JP2000353400A - Circuit for detecting mrom leak defect, and mrom mixed chip - Google Patents

Circuit for detecting mrom leak defect, and mrom mixed chip

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JP2000353400A
JP2000353400A JP11163120A JP16312099A JP2000353400A JP 2000353400 A JP2000353400 A JP 2000353400A JP 11163120 A JP11163120 A JP 11163120A JP 16312099 A JP16312099 A JP 16312099A JP 2000353400 A JP2000353400 A JP 2000353400A
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Japan
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mrom
circuit
leak
transistor
test
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JP11163120A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyoharu Oikawa
清春 笈川
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily detect a defective MROM in a short time without missing a defective MROM by controlling a group of transistors constituting an MROM to the prescribed state in accordance with kinds of test, and taking out a signal detecting that leak is caused in one part of the group of transistors. SOLUTION: During a period of performing a NOP instruction of a CPU, DC leakage defect detecting measurement is performed. After a MROM mixed chip is turned into a test mode and a pre-charge transistor 3a, a column select- transistor 3b, a cell selector transistor 3c, and a ROM cell transistor 3d are fixed in the prescribed state, leakage is detected by a leak detecting circuit provided in a MROM circuit 3, and this is outputted to the outside from a flag output circuit. Therefore, off-leakage measurement of various transistors in the MROM circuit 3 can be performed by DC voltage, it can be discriminated by one monitor terminal of a port circuit sharing a monitor whether leakage defect of MROM 16 bits exists or not.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、M(マスク)RO
M混載チップに係り、特に各種トランジスタの信頼性評
価及び出荷時のリジェクトテストに使用されるMROM
リーク不良検出回路に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an M (mask) RO
MROM used for M embedded chip, especially for reliability evaluation of various transistors and reject test at shipping
The present invention relates to a leak failure detection circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、MROMリーク不良検出回路を備
えたMROM混載チップは存在していないため、市場ヘ
サンプル出荷後、低速周波数動作した場合にMROMリ
ークによる不良のMROM混載チップが発生する事故
(チャージ抜けなどによるデータ化け)が多発してい
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is no MROM-embedded chip provided with an MROM leak defect detection circuit. Therefore, when a sample is shipped to the market and a low-frequency operation is performed, a defective MROM-embedded chip due to MROM leak occurs (charge). Data corruption due to omissions) occurred frequently.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】そこで、MROM混載
チップの出荷時に低速周波数動作テスト(以降、fmi
nテストと称する)をして評価をすればよいが、128
KバイトMROM混載チップ時のfminテスト時間
は、1サンプルのテスト時間t=(システムクロック*
4)*(メモリーサイズ/2)=(1/32KHz*
4)*(128K/2)=125u秒65536=8.
2秒も費やすため、サンプル数が10000個ある時に
は、約23時間も要して実用的ではなかった。
Therefore, a low-speed frequency operation test (hereinafter referred to as fmi
n test), and the evaluation may be performed.
The fmin test time for a Kbyte MROM mixed chip is the test time of one sample t = (system clock *
4) * (Memory size / 2) = (1 / 32KHz *)
4) * (128K / 2) = 125usec 65536 = 8.
Since it takes two seconds, when the number of samples is 10,000, it takes about 23 hours and is not practical.

【0004】更に、MROMリーク不良は周波数に依存
する不良が多いため、特に周波数が32KHz以下の不
良を見落とす可能性が大きく、MROMリーク不良サン
プルのリジェクトが困難であった。
Further, since many MROM leak failures depend on frequency, there is a great possibility that a failure having a frequency of 32 kHz or less is overlooked, and it is difficult to reject an MROM leak failure sample.

【0005】本発明は、上述の如き従来の課題を解決す
るためになされたもので、その目的は、MROM混載チ
ップにおけるMROMの不良を見落としなく容易且つ短
時間に検出することができるMROMリーク不良検出回
路及びこのMROMリーク不良検出回路を搭載したMR
OM混載チップを提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide an MROM leak defect that can be detected easily and in a short time without overlooking an MROM defect in an MROM mixed chip. Detection circuit and MR equipped with this MROM leak failure detection circuit
An object is to provide an OM mixed chip.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明の特徴は、MROMと、このMRO
Mを構成するトランジスタ群をテストの種類に応じた所
定の状態に制御する制御手段と、前記トランジスタ群の
一部にリークが発生したことを検出するリーク検出手段
と、前記リークが発生したことが検出されると、この検
出信号を取り出す出力手段とを具備することにある。
In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that an MROM and an MRO
Control means for controlling a group of transistors constituting M to a predetermined state according to the type of test; leak detection means for detecting that a leak has occurred in a part of the transistor group; Output means for extracting the detection signal when detected.

【0007】請求項2の発明の前記出力手段は、前記検
出信号をシリアルデータとし、1個の出力端子から順次
出力する。
According to a second aspect of the present invention, the output means outputs the detection signal as serial data sequentially from one output terminal.

【0008】請求項3の発明の前記トランジスタ群は、
カラムセレクタトランジスタ,セルセレクタトランジス
タ,ROMセルトランジスタ,ディセーブルトランジス
タで、3種類のそれぞれのテストで、カラムセレクタト
ランジスタ,セルセレクタトランジスタ,ディセーブル
トランジスタのリークを検出し、後の1種類のテストで
ROMセルトランジスタのリークを検出し、このROM
セルトランジスタのリークの検出は、ROMデータを全
て“1”とするアドレス選定後、複数回のリーク不良検
出テストを行う。
According to a third aspect of the present invention, the transistor group includes:
A column selector transistor, a cell selector transistor, a ROM cell transistor, and a disable transistor are used to detect leaks of the column selector transistor, the cell selector transistor, and the disable transistor in each of the three types of tests, and the ROM is used in the subsequent one type of test. The cell transistor leak is detected and this ROM
To detect the leak of the cell transistor, a leak failure detection test is performed a plurality of times after selecting an address for setting all the ROM data to "1".

【0009】請求項4の発明の前記リーク検出手段は前
記MROMのプリチャージ出力線の電位を検出するセン
スアンプを有し、このセンスアンプの基準電圧を前記M
ROMを通常使用モードで使用する時と、MROMリー
ク不良を検出するモードで使用する時とで変化させる。
According to a fourth aspect of the present invention, the leak detecting means has a sense amplifier for detecting a potential of a precharge output line of the MROM, and the reference voltage of the sense amplifier is set to the M level.
It is changed between when the ROM is used in the normal use mode and when it is used in the mode for detecting the MROM leak failure.

【0010】請求項5の発明の特徴は、請求項1乃至4
いずれかに記載のMROMリーク不良検出回路を備えた
ことにある。
[0010] The features of the invention of claim 5 are as follows.
An MROM leak failure detection circuit according to any one of the above aspects is provided.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は本発明のMROMリーク不
良検出回路を搭載したMROM混載チップの一実施の形
態を示したブロック図である。MROM混載チップ10
0はポート回路1、RAM2、MROM回路3、MRO
M回路3にリークがあると立つフラグを出力するフラグ
出力回路4、フラグを端子PTOUTから出力するモニ
ター兼用ポート回路5、システムリセット発生回路6、
CPU7、リークテストモード等を設定するモード設定
回路8、アドレスエリアデコード回路9、発振/クロッ
ク発生回路10を有している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of an MROM mixed chip on which an MROM leak failure detection circuit of the present invention is mounted. MROM mixed chip 10
0 is port circuit 1, RAM2, MROM circuit 3, MRO
A flag output circuit 4 for outputting a flag that stands when the M circuit 3 has a leak, a monitor / port circuit 5 for outputting a flag from the terminal PTOUT, a system reset generation circuit 6,
It has a CPU 7, a mode setting circuit 8 for setting a leak test mode and the like, an address area decoding circuit 9, and an oscillation / clock generation circuit 10.

【0012】図1中、MROMリーク検出回路(リーク
検出手段)は、MROM回路3、フラグ出力回路4、モ
ニター兼用ポート回路5、モード設定回路8により構成
される。又、このMROMリーク検出回路を動作させる
ために、発振/クロック発生回路10、CPU7、シス
テムリセット発生回路6、RAM(RAM上でプログラ
ム起動)2、RAM2に外部からテストプログラムをロ
ードするためのポート回路1も必要となる。
In FIG. 1, an MROM leak detection circuit (leak detection means) is composed of an MROM circuit 3, a flag output circuit 4, a monitor / port circuit 5, and a mode setting circuit 8. Also, in order to operate the MROM leak detection circuit, an oscillation / clock generation circuit 10, a CPU 7, a system reset generation circuit 6, a RAM (program start on RAM) 2, and a port for loading a test program from the outside to the RAM 2 Circuit 1 is also required.

【0013】図2は上記したMROM回路3の詳細構成
例を示したブロック図である。MROM回路3は、制御
回路31、VREF発生回路32、プリチャージ制御信
号発生回路33、A0l発生回路34、B0x発生回路
35、C07発生回路36、D01発生回路37、プリ
チャージトランジスタ3a、カラムセレクタトランジス
タ3b,セルセレクタトランジスタ3c,ROMセルト
ランジスタ3d,ディセーブルトランジスタ3e,セン
スアンプ回路3f,データのラッチ回路3g、データの
出力回路3h,R/Sフリップフロップ(F.F)回路
3iから構成される。
FIG. 2 is a block diagram showing a detailed configuration example of the MROM circuit 3 described above. The MROM circuit 3 includes a control circuit 31, a VREF generation circuit 32, a precharge control signal generation circuit 33, an A01 generation circuit 34, a B0x generation circuit 35, a C07 generation circuit 36, a D01 generation circuit 37, a precharge transistor 3a, and a column selector transistor. 3b, a cell selector transistor 3c, a ROM cell transistor 3d, a disable transistor 3e, a sense amplifier circuit 3f, a data latch circuit 3g, a data output circuit 3h, and an R / S flip-flop (FF) circuit 3i. .

【0014】尚、センスアンプ3f、ラッチ回路3g、
RSフリップフロップ回路3iはリーク検出回路を構成
している。
The sense amplifier 3f, the latch circuit 3g,
The RS flip-flop circuit 3i forms a leak detection circuit.

【0015】図3は上記したフラグ出力回路4とモニタ
ー兼用ポート回路5の詳細構成例を示したブロック図で
ある。フラグ出力回路4は16ビットバッファレジスタ
回路4a、16ビットシフトレジスタ回路4b、4ビッ
トアップカウンタ4c、ALL“1”検出回路4dから
主になっている。
FIG. 3 is a block diagram showing a detailed configuration example of the flag output circuit 4 and the monitor / port circuit 5 described above. The flag output circuit 4 mainly includes a 16-bit buffer register circuit 4a, a 16-bit shift register circuit 4b, a 4-bit up counter 4c, and an ALL "1" detection circuit 4d.

【0016】モニター兼用ポート回路5はセレクタ5
1、出力バッファ52、NOR回路53から成ってい
る。
The monitor / port circuit 5 includes a selector 5
1, an output buffer 52, and a NOR circuit 53.

【0017】図5は図1のチップにおけるテスト1の動
作を示したタイミングチャートである。図6は図2に示
したMROM回路の制御回路の詳細例を示した回路図で
ある。図7は図2に示したMROM回路の基準電圧発生
回路の詳細例を示した回路図である。図8は図2に示し
たMROM回路の基準電圧発生回路の他の詳細例を示し
た回路図である。図9は図2に示したMROM回路のP
RECNT発生回路の詳細例を示した回路図である。図
10は図2に示したMROM回路のA0l発生回路の詳
細例を示した回路図である。図11は図2に示したMR
OM回路のB0x発生回路の詳細例を示した回路図であ
る。図12は図2に示したMROM回路のC07発生回
路の詳細例を示した回路図である。図13は図2に示し
たMROM回路のD01発生回路の詳細例を示した回路
図である。図14は図2に示したMROM回路のセンス
アンプの詳細例を示した回路図である。図15は図3に
示したフラグ出力回路の16ビットシフトレジスタ回路
の詳細例を示した回路図である。図16は図3に示した
フラグ出力回路の4ビットアップカウンタとALL
“1”検出回路の詳細例を示した回路図である。図17
は図1に示したモード設定回路の詳細例を示した回路図
である。
FIG. 5 is a timing chart showing the operation of test 1 in the chip of FIG. FIG. 6 is a circuit diagram showing a detailed example of a control circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 7 is a circuit diagram showing a detailed example of the reference voltage generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 8 is a circuit diagram showing another detailed example of the reference voltage generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 9 shows the P of the MROM circuit shown in FIG.
FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed example of a RECNT generation circuit. FIG. 10 is a circuit diagram showing a detailed example of the A01 generating circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 11 shows the MR shown in FIG.
FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed example of a B0x generation circuit of the OM circuit. FIG. 12 is a circuit diagram showing a detailed example of the C07 generating circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 13 is a circuit diagram showing a detailed example of the D01 generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 14 is a circuit diagram showing a detailed example of the sense amplifier of the MROM circuit shown in FIG. FIG. 15 is a circuit diagram showing a detailed example of the 16-bit shift register circuit of the flag output circuit shown in FIG. FIG. 16 shows the 4-bit up counter and the ALL of the flag output circuit shown in FIG.
FIG. 3 is a circuit diagram showing a detailed example of a “1” detection circuit. FIG.
FIG. 2 is a circuit diagram showing a detailed example of a mode setting circuit shown in FIG.

【0018】次に本実施の形態の動作について説明す
る。図1に示した回路は16ビットバス幅で、ROM容
量=128Kバイトのシステム例である。又、MROM
リークテストは、4種類のテストモードに分類でき、カ
ラムセレクタリークテスト、セルセレクタリークテス
ト、ROMセルリークテスト、ディセーブルトランジス
タリークテストがある。
Next, the operation of this embodiment will be described. The circuit shown in FIG. 1 is a system example having a 16-bit bus width and a ROM capacity of 128 Kbytes. Also, MROM
Leak tests can be classified into four types of test modes, including a column selector leak test, a cell selector leak test, a ROM cell leak test, and a disable transistor leak test.

【0019】MROM回路3のプリチャージ制御信号発
生回路33、A0l発生回路34、B0x発生回路3
5、C07発生回路36、D01発生回路37から発生
される各制御信号は、図4のモードー覧表に基き下記論
理に設定する。
The precharge control signal generation circuit 33, the A01 generation circuit 34, and the B0x generation circuit 3 of the MROM circuit 3
5, each control signal generated from the C07 generating circuit 36 and the D01 generating circuit 37 is set to the following logic based on the mode table shown in FIG.

【0020】a)カラムセレクタ入力信号 A0l=((AL5〜AL1のデコード)*TESTI
V)+(TEST4〜2) b)セルセレクタ入力信号 B0x=((AL16〜AL10のデコード)*ROM
CS*TEST2V)+(TEST4〜3+TEST
1) c)ROMセルセレクタ入力信号 C07=((AL9〜AL7のデコード)V+ROMC
SV*TEST3V)+(TEST4+TEST2〜
1) d)ディセーブルTRゲ一卜入力信号 D01=((AL6orAL6V)*PREV*ROM
CS*TEST4V)+(TEST3+TEST1) e)PRECNTゲ一卜入力信号 PRECNT=(PRE*ROMCS)+(TEST4
〜1)、PRE=(BT0V,PH2 ),PH1 ROMセルリークテスト以外は、モード設定回路8によ
りテストモードに設定するのみで、カラムセレクタ、セ
ルセレクタ、ディセーブルトランジスタ各々全てのオフ
リーク不良検出テストを行うことができる。
A) Column selector input signal A01 = ((decoding of AL5 to AL1) * TESTI
V) + (TEST4 to 2) b) Cell selector input signal B0x = ((decoding of AL16 to AL10) * ROM
CS * TEST2V) + (TEST4-3 + TEST
1) c) ROM cell selector input signal C07 = ((decoding of AL9 to AL7) V + ROMC
SV * TEST3V) + (TEST4 + TEST2-
1) d) Disable TR gate input signal D01 = ((AL6 or AL6V) * PREV * ROM
CS * TEST4V) + (TEST3 + TEST1) e) PRECNT gate input signal PRECNT = (PRE * ROMCS) + (TEST4
1), PRE = (BT0V, PH2), PH1 Except for the ROM cell leak test, only the test mode is set by the mode setting circuit 8, and the off-leak defect detection test for each of the column selector, the cell selector, and the disable transistor is performed. It can be carried out.

【0021】ROMセルリークテストは、基本的に全て
“1”データで、物理MAP上のランダムアドレスに関
し、C0からC7に接続しているROMセルのオフリー
ク不良検出テストを行うためにある。
The ROM cell leak test is basically for performing an off-leakage defect detection test of the ROM cells connected to C0 to C7 with respect to a random address on the physical MAP using all "1" data.

【0022】次にテスト1に関する実施例を説明する。
カラムセレクタリーク不良検出テストを行うため、マル
チモードで、リーク測定のため、RAM2にNOP命令
(複数回)、フラグデータ書込み用命令、フラグデータ
読み出し命令のプログラムをロードする。その後、リセ
ット行うと共に、LINO…AMのモード設定端子から
のモード設定信号の入力により、MROMリーク不良検
出回路をカラムセレクタリークテストモードに設定す
る。
Next, an embodiment relating to test 1 will be described.
In order to perform a column selector leak failure detection test, in a multi-mode, a program of a NOP instruction (a plurality of times), a flag data write instruction, and a flag data read instruction are loaded into the RAM 2 for leak measurement. Thereafter, reset is performed, and the MROM leak failure detection circuit is set to the column selector leak test mode by inputting a mode setting signal from the mode setting terminal of LINO.

【0023】この設定により、制御回路31はVREF
設定値を、通常VDD/2から3*VDD/4に遷移す
る。これと共に、プリチャージ制御信号発生回路33か
ら発生されるPRECNT=“1”、A0l発生回路3
4から発生されるA0〜Al=全て“0”、B0x発生
回路35から発生されるB0〜Bx=全て“1”、C0
7発生回路36から発生されるC0〜C7=全て
“1”、D01発生回路37から発生されるD0〜D1
=全て“1”に設定される。
With this setting, the control circuit 31 sets VREF
The set value transitions from normal VDD / 2 to 3 * VDD / 4. At the same time, PRECNT = "1" generated from the precharge control signal generation circuit 33, and the A01 generation circuit 3
4, A0 to Al = all “0”, B0x generated from the B0x generation circuit 35 = all “1”, C0
C0 to C7 generated from the D7 generation circuit 36 = “1”, D0 to D1 generated from the D01 generation circuit 37
= All are set to "1".

【0024】そして、各制御信号が上記のようになる
と、プリチャージトランジスタ3aをオン、カラムセレ
クタトランジスタ3bをオフ、セルセレクタトランジス
タ3cをオン、ROMセルトランジスタ3dをオン、デ
ィセーブルトランジスタ3fをオンとし、COLOUT
をVDDレベルに遷移し、VDD電源、プリチャージト
ランジスタ3a,カラムセレクタトランジスタ3b,セ
ルセレクタトランジスタ3c、ROMセルトランジスタ
3f、ディセーブルトランジスタ3g,GND電源のD
Cパスが形成される。
When each control signal becomes as described above, the precharge transistor 3a is turned on, the column selector transistor 3b is turned off, the cell selector transistor 3c is turned on, the ROM cell transistor 3d is turned on, and the disable transistor 3f is turned on. , COLOUT
To the VDD level, the VDD power supply, the precharge transistor 3a, the column selector transistor 3b, the cell selector transistor 3c, the ROM cell transistor 3f, the disable transistor 3g, and the D of the GND power supply.
A C path is formed.

【0025】ここで、COLOUTがプリチャージさ
れ、“1”となると、センスアンプ回路3fの出力PR
OUTは“0”になり、そのため、ラッチ回路3gの出
力は“1”なって、R/Sフリップフロップ3iの出力
が“0”(フラグが立っていない状態)になる。
Here, when COLOUT is precharged and becomes "1", the output PR of the sense amplifier circuit 3f is output.
OUT becomes "0", so that the output of the latch circuit 3g becomes "1", and the output of the R / S flip-flop 3i becomes "0" (state in which no flag is set).

【0026】カラムセレクタトランジスタ部でリーク不
良が発生すると、全カラムセレクタトランジスタ3bの
リークが合計され、COLOUTレベルがVREF電位
の3*VDD/4以下に下がり、センスアンプ回路3f
の出力PROUTが“1”に反転する。
When a leak failure occurs in the column selector transistor portion, the leaks of all the column selector transistors 3b are summed, the COLOUT level drops to 3 * VDD / 4 or less of the VREF potential, and the sense amplifier circuit 3f
Is inverted to “1”.

【0027】これにより、ラッチ回路3gの出力は
“0”なって、R/Sフリップフロップ回路3iの出力
が“1”に反転し、リーク不良検出フラグが立った状態
になる。又、カラムセレクタトランジスタ部でリーク不
良が無い場合は、COLOUTレベル=VDDであり、
センスアンプ回路3fの出力PROUTは“1”の状態
を保持する。
As a result, the output of the latch circuit 3g becomes "0", the output of the R / S flip-flop circuit 3i is inverted to "1", and the leak failure detection flag is set. When there is no leak failure in the column selector transistor portion, COLOUT level = VDD,
The output PROUT of the sense amplifier circuit 3f holds the state of "1".

【0028】CPU7のNOP命令実行期間中に、DC
リーク不良検出測定(luS程度)実施する。
During the execution of the NOP instruction of the CPU 7, the DC
A leak failure detection measurement (about luS) is performed.

【0029】CPU7の書込み命令実行期間中に、セン
スアンプ回路3fの出力(リーク情報)をラッチ回路3
gに書込むと同時に、R/Sフリップフロップ3iによ
りフラグ出力を確定する。図3のフラグ出力回路4の1
6ビットバッファレジスタ回路4aに、カラムセレクタ
リーク有無のフラグデータが書込まれ、WRの立ち下が
りタイミングで、フラグデータが16ビットシフトレジ
スタ回路4bに転送される。
During the write command execution period of the CPU 7, the output (leakage information) of the sense amplifier circuit 3f is
At the same time as writing to g, the flag output is determined by the R / S flip-flop 3i. 1 of the flag output circuit 4 of FIG.
The flag data indicating the presence / absence of the column selector leak is written into the 6-bit buffer register circuit 4a, and the flag data is transferred to the 16-bit shift register circuit 4b at the fall timing of WR.

【0030】次に、CPU7の読み出し命令実行期間中
に、16ビットバッファシフトレジスタ4a内のカラム
セレクタリーク有無フラグデータがモニター兼用ポート
回路5を介してモニター端子PTOUTに、ビット0か
らビット15のカラムセレクタリーク有無フラグ情報を
順次読み出すことにより、オフリーク不良検出テスト
(テスト1)が終了する。
Next, during the read command execution period of the CPU 7, the column selector leak presence / absence flag data in the 16-bit buffer shift register 4a is supplied to the monitor terminal PTOUT via the monitor / port circuit 5 and the column of bits 0 to 15 is read. By sequentially reading the selector leak presence / absence flag information, the off-leak defect detection test (test 1) is completed.

【0031】上記テストで、MROMにリ−ク不良が有
る場合は、モニター端子PTOUTにデータ“1”を出
力し、MROMにリ−ク不良が無い場合は、モニター端
子PTOUTにデータ“0”を出力する。
In the above test, when there is a leak failure in the MROM, data "1" is output to the monitor terminal PTOUT, and when there is no leak failure in the MROM, data "0" is output to the monitor terminal PTOUT. Output.

【0032】又、ビット0からビット15を読み出した
後は、4ビットアップカウンタ4cとALL“1”検出
回路4dとラッチ回路PH1/PH2により、再度、1
6ビットバッファレジスタ回路4aのデータを16ビッ
トシフトレジスタ回路4bに転送することができるた
め、複数回のカラムセレクタのリーク不良検出結果をモ
ニターすることができる。
After reading bit 0 to bit 15, the 4-bit up counter 4c, the ALL "1" detection circuit 4d and the latch circuits PH1 / PH2 re-start 1 bit.
Since the data of the 6-bit buffer register circuit 4a can be transferred to the 16-bit shift register circuit 4b, it is possible to monitor the result of leak detection of the column selector a plurality of times.

【0033】図5は上記したテスト1のタイミングチャ
ートである。図中左欄に表示してある各信号は図2に表
示した各信号に対応している。テスト1はRAMプログ
ラム、リセットモード設定、VREFの変化後のVRE
F安定、リーク検出結果書き込み及びリーク結果のモニ
ターの順番で行われる。
FIG. 5 is a timing chart of the test 1 described above. Each signal displayed in the left column in the figure corresponds to each signal displayed in FIG. Test 1 is RAM program, reset mode setting, VREF after VREF change
F stabilization, leak detection result writing, and leak result monitoring are performed in this order.

【0034】テスト2のセルセレクタリークテスト時の
各制御信号は、PRECNT=“1”、A0〜A1=全
て“1”、B0〜Bx=全て“0”、C0〜C7=全て
“1”、D0〜D1=全て“1”に設定され、テスト1
のカラムセレクタリークテストと同様にDCリーク不良
検出結果がモニター端子PTOUTより、リーク不良検
出結果がモニターされる。
The control signals at the time of the cell selector leak test of test 2 are: PRECNT = “1”, A0 to A1 = all “1”, B0 to Bx = all “0”, C0 to C7 = all “1”, D0 to D1 = All are set to “1” and test 1
As in the column selector leak test, the DC leak failure detection result is monitored from the monitor terminal PTOUT.

【0035】テスト4のディセーブルトランジスタテス
ト時の各制御信号は、PRECNT=“1”、A0〜A
1=全て“1”、B0〜Bx=全て“1”、C0〜C7
=全て“1”、D0〜D1=全て“0”に設定され、テ
スト1のカラムセレクタリークテストと同様にDCリー
ク不良検出結果がモニター端子PTOUTより、リーク
不良検出結果がモニターされる。
Each control signal at the time of the disable transistor test in the test 4 is represented by PRECNT = "1" and A0 to A
1 = all “1”, B0 to Bx = all “1”, C0 to C7
= All "1", D0-D1 = all "0", and the DC leak failure detection result is monitored from the monitor terminal PTOUT as in the test 1 column selector leak test.

【0036】テスト3のROMセルリークテスト時は、
MROMデータが全て“1”のアドレスを選択し、テス
ト3モードに設定する前に、RAM2に全て“1”のア
ドレス指定プログラムを書き込んでおく必要が有る。即
ち、PRECNT=“1”、A0〜Al=選択、B0〜
Bx=選択、C0〜C7=全て“0”、D0、D1=選
択に設定する。これにより、読み出しデータに“0”が
あると、ROMセルリークを検出する。C0からC7ま
でのランダムアドレス(全て“1”データアドレス)部
のテストのために、8回テストを実施する必要が有る。
At the time of the ROM cell leak test of test 3,
Before selecting an address in which all MROM data is "1" and setting the test 3 mode, it is necessary to write an address designation program in which all "1" s are written in the RAM 2. That is, PRECNT = "1", A0-Al = selection, B0-
Bx = selection, C0-C7 = all "0", D0, D1 = selection. Thus, if there is "0" in the read data, a ROM cell leak is detected. It is necessary to execute the test eight times in order to test the random address portion (all "1" data addresses) from C0 to C7.

【0037】もしも、MROMデータで全て“1”が無
い場合は、MROMデータとして任意のものを使用し
て、これをROMセルに書き込み、リーク不良モニター
時に、前記書き込みデータを読み出し、前記MROMデ
ータの反転データとの比較にて、DCリーク不良検出の
有無を判断する。テスト方法は、上記以外はテストl、
2、4と同一手法である。
If there is no "1" in the MROM data, an arbitrary one is used as the MROM data, and this is written in the ROM cell. When the leak failure is monitored, the write data is read out, and the MROM data is read out. The presence or absence of DC leak failure detection is determined by comparison with the inverted data. Other than the above, the test method is
This is the same method as 2, 4.

【0038】ここで、テスト時間的には、fc=20M
Hz時、マルチモード設定時間1uS+RAMへのプロ
グラムロード時問10us+各種リークモード設定時間
1uS+VREF安定化時間1uS+DCリ−ク不良測
定時間1uS+データラッチ時間0.4uS+モニター
端子読み出し時間6.4uS(0.4uS*16回)=
約20uSで済む。
Here, in terms of the test time, fc = 20M
Hz, multi-mode setting time 1 uS + program loading time to RAM 10 us + various leak mode setting time 1 uS + VREF stabilization time 1 uS + DC leak failure measurement time 1 uS + data latch time 0.4 uS + monitor terminal read time 6.4 uS (0.4 uS * 16 times) =
About 20 uS is enough.

【0039】全てのリークテストを行ったとしても、テ
スト1=20uS、テスト2=20uS、テスト3=1
60uS(20uS*8ゲート分)、テスト4=20u
Sで、合計テスト時間=220uSのみである。従来の
fminテスト時間=8200mS(32KHz)に対
し、全ROMリ−クテスト=0.22mSと大幅にテス
ト時間を削減することができる。
Even if all the leak tests were performed, test 1 = 20 uS, test 2 = 20 uS, test 3 = 1
60uS (20uS * 8 gates), test 4 = 20u
In S, the total test time is only 220 uS. Compared to the conventional fmin test time = 8200 ms (32 KHz), the total ROM leak test = 0.22 ms, which can significantly reduce the test time.

【0040】本実施の形態によれば、MROM混載チッ
プ100をテストモードにして、プリチャージトランジ
スタ3a、カラムセレクタトランジスタ3b、セルセレ
クタトランジスタ3c、ROMセルトランジスタ3dを
所定の状態に固定した後、MROM回路3に設けたリー
ク検出回路によりリークを検出すると、これをフラグ出
力回路4より外部に出力する構成とすることにより、D
C的にMROM回路3内の各種トランジスタのオフリー
ク測定が可能となり、32KHz以下の不良も見落とし
なく短時間でリークの有無を判別できると共に、シリア
ルにてMROM16ビット分の各リーク不良有無結果が
モニター兼用ポート回路5の1個のモニター端子PTO
UTで判別できる。又、MROMリーク不良セルのリジ
ェクトを簡単に行うことができると共に、不良品の有無
が容易に判別できるため、サンプル出荷後に低周波数動
作不良の製品が多発するという市場不良問題を解消する
ことができる。
According to the present embodiment, the MROM mixed chip 100 is set to the test mode, and the precharge transistor 3a, the column selector transistor 3b, the cell selector transistor 3c, and the ROM cell transistor 3d are fixed in a predetermined state. When a leak is detected by a leak detection circuit provided in the circuit 3, this is output from the flag output circuit 4 to the outside.
It is possible to measure off-leak of various transistors in the MROM circuit 3 in a C-like manner, and it is possible to determine the presence or absence of a leak in 32 KHz or less in a short time without overlooking the failure. One monitor terminal PTO of port circuit 5
It can be determined by UT. Further, since the rejection of the MROM leak defective cell can be easily performed and the presence or absence of the defective product can be easily determined, it is possible to solve the problem of the market defect that low-frequency operation failure occurs frequently after the sample is shipped. .

【0041】[0041]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明のM
ROMリーク不良検出回路によれば、MROM混載チッ
プにおけるMROMの不良を、見落としなく容易且つ短
時間に検出することができる。しかも、DC的にMRO
Mリーク不良検出テストができるので、fminテスト
が不要となり、評価時間の大幅短縮化が実現できるた
め、チップコストの低減化が図られる。
As described in detail above, the M of the present invention
According to the ROM leak failure detection circuit, the failure of the MROM in the MROM mixed chip can be detected easily and in a short time without being overlooked. Moreover, DC MRO
Since the M leak defect detection test can be performed, the fmin test becomes unnecessary, and the evaluation time can be significantly reduced, so that the chip cost can be reduced.

【0042】本発明のMROM混載チップによれば、M
ROMリ−ク不良セルのリジェクトが短時間且つ簡単に
行うことことができると共に、不良品の有無が容易に判
別できるため、サンブル出荷後にfmin不良品が多発
するという市場不良問題を解消することができる。更
に、MROM内各種トランジスタの信頼性テストとして
も使用でき、チップの信頼性を向上させることができ
る。
According to the MROM mixed chip of the present invention, M
The rejection of defective cells due to ROM leakage can be performed in a short time and easily, and the presence / absence of a defective product can be easily determined. it can. Further, it can be used as a reliability test of various transistors in the MROM, and the reliability of the chip can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のMROMリーク不良検出回路を搭載し
たMROM混載チップの一実施の形態を示したブロック
図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an MROM mixed chip on which an MROM leak failure detection circuit of the present invention is mounted.

【図2】図1に示したMROM回路の詳細例を示したブ
ロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a detailed example of the MROM circuit shown in FIG.

【図3】図1に示したフラグ出力回路の詳細例を示した
ブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a detailed example of a flag output circuit illustrated in FIG. 1;

【図4】図1のチップにおける各テストにおける各制御
信号の状態を示した表図である。
FIG. 4 is a table showing the state of each control signal in each test in the chip of FIG. 1;

【図5】図1のチップにおけるテスト1の動作を示した
タイミングチャートである。
FIG. 5 is a timing chart showing an operation of test 1 in the chip of FIG.

【図6】図2に示したMROM回路の制御回路の詳細例
を示した回路図である。
6 is a circuit diagram showing a detailed example of a control circuit of the MROM circuit shown in FIG.

【図7】図2に示したMROM回路の基準電圧発生回路
の詳細例を示した回路図である。
FIG. 7 is a circuit diagram showing a detailed example of a reference voltage generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図8】図2に示したMROM回路の基準電圧発生回路
の他の詳細例を示した回路図である。
FIG. 8 is a circuit diagram showing another detailed example of the reference voltage generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図9】図2に示したMROM回路のプリチャージ制御
信号発生回路の詳細例を示した回路図である。
9 is a circuit diagram showing a detailed example of a precharge control signal generation circuit of the MROM circuit shown in FIG.

【図10】図2に示したMROM回路のA0l発生回路
の詳細例を示した回路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram showing a detailed example of an A01 generating circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図11】図2に示したMROM回路のB0x発生回路
の詳細例を示した回路図である。
11 is a circuit diagram showing a detailed example of a B0x generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図12】図2に示したMROM回路のC07発生回路
の詳細例を示した回路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram showing a detailed example of a C07 generating circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図13】図2に示したMROM回路のD01発生回路
の詳細例を示した回路図である。
FIG. 13 is a circuit diagram showing a detailed example of a D01 generation circuit of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図14】図2に示したMROM回路のセンスアンプの
詳細例を示した回路図である。
FIG. 14 is a circuit diagram showing a detailed example of a sense amplifier of the MROM circuit shown in FIG. 2;

【図15】図3に示したフラグ出力回路の16ビットシ
フトレジスタ回路の詳細例を示した回路図である。
15 is a circuit diagram showing a detailed example of a 16-bit shift register circuit of the flag output circuit shown in FIG.

【図16】図3に示したフラグ出力回路の4ビットアッ
プカウンタとALL“1”検出回路の詳細例を示した回
路図である。
16 is a circuit diagram showing a detailed example of a 4-bit up counter and an ALL “1” detection circuit of the flag output circuit shown in FIG. 3;

【図17】図1に示したモード設定回路の詳細例を示し
た回路図である。
FIG. 17 is a circuit diagram showing a detailed example of the mode setting circuit shown in FIG. 1;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ポート回路 2 RAM 3 MROM回路 4 フラグ出力回路 5 モニター兼用ポート回路 6 システムリセット発生回路 7 CPU 8 モード設定回路 9 アドレスエリアデコード回路 10 発振/クロック発生回路 31 制御回路 32 VREF発生回路 33 プリチャージ制御信号発生回路 34 A0l発生回路 35 B0x発生回路 36 C07発生回路 37 D01発生回路 51 セレクタ回路 52 出力バッファ 53 NOR回路 100 MROM混載チップ 3a プリチャージトランジスタ 3b カラムセレクタトランジスタ 3c セルセレクタトランジスタ 3d NAND−ROMセルトランジスタ 3e デスチャージトランジスタ 3f センスアンプ回路 3g ラッチ回路 3h 出力回路 3i RSフリップフロップ回路 4a 16ビットバッファレジスタ回路 4b 16ビットシフトレジスタ回路 4c 4ビットアップカウンタ 4d ALL“1”検出回路 PTOUT モニター端子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Port circuit 2 RAM 3 MROM circuit 4 Flag output circuit 5 Monitor / port circuit 6 System reset generation circuit 7 CPU 8 Mode setting circuit 9 Address area decode circuit 10 Oscillation / clock generation circuit 31 Control circuit 32 VREF generation circuit 33 Precharge control Signal generation circuit 34 A01 generation circuit 35 B0x generation circuit 36 C07 generation circuit 37 D01 generation circuit 51 selector circuit 52 output buffer 53 NOR circuit 100 MROM mixed chip 3a precharge transistor 3b column selector transistor 3c cell selector transistor 3d NAND-ROM cell transistor 3e Discharge transistor 3f Sense amplifier circuit 3g Latch circuit 3h Output circuit 3i RS flip-flop circuit 4a 16-bit battery F register circuit 4b 16-bit shift register circuit 4c 4-bit up counter 4d ALL "1" detection circuit PTOUT monitor terminal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B003 AA05 AB02 AB06 AB08 AC07 AD02 AD05 AD07 AD08 AD09 AE04 5B018 GA03 HA31 JA22 KA02 MA35 NA05 PA03 QA13 5L106 AA07 AA15 AA16 DD08 DD12 GG05  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5B003 AA05 AB02 AB06 AB08 AC07 AD02 AD05 AD07 AD08 AD09 AE04 5B018 GA03 HA31 JA22 KA02 MA35 NA05 PA03 QA13 5L106 AA07 AA15 AA16 DD08 DD12 GG05

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 MROMと、 このMROMを構成するトランジスタ群をテストの種類
に応じた所定の状態に制御する制御手段と、 前記トランジスタ群の一部にリークが発生したことを検
出するリーク検出手段と、 前記リークが発生したことが検出されると、この検出信
号を取り出す出力手段と、 を具備することを特徴とするMROMリーク不良検出回
路。
1. An MROM, a control unit for controlling a group of transistors constituting the MROM to a predetermined state corresponding to a type of a test, and a leak detection unit for detecting that a leak has occurred in a part of the transistor group And an output means for extracting a detection signal when the occurrence of the leak is detected, and an MROM leak failure detection circuit.
【請求項2】 前記出力手段は、前記検出信号をシリア
ルデータとし、1個の出力端子から順次出力することを
特徴とする請求項1記載のMROMリーク不良検出回
路。
2. The MROM leak detection circuit according to claim 1, wherein said output means converts the detection signal into serial data and sequentially outputs the detection signal from one output terminal.
【請求項3】 前記トランジスタ群は、カラムセレクタ
トランジスタ,セルセレクタトランジスタ,ROMセル
トランジスタ,ディセーブルトランジスタで、3種類の
それぞれのテストで、カラムセレクタトランジスタ,セ
ルセレクタトランジスタ,ディセーブルトランジスタの
リークを検出し、後の1種類のテストでROMセルトラ
ンジスタのリークを検出し、このROMセルトランジス
タのリークの検出は、ROMデータを全て“1”とする
アドレス選定後、複数回のリーク不良検出テストを行う
ことを特徴とする請求項1又は2記載のMROMリーク
不良検出回路。
3. The transistor group includes a column selector transistor, a cell selector transistor, a ROM cell transistor, and a disable transistor. In each of three types of tests, leakage of the column selector transistor, the cell selector transistor, and the disable transistor is detected. Then, the leakage of the ROM cell transistor is detected by one type of test later. In the detection of the leakage of the ROM cell transistor, a plurality of leak failure detection tests are performed after selecting an address where all the ROM data is set to "1". 3. The MROM leak failure detection circuit according to claim 1, wherein:
【請求項4】 前記リーク検出手段は前記MROMのプ
リチャージ出力線の電位を検出するセンスアンプを有
し、このセンスアンプの基準電圧を前記MROMを通常
使用モードで使用する時と、MROMリーク不良を検出
するモードで使用する時とで変化させることを特徴とす
る請求項1乃至3いずれかに記載のMROMリーク不良
検出回路。
4. The leak detecting means has a sense amplifier for detecting a potential of a precharge output line of the MROM, and a reference voltage of the sense amplifier is used when the MROM is used in a normal use mode and when an MROM leak failure occurs. 4. The MROM leak failure detection circuit according to claim 1, wherein the change is made when the device is used in a mode for detecting the MROM leak.
【請求項5】 請求項1乃至4いずれかに記載のMRO
Mリーク不良検出回路を備えたことを特徴とするMRO
M混載チップ。
5. The MRO according to claim 1, wherein:
An MRO comprising an M leak defect detection circuit
M mixed chip.
JP11163120A 1999-06-09 1999-06-09 Circuit for detecting mrom leak defect, and mrom mixed chip Withdrawn JP2000353400A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011065744A (en) * 2010-10-06 2011-03-31 Renesas Electronics Corp Nonvolatile semiconductor memory device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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