JP2001057155A - プラズマ表示装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】高輝度かつ高精細な表示を実現できるプラズマ
表示装置を提供する。 【解決手段】 面放電のための維持電極２８Ａ，２８Ｂ
は、前面ガラス基板２２の表面に対して垂直方向に積層
された構造を有している。維持電極２８Ａ，２８Ｂによ
り左右の２つの放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂが面放電に
寄与し、放電効率が向上する。また、維持電極２８Ａ，
２８Ｂが積層構造となっているので、従来のように表示
面を大きく塞ぐことがなく、表示面に対する開口率が向
上すると共に高輝度な表示が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ放電を利
用して表示を行うプラズマ表示装置およびその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、軽量化および薄型化の流れを受け
て、パーソナルコンピュータなどのディスプレイにも、
省スペース化，携帯性向上が求められており、ＬＣＤ
（LiquidCrystal Display：液晶ディスプレイ）、ＦＥ
Ｄ（Field Emission Display：電界放出型ディスプレ
イ）、有機ＥＬ（Electroluminescence:電界発光）ディ
スプレイ、ＰＤＰ（Plasma Display Panel：プラズマデ
ィスプレイパネル) などの種々のＦＰＤ（Flat Panel D
isplay: 薄型ディスプレイ）が開発、製品化されてい
る。このうち、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）は、プラズ
マ放電によって発生した紫外線を蛍光体に照射させて発
光させることにより画像表示を行うものであり、薄型・
大画面のディスプレイとして市場創造が期待されてい
る。

【０００３】このプラズマ表示装置として、例えば３電
極面放電型のものは、マトリクス状に配置された面放電
のための一対の維持電極とアドレス電極との交点ごとに
放電セルが画定され、それぞれの放電セルは赤（Ｒ），
緑（Ｇ），青（Ｂ）の３種類の蛍光体をそれぞれ有する
最小発光単位（ドット）を形成している。この放電セル
を選択的に放電させることによって、ドットを選択的に
発光させることによりカラー表示が行われる。

【０００４】図１０は、従来のプラズマ表示装置におい
て面放電（維持放電）を行うための一組の維持電極の構
成を表したものである。一組の維持電極１０１ａ，１０
１ｂは透明電極であり、これら維持電極１０１ａ，１０
１ｂは表示面側の前面ガラス基板１０２の平面上に互い
に平行になるように配設されている。これら維持電極１
０１ａ，１０１ｂ間の隙間（放電ギャップ）１０３は、
直線状となっており一定の幅を保っている。維持電極１
０１ａ，１０１ｂ上の放電ギャップ１０３を形成する側
と反対側の端部には、維持電極１０１ａ，１０１ｂの電
気抵抗を低減するためのバス電極１０４ａ，１０４ｂが
それぞれ設けられている。なお、図１０では要部のみ表
しているので省略しているが、維持電極１０１ａ，１０
１ｂは多数の組が、互いに平行になるように前面ガラス
基板１２上に配列されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述のように従来のプ
ラズマ表示装置では、一組の維持電極１０１ａ，１０１
ｂが前面ガラス基板１０２の平面上に互いに平行になる
ように配設されており、これら維持電極１０１ａ，１０
１ｂと同一水平面において放電ギャップ１０３が形成さ
れている。

【０００６】しかしながら、このような構成であると、
放電に寄与する放電ギャップ１０３は維持電極１０１
ａ，１０１ｂ間において一つしか形成できないので、放
電効率が十分ではなく、輝度が十分でないという問題が
あった。

【０００７】その上、表示面側に位置する前面ガラス基
板１０２の同一平面上に、非透明電極であるバス電極１
０４ａ，１０４ｂがそれぞれ平行に形成されているの
で、表示面に対する開口率が低下してしまい、輝度が低
下してしまうという問題があった。例えば、４２インチ
クラスのＰＤＰパネルの輝度は、高くて５００ｃｄ/ ｍ
² 程度であり、このＰＤＰパネルが最終的にディスプレ
イとなって商品化されるためには、パネル上に電磁波遮
蔽や外光反射防止のためのシートやフィルムを設ける必
要があるので、実際のディスプレイとしての表示光の輝
度はかなり低くなってしまうのが、現状である。

【０００８】更に、維持電極１０１ａ，１０１ｂは同一
平面上に平行に並んで形成されるので、維持電極に要す
る表示面と平行な面の面積が広く必要となるために、高
精細化に制限が生じてしまうという問題があった。

【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、高輝度かつ高精細な表示を実現でき
るプラズマ表示装置およびその製造方法を提供すること
にある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明によるプラズマ表
示装置は、基板に設けられた第１の維持電極と、基板の
表面に対して直交する方向に第１の維持電極に隣接して
設けられ、放電ギャップとなる厚さを有する電気的分離
層と、この電気的分離層に隣接して設けられ、第１の維
持電極と組をなす第２の維持電極とを備えている。

【００１１】本発明によるプラズマ表示装置の製造方法
は、対向して配置される２つの基板のうちの一方の基板
上に、放電ギャップを間にして互いに組をなす２つの維
持電極を有するプラズマ表示装置の製造方法であって、
一方の基板上に、一方の維持電極を構成する第１の電極
層を形成する工程と、第１の電極層上に絶縁体層を形成
する工程と、この絶縁体層および第１の電極層上に第２
の電極層を形成する工程と、第２の電極層をエッチング
により分離して、第１の電極層とともに一方の維持電極
を構成する第３の電極層と、絶縁体層上において一対の
維持電極のうち他方の維持電極を構成する第４の電極層
とを形成する工程とを含むものである。

【００１２】本発明による他のプラズマ表示装置の製造
方法は、一方の基板上に、一方の維持電極を構成する第
１の電極層を形成する工程と、第１の電極層上に絶縁体
層を形成する工程と、絶縁体層および第１の電極層それ
ぞれの上に電極材料を堆積させることにより、第１の電
極層とともに一方の維持電極を構成する第３の電極層
と、絶縁体層上において一対の維持電極のうち他方の維
持電極を構成する第４の電極層とを形成する工程とを含
むものである。

【００１３】本発明によるプラズマ表示装置では、第１
の維持電極と第２の維持電極とが電気的分離層を間にし
て積層された構造を有しているので、これら第１の維持
電極と第２の維持電極との間の左右両側面それぞれにお
いて放電ギャップが形成される。すなわち、１組の維持
電極間において、２つの放電ギャップが形成され、従来
のように表示面を大きく塞ぐことがなくなり、また、一
組の維持電極に要する表示面と平行な面の面積が狭くな
る。

【００１４】本発明によるプラズマ表示装置の製造方法
では、第２の電極層をエッチングにより分離されるの
で、第１の電極層とともに一方の維持電極を構成する第
３の電極層と、絶縁体層上において一対の維持電極のう
ち他方の維持電極を構成する第４の電極層とが同時に形
成される。

【００１５】本発明による他のプラズマ表示装置の製造
方法では、絶縁体層および第１の電極層それぞれの上に
電極材料が堆積され、第１の電極層とともに一方の維持
電極を構成する第３の電極層と、絶縁体層上において一
対の維持電極のうち他方の維持電極を構成する第４の電
極層とが同時に形成される。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１７】〔第１の実施の形態〕図１は本発明の第１
の実施の形態に係る３電極面放電型のプラズマ表示装置
（ＰＤＰ）の１単位画素（ピクセル）に対応する部分を
含む基本構造を表す斜視図であり、図２は、図１に示し
たプラズマ表示装置における一組の維持電極を含む要部
の構成を表す部分断面図である。

【００１８】このプラズマ表示装置２１は、前面ガラス
基板２２と背面ガラス基板２３とが対向配置されてお
り、これらの周囲が封止されることによりその内部は気
密状態となっており、放電空間が形成されている。

【００１９】背面ガラス基板２３は、例えば、ＰＤＰ用
の高歪点ガラスやソーダライムガラスにより形成された
板状基板である。この背面ガラス基板２３上には、金属
の薄膜からなる複数のアドレス電極２４が平行に配列さ
れている。なお、このアドレス電極２４は透明であるこ
とが好ましいが、必ずしも透明である必要はない。背面
ガラス基板２３には、このアドレス電極２４および背面
ガラス基板２３の全体を均等に覆うように背面誘電体層
２５が形成されている。この背面誘電体層２５は、例え
ばＳｉＯ₂ （二酸化珪素）を真空蒸着することにより形
成された薄膜である。

【００２０】各アドレス電極２４の間には、背面誘電体
層２５を介して、その断面が例えば台形状である複数の
隔壁２６がストライプ状に形成されている。隔壁２６
は、例えばガラスペーストをパターニングし、焼成する
ことによって形成される。各隔壁２６の高さは、隔壁２
６の山頂を研磨したり、背面ガラス基板２３を削り出す
ことにより調整することができる。

【００２１】各隔壁２６間において、各隔壁２６の側面
および背面誘電体層２５上に、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の３原色の蛍光体２７がそれぞれ設けられてい
る。蛍光体２７の膜厚は均等であることが好ましい。

【００２２】表示面側の前面ガラス基板２２は、背面ガ
ラス基板２３と同様に、例えば、ＰＤＰ用の高歪点ガラ
スやソーダライムガラスにより形成された板状基板であ
るが、表示側に位置するので透明性が高くなければなら
ない。

【００２３】前面ガラス基板２２上には、面放電のため
の複数組（図では１組）の維持電極２８Ａ，２８Ｂが設
けられている。本実施の形態では、これら維持電極２８
Ａ，２８Ｂは前面ガラス基板２２の表面に対して垂直方
向に積層された構造を有している。すなわち、一方の維
持電極２８Ａが前面ガラス基板２２上に形成され、この
維持電極２８Ａ上に、例えばＳｉＯ₂ （二酸化珪素）か
らなる絶縁体層２９を間にして他方の維持電極２８Ｂが
設けられている。なお、維持電極２８Ａ，２８Ｂは、対
向する背面ガラス基板２３側のアドレス電極２４の延長
方向と直交し、マトリクス状になるように設けられてい
る。

【００２４】維持電極２８Ａ，２８Ｂは、例えば、Ａｌ
（アルミニウム），Ｃｕ（銅），Ａｕ（金），Ａｇ
（銀），Ｃｒ（クロム），Ｍｏ（モリブデン）などの材
料による金属膜またはそれらを積層した膜からなり、例
えば印刷法，サンドブラスト法，めっき法，スパッタ
法，蒸着法等により形成される。なお、維持電極２８
Ａ，２８Ｂおよび絶縁体層２９をサンドブラスト法によ
り同時に形成することも可能である。維持電極２８Ａ，
２８Ｂの横幅は、例えば５０μｍ程度であり、その厚さ
は例えば１μｍ程度である。

【００２５】本実施の形態では、維持電極２８Ａ，２８
Ｂが絶縁体層２９を間にして積層された構造を有してい
るため、左右両側面に面放電のための２つの放電ギャッ
プ３０Ａ，３０Ｂが形成される。維持電極２８Ａ，２８
Ｂ間の距離は、絶縁体層２９の膜厚により調整すること
ができ、負グロー放電による面放電のために例えば１０
０μｍ程度となっている。

【００２６】図３は、図１に示した２つの維持電極の取
り出し部分の構成を表す部分平面図である。維持電極２
８Ａ，２８Ｂは、図示しない駆動回路に電気的に接続さ
せるために、放電空間から取り出す必要がある。これら
維持電極２８Ａ，２８Ｂの取り出し部分においては、維
持電極２８Ａ，２８Ｂ間の絶縁体層２９の終端部分が絶
縁体層２９の延長方向に対して垂直な方向に曲げて形成
されている。この絶縁体層２９の終端部分の上面から側
面に沿って維持電極２８Ｂが形成されることにより、維
持電極２８Ｂは前面ガラス基板２２上に形成された他方
の維持電極２８Ａと同一平面上に落とし込まれている。
従って、維持電極２８Ａ，２８Ｂは取り出し部分におい
て同一平面上に位置することになり、前面ガラス基板２
２と背面ガラス基板２３との間がフリットシール（図示
せず）により封止されても気密性は高く保持されること
になる。

【００２７】図１に戻って説明を続けると、前面ガラス
基板２２には、維持電極２８Ａ，２８Ｂおよび絶縁体層
２９を均等に覆うように、例えばＳｉＯ₂ （二酸化珪
素）を真空蒸着することによって前面誘電体層３１が形
成されている。前面誘電体層３１は、プラズマのイオン
衝撃により維持電極２８Ａ，２８Ｂが劣化することを防
止するためのものである。また、この前面誘電体層３１
を均等に覆うように、例えばＭｇＯ（酸化マグネシウ
ム）層からなる保護層３２が形成されている。この保護
層３２は、二次電子を放出することにより紫外線の発光
効率を上昇させたり、維持電極２８Ａ，２８Ｂの保護の
役割も果たしている。

【００２８】このプラズマ表示装置２１では、マトリク
ス状に配置された複数組の維持電極２８Ａ，２８Ｂと複
数のアドレス電極２４との交点ごとに放電セルが画定さ
れ、それぞれの放電セルが最小発光単位（ドット）３３
を形成している。赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３種
類の蛍光体２７をそれぞれ有する３つのドット３３によ
り１単位画素（ピクセル）３４が構成される。なお、放
電セルは、各隔壁２６により一対の維持電極２８Ａ，２
８Ｂの延長方向にドット３３ごとに放電空間が区画され
ることにより形成されると共に、その間隙寸法が規定さ
れている。

【００２９】なお、放電空間には、蛍光体２７に対する
紫外線励起のための放電ガスとして例えば、ネオン，ヘ
リウム，アルゴン等にキセノンを混合したガスが封入さ
れている。

【００３０】このプラズマ表示装置２１において、表示
画素内のドット３３を発光させるには、まず、維持電極
２８Ａ，２８Ｂ間に放電維持電圧（交流電圧）を印加す
る。次に、発光させたいドット３３に対応した放電セル
内で、一組の維持電極のうちアドレス電極２４に近い維
持電極２８Ａとアドレス電極２４との間に放電アドレス
電圧を印加し、アドレス放電を行わせる。このアドレス
放電が終了した後には、放電セル内の保護層３２上に壁
電荷が蓄積される。この壁電荷と予め２つの維持電極２
８Ａ，２８Ｂ間に印加されている放電維持電圧とが組み
合わされて放電開始電圧を超えることとなり、２つの放
電ギャップ３０Ａ，３０Ｂにおいて陰極グロー放電によ
る面放電（維持放電）が発生する。このプラズマ放電に
よって、放電セル内の放電ガスが紫外線を放ち、その紫
外線が蛍光体２７に照射され、蛍光体２７が励起して発
光することにより、ドット３３が発光することになる。

【００３１】このように本実施の形態に係るプラズマ表
示装置では、一組の維持電極２８Ａ，２８Ｂにより２つ
の放電ギャップ３０Ａ，３０Ｂが形成され、これら放電
ギャップ３０Ａ，３０Ｂそれぞれにおいて面放電が発生
する。従って、従来のように２つの維持電極を同一水平
面に並設した構造に比べて、放電効率が向上すると共
に、維持電極２８Ａ，２８Ｂが表示面に垂直な方向に積
層された構造を有しているので、従来のように表示面を
大きく塞ぐことがない。従って、表示面に対する開口率
が向上し、高輝度な表示が可能になる。

【００３２】また、維持電極２８Ａ，２８Ｂは表示面に
対して垂直方向に積層されているので、維持電極２８
Ａ，２８Ｂに要する表示面と平行な面の面積は狭くな
り、高精細な表示が可能になる。

【００３３】また、上述したように本実施の形態では、
表示面に対する開口率が向上するために、従来のよう
に、維持電極として透明材料を用いる必要がなくなるの
で、従来のような透明の維持電極上に低抵抗のバス電極
を形成するというようなプロセスを大幅に簡略化するこ
とができ、低価格化を図ることができる。

【００３４】〔第２の実施の形態〕図４は、本発明の第
２の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電
極を含む要部の構成を表す部分断面図である。このプラ
ズマ表示装置の基本構造は第１の実施の形態と同様であ
るので、第１の実施の形態と異なる点についてのみ説明
し、その他の説明は省略する。

【００３５】本実施の形態では、２つの維持電極２８
Ａ，２８Ｂにおいて、前面ガラス基板２２上に直接形成
された維持電極２８Ａの横幅を絶縁体層２９に介して離
れている維持電極２８Ｂの横幅より大きく形成するもの
である。維持電極２８Ａの横幅は例えば８０μｍ程度で
あり、維持電極２８Ｂの横幅は例えば４０μｍ程度であ
る。

【００３６】このように維持電極２８Ａの横幅が維持電
極２８Ｂの横幅より大きく形成されているので、第１の
実施の形態のように維持電極２８Ａ，２８Ｂの左右両側
面の間のみではなく、維持電極２８Ａの維持電極２８Ｂ
より横幅が大きくなり広がった面および左右両側面と、
維持電極２８Ｂの左右両側面との間で２つの放電ギャッ
プ３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ形成されることになる。従
って、放電に寄与する電極表面積が増大して放電効率が
向上し、より高輝度な表示が可能となる。

【００３７】〔第３の実施の形態〕図５は本発明の第３
の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電極
の構成を表す部分平面図である。このプラズマ表示装置
は、維持電極２８Ａの形状のみが第２の実施の形態と異
なっており、その他の構成は第２の実施の形態と同様で
ある。よって、第２の実施の形態と異なる点についての
み説明し、その他の説明は省略する。

【００３８】本実施の形態では、前面ガラス基板２２上
に直接形成された維持電極２８Ａの横幅を前面ガラス基
板２２から絶縁体層２９を介して離れている維持電極２
８Ｂの横幅より大きく形成する一方、維持電極２８Ａの
放電空間を区画する隔壁２６と対向する部分において
は、その横幅を大きく形成することなく、維持電極２８
Ｂと同じ横幅となっている。なお、この維持電極２８Ａ
の横幅が維持電極２８Ｂと同じになっている部分の長さ
Ｌは、隔壁２６の横幅より大きくても小さくてもよい。

【００３９】このように、維持電極２８Ａの放電セルを
区画する隔壁２６と対向する部分においては、その横幅
を大きく形成していないので、この部分の放電効率は、
横幅が大きく形成されている部分の放電効率ほどには向
上することがない。従って、放電セル間のクロストーク
の防止が可能となり、よって消費電力を低減できると共
に、表示面に対する開口率が向上し、より高輝度な表示
が可能になる。

【００４０】〔第４の実施の形態〕図６は、本発明の第
４の実施の形態に係るプラズマ表示装置における維持電
極を含む要部の構成を表す部分断面図である。このプラ
ズマ表示装置の基本構造も第２の実施の形態と同様であ
るので、第２の実施の形態と異なる点についてのみ説明
し、その他の説明は省略する。

【００４１】本実施の形態では、維持電極２８Ａは、第
１の電極層２８１Ａと第２の電極層２８２Ａとにより構
成されている。第１の電極層２８１Ａは前面ガラス基板
２２上に直接形成され、その横幅は維持電極２８Ｂの横
幅より大きくなっている。第２の電極層２８２Ａは、こ
の第１の電極層２８１Ａ上において第１の電極層２８１
Ａよりも横幅が広がった部分に、維持電極２８Ｂに対応
する位置を挟むように形成されている。第１の電極層２
８１Ａの横幅は、例えば１００μｍ程度であり、その厚
さは例えば１μｍ程度である。また、第２の電極層２８
２Ａの横幅は、例えば２０μｍ程度であり、その厚さは
例えば４２μｍ程度である。維持電極２８Ｂの横幅は、
例えば４０μｍ程度であり、その厚さは例えば２μｍ程
度である。なお、この第１の電極層２８１Ａの構造は、
第２の実施の形態における維持電極２８Ａと実質的には
同じである。また、第１の電極層２８１Ａ、第２の電極
層２８２Ａともに、維持電極２８Ｂと同様に、例えば、
Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｒ、Ｍｏなどの材料による
金属膜またはそれらを積層した膜からなる。

【００４２】このように本実施の形態では、維持電極２
８Ａを構成する第２の電極層２８２Ａが第１の電極層２
８１Ａ上に形成されているので、維持電極２８Ａと維持
電極２８Ｂとの間の距離が縮まり、放電ギャップ３０
Ａ，３０Ｂが狭くなる。また、第２の電極層２８２Ａの
両側面と維持電極２８Ｂとの間でも放電が生じるので、
第２の実施の形態よりも、放電に寄与する電極表面積が
増大する。よって、放電効率がより向上し、より高輝度
な表示が可能となる。

【００４３】次に、本実施の形態における維持電極２８
Ａ、２８Ｂおよび絶縁体層２９の製造方法について説明
する。本実施の形態では、まず、図７（Ａ）に示したよ
うに、前面ガラス基板２２上に第１の電極層２８１Ａを
例えば印刷法，めっき法，スパッタ法，蒸着法などによ
って形成する。続いて、この第１の電極層２８１Ａ上
に、例えばＣＶＤ（Cemical Vapor Deposition ,化学的
気相成長法) 法によって例えばＳｉＯ₂ からなる絶縁体
層２９を形成する。その後、この絶縁体層２９および第
１の電極層２８１Ａ上に、導電膜３５を例えばスパッタ
法や蒸着法により形成する。そして、導電膜３５上にフ
ォトレジスト膜３６を形成し、図７（Ｂ）に示したよう
にフォトレジスト膜３６をマスクとして等方性エッチン
グを行う。等方性エッチングとしては、例えばエッチン
グ液としてリン酸，酢酸，塩酸の混合液を用いたウエッ
トエッチングを例えば５０℃の液温で１分間行う。これ
によって、導電膜３５が、第１の電極層２８１Ａ上にお
いて第１の電極層２８１Ａと共に維持電極２８Ａを構成
する第２の電極層２８２Ａと、絶縁体層２９上の維持電
極２８Ｂとに分離される。このような方法によれば、導
電膜３５のエッチングによって、第２の電極層２８２Ａ
と維持電極２８Ｂとを簡単に作製することができる。

【００４４】なお、第２の電極層２８２Ａおよび維持電
極２８Ｂは、図８に示した次のような方法によっても作
製することができる。本方法は、エッチング技術を用い
ることなく第２の電極層２８２Ａと維持電極２８Ｂとを
分離する方法である。まず、上記の製造方法と同様にし
て、前面ガラス基板２２上に第１の電極層２８１Ａを形
成する。続いて、この第１の電極層２８１Ａ上に、例え
ば蒸着法によって比較的横幅に比べて縦幅が長い絶縁体
層２９を形成する。そして、この絶縁体層２９および第
１の電極層２８１Ａそれぞれに、導電膜を例えばスパッ
タ法や蒸着法により付着させれば、エッチング技術を用
いなくとも、導電膜は、第１の電極層２８１Ａ上におい
て第２の電極層２８２Ａと、絶縁体層２９上の維持電極
２８Ｂとに分離される。従って、この方法によれば、導
電膜にエッチングを行うこともなく、第２の電極層２８
２Ａと維持電極２８Ｂとをより簡単に作製される。

【００４５】なお、上記実施の形態では、第２の電極層
２８２Ａを第１の電極層２８１Ａ上に形成することによ
り一方の維持電極２８Ａを構成しているが、フォトレジ
スト膜をマスクとしてエッチングを行うことによって第
１の電極層２８１Ａと第２の電極層２８２Ａとを同時に
形成するようにしてもよい。

【００４６】また、上記第３の実施の形態において、維
持電極２８Ａの放電セルを区画する隔壁２６と対向する
部分においては、その横幅を大きく形成しないことによ
って、放電セル間のクロストークの防止、消費電力の低
減、高輝度な表示を可能にしているが、本実施の形態に
おいても、維持電極２８Ａの放電セルを区画する隔壁２
６と対向する部分においては、第１の電極層２８１Ａの
横幅を大きく形成することなく、かつ、上記第２の電極
層２８２Ａを形成しないことによって同様の効果を奏す
ることができる。

【００４７】〔第５の実施の形態〕図９は、本発明の第
５の実施の形態に係るプラズマ表示装置における一対の
維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。こ
のプラズマ表示装置の基本構造は第１の実施の形態と同
様であるので、第１の実施の形態と異なる点についての
み説明し、その他の説明は省略する。

【００４８】本実施の形態では、表示面側の前面ガラス
基板２２上に透明電極３７が形成され、この透明電極３
７の上に維持電極２８Ａが形成されている。この透明電
極３４は、維持電極２８Ａと同様に、対向するアドレス
電極２４の延長方向と直交しマトリクス状になるように
設けられており、例えばＩＴＯ（Indium-Tin Oxide:イ
ンジウムと錫の酸化物混合膜）などの材料による薄膜か
らなる。このように表示面側の前面ガラス基板２２上に
透明電極３７を介して維持電極２８Ａが形成されている
ので、表示面に対する開口率が向上し、より高輝度な表
示が可能となる。

【００４９】なお、先の第２〜第４の実施の形態におい
ても、本実施の形態のように前面ガラス基板２２上に透
明電極３７を介して維持電極２８Ａを形成するようにし
てもよい。

【００５０】また、第３の実施の形態においては、維持
電極２８Ａの隔壁２６と対向する部分の横幅を維持電極
２８Ｂと同じとすることによって、放電セル間のクロス
トークの防止等を可能にしているが、本実施の形態にお
いても、透明電極３７の隔壁２６に対向する部分の横幅
を維持電極２８Ｂと同じとすることによって同様の効果
を奏することができる。

【００５１】以上、いくつかの実施の形態を挙げて本発
明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施
の形態においては、一組の維持電極２８Ａ，２８Ｂによ
る面放電に負グロー放電を用いているが、以下のような
陰極グロー放電を用いてもよい。

【００５２】ここで、陰極グロー放電について説明す
る。陰極から冷陰極放出で放射された電子のエネルギー
は１ｅＶ程度であるために気体分子との相互作用はな
く、陰極のごく近傍にはいわゆるアストン暗部ができ
る。さらに、電子が加速されると気体分子を励起できる
ようになり、励起された気体分子から気体固有の光を発
する部分が生じる。この部分を陰極グローという。この
陰極グローにおける発光を利用する放電を陰極グロー放
電という。

【００５３】この陰極グローは陰極近傍に生じるため
に、プラズマ表示装置に陰極グロー放電を用いれば、５
０μｍ未満、好ましくは２０μｍ以下の狭い幅の放電ギ
ャップによる面放電が可能になる。放電ギャップ、すな
わち維持電極２８Ａ，２８Ｂ間の距離は、本実施の形態
では絶縁体層２９の膜厚を変更することによって調整す
ることができる。このように維持放電として陰極グロー
放電を適用することにより、維持電極２８Ａ，２８Ｂ間
の距離を５０μｍ未満と狭くすることができるので、よ
り放電効率が向上し、より高輝度で、より高精細な表示
が可能になる。

【００５４】なお、第１の実施の形態においては、図３
に示したように、維持電極２８Ａ，２８Ｂは取り出し部
分において同一平面上に位置することになり、フリット
シールにより封止されても気密性は高く維持されること
になるが、これは第２〜第５の実施の形態においても同
様である。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし７の
いずれか１項に記載のプラズマ表示装置によれば、組を
なす第１の維持電極と第２の維持電極とを電気的分離層
を間にした積層構造としたので、これら第１の維持電極
と第２の維持電極との間の左右両側面それぞれにおいて
放電ギャップが形成される。従って、１組の維持電極間
において、２つの放電ギャップが形成され、従来のよう
に表示面を大きく塞ぐことがなくなるので開口率が向上
し、また、一組の維持電極に要する表示面と平行な面の
面積が狭くなる。従って、高輝度かつ高精細な表示が実
現可能となる。

【００５６】特に、請求項３記載のプラズマ表示装置に
よれば、一方の維持電極の幅を他方の維持電極の幅より
大きくしたので、一方の維持電極の他方の維持電極より
幅が大きくなり広がった面および左右両側面と、他方の
維持電極の左右両側面との間で２つの放電ギャップがそ
れぞれ形成されることになり、放電に寄与する電極表面
積が増大する。従って、放電効率がより向上し、より高
輝度な表示が可能となる。

【００５７】また、請求項５記載のプラズマ表示装置に
よれば、電気的分離層の厚さを調整することにより、一
対の維持電極間の距離を５０μｍ未満と狭くすることが
できるので、放電効率が向上し、より高輝度かつ高精細
な表示を実現することができる。

【００５８】更に、請求項４記載のプラズマ表示装置に
よれば、一対の維持電極間の距離が縮まるため放電ギャ
ップが狭くなり、また、一方の維持電極を構成する第２
の電極層の両側面と維持電極との間でも放電が生じるた
め放電に寄与する電極表面積が増大するので、放電効率
がより向上し、より高輝度な表示が可能になる。

【００５９】また、請求項５記載のプラズマ表示装置に
よれば、請求項３記載のプラズマ表示装置において、一
方の維持電極の隔壁と対向する部分においては、その横
幅を大きく形成することなく、他方の維持電極の幅と同
じ大きさとしたので、この部分の放電効率は横幅が大き
く形成されている部分よりも抑制される。従って、放電
セル間のクロストークの防止が可能となり消費電力を低
減できると共に、表示面に対する開口率が向上し、より
高輝度な表示が可能になる。

【００６０】また、請求項８記載のプラズマ表示装置の
製造方法によれば、第２の電極層をエッチングにより分
離することにより、第１の電極層と共に一方の維持電極
を構成する第３の電極層と、絶縁体層上において一対の
維持電極のうち他方の維持電極を構成する第４の電極層
とを同時に形成するようにしたので、製造が容易になる
と共に製造工程を簡略化できるという効果を奏する。

【００６１】また、請求項９記載のプラズマ表示装置の
製造方法によれば、絶縁体層および第１の電極層それぞ
れに電極材料を堆積させるようにしたので、エッチング
工程を用いることなく、第１の電極層とともに一方の維
持電極を構成する第３の電極層と、他方の維持電極を構
成する第４の電極層とを同時に形成でき、製造がより容
易になるとともに製造工程をより簡略化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るプラズマ表示
装置の１単位画素（ピクセル）に対応する部分を含む基
本構造を表す斜視図である。

【図２】図１に示したプラズマ表示装置における一組の
維持電極を含む要部の構成を表す部分断面図である。

【図３】図２に示した維持電極の取り出し部分の構成を
表す部分平面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係るプラズマ表示
装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部
分断面図である

【図５】本発明の第３の実施の形態に係るプラズマ表示
装置における一組の維持電極の構成を表す部分平面図で
ある。

【図６】本発明の第４の実施の形態に係るプラズマ表示
装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部
分断面図である。

【図７】本発明の第４の実施の形態に係る維持電極およ
び絶縁体層の製造工程毎の断面図である。

【図８】本発明の第４の実施の形態に係るプラズマ表示
装置における一組の維持電極および絶縁体層の他の作製
方法を説明するための断面図である。

【図９】本発明の第５の実施の形態に係るプラズマ表示
装置における一組の維持電極を含む要部の構成を表す部
分断面図である。

【図１０】従来のプラズマ表示装置を構成する一組の維
持電極の構造を説明するための要部斜視図である。

【符号の説明】 ２１…プラズマ表示装置（ＰＤＰ）、２２…前面ガラス
基板、２３…背面ガラス基板、２４…アドレス電極、２
５…背面誘電体層、２６…隔壁、２７…蛍光体層、２８
Ａ，２８Ｂ…維持電極、２８１Ａ…第１の電極層、２８
２Ａ…第２の電極層、２９…絶縁体層、３０Ａ，３０Ｂ
…放電ギャップ、３１…前面誘電体層、３２…保護層、
３３…最小発光単位（ドット）、３４…１単位画素（ピ
クセル）、３５…導電膜、３６…フォトレジスト膜、３
７…透明電極

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向して配置された２つの基板のうちの
   一方の基板上に、放電ギャップを間にして互いに組をな
   す２つの維持電極を有するプラズマ表示装置であって、 前記基板に設けられた第１の維持電極と、 前記基板の表面に対して直交する方向に前記第１の維持
   電極に隣接して設けられ、放電ギャップとなる厚さを有
   する電気的分離層と、 この電気的分離層に隣接して設けられ、前記第１の維持
   電極と組をなす第２の維持電極とを備えたことを特徴と
   するプラズマ表示装置。
2. 【請求項２】 前記電気的分離層は、前記第１の維持電
   極と第２の維持電極と間に設けられた絶縁体層であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
3. 【請求項３】 前記２つの維持電極のうち一方の維持電
   極の幅が他方の維持電極の幅より大きいことを特徴とす
   る請求項１記載のプラズマ表示装置。
4. 【請求項４】 前記一組の維持電極のうち一方の維持電
   極が、他方の維持電極の幅より大きく形成された第１の
   電極層と、この第１の電極層上において前記他方の維持
   電極の幅より大きく広がった部分の上に形成された第２
   の電極層とから構成されていることを特徴とする請求項
   １記載のプラズマ表示装置。
5. 【請求項５】 更に、前記２つの維持電極が形成された
   基板に対向する他の基板上に放電空間を区画するための
   複数の隔壁を備え、前記隔壁に対向する位置において
   は、前記一組の維持電極のうちの一方の維持電極の幅と
   他方の維持電極の幅とが同じであることを特徴とする請
   求項３記載のプラズマ表示装置。
6. 【請求項６】 前記基板と前記第１の維持電極との間に
   前記第１の維持電極よりも幅の広い透明電極が設けられ
   たことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置。
7. 【請求項７】 前記電気的分離層の厚さが５０μｍ未満
   であることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装
   置。
8. 【請求項８】 対向して配置される２つの基板のうちの
   一方の基板上に、放電ギャップを間にして互いに組をな
   す２つの維持電極を有するプラズマ表示装置の製造方法
   であって、 前記一方の基板上に、一方の維持電極を構成する第１の
   電極層を形成する工程と、 前記第１の電極層上に絶縁体層を形成する工程と、 この絶縁体層および前記第１の電極層上に第２の電極層
   を形成する工程と、 前記第２の電極層をエッチングにより分離して、前記第
   １の電極層とともに前記一方の維持電極を構成する第３
   の電極層と、前記絶縁体層上において前記一対の維持電
   極のうち他方の維持電極を構成する第４の電極層とを形
   成する工程とを含むことを特徴とするプラズマ表示装置
   の製造方法。
9. 【請求項９】 対向して配置される２つの基板のうちの
   一方の基板上に、放電ギャップを間にして互いに組をな
   す２つの維持電極を有するプラズマ表示装置の製造方法
   であって、 前記一方の基板上に、一方の維持電極を構成する第１の
   電極層を形成する工程と、 前記第１の電極層上に絶縁体層を形成する工程と、 前記絶縁体層および前記第１の電極層それぞれの上に電
   極材料を堆積させることにより、前記第１の電極層とと
   もに前記一方の維持電極を構成する第３の電極層と、前
   記絶縁体層上において前記一対の維持電極のうち他方の
   維持電極を構成する第４の電極層とを形成する工程とを
   含むことを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。