JP2001002374A - Gripper device for transfer machine - Google Patents

Gripper device for transfer machine

Info

Publication number
JP2001002374A
JP2001002374A JP11173304A JP17330499A JP2001002374A JP 2001002374 A JP2001002374 A JP 2001002374A JP 11173304 A JP11173304 A JP 11173304A JP 17330499 A JP17330499 A JP 17330499A JP 2001002374 A JP2001002374 A JP 2001002374A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clamp
work
panel
moved
side clamps
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11173304A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Hirasato
和弘 平里
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsubakimoto Chain Co
Original Assignee
Tsubakimoto Chain Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsubakimoto Chain Co filed Critical Tsubakimoto Chain Co
Priority to JP11173304A priority Critical patent/JP2001002374A/en
Publication of JP2001002374A publication Critical patent/JP2001002374A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control And Safety Of Cranes (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To grip a work on a gripping table without sliding it to prevent its damage by moving at least one of side clamps to change the interval between a work end surface and a clamp end surface to an identical distance, and then moving both side clamps simultaneously to grip the work. SOLUTION: Side clamps are moved by a predetermined clearance on the right and left sides of a panel P by a compressive force of a coil spring 37 caused by movements of a slider 31 and a pressing member 29 with a motor, and clamp members 27A are brought into contact with the end surfaces of the panel P to grip the panel P. At this time, the motor is further rotated by a preset deflection amount of the spring 37 after abutting of the clamp members 27A to the panel P, and the side clamps are pressed by a compressive energizing force T' for deflecting the spring 37 that is caused by the movement of a connecting block 36 structuring the pressing member 29 to press and grip the panel P with the clamp members 27A. Thus, the panel P is prevented from sliding on a mounting table of an exposing device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属するの技術分野】本発明は、走行台車の走行
によりワーク、例えばガラス製パネル、ブラウン管のパ
ネル等を保持搬送し、所定の位置で処理装置に載荷ある
いは処理装置から脱荷を行う移載機に設けられるグリッ
パ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer system for holding and transporting a work, for example, a panel made of glass, a panel of a cathode ray tube, or the like by running a traveling carriage, and loading or unloading the processing apparatus at a predetermined position. The present invention relates to a gripper device provided on a mounting machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ワーク、例えばガラス製パネル、
ブラウン管のパネル等を保持して搬送する装置に設けら
れる保持装置として、バキュームパッドを用いたものが
知られている(例えば、特公昭63−67305号公報
参照)。例えば、ブラウン管のパネルを露光装置に移載
して処理する際、図10に載荷位置として示されるよう
に、露光装置のパネル載置台にパネルPを載置したとき
のパネルPの中心点Cは露光装置の中心位置C’と同じ
であるが、露光装置の特性上パネルPは、露光処理のた
めにセンタリングが行われることにより、処理が終了し
た後のパネルPの位置は若干移動し、パネルPを移載載
置したときと処理後とでは、図10に脱荷位置として示
されるように、パネルPの中心点Cが載置台中心位置
C’よりX、Y方向にずれることになり、この位置ずれ
の量は露光装置に特有の定量的なものである。また、露
光装置のメンテナンスが行われると、そのメンテナンス
の前後でも処理後のパネルの中心点Cのずれに差が生じ
る。ところが、通常露光処理前にパネルPを載置台に置
くときと処理後に引き取るときとでは、移載機の停止位
置は同じである。このような事情を配慮に入れて、露光
処理したブラウン管のパネルを保持する保持装置とし
て、保持装置のシビアな位置決めが不要なバキュームパ
ッド方式が最適のものとして採用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a work, for example, a glass panel,
As a holding device provided in a device for holding and transporting a cathode ray tube panel or the like, a device using a vacuum pad is known (for example, see Japanese Patent Publication No. 63-67305). For example, when a panel of a cathode ray tube is transferred to an exposure apparatus for processing, as shown in FIG. 10 as a loading position, a center point C of the panel P when the panel P is mounted on a panel mounting table of the exposure apparatus is Although the center position is the same as the center position C 'of the exposure apparatus, the panel P is slightly centered for the exposure processing, so that the position of the panel P after the processing is slightly shifted due to the centering for the exposure processing. When the P is transferred and mounted and after the processing, the center point C of the panel P is shifted from the mounting table center position C ′ in the X and Y directions as shown in FIG. The amount of the displacement is a quantitative value peculiar to the exposure apparatus. Further, when the maintenance of the exposure apparatus is performed, a difference occurs between the center point C of the processed panel before and after the maintenance. However, the stop position of the transfer machine is the same between when the panel P is placed on the mounting table before the normal exposure processing and when the panel P is picked up after the processing. In consideration of such circumstances, as a holding device for holding the panel of the exposed cathode ray tube, a vacuum pad method that does not require severe positioning of the holding device is optimally adopted.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、バキュームパ
ッド方式は、パッドのゴム部がパネルの表面に強く押し
付けられるために吸着痕ができ、その除去作業に大変手
間がかかるという問題がある。この問題を回避するため
に、パネルを把持するする手段として、グリッパ装置に
よるサイドクランプ方式を採用することも行われてい
る。ところが、このサイドクランプ方式では、露光装置
におけるセンタリングによるパネルの位置ずれが生じて
いる場合、一対のサイドクランプが移動してパネルを挟
持しようとすると、まず、一方のサイドクランプのクラ
ンプ部がパネルに当接した後、他方のサイドクランプの
クランプ部が当接することになり、そうすると、最初に
当接したクランプ部の移動により、パネルがパネル載置
台上で摺動、摺接し、そのために露光処理されたパネル
シール面に傷が付くという問題点があった。
However, the vacuum pad method has a problem that since the rubber portion of the pad is strongly pressed against the surface of the panel, an adhering mark is formed, and it takes a lot of trouble to remove the mark. In order to avoid this problem, a side clamp method using a gripper device has been employed as a means for gripping the panel. However, in this side clamp method, when the panel is misaligned due to centering in the exposure apparatus, when a pair of side clamps move and try to clamp the panel, first, the clamp portion of one side clamp is attached to the panel. After the contact, the clamp portion of the other side clamp comes into contact, and the movement of the clamp portion that first comes into contact causes the panel to slide and slid on the panel mounting table, so that exposure processing is performed. There is a problem that the panel seal surface is damaged.

【0004】そこで、本発明は、上記問題点を解決し、
ワーク、例えばガラス製パネル、ブラウン管のパネル等
が、移載機により載置台に載置されたときと処理等の後
に引き取られるときでその位置ずれが生じていた場合で
あっても、その引き取り時に一対のサイドクランプでワ
ークを挟持する際、その載置台上でワークを摺動、摺接
させることなく把持できる機構を備えたグリップ装置を
提供することを目的とする。
Therefore, the present invention solves the above problems,
Even if the work, for example, a glass panel, a cathode ray tube panel, etc., has been displaced when it is placed on the mounting table by the transfer machine and when it is taken off after processing, etc. An object of the present invention is to provide a grip device having a mechanism capable of gripping a work without sliding or slidingly contacting the work on a mounting table when the work is held between a pair of side clamps.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、軌道に沿って走行し、停止位置が調整可
能な走行台車に昇降可能に設けられたワーク保持体本体
に、ガイドレールが設けられると共に、該ガイドレール
に沿って移動するワーク挟持用の一対のサイドクランプ
が設けられ、各サイドクランプが駆動機構により別々に
移動可能に構成された移載機のグリッパ装置において、
該サイドクランプの少なくとも一方が移動して、ワーク
両側におけるワーク端面とサイドクランプのクランプ部
端面との間隔が同じ距離に変位してから、両方のサイド
クランプが同時に移動してワークを挟持する機構を備え
た移載機のグリッパ装置、前記移載機のグリッパ装置に
おいて、前記サイドクランプの少なくとも一方のサイド
クランプは、前記駆動機構により移動される押圧部材に
より、ばね付勢手段を介して移動され、前記一対のサイ
ドクランプがワーク挟持方向に同時に移動してクランプ
部がワークに当接した後、ばね付勢手段により付勢され
たサイドクランプのみが、さらにばね付勢されて挟持方
向に押圧される機構を備えたこと、及び、前記移載機の
グリッパ装置において、前記一対のサイドクランプのう
ちの一方のサイドクランプは、前記駆動機構により移動
される押圧部材により、ばね付勢手段を介して移動さ
れ、前記一対のサイドクランプがワーク挟持方向に同時
に移動し、クランプ部がワークに当接した後、ばね付勢
手段により付勢されたサイドクランプのみがさらに予め
設定したばね撓み量によりばね付勢されて挟持方向に押
圧する機構を備えたこと、という構成としたものであ
る。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a work holding body which runs along a track and is provided on a traveling carriage having an adjustable stop position so as to be movable up and down. A rail is provided, and a pair of side clamps for holding a workpiece that moves along the guide rail are provided, and in a gripper device of a transfer machine configured such that each side clamp is separately movable by a driving mechanism,
After at least one of the side clamps is moved and the distance between the work end surface on both sides of the work and the clamp end surface of the side clamp is displaced to the same distance, both side clamps are simultaneously moved to clamp the work. In the gripper device of the transfer machine provided, in the gripper device of the transfer machine, at least one side clamp of the side clamp is moved via a spring urging means by a pressing member moved by the driving mechanism, After the pair of side clamps simultaneously move in the work holding direction and the clamp portion abuts on the work, only the side clamps urged by the spring urging means are further urged by the spring and pressed in the holding direction. A mechanism, and in the gripper device of the transfer machine, one side of the pair of side clamps. The ramp is moved by a pressing member moved by the drive mechanism via spring biasing means, and the pair of side clamps move simultaneously in the work clamping direction, and after the clamp portion comes into contact with the work, the spring is turned on. Only the side clamp urged by the urging means is further provided with a mechanism which is urged by a spring by a preset spring deflection amount and presses in the clamping direction.

【0006】[0006]

【作用】上記の構成からなるグリッパ装置は、サイドク
ランプの少なくとも一方が移動して、ワーク両側におけ
るワーク端面とサイドクランプのクランプ部端面との間
隔が同じ距離に変位してから、両方のサイドクランプが
同時に移動してワークをその両側で同時に挟持する。ま
た、一方のサイドクランプは、前記駆動機構により移動
される押圧部材により、ばね付勢手段を介して移動さ
れ、前記一対のサイドクランプがワーク挟持方向に同時
に移動し、クランプ部がワークに当接した後、ばね付勢
手段により付勢されたサイドクランプのみがさらにばね
付勢されて挟持方向に押圧すると、ワークは最初にクラ
ンプ部が当接してからは、載置台上で位置が固定され、
その後サイドクランプが弾性付勢されて押圧し、ワーク
は所定の圧力で挟持される。
In the gripper device having the above structure, at least one of the side clamps is moved and the distance between the work end surface on both sides of the work and the clamp portion end surface of the side clamp is displaced by the same distance. Move at the same time and hold the work on both sides simultaneously. The one side clamp is moved via a spring biasing means by a pressing member moved by the driving mechanism, and the pair of side clamps are simultaneously moved in the work clamping direction, so that the clamp portion contacts the work. After that, when only the side clamps urged by the spring urging means are further urged by the spring and pressed in the clamping direction, the work is fixed on the mounting table after the clamp portion first abuts,
Thereafter, the side clamp is elastically biased and pressed, and the work is held at a predetermined pressure.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態である
実施例1を図1〜図10に基づき説明する。まず、移載
機の全体的構成について説明すると、図9に示されてい
るように、ワークを搬送し、所定の位置でワークを載置
台に載荷し、脱荷する移載機1は、軌道2に沿って自走
する走行台車3、走行台車3に装備されたホイストによ
り4本のベルトで昇降されるワーク保持体本体4,ワー
ク保持体本体4に設けられたグリッパ装置5とからな
る。なお、図9における6は補助梁、7は軌道2の吊下
部材、8はワークを方向転換させるギヤドモータであ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 which is an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. First, the overall configuration of the transfer machine will be described. As shown in FIG. 9, the transfer machine 1 that conveys a work, loads the work on a mounting table at a predetermined position, and unloads the work, The traveling carriage 3 travels along the traveling carriage 2, a work holder body 4 that is lifted and lowered by four belts by a hoist mounted on the traveling carriage 3, and a gripper device 5 provided on the work holder body 4. In FIG. 9, reference numeral 6 denotes an auxiliary beam, reference numeral 7 denotes a suspension member of the track 2, and reference numeral 8 denotes a geared motor for changing the direction of the work.

【0008】以下、移載機1を走行させ、ブラウン管の
パネルPを露光装置9の載置台(図示略)に載置して処
理し、その後パネルPを引き取る場合のものについて説
明する。図9に示されるように、自走式の走行台車3
は、所定の位置で停止し、ワーク保持体本体4が下降し
てグリッパ装置5により挟持していたパネルPを露光装
置9の載置台に載置し、次いでワーク保持体本体4が上
昇して走行台車3は、すでに露光処理が終了した露光装
置9側に走行し、ワーク保持体本体4の下降、グリッパ
装置5のパネルP挟持、ワーク保持体本体4の上昇とい
う作動を行い、適宜ギヤドモータ8が駆動されてパネル
Pの方向転換を行って、パネルPの載荷、脱荷、搬送を
行うものである。
Hereinafter, a case will be described in which the transfer machine 1 is run, the panel P of the cathode ray tube is mounted on a mounting table (not shown) of the exposure apparatus 9 for processing, and then the panel P is taken out. As shown in FIG. 9, the self-propelled traveling vehicle 3
Is stopped at a predetermined position, the work holder main body 4 descends, and the panel P held by the gripper device 5 is placed on the mounting table of the exposure device 9, and then the work holder main body 4 rises. The traveling carriage 3 travels to the side of the exposure device 9 where the exposure processing has already been completed, and performs operations such as lowering of the work holder main body 4, clamping of the panel P of the gripper device 5, and raising of the work holder main body 4. Is driven to change the direction of the panel P to load, unload, and convey the panel P.

【0009】図1、図2に示されるように、ワーク保持
体本体4はフレーム11及び板状のワーク保持体本体1
2を備えており、ワーク保持体本体12には、一対のガ
イドレール13A、13Bが設けられている。このガイ
ドレール13Bは分離した2本ものである。図2の底面
図の右側に示されているように、ガイドレール13A、
13Bには、ベアリング入りブロック14A、14Bが
走行自在に設けられ、該ブロック14A,14Bには、
スライダ15が取り付けられる。スライダ15には、取
付部材15A(図3参照)を介して、ボールナット16
が固着され、このボールナット16と螺合するねじ軸1
7は、駆動機構を構成するモータ18に駆動連結され、
スライダ15は、このモータ18を備えた駆動機構によ
り移動される。また、スライダ15には、支持フレーム
19が取り付けられ、この支持フレーム19にクランプ
アーム20が取り付けられ、クランプアーム20にはパ
ネルPを把持するゴム製のクランプ部材21A、21B
が取り付けられている。ここで、このクランプ部材21
A、21Bは一体のものであってもよい。なお、図2の
17A、17Bはねじ軸17の軸受けで、18Aは歯付
ベルトである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the work holder body 4 is composed of a frame 11 and a plate-like work holder body 1.
The work holder body 12 is provided with a pair of guide rails 13A and 13B. The guide rails 13B are two separate ones. As shown on the right side of the bottom view of FIG.
13B, bearing-containing blocks 14A, 14B are provided so as to be able to run freely, and the blocks 14A, 14B have:
The slider 15 is attached. The ball nut 16 is attached to the slider 15 via a mounting member 15A (see FIG. 3).
Is fixed, and the screw shaft 1 is screwed with the ball nut 16.
7 is drivingly connected to a motor 18 constituting a driving mechanism,
The slider 15 is moved by a drive mechanism having the motor 18. A support frame 19 is mounted on the slider 15, and a clamp arm 20 is mounted on the support frame 19. Rubber clamp members 21 A, 21 B holding the panel P are mounted on the clamp arm 20.
Is attached. Here, this clamp member 21
A and 21B may be integrated. In addition, 17A and 17B of FIG. 2 are bearings of the screw shaft 17, and 18A is a toothed belt.

【0010】図2の底面図の左側に示されているよう
に、ガイドレール13A、13Bには、ベアリング入り
ブロック23A、23Bが走行自在に設けられ、該ブロ
ック23A,23Bには、スライダ24が取り付けられ
る。スライダ24には、支持フレーム25が取り付けら
れ、支持フレーム25に、クランプアーム26が取り付
けられ、このクランプアーム26にパネルPを把持する
ゴム製のクランプ部材27A、27Bが取り付けられて
いる(図4参照)。後記するように、このスライダ24
は、押圧部材29が設けられたスライダ31の移動によ
り、コイル状ばね37介在のもとに移動されるものであ
る。
As shown on the left side of the bottom view in FIG. 2, blocks 23A and 23B containing bearings are provided on the guide rails 13A and 13B so as to run freely, and a slider 24 is mounted on the blocks 23A and 23B. It is attached. A support frame 25 is attached to the slider 24, a clamp arm 26 is attached to the support frame 25, and rubber clamp members 27A and 27B that hold the panel P are attached to the clamp arm 26 (FIG. 4). reference). As described later, this slider 24
Is moved with the intervention of the coil spring 37 by the movement of the slider 31 provided with the pressing member 29.

【0011】図2の底面図で見てさらに左側に示されて
いるように、ガイドレール13A、13Bには、ベアリ
ング入りブロック30A、30Bが走行自在に設けら
れ、該ブロック30A,30Bには、スライダ31が取
り付けられる。このスライダ31には、取付部材(図示
略)を介してボールナット32が固着され、このボール
ナット32と螺合するねじ軸33は、駆動機構を構成す
るモータ34に駆動連結される。スライダ31は、ボー
ルナット32,ねじ軸33,歯付きベルト34A、モー
タ34の駆動により移動される。
As shown further on the left side in the bottom view of FIG. 2, blocks 30A and 30B with bearings are provided on the guide rails 13A and 13B so that they can run freely. The slider 31 is attached. A ball nut 32 is fixed to the slider 31 via a mounting member (not shown), and a screw shaft 33 screwed with the ball nut 32 is drivingly connected to a motor 34 constituting a driving mechanism. The slider 31 is moved by driving a ball nut 32, a screw shaft 33, a toothed belt 34A, and a motor 34.

【0012】一方、スライダ31には、スライダ24を
押圧移動させる押圧部材29が取り付けられ、この押圧
部材29は、連結シャフト35とこの連結シャフト35
に固着された連結ブロック36とからなる。連結シャフ
ト35の他端側は、前記スライダ24に固着されたL形
部材24Aに出入り自在に嵌挿される。そして、連結ブ
ロック36とL形部材24Aとの間には、コイルばね3
7が介在される。
On the other hand, a pressing member 29 for pressing and moving the slider 24 is attached to the slider 31. The pressing member 29 is composed of a connecting shaft 35 and the connecting shaft 35.
And a connecting block 36 fixed to the connecting block 36. The other end of the connecting shaft 35 is inserted and removably inserted into an L-shaped member 24A fixed to the slider 24. The coil spring 3 is provided between the connection block 36 and the L-shaped member 24A.
7 are interposed.

【0013】ここで、モータ34の回転によりねじ軸3
3が回転し、その回転によりボールナット32が移動す
るので、スライダ31が移動し、それに伴ってスライダ
31に取り付けられた押圧部材29が移動し、この移動
によってコイルばね37が連結ブロック36とL形部材
24Aとの間で圧縮され、その圧縮力のもとにスライダ
24、クランプアーム26,ゴム製のクランプ部材27
Aが移動する。
Here, the rotation of the motor 34 causes the screw shaft 3 to rotate.
3 rotates and the ball nut 32 moves due to the rotation, so that the slider 31 moves, and the pressing member 29 attached to the slider 31 moves accordingly. The slider 24, the clamp arm 26, and the rubber clamp member 27 are compressed between the
A moves.

【0014】以上のように構成されたグリッパ装置5
は、モータ18,モータ34の駆動により、サイドクラ
ンプ22とサイドクランプ28とが縮閉移動し、パネル
Pは両側から挟持される。ここで、一対のサイドクラン
プ22,28はパネルPを挟持した状態で、モータの駆
動により左右にシフトさせることができる。
The gripper device 5 configured as described above
By driving the motor 18 and the motor 34, the side clamp 22 and the side clamp 28 are contracted and moved, and the panel P is sandwiched from both sides. Here, the pair of side clamps 22 and 28 can be shifted left and right by driving a motor while holding the panel P therebetween.

【0015】パネルPが露光装置9により処理された
後、パネルPの中心位置がずれた場合でも、載置台上に
載置されたパネルPを摺動させないで挟持できる機構に
ついて以下説明する。図10に示されるように、移載機
1が露光装置9の載置台にパネルPを載置したときは、
載置台の中心位置C’とパネルPの中心点Cとが一致し
ている。ここで、露光処理が終了し、載置台からパネル
Pを脱荷し引き取るときは、パネルPが露光処理におけ
るセンタリングにより所定量位置ずれしているので、走
行台車3はその走行方向(X方向)に所定量ずれている
分だけ位置調整して微移動停止し、載置台の中心位置
C’とX方向側を一致させて停止することになる。
A mechanism for holding the panel P mounted on the mounting table without sliding even if the center position of the panel P is shifted after the panel P is processed by the exposure device 9 will be described below. As shown in FIG. 10, when the transfer machine 1 mounts the panel P on the mounting table of the exposure apparatus 9,
The center position C ′ of the mounting table coincides with the center point C of the panel P. Here, when the exposure processing is completed and the panel P is unloaded and taken out of the mounting table, the panel P is displaced by a predetermined amount due to the centering in the exposure processing, so that the traveling vehicle 3 moves in the traveling direction (X direction). Then, the position is adjusted by a predetermined amount and the fine movement is stopped, and the center position C ′ of the mounting table is aligned with the X direction side and stopped.

【0016】ところで、図7には載荷点で両サイドクラ
ンプ22,28が拡開した状態を示してあり、この拡開
したサイドクランプ22,28のゴム製のクランプ部材
21A、21Bとゴム製のクランプ部材27A、27B
との拡開幅Wは、ワークすなわちブラウン管パネルPの
サイズに対応して予め設定された固定幅であり、クラン
プ部材21A、21Bの端面とパネルPの端面との隙間
Gは、クランプ部材27A、27Bの端面とパネルPの
端面との隙間Gと同じである。つまり、同図で左右の隙
間Gは同じであり、その拡開幅Wは、露光処理後のパネ
ルPを挟持するときの拡開幅とも同じである。
FIG. 7 shows a state in which both side clamps 22 and 28 are expanded at the loading point. Rubber clamp members 21A and 21B of the expanded side clamps 22 and 28 and rubber Clamp members 27A, 27B
Is a fixed width that is set in advance according to the size of the workpiece, that is, the size of the CRT panel P, and the gap G between the end faces of the clamp members 21A and 21B and the panel P is the clamp member 27A, It is the same as the gap G between the end face of 27B and the end face of panel P. That is, the left and right gaps G in the figure are the same, and the widening width W thereof is the same as the widening width when the panel P after the exposure processing is sandwiched.

【0017】ところが、図8に示されるように、露光処
理において、例えばパネルPの位置がY方向にずれて、
パネルPの端面とサイドクランプ22のクランプ部材2
1Aの端面がG+G’の隙間である場合には、サイドク
ランプ22がG’分だけ移動するように予め設定してお
き、まずG’分だけサイドクランプ22を移動させる。
この場合、サイドクランプ22,28がそれぞれ両側で
ずれているときは、適宜にそれぞれサイドクランプ2
2,28を移動させ、隙間がGになるように移動させ
る。この場合、その移動量は、パネルPがセンタリング
によりずれる量が定量的なものであるから、予めモータ
18,34の調整回転量として設定可能である。
However, as shown in FIG. 8, in the exposure process, for example, the position of the panel P is shifted in the Y direction,
End surface of panel P and clamp member 2 of side clamp 22
When the end face of 1A is a gap of G + G ', the side clamp 22 is preset to move by G', and the side clamp 22 is first moved by G '.
In this case, when the side clamps 22 and 28 are displaced on both sides, respectively,
2 and 28 are moved so that the gap becomes G. In this case, the amount of movement can be set in advance as the amount of adjustment rotation of the motors 18 and 34 because the amount of displacement of the panel P due to centering is quantitative.

【0018】このようにパネルP左右で隙間Gになるよ
うにサイドクランプを移動した後、両サイドクランプ2
2,28が各モータ18,34の同時駆動回転により移
動されると、前記隙間G移動したところでパネルP端面
に各クランプ部材21A、21B、27A、27Bが当
接するが、この移動量は隙間G分であり、このサイドク
ランプの移動によりパネルPは挟持されることになる。
After the side clamps are moved so as to form a gap G on the left and right sides of the panel P,
When the motors 2 and 28 are moved by the simultaneous driving rotations of the motors 18 and 34, the clamp members 21A, 21B, 27A and 27B abut on the end face of the panel P when the gap G is moved. The panel P is pinched by the movement of the side clamp.

【0019】このとき、さらにパネルPの挟持を確実に
行うための機構について説明すると、図5、図6に示さ
れるように、ばね付勢されて移動されるサイドクランプ
28は、そのクランプ部材27A、27Bがクランプ部
材21A、21Bと同時にパネルPに当接するが、当接
してからモータ34はさらに所定量回転し、その回転量
により押圧部材29を構成する連結ブロック36が移動
してばね37を撓ませて(TからT’)圧縮し、その圧
縮付勢力によりサイドクランプ28は押圧され、クラン
プ部材27A、27BでパネルPを押圧し挟持するの
で、パネルPは露光装置9の載置台上で摺動するのを防
止される。
At this time, a mechanism for securely holding the panel P will be described. As shown in FIGS. 5 and 6, a side clamp 28 which is moved by being biased by a spring has a clamp member 27A. , 27B abut the panel P at the same time as the clamp members 21A, 21B. After the abutment, the motor 34 further rotates by a predetermined amount. The side clamp 28 is pressed by the bending force (from T to T ′) and pressed by the compression urging force, and the panel P is pressed and clamped by the clamp members 27A and 27B, so that the panel P is placed on the mounting table of the exposure apparatus 9. Sliding is prevented.

【0020】ここで、ばね37の撓み量を予め決定して
おき、その撓み量分をモータ回転駆動させることにより
パネルPに対する所望の付勢力を付与することができ
る。すなわち、種々のサイズのパネルに対して、各サイ
ズ毎にサイドクランプの拡開幅Wを設定し、予め測定し
たばね37の撓み変位量をもとに、所定の撓み量になる
ようにモータ34の回転量を設定することにより、パネ
ルPを各パネルに適した把持力で挟持することができ
る。
Here, the amount of deflection of the spring 37 is determined in advance, and a desired biasing force can be applied to the panel P by driving the motor to rotate the amount of deflection. That is, for the panels of various sizes, the widening width W of the side clamp is set for each size, and the motor 34 is set to have a predetermined bending amount based on the bending displacement amount of the spring 37 measured in advance. By setting the amount of rotation of, the panel P can be clamped with a gripping force suitable for each panel.

【0021】ところで、露光装置をメンテナンスで取り
外した後、再設置した場合、当然そのセンタリングによ
り、載置台上におけるパネルPの中心点Cの位置も前回
と違っているわけであるが、このとき正規の位置からの
ずれの量に基づいて、走行台車の停止位置調整量を設定
すると共に、サイドクランプ駆動用のモータ回転量を各
サイドクランプが所定の拡開幅Wになるように、またパ
ネル端面とクランプ部材端面との隙間がGになるように
設定することにより簡単に載荷、脱荷点を設定調整する
ことができる。
By the way, if the exposure apparatus is removed for maintenance and then reinstalled, the centering position of the center point C of the panel P on the mounting table is also different from the previous one due to its centering. Based on the amount of deviation from the position, the stop position adjustment amount of the traveling vehicle is set, and the motor rotation amount for driving the side clamps is adjusted so that each side clamp has a predetermined expansion width W. The loading and unloading points can be easily set and adjusted by setting the gap between the clamp member and the end face of the clamp member to be G.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は、停止位置が調整可能な走行台
車にワーク保持体本体を設け、このワーク保持体本体
に、ワーク挟持用の一対のサイドクランプを駆動機構に
より別々に移動可能に設けてグリッパ装置を構成し、こ
のグリッパ装置が、サイドクランプの少なくとも一方が
移動して、ワーク両側におけるワーク端面とサイドクラ
ンプのクランプ部端面との間隔が同じ距離に変位してか
ら、両方のサイドクランプが同時に移動してワークを挟
持する機構を備えているので、ワークが載置台上に置か
れて載荷された位置と、処理等の後で脱荷する位置とが
ずれた場合でも、ワークを載置台上で摺動させることな
く把持することができ、ひいては脱荷時にワークが載置
台に摺接して傷がついたりするのを防止することができ
る。
According to the present invention, a work carrier is provided on a traveling carriage whose stop position can be adjusted, and a pair of side clamps for clamping the work are provided on the work carrier body so as to be separately movable by a driving mechanism. When at least one of the side clamps is moved and the distance between the work end surface on both sides of the work and the clamp portion end surface of the side clamp is displaced by the same distance, the gripper device is used. Is equipped with a mechanism that simultaneously moves and clamps the work, so that even if the position where the work is placed on the mounting table and loaded is shifted from the position where the work is unloaded after processing, etc. The workpiece can be gripped without being slid on the mounting table, and thus, it is possible to prevent the work from being in sliding contact with the mounting table and being damaged when unloading.

【0023】停止位置が調整可能な走行台車とワーク両
側におけるワーク端面とサイドクランプのクランプ部端
面との間隔が同じ距離に変位してから、両方のサイドク
ランプが同時に移動してワークを挟持する機構を備えた
ことにより、ワークをグリッパ装置の中心に近い位置で
挟持することができ、その結果、ワーク保持体本体に対
する偏心荷重が小さくなり、搬送中におけるワーク保持
体本体の傾斜を軽減させることができる。また、ワーク
保持体本体に、ワーク挟持用の一対のサイドクランプが
駆動機構により別々に移動可能に設けられているので、
これらを同時に移動させることもでき、その結果、ワー
クを挟持した状態で左右にシフトさせることができ、こ
の場合、従来採用されていた別のスライド機構の設置を
不要とすることができる。
After the distance between the traveling carriage whose stop position can be adjusted and the end face of the work on both sides of the work and the end face of the clamp portion of the side clamp is displaced by the same distance, both side clamps are simultaneously moved to clamp the work. Is provided, the work can be held at a position close to the center of the gripper device. As a result, the eccentric load on the work holding body is reduced, and the inclination of the work holding body during transportation can be reduced. it can. In addition, since a pair of side clamps for holding the work are separately movably provided by the drive mechanism on the work holding body,
These can be moved at the same time, and as a result, the work can be shifted left and right while sandwiching the work. In this case, it is not necessary to install another slide mechanism conventionally used.

【0024】前記グリッパ装置において、一方のサイド
クランプが、前記駆動機構により移動される押圧部材に
より、ばね付勢手段を介して移動され、前記一対のサイ
ドクランプがワーク挟持方向に同時に移動し、クランプ
部がワークに当接してからは、ばね付勢手段により付勢
されたサイドクランプのみがさらに挟持方向に押圧され
る機構を備えた場合は、サイドクランプのクランプ部が
ワークに当接してからは、ばね付勢手段により付勢され
たサイドクランプのみが押圧され、他方のサイドクラン
プは移動しないので、載置台上でワークを位置固定した
状態で挟持することができ、それに伴って、載置台上で
のワークの摺動を確実に防ぐことができると共に、過剰
な挟持力をワークに加えないで確実にワークを挟持する
ことができる。
In the gripper device, one of the side clamps is moved via a spring urging means by a pressing member moved by the driving mechanism, and the pair of side clamps are simultaneously moved in the work clamping direction. If only the side clamps biased by the spring biasing means are further pressed in the clamping direction after the part abuts on the workpiece, the Since only the side clamp urged by the spring urging means is pressed and the other side clamp does not move, the work can be held in a fixed position on the mounting table, and accordingly, The work can be reliably prevented from sliding, and the work can be reliably held without applying excessive holding force to the work.

【0025】また、一方のサイドクランプが、前記駆動
機構により移動される押圧部材により、ばね付勢手段を
介して押圧されるので、ワークの把持力をばねの変位
量、すなわち駆動機構のモータの回転量で調節すること
ができ、その結果、モータのトルク制御を不要とするこ
とができる。
Further, the one side clamp is pressed by the pressing member moved by the driving mechanism via the spring urging means, so that the gripping force of the work is reduced by the displacement of the spring, that is, the motor of the driving mechanism. The adjustment can be made by the rotation amount, and as a result, the torque control of the motor can be omitted.

【0026】さらに、グリッパ装置が、サイドクランプ
の少なくとも一方が移動して、ワーク両側におけるワー
ク端面とサイドクランプのクランプ部端面との間隔が同
じ距離に変位してから、両方のサイドクランプが同時に
移動してワークを挟持する機構を備えているので、サイ
ドクランプでのハンドリングストロークを一定にするこ
とができ、そのためサイクルタイムに影響しないように
することができる。
Further, after at least one of the side clamps is moved by the gripper device, and the distance between the work end surface on both sides of the work and the clamp end surface of the side clamp is displaced by the same distance, both side clamps are simultaneously moved. As a result, a mechanism for clamping the work can be provided, so that the handling stroke of the side clamp can be made constant, and therefore the cycle time can be prevented from being affected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明実施例のグリッパ装置の押圧部材近傍
を一部断面で示した正面図である。
FIG. 1 is a front view, partially in section, showing the vicinity of a pressing member of a gripper device according to an embodiment of the present invention.

【図2】 押圧部材近傍及びブロック取付部近傍を一部
断面で示した底面図である。
FIG. 2 is a bottom view showing, in partial cross section, the vicinity of a pressing member and the vicinity of a block mounting portion.

【図3】 グリッパ装置の側面図である。FIG. 3 is a side view of the gripper device.

【図4】 図1のA−A線で一部断面として示した側面
図である。
FIG. 4 is a side view showing a partial cross section taken along line AA of FIG. 1;

【図5】 押圧部材を断面で示したコイルばね圧縮前の
説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a pressing member in a cross section before a coil spring is compressed.

【図6】 押圧部材を断面で示したコイルばね圧縮後の
説明図である。
FIG. 6 is an explanatory view showing a pressing member in a cross section after compression of a coil spring.

【図7】 サイドクランプの作動状態を示す説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an operation state of a side clamp.

【図8】 サイドクランプの作動状態を示す説明図であ
る。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing an operation state of a side clamp.

【図9】 移載機の作動説明図である。FIG. 9 is an operation explanatory view of the transfer machine.

【図10】パネルの載荷時、脱荷時の位置ずれを示す説
明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing a positional shift when a panel is loaded and unloaded.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・移載機 2・・・軌道
3・・・走行台車 4・・・ワーク保持体本体 5・・・グリッパ装置
6・・・補助梁 7・・・吊下部材 8・・・ギヤドモータ
9・・・露光装置 11・・フレーム 12・・板状のワーク保持
体本体 13A,13B・・ガイドレール 14A,1
4B・・ブロック 15・・スライダ 16・・ボールナット 17
・・ねじ軸 18・・モータ 19・・支持フレーム 20
・・クランプアーム 21A、21B・・ゴム製のクランプ部材 22
・・サイドクランプ 23A、23B・・ブロック 24
・・スライダ 25・・支持フレーム 26・・クランプアーム 27A、27B・・ゴム製のクランプ部材 28
・・サイドクランプ 29・・押圧部材 30A、30B・・ブロック 31・・スライダ 31A・・取付部材 32
・・ボールナット 33・・ねじ軸 34・・モータ 34
A・・歯付きベルト 35・・連結シャフト 36・・連結ブロック 37
・・コイルばね C・・・中心点 C’・・中心位置 G・
・・隙間
1. Transfer machine 2. Track
3: traveling cart 4: work holder body 5: gripper device
6 auxiliary beam 7 suspension member 8 geared motor
9 Exposure device 11 Frame 12 Plate-shaped work holder body 13A, 13B Guide rail 14A, 1
4B Block 15 Slider 16 Ball nut 17
..Screw shaft 18.Motor 19.Support frame 20
..Clamp arm 21A, 21B..Rubber clamp member 22
..Side clamps 23A, 23B..Block 24
..Slider 25..Support frame 26..Clamp arm 27A, 27B..Clamp member 28 made of rubber
..Side clamp 29..Pressing member 30A, 30B..Block 31.Slider 31A..Mounting member 32
..Ball nut 33..Screw shaft 34..Motor 34
A. Toothed belt 35 Connection shaft 36 Connection block 37
・ ・ Coil spring C ・ ・ ・ Center point C '・ ・ Center position G ・
..Gaps

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3F061 AA01 BA03 BB08 BC01 BC19 BD04 BE24 BE41 BF00 DB00 DB06 3F204 AA07 BA05 CA01 CA07 DB08 DB10 DC01 DD14 DD20 5C012 AA02 5C028 DD01 DD02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3F061 AA01 BA03 BB08 BC01 BC19 BD04 BE24 BE41 BF00 DB00 DB06 3F204 AA07 BA05 CA01 CA07 DB08 DB10 DC01 DD14 DD20 5C012 AA02 5C028 DD01 DD02

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軌道に沿って走行し、停止位置が調整可
能な走行台車に昇降可能に設けられたワーク保持体本体
に、ガイドレールが設けられると共に、該ガイドレール
に沿って移動するワーク挟持用の一対のサイドクランプ
が設けられ、各サイドクランプが駆動機構により別々に
移動可能に構成された移載機のグリッパ装置において、
該サイドクランプの少なくとも一方が移動して、ワーク
両側におけるワーク端面とサイドクランプのクランプ部
端面との間隔が同じ距離に変位してから、両方のサイド
クランプが同時に移動してワークを挟持する機構を備え
たことを特徴とする移載機のグリッパ装置。
1. A guide rail is provided on a work holder main body which travels along a track and can be moved up and down on a traveling carriage whose stop position is adjustable, and a work clamp which moves along the guide rail. A pair of side clamps is provided, and each side clamp is separately movable by a drive mechanism in a gripper device of a transfer machine,
After at least one of the side clamps is moved and the distance between the work end surface on both sides of the work and the clamp end surface of the side clamp is displaced to the same distance, both side clamps are simultaneously moved to clamp the work. A gripper device for a transfer machine, comprising:
【請求項2】 前記サイドクランプの少なくとも一方の
サイドクランプは、前記駆動機構により移動される押圧
部材により、ばね付勢手段を介して移動され、前記一対
のサイドクランプがワーク挟持方向に同時に移動してク
ランプ部がワークに当接した後、ばね付勢手段により付
勢されたサイドクランプのみが、さらにばね付勢されて
挟持方向に押圧される機構を備えたことを特徴とする請
求項1記載の移載機のグリッパ装置。
2. The at least one side clamp of the side clamps is moved via a spring urging means by a pressing member moved by the driving mechanism, and the pair of side clamps are simultaneously moved in a work clamping direction. 2. A mechanism according to claim 1, wherein only the side clamp urged by the spring urging means is further urged by the spring and pressed in the clamping direction after the clamp portion comes into contact with the workpiece. Transfer equipment gripper device.
【請求項3】 前記一対のサイドクランプのうちの一方
のサイドクランプは、前記駆動機構により移動される押
圧部材により、ばね付勢手段を介して移動され、前記一
対のサイドクランプがワーク挟持方向に同時に移動し、
クランプ部がワークに当接した後、ばね付勢手段により
付勢されたサイドクランプのみがさらに予め設定したば
ね撓み量によりばね付勢されて挟持方向に押圧する機構
を備えたことを特徴とする請求項1記載の移載機のグリ
ッパ装置。
3. One of the pair of side clamps is moved via a spring urging means by a pressing member moved by the driving mechanism, and the pair of side clamps are moved in the work clamping direction. Move at the same time,
After the clamp portion comes into contact with the workpiece, only a side clamp urged by the spring urging means is further urged by a spring deflection amount set in advance to press in the clamping direction. The gripper device for a transfer machine according to claim 1.
JP11173304A 1999-06-18 1999-06-18 Gripper device for transfer machine Pending JP2001002374A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11173304A JP2001002374A (en) 1999-06-18 1999-06-18 Gripper device for transfer machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11173304A JP2001002374A (en) 1999-06-18 1999-06-18 Gripper device for transfer machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001002374A true JP2001002374A (en) 2001-01-09

Family

ID=15957973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11173304A Pending JP2001002374A (en) 1999-06-18 1999-06-18 Gripper device for transfer machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001002374A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108584411A (en) * 2018-03-29 2018-09-28 重庆熊氏运升汽车零部件有限公司 A kind of vehicle is with clamping conveying device
CN108857105A (en) * 2018-08-15 2018-11-23 佛山市宏石激光技术有限公司 A kind of linear elevating mechanism
CN110281260A (en) * 2019-07-25 2019-09-27 珞石(北京)科技有限公司 The arm end executing agency and working method that automatic compatible multiclass product is carried
CN113650224A (en) * 2021-08-30 2021-11-16 佛山市合宏泰业科技有限公司 Feeding module of double-slider

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108584411A (en) * 2018-03-29 2018-09-28 重庆熊氏运升汽车零部件有限公司 A kind of vehicle is with clamping conveying device
CN108584411B (en) * 2018-03-29 2019-10-01 重庆熊氏运升汽车零部件有限公司 A kind of vehicle is with clamping conveying device
CN108857105A (en) * 2018-08-15 2018-11-23 佛山市宏石激光技术有限公司 A kind of linear elevating mechanism
CN110281260A (en) * 2019-07-25 2019-09-27 珞石(北京)科技有限公司 The arm end executing agency and working method that automatic compatible multiclass product is carried
CN113650224A (en) * 2021-08-30 2021-11-16 佛山市合宏泰业科技有限公司 Feeding module of double-slider
CN113650224B (en) * 2021-08-30 2023-03-21 佛山市合宏泰业科技有限公司 Feeding module of double-slider

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3565025B2 (en) Jig changing apparatus and jig changing method
US20110180210A1 (en) Pressure bonding apparatus and method
JPH05136011A (en) Dip apparatus
JP5001633B2 (en) Printed circuit board holding method and apparatus
JPH11186199A (en) Ingot mounter
JP2001002374A (en) Gripper device for transfer machine
KR20190115702A (en) Apparatus for cutting substrate
JPH06247547A (en) Positioning method and device for support table
JP3268733B2 (en) Bonding method and bonding apparatus for ingot and mounting stay, and ingot cutting method using the same
WO2013141388A1 (en) Device and method for mounting electronic component
JPH05301710A (en) Method for carrying substrate in substrate-treating system and device therefor
CN116354611A (en) Curved glass coating blanking torsion mechanism and method
JPH0557355A (en) Plate bending device
KR102267730B1 (en) Method of controlling scribing apparatus
TWI814083B (en) Method of gripping substantially planar workpieces and printing machine for performing gripping method
CN210065544U (en) Substrate cutting device
JP7291996B2 (en) Pallet transport method
CN215638811U (en) Constant temperature heating all-in-one
JP3112329B2 (en) Plate material holding device
KR200472836Y1 (en) Cutting unit and applied equipment of the cutting unit
KR102352107B1 (en) Polishing system
WO2021124862A1 (en) Inspection device
JPH0766244A (en) External lead bonding method and device
JPH0936180A (en) Chip bonding device
JP3162229B2 (en) NC router processing equipment