【特許請求の範囲】
【請求項１】 被露光パターンを有する複数の原板を保管する保管手段と、
前記原板を前記保管手段と露光に使用する位置との間で搬送する搬送手段とを備え、前記原板を交換しながら露光を行なう露光装置において、
前記原板を前記保管手段から使用位置までの搬送途中で待機させるために保持する保持手段と、次回以降使用される１または複数の原板を、前記搬送手段により、予め前記保管手段から前記保持手段に搬送して待機させておく制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】 前記搬送手段は前記保管手段と保持手段との間で前記原板の搬送を行なう第１の搬送手段と、前記保持手段と使用位置との間で前記原板の搬送を行なう第２の搬送手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】 前記制御手段は、現在使用中の原板の使用が終了したらその原板を前記使用位置より前記保持手段を経て前記保管手段に回収するとともに、前記保持手段において待機させている次の原板を前記使用位置に搬送するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】 前記制御手段は、使用が予定されている原板およびその使用の順番に関する使用予定情報に基づいて前記待機のための原板の搬送を行なうものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】 前記使用予定情報を、前記制御手段に付与する手段を有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】 前記使用予定情報を、ロットの処理予定および各ロットで使用する原板に関する情報に基づいて生成する使用予定情報生成手段を有することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】 前記使用予定情報生成手段は、前記ロットの処理予定に変更が発生した場合には、変更後のロットの処理予定および各ロットで使用する原板に関する情報に基づいて前記使用予定情報を再度生成するものであることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】 前記使用予定情報には、使用が予定されている各原板について、使用に先立って必要な前処理に関する情報が含まれており、前記制御手段はこの情報に基づいて、前処理が必要な原板について、予め前処理を行なっておくものであることを特徴とする請求項４〜７のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】 前記制御手段は、前記使用予定情報に変更があった場合、変更後の使用予定情報に基づいて前記待機のための原板の搬送および前記予めの前処理をやり直すものであることを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】 前記原板はペリクルを有するレチクルであり、前記前処理には、前記レチクルもしくはペリクルのゴミ検査、または前記レチクルの透過率もしくは回折光量の計測が含まれることを特徴とする請求項８または９に記載の露光装置。
【請求項１１】 前記予め保管手段から保持手段に搬送して待機させておく原板は、必要な前処理が行なわれたものであることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の露光装置。
[Claims]
1. A storage means for storing a plurality of original plates having an exposed pattern, and a storage means.
And a transport means for transporting between a position using said master plate on the exposure and the storage means, in an exposure apparatus for performing exposure while exchanging the original plate,
The holding means for holding the original plate to stand by during transportation from the storage means to the use position and one or more original plates to be used from the next time onward are previously transferred from the storage means to the holding means by the transport means. An exposure apparatus including a control means for transporting and keeping the device on standby.
2. The first transporting means for transporting the original plate between the storage means and the holding means, and a second transporting means for transporting the original plate between the holding means and the position of use. The exposure apparatus according to claim 1, further comprising a transporting means of the above.
3. When the use of the original plate currently in use is completed, the control means collects the original plate from the used position via the holding means to the storage means, and makes the original plate stand by in the holding means. The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the original plate is conveyed to the used position.
4. The control means is characterized in that the original plate for standby is conveyed based on the usage schedule information regarding the original plate scheduled to be used and the order of use thereof. The exposure apparatus according to any one of Items to 3.
5. The exposure apparatus according to claim 4, further comprising means for imparting the usage schedule information to the control means.
6. The exposure apparatus according to claim 5, further comprising a usage schedule information generating means for generating the usage schedule information based on information on a lot processing schedule and a master plate used in each lot.
7. When a change occurs in the processing schedule of the lot, the usage schedule information generating means uses the usage schedule information based on the processing schedule of the changed lot and the information on the original plate used in each lot. The exposure apparatus according to claim 6, wherein the exposure apparatus is generated again.
8. The planned use information includes information on pretreatment necessary prior to use for each master plate scheduled to be used, and the control means preprocesses based on this information. The exposure apparatus according to any one of claims 4 to 7, wherein the original plate is pretreated in advance.
9. When the usage schedule information is changed, the control means shall carry out the transfer of the original plate for standby and the pre-processing in advance based on the changed usage schedule information. The exposure apparatus according to claim 8.
10. The original plate is a reticle having a pellicle, and the pretreatment includes a dust inspection of the reticle or the pellicle, or a measurement of the transmittance or the amount of diffracted light of the reticle. The exposure apparatus according to 8 or 9.
11. The present invention according to any one of claims 1 to 10, wherein the original plate that has been previously transported from the storage means to the holding means and kept on standby has been subjected to necessary pretreatment. The exposure apparatus according to the description.
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明の第１の露光装置は、被露光パターンを有する複数の原板を保管する保管手段と、
前記原板を前記保管手段と露光に使用する位置との間で搬送する搬送手段とを備え、前記原板を交換しながら露光を行なう露光装置において、
前記原板を前記保管手段から使用位置までの搬送途中で待機させるために保持する保持手段と、次回以降使用される１または複数の原板を、前記搬送手段により、予め前記保管手段から前記保持手段に搬送して待機させておく制御手段とを備えることを特徴とする。
0005
[Means for solving problems]
In order to achieve this object, the first exposure apparatus of the present invention includes a storage means for storing a plurality of original plates having an exposed pattern, and a storage means.
And a transport means for transporting between a position using said master plate on the exposure and the storage means, in an exposure apparatus for performing exposure while exchanging the original plate,
The holding means for holding the original plate to stand by during transportation from the storage means to the use position and one or more original plates to be used from the next time onward are previously transferred from the storage means to the holding means by the transport means. It is characterized by being provided with a control means for transporting and keeping it on standby.