JP2001006435A - Black conductive paste composition, and black conductive thick film and forming method therefor - Google Patents

Black conductive paste composition, and black conductive thick film and forming method therefor

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JP2001006435A JP11173752A JP17375299A JP2001006435A JP 2001006435 A JP2001006435 A JP 2001006435A JP 11173752 A JP11173752 A JP 11173752A JP 17375299 A JP17375299 A JP 17375299A JP 2001006435 A JP2001006435 A JP 2001006435A
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black conductive
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弘充 佐藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a black conductive paste for forming a black conductive thick film having high conductivity, low lightness and low yellowness, and provide the black conductive thick film and a forming method therefor. SOLUTION: This photosensitive black conductive paste for forming a black conductive thick film 40 contains minute silver powder of a specific surface area of about 1.0-2.0 (m2/g) as an conductive component, and a black pigment 46 comprising Co3O4 powder. Thereby, the black conductive paste has high photosensitivity, i.e., high resolution. In the black conductive thick film 40 formed from the photosensitive black conductive paste, silver 44 and the black pigment 46 comprising Co3O4 are joined with a glass 48. Accordingly, the black conductive thick film 40 has sufficiently high conductivity, and sufficiently low lightness and yellowness.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、黒色導電ペースト
組成物、黒色導電厚膜、および黒色導電厚膜の形成方法
に関する。
The present invention relates to a black conductive paste composition, a black conductive thick film, and a method for forming a black conductive thick film.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、一対の平行平板間に形成された
気密空間内に一方向およびそれと直交する他方向に沿っ
てマトリクス状に設けられた複数の発光区画と、それら
複数の発光区画内で選択的に放電を発生させるためにそ
の発光区画毎に一対が位置するように設けられた複数対
の放電電極とを備え、その放電を利用して発光させるこ
とにより、文字、記号、図形等の所望の画像を表示する
形式の放電表示装置が知られている。例えば、ガス放電
によって生じたプラズマの生成に伴うネオンオレンジ等
の発光を直接利用し、或いは、発光区画内に蛍光体が備
えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させ
られた蛍光体の発光を利用するプラズマ・ディスプレイ
・パネル(以下、PDPという)等がそれである。この
ようなPDPは、薄型且つ大表示面とすることが比較的
容易であると共に、ブラウン管並の広い視野角および早
い応答速度が得られるため、ブラウン管に代わる画像表
示装置として考えられており、特に、例えば赤(RED) 、
緑(GREEN) 、青(BULE)の三色の蛍光体を設けた3乃至4
つの発光区画から一画素を構成して多色表示を可能とす
ることにより、壁掛けテレビ等の薄型フルカラー表示装
置を実現し得るものとして期待されている。
2. Description of the Related Art For example, in a hermetically sealed space formed between a pair of parallel flat plates, a plurality of light-emitting sections are provided in a matrix along one direction and another direction orthogonal thereto, and a plurality of light-emitting sections are provided in the plurality of light-emitting sections. A plurality of pairs of discharge electrodes provided so that one pair is located for each light-emitting section in order to selectively generate a discharge, and by emitting light using the discharge, characters, symbols, figures, etc. 2. Description of the Related Art A discharge display device that displays a desired image is known. For example, the luminescence of neon orange or the like accompanying the generation of plasma generated by gas discharge is directly used, or the luminescence of the phosphor excited by ultraviolet light generated by the plasma provided in the luminescent compartment is used. Such a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) is one example. Such a PDP is relatively easy to be thin and has a large display surface, and has a wide viewing angle and a fast response speed comparable to that of a cathode-ray tube. , For example red (RED),
3 or 4 provided with phosphors of three colors of green (GREEN) and blue (BULE)
It is expected that a thin full-color display device such as a wall-mounted television can be realized by forming one pixel from two light-emitting sections to enable multicolor display.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】図1(a) 、(b) は、上
記のPDPの一例であって、例えば特開平3−7893
6号公報等に記載された3電極構造のAC型面放電PD
P8の構成を示す図である。図において、互いに平行に
位置させられた前面板10および背面板12の間に形成
された気密空間内に、一方向に沿って長手状の隔壁14
によって区画形成されて長手方向にそれぞれ複数の発光
区画を含む複数の放電空間16が設けられると共に、背
面板12上にその一方向に沿ってその隔壁14の間を通
る複数本の書込電極18がオーバ・コート32に覆われ
て設けられる一方、前面板10上にその一方向と直交す
る他方向に沿って、硼珪酸ガラス等の低軟化点ガラスか
ら成る誘電体層20および酸化マグネシウム(MgO )等
から成る保護膜22で覆われた複数対の表示放電電極
(維持電極)24a、24bが設けられ、上記背面板1
2の内面および隔壁14の表面には、各放電空間16毎
に塗り分けられた蛍光体層26が設けられている。な
お、図においては、表示放電電極24が、面放電を広範
囲で発生させ且つ前面板10を通して射出される表示光
の遮光を可及的に少なくするため、薄膜プロセス等で形
成されたITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウム
錫)やATO(Antimon Tin Oxide :酸化アンチモン
錫)等から成る透明電極28と、その導電性を補うため
に各対毎に幅方向の外側端部位置においてその透明電極
28上に設けられた薄膜導体或いは厚膜導体から成るバ
ス電極30とから構成されている。なお、図において3
4は、書込電極18が厚膜銀で、背面板12がソーダ・
ライム・ガラスで構成される場合等に両者の反応を抑制
するためのアンダ・コートである。
FIGS. 1 (a) and 1 (b) show an example of the above-mentioned PDP.
Publication No. 6 and the like, AC type surface discharge PD having a three-electrode structure
It is a figure showing composition of P8. In the drawing, a longitudinal partition wall 14 extends in one direction in an airtight space formed between a front plate 10 and a rear plate 12 positioned parallel to each other.
A plurality of discharge spaces 16 each including a plurality of light-emitting sections are provided in the longitudinal direction, and a plurality of write electrodes 18 passing between the partition walls 14 along the one direction on the back plate 12. Is provided on the front plate 10 while being covered with the overcoat 32, and along the other direction orthogonal to the one direction, a dielectric layer 20 made of a low softening point glass such as borosilicate glass and magnesium oxide (MgO 2). ) Are provided with a plurality of pairs of display discharge electrodes (sustain electrodes) 24a and 24b covered with a protective film 22 made of
A phosphor layer 26 that is separately applied to each discharge space 16 is provided on the inner surface of the second and the surface of the partition wall 14. In the drawing, the display discharge electrode 24 is formed of an ITO (Indium) formed by a thin film process or the like in order to generate a surface discharge in a wide range and to reduce the shading of the display light emitted through the front plate 10 as much as possible. A transparent electrode 28 made of, for example, Tin Oxide: Indium Tin Oxide or ATO (Antimon Tin Oxide: Antimony Tin Oxide), and on the transparent electrode 28 at the outer end position in the width direction for each pair to supplement its conductivity. And a bus electrode 30 made of a thin film conductor or a thick film conductor. In the figure, 3
Reference numeral 4 indicates that the writing electrode 18 is made of thick film silver and the back plate 12 is made of soda.
This is an undercoat for suppressing the reaction between the two when made of lime glass.

【0004】ところで、上記のバス電極30には、透明
電極28の導電性を補う目的で補助的に用いられ或いは
単独で用いられる何れの場合においても、自身の長手方
向における電圧降下を可及的に少なくするために低抵抗
であることが求められる一方で、低反射率であることも
同時に望まれる。上記のように構成されたPDP8にお
いては、バス電極30が備えられる前面板10の内面3
6とは反対側の表面38側においてその前面板10を透
過した光が観視されることから、その表面38における
外光の反射を抑制して表示の高いコントラストを得るた
めである。そのため、薄膜形成する場合においては、例
えば、前面板10上(正確には透明電極28上)に黒色
のCr(クロム)層を形成した後、その上にAl(アルミニ
ウム)やCu(銅)等の高導電率の金属層が設けられる。
また、厚膜形成する場合には、Ag-Pd (銀−パラジウ
ム)ペースト、Ag-Cu (銀−銅)合金化ペースト、或い
はAg(銀)ペースト中に、RuO2(酸化ルテニウム)或い
はFe-Cr-Mn(鉄−クロム−マンガン)系顔料やCu-Cr-Mn
(銅−クロム−マンガン)系顔料に代表されるパイロク
ロア型酸化物を黒色顔料として添加した黒色導電ペース
トを厚膜スクリーン印刷法等を利用して前面板10上に
塗布する。これら薄膜法および厚膜法の何れによっても
バス電極30の形成は可能であるが、製造コストの面で
は厚膜法が有利である。なお、上記の黒色顔料は、厚膜
導体の反射率すなわち明度を低下させるために添加され
ている。ここで、「明度」とは、物体表面の反射率の大
小の尺度であって色の明るさを意味し、例えば理想的な
黒、白をそれぞれ0、100として数値化されたL値で
表示される。
The bus electrode 30 is used as a supplement to the conductivity of the transparent electrode 28 or used alone to reduce the voltage drop in the longitudinal direction of the bus electrode 30 as much as possible. While it is required to have a low resistance in order to reduce the temperature, a low reflectance is also desired. In the PDP 8 configured as described above, the inner surface 3 of the front plate 10 on which the bus electrode 30 is provided.
This is because light transmitted through the front plate 10 is viewed on the surface 38 side opposite to the surface 6, so that reflection of external light on the surface 38 is suppressed to obtain a high display contrast. Therefore, when forming a thin film, for example, after forming a black Cr (chromium) layer on the front plate 10 (more precisely, on the transparent electrode 28), Al (aluminum), Cu (copper), or the like is formed thereon. Is provided.
In the case of forming a thick film, RuO 2 (ruthenium oxide) or Fe-Pd (silver-palladium) paste, Ag-Cu (silver-copper) alloying paste, or Ag (silver) paste may be used. Cr-Mn (iron-chromium-manganese) pigments and Cu-Cr-Mn
A black conductive paste to which a pyrochlore type oxide represented by a (copper-chromium-manganese) pigment is added as a black pigment is applied on the front plate 10 by using a thick film screen printing method or the like. Although the bus electrode 30 can be formed by any of the thin film method and the thick film method, the thick film method is advantageous in terms of manufacturing cost. The above-mentioned black pigment is added to reduce the reflectance, that is, the brightness of the thick film conductor. Here, “brightness” is a measure of the magnitude of the reflectance of the object surface and means the brightness of the color. For example, ideal black and white are expressed as L and L values quantified as 0 and 100, respectively. Is done.

【0005】しかしながら、上記のような黒色顔料は導
電性が低いことから、十分に明度が低くなる程度まで添
加すると厚膜導体の抵抗値を著しく増大させる。そのた
め、バス電極30(表示放電電極24)に要求される高
い導電性を満足できる程度の少ない量に黒色顔料の添加
量が制限されることから、バス電極30の明度が比較的
高くなって、PDP8の表示の高いコントラストが得ら
れないという問題があった。このことは、本来的に高抵
抗である合金化ペーストにおいて特に問題となる。一
方、上記の厚膜導体のうちAgペーストから生成されるも
のは比較的低抵抗であることから、多量の黒色顔料を添
加して比較的高い導電性を維持しながら明度を比較的低
くすることができる。しかしながら、この場合において
も得られる明度は十分とは言い難く、しかも、例えば図
2に示されるように表示放電電極対24a、24bの一
方或いは両方(図においては一方)が前面板10上に直
接膜形成されたバス電極30だけから構成される場合に
は、Agがその前面板10内に拡散して黄変させるため、
黄色度が高くなってコントラストの低下が生じ得るとい
う問題がある。この黄変は、黒色顔料の添加量が多いほ
ど抑制できることが知られているが、高い導電性を維持
しながら明度および黄色度を低くすることが望まれる厚
膜導体においては、上記の許容添加量の範囲では十分に
黄変を抑制できない。なお、前記の黒色顔料のうちRuO2
の微粉[例えば比表面積が35(m2/g)程度のもの]は上記
の各特性が比較的優れているが、高価である上に微粉で
あることから取扱いが困難でもある。因みに、図1に示
される構造では表示放電電極24が透明電極28および
その上に形成されたバス電極30で構成されているが、
透明電極28による透光性の低下を抑制して一層高い輝
度を得るために表示放電電極24a、24bの少なくと
も一方を比較的細幅のバス電極30だけで構成すること
が望まれており、そのようにしても放電特性上は特に支
障はないことが確かめられている。
However, since the above black pigment has low conductivity, if it is added to such an extent that the brightness becomes sufficiently low, the resistance value of the thick film conductor is significantly increased. For this reason, the addition amount of the black pigment is limited to a small amount that can satisfy the high conductivity required for the bus electrode 30 (display discharge electrode 24), so that the brightness of the bus electrode 30 becomes relatively high. There is a problem that high contrast of the display of the PDP 8 cannot be obtained. This is particularly problematic in alloying pastes that inherently have high resistance. On the other hand, among the above thick film conductors, those produced from Ag paste have a relatively low resistance, so that a large amount of black pigment is added to maintain relatively high conductivity to make the brightness relatively low. Can be. However, even in this case, the obtained brightness is not sufficient, and, for example, as shown in FIG. 2, one or both of the display discharge electrode pairs 24a and 24b (one in the figure) are directly on the front plate 10. In the case where only the bus electrode 30 formed with a film is used, Ag diffuses into the front plate 10 and yellows.
There is a problem that the yellowness increases and the contrast may decrease. It is known that the yellowing can be suppressed as the amount of the black pigment added increases, but in a thick-film conductor where it is desired to lower the brightness and yellowness while maintaining high conductivity, the above-mentioned allowable addition is considered. In the amount range, yellowing cannot be sufficiently suppressed. Incidentally, among the above black pigments, RuO 2
(For example, those having a specific surface area of about 35 (m 2 / g)) are relatively excellent in each of the above properties, but are expensive and are difficult to handle because they are fine powders. Incidentally, in the structure shown in FIG. 1, the display discharge electrode 24 is constituted by the transparent electrode 28 and the bus electrode 30 formed thereon,
It is desired that at least one of the display discharge electrodes 24a and 24b is constituted only by the relatively narrow bus electrode 30 in order to suppress a decrease in the translucency caused by the transparent electrode 28 and obtain higher luminance. It has been confirmed that there is no particular problem in terms of discharge characteristics even if this is done.

【0006】なお、上記のような黒色導電ペーストを用
いてバス電極30を前面板10上に形成する方法の一つ
として、フォト・リソグラフィ法を利用する方法があ
る。この方法では、例えば、前面板10の内面36上の
全面に感光性導電ペーストを塗布して乾燥することによ
り所定厚みのペースト膜を形成し、所定パターンのマス
クを介して露光してペースト膜を選択的に硬化させた
後、現像液で未露光部分を洗浄除去し、更に焼成するこ
とによって厚膜導体が形成される。そのため、スクリー
ンの歪みに起因するパターンずれが生じ得る厚膜スクリ
ーン印刷法等のような直接印刷法に比較して、大面積且
つ高精細なパターン形成が容易である。しかしながら、
この導体形成方法では、上記のようにペースト膜を選択
的に感光して硬化等させる必要がある。そのため、厚膜
導体の明度を低くする目的でペースト中に黒色顔料を多
量に混和すると、露光する際に照射される光がペースト
膜の内部に十分に届かなくなって解像性が低下すること
から、厚膜スクリーン印刷法を用いる場合よりも更に混
和可能な黒色顔料の量が少なく制限されて、一層明度の
高い厚膜導体しか得られないという問題がある。すなわ
ち、このようにフォト・リソグラフィ法により形成され
る厚膜導体においても、高い解像性を維持しつつ明度、
黄色度、および抵抗値を一層低くすることが望まれてい
た。ここで、「解像性」とは、相異なる2点を識別し得
る最小距離の小ささの程度を表すものである。なお、以
上の問題は、導電性が高く且つ低い明度および黄色度を
要求される厚膜導体であれば、PDPのバス電極に限ら
れず、PDPにおいて前面板上に備えられる他の電極
や、PDP以外のディスプレイの電極や車載用リアガラ
ス熱線等にも同様に生じ得る。
Incidentally, as one of the methods for forming the bus electrode 30 on the front plate 10 using the above black conductive paste, there is a method using a photolithography method. In this method, for example, a photosensitive conductive paste is applied to the entire surface on the inner surface 36 of the front plate 10 and dried to form a paste film having a predetermined thickness, and the paste film is exposed to light through a mask having a predetermined pattern to form a paste film. After being selectively cured, the unexposed portions are washed away with a developing solution, and further baked to form a thick film conductor. Therefore, it is easier to form a large-area and high-definition pattern as compared with a direct printing method such as a thick film screen printing method in which a pattern shift due to a screen distortion may occur. However,
In this conductor forming method, it is necessary to selectively expose and cure the paste film as described above. Therefore, if a large amount of black pigment is mixed into the paste for the purpose of lowering the brightness of the thick film conductor, the light irradiated during exposure will not sufficiently reach the inside of the paste film and the resolution will decrease. In addition, there is a problem that the amount of the black pigment that is miscible is further reduced as compared with the case where the thick film screen printing method is used, so that only a thick film conductor with higher brightness can be obtained. That is, even in a thick film conductor formed by the photolithography method, the brightness and the brightness are maintained while maintaining the high resolution.
It has been desired to further reduce the yellowness and the resistance value. Here, the “resolution” indicates the degree of the minimum distance at which two different points can be identified. The above problem is not limited to the bus electrode of the PDP as long as it is a thick film conductor which is required to have high conductivity and low brightness and yellowness, other electrodes provided on the front panel of the PDP, PDP, etc. It can also occur in other display electrodes, in-vehicle rear glass heat rays, etc.

【0007】本発明は、以上の事情を背景として為され
たものであって、その目的は、導電性が高く且つ明度お
よび黄色度の低い黒色導電厚膜を形成するための黒色導
電ペースト、黒色導電厚膜、および黒色導電厚膜の形成
方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a black conductive paste for forming a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness. An object of the present invention is to provide a method for forming a conductive thick film and a black conductive thick film.

【0008】[0008]

【課題を解決するための第1の手段】斯かる目的を達成
するための第1発明の黒色導電ペーストの要旨とすると
ころは、銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合剤と、有機
溶剤と、黒色顔料とを含み、黒色を呈する導電厚膜を形
成するために用いられる黒色導電ペースト組成物であっ
て、(a) 前記黒色顔料は Co3O4粉末から成ることにあ
る。
A first aspect of the present invention for achieving the above object is to provide a black conductive paste according to the present invention, which comprises silver powder, glass powder, an organic binder, an organic solvent, , A black pigment, and a black conductive paste composition used for forming a conductive thick film exhibiting black, wherein (a) the black pigment is made of Co 3 O 4 powder.

【0009】[0009]

【第1発明の効果】このようにすれば、黒色導電ペース
トには黒色顔料としてCo3O4 粉末が含まれることから、
これから形成される黒色導電厚膜には銀とCo3O4 から成
る黒色顔料とがガラスで結合されて構成されるため、導
電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分に低い黒
色導電厚膜が得られる。すなわち、前述のように導電ペ
ーストに黒色顔料を添加すると、そのペーストから生成
される導電厚膜の明度および黄色度が低下させられる一
方で導電厚膜の抵抗値が上昇させられる。この場合にお
いて、その作用は明らかではないが、本発明者等が種々
の顔料についてこれらの特性を評価した結果によれば、
Co3O4 粉末を黒色顔料として添加すると、他の黒色顔料
に比較して明度および黄色度の低下が著しく大きく、し
かも、抵抗値の上昇が抑制される。したがって、導電性
が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を形成
することが可能な黒色導電ペーストを得ることができ
る。
According to the first aspect of the present invention, since the black conductive paste contains Co 3 O 4 powder as a black pigment,
Since the black conductive thick film to be formed is formed by combining silver and a black pigment composed of Co 3 O 4 with glass, the black conductive thick film has sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness. A film is obtained. That is, when the black pigment is added to the conductive paste as described above, the brightness and yellowness of the conductive thick film formed from the paste are reduced, while the resistance value of the conductive thick film is increased. In this case, the effect is not clear, but according to the results of the present inventors evaluating these properties for various pigments,
When Co 3 O 4 powder is added as a black pigment, the decrease in brightness and yellowness is remarkably large as compared with other black pigments, and the increase in resistance is suppressed. Therefore, it is possible to obtain a black conductive paste capable of forming a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness.

【0010】[0010]

【第1発明の他の態様】ここで、上記の第1発明におい
て、好適には、前記銀粉末の比表面積は0.2 〜15(m2/g)
である。このようにすれば、ペースト中に含まれる銀粉
末がペースト化が容易な範囲で十分に小径にされている
ことから、塗布および焼成される際に好適に銀の連続膜
が形成されるため、生成される黒色導電厚膜の導電性が
一層高められる。因みに、比表面積が0.2(m2/g) 未満で
は粗粒であることから焼成後に連続膜の形成が困難にな
って多孔質化して抵抗値が著しく上昇し、しかも塗布膜
厚に対して粒径が大きくなり過ぎるため印刷性も低下す
る。一方、15(m2/g)を越えると、分散性が著しく低下す
るためペースト化が困難になるのである。なお、一層好
適には、比表面積の範囲は0.4 〜10(m2/g)である。
[Other aspect of the first invention] In the above-mentioned first invention, the silver powder preferably has a specific surface area of 0.2 to 15 (m 2 / g).
It is. With this configuration, since the silver powder contained in the paste is sufficiently small in a range in which the paste can be easily formed, a continuous silver film is preferably formed when applied and fired. The conductivity of the resulting black conductive thick film is further enhanced. By the way, if the specific surface area is less than 0.2 (m 2 / g), it is difficult to form a continuous film after sintering because it is coarse and becomes porous and the resistance value rises remarkably. Since the diameter becomes too large, the printability also decreases. On the other hand, when it exceeds 15 (m 2 / g), the dispersibility is remarkably reduced, so that it becomes difficult to form a paste. More preferably, the range of the specific surface area is 0.4 to 10 (m 2 / g).

【0011】また、前記第1発明において、好適には、
前記銀粉末は、ペースト組成物の全体に対する割合で40
〜 90(重量部=wt%) の範囲で含まれている。このよう
にすれば、銀粉末の含有量がペースト化が容易な範囲で
十分に多くされていることから、乾燥および焼成後の膜
厚を十分に厚くできるため、一層高い導電性が得られ
る。なお、一層好適には、銀粉末の含有量の範囲は50〜
80(wt%) である。
In the first invention, preferably,
The silver powder accounts for 40% of the total paste composition.
It is contained in the range of ~ 90 (parts by weight = wt%). In this case, since the content of the silver powder is sufficiently increased in a range where the paste can be easily formed, the film thickness after drying and firing can be sufficiently increased, so that higher conductivity can be obtained. In addition, more preferably, the range of the content of the silver powder is 50 to
80 (wt%).

【0012】また、前記第1発明において、好適には、
前記ガラス粉末は比表面積が0.5 〜10(m2/g)、一層好適
には1 〜8(m2/g) である。0.5(m2/g) 未満では抵抗値が
増大すると共に印刷性が低下し、反対に10(m2/g)を越え
ると分散性が悪くなってペースト化が困難になる。ま
た、ガラス粉末としては、例えば、硼珪酸鉛ガラスを主
成分とした軟化点が600(℃) 以下の低軟化点ガラス、す
なわち、PbO-SiO2-B2O3系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-Al2O
3 系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-ZnO 系ガラス等が好適に用
いられる。なお、軟化点が600(℃) を越えるガラス粉末
では、所定の基板等上に形成されたペースト膜を焼成す
る際にガラス成分が十分なアンカ効果を与えることがで
きないため、その基板等との高い固着強度が得られず、
しかも、抵抗値が上昇するという問題が生じる。
In the first invention, preferably,
The glass powder has a specific surface area of 0.5 to 10 (m 2 / g), more preferably 1 to 8 (m 2 / g). 0.5 (m 2 / g) is less than reduced printability with resistance value increases as opposed to 10 (m 2 / g) to exceed the dispersibility is poor becomes a paste reduction becomes difficult. Further, as the glass powder, for example, a low softening point glass having a softening point of not more than 600 (° C.) containing lead borosilicate glass as a main component, that is, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 system glass, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2 O
3 based glass, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 -ZnO based glass or the like is preferably used. In the case of glass powder having a softening point exceeding 600 (° C.), the glass component cannot give a sufficient anchor effect when the paste film formed on a predetermined substrate or the like is fired. High adhesion strength cannot be obtained,
In addition, there is a problem that the resistance value increases.

【0013】また、前記第1発明において、好適には、
前記ガラス粉末の含有量はペースト全体に対して0.5 〜
20(wt%) 、一層好ましくは1 〜 10(wt%) の範囲であ
る。0.5(wt%) 未満では導電厚膜と基板等との固着強度
が不十分となり、 20(wt%)を越えると抵抗値の上昇が
著しい。
In the first invention, preferably,
The content of the glass powder is 0.5 to the whole paste.
20 (wt%), more preferably in the range of 1 to 10 (wt%). If it is less than 0.5 (wt%), the bonding strength between the conductive thick film and the substrate becomes insufficient, and if it exceeds 20 (wt%), the resistance value increases significantly.

【0014】[0014]

【課題を解決するための第2の手段】また、前記目的を
達成するための第2発明の黒色導電ペースト組成物の要
旨とするところは、銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合
剤と、有機溶剤と、感光性組成物と、黒色顔料とを含
み、露光および現像処理により黒色を呈する導電厚膜を
パターン形成するために用いられる感光性を有する黒色
導電ペースト組成物であって、(a) 前記銀粉末の比表面
積は0.4 〜2.5(m2/g) であり、(b) 前記黒色顔料は Co3
O4粉末から成ることにある。
A second object of the present invention to achieve the above object is to provide a black conductive paste composition according to a second aspect of the present invention, which comprises a silver powder, a glass powder, an organic binder, Organic solvent, a photosensitive composition, comprising a black pigment, a photosensitive black conductive paste composition used for patterning a conductive thick film that exhibits a black color by exposure and development treatment, (a The specific surface area of the silver powder is 0.4 to 2.5 (m 2 / g), and (b) the black pigment is Co 3
Consists of O 4 powder.

【0015】[0015]

【第2発明の効果】このようにすれば、感光性黒色導電
ペーストは、導電性成分として含まれる銀粉末の比表面
積が0.4 〜2.5(m2/g) と微細であると共に、黒色顔料が
Co3O4粉末であることから、高い感光性延いては高い解
像性を有すると共に、その感光性黒色導電ペーストから
形成される黒色導電厚膜には銀と Co3O4から成る黒色顔
料とがガラスで結合されて構成されるため、導電性が十
分に高く且つ明度および黄色度が十分に低い黒色導電厚
膜が得られる。すなわち、前述のように感光性導電ペー
ストに黒色顔料を添加すると、そのペーストから生成さ
れる導電厚膜の明度および黄色度が低下させられる一方
で、導電厚膜の抵抗値は上昇させられると共に感光性延
いては解像性が低下させられる。この場合において、そ
の作用は明らかではないが、本発明者等が種々の顔料に
ついてこれらの特性を評価した結果によれば、 Co3O4
末を黒色顔料として添加すると、他の黒色顔料に比較し
て明度および黄色度の低下が著しく大きく、しかも、抵
抗値の上昇が抑制されることに加えて、感光性ペースト
の場合には解像性の低下が抑制される。したがって、導
電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を
形成することが可能な感光性黒色導電ペーストを得るこ
とができる。なお、銀粉末の比表面積が0.4(m2/g)未満
では、焼成時に連続膜が形成され難くなり、一方、2.5
(m2/g) を越えるとペースト化が困難になると共にペー
スト膜中において銀粉末を保持するために必要な有機結
合剤が多くなることから焼成後の導電厚膜の膜厚が薄く
なるため、何れの場合にも抵抗値が上昇する。また、2.
5(m2/g) を越えると露光も困難になり、解像性が低下す
る。また、一層好適には、銀粉末の比表面積の範囲は0.
8 〜2.0(m2/g) である。
In this way, the photosensitive black conductive paste has a fine specific surface area of 0.4 to 2.5 (m 2 / g) of silver powder contained as a conductive component and a black pigment.
Since it is Co 3 O 4 powder, it has high photosensitivity and high resolution, and the black conductive thick film formed from the photosensitive black conductive paste has a black pigment consisting of silver and Co 3 O 4 Is formed by bonding with glass, so that a black conductive thick film having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness can be obtained. That is, as described above, when a black pigment is added to the photosensitive conductive paste, the lightness and yellowness of the conductive thick film formed from the paste are reduced, while the resistance value of the conductive thick film is increased and the photosensitive thick film is exposed. As a result, the resolution is reduced. In this case, the effect is not clear, but according to the results of the inventors' evaluation of these properties for various pigments, when Co 3 O 4 powder is added as a black pigment, it is compared with other black pigments. As a result, the decrease in brightness and yellowness is remarkably large, and in addition to the increase in resistance value, in the case of a photosensitive paste, the decrease in resolution is suppressed. Therefore, a photosensitive black conductive paste capable of forming a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness can be obtained. If the specific surface area of the silver powder is less than 0.4 (m 2 / g), it becomes difficult to form a continuous film at the time of firing, while 2.5
If (m 2 / g) is exceeded, it becomes difficult to form a paste, and the organic binder necessary for holding the silver powder in the paste film increases, so that the thickness of the conductive thick film after firing becomes thin. In any case, the resistance value increases. Also, 2.
If it exceeds 5 (m 2 / g), exposure becomes difficult, and the resolution decreases. More preferably, the range of the specific surface area of the silver powder is 0.1.
8 to 2.0 (m 2 / g).

【0016】[0016]

【第2発明の他の態様】また、前記第2発明において、
好適には、前記銀粉末は、球状を成すものである。この
ようにすれば、同様な粒子径で比較した場合において、
球状粒子は比表面積が小さく、表面積当たりの粒径が大
きいことから、ペースト膜を形成するために必要な有機
結合剤の量を少なくして導電性を高めることができる。
しかも、球状粒子は板状、凹凸の多い不定形状に比較し
て照射された光のペースト膜内部における散乱を生じさ
せ難いため、解像性も高められる。したがって、一層高
い解像性を保ちながら、一層高い導電性を有する導電厚
膜を形成し得る感光性黒色導電ペーストが得られる。
[Another aspect of the second invention] In the second invention,
Preferably, the silver powder has a spherical shape. In this way, when compared with similar particle diameters,
Since the spherical particles have a small specific surface area and a large particle size per surface area, the conductivity can be increased by reducing the amount of the organic binder necessary for forming the paste film.
In addition, the spherical particles are less likely to scatter the irradiated light inside the paste film than in the case of a plate-like or irregular shape having many irregularities, so that the resolution is improved. Therefore, a photosensitive black conductive paste capable of forming a conductive thick film having higher conductivity while maintaining higher resolution can be obtained.

【0017】また、前記第2発明において、好適には、
前記銀粉末は、ペースト組成物の全体に対する割合で40
〜 80(wt%) の範囲で含まれているものである。このよ
うにすれば、銀粉末の含有量がペースト化が容易且つ露
光が容易な範囲で十分に多くされていることから、乾燥
および焼成後の膜厚を十分に厚くできるため、一層高い
導電性が得られる。なお、 80(wt%) を越えると、照射
された光がペースト膜の内部にまで十分に到達しないこ
とから、解像性が著しく低下する。
In the second invention, preferably,
The silver powder accounts for 40% of the total paste composition.
It is included in the range of ~ 80 (wt%). In this case, since the content of the silver powder is sufficiently increased in a range where the paste can be easily formed and the exposure can be easily performed, the film thickness after drying and firing can be sufficiently increased. Is obtained. If it exceeds 80 (wt%), the irradiated light does not sufficiently reach the inside of the paste film, so that the resolution is remarkably reduced.

【0018】また、前記第2発明において、好適には、
前記ガラス粉末は比表面積が0.5 〜10(m2/g)である。0.
5(m2/g) 未満では抵抗値が増大すると共に粒子径が大き
いことから印刷性が低下(例えば現像後のライン・エッ
ジ不良が発生)し、反対に10(m2/g)を越えると分散性が
悪くなってペースト化が困難になる。また、ガラス粉末
としては、例えば、硼珪酸鉛ガラスを主成分とした軟化
点が600(℃) 以下の低軟化点ガラス、すなわち、PbO-Si
O2-B2O3 系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-Al2O3 系ガラス、Pb
O-SiO2-B2O3-ZnO 系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-Al2O3-ZnO
系ガラス、Bi2O 3-SiO2-B2O3 系ガラス、ZnO-SiO2-B2O3
系ガラス、R2O-ZnO-SiO2-B2O3 系ガラス(R2O はアルカ
リ金属酸化物)等が好適に用いられる。なお、軟化点が
600(℃)を越えるガラス粉末では、所定の基板等上に形
成されたペースト膜を焼成する際にガラス粉末が十分な
アンカ効果を与えることができないため、その基板等と
の高い固着強度が得られず、しかも、抵抗値が上昇する
という問題が生じる。また、ガラスの耐水性や接着性を
高くするためには、ガラス粉末の軟化点は350(℃)以上
であることが望ましい。
In the second invention, preferably,
The glass powder has a specific surface area of 0.5 to 10 (mTwo/ g). 0.
5 (mTwo/ g), the resistance increases and the particle size increases.
Printability (e.g., line edge after development)
Failure), and 10 (mTwo/ g)
It becomes worse and becomes difficult to paste. Also, glass powder
As, for example, softening mainly composed of lead borosilicate glass
Low softening point glass with a point of 600 (℃) or less, that is, PbO-Si
OTwo-BTwoOThree Glass, PbO-SiOTwo-BTwoOThree-AlTwoOThreeGlass, Pb
O-SiOTwo-BTwoOThree-ZnO-based glass, PbO-SiOTwo-BTwoOThree-AlTwoOThree-ZnO
Glass, BiTwoO Three-SiOTwo-BTwoOThree Glass, ZnO-SiOTwo-BTwoOThree 
Glass, RTwoO-ZnO-SiOTwo-BTwoOThree Glass (RTwoO is Arca
(Metal oxide) is preferably used. The softening point is
For glass powder exceeding 600 (° C), form on a predetermined substrate, etc.
The glass powder is sufficient when firing the formed paste film
Since the anchor effect cannot be given,
High fixing strength cannot be obtained, and the resistance value rises
The problem arises. In addition, the water resistance and adhesion of glass
To increase the temperature, the softening point of the glass powder should be 350 (° C) or more
It is desirable that

【0019】また、前記第2発明において、好適には、
前記ガラス粉末の含有量はペースト全体に対して0.5 〜
10(wt%) の範囲である。0.5(wt%) 未満では導電厚膜
と基板等との固着強度が不十分となり、 10(wt%) を越
えると抵抗値の上昇が著しく、また、解像性も低下す
る。
In the second invention, preferably,
The content of the glass powder is 0.5 to the whole paste.
It is in the range of 10 (wt%). If it is less than 0.5 (wt%), the bonding strength between the conductive thick film and the substrate or the like becomes insufficient.

【0020】また、前記第2発明において、好適には、
前記有機結合剤は、水溶性を有するものである。このよ
うにすれば、ペースト膜を所定の基板等上で所定形状に
保持するために導電ペースト中に含まれる有機結合剤が
水溶性を有することから、パターン形成するための現像
処理において現像液として水を用いることができる。そ
のため、黒色導電厚膜が設けられる基板等の材質に拘わ
らず、アルカリ水溶液を現像液として用いる場合のよう
な浸食や変質等の直接的な損傷や、現像液の残留物によ
る焼成時の発泡等の間接的な損傷が基板等に生じること
が抑制される。
In the second invention, preferably,
The organic binder has water solubility. In this case, since the organic binder contained in the conductive paste has water solubility in order to hold the paste film in a predetermined shape on a predetermined substrate or the like, the organic binder is used as a developing solution in a developing process for forming a pattern. Water can be used. Therefore, irrespective of the material of the substrate or the like on which the black conductive thick film is provided, direct damage such as erosion or deterioration as in the case of using an alkaline aqueous solution as a developing solution, foaming during firing due to a residue of the developing solution, etc. Indirect damage to the substrate or the like is suppressed.

【0021】また、前記第2発明において、好適には、
前記有機結合剤は、セルロース誘導体である。このよう
にすれば、セルロース誘導体は良好な水溶性を有するこ
とから、パターン形成するための現像処理において現像
液として水を用い得る利点がある。
In the second invention, preferably,
The organic binder is a cellulose derivative. In this case, since the cellulose derivative has good water solubility, there is an advantage that water can be used as a developing solution in a developing process for forming a pattern.

【0022】また、前記第2発明において、好適には、
前記セルロース誘導体は、ヒドロキシメチルセルロー
ス、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カ
ルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロー
ス、カルボキシエチルメチルセルロース、およびこれら
の塩類の一種乃至複数種類から成るものである。これら
は何れもセルロース誘導体のうちでも特に良好な水溶性
を有することから、メチルセルロース、エチルセルロー
スやエチルヒドロキシエチルセルロース等の他のセルロ
ース誘導体を用いる場合に比較して、水による現像処理
が一層容易になる利点がある。しかも、これらは銀粉末
や黒色顔料との相溶性が大きく、ガラス粉末表面に存在
する金属イオンとの反応性が低いことから、黒色導電ペ
ーストの粘性の変化やゲル化が抑制されて安定性に優れ
るため、高い保存性も得られる。
In the second invention, preferably,
The cellulose derivative comprises one or more of hydroxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, carboxyethylcellulose, carboxyethylmethylcellulose, and salts thereof. Since each of these has particularly good water solubility among cellulose derivatives, the advantage that development processing with water is further facilitated as compared with the case of using other cellulose derivatives such as methylcellulose, ethylcellulose and ethylhydroxyethylcellulose. There is. In addition, since they have high compatibility with silver powder and black pigment and low reactivity with metal ions existing on the surface of glass powder, the change in viscosity and gelation of the black conductive paste are suppressed, resulting in stability. Because of its excellent properties, high preservability can be obtained.

【0023】また、前記第2発明において、好適には、
上記の有機結合剤の含有量は、ペースト全体に対する割
合で5 〜 20(wt%) の範囲である。5(wt%) 未満ではペ
ースト膜中において銀粉末やガラス粉末の保持力が不十
分となって現像時にパターン部分の剥離が生じ易くな
る。一方、 20(wt%) を越えると銀粉末の含有量が相対
的に低下するため、焼成後の黒色導電厚膜の膜厚が薄く
なって抵抗値の上昇を招く。
In the second invention, preferably,
The content of the above organic binder is in the range of 5 to 20 (wt%) based on the whole paste. If the amount is less than 5 (wt%), the holding power of silver powder or glass powder in the paste film becomes insufficient, and the pattern portion tends to peel off during development. On the other hand, if it exceeds 20 (wt%), the content of the silver powder is relatively reduced, so that the thickness of the black conductive thick film after firing becomes thin and the resistance value is increased.

【0024】また、前記第2発明において、好適には、
前記の感光性組成物は、光重合性化合物および光重合開
始剤から構成される。このようにすれば、感光性黒色導
電ペーストは、それから形成されたペースト膜を露光お
よび現像処理してパターン形成するに際して、露光され
た部分が硬化させられてそれにより黒色導電厚膜のパタ
ーンが構成される所謂ネガ型になる。
In the second invention, preferably,
The photosensitive composition is composed of a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator. In this way, when the photosensitive black conductive paste forms a pattern by exposing and developing the paste film formed therefrom, the exposed portion is cured, thereby forming the pattern of the black conductive thick film. So-called negative type.

【0025】なお、上記の光重合性化合物は、好適に
は、ペースト全体に対する割合で3 〜20(wt%) の範囲
で含まれる。3(wt%) 未満では露光不良すなわちパター
ン部分が十分に硬化させられず、 20(wt%) を越えると
生成された黒色導電厚膜の導電性が著しく低下すること
となる。また、光重合性化合物としては、例えば、アク
リル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル
酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2-ヒドロキシエチ
ルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、
エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、
エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレー
ト、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレー
ト、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレ
ート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタク
リレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、ア
クリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレ
ート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エ
チルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブ
チルメタクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、
2-エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート等の単官能モノマー、エチ
レングリコールジアクリレート、エチレングリコールモ
ノメタクリレート、トリエチレングリコールモノアクリ
レート、テトラエチレングリコールモノアクリレート、
ノナエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレ
ングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコー
ルモノメタクリレート、トリエチレングリコールモノメ
タクリレート、テトラエチレングリコールモノメタクリ
レート、ノナエチレングリコールモノメタクリレート、
ジプロピレングリコールモノアクリレート、トリプロピ
レングリコールモノアクリレート、テトラプロピレング
リコールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモ
ノメタクリレート、トリプロピレングリコールモノメタ
クリレート、ブチレングリコールモノメタクリレート、
プロピレングリコールモノアクリレート、エチレングリ
コールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレート、テト
ラエチレングリコールジアクリレート、ノナエチレング
リコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメ
タクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレ
ート、ノナエチレングリコールジメタクリレート、ジプ
ロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレング
リコールジアクリレート、テトラプロピレングリコール
ジアクリレート、ジプロピレングリコールジメタクリレ
ート、トリプロピレングリコールジメタクリレート、ブ
チレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テ
トラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジア
クリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、
カルドエポキシジアクリレート等の多官能モノマーを挙
げることができ、特に、トリエチレングリコールモノア
クリレート、テトラエチレングリコールモノアクリレー
ト、トリエチレングリコールモノメタクリレート、テト
ラエチレングリコールモノメタクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールト
リメタクリレートが好適に用いられる。これらは焼成時
に分解および揮散し易いことから生成された黒色導電厚
膜の電気的特性を低下させ難く、しかも高感度の感光性
黒色導電ペーストを構成し得る。
The above-mentioned photopolymerizable compound is preferably contained in the range of 3 to 20 (wt%) based on the whole paste. If it is less than 3 (wt%), exposure failure, that is, the pattern portion is not sufficiently cured, and if it exceeds 20 (wt%), the conductivity of the formed black conductive thick film is remarkably reduced. Further, as the photopolymerizable compound, for example, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate,
Ethylene glycol monomethyl ether acrylate,
Ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl Methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate,
2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, monofunctional monomers such as benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monoacrylate, tetraethylene glycol monoacrylate,
Nonaethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, nonaethylene glycol monomethacrylate,
Dipropylene glycol monoacrylate, tripropylene glycol monoacrylate, tetrapropylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monomethacrylate, tripropylene glycol monomethacrylate, butylene glycol monomethacrylate,
Propylene glycol monoacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, nonaethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, nonaethylene glycol dimethacrylate , Dipropylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, dipropylene glycol dimethacrylate, tripropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trime Roll propane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol Pentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate,
Examples thereof include polyfunctional monomers such as cardo epoxy diacrylate, and particularly, triethylene glycol monoacrylate, tetraethylene glycol monoacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate. Is preferably used. These are easily decomposed and volatilized at the time of firing, so that it is difficult to lower the electrical characteristics of the formed black conductive thick film, and can form a highly sensitive photosensitive black conductive paste.

【0026】また、上記の光重合開始剤としては、例え
ば、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-
ジメトキシ-1,2- ジフェニルエタン-1- オン、2-メチル
-1-[4- (メチルチオ) フェニル]-2-モルフォリノプロパ
ン-1- オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モル
フォリノフェニル)-ブタン-1- オン、2-ヒドロキシ-2-
メチル-1- フェニルプロパン-1- オン、2,4,6-トリメチ
ルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、1-[4-(2-
ヒドロキシエトキシ) フェニル]-2-ヒドロキシ-2- メチ
ル-1- プロパン-1- オン、2,4-ジエチルチオキサント
ン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサン
トン、3,3-ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベ
ンゾフェノン、1-クロロ-4- プロポキシチオキサント
ン、1-(4- イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2- メ
チルプロパン-1- オン、1-(4- ドデシルフェニル)-2-ヒ
ドロキシ-2- メチルプロパン-1- オン、4-ベンゾイル-
4'-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息
香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルア
ミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチ
ル、4-ジメチルアミノ安息香酸-2- エチルヘキシル、4-
ジメチルアミノ安息香酸-2-イソアミル、2,2-ジエトキ
シアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、ベンジ
ル- β- メトキシエチルアセタール、1-フェニル-1,2-
プロパンジオン-2-(ο- エトキシカルボニル) オキシ
ム、ο- ベンゾイル安息香酸メチル、ビス(4- ジメチル
アミノフェニル) ケトン、4,4'- ビスジエチルアミノベ
ンゾフェノン、4,4'- ジクロロベンゾフェノン、ベンジ
ル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、
ベンゾイン-n- ブチルエーテル、ベンゾインイソブチル
エーテル、ベンゾインブチルエーテル、p-ジメチルアミ
ノアセトフェノン、p-tert- ブチルトリクロロアセトフ
ェノン、p-tert- ブチルジクロロアセトフェノン、チオ
キサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピル
チオキサントン、ジベンゾスベロン、α, α- ジクロロ
-4- フェノキシアセトフェノン、ペンチル-4- ジメチル
アミノベンゾエート等を挙げることができる。光重合開
始剤は、好適には、ペースト全体に対する割合で0.05〜
10(wt%) の範囲で含まれる。 0.05(wt%) 未満では露
光不良すなわち光重合性化合物の重合が十分に進行せず
パターン部分の効果が不十分となる。一方、 10(wt%)
を越えると、生成された黒色導電厚膜の導電性が著しく
低下することとなる。
Examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-
Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 2-methyl
-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-hydroxy -2-
Methyl-1-phenylpropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-
(Hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxy Benzophenone, benzophenone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2- Methylpropan-1-one, 4-benzoyl-
4'-methyldimethyl sulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 4 -
2-isoamyl dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethylketal, benzyl-β-methoxyethylacetal, 1-phenyl-1,2-
Propanedione-2- (ο-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, benzyl, benzoin , Benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether,
Benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone , Α, α-dichloro
-4-phenoxyacetophenone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate and the like. The photopolymerization initiator is preferably in a proportion of 0.05 to
It is included in the range of 10 (wt%). If it is less than 0.05 (wt%), poor exposure, that is, polymerization of the photopolymerizable compound does not sufficiently proceed, and the effect of the pattern portion becomes insufficient. On the other hand, 10 (wt%)
When the ratio exceeds, the conductivity of the formed black conductive thick film is significantly reduced.

【0027】[0027]

【第1および第2発明の他の態様】また、前記第1およ
び第2発明において、好適には、前記黒色顔料の比表面
積は、1 〜20(m2/g)である。このようにすれば、黒色顔
料の比表面積が黒色導電厚膜の導電性が十分に高く保た
れ且つ感光性ペーストの場合においては解像性も十分に
高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、
黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられ
る。なお、1(m2/g) 未満では明度の低下が不十分であ
り、反対に20(m2/g)を越えると抵抗値が上昇すると共に
感光性ペーストの場合においては解像性の低下が著しい
のである。また、上記比表面積の範囲は、一層好適に
は、2 〜15(m2/g)である。
[Other Embodiments of the First and Second Inventions] In the first and second inventions, preferably, the specific surface area of the black pigment is 1 to 20 (m 2 / g). By doing so, the specific surface area of the black pigment is made sufficiently large in the range where the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and in the case of the photosensitive paste, the resolution is also kept sufficiently high. From that
Good color development of black is obtained, and the brightness is sufficiently reduced. If it is less than 1 (m 2 / g), the brightness is not sufficiently reduced, and if it exceeds 20 (m 2 / g), the resistance increases and the resolution decreases in the case of a photosensitive paste. Is remarkable. The range of the specific surface area is more preferably 2 to 15 (m 2 / g).

【0028】また、前記第1および第2発明において、
好適には、前記黒色顔料は、ペースト組成物の全体に対
する割合で0.5 〜 10(wt%) の範囲で含まれている。こ
のようにすれば、黒色顔料の含有率が黒色導電厚膜の導
電性が十分に高く保たれ且つ感光性ペーストの場合にお
いては解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きく
されていることから、黒色の発色が良好に得られて明度
が十分に低下させられる。なお、0.5(wt%) 未満では明
度の低下が不十分であり、反対に 20(wt%) を越えると
抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。また、
上記含有率の範囲は、一層好適には、1 〜8(wt%) であ
る。
In the first and second inventions,
Preferably, the black pigment is contained in the range of 0.5 to 10 (wt%) in a ratio to the whole paste composition. In this case, the content of the black pigment is sufficiently large in a range where the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and in the case of the photosensitive paste, the resolution is also kept sufficiently high. As a result, a black color is favorably obtained, and the brightness is sufficiently reduced. If the amount is less than 0.5 (wt%), the decrease in brightness is insufficient, while if it exceeds 20 (wt%), the resistance value increases and the resolution decreases remarkably. Also,
The range of the content is more preferably 1 to 8 (wt%).

【0029】[0029]

【課題を解決するための第3の手段】また、前記目的を
達成するための第3発明の黒色導電厚膜の要旨とすると
ころは、所定の基板上に所定パターンで設けられ、銀お
よび黒色顔料がガラスで結合されて成る黒色導電厚膜で
あって、(a) 前記黒色顔料が、Co3O4 から成ることにあ
る。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a black conductive thick film which is provided on a predetermined substrate in a predetermined pattern, and is formed of silver and black. A black conductive thick film in which a pigment is bonded with glass, wherein (a) the black pigment is made of Co 3 O 4 .

【0030】[0030]

【第3発明の効果】このようにすれば、黒色導電厚膜
は、黒色顔料がCo3O4 で構成されることから、前記第1
発明の効果で説明したように、Co3O4 は他の黒色顔料に
比較して黒色導電厚膜の明度および黄色度を低下させる
作用が大きく、しかも、その抵抗値をそれほど上昇させ
ないため、導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が
十分に低い黒色導電厚膜が得られる。
According to the third aspect of the present invention, since the black conductive thick film has the black pigment composed of Co 3 O 4 ,
As described in the effect of the invention, Co 3 O 4 has a large effect of lowering the brightness and yellowness of the black conductive thick film as compared with other black pigments, and furthermore, does not increase the resistance value so much, so that A black conductive thick film having sufficiently high properties and sufficiently low brightness and yellowness is obtained.

【0031】[0031]

【第3発明の他の態様】ここで、上記の第3発明におい
て、好適には、前記黒色導電厚膜は、所定の一面側から
観察される透光性基板のその一面とは反対側の他面上に
設けられて前記黒色顔料を含む黒色導電層と、その黒色
導電層よりも高い明度および高い導電性を有してその上
側に積層して備えられた高明度高導電層とを含むもので
ある。このようにすれば、黒色導電厚膜は、黒色顔料を
含む黒色導電層と、それよりも高明度且つ高導電性の高
明度高導電層とが積層されて構成されることから、黒色
導電厚膜全体の導電性は、高明度高導電層によって十分
に高められる。一方、観視側となる透光性基板の一面側
においては、それら積層された二種の導電層のうちの黒
色導電層がその透光性基板を介して観察されることか
ら、黒色導電厚膜の色調は実質的に黒色導電層によって
決定される。このとき、黒色導電厚膜の導電性は高明度
高導電層で確保されることから黒色導電層の導電性が比
較的低くなっても差し支えないため、それに含まれる黒
色顔料の量を十分に多くして黒色導電層延いては黒色導
電厚膜の明度および黄色度を十分に低くできる。したが
って、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導
電厚膜が得られる。なお、黒色導電層もある程度の導電
性を有していることから、このような黒色導電膜で前述
したPDP8において透明電極28に重ねて用いられる
バス電極30を構成する場合にも、それらの間の導電性
を確保しつつ上記の一面側から見た場合における明度を
十分に低くできる。
According to another aspect of the third invention, in the above third invention, preferably, the black conductive thick film is provided on the opposite side of the one side of the translucent substrate observed from a predetermined one side. A black conductive layer provided on the other surface and containing the black pigment, and a high-brightness high-conductive layer provided with a higher brightness and higher conductivity than the black conductive layer and stacked thereabove. It is a thing. With this configuration, the black conductive thick film is formed by laminating the black conductive layer containing the black pigment and the high-brightness and high-conductive layer having higher brightness and higher conductivity. The conductivity of the entire film is sufficiently enhanced by the high brightness and high conductivity layer. On the other hand, on one surface side of the light-transmitting substrate on the viewing side, the black conductive layer of the two types of stacked conductive layers is observed through the light-transmitting substrate. The color tone of the film is substantially determined by the black conductive layer. At this time, since the conductivity of the black conductive thick film is secured by the high brightness and high conductive layer, the conductivity of the black conductive layer may be relatively low, so the amount of the black pigment contained in the black conductive layer may be sufficiently large. As a result, the brightness and yellowness of the black conductive layer and thus the black conductive thick film can be sufficiently reduced. Therefore, a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness can be obtained. In addition, since the black conductive layer also has a certain degree of conductivity, even when such a black conductive film constitutes the bus electrode 30 which is used to be overlapped with the transparent electrode 28 in the above-described PDP 8, even if the bus electrode 30 is formed between them, Can be sufficiently reduced when viewed from the above-mentioned one surface side while ensuring the conductivity.

【0032】また、前記の第3発明において、好適に
は、前記黒色導電厚膜は、光硬化性化合物を含む導電ペ
ーストを用いて露光および現像によりパターン形成され
たものである。このようにすれば、露光および現像によ
り所謂フォト・リソグラフィ法で黒色導電厚膜がパター
ン形成される場合において、黒色顔料がCo3O4 から構成
されることから、前記第2発明の効果で説明したよう
に、露光および現像時の解像性を大きく低下させること
なく、導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分
に低い黒色導電厚膜を得ることができる。
In the third aspect of the invention, preferably, the black conductive thick film is formed by exposure and development using a conductive paste containing a photocurable compound. According to this configuration, when the black conductive thick film is patterned by the so-called photolithography method by exposure and development, the black pigment is composed of Co 3 O 4 , which is described in the effect of the second invention. As described above, a black conductive thick film having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness can be obtained without significantly lowering the resolution during exposure and development.

【0033】特に、黒色導電厚膜が前記の黒色導電層お
よび高明度高導電層から構成される場合において、それ
らが光硬化性化合物を含む導電ペーストを用いてパター
ン形成される場合には、一方の高明度高導電層はその黒
色導電層よりも高明度であることから露光が容易である
ため、黒色導電厚膜全体が黒色導電層から構成される場
合に比較して、その黒色導電層を形成するための黒色導
電ペーストが露光し難くされていても全体として十分な
露光性を確保できる。そのため、黒色導電層中に含まれ
る黒色顔料の量は導電厚膜全体の導電性や露光性に殆ど
影響しないことから、それに含まれる黒色顔料の量を十
分に多くして黒色導電層延いては黒色導電厚膜の明度お
よび黄色度を十分に低くできる。したがって、導電性お
よび膜形成時の解像性を高く保ちながら、明度および黄
色度の低い黒色導電厚膜を得ることができる。
In particular, when the black conductive thick film is composed of the above-mentioned black conductive layer and high-brightness high-conductive layer, and when they are patterned by using a conductive paste containing a photocurable compound, Since the high-brightness high-conductivity layer is higher in brightness than the black conductive layer, it is easy to expose, and compared to the case where the entire black conductive thick film is composed of the black conductive layer, Even if the black conductive paste to be formed is hardly exposed, sufficient exposure properties can be secured as a whole. Therefore, since the amount of the black pigment contained in the black conductive layer hardly affects the conductivity and the exposing property of the entire conductive thick film, the amount of the black pigment contained therein is sufficiently increased to extend the black conductive layer. The brightness and yellowness of the black conductive thick film can be sufficiently reduced. Therefore, a black conductive thick film having low brightness and low yellowness can be obtained while maintaining high conductivity and high resolution during film formation.

【0034】また、前記の第3発明において、好適に
は、前記黒色顔料の比表面積は、1 〜20(m2/g)である。
このようにすれば、黒色導電厚膜中に含まれる黒色顔料
の比表面積は、その膜の導電性が十分に高く保たれ且つ
感光性ペーストを用いて露光および現像処理を経てパタ
ーン形成される場合においては解像性も十分に高く保た
れる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発
色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。な
お、1(m2/g) 未満では明度の低下が不十分であり、反対
に20(m2/g)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の
低下が著しい。また、上記比表面積の範囲は、一層好適
には、2 〜15(m2/g)である。
In the third aspect of the present invention, the black pigment preferably has a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g).
In this case, the specific surface area of the black pigment contained in the black conductive thick film is such that the conductivity of the film is kept sufficiently high and a pattern is formed through exposure and development using a photosensitive paste. In the above, since the resolution is sufficiently increased in a range where the resolution is also kept sufficiently high, black color development is favorably obtained and the brightness is sufficiently reduced. If it is less than 1 (m 2 / g), the decrease in brightness is insufficient, and if it exceeds 20 (m 2 / g), on the other hand, the resistance value is increased and the resolution is significantly reduced. The range of the specific surface area is more preferably 2 to 15 (m 2 / g).

【0035】また、前記の第3発明において、好適に
は、前記黒色顔料は、前記黒色導電厚膜の全体に対する
割合で0.5 〜 20(wt%) の範囲で含まれている。このよ
うにすれば、黒色顔料の含有率は、黒色導電厚膜の導電
性が十分に高く保たれ且つ感光性ペーストを用いて露光
および現像処理を経てパターン形成される場合において
は解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされ
ていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十
分に低下させられる。なお、0.5(wt%) 未満では明度の
低下が不十分であり、反対に 20(wt%) を越えると抵抗
値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。また、上記
含有率の範囲は、一層好適には、1 〜8(wt%) である。
In the third aspect of the present invention, preferably, the black pigment is contained in the range of 0.5 to 20 (wt%) in a ratio to the whole of the black conductive thick film. In this case, the content of the black pigment is high when the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and the resolution is high when the pattern is formed through exposure and development using a photosensitive paste. Since the color is set sufficiently large in a range where the color is kept sufficiently high, black color development is favorably obtained and the brightness is sufficiently reduced. If the amount is less than 0.5 (wt%), the decrease in brightness is insufficient, while if it exceeds 20 (wt%), the resistance value increases and the resolution decreases remarkably. The content range is more preferably 1 to 8 (wt%).

【0036】[0036]

【課題を解決するための第4の手段】また、前記の目的
を達成するための第4発明の黒色導電厚膜の形成方法の
要旨とするところは、所定の一面側から観察される透光
性基板のその一面とは反対側の他面上に所定パターンで
黒色導電厚膜を形成する方法であって、(a) 前記透光性
基板の他面に前記第1発明または前記第2発明の何れか
の黒色導電ペースト組成物を塗布して黒色導電ペースト
膜を形成する黒色ペースト膜形成工程と、(b)前記黒色
導電ペースト膜から生成されるものよりも明度が高く且
つ導電性の高い膜を生成するための高明度高導電ペース
ト組成物を、その黒色導電ペースト膜上に塗布して高明
度高導電ペースト膜を積層形成することにより、所定厚
さの導電ペースト膜を形成する高明度ペースト膜形成工
程と、(c) その導電ペースト膜を焼成して所定パターン
の黒色導電厚膜を生成する焼成工程とを、含むことにあ
る。
A fourth aspect of the present invention for achieving the above-mentioned object is to provide a method of forming a black conductive thick film according to the present invention. A method of forming a black conductive thick film in a predetermined pattern on the other surface of the transparent substrate opposite to the one surface thereof, wherein (a) the first invention or the second invention is formed on the other surface of the translucent substrate. A black paste film forming step of applying any of the black conductive paste compositions to form a black conductive paste film, and (b) having higher brightness and higher conductivity than those produced from the black conductive paste film A high-brightness high-conductivity paste composition for forming a film having a predetermined thickness is formed by applying a high-brightness high-conductivity paste composition for forming a film on the black conductive paste film and forming a high-brightness high-conductivity paste film. A paste film forming step, and (c) a conductive paste Firing the strike layer and a firing step of generating a black conductive thick film of a predetermined pattern is to include.

【0037】[0037]

【第4発明の効果】このようにすれば、黒色導電厚膜を
形成するに際しては、黒色ペースト膜形成工程におい
て、透光性基板の他面に前記第1発明または第2発明の
何れかの黒色導電ペースト組成物を塗布して黒色導電ペ
ースト膜が形成され、高明度ペースト膜形成工程におい
て、その黒色導電ペースト膜から生成されるものよりも
明度が高く且つ導電性の高い膜を形成するための高明度
高導電ペースト組成物を、その黒色導電ペースト膜上に
塗布して高明度高導電ペースト膜を積層形成することに
より、所定厚さの導電ペースト膜が形成され、更に、焼
成工程において、その導電ペースト膜を焼成して所定パ
ターンの黒色導電厚膜が生成される。そのため、黒色導
電厚膜は、黒色導電ペースト膜から生成された黒色導電
層と、高明度高導電ペースト膜から生成された高明度高
導電層とが積層されて構成されることから、全体の導電
性は、高明度高導電層によって十分に高められる。一
方、観視側となる透光性基板の一面側においては、それ
ら積層された二種の導電層のうちの黒色導電層がその透
光性基板を介して観察されることから、黒色導電厚膜の
色調は実質的に黒色導電層によって決定される。このと
き、黒色導電厚膜の導電性は高明度高導電層で確保され
ることから黒色導電層の導電性が比較的低くなっても差
し支えないため、それに含まれる黒色顔料の量を十分に
多くして黒色導電層延いては黒色導電厚膜の明度および
黄色度を十分に低くできる。したがって、導電性が高く
且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を形成するこ
とができる。
In this way, when forming a black conductive thick film, in the black paste film forming step, any one of the first and second inventions is applied to the other surface of the light-transmitting substrate. A black conductive paste composition is applied to form a black conductive paste film, and in the high brightness paste film forming step, a film having higher brightness and higher conductivity than that generated from the black conductive paste film is formed. A high-brightness, high-conductivity paste composition is applied on the black conductive paste film to form a high-brightness, high-conductivity paste film, whereby a conductive paste film having a predetermined thickness is formed. The conductive paste film is fired to produce a black conductive thick film having a predetermined pattern. Therefore, the black conductive thick film is formed by stacking the black conductive layer generated from the black conductive paste film and the high brightness high conductive layer generated from the high brightness high conductive paste film, so that the entire conductive film is formed. The performance is sufficiently enhanced by the high brightness and high conductivity layer. On the other hand, on one surface side of the light-transmitting substrate on the viewing side, the black conductive layer of the two types of stacked conductive layers is observed through the light-transmitting substrate. The color tone of the film is substantially determined by the black conductive layer. At this time, since the conductivity of the black conductive thick film is secured by the high brightness and high conductive layer, the conductivity of the black conductive layer may be relatively low, so the amount of the black pigment contained in the black conductive layer may be sufficiently large. As a result, the brightness and yellowness of the black conductive layer and thus the black conductive thick film can be sufficiently reduced. Therefore, a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness can be formed.

【0038】[0038]

【第4発明の他の態様】ここで、上記の第4発明におい
て、黒色導電厚膜の形成方法の一層好適な態様の要旨と
するところは、前記黒色導電ペースト組成物は、前記第
2発明の感光性黒色導電ペースト組成物であり、前記高
明度ペースト膜形成工程の後に前記焼成工程に先立って
実施される下記の2工程、(d) 所定の開口パターンの遮
蔽膜を介して前記導電ペースト膜を選択的に露光する露
光工程と、(e) その露光工程の後にその導電ペースト膜
のうちの非硬化部分を所定の現像液で洗浄除去する現像
工程とを、含むことにある。
Another aspect of the fourth invention is that, in the above-mentioned fourth invention, a more preferable aspect of the method for forming a black conductive thick film is that the black conductive paste composition is formed by the second invention. A photosensitive black conductive paste composition, wherein the following two steps are performed prior to the firing step after the high-brightness paste film forming step, and (d) the conductive paste through a shielding film having a predetermined opening pattern. An exposure step of selectively exposing the film; and (e) a development step of cleaning and removing an uncured portion of the conductive paste film with a predetermined developer after the exposure step.

【0039】このようにすれば、高明度ペースト膜形成
工程の後に、露光工程において、所定の開口パターンの
遮蔽膜を介して前記導電ペースト膜が選択的に露光さ
れ、その露光工程の後に、現像工程において、その導電
ペースト膜のうちの非硬化部分が所定の現像液で洗浄除
去され、その後、前記の焼成工程が施される。そのた
め、感光性黒色導電ペースト組成物を用いて、所謂フォ
ト・リソグラフィ法によって黒色導電厚膜がパターン形
成されることから、厚膜スクリーン印刷法でパターン形
成する場合よりも容易に高精度のパターンが得られる。
このとき、黒色導電厚膜に生成される導電ペースト膜
は、黒色ペースト膜と高明度高導電ペースト膜とが積層
されているが、これらのうち高明度高導電ペースト膜は
黒色顔料を含む黒色ペースト膜よりも露光が容易であ
る。したがって、前述のように生成される黒色導電厚膜
の導電性が高明度高導電層で確保されることに加えて、
全体が黒色ペースト膜から生成される場合に比較して、
黒色ペースト膜が露光し難くされていても導電ペースト
膜全体として十分な露光性を確保できるため、その中に
含まれる黒色顔料を量を比較的多くできる。上記によ
り、感光性黒色導電ペーストを用いて露光および現像処
理を経て黒色導電厚膜を形成する場合においても、解像
性および生成される膜の導電性を高く保ちながら、明度
および黄色度を一層低くすることができる。
In this way, after the high-brightness paste film forming step, in the exposure step, the conductive paste film is selectively exposed through the shielding film having a predetermined opening pattern. In the process, the non-cured portion of the conductive paste film is washed and removed with a predetermined developing solution, and thereafter, the baking process is performed. Therefore, since the black conductive thick film is patterned by the so-called photolithography method using the photosensitive black conductive paste composition, a high-precision pattern can be formed more easily than when the pattern is formed by the thick film screen printing method. can get.
At this time, the conductive paste film formed on the black conductive thick film is formed by laminating a black paste film and a high-brightness high-conductivity paste film. Of these, the high-brightness high-conductivity paste film is a black paste containing a black pigment. Exposure is easier than film. Therefore, in addition to the conductivity of the black conductive thick film generated as described above being ensured by the high brightness and high conductive layer,
Compared to the case where the whole is generated from the black paste film,
Even if the black paste film is hardly exposed, sufficient exposure properties can be secured for the entire conductive paste film, so that the amount of the black pigment contained therein can be relatively large. According to the above, even when a black conductive thick film is formed through exposure and development processing using a photosensitive black conductive paste, the brightness and yellowness are further increased while maintaining high resolution and conductivity of the generated film. Can be lower.

【0040】また、上記の第4発明において、好適に
は、前記高明度高導電ペースト組成物は、ペースト組成
物の全体に対する割合で50〜 90(wt%) の範囲で銀粉末
を含むものである。このようにすれば、専ら導電性の確
保に寄与する高明度高導電ペーストの銀粉末の含有量が
十分に多くされていることから、生成される黒色導電厚
膜に全体として十分に高い導電性が付与される。なお、
銀粉末の含有量が 50(wt%) 未満では導電性が不十分と
なる一方、 90(wt%) を越えるとペースト化が困難にな
る。また、感光性を有する導電ペースト組成物が用いら
れる場合においては、 80(wt%) を越えると照射された
光がペースト膜の内部にまで十分に到達しないことか
ら、解像性が著しく低下するという問題も生じる。
In the fourth aspect of the present invention, the high-brightness and high-conductivity paste composition preferably contains silver powder in a range of 50 to 90 (wt%) based on the whole paste composition. In this case, since the silver powder content of the high-brightness and high-conductivity paste that exclusively contributes to securing the conductivity is sufficiently increased, the resulting black conductive thick film as a whole has sufficiently high conductivity. Is given. In addition,
When the content of the silver powder is less than 50 (wt%), the conductivity becomes insufficient, while when it exceeds 90 (wt%), it becomes difficult to form a paste. When a photosensitive paste composition having photosensitivity is used, when the content exceeds 80 (wt%), the irradiated light does not sufficiently reach the inside of the paste film, so that the resolution is significantly reduced. The problem also arises.

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照して詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0042】図3(a) は、本発明の一実施例の黒色導電
厚膜40が基板42上に形成された状態を示す斜視図で
あり、同(b) は、(a) のb−b視断面における黒色導電
厚膜40の構造を模式的に示す図である。この黒色導電
厚膜40は後述するように厚膜導体ペーストの一種であ
る感光性黒色導電ペーストを焼成して生成された厚膜導
体であって、膜厚 10(μm)程度、幅 50(μm)程度の寸法
を有し、図に示されるように、導電成分である銀44と
着色成分である黒色顔料46とが、ガラス48によって
結合させられることで構成されている。また、上記の基
板42は、例えば、ソーダ・ライム・ガラス等から成り
高い透光性を有するガラス平板であり、ガラス48はこ
の基板42に黒色導電厚膜40を固着させる機能をも有
している。なお、黒色導電厚膜40は、例えば、前記図
1或いは図2に示されるPDP8のバス電極30等を構
成するものであり、上記基板42は、例えば同図におけ
る前面板10に対応する。図3においてはバス電極30
を構成する黒色導電厚膜40が基板42上に直接設けら
れている場合を示しているが、黒色導電厚膜40は、上
記図1或いは図2に示されるように透明電極28上に設
けられてもよい。
FIG. 3A is a perspective view showing a state in which a black conductive thick film 40 according to one embodiment of the present invention is formed on a substrate 42, and FIG. It is a figure which shows typically the structure of the black conductive thick film 40 in the cross section seen from b. The black conductive thick film 40 is a thick film conductor formed by baking a photosensitive black conductive paste, which is a kind of a thick film conductive paste, as described later, and has a thickness of about 10 (μm) and a width of 50 (μm). ), And as shown in the figure, silver 44 serving as a conductive component and black pigment 46 serving as a coloring component are bonded by glass 48. The substrate 42 is, for example, a flat glass plate made of soda lime glass or the like and having high translucency. The glass 48 also has a function of fixing the black conductive thick film 40 to the substrate 42. I have. The black conductive thick film 40 constitutes, for example, the bus electrode 30 of the PDP 8 shown in FIG. 1 or FIG. 2, and the substrate 42 corresponds to, for example, the front plate 10 in FIG. In FIG. 3, the bus electrode 30 is shown.
Is shown provided directly on the substrate 42, but the black conductive thick film 40 is provided on the transparent electrode 28 as shown in FIG. 1 or FIG. You may.

【0043】上記の黒色顔料46は、例えば、BET比
表面積測定法で測定した比表面積が3 〜13(m2/g)程度で
黒色を呈するCo3O4 から成るものであり、ガラス48中
に略均一に分散させられている。そのため、黒色導電厚
膜40は、図3(b) に矢印で示される観視方向から透明
な基板42越しに観察した場合において、35〜55程度の
比較的低い黒色度を有している。その一方、抵抗値は、
その長手方向に沿って80(mm)程度の間隔を設けた100(μ
m)程度の幅のパターンの2点間の値で10〜 15(Ω) 程度
(例えばマルチ・メータで測定)と低く、高い導電性を
有している。そのため、上述のようにPDP8のバス電
極30等に用いられた場合に良好な光学的特性および電
気的特性を示す。なお、「黒色度」は、色差計(例えば
ミノルタ製)によって明度を表すL値を測定した値であ
る。また、以下の説明において単に「抵抗値」というと
きは、他の実施例も含めて黒色導電厚膜40等の長手方
向に沿って相互に80(mm)隔てた100(μm)程度の幅のパタ
ーンの2点間の抵抗値を意味する。
The above-mentioned black pigment 46 is made of, for example, Co 3 O 4 having a specific surface area of about 3 to 13 (m 2 / g) measured by a BET specific surface area measuring method and made of Co 3 O 4 which is black. Are dispersed almost uniformly. For this reason, the black conductive thick film 40 has a relatively low blackness of about 35 to 55 when observed through the transparent substrate 42 from the viewing direction indicated by the arrow in FIG. On the other hand, the resistance value is
100 (μm) with an interval of about 80 (mm) along the longitudinal direction
The value between two points of the pattern having a width of about m) is as low as about 10 to 15 (Ω) (for example, measured with a multimeter), and has high conductivity. Therefore, when used for the bus electrode 30 or the like of the PDP 8 as described above, good optical and electrical characteristics are exhibited. The “blackness” is a value obtained by measuring an L value representing lightness by a color difference meter (for example, manufactured by Minolta). In the following description, when simply referred to as "resistance value", the width of about 100 (μm) separated from each other by 80 (mm) along the longitudinal direction of the black conductive thick film 40 and the like, including other examples. It means the resistance between two points in the pattern.

【0044】以下、黒色導電厚膜40の形成方法を、工
程の要部を示す図4および形成過程の各段階における断
面形状を示す図5を参照して説明する。なお、前記の図
1、図2に示される前面板10にバス電極30として機
能する黒色導電膜40を設ける場合には、前述したよう
に透明電極28が適宜の形状で先に設けられるが、以下
の説明においてはこれを省略した。
Hereinafter, a method for forming the black conductive thick film 40 will be described with reference to FIG. 4 showing a main part of the process and FIG. 5 showing a cross-sectional shape at each stage of the forming process. When the black conductive film 40 functioning as the bus electrode 30 is provided on the front plate 10 shown in FIGS. This is omitted in the following description.

【0045】先ず、感光性黒色導電ペースト印刷工程S
1においては、例えば厚膜スクリーン印刷法やバー・コ
ータ塗布等によって、基板42表面(透明電極28が設
けられている場合には、基板42および透明電極28で
あるが、以下、便宜上「基板42」として説明する。)
の全面に感光性黒色導電ペーストを塗布する。この感光
性黒色導電ペーストは、例えば、比表面積1.0 〜2.0(m2
/g) 程度の球状の銀粉末を 60(wt%) 程度と、比表面積
1 〜2(m2/g) 程度のPbO-SiO2-B2O3 系ガラス等から成る
ガラス粉末(ガラス・フリット)を4(wt%) 程度と、カ
ルボキシメチルセルロースやヒドロキシプロピルセルロ
ース等の水溶性の有機結合剤(高分子バインダ)を5(wt
%) 程度と、前記黒色顔料46(Co3O4) を2 〜6(wt%)
程度と、ペンタエリスリトールトリアクリレート等の光
重合性化合物を5(wt%) 程度と、2-ベンジル-2- ジメチ
ルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1- オン
等の光重合開始剤を0.5(wt%) 程度と、3-メチル-3- メ
トキシブタノール等の有機溶剤を残部とを合計100(wt
%) となるように混合し、例えば、三本ロール・ミル等
を用いて混練することによりペースト化したものであ
る。なお、混練後のペーストの粘度は、例えば100(Pa・
s)程度である。
First, a photosensitive black conductive paste printing step S
In 1, the surface of the substrate 42 (when the transparent electrode 28 is provided, the substrate 42 and the transparent electrode 28 are used, for example, by a thick film screen printing method or a bar coater coating method. It is explained as ".)
A photosensitive black conductive paste is applied to the entire surface of the substrate. This photosensitive black conductive paste has, for example, a specific surface area of 1.0 to 2.0 (m 2
/ g) of spherical silver powder of about 60 (wt%) and specific surface area
1 ~2 (m 2 / g) of about PbO-SiO 2 -B 2 O 3 system 4 glass powder (glass frit) made of glass or the like (wt%) degree and, carboxymethyl cellulose and water such as hydroxypropylcellulose 5 (wt) of organic binder (polymer binder)
%) And the black pigment 46 (Co 3 O 4 ) is 2 to 6 (wt%).
About 5% by weight of a photopolymerizable compound such as pentaerythritol triacrylate, and about 5% by weight of a photopolymerizable compound such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one. A total of about 0.5 (wt%) of the initiator and the remainder of the organic solvent such as 3-methyl-3-methoxybutanol is 100 (wt.
%) And kneaded using, for example, a three-roll mill or the like to form a paste. The viscosity of the paste after kneading is, for example, 100 (Pa
s) degree.

【0046】次いで、ペースト乾燥工程S2において
は、例えば、遠赤外線乾燥機を用いて80(℃) 程度の温
度で 15(分間) 程度乾燥処理を施すことにより、基板4
2上に塗布された感光性黒色導電ペーストから有機溶剤
が揮発させられ、黒色導電ペースト膜52が形成され
る。図5(a) はこの状態を示している。このとき、黒色
導電ペースト膜52の乾燥後の膜厚は例えば 10(μm)程
度である。
Next, in the paste drying step S2, the substrate 4 is dried at a temperature of about 80 (° C.) for about 15 (minutes) using a far-infrared ray drier, for example.
The organic solvent is volatilized from the photosensitive black conductive paste applied on 2 to form a black conductive paste film 52. FIG. 5A shows this state. At this time, the thickness of the black conductive paste film 52 after drying is, for example, about 10 (μm).

【0047】続く露光工程S3においては、所定寸法の
ネガ・マスク54を介して黒色導電ペースト膜52を選
択的に露光する。図5(b) はこの状態を示している。図
において、ネガ・マスク54は、例えば互いに平行でw
o = 50(μm)程度の幅寸法の複数本の開口部56をws
=100(μm)程度の一定間隔で備えたものであり、黒色導
電ペースト膜52から僅かな距離隔てた上方に配置され
ている。なお、開口部56の長さは、基板42上に形成
する黒色導電厚膜40の長さに応じて設定されている。
また、上記の露光処理は、例えば超高圧水銀灯を用いて
350(nm) 程度の波長の紫外線を300(mJ/cm2) 程度のエネ
ルギ線量で照射して行った。これにより、開口部56の
直下に位置する図に斜線で示される部分58が選択的に
露光され、黒色導電ペースト膜中に含まれている光重合
性化合物がその露光部分58のみにおいて重合反応によ
って硬化させられ、基板42表面に強固に固着される。
一方、露光部分58を除く未露光部分は、何ら変化させ
られていない。
In the subsequent exposure step S3, the black conductive paste film 52 is selectively exposed through a negative mask 54 having a predetermined size. FIG. 5B shows this state. In the figure, negative masks 54 are, for example, w
o = 50 (μm)
= 100 (μm), and is disposed above the black conductive paste film 52 at a slight distance. The length of the opening 56 is set according to the length of the black conductive thick film 40 formed on the substrate 42.
In addition, the above-described exposure process is performed using, for example,
The irradiation was performed by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of about 350 (nm) with an energy dose of about 300 (mJ / cm 2 ). As a result, a portion 58 indicated by oblique lines in the figure located immediately below the opening 56 is selectively exposed, and the photopolymerizable compound contained in the black conductive paste film is polymerized only in the exposed portion 58 by a polymerization reaction. It is cured and firmly fixed to the surface of the substrate 42.
On the other hand, the unexposed portions other than the exposed portions 58 are not changed at all.

【0048】現像工程S4においては、例えば、現像液
として水を2(kgf/cm2)程度の吐出圧力で 20(秒間) 程度
吹きつけることにより、現像処理を施す。すなわち、露
光処理を施した基板42の洗浄処理を行う。これによ
り、ペースト膜52のうちの未露光部分が水で溶解され
て洗い流されることによって選択的に除去され、基板4
2上には露光部分58のみが残ることとなる。図5(c)
はこの状態を示している。そして、乾燥工程S5におい
て、基板42(および黒色導電ペースト膜52)を乾燥
し、更に、導体焼成工程S6において、例えば電気炉を
用いて550(℃) ×2(hr) 程度の条件で焼成処理を施す。
これにより、黒色導電ペースト膜52から高分子バイン
ダ、光重合性化合物、光重合開始剤等の有機成分が加熱
により分解され且つ揮発して除去されると同時に、ガラ
ス粉末が溶融させられたガラス48によって銀44およ
び黒色顔料46が結合させられて前記の黒色導電厚膜4
0が生成される。
In the developing step S4, for example, a developing process is performed by spraying water as a developing solution at a discharge pressure of about 2 (kgf / cm 2 ) for about 20 (seconds). That is, a cleaning process is performed on the exposed substrate 42. As a result, the unexposed portion of the paste film 52 is selectively removed by being dissolved and washed away with water.
Only the exposed portion 58 is left on the second. Fig. 5 (c)
Indicates this state. Then, in the drying step S5, the substrate 42 (and the black conductive paste film 52) is dried, and in the conductor firing step S6, a firing process is performed using an electric furnace, for example, at about 550 (° C.) × 2 (hr). Is applied.
As a result, the organic components such as the polymer binder, the photopolymerizable compound, and the photopolymerization initiator are decomposed and removed by heating from the black conductive paste film 52, and at the same time, the glass 48 in which the glass powder is melted is melted. The silver 44 and the black pigment 46 are combined by the
0 is generated.

【0049】ここで、表1は、上述のようにして形成さ
れた黒色導電厚膜40の特性を、形成条件を種々変更し
たものについて、試験条件と併せて比較例と共に示すも
のである。なお、下記の表において、「解像性」欄の10
0 〜1000の数値は前記露光工程S3において照射するエ
ネルギ線量であり、「○」はネガ・マスク54のパター
ン通りに黒色導電厚膜40が形成されたことを、「△」
は黒色導電厚膜40が一応形成できたが線の細りやパタ
ーン・エッジのガタツキ等が生じたことを、「×」は露
光時にペースト膜が硬化せず、現像時にペースト膜52
が剥離して黒色導電厚膜40を形成できなかったことを
それぞれ表す。また、「有機結合剤 種類」欄において
「CMC 」および「HPC 」はそれぞれカルボキシメチルセ
ルロースおよびヒドロキシプロピルセルロースである。
なお、表に記載されていない他の条件は、何れの実施例
E および比較例R においても全て前記の工程説明に従
い、黒色度および抵抗値の測定方法は前述の通りであ
る。
Here, Table 1 shows the characteristics of the black conductive thick film 40 formed as described above, in which the forming conditions were variously changed, along with the test conditions, along with the comparative examples. In the table below, 10 in the “resolution” column
Numerical values of 0 to 1000 are energy doses applied in the exposure step S3, and “「 ”indicates that the black conductive thick film 40 was formed according to the pattern of the negative mask 54, and“ △ ”indicates that
Indicates that the black conductive thick film 40 was able to be formed, but thinning of the lines and rattling of the pattern edge occurred, and “x” indicates that the paste film was not cured during the exposure, and the paste film 52 during the development.
Respectively indicate that the black conductive thick film 40 could not be formed. In the "organic binder type" column, "CMC" and "HPC" are carboxymethylcellulose and hydroxypropylcellulose, respectively.
In addition, other conditions not described in the table correspond to any of the examples.
In E and Comparative Example R, the method of measuring the blackness and the resistance value is as described above, all following the above process description.

【0050】 [表1] (実施例) 単位 E1 E2 E3 E4 E5 銀粉末 比表面積 (m2/g) 1.0 ← ← 2.0 1.0 配合比率 (wt%) 60 ← ← ← ← ガラス 比表面積 (m2/g) 1 ← ← 2 1 粉末 配合比率 (wt%) 4 ← ← ← ← 有機 種類 CMC HPC ← ← CMC 結合剤 配合比率 (wt%) 5 ← ← ← ← 黒色 種類 Co3O4 ← ← ← ← 顔料 比表面積 (m2/g) 7 ← 3 13 25 配合比率 (wt%) 2 6 4 2 ← 解像性 100(mJ/cm2) × × × × × 300 ○ △ ○ ○ × 500 ○ ○ ○ ○ × 1000 △ ○ ○ △ △ 黒 色 度 (L値) 55 35 45 50 45抵 抗 値 (Ω) 10 15 12 15 15 (比較例) 単位 R1 R2 R3 R4 R5 R6 R7 銀粉末 比表面積 (m2/g) 1.0 ← ← ← ← ← ← 配合比率 (wt%) 60 ← ← ← ← ← ← ガラス 比表面積 (m2/g) 1 ← ← ← ← ← ← 粉末 配合比率 (wt%) 4 ← ← ← ← ← ← 有機 種類 CMC ← ← ← ← ← ← 結合剤 配合比率 (wt%) 5 ← ← ← ← ← ← 黒色 種類 − RuO2 ← Fe-Cr-Mn系 Cu-Cr-Mn系 顔料 比表面積 (m2/g) − 6 30 5 ← ← 3 配合比率 (wt%) − 4 2 4 2 4 ← 解像性 100(mJ/cm2) ○ × × × × × × 300 ○ × × × × × × 500 ○ × × × △ × × 1000 △ △ △ × △ △ △ 黒 色 度 (L値) 70 55 50 55 60 55 60抵 抗 値 (Ω) 8 15 20 − 10 15 10 単位 R8 R9 R10 R11 銀粉末 比表面積 (m2/g) 0.3 3.0 1.0 ← 配合比率 (wt%) 60 50 60 ← ガラス 比表面積 (m2/g) 1 ← ← ← 粉末 配合比率 (wt%) 3 ← 4 ← 有機 種類 CMC ← ← ← 結合剤 配合比率 (wt%) 5 ← ← ← 黒色 種類 Co3O4 ← Co2O3 ← 顔料 比表面積 (m2/g) 7 7 4 ← 配合比率 (wt%) 2 ← ← 6 解像性 100(mJ/cm2) × × × × 300 ○ × △ × 500 ○ × ○ △ 1000 △ △ ○ △ 黒 色 度 (L値) 55 55 65 55抵 抗 値 (Ω) 20 10 10 16 [0050] [Table 1] (Example) units E1 E2 E3 E4 E5 silver powder specific surface area (m 2 / g) 1.0 ← ← 2.0 1.0 blending ratio (wt%) 60 ← ← ← ← glass specific surface area (m 2 / g) 1 ← ← 2 1 Powder compounding ratio (wt%) 4 ← ← ← ← Organic type CMC HPC ← ← CMC binder compounding ratio (wt%) 5 ← ← ← ← Black type Co 3 O 4 ← ← ← ← Pigment Specific surface area (m 2 / g) 7 ← 3 13 25 Mixing ratio (wt%) 2 6 4 2 ← Resolution 100 (mJ / cm 2 ) × × × × × 300 ○ △ ○ ○ × 500 ○ ○ ○ ○ × 1000 △ ○ ○ △ △ Blackness (L value) 55 35 45 50 45 Resistance value (Ω) 10 15 12 15 15 (Comparative example) Unit R1 R2 R3 R4 R5 R6 R7 Silver powder Specific surface area (m 2 / g) 1.0 ← ← ← ← ← ← Mixing ratio (wt%) 60 ← ← ← ← ← ← Glass specific surface area (m 2 / g) 1 ← ← ← ← ← ← Powder Mixing ratio (wt%) 4 ← ← ← ← ← ← organic type CMC ← ← ← ← ← ← binding agent blending ratio (wt%) 5 ← ← ← ← ← ← melanoma - RuO 2 ← Fe-Cr- Mn -based Cu-Cr-Mn pigment specific surface area (m 2 / g) - 6 30 5 ← ← 3 blending ratio (wt%) - 4 2 4 2 4 ← resolution 100 ( mJ / cm 2 ) ○ × × × × × × 300 ○ × × × × × × 500 ○ × × × △ × × 1000 △ △ △ × △ △ △ Black chromaticity (L value) 70 55 50 55 60 55 60 Resistance value (Ω) 8 15 20 −10 15 10 units R8 R9 R10 R11 Silver powder Specific surface area (m 2 / g) 0.3 3.0 1.0 ← Compounding ratio (wt%) 60 50 60 ← Glass specific surface area (m 2 / g) ) 1 ← ← ← Powder compounding ratio (wt%) 3 ← 4 ← Organic type CMC ← ← ← Binder compounding ratio (wt%) 5 ← ← ← Black type Co 3 O 4 ← Co 2 O 3 ← Pigment specific surface area ( m 2 / g) 7 7 4 ← Blending ratio (wt%) 2 ← ← 6 Resolution 100 (mJ / cm 2 ) × × × × 300 ○ × △ × 500 ○ × ○ △ 1000 △ △ ○ △ Black Degree (L value) 55 55 65 55 Resistance value (Ω) 20 10 10 16

【0051】上記の表1(実施例)から明らかなよう
に、黒色顔料46としてCo3O4 を用いることにより、露
光工程S3における紫外線の照射線量を適当に設定すれ
ば、前記ネガ・マスク54の開口パターンに従って黒色
導電ペースト膜52が硬化させられ、所定パターンの黒
色導電厚膜40が得られる。特に、比表面積が3 〜13(m
2/g)程度のCo3O4 を黒色顔料46として用いた実施例 E
1〜 E4によれば、紫外線のエネルギ線量を300(mJ/c
m2) 以上とすることによって、黒色度が35〜55と十分に
低く良好な黒色の発色が得られると共に、抵抗値が10〜
15(Ω) 程度と十分に高い導電性を備えた黒色導電厚膜
40を得ることができる。
As is clear from the above Table 1 (Example)
In addition, Co as a black pigment 46ThreeOFourBy using
Set the irradiation dose of ultraviolet light in the optical step S3 appropriately.
If black according to the opening pattern of the negative mask 54,
The conductive paste film 52 is cured, and a predetermined pattern of black
A color conductive thick film 40 is obtained. In particular, the specific surface area is 3 to 13 (m
Two/ g)ThreeOFourE using as a black pigment 46
According to 1 to E4, the energy dose of ultraviolet rays was set to 300 (mJ / c
mTwo) By the above, the blackness is 35-55 enough
A low and good black color is obtained, and the resistance value is 10 ~
 Black conductive thick film with sufficiently high conductivity of about 15 (Ω)
40 can be obtained.

【0052】但し、上記実施例 E1〜 E5の何れにおい
ても、100(mJ/cm2) 程度のエネルギ線量では、光重合性
化合物の反応が不十分となるため黒色導電ペースト膜5
2が硬化させられない。また、実施例 E1および E4に
おいては1000(mJ/cm2)程度のエネルギ線量で過露光にな
ってネガ・マスク54の開口部56よりも硬化させられ
る幅が広がるため、所期のパターン通りの黒色導電厚膜
40が得られない。また、実施例 E2においては、300
(mJ/cm2) 程度のエネルギ線量でも硬化が十分ではな
く、パターン幅の細りやガタツキ等が生じる。このた
め、何れの場合にも高い解像性は得られない。一般に、
黒色顔料46の添加量が多いほど露光が困難になる傾向
にあるため、添加量が2(wt%) 程度と少ない実施例 E1
および E4では過露光になるエネルギ線量が比較的低く
なり、反対に添加量が6(wt%) 程度と多い実施例 E2で
は適正な露光に必要なエネルギ線量の下限が上昇したも
のと推定される。なお、Co3O4 の比表面積が25(m2/g)程
度の実施例 E5では、黒色度、抵抗値共に優れた値が得
られるが、良好な解像性を得るためには照射エネルギ量
を極めて高くする必要がある。また、表に示される特性
値は、十分な解像性が得られた黒色導電厚膜40で評価
したものである。
However, in any of the above Examples E1 to E5, at an energy dose of about 100 (mJ / cm 2 ), the reaction of the photopolymerizable compound becomes insufficient, so that the black conductive paste film 5
2 cannot be cured. Further, in Examples E1 and E4, since the over-exposure was performed with an energy dose of about 1000 (mJ / cm 2 ) and the width of the hardened portion was wider than the opening portion 56 of the negative mask 54, the desired pattern was obtained. The black conductive thick film 40 cannot be obtained. In Example E2, 300
Even with an energy dose of about (mJ / cm 2 ), the curing is not sufficient, and the pattern width becomes narrow and rattling occurs. Therefore, high resolution cannot be obtained in any case. In general,
Since the exposure tends to be more difficult as the amount of the black pigment 46 added is larger, the addition amount is as small as about 2 (wt%).
In E4 and E4, the energy dose resulting in overexposure is relatively low, and conversely, in Example E2, the lower limit of the energy dose required for proper exposure is presumed to have increased in the case where the addition amount is as large as about 6 (wt%). . In Example E5 in which the specific surface area of Co 3 O 4 was about 25 (m 2 / g), excellent values were obtained for both the blackness and the resistance value. The volume needs to be very high. Further, the characteristic values shown in the table were evaluated for the black conductive thick film 40 having sufficient resolution.

【0053】これに対して、比較例 R1では黒色顔料4
6を含まないことから、高い解像性が得られ且つ抵抗値
が極めて低い一方で、黒色度(L値)が70程度と高くな
る。また、比較例 R2〜 R7は黒色顔料46として RuO
2 Fe-Cr-Mn系 Cu-Cr-Mn系等の他の材料を用いたもので
あるが、何れの顔料の場合にも50〜60程度の黒色度が得
られる添加量の範囲では露光が著しく困難であり、所定
のパターンの黒色導電厚膜40を得ることができたもの
はなかった。また、比較例 R8、 R9は、それぞれ黒色
顔料としてCo3O4 を用いたものであるが、比較例 R8で
は銀粉末の比表面積が0.3(m2/g) 程度と小さく粗大であ
ることから、高い解像性は得られるものの導電性が不十
分となった。一方、比較例 R9では銀粉末の比表面積が
3.0(m2/g) 程度と大きく微細過ぎるため、抵抗値が高く
且つ高い解像性も得られない。すなわち、銀粉末の比表
面積が0.4(m2/g) 未満と粗大になると焼成時に連続膜が
形成され難くなり、一方、2.5(m2/g) を越えるとペース
ト化が困難になると共にペースト膜中において銀粉末を
保持するために必要な有機結合剤が多くなることから焼
成後の導電厚膜の膜厚が薄くなるため、何れの場合にも
抵抗値が上昇するのである。
On the other hand, in Comparative Example R1, black pigment 4
6, the blackness (L value) is as high as about 70, while high resolution is obtained and the resistance value is extremely low. In Comparative Examples R2 to R7, RuO was used as the black pigment 46.
2 Fe-Cr-Mn system Other materials such as Cu-Cr-Mn system are used.However, in the case of any pigment, in the range of addition amount where blackness of about 50 to 60 is obtained, It was extremely difficult, and no black conductive thick film 40 having a predetermined pattern could be obtained. Comparative Examples R8 and R9 each used Co 3 O 4 as a black pigment. However, in Comparative Example R8, the specific surface area of the silver powder was as small as about 0.3 (m 2 / g) and coarse. Although high resolution was obtained, the conductivity was insufficient. On the other hand, in Comparative Example R9, the specific surface area of the silver powder was
Since it is as large as about 3.0 (m 2 / g), the resistance value is high and high resolution cannot be obtained. In other words, if the specific surface area of the silver powder is coarse, less than 0.4 (m 2 / g), it becomes difficult to form a continuous film during firing, while if it exceeds 2.5 (m 2 / g), it becomes difficult to paste and paste Since the amount of the organic binder necessary to hold the silver powder in the film increases, the thickness of the conductive thick film after firing decreases, and the resistance value increases in any case.

【0054】また、比較例 R11、 R12は、黒色顔料
として酸化コバルトの一種である Co2O3を用いたもので
あるが、その添加量が少ない比較例 R11ではL値が大
き過ぎる一方、添加量が多い比較例 R12では比較的高
いエネルギ線量においても黒色導電ペースト膜の硬化が
不十分でパターンの細りやガタツキが生じて十分な解像
性が得られなかった。すなわち、Co2O3 では適切な添加
量範囲を設定することができず、酸化コバルトのうちCo
3O4 だけが解像性と黒色度とを両立させ得る。
In Comparative Examples R11 and R12, Co 2 O 3 , a kind of cobalt oxide, was used as a black pigment. In Comparative Example R11 in which the amount of addition was small, the L value was too large. In Comparative Example R12 having a large amount, even at a relatively high energy dose, the black conductive paste film was insufficiently cured, and the pattern was thinned and rattled, resulting in insufficient resolution. That is, Co 2 O 3 cannot set an appropriate addition amount range.
Only 3 O 4 can achieve both resolution and blackness.

【0055】なお、実施例 E1〜 E5においては、比表
面積が1.0 或いは2.0(m2/g) 程度の銀粉末を 60(wt%)
程度、比表面積が1 或いは2(m2/g) 程度のガラス粉末を
4(wt%) 程度それぞれ添加しているが、それぞれ何れの
比表面積の場合にも表1に示されるように良好な結果が
得られる。したがって、銀粉末としては0.4 〜2.5(m2/
g) の範囲が好適なのである。また、特に実験結果は示
さないが、ガラス粉末についても、0.5(m2/g) 未満では
抵抗値が増大すると共に粗大になることから印刷性が低
下し、反対に10(m2/g)を越えると分散性が悪くなってペ
ースト化が困難になることが確かめられている。
In Examples E1 to E5, silver powder having a specific surface area of about 1.0 or 2.0 (m 2 / g) was added to 60 (wt%).
Glass powder with a specific surface area of 1 or 2 (m 2 / g)
Although about 4 (wt%) is added, good results are obtained as shown in Table 1 for each specific surface area. Therefore, 0.4 to 2.5 (m 2 /
The range of g) is preferable. Also, although no particular experimental results are shown, with respect to the glass powder, if the value is less than 0.5 (m 2 / g), the printability is reduced because the resistance value increases and becomes coarse, and conversely, 10 (m 2 / g) It has been confirmed that, when it exceeds, the dispersibility becomes poor and it becomes difficult to form a paste.

【0056】要するに、本実施例においては、黒色導電
厚膜40を形成するための感光性黒色導電ペーストにお
いて、導電性成分として含まれる銀粉末は比表面積が1.
0 或いは2.0(m2/g) 程度と微細であり、黒色顔料46は
Co3O4 粉末から構成されることから、高い感光性延いて
は高い解像性を有すると共に、その感光性黒色導電ペー
ストから形成される黒色導電厚膜40には銀とCo3O4
ら成る黒色顔料46とがガラス48で結合されて構成さ
れるため、前記表1に示されるように導電性が十分に高
く且つ明度および黄色度が十分に低い黒色導電厚膜が得
られる。
In short, in this embodiment, in the photosensitive black conductive paste for forming the black conductive thick film 40, the silver powder contained as a conductive component has a specific surface area of 1.
0 or 2.0 (m 2 / g)
Since it is composed of Co 3 O 4 powder, it has high photosensitivity and thus high resolution, and the black conductive thick film 40 formed from the photosensitive black conductive paste contains silver and Co 3 O 4. As shown in Table 1, a black conductive thick film having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness can be obtained.

【0057】また、本実施例においては、感光性黒色導
電ペーストを構成する銀粉末として球状を成すものが用
いられている。そのため、同様な粒子径で比較した場合
において、球状粒子は比表面積が小さく表面積当たりの
粒径が大きいことから、黒色導電ペースト膜52を形成
するために必要な有機結合剤の量を少なくして、黒色導
電厚膜40の導電性を一層高めることができる。しか
も、球状粒子は板状、不定形状に比較して照射された光
のペースト膜52内部における散乱を生じさせ難いた
め、解像性も高められる。したがって、一層高い解像性
を保ちながら、一層高い導電性を有する黒色導電厚膜4
0を形成し得る感光性黒色導電ペーストが得られる。
In the present embodiment, a spherical silver powder is used for the photosensitive black conductive paste. Therefore, when compared with the same particle diameter, the spherical particles have a small specific surface area and a large particle diameter per surface area, so that the amount of the organic binder necessary for forming the black conductive paste film 52 is reduced. In addition, the conductivity of the black conductive thick film 40 can be further increased. In addition, the spherical particles are less likely to scatter the irradiated light inside the paste film 52 as compared with the plate-like and irregular shapes, so that the resolution is also improved. Therefore, the black conductive thick film 4 having higher conductivity while maintaining higher resolution
Thus, a photosensitive black conductive paste capable of forming 0 is obtained.

【0058】また、本実施例においては、感光性黒色導
電ペーストを構成する銀粉末は、ペースト組成物の全体
に対する割合で 60(wt%) 程度含まれている。そのた
め、銀粉末の含有量がペースト化が容易且つ露光が容易
な範囲で十分に多くされていることから、乾燥および焼
成後の膜厚を十分に厚くできるため、一層高い導電性が
得られる。
In this embodiment, about 60 (wt%) of the silver powder constituting the photosensitive black conductive paste is contained in the paste composition as a whole. Therefore, since the content of the silver powder is sufficiently increased in a range where the paste can be easily formed and the exposure can be easily performed, the film thickness after drying and firing can be sufficiently increased, so that higher conductivity can be obtained.

【0059】また、本実施例においては、感光性黒色導
電ペーストを構成するガラス粉末として、比表面積が1
或いは2(m2/g) のものが用いられる。そのため、十分な
分散性を確保しながら、ペーストの良好な印刷性が得ら
れる。しかも、本実施例においては、ガラス粉末として
軟化点550(℃) 程度のPbO-SiO2-B2O3 から成るガラスが
用いられていることから、導体焼成工程S6の焼成温度
を比較的低温としながらガラス粉末を十分に溶融させる
ことができる。したがって、黒色導電厚膜40と基板4
2との高い固着強度が確保される。
In the present embodiment, the glass powder constituting the photosensitive black conductive paste has a specific surface area of 1
Alternatively, 2 (m 2 / g) is used. Therefore, good printability of the paste can be obtained while securing sufficient dispersibility. Moreover, in this embodiment, since the glass powder made of PbO—SiO 2 —B 2 O 3 having a softening point of about 550 (° C.) is used, the firing temperature in the conductor firing step S6 is relatively low. While sufficiently melting the glass powder. Therefore, the black conductive thick film 40 and the substrate 4
2 is secured.

【0060】また、本実施例においては、ガラス粉末の
含有量はペースト全体に対して4(wt%) 程度である。し
たがって、抵抗値の上昇および解像性の低下を抑制しつ
つ、黒色導電厚膜40と基板42等との固着強度が一層
高められる。
In this embodiment, the content of the glass powder is about 4 (wt%) based on the whole paste. Therefore, the adhesion strength between the black conductive thick film 40 and the substrate 42 and the like can be further increased while suppressing an increase in the resistance value and a decrease in the resolution.

【0061】また、本実施例においては、感光性黒色導
電ペーストを構成する有機結合剤として、水溶性を有す
るCMC或いはHPCが用いられている。そのため、黒
色導電ペースト膜52を基板42上で形状保持するため
の有機結合剤が水溶性を有することから、パターン形成
するための現像工程S4において、前述のように現像液
として水を用いることができる。したがって、現像液に
よる基板42の浸食や変質等の直接的な損傷や、現像液
の残留物による焼成時の発泡等の間接的な損傷が基板4
2に生じることが抑制される。しかも、特にHPCは銀
粉末や黒色顔料46との相溶性が大きく、ガラス粉末表
面に存在する金属イオンとの反応性が低いことから、前
記表1の実施例 E4に示されるように銀粉末、ガラス粉
末、および黒色顔料46の比表面積が比較的大きい場合
にも、黒色導電ペーストの粘性の変化やゲル化が抑制さ
れて保存性が高められる。
In this embodiment, water-soluble CMC or HPC is used as the organic binder constituting the photosensitive black conductive paste. Therefore, since the organic binder for maintaining the shape of the black conductive paste film 52 on the substrate 42 has water solubility, in the developing step S4 for forming a pattern, it is necessary to use water as a developer as described above. it can. Therefore, direct damage such as erosion or deterioration of the substrate 42 due to the developing solution, and indirect damage such as foaming at the time of baking due to a residue of the developing solution are caused on the substrate 4.
2 is suppressed. Moreover, particularly, HPC has high compatibility with silver powder and the black pigment 46 and low reactivity with metal ions present on the surface of the glass powder. Therefore, as shown in Example E4 in Table 1, silver powder is used. Even when the specific surface areas of the glass powder and the black pigment 46 are relatively large, the change in viscosity and gelation of the black conductive paste are suppressed, and the storage stability is enhanced.

【0062】また、本実施例においては、有機結合剤
(CMC或いはHPC)の含有量は、ペースト全体に対
する割合で5(wt%) 程度である。したがって、ペースト
膜中における銀粉末やガラス粉末の保持力を十分に確保
して現像工程S4におけるパターン剥離を抑制しつつ、
焼成後の黒色導電厚膜40の膜厚を確保してその抵抗値
の上昇を抑制できる。
Further, in this embodiment, the content of the organic binder (CMC or HPC) is about 5 (wt%) relative to the whole paste. Therefore, while sufficiently securing the holding power of the silver powder and the glass powder in the paste film and suppressing the pattern peeling in the developing step S4,
By increasing the thickness of the black conductive thick film 40 after firing, an increase in the resistance value can be suppressed.

【0063】また、本実施例においては、感光性黒色導
電ペーストに感光性を付与するための感光性組成物は、
ペンタエリスリトールトリアクリレート等の光重合性化
合物と、2-ベンジル-2- ジメチルアミノ-1-(4-モルフォ
リノフェニル)-ブタン-1- オン等の光重合開始剤とから
構成される。そのため、感光性黒色導電ペーストは、そ
れから形成された黒色導電ペースト膜52を露光工程S
4および現像工程S5を経てパターン形成するに際し
て、露光された部分が硬化させられてそれにより黒色導
電厚膜40のパターンが構成される所謂ネガ型になる。
In this embodiment, the photosensitive composition for imparting photosensitivity to the photosensitive black conductive paste is as follows:
It is composed of a photopolymerizable compound such as pentaerythritol triacrylate and a photopolymerization initiator such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one. Therefore, the photosensitive black conductive paste is used to expose the black conductive paste film 52 formed therefrom to the exposure step S.
In forming a pattern through Step 4 and the developing step S5, the exposed portion is cured to form a so-called negative type in which the pattern of the black conductive thick film 40 is formed.

【0064】なお、上記の光重合性化合物は、ペースト
全体に対する割合で5(wt%) 程度含まれ、光重合開始剤
は0.5(wt%) 程度含まれる。そのため、露光によってパ
ターン部分が容易且つ十分に硬化させられる範囲でそれ
ぞれの添加量が少なくされていることから、導電性が高
く且つパターン精度が優れた黒色導電厚膜40が得られ
る。しかも、本実施例においては、焼成時に分解および
揮散し易いペンタエリスリトールトリアクリレートが光
重合性化合物として用いられていることから、感光性黒
色導電ペーストの感度が高められ、且つ、それから生成
された黒色導電厚膜40の電気的特性が一層高められ
る。
The above photopolymerizable compound is contained in an amount of about 5 (wt%) relative to the whole paste, and the photopolymerization initiator is contained in an amount of about 0.5 (wt%). Therefore, since the respective addition amounts are reduced within a range where the pattern portion can be easily and sufficiently cured by exposure, a black conductive thick film 40 having high conductivity and excellent pattern accuracy can be obtained. In addition, in this embodiment, since pentaerythritol triacrylate, which is easily decomposed and volatilized during firing, is used as the photopolymerizable compound, the sensitivity of the photosensitive black conductive paste is increased, and The electrical characteristics of the conductive thick film 40 are further enhanced.

【0065】また、本実施例においては、黒色顔料46
の比表面積は、3 〜25(m2/g)程度、特に好適な結果が得
られた範囲では13(m2/g)程度以下であって、黒色導電厚
膜40の導電性が十分に高く保たれ且つ感光性黒色導電
ペーストの解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大
きくされている。そのため、黒色の発色が良好に得られ
て黒色導電厚膜40の明度が十分に低下させられる。
In this embodiment, the black pigment 46
Has a specific surface area of about 3 to 25 (m 2 / g), particularly about 13 (m 2 / g) or less in a range in which particularly preferable results are obtained, and the black conductive thick film 40 has sufficient conductivity. It is made sufficiently large as long as it is kept high and the resolution of the photosensitive black conductive paste is also kept sufficiently high. As a result, a good black color is obtained, and the brightness of the black conductive thick film 40 is sufficiently reduced.

【0066】また、本実施例においては、黒色顔料46
は、ペースト組成物の全体に対する割合で2 〜6(wt%)
程度と、黒色導電厚膜40の導電性が十分に高く保たれ
且つ解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくさ
れている。そのため、抵抗値を大きく上昇させることな
く、黒色の発色が良好に得られて黒色導電厚膜40の明
度が十分に低下させられる。
In this embodiment, the black pigment 46
Is 2 to 6 (wt%) in proportion to the whole paste composition
The degree is set sufficiently large in such a range that the conductivity of the black conductive thick film 40 is kept sufficiently high and the resolution is also kept sufficiently high. Therefore, the color development of black is favorably obtained without greatly increasing the resistance value, and the brightness of the black conductive thick film 40 is sufficiently reduced.

【0067】次に、本発明の他の実施例を説明する。な
お、以下の実施例において前述の実施例と共通する部分
は説明を省略する。
Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, description of parts common to the above-described embodiments will be omitted.

【0068】下記の表2は、前記現像工程S4におい
て、アルカリ水溶液である0.3(%) 炭酸ナトリウム水溶
液を用いて前記黒色導電厚膜40を形成する場合の調合
条件および特性評価結果を比較例と併せて示すものであ
る。なお、下記の表2において、「有機結合剤 種類」
欄の「EMA 」および「EA」は、それぞれメタクリル酸エ
チルおよびアクリル酸エチルの重合物を表す。有機結合
剤の種類を除く他の調合条件は実施例 E6〜 E10、比
較例 R12〜 R18共に前記表1の場合と同様であり、
製造工程も現像液が異なる他は前記図4に示される工程
と同様である。下記の表2から明らかなように、アルカ
リ水溶液に可溶な有機結合剤が用いられる場合にも、水
溶性の有機結合剤が用いられる前記表1の場合と同様な
結果が得られる。
Table 2 below shows the preparation conditions and the characteristic evaluation results when the black conductive thick film 40 is formed in the developing step S4 using an aqueous solution of 0.3 (%) sodium carbonate, which is an aqueous alkali solution, as a comparative example. It is also shown together. In Table 2 below, "Type of organic binder"
“EMA” and “EA” in the columns represent polymers of ethyl methacrylate and ethyl acrylate, respectively. Other formulation conditions except for the type of organic binder are the same as those in Table 1 for Examples E6 to E10 and Comparative Examples R12 to R18.
The manufacturing process is the same as the process shown in FIG. 4 except that the developing solution is different. As is clear from Table 2 below, when an organic binder soluble in an aqueous alkali solution is used, the same results as in Table 1 above in which a water-soluble organic binder is used are obtained.

【0069】 [表2] (実施例) 単位 E6 E7 E8 E9 E10 銀粉末 比表面積 (m2/g) 1.0 ← ← ← 2.0 配合比率 (wt%) 60 ← ← ← ← ガラス 比表面積 (m2/g) 1 ← ← ← 2 粉末 配合比率 (wt%) 4 ← ← ← ← 有機 種類 EMA ← ← ← EA 結合剤 配合比率 (wt%) 5 ← ← ← ← 黒色 種類 Co3O4 ← ← ← ← 顔料 比表面積 (m2/g) 7 ← 3 25 13 配合比率 (wt%) 2 6 4 2 ← 解像性 100(mJ/cm2) × × × × × 300 ○ △ ○ × ○ 500 ○ ○ ○ × ○ 1000 △ ○ ○ △ △ 黒 色 度 (L値) 55 35 45 45 50抵 抗 値 (Ω) 10 15 12 15 15 (比較例) 単位 R12 R13 R14 R15 R16 R17 R18 銀粉末 比表面積 (m2/g) 1.0 ← ← ← ← ← ← 配合比率 (wt%) 60 ← ← ← ← ← ← ガラス 比表面積 (m2/g) 1 ← ← ← ← ← ← 粉末 配合比率 (wt%) 4 ← ← ← ← ← ← 有機 種類 EMA ← ← ← ← ← ← 結合剤 配合比率 (wt%) 5 ← ← ← ← ← ← 黒色 種類 − RuO2 ← Fe-Cr-Mn系 Cu-Cr-Mn系 顔料 比表面積 (m2/g) − 6 30 5 ← ← 3 配合比率 (wt%) − 4 2 4 2 4 ← 解像性 100(mJ/cm2) ○ × × × × × × 300 ○ × × × × × × 500 ○ × × × △ × × 1000 △ △ △ × △ △ △ 黒 色 度 (L値) 70 55 50 55 60 55 60抵 抗 値 (Ω) 8 15 20 − 10 15 10 [0069] [Table 2] (Example) Unit E6 E7 E8 E9 E10 silver powder specific surface area (m 2 / g) 1.0 ← ← ← 2.0 blending ratio (wt%) 60 ← ← ← ← glass specific surface area (m 2 / g) 1 ← ← ← 2 Powder compounding ratio (wt%) 4 ← ← ← ← Organic type EMA ← ← ← EA binder compounding ratio (wt%) 5 ← ← ← ← Black type Co 3 O 4 ← ← ← ← Pigment Specific surface area (m 2 / g) 7 ← 3 25 13 Mixing ratio (wt%) 2 6 4 2 ← Resolution 100 (mJ / cm 2 ) × × × × × 300 ○ △ ○ × ○ 500 ○ ○ ○ × ○ 1000 △ ○ ○ △ △ Blackness (L value) 55 35 45 45 50 Resistance value (Ω) 10 15 12 15 15 (Comparative example) Unit R12 R13 R14 R15 R16 R17 R18 Silver powder Specific surface area (m 2 / g) 1.0 ← ← ← ← ← ← Mixing ratio (wt%) 60 ← ← ← ← ← ← Glass specific surface area (m 2 / g) 1 ← ← ← ← ← ← Powder Mixing ratio (wt%) 4 ← ← ← ← ← ← organic type EMA ← ← ← ← ← ← binding agent blending ratio (wt%) 5 ← ← ← ← ← ← black type - R uO 2 ← Fe-Cr-Mn-based Cu-Cr-Mn-based pigment Specific surface area (m 2 / g) − 6 30 5 ← ← 3 Mixing ratio (wt%) − 4 2 4 2 4 ← Resolution 100 (mJ / cm 2) ○ × × × × × × 300 ○ × × × × × × 500 ○ × × × △ × × 1000 △ △ △ × △ △ △ black chromaticity (L value) 70 55 50 55 60 55 60 resistance Resistance value (Ω) 8 15 20 − 10 15 10

【0070】また、図6は、前記図1或いは図2に示さ
れるPDP8のバス電極30等を構成し得る他の黒色導
電厚膜60の構造を模式的に示す図である。図におい
て、黒色導電厚膜60は、基板42上に直接形成された
黒色の黒色導電層62と、その黒色導電層62上に積層
形成された薄い黄色の黄色導電層64とから構成され
て、幅 50(μm)程度、厚さ5 〜6(μm)程度の寸法を備え
たものであって、抵抗値が6(Ω) 程度以下の高い導電性
と、図に矢印で示される観視方向すなわち表面66側か
ら基板42を通して観察した状態における黒色度が40程
度の低い明度とを有している。そのため、導電性および
黒色度を要求されるバス電極30等として、前記表1或
いは表2に示されるような黒色導電厚膜40よりも一層
好適に用いられる。なお、PDP8等の放電表示装置に
おいては、一般に観視方向が電極30等が設けられて放
電空間16内に位置する裏面(内面)68とは反対側に
おいて外部空間に露出する表面66側になる。本実施例
においては、基板42が透光性基板に、表面66が所定
の一面に、裏面68がそれと反対側の他面にそれぞれ相
当する。
FIG. 6 is a diagram schematically showing the structure of another black conductive thick film 60 which can constitute the bus electrode 30 and the like of the PDP 8 shown in FIG. 1 or FIG. In the figure, a black conductive thick film 60 is composed of a black black conductive layer 62 formed directly on a substrate 42 and a thin yellow yellow conductive layer 64 formed on the black conductive layer 62, It has dimensions of about 50 (μm) in width and about 5 to 6 (μm) in thickness, and has high conductivity with a resistance value of about 6 (Ω) or less, and a viewing direction indicated by an arrow in the figure. That is, the blackness when observed through the substrate 42 from the front surface 66 side has a low lightness of about 40. Therefore, as the bus electrode 30 or the like that requires conductivity and blackness, it is more preferably used than the black conductive thick film 40 shown in Table 1 or Table 2. In a discharge display device such as a PDP 8, the viewing direction is generally opposite to the back surface (inner surface) 68 located in the discharge space 16 where the electrode 30 and the like are provided, and is on the surface 66 side exposed to the external space. . In this embodiment, the substrate 42 corresponds to a translucent substrate, the front surface 66 corresponds to a predetermined surface, and the back surface 68 corresponds to the other surface on the opposite side.

【0071】上記の黒色導電層62は、前記の黒色導電
厚膜40と同様に、銀44およびCo 3O4 から成る黒色顔
料46等を含むものであって、例えばtB =3(μm)程度
の厚さ寸法を備え、その抵抗値が 20(Ω) 程度、黒色度
が40程度に構成されている。このため、観視方向側に位
置する黒色導電層62の黒色度が十分に低いことから、
黒色導電厚膜60全体のその観視方向における黒色度
は、その黒色導電層62で決定されて40程度の極めて低
い明度である。一方、上記の黄色導電層64は、導電成
分としての銀44は含むが黒色顔料46は全く含まない
ものであって、例えばtY =4(μm)程度の厚さ寸法を備
え、その抵抗値は8(Ω)程度と低いが、黒色度は70程度
と高い明度になっている。このため、黒色導電厚膜60
の厚さ方向においてその一部を構成する黄色導電層64
の抵抗値が十分に低いことから、その黒色導電厚膜60
全体の導電性が高められて上記の通り抵抗値が低いので
ある。なお、上記のように黒色導電層62の膜厚は比較
的薄いが、黒色度すなわち明度が極めて低いことから、
上側の黄色導電層64の色調がその黒色導電層62を通
して図の観視方向側から観察されることはない。また、
黒色導電厚膜60の表面を基板42を介することなく直
接観察する場合の色調は、上側に位置する黄色導電層6
4の色調に従い薄い黄色であって黒色度が70程度である
が、この黄色導電層64は観視方向から直接的に視認さ
れ得ない。したがって、その色調(黄色や明度)は、P
DP8等の表示品質には何ら影響しない。本実施例にお
いては、上記の黄色導電層64が高明度高導電層に相当
する。
The black conductive layer 62 is formed of the black conductive layer 62 described above.
As with the thick film 40, silver 44 and Co ThreeOFourBlack face consisting of
Including the material 46, for example, tB = 3 (μm)
Thickness of about 20 (Ω), blackness
Are configured to about 40. Because of this,
Since the blackness of the black conductive layer 62 to be placed is sufficiently low,
Blackness of the entire black conductive thick film 60 in its viewing direction
Is extremely low of about 40 determined by the black conductive layer 62.
Brightness. On the other hand, the yellow conductive layer 64 is formed of a conductive material.
Includes silver 44 but no black pigment 46
And has a thickness dimension of, for example, tY = 4 (μm).
The resistance is as low as 8 (Ω), but the blackness is about 70
And high brightness. Therefore, the black conductive thick film 60
Conductive layer 64 constituting a part thereof in the thickness direction of
Of the black conductive thick film 60
As the overall conductivity is increased and the resistance value is low as described above,
is there. As described above, the thickness of the black conductive layer 62 is comparative.
Thin, but blackness, that is, lightness is extremely low,
The color tone of the upper yellow conductive layer 64 passes through the black conductive layer 62.
Thus, it is not observed from the viewing direction side of the figure. Also,
The surface of the black conductive thick film 60 is directly covered without the substrate 42 interposed.
The color tone for close observation is the yellow conductive layer 6 located on the upper side.
According to the color tone of 4, light yellow and blackness is about 70
However, this yellow conductive layer 64 is directly visible from the viewing direction.
I can't. Therefore, the color tone (yellow or lightness) is P
It has no effect on the display quality of DP8 or the like. In this embodiment,
Therefore, the yellow conductive layer 64 corresponds to a high-brightness high-conductive layer.
I do.

【0072】ところで、上記の黒色導電厚膜60は、例
えば図7に示される工程に従って基板42上に設けられ
る。なお、図7は前記図4に示される工程図の工程S1
乃至S3に対応する部分だけを示しており、S4以降は
図4の工程図に従う。以下、図7および工程の途中段階
における基板42の断面構造を示す図8を参照して黒色
導電厚膜60の形成方法を説明する。先ず、感光性黒色
導電ペースト印刷工程S1において、例えば厚膜スクリ
ーン印刷法等を用いて、基板42上(および透明電極2
8上)の全面に感光性黒色導電ペーストを塗布し、ペー
スト乾燥工程S2において、例えば、遠赤外線乾燥機を
用いて 80(℃) 程度の温度で 15(分間)程度乾燥処理を
施す。これにより、基板42上に塗布された感光性黒色
導電ペーストから有機溶剤が揮発させられ、図5に示さ
れる黒色導電ペースト膜52と同様な黒色導電ペースト
膜70が形成される。このとき、感光性黒色導電ペース
トの調合組成(種類および量)は、下記の表3の上段に
示す材料の調合量を除く他は前記表1に示される実施例
E1と同様であり、前記表1、表2に示される場合より
も銀粉末量が少なく、且つガラス粉末量、黒色顔料量、
および有機結合剤量が多くされている。また、黒色導電
ペースト膜70の乾燥後の膜厚は例えば6(μm)程度であ
る。本実施例においては、上記の感光性黒色導電ペース
ト印刷工程S1およびペースト乾燥工程S2が黒色ペー
スト膜形成工程に対応する。
The black conductive thick film 60 is provided on the substrate 42 according to, for example, the process shown in FIG. FIG. 7 shows a step S1 in the process chart shown in FIG.
Only the portions corresponding to S3 to S3 are shown, and S4 and subsequent steps follow the process diagram of FIG. Hereinafter, a method for forming the black conductive thick film 60 will be described with reference to FIG. 7 and FIG. 8 showing a cross-sectional structure of the substrate 42 at an intermediate stage of the process. First, in the photosensitive black conductive paste printing step S1, on the substrate 42 (and the transparent electrode 2), for example, using a thick film screen printing method or the like.
8) A photosensitive black conductive paste is applied to the entire surface, and in the paste drying step S2, for example, a drying treatment is performed for about 15 (minutes) at a temperature of about 80 (° C.) using a far-infrared dryer. Thus, the organic solvent is volatilized from the photosensitive black conductive paste applied on the substrate 42, and a black conductive paste film 70 similar to the black conductive paste film 52 shown in FIG. 5 is formed. At this time, the composition (kind and amount) of the photosensitive black conductive paste was the same as that of the examples shown in Table 1 except for the amounts of the materials shown in the upper part of Table 3 below.
Same as E1, the amount of silver powder is smaller than the case shown in Tables 1 and 2, and the amount of glass powder, the amount of black pigment,
And the amount of organic binder is increased. The dried film thickness of the black conductive paste film 70 is, for example, about 6 (μm). In this embodiment, the photosensitive black conductive paste printing step S1 and the paste drying step S2 correspond to a black paste film forming step.

【0073】 [表3] 銀粉末 ガラス粉末 黒色顔料 有機結合剤 黒色ペースト 40 10 5 7銀ペースト 60 3 0 7 [Table 3] Silver powder Glass powder Black pigment Organic binder black paste 40 10 5 7 Silver paste 60 3 0 7

【0074】続く感光性導電ペースト印刷工程S1−2
およびペースト乾燥工程S2−2においては、黒色導電
ペーストの場合と同様にして、黒色顔料46を含まない
感光性銀ペーストを上記黒色導電ペースト膜70上の全
面に印刷して 80(℃) 程度の温度で 15(分間) 程度乾燥
処理を施す。これにより、黒色導電ペースト膜70上に
銀ペースト膜72が積層されて全体として乾燥膜厚が14
〜 15(μm)程度の導電ペースト膜74が形成される。図
8(a) はこの状態を示している。なお、銀ペースト膜7
2の調合組成は上記の表3の下段に示す材料の調合量を
除く他は、黒色導電ペースト膜70を形成するための黒
色ペーストと同様、すなわち前記表1に示される実施例
E1の感光性黒色導電ペーストと同様であり、その乾燥
後の膜厚は8(μm)程度である。そして、露光工程S3に
おいて、前記図4に示される場合と同様にして、所定寸
法のネガ・マスク54を介して導電ペースト膜74を選
択的に、銀ペースト膜72側から(すなわち基板42を
通さず直接に)露光する。すなわち、黒色導電ペースト
膜70および銀ペースト膜72を一体として露光する。
図8(b) はこの状態を示している。本実施例において
は、上記の感光性導電ペースト印刷工程S1−2および
ペースト乾燥工程S2−2が高明度ペースト膜形成工程
に対応する。
Subsequent photosensitive conductive paste printing step S1-2
In the paste drying step S2-2, similarly to the case of the black conductive paste, a photosensitive silver paste not containing the black pigment 46 is printed on the entire surface of the black conductive paste film 70 to a temperature of about 80 (° C.). Dry at about 15 minutes. As a result, the silver paste film 72 is laminated on the black conductive paste film 70, and the dry film thickness becomes 14 as a whole.
A conductive paste film 74 of about 15 (μm) is formed. FIG. 8A shows this state. The silver paste film 7
Example 2 is the same as the black paste for forming the black conductive paste film 70 except that the amounts of the materials shown in the lower part of Table 3 above are excluded, that is, the examples shown in Table 1 above.
It is the same as the photosensitive black conductive paste of E1, and the film thickness after drying is about 8 (μm). Then, in the exposure step S3, similarly to the case shown in FIG. 4, the conductive paste film 74 is selectively applied from the silver paste film 72 side (that is, the substrate 42 is passed through) through the negative mask 54 having a predetermined size. (Directly). That is, the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 are integrally exposed.
FIG. 8B shows this state. In this embodiment, the photosensitive conductive paste printing step S1-2 and the paste drying step S2-2 correspond to a high-brightness paste film forming step.

【0075】このとき、黒色導電ペースト膜70は、銀
ペースト膜72を介して紫外線を照射されることとなる
が、銀ペースト膜72中には紫外線等の照射光の透過を
著しく妨げる黒色顔料46が含まれておらず、しかも、
その膜厚および黒色導電ペースト膜70自身の膜厚が上
記のようにそれぞれ薄くされている。そのため、紫外線
等を直接照射される銀ペースト膜72はもちろん、その
下側に位置する黒色導電ペースト膜70も好適に露光さ
れる。これにより、ネガ・マスク54の開口パターンに
従った同形状で、黒色導電ペースト膜70および銀ペー
スト膜72のうちの図に斜線で示される部分78が選択
的に硬化させられる。すなわち黒色導電ペースト膜70
上にネガ画像が形成される。そのため、その後の現像処
理(図4に示される現像工程S4)によって黒色導電ペ
ースト膜70および銀ペースト膜72が積層された所定
パターンの導電ペースト膜74が得られ、これを焼成
(図4の導体焼成工程S6)することによって前記図6
に示されるように、高い導電性と低い明度(黒色度)と
を兼ね備えた二層構造の黒色導電厚膜60が形成される
のである。なお、本実施例においては、実施例 E1等と
同様な水溶性有機結合剤が用いられていることから、現
像工程S4で現像液として水が用いられる。
At this time, the black conductive paste film 70 is irradiated with ultraviolet rays through the silver paste film 72, and the black pigment 46 which significantly impedes the transmission of irradiation light such as ultraviolet rays is contained in the silver paste film 72. Is not included, and
The film thickness and the film thickness of the black conductive paste film 70 itself are reduced as described above. Therefore, not only the silver paste film 72 directly irradiated with ultraviolet rays or the like, but also the black conductive paste film 70 located thereunder is suitably exposed. As a result, a portion 78 of the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 indicated by oblique lines in the figure is selectively cured in the same shape according to the opening pattern of the negative mask 54. That is, the black conductive paste film 70
A negative image is formed thereon. Therefore, a conductive paste film 74 having a predetermined pattern in which the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 are laminated is obtained by a subsequent development process (a development step S4 shown in FIG. 4), and is baked (the conductor paste shown in FIG. 4). By performing the firing step S6), FIG.
As shown in (2), a black conductive thick film 60 having a two-layer structure having both high conductivity and low brightness (blackness) is formed. In this example, since the same water-soluble organic binder as in Example E1 and the like was used, water was used as a developing solution in the developing step S4.

【0076】ここで、下記の表4は、本実施例の黒色導
電厚膜60の形成過程における解像性を評価した結果
(実施例 E11)を、異なる材料から成る黒色顔料を用
いた場合(比較例 R19、 R20)と比較して示すもの
である。なお、比較例は、黒色顔料の種類および比表面
積が異なる他は、全て実施例 E11と同様な条件で評価
した。すなわち、下記の黒色顔料を含む感光性黒色導電
ペーストを塗布して形成した黒色ペースト膜の上に前記
銀ペースト膜72を設けて、図8(a) に示されるものと
同様な二層構造の導電ペースト膜を形成し、その解像性
およびこれを焼成した二層構造の黒色導電厚膜の黒色度
および抵抗値を評価した。表から明らかなように、本実
施例によれば、300 〜500(mJ/cm2) 程度のエネルギ線量
の紫外線を照射することによって精細なパターン形成が
可能であるのに対し、比較例においては、本実施例と同
様な黒色顔料の添加量では、明度が高くなる(すなわち
明度が劣る)ばかりでなく、硬化させられたペースト膜
が基板42から剥離し、或いはペースト膜が殆ど硬化せ
ず、何れも所定パターンの黒色導電厚膜を得ることがで
きなかった。
Here, Table 4 below shows the results of evaluating the resolution in the process of forming the black conductive thick film 60 of this embodiment (Example E11) when the black pigment made of a different material was used (Example E11). This is shown in comparison with Comparative Examples R19 and R20). All the comparative examples were evaluated under the same conditions as in Example E11 except that the type and the specific surface area of the black pigment were different. That is, the silver paste film 72 is provided on a black paste film formed by applying a photosensitive black conductive paste containing the following black pigment, and has a two-layer structure similar to that shown in FIG. A conductive paste film was formed, and its resolution and blackness and resistance of a black conductive thick film having a two-layer structure obtained by firing the conductive paste film were evaluated. As is clear from the table, according to the present example, a fine pattern can be formed by irradiating ultraviolet rays with an energy dose of about 300 to 500 (mJ / cm 2 ), whereas in the comparative example, With the addition amount of the black pigment similar to that of the present embodiment, not only the brightness becomes high (that is, the brightness becomes poor), but also the cured paste film is peeled off from the substrate 42, or the paste film hardly hardens, In any case, a black conductive thick film having a predetermined pattern could not be obtained.

【0077】 [表4] 単位 実施例E11 比較例R19 比較例R20 黒色顔料 種類 Co3O4 RuO2 Cu-Cr-Mn 系 比表面積 (m2/g) 7 30 6 解像性 100(mJ/cm2) × × (剥離) × 300 ○ × (剥離) × 500 ○ × (剥離) × 1000 × × (剥離) △ 黒 色 度 (L値) 40 45 55抵 抗 値 (Ω) 6 − − [Table 4] Unit Example E11 Comparative Example R19 Comparative Example R20 Black pigment Type Co 3 O 4 RuO 2 Cu-Cr-Mn Specific surface area (m 2 / g) 7 30 6 Resolution 100 (mJ / cm 2 ) × × (peeling) × 300 ○ × (peeling) × 500 ○ × (peeling) × 1000 × × (peeling) △ Black chromaticity (L value) 40 45 55 Resistance value (Ω) 6 − −

【0078】要するに、本実施例によれば、黒色導電厚
膜60は、表面66側から観察される基板42の裏面6
8上に設けられて黒色顔料46を含む黒色導電層62
と、その上側に積層して設けられてそれよりも高明度且
つ高導電性の黄色導電層64との二層で構成されること
から、黒色導電厚膜60全体の導電性は、その黄色導電
層64によって十分に高められる。一方、観視側となる
基板42の表面66側においては、それら積層された二
つの導電層62、64のうちの黒色導電層62がその基
板42を介して観察されることから、黒色導電厚膜60
の色調は実質的に黒色導電層62によって決定される。
このとき、黒色導電厚膜60の導電性は黄色導電層64
で確保されることから黒色導電層62の導電性が比較的
低くなっても電気特性上の支障は生じない。しかも、黒
色導電層62と同様に露光および現像によってパターン
形成される黄色導電層64は、その黒色導電層62より
も高明度であることから露光が容易であるため、黒色導
電厚膜60全体が黒色導電層62から構成される場合に
比較して、その黒色導電層62を形成するための黒色導
電ペーストが露光し難くされていても全体として十分な
露光性を確保できる。これらのことから、黒色導電層6
2中に含まれる黒色顔料46の量は黒色導電厚膜60全
体の導電性や露光性に殆ど影響しないため、それに含ま
れる黒色顔料46の量を十分に多くして黒色導電層62
延いては黒色導電厚膜60の明度および黄色度を十分に
低くできる。したがって、導電性および膜形成時の解像
性を高く保ちながら、明度および黄色度の低い黒色導電
厚膜60が得られる。
In short, according to this embodiment, the black conductive thick film 60 is formed on the back surface 6 of the substrate 42 observed from the front surface 66 side.
8, a black conductive layer 62 containing a black pigment 46
, And a yellow conductive layer 64 having a higher brightness and higher conductivity than the yellow conductive layer 64. It is sufficiently enhanced by the layer 64. On the other hand, on the surface 66 side of the substrate 42 on the viewing side, since the black conductive layer 62 of the two conductive layers 62 and 64 laminated is observed through the substrate 42, the black conductive layer Membrane 60
Is substantially determined by the black conductive layer 62.
At this time, the conductivity of the black conductive thick film 60 is
Therefore, even if the conductivity of the black conductive layer 62 becomes relatively low, there is no problem in electrical characteristics. Moreover, since the yellow conductive layer 64 patterned by exposure and development similarly to the black conductive layer 62 has a higher brightness than the black conductive layer 62 and can be easily exposed, the entire black conductive thick film 60 is formed. Compared to the case where the black conductive layer 62 is formed, even if the black conductive paste for forming the black conductive layer 62 is hardly exposed, a sufficient exposure property can be secured as a whole. From these, the black conductive layer 6
Since the amount of the black pigment 46 contained in the black conductive layer 62 has almost no effect on the conductivity and the exposing property of the entire black conductive thick film 60, the amount of the black pigment 46 contained in the black conductive layer 62 is sufficiently increased.
As a result, the brightness and yellowness of the black conductive thick film 60 can be sufficiently reduced. Therefore, the black conductive thick film 60 having low brightness and low yellowness can be obtained while maintaining high conductivity and high resolution during film formation.

【0079】また、本実施例においては、黒色導電厚膜
60を形成するに際しては、感光性黒色導電ペースト印
刷工程S1およびペースト乾燥工程S2において、基板
42の裏面68に感光性黒色導電ペーストを塗布および
乾燥して黒色導電ペースト膜70が形成され、感光性導
電ペースト印刷工程S1−2およびペースト乾燥工程S
2−2において、その黒色導電ペースト膜70から生成
される黒色導電層62よりも明度が高く且つ導電性の高
い黄色導電層64を形成するための感光性銀ペースト
を、その黒色導電ペースト膜70上に塗布して銀ペース
ト膜72を積層形成することにより、所定厚さの導電ペ
ースト膜74が形成され、更に、導体焼成工程S4にお
いて、その導電ペースト膜74を焼成して所定パターン
の黒色導電厚膜60が生成される。そのため、黒色導電
厚膜60は、黒色導電ペースト膜70から生成された黒
色導電層62と、銀ペースト膜72から生成された黄色
導電層64とが積層されて構成されることから、上述の
ように、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色
導電厚膜60を形成することができる。
In this embodiment, when forming the black conductive thick film 60, the photosensitive black conductive paste is applied to the back surface 68 of the substrate 42 in the photosensitive black conductive paste printing step S 1 and the paste drying step S 2. Then, the black conductive paste film 70 is formed by drying, and the photosensitive conductive paste printing step S1-2 and the paste drying step S1-2.
In 2-2, a photosensitive silver paste for forming a yellow conductive layer 64 having higher brightness and higher conductivity than the black conductive layer 62 formed from the black conductive paste film 70 is applied to the black conductive paste film 70. A conductive paste film 74 having a predetermined thickness is formed by coating the conductive paste film 72 thereon and forming a silver paste film 72 thereon. A thick film 60 is created. Therefore, the black conductive thick film 60 is configured by stacking the black conductive layer 62 generated from the black conductive paste film 70 and the yellow conductive layer 64 generated from the silver paste film 72, as described above. Then, the black conductive thick film 60 having high conductivity and low brightness and low yellowness can be formed.

【0080】また、本実施例においては、高明度ペース
ト膜形成工程に対応する感光性導電ペースト印刷工程S
1−2およびペースト乾燥工程S2−2の後に、露光工
程S3において、所定の開口パターンのマスク54を介
して導電ペースト膜74が選択的に露光され、その露光
工程S3の後に、現像工程S4において、その導電ペー
スト膜74のうちの硬化していない部分が水洗除去さ
れ、その後、導体焼成工程S6が施される。そのため、
感光性ペーストを用いて、露光および現像処理により黒
色導電厚膜60がパターン形成されることから、厚膜ス
クリーン印刷法でパターン形成する場合よりも容易に高
精度のパターンが得られる。このとき、黒色導電厚膜6
0に生成される導電ペースト膜74は、黒色導電ペース
ト膜70と銀ペースト膜72とが積層されているが、こ
れらのうち銀ペースト膜72は黒色顔料46を含む黒色
導電ペースト膜70よりも露光が容易である。したがっ
て、前述のように生成される黒色導電厚膜60の導電性
が黄色導電層64で確保されることに加えて、全体が黒
色導電ペースト膜70から生成される場合に比較して、
黒色導電ペースト膜70が露光し難くされていても導電
ペースト膜74全体として十分な露光性を確保できるた
め、その中に含まれる黒色顔料46を量を比較的多くで
きる。上記により、感光性黒色導電ペーストを用いて露
光および現像処理を経て黒色導電厚膜60を形成するに
際して、解像性および生成される膜60の導電性を高く
保ちながら、明度および黄色度を一層低くすることがで
きる。
In this embodiment, the photosensitive conductive paste printing step S corresponding to the high-brightness paste film forming step is performed.
1-2, and after the paste drying step S2-2, in an exposure step S3, the conductive paste film 74 is selectively exposed through a mask 54 having a predetermined opening pattern, and after the exposure step S3, in a development step S4. Then, the uncured portion of the conductive paste film 74 is washed and removed, and then a conductor firing step S6 is performed. for that reason,
Since the black conductive thick film 60 is patterned by exposure and development using a photosensitive paste, a high-precision pattern can be obtained more easily than when the pattern is formed by the thick film screen printing method. At this time, the black conductive thick film 6
The conductive paste film 74 formed at 0 is formed by laminating a black conductive paste film 70 and a silver paste film 72, of which the silver paste film 72 is more exposed than the black conductive paste film 70 containing the black pigment 46. Is easy. Therefore, in addition to the fact that the conductivity of the black conductive thick film 60 generated as described above is ensured by the yellow conductive layer 64, as compared with the case where the entirety is generated from the black conductive paste film 70,
Even if the black conductive paste film 70 is hardly exposed to light, the conductive paste film 74 as a whole can secure sufficient exposure properties, so that the amount of the black pigment 46 contained therein can be relatively large. As described above, when forming the black conductive thick film 60 through exposure and development processing using the photosensitive black conductive paste, the brightness and the yellowness are further increased while maintaining the resolution and the conductivity of the generated film 60 high. Can be lower.

【0081】また、本実施例においては、感光性銀ペー
スト組成物は、ペースト組成物の全体に対する割合で 6
0(wt%) の範囲で銀粉末を含むものである。このように
すれば、専ら導電性の確保に寄与する感光性銀ペースト
の銀粉末の含有量が十分に多くされていることから、生
成される黒色導電厚膜60に全体として十分に高い導電
性が付与される。
In this example, the photosensitive silver paste composition was used in an amount of 6% based on the total amount of the paste composition.
It contains silver powder in the range of 0 (wt%). In this case, since the content of the silver powder of the photosensitive silver paste that exclusively contributes to securing the conductivity is sufficiently increased, the black conductive thick film 60 to be generated has a sufficiently high conductivity as a whole. Is given.

【0082】下記の表5は、更に他の実施例の黒色導電
厚膜の評価結果を示すものであって、黒色顔料の種類お
よび添加量を種々変更した黒色導電ペーストを用いて、
前記図3に示される黒色導電厚膜40と同様な黒色導電
厚膜を、例えば厚膜スクリーン印刷法等を用いて形成し
て評価した結果を、黒色顔料の調合条件と併せて比較例
と共に示すものである。表において、「黒色顔料」欄は
ペーストに添加した黒色顔料の種類を、「比表面積」お
よび「添加量」欄はその黒色顔料の比表面積および添加
量を、「シート抵抗値」、「L値」、「b値」はそれぞ
れ形成された黒色導電厚膜の特性をそれぞれ表す。な
お、「シート抵抗値」は、黒色導電厚膜の厚さを 10(μ
m)に換算した値である。また、「b値」は黄色さの程度
を表すものであって、値が大きいほど黄色いことを示
す。L値およびb値は前述の実施例と同様に色差計によ
って測定した。
Table 5 below shows the results of evaluation of the black conductive thick film of still another example, using black conductive paste in which the type and amount of the black pigment were variously changed.
A result obtained by forming a black conductive thick film similar to the black conductive thick film 40 shown in FIG. 3 by using, for example, a thick film screen printing method and the like and evaluating the results are shown together with the preparation conditions of the black pigment, along with a comparative example. Things. In the table, the “black pigment” column shows the type of the black pigment added to the paste, the “specific surface area” and “addition amount” columns show the specific surface area and the addition amount of the black pigment, “sheet resistance value”, “L value”. "And" b value "respectively represent the characteristics of the formed black conductive thick film. The `` sheet resistance value '' refers to the thickness of the black conductive thick film as 10 (μ
m). The “b value” indicates the degree of yellowness, and a larger value indicates a yellower color. The L value and the b value were measured by a color difference meter in the same manner as in the above-described examples.

【0083】 [表5] 黒色顔料 比表面積 添加量 シート抵抗値 L値 b値 実施例E12 Co3O4 7(m2/g) 3.0(wt%) 4.5(mΩ/□) 50 9.5 E13 ↑ ↑ 6.0 7 41 6.0 E14 ↑ ↑ 8.0 10 37 5.1 E15 ↑ ↑ 10.0 18 33 4.5 E16 ↑ 2 3.0 4 58 16.2 E17 ↑ ↑ 6.0 6 50 13.4 E18 ↑ ↑ 8.0 9 44 11.7 E19 ↑ ↑ 10.0 15 41 10.5 比較例R21 Co2O3 4 3.0 4 60 14.0 R22 ↑ ↑ 6.0 7 53 11.0 R23 ↑ ↑ 8.0 10 42 9.0 R24 ↑ ↑ 10.0 18 39 8.0 R25 RuO2 35 2.0 6 50 10.0 R26 ↑ ↑ 3.0 7 45 8.0 R27 ↑ ↑ 4.0 10.2 40 6.6 R28 ↑ ↑ 7.0 23.2 34 5.5 R29 Cu-Cr-Mn系 6 3.0 7.5 50 26.3 R30 ↑ ↑ 6.0 10 43 20.0 R31 ↑ ↑ 8.0 14 40 18.0 R32 ↑ ↑ 10.0 18 38 16.0 R33 Fe-Cr-Mn系 6 3.0 7 55 23.4 R34 ↑ ↑ 6.0 9 50 18.7 R35 ↑ ↑ 8.0 12 46 16.7 R36 ↑ ↑ 10.0 15 42 14.4 [0083] [Table 5] amount added black pigment specific surface area sheet resistance value L value b value Example E12 Co 3 O 4 7 (m 2 / g) 3.0 (wt%) 4.5 (mΩ / □) 50 9.5 E13 ↑ ↑ 6.0 7 41 6.0 E14 ↑ ↑ 8.0 10 37 5.1 E15 ↑ ↑ 10.0 18 33 4.5 E16 ↑ 2 3.0 4 58 16.2 E17 ↑ ↑ 6.0 6 50 13.4 E18 ↑ ↑ 8.0 9 44 11.7 E19 ↑ ↑ 10.0 15 41 10.5 Comparative Example R21 Co 2 O 3 4 3.0 4 60 14.0 R22 ↑ ↑ 6.0 7 53 11.0 R23 ↑ ↑ 8.0 10 42 9.0 R24 ↑ ↑ 10.0 18 39 8.0 R25 RuO 2 35 2.0 6 50 10.0 R26 ↑ ↑ 3.0 7 45 8.0 R27 ↑ 10. 4.0 10.2 40 6.6 R28 ↑ ↑ 7.0 23.2 34 5.5 R29 Cu-Cr-Mn 6 3.0 7.5 50 26.3 R30 ↑ ↑ 6.0 10 43 20.0 R31 ↑ ↑ 8.0 14 40 18.0 R32 ↑ ↑ 10.0 18 38 16.0 R33 Fe-Cr-Mn 6 3.0 7 55 23.4 R34 ↑ ↑ 6.0 9 50 18.7 R35 ↑ ↑ 8.0 12 46 16.7 R36 ↑ ↑ 10.0 15 42 14.4

【0084】なお、上記の表5において示されていない
ペースト構成要素、すなわち黒色顔料以外の構成要素
は、実施例および比較例共全て同様である。すなわち、
何れも、導電成分として比表面積2(m2/g) 程度の銀粉末
を 60(wt%) 程度、軟化点400(℃) 程度で比表面積2(m2
/g) 程度のガラス粉末(例えばPbO-SiO2-B2O3 )を5(wt
%) 程度、有機結合剤としてエチルセルロースを5(wt
%) 程度、および有機溶剤としてブチルカルビトールア
セテート(BCA)を 30(wt%) 程度から成る共通成分
を含む。また、黒色導電ペーストに含まれる黒色顔料
は、上記表において各々の「黒色顔料」欄に示されるも
のを、上記共通要素の合計100(wt%) に対して各々の
「添加量」欄に記されている量を添加した。
The paste constituents not shown in Table 5 above, that is, constituents other than the black pigment are the same in both the examples and the comparative examples. That is,
Both, the ratio as a conductive component surface area 2 (m 2 / g) of about silver powder 60 (wt%) or so, softening point 400 (° C.) degrees with a specific surface area 2 (m 2
/ g) glass powder (for example, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 )
%), About 5 (wt.)
%) And butyl carbitol acetate (BCA) as an organic solvent containing a common component of about 30 (wt%). For the black pigment contained in the black conductive paste, the one shown in each “black pigment” column in the above table is described in each “addition amount” column with respect to a total of 100 (wt%) of the above common elements. The indicated amount was added.

【0085】また、黒色導電厚膜を形成方法は、実施例
および比較例共全て同様であり、例えば以下の通りであ
る。すなわち、先ず、ペーストの構成要素(後述)を混
合した後に三本ロール・ミルで混練して黒色導電ペース
トを作製する。次いで、前記マスク54と同様な開口パ
ターンを備えたスクリーンを用いて基板42上に所定パ
ターンで印刷する。そして、乾燥および焼成処理を施す
ことによって黒色導電厚膜が形成される。したがって、
本実施例においては、前述のような露光および現像処理
を施すことなく、印刷時に予めパターンが形成される。
このとき、印刷面は例えばソーダ・ライム・ガラス等か
ら成る基板42のトップ面(非錫面)すなわちフロート
法でガラス板を作製する場合に上側に位置する面であ
る。また、焼成は、ベルト炉を用いて温度550(℃) × 1
0(分間) 保持にて1.5(時間) サイクルで処理した。
The method of forming the black conductive thick film is the same in all the examples and comparative examples, and is, for example, as follows. That is, first, components of the paste (described later) are mixed and then kneaded by a three-roll mill to produce a black conductive paste. Next, a predetermined pattern is printed on the substrate 42 using a screen having the same opening pattern as the mask 54. Then, a black conductive thick film is formed by performing drying and baking. Therefore,
In this embodiment, a pattern is formed in advance during printing without performing the above-described exposure and development processing.
At this time, the printing surface is a top surface (non-tin surface) of the substrate 42 made of, for example, soda lime glass, that is, a surface located on an upper side when a glass plate is manufactured by a float method. The firing was performed using a belt furnace at a temperature of 550 (° C.) × 1.
The treatment was performed at 1.5 (hour) cycle with 0 (minute) hold.

【0086】図9および図10は、上記表5に示される
結果をグラフにまとめたものである。図9はL値(明
度)とシート抵抗値との関係を、図10はL値とb値
(黄色度)との関係をそれぞれ表す。表5および図9、
10から明らかなように、何れの黒色顔料を用いる場合
においても、その添加量が多くなるほどL値が低くな
る。これらL値、b値、シート抵抗値は、バス電極30
等に用いられる黒色導電厚膜において、何れも可及的に
低いことが望まれる特性値であることから、両図共に左
下に向かうほど特性が優れているといえる。したがっ
て、両図から、Co3O4 を黒色顔料46として用いる場合
(実施例 E12〜 E19)には、上記3つの特性を兼ね
備えた黒色導電厚膜が得られることが判る。特に、比表
面積が7(m2/g) と微細なCo3O4 を用いた実施例 E12〜
E15では、同様なL値に対するb値およびシート抵抗
値が共に、他の全ての黒色顔料が用いられている場合よ
りも低い(すなわち、各測定値を結ぶ曲線が最も左下に
位置する)ことから、バス電極30等に一層好適である
ことが明らかである。すなわち、Co3O4 は、比表面積が
2(m2/g) よりも大きいものを用いることが好ましい。な
お、比較例 R25〜 R28は、比較的良好な特性を示し
ているが、RuO2は比表面積が35(m2/g)程度と微粉であっ
て取扱いが困難であると共に、高価であるという問題が
ある。
FIGS. 9 and 10 are graphs showing the results shown in Table 5 above. FIG. 9 shows the relationship between the L value (brightness) and the sheet resistance value, and FIG. 10 shows the relationship between the L value and the b value (yellowness). Table 5 and FIG.
As is clear from FIG. 10, when any of the black pigments is used, the L value decreases as the amount of addition increases. These L value, b value, and sheet resistance value are
In the black conductive thick films used in the above-described methods, the characteristic values are desired to be as low as possible. Accordingly, it can be seen from both figures that when Co 3 O 4 is used as the black pigment 46 (Examples E12 to E19), a black conductive thick film having the above three characteristics is obtained. In particular, the specific surface area is 7 (m 2 / g) Example E12 using fine Co 3 O 4
At E15, the b value and sheet resistance value for the same L value are both lower than when all other black pigments are used (that is, the curve connecting the measured values is located at the lower left). It is clear that the present invention is more suitable for the bus electrode 30 and the like. That is, Co 3 O 4 has a specific surface area of
It is preferable to use one larger than 2 (m 2 / g). Although Comparative Examples R25 to R28 show relatively good characteristics, RuO 2 has a specific surface area of about 35 (m 2 / g), which is a fine powder and is difficult to handle, and is expensive. There's a problem.

【0087】なお、PDP8等においては、バス電極3
0等として、L値が42以下、シート抵抗値が10(mΩ/
□) 以下の図9において斜線で示される範囲にあること
が、表示のコントラストを高め且つ駆動を容易にするた
めに望まれる。したがって、実施例 E12〜 E15の結
果から明らかなように、7(m2/g) のCo3O4 を用いた場合
には、L値が37以上の範囲でシート抵抗値が10(mΩ/
□) 以下になることから、L値およびシート抵抗値の選
択の幅が広がることが判る。
In the PDP 8 and the like, the bus electrode 3
When the L value is 42 or less and the sheet resistance value is 10 (mΩ /
□) It is desired to be within the range indicated by oblique lines in the following FIG. 9 in order to increase display contrast and facilitate driving. Therefore, as is apparent from the results of Examples E12 to E15, when 7 (m 2 / g) of Co 3 O 4 was used, the sheet resistance was 10 (mΩ /
□) From the following, it can be seen that the range of choice of the L value and the sheet resistance value is expanded.

【0088】以上、本発明の一実施例を図面を参照して
詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施され
る。
While the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the present invention can be implemented in other embodiments.

【0089】例えば、実施例においては、本発明がPD
P8のバス電極30等に適用された場合について説明し
たが、本発明は、低い明度(L値)および低い抵抗値
(すなわち高い導電性)を要求される厚膜導体であれ
ば、他のディスプレイ用電極や車載用熱線等にも同様に
用いられる。
For example, in the embodiments, the present invention
Although the case where the present invention is applied to the bus electrode 30 of P8 and the like has been described, the present invention is not limited to the case where a thick film conductor requiring low brightness (L value) and low resistance value (that is, high conductivity) is used. It is used in the same manner for electrodes for use in vehicles and for heating wires for vehicles.

【0090】また、銀粉末、ガラス粉末、黒色顔料46
等の比表面積やペースト中の含有量等は、実施例で示し
た範囲に限られず、黒色導電厚膜40、60等に要求さ
れるL値、b値、および導電性等の特性や、基板42と
の固着強度等に応じて適宜変更される。但し、何れにつ
いても、前述した好適な範囲内において設定することが
望ましい。
Further, silver powder, glass powder, black pigment 46
The specific surface area, the content in the paste, and the like are not limited to the ranges shown in the examples, and properties such as L value, b value, and conductivity required for the black conductive thick films 40, 60, etc. It is appropriately changed in accordance with the fixing strength with respect to 42 and the like. However, in any case, it is desirable to set them within the above-mentioned preferable range.

【0091】また、ペーストを調製するための有機結合
剤、有機溶剤や、感光性ペーストに含まれる光重合性化
合物および光重合開始剤等の種類や量は、ペースト膜5
2、70等に要求される強度や導電厚膜40等に要求さ
れる導電性、感光性ペーストにおいては解像性等を考慮
して適宜変更される。
The type and amount of the organic binder and organic solvent for preparing the paste, the photopolymerizable compound and the photopolymerization initiator contained in the photosensitive paste are determined according to the paste film 5.
2, 70 and the like, the conductivity required for the conductive thick film 40 and the like, and the resolution of the photosensitive paste are appropriately changed in consideration of the resolution and the like.

【0092】例えば、有機結合剤としては、実施例で示
されたような水溶性のCMC、HPCやエチルセルロー
ス、アルカリ水溶液に可溶なEMAやEAの重合物等の
他に、セルロース誘導体やアルカリ可溶性アクリル重合
体等の一種乃至複数種類が適宜用いられる。但し、感光
性黒色導電ペーストを用いて黒色導電厚膜40等を形成
する場合においては、現像処理を水で行い得ることか
ら、セルロース誘導体が一層好適である。なお、有機結
合剤の添加量は、非感光性ペーストにおいては、ペース
トの総重量に対して 1〜 15(wt%) 程度が好適であり、
一層好適には 1.5〜 10(wt%) 程度の範囲である。1(wt
%) 未満では固形分が沈降し或いは印刷性が悪くなり、
反対に 15(wt%) を越えると印刷膜厚が薄くなり抵抗値
が上昇を招くためである。また、感光性ペーストにおい
ては、 5〜 20(wt%) 程度の範囲が好ましい。5(wt%)
未満では銀粉末やガラス粉末の保持性が弱く現像時の剥
離が生じ得る一方、 20(wt%) を越えると、銀粉末の含
有率が低下して膜厚が薄くなり延いては導電性が低下す
るためである。なお、アルカリ可溶性アクリル重合体が
用いられる場合には、アルキッド系樹脂、ロジン系樹脂
等を更に添加してもよい。
Examples of the organic binder include water-soluble CMC, HPC and ethyl cellulose as shown in Examples, EMA and EA polymers soluble in an aqueous alkali solution, cellulose derivatives and alkali-soluble polymers. One or more kinds of acrylic polymers and the like are appropriately used. However, when the black conductive thick film 40 or the like is formed using the photosensitive black conductive paste, the cellulose derivative is more preferable because the developing treatment can be performed with water. In the case of a non-photosensitive paste, the amount of the organic binder is preferably about 1 to 15 (wt%) based on the total weight of the paste.
More preferably, it is in the range of about 1.5 to 10 (wt%). 1 (wt
%), The solids settle or the printability deteriorates,
On the other hand, if it exceeds 15 (wt%), the printed film thickness becomes thin and the resistance value rises. In the case of the photosensitive paste, the range is preferably about 5 to 20 (wt%). 5 (wt%)
If it is less than 20%, the retention of silver powder or glass powder is weak, and peeling may occur during development. If it exceeds 20% by weight, the content of silver powder decreases, the film thickness becomes thin, and the conductivity increases. It is because it decreases. When an alkali-soluble acrylic polymer is used, an alkyd resin, a rosin resin, or the like may be further added.

【0093】なお、セルロース誘導体としては、例え
ば、セルロース、エチルセルロース、メチルセルロー
ス、エチルヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシメ
チルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボ
キシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、
カルボキシエチルメチルセルロース、およびこれらの塩
類等が用いられ得る。但し、感光性ペーストは水現像が
可能な水溶性であることが好ましいため、上記のうちエ
チルセルロースおよびエチルヒドロキシエチルセルロー
スを除く他の水に可溶なセルロース誘導体が好適に用い
られる。
Examples of the cellulose derivative include, for example, cellulose, ethyl cellulose, methyl cellulose, ethyl hydroxyethyl cellulose, hydroxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, carboxyethyl cellulose, and the like.
Carboxyethyl methylcellulose and salts thereof can be used. However, since the photosensitive paste is preferably water-soluble which can be developed with water, a water-soluble cellulose derivative other than ethyl cellulose and ethyl hydroxyethyl cellulose among the above is preferably used.

【0094】また、アルカリ可溶性アクリル重合体とし
ては、[アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、シア
ノ桂皮酸、桂皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸
等のカルボキシル基を有するモノマー]と[アクリル酸
メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸メチル、メタ
クリル酸エチル、2-ヒドロキシメチルアクリレート、2-
ヒドロキシエチルアクリレート、フマル酸モノメチル、
フマル酸モノエチル、エチレングリコールモノメチルエ
ーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエ
ーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチル
エーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチル
エーテルメタクリレート、グリセロール(モノ)アクリ
レート、グリセロール(モノ)メタクリレート、アクリ
ル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、
メタクリロニトリル、イソブチルアクリレート、イソブ
チルメタクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、
2-エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート等のモノマー]とを共重合
したものが好適に用いられる。このアルカリ可溶性アク
リル重合体を用いる場合、酸価は50〜250 程度が好まし
く、50未満ではアルカリ水溶液での現像が困難になり、
反対に250 を越えると塗膜性や分散性が悪くなる。ま
た、有機結合剤は、重量平均分子量が1000〜200000程度
であることが好ましく、5000〜150000程度が一層好適で
ある。なお、1000未満では基板42との密着性が不十分
になると共に銀粉末や黒色顔料46の保持性が低下し、
反対に200000を越えると現像時間が長時間になり、或い
は現像不能になり得る。
Examples of the alkali-soluble acrylic polymer include [monomers having a carboxyl group such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cyanocinnamic acid, cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid] and [acrylic acid]. Methyl, ethyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, 2-hydroxymethyl acrylate, 2-
Hydroxyethyl acrylate, monomethyl fumarate,
Monoethyl fumarate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol (mono) acrylate, glycerol (mono) methacrylate, acrylic amide, methacrylamide, Acrylonitrile,
Methacrylonitrile, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate,
And a monomer such as 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, or benzyl methacrylate]. When this alkali-soluble acrylic polymer is used, the acid value is preferably about 50 to 250.
Conversely, if it exceeds 250, the coating properties and dispersibility deteriorate. The weight average molecular weight of the organic binder is preferably about 1,000 to 200,000, and more preferably about 5,000 to 150,000. In addition, if less than 1000, the adhesion to the substrate 42 becomes insufficient and the retention of the silver powder and the black pigment 46 decreases,
On the other hand, if it exceeds 200,000, the development time may be long, or development may not be possible.

【0095】また、光重合性化合物としては、アクリル
酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モ
ノメチル、フマル酸モノエチル、2-ヒドロキシエチルア
クリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、エチ
レングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチ
レングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エ
チレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エ
チレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、
グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレー
ト、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロ
ニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、
メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメ
タクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメ
タクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチ
ルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベ
ンジルメタクリレート等の単官能モノマー、エチレング
リコールジアクリレート、エチレングリコールモノメタ
クリレート、トリエチレングリコールモノアクリレー
ト、テトラエチレングリコールモノアクリレート、ノナ
エチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレング
リコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモ
ノメタクリレート、トリエチレングリコールモノメタク
リレート、テトラエチレングリコールモノメタクリレー
ト、ノナエチレングリコールモノメタクリレート、ジプ
ロピレングリコールモノアクリレート、トリプロピレン
グリコールモノアクリレート、テトラプロピレングリコ
ールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモノメ
タクリレート、トリプロピレングリコールモノメタクリ
レート、ブチレングリコールモノメタクリレート、プロ
ピレングリコールモノアクリレート、エチレングリコー
ルジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエ
チレングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコ
ールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタク
リレート、テトラエチレングリコールジメタクリレー
ト、ノナエチレングリコールジメタクリレート、ジプロ
ピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリ
コールジアクリレート、テトラプロピレングリコールジ
アクリレート、ジプロピレングリコールジメタクリレー
ト、トリプロピレングリコールジメタクリレート、ブチ
レングリコールジメタクリレート、プロピレングリコー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラ
メチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールト
リメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリ
レート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、
ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリ
レート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、カル
ドエポキシジアクリレート等の多官能モノマーが用いら
れてもよい。
Examples of the photopolymerizable compound include acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, Ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate,
Glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl acrylate,
Monofunctional monomers such as methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol monomethacrylate, and triethylene glycol mono Acrylate, tetraethylene glycol monoacrylate, nonaethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, nonaethylene glycol monomethacrylate, dipropylene glycol Noacrylate, tripropylene glycol monoacrylate, tetrapropylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monomethacrylate, tripropylene glycol monomethacrylate, butylene glycol monomethacrylate, propylene glycol monoacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol Diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, nonaethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, nonaethylene glycol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, tetrapropylene Recall diacrylate, dipropylene glycol dimethacrylate, tripropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate,
Tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate,
Multifunctional such as dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardo epoxy diacrylate Monomers may be used.

【0096】また、光重合開始剤としては、1-ヒドロキ
シシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-1,2
- ジフェニルエタン-1- オン、2-メチル-1-[4- (メチル
チオ) フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1- オン、2-
ベンジル-2- ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニ
ル)-ブタン-1- オン、2-ヒドロキシ-2- メチル-1- フェ
ニルプロパン-1- オン、2,4,6-トリメチルベンゾイルジ
フェニルホスフィンオキシド、1-[4-(2-ヒドロキシエト
キシ) フェニル]-2-ヒドロキシ-2- メチル-1-プロパン-
1- オン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオ
キサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、3,3-ジメチ
ル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンゾフェノン、1-
クロロ-4- プロポキシチオキサントン、1-(4- イソプロ
ピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2- メチルプロパン-1- オ
ン、1-(4- ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2- メチル
プロパン-1- オン、4-ベンゾイル-4'-メチルジメチルス
ルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミ
ノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、
4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ安
息香酸-2- エチルヘキシル、4-ジメチルアミノ安息香酸
-2- イソアミル、2,2-ジエトキシアセトフェノン、ベン
ジルジメチルケタール、ベンジル- β- メトキシエチル
アセタール、1-フェニル-1,2- プロパンジオン-2-(ο-
エトキシカルボニル) オキシム、ο- ベンゾイル安息香
酸メチル、ビス(4- ジメチルアミノフェニル) ケトン、
4,4'- ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4'- ジク
ロロベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n- ブチルエー
テル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチ
ルエーテル、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert
- ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert- ブチルジ
クロロアセトフェノン、チオキサントン、2-メチルチオ
キサントン、2-イソプロピルチオキサントン、ジベンゾ
スベロン、α, α- ジクロロ-4- フェノキシアセトフェ
ノン、ペンチル-4- ジメチルアミノベンゾエート等が用
いられてもよい。
The photopolymerization initiator includes 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2
-Diphenylethan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-
Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine Oxide, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-
1-one, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-
Chloro-4-propoxythioxanthone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one , 4-benzoyl-4'-methyldimethyl sulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate,
Butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid
-2-isoamyl, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethylketal, benzyl-β-methoxyethylacetal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (ο-
Ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone,
4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, p-dimethylamino Acetophenone, p-tert
-Butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, etc. are used. You may be.

【0097】また、有機溶剤としては、エチレングリコ
ールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチ
ルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテ
ル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレン
グリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエ
チルエーテル、エチレングリコールジプロピルエーテ
ル、プロプレングリコールモノメチルエーテル、プロプ
レングリコールモノエチルエーテル、プロプレングリコ
ールモノプロピルエーテル、プロプレングリコールモノ
ブチルエーテル、プロプレングリコールジメチルエーテ
ル、プロプレングリコールジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノフェ
ニルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、エチレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレング
リコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリ
コールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリ
コールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコ
ールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリ
コールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレング
リコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレング
リコールモノフェニルエーテルアセテート、プロプレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、プロプレン
グリコールモノエチルエーテルアセテート、プロプレン
グリコールモノプロピルエーテルアセテート、2-メトキ
シブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、4-
メトキシブチルアセテート、2-メチル-3- メトキシブチ
ルアセテート、3-メチル-3- メトキシブチルアセテー
ト、3-エチル-3- メトキシブチルアセテート、2-エトキ
シブチルアセテート、4-エトキシブチルアセテート、4-
プロポキシブチルアセテート、2-メトキシペンチルアセ
テート、3-メトキシペンチルアセテート、4-メトキシペ
ンチルアセテート、2-メチル-3- メトキシペンチルアセ
テート、3-メチル-3- メトキシペンチルアセテート、3-
メチル-4- メトキシペンチルアセテート、4-メチル-4-
メトキシペンチルアセテート、アセトン、メチルエチル
ケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エ
チルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、シクロヘ
キサン、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プ
ロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、2-ヒ
ドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン
酸エチル、2-ヒドロキシ-2- メチル、メチル-3- メトキ
シプロピオネート、エチル-3- メトキシプロピオネー
ト、エチル-3- エトキシプロピオネート、エチル-3- プ
ロポキシプロピオネート、プロピル-3- メトキシプロピ
オネート、イソプロピル-3- メトキシプロピオネート、
エトキシ酢酸エチル、オキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ
-3- メチルブタン酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル、
酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イ
ソアミル炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸
ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸プロピル、ピルビン酸ブチル、アセト酢酸メチル、
アセト酢酸エチル、ベンジルメチルエーテル、ベンジル
エチルエーテル、ジヘキシルエーテル、酢酸ベンジル、
安息香酸ベンジル、蓚酸ジエチル、マレイン酸ジエチ
ル、γ- ブチロラクトン、ベンゼン、トルエン、キシレ
ン、シクロヘキサン、メタノール、エタノール、プロパ
ノール、ブタノール、3-メチル-3- メトキシブタノー
ル、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリ
コール、ジエチレングリコール、グリセリン、ターピネ
オール、ジヒドロターピネオール等が用いられてもよ
い。なお、上記の中でも、3-メチル-3- メトキシブタノ
ールは、銀粉末、ガラス粉末等の無機材表面に存在する
金属イオンとアルカリ水溶液に可溶な有機結合剤との反
応性を低下させることができるため、ペーストの粘度変
化やゲル化が抑制されて高い保存安定性が得られる。ま
た、ペースト中の有機溶媒の含有量は、感光性ペースト
においては、1 〜 40(wt%) 程度が好ましい。1(wt%)
未満では均一な塗布や露光工程S6におけるコンタクト
露光が困難であり、反対に 40(wt%) を越えると粘度が
低下して沈降が起き易くなるためである。また、非感光
性ペーストにおいては、 5〜 50(wt%) 程度の範囲が好
ましい。5(wt%) 未満ではペースト化が困難であり、反
対に 50(wt%) を越えると膜厚が薄くなって抵抗値が上
昇するためである。
Examples of the organic solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dipropyl ether, and propylene glycol. Monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monophenyl ether, diethyl Glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monophenyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether Acetate, diethylene glycol monopropyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monophenyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate Pro-plane glycol monopropyl ether acetate, 2-methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 4-
Methoxy butyl acetate, 2-methyl-3-methoxy butyl acetate, 3-methyl-3-methoxy butyl acetate, 3-ethyl-3-methoxy butyl acetate, 2-ethoxy butyl acetate, 4-ethoxy butyl acetate, 4-
Propoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3-methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-
Methyl-4-methoxypentyl acetate, 4-methyl-4-
Methoxypentyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl isobutyl ketone, tetrahydrofuran, cyclohexane, methyl propionate, ethyl propionate, propyl propionate, isopropyl propionate, methyl 2-hydroxypropionate, 2-hydroxypropion Ethyl acid, 2-hydroxy-2-methyl, methyl-3-methoxypropionate, ethyl-3-methoxypropionate, ethyl-3-ethoxypropionate, ethyl-3-propoxypropionate, propyl-3 -Methoxypropionate, isopropyl-3-methoxypropionate,
Ethyl ethoxyacetate, ethyl oxyacetate, 2-hydroxy
-3- methyl methylbutanoate, methyl acetate, ethyl acetate,
Propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, methyl isoamyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate, butyl carbonate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, butyl pyruvate, methyl acetoacetate,
Ethyl acetoacetate, benzyl methyl ether, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, benzyl acetate,
Benzyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, benzene, toluene, xylene, cyclohexane, methanol, ethanol, propanol, butanol, 3-methyl-3-methoxybutanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, Glycerin, terpineol, dihydroterpineol and the like may be used. Among the above, 3-methyl-3-methoxybutanol can reduce the reactivity between a metal ion existing on the surface of an inorganic material such as silver powder and glass powder and an organic binder soluble in an aqueous alkaline solution. Therefore, a change in viscosity and gelation of the paste are suppressed, and high storage stability is obtained. The content of the organic solvent in the paste is preferably about 1 to 40 (wt%) in the photosensitive paste. 1 (wt%)
If it is less than 40%, it is difficult to perform uniform application and contact exposure in the exposure step S6. In the case of a non-photosensitive paste, the range is preferably about 5 to 50 (wt%). If it is less than 5 (wt%), it is difficult to make a paste, and if it exceeds 50 (wt%), on the other hand, the film thickness becomes thin and the resistance value increases.

【0098】また、導電ペースト中には、更に染料、可
塑剤、界面活性剤、消泡剤、熱重合禁止剤等の他の添加
物が含まれていてもよい。染料としては、例えばシアニ
ングリーン等を用いることができる。また、可塑剤とし
ては、感光性ペーストにおいては、ジオクチルフタレー
ト、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジ
カプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリク
レジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチル
セバケート、トリアセチルグリセリン等が好適に用いら
れ、非感光性ペーストにおいては、ジメチルフタレー
ト、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ポリ
プロピレングリコール等が好適に用いられる。なお、こ
れらの可塑剤は、有機溶剤として用いることもできる。
また、消泡剤としては、シリコーン系やフッ素系等各種
のものを用い得る。
Further, the conductive paste may further contain other additives such as a dye, a plasticizer, a surfactant, an antifoaming agent, and a thermal polymerization inhibitor. As the dye, for example, cyanine green or the like can be used. As the plasticizer, in the photosensitive paste, dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetyl glycerin, and the like are preferably used. For the non-photosensitive paste used, dimethyl phthalate, dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polypropylene glycol and the like are preferably used. In addition, these plasticizers can also be used as an organic solvent.
As the defoaming agent, various types such as a silicone type and a fluorine type can be used.

【0099】また、実施例においては、厚膜スクリーン
印刷法やバー・コータによって基板42上に感光性黒色
導電ペーストを塗布して露光および現像し、或いは厚膜
スクリーン印刷法によって直接パターン形成していた
が、黒色導電厚膜40等の形成方法はこれらに限定され
ない。例えば、サンド・ブラスト法やリフトオフ法等に
よって黒色導電厚膜40等を形成する場合にも本発明は
同様に適用される。
In the embodiment, a photosensitive black conductive paste is applied to the substrate 42 by a thick film screen printing method or a bar coater and exposed and developed, or a pattern is directly formed by a thick film screen printing method. However, the method for forming the black conductive thick film 40 and the like is not limited to these. For example, the present invention is similarly applied to a case where the black conductive thick film 40 and the like are formed by a sand blast method, a lift-off method, or the like.

【0100】また、実施例においては、黒色導電ペース
トが粘度100(Pa・s)程度に調製されていたが、その粘度
は形成するペースト膜の厚さや膜形成方法等に応じて適
宜変更される。但し、感光性ペーストの場合には、全面
に一様な厚さで印刷するために 5〜200(Pa・s)程度の範
囲にされることが好ましく、10〜150(Pa・s)程度の範囲
が一層好ましい。また、直接印刷をする場合には、ペー
ストのだれに起因するパターン精度低下を抑制するため
に50〜500(Pa・s)程度の粘度範囲が好ましく、80〜400
(Pa・s)程度の範囲が一層好ましい。
In the examples, the black conductive paste was prepared to have a viscosity of about 100 (Pa · s). . However, in the case of a photosensitive paste, in order to print the entire surface with a uniform thickness, it is preferable that the range is about 5 to 200 (Pas), and about 10 to 150 (Pas). The range is more preferred. In the case of direct printing, a viscosity range of about 50 to 500 (Pas) is preferable in order to suppress a decrease in pattern accuracy due to dripping of the paste, and 80 to 400 (Pas).
The range of (Pa · s) is more preferable.

【0101】また、実施例においては、乾燥後において
黒色導電ペースト膜52が 10(μm)程度、導電ペースト
膜74の膜厚が5 〜6(μm)程度になるようにそれぞれ形
成されていたが、乾燥膜厚は黒色導電厚膜40、60の
要求膜厚に応じて、例えば 5〜 20(μm)程度の範囲で適
宜変更される。なお、 20(μm)を越える乾燥厚みを必要
とする場合等のように一回の塗布で必要膜厚を得られな
い場合には、その必要膜厚となるまでペーストが繰り返
し塗布すればよい。
In the embodiment, the black conductive paste film 52 is formed so as to have a thickness of about 10 (μm) after drying and the conductive paste film 74 has a thickness of about 5 to 6 (μm). The dry film thickness is appropriately changed in the range of, for example, about 5 to 20 (μm) according to the required film thickness of the black conductive thick films 40 and 60. When the required film thickness cannot be obtained by one application, such as when a dry thickness exceeding 20 (μm) is required, the paste may be repeatedly applied until the required film thickness is reached.

【0102】また、実施例においては、ペースト乾燥工
程S2において 80(℃) 程度の温度で 15(分間) 程度乾
燥を施し、導体焼成工程S6において550(℃) 程度の温
度で焼成処理を施していたが、乾燥温度や時間はペース
ト膜の厚みや有機溶剤の種類等、更に感光性ペーストに
おいてはモノマーの熱重合開始温度等に応じて適宜変更
され、焼成温度はガラス粉末の種類等に応じて適宜変更
される。なお、好ましい範囲は、乾燥温度および時間が
それぞれ、例えば70〜200(℃) 程度、5 〜 60(分間) 程
度であり、焼成温度は基板42の熱変形温度や400 〜45
0(℃) 程度で処理される封着工程での黒色導電膜40、
60等の熱変形等を考慮すると500 〜600(℃) 程度であ
る。
In the embodiment, in the paste drying step S2, drying is performed at a temperature of about 80 (° C.) for about 15 (minutes), and in the conductor firing step S6, firing is performed at a temperature of about 550 (° C.). However, the drying temperature and time are appropriately changed according to the thickness of the paste film, the type of the organic solvent, and the like, and further, in the photosensitive paste, the thermal polymerization initiation temperature of the monomer and the like, and the firing temperature is determined according to the type of the glass powder and the like. It is changed as appropriate. The preferable ranges are, for example, about 70 to 200 (° C.) and about 5 to 60 (minutes), respectively, for the drying temperature and time, and the firing temperature is the heat deformation temperature of the substrate 42 or 400 to 45 (minutes).
The black conductive film 40 in the sealing step treated at about 0 (° C.)
Taking into account thermal deformation such as 60, it is about 500-600 (° C).

【0103】また、実施例においては、露光工程S3に
おいて、波長350(nm) 程度の紫外線を用いて露光してい
たが、照射光の波長は光重合性化合物の種類に応じて適
宜変更される。なお、実施例においては紫外線の発生源
として超高圧水銀灯が用いられていたが、低圧水銀灯、
高圧水銀灯、ケミカル・ランプ等を用いることができ、
照射するエネルギ線量は、黒色導電ペースト膜52等の
露光性に応じて、例えば20〜1000(mJ/cm2)程度の範囲で
適宜変更される。
Further, in the example, in the exposure step S3, the exposure was performed using ultraviolet rays having a wavelength of about 350 (nm), but the wavelength of the irradiation light is appropriately changed according to the type of the photopolymerizable compound. . In the examples, an ultra-high pressure mercury lamp was used as a source of ultraviolet rays.
High pressure mercury lamps, chemical lamps, etc. can be used,
The energy dose to be applied is appropriately changed, for example, in the range of about 20 to 1000 (mJ / cm 2 ) in accordance with the exposure property of the black conductive paste film 52 and the like.

【0104】また、実施例においては、感光性黒色導電
ペースト中に光重合性化合物が含まれることによって、
露光工程S3において露光させられた部分58が硬化さ
せられてパターンを構成していたが、反対に、露光させ
られることにより分解させられる化合物等を用いること
により、露光させられない部分で黒色導電厚膜40等の
パターンが形成されるように構成されていてもよい。す
なわち、感光性組成物としては、光重合性化合物に限ら
れず、光を照射されることによって重合、分解、付加、
二量化、酸化、還元等の化学反応を起こし、溶解性や硬
さが変化するものであれば、種々の組成物が用いられ得
る。なお、露光により分解する化合物が用いられる場合
には、露光工程S3においてはネガ・マスク54に変え
て開口部56と非開口部が反対にされたポジ・マスクを
用いる必要がある。
In the examples, the photopolymerizable compound is contained in the photosensitive black conductive paste,
In the exposure step S3, the exposed portion 58 was cured to form a pattern. Conversely, by using a compound or the like that can be decomposed by being exposed, a black conductive layer is formed in the unexposed portion. It may be configured such that a pattern such as the film 40 is formed. That is, the photosensitive composition is not limited to a photopolymerizable compound, and is polymerized, decomposed, added,
Various compositions can be used as long as they cause chemical reactions such as dimerization, oxidation, and reduction, and change in solubility and hardness. When a compound that decomposes by exposure is used, it is necessary to use a positive mask in which the opening 56 and the non-opening are reversed in place of the negative mask 54 in the exposure step S3.

【0105】その他、一々例示はしないが、本発明は、
その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るもので
ある。
In addition, although not specifically exemplified, the present invention
Various changes can be made without departing from the spirit of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】(a) は、本発明の黒色導電厚膜が備えられ得る
PDPの一例の構成を一部を切り欠いて示す斜視図であ
って、(b) は、(a) において書込電極の長手方向に沿っ
た断面を示す図である。
FIG. 1 (a) is a perspective view, partially cut away, showing an example of a configuration of a PDP in which a black conductive thick film of the present invention can be provided, and FIG. It is a figure showing a section along the longitudinal direction of an electrode.

【図2】図1のPDPにおいて表示放電電極が前面板上
に直接膜形成される場合の断面構造を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure when a display discharge electrode is directly formed on a front plate in the PDP of FIG. 1;

【図3】(a) は、本発明の一実施例の黒色導電厚膜を示
す斜視図であり、(b) は(a) におけるb−b視断面を拡
大して模式的に示す図である。
FIG. 3A is a perspective view showing a black conductive thick film according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a view schematically showing an enlarged cross section taken along line bb in FIG. is there.

【図4】図3の黒色導電厚膜の形成方法を説明する工程
図である。
FIG. 4 is a process chart illustrating a method for forming the black conductive thick film of FIG. 3;

【図5】(a) 〜(c) は、図4の膜形成工程の各段階にお
ける基板の断面構造を示す図である。
5 (a) to 5 (c) are views showing the cross-sectional structure of the substrate at each stage of the film forming process of FIG.

【図6】本発明の他の実施例の黒色導電厚膜を示す斜視
図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a black conductive thick film according to another embodiment of the present invention.

【図7】図6の黒色導電厚膜の形成工程の要部を説明す
る工程図である。
FIG. 7 is a process diagram illustrating a main part of a process of forming a thick black conductive film in FIG. 6;

【図8】(a) 、(b) は、図7の膜形成工程の各段階にお
ける基板の断面構造を示す図である。
8 (a) and 8 (b) are views showing the cross-sectional structure of the substrate at each stage of the film forming process of FIG. 7;

【図9】本発明の他の実施例の黒色導電厚膜のL値とシ
ート抵抗値との関係を示すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing a relationship between an L value and a sheet resistance value of a black conductive thick film according to another embodiment of the present invention.

【図10】図9の黒色導電厚膜のL値とb値との関係を
示すグラフである。
10 is a graph showing the relationship between the L value and the b value of the black conductive thick film of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

40:黒色導電厚膜 42:基板 44:銀 46:黒色顔料 48:ガラス 40: Black conductive thick film 42: Substrate 44: Silver 46: Black pigment 48: Glass

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 祥史 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目1番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 (72)発明者 佐藤 弘充 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 (72)発明者 大田 勝行 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 Fターム(参考) 4D075 AE03 BB20Z BB46Y BB65Z CA22 DA06 DB13 DC22 EA02 EA14 EB07 EC02 EC03 EC10 EC11 EC24 EC30 EC53 EC54 4J038 BA021 EA011 HA066 HA216 HA486 KA06 KA08 KA20 NA20 5G301 DA03 DA33 DA34 DA42 DD01 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yoshifumi Hayashi No. 1-336, Noritake Shinmachi, Nishi-ku, Nagoya City, Aichi Prefecture Noritake Co., Ltd. (72) Inventor Hiromitsu Sato 150 Nakamaruko Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture East Within Kyo Chemical Industry Co., Ltd. EC24 EC30 EC53 EC54 4J038 BA021 EA011 HA066 HA216 HA486 KA06 KA08 KA20 NA20 5G301 DA03 DA33 DA34 DA42 DD01

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合剤
と、有機溶剤と、黒色顔料とを含み、黒色を呈する導電
厚膜を形成するために用いられる黒色導電ペースト組成
物であって、 前記黒色顔料は Co3O4(四酸化三コバルト)粉末から成
ることを特徴とする黒色導電ペースト組成物。
1. A black conductive paste composition comprising silver powder, glass powder, an organic binder, an organic solvent, and a black pigment, which is used to form a conductive thick film exhibiting black, A black conductive paste composition, wherein the black pigment comprises Co 3 O 4 (tricobalt tetroxide) powder.
【請求項2】 銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合剤
と、有機溶剤と、感光性組成物と、黒色顔料とを含んで
感光性を有し、露光および現像処理により黒色を呈する
導電厚膜をパターン形成するために用いられる黒色導電
ペースト組成物であって、 前記銀粉末の比表面積は0.4 乃至2.5(m2/g) であり、 前記黒色顔料は Co3O4粉末から成ることを特徴とする黒
色導電ペースト組成物。
2. A conductive film which has a photosensitivity containing silver powder, glass powder, an organic binder, an organic solvent, a photosensitive composition and a black pigment, and exhibits a black color by exposure and development treatment. A black conductive paste composition used for patterning a film, wherein the specific surface area of the silver powder is 0.4 to 2.5 (m 2 / g), and the black pigment is made of Co 3 O 4 powder. Characteristic black conductive paste composition.
【請求項3】 前記銀粉末は、球状を成すものである請
求項2の黒色導電ペースト組成物。
3. The black conductive paste composition according to claim 2, wherein the silver powder has a spherical shape.
【請求項4】 前記銀粉末は、ペースト組成物の全体に
対する割合で40乃至 80(wt%) の範囲で含まれているも
のである請求項2または3の黒色導電ペースト組成物。
4. The black conductive paste composition according to claim 2, wherein the silver powder is contained in a range of 40 to 80 (wt%) based on the whole of the paste composition.
【請求項5】 前記有機結合剤は、水溶性を有するもの
である請求項2乃至4の何れかの黒色導電ペースト。
5. The black conductive paste according to claim 2, wherein the organic binder has water solubility.
【請求項6】 前記有機結合剤は、セルロース誘導体で
ある請求項5の黒色導電ペースト。
6. The black conductive paste according to claim 5, wherein the organic binder is a cellulose derivative.
【請求項7】 前記セルロース誘導体は、ヒドロキシメ
チルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロ
キシプロピルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセ
ルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエ
チルセルロース、カルボキシエチルメチルセルロース、
およびこれらの塩類の一種乃至複数種類から成るもので
ある請求項6の黒色導電ペースト。
7. The cellulose derivative may be hydroxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, carboxyethylcellulose, carboxyethylmethylcellulose,
7. The black conductive paste according to claim 6, comprising one or more of these salts.
【請求項8】 前記黒色顔料の比表面積は、1 乃至20(m
2/g)である請求項1乃至7の何れかの黒色導電ペースト
組成物。
8. The specific surface area of the black pigment is 1 to 20 (m
2 / g), the black conductive paste composition according to any one of claims 1 to 7.
【請求項9】 前記黒色顔料は、ペースト組成物の全体
に対する割合で0.5 乃至20(wt%) の範囲で含まれてい
るものである請求項1乃至8の何れかの黒色導電ペース
ト組成物。
9. The black conductive paste composition according to claim 1, wherein the black pigment is contained in a range of 0.5 to 20 (wt%) based on the whole of the paste composition.
【請求項10】 所定の基板上に所定パターンで設けら
れ、銀および黒色顔料がガラスで結合されて成る黒色導
電厚膜であって、 前記黒色顔料が、Co3O4 から成ることを特徴とする黒色
導電厚膜。
10. A black conductive thick film provided on a predetermined substrate in a predetermined pattern, wherein silver and a black pigment are bonded by glass, wherein the black pigment is made of Co 3 O 4. Black conductive thick film.
【請求項11】 前記黒色導電厚膜は、所定の一面側か
ら観察される透光性基板の該一面とは反対側の他面上に
設けられて前記黒色顔料を含む黒色導電層と、該黒色導
電層よりも高い明度および高い導電性を有してその上側
に積層して備えられた高明度高導電層とを含むものであ
る請求項10の黒色導電厚膜。
11. The black conductive thick film, the black conductive layer including the black pigment provided on the other surface of the light-transmitting substrate which is observed from a predetermined one surface side and opposite to the one surface, and The black conductive thick film according to claim 10, further comprising a high-brightness high-conductive layer provided on the upper side of the black conductive layer having higher brightness and higher conductivity than the black conductive layer.
【請求項12】 前記黒色導電厚膜は、光硬化性化合物
を含む導電ペーストを用いて露光および現像によりパタ
ーン形成されたものである請求項10または11の黒色
導電厚膜。
12. The black conductive thick film according to claim 10, wherein the black conductive thick film is formed by exposure and development using a conductive paste containing a photocurable compound.
【請求項13】 前記黒色顔料の比表面積は、1 乃至20
(m2/g)である請求項10乃至12の何れかの黒色導電厚
膜。
13. The black pigment has a specific surface area of 1 to 20.
13. The black conductive thick film according to claim 10, wherein the thickness is (m 2 / g).
【請求項14】 前記黒色顔料は、前記黒色導電厚膜の
全体に対する割合で0.5乃至 20(wt%) の範囲で含まれ
ているものである請求項10乃至13の何れかの黒色導
電厚膜。
14. The black conductive thick film according to claim 10, wherein the black pigment is contained in the range of 0.5 to 20 (wt%) with respect to the entire black conductive thick film. .
【請求項15】 所定の一面側から観察される透光性基
板の該一面とは反対側の他面上に所定パターンで黒色導
電厚膜を形成する方法であって、 前記透光性基板の他面に前記請求項1乃至9の何れかの
黒色導電ペースト組成物を塗布して黒色導電ペースト膜
を形成する黒色ペースト膜形成工程と、 前記黒色導電ペースト膜から生成されるものよりも明度
が高く且つ導電性の高い膜を生成するための高明度高導
電ペースト組成物を、該黒色導電ペースト膜上に塗布し
て高明度高導電ペースト膜を積層形成することにより、
所定厚さの導電ペースト膜を形成する高明度ペースト膜
形成工程と、 該導電ペースト膜を焼成して所定パターンの黒色導電厚
膜を生成する焼成工程とを、含むことを特徴とする黒色
導電厚膜の形成方法。
15. A method of forming a black conductive thick film in a predetermined pattern on the other surface of the light-transmitting substrate, which is observed from the predetermined one surface side, on the other surface opposite to the one surface, the method comprising: A black paste film forming step of forming a black conductive paste film by applying the black conductive paste composition according to any one of claims 1 to 9 to the other surface, wherein the brightness is higher than that generated from the black conductive paste film. By applying a high-brightness high-conductivity paste composition for producing a high and high-conductivity film on the black conductive paste film to form a high-brightness high-conductivity paste film,
A step of forming a high-brightness paste film forming a conductive paste film having a predetermined thickness; and a step of firing the conductive paste film to generate a black conductive thick film having a predetermined pattern. Method of forming a film.
【請求項16】 前記黒色導電ペースト組成物は、前記
請求項2乃至9に記載される感光性を有する黒色導電ペ
ースト組成物であり、前記高明度ペースト膜形成工程の
後に前記焼成工程に先立って実施される下記の2工程、 所定の開口パターンの遮蔽膜を介して前記導電ペースト
膜を選択的に露光する露光工程と、 該露光工程の後に前記導電ペースト膜のうちの非硬化部
分を所定の現像液で洗浄除去する現像工程とを、含むこ
とを特徴とする請求項15の黒色導電厚膜の形成方法。
16. The black conductive paste composition according to claim 2, wherein the black conductive paste composition has the photosensitivity, and the black conductive paste composition has a high brightness paste film forming step and a high brightness paste film forming step. The following two steps to be performed, an exposure step of selectively exposing the conductive paste film through a shielding film having a predetermined opening pattern, and a non-cured portion of the conductive paste film after the exposure step is subjected to a predetermined process. The method for forming a thick black conductive film according to claim 15, further comprising a developing step of washing away with a developing solution.
【請求項17】 前記高明度高導電ペースト組成物は、
ペースト組成物の全体に対する割合で50乃至 90(wt%)
の範囲で銀粉末を含むものである請求項15または16
の黒色導電厚膜の形成方法。
17. The high-brightness, high-conductivity paste composition,
50 to 90 (wt%) based on the total paste composition
17. A silver powder containing silver powder in the range described above.
The method for forming a black conductive thick film according to (1).
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