JP2001021311A - 容量性位置検出装置 - Google Patents

容量性位置検出装置

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JP2001021311A
JP2001021311A JP2000167767A JP2000167767A JP2001021311A JP 2001021311 A JP2001021311 A JP 2001021311A JP 2000167767 A JP2000167767 A JP 2000167767A JP 2000167767 A JP2000167767 A JP 2000167767A JP 2001021311 A JP2001021311 A JP 2001021311A
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Jean I Montagu
ジーン・アイ・モンタギュー
Peter Honkanen
ピーター・ホンカネン
Nathan K Weiner
ネイサン・ケイ・ワイナー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、環境変動または時間変動によりゲ
イン変動および・またはゼロ基準点を補正できる、簡便
にして、自給式の安価な容量性位置トランスデューサ装
置を提供することにある。 【解決手段】 本発明の位置トランスデューサによれ
ば、動作プレートと、少なくとも１つの検出プレート
と、位置検出される構成部品の動きに依存して上記間隔
内で移動することができ、動作プレートと検出プレート
の間の容量カップリングを、その位置の変化に依存して
変えるように構成された電動子と、電動子の移動経路に
沿った所定の既知の位置に配置され、動作プレートと実
質的に対向する、少なくとも１つの容量性基準部材とを
備え、基準部材は、電動子が達して相互作用する時に、
離散的な信号を形成するように構成されたことにより、
固定式構造体に対して電動子の正確な位置を信号出力す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、環境変動または時
間変動に起因するゲイン変動および・またはゼロ基準点
を補正できる、容量性位置トランスデューサ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】検流計的な（ガルバノメトリック：galv
anometric）光学スキャナは、位置検出装置が取り付け
られた限定的回転モータである。通常、このスキャナ
は、一般にはレーザ光である光のビーム角度を変えるた
めの鏡を有している。一般に、このようなユニットを２
つ並べて構成して、２つの直交する方向において光の向
きを変え、表面全体に光を照射できるようにする。この
ような対をなすユニットを、一般に、「双軸スキャナ」
または「双軸走査ヘッド」という。
【０００３】双軸走査ヘッドと同様、単軸スキャナは、
例えば、レーザ微細精密加工、視覚的通信、人工的な視
野の拡大、材料処理、医療処理、および娯楽といった、
非常に多くの用途で用いられている。
【０００４】レーザ走査は、極めて精密な機能を有する
ために、しばしば利用される。その一例として、人工衛
星間通信、コンピュータデータからの動画形成、シリコ
ンマイクロチップの補修、レーザ刻印、飛行機およびミ
サイルのためのレーザ誘導が挙げられる。これらの用途
およびその他の用途において、正確に位置合わせし、ま
たは正確に追跡すること、および安定していることは、
非常に重要なことである。
【０００５】現在ある光学スキャナは、マイクロラジア
ン以下の解像度と安定度を有することが期待されてい
る。所望される安定度は、装置の解像度としばしば同等
であって、例えば、環境条件の範囲では１マイクロラジ
アンである。これらの特性を決定する極めて重要な構成
部品は、位置センサであって、位置トランスデューサと
しても知られており、限定的回転モータのシャフト上に
取り付けられている。容量性トランスデューサが、通
常、こうした用途に用いられ、数多くの構成が開示され
てきた。ミラーに付与された米国特許第３，５１７，２
８２号や米国特許第３，５７７，０７２号、およびフォ
ールドバリらによる「容量性トランスデューサ」（装置
および制御システム、１９６４年１１月）を参照された
い。最近の位置トランスデューサは、しばしば１ｇｃｍ
2以下の慣性の低いアナログ装置であって、１ラジアン
の範囲にあって１マイクロラジアンより良好な分解能を
有するる。これらの容量性トランスデューサは、汎用可
変コンデンサで形成されており、このコンデンサの基板
および可動部品は、比較的に安価なＰＣＢやセラミック
材料など、極めて安定的で頑健な等方性材料で形成する
ことができる。容量性角度位置トランスデューサは、慣
性が低く、解像度が極めて高く、時定数が極めて小さ
く、作製する上で比較的に安価であるので、対象とする
物を走査する上で好適である。
【０００６】これらの特徴を有するにもかかわらず、主
要な問題点は安定性に欠けている点にある。容量性トラ
ンスデューサの信号、ゲイン、およびゼロ基準点はすべ
て、温度、湿度、または単に経時的な関数として変化す
る。関連するデコード回路もまた、アナログ部品であっ
て、極めて安定的な構成部品を用いる必要がある。関連
する電気回路は、数十もの数にのぼる非常に重要な構成
部品を用いているので、各構成部品の安定度は、装置全
体の安定度よりもはるかに高い次元であることが必要で
ある。これは、製造コストおよび検査コストが安価に使
用とすれば、ほとんど、あるいはまったく実現されない
ことである。
【０００７】米国マサチューセッツ州のケンブリッジに
あるケンブリッジ・テクノロジー株式会社から市販され
ている高品質光学スキャナは、一例として、１マイクロ
ラジアン以下の解像度を有するが、広告によれば、その
ゼロ基準点の変動が１０マイクロラジアン／℃で、その
ゲイン変動が５０ＰＰＭ／℃で、自動ゲイン制御装置
（ＡＧＣ：Automatic Gain Control）を備えたユニット
に対するその短期間非補正変動が８マイクロラジアンで
ある。
【０００８】装置全体の１マイクロラジアンの解像度と
同程度に良好な安定度が必須である場合、ユニットの検
査および検査は、極めて要求の厳しいものとなる。高い
安定度に対する要請を満足させるために、高い安定度を
補償しようと、これまで数多くの技術が提案されてき
た。
【０００９】１つのアプローチとして、ロアに付与され
た米国特許第４，８６４，２９５号で具体例が示されて
いる。これによれば、位置検出トランスデューサの機械
的構造の上に、温度による変動値を測定して、この変動
値を用いて位置信号に生じる誤差を補正するためだけ
に、２次的コンデンサが採用されている。市販のトラン
スデューサは、ほとんどこのように構成されていない。
その他の設計では、同様に補正するために、数多くの構
成部品、およびガードのようなプレートを付加してい
る。ストークスらに付与された米国特許第５，０９９，
３８６号はその一例である。
【００１０】別の補正方法は、高価で煩雑となるが、基
点となる光学的基準部品を、視角領域に設置することを
含む。この基点は、光学的に検出され、容量性位置セン
サを再較正するために用いられる。課題は、走査システ
ムで期待されるのと同程度の解像度で、ビーム位置を検
出することにある。対象物に照射する上で、視角領域に
配置されたこのような基準部品は、適正な解像度でビー
ム位置を特定することができ、この装置は、通常、分割
セル光学センサと逆反射体を採用している。さらに別の
方法は、同一の光路を介した視覚的測量技術を用いるこ
とで、検査される対象物の特定可能な形状を用いる。視
覚的測量技術を用いる場合、視角領域で特定される形状
は、アナログ式の角度位置センサを再較正するために用
いられる。トレパニエルに付与された米国特許第５，４
００，１３２号によれば、視角領域において逆反射対を
使用することが開示されている。ワイズに付与された米
国特許第４，９１８，２８４号は、視認される対象物の
形状を用いて、較正または整合するためにこの形状が検
査される。
【００１１】ほとんどの多角形レーザプリンタで見られ
るような周期的な装置において、印刷平面は、指定し、
範囲限定するために、走査開始および走査完了の分割セ
ル光学センサを備えている。
【００１２】択一的な補正方法は、補正または位置特定
するためだけの目的で、追加的な光学経路を形成するこ
とであった。これらの一般的なものとしては、ＥＣＲＭ
のペルボックスTMであって、ツィーエンに付与された米
国特許第５，２９６，７０３号で顕微鏡走査システムと
して開示されている。
【００１３】例えば、ロケット点火や衛星通信のめたの
レーザ誘導装置において、視野領域に基準点を設けるこ
とは実際的でないか不可能である場合が多い。また、上
述の解決策やその他の解決手段によれば、高価であった
り、不便であったり、所望する程度に効果が上がらな
い。
【００１４】本発明は、簡便で安価な安定的容量性位置
トランスデューサを提供することを目的とする。本発明
は、解像度、大きさ、その他すべての特性を損なうこと
なく、環境条件における幅広い範囲に亙って、センサ感
度と同程度の感度、およびゼロ基準安定度を提供する。
本発明の追加的な特徴は、関連する電気回路部におい
て、通常の電気部品を用いて、視野領域に基準点を設け
ることなく、安定度から得られるコスト上の恩恵が受け
られることである。
【００１５】本発明は、検流的な装置に関して、特に必
要とされているために、なされたものであるが、正確な
位置決めが必要とされる振動装置に対して一般に適用す
ることができる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、上述の課題を解決することにある。本発明は、環境
変動または時間変動を補正できる、簡便にして、自給式
の安価な容量性位置トランスデューサ装置を提供するこ
とにある。
【００１７】とりわけ、本発明は、コスト・バーフォー
マンス性の高い検流的な光学スキャナを改善することを
その目的とする。
【００１８】本発明のさらなる目的は、より一般的な表
現を用いて、可変容量性位置トランスデューサのピコフ
ァラッドの位置検出におけるゲイン変動およびゼロ基準
点変動を補正する装置および方法を提供することにあ
る。
【００１９】本発明のさらなる目的は、容量性トランス
デューサの容量性部材として配置可能な基準マークを開
示することであって、この容量性部材は、トランスデュ
ーサの可動部品と協働して適正に機能する。このような
基準マークは、トランスデューサの１つまたは複数の容
量性検出プレート上の部材として、あるいは追加的な共
通の支持部上の追加的な容量性部材として設けることが
できる。
【００２０】本発明のさらなる目的は、パーソナルコン
ピュータのような論理システムと協働して動作する内部
較正部材とともに形成されたトランスデューサを開示す
ることであって、このトランスデューサは、導電性およ
び誘電性の可動電動子の変動をともに効果的に最小限に
抑えることができる。本発明は、可動鉄、可動磁石、ま
たは可動導電性回転子を有するトルクモータを採用した
容量性トランスデューサに対しても同様に適用可能であ
る。
【００２１】本発明の好適な実施形態によれば、検出装
置は、固定式のコンデンサプレート部を有するコンデン
サセンサ構造体を用いる。一連の弧状コンデンサプレー
ト検出部材が支持プレート上に配置されている。この一
連の検出部材は、モータの回転シャフトを包囲してい
る。同様に、モータの回転シャフトを包囲するリング状
容量性励振プレート部材が、弧状検出部材からシャフト
軸の方向に多少距離をおいて配置され、その間に間隔
（ギャップ）を設ける。少なくとも１つの対向するアー
ムを有する誘電性または導電性電動子は（すなわち、可
動部材）、容量性プレート部材の間で、回転シャフトに
固定されている。こうして、シャフトとこれに固定され
た電動子が回転すると、容量性構造体は、実際上、容量
値が反対方向に変化する一対のコンデンサを備える。こ
れらのコンデンサを含む電気回路を用いて、回転シャフ
トの回転位置を示す信号を出力するために、コンデンサ
の容量の差異を求めることができる。シャフト角度位置
に関する信号が線形であるかどうかは、弧状容量性プレ
ート部材が、対称的に同一であり、同心の円弧内に好適
に分割されているかどうかに依存する。さらに、線形で
ないことは、適当なソフトウェアプログラムにより較正
され補正されるので、高い反復性が、容易に実現され、
多くの場合、満足できるものとなる。
【００２２】こうした容量性検出構造体は、角度回転に
関する実質的に線形な信号を形成する。電気容量ほ形成
するこの装置および、特に、この容量性構造体は、回転
シャフトの半径方向の動きに対して本質的に無関係とな
るように構成される。
【００２３】本発明のトランスデューサは、こうした容
量性検出部材に、内部基準部材、つまり角度位置基準部
材として機能する容量性部材を追加する。この内部基準
部材は、トランスデューサプレート構造体の一部として
組み込まれ、弧状容量性検出部材の特定可能な部材、ま
たは追加的な一連の容量性部材として、可動検出部材上
の対となる相方部材が存在するかどうかを検出するため
だけに配置される。これらの部材は、可動検出部材の慣
性を、従来式の同等の構成と比較して、最小限に抑えら
れるように構成される。
【００２４】この基準部材は、通常の動作時に用いられ
る偏向運動中心的な領域を越えたところに配置され、こ
の装置が較正モードになったときだけ、この基準部材に
達するようにしてもよい。
【００２５】この独立した追加的な容量性基準検出部材
が形成されたトランスデューサにおいて、この基準検出
部材を弧状検出部材に隣接して配置される。基準部材
は、位置を検出するために、可動部品の部材と相互作用
して、可動部品の主要な部品は、検出部材と相互作用す
る。好適には、２つの基準部材は、トランスデューサの
中心位置に対する時計回り（ＣＷ）および反時計回り
（ＣＣＷ）のいちをそれぞれ特定するように配置され
る。
【００２６】離散的な部分的で狭小な半径方向の切り欠
き部またはその他の動揺起因体として形成される内部基
準体が形成されたトランスデューサにおいては、特別な
可動部材を設ける必要がない。可動部材が、この切り欠
き部またはその他の動揺起因体に亙って、ほぼ一定の速
さで回転するとき、比較的に狭小なスパイクが、サーボ
増幅装置の駆動電流およびエラー信号と同様に位置信号
上に記録される。これらのスパイクが、この切り欠き部
またはその他の動揺起因体の容量性プレートに対する円
弧上の位置を示すので、スキャナの固定部材として機能
させることができる。
【００２７】同様の第２の対称的な切り欠き部またはそ
の他の動揺起因体が、反対の極性を有する対称的な弧状
容量性プレート上に形成されたとき、誘電部を同様に反
対方向に回転させたときに、同様のスパイクが生じる。
【００２８】これら基準部材の角度距離が分かっている
場合、最初に検出された信号スパイク間の信号電圧の差
異を測定することにより、いつでも、トランスデューサ
の角度感度を求めることが可能となる。トランスデュー
サのゲイン感度が変動しないように、較正または再較正
プロトコルを容易に形成することができる。ユーザまた
はコンピュータプログラムにより、このプロトコルを実
現することができる。この感度測定は、用いられる電気
回路のすべての環境条件に対して独立しており、必要に
応じて、容易に反復して行うことができる。弧状部材を
支持するプレートが、環境変化に伴って等方的に変形す
る材料を用いて形成された場合、２つの内部基準部材間
の角度位置は、一定に維持でき、同様に、基準となるフ
レームに固定する台座に対しても一定に維持できる。結
果として、このトランスデューサは、ゲイン安定性を良
好に維持することができる。
【００２９】角度検出装置の中心位置（ゼロ基準点とし
ても知られる）は、スキャナ／位置トランスデューサの
視角領域／機械的領域の範囲内における２つのほぼ対称
的に配置され、設定された角度基準部材の間の中間点と
して、通常定義される。これらの２つの角度位置におい
て、トランスデューサの電気回路の出力が、逆の極性で
同一の電圧値となるように、直流バイアス信号を印加し
て、信号を検出する。トランスデューサの電動子は、出
力電圧値がゼロとなるまで回転し、この位置が装置のゼ
ロ基準点として定義される。この位置は、位置トランス
デューサのプレート形状の対称軸と一致するはずであ
る。従来式のトランスデューサのゼロ基準点は、こうし
た正確な基準位置を有していなかったので、通常、制御
されないゲイン変動に起因して変動していた。これまで
は、光学的視野領域に取り付けてられていた光学基準部
材を用いて、スキャナが動作するように、（効果で不便
な）特別な構成を設けることにより、ゼロ基準点変動を
ほぼ完全になくしていた。本発明によれば、このトラン
スデューサは、簡便で安価な内部に設けられたよう両性
基準部材を用いて、同一の特性を実現し、ゼロ基準点が
２つの内部基準部材を参照して求めることができる。
【００３０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
によれば、固定式構造体と、この固定式構造体と対向
し、間隔をおいて設置された動作プレートと、少なくと
も１つの検出プレートと、位置検出される構成部品の動
きに依存して上記間隔内で移動することができ、動作プ
レートと検出プレートの間の容量カップリングを、その
位置の変化に依存して変えるように構成された電動子
と、電動子の移動経路に沿った所定の既知の位置に配置
され、動作プレートと実質的に対向する、少なくとも１
つの容量性基準部材とを備え、基準部材は、電動子が達
して相互作用する時に、離散的な信号を形成するように
構成されたことにより、固定式構造体に対して電動子の
正確な位置を信号出力する容量性位置検出装置を提供す
ることができる。
【００３１】請求項２に記載の本発明によれば、角度位
置を検出すべきシャフト部を有する限定回転モータと組
み合わせて用いられる。
【００３２】請求項３に記載の本発明によれば、検流計
的な光学スキャナを有する。
【００３３】請求項４に記載の本発明によれば、基準部
材は、離散的な容量性基準プレートからなり、検出プレ
ートから得られる信号とは独立した位置検出を形成する
ように構成される。
【００３４】請求項５に記載の本発明によれば、動作プ
レートは、シャフトを包囲する環状リングであって、回
転位置を検出すべき上記構成部品を含み、シャフトを包
囲する一連の円弧状検出プレートを有し、基準部材は、
円弧状検出プレートの半径方向の外側に配置された離散
的な容量性基準プレートを有し、電動子は、この基準プ
レートと交互作用するのに十分な程度に半径方向に延び
た部位を有する。
【００３５】請求項６に記載の本発明によれば、一連の
円弧状検出プレートは、円形に構成された実質的に同一
の４つのプレートからなり、第１および第３の円弧状検
出プレートが電気的に接続され、第２および第４の円弧
状検出プレートが電気的に接続され、電動子は、第１お
よび第２円弧状検出プレートと、第３および第４円弧状
検出プレートと、各々、対応して重なる２つの対向する
アーム部を有し、第１および第３の円弧状検出プレー
ト、または第２および第４の円弧状検出プレートと関連
する、少なくとも２つの基準部材を有し、電動子は、一
連の円弧状検出プレートを半径方向に超えて延びた先端
拡張部を有して、反時計回りおよび時計回りに回転した
とき、各々、シャフトの最大通常動作偏位を超えて、角
度的に外れた領域にある基準プレートと相互作用する。
【００３６】請求項７に記載の本発明によれば、位置を
検出すべき上記構成部品に対する駆動部のゲイン変動ま
たはゼロ基準点変動を補正するとき、基準プレートで形
成されたパルスに対応するように構成された電気回路部
と組み合わせて用いられる。
【００３７】請求項８に記載の本発明によれば、シャフ
トに対する駆動部のゲイン変動またはゼロ基準点変動を
補正するために、基準プレートで形成されたパルスに対
応するように構成された電気回路部と組み合わせて用い
られることを特徴とする請求項６の容量性位置検出装
置。
【００３８】請求項９に記載の本発明によれば、基準部
材は、検出プレート内に設けた動揺起因体であって、検
出プレートの主要本体部から得られた信号の上に重ねら
れた位置信号を検出する。
【００３９】請求項１０に記載の本発明によれば、動揺
起因体は、検出プレートが有する離散的な半径方向の拡
大部である。
【００４０】請求項１１に記載の本発明によれば、動揺
起因体は、検出プレート内に設けた部分的な半径方向の
スロットである。
【００４１】請求項１２に記載の本発明によれば、動作
プレートは、シャフトを包囲する環状リングであって、
回転位置を検出すべき上記構成部品からなり、一連の円
弧状検出プレートを有し、動揺起因体を有する少なくと
も１つの検出プレートでシャフトを包囲する。
【００４２】請求項１３に記載の本発明によれば、一連
の円弧状検出プレートは、円形に構成された実質的に同
一の４つのプレートからなり、第１および第３の円弧状
検出プレートが電気的に接続され、第２および第４の円
弧状検出プレートが電気的に接続され、電動子は、第１
および第２円弧状検出プレートと、第３および第４円弧
状検出プレートと、各々、対応して重なる２つの対向す
るアーム部を有し、第１および第３の円弧状検出プレー
ト、または第２および第４の円弧状検出プレートと関連
する、少なくとも２つの基準部材を有する。
【００４３】請求項１４に記載の本発明によれば、位置
を検出すべき上記構成部品に対する駆動部のゲイン変動
またはゼロ基準点変動を補正するために、基準プレート
で形成されたパルスに対応するように構成された電気回
路部と組み合わせて用いられる。
【００４４】請求項１５に記載の本発明によれば、シャ
フトに対する駆動部のゲイン変動またはゼロ基準点変動
を補正するために、基準プレートで形成されたパルスに
対応するように構成された電気回路部と組み合わせて用
いられる。
【００４５】請求項１６に記載の本発明によれば、環境
条件が変化した場合であっても、検出プレートおよび基
準プレートの角度位置が互いに対して変化しないよう
に、検出プレートおよび基準プレートが等方性材料の上
に支持される。
【００４６】請求項１７に記載の本発明によれば、環境
条件が変化した場合であっても、各検出プレートの角度
位置が互いに対して変化しないように、各検出プレート
が等方性材料の上に支持される。
【００４７】請求項１８に記載の本発明によれば、パー
ソナルコンピュータのような論理システムと協働して、
内部に較正部材を有する。
【００４８】請求項１９に記載の本発明によれば、シャ
フトに対する、可動鉄片と、可動磁石または可動導電性
回転子とを有する限定回転モータと組み合わせられ、シ
ャフト上に取り付けられた回転可能な電動子を有し、容
量性タイプであって、較正部材は、電動子と容量的に相
互作用するように構成される位置トランスデューサを提
供することができる。
【００４９】請求項２０に記載の本発明によれば、固定
式コンデンサプレート部と、モータの回転シャフトを包
囲する、複数の円弧状コンデンサ検出プレート部と、モ
ータの回転シャフトを包囲し、シャフトの軸に沿って円
弧状コンデンサ検出プレート部から間隔をあけて配置さ
れた、リング状容量性励振プレート部と、回転シャフト
に固定され、検出プレート部と励振プレート部の間の間
隔に設けられた少なくとも一対の対向するアーム部を有
する部材からなる電動子部とを備え、これにより、容量
構造体が、シャフトとこれに固定された電動子部が回転
すると反対方向に変化する一対の容量値Ｃ1,3と容量値
Ｃ2,4を実際上与えられ、これらの容量値を有し、容量
値の差異（Ｃ1,3−Ｃ2,4）を求めて、回転シャフトの回
転位置を示す出力信号を形成する電気回路部をさらに備
え、コンデンサプレート部は、位置トランスデューサが
回転シャフトの半径方向の動きに対して本質的に無関係
となるように構成され、位置トランスデューサの選択さ
れた位置における構造体の内部に設けられた角度位置基
準用部材として機能する容量性基準部材をさらに備え
る。
【００５０】請求項２１に記載の本発明によれば、内部
に設けられた基準部材は、容量性弧状部材の動揺起因体
である。
【００５１】請求項２２に記載の本発明によれば、内部
に設けられた基準部材は、追加的な一連の容量性プレー
トであって、可動電動子の上に設けられた照合部材の存
在を検出する。
【００５２】請求項２３に記載の本発明によれば、基準
部材は、容量性弧状部材に隣接して配置された基準容量
性部材であって、可動電動子の部材と静電気的に相互作
用して位置を特定する。
【００５３】請求項２４に記載の本発明によれば、請求
項２１ないし２３のいずれかの位置トランスデューサで
あって、２つの基準部材は、各々、位置トランスデュー
サの中心位置に対する時計回り（ＣＷ）および反時計回
り（ＣＣＷ）の位置を特定する。
【００５４】請求項２５に記載の本発明によれば、内部
に設けられた基準部材は、４つの容量性弧状部材の１つ
の形状に対する、部分的な狭い半径方向の切り欠き部、
またはその他の動揺起因体として形成される。
【００５５】請求項２６に記載の本発明によれば、切り
欠き部、またはその他の動揺起因体の１つにおいて、電
動子部をほぼ一定速度で回転させ、位置信号、駆動電
流、またはサーボ増幅部のエラー信号の上に重ねられた
比例的に狭小なスパイクを形成し、スパイクが、固定的
な基準値として機能するために固定式トランスデューサ
構造体に対する切り欠き部、またはその他の動揺起因体
の配置関係を示す。
【００５６】請求項２７に記載の本発明によれば、対称
的な容量性弧状検出プレートの上に、第２の対称的な同
様の切り欠き部、またはその他の動揺起因体を有し、電
動子が同様に対称的に反対方向に回転し、同様のスパイ
クを形成する。
【００５７】請求項２８に記載の本発明によれば、弧状
検出部材と基準部材に対する支持部の材料が、等方的に
変形するような材料から選択され、これにより、基準部
材間の角度位置が、これらを基準フレームに固定する台
座との関係において維持され、これにより、位置トラン
スデューサは、環境条件の変化の範囲においてゲインを
安定させることができる。
【００５８】請求項２９に記載の本発明によれば、基準
部材に関連して、スパイクが出現する時の信号電圧の差
異を測定する電気回路部を有し、トランスデューサの角
度検出性を決定する。
【００５９】請求項３０に記載の本発明によれば、較正
または再較正プロトコルを実施して、トランスデューサ
の変動しないゲイン検出性を実現する。
【００６０】請求項３１に記載の本発明によれば、ほぼ
対称的に配置された２つの内部に設けられた基準部材の
間の中間点として、角度検出器の中心位置であるゼロ基
準点を決定するように構成される。
【００６１】請求項３２に記載の本発明によれば、これ
ら２つの角度位置において、トランスデューサの電気回
路の出力値が反対の極性と同一の値を有するように、検
出された信号に対して、直流バイアス信号を付加する。
【００６２】請求項３３に記載の本発明によれば、位置
トランスデューサを用いて、トランスデューサの中心位
置を決定する方法であって、トランスデューサの電動子
は、出力値がゼロとなり、中心またはゼロ基準点を決定
する位置まで回転し、この位置は、検出プレートに対し
て対称的に配置された２つの内部基準部材に対する基準
値により決定される。
【００６３】
【発明の実施の形態】本実施形態において、図１ないし
図４に示す磁力限定的偏位トルクモータ１０は任意に設
計することができる。その回転子は、Ｘ軸の回りを振動
するように回転するシャフト９を有する。回転子のシャ
フト９は、位置トランスデューサ１２を貫通して延び、
鏡１１のような光学部品がその端部上に取り付けられて
いる。
【００６４】位置トランスデューサ１２は、シャフト９
に垂直な平面において、固定式支持プレート１４を有す
る。このプレート１４は、例えば、等方性のエポキシ樹
脂、ＰＣＢ、またはセラミック好適には、等方性材料で
形成されており、その上に、一連の４つの容量性検出プ
レート部品１、２、３、４が取り付けてある。各部品
は、９０度より多少鋭角の扇形形状を有する。この一連
の容量性検出プレート部品は、回転シャフト９を取り囲
むように、かつ互いに隣接するプレートとは隔離して配
置されている。同様に、回転シャフト９を取り囲む固定
式環状リング容量性プレート部８は、プレート１４とは
距離をおいて、平行に配置され、容量性検出プレート部
品１、２、３、４とは対向している。固定式環状リング
容量性プレート部８は、図示したように、交流電源と接
続され、この種のトランスデューサに共通する手法で、
励振プレートとして機能する。
【００６５】導電性材料または誘電体材料からなる電動
子（armature）７は、対向して配置されたアーム７ａ，
７ｂを有する。電動子７は、容量性検出プレート部品
１、２、３、４と、励振プレート８の間に配置され、通
常の容量性トランスデューサのようにこれらのプレート
と相互作用する。
【００６６】このような構成により、事実上、シャフト
９が電動子７とともに回転すると、一対の電気容量Ｃ
1,3、および電気容量Ｃ2,4を反対方向に変化させること
ができる。図３および図５を参照しながら、以下で説明
する電気回路部は、このような電気容量を有し、容量の
差（Ｃ1,3−Ｃ2,4）を効率的に求める。その結果、シャ
フトの角度位置を表す増幅されたアナログ出力信号を形
成することができる。
【００６７】電動子７は、周辺部の角部に先端部１６を
有し、この先端部は、容量性検出プレート部品１、２、
３、４を超えて半径方向に突出している。先端部は、電
動子７の２つの各アームの角部上に、質量の小さい先端
部を４つ設けて、回転慣性のバランスを維持している。
これら先端部と協働的するように、一連の容量性基準プ
レート５、６が、等方性支持部１４上に支持されてい
る。また、容量性基準プレート５、６は、検出プレート
１、２に関して対称的に配置され、検出プレート１、２
を半径方向に超えて配置されている。
【００６８】基準プレート５、６は、角度距離Ｒだけ互
いに離間しており、この角度距離は、図４に示すよう
に、限定回転装置の中心動作領域を決定する間隔であ
る。励振リング８は、プレート１ないし６を覆う程度の
大きさであることが好ましい。
【００６９】動作に際して、電動子７が中心領域Ｒの範
囲を回転するとき、図４に示すように、電動子７が、事
実上、基準プレート５、６の内側で偏位運動する限りに
おいて、このトランスデューサの動作は、従来式のよう
角度位置容量性検出トランスデューサの動作と同等なも
のとなる。必要に応じて、または定期的に、自動的な
「較正」モードとしたときに、電動子７がさらに大きく
回転する。このとき、電動子７の先端部周囲の間隙内の
誘電体が空気から電動子物質へと変化するので、これら
プレートに関連する容量値が極めて大きく変化する。基
準プレートが示す容量値の変化の大きさは、このトラン
スデューサの主要プレートのそれと同等になる。それ
は、本質的に、基準プレートの間隔内にある誘電体の変
化に比例している。
【００７０】基準部材が角度を決定する。支持部１４に
対する等方性材料を選択することにより、熱膨張によっ
て、これら材料上の表面部材に関する角度の関係に変化
をもたらさない限り、角度は一定とすることができる。
【００７１】電動子７の先端部１６5または１６6は、そ
れぞれ、基準プレート５または６に達して相互作用し、
電気回路部が図６で示すように反応して、このことを特
定するような際立ったパルスを形成する。このパルスの
立上り時点が、電動子の偏位の最端部に対する実際の位
置を示す瞬間として用いられる。
【００７２】図５および図７の電気回路、および図６、
図１２、および図１３の技術を用いて、電動子は、回転
方向である時計回り回転方向（ＣＷ）および反時計回り
回転方向（ＣＣＷ）に偏位運動する。検出装置の位置ト
ランスデューサ部材からの電圧値が測定される。この電
圧値は、電動子が２つの基準点の間を回転偏位する度合
いを示し、基準プレートからのスパイク信号の先端部か
ら求められる時間信号に対応する。
【００７３】この電圧値は、先に確立された値と比較さ
れて、必要ならば、補正動作が実施される。トランスデ
ューサで測定された際に、シャフトとこれに固定された
電動子の実際の偏位と、期待される電圧値とが合致する
ように、制限回転モータの駆動振幅のゲインを調整する
ように補正してもよい。
【００７４】同様に、電動子が２つのＣＷおよびＣＣＷ
基準プレート５、６に達して相互作用するときに、トラ
ンスデューサ信号の絶対値を等しくするように調整し
て、電動子７のゼロ基準位置を決定する。
【００７５】図６、図１２、および図１３を参照しなが
ら、より詳細に具体例を説明すると、モータ１０のサー
ボ制御部が、通常の手法で、検出プレート１，３および
２，４からの増幅されたアナログ位置信号を受信し、モ
ータ１０のシャフト９の瞬間的な角度位置を出力する。
周囲条件が変化するのに伴って、位置検出装置の変動が
生じる。このときの基準値に基づいて位置検出装置を使
用すると、出力されたアナログ位置信号は、電動子の実
際の位置に対応しなくなってしまう。
【００７６】図６では、位置信号の振幅が時間に対して
プロットされており、そのグラフ上に基準パルス信号が
重ねてプロットされている。本発明によれば、時計回り
および反時計回り方向に回転することにより、容量性基
準部材が形成する図６に示すようなパルスが生じた瞬間
における電動子の実際の瞬間的位置を知ることができ
る。
【００７７】好適な実施形態では、トランスデューサ増
幅器の自動ゲイン制御信号を形成するために用いられ、
その結果、出力された位置信号は、実際のシャフト位置
を正確に反映するように補正し、命令信号に応じてシャ
フトを正確に駆動するようにサーボ制御することができ
る。
【００７８】図１２の好適な実施形態では、シャフト９
が時計回りおよび反時計回り方向に回転することにより
形成される基準パルスの先端部が、各々、サンプル・ホ
ールド（Ｓ＆Ｈ）回路のトリガ（ラッチ信号）として用
いられる。アナログ位置信号の瞬間的な電圧値は、コン
ピュータ制御のもと、時計回りおよび反時計回りの基準
パルスの先端部が発生する時点で取り込まれる。これら
の取り込まれた値（図１２の「測定スパン（短い時間間
隔）」）は、２つの物理的に隔離された基準部材間であ
る電動子角度変位Ｒの定義された間隔に対する全体的な
位置増幅ゲインを意味する。図６は、２つの異なる位置
検出ゲイン設定を示し、どのように、ゲイン曲線とパル
スの交点に相当する取り込まれた電圧値の差異が、それ
ぞれ異なる全体的ゲイン値であるＰＤゲイン１および２
を形成するかを示す。
【００７９】２つのサンプル・ホールド回路の値は比較
されて、基準部材間の実際の（真の）測定スパンを示す
差異値が形成される。続いて、この差異値は、この装置
がスパン距離を表す際に用いた図８の「スパン基準値」
と比較される。これにより、「スパン補正値（ＡＧ
Ｃ）」エラー信号が形成され、自動ゲイン補正信号とし
て利用され，トランスデューサ増幅器のゲインを合致さ
せる。こうして、出力された位置と実際の位置を合致さ
せる。
【００８０】ゼロ基準点補正に関しては、図示しない簡
便な電気回路を用いて、２つの基準プレートでサンプル
・ホールドされた電圧値を平均化することにより、各基
準プレートで検出されるであろう所望する位置の絶対電
圧値を求める。この所望する位置の電圧値は、基準プレ
ートにおける実際の電圧値と比較されて、対応する調整
値が位置増幅部のゼロ基準点となり、その結果、所望す
る電圧値が得られる。
【００８１】特定の場合では、抽出された１つまたいく
つかの信号をもとに、これらの補正を行うのではなく
て、限定回転モータが動作する線形的な範囲を超えたと
ころに基準部材が配置されたにもかかわらず、正確な補
正値に関する適用範囲に対して、反復的に微小な増減量
で徐々に装置を補正する方が都合よいことがある。
【００８２】図８および図９は、容量性基準信号を得る
ための別の手段を例示している。いずれの構成において
も、トランスデューサの容量性検出プレートの形状に対
して、際立った動揺起因体を設けることにより、基準信
号を得るように設計されている。この基準的な動揺起因
体は、通常、トランスデューサの線形的で利用可能な範
囲の外側に配置されている。
【００８３】図８の実施形態では、容量性プレート部品
１ａ、２ａの形状が有する動揺起因体とは、各々、半径
方向に拡大されたタブ部２０、２２である。
【００８４】これらのタブ部は、円弧上の距離Ｒだけ離
間しており、この距離により電動子の中心動作範囲が決
まる。トルクモータの慣性と負荷に関連する電動子７ａ
は、高周波三角状波信号に追随するように、一定の速さ
で回転駆動される。電動子７ａが拡大されたタブ部２
０、２２に達すると、励振プレート８ａおよび各基準タ
ブ部と協働して、効率的に、各検出プレート１ａまたは
２ａから不連続信号を得る。サーボ駆動部がこの不連続
信号と反応して、回転子がこの信号に追随するように、
電流スパイクが形成される。
【００８５】図６の実施形態では、容量性プレート部品
１ｂ、２ｂの形状における動揺起因体は、各検出プレー
トの周縁部に切り込まれた限定的な半径方向のスロット
Ａ、Ｂの形状を有している。
【００８６】回転子が上述のように駆動されると、容量
性検出プレートの形状における動揺起因体の効果は、図
９の実施形態に関して、図１１（ａ）および図１１
（ｂ）のようになる。
【００８７】このトランスデューサの電動子７ｂは、負
荷とトルクモータの慣性に関連して、図１２で示すサー
ボ装置として駆動される。トルクモータ、すなわち検流
計１０を駆動する電流は、任意の際立った変化またはエ
ラー信号の不連続性を反映する。この変化とは、位置駆
動信号（コンピュータから受けた命令信号）とトランス
デューサから検出された位置信号の差異である。本発明
のこの実施形態では、エラー信号の不連続性は、位置ト
ランスデューサの容量性検出プレートの形状が不連続で
あることに起因している。
【００８８】位置駆動信号が鋸歯状である場合、動作の
線形部分においては、必要なトルクおよび関連する駆動
電流は、図１１（ａ）で示すように、極めて小さい。基
準となる不連続性が生じると、際立った「エラー」信号
が形成される。これに反応して、サーボ機構が大電流パ
ルスを送って、追跡状態に戻そうとする。これらの電流
パルスは、図１１（ａ）で示した通りであるが、上述の
ゲイン補正およびゼロ基準点補正のための基準信号のよ
うに、適当なロジックで求めることができる。
【００８９】たいていの場合、限定モータ装置の通常動
作しているシャフトと電動子は、一対の基準部材間で設
定された範囲内を動作する。限定回転モータの場合、こ
の範囲とは、図面で示した角度範囲Ｒである。これとは
別の較正モードを採用して、時々、駆動信号と関連付け
られるパルスを形成するために、電動子を基準部材に達
するように偏位運動させるような駆動信号を供給するこ
とができる。所定の動作期間ごとに反復して、または所
定の事象が検出された場合に反復して、コンピュータ制
御のもとで、このような較正モードを行ってもよい。し
かし、限定回転装置により実現される有用な動作よりも
大きい偏位運動を常に行うことにより、偏位運動する都
度、装置が自動的に較正することができるので、このよ
うな装置にとっては都合よい場合がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、本発明に係る２つの離散的な基準容
量性プレートを有する実施形態の分解組立図である。
【図２】 図２は、本発明に係る２つの離散的な基準容
量性プレートを有する実施形態の簡略化した断面図であ
る。
【図３】 図３は、このトランスデューサの基準容量性
プレートおよび弧状検出プレートを支持する等方性プレ
ートを示す正面図である。
【図４】 図４は、図１および図２の実施形態の一部分
の概略図であって、２つの基準容量性プレートに対する
電動子の位置関係を示す。
【図５】 図５は、本発明の実司形態による測定電気回
路部の配線図である。
【図６】 図６は、位置トランスデューサ（２つの例）
からの信号を示すグラフである。
【図７】 図７は、図６で示す三角形状波で、電動子で
ある基準検出装置からの信号を駆動する電気回路を示
す。
【図８】 図８は、図１と同様に、２つの弧状容量性検
出プレートに形成された動揺起因体を有する本発明の実
施形態の分解組立図である。
【図９】 図９は、弧状容量性検出プレートに形成され
た２つの切り欠き部を有する、本発明の実施形態に係る
択一的なトランスデューサの構成の分解組立図である。
【図１０】 図１０は、弧状容量性検出プレートに形成
された２つの切り欠き部を有する、本発明の実施形態に
係る択一的なトランスデューサの構成の側面図である。
【図１１】 図７（ａ）は、内部基準マークの間を一定
の速さで回転する電動子わ用いて、基準検出信号と同様
に、トランスデューサからの信号を記すグラフであり、
図７（ｂ）は、基準スロットの効果に対応する電流特性
を示す。
【図１２】 コンピュータと関連して、ゲイン調整およ
びゼロ基準点調整を行う駆動増幅装置の概略図である。
【図１３】 図１３は、基準信号に対して、ゲインおよ
び電動子の中心位置を較正するために用いられるソフト
ウェアプログラムを象徴的に示すフローチャートであ
る。
【符号の説明】
１，２，３，４ 容量性検出プレート、５，６ 容量性
基準プレート、７ 電動子、７ａ，７ｂ 電動子のアー
ム、８ 固定式環状リング容量性（励振）プレート、９
シャフト、１０ 磁力限定的偏位トルクモータ、１２
位置トランスデューサ、１４ 固定式支持プレート、
１６ 先端部、
フロントページの続き (72)発明者 ピーター・ホンカネン アメリカ合衆国02174マサチューセッツ州 アーリントン、スクール・ストリート１番 (72)発明者 ネイサン・ケイ・ワイナー アメリカ合衆国02072マサチューセッツ州 ストートン、ウォルターズ・ウェイ71番

Claims (33)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固定式構造体と、 この固定式構造体と対向し、間隔をおいて設置された動
    作プレートと、 少なくとも１つの検出プレートと、 位置検出される構成部品の動きに依存して上記間隔内で
    移動することができ、動作プレートと検出プレートの間
    の容量カップリングを、その位置の変化に依存して変え
    るように構成された電動子と、 電動子の移動経路に沿った所定の既知の位置に配置さ
    れ、動作プレートと実質的に対向する、少なくとも１つ
    の容量性基準部材とを備え、 基準部材は、電動子が達して相互作用する時に、離散的
    な信号を形成するように構成されたことにより、固定式
    構造体に対して電動子の正確な位置を信号出力すること
    を特徴とする容量性位置検出装置。
  2. 【請求項２】 角度位置を検出すべきシャフト部を有す
    る限定回転モータと組み合わせて用いられることを特徴
    とする請求項１の容量性位置検出装置。
  3. 【請求項３】 検流計的な光学スキャナを有することを
    特徴とする請求項１の容量性位置検出装置。
  4. 【請求項４】 基準部材は、離散的な容量性基準プレー
    トからなり、検出プレートから得られる信号とは独立し
    た位置検出を形成するように構成されたことを特徴とす
    る請求項１ないし３のいずれかの容量性位置検出装置。
  5. 【請求項５】 動作プレートは、シャフトを包囲する環
    状リングであって、回転位置を検出すべき上記構成部品
    を含み、 シャフトを包囲する一連の円弧状検出プレートを有し、 基準部材は、円弧状検出プレートの半径方向の外側に配
    置された離散的な容量性基準プレートを有し、 電動子は、この基準プレートと交互作用するのに十分な
    程度に半径方向に延びた部位を有することを特徴とする
    請求項４の容量性位置検出装置。
  6. 【請求項６】 一連の円弧状検出プレートは、円形に構
    成された実質的に同一の４つのプレートからなり、 第１および第３の円弧状検出プレートが電気的に接続さ
    れ、第２および第４の円弧状検出プレートが電気的に接
    続され、 電動子は、第１および第２円弧状検出プレートと、第３
    および第４円弧状検出プレートと、各々、対応して重な
    る２つの対向するアーム部を有し、 第１および第３の円弧状検出プレート、または第２およ
    び第４の円弧状検出プレートと関連する、少なくとも２
    つの基準部材を有し、 電動子は、一連の円弧状検出プレートを半径方向に超え
    て延びた先端拡張部を有して、反時計回りおよび時計回
    りに回転したとき、各々、シャフトの最大通常動作偏位
    を超えて、角度的に外れた領域にある基準プレートと相
    互作用することを特徴とする請求項５の容量性位置検出
    装置。
  7. 【請求項７】 位置を検出すべき上記構成部品に対する
    駆動部のゲイン変動またはゼロ基準点変動を補正すると
    き、基準プレートで形成されたパルスに対応するように
    構成された電気回路部と組み合わせて用いられることを
    特徴とする請求項４の容量性位置検出装置。
  8. 【請求項８】 シャフトに対する駆動部のゲイン変動ま
    たはゼロ基準点変動を補正するために、基準プレートで
    形成されたパルスに対応するように構成された電気回路
    部と組み合わせて用いられることを特徴とする請求項６
    の容量性位置検出装置。
  9. 【請求項９】 基準部材は、検出プレート内に設けた動
    揺起因体であって、 検出プレートの主要本体部から得られた信号の上に重ね
    られた位置信号を検出することを特徴とする請求項１な
    いし３のいずれかの容量性位置検出装置。
  10. 【請求項１０】 動揺起因体は、検出プレートが有する
    離散的な半径方向の拡大部であることを特徴とする請求
    項９の容量性位置検出装置。
  11. 【請求項１１】 動揺起因体は、検出プレート内に設け
    た部分的な半径方向のスロットであることを特徴とする
    請求項９の容量性位置検出装置。
  12. 【請求項１２】 動作プレートは、シャフトを包囲する
    環状リングであって、回転位置を検出すべき上記構成部
    品からなり、 一連の円弧状検出プレートを有し、 動揺起因体を有する少なくとも１つの検出プレートでシ
    ャフトを包囲することを特徴とする請求項９の容量性位
    置検出装置。
  13. 【請求項１３】 一連の円弧状検出プレートは、円形に
    構成された実質的に同一の４つのプレートからなり 第１および第３の円弧状検出プレートが電気的に接続さ
    れ、第２および第４の円弧状検出プレートが電気的に接
    続され、 電動子は、第１および第２円弧状検出プレートと、第３
    および第４円弧状検出プレートと、各々、対応して重な
    る２つの対向するアーム部を有し、 第１および第３の円弧状検出プレート、または第２およ
    び第４の円弧状検出プレートと関連する、少なくとも２
    つの基準部材を有することを特徴とする請求項１２の容
    量性位置検出装置。
  14. 【請求項１４】 位置を検出すべき上記構成部品に対す
    る駆動部のゲイン変動またはゼロ基準点変動を補正する
    ために、基準プレートで形成されたパルスに対応するよ
    うに構成された電気回路部と組み合わせて用いられるこ
    とを特徴とする請求項９の容量性位置検出装置。
  15. 【請求項１５】 シャフトに対する駆動部のゲイン変動
    またはゼロ基準点変動を補正するために、基準プレート
    で形成されたパルスに対応するように構成された電気回
    路部と組み合わせて用いられることを特徴とする請求項
    １３の容量性位置検出装置。
  16. 【請求項１６】 環境条件が変化した場合であっても、
    検出プレートおよび基準プレートの角度位置が互いに対
    して変化しないように、検出プレートおよび基準プレー
    トが等方性材料の上に支持されることを特徴とする請求
    項５の容量性位置検出装置。
  17. 【請求項１７】 環境条件が変化した場合であっても、
    各検出プレートの角度位置が互いに対して変化しないよ
    うに、各検出プレートが等方性材料の上に支持されるこ
    とを特徴とする請求項１２の容量性位置検出装置。
  18. 【請求項１８】 パーソナルコンピュータのような論理
    システムと協働して、内部に較正部材を有することを特
    徴とする位置トランスデューサ。
  19. 【請求項１９】 請求項１９の位置トランスデューサで
    あって、 シャフトに対する、可動鉄片と、可動磁石または可動導
    電性回転子とを有する限定回転モータと組み合わせら
    れ、 シャフト上に取り付けられた回転可能な電動子を有し、 容量性タイプであって、 較正部材は、電動子と容量的に相互作用するように構成
    される位置トランスデューサ。
  20. 【請求項２０】 請求項１９の位置トランスデューサで
    あって、 固定式コンデンサプレート部と、 モータの回転シャフトを包囲する、複数の円弧状コンデ
    ンサ検出プレート部と、 モータの回転シャフトを包囲し、シャフトの軸に沿って
    円弧状コンデンサ検出プレート部から間隔をあけて配置
    された、リング状容量性励振プレート部と、 回転シャフトに固定され、検出プレート部と励振プレー
    ト部の間の間隔に設けられた少なくとも一対の対向する
    アーム部を有する部材からなる電動子部とを備え、 これにより、容量構造体が、シャフトとこれに固定され
    た電動子部が回転すると反対方向に変化する一対の容量
    値Ｃ1,3と容量値Ｃ2,4を実際上与えられ、 これらの容量値を有し、容量値の差異（Ｃ1,3−Ｃ2,4）
    を求めて、回転シャフトの回転位置を示す出力信号を形
    成する電気回路部をさらに備え、 コンデンサプレート部は、位置トランスデューサが回転
    シャフトの半径方向の動きに対して本質的に無関係とな
    るように構成され、 位置トランスデューサの選択された位置における構造体
    の内部に設けられた角度位置基準用部材として機能する
    容量性基準部材をさらに備える、位置トランスデュー
    サ。
  21. 【請求項２１】 請求項２０の位置トランスデューサで
    あって、 内部に設けられた基準部材は、容量性弧状部材の動揺起
    因体である位置トランスデューサ。
  22. 【請求項２２】 請求項２０の位置トランスデューサで
    あって、 内部に設けられた基準部材は、追加的な一連の容量性プ
    レートであって、可動電動子の上に設けられた照合部材
    の存在を検出する位置トランスデューサ。
  23. 【請求項２３】 請求項２０の位置トランスデューサで
    あって、 基準部材は、容量性弧状部材に隣接して配置された基準
    容量性部材であって、可動電動子の部材と静電気的に相
    互作用して位置を特定する位置トランスデューサ。
  24. 【請求項２４】 請求項２１ないし２３のいずれかの位
    置トランスデューサであって、 ２つの基準部材は、各々、位置トランスデューサの中心
    位置に対する時計回り（ＣＷ）および反時計回り（ＣＣ
    Ｗ）の位置を特定する位置トランスデューサ。
  25. 【請求項２５】 請求項２１の位置トランスデューサで
    あって、 内部に設けられた基準部材は、４つの容量性弧状部材の
    １つの形状に対する、部分的な狭い半径方向の切り欠き
    部、またはその他の動揺起因体として形成される位置ト
    ランスデューサ。
  26. 【請求項２６】 請求項２５の位置トランスデューサで
    あって、 切り欠き部、またはその他の動揺起因体の１つにおい
    て、電動子部をほぼ一定速度で回転させ、位置信号、駆
    動電流、またはサーボ増幅部のエラー信号の上に重ねら
    れた比例的に狭小なスパイクを形成し、 スパイクが、固定的な基準値として機能するために固定
    式トランスデューサ構造体に対する切り欠き部、または
    その他の動揺起因体の配置関係を示す位置トランスデュ
    ーサ。
  27. 【請求項２７】 請求項２５の位置トランスデューサで
    あって、 対称的な容量性弧状検出プレートの上に、第２の対称的
    な同様の切り欠き部、またはその他の動揺起因体を有
    し、 電動子が同様に対称的に反対方向に回転し、同様のスパ
    イクを形成する位置トランスデューサ。
  28. 【請求項２８】 請求項２１ないし２３のいずれかの位
    置トランスデューサであって、 弧状検出部材と基準部材に対する支持部の材料が、等方
    的に変形するような材料から選択され、 これにより、基準部材間の角度位置が、これらを基準フ
    レームに固定する台座との関係において維持され、 これにより、位置トランスデューサは、環境条件の変化
    の範囲においてゲインを安定させることができる位置ト
    ランスデューサ。
  29. 【請求項２９】 請求項２１ないし２３のいずれかの位
    置トランスデューサであって、 基準部材に関連して、スパイクが出現する時の信号電圧
    の差異を測定する電気回路部を有し、トランスデューサ
    の角度検出性を決定する位置トランスデューサ。
  30. 【請求項３０】 請求項２９の位置トランスデューサで
    あって、 較正または再較正プロトコルを実施して、トランスデュ
    ーサの変動しないゲイン検出性を実現する位置トランス
    デューサ。
  31. 【請求項３１】 請求項２９の位置トランスデューサで
    あって、 ほぼ対称的に配置された２つの内部に設けられた基準部
    材の間の中間点として、角度検出器の中心位置であるゼ
    ロ基準点を決定するように構成された位置トランスデュ
    ーサ。
  32. 【請求項３２】 請求項３０の位置トランスデューサで
    あって、 これら２つの角度位置において、トランスデューサの電
    気回路の出力値が反対の極性と同一の値を有するよう
    に、検出された信号に対して、直流バイアス信号を付加
    する位置トランスデューサ。
  33. 【請求項３３】 請求項３２の位置トランスデューサを
    用いて、トランスデューサの中心位置を決定する方法で
    あって、 トランスデューサの電動子は、出力値がゼロとなり、中
    心またはゼロ基準点を決定する位置まで回転し、 この位置は、検出プレートに対して対称的に配置された
    ２つの内部基準部材に対する基準値により決定される方
    法。
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CA (1) CA2310908A1 (ja)
SG (1) SG86404A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103162717A (zh) * 2013-01-15 2013-06-19 陈晓玉 电容式非接触角位置传感器

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5631734A (en) * 1994-02-10 1997-05-20 Affymetrix, Inc. Method and apparatus for detection of fluorescently labeled materials
US6380649B1 (en) * 1999-11-02 2002-04-30 Gsi Lumoniss Corporation Galvanometer unit
JP2004512533A (ja) 2000-08-22 2004-04-22 アフィメトリックス　インコーポレイテッド 生物学的マイクロアレイスキャナを制御するためのシステム、方法およびコンピュータソフトウェアプロダクト
US7062092B2 (en) 2000-08-22 2006-06-13 Affymetrix, Inc. System, method, and computer software product for gain adjustment in biological microarray scanner
US6823278B1 (en) * 2001-01-26 2004-11-23 Ta Instruments-Waters, Llc Method and apparatus for positional calibration of a thermal analysis instrument
US6490533B2 (en) * 2001-04-26 2002-12-03 Affymetrix, Inc. System, method, and product for dynamic noise reduction in scanning of biological materials
US6650411B2 (en) 2001-04-26 2003-11-18 Affymetrix, Inc. System, method, and product for pixel clocking in scanning of biological materials
US6643015B2 (en) 2001-04-26 2003-11-04 Affymetrix, Inc. System, method, and product for symmetrical filtering in scanning of biological materials
US7463828B2 (en) 2001-06-01 2008-12-09 John Moon Optical channel monitor
US7253897B2 (en) 2001-06-01 2007-08-07 Cidra Corporation Optical spectrum analyzer
US6772646B1 (en) * 2001-07-11 2004-08-10 Bei Sensors & Systems Company, Inc. Differential capacitive torque sensor
DE60212914T2 (de) * 2001-10-02 2007-01-25 BEI Sensors & Systems Co., Inc., Sylmar Kapazitiver Drehmomentsensor
ITMI20010566U1 (it) * 2001-10-25 2003-04-25 Troletti Adriano Apparecchio asciugacapelli, ad elevata praticita' di impiego
DE60228995D1 (de) * 2001-12-19 2008-10-30 Affymetrix Inc Arrayplatten und verfahren zur herstellung von arrayplatten
CA2422224A1 (en) * 2002-03-15 2003-09-15 Affymetrix, Inc. System, method, and product for scanning of biological materials
US7504215B2 (en) 2002-07-12 2009-03-17 Affymetrix, Inc. Nucleic acid labeling methods
US6809451B1 (en) 2002-08-14 2004-10-26 Gsi Lumonics Corporation Galvanometer motor with composite rotor assembly
US6774642B2 (en) * 2002-08-27 2004-08-10 Delphi Technologies, Inc. Capacitive angular position sensor
US6982504B2 (en) * 2003-01-24 2006-01-03 Gsi Group Corporation Galvanometer motor with composite stator assembly
EP3305919A1 (en) 2003-06-10 2018-04-11 The Trustees of Boston University Detection methods for disorders of the lung
US7317415B2 (en) 2003-08-08 2008-01-08 Affymetrix, Inc. System, method, and product for scanning of biological materials employing dual analog integrators
EP2322278B1 (en) 2003-10-24 2017-01-04 Aushon Biosystems, Inc. Apparatus and Method for Dispensing Fluid, Semi-Solid and Solid Samples
US20050094159A1 (en) * 2003-10-29 2005-05-05 Wen-Wei Su Angle detecting sensor and vehicular controlling system using the same
JP4443208B2 (ja) * 2003-12-12 2010-03-31 日立ビアメカニクス株式会社 スキャナ装置
CA2497324A1 (en) 2004-02-17 2005-08-17 Affymetrix, Inc. Methods for fragmenting and labelling dna
US20050189479A1 (en) * 2004-02-26 2005-09-01 Wen-Wei Su Detecting device for detecting the rotation of a motor rotor
US7092840B2 (en) * 2004-02-26 2006-08-15 Honeywell International, Inc. High temperature resonant transmission line sensor and methods
US7135874B2 (en) * 2004-08-06 2006-11-14 Waters Investments Limited System and method for enhanced measurement of rheological properties
US20060055415A1 (en) * 2004-09-15 2006-03-16 Mark Takita Environmentally compensated capacitive sensor
US20060073506A1 (en) 2004-09-17 2006-04-06 Affymetrix, Inc. Methods for identifying biological samples
US7406391B2 (en) * 2004-09-20 2008-07-29 Affymetrix, Inc. System, method, and computer product for detection instrument calibration
US20060073511A1 (en) 2004-10-05 2006-04-06 Affymetrix, Inc. Methods for amplifying and analyzing nucleic acids
US7682782B2 (en) 2004-10-29 2010-03-23 Affymetrix, Inc. System, method, and product for multiple wavelength detection using single source excitation
EP1652580A1 (en) 2004-10-29 2006-05-03 Affymetrix, Inc. High throughput microarray, package assembly and methods of manufacturing arrays
US7078915B1 (en) * 2005-02-22 2006-07-18 Delphi Technologies, Inc Angular position sensor for rotating components such as steering columns
EP2360279A1 (en) 2005-04-14 2011-08-24 Trustees Of Boston University Diagnostic for lung disorders using class prediction
CN100339683C (zh) * 2005-05-31 2007-09-26 天津大学 数字电容式无电刷型角位移传感器及其检测方法
CN100365388C (zh) * 2005-05-31 2008-01-30 天津大学 数字电容式交变可编程输出型角位移传感器
FR2888419B1 (fr) * 2005-07-08 2010-12-03 Commissariat Energie Atomique Dispositif generateur de capacite variable pour la generation d'energie electrique et dispositif d'assistance au mouvement du type roulement a billes, l'incluant
US7634363B2 (en) 2005-12-07 2009-12-15 Affymetrix, Inc. Methods for high throughput genotyping
JP2009529329A (ja) 2006-03-09 2009-08-20 トラスティーズ オブ ボストン ユニバーシティ 鼻腔上皮細胞の遺伝子発現プロファイルを用いた、肺疾患のための診断および予後診断の方法
US8009889B2 (en) 2006-06-27 2011-08-30 Affymetrix, Inc. Feature intensity reconstruction of biological probe array
AU2007284651B2 (en) 2006-08-09 2014-03-20 Institute For Systems Biology Organ-specific proteins and methods of their use
US9845494B2 (en) 2006-10-18 2017-12-19 Affymetrix, Inc. Enzymatic methods for genotyping on arrays
WO2008066655A2 (en) 2006-11-02 2008-06-05 Yale University Assessment of oocyte competence
US8293684B2 (en) * 2006-11-29 2012-10-23 Exiqon Locked nucleic acid reagents for labelling nucleic acids
US8508726B2 (en) 2007-01-23 2013-08-13 William R. Benner, Jr. Rotary position detector and associated methods
US7940380B1 (en) * 2007-01-23 2011-05-10 Benner Jr William R Rotary position detector and associated methods
US7688432B1 (en) 2007-01-23 2010-03-30 Benner Jr William R Rotary position detector and associated methods
US8200440B2 (en) 2007-05-18 2012-06-12 Affymetrix, Inc. System, method, and computer software product for genotype determination using probe array data
WO2009113779A2 (ko) 2008-03-11 2009-09-17 국립암센터 Ｓｎｐ 어레이를 이용한 염색체, 유전자, 또는 특정 뉴클레오티드 서열의 카피 수 측정방법
WO2010017065A2 (en) 2008-08-04 2010-02-11 The Regents Of The University Of California Capacitance displacement and rotation sensor
US8374818B2 (en) * 2008-12-19 2013-02-12 Affymetrix, Inc. System, method and apparatus for calibrating inspection tools
JP2012517238A (ja) 2009-02-11 2012-08-02 カリス エムピーアイ インコーポレイテッド 腫瘍の分子プロファイリング法
US9767342B2 (en) 2009-05-22 2017-09-19 Affymetrix, Inc. Methods and devices for reading microarrays
CN102858995B (zh) 2009-09-10 2016-10-26 森特瑞隆技术控股公司 靶向测序方法
US10174368B2 (en) 2009-09-10 2019-01-08 Centrillion Technology Holdings Corporation Methods and systems for sequencing long nucleic acids
WO2011056688A2 (en) 2009-10-27 2011-05-12 Caris Life Sciences, Inc. Molecular profiling for personalized medicine
US8501122B2 (en) 2009-12-08 2013-08-06 Affymetrix, Inc. Manufacturing and processing polymer arrays
US8835358B2 (en) 2009-12-15 2014-09-16 Cellular Research, Inc. Digital counting of individual molecules by stochastic attachment of diverse labels
US9103769B2 (en) 2009-12-15 2015-08-11 The Regents Of The University Of California Apparatus and methods for controlling electron microscope stages
US20120034603A1 (en) 2010-08-06 2012-02-09 Tandem Diagnostics, Inc. Ligation-based detection of genetic variants
US20140342940A1 (en) 2011-01-25 2014-11-20 Ariosa Diagnostics, Inc. Detection of Target Nucleic Acids using Hybridization
US10167508B2 (en) 2010-08-06 2019-01-01 Ariosa Diagnostics, Inc. Detection of genetic abnormalities
US20130040375A1 (en) 2011-08-08 2013-02-14 Tandem Diagnotics, Inc. Assay systems for genetic analysis
US11203786B2 (en) 2010-08-06 2021-12-21 Ariosa Diagnostics, Inc. Detection of target nucleic acids using hybridization
US20130261003A1 (en) 2010-08-06 2013-10-03 Ariosa Diagnostics, In. Ligation-based detection of genetic variants
US11031095B2 (en) 2010-08-06 2021-06-08 Ariosa Diagnostics, Inc. Assay systems for determination of fetal copy number variation
US10533223B2 (en) 2010-08-06 2020-01-14 Ariosa Diagnostics, Inc. Detection of target nucleic acids using hybridization
US8700338B2 (en) 2011-01-25 2014-04-15 Ariosa Diagnosis, Inc. Risk calculation for evaluation of fetal aneuploidy
US9994897B2 (en) 2013-03-08 2018-06-12 Ariosa Diagnostics, Inc. Non-invasive fetal sex determination
US20120190020A1 (en) 2011-01-25 2012-07-26 Aria Diagnostics, Inc. Detection of genetic abnormalities
US11270781B2 (en) 2011-01-25 2022-03-08 Ariosa Diagnostics, Inc. Statistical analysis for non-invasive sex chromosome aneuploidy determination
US10131947B2 (en) 2011-01-25 2018-11-20 Ariosa Diagnostics, Inc. Noninvasive detection of fetal aneuploidy in egg donor pregnancies
US8756020B2 (en) 2011-01-25 2014-06-17 Ariosa Diagnostics, Inc. Enhanced risk probabilities using biomolecule estimations
JP5808825B2 (ja) 2011-02-24 2015-11-10 ヒルズ・ペット・ニュートリシャン・インコーポレーテッド ネコの腎障害を診断および治療する組成物および方法
US20120219950A1 (en) 2011-02-28 2012-08-30 Arnold Oliphant Assay systems for detection of aneuploidy and sex determination
US20120252682A1 (en) 2011-04-01 2012-10-04 Maples Corporate Services Limited Methods and systems for sequencing nucleic acids
AU2012271528B2 (en) 2011-06-15 2015-06-25 Hill's Pet Nutrition, Inc. Compositions and methods for diagnosing and monitoring hyperthyroidism in a feline
US8712697B2 (en) 2011-09-07 2014-04-29 Ariosa Diagnostics, Inc. Determination of copy number variations using binomial probability calculations
BR112014014907A2 (pt) 2011-12-19 2017-06-13 Hills Pet Nutrition Inc composições e métodos para diagnóstico e tratamento de hipertireoidismo em animais de companhia
EP3321378B1 (en) 2012-02-27 2021-11-10 Becton, Dickinson and Company Compositions for molecular counting
ES2776673T3 (es) 2012-02-27 2020-07-31 Univ North Carolina Chapel Hill Métodos y usos para etiquetas moleculares
US10289800B2 (en) 2012-05-21 2019-05-14 Ariosa Diagnostics, Inc. Processes for calculating phased fetal genomic sequences
CN104583421A (zh) 2012-07-19 2015-04-29 阿瑞奥萨诊断公司 遗传变体的基于多重的顺序连接的检测
US10535420B2 (en) 2013-03-15 2020-01-14 Affymetrix, Inc. Systems and methods for probe design to detect the presence of simple and complex indels
CN105074011B (zh) 2013-06-13 2020-10-02 阿瑞奥萨诊断公司 用于非入侵性性染色体非整倍性确定的统计分析
EP3037898B1 (fr) * 2014-12-23 2017-06-21 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Appareil elecromécanique comportant un dispositif de detection capacitif de la position angulaire d'un mobile, et procédé de detection de la position angulaire d'un mobile
WO2017027783A1 (en) 2015-08-13 2017-02-16 Centrillion Technology Holdings Corporation Methods for synchronising nucleic acid molecules
US10539433B2 (en) * 2015-08-17 2020-01-21 Pangolin Laser Systems, Inc. Light detector employing trapezoidal chips and associated methods
WO2017070096A1 (en) 2015-10-18 2017-04-27 Affymetrix, Inc. Multiallelic genotyping of single nucleotide polymorphisms and indels
CN109642252A (zh) 2016-06-17 2019-04-16 加州理工学院 核酸反应及相关方法和组合物
WO2018205260A1 (en) 2017-05-12 2018-11-15 Texas Instruments Incorporated Capacitive-sensing rotary encoders and methods
CN114136346A (zh) * 2017-05-12 2022-03-04 德州仪器公司 用以确定电机的可旋转轴的位置的方法及设备
EP3438764A1 (fr) * 2017-08-04 2019-02-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mouvement horloger comportant un dispositif de détection d'une position angulaire d'une roue
EP3438765B1 (fr) * 2017-08-04 2020-02-05 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Mouvement horloger comportant un dispositif de détection d'une position angulaire d'une roue
CA3121170A1 (en) 2018-11-30 2020-06-04 Caris Mpi, Inc. Next-generation molecular profiling
AU2020397802A1 (en) 2019-12-02 2022-06-16 Caris Mpi, Inc. Pan-cancer platinum response predictor
JP6869393B1 (ja) * 2020-03-12 2021-05-12 シチズン千葉精密株式会社 位置変換器、および検出器の製造方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3517282A (en) 1968-11-14 1970-06-23 Hewlett Packard Co Variable capacitance transducer
US3577072A (en) 1968-11-19 1971-05-04 Hewlett Packard Co Bridge circuit for differentially measuring capacitance
US4142144A (en) 1977-11-07 1979-02-27 General Scanning, Inc. Position detector
FR2454083A1 (fr) * 1979-04-09 1980-11-07 Facom Dispositif de mesure de la position relative de deux objets
US4694235A (en) 1986-08-01 1987-09-15 General Scanning, Inc. Capacitive position sensor
US4864295A (en) 1988-06-30 1989-09-05 Cambridge Technology, Inc. Capacitance sensing system using multiple capacitances to sense rotary motion
US4918284A (en) 1988-10-14 1990-04-17 Teradyne Laser Systems, Inc. Calibrating laser trimming apparatus
DE4016434A1 (de) * 1990-05-22 1991-11-28 Bosch Gmbh Robert Kapazitiver stellungsgeber
US5099386A (en) 1990-09-20 1992-03-24 General Scanning, Inc. Variable-capacitance position transducing
GB2264784B (en) 1992-02-26 1995-04-12 Kansei Kk Rotation angle sensor of electrostatic capacitance type
US5296703A (en) 1992-04-01 1994-03-22 The Regents Of The University Of California Scanning confocal microscope using fluorescence detection
IT1270048B (it) 1993-04-26 1997-04-28 Murata Manufacturing Co Sensore di angolo di rotazione del tipo a capacita'
US5400132A (en) 1993-10-12 1995-03-21 General Scanning Rectification of a laser pointing device
US5633681A (en) * 1995-03-06 1997-05-27 Picturetel Corporation Electrically controlled camera positioning system
US5671043A (en) 1995-10-03 1997-09-23 Cambridge Technology, Inc. Optical position detector for determining the angular position of a rotatable element
US5748005A (en) 1995-10-31 1998-05-05 Creare, Inc. Radial displacement sensor for non-contact bearings
US5681990A (en) * 1995-12-07 1997-10-28 Ford Motor Company Capacitive throttle position sensor
DE19639316A1 (de) 1996-09-25 1998-03-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßsystem und Meßverfahren
US5844673A (en) 1998-04-17 1998-12-01 Cambridge Technology, Inc. Axial led position detector for determining the angular position of a rotatable element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103162717A (zh) * 2013-01-15 2013-06-19 陈晓玉 电容式非接触角位置传感器

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