table 26 has reached the predetermined reciprocating position, sensor plates 35 are screwed to the outer surfaces of both side walls 11b and 11c of the rail member 11, respectively. The sensor plate 35 is formed with two sensor grooves 36 each having a U-shaped cross section.

【0022】スライドテーブル26にはセンサブラケッ
ト37が2つ設けられており、それぞれのセンサブラケ
ット37には永久磁石38が組み込まれるようになって
いる。それぞれのセンサ溝36には、永久磁石38の磁
力に感応する磁気センサが組み付けられるようになって
おり、スライドテーブル26の位置を往復動ストローク
端の位置とその中間の2つの位置との最大で4つの位置
を検出することができる。ただし、1つのセンサのみ、
あるいは2ないし3つのセンサを使用するようにしても
良い。
The slide table 26 is provided with two sensor brackets 37, and each sensor bracket 37 has a permanent magnet 38 incorporated therein. A magnetic sensor sensitive to the magnetic force of the permanent magnet 38 is assembled in each sensor groove 36, and the position of the slide table 26 is set at the maximum between the position of the reciprocating stroke end and the two intermediate positions. Four positions can be detected. However, only one sensor,
Alternatively, two or three sensors may be used.

【0023】それぞれのエンドプレート12,13に
は、スライドテーブル26が往復動ストローク端の位置
まで移動したときに、その位置を規制するためのストッ
パ41と、ストローク端に接近した時の衝撃を吸収する
ためのショックアブソーバ42とが取り付けられてい
る。
Each of the end plates 12 and 13 has a stopper 41 for regulating the position of the slide table 26 when the slide table 26 moves to the end of the reciprocating stroke, and absorbs an impact when approaching the stroke end. And a shock absorber 42 for performing the operation.

【0024】図5は本発明の他の実施の形態であるスラ
イドテーブル往復動装置における図3と同様の部分を示
す断面図である。この場合には、ガイド溝11dに接触
するボールが組み込まれたガイド部材25に従動側部材
33を設けるようにしており、ピストン18の駆動中心
とガイド部材25のガイド中心とがレール部材11の幅
方向と上下方向とでほぼ一致している。
FIG. 5 is a sectional view showing the same part as that of FIG. 3 in a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention. In this case, the guide member 25 in which a ball that comes into contact with the guide groove 11 d is incorporated is provided with a driven member 33, and the drive center of the piston 18 and the guide center of the guide member 25 correspond to the width of the rail member 11. The direction and the vertical direction are almost the same.

【0025】図6は本発明の他の実施の形態であるスラ
イドテーブル往復動装置を示す断面図であり、この場合
には、従動側部材33が設けられたガイド部材25a
と、レール部材11に沿って往復動するガイド部材25
bの2つのガイド部材を有しており、ガイド部材25a
はレール部材11の上方に突出して配置されている。
FIG. 6 is a sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention. In this case, a guide member 25a provided with a driven member 33 is provided.
And a guide member 25 reciprocating along the rail member 11
b and two guide members 25a
Are arranged to protrude above the rail member 11.

【0026】図7は本発明の他の実施の形態であるスラ
イドテーブル往復動装置を示す断面図であり、この場合
には、図6に示した場合と同様に、2つのガイド部材2
5a,25bを有し、ガイド部材25aにはスライドテ
ーブル26が一体となっている。
FIG. 7 is a sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention. In this case, similarly to the case shown in FIG.
5a and 25b, and the slide table 26 is integrated with the guide member 25a.

【0027】図8は本発明の他の実施の形態であるスラ
イドテーブル往復動装置を示す断面図であり、この場合
には、チューブ16がレール部材11の底部側に設けら
れ、チューブ16の外側に設けられた従動側部材33に
連結されるガイド部材25は、レール部材11の開口部
側に設けられている。ガイド部材25には、図示しない
スライドテーブル26が一体的あるいは別部品として取
り付けられることになる。
FIG. 8 is a sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention. In this case, a tube 16 is provided on the bottom side of the rail member 11 and the outside of the tube 16 is provided. The guide member 25 connected to the driven side member 33 provided on the rail member 11 is provided on the opening side of the rail member 11. A slide table 26 (not shown) is attached to the guide member 25 integrally or as a separate part.

【0028】なお、図5〜図8にあっては、図1〜図4
に示した実施の形態におけるセンサプレート35とセン
サブラケット37は省略されており、共通する部材には
同一の符号が付されている。
In FIGS. 5 to 8, FIGS.
The sensor plate 35 and the sensor bracket 37 in the embodiment shown in (1) are omitted, and the same members are denoted by the same reference numerals.

【0029】本発明は前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
The present invention is not limited to the above embodiment, and it goes without saying that various changes can be made without departing from the spirit of the present invention.

【0030】たとえば、図示するスライドテーブル往復
動装置にあっては、スライドテーブル26を空気圧によ
って駆動するようにしているが、油圧により作動するよ
うにしても良い。また、断面U字形状のレール部材11
の底壁部11aにレールを設け、このレールに往復動自
在にガイド部材を装着するようにしても良く、レールを
2本設けるようにしても良い。
For example, in the illustrated slide table reciprocating apparatus, the slide table 26 is driven by air pressure, but may be operated by hydraulic pressure. Also, a rail member 11 having a U-shaped cross section
A rail may be provided on the bottom wall portion 11a, and a guide member may be mounted on the rail so as to be reciprocally movable, or two rails may be provided.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、チューブ内に軸方向に
往復動自在に設けられたピストンと、チューブの外側の
従動側部材とを磁気結合させ、従動側部材をスライドテ
ーブルに取り付けて、ピストンにより従動側部材を介し
てスライドテーブルを駆動するようにしたので、スライ
ドテーブルはレール部材の端部から外方にせり出すこと
なく、往復動装置の小型化を達成することができる。ス
ライドテーブルをレール部材に往復動自在に装着するこ
とによって、スライドテーブルに加わる荷重をレール部
材に支持させることができ、流体圧はピストンを介して
スライドテーブルを駆動するための推力のみで良く、チ
ューブを薄くすることができる。ピストンによる駆動中
心位置とガイド部材によるスライドテーブルのガイド中
心位置とを一致させることができるので、往復動バラン
スを向上させて、円滑にスライドテーブルを往復動する
ことができる。また、ガイド部材を直接ベース部材とし
て使用することから、スライドテーブルの往復動時にお
ける走行精度を高めることができる。
According to the present invention, the piston provided in the tube so as to be reciprocally movable in the axial direction and the driven member outside the tube are magnetically coupled, and the driven member is attached to the slide table. Since the slide table is driven by the piston via the driven-side member, the slide table does not protrude outward from the end of the rail member, so that the size of the reciprocating device can be reduced. By mounting the slide table reciprocally on the rail member, the load applied to the slide table can be supported by the rail member, and the fluid pressure need only be thrust for driving the slide table via the piston. Can be made thinner. Since the center position of the drive by the piston and the center position of the guide of the slide table by the guide member can be matched, the reciprocating balance can be improved and the slide table can be smoothly reciprocated. Further, since the guide member is used directly as the base member, it is possible to improve the traveling accuracy when the slide table reciprocates.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態であるスライドテーブル
往復動装置を示す一部省略斜視図である。
FIG. 1 is a partially omitted perspective view showing a slide table reciprocating device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の正面図である。FIG. 2 is a front view of FIG.

【図3】図2におけるA−A線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2;

【図4】図3におけるB−B線に沿う断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG. 3;

【図5】本発明の他の実施の形態であるスライドテーブ
ル往復動装置における図3と同様の部分を示す断面図で
ある。
FIG. 5 is a sectional view showing a part similar to FIG. 3 in a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention.

【図6】本発明の他の実施の形態であるスライドテーブ
ル往復動装置を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施の形態であるスライドテーブ
ル往復動装置を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施の形態であるスライドテーブ
ル往復動装置を示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing a slide table reciprocating device according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 レール部材 11a 底壁部 11b,11c 側壁部 11d ガイド溝 12,13 エンドプレート 16 チューブ 18 ピストン 19 駆動側の永久磁石 23a,23b 空気圧室 24a,24b 給排ポート 25 ガイド部材 26 スライドテーブル 31 カバー 33 従動側部材 35 センサプレート 36 センサ溝 37 センサブラケット 38 永久磁石 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Rail member 11a Bottom wall part 11b, 11c Side wall part 11d Guide groove 12, 13 End plate 16 Tube 18 Piston 19 Drive side permanent magnet 23a, 23b Pneumatic chamber 24a, 24b Supply / discharge port 25 Guide member 26 Slide table 31 Cover 33 Driven member 35 Sensor plate 36 Sensor groove 37 Sensor bracket 38 Permanent magnet

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 底壁部とこれの両側に設けられた側壁部
とを有し、断面U字形状のレール部材と、 前記レール部材に沿って直線方向に往復動自在に装着さ
れたスライドテーブルと、 前記レール部材の両端部のエンドプレートに取り付けら
れたチューブと、 前記チューブ内に往復動自在に装着されたピストンと、 前記チューブの外側に前記チューブに沿って往復動自在
に装着されるとともに、前記スライドテーブルに取り付
けられて前記ピストンと磁気結合された従動側部材と、 前記チューブ内の前記ピストンの両側に形成された流体
室に連通させて形成された給排ポートとを有し、 前記ピストンと前記スライドテーブルとを磁気結合させ
て前記ピストンの移動を前記スライドテーブルに伝達す
るようにしたことを特徴とするスライドテーブル往復動
装置。
1. A slide table having a bottom wall and side walls provided on both sides thereof, a rail member having a U-shaped cross section, and a slide table mounted reciprocally in a linear direction along the rail member. A tube attached to end plates at both ends of the rail member; a piston reciprocally mounted in the tube; and a piston reciprocally mounted along the tube outside the tube. A driven-side member attached to the slide table and magnetically coupled to the piston, and a supply / discharge port formed in communication with fluid chambers formed on both sides of the piston in the tube; A slide table, wherein a piston and the slide table are magnetically coupled to each other to transmit movement of the piston to the slide table. Reciprocating device.
【請求項2】 請求項1記載のスライドテーブル往復動
装置において、前記レール部材の前記側壁部に形成され
た案内溝に接触するボールを有するガイド部材を介して
前記スライドテーブルを前記レール部材に往復動自在に
装着するようにしたことを特徴とするスライドテーブル
往復動装置。
2. The slide table reciprocating device according to claim 1, wherein the slide table reciprocates to the rail member via a guide member having a ball that contacts a guide groove formed in the side wall of the rail member. A slide table reciprocating device characterized by being movably mounted.
【請求項3】 請求項1または2記載のラスイドテーブ
ル往復動装置において、前記スライドテーブルのガイド
中心と前記ピストンの駆動中心とを前記レール部材の幅
方向中心部にほぼ一致させたことを特徴とするスライド
テーブル往復動装置。
3. The reciprocating device according to claim 1, wherein a guide center of the slide table and a drive center of the piston substantially coincide with a center of the rail member in a width direction. Slide table reciprocating device.
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