JP2000338303A - Antireflection film - Google Patents

Antireflection film

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JP2000338303A
JP2000338303A JP11148807A JP14880799A JP2000338303A JP 2000338303 A JP2000338303 A JP 2000338303A JP 11148807 A JP11148807 A JP 11148807A JP 14880799 A JP14880799 A JP 14880799A JP 2000338303 A JP2000338303 A JP 2000338303A
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JP
Japan
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layer
antireflection
film
antireflection film
hard coat
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Application number
JP11148807A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyotaka Takematsu
清隆 竹松
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an antireflection film which is excellent not only in reflection preventive effect but also in adhesive strength of an antireflection layer to a substrate and durability thereof. SOLUTION: This antireflection film is formed by successively laminating a hard coating layer, a primer layer and the antireflection layer in this order on the transparent substrate, where the primer layer is a silica film having organic groups which are formed by plasma CVD method by using an organic silicon compound as starting material. The organic silicon compound is at least one kind selected from monoalkyl-hexaalkyl disiloxane, where the number of carbon in the alkyl group is 1-3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、反射防止性に優れ
るとともに、反射防止層の基材に対する密着性及び耐久
性にも優れた反射防止フィルムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anti-reflection film having excellent anti-reflection properties and excellent adhesion and durability of an anti-reflection layer to a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、カーブミラー、バックミラー、ゴ
ーグル、窓ガラス、パソコン、ワープロ等のディスプレ
イ、その他種々の商業用ディスプレイ等には、ガラスや
プラスチック等の透明基板が使用されている。そして、
これらの透明基板を通して物体や文字、図形等の視覚情
報、或いはミラーからの像を透明基板を通して反射層か
らの像を観察する場合に、これら透明基板の表面が光を
反射して、内部の必要な視覚情報が判読し難いという問
題点があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, transparent substrates such as glass and plastic are used for displays such as curve mirrors, rearview mirrors, goggles, window glasses, personal computers, word processors, and various other commercial displays. And
When observing the visual information of objects, characters, figures, etc. through these transparent substrates, or the image from the mirror through the transparent substrate and the image from the reflective layer, the surface of these transparent substrates reflects light, and There is a problem that it is difficult to read important visual information.

【0003】従来、これらの光の反射を防止する技術に
は、ガラスやプラスチックの表面に反射防止塗料を塗布
する方法、ガラス等の透明基板の表面に厚み0.1μm
程度のMgF2等の極薄膜や金属蒸着膜を設ける方法、
プラスチックレンズ等の表面に電離放射線硬化型樹脂を
塗布し、更にその上に蒸着によりSiO xやMgF2の膜
を形成する方法、電離放射線硬化型樹脂の硬化膜の上に
更に低屈折率の塗膜を形成する方法等があった。
Conventionally, there has been a technique for preventing the reflection of light.
Applies anti-reflective paint to glass and plastic surfaces
0.1μm thick on the surface of a transparent substrate such as glass
About MgFTwoA method of providing an ultra-thin or metal-deposited film such as
Ionizing radiation curable resin on the surface of plastic lenses, etc.
Is applied, and further deposited thereon by evaporation. xAnd MgFTwoMembrane
Forming a cured film of ionizing radiation curable resin
Further, there has been a method of forming a coating film having a low refractive index.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記において透明基板
に透明無機薄膜を積層して反射防止機能を付与してなる
反射防止フィルムおいては、反射防止性には優れるもの
の、特に基材が透明プラスチックシート(ハードコート
層が形成されている場合もある)である場合には、基材
に対する反射防止層の密着性に問題があり、更に基材と
反射防止層との可撓性が異なることから、反射防止層が
基材の可撓性に追従することができず、反射防止層に微
細クラックが発生して反射防止層が部分的に剥落し、反
射防止性の均一性が損われるという耐久性の問題があっ
た。
In the above, an antireflection film obtained by laminating a transparent inorganic thin film on a transparent substrate to provide an antireflection function has excellent antireflection properties, but the base material is particularly transparent plastic. In the case of a sheet (in which a hard coat layer may be formed), there is a problem in the adhesion of the antireflection layer to the base material, and the flexibility between the base material and the antireflection layer is different. The anti-reflection layer cannot follow the flexibility of the base material, and the anti-reflection layer suffers from fine cracks, the anti-reflection layer is partially peeled off, and the uniformity of the anti-reflection property is impaired. There was a gender problem.

【0005】このような問題を解決する方法として、基
材面にゾルゲル法によるシリカ膜を下地層として使用す
ることが提案されているが、このゾルゲル法によるシリ
カ膜を下地層とする場合には数μmもの厚さが必要であ
った。このように厚い下地層を形成すると、該下地層と
基材との屈折率が異なることから、その上に形成する反
射防止層の機能が損われてしまうことがある。従って本
発明の目的は、反射防止性に優れるとともに、反射防止
層の基材に対する密着性及び耐久性にも優れた反射防止
フィルムを提供することである。
As a method for solving such a problem, it has been proposed to use a silica film formed by a sol-gel method on a substrate surface as an underlayer. A thickness of several μm was required. When such a thick underlayer is formed, the function of the antireflection layer formed thereon may be impaired because the refractive index of the underlayer differs from that of the substrate. Accordingly, an object of the present invention is to provide an anti-reflection film having excellent anti-reflection properties and also having excellent adhesion and durability of an anti-reflection layer to a substrate.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的は以下の本発
明によって達成される。即ち、本発明は、透明基材シー
ト上に、ハードコート層、プライマー層及び反射防止層
をこの順で積層してなる反射防止フィルムであって、前
記プライマー層が有機ケイ素化合物を原料としてプラズ
マCVD法によって形成された有機基を有するシリカ膜
であることを特徴とする反射防止フィルムを提供する。
The above object is achieved by the present invention described below. That is, the present invention is an antireflection film in which a hard coat layer, a primer layer, and an antireflection layer are laminated in this order on a transparent base sheet, wherein the primer layer is formed by plasma CVD using an organosilicon compound as a raw material. Provided is an antireflection film, which is a silica film having an organic group formed by a method.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に好ましい実施の形態を示す図
面を参照して本発明を更に詳細に説明する。本発明の反
射防止フィルムは、図1に示すように、透明基材シート
上に、ハードコート層、プライマー層及び反射防止層を
この順で積層してなる反射防止フィルムであって、前記
プライマー層の構成に特徴がある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in more detail with reference to the drawings showing preferred embodiments. As shown in FIG. 1, the antireflection film of the present invention is an antireflection film obtained by laminating a hard coat layer, a primer layer and an antireflection layer on a transparent substrate sheet in this order, There is a feature in the configuration.

【0008】本発明の好ましい実施の形態は次の通りで
ある。 (1)前記シリカ膜がSiO(R)y(式中のRは炭
素数1〜3のアルキル基、xは1.50〜1.99、y
は0.02〜1.00である)の膜である前記の反射防
止フィルム。 (2)前記有機ケイ素化合物がモノアルキル〜ヘキサア
ルキルジシロキサン(アルキル基の炭素数は1〜3であ
る)の少なくとも1種である前記の反射防止フィルム。 (3)前記プライマー層の屈折率の値と、前記ハードコ
ート層の屈折率の値との差の絶対値が0<差の絶対値≦
0.01である前記の反射防止フィルム。 (4)前記プライマー層の膜厚が10〜100nmであ
る前記の反射防止フィルム。
A preferred embodiment of the present invention is as follows. (1) The silica film is SiO x (R) y (where R is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, x is 1.50 to 1.99, y
Is 0.02 to 1.00). (2) The antireflection film as described above, wherein the organosilicon compound is at least one of monoalkyl to hexaalkyldisiloxane (the alkyl group has 1 to 3 carbon atoms). (3) The absolute value of the difference between the value of the refractive index of the primer layer and the value of the refractive index of the hard coat layer is 0 <absolute value of the difference ≦
The above antireflection film, which is 0.01. (4) The above antireflection film, wherein the thickness of the primer layer is 10 to 100 nm.

【0009】次に本発明の反射防止フィルムの構成材料
並びに製造方法について説明する。本発明で使用する透
明基材シートは、ガラス等のセラミックス又は透明のプ
ラスチックの延伸又は未延伸のフィルムから形成され
る。通常の光学ガラスの他に、透明プラスチックとして
は、例えば、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、
ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニ
ル、ポリビニルアセタール、ポリメタアクリル酸メチ
ル、ポリカーボネート、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂
シート若しくはフィルムを使用することができる。透明
基材シートには、その上に形成するハードコート層との
接着を強固にするためにプライマー層或いは接着剤層を
設けることもできる。これらの基材シートはその用途及
び材質によって異なるが一般的には50〜300μmの
厚みである。
Next, the constituent materials of the antireflection film of the present invention and the production method will be described. The transparent substrate sheet used in the present invention is formed from a stretched or unstretched film of ceramic such as glass or a transparent plastic. In addition to ordinary optical glass, as a transparent plastic, for example, polyester, polyamide, polyimide,
A thermoplastic resin sheet or film of polypropylene, polymethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetal, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyurethane or the like can be used. The transparent substrate sheet may be provided with a primer layer or an adhesive layer in order to strengthen the adhesion with the hard coat layer formed thereon. These base sheets have a thickness of generally 50 to 300 μm, although they vary depending on the use and the material.

【0010】上記基材シート上に設けるハードコート層
は、通常熱硬化型樹脂及び/又は電離放射線型樹脂から
形成される。未硬化のこれらの樹脂を含む塗布液を透明
基材シート上に従来公知の塗布方法を用いて塗布及び硬
化することによってハードコート層が形成される。上記
塗布液は、ハードコート層の膜厚が、好ましくは0.5
〜6μm、更に好ましくは3〜6μmとなるように塗布
される。厚みが薄すぎると透明基材シートに形成する反
射防止層の硬度を維持することが困難となり、3〜6μ
mの範囲とすることにより良好な硬度を維持することが
可能となり、反射防止フィルムにハード性能を付与する
ことができる。ハードコート層を必要以上に厚くするこ
とは、反射防止フィルムの可撓性を損なうばかりでな
く、その形成時における硬化時間が長くなって生産性を
低下させ、製造コストを高くすることにもなるので好ま
しくない。
The hard coat layer provided on the base sheet is usually formed of a thermosetting resin and / or an ionizing radiation type resin. A hard coat layer is formed by applying and curing an uncured coating solution containing these resins on a transparent substrate sheet using a conventionally known coating method. The coating liquid has a thickness of the hard coat layer of preferably 0.5
To 6 μm, more preferably 3 to 6 μm. If the thickness is too small, it is difficult to maintain the hardness of the antireflection layer formed on the transparent substrate sheet, and
By setting it to the range of m, it is possible to maintain good hardness, and it is possible to impart hard performance to the antireflection film. Making the hard coat layer unnecessarily thick not only impairs the flexibility of the antireflection film, but also increases the curing time during its formation, lowers productivity, and increases manufacturing costs. It is not preferable.

【0011】本発明においては、得られる反射防止フィ
ルムに優れた反射防止性に加えて防眩性をも付与する目
的で、ハードコート層、接着層又はプライマー層に微細
凹凸形状を設けることができる。ハードコート層(の凹
凸形状)は、反射防止層と直接に接触するものであり、
ハードコート層の屈折率は、反射防止層の屈折率よりも
小さく形成する。尚、本発明において、「ハード性能」
或いは「ハードコート」とは、JIS K 5400で
示す鉛筆硬度試験で、H以上の硬度を示すことを意味す
る。
In the present invention, the hard coat layer, the adhesive layer or the primer layer can be provided with fine irregularities for the purpose of imparting an antireflection property to the obtained antireflection film in addition to the excellent antireflection property. . The hard coat layer (irregular shape) is in direct contact with the antireflection layer,
The refractive index of the hard coat layer is formed smaller than the refractive index of the antireflection layer. In the present invention, "hard performance"
Alternatively, “hard coat” means that a pencil hardness test according to JIS K 5400 shows a hardness of H or more.

【0012】上記の要件を満たすハードコート層を形成
するための好ましい熱硬化型樹脂及び/又は電離放射線
型樹脂(これらを総称して本発明では反応硬化型樹脂と
称することがある。)としては、例えば、アクリレート
系の官能基をもつもの、例えば、比較的低分子量のポリ
エステル、ポリエーテル、アクリル系樹脂、エポキシ樹
脂、ポリウレタン、アルキッド樹脂、スピロアセタール
樹脂、ポリブタジエン、ポリチオールポリエン系樹脂、
多価アルコール等の多官能化合物の(メタ)アクリレー
ト(以下本明細書では、アクリレートとメタクリレート
とを(メタ)アクリレートと記載する。)等のオリゴマ
ー又はプレポリマー及び反応性の希釈剤であるエチル
(メタ)アクリレート、エチルヘキシル(メタ)アクリ
レート、スチレン、ビニルトルエン、N−ビニルピロリ
ドン等の単官能モノマー、並びに多官能モノマー、例え
ば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、へキサンジオール(メタ)アクリレート、トリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオ
ールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート等を比較的多量に含むものが使
用される。
Preferable thermosetting resins and / or ionizing radiation type resins for forming a hard coat layer satisfying the above requirements (these are sometimes collectively referred to as reaction curable resins in the present invention). For example, those having an acrylate functional group, for example, relatively low molecular weight polyester, polyether, acrylic resin, epoxy resin, polyurethane, alkyd resin, spiro acetal resin, polybutadiene, polythiol polyene resin,
Oligomers or prepolymers such as (meth) acrylates of polyfunctional compounds such as polyhydric alcohols (hereinafter, acrylate and methacrylate are referred to as (meth) acrylates) and ethyl as a reactive diluent ( Monofunctional monomers such as (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, styrene, vinyltoluene, and N-vinylpyrrolidone; and polyfunctional monomers such as trimethylolpropane tri (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, Propylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acryl Over bets, it is used that relatively large amounts include neopentyl glycol di (meth) acrylate.

【0013】更に、上記の電離放射線硬化型樹脂を紫外
線硬化型樹脂として使用するときは、これらの中に光重
合開始剤として、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフ
ェノン類、ミヒラーベンゾイルベンゾエート、α−アミ
ロキシムエステル、チオキサントン類や、光増感剤とし
てn−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリ−n−ブ
チルホスフィン等を混合して使用することが好ましい。
Further, when the above-mentioned ionizing radiation-curable resin is used as an ultraviolet-curable resin, a photopolymerization initiator such as acetophenones, benzophenones, Michler benzoyl benzoate, α-amyloxime is used. It is preferable to use a mixture of an ester, a thioxanthone, or n-butylamine, triethylamine, tri-n-butylphosphine, or the like as a photosensitizer.

【0014】上記の電離放射線硬化型樹脂には、一般式
mSi(OR′)nで表される反応性有機ケイ素化合物
(式中のR、R′は炭素数1〜10のアルキル基を表
し、m+n=4であり、そしてm及びnはそれぞれ整数
である。)を含ませることもできる。該ケイ素化合物と
しては、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキ
シシラン、テトラ−iso−プロポキシシラン、テトラ
−n−プロポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラ
ン、テトラ−sec−ブトキシシラン、テトラ−ter
t−ブトキシシラン、テトラペンタエトキシシラン、テ
トラペンタ−iso−プロポキシシラン、テトラペンタ
−n−プロポキシシラン、テトラペンタ−n−ブトキシ
シラン、テトラペンタ−sec−ブトキシシラン、テト
ラペンタ−tert−ブトキシシラン、メチルトリメト
キシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプ
ロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチル
ジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチ
ルエトキシシラン、ジメチルメトキシシラン、ジメチル
プロポキシシラン、ジメチルブトキシシラン、メチルジ
メトキシシラン、メチルジエトキシシラン、へキシルト
リメトキシシラン等が挙げられる。このようにして形成
されるハードコート層の屈折率は通常1.50〜1.6
5である。
The above-mentioned ionizing radiation-curable resin includes a reactive organosilicon compound represented by the general formula R m Si (OR ′) n (wherein R and R ′ are alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms). And m + n = 4, and m and n are each an integer.). Examples of the silicon compound include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra-iso-propoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-sec-butoxysilane, tetra-ter
t-butoxysilane, tetrapentaethoxysilane, tetrapenta-iso-propoxysilane, tetrapenta-n-propoxysilane, tetrapenta-n-butoxysilane, tetrapenta-sec-butoxysilane, tetrapenta-tert-butoxysilane, methyltrimethoxysilane, Methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethylethoxysilane, dimethylmethoxysilane, dimethylpropoxysilane, dimethylbutoxysilane, methyldimethoxysilane, methyldiethoxysilane, Xyltrimethoxysilane and the like. The refractive index of the hard coat layer thus formed is usually 1.50 to 1.6.
5

【0015】本発明では、上記の如くして形成されるハ
ードコート層の表面に、反射防止層の反射防止性に影響
せずに、反射防止層に優れた密着性及び耐屈曲性等の耐
久性を与えるプライマー層を形成する。本発明では、該
プライマー層を有機ケイ素化合物を原料としてプラズマ
CVD法によって有機基を有するシリカ膜として形成す
る。ここで使用するプラズマCVD法自体は周知である
が、その条件を適当に設定することにより有機基を有す
るシリカ膜を形成することができる。
In the present invention, the surface of the hard coat layer formed as described above does not affect the anti-reflection property of the anti-reflection layer and has excellent durability such as excellent adhesion and bending resistance to the anti-reflection layer. Forming a primer layer that imparts properties. In the present invention, the primer layer is formed as a silica film having an organic group by a plasma CVD method using an organic silicon compound as a raw material. Although the plasma CVD method used here is well known, a silica film having an organic group can be formed by appropriately setting the conditions.

【0016】上記の如く形成するシリカ膜はSiO
x(R)y(式中のRは炭素数1〜3のアルキル基、xは
1.50〜1.99、yは0.02〜1.00である)
の膜であり、有機基を有することから前記ハードコート
層及び反射防止層に対して良好な密着性を有し、非常に
薄い膜で優れたプライマー効果を発揮する。上記式にお
いてxが1.5未満であり、yが1.00を超えると、
シリカ膜が黄褐色に着色し透明性が失われる、必要な強
度が得られない等の点で不充分であり、一方、xが1.
99を超え、yが0.02未満であると、シリカ膜の可
撓性が失われたり、接着性が弱くなる等の点で不充分で
ある。
The silica film formed as described above is made of SiO
x (R) y (where R is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, x is 1.50 to 1.99, and y is 0.02 to 1.00)
Having an organic group, has good adhesion to the hard coat layer and the antireflection layer, and exhibits an excellent primer effect with a very thin film. In the above formula, when x is less than 1.5 and y exceeds 1.00,
The silica film is unsatisfactory in that it is colored yellowish brown and loses transparency, and the required strength cannot be obtained.
When the value of y exceeds 99 and the value of y is less than 0.02, the flexibility of the silica film is lost, and the adhesiveness is insufficient, and the results are insufficient.

【0017】以上の如きプライマー層を形成するために
使用する有機ケイ素化合物としては、モノアルキル〜ヘ
キサアルキルジシロキサン(アルキル基の炭素数は1〜
3である)が好ましく、具体的には、ヘキサメチルジシ
ロキサン、テトラメチルジシロキサン、オクタメチルシ
クロテトラシロキサン、テトラエトキシシラン、テトラ
メトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルシ
ラン、テトラメチルシラン、エチルシラン等が挙げら
れ、これらの内では得られるシリカ膜の特性、コスト、
材料取扱い性等の理由でヘキサメチルジシロキサン及び
テトラメチルジシロキサンが好ましく使用される。
The organosilicon compound used to form the primer layer as described above includes monoalkyl to hexaalkyldisiloxane (the alkyl group has 1 to 1 carbon atoms).
3) is preferable, and specific examples thereof include hexamethyldisiloxane, tetramethyldisiloxane, octamethylcyclotetrasiloxane, tetraethoxysilane, tetramethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methylsilane, tetramethylsilane, and ethylsilane. Among them, the properties of the obtained silica film, cost,
Hexamethyldisiloxane and tetramethyldisiloxane are preferably used for reasons such as material handling.

【0018】又、上記プライマー層は、反射防止層の反
射防止効果に悪影響を与えないために、該プライマー層
の屈折率の値と前記ハードコート層の屈折率の値との差
の絶対値が0<差の絶対値≦0.01であることが好ま
しい。この絶対値の値が0.01を超えると隣接する層
との界面での反射が無視できなくなり、反射防止機能が
低下する等の不都合が生じる。又、プライマー層の膜厚
は10〜100nmであることが好ましい。
The primer layer has an absolute value of a difference between a refractive index value of the primer layer and a refractive index value of the hard coat layer so as not to adversely affect the antireflection effect of the antireflection layer. It is preferable that 0 <absolute value of difference ≦ 0.01. If the absolute value exceeds 0.01, reflection at the interface with the adjacent layer cannot be ignored, and disadvantages such as deterioration of the antireflection function occur. Further, the thickness of the primer layer is preferably from 10 to 100 nm.

【0019】以上の如きプライマー層をプラズマCVD
法で形成する際の好ましい条件の1例は、原料ガス流量
として、有機ケイ素化合物0.17SLM、酸素0.5
1SLM、ヘリウム0.51SLM、アルゴン0.35
SLMとし、プラズマ生成電力を2.1kW、40kH
zとし、成膜ドラムとガス噴出電極との間に印加する。
基材シートの送り速度は3〜30m/minである。
The above-mentioned primer layer is formed by plasma CVD.
An example of preferable conditions when forming by the method is that the flow rate of the raw material gas is 0.17 SLM for the organosilicon compound and 0.5 for the oxygen.
1 SLM, helium 0.51 SLM, argon 0.35
SLM, plasma generation power 2.1 kW, 40 kW
z is applied between the film forming drum and the gas ejection electrode.
The feed speed of the substrate sheet is 3 to 30 m / min.

【0020】本発明では、上記のプライマー層の表面に
反射防止層を形成する。反射防止層の構成については特
に限定されないが、上記プライマー層のプライマー効果
は特に無機の薄膜に対して有効であるので、無機の薄膜
から反射防止層を形成することが好ましい。
In the present invention, an antireflection layer is formed on the surface of the primer layer. The configuration of the antireflection layer is not particularly limited, but since the primer effect of the primer layer is particularly effective for an inorganic thin film, it is preferable to form the antireflection layer from an inorganic thin film.

【0021】好ましい反射防止層の構成を図2を参照し
て説明する。図2は反射防止層の構成を説明する図であ
り、図示の例ではプライマー層の表面に高屈折率層1、
低屈折率層2、高屈折率層3及び低屈折率層4を交互に
4層積層した例であるが、本発明はこの4層構成に限ら
れず、2層、3層、5層、或いはそれ以上の積層構造で
あってもよい。
A preferred structure of the antireflection layer will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram for explaining the configuration of the antireflection layer. In the illustrated example, the high refractive index layer 1 is provided on the surface of the primer layer.
Although this is an example in which four low-refractive-index layers 2, high-refractive-index layers 3, and low-refractive-index layers 4 are alternately laminated, the present invention is not limited to this four-layer configuration, and two, three, five, or A stacked structure of more than that may be used.

【0022】上記高屈折率層を構成する材料としては、
例えば、屈折率が1.5以上のZnO(屈折率1.9
0、以下数値は屈折率を示す)、TiO2(2.3〜
2.7)、CeO2(l.95)、Sb25、(1.7
1)、SnO 2(1.997)、ITO(1.95)、
In 2 3(2.00)、Y23(1.87)、La23
(1.95)、Al23(1.63)、HfO 2(2.
00)、ZrO2(2.05)等が挙げられる。これら
の内では特に屈折率が1.78〜2.4である金属酸化
物が好ましく、特にITO、TiO2、SnO2、In2
3、ZrO2及びこれらの混合酸化物であることが好ま
しい。
As a material constituting the high refractive index layer,
For example, ZnO having a refractive index of 1.5 or more (refractive index of 1.9)
0, the following values indicate the refractive index), TiOTwo(2.3 ~
2.7), CeOTwo(L.95), SbTwoOFive, (1.7
1), SnO Two(1.997), ITO (1.95),
In TwoO Three(2.00), YTwoOThree(1.87), LaTwoOThree
(1.95), AlTwoOThree(1.63), HfO Two(2.
00), ZrOTwo(2.05) and the like. these
Among them, metal oxides having a refractive index of 1.78 to 2.4 are particularly preferable.
Are preferred, especially ITO, TiOTwo, SnOTwo, InTwo
OThree, ZrOTwoAnd mixed oxides thereof.
New

【0023】高屈折率層は、スパッタリング法やプラズ
マCVD法等の公知の方法で形成することができる。図
示の如く4層構成である場合には、空気側高屈折率層3
を50〜150nmとし、基材側高屈折率層1を10〜
50nmの厚みに形成することが好ましい。又、低屈折
率層は、その屈折率が1.42〜1.51であり、スパ
ッタリング法やプラズマCVD法等の公知の方法でシリ
カから形成することができる。図示の如く4層構成であ
る場合には、空気側低屈折率層4を70〜120nmと
し、基材側低屈折率層2を10〜50nmの厚みに形成
することが好ましい。反射防止層の全体の厚みは通常3
0〜300nmの範囲である。
The high refractive index layer can be formed by a known method such as a sputtering method or a plasma CVD method. In the case of a four-layer structure as shown in FIG.
Is set to 50 to 150 nm, and the substrate-side high refractive index layer 1 is set to 10 to 150 nm.
Preferably, it is formed to a thickness of 50 nm. The low refractive index layer has a refractive index of 1.42 to 1.51, and can be formed from silica by a known method such as a sputtering method or a plasma CVD method. In the case of a four-layer structure as shown in the drawing, it is preferable that the air-side low refractive index layer 4 has a thickness of 70 to 120 nm and the substrate side low refractive index layer 2 has a thickness of 10 to 50 nm. The total thickness of the antireflection layer is usually 3
The range is from 0 to 300 nm.

【0024】本発明の反射防止フィルムの好ましい製造
方法の1例は下記の通りである。先ず、透明基材シート
に硬化反応型の樹脂からなる未硬化のハードコート層を
形成し、必要に応じてその上に微細な凹凸を持つマット
状の賦型フィルムを積層及び賦型した後、加熱処理及び
/又は電離放射線処理してハードコート層を硬化させ
る。次いで、硬化したハードコート層から上記の賦型フ
ィルムを剥離・除去し、ハードコート層の表面に微小凹
凸形状を形成する。次にハードコート層上に前記のよう
にしてプライマー層を形成し、次いでその面に図2に示
すように高屈折率層1、低屈折率層2、高屈折率層3及
び低屈折率層4を交互に4層積層して本発明の反射防止
フィルムが得られる。尚、上記の反射防止層の構成は1
例であり、図示の例に限定されない。又、微細凹凸形状
の形成も必須ではない。
One example of a preferred method for producing the antireflection film of the present invention is as follows. First, an uncured hard coat layer made of a curing reaction type resin is formed on a transparent substrate sheet, and after laminating and shaping a mat-shaped shaping film having fine irregularities thereon as necessary, The hard coat layer is cured by heat treatment and / or ionizing radiation treatment. Next, the above-mentioned imprinting film is peeled off and removed from the hardened hard coat layer to form fine irregularities on the surface of the hard coat layer. Next, a primer layer is formed on the hard coat layer as described above, and then the high refractive index layer 1, the low refractive index layer 2, the high refractive index layer 3, and the low refractive index layer are formed on the surface thereof as shown in FIG. The four antireflection films of the present invention are obtained by alternately laminating four layers. The structure of the antireflection layer is 1
This is an example, and the present invention is not limited to the illustrated example. Also, the formation of the fine unevenness is not essential.

【0025】以上の如くして得られる本発明の反射防止
フィルムは、反射防止性に優れるとともに、反射防止層
のハードコート層に対する密着性及び耐久性にも優れた
反射防止フィルムであり、これを偏光素子と積層した偏
光板とし、この偏光板を組込んだ液晶表示装置に反射光
のない鮮明な画像を表示させることができる。又、本発
明の反射防止フィルムを表面に貼合せたブラウン管にお
いても、反射のない鮮明な画像を表示させることができ
る。
The anti-reflection film of the present invention obtained as described above is an anti-reflection film having excellent anti-reflection properties and excellent adhesion and durability of the anti-reflection layer to the hard coat layer. A polarizing plate laminated with a polarizing element can display a clear image without reflected light on a liquid crystal display device incorporating the polarizing plate. Also, a clear image without reflection can be displayed on a cathode ray tube having the antireflection film of the present invention bonded to the surface.

【0026】[0026]

【実施例】次に実施例及び比較例を挙げて本発明を更に
具体的に説明する。 実施例1 透明基材シートであるA−4350(厚み188μmの
二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム:東洋紡
績(株)製)上に、ハードコート樹脂(PET−D31
大日精化工業(株)製)をトルエンで濃度37重量%
に希釈後塗布及び乾燥し、電離放射線により硬化させ、
厚み7.5μmのハードコート層を形成した。このハー
ドコート層の屈折率は1.523であった。このハード
コート層上にプラズマCVD装置を用い、以下の条件で
シリカからなるプライマー層を形成した。成膜したプラ
イマー層をXRFにより膜厚を測定したところ23nm
であった。又、該プライマー層の屈折率は1.531で
あった。
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. Example 1 A-4350 (a biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 188 µm: manufactured by Toyobo Co., Ltd.), which is a transparent base sheet, was coated with a hard coat resin (PET-D31).
Concentration of 37% by weight with toluene
Diluted and applied and dried, cured by ionizing radiation,
A hard coat layer having a thickness of 7.5 μm was formed. The refractive index of this hard coat layer was 1.523. A primer layer made of silica was formed on this hard coat layer using a plasma CVD apparatus under the following conditions. When the film thickness of the formed primer layer was measured by XRF, it was found to be 23 nm.
Met. The refractive index of the primer layer was 1.531.

【0027】プラズマCVD法の条件 原料ガス:ヘキサメチルジシロキサン、酸素、ヘリウム
及びアルゴン 原料ガス流量:ヘキサメチルジシロキサン=0.17S
LM、酸素=0.51SLM、ヘリウム=0.51SL
M及びアルゴン=0.35SLM プラズマの生成:2.1kW、40kHzの電力を成膜
ドラムとガス噴出電極の間に印加した。 基材シートの送り速度:9m/min.
Conditions for the plasma CVD method Source gas: hexamethyldisiloxane, oxygen, helium and argon Source gas flow rate: hexamethyldisiloxane = 0.17 S
LM, oxygen = 0.51SLM, helium = 0.51SL
M and argon = 0.35 SLM Plasma generation: A power of 2.1 kW, 40 kHz was applied between the film forming drum and the gas ejection electrode. Feeding speed of substrate sheet: 9 m / min.

【0028】次に上記のプライマー層の面にスパッタリ
ング法によりITO層25nm、SiO2層25nm、
ITO層85nm及びSiO2膜92nmをこの順に積
層形成し、本発明の反射防止フイルムを得た。上記反射
防止層におけるSiO2層の屈折率は1.452であ
り、ITO層の屈折率は2.002であった。又、プラ
イマー層であるシリカ膜をフーリエ変換IRで分析した
ところ、Si−CH3に由来するピークが1260cm
-1付近に検出された。尚、上記シリカ膜におけるSi−
O−Siに由来する1080cm-1の吸収の面積と上記
のSi−CH3に由来する吸収の面積とから求めたSi
−CH3/Si−Oの比は1/19であった。
Then, an ITO layer 25 nm, a SiO 2 layer 25 nm,
An ITO layer of 85 nm and a SiO 2 film of 92 nm were laminated in this order to obtain an antireflection film of the present invention. The refractive index of the SiO 2 layer in the antireflection layer was 1.452, and the refractive index of the ITO layer was 2.002. When the silica film as the primer layer was analyzed by Fourier transform IR, the peak derived from Si—CH 3 was 1260 cm.
It was detected near -1 . In addition, Si- in the silica film
Si obtained from the area of absorption at 1080 cm -1 derived from O-Si and the area of absorption attributable to Si-CH 3 described above.
The ratio of -CH 3 / Si-O was 1/19.

【0029】比較例1 実施例1においてハードコート層上にプライマー層を設
けなかった以外は実施例1と同様にして比較例の反射防
止フィルムを得た。
Comparative Example 1 An antireflection film of Comparative Example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the primer layer was not provided on the hard coat layer.

【0030】評価 1.密着性 実施例及び比較例で得られた反射防止フィルムについ
て、反射防止層のセロハンテープ剥離試験を行なった。
セロハンテープ剥離試験は、ニチバン(株)製のセロテ
ープを用いて、10×10クロスカットで5回の剥離試
験を行なった。実施例1は100/100であり、比較
例では0/100であった。
Evaluation 1. Adhesiveness The antireflection films obtained in Examples and Comparative Examples were subjected to a cellophane tape peeling test of the antireflection layer.
The cellophane tape peeling test was performed five times with 10 × 10 cross-cuts using cellophane tape manufactured by Nichiban Co., Ltd. Example 1 was 100/100 and Comparative Example was 0/100.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、反射防止性に優れると
ともに、反射防止層の基材シートのハードコート層に対
する密着性及び耐久性にも優れた反射防止フィルムを提
供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide an anti-reflection film which is excellent in anti-reflection property and excellent in adhesion and durability of the anti-reflection layer to the hard coat layer of the substrate sheet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の反射防止フィルムの基本的層構成を
示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing a basic layer configuration of an antireflection film of the present invention.

【図2】 反射防止層の1例を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an example of an antireflection layer.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基材シート上に、ハードコート層、
プライマー層及び反射防止層をこの順で積層してなる反
射防止フィルムであって、前記プライマー層が有機ケイ
素化合物を原料としてプラズマCVD法によって形成さ
れた有機基を有するシリカ膜であることを特徴とする反
射防止フィルム。
1. A hard coat layer on a transparent substrate sheet,
An antireflection film obtained by laminating a primer layer and an antireflection layer in this order, wherein the primer layer is a silica film having an organic group formed by a plasma CVD method using an organosilicon compound as a raw material. Anti-reflection film.
【請求項2】 前記シリカ膜がSiOx(R)y(式中の
Rは炭素数1〜3のアルキル基、xは1.50〜1.9
9、yは0.02〜1.00である)の膜である請求項
1に記載の反射防止フィルム。
2. The method according to claim 1, wherein the silica film is SiO x (R) y (where R is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and x is 1.50 to 1.9).
9. The antireflection film according to claim 1, wherein y is 0.02 to 1.00.
【請求項3】 前記有機ケイ素化合物がモノアルキル〜
ヘキサアルキルジシロキサン(アルキル基の炭素数は1
〜3である)の少なくとも1種である請求項1又は2に
記載の反射防止フィルム。
3. The method according to claim 1, wherein the organosilicon compound is a monoalkyl compound.
Hexaalkyldisiloxane (the alkyl group has 1 carbon atom
The antireflection film according to claim 1, wherein the antireflection film is at least one of the following.
【請求項4】 前記プライマー層の屈折率の値と、前記
ハードコート層の屈折率の値との差の絶対値が0<差の
絶対値≦0.01である請求項1〜3のいずれか1項に
記載の反射防止フィルム。
4. The method according to claim 1, wherein an absolute value of a difference between a refractive index value of the primer layer and a refractive index value of the hard coat layer is 0 <absolute value of difference ≦ 0.01. The antireflection film according to claim 1.
【請求項5】 前記プライマー層の膜厚が10〜100
nmである請求項1〜4のいずれか1項に記載の反射防
止フィルム。
5. The primer layer has a thickness of 10 to 100.
The antireflection film according to any one of claims 1 to 4, which has a thickness of nm.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002103507A (en) * 2000-09-29 2002-04-09 Dainippon Printing Co Ltd Silica layer and reflection preventing film using the same
JP2008233667A (en) * 2007-03-22 2008-10-02 Toppan Printing Co Ltd Antireflection film and polarizing plate

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