JP2001002444A - 光ファイバ母材作製用バーナーおよびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材作製用バーナーおよびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法Info
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 出発ターゲット材の堆積基準点に対して、高
い精度で位置合わせの容易なバーナーを提供する。 【解決手段】 火炎反応により生成するガラス微粒子を
出発ターゲット材に堆積させて光ファイバ母材を作製す
るためのバーナーであって、ガス導入側開口端とガス噴
出側開口端とを有する複数のガス導管から構成され、ガ
ス導入部材に対してガス導入側開口端で着脱自在であ
り、少なくとも一つのガス導管が一端から他端に向けて
見通しのきく光軸を有する。
い精度で位置合わせの容易なバーナーを提供する。 【解決手段】 火炎反応により生成するガラス微粒子を
出発ターゲット材に堆積させて光ファイバ母材を作製す
るためのバーナーであって、ガス導入側開口端とガス噴
出側開口端とを有する複数のガス導管から構成され、ガ
ス導入部材に対してガス導入側開口端で着脱自在であ
り、少なくとも一つのガス導管が一端から他端に向けて
見通しのきく光軸を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、原料ガスを火炎加
水分解させて生じたガラス微粒子を出発ターゲット材に
堆積させるバーナーに係り、位置合わせの容易な光ファ
イバ母材作製用バーナー（以下、単にバーナーという）
およびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法に関す
る。
水分解させて生じたガラス微粒子を出発ターゲット材に
堆積させるバーナーに係り、位置合わせの容易な光ファ
イバ母材作製用バーナー（以下、単にバーナーという）
およびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバ母材の製造は、例えば
図７に示すように、Ｈ2 、Ｏ2 ガスとともにＡｒをキャ
リアガスとするＳｉＣｌ4 、ドープ剤としてのＧｅＣｌ
4 などの原料ガスをバーナー１に供給し、加水分解反応
により生じたガラス微粒子を、堆積基準点に設置した回
転移動する出発ターゲット材に向けて噴出させてコア部
を堆積し、この上にＨ2 、Ｏ2 ガスおよびＡｒをキャリ
アガスとするＳｉＣｌ4を別のバーナー１に供給してク
ラッド部を堆積させ、所定の屈折率分布を有するスート
堆積体（多孔質ガラス母材）２を形成していた。ドープ
剤の分布は、バーナーに導入する原料ガスや燃焼ガスの
みならず、バーナーと堆積面との距離やバーナーの角度
等の位置関係によっても敏感に影響する。
図７に示すように、Ｈ2 、Ｏ2 ガスとともにＡｒをキャ
リアガスとするＳｉＣｌ4 、ドープ剤としてのＧｅＣｌ
4 などの原料ガスをバーナー１に供給し、加水分解反応
により生じたガラス微粒子を、堆積基準点に設置した回
転移動する出発ターゲット材に向けて噴出させてコア部
を堆積し、この上にＨ2 、Ｏ2 ガスおよびＡｒをキャリ
アガスとするＳｉＣｌ4を別のバーナー１に供給してク
ラッド部を堆積させ、所定の屈折率分布を有するスート
堆積体（多孔質ガラス母材）２を形成していた。ドープ
剤の分布は、バーナーに導入する原料ガスや燃焼ガスの
みならず、バーナーと堆積面との距離やバーナーの角度
等の位置関係によっても敏感に影響する。
【０００３】図８（ａ）は、バーナーをガス噴出側開口
端から見た正面図であり、図８（ｂ）は、バーナーの中
心線に沿う断面図である。図から明らかなようにバーナ
ー１は、複数のガス導管３が同心円状に配設された多重
管構造を有し、各ガス導管３には適当な間隔でガス供給
装置（図示を省略）からガスを供給するための枝管４が
接続されている。バーナー１は、新規に装置を組み立て
るとき、あるいは装置から外して点検もしくは掃除した
後、再び装着するとき、バーナーとスート堆積面との位
置関係を正確に合わせる必要がある。
端から見た正面図であり、図８（ｂ）は、バーナーの中
心線に沿う断面図である。図から明らかなようにバーナ
ー１は、複数のガス導管３が同心円状に配設された多重
管構造を有し、各ガス導管３には適当な間隔でガス供給
装置（図示を省略）からガスを供給するための枝管４が
接続されている。バーナー１は、新規に装置を組み立て
るとき、あるいは装置から外して点検もしくは掃除した
後、再び装着するとき、バーナーとスート堆積面との位
置関係を正確に合わせる必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、出発ターゲット
材に対するバーナーの位置合わせは、先ず、バーナーを
概略の位置に合わせてスートの堆積を始め、堆積速度や
堆積面の状態を見ながらバーナーの方向や距離の微調整
を行い、さらに、出来上がった多孔質ガラス母材（以
下、単に母材という）の屈折率分布を確認して再調整を
行うので、バーナーの位置合わせに数日を要することも
あった。
材に対するバーナーの位置合わせは、先ず、バーナーを
概略の位置に合わせてスートの堆積を始め、堆積速度や
堆積面の状態を見ながらバーナーの方向や距離の微調整
を行い、さらに、出来上がった多孔質ガラス母材（以
下、単に母材という）の屈折率分布を確認して再調整を
行うので、バーナーの位置合わせに数日を要することも
あった。
【０００５】また、他の方法として、疑似バーナーを用
いてその先端を合致させる方法がある。すなわち、先端
が出発ターゲット材のスート堆積面にほぼ達する疑似バ
ーナーで位置合わせを行い、その後、実際に使用するバ
ーナーをセットするものである。この方法で、バーナー
の位置を精度良く合わせることが可能になったが、疑似
バーナーと実際のバーナーとの個体差によって火炎位置
に微妙な差異を生じ、再調整が必要なケースがあった。
いてその先端を合致させる方法がある。すなわち、先端
が出発ターゲット材のスート堆積面にほぼ達する疑似バ
ーナーで位置合わせを行い、その後、実際に使用するバ
ーナーをセットするものである。この方法で、バーナー
の位置を精度良く合わせることが可能になったが、疑似
バーナーと実際のバーナーとの個体差によって火炎位置
に微妙な差異を生じ、再調整が必要なケースがあった。
【０００６】実際のバーナーを用いて精度良く位置合わ
せする方法として、バーナーの中心に位置するガス導管
から、ガスの代わりに水等の液体を噴出させて、出発タ
ーゲット材のスート堆積面に当る位置を調節する方法が
ある。この方法は噴出された液体が重力の影響で放物線
を描くため、精度良く位置合わせすることが困難であ
り、精度良く位置合わせするには噴出流量を常に一定に
保つ必要があった。その上、反応装置内が液体で汚染さ
れるという問題があった。
せする方法として、バーナーの中心に位置するガス導管
から、ガスの代わりに水等の液体を噴出させて、出発タ
ーゲット材のスート堆積面に当る位置を調節する方法が
ある。この方法は噴出された液体が重力の影響で放物線
を描くため、精度良く位置合わせすることが困難であ
り、精度良く位置合わせするには噴出流量を常に一定に
保つ必要があった。その上、反応装置内が液体で汚染さ
れるという問題があった。
【０００７】本発明は、上記問題に鑑み、出発ターゲッ
ト材の堆積基準点に対して、高い精度で位置合わせの容
易なバーナーを提供することを目的とする。
ト材の堆積基準点に対して、高い精度で位置合わせの容
易なバーナーを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のバーナーは、火
炎反応により生成するガラス微粒子を出発ターゲット材
に堆積させて光ファイバ母材を作製するためのバーナー
であって、ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とを有
する複数のガス導管から構成され、ガス導入部材に対し
てガス導入側開口端で着脱自在であり、少なくとも一つ
のガス導管が一端から他端に向けて見通しのきく光軸を
有することを特徴としている。なかでも、ガス噴出側開
口端が同心円状多重管構造からなるバーナーの中心に位
置するガス導管のガス導入側開口端とガス噴出側開口端
とが互いに見通せる光軸を有する構成とするのがよく、
この光軸をガス噴出方向の軸線と一致させるとより好ま
しい。ガス導管とガス供給源に接続された枝管とを接続
する継ぎ手の屈曲部に鏡面を有する部材を配置し、ガス
導入側開口端とガス噴出側開口端とがこの鏡面を介して
互いに見通せる屈折光軸を有する構成とすることもでき
る。
炎反応により生成するガラス微粒子を出発ターゲット材
に堆積させて光ファイバ母材を作製するためのバーナー
であって、ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とを有
する複数のガス導管から構成され、ガス導入部材に対し
てガス導入側開口端で着脱自在であり、少なくとも一つ
のガス導管が一端から他端に向けて見通しのきく光軸を
有することを特徴としている。なかでも、ガス噴出側開
口端が同心円状多重管構造からなるバーナーの中心に位
置するガス導管のガス導入側開口端とガス噴出側開口端
とが互いに見通せる光軸を有する構成とするのがよく、
この光軸をガス噴出方向の軸線と一致させるとより好ま
しい。ガス導管とガス供給源に接続された枝管とを接続
する継ぎ手の屈曲部に鏡面を有する部材を配置し、ガス
導入側開口端とガス噴出側開口端とがこの鏡面を介して
互いに見通せる屈折光軸を有する構成とすることもでき
る。
【０００９】本発明のバーナーは、一端から他端を見通
せる円管もしくは光学系スコープをガス導管の外側に設
けた構成とすることもできる。この円管もしくは光学系
スコープを伸縮自在とし、あるいはバーナーに対して着
脱自在とすることもでき、さらに、円管もしくは光学系
スコープに対するバーナーの着脱部をＶ溝構造とするこ
ともできる。また、ガス導管のガス噴出側開口端にイメ
ージガイドの一端が位置するように、ガス導管の内側に
イメージガイドを配設して位置合わせすることもでき
る。イメージガイドは、ガス導管に着脱自在な構成とす
る。上記ガス導管には、耐熱性や耐腐食性を考慮して石
英ガラスやステンレス鋼が用いられる。
せる円管もしくは光学系スコープをガス導管の外側に設
けた構成とすることもできる。この円管もしくは光学系
スコープを伸縮自在とし、あるいはバーナーに対して着
脱自在とすることもでき、さらに、円管もしくは光学系
スコープに対するバーナーの着脱部をＶ溝構造とするこ
ともできる。また、ガス導管のガス噴出側開口端にイメ
ージガイドの一端が位置するように、ガス導管の内側に
イメージガイドを配設して位置合わせすることもでき
る。イメージガイドは、ガス導管に着脱自在な構成とす
る。上記ガス導管には、耐熱性や耐腐食性を考慮して石
英ガラスやステンレス鋼が用いられる。
【００１０】上記したように本発明のバーナーは、ガス
導入部材に対してガス導入側開口端で着脱自在であり、
バーナーを構成するガス導管、特にはバーナーの中心に
位置するガス導管が一端から他端を見通せる光軸を有す
る構成とし、この光軸を目視もしくはイメージガイドに
より、あるいは光学機器を用いてレーザ光等を照射し、
バーナーの軸線すなわちバーナーのガス噴出方向の軸線
とスートを堆積させる出発ターゲット材上の堆積基準点
とを容易に合わせることができる。
導入部材に対してガス導入側開口端で着脱自在であり、
バーナーを構成するガス導管、特にはバーナーの中心に
位置するガス導管が一端から他端を見通せる光軸を有す
る構成とし、この光軸を目視もしくはイメージガイドに
より、あるいは光学機器を用いてレーザ光等を照射し、
バーナーの軸線すなわちバーナーのガス噴出方向の軸線
とスートを堆積させる出発ターゲット材上の堆積基準点
とを容易に合わせることができる。
【００１１】本発明の母材の製造方法は、上記バーナー
をガラス微粒子の堆積位置である堆積基準点に対して、
所定の距離・角度に設置し、火炎加水分解で生じたガラ
ス微粒子を出発ターゲット材に堆積させることを特徴と
している。
をガラス微粒子の堆積位置である堆積基準点に対して、
所定の距離・角度に設置し、火炎加水分解で生じたガラ
ス微粒子を出発ターゲット材に堆積させることを特徴と
している。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例に基づき図
面を用いてさらに詳細に説明する。
面を用いてさらに詳細に説明する。
【００１３】
【実施例】（実施例１）本実施例のバーナーは、図１に
示すように、石英ガラス製の複数のガス導管３からなる
多重管構造を有し、中心に位置するガス導管（以後、中
心管という）は、ガス導管３とガス供給源（図示を省
略）に接続されている枝管４とが直線状に接続され、ガ
ス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見通せる
光軸構造を有している。スートを堆積させる出発ターゲ
ット材上の堆積基準点に向けてバーナー１を位置合わせ
するには、先ず、中心管５のガス導入側開口端に接続さ
れたガス供給管を外して中心管の両端を開口し、一端か
ら他端を見通せる光軸を有する状態とする。次いで、ガ
ス導入側開口端から目視にてガス噴出側開口端を覗き、
堆積基準点が視野の中央にくるように位置調整して、中
心管５の軸線を堆積基準点に合わせる。その後、この軸
線に沿ってバーナーを平行移動させ、バーナーと堆積基
準点との距離を所定の長さに合わせることによりバーナ
ーの位置合わせは終了する。目視による位置調整に代え
て、ガス導入側開口端にレーザ発振器を接続してレーザ
光線をガス噴出側開口端に向けて照射し、レーザ光線が
堆積基準点を照射するように位置調整して、中心管の軸
線を堆積基準点に合わせることもできる。このとき、レ
ーザ発振器からパルス光を発射し、パルス光が堆積基準
点で反射して戻ってくる時間を計測してバーナーと堆積
基準点との距離をさらに精度良く合わせることもでき
る。
示すように、石英ガラス製の複数のガス導管３からなる
多重管構造を有し、中心に位置するガス導管（以後、中
心管という）は、ガス導管３とガス供給源（図示を省
略）に接続されている枝管４とが直線状に接続され、ガ
ス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見通せる
光軸構造を有している。スートを堆積させる出発ターゲ
ット材上の堆積基準点に向けてバーナー１を位置合わせ
するには、先ず、中心管５のガス導入側開口端に接続さ
れたガス供給管を外して中心管の両端を開口し、一端か
ら他端を見通せる光軸を有する状態とする。次いで、ガ
ス導入側開口端から目視にてガス噴出側開口端を覗き、
堆積基準点が視野の中央にくるように位置調整して、中
心管５の軸線を堆積基準点に合わせる。その後、この軸
線に沿ってバーナーを平行移動させ、バーナーと堆積基
準点との距離を所定の長さに合わせることによりバーナ
ーの位置合わせは終了する。目視による位置調整に代え
て、ガス導入側開口端にレーザ発振器を接続してレーザ
光線をガス噴出側開口端に向けて照射し、レーザ光線が
堆積基準点を照射するように位置調整して、中心管の軸
線を堆積基準点に合わせることもできる。このとき、レ
ーザ発振器からパルス光を発射し、パルス光が堆積基準
点で反射して戻ってくる時間を計測してバーナーと堆積
基準点との距離をさらに精度良く合わせることもでき
る。
【００１４】（実施例２）図２は、本発明のステンレス
製の多重管バーナーを示す。バーナー１の中心管５は継
ぎ手６を介して枝管４に接続され、継ぎ手６の屈曲部に
鏡面加工したステンレス板７が溶接されている。ステン
レス板７は、継ぎ手６の一端から中心管５のガス噴出側
開口端の少なくとも一部がこの面で反射して見通せる位
置・角度に設置される。このステンレス板７の鏡面によ
り屈折光軸が確保され、枝管４を取り外すことにより継
ぎ手６の一端から中心管５のガス噴出側開口端の少なく
とも一部を見通すことができ、目視によりあるいは光学
系を用いてバーナーの向きを堆積基準点に合わせること
ができる。
製の多重管バーナーを示す。バーナー１の中心管５は継
ぎ手６を介して枝管４に接続され、継ぎ手６の屈曲部に
鏡面加工したステンレス板７が溶接されている。ステン
レス板７は、継ぎ手６の一端から中心管５のガス噴出側
開口端の少なくとも一部がこの面で反射して見通せる位
置・角度に設置される。このステンレス板７の鏡面によ
り屈折光軸が確保され、枝管４を取り外すことにより継
ぎ手６の一端から中心管５のガス噴出側開口端の少なく
とも一部を見通すことができ、目視によりあるいは光学
系を用いてバーナーの向きを堆積基準点に合わせること
ができる。
【００１５】（実施例３）図３に示す例は、本発明の石
英ガラス製の多重管バーナーであり、ガス導管である中
心管５が途中から４本の分岐管８に分岐している。これ
らの分岐管８のうち、中心に位置する分岐中心管９は、
ガス噴出側開口端とガス導入側開口端とが互いに見通せ
る位置にあり、換言すると、ガス噴出側開口端とガス導
入側開口端とが互いに見通せる光軸を有している状態に
ある。
英ガラス製の多重管バーナーであり、ガス導管である中
心管５が途中から４本の分岐管８に分岐している。これ
らの分岐管８のうち、中心に位置する分岐中心管９は、
ガス噴出側開口端とガス導入側開口端とが互いに見通せ
る位置にあり、換言すると、ガス噴出側開口端とガス導
入側開口端とが互いに見通せる光軸を有している状態に
ある。
【００１６】（実施例４）図４に示す例は、本発明のス
テンレス製の多重管バーナーであり、中心管５と枝管４
とがバルブ付き継ぎ手１０で接続されている。バルブ１
０にはボールバルブが使用されており、バルブ１０を開
状態としたとき、ガス噴出側開口端とガス導入側開口端
とが互いに見通せる光軸構造を有している。
テンレス製の多重管バーナーであり、中心管５と枝管４
とがバルブ付き継ぎ手１０で接続されている。バルブ１
０にはボールバルブが使用されており、バルブ１０を開
状態としたとき、ガス噴出側開口端とガス導入側開口端
とが互いに見通せる光軸構造を有している。
【００１７】（実施例５）図５に示す例は、石英ガラス
製の多重管バーナーであり、バーナー１の最外側に位置
するガス導管３にはＶ溝を有する支持台１１が設けら
れ、この上に一端から他端が見通せる円管もしくは光学
系スコープ１２が載置されている。支持台１１は、ガス
導管３の軸線と平行に円管もしくは光学系スコープ１２
を載置することができるようにガス導管３に固定されて
いる。円管１２を用いる場合、円管１２の構造を伸縮自
在とすれば、円管１２の先端をより堆積基準点に近づけ
ることができバーナーの位置・角度調整がさらに容易と
なる。このような構造とすることにより、バーナーのガ
ス噴出側開口端とガス導入側開口端とが互いに光軸で見
通せない構造のものであっても、バーナーの位置・角度
調整を容易に行うことができる。なお、母材製造に際し
ては、このような円管もしくは光学系スコープは製造装
置内の気流の流れを乱すため、取り外すか縮めるかして
気流の流れを乱さないようする必要がある。円管もしく
は光学系スコープの取り付けは、支持台に単に載置する
だけでよいため、脱着による光軸のずれはない。
製の多重管バーナーであり、バーナー１の最外側に位置
するガス導管３にはＶ溝を有する支持台１１が設けら
れ、この上に一端から他端が見通せる円管もしくは光学
系スコープ１２が載置されている。支持台１１は、ガス
導管３の軸線と平行に円管もしくは光学系スコープ１２
を載置することができるようにガス導管３に固定されて
いる。円管１２を用いる場合、円管１２の構造を伸縮自
在とすれば、円管１２の先端をより堆積基準点に近づけ
ることができバーナーの位置・角度調整がさらに容易と
なる。このような構造とすることにより、バーナーのガ
ス噴出側開口端とガス導入側開口端とが互いに光軸で見
通せない構造のものであっても、バーナーの位置・角度
調整を容易に行うことができる。なお、母材製造に際し
ては、このような円管もしくは光学系スコープは製造装
置内の気流の流れを乱すため、取り外すか縮めるかして
気流の流れを乱さないようする必要がある。円管もしく
は光学系スコープの取り付けは、支持台に単に載置する
だけでよいため、脱着による光軸のずれはない。
【００１８】（実施例６）図６に示す例は、ステンレス
製の多重管バーナーであり、バーナー１の中心管５に光
ファイバ束などのイメージガイド１３を設置したもので
ある。イメージガイド１３は屈曲自在であり、ガス導管
が屈曲していても容易に挿入することができる。このイ
メージガイドは、母材製造の際にはガス導入の妨げとな
るため、取り外す必要がある。この構造を有するバーナ
ーは、バーナーのガス噴出側開口端とガス導入側開口端
とが互いに光軸で見通せない構造のものであっても、バ
ーナーの位置・角度調整を容易に行うことができる。
製の多重管バーナーであり、バーナー１の中心管５に光
ファイバ束などのイメージガイド１３を設置したもので
ある。イメージガイド１３は屈曲自在であり、ガス導管
が屈曲していても容易に挿入することができる。このイ
メージガイドは、母材製造の際にはガス導入の妨げとな
るため、取り外す必要がある。この構造を有するバーナ
ーは、バーナーのガス噴出側開口端とガス導入側開口端
とが互いに光軸で見通せない構造のものであっても、バ
ーナーの位置・角度調整を容易に行うことができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明のバーナーは、上記構成としたこ
とにより、少なくとも１本のガス導管が一端から他端を
見通せる光軸を有し、この光軸を目視もしくはイメージ
ガイドにより、あるいは光学機器を用いてレーザ光等を
照射し、バーナーのガス噴出方向の軸線とスートを堆積
させる出発ターゲット材上の堆積基準点とを容易に合わ
せることができる。あるいはバーナーの外側に沿って支
持台に載置した円管もしくは光学系スコープにより、高
い精度で容易に位置合わせすることもできる。
とにより、少なくとも１本のガス導管が一端から他端を
見通せる光軸を有し、この光軸を目視もしくはイメージ
ガイドにより、あるいは光学機器を用いてレーザ光等を
照射し、バーナーのガス噴出方向の軸線とスートを堆積
させる出発ターゲット材上の堆積基準点とを容易に合わ
せることができる。あるいはバーナーの外側に沿って支
持台に載置した円管もしくは光学系スコープにより、高
い精度で容易に位置合わせすることもできる。
【図１】 本発明の石英ガラス製の多重管バーナーを示
し、ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見
通せる光軸構造を有するバーナーの概略断面図である。
し、ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見
通せる光軸構造を有するバーナーの概略断面図である。
【図２】 本発明のステンレス製の多重管バーナーを示
し、継ぎ手の屈曲部に鏡面部材を設置した屈折光軸構造
を有するバーナーの概略断面図である。
し、継ぎ手の屈曲部に鏡面部材を設置した屈折光軸構造
を有するバーナーの概略断面図である。
【図３】 本発明の石英ガラス製の多重管バーナーを示
し、中心に位置するガス導管が分岐した分岐中心管がガ
ス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見通せる
光軸構造を有するバーナーの概略断面図である。
し、中心に位置するガス導管が分岐した分岐中心管がガ
ス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見通せる
光軸構造を有するバーナーの概略断面図である。
【図４】 本発明のステンレス製の多重管バーナーを示
し、中心管と枝管とがバルブ付き継ぎ手で接続され、バ
ルブを開状態としたとき、ガス噴出側開口端とガス導入
側開口端とが互いに見通せる光軸構造を有するバーナー
の概略断面図である。
し、中心管と枝管とがバルブ付き継ぎ手で接続され、バ
ルブを開状態としたとき、ガス噴出側開口端とガス導入
側開口端とが互いに見通せる光軸構造を有するバーナー
の概略断面図である。
【図５】 本発明の石英ガラス製の多重管バーナーを示
し、バーナーに設けられた支持台のＶ溝に円管もしくは
光学系スコープを載置した状態を示す斜視図である。
し、バーナーに設けられた支持台のＶ溝に円管もしくは
光学系スコープを載置した状態を示す斜視図である。
【図６】 本発明のステンレス製の多重管バーナーを示
し、バーナーの中心管にイメージガイドを設置した状態
を示す斜視図である。
し、バーナーの中心管にイメージガイドを設置した状態
を示す斜視図である。
【図７】 ＶＡＤ法により光ファイバ母材を製造する様
子を示す説明図である。
子を示す説明図である。
【図８】 従来のバーナーを示し、（ａ）は、バーナー
をガス噴出側開口端から見た正面図であり、（ｂ）は、
バーナーの中心線に沿う断面図である。
をガス噴出側開口端から見た正面図であり、（ｂ）は、
バーナーの中心線に沿う断面図である。
１ バーナー ２ スート堆積体 ３ ガス導管 ４ 枝管 ５ 中心管 ６ 継ぎ手 ７ ステンレス板 ８ 分岐管 ９ 分岐中心管 １０ バルブ付き継ぎ手 １１ 支持台 １２ 円管もしくは光学系スコープ １３ イメージガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 Ｆターム(参考） 3K017 CA10 CB02 CB05 CB11 CB12 CD03 CG01 CG03 CH02 CH04 4G021 EA01 EA03 EB15
Claims (14)
- 【請求項１】 火炎反応により生成するガラス微粒子を
出発ターゲット材に堆積させて光ファイバ母材を作製す
るためのバーナーであって、ガス導入側開口端とガス噴
出側開口端とを有する複数のガス導管から構成され、ガ
ス導入部材に対してガス導入側開口端で着脱自在であ
り、少なくとも一つのガス導管が一端から他端に向けて
見通しのきく光軸を有することを特徴とする光ファイバ
母材作製用バーナー。 - 【請求項２】 前記ガス噴出側開口端が同心円状多重管
構造からなり、この多重管の中心に位置するガス導管の
ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とが互いに見通せ
る光軸を有する請求項１に記載の光ファイバ母材作製用
バーナー。 - 【請求項３】 前記光軸がガス噴出方向と平行である請
求項１または２に記載の光ファイバ母材作製用バーナ
ー。 - 【請求項４】 前記光軸がガス噴出方向の軸線と一致し
ている請求項１乃至３のいずれかに記載の光ファイバ母
材作製用バーナー。 - 【請求項５】 前記ガス導管とガス供給源に接続された
枝管とを接続する継ぎ手の屈曲部に鏡面を有する部材を
配置し、ガス導入側開口端とガス噴出側開口端とが前記
鏡面を介して互いに見通せる屈折光軸を有する請求項１
に記載の光ファイバ母材作製用バーナー。 - 【請求項６】 前記ガス導管の外側に、一端から他端を
見通せる円管もしくは光学系スコープを設けてなる請求
項１に記載の光ファイバ母材作製用バーナー。 - 【請求項７】 前記円管もしくは光学系スコープが伸縮
自在である請求項６に記載の光ファイバ母材作製用バー
ナー。 - 【請求項８】 前記円管もしくは光学系スコープがバー
ナーに対して着脱自在である請求項６または７に記載の
光ファイバ母材作製用バーナー。 - 【請求項９】 前記円管もしくは光学系スコープに対す
るバーナーの着脱部がＶ溝構造を有している請求項６乃
至８のいずれかに記載の光ファイバ母材作製用バーナ
ー。 - 【請求項１０】 前記ガス導管のガス噴出側開口端にイ
メージガイドの一端が位置するように、ガス導管の内側
にイメージガイドを配設してなる請求項１乃至９のいず
れかに記載の光ファイバ母材作製用バーナー。 - 【請求項１１】 前記イメージガイドがガス導管に着脱
自在である請求項１０に記載の光ファイバ母材作製用バ
ーナー。 - 【請求項１２】 前記ガス導管が石英ガラスからなる請
求項１乃至１１のいずれかに記載の光ファイバ母材作製
用バーナー。 - 【請求項１３】 前記ガス導管がステンレス鋼からなる
請求項１乃至１１のいずれかに記載の光ファイバ母材作
製用バーナー。 - 【請求項１４】 請求項１乃至１３のいずれかに記載の
光ファイバ母材作製用バーナーを、ガラス微粒子の堆積
位置である堆積基準点に対して、所定の距離・角度に設
置し、火炎加水分解で生じたガラス微粒子を出発ターゲ
ット材に堆積させることを特徴とする光ファイバ母材の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11172278A JP2001002444A (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 光ファイバ母材作製用バーナーおよびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11172278A JP2001002444A (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 光ファイバ母材作製用バーナーおよびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001002444A true JP2001002444A (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=15938963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11172278A Pending JP2001002444A (ja) | 1999-06-18 | 1999-06-18 | 光ファイバ母材作製用バーナーおよびこれを用いた光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001002444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011246319A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子合成用バーナの位置調整方法及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
-
1999
- 1999-06-18 JP JP11172278A patent/JP2001002444A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011246319A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子合成用バーナの位置調整方法及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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