JP2001052107A - Optical surface displacement detector - Google Patents

Optical surface displacement detector

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JP2001052107A
JP2001052107A JP11228505A JP22850599A JP2001052107A JP 2001052107 A JP2001052107 A JP 2001052107A JP 11228505 A JP11228505 A JP 11228505A JP 22850599 A JP22850599 A JP 22850599A JP 2001052107 A JP2001052107 A JP 2001052107A
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light
test object
linear
light receiving
psd
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JP11228505A
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Japanese (ja)
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Riyuuji Kurokama
龍司 黒釜
Nobuyuki Baba
信行 馬場
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Konica Minolta Inc
Kofu Konica Corp
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Konica Minolta Inc
Kofu Konica Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical surface displacement detector and a turn recognizing device. SOLUTION: This device has a line light source (light source) 101 for irradiating the surface of an object 107 to be inspected, with which at least one of projecting part (having an almost fixed height) and recessed part (having almost fixed depth) is formed on the surface, with light, one cylindrical lens (optical element) 111 for unidirectionally condensing reflected light on the surface of the object 107 to be inspected into linear light and plural photodetectors (PSD) 115 having photodetecting planes to which the linear light is made incident, providing the photodetecting planes at positions almost conjugate with the surface of the said object to be inspected and divided in the line direction of the said linear light and it is one-dimensionally detected by the outputs of the respective PSD 115 which one of plane part, projecting part and recessed part is on the surface of the confronted object 107 to be inspected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被検物表面の凹部
又は凸部を検出する光学式表面変位検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical surface displacement detecting device for detecting a concave portion or a convex portion on the surface of a test object.

【0002】[0002]

【従来の技術】光学式表面変位検出装置の一例として、
図10に示す構成のものがある。図において、矢印方向
に搬送され、エンボスが施されたカード1に対して、ラ
イン光源3からブロードな光が照射される。
2. Description of the Related Art As an example of an optical surface displacement detecting device,
There is a configuration shown in FIG. In the figure, the line light source 3 irradiates the card 1 conveyed in the direction of the arrow and embossed with broad light.

【0003】カード1に光が照射されると、図11に示
すように、カード1上にエンボス1aの突起による陰影
Gが発生する。この陰影Gを集光レンズとしての複数のレ
ンズからなるロッドレンズアレイ4を介してラインセン
サ5で読み取っている。
When the card 1 is irradiated with light, as shown in FIG. 11, a shadow of the projection of the emboss 1a is formed on the card 1.
G occurs. The shadow G is read by a line sensor 5 via a rod lens array 4 including a plurality of lenses as a condenser lens.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の光
学式表面変位検出装置では、ロッドレンズアレイ4の各
レンズの性能のばらつきが、ラインセンサ5上のスポッ
ト状態の差となり、読取信号にばらつきが生じる問題点
がある。
However, in the optical surface displacement detecting device having the above-mentioned structure, the dispersion of the performance of each lens of the rod lens array 4 becomes the difference of the spot state on the line sensor 5 and the read signal varies. There is a problem that occurs.

【0005】更に、ロッドレンズアレイ4を用いている
ので、コストが高くなる問題点がある。本発明は、上記
問題点に鑑みてなされたもので、その第1の目的は、読
取信号にばらつきの少ない光学式表面変位検出装置を提
供することにある。
Further, since the rod lens array 4 is used, there is a problem that the cost is increased. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and a first object of the present invention is to provide an optical surface displacement detection device having less variation in a read signal.

【0006】第2の目的は、低コストの光学式表面変位
検出装置を提供することにある。
A second object is to provide a low-cost optical surface displacement detecting device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項1記載の発明は、平面部と、凸部,凹部のうち少なく
とも一方とが形成された被検物表面に対して光を照射す
る光源と、前記被検物表面での反射光を一方向に集光
し、線状光とする光学素子と、線状光が入射する受光面
を有し、受光面が前記被検物の表面と略共役の位置に設
けられ、前記線状光の線方向に分割された複数の受光素
子とを有し、該各受光素子の出力により、前記被検物の
表面が平面部/凸部/凹部のいずれかであるかを検出する
ことを特徴とする光学式表面変位検出装置である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for irradiating light to a surface of a test object having a flat portion and at least one of a convex portion and a concave portion. A light source, an optical element for converging light reflected on the surface of the test object in one direction and forming linear light, and a light receiving surface on which the linear light is incident, wherein the light receiving surface is a surface of the test object And a plurality of light receiving elements divided in the linear direction of the linear light are provided at positions substantially conjugate to each other, and the output of each light receiving element causes the surface of the test object to have a flat surface / projection / An optical surface displacement detecting device for detecting whether any of the concave portions is present.

【0008】被検物表面での反射光を一方向に集光し線
状光とする光学素子としては、シリンドリカルレンズ、
Grinレンズ、ホログラム、回折格子等があるが、これら
の光学素子は一つ(単体)の光学素子(レンズ)として実現
することがで可能である。
As an optical element which condenses reflected light on the surface of the test object in one direction to form linear light, a cylindrical lens,
Although there are a Grin lens, a hologram, a diffraction grating, and the like, these optical elements can be realized as one (single) optical element (lens).

【0009】このように被検物表面での反射光を一方向
に集光し線状光とする光学素子を用いた場合には、複数
のレンズからなるロッドレンズアレイを用いる場合に比
べて、読取信号のばらつきが少なくなる。
As described above, when the optical element which condenses the reflected light on the surface of the test object in one direction and converts it into linear light is used, compared with the case where a rod lens array including a plurality of lenses is used, Variations in the read signal are reduced.

【0010】又、複数のレンズからなるロッドレンズア
レイを用いる場合に比べて、低コストで実現可能とな
る。受光素子の受光面上での線状光の線方向のフレアの
量が少なくなる点から前記光学素子の焦点距離を短くす
ることが好ましい。
[0010] Further, the present invention can be realized at low cost as compared with the case where a rod lens array including a plurality of lenses is used. It is preferable to shorten the focal length of the optical element from the viewpoint that the amount of flare in the linear direction of the linear light on the light receiving surface of the light receiving element is reduced.

【0011】尚、「平面部/凸部/凹部のいずれか」と
は、「平面部/凸部のいずれか」及び「平面部/凹部のい
ずれか」を含むものである。請求項2記載の発明は、請
求項1記載の発明の前記被検物、前記光源のうち、少な
くとも一方を前記線状光の線方向と交差する方向に移動
させ、前記各受光素子の出力により、前記被検物表面を
二次元的に検出することを特徴とする光学式表面変位検
出装置である。
The phrase "any one of a flat portion / a convex portion / a concave portion" includes "any one of a flat portion / a convex portion" and "any one of a flat portion / a concave portion". According to a second aspect of the present invention, at least one of the test object and the light source according to the first aspect of the invention is moved in a direction intersecting a line direction of the linear light, and an output of each of the light receiving elements is provided. An optical surface displacement detection device for detecting the surface of a test object two-dimensionally.

【0012】被検物、前記光源のうち、少なくとも一方
を線状光の線方向と交差する方向に移動させ、前記各受
光素子の出力により、前記被検物表面の二次元的な変位
を検出することにより、例えば、カード表面に形成され
たエンボス等による凸部や凹部で形成されたキャラクタ
ーの認識を行なうことができる。
At least one of the test object and the light source is moved in a direction intersecting the line direction of the linear light, and a two-dimensional displacement of the test object surface is detected based on an output of each of the light receiving elements. By doing so, for example, it is possible to recognize a character formed by a convex portion or a concave portion by embossing or the like formed on the card surface.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】次に図面を用いて本発明の実施の
形態例を説明する。図1において、光源としてライン光
源101から出射した光は、表面に平面部107aとエ
ンボスの凸部107bとが形成された被検物107上に
照射される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, light emitted from a line light source 101 as a light source is irradiated on a test object 107 having a flat surface portion 107a and an embossed convex portion 107b formed on the surface.

【0014】被検物107の表面は、図2に示すよう
に、平面部107aに形成されたエンボスの凸部107
bにより、キャラクター(本実施の形態例では数字の4)
が形成されている。
As shown in FIG. 2, the surface of the test object 107 has an embossed convex portion 107 formed on a flat portion 107a.
b indicates the character (the number 4 in this embodiment)
Are formed.

【0015】図1に戻って、被検物107の表面での反
射光は、焦点距離の短いシリンドリカルレンズ111で
一方向に集光され、半導体位置検出素子(以下PSDとい
う)115の受光面115a上に線状光が照射される。
Returning to FIG. 1, light reflected on the surface of the test object 107 is converged in one direction by a cylindrical lens 111 having a short focal length, and is received by a light receiving surface 115a of a semiconductor position detecting element (hereinafter referred to as PSD) 115. The top is irradiated with linear light.

【0016】尚、被検物107の表面と、PSD115の
受光面とは、共役の位置関係になるように配置されてい
る。被検物107は、図示しない走査手段により、線状
光の線方向と交差する方向(図において矢印I方向)に移
動されるようになっている。
The surface of the test object 107 and the light receiving surface of the PSD 115 are arranged so as to have a conjugate positional relationship. The test object 107 is moved by a scanning unit (not shown) in a direction intersecting the line direction of the linear light (the direction of arrow I in the figure).

【0017】PSD115は、図3に示すように、線状光
の線方向にn個設けられている。次に、図4を用いて、
本実施の形態例の電気的構成を説明する。図において、
121はPSD115のアナログ信号を増幅するアンプ、
123は増幅されたアナログ信号を二値化する二値化回
路、125は二値化された信号と、キャラクターパター
ンテーブル127とを比較し、キャラクタを判別するキ
ャラクター判別回路である。
As shown in FIG. 3, n PSDs 115 are provided in the linear direction of the linear light. Next, referring to FIG.
The electrical configuration of the present embodiment will be described. In the figure,
121 is an amplifier for amplifying the analog signal of the PSD 115,
Reference numeral 123 denotes a binarization circuit for binarizing the amplified analog signal, and reference numeral 125 denotes a character discrimination circuit for comparing the binarized signal with the character pattern table 127 to discriminate a character.

【0018】次に、上記構成の動作を説明する。図5に
示すように、被検物107の平面部107aで反射した
光はPSD115の受光面115aのA′に至り、エンボス
の凸部107bで反射した光はPSD115のB′に至り、
受光位置が異なり、受光位置に応じてPSD115の出力
が異なる。
Next, the operation of the above configuration will be described. As shown in FIG. 5, the light reflected by the flat portion 107a of the test object 107 reaches A 'on the light receiving surface 115a of the PSD 115, and the light reflected by the convex portion 107b of the emboss reaches B' of the PSD 115.
The light receiving position is different, and the output of the PSD 115 is different depending on the light receiving position.

【0019】このため、被検物107表面の高さ方向の
変移分布を一次元的に検出することができ、被検物10
7を図1において、矢印I方向へ移動させることによ
り、被検物107表面の高さ方向の変移分布を二次元的
に検出することができる。
For this reason, the displacement distribution in the height direction of the surface of the test object 107 can be detected one-dimensionally, and the test object 10 can be detected.
1, the displacement distribution in the height direction of the surface of the test object 107 can be detected two-dimensionally.

【0020】即ち、PSD115からのアナログ出力は、
アンプ121で増幅され、二値化回路123で二値化さ
れる。キャラクター判別回路125は二値化された信号
と、キャラクターパターンテーブル127とを比較し、
キャラクタを読み取る。
That is, the analog output from the PSD 115 is
The signal is amplified by the amplifier 121 and binarized by the binarization circuit 123. The character determination circuit 125 compares the binarized signal with the character pattern table 127,
Read characters.

【0021】上記構成によれば、被検物107表面での
反射光を一方向に集光し、線状光とするシリンドリカル
レンズ111を用いたことにより、複数のレンズからな
るロッドレンズアレイを用いる場合に比べて、読取信号
のばらつきが少なくなる。又、ロッドレンズアレイを用
いる場合に比べて、低コストとなる。 更に、被検物1
07の表面に当たった光は、図6に示すように、シリン
ドリカルレンズ111により、Y方向には集光される
が、X方向には集光されない。
According to the above configuration, the rod lens array composed of a plurality of lenses is used by using the cylindrical lens 111 which condenses the reflected light on the surface of the test object 107 in one direction and converts it into linear light. As compared with the case, the variation of the read signal is reduced. Also, the cost is lower than in the case where a rod lens array is used. Further, the test object 1
As shown in FIG. 6, the light that has hit the surface of 07 is condensed by the cylindrical lens 111 in the Y direction, but is not condensed in the X direction.

【0022】よって、図7に示すように、被検物107
の表面の位置Xiで拡散した光線は、Xiに対応したPSD1
15の位置X′iだけでなく、X′i+1,X′i-1部分にも、
到達する。
Therefore, as shown in FIG.
The light beam diffused at the position Xi on the surface of
Not only at position X'i at position 15, but also at X'i + 1 and X'i-1
To reach.

【0023】これらX′i+1,X′i-1部分に到達した光
が、図8に示すように、線状光の線方向(X′方向)にフ
レアFとなってPSD115上に現れる。このフレアFの量
は、シリンドリカルレンズ111とPSD115の受光面
との距離が長くなればなるほど大きくなる。
The light reaching the X'i + 1 and X'i-1 portions appears on the PSD 115 as a flare F in the linear direction (X 'direction) of the linear light as shown in FIG. . The amount of the flare F increases as the distance between the cylindrical lens 111 and the light receiving surface of the PSD 115 increases.

【0024】従って、本実施の形態例では、シリンドリ
カルレンズ111の焦点距離を短くすることにより、シ
リンドリカルレンズ111とPSD115の受光面との距
離が短くなり、フレアFの発生量が少なくなり、PSD11
5からの信号が乱れず、キャラクターの判別精度が向上
するので好ましい。
Therefore, in the present embodiment, by shortening the focal length of the cylindrical lens 111, the distance between the cylindrical lens 111 and the light receiving surface of the PSD 115 is shortened, the amount of flare F generated is reduced, and the PSD 11
5 is preferable because the signal from 5 is not disturbed and the accuracy of character determination is improved.

【0025】尚、本発明は、上記実施の形態例に限定す
るものではない。上記実施の形態例では、被検物107
の表面は、平面部107aと、エンボスの凸部107b
とからなっていたが、平面部とエンボスの凹部とからな
る被検物や、平面部、凸状及び凹状のエンボス部からな
る被検物でも、PSD115の出力が異なることにより、
適用できる。
The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, the test object 107
Has a flat portion 107a and an embossed convex portion 107b.
However, even with a test object having a flat portion and an embossed concave portion, and a flat portion, a test object having a convex and concave embossed portion, the output of the PSD 115 is different.
Applicable.

【0026】又、エンボスの凸部または凹部でない凸部
または凹部であってもよい。更に、PSD115の代わり
に、n×m(mは線状の光の線方向に対して交差する方向で
1以上の整数、nは線状の光の線方向に沿った方向で、2
以上の整数)分割のアレイ状のPD(フォトダイオード)も
用いることができる。例えば、図9に示すように、2×8
分割のアレイ状のPD225を用いてもよい。
Further, the protrusions or recesses may be other than the protrusions or recesses of the emboss. Further, instead of the PSD 115, n × m (m is a direction intersecting the line direction of the linear light)
An integer greater than or equal to 1 and n is the direction along the line direction of the linear light, 2
An array of PDs (photodiodes) divided into the above integers) can also be used. For example, as shown in FIG.
A divided array PD 225 may be used.

【0027】又、更に、上記実施の形態例では、被検物
107を図1において矢印I方向に移動させたが、ライ
ン光源101,シリンドリカルレンズ111,PSD115
を矢印I方向に移動させてもよい。
Further, in the above embodiment, the test object 107 is moved in the direction of arrow I in FIG. 1, but the line light source 101, the cylindrical lens 111, the PSD 115
May be moved in the direction of arrow I.

【0028】又、上記実施の形態例では、線状の光を被
検物表面に照射する光源としてライン光源101を用い
たが、種々の光源に対し、その光源から被検物までの光
路に光源からの光を線状光とする光学素子(フィルター
等を含む)を配置し、被検物上に線状光を照射しても良
い。
In the above-described embodiment, the line light source 101 is used as a light source for irradiating linear light to the surface of the test object. However, various light sources are used in the optical path from the light source to the test object. An optical element (including a filter or the like) that converts light from a light source into linear light may be provided, and the test object may be irradiated with linear light.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上述べたように請求項1記載の発明に
よれば、被検物表面での反射光を一方向に集光し線状光
とする光学素子を用いることにより、複数のレンズから
なるロッドレンズアレイを用いる場合に比べて、読取信
号のばらつきが少なくなると共に、低コストの光学式表
面偏位検出装置を得ることが可能となる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, a plurality of lenses can be obtained by using an optical element which condenses reflected light on the surface of a test object in one direction and converts it into linear light. As compared with the case of using a rod lens array composed of :, it is possible to obtain a low-cost optical surface deviation detecting device while reducing the variation of the read signal.

【0030】請求項2記載の発明によれば、被検物、前
記光源のうち、少なくとも一方を線状光の線方向と交差
する方向に移動させ、被検物、前記光源のうち、少なく
とも一方を前記線状光の線方向と交差する方向に移動さ
せ、前記各受光素子の出力により、前記被検物表面の二
次元的な変位を検出することにより、例えば、カード表
面に形成されたエンボス等のキャラクター認識を行なう
ことができる
According to the second aspect of the present invention, at least one of the test object and the light source is moved in a direction intersecting the line direction of the linear light, and at least one of the test object and the light source is moved. Is moved in a direction intersecting the line direction of the linear light, and by detecting the two-dimensional displacement of the surface of the test object by the output of each light receiving element, for example, an emboss formed on the card surface Character recognition such as

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施の形態例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment.

【図2】図1の被検物の表面を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a surface of a test object in FIG. 1;

【図3】図1のPSDの受光面を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a light receiving surface of the PSD of FIG. 1;

【図4】実施の形態例の電気的構成を説明する図であ
る。
FIG. 4 is a diagram illustrating an electrical configuration of the embodiment.

【図5】図1の動作を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating the operation of FIG.

【図6】図1のシリンドリカルレンズの集光方向を説明
する図である。
FIG. 6 is a view for explaining the light collecting direction of the cylindrical lens of FIG.

【図7】フレアを説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating flare.

【図8】フレアを説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a flare.

【図9】他の実施の形態例を説明する図である。FIG. 9 is a diagram for explaining another embodiment.

【図10】従来の光学式表面変位装置を説明する図であ
る。
FIG. 10 is a diagram illustrating a conventional optical surface displacement device.

【図11】図10の動作を説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating the operation of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 ライン光源(光源) 111 シリンドリカルレンズ 107 被検物 115 PSD(受光素子) 101 line light source (light source) 111 cylindrical lens 107 test object 115 PSD (light receiving element)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場 信行 山梨県東八代郡御坂町二之宮920番地 株 式会社甲府コニカ内 Fターム(参考) 5B029 AA05 BB02 BB04 BB05 CC06 5B072 AA00 CC26 DD02 LL09 LL19 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Nobuyuki Baba 920 Ninomiya, Misaka-cho, Higashi-Yatsushiro-gun, Yamanashi F-term (reference) 5B029 AA05 BB02 BB04 BB05 CC06 5B072 AA00 CC26 DD02 LL09 LL19

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 平面部と、凸部,凹部のうち少なくとも
一方とが形成された被検物表面に対して光を照射する光
源と、 前記被検物表面での反射光を一方向に集光し、線状光と
する光学素子と、 線状光が入射する受光面を有し、受光面が前記被検物の
表面と略共役の位置に設けられ、前記線状光の線方向に
分割された複数の受光素子とを有し、 該各受光素子の出力により、前記被検物の表面が平面部
/凸部/凹部のいずれかであるかを検出することを特徴と
する光学式表面変位検出装置。
A light source for irradiating light to a surface of the test object having a flat surface and at least one of a convex portion and a concave portion; An optical element that emits light and has a light receiving surface on which the linear light is incident. The light receiving surface is provided at a position substantially conjugate with the surface of the test object, and is provided in a linear direction of the linear light. A plurality of divided light receiving elements, and the output of each light receiving element causes the surface of the test object to have a planar portion
An optical surface displacement detection device, which detects whether it is one of a convex portion and a concave portion.
【請求項2】 前記被検物、前記光源のうち、少なくと
も一方を前記線状光の線方向と交差する方向に移動さ
せ、 前記各受光素子の出力により、前記被検物表面を二次元
的に検出することを特徴とする請求項1記載の光学式表
面変位検出装置。
2. The method according to claim 2, wherein at least one of the test object and the light source is moved in a direction intersecting a line direction of the linear light, and the output of each of the light receiving elements causes the surface of the test object to be two-dimensionally moved. 2. The optical surface displacement detecting device according to claim 1, wherein the optical surface displacement is detected by the following method.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008145318A (en) * 2006-12-12 2008-06-26 Hiroshima Univ Device and method for inspecting member surface

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JP2008145318A (en) * 2006-12-12 2008-06-26 Hiroshima Univ Device and method for inspecting member surface

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