JP2001021505A - X線ct・透視装置 - Google Patents
X線ct・透視装置Info
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- JP2001021505A JP2001021505A JP11193052A JP19305299A JP2001021505A JP 2001021505 A JP2001021505 A JP 2001021505A JP 11193052 A JP11193052 A JP 11193052A JP 19305299 A JP19305299 A JP 19305299A JP 2001021505 A JP2001021505 A JP 2001021505A
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Abstract
しての機能を備えたX線CT・透視装置を提供する。 【解決手段】 X線発生手段1とX線検出手段2の間に
設けられる試料ステージを、x,y,z軸方向に移動可
能なベースプレート4と、その上に選択的に搭載される
CT用試料台5および透視用試料台6によって構成し、
CT用試料台5にはz軸方向への移動機能とz軸回りの
回動機能を持たせ、透視用試料台6にはz軸回りの回動
機能とy軸回りの傾動機能を持たせることで、X線CT
装置およびX線透視装置としてそれぞれの専用機と同等
の機能を持たせるとともに、各試料台5,6をCT用お
よび透視用の最適設計とすることを可能とする。
Description
置に係る技術に関し、更に詳しくは、試料のCT断面像
に加えて、試料の任意の方向における2次元透過X線像
を得ることのできるX線CT・透視装置に関する。
を出力するX線源とそれに対向配置されたイメージイン
テンシファイアとCCD等からなるX線センサとの間に
検査対象物である試料を配置し、その試料をX線源とX
線センサとを結ぶ方向に直交する方向の軸の回りに回動
させつつ、その軸の方向に移動させて透過X線情報を採
取することによって、試料の上記回動軸に直交する多数
の断面位置における全方位・全部位の透過X線情報を得
て、その情報をファン−パラ変換と称される変換を行っ
て再構成することにより、試料の回動軸上の任意の位置
における断面像を得る。
び移動させる試料ステージとしては、X線源とX線セン
サを結ぶ方向(x方向)と、それに直交するy,z方向
に試料を粗く移動させて位置決めするための3軸のテー
ブルないしはマニュピュレータと、その上に載せられて
z軸の回りに試料を回動させ、かつ、そのz軸方向に試
料を精密に移動させる試料台を備えた構成などが採用さ
れている。
従来、試料の透過X線情報を再構成せずに、そのまま2
次元の透過X線像を形成できるようにしたもの、つまり
X線透視装置としても使用できるように構成されたもの
も実用化されている。
なX線透視装置としての機能を有する従来のX線CT装
置では、試料ステージに上に載せられた試料はx,y,
z軸方向に移動させ、かつ、z軸方向に回動させること
ができるのであるが、透視装置として用いる場合には不
十分であり、試料を傾動させること、つまり試料を回動
させるz軸を、それと直交し、かつ、そのz軸方向両端
がX線センサに対して接近・離隔する方向に傾けるこ
と、換言すればz軸のy軸回りへの傾動機能が不可欠で
ある。
上記のような傾動機能を備えたものがなく、従って、X
線透視装置としても使用できるとは言うもの、実際のX
線透視装置としての全うな機能を有してはいないのが実
情である。
もので、X線CT装置でありながら、X線透視装置とし
ての全うな機能を備えてなるX線CT・透視装置の提供
を目的としている。
め、本発明のX線CT・透視装置は、X線発生手段と、
そのX線発生手段に対向配置されたX線検出手段と、そ
のX線発生手段およびX線検出手段の間に、試料を互い
に直交するx,y,z軸方向に移動させ、かつ、X線発
生手段とX線検出手段を結ぶ方向に直交するz軸の回り
に回動させる試料ステージを備えるとともに、上記X線
検出手段により採取した試料の透過X線情報を用いて、
試料のX線断面像を再構成する画像処理手段を備えたX
線CT装置において、上記X線検出手段の出力を用いて
試料の2次元透過X線像を形成する透過X線像形成手段
を備えるとともに、上記試料ステージが、x,y,z軸
方向に移動可能なベースプレートと、そのベースプレー
ト上に配置され、試料を搭載してz軸方向に移動させつ
つ当該z軸の回りに回動させるCT用試料台によって構
成され、かつ、そのCT用試料台と交換可能に、上記ベ
ースプレート上で試料を搭載して上記z軸の回りに回動
させ、かつ、そのz軸を傾動させる透視装置用試料台を
備えていることによって特徴づけられる。
合と、X線透視装置として使用する場合とで、試料を搭
載する試料台を交換することによって、これらの各装置
用の試料ステージとして最適な設計を行うことを可能と
し、X線CT装置およびX線透視装置としてのそれぞれ
の機能を全うしようとするものである。
X線透視装置としての機能を全うさせるべく、試料ステ
ージに試料を傾動させる機能を設けない理由の一つは、
X線CT装置として使用する際に、試料を回動させるz
軸がX線源とX線センサとを結ぶ方向(x軸方向)に対
して厳密に直交していることが要求されるためであり、
X線透視装置としての使用に際してz軸を傾動させた
後、X線CT装置として使用する際にそのz軸を再びx
軸に対して直交させるべく調整することが煩雑となる。
従って、z軸の回りに回動させる機構の下方にそのz軸
をy軸の回りに傾動させる機構を設けるか、あるいはz
軸の回りに回動させる機構とz軸を傾動させる機構を一
体化させることは、その使用上の煩雑さを招くか、ある
いは、一旦傾動させたz軸を調整を伴うことなくx軸に
対して直交させる機構を持たせた場合には装置の複雑化
を招く結果となり、いずれにしても好ましくない。
を備えたX線CT用の試料ステージの上に、X線透視装
置として機能させる場合のための傾動機構を着脱自在の
載せることが考えられるが、その場合には、精密駆動が
要求されるX線CT用の試料ステージの耐荷重の点か
ら、傾動のための機構に重量上の制約が生じたり、ある
いは寸法上の制約が生じて使用しにくいものとなる。
ージとして、x,y,z方向に移動可能なベースプレー
ト上に、z軸の回りに回動可能で、かつ、そのz軸方向
に精密に移動可能なX線CT用試料台を載せた構造のも
のを採用するとともに、そのX線CT用試料台を、z軸
の回りに回動可能で、かつ、そのz軸をy軸の回りに傾
動させることのできるX線透視用試料台と交換可能とす
ることにより、各試料台をそれぞれに最適な設計を行う
こととを可能とし、X線CT装置として使用する際のz
軸の調整作業が不要で、かつ、X線透視装置用の試料台
の重量並びに寸法的制約を大幅に緩和することが可能と
なる。
好適な実施の形態について述べる。図1は本発明の実施
の形態の要部の機械的構成を示す正面図であり、図2は
その平面図である。
するX線管球1と、そのX線管球1に対向配置され、シ
ャッター装置21を介してX線を入射するX線検出装置
2と、これらの間に設けられた試料ステージ3を主たる
構成要素としている。X線検出装置2は、例えばイメー
ジインテンシファイアとCCDエリアセンサによって構
成されており、その各画素出力は所定のタイミングのも
とにX線透過情報としてメモリ内に格納される。装置を
X線CT装置として用いる場合には、X線検出装置2の
CCDエリアセンサの各画素出力のうち、X線の照射方
向であるx方向に水平面上において直交するy方向に直
線状に並んだ画素群の用いられ、公知のアルゴリズムに
よって、x−y平面に沿った断層像再構成される。一
方、装置を透視装置として用いる場合には、X線検出装
置2のCCDエリアセンサの全ての画素出力が用いら
れ、2次元X線透過像が形成される。なお、透視装置と
して用いる場合には、イメージセンサの各画素出力はメ
モリに格納することなく、リアルタイムで2次元X線透
過像として表示器に表示してもよい。
次元方向に移動させるベースプレート3次元移動装置3
0と、ベースプレート4上に選択的に搭載された状態で
装着されるCT用試料台5および透視用試料台6によっ
て構成されている。図1,図2は、X線透視装置として
使用する状態を示すものであり、ベースプレート4上に
透視用試料台6が装着され、CT用試料台5は後述する
退避位置に配置されている。
線の照射方向であるx方向に移動するxテーブル31と
直線ガイド機構等を含むその駆動機構31a、そのxテ
ーブル31上で鉛直のz方向に移動するzテーブル32
とその駆動機構32a、そのzテーブル32上に設けら
れ、y方向に移動するyテーブル33とその駆動機構3
3aによって構成されており、そのyテーブル33上に
ベースプレート4が固定されている。この構成により、
ベースプレート4は互いに直交するx,y,z方向に移
動可能となっている。
的斜視図で示すように、鉛直軸(z軸)に沿って精密に
移動する移動テーブル51上に、z軸の回りに精密に回
動する回動テーブル52を載せた構造を有し、その全体
が取付けプレート53上に配置されている。回動テーブ
ル52の上面はフラットであり、この回動テーブル52
の上面にCTによる観察対象試料が載せられるようにな
っている。
的斜視図で示すように、水平の傾動軸61を中心として
傾動する傾動テーブル62上に、鉛直軸(z軸)の回り
に回動する回動テーブル63を載せた構造を有し、その
全体が取付けプレート64上に配置されている。回動テ
ーブル63には、この例において3つ爪のチャック65
が装着されており、透視対象試料はそのチャック65に
把持されるようになっている。この透視用試料台6をベ
ースプレート4上に装着する際には、傾動軸61がy軸
に沿った状態とされ、従って、チャック65に把持され
た試料は、z軸の回りの回動と、y軸の回りの傾動が与
えられる。
6は、前記したようにベースプレート4上に選択的に装
着されるのであるが、ベースプレート4に対する装着
は、それぞれの取付けプレート53または64をベース
プレート4上に載せた状態で、複数箇所においてボルト
を締結することによって行われる。
6のうち、ベースプレート4上に装着されない方は、そ
れぞれに専用に設けられた退避台71,72の上に載せ
られ、必要に応じて各取付けプレート53,64が退避
台71,72に対してボルトによって締結固定される。
CT用試料台5のための退避台71は、xテーブル31
に隣接して設けられているとともに、透視用試料台6の
ための退避台72は、xテーブル31の上に設けられて
おり、それぞれの退避台71または72の上にCT用試
料台5または透視用試料台6を退避させている状態で
は、装置を透視装置としてまたはCT装置としての使用
に際して、それぞれ透視用試料台6またはCT用試料台
5が全く邪魔にならないように、各退避台71または7
2の位置が設定されている。
装置をX線CT装置として使用する場合には、ベースプ
レート4上にCT用試料台5を装着してその上に観察対
象試料を載せ、ベースプレート3次元移動装置30によ
ってベースプレート4を適宜に移動させて試料の位置決
めを行った後、X線管球1からのX線を試料に照射しな
がら、CT用試料台5を駆動して試料をz軸の回りに回
動させつつ、同じくz軸方向に移動させ、定められたタ
イミングでシャッター装置21を駆動して試料の透過X
線情報をX線検出装置2に逐次取り込む。このとき、透
視用試料台6は退避台72上に載せておく。
場合には、ベースプレート3次元移動装置30を適宜に
駆動してベースプレート4を退避台71に近づけ、ベー
スプレート4上のCT用試料台5を退避台71上に移載
した後、ベースプレート3次元移動装置30を再度駆動
してベースプレート4を退避台72に近づけ、退避台7
2上の透視用試料台6をベースプレート4上に移載す
る。そして、透視用試料台6上に透視観察対象試料を把
持し、ベースプレート3次元移動装置30の駆動により
試料の位置決めを行った後、X線管球1からのX線を試
料に照射し、透視用試料台6を駆動して試料をz軸の回
りに回動させ、また、y軸の回りに傾動させる。これに
より、通常のX線透視専用装置と同等の性能のもとに試
料のX線透視を行うことができる。
用試料台5にz軸方向への移動機能とz軸回りの回動機
能を持たせ、透視用試料台6にz軸回りの回動機能とy
軸回りの傾動機能を持たせたが、各試料台5,6には、
上記以外の移動機能、例えばy軸方向への微動機能をな
どを併せて持たせてもよい。
向への移動機能とz軸回りの回動機能を持つCT用試料
台と、z軸回りの回動機能とy軸回りの傾動機能を持つ
透視用試料台6とを、3次元方向に移動可能なベースプ
レートに対して選択的に搭載できるようにしているた
め、X線CT装置のほかに、X線透視装置としても通常
の透視専用機と同等の機能のもとに使用することができ
る。しかも、CT用試料台の上に傾動機構を設ける場合
に比して、積載荷重を大きくともるとともに、CT用試
料台および透視用試料台をそれぞれに最適な設計とする
ことができ、観察可能な試料の寸法も大きくすることが
できる。
正面図である。
料台5の構造を説明するための模式的な斜視図である。
料台6の構造を説明するための模式的な斜視図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 X線発生手段と、そのX線発生手段に対
向配置されたX線検出手段と、そのX線発生手段および
X線検出手段の間に、試料を互いに直交するx,y,z
軸方向に移動させ、かつ、X線発生手段とX線検出手段
を結ぶ方向に直交するz軸の回りに回動させる試料ステ
ージを備えるとともに、上記X線検出手段により採取し
た試料の透過X線情報を用いて、試料のX線断面像を再
構成する画像処理手段を備えたX線CT装置において、 上記X線検出手段の出力を用いて試料の2次元透過X線
像を形成する透過X線像形成手段を備えるとともに、 上記試料ステージが、上記x,y,z軸方向に移動可能
なベースプレートと、そのベースプレート上に配置さ
れ、試料を搭載してz軸方向に移動させつつ当該z軸の
回りに回動させるCT用試料台によって構成され、か
つ、そのCT用試料台と交換可能に、上記ベースプレー
ト上で試料を搭載して上記z軸の回りに回動させ、か
つ、そのz軸を傾動させる透視装置用試料台を備えてい
ることを特徴とするX線CT・透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19305299A JP4088737B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | X線ct・透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19305299A JP4088737B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | X線ct・透視装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021505A true JP2001021505A (ja) | 2001-01-26 |
JP4088737B2 JP4088737B2 (ja) | 2008-05-21 |
Family
ID=16301392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19305299A Expired - Lifetime JP4088737B2 (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | X線ct・透視装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4088737B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122337A (ja) * | 2006-11-15 | 2008-05-29 | Comscantecno Co Ltd | 多機能x線検査装置 |
WO2008119982A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-09 | Nightingale-Eos Ltd | Apparatus and method for positioning a workpiece |
CN102590245A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-18 | 丹东华日理学电气有限公司 | X射线数字平板成像智能检测系统装置及检测方法 |
KR101465444B1 (ko) * | 2013-07-10 | 2014-11-27 | 한국생산기술연구원 | 산업용 ct의 인라인 로딩장치 |
-
1999
- 1999-07-07 JP JP19305299A patent/JP4088737B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4088737B2 (ja) | 2008-05-21 |
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