JP2006344590A - Photosensitive black conductive paste composition for display electrode formation, as well as black conductive thick film for display electrode, and its forming method - Google Patents

Photosensitive black conductive paste composition for display electrode formation, as well as black conductive thick film for display electrode, and its forming method Download PDF

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Shinji Senda
愼嗣 仙田
Yoshifumi Hayashi
祥史 林
Hiromitsu Sato
弘充 佐藤
Katsuyuki Ota
勝行 大田
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Noritake Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive black conductive paste for display electrode formation for forming a black conductive thick film having high conductivity, low lightness, and low yellowness, and provide the black conductive thick film for the display electrode formation, and provide a forming method of the black conductive thick film for the display electrode. <P>SOLUTION: In the photosensitive black conductive paste for forming the black conductive thick film 40, silver powder contained as a conductive component is so fine as to have a specific surface area of around 1.0 or 2.0 (m<SP>2</SP>/g), and a black pigment 46 has high photosensitivity, and consequently high resolution because it 46 is constituted of Co<SB>3</SB>O<SB>4</SB>powder in which a specific surface area is within a range of around 3 to 13 (m<SP>2</SP>/g). The black conductive thick film which has sufficiently high conductivity and sufficiently low lightness and yellowness is obtained because the black conductive thick film 40 formed from that photosensitive black conductive paste is constituted by bonding sliver 44 to the black pigment 46 composed of Co<SB>3</SB>O<SB>4</SB>by using glass 48. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物、ディスプレイ電極用黒色導電厚膜、およびその形成方法に関する。   The present invention relates to a photosensitive black conductive paste composition for forming display electrodes, a black conductive thick film for display electrodes, and a method for forming the same.

例えば、一対の平行平板間に形成された気密空間内に一方向およびそれと直交する他方向に沿ってマトリクス状に設けられた複数の発光区画と、それら複数の発光区画内で選択的に放電を発生させるためにその発光区画毎に一対が位置するように設けられた複数対の放電電極とを備え、その放電を利用して発光させることにより、文字、記号、図形等の所望の画像を表示する形式の放電表示装置が知られている。例えば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオンオレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させられた蛍光体の発光を利用するプラズマ・ディスプレイ・パネル(以下、PDPという)等がそれである。このようなPDPは、薄型且つ大表示面とすることが比較的容易であると共に、ブラウン管並の広い視野角および早い応答速度が得られるため、ブラウン管に代わる画像表示装置として考えられており、特に、例えば赤(RED)、緑(GREEN)、青(BULE)の三色の蛍光体を設けた3乃至4つの発光区画から一画素を構成して多色表示を可能とすることにより、壁掛けテレビ等の薄型フルカラー表示装置を実現し得るものとして期待されている。   For example, in a hermetic space formed between a pair of parallel flat plates, a plurality of light emitting sections provided in a matrix along one direction and another direction orthogonal thereto, and discharge is selectively performed in the plurality of light emitting sections. A plurality of pairs of discharge electrodes are provided so that a pair is positioned for each light emitting section to generate light, and a desired image such as a character, symbol, figure or the like is displayed by emitting light using the discharge. There are known discharge display devices of the type. For example, the light emission of neon orange or the like accompanying the generation of plasma generated by gas discharge is directly used, or the light emission of the phosphor excited by the ultraviolet light generated by the plasma is provided in the light emitting section. For example, a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP). Such a PDP is considered to be an image display device that replaces a cathode ray tube because it is relatively easy to make a thin and large display surface and has a wide viewing angle and a fast response speed comparable to those of a cathode ray tube. For example, a wall-mounted television is made possible by constructing one pixel from three to four light emitting sections provided with three color phosphors of red (RED), green (GREEN), and blue (BULE) to enable multicolor display. Such a thin full-color display device is expected to be realized.

図1(a)、(b)は、上記のPDPの一例であって、例えば特許文献1等に記載された3電極構造のAC型面放電PDP8の構成を示す図である。図において、互いに平行に位置させられた前面板10および背面板12の間に形成された気密空間内に、一方向に沿って長手状の隔壁14によって区画形成されて長手方向にそれぞれ複数の発光区画を含む複数の放電空間16が設けられると共に、背面板12上にその一方向に沿ってその隔壁14の間を通る複数本の書込電極18がオーバ・コート32に覆われて設けられる一方、前面板10上にその一方向と直交する他方向に沿って、硼珪酸ガラス等の低軟化点ガラスから成る誘電体層20および酸化マグネシウム(MgO)等から成る保護膜22で覆われた複数対の表示放電電極(維持電極)24a、24bが設けられ、上記背面板12の内面および隔壁14の表面には、各放電空間16毎に塗り分けられた蛍光体層26が設けられている。なお、図においては、表示放電電極24が、面放電を広範囲で発生させ且つ前面板10を通して射出される表示光の遮光を可及的に少なくするため、薄膜プロセス等で形成されたITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウム錫)やATO(Antimon Tin Oxide:酸化アンチモン錫)等から成る透明電極28と、その導電性を補うために各対毎に幅方向の外側端部位置においてその透明電極28上に設けられた薄膜導体或いは厚膜導体から成るバス電極30とから構成されている。なお、図において34は、書込電極18が厚膜銀で、背面板12がソーダ・ライム・ガラスで構成される場合等に両者の反応を抑制するためのアンダ・コートである。
特開平3−78936号公報
FIGS. 1A and 1B are examples of the above-described PDP, and are diagrams showing a configuration of an AC type surface discharge PDP 8 having a three-electrode structure described in Patent Document 1, for example. In the figure, in a hermetic space formed between a front plate 10 and a back plate 12 positioned in parallel to each other, a plurality of light emitting elements are formed in the longitudinal direction by being partitioned by a longitudinal partition 14 along one direction. While a plurality of discharge spaces 16 including partitions are provided, a plurality of write electrodes 18 passing between the barrier ribs 14 along one direction on the back plate 12 are provided so as to be covered with an overcoat 32. On the front plate 10, a plurality of dielectric layers 20 made of a low softening point glass such as borosilicate glass and a protective film 22 made of magnesium oxide (MgO) along the other direction orthogonal to the one direction. A pair of display discharge electrodes (sustain electrodes) 24 a and 24 b are provided, and phosphor layers 26 are provided separately for each discharge space 16 on the inner surface of the back plate 12 and the surface of the barrier ribs 14. In the figure, the display discharge electrode 24 generates surface discharge over a wide range and minimizes the shielding of the display light emitted through the front plate 10, so that ITO (Indium) formed by a thin film process or the like is used. A transparent electrode 28 made of Tin Oxide (indium tin oxide), ATO (Antimon Tin Oxide: antimony tin oxide) or the like, and on the transparent electrode 28 at the outer end position in the width direction for each pair in order to supplement the conductivity. And a bus electrode 30 formed of a thin film conductor or a thick film conductor. In the figure, reference numeral 34 denotes an undercoat for suppressing the reaction between the write electrode 18 and the back plate 12 made of soda, lime and glass.
JP-A-3-78936

ところで、上記のバス電極30には、透明電極28の導電性を補う目的で補助的に用いられ或いは単独で用いられる何れの場合においても、自身の長手方向における電圧降下を可及的に少なくするために低抵抗であることが求められる一方で、低反射率であることも同時に望まれる。上記のように構成されたPDP8においては、バス電極30が備えられる前面板10の内面36とは反対側の表面38側においてその前面板10を透過した光が観視されることから、その表面38における外光の反射を抑制して表示の高いコントラストを得るためである。そのため、薄膜形成する場合においては、例えば、前面板10上(正確には透明電極28上)に黒色のCr(クロム)層を形成した後、その上にAl(アルミニウム)やCu(銅)等の高導電率の金属層が設けられる。また、厚膜形成する場合には、Ag-Pd(銀−パラジウム)ペースト、Ag-Cu(銀−銅)合金化ペースト、或いはAg(銀)ペースト中に、RuO2(酸化ルテニウム)或いはFe-Cr-Mn(鉄−クロム−マンガン)系顔料やCu-Cr-Mn(銅−クロム−マンガン)系顔料に代表されるパイロクロア型酸化物を黒色顔料として添加した黒色導電ペーストを厚膜スクリーン印刷法等を利用して前面板10上に塗布する。これら薄膜法および厚膜法の何れによってもバス電極30の形成は可能であるが、製造コストの面では厚膜法が有利である。なお、上記の黒色顔料は、厚膜導体の反射率すなわち明度を低下させるために添加されている。ここで、「明度」とは、物体表面の反射率の大小の尺度であって色の明るさを意味し、例えば理想的な黒、白をそれぞれ0、100として数値化されたL値で表示される。 By the way, in any case where the bus electrode 30 is supplementarily used for the purpose of supplementing the conductivity of the transparent electrode 28 or used alone, the voltage drop in the longitudinal direction of the bus electrode 30 is minimized. Therefore, while low resistance is required, low reflectivity is also desired at the same time. In the PDP 8 configured as described above, light transmitted through the front plate 10 is viewed on the surface 38 side opposite to the inner surface 36 of the front plate 10 on which the bus electrode 30 is provided. This is because the reflection of external light at 38 is suppressed and a high display contrast is obtained. Therefore, when forming a thin film, for example, after forming a black Cr (chromium) layer on the front plate 10 (precisely on the transparent electrode 28), Al (aluminum), Cu (copper), etc. A highly conductive metal layer is provided. In the case of forming a thick film, RuO 2 (ruthenium oxide) or Fe— in Ag—Pd (silver-palladium) paste, Ag—Cu (silver-copper) alloyed paste, or Ag (silver) paste. Thick film screen printing method using black conductive paste containing pyrochlore oxide typified by Cr-Mn (iron-chromium-manganese) pigment and Cu-Cr-Mn (copper-chromium-manganese) pigment as black pigment Etc. are applied on the front plate 10 by using the above. The bus electrode 30 can be formed by either the thin film method or the thick film method, but the thick film method is advantageous in terms of manufacturing cost. In addition, said black pigment is added in order to reduce the reflectance, ie, brightness, of a thick film conductor. Here, “brightness” is a measure of the reflectance of the object surface and means the brightness of the color. For example, ideal black and white are displayed as L values that are digitized as 0 and 100, respectively. Is done.

しかしながら、上記のような黒色顔料は導電性が低いことから、十分に明度が低くなる程度まで添加すると厚膜導体の抵抗値を著しく増大させる。そのため、バス電極30(表示放電電極24)に要求される高い導電性を満足できる程度の少ない量に黒色顔料の添加量が制限されることから、バス電極30の明度が比較的高くなって、PDP8の表示の高いコントラストが得られないという問題があった。このことは、本来的に高抵抗である合金化ペーストにおいて特に問題となる。一方、上記の厚膜導体のうちAgペーストから生成されるものは比較的低抵抗であることから、多量の黒色顔料を添加して比較的高い導電性を維持しながら明度を比較的低くすることができる。しかしながら、この場合においても得られる明度は十分とは言い難く、しかも、例えば図2に示されるように表示放電電極対24a、24bの一方或いは両方(図においては一方)が前面板10上に直接膜形成されたバス電極30だけから構成される場合には、Agがその前面板10内に拡散して黄変させるため、黄色度が高くなってコントラストの低下が生じ得るという問題がある。この黄変は、黒色顔料の添加量が多いほど抑制できることが知られているが、高い導電性を維持しながら明度および黄色度を低くすることが望まれる厚膜導体においては、上記の許容添加量の範囲では十分に黄変を抑制できない。なお、前記の黒色顔料のうちRuO2の微粉[例えば比表面積が35(m2/g)程度のもの]は上記の各特性が比較的優れているが、高価である上に微粉であることから取扱いが困難でもある。因みに、図1に示される構造では表示放電電極24が透明電極28およびその上に形成されたバス電極30で構成されているが、透明電極28による透光性の低下を抑制して一層高い輝度を得るために表示放電電極24a、24bの少なくとも一方を比較的細幅のバス電極30だけで構成することが望まれており、そのようにしても放電特性上は特に支障はないことが確かめられている。 However, since the black pigment as described above has low conductivity, the resistance value of the thick film conductor is remarkably increased when it is added to such an extent that the brightness is sufficiently low. Therefore, since the addition amount of the black pigment is limited to a small amount that can satisfy the high conductivity required for the bus electrode 30 (display discharge electrode 24), the brightness of the bus electrode 30 becomes relatively high, There was a problem that a high contrast of the display of the PDP 8 could not be obtained. This is particularly a problem with alloyed pastes that are inherently high in resistance. On the other hand, among the above thick film conductors, those produced from Ag paste have a relatively low resistance, so a large amount of black pigment is added to maintain a relatively high conductivity while maintaining a relatively low brightness. Can do. However, it is difficult to say that the brightness obtained in this case is sufficient, and for example, as shown in FIG. 2, one or both of the display discharge electrode pairs 24a and 24b (one in the figure) are directly on the front plate 10. In the case where only the bus electrode 30 formed with a film is formed, since Ag diffuses into the front plate 10 and yellows, there is a problem that the yellowness increases and the contrast may decrease. It is known that this yellowing can be suppressed as the amount of black pigment added increases. However, for thick film conductors where it is desired to reduce the brightness and yellowness while maintaining high conductivity, the above-mentioned allowable addition Yellowing cannot be sufficiently suppressed within the range of the amount. Of the above black pigments, RuO 2 fine powder [for example, having a specific surface area of about 35 (m 2 / g)] is relatively excellent in each of the above characteristics, but is expensive and fine. It is difficult to handle. Incidentally, in the structure shown in FIG. 1, the display discharge electrode 24 is composed of the transparent electrode 28 and the bus electrode 30 formed thereon. However, a lower luminance is suppressed by suppressing the translucency due to the transparent electrode 28. Therefore, it is desired that at least one of the display discharge electrodes 24a and 24b is constituted only by the relatively narrow bus electrode 30, and even if so, it is confirmed that there is no problem in terms of discharge characteristics. ing.

なお、上記のような黒色導電ペーストを用いてバス電極30を前面板10上に形成する方法の一つとして、フォト・リソグラフィ法を利用する方法がある。この方法では、例えば、前面板10の内面36上の全面に感光性導電ペーストを塗布して乾燥することにより所定厚みのペースト膜を形成し、所定パターンのマスクを介して露光してペースト膜を選択的に硬化させた後、現像液で未露光部分を洗浄除去し、更に焼成することによって厚膜導体が形成される。そのため、スクリーンの歪みに起因するパターンずれが生じ得る厚膜スクリーン印刷法等のような直接印刷法に比較して、大面積且つ高精細なパターン形成が容易である。しかしながら、この導体形成方法では、上記のようにペースト膜を選択的に感光して硬化等させる必要がある。そのため、厚膜導体の明度を低くする目的でペースト中に黒色顔料を多量に混和すると、露光する際に照射される光がペースト膜の内部に十分に届かなくなって解像性が低下することから、厚膜スクリーン印刷法を用いる場合よりも更に混和可能な黒色顔料の量が少なく制限されて、一層明度の高い厚膜導体しか得られないという問題がある。すなわち、このようにフォト・リソグラフィ法により形成される厚膜導体においても、高い解像性を維持しつつ明度、黄色度、および抵抗値を一層低くすることが望まれていた。ここで、「解像性」とは、相異なる2点を識別し得る最小距離の小ささの程度を表すものである。なお、以上の問題は、導電性が高く且つ低い明度および黄色度を要求される厚膜導体であれば、PDPのバス電極に限られず、PDPにおいて前面板上に備えられる他の電極や、PDP以外のディスプレイの電極等にも同様に生じ得る。   As one method for forming the bus electrode 30 on the front plate 10 using the black conductive paste as described above, there is a method using a photolithography method. In this method, for example, a photosensitive conductive paste is applied to the entire inner surface 36 of the front plate 10 and dried to form a paste film having a predetermined thickness, and the paste film is exposed by exposure through a mask having a predetermined pattern. After being selectively cured, the unexposed portion is washed away with a developer and further baked to form a thick film conductor. Therefore, it is easy to form a large-area and high-definition pattern compared to a direct printing method such as a thick film screen printing method that can cause a pattern shift due to screen distortion. However, in this conductor forming method, it is necessary to selectively sensitize and cure the paste film as described above. Therefore, if a large amount of black pigment is mixed in the paste for the purpose of reducing the lightness of the thick film conductor, the light irradiated during exposure will not reach the inside of the paste film and resolution will be reduced. However, there is a problem in that only a thick film conductor having higher brightness can be obtained because the amount of the black pigment that can be mixed is limited to be smaller than when the thick film screen printing method is used. That is, even in the thick film conductor formed by the photolithography method in this way, it has been desired to further reduce the brightness, yellowness, and resistance value while maintaining high resolution. Here, the “resolution” represents the degree of the minimum distance at which two different points can be identified. The above problem is not limited to the PDP bus electrode, as long as it is a thick film conductor that has high conductivity and low lightness and yellowness, and other electrodes provided on the front plate in the PDP, It can occur in the same manner for other display electrodes.

本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を形成するためのディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト、ディスプレイ電極用黒色導電厚膜、およびディスプレイ電極用黒色導電厚膜の形成方法を提供することにある。   The present invention has been made in the background of the above circumstances, and its purpose is to form a photosensitive black conductive film for forming a display electrode for forming a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and low yellowness. The object is to provide a paste, a black conductive thick film for display electrodes, and a method for forming a black conductive thick film for display electrodes.

斯かる目的を達成するための第1発明の要旨とするところは、銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合剤と、有機溶剤と、感光性組成物と、黒色顔料とを含んで感光性を有し、露光および現像処理により、ディスプレイの電極として機能する黒色を呈する導電厚膜を形成するために用いられるディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物であって、(a)前記黒色顔料は比表面積が1乃至20(m2/g)の範囲内のCo3O4(四酸化三コバルト)粉末から成ることにある。 The gist of the first invention for achieving such an object is to include a silver powder, a glass powder, an organic binder, an organic solvent, a photosensitive composition, and a black pigment. A photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode, which is used to form a thick conductive black film that functions as a display electrode by exposure and development, and (a) the black pigment is It consists of a Co 3 O 4 (tricobalt tetroxide) powder having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g).

また、前記目的を達成するための第2発明の要旨とするところは、所定の基板上に所定パターンで設けられ、銀および黒色顔料がガラスで結合されて成る、ディスプレイ電極用黒色導電厚膜であって、(a)前記黒色顔料は比表面積が1乃至20(m2/g)の範囲内のCo3O4から成るものであり、(b)光硬化性化合物を含む感光性導電ペーストを用いて露光および現像によりパターン形成されたものであることにある。 Further, the gist of the second invention for achieving the above object is a black conductive thick film for a display electrode, which is provided in a predetermined pattern on a predetermined substrate and formed by combining silver and a black pigment with glass. And (a) the black pigment is made of Co 3 O 4 having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g), and (b) a photosensitive conductive paste containing a photocurable compound. The pattern is formed by exposure and development.

また、前記の目的を達成するための第3発明の要旨とするところは、所定の一面側から観察される透光性基板の該一面とは反対側の他面上にディスプレイの電極として機能するディスプレイ電極用黒色導電厚膜を所定パターンで形成する方法であって、(a)前記透光性基板の他面に前記請求項1乃至3の何れかのディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を塗布して感光性黒色導電ペースト膜を形成する感光性黒色ペースト膜形成工程と、(b)前記感光性黒色導電ペースト膜から生成されるものよりも明度が高く且つ導電性の高い膜を生成するための感光性高明度高導電ペースト組成物を、該感光性黒色導電ペースト膜上に塗布して感光性高明度高導電ペースト膜を積層形成することにより、所定厚さの感光性導電ペースト膜を形成する感光性高明度ペースト膜形成工程と、(c)所定の開口パターンの遮蔽膜を介して前記感光性導電ペースト膜を選択的に露光する露光工程と、(d)該露光工程の後に前記感光性導電ペースト膜のうちの非硬化部分を所定の現像液で洗浄除去する現像工程と、(e)前記感光性導電ペースト膜を焼成して所定パターンの黒色導電厚膜を生成する焼成工程とを、含むことにある。   Further, the gist of the third invention for achieving the above object is to function as an electrode of a display on the other surface opposite to the one surface of the translucent substrate observed from a predetermined one surface side. A method of forming a black conductive thick film for a display electrode in a predetermined pattern, comprising: (a) a photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode according to any one of claims 1 to 3 on the other surface of the translucent substrate. A photosensitive black paste film forming step of forming a photosensitive black conductive paste film by applying an object, and (b) a film having higher brightness and higher conductivity than that produced from the photosensitive black conductive paste film. A photosensitive conductive paste having a predetermined thickness is formed by applying a photosensitive high brightness high conductive paste composition on the photosensitive black conductive paste film to form a photosensitive high brightness high conductive paste film. Shape the membrane A photosensitive high-lightness paste film forming step to be formed; (c) an exposure step of selectively exposing the photosensitive conductive paste film through a shielding film having a predetermined opening pattern; and (d) the exposure step after the exposure step. A development step of washing and removing a non-cured portion of the photosensitive conductive paste film with a predetermined developer; and (e) a baking step of baking the photosensitive conductive paste film to generate a black conductive thick film of a predetermined pattern; Is to include.

前記第1発明によれば、ディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物には黒色顔料として比表面積が1〜20(m2/g)のCo3O4粉末が含まれることから、高い感光性延いては高い解像性を有すると共に、このペースト組成物から形成される黒色導電厚膜には銀とCo3O4から成る黒色顔料とがガラスで結合されて構成されるため、導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分に低い黒色導電厚膜が得られる。すなわち、前述のように導電ペーストに黒色顔料を添加すると、そのペーストから生成される導電厚膜の明度および黄色度が低下させられる一方で導電厚膜の抵抗値が上昇させられると共に感光性延いては解像性が低下させられる。この場合において、その作用は明らかではないが、本発明者等が種々の顔料についてこれらの特性を評価した結果によれば、Co3O4粉末を黒色顔料として添加すると、他の黒色顔料に比較して明度および黄色度の低下が著しく大きく、しかも、抵抗値の上昇および解像性の低下が抑制される。また、黒色顔料の比表面積が黒色導電厚膜の導電性が十分に高く保たれ且つ解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。なお、1(m2/g)未満では明度の低下が不十分であり、反対に20(m2/g)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。上記により、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を形成することが可能なディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を得ることができる。なお、上記比表面積の範囲は、一層好適には、2〜15(m2/g)である。 According to the first invention, the photosensitive black conductive paste composition for forming display electrodes contains Co 3 O 4 powder having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g) as a black pigment. In addition to having high resolution, the black conductive thick film formed from this paste composition is composed of silver and a black pigment composed of Co 3 O 4 combined with glass. Is obtained, and a black conductive thick film having sufficiently high brightness and yellowness is obtained. That is, when a black pigment is added to the conductive paste as described above, the lightness and yellowness of the conductive thick film generated from the paste are reduced, while the resistance value of the conductive thick film is increased and the photosensitivity is increased. The resolution is lowered. In this case, the effect is not clear, but according to the results of the inventors' evaluation of these properties for various pigments, when Co 3 O 4 powder was added as a black pigment, it was compared with other black pigments. Accordingly, the decrease in brightness and yellowness is remarkably large, and the increase in resistance value and the decrease in resolution are suppressed. In addition, since the specific surface area of the black pigment is sufficiently large as long as the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and the resolution is also kept sufficiently high, a black color can be obtained satisfactorily. As a result, the brightness is sufficiently reduced. In addition, if it is less than 1 (m 2 / g), the lightness is not sufficiently lowered. On the other hand, if it exceeds 20 (m 2 / g), the resistance value is increased and the resolution is remarkably lowered. By the above, the photosensitive black electrically conductive paste composition for display electrode formation which can form black electroconductive thick film with high electroconductivity and low brightness and yellowness can be obtained. The range of the specific surface area is more preferably 2 to 15 (m 2 / g).

また、前記第2発明によれば、黒色導電厚膜は、黒色顔料が比表面積が1〜20(m2/g)のCo3O4で構成されると共に、光硬化性化合物を含む導電ペーストを用いて露光および現像によりパターン形成されたものである。そのため、前記第1発明の効果で説明したように、Co3O4は他の黒色顔料に比較して黒色導電厚膜の明度および黄色度を低下させる作用が大きく、また、その抵抗値をそれほど上昇させない。しかも、露光および現像により所謂フォト・リソグラフィ法で黒色導電厚膜がパターン形成される際に、露光および現像時の解像性を大きく低下させることもない。また、黒色顔料の比表面積が黒色導電厚膜の導電性が十分に高く保たれ且つ解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。なお、1(m2/g)未満では明度の低下が不十分であり、反対に20(m2/g)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しいのである。上記により、導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分に低いディスプレイ電極用黒色導電厚膜が得られる。なお、上記比表面積の範囲は、一層好適には、2〜15(m2/g)である。 According to the second aspect of the invention, the black conductive thick film is composed of Co 3 O 4 having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g), and a conductive paste containing a photocurable compound. A pattern is formed by exposure and development using Therefore, as explained in the effect of the first invention, Co 3 O 4 has a large effect of lowering the brightness and yellowness of the black conductive thick film as compared with other black pigments, and its resistance value is reduced so much. Do not raise. In addition, when the black conductive thick film is patterned by the so-called photolithography method by exposure and development, the resolution at the time of exposure and development is not greatly reduced. In addition, since the specific surface area of the black pigment is sufficiently large as long as the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and the resolution is also kept sufficiently high, a black color can be obtained satisfactorily. As a result, the brightness is sufficiently reduced. In addition, if it is less than 1 (m 2 / g), the lightness is not sufficiently lowered. On the other hand, if it exceeds 20 (m 2 / g), the resistance value is increased and the resolution is significantly lowered. With the above, a black conductive thick film for display electrodes having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness can be obtained. The range of the specific surface area is more preferably 2 to 15 (m 2 / g).

また、前記第3発明によれば、黒色導電厚膜を形成するに際しては、黒色ペースト膜形成工程において、透光性基板の他面に前記第1発明の何れかのディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を塗布して感光性黒色導電ペースト膜が形成され、感光性高明度ペースト膜形成工程において、その感光性黒色導電ペースト膜から生成されるものよりも明度が高く且つ導電性の高い膜を形成するための感光性高明度高導電ペースト組成物を、その感光性黒色導電ペースト膜上に塗布して感光性高明度高導電ペースト膜を積層形成することにより、所定厚さの感光性導電ペースト膜が形成され、露光工程において、所定の開口パターンの遮蔽膜を介して前記感光性導電ペースト膜が選択的に露光され、その露光工程の後に、現像工程において、その感光性導電ペースト膜のうちの非硬化部分が所定の現像液で洗浄除去され、更に、焼成工程において、その感光性導電ペースト膜を焼成して所定パターンの黒色導電厚膜が生成される。そのため、ディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を用いて、所謂フォト・リソグラフィ法によって黒色導電厚膜がパターン形成されることから、厚膜スクリーン印刷法でパターン形成する場合よりも容易に高精度のパターンが得られる。また、黒色導電厚膜は、感光性黒色導電ペースト膜から生成された黒色導電層と、感光性高明度高導電ペースト膜から生成された高明度高導電層とが積層されて構成されることから、全体の導電性は、高明度高導電層によって十分に高められる。一方、観視側となる透光性基板の一面側においては、それら積層された二種の導電層のうちの黒色導電層がその透光性基板を介して観察されることから、黒色導電厚膜の色調は実質的に黒色導電層によって決定される。このとき、黒色導電厚膜の導電性は高明度高導電層で確保されることから黒色導電層の導電性が比較的低くなっても差し支えない。しかも、高明度高導電ペースト膜は黒色顔料を含む黒色ペースト膜よりも露光が容易であるから、全体が黒色ペースト膜から生成される場合に比較して、黒色ペースト膜が露光し難くされていても導電ペースト膜全体として十分な露光性を確保できる。したがって、黒色ペースト膜に含まれる黒色顔料の量を十分に多くして黒色導電層延いては黒色導電厚膜の明度および黄色度を十分に低くできる。上記により、解像性を高く保ちながら、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を形成することができる。   According to the third aspect of the invention, when forming the black conductive thick film, in the black paste film forming step, the photosensitive black for display electrode formation according to any one of the first aspect of the invention is formed on the other surface of the translucent substrate. The conductive paste composition is applied to form a photosensitive black conductive paste film, and in the photosensitive high-lightness paste film forming step, the lightness is higher and the conductivity is higher than that produced from the photosensitive black conductive paste film A photosensitive high brightness high conductive paste composition for forming a film is applied on the photosensitive black conductive paste film, and a photosensitive high brightness high conductive paste film is laminated to form a photosensitive film having a predetermined thickness. A conductive paste film is formed, and in the exposure process, the photosensitive conductive paste film is selectively exposed through a shielding film having a predetermined opening pattern, and after the exposure process, in the development process. Then, the non-cured portion of the photosensitive conductive paste film is washed and removed with a predetermined developer, and further, in the baking process, the photosensitive conductive paste film is baked to generate a black conductive thick film with a predetermined pattern. The Therefore, the black conductive thick film is patterned by the so-called photolithographic method using the photosensitive black conductive paste composition for forming the display electrode, so that it is easier than the pattern forming by the thick film screen printing method. An accurate pattern is obtained. Also, the black conductive thick film is formed by laminating a black conductive layer generated from the photosensitive black conductive paste film and a high brightness high conductive layer generated from the photosensitive high brightness high conductive paste film. The overall conductivity is sufficiently enhanced by the high brightness and high conductivity layer. On the other hand, since the black conductive layer of the two types of laminated conductive layers is observed through the light transmissive substrate on one surface side of the light transmissive substrate on the viewing side, the black conductive thickness The color tone of the film is substantially determined by the black conductive layer. At this time, since the conductivity of the black conductive thick film is ensured by the high brightness and high conductivity layer, the conductivity of the black conductive layer may be relatively low. Moreover, since the high-lightness and high-conductivity paste film is easier to expose than the black paste film containing the black pigment, the black paste film is harder to be exposed than when the whole is produced from the black paste film. In addition, sufficient exposure can be ensured for the entire conductive paste film. Therefore, it is possible to sufficiently reduce the brightness and yellowness of the black conductive thick film by extending the black conductive layer by sufficiently increasing the amount of the black pigment contained in the black paste film. As described above, a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and yellowness can be formed while maintaining high resolution.

ここで、好適には、前記銀粉末の比表面積は0.4〜2.5(m2/g)である。このようにすれば、感光性のディスプレイ電極形成用黒色導電ペースト組成物は、導電性成分として含まれる銀粉末の比表面積が0.4〜2.5(m2/g)と微細であると共に、黒色顔料がCo3O4粉末であることから、高い感光性延いては高い解像性を有すると共に、その感光性のディスプレイ電極形成用黒色導電ペースト組成物から形成される黒色導電厚膜には銀とCo3O4から成る黒色顔料とがガラスで結合されて構成されるため、導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分に低い黒色導電厚膜が得られる。なお、銀粉末の比表面積が0.4(m2/g)未満では、焼成時に連続膜が形成され難くなり、一方、2.5(m2/g)を越えるとペースト化が困難になると共にペースト膜中において銀粉末を保持するために必要な有機結合剤が多くなることから焼成後の導電厚膜の膜厚が薄くなるため、何れの場合にも抵抗値が上昇する。また、2.5(m2/g)を越えると露光も困難になり、解像性が低下する。また、一層好適には、銀粉末の比表面積の範囲は0.8〜2.0(m2/g)である。 Here, preferably, the specific surface area of the silver powder is 0.4 to 2.5 (m 2 / g). In this way, the photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode has a fine specific surface area of 0.4 to 2.5 (m 2 / g) of silver powder contained as a conductive component and a black pigment. Since it is Co 3 O 4 powder, it has high photosensitivity and high resolution, and the black conductive thick film formed from the photosensitive black conductive paste composition for forming display electrodes has silver and Co. Since the black pigment composed of 3 O 4 is combined with glass, a black conductive thick film having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness can be obtained. If the specific surface area of the silver powder is less than 0.4 (m 2 / g), it becomes difficult to form a continuous film during firing, while if it exceeds 2.5 (m 2 / g), it becomes difficult to form a paste and the paste film contains In this case, since the organic binder necessary for holding the silver powder increases, the thickness of the conductive thick film after firing becomes thin, so that the resistance value increases in any case. On the other hand, if it exceeds 2.5 (m 2 / g), exposure becomes difficult and the resolution deteriorates. More preferably, the range of the specific surface area of the silver powder is 0.8 to 2.0 (m 2 / g).

また、好適には、前記銀粉末は、球状を成すものである。このようにすれば、同様な粒子径で比較した場合において、球状粒子は比表面積が小さく、表面積当たりの粒径が大きいことから、ペースト膜を形成するために必要な有機結合剤の量を少なくして導電性を高めることができる。しかも、球状粒子は板状、凹凸の多い不定形状に比較して照射された光のペースト膜内部における散乱を生じさせ難いため、解像性も高められる。したがって、一層高い解像性を保ちながら、一層高い導電性を有する導電厚膜を形成し得る感光性のディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物が得られる。   Preferably, the silver powder has a spherical shape. In this way, when compared with similar particle sizes, spherical particles have a small specific surface area and a large particle size per surface area, so the amount of organic binder required to form a paste film is reduced. Thus, conductivity can be increased. Moreover, since the spherical particles are less likely to cause scattering of the irradiated light inside the paste film as compared with the plate-like and irregular shapes with many irregularities, the resolution is also improved. Accordingly, a photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode capable of forming a conductive thick film having higher conductivity while maintaining higher resolution can be obtained.

また、好適には、前記銀粉末は、ペースト組成物の全体に対する割合で40〜80(wt%)の範囲で含まれているものである。このようにすれば、銀粉末の含有量がペースト化が容易且つ露光が容易な範囲で十分に多くされていることから、乾燥および焼成後の膜厚を十分に厚くできるため、一層高い導電性が得られる。なお、80(wt%)を越えると、照射された光がペースト膜の内部にまで十分に到達しないことから、解像性が著しく低下する。   Preferably, the silver powder is contained in a range of 40 to 80 (wt%) as a percentage of the whole paste composition. In this way, the content of the silver powder is sufficiently increased within the range that can be easily pasted and easily exposed, so that the film thickness after drying and baking can be sufficiently increased, so that higher conductivity is achieved. Is obtained. If it exceeds 80 (wt%), the irradiated light does not sufficiently reach the inside of the paste film, so that the resolution is remarkably lowered.

また、好適には、前記ガラス粉末は比表面積が0.5〜10(m2/g)である。0.5(m2/g)未満では抵抗値が増大すると共に粒子径が大きいことから印刷性が低下(例えば現像後のライン・エッジ不良が発生)し、反対に10(m2/g)を越えると分散性が悪くなってペースト化が困難になる。また、ガラス粉末としては、例えば、硼珪酸鉛ガラスを主成分とした軟化点が600(℃)以下の低軟化点ガラス、すなわち、PbO-SiO2-B2O3系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-Al2O3系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-ZnO系ガラス、PbO-SiO2-B2O3-Al2O3-ZnO系ガラス、Bi2O3-SiO2-B2O3系ガラス、ZnO-SiO2-B2O3系ガラス、R2O-ZnO-SiO2-B2O3系ガラス(R2Oはアルカリ金属酸化物)等が好適に用いられる。なお、軟化点が600(℃)を越えるガラス粉末では、所定の基板等上に形成されたペースト膜を焼成する際にガラス粉末が十分なアンカ効果を与えることができないため、その基板等との高い固着強度が得られず、しかも、抵抗値が上昇するという問題が生じる。また、ガラスの耐水性や接着性を高くするためには、ガラス粉末の軟化点は350(℃)以上であることが望ましい。 Preferably, the glass powder has a specific surface area of 0.5 to 10 (m 2 / g). If it is less than 0.5 (m 2 / g), the resistance value increases and the particle size is large, so the printability deteriorates (for example, line and edge defects after development occur), and on the contrary, it exceeds 10 (m 2 / g). Dispersibility becomes worse and pasting becomes difficult. Further, as the glass powder, for example, a low softening point glass mainly composed of lead borosilicate glass having a softening point of 600 (° C.) or less, that is, PbO—SiO 2 —B 2 O 3 glass, PbO—SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2 O 3 glass, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 -ZnO glass, PbO-SiO 2 -B 2 O 3 -Al 2 O 3 -ZnO glass, Bi 2 O 3 -SiO 2 -B 2 O 3 glass, ZnO-SiO 2 -B 2 O 3 glass, R 2 O-ZnO-SiO 2 -B 2 O 3 glass (R 2 O is an alkali metal oxide), etc. Preferably used. In the case of glass powder having a softening point exceeding 600 (° C.), the glass powder cannot give a sufficient anchor effect when firing a paste film formed on a predetermined substrate or the like. There is a problem that a high fixing strength cannot be obtained and the resistance value increases. In order to increase the water resistance and adhesion of the glass, the softening point of the glass powder is preferably 350 (° C.) or higher.

また、好適には、前記ガラス粉末の含有量はペースト全体に対して0.5〜10(wt%)の範囲である。0.5(wt%)未満では導電厚膜と基板等との固着強度が不十分となり、10(wt%)を越えると抵抗値の上昇が著しく、また、解像性も低下する。   Preferably, the content of the glass powder is in the range of 0.5 to 10 (wt%) with respect to the entire paste. If it is less than 0.5 (wt%), the adhesion strength between the conductive thick film and the substrate becomes insufficient, and if it exceeds 10 (wt%), the resistance value increases remarkably and the resolution also decreases.

また、好適には、前記有機結合剤は、水溶性を有するものである。このようにすれば、ペースト膜を所定の基板等上で所定形状に保持するために導電ペースト中に含まれる有機結合剤が水溶性を有することから、パターン形成するための現像処理において現像液として水を用いることができる。そのため、黒色導電厚膜が設けられる基板等の材質に拘わらず、アルカリ水溶液を現像液として用いる場合のような浸食や変質等の直接的な損傷や、現像液の残留物による焼成時の発泡等の間接的な損傷が基板等に生じることが抑制される。   Preferably, the organic binder is water-soluble. In this way, since the organic binder contained in the conductive paste has water solubility in order to hold the paste film in a predetermined shape on a predetermined substrate or the like, it can be used as a developer in the development processing for pattern formation. Water can be used. Therefore, regardless of the material such as the substrate on which the black conductive thick film is provided, direct damage such as erosion or alteration, such as when an alkaline aqueous solution is used as the developer, or foaming during firing due to the residue of the developer, etc. Indirect damage to the substrate or the like is suppressed.

また、好適には、前記有機結合剤は、セルロース誘導体である。このようにすれば、セルロース誘導体は良好な水溶性を有することから、パターン形成するための現像処理において現像液として水を用い得る利点がある。   Also preferably, the organic binder is a cellulose derivative. In this way, since the cellulose derivative has a good water solubility, there is an advantage that water can be used as a developer in the development processing for forming a pattern.

また、好適には、前記セルロース誘導体は、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシエチルメチルセルロース、およびこれらの塩類の一種乃至複数種類から成るものである。これらは何れもセルロース誘導体のうちでも特に良好な水溶性を有することから、メチルセルロース、エチルセルロースやエチルヒドロキシエチルセルロース等の他のセルロース誘導体を用いる場合に比較して、水による現像処理が一層容易になる利点がある。しかも、これらは銀粉末や黒色顔料との相溶性が大きく、ガラス粉末表面に存在する金属イオンとの反応性が低いことから、黒色導電ペーストの粘性の変化やゲル化が抑制されて安定性に優れるため、高い保存性も得られる。   Preferably, the cellulose derivative is composed of one or more kinds of hydroxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, hydroxypropyl cellulose, hydroxypropyl methyl cellulose, carboxymethyl cellulose, carboxyethyl cellulose, carboxyethyl methyl cellulose, and salts thereof. Since all of these have particularly good water solubility among cellulose derivatives, the advantage that development processing with water is easier than when other cellulose derivatives such as methyl cellulose, ethyl cellulose, and ethyl hydroxyethyl cellulose are used. There is. In addition, they are highly compatible with silver powder and black pigment, and have low reactivity with metal ions present on the surface of the glass powder. Since it is excellent, high storage stability is also obtained.

また、好適には、上記の有機結合剤の含有量は、ペースト全体に対する割合で5〜20(wt%)の範囲である。5(wt%)未満ではペースト膜中において銀粉末やガラス粉末の保持力が不十分となって現像時にパターン部分の剥離が生じ易くなる。一方、20(wt%)を越えると銀粉末の含有量が相対的に低下するため、焼成後の黒色導電厚膜の膜厚が薄くなって抵抗値の上昇を招く。   Preferably, the content of the organic binder is in the range of 5 to 20 (wt%) as a percentage of the whole paste. If it is less than 5 (wt%), the holding power of the silver powder or glass powder in the paste film is insufficient, and the pattern portion is liable to peel off during development. On the other hand, if it exceeds 20 (wt%), the content of silver powder is relatively lowered, so that the thickness of the black conductive thick film after firing becomes thin and the resistance value increases.

また、好適には、前記の感光性組成物は、光重合性化合物および光重合開始剤から構成される。このようにすれば、ディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物は、それから形成されたペースト膜を露光および現像処理してパターン形成するに際して、露光された部分が硬化させられてそれにより黒色導電厚膜のパターンが構成される所謂ネガ型になる。   Preferably, the photosensitive composition is composed of a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator. In this way, the photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode is formed by exposing and developing the paste film formed therefrom to form a pattern, whereby the exposed portion is cured and thereby the black conductive film is formed. It becomes a so-called negative type in which a thick film pattern is formed.

なお、上記の光重合性化合物は、好適には、ペースト全体に対する割合で3〜20(wt%)の範囲で含まれる。3(wt%)未満では露光不良すなわちパターン部分が十分に硬化させられず、20(wt%)を越えると生成された黒色導電厚膜の導電性が著しく低下することとなる。また、光重合性化合物としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート等の単官能モノマー、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールモノメタクリレート、トリエチレングリコールモノアクリレート、テトラエチレングリコールモノアクリレート、ノナエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、トリエチレングリコールモノメタクリレート、テトラエチレングリコールモノメタクリレート、ノナエチレングリコールモノメタクリレート、ジプロピレングリコールモノアクリレート、トリプロピレングリコールモノアクリレート、テトラプロピレングリコールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモノメタクリレート、トリプロピレングリコールモノメタクリレート、ブチレングリコールモノメタクリレート、プロピレングリコールモノアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ノナエチレングリコールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジメタクリレート、トリプロピレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等の多官能モノマーを挙げることができ、特に、トリエチレングリコールモノアクリレート、テトラエチレングリコールモノアクリレート、トリエチレングリコールモノメタクリレート、テトラエチレングリコールモノメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレートが好適に用いられる。これらは焼成時に分解および揮散し易いことから生成された黒色導電厚膜の電気的特性を低下させ難く、しかも高感度のディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を構成し得る。   In addition, said photopolymerizable compound is suitably contained in the range of 3-20 (wt%) in the ratio with respect to the whole paste. If it is less than 3 (wt%), the exposure failure, that is, the pattern portion is not sufficiently cured, and if it exceeds 20 (wt%), the conductivity of the produced black conductive thick film is remarkably lowered. Examples of the photopolymerizable compound include acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, and ethylene. Glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylic amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate , Isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethyl Monofunctional monomers such as xyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monoacrylate, tetraethylene glycol monoacrylate, nonaethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol mono Acrylate, polyethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, nonaethylene glycol monomethacrylate, dipropylene glycol monoacrylate, tripropylene glycol monoacrylate, tetrapropylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol Monomethacrylate, tripropylene glycol monomethacrylate, butylene glycol monomethacrylate, propylene glycol monoacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, nonaethylene glycol diacrylate, triethylene glycol Dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, nonaethylene glycol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, dipropylene glycol dimethacrylate, tripropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol Dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetra Methacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardo epoxy diacrylate, etc. Many A functional monomer can be mentioned, and in particular, triethylene glycol monoacrylate, tetraethylene glycol monoacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol trimethacrylate are preferably used. Since these are easily decomposed and volatilized at the time of firing, it is difficult to reduce the electrical characteristics of the black conductive thick film produced, and it can constitute a highly sensitive photosensitive black conductive paste composition for forming display electrodes.

また、上記の光重合開始剤としては、例えば、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、3,3-ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンゾフェノン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-(4-ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、4-ベンゾイル-4'-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ安息香酸-2-エチルヘキシル、4-ジメチルアミノ安息香酸-2-イソアミル、2,2-ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、ベンジル-β-メトキシエチルアセタール、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(ο-エトキシカルボニル)オキシム、ο-ベンゾイル安息香酸メチル、ビス(4-ジメチルアミノフェニル)ケトン、4,4'-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4'-ジクロロベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、α,α-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、ペンチル-4-ジメチルアミノベンゾエート等を挙げることができる。光重合開始剤は、好適には、ペースト全体に対する割合で0.05〜10(wt%)の範囲で含まれる。0.05(wt%)未満では露光不良すなわち光重合性化合物の重合が十分に進行せずパターン部分の効果が不十分となる。一方、10(wt%)を越えると、生成された黒色導電厚膜の導電性が著しく低下することとなる。   Examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, and 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl. ] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane- 1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2,4- Diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy- 2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylpheny ) -2-Hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4 -Butyl dimethylaminobenzoate, 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethyl acetal, 1 -Phenyl-1,2-propanedione-2- (ο-ethoxycarbonyl) oxime, methyl ο-benzoylbenzoate, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4 ' -Dichlorobenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, ben In-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone , Α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, and the like. The photopolymerization initiator is preferably contained in the range of 0.05 to 10 (wt%) as a percentage of the whole paste. If it is less than 0.05 (wt%), the exposure failure, that is, the polymerization of the photopolymerizable compound does not proceed sufficiently, and the effect of the pattern portion becomes insufficient. On the other hand, if it exceeds 10 (wt%), the conductivity of the resulting black conductive thick film will be significantly reduced.

また、好適には、前記黒色顔料は、ペースト組成物の全体に対する割合で0.5〜20(wt%)の範囲で含まれている。このようにすれば、黒色顔料の含有率が黒色導電厚膜の導電性が十分に高く保たれ且つ解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。なお、0.5(wt%)未満では明度の低下が不十分であり、反対に20(wt%)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。また、上記含有率の範囲は、一層好適には、1〜8(wt%)である。   Preferably, the black pigment is contained in a range of 0.5 to 20 (wt%) as a percentage of the whole paste composition. In this way, the black pigment content is sufficiently large so that the conductivity of the black conductive thick film is sufficiently high and the resolution is also sufficiently high. Is obtained satisfactorily and the brightness is sufficiently reduced. In addition, if it is less than 0.5 (wt%), the lightness is not sufficiently lowered. On the other hand, if it exceeds 20 (wt%), the resistance value is increased and the resolution is remarkably lowered. Moreover, the range of the said content rate is 1-8 (wt%) more suitably.

また、前記の第2発明において、好適には、前記黒色導電厚膜は、所定の一面側から観察される透光性基板のその一面とは反対側の他面上に設けられて前記黒色顔料を含む黒色導電層と、その黒色導電層よりも高い明度および高い導電性を有してその上側に積層して備えられた高明度高導電層とを含むものである。このようにすれば、黒色導電厚膜は、黒色顔料を含む黒色導電層と、それよりも高明度且つ高導電性の高明度高導電層とが積層されて構成されることから、黒色導電厚膜全体の導電性は、高明度高導電層によって十分に高められる。一方、観視側となる透光性基板の一面側においては、それら積層された二種の導電層のうちの黒色導電層がその透光性基板を介して観察されることから、黒色導電厚膜の色調は実質的に黒色導電層によって決定される。このとき、黒色導電厚膜の導電性は高明度高導電層で確保されることから黒色導電層の導電性が比較的低くなっても差し支えないため、それに含まれる黒色顔料の量を十分に多くして黒色導電層延いては黒色導電厚膜の明度および黄色度を十分に低くできる。したがって、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜が得られる。なお、黒色導電層もある程度の導電性を有していることから、このような黒色導電膜で前述したPDP8において透明電極28に重ねて用いられるバス電極30を構成する場合にも、それらの間の導電性を確保しつつ上記の一面側から見た場合における明度を十分に低くできる。   In the second invention, preferably, the black conductive thick film is provided on the other surface opposite to the one surface of the translucent substrate observed from a predetermined one surface side, and the black pigment is provided. And a high-lightness and high-conductivity layer that has a higher brightness and higher conductivity than the black conductive layer and is provided on the upper side of the black conductive layer. In this way, the black conductive thick film is formed by laminating the black conductive layer containing the black pigment and the high brightness and high conductivity layer having higher brightness and higher conductivity. The conductivity of the entire film is sufficiently enhanced by the high brightness and high conductivity layer. On the other hand, since the black conductive layer of the two types of laminated conductive layers is observed through the light transmissive substrate on one surface side of the light transmissive substrate on the viewing side, the black conductive thickness The color tone of the film is substantially determined by the black conductive layer. At this time, since the conductivity of the black conductive thick film is ensured by the high brightness and high conductivity layer, the conductivity of the black conductive layer may be relatively low. Thus, the brightness and yellowness of the black conductive layer and the black conductive thick film can be sufficiently lowered. Therefore, a black conductive thick film having high conductivity and low brightness and yellowness can be obtained. In addition, since the black conductive layer also has a certain degree of conductivity, even when the bus electrode 30 used to overlap the transparent electrode 28 in the above-described PDP 8 is configured with such a black conductive film, there is a gap between them. The brightness when viewed from the one surface side can be sufficiently lowered while ensuring the electrical conductivity.

しかも、黒色導電厚膜が黒色導電層および高明度高導電層から構成される場合には、一方の高明度高導電層はその黒色導電層よりも高明度であることから露光が容易であるため、黒色導電厚膜全体が黒色導電層から構成される場合に比較して、その黒色導電層を形成するための黒色導電ペーストが露光し難くされていても全体として十分な露光性を確保できる。そのため、黒色導電層中に含まれる黒色顔料の量は導電厚膜全体の導電性や露光性に殆ど影響しないことから、それに含まれる黒色顔料の量を十分に多くして黒色導電層延いては黒色導電厚膜の明度および黄色度を十分に低くできる。したがって、導電性および膜形成時の解像性を高く保ちながら、明度および黄色度の低い黒色導電厚膜を得ることができる。   In addition, when the black conductive thick film is composed of a black conductive layer and a high-lightness high-conductive layer, one of the high-lightness and high-conductive layers has higher brightness than the black conductive layer, so exposure is easy. Compared with the case where the entire black conductive thick film is composed of the black conductive layer, even if the black conductive paste for forming the black conductive layer is difficult to be exposed, sufficient exposure can be ensured as a whole. Therefore, since the amount of black pigment contained in the black conductive layer has little effect on the conductivity and exposure of the entire conductive thick film, the amount of black pigment contained in the black conductive layer is sufficiently increased to extend the black conductive layer. The brightness and yellowness of the black conductive thick film can be sufficiently lowered. Therefore, it is possible to obtain a black conductive thick film with low brightness and low yellowness while maintaining high conductivity and resolution during film formation.

また、前記の第2発明において、好適には、前記黒色顔料の比表面積は、1〜20(m2/g)である。このようにすれば、黒色導電厚膜中に含まれる黒色顔料の比表面積は、その膜の導電性が十分に高く保たれ且つ露光および現像処理を経てパターン形成される際の解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。なお、1(m2/g)未満では明度の低下が不十分であり、反対に20(m2/g)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。また、上記比表面積の範囲は、一層好適には、2〜15(m2/g)である。 In the second invention, preferably, the black pigment has a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g). In this way, the specific surface area of the black pigment contained in the black conductive thick film is such that the conductivity of the film is kept sufficiently high and the resolution is sufficient when patterning is performed through exposure and development processing. Therefore, the black color is satisfactorily obtained and the brightness is sufficiently lowered. In addition, if it is less than 1 (m 2 / g), the lightness is not sufficiently lowered. On the other hand, if it exceeds 20 (m 2 / g), the resistance value is increased and the resolution is remarkably lowered. The range of the specific surface area is more preferably 2 to 15 (m 2 / g).

また、前記の第2発明において、好適には、前記黒色顔料は、前記黒色導電厚膜の全体に対する割合で0.5〜20(wt%)の範囲で含まれている。このようにすれば、黒色顔料の含有率は、黒色導電厚膜の導電性が十分に高く保たれ且つ露光および現像処理を経てパターン形成される際の解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされていることから、黒色の発色が良好に得られて明度が十分に低下させられる。なお、0.5(wt%)未満では明度の低下が不十分であり、反対に20(wt%)を越えると抵抗値が上昇すると共に解像性の低下が著しい。また、上記含有率の範囲は、一層好適には、1〜8(wt%)である。   In the second aspect of the invention, preferably, the black pigment is contained in a range of 0.5 to 20 (wt%) as a ratio to the whole of the black conductive thick film. In this way, the content of the black pigment is within a range in which the conductivity of the black conductive thick film is kept sufficiently high and the resolution when the pattern is formed through exposure and development processing is also kept sufficiently high. Therefore, the black color is satisfactorily obtained and the brightness is sufficiently lowered. In addition, if it is less than 0.5 (wt%), the lightness is not sufficiently lowered. On the other hand, if it exceeds 20 (wt%), the resistance value is increased and the resolution is remarkably lowered. Moreover, the range of the said content rate is 1-8 (wt%) more suitably.

また、前記の第3発明において、好適には、前記感光性高明度高導電ペースト組成物は、ペースト組成物の全体に対する割合で50〜80(wt%)の範囲で銀粉末を含むものである。このようにすれば、専ら導電性の確保に寄与する感光性高明度高導電ペーストの銀粉末の含有量が十分に多くされていることから、生成される黒色導電厚膜に全体として十分に高い導電性が付与される。なお、銀粉末の含有量が50(wt%)未満では導電性が不十分となる一方、80(wt%)を越えるとペースト化が困難になると共に、照射された光がペースト膜の内部にまで十分に到達しないことから、解像性が著しく低下する。   In the third aspect of the invention, preferably, the photosensitive high-lightness high-conductivity paste composition contains silver powder in a range of 50 to 80 (wt%) as a percentage of the total paste composition. In this way, since the content of the silver powder of the photosensitive high-lightness high-conductivity paste exclusively contributing to ensuring conductivity is sufficiently increased, the resulting black conductive thick film is sufficiently high as a whole. Conductivity is imparted. If the content of silver powder is less than 50 (wt%), the conductivity will be insufficient, while if it exceeds 80 (wt%), pasting will be difficult and the irradiated light will enter the paste film. Therefore, the resolution is remarkably deteriorated.

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, the drawings are appropriately simplified or modified, and the dimensional ratios, shapes, and the like of the respective parts are not necessarily drawn accurately.

図3(a)は、本発明の一実施例の黒色導電厚膜40が基板42上に形成された状態を示す斜視図であり、同(b)は、(a)のb−b視断面における黒色導電厚膜40の構造を模式的に示す図である。この黒色導電厚膜40は後述するように厚膜導体ペーストの一種である感光性黒色導電ペーストを焼成して生成された厚膜導体であって、膜厚10(μm)程度、幅50(μm)程度の寸法を有し、図に示されるように、導電成分である銀44と着色成分である黒色顔料46とが、ガラス48によって結合させられることで構成されている。また、上記の基板42は、例えば、ソーダ・ライム・ガラス等から成り高い透光性を有するガラス平板であり、ガラス48はこの基板42に黒色導電厚膜40を固着させる機能をも有している。なお、黒色導電厚膜40は、例えば、前記図1或いは図2に示されるPDP8のバス電極30等を構成するものであり、上記基板42は、例えば同図における前面板10に対応する。図3においてはバス電極30を構成する黒色導電厚膜40が基板42上に直接設けられている場合を示しているが、黒色導電厚膜40は、上記図1或いは図2に示されるように透明電極28上に設けられてもよい。   FIG. 3A is a perspective view showing a state in which the black conductive thick film 40 according to one embodiment of the present invention is formed on the substrate 42, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line bb of FIG. It is a figure which shows typically the structure of the black conductive thick film 40 in. The black conductive thick film 40 is a thick film conductor formed by firing a photosensitive black conductive paste, which is a kind of thick film conductive paste, as will be described later, and has a thickness of about 10 (μm) and a width of 50 (μm As shown in the figure, the silver 44 as the conductive component and the black pigment 46 as the coloring component are combined by the glass 48. The substrate 42 is a flat glass plate made of soda, lime, glass, etc. and having high translucency. The glass 48 also has a function of fixing the black conductive thick film 40 to the substrate 42. Yes. The thick black conductive film 40 constitutes, for example, the bus electrode 30 of the PDP 8 shown in FIG. 1 or FIG. 2, and the substrate 42 corresponds to the front plate 10 in FIG. 3 shows the case where the black conductive thick film 40 constituting the bus electrode 30 is directly provided on the substrate 42, the black conductive thick film 40 is formed as shown in FIG. 1 or FIG. It may be provided on the transparent electrode 28.

上記の黒色顔料46は、例えば、BET比表面積測定法で測定した比表面積が3〜13(m2/g)程度で黒色を呈するCo3O4から成るものであり、ガラス48中に略均一に分散させられている。そのため、黒色導電厚膜40は、図3(b)に矢印で示される観視方向から透明な基板42越しに観察した場合において、35〜55程度の比較的低い黒色度を有している。その一方、抵抗値は、その長手方向に沿って80(mm)程度の間隔を設けた100(μm)程度の幅のパターンの2点間の値で10〜15(Ω)程度(例えばマルチ・メータで測定)と低く、高い導電性を有している。そのため、上述のようにPDP8のバス電極30等に用いられた場合に良好な光学的特性および電気的特性を示す。なお、「黒色度」は、色差計(例えばミノルタ製)によって明度を表すL値を測定した値である。また、以下の説明において単に「抵抗値」というときは、他の実施例も含めて黒色導電厚膜40等の長手方向に沿って相互に80(mm)隔てた100(μm)程度の幅のパターンの2点間の抵抗値を意味する。 The black pigment 46 is made of, for example, Co 3 O 4 exhibiting a black color having a specific surface area measured by the BET specific surface area measurement method of about 3 to 13 (m 2 / g). Is dispersed. Therefore, the black conductive thick film 40 has a relatively low blackness of about 35 to 55 when observed through the transparent substrate 42 from the viewing direction indicated by the arrow in FIG. On the other hand, the resistance value is a value between two points of a pattern having a width of about 100 (μm) with an interval of about 80 (mm) along the longitudinal direction thereof (for example, about 10 to 15 (Ω)) It has a low conductivity and high conductivity. Therefore, when used for the bus electrode 30 or the like of the PDP 8 as described above, good optical characteristics and electrical characteristics are exhibited. The “blackness” is a value obtained by measuring an L value representing brightness with a color difference meter (for example, manufactured by Minolta). Further, in the following description, when simply referred to as “resistance value”, the width of about 100 (μm) separated from each other by 80 (mm) along the longitudinal direction of the black conductive thick film 40 and the like including other embodiments. It means the resistance value between two points of the pattern.

以下、黒色導電厚膜40の形成方法を、工程の要部を示す図4および形成過程の各段階における断面形状を示す図5を参照して説明する。なお、前記の図1、図2に示される前面板10にバス電極30として機能する黒色導電膜40を設ける場合には、前述したように透明電極28が適宜の形状で先に設けられるが、以下の説明においてはこれを省略した。   Hereinafter, a method of forming the black conductive thick film 40 will be described with reference to FIG. 4 showing the main part of the process and FIG. 5 showing the cross-sectional shape at each stage of the forming process. In the case where the black conductive film 40 functioning as the bus electrode 30 is provided on the front plate 10 shown in FIGS. 1 and 2, the transparent electrode 28 is first provided in an appropriate shape as described above. This is omitted in the following description.

先ず、感光性黒色導電ペースト印刷工程S1においては、例えば厚膜スクリーン印刷法やバー・コータ塗布等によって、基板42表面(透明電極28が設けられている場合には、基板42および透明電極28であるが、以下、便宜上「基板42」として説明する。)の全面に感光性黒色導電ペーストを塗布する。この感光性黒色導電ペーストは、例えば、比表面積1.0〜2.0(m2/g)程度の球状の銀粉末を60(wt%)程度と、比表面積1〜2(m2/g)程度のPbO-SiO2-B2O3系ガラス等から成るガラス粉末(ガラス・フリット)を4(wt%)程度と、カルボキシメチルセルロースやヒドロキシプロピルセルロース等の水溶性の有機結合剤(高分子バインダ)を5(wt%)程度と、前記黒色顔料46(Co3O4)を2〜6(wt%)程度と、ペンタエリスリトールトリアクリレート等の光重合性化合物を5(wt%)程度と、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1-オン等の光重合開始剤を0.5(wt%)程度と、3-メチル-3-メトキシブタノール等の有機溶剤を残部とを合計100(wt%)となるように混合し、例えば、三本ロール・ミル等を用いて混練することによりペースト化したものである。なお、混練後のペーストの粘度は、例えば100(Pa・s)程度である。 First, in the photosensitive black conductive paste printing step S1, the surface of the substrate 42 (in the case where the transparent electrode 28 is provided, the substrate 42 and the transparent electrode 28, for example, by thick film screen printing or bar coater coating). However, for the sake of convenience, the following description will be given as “substrate 42”.) A photosensitive black conductive paste is applied to the entire surface. This photosensitive black conductive paste is made of, for example, spherical silver powder having a specific surface area of about 1.0 to 2.0 (m 2 / g) and PbO having a specific surface area of about 1 to 2 (m 2 / g). About 4 (wt%) of glass powder (glass frit) made of -SiO 2 -B 2 O 3 glass and 5 water-soluble organic binder (polymer binder) such as carboxymethyl cellulose and hydroxypropyl cellulose (wt%), about 2 to 6 (wt%) of the black pigment 46 (Co 3 O 4 ), about 5 (wt%) of a photopolymerizable compound such as pentaerythritol triacrylate, and 2-benzyl -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one and other photopolymerization initiators with about 0.5 (wt%) and the remaining organic solvent such as 3-methyl-3-methoxybutanol Are mixed so that the total amount becomes 100 (wt%), and, for example, is kneaded using a three-roll mill or the like to form a paste. The viscosity of the paste after kneading is, for example, about 100 (Pa · s).

次いで、ペースト乾燥工程S2においては、例えば、遠赤外線乾燥機を用いて80(℃)程度の温度で15(分間)程度乾燥処理を施すことにより、基板42上に塗布された感光性黒色導電ペーストから有機溶剤が揮発させられ、黒色導電ペースト膜52が形成される。図5(a)はこの状態を示している。このとき、黒色導電ペースト膜52の乾燥後の膜厚は例えば10(μm)程度である。   Next, in the paste drying step S2, for example, a photosensitive black conductive paste applied on the substrate 42 by performing a drying process for about 15 (minutes) at a temperature of about 80 (° C.) using a far-infrared dryer. Then, the organic solvent is volatilized and a black conductive paste film 52 is formed. FIG. 5 (a) shows this state. At this time, the thickness of the black conductive paste film 52 after drying is, for example, about 10 (μm).

続く露光工程S3においては、所定寸法のネガ・マスク54を介して黒色導電ペースト膜52を選択的に露光する。図5(b)はこの状態を示している。図において、ネガ・マスク54は、例えば互いに平行でwo=50(μm)程度の幅寸法の複数本の開口部56をws=100(μm)程度の一定間隔で備えたものであり、黒色導電ペースト膜52から僅かな距離隔てた上方に配置されている。なお、開口部56の長さは、基板42上に形成する黒色導電厚膜40の長さに応じて設定されている。また、上記の露光処理は、例えば超高圧水銀灯を用いて350(nm)程度の波長の紫外線を300(mJ/cm2)程度のエネルギ線量で照射して行った。これにより、開口部56の直下に位置する図に斜線で示される部分58が選択的に露光され、黒色導電ペースト膜中に含まれている光重合性化合物がその露光部分58のみにおいて重合反応によって硬化させられ、基板42表面に強固に固着される。一方、露光部分58を除く未露光部分は、何ら変化させられていない。 In the subsequent exposure step S3, the black conductive paste film 52 is selectively exposed through a negative mask 54 having a predetermined size. FIG. 5 (b) shows this state. In the figure, a negative mask 54 is provided with a plurality of openings 56 parallel to each other and having a width of about w0 = 50 (μm) at regular intervals of about ws = 100 (μm). It is arranged above the paste film 52 at a slight distance. The length of the opening 56 is set according to the length of the black conductive thick film 40 formed on the substrate 42. In addition, the above-described exposure processing was performed by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of about 350 (nm) with an energy dose of about 300 (mJ / cm 2 ) using, for example, an ultrahigh pressure mercury lamp. As a result, a portion 58 indicated by oblique lines in the drawing located directly below the opening 56 is selectively exposed, and the photopolymerizable compound contained in the black conductive paste film is polymerized only in the exposed portion 58 by a polymerization reaction. Cured and firmly fixed to the surface of the substrate 42. On the other hand, the unexposed part except the exposed part 58 is not changed at all.

現像工程S4においては、例えば、現像液として水を2(kgf/cm2)程度の吐出圧力で20(秒間)程度吹きつけることにより、現像処理を施す。すなわち、露光処理を施した基板42の洗浄処理を行う。これにより、ペースト膜52のうちの未露光部分が水で溶解されて洗い流されることによって選択的に除去され、基板42上には露光部分58のみが残ることとなる。図5(c)はこの状態を示している。そして、乾燥工程S5において、基板42(および黒色導電ペースト膜52)を乾燥し、更に、導体焼成工程S6において、例えば電気炉を用いて550(℃)×2(hr)程度の条件で焼成処理を施す。これにより、黒色導電ペースト膜52から高分子バインダ、光重合性化合物、光重合開始剤等の有機成分が加熱により分解され且つ揮発して除去されると同時に、ガラス粉末が溶融させられたガラス48によって銀44および黒色顔料46が結合させられて前記の黒色導電厚膜40が生成される。 In the development step S4, for example, the development process is performed by spraying water as a developer at a discharge pressure of about 2 (kgf / cm 2 ) for about 20 (seconds). That is, a cleaning process is performed on the substrate 42 that has been subjected to the exposure process. As a result, the unexposed portion of the paste film 52 is selectively removed by dissolving and washing away with water, leaving only the exposed portion 58 on the substrate 42. FIG. 5 (c) shows this state. Then, in the drying step S5, the substrate 42 (and the black conductive paste film 52) is dried, and in the conductor firing step S6, for example, a firing process is performed using an electric furnace under conditions of about 550 (° C.) × 2 (hr). Apply. Thereby, organic components such as a polymer binder, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator are decomposed and removed by heating from the black conductive paste film 52, and at the same time, the glass 48 in which the glass powder is melted. As a result, the silver 44 and the black pigment 46 are combined to produce the black conductive thick film 40.

ここで、表1は、上述のようにして形成された黒色導電厚膜40の特性を、形成条件を種々変更したものについて、試験条件と併せて比較例と共に示すものである。なお、下記の表において、「解像性」欄の100〜1000の数値は前記露光工程S3において照射するエネルギ線量であり、「○」はネガ・マスク54のパターン通りに黒色導電厚膜40が形成されたことを、「△」は黒色導電厚膜40が一応形成できたが線の細りやパターン・エッジのガタツキ等が生じたことを、「×」は露光時にペースト膜が硬化せず、現像時にペースト膜52が剥離して黒色導電厚膜40を形成できなかったことをそれぞれ表す。また、「有機結合剤 種類」欄において「CMC」および「HPC」はそれぞれカルボキシメチルセルロースおよびヒドロキシプロピルセルロースである。なお、表に記載されていない他の条件は、何れの実施例Eおよび比較例Rにおいても全て前記の工程説明に従い、黒色度および抵抗値の測定方法は前述の通りである。   Here, Table 1 shows the characteristics of the black conductive thick film 40 formed as described above, together with the comparative example, together with the test conditions, with various formation conditions changed. In the table below, the numerical value of 100 to 1000 in the “Resolution” column is the energy dose irradiated in the exposure step S3, and “◯” indicates that the black conductive thick film 40 is in accordance with the pattern of the negative mask 54. “△” indicates that the black conductive thick film 40 was formed temporarily, but thinning of the lines, rattling of the pattern edge, etc. occurred, “×” indicates that the paste film was not cured at the time of exposure, This represents that the paste film 52 was peeled off during development and the black conductive thick film 40 could not be formed. In the “Organic binder type” column, “CMC” and “HPC” are carboxymethylcellulose and hydroxypropylcellulose, respectively. The other conditions not listed in the table are all in accordance with the above-described process description in any of Example E and Comparative Example R, and the method for measuring the blackness and the resistance value is as described above.

Figure 2006344590
Figure 2006344590

上記の表1(実施例)から明らかなように、黒色顔料46としてCo3O4を用いることにより、露光工程S3における紫外線の照射線量を適当に設定すれば、前記ネガ・マスク54の開口パターンに従って黒色導電ペースト膜52が硬化させられ、所定パターンの黒色導電厚膜40が得られる。特に、比表面積が3〜13(m2/g)程度のCo3O4を黒色顔料46として用いた実施例E1〜E4によれば、紫外線のエネルギ線量を300(mJ/cm2)以上とすることによって、黒色度が35〜55と十分に低く良好な黒色の発色が得られると共に、抵抗値が10〜15(Ω)程度と十分に高い導電性を備えた黒色導電厚膜40を得ることができる。 As is apparent from Table 1 (Examples) above, if Co 3 O 4 is used as the black pigment 46 and the ultraviolet ray irradiation dose in the exposure step S3 is set appropriately, the opening pattern of the negative mask 54 is set. Accordingly, the black conductive paste film 52 is cured to obtain the black conductive thick film 40 having a predetermined pattern. In particular, according to Examples E1 to E4 in which Co 3 O 4 having a specific surface area of about 3 to 13 (m 2 / g) was used as the black pigment 46, the energy dose of ultraviolet rays was 300 (mJ / cm 2 ) or more. As a result, a black color with a sufficiently low blackness of 35 to 55 and a good black color can be obtained, and a black conductive thick film 40 having a sufficiently high resistance of about 10 to 15 (Ω) is obtained. be able to.

但し、上記実施例E1〜E5の何れにおいても、100(mJ/cm2)程度のエネルギ線量では、光重合性化合物の反応が不十分となるため黒色導電ペースト膜52が硬化させられない。また、実施例E1およびE4においては1000(mJ/cm2)程度のエネルギ線量で過露光になってネガ・マスク54の開口部56よりも硬化させられる幅が広がるため、所期のパターン通りの黒色導電厚膜40が得られない。また、実施例E2においては、300(mJ/cm2)程度のエネルギ線量でも硬化が十分ではなく、パターン幅の細りやガタツキ等が生じる。このため、何れの場合にも高い解像性は得られない。一般に、黒色顔料46の添加量が多いほど露光が困難になる傾向にあるため、添加量が2(wt%)程度と少ない実施例E1およびE4では過露光になるエネルギ線量が比較的低くなり、反対に添加量が6(wt%)程度と多い実施例E2では適正な露光に必要なエネルギ線量の下限が上昇したものと推定される。なお、Co3O4の比表面積が25(m2/g)程度の実施例E5では、黒色度、抵抗値共に優れた値が得られるが、良好な解像性を得るためには照射エネルギ量を極めて高くする必要がある。また、表に示される特性値は、十分な解像性が得られた黒色導電厚膜40で評価したものである。 However, in any of the above Examples E1 to E5, the black conductive paste film 52 cannot be cured at an energy dose of about 100 (mJ / cm 2 ) because the reaction of the photopolymerizable compound becomes insufficient. In Examples E1 and E4, overexposure is performed with an energy dose of about 1000 (mJ / cm 2 ), and the width that can be cured from the opening 56 of the negative mask 54 is widened. The black conductive thick film 40 cannot be obtained. In Example E2, curing is not sufficient even with an energy dose of about 300 (mJ / cm 2 ), and pattern width narrowing or rattling occurs. For this reason, high resolution cannot be obtained in any case. In general, as the amount of the black pigment 46 added increases, exposure tends to be difficult, so in Examples E1 and E4 where the amount added is as low as 2 (wt%), the energy dose for overexposure becomes relatively low. On the contrary, in Example E2 where the addition amount is as high as about 6 (wt%), it is estimated that the lower limit of the energy dose necessary for proper exposure has increased. In Example E5 in which the specific surface area of Co 3 O 4 is about 25 (m 2 / g), excellent values of both blackness and resistance can be obtained. However, in order to obtain good resolution, irradiation energy is required. The amount needs to be very high. The characteristic values shown in the table are evaluated with the black conductive thick film 40 having sufficient resolution.

これに対して、比較例R1では黒色顔料46を含まないことから、高い解像性が得られ且つ抵抗値が極めて低い一方で、黒色度(L値)が70程度と高くなる。また、比較例R2〜R7は黒色顔料46としてRuO2、Fe-Cr-Mn系、Cu-Cr-Mn系等の他の材料を用いたものであるが、何れの顔料の場合にも50〜60程度の黒色度が得られる添加量の範囲では露光が著しく困難であり、所定のパターンの黒色導電厚膜40を得ることができたものはなかった。また、比較例R8、R9は、それぞれ黒色顔料としてCo3O4を用いたものであるが、比較例R8では銀粉末の比表面積が0.3(m2/g)程度と小さく粗大であることから、高い解像性は得られるものの導電性が不十分となった。一方、比較例R9では銀粉末の比表面積が3.0(m2/g)程度と大きく微細過ぎるため、抵抗値が高く且つ高い解像性も得られない。すなわち、銀粉末の比表面積が0.4(m2/g)未満と粗大になると焼成時に連続膜が形成され難くなり、一方、2.5(m2/g)を越えるとペースト化が困難になると共にペースト膜中において銀粉末を保持するために必要な有機結合剤が多くなることから焼成後の導電厚膜の膜厚が薄くなるため、何れの場合にも抵抗値が上昇するのである。 On the other hand, since the comparative example R1 does not include the black pigment 46, high resolution is obtained and the resistance value is extremely low, while the blackness (L value) is as high as about 70. In Comparative Examples R2 to R7, other materials such as RuO 2 , Fe—Cr—Mn, and Cu—Cr—Mn are used as the black pigment 46. Exposure was extremely difficult within the range of the amount of addition that provided a blackness of about 60, and none of the black conductive thick films 40 having a predetermined pattern could be obtained. In Comparative Examples R8 and R9, Co 3 O 4 is used as the black pigment. In Comparative Example R8, the specific surface area of the silver powder is as small as about 0.3 (m 2 / g) and is coarse. Although high resolution was obtained, the conductivity was insufficient. On the other hand, in Comparative Example R9, the specific surface area of the silver powder is as large as about 3.0 (m 2 / g) and is too fine, so the resistance value is high and high resolution cannot be obtained. That is, if the specific surface area of the silver powder becomes coarser than 0.4 (m 2 / g), it becomes difficult to form a continuous film during firing, whereas if it exceeds 2.5 (m 2 / g), paste formation becomes difficult and the paste becomes difficult. Since the organic binder necessary to hold the silver powder in the film increases, the thickness of the conductive thick film after baking becomes thin, and the resistance value increases in any case.

また、比較例R11、R12は、黒色顔料として酸化コバルトの一種であるCo2O3を用いたものであるが、その添加量が少ない比較例R11ではL値が大き過ぎる一方、添加量が多い比較例R12では比較的高いエネルギ線量においても黒色導電ペースト膜の硬化が不十分でパターンの細りやガタツキが生じて十分な解像性が得られなかった。すなわち、Co2O3では適切な添加量範囲を設定することができず、酸化コバルトのうちCo3O4だけが解像性と黒色度とを両立させ得る。 In Comparative Examples R11 and R12, Co 2 O 3 which is a kind of cobalt oxide is used as a black pigment. In Comparative Example R11 having a small amount of addition, the L value is too large, but the amount of addition is large. In Comparative Example R12, even at a relatively high energy dose, the black conductive paste film was not sufficiently cured, resulting in pattern thinning and backlash, and sufficient resolution could not be obtained. That is, in Co 2 O 3 , an appropriate addition amount range cannot be set, and only Co 3 O 4 in cobalt oxide can achieve both resolution and blackness.

なお、実施例E1〜E5においては、比表面積が1.0或いは2.0(m2/g)程度の銀粉末を60(wt%)程度、比表面積が1或いは2(m2/g)程度のガラス粉末を4(wt%)程度それぞれ添加しているが、それぞれ何れの比表面積の場合にも表1に示されるように良好な結果が得られる。したがって、銀粉末としては0.4〜2.5(m2/g)の範囲が好適なのである。また、特に実験結果は示さないが、ガラス粉末についても、0.5(m2/g)未満では抵抗値が増大すると共に粗大になることから印刷性が低下し、反対に10(m2/g)を越えると分散性が悪くなってペースト化が困難になることが確かめられている。 In Examples E1 to E5, a silver powder having a specific surface area of about 1.0 or 2.0 (m 2 / g) is a glass powder having a specific surface area of about 60 (wt%) and a specific surface area of about 1 or 2 (m 2 / g). As shown in Table 1, good results can be obtained at any specific surface area. Therefore, the range of 0.4 to 2.5 (m 2 / g) is suitable for the silver powder. In addition, although the experimental results are not particularly shown, the glass powder is less than 0.5 (m 2 / g), and the resistance value increases and becomes coarse, so the printability decreases, and conversely, 10 (m 2 / g) It has been confirmed that dispersibility becomes poor and pasting becomes difficult when the content exceeds.

要するに、本実施例においては、黒色導電厚膜40を形成するための感光性黒色導電ペーストにおいて、導電性成分として含まれる銀粉末は比表面積が1.0或いは2.0(m2/g)程度と微細であり、黒色顔料46はCo3O4粉末から構成されることから、高い感光性延いては高い解像性を有すると共に、その感光性黒色導電ペーストから形成される黒色導電厚膜40には銀とCo3O4から成る黒色顔料46とがガラス48で結合されて構成されるため、前記表1に示されるように導電性が十分に高く且つ明度および黄色度が十分に低い黒色導電厚膜が得られる。 In short, in this embodiment, in the photosensitive black conductive paste for forming the black conductive thick film 40, the silver powder contained as the conductive component has a specific surface area of about 1.0 or 2.0 (m 2 / g). In addition, since the black pigment 46 is composed of Co 3 O 4 powder, it has high photosensitivity and high resolution, and the black conductive thick film 40 formed from the photosensitive black conductive paste contains silver. And a black pigment 46 made of Co 3 O 4 are combined by a glass 48, and as shown in Table 1, a black conductive thick film having sufficiently high conductivity and sufficiently low brightness and yellowness. Is obtained.

また、本実施例においては、感光性黒色導電ペーストを構成する銀粉末として球状を成すものが用いられている。そのため、同様な粒子径で比較した場合において、球状粒子は比表面積が小さく表面積当たりの粒径が大きいことから、黒色導電ペースト膜52を形成するために必要な有機結合剤の量を少なくして、黒色導電厚膜40の導電性を一層高めることができる。しかも、球状粒子は板状、不定形状に比較して照射された光のペースト膜52内部における散乱を生じさせ難いため、解像性も高められる。したがって、一層高い解像性を保ちながら、一層高い導電性を有する黒色導電厚膜40を形成し得る感光性黒色導電ペーストが得られる。   In this embodiment, a spherical powder is used as the silver powder constituting the photosensitive black conductive paste. Therefore, when compared with the same particle size, since the spherical particles have a small specific surface area and a large particle size per surface area, the amount of the organic binder necessary for forming the black conductive paste film 52 is reduced. The conductivity of the black conductive thick film 40 can be further increased. In addition, since the spherical particles are less likely to cause scattering of the irradiated light inside the paste film 52 as compared with the plate shape and the indefinite shape, the resolution is also improved. Accordingly, it is possible to obtain a photosensitive black conductive paste capable of forming the black conductive thick film 40 having higher conductivity while maintaining higher resolution.

また、本実施例においては、感光性黒色導電ペーストを構成する銀粉末は、ペースト組成物の全体に対する割合で60(wt%)程度含まれている。そのため、銀粉末の含有量がペースト化が容易且つ露光が容易な範囲で十分に多くされていることから、乾燥および焼成後の膜厚を十分に厚くできるため、一層高い導電性が得られる。   In this example, the silver powder constituting the photosensitive black conductive paste is contained in an amount of about 60 (wt%) with respect to the total paste composition. Therefore, the content of the silver powder is sufficiently increased within a range that can be easily pasted and exposed easily, so that the film thickness after drying and baking can be sufficiently increased, and thus higher conductivity can be obtained.

また、本実施例においては、感光性黒色導電ペーストを構成するガラス粉末として、比表面積が1或いは2(m2/g)のものが用いられる。そのため、十分な分散性を確保しながら、ペーストの良好な印刷性が得られる。しかも、本実施例においては、ガラス粉末として軟化点550(℃)程度のPbO-SiO2-B2O3から成るガラスが用いられていることから、導体焼成工程S6の焼成温度を比較的低温としながらガラス粉末を十分に溶融させることができる。したがって、黒色導電厚膜40と基板42との高い固着強度が確保される。 In this embodiment, the glass powder constituting the photosensitive black conductive paste has a specific surface area of 1 or 2 (m 2 / g). Therefore, good printability of the paste can be obtained while ensuring sufficient dispersibility. In addition, in this example, glass made of PbO—SiO 2 —B 2 O 3 having a softening point of about 550 (° C.) is used as the glass powder, so that the firing temperature in the conductor firing step S6 is relatively low. Glass powder can be sufficiently melted. Therefore, high adhesion strength between the black conductive thick film 40 and the substrate 42 is ensured.

また、本実施例においては、ガラス粉末の含有量はペースト全体に対して4(wt%)程度である。したがって、抵抗値の上昇および解像性の低下を抑制しつつ、黒色導電厚膜40と基板42等との固着強度が一層高められる。   In this example, the content of the glass powder is about 4 (wt%) with respect to the entire paste. Therefore, the fixing strength between the black conductive thick film 40 and the substrate 42 can be further increased while suppressing an increase in resistance value and a decrease in resolution.

また、本実施例においては、感光性黒色導電ペーストを構成する有機結合剤として、水溶性を有するCMC或いはHPCが用いられている。そのため、黒色導電ペースト膜52を基板42上で形状保持するための有機結合剤が水溶性を有することから、パターン形成するための現像工程S4において、前述のように現像液として水を用いることができる。したがって、現像液による基板42の浸食や変質等の直接的な損傷や、現像液の残留物による焼成時の発泡等の間接的な損傷が基板42に生じることが抑制される。しかも、特にHPCは銀粉末や黒色顔料46との相溶性が大きく、ガラス粉末表面に存在する金属イオンとの反応性が低いことから、前記表1の実施例E4に示されるように銀粉末、ガラス粉末、および黒色顔料46の比表面積が比較的大きい場合にも、黒色導電ペーストの粘性の変化やゲル化が抑制されて保存性が高められる。   In this embodiment, CMC or HPC having water solubility is used as the organic binder constituting the photosensitive black conductive paste. Therefore, since the organic binder for maintaining the shape of the black conductive paste film 52 on the substrate 42 is water-soluble, in the developing step S4 for forming a pattern, water is used as the developer as described above. it can. Therefore, direct damage such as erosion and alteration of the substrate 42 by the developer, and indirect damage such as foaming during baking due to the residue of the developer are suppressed from occurring on the substrate 42. In addition, since HPC is particularly compatible with silver powder and black pigment 46 and has low reactivity with metal ions present on the surface of the glass powder, silver powder as shown in Example E4 in Table 1 above, Even when the specific surface areas of the glass powder and the black pigment 46 are relatively large, the change in viscosity and gelation of the black conductive paste are suppressed, and the storage stability is improved.

また、本実施例においては、有機結合剤(CMC或いはHPC)の含有量は、ペースト全体に対する割合で5(wt%)程度である。したがって、ペースト膜中における銀粉末やガラス粉末の保持力を十分に確保して現像工程S4におけるパターン剥離を抑制しつつ、焼成後の黒色導電厚膜40の膜厚を確保してその抵抗値の上昇を抑制できる。   In this example, the content of the organic binder (CMC or HPC) is about 5 (wt%) as a percentage of the whole paste. Therefore, while ensuring sufficient holding power of silver powder and glass powder in the paste film and suppressing pattern peeling in the development step S4, the film thickness of the black conductive thick film 40 after firing is secured and the resistance value thereof is increased. The rise can be suppressed.

また、本実施例においては、感光性黒色導電ペーストに感光性を付与するための感光性組成物は、ペンタエリスリトールトリアクリレート等の光重合性化合物と、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1-オン等の光重合開始剤とから構成される。そのため、感光性黒色導電ペーストは、それから形成された黒色導電ペースト膜52を露光工程S4および現像工程S5を経てパターン形成するに際して、露光された部分が硬化させられてそれにより黒色導電厚膜40のパターンが構成される所謂ネガ型になる。   Further, in this example, the photosensitive composition for imparting photosensitivity to the photosensitive black conductive paste includes a photopolymerizable compound such as pentaerythritol triacrylate, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- And a photopolymerization initiator such as (4-morpholinophenyl) -butan-1-one. Therefore, the photosensitive black conductive paste is formed by patterning the black conductive paste film 52 formed thereon through the exposure step S4 and the development step S5, so that the exposed portion is cured, thereby forming the black conductive thick film 40. It becomes a so-called negative type in which the pattern is formed.

なお、上記の光重合性化合物は、ペースト全体に対する割合で5(wt%)程度含まれ、光重合開始剤は0.5(wt%)程度含まれる。そのため、露光によってパターン部分が容易且つ十分に硬化させられる範囲でそれぞれの添加量が少なくされていることから、導電性が高く且つパターン精度が優れた黒色導電厚膜40が得られる。しかも、本実施例においては、焼成時に分解および揮散し易いペンタエリスリトールトリアクリレートが光重合性化合物として用いられていることから、感光性黒色導電ペーストの感度が高められ、且つ、それから生成された黒色導電厚膜40の電気的特性が一層高められる。   The photopolymerizable compound is contained in an amount of about 5 (wt%) with respect to the entire paste, and the photopolymerization initiator is contained in an amount of about 0.5 (wt%). Therefore, since the respective addition amounts are reduced within a range where the pattern portion can be easily and sufficiently cured by exposure, the black conductive thick film 40 having high conductivity and excellent pattern accuracy can be obtained. Moreover, in this example, pentaerythritol triacrylate, which is easily decomposed and volatilized at the time of firing, is used as the photopolymerizable compound, so that the sensitivity of the photosensitive black conductive paste is increased and the black color produced therefrom is used. The electrical characteristics of the conductive thick film 40 are further enhanced.

また、本実施例においては、黒色顔料46の比表面積は、3〜25(m2/g)程度、特に好適な結果が得られた範囲では13(m2/g)程度以下であって、黒色導電厚膜40の導電性が十分に高く保たれ且つ感光性黒色導電ペーストの解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされている。そのため、黒色の発色が良好に得られて黒色導電厚膜40の明度が十分に低下させられる。 In this example, the specific surface area of the black pigment 46 is about 3 to 25 (m 2 / g), and in a range where particularly favorable results are obtained, it is about 13 (m 2 / g) or less, The black conductive thick film 40 is sufficiently large as long as the conductivity is kept sufficiently high and the resolution of the photosensitive black conductive paste is kept sufficiently high. Therefore, a black color is satisfactorily obtained and the brightness of the black conductive thick film 40 is sufficiently reduced.

また、本実施例においては、黒色顔料46は、ペースト組成物の全体に対する割合で2〜6(wt%)程度と、黒色導電厚膜40の導電性が十分に高く保たれ且つ解像性も十分に高く保たれる範囲で十分に大きくされている。そのため、抵抗値を大きく上昇させることなく、黒色の発色が良好に得られて黒色導電厚膜40の明度が十分に低下させられる。   In the present embodiment, the black pigment 46 is about 2 to 6 (wt%) as a percentage of the total paste composition, and the conductivity of the black conductive thick film 40 is kept sufficiently high and the resolution is also high. It is large enough to keep it high enough. For this reason, a black color is satisfactorily obtained without greatly increasing the resistance value, and the brightness of the black conductive thick film 40 is sufficiently reduced.

次に、本発明の他の実施例を説明する。なお、以下の実施例において前述の実施例と共通する部分は説明を省略する。   Next, another embodiment of the present invention will be described. In the following embodiments, description of portions common to the above-described embodiments is omitted.

下記の表2は、前記現像工程S4において、アルカリ水溶液である0.3(%)炭酸ナトリウム水溶液を用いて前記黒色導電厚膜40を形成する場合の調合条件および特性評価結果を比較例と併せて示すものである。なお、下記の表2において、「有機結合剤 種類」欄の「EMA」および「EA」は、それぞれメタクリル酸エチルおよびアクリル酸エチルの重合物を表す。有機結合剤の種類を除く他の調合条件は実施例E6〜E10、比較例R12〜R18共に前記表1の場合と同様であり、製造工程も現像液が異なる他は前記図4に示される工程と同様である。下記の表2から明らかなように、アルカリ水溶液に可溶な有機結合剤が用いられる場合にも、水溶性の有機結合剤が用いられる前記表1の場合と同様な結果が得られる。   Table 2 below shows the preparation conditions and the characteristic evaluation results when the black conductive thick film 40 is formed using a 0.3 (%) sodium carbonate aqueous solution that is an alkaline aqueous solution in the development step S4 together with a comparative example. Is. In Table 2 below, “EMA” and “EA” in the “Organic binder type” column represent polymers of ethyl methacrylate and ethyl acrylate, respectively. The other formulation conditions except for the type of organic binder are the same as those in Table 1 for Examples E6 to E10 and Comparative Examples R12 to R18. The manufacturing process is the same as that shown in FIG. It is the same. As is apparent from Table 2 below, when an organic binder soluble in an alkaline aqueous solution is used, the same results as in Table 1 in which a water-soluble organic binder is used are obtained.

Figure 2006344590
Figure 2006344590

また、図6は、前記図1或いは図2に示されるPDP8のバス電極30等を構成し得る他の黒色導電厚膜60の構造を模式的に示す図である。図において、黒色導電厚膜60は、基板42上に直接形成された黒色の黒色導電層62と、その黒色導電層62上に積層形成された薄い黄色の黄色導電層64とから構成されて、幅50(μm)程度、厚さ5〜6(μm)程度の寸法を備えたものであって、抵抗値が6(Ω)程度以下の高い導電性と、図に矢印で示される観視方向すなわち表面66側から基板42を通して観察した状態における黒色度が40程度の低い明度とを有している。そのため、導電性および黒色度を要求されるバス電極30等として、前記表1或いは表2に示されるような黒色導電厚膜40よりも一層好適に用いられる。なお、PDP8等の放電表示装置においては、一般に観視方向が電極30等が設けられて放電空間16内に位置する裏面(内面)68とは反対側において外部空間に露出する表面66側になる。本実施例においては、基板42が透光性基板に、表面66が所定の一面に、裏面68がそれと反対側の他面にそれぞれ相当する。   FIG. 6 is a diagram schematically showing the structure of another black conductive thick film 60 that can constitute the bus electrode 30 of the PDP 8 shown in FIG. 1 or FIG. In the figure, the black conductive thick film 60 is composed of a black black conductive layer 62 formed directly on the substrate 42 and a light yellow yellow conductive layer 64 laminated on the black conductive layer 62. It has dimensions of about 50 (μm) in width and about 5 to 6 (μm) in thickness, and has a high conductivity with a resistance of about 6 (Ω) or less, and the viewing direction indicated by the arrows in the figure That is, the blackness in the state observed through the substrate 42 from the surface 66 side has a low brightness of about 40. Therefore, the bus electrode 30 or the like that requires conductivity and blackness is used more suitably than the black conductive thick film 40 as shown in Table 1 or Table 2. In a discharge display device such as a PDP 8, the viewing direction is generally on the side of the surface 66 exposed to the external space on the side opposite to the back surface (inner surface) 68 provided in the discharge space 16 with the electrodes 30 and the like. . In the present embodiment, the substrate 42 corresponds to a translucent substrate, the front surface 66 corresponds to a predetermined surface, and the back surface 68 corresponds to the other surface on the opposite side.

上記の黒色導電層62は、前記の黒色導電厚膜40と同様に、銀44およびCo3O4から成る黒色顔料46等を含むものであって、例えばtB=3(μm)程度の厚さ寸法を備え、その抵抗値が20(Ω)程度、黒色度が40程度に構成されている。このため、観視方向側に位置する黒色導電層62の黒色度が十分に低いことから、黒色導電厚膜60全体のその観視方向における黒色度は、その黒色導電層62で決定されて40程度の極めて低い明度である。一方、上記の黄色導電層64は、導電成分としての銀44は含むが黒色顔料46は全く含まないものであって、例えばtY=4(μm)程度の厚さ寸法を備え、その抵抗値は8(Ω)程度と低いが、黒色度は70程度と高い明度になっている。このため、黒色導電厚膜60の厚さ方向においてその一部を構成する黄色導電層64の抵抗値が十分に低いことから、その黒色導電厚膜60全体の導電性が高められて上記の通り抵抗値が低いのである。なお、上記のように黒色導電層62の膜厚は比較的薄いが、黒色度すなわち明度が極めて低いことから、上側の黄色導電層64の色調がその黒色導電層62を通して図の観視方向側から観察されることはない。また、黒色導電厚膜60の表面を基板42を介することなく直接観察する場合の色調は、上側に位置する黄色導電層64の色調に従い薄い黄色であって黒色度が70程度であるが、この黄色導電層64は観視方向から直接的に視認され得ない。したがって、その色調(黄色や明度)は、PDP8等の表示品質には何ら影響しない。本実施例においては、上記の黄色導電層64が高明度高導電層に相当する。 The black conductive layer 62 includes the black pigment 46 made of silver 44 and Co 3 O 4, etc., like the black conductive thick film 40, and has a thickness of about tB = 3 (μm), for example. It has dimensions, its resistance value is about 20 (Ω), and its blackness is about 40. For this reason, since the blackness of the black conductive layer 62 located on the viewing direction side is sufficiently low, the blackness in the viewing direction of the entire black conductive thick film 60 is determined by the black conductive layer 62. The brightness is extremely low. On the other hand, the yellow conductive layer 64 contains silver 44 as a conductive component but does not contain any black pigment 46, and has a thickness dimension of about tY = 4 (μm), for example, and its resistance value is Although it is as low as 8 (Ω), the blackness is as high as 70. For this reason, since the resistance value of the yellow conductive layer 64 constituting a part of the black conductive thick film 60 in the thickness direction is sufficiently low, the conductivity of the black conductive thick film 60 as a whole is enhanced, as described above. The resistance value is low. Although the black conductive layer 62 is relatively thin as described above, the blackness, that is, the lightness is extremely low. Therefore, the color tone of the upper yellow conductive layer 64 passes through the black conductive layer 62 to the viewing direction side of the figure. Will not be observed from. The color tone in the case of directly observing the surface of the black conductive thick film 60 without passing through the substrate 42 is light yellow and blackness is about 70 according to the color tone of the yellow conductive layer 64 located on the upper side. The yellow conductive layer 64 cannot be viewed directly from the viewing direction. Therefore, the color tone (yellow or lightness) has no influence on the display quality of the PDP 8 or the like. In the present embodiment, the yellow conductive layer 64 corresponds to a high brightness high conductive layer.

ところで、上記の黒色導電厚膜60は、例えば図7に示される工程に従って基板42上に設けられる。なお、図7は前記図4に示される工程図の工程S1乃至S3に対応する部分だけを示しており、S4以降は図4の工程図に従う。以下、図7および工程の途中段階における基板42の断面構造を示す図8を参照して黒色導電厚膜60の形成方法を説明する。先ず、感光性黒色導電ペースト印刷工程S1において、例えば厚膜スクリーン印刷法等を用いて、基板42上(および透明電極28上)の全面に感光性黒色導電ペーストを塗布し、ペースト乾燥工程S2において、例えば、遠赤外線乾燥機を用いて80(℃)程度の温度で15(分間)程度乾燥処理を施す。これにより、基板42上に塗布された感光性黒色導電ペーストから有機溶剤が揮発させられ、図5に示される黒色導電ペースト膜52と同様な黒色導電ペースト膜70が形成される。このとき、感光性黒色導電ペーストの調合組成(種類および量)は、下記の表3の上段に示す材料の調合量を除く他は前記表1に示される実施例E1と同様であり、前記表1、表2に示される場合よりも銀粉末量が少なく、且つガラス粉末量、黒色顔料量、および有機結合剤量が多くされている。また、黒色導電ペースト膜70の乾燥後の膜厚は例えば6(μm)程度である。本実施例においては、上記の感光性黒色導電ペースト印刷工程S1およびペースト乾燥工程S2が黒色ペースト膜形成工程に対応する。   By the way, the black conductive thick film 60 is provided on the substrate 42 in accordance with, for example, the process shown in FIG. FIG. 7 shows only the part corresponding to steps S1 to S3 in the process chart shown in FIG. 4, and the steps after S4 follow the process chart of FIG. Hereinafter, a method for forming the black conductive thick film 60 will be described with reference to FIG. 7 and FIG. 8 showing a cross-sectional structure of the substrate 42 in the middle of the process. First, in the photosensitive black conductive paste printing step S1, a photosensitive black conductive paste is applied to the entire surface of the substrate 42 (and on the transparent electrode 28) using, for example, a thick film screen printing method, and in the paste drying step S2. For example, using a far-infrared dryer, a drying process is performed at a temperature of about 80 (° C.) for about 15 (min). As a result, the organic solvent is volatilized from the photosensitive black conductive paste applied on the substrate 42, and a black conductive paste film 70 similar to the black conductive paste film 52 shown in FIG. 5 is formed. At this time, the composition (type and amount) of the photosensitive black conductive paste was the same as that of Example E1 shown in Table 1 except for the amount of the material shown in the upper part of Table 3 below. 1. The amount of silver powder is smaller than that shown in Table 2, and the amount of glass powder, the amount of black pigment, and the amount of organic binder are increased. Further, the thickness of the black conductive paste film 70 after drying is, for example, about 6 (μm). In this embodiment, the photosensitive black conductive paste printing step S1 and the paste drying step S2 correspond to the black paste film forming step.

Figure 2006344590
Figure 2006344590

続く感光性導電ペースト印刷工程S1−2およびペースト乾燥工程S2−2においては、黒色導電ペーストの場合と同様にして、黒色顔料46を含まない感光性銀ペーストを上記黒色導電ペースト膜70上の全面に印刷して80(℃)程度の温度で15(分間)程度乾燥処理を施す。これにより、黒色導電ペースト膜70上に銀ペースト膜72が積層されて全体として乾燥膜厚が14〜15(μm)程度の導電ペースト膜74が形成される。図8(a)はこの状態を示している。なお、銀ペースト膜72の調合組成は上記の表3の下段に示す材料の調合量を除く他は、黒色導電ペースト膜70を形成するための黒色ペーストと同様、すなわち前記表1に示される実施例E1の感光性黒色導電ペーストと同様であり、その乾燥後の膜厚は8(μm)程度である。そして、露光工程S3において、前記図4に示される場合と同様にして、所定寸法のネガ・マスク54を介して導電ペースト膜74を選択的に、銀ペースト膜72側から(すなわち基板42を通さず直接に)露光する。すなわち、黒色導電ペースト膜70および銀ペースト膜72を一体として露光する。図8(b)はこの状態を示している。本実施例においては、上記の感光性導電ペースト印刷工程S1−2およびペースト乾燥工程S2−2が高明度ペースト膜形成工程に対応する。   In the subsequent photosensitive conductive paste printing step S1-2 and paste drying step S2-2, the photosensitive silver paste not containing the black pigment 46 is applied to the entire surface of the black conductive paste film 70 in the same manner as the black conductive paste. And is dried at a temperature of about 80 (° C.) for about 15 (minutes). As a result, the silver paste film 72 is laminated on the black conductive paste film 70 to form a conductive paste film 74 having a dry film thickness of about 14 to 15 (μm) as a whole. FIG. 8 (a) shows this state. The preparation composition of the silver paste film 72 is the same as that of the black paste for forming the black conductive paste film 70 except that the preparation amount of the material shown in the lower part of Table 3 above is excluded, that is, the implementation shown in Table 1 above. It is the same as the photosensitive black conductive paste of Example E1, and the film thickness after drying is about 8 (μm). Then, in the exposure step S3, as in the case shown in FIG. 4, the conductive paste film 74 is selectively passed through the negative mask 54 having a predetermined size from the silver paste film 72 side (that is, passed through the substrate 42). Exposure directly) That is, the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 are integrally exposed. FIG. 8B shows this state. In the present embodiment, the photosensitive conductive paste printing step S1-2 and the paste drying step S2-2 correspond to the high-lightness paste film forming step.

このとき、黒色導電ペースト膜70は、銀ペースト膜72を介して紫外線を照射されることとなるが、銀ペースト膜72中には紫外線等の照射光の透過を著しく妨げる黒色顔料46が含まれておらず、しかも、その膜厚および黒色導電ペースト膜70自身の膜厚が上記のようにそれぞれ薄くされている。そのため、紫外線等を直接照射される銀ペースト膜72はもちろん、その下側に位置する黒色導電ペースト膜70も好適に露光される。これにより、ネガ・マスク54の開口パターンに従った同形状で、黒色導電ペースト膜70および銀ペースト膜72のうちの図に斜線で示される部分78が選択的に硬化させられる。すなわち黒色導電ペースト膜70上にネガ画像が形成される。そのため、その後の現像処理(図4に示される現像工程S4)によって黒色導電ペースト膜70および銀ペースト膜72が積層された所定パターンの導電ペースト膜74が得られ、これを焼成(図4の導体焼成工程S6)することによって前記図6に示されるように、高い導電性と低い明度(黒色度)とを兼ね備えた二層構造の黒色導電厚膜60が形成されるのである。なお、本実施例においては、実施例E1等と同様な水溶性有機結合剤が用いられていることから、現像工程S4で現像液として水が用いられる。   At this time, the black conductive paste film 70 is irradiated with ultraviolet rays through the silver paste film 72. However, the silver paste film 72 contains a black pigment 46 that significantly impedes transmission of irradiation light such as ultraviolet rays. In addition, the film thickness of the black conductive paste film 70 itself is reduced as described above. Therefore, not only the silver paste film 72 directly irradiated with ultraviolet rays or the like, but also the black conductive paste film 70 located therebelow is suitably exposed. As a result, a portion 78 of the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 indicated by hatching in the same shape according to the opening pattern of the negative mask 54 is selectively cured. That is, a negative image is formed on the black conductive paste film 70. Therefore, a conductive paste film 74 having a predetermined pattern in which the black conductive paste film 70 and the silver paste film 72 are laminated is obtained by subsequent development processing (development step S4 shown in FIG. 4), and this is baked (the conductor of FIG. 4). By performing the firing step S6), as shown in FIG. 6, the black conductive thick film 60 having a two-layer structure having both high conductivity and low brightness (blackness) is formed. In this embodiment, since the same water-soluble organic binder as that used in Example E1 is used, water is used as the developer in the developing step S4.

ここで、下記の表4は、本実施例の黒色導電厚膜60の形成過程における解像性を評価した結果(実施例E11)を、異なる材料から成る黒色顔料を用いた場合(比較例R19、R20)と比較して示すものである。なお、比較例は、黒色顔料の種類および比表面積が異なる他は、全て実施例E11と同様な条件で評価した。すなわち、下記の黒色顔料を含む感光性黒色導電ペーストを塗布して形成した黒色ペースト膜の上に前記銀ペースト膜72を設けて、図8(a)に示されるものと同様な二層構造の導電ペースト膜を形成し、その解像性およびこれを焼成した二層構造の黒色導電厚膜の黒色度および抵抗値を評価した。表から明らかなように、本実施例によれば、300〜500(mJ/cm2)程度のエネルギ線量の紫外線を照射することによって精細なパターン形成が可能であるのに対し、比較例においては、本実施例と同様な黒色顔料の添加量では、明度が高くなる(すなわち明度が劣る)ばかりでなく、硬化させられたペースト膜が基板42から剥離し、或いはペースト膜が殆ど硬化せず、何れも所定パターンの黒色導電厚膜を得ることができなかった。 Here, Table 4 below shows the results of evaluating the resolution in the process of forming the black conductive thick film 60 of the present example (Example E11) when a black pigment made of a different material is used (Comparative Example R19). , R20). The comparative examples were all evaluated under the same conditions as in Example E11 except that the type and specific surface area of the black pigment were different. That is, the silver paste film 72 is provided on a black paste film formed by applying a photosensitive black conductive paste containing the following black pigment, and has a two-layer structure similar to that shown in FIG. A conductive paste film was formed, and the resolution and the blackness and resistance value of the black conductive thick film having a two-layer structure obtained by firing the conductive paste film were evaluated. As is clear from the table, according to this example, fine pattern formation is possible by irradiating ultraviolet rays with an energy dose of about 300 to 500 (mJ / cm 2 ), whereas in the comparative example, In addition, the addition amount of the black pigment as in this example not only increases the lightness (that is, the lightness is inferior), but also the cured paste film peels from the substrate 42, or the paste film hardly cures. In either case, a black conductive thick film having a predetermined pattern could not be obtained.

Figure 2006344590
Figure 2006344590

要するに、本実施例によれば、黒色導電厚膜60は、表面66側から観察される基板42の裏面68上に設けられて黒色顔料46を含む黒色導電層62と、その上側に積層して設けられてそれよりも高明度且つ高導電性の黄色導電層64との二層で構成されることから、黒色導電厚膜60全体の導電性は、その黄色導電層64によって十分に高められる。一方、観視側となる基板42の表面66側においては、それら積層された二つの導電層62、64のうちの黒色導電層62がその基板42を介して観察されることから、黒色導電厚膜60の色調は実質的に黒色導電層62によって決定される。このとき、黒色導電厚膜60の導電性は黄色導電層64で確保されることから黒色導電層62の導電性が比較的低くなっても電気特性上の支障は生じない。しかも、黒色導電層62と同様に露光および現像によってパターン形成される黄色導電層64は、その黒色導電層62よりも高明度であることから露光が容易であるため、黒色導電厚膜60全体が黒色導電層62から構成される場合に比較して、その黒色導電層62を形成するための黒色導電ペーストが露光し難くされていても全体として十分な露光性を確保できる。これらのことから、黒色導電層62中に含まれる黒色顔料46の量は黒色導電厚膜60全体の導電性や露光性に殆ど影響しないため、それに含まれる黒色顔料46の量を十分に多くして黒色導電層62延いては黒色導電厚膜60の明度および黄色度を十分に低くできる。したがって、導電性および膜形成時の解像性を高く保ちながら、明度および黄色度の低い黒色導電厚膜60が得られる。   In short, according to the present embodiment, the black conductive thick film 60 is laminated on the black conductive layer 62 including the black pigment 46 provided on the back surface 68 of the substrate 42 observed from the front surface 66 side. Since the yellow conductive layer 64 is provided with the yellow conductive layer 64 having higher brightness and higher conductivity than that, the overall conductivity of the black conductive thick film 60 is sufficiently enhanced by the yellow conductive layer 64. On the other hand, on the surface 66 side of the substrate 42 that is the viewing side, the black conductive layer 62 of the two conductive layers 62 and 64 that are laminated is observed through the substrate 42, so that the black conductive thickness is increased. The color tone of the film 60 is substantially determined by the black conductive layer 62. At this time, since the conductivity of the black conductive thick film 60 is ensured by the yellow conductive layer 64, there is no problem in electrical characteristics even if the conductivity of the black conductive layer 62 is relatively low. In addition, since the yellow conductive layer 64 patterned by exposure and development in the same manner as the black conductive layer 62 has higher brightness than the black conductive layer 62, exposure is easy. Compared to the case where the black conductive layer 62 is used, sufficient exposure can be ensured as a whole even if the black conductive paste for forming the black conductive layer 62 is difficult to be exposed. From these facts, the amount of the black pigment 46 contained in the black conductive layer 62 hardly affects the conductivity and exposure of the entire black conductive thick film 60, so the amount of the black pigment 46 contained therein is sufficiently increased. Thus, the brightness and yellowness of the black conductive layer 62 and the black conductive thick film 60 can be sufficiently lowered. Therefore, the black conductive thick film 60 having low brightness and low yellowness can be obtained while maintaining high conductivity and resolution during film formation.

また、本実施例においては、黒色導電厚膜60を形成するに際しては、感光性黒色導電ペースト印刷工程S1およびペースト乾燥工程S2において、基板42の裏面68に感光性黒色導電ペーストを塗布および乾燥して黒色導電ペースト膜70が形成され、感光性導電ペースト印刷工程S1−2およびペースト乾燥工程S2−2において、その黒色導電ペースト膜70から生成される黒色導電層62よりも明度が高く且つ導電性の高い黄色導電層64を形成するための感光性銀ペーストを、その黒色導電ペースト膜70上に塗布して銀ペースト膜72を積層形成することにより、所定厚さの導電ペースト膜74が形成され、更に、導体焼成工程S4において、その導電ペースト膜74を焼成して所定パターンの黒色導電厚膜60が生成される。そのため、黒色導電厚膜60は、黒色導電ペースト膜70から生成された黒色導電層62と、銀ペースト膜72から生成された黄色導電層64とが積層されて構成されることから、上述のように、導電性が高く且つ明度および黄色度の低い黒色導電厚膜60を形成することができる。   In this embodiment, when forming the black conductive thick film 60, the photosensitive black conductive paste is applied to the back surface 68 of the substrate 42 and dried in the photosensitive black conductive paste printing step S1 and the paste drying step S2. The black conductive paste film 70 is formed, and in the photosensitive conductive paste printing step S1-2 and the paste drying step S2-2, the lightness is higher than that of the black conductive layer 62 generated from the black conductive paste film 70 and the conductive property is high. A photosensitive silver paste for forming a high yellow conductive layer 64 is applied on the black conductive paste film 70 and a silver paste film 72 is laminated to form a conductive paste film 74 having a predetermined thickness. Further, in the conductor firing step S4, the conductive paste film 74 is fired to produce a black conductive thick film 60 having a predetermined pattern.Therefore, the black conductive thick film 60 is configured by laminating the black conductive layer 62 generated from the black conductive paste film 70 and the yellow conductive layer 64 generated from the silver paste film 72. In addition, the thick black conductive film 60 having high conductivity and low brightness and yellowness can be formed.

また、本実施例においては、高明度ペースト膜形成工程に対応する感光性導電ペースト印刷工程S1−2およびペースト乾燥工程S2−2の後に、露光工程S3において、所定の開口パターンのマスク54を介して導電ペースト膜74が選択的に露光され、その露光工程S3の後に、現像工程S4において、その導電ペースト膜74のうちの硬化していない部分が水洗除去され、その後、導体焼成工程S6が施される。そのため、感光性ペーストを用いて、露光および現像処理により黒色導電厚膜60がパターン形成されることから、厚膜スクリーン印刷法でパターン形成する場合よりも容易に高精度のパターンが得られる。このとき、黒色導電厚膜60に生成される導電ペースト膜74は、黒色導電ペースト膜70と銀ペースト膜72とが積層されているが、これらのうち銀ペースト膜72は黒色顔料46を含む黒色導電ペースト膜70よりも露光が容易である。したがって、前述のように生成される黒色導電厚膜60の導電性が黄色導電層64で確保されることに加えて、全体が黒色導電ペースト膜70から生成される場合に比較して、黒色導電ペースト膜70が露光し難くされていても導電ペースト膜74全体として十分な露光性を確保できるため、その中に含まれる黒色顔料46を量を比較的多くできる。上記により、感光性黒色導電ペーストを用いて露光および現像処理を経て黒色導電厚膜60を形成するに際して、解像性および生成される膜60の導電性を高く保ちながら、明度および黄色度を一層低くすることができる。   Further, in this embodiment, after the photosensitive conductive paste printing step S1-2 and paste drying step S2-2 corresponding to the high-lightness paste film forming step, in the exposure step S3, the mask 54 having a predetermined opening pattern is interposed. The conductive paste film 74 is selectively exposed, and after the exposure step S3, the uncured portion of the conductive paste film 74 is removed by washing in the development step S4, and then the conductor baking step S6 is performed. Is done. Therefore, since the black conductive thick film 60 is patterned by exposure and development processing using a photosensitive paste, a highly accurate pattern can be obtained more easily than when the pattern is formed by the thick film screen printing method. At this time, the conductive paste film 74 generated on the black conductive thick film 60 is formed by laminating a black conductive paste film 70 and a silver paste film 72, and among these, the silver paste film 72 is a black containing the black pigment 46. Exposure is easier than that of the conductive paste film 70. Therefore, in addition to ensuring the conductivity of the black conductive thick film 60 generated as described above by the yellow conductive layer 64, the black conductive film 60 is compared with the case where the whole is generated from the black conductive paste film 70. Even if the paste film 70 is difficult to be exposed, the conductive paste film 74 as a whole can be sufficiently exposed, so that the amount of the black pigment 46 contained therein can be relatively large. As described above, when the black conductive thick film 60 is formed through the exposure and development processing using the photosensitive black conductive paste, the brightness and the yellowness are further increased while keeping the resolution and the conductivity of the generated film 60 high. Can be lowered.

また、本実施例においては、感光性銀ペースト組成物は、ペースト組成物の全体に対する割合で60(wt%)の範囲で銀粉末を含むものである。このようにすれば、専ら導電性の確保に寄与する感光性銀ペーストの銀粉末の含有量が十分に多くされていることから、生成される黒色導電厚膜60に全体として十分に高い導電性が付与される。   In this example, the photosensitive silver paste composition contains silver powder in the range of 60 (wt%) as a percentage of the total paste composition. In this way, since the content of the silver powder of the photosensitive silver paste that contributes exclusively to ensuring conductivity is sufficiently increased, the resulting black conductive thick film 60 has a sufficiently high conductivity as a whole. Is granted.

下記の表5は、更に他の実施例の黒色導電厚膜の評価結果を示すものであって、黒色顔料の種類および添加量を種々変更した黒色導電ペーストを用いて、前記図3に示される黒色導電厚膜40と同様な黒色導電厚膜を、例えば厚膜スクリーン印刷法等を用いて形成して評価した結果を、黒色顔料の調合条件と併せて比較例と共に示すものである。表において、「黒色顔料」欄はペーストに添加した黒色顔料の種類を、「比表面積」および「添加量」欄はその黒色顔料の比表面積および添加量を、「シート抵抗値」、「L値」、「b値」はそれぞれ形成された黒色導電厚膜の特性をそれぞれ表す。なお、「シート抵抗値」は、黒色導電厚膜の厚さを10(μm)に換算した値である。また、「b値」は黄色さの程度を表すものであって、値が大きいほど黄色いことを示す。L値およびb値は前述の実施例と同様に色差計によって測定した。   Table 5 below shows the evaluation results of the black conductive thick film of still another example, and is shown in FIG. 3 using a black conductive paste in which the type and addition amount of the black pigment are variously changed. The result of forming and evaluating a black conductive thick film similar to the black conductive thick film 40 using, for example, a thick film screen printing method is shown together with the preparation conditions of the black pigment together with a comparative example. In the table, the “black pigment” column indicates the type of black pigment added to the paste, the “specific surface area” and the “addition amount” columns indicate the specific surface area and addition amount of the black pigment, “sheet resistance value”, “L value”. "And" b value "represent the characteristics of the formed black conductive thick film, respectively. The “sheet resistance value” is a value obtained by converting the thickness of the black conductive thick film to 10 (μm). The “b value” represents the degree of yellowness, and the higher the value, the more yellow. The L value and b value were measured with a color difference meter in the same manner as in the above-described Examples.

Figure 2006344590
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なお、上記の表5において示されていないペースト構成要素、すなわち黒色顔料以外の構成要素は、実施例および比較例共全て同様である。すなわち、何れも、導電成分として比表面積2(m2/g)程度の銀粉末を60(wt%)程度、軟化点400(℃)程度で比表面積2(m2/g)程度のガラス粉末(例えばPbO-SiO2-B2O3)を5(wt%)程度、有機結合剤としてエチルセルロースを5(wt%)程度、および有機溶剤としてブチルカルビトールアセテート(BCA)を30(wt%)程度から成る共通成分を含む。また、黒色導電ペーストに含まれる黒色顔料は、上記表において各々の「黒色顔料」欄に示されるものを、上記共通要素の合計100(wt%)に対して各々の「添加量」欄に記されている量を添加した。 The paste constituents not shown in Table 5 above, that is, constituents other than the black pigment are all the same in the examples and comparative examples. That is, in all cases, a silver powder having a specific surface area of about 2 (m 2 / g) as a conductive component is about 60 (wt%), and a glass powder having a softening point of about 400 (° C.) and a specific surface area of about 2 (m 2 / g). (For example, PbO—SiO 2 —B 2 O 3 ) is about 5 wt%, ethyl cellulose is about 5 wt% as an organic binder, and butyl carbitol acetate (BCA) is 30 wt% as an organic solvent. Contains a common component consisting of a degree. The black pigments contained in the black conductive paste are those listed in the respective “black pigment” column in the above table, and are listed in each “addition amount” column for the total of 100 (wt%) of the above common elements. The amount is added.

また、黒色導電厚膜を形成方法は、実施例および比較例共全て同様であり、例えば以下の通りである。すなわち、先ず、ペーストの構成要素(後述)を混合した後に三本ロール・ミルで混練して黒色導電ペーストを作製する。次いで、前記マスク54と同様な開口パターンを備えたスクリーンを用いて基板42上に所定パターンで印刷する。そして、乾燥および焼成処理を施すことによって黒色導電厚膜が形成される。したがって、本実施例においては、前述のような露光および現像処理を施すことなく、印刷時に予めパターンが形成される。すなわち、本実施例は感光性を要件とする本発明の範囲外ではあるが、黒色顔料の種類、比表面積、および添加量と、特性との関係を示すものである。なお、印刷面は例えばソーダ・ライム・ガラス等から成る基板42のトップ面(非錫面)すなわちフロート法でガラス板を作製する場合に上側に位置する面である。また、焼成は、ベルト炉を用いて温度550(℃)×10(分間)保持にて1.5(時間)サイクルで処理した。   Further, the method of forming the black conductive thick film is the same in both the examples and the comparative examples, and is as follows, for example. That is, first, paste components (described later) are mixed and then kneaded by a three-roll mill to produce a black conductive paste. Next, a predetermined pattern is printed on the substrate 42 using a screen having an opening pattern similar to the mask 54. And a black conductive thick film is formed by performing a drying and baking process. Therefore, in this embodiment, a pattern is formed in advance at the time of printing without performing the exposure and development processing as described above. That is, this example is outside the scope of the present invention that requires photosensitivity, but shows the relationship between the type of black pigment, the specific surface area, the amount added, and the characteristics. The printing surface is a top surface (non-tin surface) of the substrate 42 made of, for example, soda, lime, glass, or the like, that is, a surface positioned on the upper side when a glass plate is produced by the float process. In addition, the firing was performed in a cycle of 1.5 (hours) using a belt furnace while maintaining a temperature of 550 (° C.) × 10 (minutes).

図9および図10は、上記表5に示される結果をグラフにまとめたものである。図9はL値(明度)とシート抵抗値との関係を、図10はL値とb値(黄色度)との関係をそれぞれ表す。表5および図9、10から明らかなように、何れの黒色顔料を用いる場合においても、その添加量が多くなるほどL値が低くなる。これらL値、b値、シート抵抗値は、バス電極30等に用いられる黒色導電厚膜において、何れも可及的に低いことが望まれる特性値であることから、両図共に左下に向かうほど特性が優れているといえる。したがって、両図から、Co3O4を黒色顔料46として用いる場合(実施例E12〜E19)には、上記3つの特性を兼ね備えた黒色導電厚膜が得られることが判る。特に、比表面積が7(m2/g)と微細なCo3O4を用いた実施例E12〜E15では、同様なL値に対するb値およびシート抵抗値が共に、他の全ての黒色顔料が用いられている場合よりも低い(すなわち、各測定値を結ぶ曲線が最も左下に位置する)ことから、バス電極30等に一層好適であることが明らかである。すなわち、Co3O4は、比表面積が2(m2/g)よりも大きいものを用いることが好ましい。なお、比較例R25〜R28は、比較的良好な特性を示しているが、RuO2は比表面積が35(m2/g)程度と微粉であって取扱いが困難であると共に、高価であるという問題がある。 9 and 10 are graphs that summarize the results shown in Table 5 above. FIG. 9 shows the relationship between the L value (lightness) and the sheet resistance value, and FIG. 10 shows the relationship between the L value and the b value (yellowness). As is apparent from Table 5 and FIGS. 9 and 10, when any black pigment is used, the L value decreases as the amount added increases. These L value, b value, and sheet resistance value are characteristic values that are desired to be as low as possible in the black conductive thick film used for the bus electrode 30 and the like. It can be said that the characteristics are excellent. Therefore, it can be seen from both figures that when Co 3 O 4 is used as the black pigment 46 (Examples E12 to E19), a black conductive thick film having the above three characteristics can be obtained. In particular, in Examples E12 to E15 using Co 3 O 4 having a specific surface area of 7 (m 2 / g), all the other black pigments have the same b value and sheet resistance value for the same L value. It is clear that it is more suitable for the bus electrode 30 and the like because it is lower than the case where it is used (that is, the curve connecting the measured values is located at the lower left). That is, it is preferable to use Co 3 O 4 having a specific surface area larger than 2 (m 2 / g). Comparative Examples R25 to R28 show relatively good characteristics, but RuO 2 is a fine powder with a specific surface area of about 35 (m 2 / g), and is difficult to handle and expensive. There's a problem.

なお、PDP8等においては、バス電極30等として、L値が42以下、シート抵抗値が10(mΩ/□)以下の図9において斜線で示される範囲にあることが、表示のコントラストを高め且つ駆動を容易にするために望まれる。したがって、実施例E12〜E15の結果から明らかなように、7(m2/g)のCo3O4を用いた場合には、L値が37以上の範囲でシート抵抗値が10(mΩ/□)以下になることから、L値およびシート抵抗値の選択の幅が広がることが判る。 Note that in the PDP 8 or the like, the bus electrode 30 or the like is in the range indicated by the oblique lines in FIG. 9 where the L value is 42 or less and the sheet resistance value is 10 (mΩ / □) or less. Desirable to facilitate driving. Therefore, as is clear from the results of Examples E12 to E15, when 7 (m 2 / g) of Co 3 O 4 is used, the sheet resistance value is 10 (mΩ / □) From the following, it can be seen that the selection range of the L value and the sheet resistance value is widened.

以上、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施される。   As mentioned above, although one Example of this invention was described in detail with reference to drawings, this invention is implemented also in another aspect.

例えば、実施例においては、本発明がPDP8のバス電極30等に適用された場合について説明したが、本発明は、低い明度(L値)および低い抵抗値(すなわち高い導電性)を要求される厚膜導体であれば、他のディスプレイ用電極等にも同様に用いられる。   For example, in the embodiment, the case where the present invention is applied to the bus electrode 30 or the like of the PDP 8 has been described. However, the present invention is required to have low lightness (L value) and low resistance value (that is, high conductivity). If it is a thick film conductor, it can be used in the same manner for other display electrodes.

また、銀粉末、ガラス粉末、黒色顔料46等の比表面積やペースト中の含有量等は、実施例で示した範囲に限られず、黒色導電厚膜40、60等に要求されるL値、b値、および導電性等の特性や、基板42との固着強度等に応じて適宜変更される。但し、何れについても、前述した好適な範囲内において設定することが望ましい。   Further, the specific surface area of the silver powder, glass powder, black pigment 46, etc., the content in the paste, etc. are not limited to the ranges shown in the examples, but the L value required for the black conductive thick films 40, 60, etc., b The value is appropriately changed according to the characteristics such as the value and conductivity and the fixing strength with the substrate 42. However, in any case, it is desirable to set within the preferred range described above.

また、ペーストを調製するための有機結合剤、有機溶剤、光重合性化合物および光重合開始剤等の種類や量は、ペースト膜52、70等に要求される強度や導電厚膜40等に要求される導電性、解像性等を考慮して適宜変更される。   Further, the types and amounts of the organic binder, organic solvent, photopolymerizable compound, photopolymerization initiator, etc. for preparing the paste are required for the strength required for the paste films 52 and 70, the conductive thick film 40, etc. It is appropriately changed in consideration of conductivity, resolution and the like.

例えば、有機結合剤としては、実施例で示されたような水溶性のCMC、HPCやエチルセルロース、アルカリ水溶液に可溶なEMAやEAの重合物等の他に、セルロース誘導体やアルカリ可溶性アクリル重合体等の一種乃至複数種類が適宜用いられる。但し、感光性黒色導電ペーストを用いて黒色導電厚膜40等を形成する場合においては、現像処理を水で行い得ることから、セルロース誘導体が一層好適である。なお、有機結合剤の添加量は、ペーストの総重量に対して5〜20(wt%)程度の範囲が好ましい。5(wt%)未満では銀粉末やガラス粉末の保持性が弱く現像時の剥離が生じ得る一方、20(wt%)を越えると、銀粉末の含有率が低下して膜厚が薄くなり延いては導電性が低下するためである。なお、アルカリ可溶性アクリル重合体が用いられる場合には、アルキッド系樹脂、ロジン系樹脂等を更に添加してもよい。   For example, as the organic binder, in addition to water-soluble CMC, HPC and ethyl cellulose, polymers of EMA and EA soluble in an alkaline aqueous solution as shown in the examples, cellulose derivatives and alkali-soluble acrylic polymers One type or a plurality of types are appropriately used. However, in the case where the black conductive thick film 40 or the like is formed using a photosensitive black conductive paste, a cellulose derivative is more preferable because the development treatment can be performed with water. The amount of the organic binder added is preferably in the range of about 5 to 20 (wt%) with respect to the total weight of the paste. If it is less than 5 (wt%), the retention of silver powder or glass powder is weak and peeling during development can occur. On the other hand, if it exceeds 20 (wt%), the silver powder content decreases and the film thickness becomes thin. This is because the conductivity decreases. In addition, when an alkali-soluble acrylic polymer is used, an alkyd resin, a rosin resin, or the like may be further added.

なお、セルロース誘導体としては、例えば、セルロース、エチルセルロース、メチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシエチルメチルセルロース、およびこれらの塩類等が用いられ得る。但し、感光性ペーストは水現像が可能な水溶性であることが好ましいため、上記のうちエチルセルロースおよびエチルヒドロキシエチルセルロースを除く他の水に可溶なセルロース誘導体が好適に用いられる。   Examples of the cellulose derivative include cellulose, ethyl cellulose, methyl cellulose, ethyl hydroxyethyl cellulose, hydroxymethyl cellulose, hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, carboxyethyl cellulose, carboxyethyl methyl cellulose, and salts thereof. However, since the photosensitive paste is preferably water-soluble so that it can be developed with water, among the above, other water-soluble cellulose derivatives other than ethylcellulose and ethylhydroxyethylcellulose are preferably used.

また、アルカリ可溶性アクリル重合体としては、[アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、シアノ桂皮酸、桂皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー]と[アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、2-ヒドロキシメチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロール(モノ)アクリレート、グリセロール(モノ)メタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート等のモノマー]とを共重合したものが好適に用いられる。このアルカリ可溶性アクリル重合体を用いる場合、酸価は50〜250程度が好ましく、50未満ではアルカリ水溶液での現像が困難になり、反対に250を越えると塗膜性や分散性が悪くなる。また、有機結合剤は、重量平均分子量が1000〜200000程度であることが好ましく、5000〜150000程度が一層好適である。なお、1000未満では基板42との密着性が不十分になると共に銀粉末や黒色顔料46の保持性が低下し、反対に200000を越えると現像時間が長時間になり、或いは現像不能になり得る。   Examples of the alkali-soluble acrylic polymer include [monomers having a carboxyl group such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cyanocinnamic acid, cinnamic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid] and [methyl acrylate, acrylic Ethyl acetate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, 2-hydroxymethyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, Ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol (mono) acrylate, glycerol (mono) methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide , Acrylonitrile, methacrylonitrile, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, and other monomers] are preferably used. When this alkali-soluble acrylic polymer is used, the acid value is preferably about 50 to 250. If it is less than 50, development with an aqueous alkali solution becomes difficult. On the other hand, if it exceeds 250, the coating properties and dispersibility deteriorate. The organic binder preferably has a weight average molecular weight of about 1000 to 200,000, more preferably about 5000 to 150,000. If it is less than 1000, the adhesion to the substrate 42 becomes insufficient and the retention of the silver powder and the black pigment 46 is lowered. On the other hand, if it exceeds 200,000, the development time becomes long or development may become impossible. .

また、光重合性化合物としては、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート等の単官能モノマー、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールモノメタクリレート、トリエチレングリコールモノアクリレート、テトラエチレングリコールモノアクリレート、ノナエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコールモノメタクリレート、トリエチレングリコールモノメタクリレート、テトラエチレングリコールモノメタクリレート、ノナエチレングリコールモノメタクリレート、ジプロピレングリコールモノアクリレート、トリプロピレングリコールモノアクリレート、テトラプロピレングリコールモノアクリレート、ジプロピレングリコールモノメタクリレート、トリプロピレングリコールモノメタクリレート、ブチレングリコールモノメタクリレート、プロピレングリコールモノアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ノナエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ノナエチレングリコールジメタクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、テトラプロピレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジメタクリレート、トリプロピレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等の多官能モノマーが用いられてもよい。   Photopolymerizable compounds include acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl. Ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, isobutyl Acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl Monofunctional monomers such as acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monoacrylate, tetraethylene glycol monoacrylate, nonaethylene glycol monoacrylate, polyethylene glycol monoacrylate , Polyethylene glycol monomethacrylate, triethylene glycol monomethacrylate, tetraethylene glycol monomethacrylate, nonaethylene glycol monomethacrylate, dipropylene glycol monoacrylate, tripropylene glycol monoacrylate, tetrapropylene glycol monoacrylate, dipropylene glycol monomethyl Tacrylate, tripropylene glycol monomethacrylate, butylene glycol monomethacrylate, propylene glycol monoacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, nonaethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate Methacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, nonaethylene glycol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, tetrapropylene glycol diacrylate, dipropylene glycol dimethacrylate, tripropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethyl ester Chryrate, propylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate , Dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardo epoxy diacrylate, etc. Sensuality A mer may be used.

また、光重合開始剤としては、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、3,3-ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンゾフェノン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-(4-ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、4-ベンゾイル-4'-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ安息香酸-2-エチルヘキシル、4-ジメチルアミノ安息香酸-2-イソアミル、2,2-ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、ベンジル-β-メトキシエチルアセタール、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(ο-エトキシカルボニル)オキシム、ο-ベンゾイル安息香酸メチル、ビス(4-ジメチルアミノフェニル)ケトン、4,4'-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4'-ジクロロベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルジクロロアセトフェノン、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、α,α-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、ペンチル-4-ジメチルアミノベンゾエート等が用いられてもよい。   Examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2- Morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2,4-diethylthioxanthone, 2 -Chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane -1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy- 2-methylpropan-1-one, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, benzyl-β-methoxyethyl acetal, 1-phenyl-1,2 -Propanedione-2- (ο-ethoxycarbonyl) oxime, methyl ο-benzoylbenzoate, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, benzyl, Benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl Ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, α, α -Dichloro-4-phenoxyacetophenone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate and the like may be used.

また、有機溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジプロピルエーテル、プロプレングリコールモノメチルエーテル、プロプレングリコールモノエチルエーテル、プロプレングリコールモノプロピルエーテル、プロプレングリコールモノブチルエーテル、プロプレングリコールジメチルエーテル、プロプレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート、プロプレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロプレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロプレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、2-メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、4-メトキシブチルアセテート、2-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-エチル-3-メトキシブチルアセテート、2-エトキシブチルアセテート、4-エトキシブチルアセテート、4-プロポキシブチルアセテート、2-メトキシペンチルアセテート、3-メトキシペンチルアセテート、4-メトキシペンチルアセテート、2-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-3-メトキシペンチルアセテート、3-メチル-4-メトキシペンチルアセテート、4-メチル-4-メトキシペンチルアセテート、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン、シクロヘキサン、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸プロピル、プロピオン酸イソプロピル、2-ヒドロキシプロピオン酸メチル、2-ヒドロキシプロピオン酸エチル、2-ヒドロキシ-2-メチル、メチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-メトキシプロピオネート、エチル-3-エトキシプロピオネート、エチル-3-プロポキシプロピオネート、プロピル-3-メトキシプロピオネート、イソプロピル-3-メトキシプロピオネート、エトキシ酢酸エチル、オキシ酢酸エチル、2-ヒドロキシ-3-メチルブタン酸メチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イソアミル炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、ピルビン酸ブチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、ベンジルメチルエーテル、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、酢酸ベンジル、安息香酸ベンジル、蓚酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ-ブチロラクトン、ベンゼン、トルエン、キシレン、シクロヘキサン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、3-メチル-3-メトキシブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、ターピネオール、ジヒドロターピネオール等が用いられてもよい。なお、上記の中でも、3-メチル-3-メトキシブタノールは、銀粉末、ガラス粉末等の無機材表面に存在する金属イオンとアルカリ水溶液に可溶な有機結合剤との反応性を低下させることができるため、ペーストの粘度変化やゲル化が抑制されて高い保存安定性が得られる。また、ペースト中の有機溶媒の含有量は、1〜40(wt%)程度が好ましい。1(wt%)未満では均一な塗布や露光工程S6におけるコンタクト露光が困難であり、反対に40(wt%)を越えると粘度が低下して沈降が起き易くなるためである。   As the organic solvent, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dipropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monophenyl ether, diethylene glycol Dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monophenyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, Diethylene glycol monopropyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monophenyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, proprene glycol monoethyl ether acetate, proprene Recall monopropyl ether acetate, 2-methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-ethyl-3- Methoxybutyl acetate, 2-ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 4-propoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3-methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-4-methoxypentyl acetate, 4-methyl-4-methoxypentyl acetate, acetone, methyl ethyl ketone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethyl isobutyl ketone, tetrahydrofuran, Rhohexane, methyl propionate, ethyl propionate, propyl propionate, isopropyl propionate, methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, 2-hydroxy-2-methyl, methyl-3-methoxypropionate, ethyl -3-methoxypropionate, ethyl-3-ethoxypropionate, ethyl-3-propoxypropionate, propyl-3-methoxypropionate, isopropyl-3-methoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, oxyacetic acid Ethyl, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, isoamyl methyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate, butyl carbonate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, pyruvine Propyl acid, butyl pyruvate, Methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, benzyl methyl ether, benzyl ethyl ether, dihexyl ether, benzyl acetate, benzyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, benzene, toluene, xylene, cyclohexane, methanol, ethanol, propanol Butanol, 3-methyl-3-methoxybutanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, glycerin, terpineol, dihydroterpineol and the like may be used. Of the above, 3-methyl-3-methoxybutanol can reduce the reactivity between metal ions present on the surface of inorganic materials such as silver powder and glass powder and organic binders soluble in alkaline aqueous solutions. Therefore, the viscosity change and gelation of the paste are suppressed, and high storage stability is obtained. The content of the organic solvent in the paste is preferably about 1 to 40 (wt%). If it is less than 1 (wt%), uniform coating and contact exposure in the exposure step S6 are difficult. Conversely, if it exceeds 40 (wt%), the viscosity decreases and sedimentation tends to occur.

また、導電ペースト中には、更に染料、可塑剤、界面活性剤、消泡剤、熱重合禁止剤等の他の添加物が含まれていてもよい。染料としては、例えばシアニングリーン等を用いることができる。また、可塑剤としては、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等が好適に用いられる。なお、これらの可塑剤は、有機溶剤として用いることもできる。また、消泡剤としては、シリコーン系やフッ素系等各種のものを用い得る。   The conductive paste may further contain other additives such as dyes, plasticizers, surfactants, antifoaming agents, thermal polymerization inhibitors. As the dye, for example, cyanine green can be used. As the plasticizer, dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetyl glycerin and the like are preferably used. In addition, these plasticizers can also be used as an organic solvent. Moreover, as an antifoamer, various things, such as a silicone type and a fluorine type, can be used.

また、実施例においては、厚膜スクリーン印刷法やバー・コータによって基板42上に感光性黒色導電ペーストを塗布して露光および現像していたが、黒色導電厚膜40等の形成方法はこれらに限定されない。例えば、サンド・ブラスト法やリフトオフ法等によって黒色導電厚膜40等を形成する場合にも本発明は同様に適用される。   In the embodiment, the photosensitive black conductive paste was applied on the substrate 42 by the thick film screen printing method or the bar coater and exposed and developed. However, the method for forming the black conductive thick film 40 and the like is not limited thereto. It is not limited. For example, the present invention is similarly applied when the black conductive thick film 40 and the like are formed by a sand blast method, a lift-off method, or the like.

また、実施例においては、黒色導電ペーストが粘度100(Pa・s)程度に調製されていたが、その粘度は形成するペースト膜の厚さ等に応じて適宜変更される。但し、全面に一様な厚さで印刷するためには、5〜200(Pa・s)程度の範囲にされることが好ましく、10〜150(Pa・s)程度の範囲が一層好ましい。   In the examples, the black conductive paste was prepared to have a viscosity of about 100 (Pa · s), but the viscosity is appropriately changed according to the thickness of the paste film to be formed. However, in order to print the entire surface with a uniform thickness, it is preferably in the range of about 5 to 200 (Pa · s), more preferably in the range of about 10 to 150 (Pa · s).

また、実施例においては、乾燥後において黒色導電ペースト膜52が10(μm)程度、導電ペースト膜74の膜厚が5〜6(μm)程度になるようにそれぞれ形成されていたが、乾燥膜厚は黒色導電厚膜40、60の要求膜厚に応じて、例えば5〜20(μm)程度の範囲で適宜変更される。なお、20(μm)を越える乾燥厚みを必要とする場合等のように一回の塗布で必要膜厚を得られない場合には、その必要膜厚となるまでペーストが繰り返し塗布すればよい。   In the embodiment, after drying, the black conductive paste film 52 is formed to have a thickness of about 10 (μm) and the conductive paste film 74 has a thickness of about 5 to 6 (μm). The thickness is appropriately changed within a range of, for example, about 5 to 20 (μm) according to the required film thickness of the black conductive thick films 40 and 60. When the required film thickness cannot be obtained by a single application, such as when a dry thickness exceeding 20 (μm) is required, the paste may be repeatedly applied until the required film thickness is reached.

また、実施例においては、ペースト乾燥工程S2において80(℃)程度の温度で15(分間)程度乾燥を施し、導体焼成工程S6において550(℃)程度の温度で焼成処理を施していたが、乾燥温度や時間はペースト膜の厚みや有機溶剤の種類、モノマーの熱重合開始温度等に応じて適宜変更され、焼成温度はガラス粉末の種類等に応じて適宜変更される。なお、好ましい範囲は、乾燥温度および時間がそれぞれ、例えば70〜200(℃)程度、5〜60(分間)程度であり、焼成温度は基板42の熱変形温度や400〜450(℃)程度で処理される封着工程での黒色導電膜40、60等の熱変形等を考慮すると500〜600(℃)程度である。   In the example, the paste drying step S2 was dried at a temperature of about 80 (° C.) for about 15 (minutes), and the conductor firing step S6 was performed at a temperature of about 550 (° C.). The drying temperature and time are appropriately changed according to the thickness of the paste film, the type of the organic solvent, the thermal polymerization start temperature of the monomer, and the like, and the firing temperature is appropriately changed according to the type of the glass powder. The preferable ranges are the drying temperature and time, for example, about 70 to 200 (° C.) and about 5 to 60 (min), respectively, and the firing temperature is about the heat deformation temperature of the substrate 42 or about 400 to 450 (° C.). Considering thermal deformation of the black conductive films 40 and 60 in the sealing process to be processed, the temperature is about 500 to 600 (° C.).

また、実施例においては、露光工程S3において、波長350(nm)程度の紫外線を用いて露光していたが、照射光の波長は光重合性化合物の種類に応じて適宜変更される。なお、実施例においては紫外線の発生源として超高圧水銀灯が用いられていたが、低圧水銀灯、高圧水銀灯、ケミカル・ランプ等を用いることができ、照射するエネルギ線量は、黒色導電ペースト膜52等の露光性に応じて、例えば20〜1000(mJ/cm2)程度の範囲で適宜変更される。 In the embodiment, the exposure process S3 is performed using ultraviolet rays having a wavelength of about 350 (nm), but the wavelength of the irradiation light is appropriately changed according to the type of the photopolymerizable compound. In the embodiment, an ultra-high pressure mercury lamp is used as a generation source of ultraviolet rays. However, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a chemical lamp, or the like can be used. Depending on the exposure property, it is appropriately changed within a range of, for example, about 20 to 1000 (mJ / cm 2 ).

また、実施例においては、感光性黒色導電ペースト中に光重合性化合物が含まれることによって、露光工程S3において露光させられた部分58が硬化させられてパターンを構成していたが、反対に、露光させられることにより分解させられる化合物等を用いることにより、露光させられない部分で黒色導電厚膜40等のパターンが形成されるように構成されていてもよい。すなわち、感光性組成物としては、光重合性化合物に限られず、光を照射されることによって重合、分解、付加、二量化、酸化、還元等の化学反応を起こし、溶解性や硬さが変化するものであれば、種々の組成物が用いられ得る。なお、露光により分解する化合物が用いられる場合には、露光工程S3においてはネガ・マスク54に変えて開口部56と非開口部が反対にされたポジ・マスクを用いる必要がある。   In the example, the photopolymerizable compound is contained in the photosensitive black conductive paste, so that the portion 58 exposed in the exposure step S3 is cured to form a pattern. By using a compound or the like that is decomposed by being exposed, a pattern such as the black conductive thick film 40 may be formed in a portion that is not exposed. That is, the photosensitive composition is not limited to a photopolymerizable compound, but undergoes a chemical reaction such as polymerization, decomposition, addition, dimerization, oxidation, reduction, etc. when irradiated with light, and changes in solubility and hardness. Various compositions can be used as long as they do. When a compound that decomposes by exposure is used, it is necessary to use a positive mask in which the opening 56 and the non-opening are reversed instead of the negative mask 54 in the exposure step S3.

その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。   In addition, although not illustrated one by one, the present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.

(a)は、本発明の黒色導電厚膜が備えられ得るPDPの一例の構成を一部を切り欠いて示す斜視図であって、(b)は、(a)において書込電極の長手方向に沿った断面を示す図である。(a) is a perspective view showing a configuration of an example of a PDP in which the black conductive thick film of the present invention can be provided, with a part cut away, and (b) is a longitudinal direction of a write electrode in (a) It is a figure which shows the cross section along line. 図1のPDPにおいて表示放電電極が前面板上に直接膜形成される場合の断面構造を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional structure in case the display discharge electrode forms a film | membrane directly on a front plate in PDP of FIG. (a)は、本発明の一実施例の黒色導電厚膜を示す斜視図であり、(b)は(a)におけるb−b視断面を拡大して模式的に示す図である。(a) is a perspective view which shows the black conductive thick film of one Example of this invention, (b) is a figure which expands and shows the bb cross section in (a) typically. 図3の黒色導電厚膜の形成方法を説明する工程図である。It is process drawing explaining the formation method of the black conductive thick film of FIG. (a)〜(c)は、図4の膜形成工程の各段階における基板の断面構造を示す図である。(a)-(c) is a figure which shows the cross-section of a board | substrate in each step of the film | membrane formation process of FIG. 本発明の他の実施例の黒色導電厚膜を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the black conductive thick film of the other Example of this invention. 図6の黒色導電厚膜の形成工程の要部を説明する工程図である。It is process drawing explaining the principal part of the formation process of the black conductive thick film of FIG. (a)、(b)は、図7の膜形成工程の各段階における基板の断面構造を示す図である。(a), (b) is a figure which shows the cross-section of a board | substrate in each step of the film | membrane formation process of FIG. 本発明の他の実施例の黒色導電厚膜のL値とシート抵抗値との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between L value and sheet resistance value of the black conductive thick film of the other Example of this invention. 図9の黒色導電厚膜のL値とb値との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between L value and b value of the black conductive thick film of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

40:黒色導電厚膜、42:基板、44:銀、46:黒色顔料、48:ガラス 40: black conductive thick film, 42: substrate, 44: silver, 46: black pigment, 48: glass

Claims (6)

銀粉末と、ガラス粉末と、有機結合剤と、有機溶剤と、感光性組成物と、黒色顔料とを含んで感光性を有し、露光および現像処理により、ディスプレイの電極として機能する黒色を呈する導電厚膜を形成するために用いられるディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物であって、
前記黒色顔料は比表面積が1乃至20(m2/g)の範囲内のCo3O4(四酸化三コバルト)粉末から成ることを特徴とするディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物。
It contains silver powder, glass powder, organic binder, organic solvent, photosensitive composition, and black pigment, has photosensitivity, and exhibits a black color that functions as a display electrode by exposure and development processing. A photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode used for forming a conductive thick film,
A photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode, wherein the black pigment is made of Co 3 O 4 (tricobalt tetroxide) powder having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g).
前記有機結合剤は、セルロース誘導体である請求項1のディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物。   The photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode according to claim 1, wherein the organic binder is a cellulose derivative. 前記黒色顔料は、ペースト組成物の全体に対する割合で0.5乃至20(wt%)の範囲で含まれているものである請求項1または請求項2のディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物。   The photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode according to claim 1 or 2, wherein the black pigment is contained in a range of 0.5 to 20 (wt%) with respect to the whole paste composition. 所定の基板上に所定パターンで設けられ、銀および黒色顔料がガラスで結合されて成る、ディスプレイ電極用黒色導電厚膜であって、
前記黒色顔料は比表面積が1乃至20(m2/g)の範囲内のCo3O4から成るものであり、
光硬化性化合物を含む感光性導電ペーストを用いて露光および現像によりパターン形成されたものであることを特徴とするディスプレイ電極用黒色導電厚膜。
A black conductive thick film for a display electrode, which is provided in a predetermined pattern on a predetermined substrate and formed by combining silver and a black pigment with glass,
The black pigment is made of Co 3 O 4 having a specific surface area of 1 to 20 (m 2 / g),
A black conductive thick film for a display electrode, which is patterned by exposure and development using a photosensitive conductive paste containing a photocurable compound.
前記黒色導電厚膜は、所定の一面側から観察される透光性基板の該一面とは反対側の他面上に設けられて前記黒色顔料を含む黒色導電層と、該黒色導電層よりも高い明度および高い導電性を有してその上側に積層して備えられた高明度高導電層とを含むものである請求項4のディスプレイ電極用黒色導電厚膜。   The black conductive thick film is provided on the other surface opposite to the one surface of the translucent substrate observed from a predetermined one surface side, and includes a black conductive layer containing the black pigment, and more than the black conductive layer. The black conductive thick film for a display electrode according to claim 4, comprising a high-lightness and high-conductivity layer provided on the upper side of the lightness and high conductivity. 所定の一面側から観察される透光性基板の該一面とは反対側の他面上にディスプレイの電極として機能するディスプレイ電極用黒色導電厚膜を所定パターンで形成する方法であって、
前記透光性基板の他面に前記請求項1乃至3の何れかのディスプレイ電極形成用感光性黒色導電ペースト組成物を塗布して感光性黒色導電ペースト膜を形成する感光性黒色ペースト膜形成工程と、
前記感光性黒色導電ペースト膜から生成されるものよりも明度が高く且つ導電性の高い膜を生成するための感光性高明度高導電ペースト組成物を、該感光性黒色導電ペースト膜上に塗布して感光性高明度高導電ペースト膜を積層形成することにより、所定厚さの感光性導電ペースト膜を形成する感光性高明度ペースト膜形成工程と、
所定の開口パターンの遮蔽膜を介して前記感光性導電ペースト膜を選択的に露光する露光工程と、
該露光工程の後に前記感光性導電ペースト膜のうちの非硬化部分を所定の現像液で洗浄除去する現像工程と、
前記感光性導電ペースト膜を焼成して所定パターンの黒色導電厚膜を生成する焼成工程と
を、含むことを特徴とするディスプレイ電極用黒色導電厚膜の形成方法。
A method of forming a black conductive thick film for a display electrode functioning as an electrode of a display in a predetermined pattern on the other surface opposite to the one surface of the translucent substrate observed from a predetermined one surface side,
A photosensitive black paste film forming step of forming a photosensitive black conductive paste film by applying the photosensitive black conductive paste composition for forming a display electrode according to any one of claims 1 to 3 on the other surface of the translucent substrate. When,
A photosensitive high-lightness and high-conductivity paste composition for producing a film having higher brightness and higher conductivity than that produced from the photosensitive black conductive paste film is applied onto the photosensitive black conductive paste film. A photosensitive high-lightness paste film forming step of forming a photosensitive conductive paste film having a predetermined thickness by laminating and forming a photosensitive high-lightness high-conductive paste film;
An exposure step of selectively exposing the photosensitive conductive paste film through a shielding film having a predetermined opening pattern;
A development step of washing and removing a non-cured portion of the photosensitive conductive paste film with a predetermined developer after the exposure step;
A method of forming a black conductive thick film for display electrodes, comprising: baking the photosensitive conductive paste film to generate a black conductive thick film having a predetermined pattern.
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