JP2001058167A

JP2001058167A - 配管内の清掃方法及び治具

Info

Publication number: JP2001058167A
Application number: JP2000175494A
Authority: JP
Inventors: Kikusumi Harada; 喜久住原田; Noboru Komiya; 昇小宮
Original assignee: NIPPON BORUBOKKUSU KK
Current assignee: NIPPON BORUBOKKUSU KK
Priority date: 1999-06-14
Filing date: 2000-06-12
Publication date: 2001-03-06

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体工場等において、各種の原料を供給す
るための曲部や分岐のあるそして長い配管の内部を管を
分解、取り外し等することなく清掃する作業を容易にす
る。【解決手段】管内径に合わせて、ある程度伸縮可能な
フィン付球状弾性砥石を流体圧で管内を一端から他端ま
で圧送するに際して、挿入と圧送に便利な治具を使用す
る。この際、圧力源に接続される治具には、２重の安全
機構を設ける。また、多数の分岐がある場合には、一端
のみ開放しておき、他端は閉じておくだけでなく、圧送
方法やフィン付球状弾性砥石そのものに工夫を凝らす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、鋼管内の清掃に関し、
特に半導体工場等で化学物質等の供給、排出に使用され
る鋼管内の清掃に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体工場の天井には、各種
化学物質の供給、排出用の鋼管が数系統取り付けられて
いる。更に、これら各種の鋼管は広い工場内で複雑に分
岐したりしている。このため、これらの鋼管には多種の
継手が使用される。そして、この継手で代表的なものが
エルボまたはエルボティメスの継手である。

【０００３】ところで、これらの管内を清掃する必要が
生じることが少なからずあるが、その方法としては、エ
ルボを取り外し、例えば図１に示すような円形ブラシ
（フラップホイール）１０１又は椀形ブラシに長い柄１
０２をつけた治具を手で回転させて管内壁１１０に付
着、固着していた物質を擦り落として清掃するようにし
ていた。

【０００４】しかしこの方法では、直線部分の管内に固
着蓄積している塵埃等は除去できても、９０°エルボで
固定された部分より先の塵埃の除去はできない。このた
め、エルボのある所は常に取り外さねばならず、塵埃の
種類によっては危険なばかりか、塵埃の飛散防止の作業
等も必要であった。

【０００５】以下、更に図２、図３、図４、図５をも参
照しつつ、この塵埃の様子を詳しく説明する。

【０００６】図２は、図１に示す円形ブラシに換えて使
用される折り曲げブラシ１０３である。図３は、同じく
フレックスホーン型の塵埃除去具１０４である。図４
は、流体圧を使用するピッグテール方式の除去具１０５
である。図５は、同じく流体圧を使用するフィン付球状
弾性砥石１０６の構造を示す図である。

【０００７】以下、これらの治具を使用しての管内に固
着した塵埃の除去、管内の清掃につき、少し詳しく説明
する。

【０００８】図１に示すフラップホイールを使用する場
合には、この柄の長さは清掃する鋼管よりも長く、時に
は１００ｍ以上になることがある。

【０００９】そして、この柄の端部ひいては先端の円形
ブラシを回転しながら鋼管内１に挿入し、回転するフラ
ップホイール１０１の先端で管内に固着した塵埃を擦り
落とし、機械的に除去するものである。なおこの場合、
柄の長さが１０ｍ位までであれば端部の回転力は問題な
く他端のフラップホイールに伝達可能であるが、２０〜
３０ｍ以上となるとその適切な伝達は困難となる。特
に、人手による場合には、この困難性が増大する。

【００１０】図２に示す折り曲げブラシ１０３も同様で
あり、この場合は柄１０２を回転することによりその先
端の折れ曲げブラシ１０３の折れ曲がった刃先が遠心力
により直径が大きくなり、その大きくなった刃先で鋼管
の内面に付着した塵埃を削っていくこととなる。

【００１１】図３に示す通称フレックスホーン（ＦＬＥ
ＸＨＯＮＥ）１０４は、芯１０２０にワイヤーを円筒
状に巻き付けたものである。これも長尺の柄の先端に取
り付け、この柄を回転することにより遠心力でワイヤが
鋼管内壁面に擦れあたり、内壁面に固着している塵埃を
機械的に取り去って除去するものである。

【００１２】図４のピッグテール１０５は、先端部が鋼
管の内径より多少小さい直径の弾性体よりなる砲弾型の
工具であり、これを鋼管内に入れ込み、この入れ込んだ
端部より矢印方向に気体又は液体により圧を加えて送る
ことにより、多少径の増大した胴部が管内壁面１１０を
擦って清掃するものである。

【００１３】次に、図５に示すフィン付球状弾性砥石１
０６は、本願発明者等が既に日本国特許番号第２６１２
４７７号で権利化したものであり、後部に回転を与える
ためのフィン（一種の羽根若しくは突起）１０６１の付
ついた球状の弾性砥石を用いるものである。

【００１４】その使用方法は、鋼管内の一方の端部にこ
のフィン付球状の弾性砥石の挿入用兼加圧用具たるカム
ロックを固定し、このフィン付球状弾性砥石を管の一端
より管内へ挿入後、外部より気圧又は液圧を加え、さら
に必要に応じて他の一方の端部に吸引力を与えることに
より、鋼管内の挿入端部から他の出口側端部へこのフィ
ン付球状弾性砥石を圧送し、この圧送の際、フィン付球
状弾性砥石がその外周部で鋼管内面を回転しながら擦り
つけ、これにより内壁面に固着している塵埃１１１を除
去するものである。なおこの際、このフィン付球状弾性
砥石の表面には研磨材が固着されており、管内に固着し
た塵埃を一層確実に除去するようにしている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上説
明してきた従来の方法では、フィン付球状弾性砥石によ
る方法をのぞき、原則として配管用の鋼管が直管の部
分、場所にしか適用できない。このため、エルボ部分は
すべて取り外さねばならない。

【００１６】また、エルボ部分を取り外したときやその
ための作業中に、管内面に付着している塵埃としての化
学物質が発火したり、飛散したりしかねない。従って、
その除去、清掃や予防措置に時間を要することになる。
特に、半導体工場のクリーンルーム等は、清潔性に対す
る水準が高いため、除去、清掃や予防措置は面倒であ
る。

【００１７】また、作業者、車両の交通の邪魔にならな
いよう配管は天井付近に設けられるのが普通であるが、
そもそも天井付近にある配管を分解したり、清掃するこ
と自体が、使用される化学物質や塵埃や交通等の都合で
困難なことも多い。

【００１８】更に実際には、全ての配管が同一内径のこ
とは少ない。すなわち、例えば主管から分岐した配管で
は一般に管径が主管より小さくなるのが普通であり、更
に工場内配管では分岐が多数あるのが普通である。この
ため、多種の径の配管毎に別のサイズのものを用意する
必要がある。

【００１９】また、フィン付球状弾性砥石は、緩やかな
曲部は勿論のこと、たとえ９０°折曲したエルボの部分
であっても気体又は液体による圧送、吸引は可能であ
り、更にある程度の範囲内で管径の相違にも対応可能で
あるが、後部に生ゴムで砥石粒を固めて製造した球状弾
性砥石部を回転させるためのフィンがあるため、そのま
まではその内径が球状弾性砥石部の直径より小さい管へ
の挿入に多少の馴れが必要である。特に、径の差が大き
い場合にそうである。また、管径ひいては球状弾性砥石
部の直径が大きい場合にそうである。

【００２０】また、フィン付球状弾性砥石を配管の一方
の端部から挿入し、他方の出口側端部まで気体又は液体
で圧送するためには、入口部分に機密性のあるカム・ロ
ック方式の挿入口を設けて圧を供給することが必要とな
るが、圧を使用するだけに一層の安全性への配慮が必要
である。

【００２１】また、フィン付球状弾性砥石が末端より管
外へ飛び出す際には、そのままでは同時に擦り取られた
あるいは削り取られた多量の塵埃も飛び出すこととなる
ため、このことへの何か良い対策も望まれていた。

【００２２】また、清掃後の配管の気密テスト等が容易
になしうること等清掃に付属した処理も楽になる技術の
開発が望まれていた。

【００２３】また、配管の清掃の頻度がある程度多い場
合には、フィン付球状弾性砥石を使用しての清掃の一層
の効率化が望まれていた。

【００２４】また、配管が長く複雑な場合には、目下配
管内に在るフィン付球状弾性砥石が大凡配管内のどの当
りの位置に存在するかを知る技術の開発が望まれてい
た。

【００２５】また、金属管でなく塩ビ管等比較的強度の
小さい配管でも使用可能な技術の開発が望まれていた。

【００２６】これらのため、内部の清掃に際して単に配
管を分解する必要がなく、しかも分岐や曲がりがあるた
め各部で内径を異にする配管の内部をも清掃可能なだけ
でなく、より一層簡単で容易、しかも充分に安全な技術
の開発が望まれていた。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決することを目的としてなされたものであり、鋼管の
一方の口に機密性のあるキーロック方式の口金を作り、
あるいは作っておき、他の一方は開放とし、このもとで
管内径より多少直径の大きいフィン付球状弾性砥石を管
内へ無理なく挿入し、その後気体圧又は液体圧で他の開
放端まで安全に圧送する技術の改良に関するものであ
る。具体的には以下の構成としている。

【００２８】請求項１記載の発明においては、管特に分
岐部や角度の大きな曲部を有し、時には数百ｍの長さに
配設された管内に固着した化学物質等を除去し清掃する
方法であって、１の入口及び１の末端を除く全ての端部
に閉止弁（ストップバルブ）を取り付ける等して内圧が
逃げないよう閉止する閉止弁等取り付け閉止ステップ
と、入口より清掃対象の管内径に適応した寸法の、そし
て原則として管内径よりも２０％程度まで大きな直径の
フィン付球状弾性砥石（含む、多少いびつがあったり、
多少楕円体状となっていたりしている。）をその球状弾
性砥石部を先にして、管側の内径が管に合わせて少しず
つ細くなる若しくは内径が管より少し大な分割固定可能
型押入圧送用治具の胴部を使用して管内に挿入する若し
くは挿入することとなる処理を行なう挿入ステップと、
上記治具の中央部となる胴部にフィン付球状弾性砥石挿
入した状態で更に蓋部を固定し、その後この治具を使用
して清掃対象の固着物に適合した（反応等しない）流体
を挿入したフィン付球状弾性砥石の背面側より加圧して
供給し、上記閉止弁の取り付けられていない末端口まで
圧送する圧送ステップとを有していることを特徴として
いる。

【００２９】上記構成により、管特に分岐部や曲部を有
し、長く配設された管内に固着した化学物質等を除去し
清掃する方法において、以下の作用がなされる。

【００３０】閉止弁等取り付け閉止ステップにて、１の
入口及び１の末端（出口端）を除く全ての端部に管内部
圧が逃げないような治具たる閉止弁（含む、栓等の均等
物）をネジ込み等を使用して取り付ける、その他コルク
栓等を押圧挿入する等して閉止する。このため工場での
作業の必要上、既に閉止弁が取り付けてあれば、これを
閉とする。更に、管側の内径が管に合わせて少しずつ細
くなる（内径壁面が円錐状）か若しくは内径が管内径よ
り多少大な（内径壁面が円筒状）分割固定可能型押入圧
送用治具の分割された先（入口）側端となる胴部をも配
管の一方の口に取り付ける。挿入ステップにて、入口よ
り清掃対象の管内径に適応した寸法のフィン付球状弾性
砥石を球状弾性砥石部を先にして入れる。従って、分岐
管が清掃対象ならば、主配管より多少直径の小さいフィ
ン付球状弾性砥石が入れられることもありうる。

【００３１】さて、上記治具の分割された先端部は、そ
の内部が配管側にむかって小さくなるか若しくは内径が
配管内径より多少大であるため、配管内径より外径が大
なフィン付球状弾性砥石の装着は容易となる。圧送ステ
ップにて、配管の入口端に取り付けられた分割固定可能
型押入圧送用治具の胴部にその後部となる蓋をネジ込み
等で固定して、この基で内部側に装着保持されているフ
ィン付球状弾性砥石の反配管側より清掃対象の固着物に
適合した液体や気体を使用して加圧し、挿入したフィン
付球状弾性砥石を開放されている末端口まで圧送する。

【００３２】請求項２記載の発明においては、フィン付
球状弾性砥石を管内に入れる挿入ステップに先立ち、清
掃対象の管の内径の１倍から約１．６倍以内、好ましく
は１倍から１．４倍以内、より好ましくは１倍から１．
２倍以内、更により好ましくは１．２〜１．１倍程度
（±５％）の直径をもつフィン付球状弾性砥石を用いる
適切直径フィン付球状弾性砥石径選定ステップを有して
いることを特徴としている。

【００３３】上記構成により、以下の作用がなされる。

【００３４】フィン付球状弾性砥石を管内に入れる挿入
ステップに先立つ適切直径フィン付球状弾性砥石径選定
ステップにて、使用する弾性砥石の直径として清掃対象
の管の内径に適度に押圧力を与えつつ擦れることとな
り、かつ挿入に際しても無理が生じないよう、その１倍
から約１．６倍以内、好ましくは１倍から１．４倍以
内、より好ましくは１倍から１．２倍以内、更により好
ましくは１．１〜１．２倍程度の直径（ただし、配管の
内径の場所による相違やフィン付球状弾性砥石の材料の
弾性率の変化、具体的には生ゴムの比率等により多少変
動はありうる）をもつ球状弾性砥石を選定する。

【００３５】なお、清掃対象が細径の分岐管の場合に
は、本管に押入された状態ではフィン付球状弾性砥石の
外径が管内径より小さい場合も有りうる。なおこの際に
は、分岐管内では、うまく球状砥石部が先に入りフィン
部が後に入るように、フィン部中央から細い糸を引きず
る形としていても良いであろう。これにより、必然的に
フィン部が後で内径の大な本管内を流体の流れにのって
細管の分岐部まで到達する。

【００３６】請求項３記載の発明においては、入口端よ
り管内にフィン付球状弾性砥石を無理なく押入可能等と
し、かつ該フィン付球状弾性砥石を球状弾性砥石部を先
にして回転させつつ圧送するための分割固定可能型押入
圧送治具の胴部を配管入口端に取り付け（その後フィン
付球状弾性砥石を装着し）その後蓋部を取り付ける治具
取り付けステップと、配管の入口端部に剛成の２本のバ
ンドやその他ボルト、ナット等により取り付け取り外し
が機械的に可能な固定手段を機械的に強固に固定する固
定手段固定ステップと、上記治具の高圧源に接続される
部分たる蓋部と入口部の配管に機械的に固定された固定
手段とを安全のため２本の金属腕を使用する等して機械
的に固定する固定安全ステップを有していることを特徴
としている。

【００３７】上記構成により、以下の作用がなされる。

【００３８】治具取り付けステップにて、清掃対象の管
の入口に、管側へ行くほど内径が小（ただし、管内径以
上）か内径が管より大の分割固定格納型押入圧送用治具
の先端部を先ず取付け、次いで押入ステップとしての管
の内径よりも直径が大きいのが原則のフィン付球状弾性
砥石を球状弾性砥石部を先にして挿入し、その後該フィ
ン付球状弾性砥石を圧送するための加圧流体を供給可能
とする上記分割固定可能型押入圧送用治具の後部として
の蓋がネジ込み等で配管に既に固定されている胴部の
（原則として）後方に取り付けられる。固定手段固定ス
テップにて、ややこしい電源線の付設等が必要な熔接等
でなくボルト締め等の機械的方法にて固定手段が配管に
強固に固定される。

【００３９】固定安全ステップにて、上記治具の高圧源
に接続される部分たる後部の蓋と配管の入口端近くに金
属バンドで締め付ける等機械的に固定された固定手段と
を内圧で両者が分離し、治具が飛散したりしないように
機械的に固定する、すなわち両部を先の尖った金属アー
ムを引っ掛ける等して固定する等、何等かの機械的方法
で直接的な固定や蓋の圧による分離（スッポ抜け）防止
がなされる。

【００４０】請求項４記載の発明においては、配管の清
掃を可能な限り完全かつ容易に行なうため、再度あるい
は再々度等のフィン付球状弾性砥石の圧送がなされる
が、この際、後に使用されるフィン付球状弾性砥石は先
に使用される物より砥石の粒度が小さくされている。

【００４１】上記構成により、配管内面がより綺麗とな
る。なおこの際、同じ粒度の砥石であっても、後の清掃
ほどフィン付球状部の外径を配管内径に対する比を小さ
くしても良い。勿論、両方を併用してもよい。

【００４２】請求項５記載の発明においては、フィン付
球状弾性砥石の球状部は形状は中空かつ後部中心に貫通
孔があり、材料は生ゴム等の有機弾性体に砥粒を混入し
たり表面に接着したりする等して製造されている。

【００４３】上記構成により、貫通孔から圧送用流体が
球状の内部に入り込み、球状部を押し拡げようとするた
め、管内面を球状部が適度に押圧する。このため、エル
ボ部、曲がり部等での清掃がより効率的となる。

【００４４】また、細い分岐管を清掃するため、本管の
内径よりも径の小さいフィン付球状弾性砥石の姿勢を正
しく保持するためその後部に（金属）糸（更には重し）
を付着して本管内を移動させる際、この細孔を利用する
ことも可能となる。

【００４５】請求項６記載の発明においては、管内部を
原則としてその内径以上の直径のフィン付球状弾性砥石
を流体圧により圧送し、この際フィン付球状弾性砥石が
管内壁面を回転しながら擦ることにより管内面に付着等
している塵埃等を取り去ってしまい、これにより管内面
を清掃するために使用される治具であって、清掃対象の
管の入口端に気密を保持しつつ固定可能かつ、配管側内
径が細くなる若しくは内径が管内径以上のフィン付球状
弾性砥石装着用の胴部と、ポンプやコンプレッサー等の
高圧源に接続され、更に前記胴部とネジ等機械的手段で
気密を維持しつつ固定され併せて圧により配管内径より
直径の大きなフィン付球状弾性砥石を最初球状弾性砥石
部を先に無理なく管内へ押入し、その後配管内部にある
フィン付球状弾性砥石を流体圧で末端の出口まで圧送す
ることを可能とする高圧源接続部付の蓋部と、清掃対象
の管の入口端部近傍にて管にネジ等を使用しての締め付
け、その他管の凸凹を利用しての嵌合等の機械的手段に
より固定される固定部と、高圧源接続部付の蓋部と清掃
対象の管の入口端部に固定させた固定部とを安全のため
少くも２本の腕を使用して機械的に固定する固定用腕部
とを有していることを特徴としている。

【００４６】上記構成により、請求項１から請求項５記
載の発明に係る配管内の清掃を実施する際以下の作用が
なされる。

【００４７】固定手段付の胴部は、清掃に使用する液体
圧に対し余裕を持った強度、かつ気密性を維持可能な状
態で、清掃対象の管の入口端にネジ止めやネジ込み等で
固定される。（勿論、一時的に人手にて保持される様に
なっていても良い。）高圧源接続部付蓋部は、胴部とネ
ジや嵌合機構、その他パッキン等を使用してポンプ等か
ら与えられる（加えられる）内部の高圧を維持可能な態
様で強固に固定される。そしてこの際、この固定で生じ
る内部の空間、すなわち胴部には配管内径より直径の大
きなフィン付球状弾性砥石が最初にあらかじめ球状弾性
砥石部を配管側に向けて挿入されている。従って、この
胴の内径は、フィン付球状弾性砥石の挿入の便宜もあ
り、高圧源側はフィン付球状弾性砥石と同等若しくは余
裕をみて多少大とするのが原則である。更に、管側は、
原則として管内径と同じか多少大程度であり、従って管
側に向かって狭い半円錐状等となっているのが挿入の面
からは好ましい。

【００４８】また、原則として反配管側端部やその近く
の側部に高圧源との取り合いを有し、圧縮空気等がこの
胴の内部へ導かれる。これらのため、最初胴部へ入れら
れていたフィン付球状弾性砥石をその直径よりも内径の
小さい配管内へその姿勢を保持しつつ無理なく挿入し、
更に圧送していくことが可能となる。

【００４９】固定部は、清掃対象の配管外径にあわせた
２個の金属製バンド等であり、これは配管の入口端近辺
でネジ締め等を利用して配管に強固に固定される。ある
いは、配管外面に形成されてある凹凸に嵌合してスッポ
抜け防止がなされる。このため、原則として金属製の少
くも２本の腕は、固定部と高圧源接続部付蓋部とを機械
的に接続する。

【００５０】請求項７記載の発明においては、半導体工
場における配管内部の清掃は年に大凡３〜４回行なわれ
るが、この際、フィン付球状弾性砥石を押入することと
なる配管入口部は、場所等の都合もあり、ほぼ同一カ所
となることが多い。このため、当該部の配管外表面にあ
らかじめ凸部、凹部、ネジ部の少くも１を形成してお
き、当該部を利用して分割固定可能型押入圧送用治具の
胴部や固定部を取り付ける。

【００５１】上記構成により、作業が一層容易かつ安全
となる。

【００５２】請求項８記載の発明においては、凸部、凹
部、ネジ部は、材料の供給という配管の本来の使用時に
相手方の他の配管との接続に使用する接続手段により覆
われて機械的に保護される。

【００５３】すなわち、ネジ部ならばネジ込み継手に差
し込まれる形となる。塩ビ管の外表面に接着剤等により
形成された凸部ならば、当該部を覆うシールや熱収縮剤
を使用した気密型継手により覆われて保護される。

【００５４】請求項９記載の発明においては、請求項１
から請求項８記載の発明に係る配管内の清掃の際に使用
する配管出口端に設けられた箱状の治具であり、配管出
口端部と原則として地面や土台に設置されたこの箱状の
治具とを接続する、そしてこれまた原則として内径が少
し大きめのフレキシブル継手に接続される配管接続部
と、フィン付球状弾性砥石の圧送や吐出に際して配管出
口端部から配管接続部を介して箱内へ出てくる空気や圧
送用流体を外部へ逃す逃し部と、逃し部と配管接続部間
に存在するストレーナ付内部仕切り板と、圧送されてき
たフィン付球状弾性砥石や配管内の付着物を箱の外部へ
採り出す原則として開閉自在の蓋付きの採り出し口とを
有するＳＵＳ等で製造された箱状の治具であることを特
徴としている。

【００５５】上記構成により、以下の作用がなされる。

【００５６】配管接続部は、清掃対象の配管の出口端と
フレキシブルホースで接続されるため、箱状の治具の設
置場所、清掃対象の配管の径の面から柔軟性が増す。

【００５７】逃し部は、配管接続部より箱内へ導入され
てくる配管内のガスや空気、圧送用流体を箱外へ逃が
す。なお、圧送用流体が液体ならば、必要に応じて他の
排水管に接続されたりもする。更にバキュームホース接
続口を兼ねたり分岐部にバイパス弁が設けられたりもす
る。

【００５８】ストレーナ付内部仕切部はＳＵＳ製のオリ
状に多数並行に配列された針金やメッシュ、プラスチッ
ク材料製のオリやメッシュとストレーナとからなり、圧
送されてきたフィン付球状弾性砥石や配管内に付着して
いた化学物質粉が外部へ逃げ出すのを防止する。また、
ケースにより、圧送用流体がそのまま外部に出るのを防
止する。取り出し口は、開閉自在のフタ等からなり、通
常は気密やこれに近い状態であり、配管の清掃終了後に
このフタを開ける等して、箱内部の１若しくは複数のフ
ィン付球状弾性砥石や配管内に付着していた化学物質が
ここより外部へ取り出されることとなる。

【００５９】請求項１０記載の発明においては、箱の底
部に水等の液体を貯める貯液体部と、配管接続部より箱
内部へ送られてくる液体（原則として気体）を貯液体部
へ導く被圧送物体貯液体部内導入構造部とを有している
ことを特徴としている。

【００６０】上記構成により、フィン付球状弾性砥石の
圧送のみならず、これに先立つ配管内の換気に際して、
そのまま空気中へ排出するのが好ましくない液体、粉体
等が貯液体部の液体により物理的、化学的に除去等され
ることとなる。

【００６１】

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態に
基づいて説明する。

【００６２】（第１の実施の形態）本実施の形態は、一
番基本的な配管内の清掃に関する。

【００６３】本実施の形態について、図を用いて詳細に
説明する。

【００６４】図６は、本実施の形態の清掃方法の対象と
している屋内配管の一例の斜視図である。図７は、同じ
く他の屋内配管の斜視図である。図８は、これらの配管
における９０°の曲がり部に使用する継手エルボの断面
図である。図９は、同じく主管の分岐部に取り付けられ
るＴ型エルボティメスの断面図である。図１０は、主配
管の一方の端部に取り付ける機密性のあるキーロックの
斜視図である。図１１は、その側面と断面を示す図であ
る。

【００６５】以下、本発明そのものを説明するのに先立
ち、まずその対象としている配管に対する閉止処理につ
いて説明する。

【００６６】図６において、１は、鋼管よりなる主管で
ある。２は、同じく分岐管である。３は、分岐管のうち
ストップバルブ（閉止弁）５を取り付けられていない配
管である。なお、他の分岐管２には全てストップバルブ
５が設けられている。４は、上記主管の１の端部に取り
付けられた機密性のあるキーロックであり、フィン付球
状弾性砥石の挿入口でもある。

【００６７】図７は、コの字型に曲がった１本の主管１
から分岐管２が８本出ている様子を示している。

【００６８】次に、ストップバルブは、工場配管ではあ
らかじめ配管端部にストップバルブが取り付けられてい
ることが多いため、これを流用するのが普通であるが、
必要に応じて取り付けたりもする。

【００６９】また、キーロックは、取り付け、取り外し
が可能となっている。なお、これについては後に詳しく
説明する。

【００７０】次に、分岐管の内径は主管と同一なのが望
ましいが、必ずしも同一でなくてもよい。すなわち、原
則として、主管の８０％までならば、フィン付球状弾性
砥石の伸縮性のため効率よく清掃することが可能であ
る。（勿論、ゴムの比率の多い等のより柔軟な材料等を
用いて更に小さい径の分岐管を清掃することも可能であ
る。）次に、このフィン付球状弾性砥石を使用しての管
内の清掃について説明する。

【００７１】まず、この原理であるが、キーロックを取
り付けた管入口部よりフィン付球状弾性砥石がストップ
バルブが取り付けられていない管の端部まで流体により
圧送され、この際、このフィン付球状弾性砥石は、その
直径が管内径より多少大きいため、単に管内壁面を擦り
つつ直線状に動いて行くだけでなく、フィンのため回転
しつつ管内壁面を擦ることとなり、これにより管内壁に
固着している塵埃を機械的に擦り取るものである。

【００７２】この際、半導体工場内における実際に鋼管
内に蓄積された化学物質の除去の場合、３００ｍ程度の
同一内径の配管の場合で、このフィン付球状弾性砥石を
約３分で移動させることが可能である。

【００７３】そして、このフィン付球状弾性砥石の表面
に付着させた研磨材の砥粒の粒度を順次微細なものに切
り換えることにより、さらに管内表面を綺麗にすること
も可能である。

【００７４】以上の点は、前述のピッグテールを使用す
るものと大きくは異ならない。しかしながら、以下の点
が相違する。

【００７５】図８は、同一直径の管の曲がり部をエルボ
を用いて連結（曲がり結合）させた断面図である。さて
この場合、一般に主管１の内径よりエルボ６の内径が大
となる。このため、フィン付球状弾性砥石が気体又は液
体で圧送されてきてもエルボの中は通過できる。しかも
フィン付球状弾性砥石の直径は本来主管１の内径の約
１．２倍の直径を有しているため、エルボを通過する時
には、その弾性によりエルボの内径一杯に拡大するた
め、エルボ部分の塵埃をも上手く除去することになる。

【００７６】また、図９では、２本の直線状に並んだ主
管１の間にエルボティメス７を取り付け、そこに分岐管
２を固定した際の断面を示している。ここで、主管１の
キーロック取付部に対し、他の一方を閉じ、更に例えば
複数の分岐管がある場合には、出口端となる１本を除く
他の分岐管の先全てにストップバルブを取り付けて閉じ
ておく。そしてこれにより、開放部を１ケ所とする。こ
のもとで、フィン付球状弾性砥石を圧送することとなる
が、その分岐管の内径が主管の８０％以上の直径の範囲
内であればフィン付球状弾性砥石は分岐管の内径に沿っ
て無理なく移動可能である。

【００７７】そしてピッグテールと異なり球状であるた
め主管から９０°曲がって取り付けられた清掃対象の分
岐管へ無理なく入り込める。最後に、閉じていない分岐
管の端部出口にフィン付球状弾性砥石は排出されること
となる。これらのため、単に主管と分岐管の内径がある
程度相違しているだけでなく、大きな角度で分岐してい
ても、清掃可能となる。

【００７８】また、管がいわゆるガス管等でなく、耐圧
管であり、ある程度大きな圧を加えることが可能な場合
には、もう少し小さな内径の分岐管でも清掃可能であ
る。

【００７９】以上の他、フィン付球状弾性砥石がこれら
の継手部を通過する際には、どうしても管内壁面との間
に微小時間小さな隙間が生じ、これにより一部の圧送用
液体の逃げや漏れ等が生じ、このため圧送液体の圧が条
件にもよるが、０．２ｋｇｆ／ｃｍ²から１．５ｋｇｆ
／ｃｍ²変動するため、逆にこの圧力変動を監視し、確
認することにより、フィン付球状弾性砥石が大凡どの当
りに存在するかを確認することも可能となる。そしてこ
れにより、本管から分岐管へ入る場合、慣性力でそのま
ま本管内を直進する危険性が少しでも小さくなるよう、
加圧力をあるいは供給ガス量を一時的に小さくしたりす
ることも可能である。

【００８０】またこのため、圧力源等には安全弁、スト
ップ弁、バイパス弁、流量調整弁等の他に圧力計を取り
付けているのが好ましい。そしてこの圧力計は、清掃が
終了し、配管を接続した後、配管の気密試験を行なうの
にも流用されることとなる。

【００８１】更に、長い配管の複数カ所に弁が設けられ
ている場合でも、１カ所の弁のみ開とし、他の全ての弁
を閉としておけば、開放した弁の部分にフィン付球状弾
性砥石は排出される。

【００８２】次に、キーロックについて説明する。

【００８３】図１０は、本発明に用いる機密性のあるキ
ーロック４、即ちフィン付球状弾性砥石を挿入し、圧送
するための分割固定可能型押入圧送用治具を主管に取り
付けた状態の斜視図である。

【００８４】キーロック４は、主管１の端部にネジで固
定されている。そして本図の１０は、そのネジ込み部
（胴部）の外部であり、内部は中空、そして取り付けに
先立って、その中空部内にフィン付球状弾性砥石を挿入
している。また、１１は、キーロックのカバー、あるい
はネジ込み部の蓋であり、ネジ込み部との間でアーム１
２により固定され気密室を形成する。そのため、ネジ込
み部の外周には半円状の帯溝１３が加工してあり、この
基でアームの先端部１２１は、この半円状の帯溝に嵌合
するように作られている。

【００８５】また１４は、アームの回転可能な態様での
固定のためのカバー部に設けられた突起であり、そのほ
ぼ中央にピン１５でアーム１２が固定される。

【００８６】そして、カバー１１を取り付ける前にフィ
ン付球状弾性砥石をネジ込み部１０内の中空部、いわゆ
る胴内へ挿入した後、カバー１１をネジ込み部１０に押
し付け、アーム１２の先端部１２１をネジ込み部外周の
半円状の帯溝１３内へ入れ込むことにより、自然と両者
を圧着固定し、これによりキーロック内部の気密を保つ
ようになっている。このため、ネジ込み部とカバーとの
接合部には図１１に示すように気密保持のため、Ｏリン
グ２２が介在している。また、図が煩雑となるため記載
していないが、アームが開くのを防止するため、その先
端の孔を利用して針金で固定したりすることも成しう
る。

【００８７】次に、１６はコンプレッサーに接続された
高圧ホースである。そして、コンプレッサーからの高圧
の気体がこの高圧ホースを介して供給され、気密室内の
フィン付球状弾性砥石を主管１の中に押し入れる構造に
なっている。なお、使用する流体が液体の場合には、高
圧ホースはポンプに接続されることとなる。なおまた、
高圧ホースは配管径の如何にかかわらず使用するため、
この取付け部分は蓋部のサイズの如何にかかわらず同一
となる。

【００８８】次に、フィン付球状弾性砥石１０６を、主
管の内部で、その内壁に付着した塵埃を除去しつつ移動
させるために必要な圧力は、ケースによるが、金属管で
は２〜９ｋｇｆ／ｃｍ²程度である。

【００８９】更に、安全のため、キーロック４のカバー
１１には長い第２のアーム１７が設けられている。これ
は主管１とキーロックのカバー１１を直接固定するもの
である。このため、主管の外周囲にはその内面に滑り止
め用のネジを切った半円状の２つの固定バンド１８を取
り付け、この２つの固定バンドがその両端部をネジ１９
で締め付けられ、この付け力で主管に強固に固着される
ようになっている。そして長い第２のアームの先端部１
７１はＴ状に加工されており、２つの固定バンド１８の
端部にこの先端のＴ字部を引っ掛けて主管からの抜け止
めとしている。また、図が煩雑となるためこれまた記載
していないが、長い第２のアームが開くのを防止するた
め、その先端に孔を設け、これを利用して針金で固定し
たりすることも成しうる。

【００９０】このため、カバー１１はネジ込み部と主管
の２つに機械的手段により固定されることとなり、キー
ロック内部の気体圧若しくは液体圧が高くなっても、そ
のネジ込み部１０からはずれることがなく、ひいては安
全に作業が出来ることとなる。この点について、図を参
照しつつもう少し詳しく説明する。

【００９１】図１１は、キーロックの中央断面図であ
る。本図に明瞭に分かるように、固定バンド１８にはそ
の両端部にボルト、ナットあるいネジ等を使用しての締
め付けが可能なように張出部（半径方向への突出部）を
設けている。あるいは、図示していないが、反キーロッ
ク側端には、切込み部を有し、その張出部や切込み部に
長い第２のアーム１７の先端部１７１の曲がった部分が
引っ掛かったり、嵌合したりするようになっている。

【００９２】そして１９は、固定バンドの取り付けネジ
であり、これを緩めて固定バンドの取り付け位置をずら
せることにより長い第２のアームの長さにあわせて取り
付け位置を調整できるようになっている。更に、主管の
外周と固定バンド１８の内面にすべり止めのネジが切ら
れており、このネジ込みにより主管に固定バンドが強固
に固定されている。そしてこのもとで、長い第２のアー
ム１７でカバーは固定１ンド１８に機械的に結合される
こととなる。ひいては、キーロックは内部圧により主管
からはずれる恐れは無い。

【００９３】次に、このフィン付球状弾性砥石を圧送す
る流体であるが、除去する塵埃が空気中で発火したり、
発煙したりするおそれのある物質、例えばシランの場合
には、窒素ガスや純水等を用いる。

【００９４】更に、物質の種類によっては、弱酸性液や
弱アルカリ性液等を使用して、擦りとった塵埃と中和等
させることも行う。

【００９５】次に、配管出口端側について説明する。図
１２は配管出口端側に設置されるフィン付球状弾性砥石
や圧送用気体等が導入される箱状の治具３０の頂面を取
り去って、斜め上方より見た図である。

【００９６】本図において、３０は、ＳＵＳ製の箱を
（重量の面から）主構成部とする治具本体である。３１
は、清掃対象の配管の出口端に接続されたフレキシブル
継手（図示せず）が接続される配管接続部であり、２個
有している。３２は、配管接続部より治具本体箱内へ導
入されてくるガス等を逃がす逃し部であり、バキューム
ホース、更に下流の処理部等への接続のため、その先端
３２１にはネジを切ってある。３３は、針金が多数並
行、いわばオリ状に配列された内部仕切り部であり、圧
送されてきたフィン状球状弾性砥石はここで保持され
る。３４は、その背面のストレーナであり、配管内部に
付着していた粉状の付着物をより下流側、箱外部へ行く
のを防止する。３５は、取り出し口であり、通常は閉と
されており、箱内部のフィン付球状弾性砥石等を外部へ
取り出す際、ロック３５１を開として開けられる。３６
は、バイパス弁である。

【００９７】これにより、清掃対象の配管出口端部にて
フィン付球状弾性砥石が安全かつ確実に捕捉され、同時
に排出される配管内に付着していた化学物質粉等もこれ
また確実に捕捉されることとなる。

【００９８】（第２の実施の形態）本実施の形態は、フ
ィン付球状弾性砥石に関する。

【００９９】本実施の形態のフィン付球状弾性砥石を図
１３に示す。本図の（１）に示すように、このフィン付
球状弾性砥石は細径の分岐管や塩ビ製管を清掃するため
中空である。そして本管の内径に対する外径比は、１以
下の場合もある。また、塩ビ管の場合には、１．０３〜
１．１程度であり、フィン付球状弾性砥石１０６の中心
部の貫通孔１０６２からの流体圧により中空球状の膜が
塩ビ管内面に押圧されて清掃に寄与する。

【０１００】本図の（２）は、このフィン付球状弾性砥
石が自身の球部の外径より内径の大な本管内を細径の分
岐管の方へ流体にて流されて行く様子を示したものであ
り、球部が常に先端に保持されるべく細孔を利用して後
部に糸１０７や重しを引いている。なお、本図の１０８
は本管内壁との隙間である。但し、この隙間は移送中で
も生じないのが好ましいは勿論である。

【０１０１】また、中空の球部の厚さも、ケースバイケ
ースで適切な値が選択されるのは勿論である。

【０１０２】また、塩ビ管の場合には、砥粒もセラミッ
ク系の粒でなく硬質ゴム（エボナイト）や硬質プラスチ
ックであってもよい。

【０１０３】更に、本実施の形態の変形として、後部の
細孔がなくても（あるいは孔の口のみ詰めてしまって
も）よい。

【０１０４】次に、本実施の形態では、中空なだけに慣
性力が小さく、このため細い分岐管部で分岐管に入らず
本管をそのまま直進する危険性もそれだけすくなくなる
（勿論、管壁とフィン付球状弾性砥石との間から多少の
流体の漏れが生じ、この漏れた流体により本管から分岐
管への流れができているため、分岐管に入らず本管をそ
のまま直進する或いは本管に入り込むのは、もともと少
ない・・事実上ゼロ・・）。

【０１０５】（第３の実施の形態）本実施の形態は、キ
ーロックたる分割固定可能型押入圧送用治具の胴部の形
状に関する。

【０１０６】図１４に示すように、この分割固定可能型
押入圧送用治具の胴部は、管入口側が管に整合させた寸
法の雌ネジ１０９となっており、またこの先端が管入口
外部に形成された雄ネジ部に図示しないシール用の布を
はさみ込んでネジ込みで嵌め込まれる。更に、胴部内径
は配管側ほど小さく、反配管側は大きくなっている。こ
れにより、製造は並行に比較して多少面倒であるが、こ
の治具内へのフィン付球状弾性砥石の反配管側からの押
入、配管入口への分割固定可能型押入圧送用治具の装着
が共に楽となる。

【０１０７】（第４の実施の形態）本実施の形態も、分
割固定可能型押入圧送用治具に関する。

【０１０８】図１５に示すように、本実施の形態では、
形状が比較的簡単な胴部のみ清掃対象の配管に併せて交
換可能としている。本図の（１）は、配管径が大な場
合、（２）は小な場合である。しかしながら、蓋部と胴
部は蓋部のアーム１２と胴部のくぼみ１３の嵌合で固定
され、更に両部は０リング２２でシールされるため、蓋
部はある配管サイズの範囲内で共通（共有）化が可能と
なっている。

【０１０９】また、本図では図示していない固定手段と
の固定も、その半径方向の張出部に第２のアームの先端
部を引っ掛けて機械的に固定するため、固定手段として
のバンドが配管径に応じて多少サイズが変化しても、張
出部位置さえおなじなら対処可能となる。

【０１１０】（第５の実施の形態）本実施の形態は、出
口側の箱状の治具に関する。

【０１１１】図１６に示すように、本実施の形態では、
この治具の下部に液体を貯めておくことが可能な貯液体
部３９を有し、かつ配管接続部３１の先端３１１はこの
部分の液体３９１内に届いている。

【０１１２】これにより、配管内の機械的清掃時やこれ
に先立っての配管内のガス置換時に、確実に悪性のガス
や粉体等の中和等の処理をなしうる。

【０１１３】（第６の実施の形態）本実施の形態は清掃
対象の配管に関する。

【０１１４】配管の清掃は、３〜４回／年、かつその出
入口端も大凡定まっている。このため当該部の配管にあ
らかじめネジを切っていたり、凸部や凹部を機械加工、
熔接、接着（塩ビ管）等で形成しておき、更に相手側配
管との継手等で機械的に保護するようにしている。

【０１１５】図１９の（１）は、外部にネジ８１を切っ
た入口側管１を、ネジ部を覆う熔接継手８３を使用して
相手側管８２と接続している様子を示すものである。な
お、８４は念のためのシールである。

【０１１６】図１９の（２）は、ネジ８２と固定用バン
ドを保持するため接着剤を使用して形成した凸部８５を
有する塩ビ管１を、フランジ８６、ボルト８７、ナット
８８を使用して相手側管８２と固定した様子を示すもの
である。なお、８９は熱収縮製シールからなるシール
（兼補助接続部）である。

【０１１７】これらにより、治具の取り付け、取り外し
が容易となり、固定手段による胴部や蓋部のスッポ抜け
防止もより確実となる。

【０１１８】以上、本発明をその実施の形態に基づいて
説明してきたが、本発明は何もこれに限定されないのは
勿論である。即ち、例えば以下のようにしてもよい。

【０１１９】１）清掃対象は、鋼管でなく銅管やビニー
ルパイプ管等他の材質の管である。なおこの場合には使
用する圧力は鋼管等より低くし、フィン付球状弾性砥石
の直径比と弾性率も小さくするのは勿論である。また、
砥石の粒度も原則として小さいものを使用することとな
る。

【０１２０】２）エルボ、ティーの部分は外部からの打
撃や超音波をあてて振動を加える等他の清掃手段をも併
用している。

【０１２１】３）ポンプ、コンプレッサー等からの高圧
の液体の供給は、高所作業の便宜、本来この配管に接続
される配管との関係等のため、蓋部の（カバーの）丁度
反配管側でなく配管に直交する方向からとしている。

【０１２２】４）配管への治具の取り付けは、管の材質
や使用する圧力によっては、ネジのみでなく接着剤をも
併用する等他の手段としている。

【０１２３】５）タイプにもよるが、途中のバルブ等は
取り外し、その部分に継手の長円筒を入れ管を継ぎ、こ
れによりバルブ等の両側の配管を一度に清掃可能として
いる。

【０１２４】６）前述の如く、砥石の粒度を順次小さく
して管内面を磨く際に、併せて球状弾性砥石の有機物と
しての生ゴム等の弾性率を除々に小さくしたり、径を除
々に小さくしたりしている。

【０１２５】７）化学洗浄を併用している。

【０１２６】

【発明の効果】以上の説明でわかるように、本発明によ
れば、単にフィン付球状弾性砥石を鋼管内で気圧若しく
は液圧により圧送することにより、鋼管内部に蓄積され
た塵埃を除去できるのに留まらず、その管内への挿入も
容易となる。このため、直径比の大きいフィン付球状弾
性砥石を高圧で送り、主管の内径より２０％小さい分岐
管や逆に大きい径の曲がり部まで充分な清掃が可能とな
る。

【０１２７】また、複数の分岐管があるときは、単に１
の分岐管のみ開放とし他の分岐管にはストップバルブを
とりつけることにより開放された分岐管を清掃しえ、開
放する分岐管を順次変更して全ての分岐管を清掃しうる
だけでなく、これまた配管径の相違等に充分対処可能と
なる。

【０１２８】また、単にフィン付球状弾性砥石に付ける
砥粒を順次細かいものに切り換えることにより管内面を
細かく清掃することが可能となるだけでなく、管の種類
に応じての細かい清掃もなしうる。

【０１２９】また、単に管内の蓄積物に適応した気体や
液体を用いて圧送することにより、短時間で管内部の清
掃が可能となるだけでなく、管内の各種悪性物質の処理
も楽になる。

【０１３０】また、管外へ取り出した付着物等の処理も
楽となる。

【０１３１】また、定期的な清掃の効率も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】フラップホイールによる管内の清掃方法を示
す図である。

【図２】折曲げブラシの外観、原理を示す図である。

【図３】フレックスホーンの外観、原理を示す図であ
る。

【図４】ピッグテール方式の治具の外観、原理を示す
図である。

【図５】フィン付球状弾性砥石の外観、原理を示す図
である。

【図６】本発明を実施する対象としての配管の実施時
の一例の斜視図である。

【図７】同じく他の配管の斜視図である。

【図８】配管を９０°曲げるのに使用するエルボ部の
断面図である。

【図９】主管に対しＴ字型に分岐管を取り付けるエル
ボティメスの部分の断面図である。

【図１０】主管の端部に取り付けたキーロックの斜視
図である。

【図１１】キーロックの外観及び断面を示す図であ
る。

【図１２】清掃対象の配管の出口側のフィン付球状弾
性砥石の回収等に使用する箱状の治具である。

【図１３】中空状のフィン付球状弾性砥石の断面と特
徴的な使用を示す図である。

【図１４】胴部内径の変化が中空状のフィン付球状弾
性砥石の押入や配管への装着の利便を考慮した分割固定
可能型押入圧送用治具である。

【図１５】胴部が配管のサイズに応じて取り換え可能
な分割固定可能型押入圧送用治具である。

【図１６】下部に貯液体可能な箱状の治具である。

【図１７】継手にて保持された出入口となる配管の再
度の清掃のため加工された部分である。

【符号の説明】

１配管、主管２分岐管３ストップバルブを取り付けていない配管４キーロック５ストップバルブ６エルボ７エルボティメス１０ネジ込み部１１カバー１２アーム１２１アームの先端部１３半円状の帯溝１４カバー部に設けられた突起１５ピン１６高圧ホース１７長い第２のアーム１７１長い第２のアームの先端部１８固定バンド１８固定バンド取り付けネジ１９固定バンド取り付け用のネジ２２Ｏリング２３すべり止めネジ１０１円形ブラシ（フラップホイール）１０２フラップホイール等の柄１０３折曲げブラシ（折れ曲がった刃先）１０４フレックスホーン型塵埃除去具１０５砲弾型除去具（ピッグテール）１０６フィン付球状弾性砥石１０６１フィン付球状弾性砥石のフィン部１０７糸１０９ネジ部１１０鋼管の内面１１１鋼管内面の塵埃３０配管出口側の箱状の治具３１配管接続部３２逃し部３３内部仕切り３４ストレーナ３５取り出し口３６バイパス弁３９貯水部８１入口側配管のネジ部８３熔接継手８４シール剤８５配管の凸部８６ボルト８７フランジ８８ナット８９熱収縮物質製シール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】管特に分岐部や曲部を有し、長く配設さ
れた管の内壁面に固着した化学物質等を除去し清掃する
方法であって、１の入口端及び１の末端を除く全ての端部に閉止弁を取
り付ける等して閉止する閉止弁等取り付け閉止ステップ
と、上記１の入口端より清掃対象の管内径より多少大きめの
寸法のフィン付球状弾性砥石をその球状弾性砥石部を先
にして、管側の内径が細くなる若しくは内径が管より大
な分割固定可能型押入圧送用治具の胴部を使用して管内
に挿入する若しくは挿入することとなる処理を行なう挿
入ステップと、該挿入したフィン付球状弾性砥石を、その管内への挿入
に使用した若しくは使用することとなる上記治具の胴部
に蓋部を固定した後で上記治具を使用して清掃対象の固
着物に適合した流体を上記フィン付球状弾性砥石の背面
側より加圧して供給し、上記閉止弁の取り付けられてい
ない１の末端口まで圧送する圧送ステップとを有してい
ることを特徴とする配管内の清掃方法。
【請求項２】前記フィン付球状弾性砥石を管に入れる
挿入ステップに先立ち、清掃対象の管の内径の１倍から１．６倍以内の直径をも
つフィン付球状弾性砥石を選定する適切直径フィン付球
状弾性砥石径選定ステップを有していることを特徴とす
る請求項１記載の配管内の清掃方法。
【請求項３】上記１の入口端より管内に上記フィン付
球状弾性砥石を挿入可能とし、押入後該フィン付球状弾
性砥石を圧送するための加圧流体を供給可能とする上記
分割固定可能型押入圧送用治具の胴部、そして蓋部を配
管の上記１の入口端に取り付ける治具取り付けステップ
と、上記１の入口端部に、機械的な取り付け取り外しが可能
な固定手段を機械的に強固に固定する固定手段固定ステ
ップと、上記治具のフィン付球状弾性砥石を圧送するために高圧
源に接続される部分たる蓋部と上記入口部の配管に機械
的に固定された固定手段とを機械的に固定する固定安全
ステップとを有していることを特徴とする請求項１若し
くは請求項２記載の配管内の清掃方法。
【請求項４】先行するフィン付球状弾性砥石を使用し
ての配管内の清掃後、該清掃に使用したフィン付球状弾
性砥石よりも砥石の粒度が小さい砥石を使用して製造さ
れたフィン付球状弾性砥石を、繰り返して行なう配管内
のより精細な清掃のために選定する精細清掃用フィン付
球状弾性砥石選定ステップを有していることを特徴とす
る請求項３記載の配管内の清掃方法。
【請求項５】形状は、内部が中空かつ後部に貫通孔を
有する球状であり、材料は少くも外表面部には砥粒が分
散して付着されている有機弾性体よりなる先頭部と、該先頭部の後部側半球状部分若しくは半球状以下の部分
に上記貫通孔の存在する部分より放射状に拡がったフィ
ン状であり、材料は少くも外表面部には砥粒が分散して
付着されている有機弾性体よりなるフィン部とを有して
いることを特徴とする配管内清掃用のフィン付球状弾性
砥石。
【請求項６】管内部をその内径より多少直径の大きい
フィン付球状弾性砥石を流体圧により圧送し、この際フ
ィン付球状弾性砥石が回転しながら管内壁面を擦ること
により管内面に付着等している塵埃等を取り去って管内
面を清掃するために使用する治具であって、清掃対象の管の入口端に気密を保持しつつ固定可能、か
つ配管側内径が細くなる若しくは内径が管内径以上のフ
ィン付球状弾性砥石装着用の胴部と、高圧源に接続され、更に前記胴部と機械的手段により気
密を維持しつつ固定されこれにより管内部へその内径よ
り大な直径のフィン付球状弾性砥石をスムーズに押入可
能、そして管内部にある上記フィン付球状弾性砥石を流
体圧で配管の末端口まで圧送可能とする高圧源接続部付
蓋部と、上記清掃対象の管の入口端部近傍にて、管に機械的手段
により固定される固定部と、前記高圧源接続部付蓋部と上記清掃対象の管の入口端部
に固定された固定部とを少くも２本の腕を使用して安全
のため両部が離れないよう機械的に固定する固定用腕部
とを有していることを特徴とする管内面清掃用フィン付
球状弾性砥石用の分割固定可能型押入圧送用治具。
【請求項７】定期的にフィン付球状弾性砥石を使用し
管内面を清掃する際に、分割固定可能型押入圧送用治具
の取付けの便宜のため、該治具の取付け部となる部分に
予め、凸部、凹部若しくはネジ部の少くも１が形成され
ている配管。
【請求項８】上記凸部、凹部若しくはネジ部は、配管
の本来の使用時には他の配管との接続手段により覆われ
て機械的に保護される構造の配管。
【請求項９】管内部をその内径より多少直径の大きい
フィン付球状弾性砥石を流体圧により圧送し、この際フ
ィン付球状弾性砥石が回転しながら管内壁面を擦ること
により管内面に付着等している塵埃等を取り去って管内
面を清掃するために使用する箱状の治具であって、上記フィン付球状弾性砥石が流体圧により吐出される配
管の末端の口部に接続されるフレキシブルホースに接続
される配管接続部と、上記フィン付球状弾性砥石が圧送されてくる際及び吐出
された際に前記配管接続部を介して配管の末端の口部よ
り箱内へ送られてくる流体を逃がす逃し部と、前記配管接続部と逃し部間に存在するストレーナ付内部
仕切部と、前記配管接続部と前記ストレーナ付内部仕切部間に存在
することとなる配管より吐出されたフィン付球状弾性砥
石と配管内に固着していた化学物質等を箱外へ取り出す
取り出し口とを有していることを特徴とする箱状の治
具。
【請求項１０】底部の貯液体部と、前記配管接続部より箱の内部へ送られてくる流体等を前
記貯液体部内の液体中へ導く被圧送物体貯液体部内導入
構造部とを有していることを特徴とする請求項９記載の
箱状の治具。