JP2001064424A - Transparent gas barrier film - Google Patents

Transparent gas barrier film

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JP2001064424A
JP2001064424A JP2000204117A JP2000204117A JP2001064424A JP 2001064424 A JP2001064424 A JP 2001064424A JP 2000204117 A JP2000204117 A JP 2000204117A JP 2000204117 A JP2000204117 A JP 2000204117A JP 2001064424 A JP2001064424 A JP 2001064424A
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film
gas barrier
thin film
aluminum oxide
specific gravity
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JP2000204117A
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Japanese (ja)
Inventor
Naganari Matsuda
修成 松田
Yoshiharu Morihara
芳治 森原
Seiji Izeki
清司 伊関
Toshiyuki Otani
寿幸 大谷
Hideomi Kanbe
秀臣 神戸
Yozo Yamada
陽三 山田
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Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an aluminum oxide-based gas-barrier film excellent in retort resistance, flexing resistance and gas-barrier properties as a packing film. SOLUTION: This gas-barrier film has an aluminum oxide thin film formed on a plastic film. The thin film has 2.70-3.30 specific gravity. As a result, the gas-barrier film excellent in gas-barrier properties, having high retort resistance and flexing resistance, and thereby totally excellent in practical characteristics can be provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガスバリア性、耐
レトルト性、ゲルボ特性に優れた食品、医薬品、電子部
品等の気密性を要求される包装材料、または、ガス遮断
材料として優れた特性を持つフィルムに関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a gas barrier material, a retort-resistant material, and a gel material having excellent properties as a packaging material or a gas barrier material which is required to be airtight for food, medicine, electronic parts and the like. It is about the film that you have.

【0002】[0002]

【従来の技術】ガスバリア性のすぐれたフィルムとして
は、プラスチックフィルム上にアルミニウムを積層した
もの、塩化ビニリデンやエチレンビニールアルコール共
重合体をコーティングしたものが知られている。また、
無機薄膜を利用したものとしては、酸化珪素、酸化アル
ミニウム薄膜等を積層したものが知られている。
2. Description of the Related Art Films having excellent gas barrier properties include those obtained by laminating aluminum on a plastic film and those coated with vinylidene chloride or ethylene vinyl alcohol copolymer. Also,
As a device using an inorganic thin film, a device obtained by laminating a silicon oxide, an aluminum oxide thin film, or the like is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような従来のガス
バリア性フィルムは、次のような課題を有していた。ア
ルミニウム積層品は、経済性、ガスバリア性の優れたも
のではあるが、不透明なため、包装時の内容物が見え
ず、また、マイクロ波透過しないため電子レンジでの使
用ができない。塩化ビニリデンやエチレンビニールアル
コール共重合体をコーティングしたものは、水蒸気、酸
素等のガスバリア性が十分でなく、特に高温処理におい
てその低下が著しい。また、塩化ビニリデン系について
は、焼却時の塩素ガスの発生等があり、地球環境への影
響も懸念されている。
However, such a conventional gas barrier film has the following problems. Although the aluminum laminate is excellent in economics and gas barrier properties, it is opaque, so that the contents at the time of packaging cannot be seen, and it cannot be used in a microwave oven because it does not transmit microwaves. Those coated with vinylidene chloride or ethylene vinyl alcohol copolymer do not have sufficient gas barrier properties against water vapor, oxygen, etc., and the decrease is remarkable especially at high temperature treatment. In addition, with respect to vinylidene chloride, there is generation of chlorine gas at the time of incineration, and there is also a concern about the influence on the global environment.

【0004】特公昭51−48511号には、合成樹脂
体表面にSIxy(例えばSiO2)を蒸着したガスバ
リアフィルムが提案されているが、ガスバリア性の良好
なSiOx系(x=1.5〜1.8)は、やや褐色を有
しており、透明ガスバリアフィルムとしては、不十分な
ものである。一方、酸化アルミニウムを主体としたもの
としては、完全に無色透明であり、化学的にも安定で、
かつ、材料コストも安く、包装用ガスバリアフィルムと
して、優位にあるといえるが、しかし、(特開昭62−
101428)等に見られるものは、ガスバリア性が不
十分で、かつ耐屈曲性に問題がある。耐屈曲性は、成膜
後の後工程(ラミネート、印刷、製袋等)や取扱い等で
のバリア性の劣化に影響し、酸化アルミニウムの場合に
は、膜自身が脆いため、その取扱いに注意を要するとい
うものである。一般に、薄膜を用いたガスバリアフィル
ムでは、ボイル性、耐レトルト性を向上させるには、あ
る程度以上の薄膜の厚みが要求されるのに対し、耐屈曲
性等の機械特性の向上には、できるだけ薄い方がよいと
いう問題があり、酸化アルミニウム薄膜の場合、特に良
好な範囲が狭いという問題をかかえている。このよう
に、充分な酸素バリア性と耐レトルトを兼ね備え、更に
耐屈曲性の高い酸化アルミニウム系透明ガスバリアフィ
ルムはないのが現状である。
Japanese Patent Publication No. 51-48511 proposes a gas barrier film in which SI x O y (for example, SiO 2 ) is vapor-deposited on the surface of a synthetic resin body, but an SiO x system (x = 1) having good gas barrier properties is proposed. 0.5 to 1.8) have a slightly brown color, which is insufficient as a transparent gas barrier film. On the other hand, as a material mainly composed of aluminum oxide, it is completely colorless and transparent and chemically stable,
In addition, the material cost is low, and it can be said that it is superior as a gas barrier film for packaging.
101428) have insufficient gas barrier properties and have a problem in bending resistance. Flexibility affects the deterioration of barrier properties in the subsequent processes (lamination, printing, bag making, etc.) after film formation and handling, etc. In the case of aluminum oxide, the film itself is brittle, so care should be taken when handling it. Is required. In general, a gas barrier film using a thin film requires a certain thickness of the thin film in order to improve the boilability and retort resistance. On the other hand, in order to improve mechanical properties such as bending resistance, the gas barrier film is as thin as possible. However, in the case of an aluminum oxide thin film, there is a problem that the preferable range is particularly narrow. As described above, at present, there is no aluminum oxide-based transparent gas barrier film having both sufficient oxygen barrier properties and retort resistance, and having high bending resistance.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、ガスバリア
性、耐レトルト性に優れ、かつ、耐屈曲性の高い酸化ア
ルミニウムガスバリアフィルムを提供せんとするもので
ある。すなわち、本発明は、プラスチックフィルム上に
酸化アルミニウム薄膜が形成されたガスバリアフィルム
において、該薄膜の比重が2.70〜3.30であるこ
とを特徴とするガスバリアフィルムである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an aluminum oxide gas barrier film which is excellent in gas barrier properties and retort resistance and has high bending resistance. That is, the present invention is a gas barrier film in which an aluminum oxide thin film is formed on a plastic film, wherein the specific gravity of the thin film is 2.70 to 3.30.

【0006】本発明でいうプラスチックフィルムとは、
有機高分子を溶融押出しをして、必要に応じ、長手方
向、および、または、幅方向に延伸、冷却、熱固定を施
したフィルムであり、有機高分子としては、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタート、ポリ
エチレン−2、6−ナフタレート、ナイロン6、ナイロ
ン4、ナイロン66、ナイロン12、ポリ塩化ビニー
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニールアルコール、全
芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポ
リエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリフェニレンス
ルフィド、ポリフェニレンオキサイドなどがあげられ
る。また、これらの(有機重合体)有機高分子は他の有
機重合体を少量共重合をしたり、ブレンドしたりしても
よい。
[0006] The plastic film referred to in the present invention is:
A film obtained by melt-extruding an organic polymer and stretching, cooling, and heat setting in the longitudinal direction and / or the width direction as necessary. Examples of the organic polymer include polyethylene, polypropylene, and polyethylene terephthalate. , Polyethylene-2,6-naphthalate, nylon 6, nylon 4, nylon 66, nylon 12, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, wholly aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, polyetherimide, polysulfone, Examples include polyphenylene sulfide and polyphenylene oxide. These (organic polymer) organic polymers may be copolymerized or blended in small amounts with other organic polymers.

【0007】さらにこの有機高分子には、公知の添加
剤、例えば、紫外線吸収剤、帯電防止剤、可塑剤、滑
剤、着色剤などが添加されていてもよく、その透明度は
特に限定するものではないが、透明ガスバリアフィルム
として使用する場合には、50%以上の透過率をもつも
のが好ましい。本発明のプラスチックフィルムは、本発
明の目的を損なわない限りにおいて、薄膜層を積層する
に先行して、該フィルムをコロナ放電処理、グロー放電
処理、その他の表面粗面化処理を施してもよく、また、
公知のアンカーコート処理、印刷、装飾が施されていて
もよい。本発明のプラスチックフィルムは、その厚さと
して5〜500μmの範囲が好ましく、さらに好ましく
は8〜300μmの範囲である。
Further, known additives such as an ultraviolet absorber, an antistatic agent, a plasticizer, a lubricant, and a coloring agent may be added to the organic polymer, and the transparency thereof is not particularly limited. However, when used as a transparent gas barrier film, those having a transmittance of 50% or more are preferred. The plastic film of the present invention may be subjected to corona discharge treatment, glow discharge treatment, or other surface roughening treatment prior to laminating the thin film layer, as long as the object of the present invention is not impaired. ,Also,
Known anchor coat treatment, printing, and decoration may be applied. The thickness of the plastic film of the present invention is preferably in the range of 5 to 500 μm, more preferably 8 to 300 μm.

【0008】本発明における酸化アルミニウム薄膜とは
Al、AlO、Al23等から成り立っていると考えら
れ、これらの比率も作成条件で異なる。この成分中に、
特性が損なわれない範囲で微量(全成分に対して高々3
%まで)の他成分を含んでもよい。該薄膜の厚さとして
は、特にこれを限定するものではないが、ガスバリア性
及び可尭性の点からは、50〜8000Åの範囲が好ま
しい。かかる酸化アルミニウム薄膜の作成には、真空蒸
着法、スパッタ−法、イオンプレ−テイングなどのPV
D法(物理蒸着法)、あるいは、CVD法(化学蒸着
法)などが適宜用いられる。例えば、真空蒸着法におい
ては、蒸着源材料としてAlやAl23等が用いられ、
また、加熱方式としては、抵抗加熱、高周波誘導加熱、
電子ビ−ム加熱等を用いることができる。また、反応性
ガスとして、酸素、窒素、水蒸気等を導入したり、オゾ
ン添加、イオンアシスト等の手段を用いた反応性蒸着を
用いてもよい。また、基板にバイアス等を加えたり、基
板温度を上昇、あるいは、冷却したり等、本発明の目的
を損なわない限りに於て、作成条件を変更してもよい。
スパッタ−法やCVD法等のほかの作成法でも同様であ
る。本発明品は、そのままで使用されてもよいが、他の
有機高分子のフィルム、または薄層をラミネートまたは
コーティングして使用してもよい。
The aluminum oxide thin film in the present invention is considered to be composed of Al, AlO, Al 2 O 3, etc., and their ratios also differ depending on the preparation conditions. In this ingredient,
Minor amount within the range where characteristics are not impaired (at most 3% for all components)
%). The thickness of the thin film is not particularly limited, but is preferably in the range of 50 to 8000 ° from the viewpoint of gas barrier properties and flexibility. For the preparation of such an aluminum oxide thin film, PV such as a vacuum deposition method, a sputtering method and an ion plating method is used.
Method D (physical vapor deposition), CVD (chemical vapor deposition), or the like is used as appropriate. For example, in a vacuum deposition method, Al or Al 2 O 3 or the like is used as a deposition source material,
The heating method includes resistance heating, high-frequency induction heating,
Electron beam heating or the like can be used. Further, oxygen, nitrogen, water vapor, or the like may be introduced as a reactive gas, or reactive vapor deposition using means such as ozone addition or ion assist may be used. Further, the production conditions may be changed as long as the object of the present invention is not impaired, such as applying a bias to the substrate, increasing the substrate temperature, or cooling.
The same applies to other production methods such as a sputtering method and a CVD method. The product of the present invention may be used as it is, or may be used by laminating or coating another organic polymer film or a thin layer.

【0009】本発明でいう比重とは、ある温度で、ある
体積を占める物質の質量と、それと同体積の標準物質の
質量(4℃における水)との比をいう。比重の測定は、
通常物体の質量と体積を測り、同体積の4℃の水の質量
との比を求めればよいが、本発明の薄膜の測定では、体
積の測定が困難である。そこで、まず基板から薄膜をは
がす、あるいは、基板のみを溶解することにより、薄膜
のみからなる単独膜の状態としたのちに、(JIS K
7112)にあるような比重測定法を用いることが望ま
しい。例えば、浮沈法では、試料を比重既知の溶液の中
に浸せきさせ、その浮沈状態から薄膜の比重を測定する
ことができる。この溶液としては、四塩化炭素とブロモ
ホルム、または、ヨウ化メチレンなどの混合液を用いる
ことができる。また、連続的な密度勾配をもつ溶液中に
単独膜を浸積させる密度勾配管法によっても比重の値を
測定できる。
The specific gravity referred to in the present invention refers to the ratio of the mass of a substance occupying a certain volume at a certain temperature to the mass of a standard substance having the same volume (water at 4 ° C.). The measurement of specific gravity is
Normally, the mass and volume of the object may be measured, and the ratio of the mass to the same volume of water at 4 ° C. may be determined. Then, first, the thin film is peeled off from the substrate or only the substrate is dissolved to form a single film consisting of only the thin film.
It is desirable to use a specific gravity measurement method as described in 7112). For example, in the flotation method, a sample is immersed in a solution having a known specific gravity, and the specific gravity of the thin film can be measured from the flotation state. As this solution, a mixed solution of carbon tetrachloride and bromoform, methylene iodide, or the like can be used. The specific gravity value can also be measured by a density gradient tube method in which a single film is immersed in a solution having a continuous density gradient.

【0010】このようにして得られた該薄膜の比重の値
が2.70よりも小さい場合、酸化アルミニウム薄膜の
構造が粗雑となり、充分なガスバリア性が得られない。
また、該薄膜の比重が3.30よりも大きい以上の場
合、成膜後の初期ガスバリア特性は優れているものの、
膜が硬くなりすぎ、機械特性、特にゲルボ特性が劣り、
処理後のガスバリア性の低下が大きく、ガスバリアフィ
ルムとしての使用に適していない。以上の理由からガス
バリアフィルムとして好ましい酸化硅素系薄膜の比重
は、2.70〜3.30であり、さらに好ましくは2.
80〜3.20である。
When the specific gravity value of the thin film thus obtained is smaller than 2.70, the structure of the aluminum oxide thin film becomes coarse and sufficient gas barrier properties cannot be obtained.
When the specific gravity of the thin film is more than 3.30, the initial gas barrier properties after film formation are excellent,
The film becomes too hard, and the mechanical properties, especially the gelbo properties, are inferior.
The gas barrier property after treatment is greatly reduced, and is not suitable for use as a gas barrier film. For the above reasons, the specific gravity of the silicon oxide-based thin film preferable as the gas barrier film is 2.70 to 3.30, and more preferably 2.70.
80 to 3.20.

【0011】次に実施例をあげて本発明を説明する。 実施例1 蒸着源として、3〜5mm程度の大きさの粒子状のAl
23(純度99.9%)を用い、電子ビ−ム蒸着法で、
12μm厚のPETフィルム(東洋紡績(株):E50
07)上に酸化アルミニウム系ガスバリア薄膜の形成を
行った。加熱源として、電子銃(以下EB銃)を用い、
エミッション電流を0.8〜1.8Aとした。フィルム
送り速度は、40〜100m/minと変化させ、30
0〜5000Å厚の膜を作った。又、蒸気圧は、酸素ガ
スの供給量を変え、1×10-5〜8×10-3Torrま
で条件を変えた。
Next, the present invention will be described with reference to examples. Example 1 As a deposition source, particulate Al having a size of about 3 to 5 mm
Using 2 O 3 (purity 99.9%), by electron beam evaporation,
12 μm thick PET film (Toyobo Co., Ltd .: E50
07), an aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed thereon. An electron gun (hereinafter, an EB gun) is used as a heating source,
The emission current was set to 0.8 to 1.8A. The film feed speed was changed from 40 to 100 m / min,
A 0-5000 mm thick film was made. The vapor pressure was changed by changing the supply amount of oxygen gas and changing the conditions from 1 × 10 −5 to 8 × 10 −3 Torr.

【0012】このようにして得られた膜の比重をPET
フィルムを溶解したのち、浮沈法で測定した。更に、こ
のPET上の複合膜に対し、また、厚さ40μmの未延
伸ポリプロピレンフィルム(OPPフィルム)を二液硬
化型ポリウレタン系接着剤(厚さ2μm)を用いて、ド
ライラミネ−トして、本発明応用の包装用プラスチック
フィルムを得た。この包装用フィルムに対して、レトル
ト処理(120度×30分)、または、ゲルボ処理を施
したのち、酸素バリア性を測定した。
The specific gravity of the film thus obtained is determined by PET.
After dissolving the film, the measurement was performed by the floatation / sedimentation method. Further, the unstretched polypropylene film (OPP film) having a thickness of 40 μm is dry-laminated with a two-component curing type polyurethane adhesive (thickness of 2 μm) to the composite film on the PET, and A plastic film for packaging for application of the invention was obtained. After subjecting this packaging film to retort treatment (120 degrees × 30 minutes) or gelbo treatment, the oxygen barrier properties were measured.

【0013】・酸素透過率の測定方法 作成したガスバリアフィルムの酸素透過率を酸素透過率
測定装置(モダンコントロールズ社製 OX−TRAN
100)を用いて測定した。 ・耐屈曲疲労性(以下ゲルボ特性)のテスト方法 耐屈曲疲労性は、いわゆるゲルボフレックステスター
(理学工業(株)社製)を用いて評価した。条件として
は(MIL−B131H)で112inch×8inc
hの試料片を直径3(1/2)inchの円筒状とし、
両端を保持し、初期把持間隔7inchとし、ストロー
クの3(1/2)inchで、400度のひねりを加え
るものでこの動作の繰り返し往復運動を40回/min
の速さで、20℃、相対湿度65%の条件下で行った。
このようにして測定した酸素透過率は、1.0cc前後
と非常に優秀であった。さらに100回ゲルボ試験後の
結果も、2cc前後の上昇に留まり、総合特性の優れた
ガスバリアフィルムが得られた。
Oxygen Permeability Measurement Method The oxygen permeability of the prepared gas barrier film is measured by an oxygen permeability measuring device (OX-TRAN manufactured by Modern Controls).
100). Test method for flex fatigue resistance (hereinafter referred to as gelbo property) The flex fatigue resistance was evaluated using a so-called gelbo flex tester (manufactured by Rigaku Corporation). The conditions are (MIL-B131H) with 112 inch × 8 inch
h into a cylindrical shape having a diameter of 3 (1/2) inch,
Both ends are held, the initial gripping interval is 7 inches, the stroke is 3 (1/2) inch, and a twist of 400 degrees is applied. The reciprocating motion of this operation is repeated 40 times / min.
At a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 65%.
The oxygen transmittance measured in this way was very excellent, around 1.0 cc. Further, the result after 100 times of the gelbo test also showed a rise of only about 2 cc, and a gas barrier film having excellent overall characteristics was obtained.

【0014】比較例1 実施例1と同様にEB蒸着で酸化アルミニウム系ガスバ
リア薄膜の形成を行ない、得られたサンプルに対して、
比重測定およびレトルト処理、または、ゲルボ処理後の
酸素バリア性を測った。その結果、酸素バリア性、耐レ
トルト性、あるいは、ゲルボ特性のいずれかが不十分な
ものになり、総合判定で不良となった。
Comparative Example 1 An aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed by EB vapor deposition in the same manner as in Example 1.
Oxygen barrier properties after specific gravity measurement and retort treatment or gelbo treatment were measured. As a result, one of the oxygen barrier properties, retort resistance, and gelbo properties became insufficient, and the overall judgment was poor.

【0015】実施例2 蒸着源として、3〜5mm程度の大きさの粒子状のAl
(純度99.99%)を用い、高周波誘導加熱蒸着法
で、12μm厚のPETフィルム(東洋紡績(株):E
5100)上に酸化アルミニウム系ガスバリア薄膜の形
成を行った。その時の高周波電力を2〜5KWとし、フ
ィルム送り速度を20〜150m/minと変化させ、
500〜4000Å厚の膜を作った。蒸気圧は、酸素ガ
スの供給量を変えることで、1.0×10-5〜8×10
-3Torrまで条件を変化させた。このようにして得ら
れた膜の比重をPETフィルムを溶解したのち、測定し
た。以下(実施例1)と同様にして、包装用フィルムを
作り、酸素バリア性を測定した。
Example 2 As an evaporation source, particulate Al having a size of about 3 to 5 mm was used.
(Purity: 99.99%) and a high-frequency induction heating evaporation method using a PET film having a thickness of 12 μm (Toyobo Co., Ltd .: E
5100), an aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed. The high-frequency power at that time was set to 2 to 5 KW, and the film feed speed was changed to 20 to 150 m / min.
500-4000 mm thick films were made. The vapor pressure can be changed from 1.0 × 10 −5 to 8 × 10 by changing the supply amount of oxygen gas.
The conditions were changed to -3 Torr. The specific gravity of the thus obtained film was measured after dissolving the PET film. In the same manner as in the following (Example 1), a packaging film was prepared, and the oxygen barrier property was measured.

【0016】比較例2 実施例2と同様に高周波誘導加熱蒸着法で、酸化アルミ
ニウム系ガスバリア薄膜の形成を行ない、得られたサン
プルに対して、比重測定およびレトルト処理、または、
ゲルボ処理後の酸素バリア性を測った。その結果、酸素
バリア性、耐レトルト性、あるいは、ゲルボ特性のいず
れかが不十分なものになり、総合判定で不良となった。
Comparative Example 2 An aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed by a high-frequency induction heating vapor deposition method as in Example 2, and the obtained sample was subjected to specific gravity measurement and retort treatment, or
The oxygen barrier property after the gelbo treatment was measured. As a result, one of the oxygen barrier properties, retort resistance, and gelbo properties became insufficient, and the overall judgment was poor.

【0017】実施例3 Al23タ−ゲット(純度99.99%)を用い、高周
波スパッタ−法で、24μm厚のPETフィルム(東洋
紡績(株):E5000)上に酸化アルミニウム系ガス
バリア薄膜の形成を行った。フィルム送り速度は、0.
05〜2m/minと変化させ、500〜4000Å厚
の膜を作った。アルゴンガス及び、酸素ガスの供給量を
変え、酸化雰囲気、スパッタ−時の真空圧を変化させ
た。真空圧は2〜100mTorr、スパッタ−電力3
〜8KWとした。このようにして得られた膜の比重を測
定したのち、実施例1と同様に、包装用フィルムを作
り、酸素バリア性を測定した。
Example 3 Using an Al 2 O 3 target (purity: 99.99%), an aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed on a 24 μm thick PET film (Toyobo Co., Ltd .: E5000) by high frequency sputtering. Was formed. The film feed speed is 0.
The film thickness was changed from 0.5 to 2 m / min to form a film having a thickness of 500 to 4000 mm. The supply amounts of the argon gas and the oxygen gas were changed, and the oxidizing atmosphere and the vacuum pressure during sputtering were changed. Vacuum pressure: 2 to 100 mTorr, sputtering power: 3
88 KW. After measuring the specific gravity of the film thus obtained, a packaging film was prepared and the oxygen barrier properties were measured in the same manner as in Example 1.

【0018】比較例3 実施例3と同様に高周波スパッタ−法で、酸化アルミニ
ウム系ガスバリア薄膜の形成を行ない、得られたサンプ
ルに対して、比重測定およびレトルト処理、または、ゲ
ルボ処理後の酸素バリア性を測った。その結果、酸素バ
リア性、耐レトルト性、あるいは、ゲルボ特性のいずれ
かが不十分なものになり、総合判定で不良となった。
Comparative Example 3 An aluminum oxide-based gas barrier thin film was formed by high-frequency sputtering in the same manner as in Example 3, and the resulting sample was subjected to specific gravity measurement and retort treatment, or oxygen barrier after gelbo treatment. Sex was measured. As a result, one of the oxygen barrier properties, retort resistance, and gelbo properties became insufficient, and the overall judgment was poor.

【0019】実施例4、比較例4 ポリイミドフィルムの上にEB蒸着で(実施例1)と同
様に、粒状のAl23を蒸着源材料として、酸化アルミ
ニウム系ガスバリア膜の形成をおこなった。この時、蒸
着条件、基板温度(室温〜150度)等を変化させて、
比重を変えた膜を作成した。得られたサンプルの比重、
バリア性、及びゲルボ特性を測定したところ、比重の大
きすぎる膜は、バリア性はすぐれているものの、ゲルボ
特性による劣化が大きく、ガスバリア膜の特性としては
劣っていた。
Example 4 and Comparative Example 4 An aluminum oxide-based gas barrier film was formed on a polyimide film by EB vapor deposition using granular Al 2 O 3 as a vapor deposition source material as in Example 1. At this time, the deposition conditions, the substrate temperature (room temperature to 150 degrees) and the like are changed,
A film having a changed specific gravity was prepared. Specific gravity of the obtained sample,
When the barrier properties and the Guerbo properties were measured, the film having a too large specific gravity had excellent barrier properties, but was greatly deteriorated by the Guerbo properties, and was inferior in the properties of the gas barrier film.

【0020】[0020]

【発明の効果】プラスチックフィルム上に酸化アルミニ
ウム系薄膜が形成されたガスバリアフィルムにおいて、
該薄膜の比重を2.70〜3.30とするによって、ガ
スバリア性に優れ、また耐レトルト性、屈曲性の高い、
総合的に実用特性のすぐれた酸化アルミニウム系ガスバ
リアフィルムを提供できる。
The gas barrier film in which an aluminum oxide-based thin film is formed on a plastic film,
By setting the specific gravity of the thin film to 2.70 to 3.30, the gas barrier property is excellent, and the retort resistance and the flexibility are high.
An aluminum oxide-based gas barrier film having excellent practical characteristics can be provided.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】[0022]

【表2】 [Table 2]

【0023】[0023]

【表3】 [Table 3]

フロントページの続き (72)発明者 伊関 清司 滋賀県大津市堅田二丁目1番1号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 (72)発明者 大谷 寿幸 滋賀県大津市堅田二丁目1番1号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 (72)発明者 神戸 秀臣 滋賀県大津市堅田二丁目1番1号 東洋紡 績株式会社総合研究所内 (72)発明者 山田 陽三 滋賀県大津市堅田二丁目1番1号 東洋紡 績株式会社総合研究所内Continued on the front page (72) Inventor Seiji Iseki 2-1-1 Katata, Otsu-shi, Shiga Prefecture Inside Toyobo Co., Ltd. (72) Inventor Toshiyuki Otani 2-1-1 Katata, Otsu-shi, Shiga Toyobo Co., Ltd. (72) Inventor Hideomi Kobe 2-1-1 Katata, Otsu, Shiga Prefecture Toyobo Co., Ltd. (72) Inventor Yozo Yamada 2-1-1 Katata, Otsu City, Shiga Prefecture Toyobo Stock Inside the company research institute

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プラスチックフィルム上に酸化アルミニ
ウム薄膜が形成されたガスバリアフィルムにおいて、該
薄膜の比重が2.70〜3.30であることを特徴とす
る透明ガスバリアフィルム。
1. A gas barrier film in which an aluminum oxide thin film is formed on a plastic film, wherein the specific gravity of the thin film is 2.70 to 3.30.
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