JP2000339681A - Master information carrier and its production - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディジタル情報信
号を磁気記録媒体に記録するために用いられるマスター
情報担体およびその製造方法に関する。The present invention relates to a master information carrier used for recording a digital information signal on a magnetic recording medium and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量のものを実現するために、高記録密度化の傾向に
ある。代表的な磁気記録再生装置であるハードディスク
ドライブの分野においては、すでに面記録密度が３Ｇｂ
ｉｔ／ｉｎ2（４．６５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）を超える装置
が商品化されており、数年後には、面記録密度が１０Ｇ
ｂｉｔ／ｉｎ2（１５．５Ｍｂｉｔ／ｍｍ2）の装置の実
用化が予測されるほどの急峻な技術の進歩が認められ
る。2. Description of the Related Art At present, a magnetic recording / reproducing apparatus has a tendency to have a high recording density in order to realize a small and large-capacity magnetic recording / reproducing apparatus. In the field of hard disk drives, which are typical magnetic recording / reproducing devices, the areal recording density is already 3 Gb.
An apparatus exceeding it / in 2 (4.65 Mbit / mm 2 ) has been commercialized.
A steep technological advancement is expected that would make practical use of a device of bit / in 2 (15.5 Mbit / mm 2 ).
【０００３】このような高記録密度化には、記録再生ヘ
ッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たして
いる。現在の磁気記録媒体のトラッキングサーボ技術で
は、磁気記録媒体に一定の角度間隔でトラッキング用サ
ーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記
録された領域を設け（以下、プリフォーマット記録とい
う）、磁気ヘッドが、一定間隔でこれらの信号を再生す
ることによって、磁気ヘッドの位置を確認、修正しなが
ら正確にトラック上を走査している（例えば、山口：磁
気ディスク装置の高精度サーボ技術、日本応用磁気学会
誌、Ｖｏｌ．２０，Ｎｏ．３，ｐｐ７７１，１９９
６）。[0003] Tracking servo technology of a recording / reproducing head plays an important role in such a high recording density. In the current tracking servo technology of a magnetic recording medium, an area in which a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like are recorded at a fixed angular interval on a magnetic recording medium (hereinafter, referred to as preformat recording) is used. The head reproduces these signals at regular intervals to accurately scan the track while confirming and correcting the position of the magnetic head (for example, Yamaguchi: High-precision servo technology for magnetic disk drives, Japan application) Journal of the Magnetics Society of Japan, Vol.20, No.3, pp771, 199
6).
【０００４】トラッキング用サーボ信号やアドレス情報
信号、再生クロック信号等は、磁気ヘッドが正確にトラ
ック上を走査するための基準信号となるものであるの
で、その記録時には、正確な位置決め精度が要求され
る。このため、従来は、磁気記録媒体を専用のサーボ記
録装置にセットし、厳密に位置制御された磁気ヘッドに
よりプリフォーマット記録を行っていた（例えば、植
松、他：メカ・サーボ、ＨＤＩ技術の現状と展望、日本
応用磁気学会第９３回研究会資料、９３−５，ｐｐ．３
５，１９９６）。The tracking servo signal, the address information signal, the reproduction clock signal, and the like are used as reference signals for the magnetic head to scan the track accurately, and therefore, when recording, accurate positioning accuracy is required. You. For this reason, conventionally, a magnetic recording medium is set in a dedicated servo recording apparatus, and preformat recording is performed by a magnetic head whose position is strictly controlled (for example, Uematsu, et al .: Current Status of Mechanical Servo, HDI Technology). And Prospects, Material of the 93rd Meeting of the Japan Society of Applied Magnetics, 93-5, pp.3
5, 1996).
【０００５】しかしながら、専用のサーボ記録装置を用
いてプリフォーマット記録を行う従来の方法において
は、以下のような課題があった。However, the conventional method of performing preformat recording using a dedicated servo recording device has the following problems.
【０００６】まず第１に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的に磁気ヘッドと磁気記録媒体との相対移動に基づく
線記録であるため、上記従来の方法では、プリフォーマ
ット記録に多くの時間を要するとともに、高価な専用の
サーボ記録装置が必要であり、プリフォーマット記録が
高コストとなっていた。First, since recording by a magnetic head is basically line recording based on the relative movement between a magnetic head and a magnetic recording medium, pre-format recording requires a lot of time in the above-mentioned conventional method. At the same time, an expensive dedicated servo recording device is required, and preformat recording has been expensive.
【０００７】また、第２に、ヘッド・媒体間スペーシン
グや記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がりの
ため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁化
遷移が急峻性にかけるという問題があった。磁化遷移が
急峻性に欠ける場合には、正確なトラッキングサーボ技
術の実現が困難になる。Secondly, there is a problem that the magnetic transition at the end of the track on which the preformat recording is performed affects sharpness due to the expansion of the recording magnetic field due to the spacing between the head and the medium and the pole shape of the recording head. . If the magnetization transition lacks sharpness, it is difficult to realize an accurate tracking servo technique.
【０００８】そこで、磁気ヘッドを用いた上記従来のプ
リフォーマット記録の課題を解決する手段として、基体
の表面にプリフォーマット記録の情報信号に対応する強
磁性薄膜パターンが形成されているマスター情報担体を
用いた方法が提案されている（特開平１０−４０５４４
号公報）。この方法では、マスター情報担体の表面を磁
気記録媒体の表面に接触させた状態で、マスター情報担
体に形成された強磁性薄膜を磁化することによって、磁
気記録媒体にプリフォーマット記録を行う。この方法に
よれば、記録媒体のＳ／Ｎ比、インターフェース性能等
の他の重要性能を犠牲にすることなく、良好なプリフォ
ーマット記録を効率的に行うことができる。As a means for solving the above-mentioned problem of the conventional preformat recording using a magnetic head, a master information carrier having a ferromagnetic thin film pattern corresponding to an information signal of preformat recording formed on the surface of a substrate is used. The method used has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 10-40544).
No.). In this method, preformat recording is performed on a magnetic recording medium by magnetizing a ferromagnetic thin film formed on the master information carrier while the surface of the master information carrier is in contact with the surface of the magnetic recording medium. According to this method, good preformat recording can be efficiently performed without sacrificing other important performances such as the S / N ratio and interface performance of the recording medium.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】マスター情報担体を用
いた上記方法では、１枚のマスター情報担体を用いて複
数の磁気記録媒体にプリフォーマット記録を行う。従っ
て、マスター情報担体は、磁気記録媒体に繰り返し密着
させても強磁性薄膜が剥離等しないように形成すること
が好ましい。In the above method using a master information carrier, preformat recording is performed on a plurality of magnetic recording media using one master information carrier. Therefore, it is preferable that the master information carrier is formed such that the ferromagnetic thin film does not peel off even when repeatedly contacted with the magnetic recording medium.
【００１０】そこで、本発明は、プリフォーマット記録
などのディジタル情報信号を多数の磁気記録媒体に記録
することができるマスター情報担体およびその製造方法
を提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a master information carrier capable of recording digital information signals such as preformat recording on a large number of magnetic recording media, and a method of manufacturing the same.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のマスター情報担体は、磁気記録媒体に接触
させることによって前記磁気記録媒体にディジタル情報
信号を記録するためのマスター情報担体であって、非磁
性材料からなり一主面に複数の凹部を備える基体と、前
記凹部に形成された強磁性薄膜とを備え、前記強磁性薄
膜は、前記磁気記録媒体に記録される前記ディジタル情
報信号に対応する位置に形成され、前記凹部の側面と前
記強磁性薄膜の側面とが分離していることを特徴とす
る。上記本発明のマスター情報担体では、磁気記録媒体
に接触させたときに、強磁性薄膜の側面と基体凹部の側
面との間に応力が加わらないため、強磁性薄膜が脱離し
にくい。したがって、本発明のマスター情報担体によれ
ば、多数の磁気記録媒体にディジタル情報信号を記録す
ることができるマスター情報担体が得られる。In order to achieve the above object, a master information carrier of the present invention is a master information carrier for recording a digital information signal on a magnetic recording medium by bringing the same into contact with the magnetic recording medium. A base made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses on one main surface; and a ferromagnetic thin film formed in the recesses, wherein the ferromagnetic thin film is a digital information signal recorded on the magnetic recording medium. And the side surface of the concave portion is separated from the side surface of the ferromagnetic thin film. In the master information carrier of the present invention, since no stress is applied between the side surface of the ferromagnetic thin film and the side surface of the concave portion of the base when the master information carrier is brought into contact with the magnetic recording medium, the ferromagnetic thin film is not easily detached. Therefore, according to the master information carrier of the present invention, a master information carrier capable of recording digital information signals on a large number of magnetic recording media is obtained.
【００１２】上記本発明のマスター情報担体では、前記
凹部の側面と前記強磁性薄膜の側面との間が、潤滑剤に
よって充填されていることが好ましい。これによって、
磁気記録媒体とマスター情報担体を接触させたときに、
磁気記録媒体に傷が発生することを防止できる。In the master information carrier of the present invention, it is preferable that a space between the side surface of the concave portion and the side surface of the ferromagnetic thin film is filled with a lubricant. by this,
When the magnetic recording medium is brought into contact with the master information carrier,
The occurrence of scratches on the magnetic recording medium can be prevented.
【００１３】また、本発明の第１のマスター情報担体の
製造方法は、非磁性材料からなり一主面に複数の凹部を
備える基体と、前記凹部に形成された強磁性薄膜とを備
えるマスター情報担体の製造方法であって、前記基体の
前記凹部に前記強磁性薄膜を形成する第１の工程と、前
記強磁性薄膜のうち前記凹部の側面に接触する部分を除
去することによって、前記凹部の側面と前記強磁性薄膜
の側面とを分離させる第２の工程とを含むことを特徴と
する。上記第１の製造方法によれば、本発明のマスター
情報担体を容易に製造できる。A first method of manufacturing a master information carrier according to the present invention is directed to a master information carrier comprising a base made of a nonmagnetic material and having a plurality of recesses on one principal surface, and a ferromagnetic thin film formed in the recesses. A method of manufacturing a carrier, comprising: a first step of forming the ferromagnetic thin film in the concave portion of the base; and removing a portion of the ferromagnetic thin film that contacts a side surface of the concave portion, thereby forming the concave portion. A second step of separating the side surface from the side surface of the ferromagnetic thin film. According to the first manufacturing method, the master information carrier of the present invention can be easily manufactured.
【００１４】上記第１の製造方法では、前記第２の工程
において前記強磁性薄膜のうち前記凹部の側面に接触す
る部分を除去する工程が、前記強磁性薄膜を溶解させる
溶液を用いて前記第１の工程を経た前記基体を処理する
ことによって行われることが好ましい。これによって、
本発明のマスター情報担体を特に容易に製造できる。こ
の場合、前記強磁性薄膜がＣｏを含み、前記溶液が弱酸
性溶液またはＮ−メチル−２−ピロリドンであることが
好ましい。In the first manufacturing method, the step of removing the portion of the ferromagnetic thin film in contact with the side surface of the recess in the second step is performed by using a solution for dissolving the ferromagnetic thin film. It is preferable that the treatment be performed by treating the substrate after the first step. by this,
The master information carrier of the present invention can be manufactured particularly easily. In this case, it is preferable that the ferromagnetic thin film contains Co, and the solution is a weakly acidic solution or N-methyl-2-pyrrolidone.
【００１５】上記第１の製造方法では、前記第２の工程
において前記強磁性薄膜のうち前記凹部の側面に接触す
る部分を除去する工程が、前記第１の工程を経た前記基
体に超音波をあてることによって行われることが好まし
い。これによって、本発明のマスター情報担体を特に容
易に製造できる。この場合、前記超音波の周波数が１Ｍ
Ｈｚ以上であることが好ましい。In the first manufacturing method, the step of removing the portion of the ferromagnetic thin film in contact with the side surface of the concave portion in the second step includes applying ultrasonic waves to the base having passed through the first step. It is preferably performed by hitting. Thereby, the master information carrier of the present invention can be manufactured particularly easily. In this case, the frequency of the ultrasonic wave is 1M
Hz or more is preferable.
【００１６】上記第１の製造方法では、前記第２の工程
において前記強磁性薄膜のうち前記凹部の側面に接触す
る部分を除去する工程が、前記第１の工程を経た前記基
体に固体粒子を衝突させることによって行われることが
好ましい。これによって、本発明のマスター情報担体を
特に容易に製造できる。In the first manufacturing method, the step of removing the portion of the ferromagnetic thin film that comes into contact with the side surface of the concave portion in the second step may include the step of depositing solid particles on the substrate after the first step. Preferably, this is done by collision. Thereby, the master information carrier of the present invention can be manufactured particularly easily.
【００１７】本発明の第２のマスター情報担体の製造方
法は、非磁性材料からなり一主面に複数の凹部を備える
基体と、前記凹部に形成された強磁性薄膜とを備えるマ
スター情報担体の製造方法であって、前記基体の前記凹
部に対応する部分に開口部を有するレジスト膜であって
前記開口部の幅が表面側に向かって狭くなるレジスト膜
を、非磁性材料からなる基板上に形成する第１の工程
と、前記基板をエッチングすることによって、一主面に
前記複数の凹部を備える前記基体を形成する第２の工程
と、前記基体上に強磁性薄膜を形成したのち前記レジス
ト膜を除去することによって、前記凹部内に、側面が前
記凹部の側面と分離している強磁性薄膜を形成する第３
の工程とを含むことを特徴とする。これによって、本発
明のマスター情報担体を容易に製造できる。According to a second method of manufacturing a master information carrier of the present invention, a master information carrier comprising a base made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses on one principal surface and a ferromagnetic thin film formed in the recesses is provided. In a manufacturing method, a resist film having an opening in a portion corresponding to the concave portion of the substrate, wherein the width of the opening narrows toward the surface side, is formed on a substrate made of a nonmagnetic material. A first step of forming, a second step of forming the base having the plurality of recesses on one main surface by etching the substrate, and forming the ferromagnetic thin film on the base and then forming the resist Forming a third ferromagnetic thin film having a side surface separated from the side surface of the concave portion in the concave portion by removing the film;
And a step of: Thereby, the master information carrier of the present invention can be easily manufactured.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１９】（実施形態１）実施形態１では、本発明の
マスター情報担体の一例について説明する。(Embodiment 1) In Embodiment 1, an example of the master information carrier of the present invention will be described.
【００２０】実施形態１のマスター情報担体１０は、非
磁性材料からなり一主面に複数の凹部を備える基体と、
基体の凹部に形成された強磁性薄膜とを備える。The master information carrier 10 according to the first embodiment includes a base made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses on one main surface;
A ferromagnetic thin film formed in a concave portion of the base.
【００２１】マスター情報担体１０の平面図を、図１に
模式的に示す。図１を参照して、マスター情報担体１０
の一主面には、信号領域１０ａが形成されている。信号
領域１０ａは、略放射状に形成されている。FIG. 1 schematically shows a plan view of the master information carrier 10. Referring to FIG. 1, a master information carrier 10
On one main surface, a signal region 10a is formed. The signal region 10a is formed substantially radially.
【００２２】図１の点線で囲んだ部分Ａの拡大図を、図
２に模式的に示す。図２に示すように、信号領域１０ａ
には、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報信号
（たとえば、プリフォーマット記録）に対応する位置
に、強磁性薄膜によって形成されたマスター情報パター
ンが形成されている。図２において、ハッチングを施し
た部分が強磁性薄膜によって構成された部分である。FIG. 2 schematically shows an enlarged view of a portion A surrounded by a dotted line in FIG. As shown in FIG. 2, the signal region 10a
Has a master information pattern formed of a ferromagnetic thin film at a position corresponding to a digital information signal (for example, preformat recording) to be recorded on a magnetic recording medium. In FIG. 2, a hatched portion is a portion formed of a ferromagnetic thin film.
【００２３】図２には、マスター情報担体１０の径方向
（すなわちトラック幅方向）に１０トラック分のマスタ
ー情報パターンを示している。なお、参考のため、マス
ター情報パターンが磁気記録媒体に転写記録された後、
磁気記録媒体上でデータ領域となるトラック部分を破線
によって示している。FIG. 2 shows a master information pattern for 10 tracks in the radial direction of the master information carrier 10 (ie, in the track width direction). For reference, after the master information pattern is transferred and recorded on the magnetic recording medium,
Track portions serving as data areas on the magnetic recording medium are indicated by broken lines.
【００２４】マスター情報担体１０の一主面には、磁気
記録媒体に記録されるディジタル情報信号に対応して、
マスター情報担体１０の周方向において一定角度毎に、
かつ径方向には全記録トラック分、図２のようなマスタ
ー情報パターンが形成されている。On one main surface of the master information carrier 10, corresponding to a digital information signal recorded on a magnetic recording medium,
For every fixed angle in the circumferential direction of the master information carrier 10,
Further, a master information pattern as shown in FIG. 2 is formed in the radial direction for all recording tracks.
【００２５】マスター情報パターンは、例えば図２に示
されるように、クロック信号、トラッキング用サーボ信
号、アドレス情報信号等の各々の領域をトラック長さ方
向に順次配列したものである。なお、図１および図２は
一例であり、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報
信号に応じてマスター情報パターンの構成や配置等は変
化する。The master information pattern is, for example, as shown in FIG. 2, in which respective areas of a clock signal, a tracking servo signal, an address information signal and the like are sequentially arranged in the track length direction. FIGS. 1 and 2 are examples, and the configuration and arrangement of the master information pattern change according to the digital information signal recorded on the magnetic recording medium.
【００２６】マスター情報担体１０について、ビット長
さ方向（トラック長さ方向）の一部断面図の一例を図３
に示す。FIG. 3 shows an example of a partial cross-sectional view of the master information carrier 10 in the bit length direction (track length direction).
Shown in
【００２７】図３を参照して、マスター情報担体１０
は、非磁性材料からなり一主面に複数の凹部１１を備え
る基体１０ｂと、基体１０ｂの凹部１１に形成された強
磁性薄膜１０ｃとを備える。Referring to FIG. 3, master information carrier 10
Comprises a base 10b made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses 11 on one main surface, and a ferromagnetic thin film 10c formed in the recess 11 of the base 10b.
【００２８】基体１０ｂには、たとえば、ガラス基板、
プラスチック基板、Ｓｉ基板などを用いることができ
る。For example, a glass substrate,
A plastic substrate, a Si substrate, or the like can be used.
【００２９】強磁性薄膜１０ｃは、強磁性材料からな
り、磁気記録媒体に信号を転写記録できるものであれば
よい。強磁性薄膜１０ｃには、たとえば、Ｆｅ、Ｃｏ、
Ｆｅ−Ｃｏ合金などを用いることができる。上述したよ
うに、強磁性薄膜１０ｃは、磁気記録媒体に記録される
ディジタル情報信号（たとえば、プリフォーマット記
録）に対応する位置に形成されている。The ferromagnetic thin film 10c may be made of a ferromagnetic material and can transfer and record signals on a magnetic recording medium. For example, Fe, Co,
An Fe—Co alloy or the like can be used. As described above, the ferromagnetic thin film 10c is formed at a position corresponding to a digital information signal (for example, preformat recording) recorded on a magnetic recording medium.
【００３０】凹部１１部分の拡大図を図４に示す。図４
を参照して、凹部１１の側面１２と、強磁性薄膜１０ｃ
の側面１３とは分離しており、側面１２と側面１３との
間には空隙が存在する。基体１０ｂの表面における側面
１２と側面１３との間隔Ｌ１は、凹部１１の開口部表面
の幅Ｌ２の５％以上２０％以下であることが好ましい。
間隔Ｌ１を幅Ｌ２の５％以上とすることによって、磁気
記録媒体に密着させてディジタル情報信号の転写記録を
行う際に、マスター情報担体１０に発生する応力を十分
に緩和することができるため、耐久性が特に高く、多数
の磁気記録媒体にディジタル情報信号を記録することが
できるマスター情報担体が得られる。また、間隔Ｌ１を
広くした場合には、凹部１１間の距離を短くする必要が
あるが、間隔Ｌ１を幅Ｌ２の２０％以下とすることによ
って、製造が容易なマスター情報担体が得られる。FIG. 4 is an enlarged view of the concave portion 11. FIG.
, The side surface 12 of the recess 11 and the ferromagnetic thin film 10c
Is separated from the side surface 13, and a gap exists between the side surface 12 and the side surface 13. The distance L1 between the side surfaces 12 and 13 on the surface of the base 10b is preferably 5% or more and 20% or less of the width L2 of the opening surface of the recess 11.
By setting the interval L1 to 5% or more of the width L2, the stress generated in the master information carrier 10 can be sufficiently reduced when the digital information signal is transferred and recorded in close contact with the magnetic recording medium. A master information carrier having particularly high durability and capable of recording digital information signals on a large number of magnetic recording media is obtained. When the interval L1 is widened, the distance between the concave portions 11 needs to be shortened. However, by setting the interval L1 to 20% or less of the width L2, a master information carrier that can be easily manufactured can be obtained.
【００３１】また、上記マスター情報担体１０では、凹
部１１の側面１２と強磁性薄膜１０ｃの側面１３との間
の空隙を潤滑剤で充填してもよい。潤滑剤としては、た
とえば、メディア用に用いられる潤滑剤を用いることが
できる。具体的には、商品名ＦＯＭＢＬＩＮ、Ｚｄｏｌ
（ｐ−フルオロポリエーテル）などを用いることができ
る。凹部１１の側面１２と強磁性薄膜１０ｃの側面１３
との間の空隙を潤滑剤で充填することによって、マスタ
ー情報担体１０を磁気記録媒体に密着させたときに、磁
気記録媒体に傷がつくことを防止できる。In the master information carrier 10, the gap between the side surface 12 of the recess 11 and the side surface 13 of the ferromagnetic thin film 10c may be filled with a lubricant. As the lubricant, for example, a lubricant used for media can be used. Specifically, trade names FOMBLIN, Zdol
(P-fluoropolyether) or the like can be used. Side surface 12 of recess 11 and side surface 13 of ferromagnetic thin film 10c
By filling the gap between the magnetic recording medium with the lubricant, it is possible to prevent the magnetic recording medium from being damaged when the master information carrier 10 is brought into close contact with the magnetic recording medium.
【００３２】次に、マスター情報担体１０の使用方法の
一例について、図５を参照しながら説明する。Next, an example of a method of using the master information carrier 10 will be described with reference to FIG.
【００３３】図５（ａ）に示すように、マスター情報担
体１０を磁気記録媒体５１に密着させた状態で、マスタ
ー情報担体１０の強磁性薄膜１０ｃを磁化させることに
よって、磁気記録媒体５１にディジタル情報信号（たと
えば、プリフォーマット記録）を記録することができ
る。また、強磁性薄膜１０ｃをあらかじめ磁化させてお
いた後、マスター情報担体１０を磁気記録媒体５１に密
着させることによっても磁気記録媒体５１にディジタル
情報信号を記録することができる。As shown in FIG. 5 (a), the ferromagnetic thin film 10c of the master information carrier 10 is magnetized while the master information carrier 10 is in close contact with the magnetic recording medium 51, so that the digital information is recorded on the magnetic recording medium 51. An information signal (for example, preformat recording) can be recorded. Alternatively, a digital information signal can be recorded on the magnetic recording medium 51 by preliminarily magnetizing the ferromagnetic thin film 10c and then bringing the master information carrier 10 into close contact with the magnetic recording medium 51.
【００３４】磁気記録媒体５１は、たとえば、ハードデ
ィスク等に用いられる磁気ディスクなどである。The magnetic recording medium 51 is, for example, a magnetic disk used for a hard disk or the like.
【００３５】磁気記録層５１ａを有する磁気ディスクに
プリフォーマット記録を行ったときの状態を、図５
（ｂ）に模式的に示す。図５（ｂ）に示すように、強磁
性薄膜１０ｃに対応するように、磁気信号が磁気ディス
クの磁気記録層５１ａに記録される。FIG. 5 shows a state where preformat recording is performed on a magnetic disk having a magnetic recording layer 51a.
This is schematically shown in FIG. As shown in FIG. 5B, a magnetic signal is recorded on the magnetic recording layer 51a of the magnetic disk so as to correspond to the ferromagnetic thin film 10c.
【００３６】このように、本発明のマスター情報担体１
０を用いて磁気記録媒体にディジタル情報信号を記録す
る場合には、マスター情報担体１０を磁気記録媒体に密
着させる必要があり、この際に、マスター情報担体１０
に局所的な応力が加わることになる。しかし、本発明の
マスター情報担体１０では、凹部１１の側面１２と強磁
性薄膜１０ｃの側面１３とが分離しているため、凹部１
１の側面１２と強磁性薄膜１０ｃの側面１３との間に応
力が加わることがない。したがって、１枚のマスター情
報担体１０を用いて繰り返し多数の磁気記録媒体にディ
ジタル情報信号の記録を行っても、強磁性薄膜１０ｃが
脱落しにくく、信頼性よく多数の磁気記録媒体にディジ
タル情報信号を記録することができる。As described above, the master information carrier 1 of the present invention
When a digital information signal is recorded on a magnetic recording medium by using the master information carrier 10, the master information carrier 10 must be brought into close contact with the magnetic recording medium.
Will be subjected to local stress. However, in the master information carrier 10 of the present invention, since the side surface 12 of the recess 11 is separated from the side surface 13 of the ferromagnetic thin film 10c, the recess 1
No stress is applied between the side surface 12 of the first ferromagnetic thin film 10c and the side surface 13 of the ferromagnetic thin film 10c. Therefore, even when a digital information signal is repeatedly recorded on a large number of magnetic recording media by using one master information carrier 10, the ferromagnetic thin film 10c is hardly dropped, and the digital information signal is reliably recorded on a large number of magnetic recording media. Can be recorded.
【００３７】実施形態１のマスター情報担体１０を用い
て磁気記録媒体にプリフォーマット記録を行ったとこ
ろ、１０万ショット以上の記録回数を経過してもプリフ
ォーマット記録の信号の欠落は認められなかった。すな
わち、マスター情報担体１０を用いることによって、信
頼性よく多数の磁気記録媒体にプリフォーマット記録を
行うことができることが確認された。When preformat recording was performed on a magnetic recording medium using the master information carrier 10 of Embodiment 1, no loss of preformat recording signal was recognized even after the number of recordings of 100,000 shots or more. . That is, it was confirmed that the use of the master information carrier 10 enables reliable preformat recording on a large number of magnetic recording media.
【００３８】以上説明したように、実施形態１のマスタ
ー情報担体によれば、多数の磁気記録媒体にディジタル
情報信号を転写記録することができる。As described above, according to the master information carrier of the first embodiment, a digital information signal can be transferred and recorded on a large number of magnetic recording media.
【００３９】（実施形態２）実施形態２では、実施形態
１で説明したマスター情報担体１０を製造する方法の一
例について説明する。なお、実施形態１で説明した部分
については、重複する説明を省略する。Embodiment 2 In Embodiment 2, an example of a method for manufacturing the master information carrier 10 described in Embodiment 1 will be described. Note that the description of the parts described in the first embodiment will not be repeated.
【００４０】図６を参照して、実施形態２の製造方法で
は、まず、図６（ａ）に示すように、非磁性材料からな
る基板６０上に、レジスト膜６１を形成する。レジスト
膜６１には、たとえばフォトレジストを用いることがで
きる。レジスト膜６１は、図２に示した基体１０ｂの凹
部１１に対応する位置に開口部を有するように形成され
る。Referring to FIG. 6, in the manufacturing method of the second embodiment, first, as shown in FIG. 6A, a resist film 61 is formed on a substrate 60 made of a non-magnetic material. For the resist film 61, for example, a photoresist can be used. The resist film 61 is formed so as to have an opening at a position corresponding to the concave portion 11 of the base 10b shown in FIG.
【００４１】その後、図６（ｂ）に示すように、レジス
ト膜６１が形成されていない部分（開口部）の基板６０
をエッチングすることによって、凹部１１を有する基体
１０ｂを形成する。エッチングには、イオンエッチング
等のドライエッチングやウエットエッチングを用いるこ
とができる。特に、反応性イオンエッチングを用いた場
合には、エッチングの異方性制御が容易でエッチング速
度が速いため、高速で精度が高いエッチングを行うこと
ができる。たとえば、基体１０ｂにＳｉ（シリコン）基
板を用いる場合には、反応性ガスとしてＣＦ4などを用
いてエッチングを行うことができる。Thereafter, as shown in FIG. 6B, the portion of the substrate 60 where the resist film 61 is not formed (opening) is formed.
Is etched to form a base 10b having the concave portion 11. For the etching, dry etching such as ion etching or wet etching can be used. In particular, when reactive ion etching is used, anisotropic etching can be easily controlled and the etching rate is high, so that high-speed and high-accuracy etching can be performed. For example, when a Si (silicon) substrate is used as the base 10b, etching can be performed using CF 4 or the like as a reactive gas.
【００４２】その後、図６（ｃ）に示すように、レジス
ト膜６１を形成した基体１０ｂ上に強磁性材料からなる
強磁性薄膜１０ｃを形成する。強磁性薄膜１０ｃは、蒸
着法、スパッタリング法またはメッキ法などによって形
成できる。Thereafter, as shown in FIG. 6C, a ferromagnetic thin film 10c made of a ferromagnetic material is formed on the substrate 10b on which the resist film 61 has been formed. The ferromagnetic thin film 10c can be formed by a vapor deposition method, a sputtering method, a plating method, or the like.
【００４３】その後、図６（ｄ）に示すように、レジス
ト膜６１をリムーバ等の薬液を用いて除去することによ
って、不要な強磁性薄膜１０ｃを除去する。なお、薬液
処理に際して、物理的な研磨処理を併用してもよい。Thereafter, as shown in FIG. 6D, the unnecessary ferromagnetic thin film 10c is removed by removing the resist film 61 using a chemical such as a remover. At the time of chemical treatment, physical polishing may be used together.
【００４４】その後、図６（ｅ）に示すように、強磁性
薄膜１０ｃのうち、凹部１１の側面に接触している部分
を除去することによって、マスター情報担体１０が製造
される。Thereafter, as shown in FIG. 6E, the master information carrier 10 is manufactured by removing the portion of the ferromagnetic thin film 10c which is in contact with the side surface of the concave portion 11.
【００４５】図６（ｅ）の工程において、強磁性薄膜１
０ｃのうち、凹部１１の側面に接触している部分を除去
する方法には、以下に述べるような様々な方法を用いる
ことができる。In the step of FIG. 6E, the ferromagnetic thin film 1
Various methods described below can be used as a method of removing a portion of 0c that is in contact with the side surface of the concave portion 11.
【００４６】たとえば、第１の方法として、図６（ｄ）
の工程を経た基体１０ｂを、強磁性薄膜１０ｃを溶解さ
せるような溶液で処理してもよい。処理に用いる溶液
は、強磁性薄膜１０ｃの材料に応じて選べぶことができ
る。たとえば、強磁性薄膜１０ｃにＣｏを含む強磁性材
料を用いる場合には、たとえば希硝酸のような弱酸性溶
液に浸漬したり、Ｎ−メチル−２−ピロリドン中で煮沸
すればよい。弱酸性溶液としては、希硝酸の他に、たと
えば、フッ酸と硝酸の混合液、乳酸と塩酸と硝酸の混合
液、または塩酸などを用いることができる。上記処理に
よって、マスター情報担体１０を容易に製造できる。For example, as a first method, FIG.
May be treated with a solution that dissolves the ferromagnetic thin film 10c. The solution used for the treatment can be selected according to the material of the ferromagnetic thin film 10c. For example, when a ferromagnetic material containing Co is used for the ferromagnetic thin film 10c, it may be immersed in a weakly acidic solution such as dilute nitric acid or boiled in N-methyl-2-pyrrolidone. As the weakly acidic solution, for example, a mixed solution of hydrofluoric acid and nitric acid, a mixed solution of lactic acid, hydrochloric acid, and nitric acid, or hydrochloric acid can be used in addition to dilute nitric acid. By the above processing, the master information carrier 10 can be easily manufactured.
【００４７】また、第２の方法として、図６（ｄ）の工
程を経た基体１０ｂを超音波で処理してもよい。たとえ
ば、本多電子株式会社製のＷ３５７Ｐシリーズあるいは
Ｗ３５７ＬＳシリーズ（日本特許２５２１７３０号）を
用いて基体１０ｂに流水式高周波超音波をあてることに
より、凹部１１の側面に接触している強磁性薄膜１０ｃ
を除去することができる。このとき使用する周波数は、
１ＭＨｚ以上であることが好ましい。周波数が１ＭＨｚ
以上の超音波を用いることによって、凹部１１の側面に
接触している強磁性薄膜１０ｃを容易に除去することが
できる。上記超音波処理によって、マスター情報担体１
０を容易に製造できる。As a second method, the substrate 10b that has undergone the step of FIG. 6D may be treated with ultrasonic waves. For example, a flowing water type high frequency ultrasonic wave is applied to the base 10b using a W357P series or W357LS series (Japanese Patent No. 2521730) manufactured by Honda Electronics Co., Ltd., so that the ferromagnetic thin film 10c in contact with the side surface of the concave portion 11 is formed.
Can be removed. The frequency used at this time is
Preferably, it is 1 MHz or more. Frequency is 1MHz
By using the above ultrasonic waves, the ferromagnetic thin film 10c in contact with the side surface of the concave portion 11 can be easily removed. By the above ultrasonic treatment, the master information carrier 1
0 can be easily manufactured.
【００４８】また、第３の方法として、図６（ｄ）の工
程を経た基体１０ｂに固体粒子を衝突させてもよい。固
体粒子には様々なものを用いることができる。なお、常
温で気化する固体粒子を用いた場合には、衝突させた固
体粒子を除去、洗浄等する工程が不要であるため、製造
が容易になる。具体的には、たとえば、図６（ｄ）の工
程を経た基体１０ｂにドライアイス粒子を衝突させれば
よい。ドライアイス粒子は、たとえば、Ｅｃｏ−Ｓｎｏ
ｗ（ＡＴＳ Ｅｃｏ−Ｓｎｏｗ Ｓｙｓｔｅｍｓ社製、
ＵＳＰ５８０６５４４）を用いて基体１０ｂに衝突させ
ることができる。この場合、等間隔に開けられた噴射口
から噴射された炭酸ガスが、断熱膨張によって冷却さ
れ、固体粒子（ドライアイス）となって高速で基体１０
ｂおよび強磁性薄膜１０ｃの表面に衝突する。このとき
の動力学作用によって、凹部１１の側面１２に接触して
いる強磁性薄膜１０ｃを除去することができる。上記処
理によって、マスター情報担体１０を容易に製造でき
る。As a third method, solid particles may be made to collide with the substrate 10b after the step of FIG. Various solid particles can be used. When solid particles that evaporate at room temperature are used, a process for removing and washing the solid particles that have collided is not required, so that the production becomes easy. Specifically, for example, dry ice particles may be caused to collide with the substrate 10b that has undergone the step of FIG. 6D. Dry ice particles are, for example, Eco-Sno
w (manufactured by ATS Eco-Snow Systems)
US Pat. No. 5,806,544) can be used to collide with the base 10b. In this case, the carbon dioxide gas injected from the injection openings formed at equal intervals is cooled by adiabatic expansion and becomes solid particles (dry ice) at high speed.
b and the surface of the ferromagnetic thin film 10c. By the dynamic action at this time, the ferromagnetic thin film 10c in contact with the side surface 12 of the concave portion 11 can be removed. By the above processing, the master information carrier 10 can be easily manufactured.
【００４９】あるいは、図６（ｄ）の工程を経た基体１
０ｂに向けて、たとえば、ＡＲＩＥＳ（ＦＳＩ社製）を
用いて、等間隔に開けられた噴射口よりアルゴン／窒素
の混合ガスを噴射してもよい。この際、断熱膨張により
アルゴン／窒素の混合ガスは冷却されて固体粒子とな
り、高速で基体１０ｂおよび強磁性薄膜１０ｃの表面に
衝突する。このときの動力学作用によって、凹部１１の
側面１２に接触している強磁性薄膜１０ｃを除去するこ
とができる。上記処理によって、マスター情報担体１０
を容易に製造できる。Alternatively, the substrate 1 having undergone the step of FIG.
For example, a mixed gas of argon / nitrogen may be sprayed from the spray holes provided at equal intervals using ARIES (manufactured by FSI) toward 0b. At this time, the mixed gas of argon / nitrogen is cooled by adiabatic expansion to be solid particles, and collides with the surfaces of the base 10b and the ferromagnetic thin film 10c at high speed. By the dynamic action at this time, the ferromagnetic thin film 10c in contact with the side surface 12 of the concave portion 11 can be removed. By the above processing, the master information carrier 10
Can be easily manufactured.
【００５０】以上説明したように、実施形態２で説明し
たマスター情報担体の製造方法によれば、実施形態１で
説明したマスター情報担体１０を容易に製造できる。As described above, according to the method for manufacturing the master information carrier described in the second embodiment, the master information carrier 10 described in the first embodiment can be easily manufactured.
【００５１】なお、凹部１１の側面１２と強磁性薄膜１
０ｃの側面１３との間の空隙を潤滑剤で充填する場合に
は、たとえば、スピンコート法を用いることができる
（実施形態３において同様である）。The side surface 12 of the recess 11 and the ferromagnetic thin film 1
When the gap between the side surface 13 of Oc and the side surface 13 is filled with a lubricant, for example, a spin coating method can be used (the same applies to the third embodiment).
【００５２】また、上記実施形態では、凹部１１に強磁
性薄膜１０ｃが形成された基体１０ｂ（図６（ｄ）の状
態）を製造する方法として、リフトオフを用いる場合を
示したが、他の方法を用いてもよい。たとえば、凹部１
１を形成した基体１０ｂ上に強磁性材料からなる薄膜を
形成した後、凹部１１上に位置する強磁性薄膜上にレジ
スト膜を形成し、凹部１１上を除く部分の強磁性薄膜を
エッチングしてもよい。In the above-described embodiment, the case where lift-off is used as a method of manufacturing the base 10b (the state shown in FIG. 6D) in which the ferromagnetic thin film 10c is formed in the recess 11 has been described. May be used. For example, recess 1
After a thin film made of a ferromagnetic material is formed on the substrate 10b on which the substrate 1 is formed, a resist film is formed on the ferromagnetic thin film located on the concave portion 11, and the ferromagnetic thin film excluding the portion on the concave portion 11 is etched. Is also good.
【００５３】（実施形態３）実施形態３では、実施形態
１で説明したマスター情報担体１０を製造する他の一例
について説明する。なお、実施形態１で説明した部分に
ついては、重複する説明を省略する。Third Embodiment In a third embodiment, another example of manufacturing the master information carrier 10 described in the first embodiment will be described. Note that the description of the parts described in the first embodiment will not be repeated.
【００５４】図７を参照して、実施形態３の製造方法で
は、まず、図７（ａ）に示すように、非磁性材料からな
る基板７０上に、レジスト膜７１を形成する。レジスト
膜７１には、たとえばフォトレジストを用いることがで
きる。レジスト膜７１は、図２に示した基体１０ｂの凹
部１１に対応する位置に開口部７２を有するように形成
される。なお、このとき、形成されるレジスト膜７１
は、その開口部７２の幅が表面側に向かって狭くなるよ
うに形成される。すなわち、レジスト膜７１の開口部７
２は、その垂直断面が、底面が広い台形状になるように
形成される。このようなレジスト膜７１は、以下のよう
に形成できる。まず、基板７０上にレジスト膜を全面に
塗布し、プリベークを行った後、フォトマスクを用いて
露光機でパターン露光を行う。次に、ベーキングを行
い、露光機を用いて全面露光を行う。次に、レジスト膜
を現像することによって、レジスト膜７１を形成でき
る。レジスト膜７１には、たとえば、ＡＺ５２１４Ｅ
（ＳＨＩＰＬＡＹ社製）を用いることができる。Referring to FIG. 7, in the manufacturing method of the third embodiment, first, as shown in FIG. 7A, a resist film 71 is formed on a substrate 70 made of a nonmagnetic material. For the resist film 71, for example, a photoresist can be used. The resist film 71 is formed so as to have an opening 72 at a position corresponding to the concave portion 11 of the base 10b shown in FIG. At this time, the formed resist film 71 is formed.
Are formed such that the width of the opening 72 becomes narrower toward the surface side. That is, the opening 7 of the resist film 71
2 is formed such that its vertical cross section has a trapezoidal shape with a wide bottom surface. Such a resist film 71 can be formed as follows. First, a resist film is applied on the entire surface of the substrate 70, prebaked, and then subjected to pattern exposure by an exposure machine using a photomask. Next, baking is performed, and the entire surface is exposed using an exposure machine. Next, the resist film 71 can be formed by developing the resist film. The resist film 71 has, for example, AZ5214E
(Manufactured by SHIPLAY) can be used.
【００５５】その後、図７（ｂ）に示すように、レジス
ト膜７１が形成されていない部分の基板７０をエッチン
グすることによって、凹部１１を備える基体１０ｂを形
成する。このとき、レジスト膜７１が形成されていない
部分の基板７０をエッチングすることによって、開口部
表面の幅Ｌ２がレジスト膜７１の開口部７２表面の幅Ｌ
３よりも狭い凹部１１を形成できる。ここで、エッチン
グには、イオンエッチング等のドライエッチングやウエ
ットエッチングを用いることができる。特に、反応性イ
オンエッチングを用いた場合には、エッチングの異方性
制御が容易でエッチング速度が速いため、高速で精度が
高いエッチングを行うことができる。たとえば、基体１
０ｂにＳｉ（シリコン）基板を用いる場合には、反応性
ガスとしてＣＦ４などを用いてエッチングを行うことが
できる。Thereafter, as shown in FIG. 7B, the substrate 70 having the concave portion 11 is formed by etching the portion of the substrate 70 where the resist film 71 is not formed. At this time, by etching the portion of the substrate 70 where the resist film 71 is not formed, the width L2 of the surface of the opening becomes equal to the width L2 of the surface of the opening 72 of the resist film 71.
The concave portion 11 narrower than 3 can be formed. Here, dry etching such as ion etching or wet etching can be used for the etching. In particular, when reactive ion etching is used, anisotropic etching can be easily controlled and the etching rate is high, so that high-speed and high-accuracy etching can be performed. For example, the base 1
When a Si (silicon) substrate is used for Ob, etching can be performed using CF4 or the like as a reactive gas.
【００５６】その後、図７（ｃ）に示すように、レジス
ト膜７１を形成した基体１０ｂ上に強磁性材料からなる
強磁性薄膜１０ｃを形成する。強磁性薄膜１０ｃは、蒸
着法またはスパッタリング法などの気相堆積法によって
形成できる。このとき、レジスト膜７１は、その開口部
表面の幅Ｌ３が凹部１１の開口部表面の幅Ｌ２よりも狭
くなるように形成されているため、強磁性薄膜１０ｃ
は、凹部１１の全体に形成されず、強磁性薄膜１０ｃの
側面は、凹部１１の側面から分離することになる。すな
わち、強磁性薄膜１０ｃの側面と凹部１１の側面との間
には空隙が形成される。Thereafter, as shown in FIG. 7C, a ferromagnetic thin film 10c made of a ferromagnetic material is formed on the substrate 10b on which the resist film 71 has been formed. The ferromagnetic thin film 10c can be formed by a vapor deposition method such as an evaporation method or a sputtering method. At this time, since the resist film 71 is formed so that the width L3 of the opening surface thereof is smaller than the width L2 of the opening surface of the concave portion 11, the ferromagnetic thin film 10c is formed.
Is not formed over the entire recess 11, and the side surface of the ferromagnetic thin film 10 c is separated from the side surface of the recess 11. That is, a gap is formed between the side surface of the ferromagnetic thin film 10c and the side surface of the concave portion 11.
【００５７】その後、図６（ｄ）に示すように、レジス
ト膜７１をリムーバ等の薬液を用いて除去することによ
って、マスター情報担体１０を製造できる。なお、薬液
処理に際して、物理的な研磨処理を併用してもよい。Thereafter, as shown in FIG. 6D, the master information carrier 10 can be manufactured by removing the resist film 71 using a chemical such as a remover. At the time of chemical treatment, physical polishing may be used together.
【００５８】以上説明したように、実施形態３で説明し
たマスター情報担体の製造方法によれば、実施形態１で
説明したマスター情報担体１０を容易に製造できる。As described above, according to the method for manufacturing the master information carrier described in the third embodiment, the master information carrier 10 described in the first embodiment can be easily manufactured.
【００５９】以上、本発明の実施の形態について例を挙
げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、
本発明の技術的思想に基づいて他の実施形態に適用する
ことができる。Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the examples, the present invention is not limited to the above embodiments.
The present invention can be applied to other embodiments based on the technical idea of the present invention.
【００６０】例えば、上記実施形態では、主にハードデ
ィスクドライブ等に搭載される磁気記録媒体にディジタ
ル情報信号を転写記録するためのマスター情報担体につ
いて説明したが、本発明のマスター情報担体は、フレキ
シブル磁気ディスク、磁気カードおよび磁気テープ等の
磁気記録媒体に対して応用することもできる。For example, in the above embodiment, a master information carrier for transferring and recording a digital information signal onto a magnetic recording medium mounted on a hard disk drive or the like has been mainly described. The present invention is also applicable to magnetic recording media such as disks, magnetic cards, and magnetic tapes.
【００６１】また、上記実施形態では、磁気記録媒体に
記録される情報信号が、トラッキング用サーボ信号やア
ドレス情報信号、再生クロック信号等からなるプリフォ
ーマット信号である場合を中心に説明したが、他の情報
信号の記録にも本発明のマスター情報担体を用いること
ができる。例えば、本発明のマスター情報担体を用いて
様々なデータ信号やオーディオ、ビデオ信号の記録を行
うことも原理的に可能である。この場合には、本発明の
マスター情報担体とこれを用いた磁気記録媒体への記録
技術によって、ソフトディスク媒体の大量複写生産を行
うことができ、ソフトディスク媒体を安価に提供するこ
とが可能であるIn the above embodiment, the information signal recorded on the magnetic recording medium is mainly a case where the information signal is a preformat signal including a tracking servo signal, an address information signal, a reproduction clock signal, and the like. The master information carrier of the present invention can also be used for recording the information signal. For example, it is possible in principle to record various data signals, audio and video signals using the master information carrier of the present invention. In this case, the master information carrier of the present invention and the recording technology for the magnetic recording medium using the master information carrier enable mass-production of a soft disk medium to be performed, and the soft disk medium can be provided at a low cost. is there
【００６２】[0062]
【発明の効果】以上説明したように、本発明のマスター
情報担体によれば、耐久性が高く、多数の磁気記録媒体
にディジタル情報信号を記録することができるマスター
情報担体が得られる。As described above, according to the master information carrier of the present invention, a master information carrier having high durability and capable of recording digital information signals on a large number of magnetic recording media can be obtained.
【００６３】また、本発明のマスター情報担体の製造方
法によれば、本発明のマスター情報担体を容易に製造で
きる。According to the method for producing a master information carrier of the present invention, the master information carrier of the present invention can be produced easily.
【図１】 本発明のマスター情報担体について、一例を
示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a master information carrier of the present invention.
【図２】 本発明のマスター情報担体について、マスタ
ー情報パターンの一例を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a master information pattern for the master information carrier of the present invention.
【図３】 本発明のマスター情報担体について、一例を
示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an example of a master information carrier of the present invention.
【図４】 図３の一部拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3;
【図５】 本発明のマスター情報担体について、使用の
一例を示す工程図である。FIG. 5 is a process chart showing an example of use of the master information carrier of the present invention.
【図６】 本発明のマスター情報担体の製造方法につい
て、一例を示す工程図ある。FIG. 6 is a process chart showing an example of a method for producing a master information carrier of the present invention.
【図７】 本発明のマスター情報担体の製造方法につい
て、他の一例を示す工程図である。FIG. 7 is a process chart showing another example of the method for producing a master information carrier of the present invention.
１０ マスター情報担体 １０ａ 信号領域 １０ｂ 基体 １０ｃ 強磁性薄膜 １１ 凹部 １２ 凹部の側面 １３ 強磁性薄膜の側面 ６０、７０ 基板 ６１、７１ レジスト膜 ７２ 開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Master information carrier 10a Signal area 10b Substrate 10c Ferromagnetic thin film 11 Concave part 12 Side face of concave part 13 Side face of ferromagnetic thin film 60, 70 Substrate 61, 71 Resist film 72 Opening
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 領内 博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D006 AA01 BB01 BB07 DA04 5D112 AA05 AA18 AA21 BB05 GA00 GA09 GA26 GA27 GA30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hiroshi Ryouchi 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F-term (reference) 5D006 AA01 BB01 BB07 DA04 5D112 AA05 AA18 AA21 BB05 GA00 GA09 GA26 GA27 GA30
Claims (9)
前記磁気記録媒体にディジタル情報信号を記録するため
のマスター情報担体であって、 非磁性材料からなり一主面に複数の凹部を備える基体
と、前記凹部に形成された強磁性薄膜とを備え、 前記強磁性薄膜は、前記磁気記録媒体に記録される前記
ディジタル情報信号に対応する位置に形成され、 前記凹部の側面と前記強磁性薄膜の側面とが分離してい
ることを特徴とするマスター情報担体。1. A master information carrier for recording a digital information signal on a magnetic recording medium by contacting the magnetic recording medium with the magnetic recording medium, the substrate comprising a nonmagnetic material and having a plurality of recesses on one main surface; A ferromagnetic thin film formed in the concave portion, wherein the ferromagnetic thin film is formed at a position corresponding to the digital information signal recorded on the magnetic recording medium, and a side surface of the concave portion and a side surface of the ferromagnetic thin film And a master information carrier, wherein the master information carrier is separated from the master information carrier.
との間が、潤滑剤によって充填されている請求項１に記
載のマスター情報担体。2. The master information carrier according to claim 1, wherein a space between a side surface of the concave portion and a side surface of the ferromagnetic thin film is filled with a lubricant.
を備える基体と、前記凹部に形成された強磁性薄膜とを
備えるマスター情報担体の製造方法であって、 前記基体の前記凹部に前記強磁性薄膜を形成する第１の
工程と、 前記強磁性薄膜のうち前記凹部の側面に接触する部分を
除去することによって、前記凹部の側面と前記強磁性薄
膜の側面とを分離させる第２の工程とを含むことを特徴
とするマスター情報担体の製造方法。3. A method for manufacturing a master information carrier comprising a base made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses on one principal surface, and a ferromagnetic thin film formed in the recesses, the method comprising: A first step of forming the ferromagnetic thin film; and a second step of separating a side surface of the ferromagnetic thin film from a side surface of the ferromagnetic thin film by removing a portion of the ferromagnetic thin film that contacts the side surface of the concave portion. A method for producing a master information carrier, comprising the steps of:
のうち前記凹部の側面に接触する部分を除去する工程
が、前記強磁性薄膜を溶解させる溶液を用いて前記第１
の工程を経た前記基体を処理することによって行われる
請求項３に記載のマスター情報担体の製造方法。4. The step of removing a portion of the ferromagnetic thin film in contact with a side surface of the recess in the second step, wherein the step of removing the first ferromagnetic thin film using a solution for dissolving the ferromagnetic thin film is performed.
4. The method for producing a master information carrier according to claim 3, wherein the method is performed by treating the substrate after the step.
が弱酸性溶液またはＮ−メチル−２−ピロリドンである
請求項４に記載のマスター情報担体の製造方法。5. The method according to claim 4, wherein the ferromagnetic thin film contains Co, and the solution is a weakly acidic solution or N-methyl-2-pyrrolidone.
のうち前記凹部の側面に接触する部分を除去する工程
が、前記第１の工程を経た前記基体に超音波をあてるこ
とによって行われる請求項３に記載のマスター情報担体
の製造方法。6. The step of removing a portion of the ferromagnetic thin film in contact with a side surface of the concave portion in the second step is performed by applying ultrasonic waves to the base having undergone the first step. Item 4. The method for producing a master information carrier according to Item 3.
る請求項６に記載のマスター情報担体の製造方法。7. The method for manufacturing a master information carrier according to claim 6, wherein the frequency of the ultrasonic wave is 1 MHz or more.
のうち前記凹部の側面に接触する部分を除去する工程
が、前記第１の工程を経た前記基体に固体粒子を衝突さ
せることによって行われる請求項３に記載のマスター情
報担体の製造方法。8. The step of removing a portion of the ferromagnetic thin film in contact with the side surface of the concave portion in the second step is performed by colliding solid particles with the substrate after the first step. A method for producing a master information carrier according to claim 3.
を備える基体と、前記凹部に形成された強磁性薄膜とを
備えるマスター情報担体の製造方法であって、 前記基体の前記凹部に対応する部分に開口部を有するレ
ジスト膜であって前記開口部の幅が表面側に向かって狭
くなるレジスト膜を、非磁性材料からなる基板上に形成
する第１の工程と、 前記基板をエッチングすることによって、一主面に前記
複数の凹部を備える前記基体を形成する第２の工程と、 前記基体上に強磁性薄膜を形成したのち前記レジスト膜
を除去することによって、前記凹部内に、側面が前記凹
部の側面と分離している強磁性薄膜を形成する第３の工
程とを含むことを特徴とするマスター情報担体の製造方
法。9. A method for manufacturing a master information carrier comprising a base made of a non-magnetic material and having a plurality of recesses on one principal surface, and a ferromagnetic thin film formed in the recesses, wherein: A first step of forming, on a substrate made of a nonmagnetic material, a resist film having an opening in a corresponding portion, wherein the width of the opening becomes narrower toward the surface side; and etching the substrate. A second step of forming the base having the plurality of recesses on one main surface thereof, and forming the ferromagnetic thin film on the base and removing the resist film, thereby forming the base in the recess. Forming a ferromagnetic thin film having a side surface separated from the side surface of the concave portion.
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Cited By (3)
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1999
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