JP2000329722A - 炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法 - Google Patents
炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 センサの動作温度の低温化と感度向上を図る
とともに、検知素子の抵抗値が経時変化した場合でも高
精度に補正できる炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 検知素子２と、検知素子２を制御する加
熱手段４と、検知素子２の抵抗値を検出する測定手段５
と、抵抗値からガス濃度を求める濃度演算手段６と、加
熱手段４への温度切り替えタイミング及び測定手段５へ
の抵抗値検出タイミングを制御するタイミング制御手段
７とを備え、測定手段５は検知素子２のインピーダンス
を検出し、濃度演算手段６は炭酸ガス濃度を算出して出
力し、タイミング制御手段７は検知素子２の温度を判断
して加熱手段４に制御温度の切り替えタイミングの信号
を、測定手段５に検知タイミングの信号を出力する。
とともに、検知素子の抵抗値が経時変化した場合でも高
精度に補正できる炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方
法を提供することを目的とする。 【解決手段】 検知素子２と、検知素子２を制御する加
熱手段４と、検知素子２の抵抗値を検出する測定手段５
と、抵抗値からガス濃度を求める濃度演算手段６と、加
熱手段４への温度切り替えタイミング及び測定手段５へ
の抵抗値検出タイミングを制御するタイミング制御手段
７とを備え、測定手段５は検知素子２のインピーダンス
を検出し、濃度演算手段６は炭酸ガス濃度を算出して出
力し、タイミング制御手段７は検知素子２の温度を判断
して加熱手段４に制御温度の切り替えタイミングの信号
を、測定手段５に検知タイミングの信号を出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば室内空
調、環境衛生、生鮮品保存、植物栽培、生体呼吸モニタ
用、防災用、工業用などの分野で使用する各種のガスに
ついて、ガス濃度を計測し制御する場合に使用する炭酸
ガス濃度検知装置に関するものである。
調、環境衛生、生鮮品保存、植物栽培、生体呼吸モニタ
用、防災用、工業用などの分野で使用する各種のガスに
ついて、ガス濃度を計測し制御する場合に使用する炭酸
ガス濃度検知装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】炭酸ガスセンサのひとつとして、セラミ
ック素子に電極を形成したコンデンサ構造を有するイン
ピーダンス変化型のセンサがある。この炭酸ガスセンサ
の構成物質は炭酸ガスと可逆的な化学反応を起こし、セ
ラミック素子のインピーダンスは炭酸ガス濃度に比例し
て変化する。
ック素子に電極を形成したコンデンサ構造を有するイン
ピーダンス変化型のセンサがある。この炭酸ガスセンサ
の構成物質は炭酸ガスと可逆的な化学反応を起こし、セ
ラミック素子のインピーダンスは炭酸ガス濃度に比例し
て変化する。
【０００３】例えば、特開平９−１５１７９号公報に
は、セラミック素子と、このセラミック素子の表面もし
くは内部に一対以上の電極と、これらの電極に信号の出
し入れが可能なリード線とを備え、セラミック素子がア
ルカリ土類金属、遷移金属、ランタノイド元素から選ば
れる１種以上の酸化物、アルカリ土類金属の炭酸塩１種
以上からなる組成物の構成を有する炭酸ガスセンサが開
示されている。この公報に記載の炭酸ガスセンサは、十
分なガス感度を得るために５００℃以上の温度にセラミ
ック素子を加熱するが、高温での動作は実用上いくつか
の問題がある。ひとつにはヒータの消費電力が大きいこ
と、もうひとつには素子の経時変化が大きいことであ
る。
は、セラミック素子と、このセラミック素子の表面もし
くは内部に一対以上の電極と、これらの電極に信号の出
し入れが可能なリード線とを備え、セラミック素子がア
ルカリ土類金属、遷移金属、ランタノイド元素から選ば
れる１種以上の酸化物、アルカリ土類金属の炭酸塩１種
以上からなる組成物の構成を有する炭酸ガスセンサが開
示されている。この公報に記載の炭酸ガスセンサは、十
分なガス感度を得るために５００℃以上の温度にセラミ
ック素子を加熱するが、高温での動作は実用上いくつか
の問題がある。ひとつにはヒータの消費電力が大きいこ
と、もうひとつには素子の経時変化が大きいことであ
る。
【０００４】これらの問題に対して、特開平４−２２８
６１号公報は検知素子の温度を制御して省電力とセンサ
の経時変化対策を可能とした炭酸ガス検知装置が開示さ
れている。その構成を図１１に示す。
６１号公報は検知素子の温度を制御して省電力とセンサ
の経時変化対策を可能とした炭酸ガス検知装置が開示さ
れている。その構成を図１１に示す。
【０００５】図１１の従来の炭酸ガス濃度検知装置のブ
ロック図において、１は炭酸ガスセンサ、２はセラミッ
クを利用した検知素子、３はヒータ、４は加熱手段、５
は測定手段、６は濃度演算手段であり、炭酸ガスセンサ
１は検知素子２とそれを動作温度に加熱するヒータ３と
で構成されている。ヒータ３は加熱手段４に接続され、
加熱手段４によって検知素子２の温度を間欠的にオン−
オフ制御するように電力が供給される。そして、測定手
段５は所定の温度に加熱された検知素子２のインピーダ
ンスを検出し、その検出値を受けて濃度演算手段６は炭
酸ガス濃度を算出して出力する。
ロック図において、１は炭酸ガスセンサ、２はセラミッ
クを利用した検知素子、３はヒータ、４は加熱手段、５
は測定手段、６は濃度演算手段であり、炭酸ガスセンサ
１は検知素子２とそれを動作温度に加熱するヒータ３と
で構成されている。ヒータ３は加熱手段４に接続され、
加熱手段４によって検知素子２の温度を間欠的にオン−
オフ制御するように電力が供給される。そして、測定手
段５は所定の温度に加熱された検知素子２のインピーダ
ンスを検出し、その検出値を受けて濃度演算手段６は炭
酸ガス濃度を算出して出力する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】省エネルギ及び熱疲労
の点からセンサ温度は可能な限り低いことが望ましい
が、図１１に示した従来の炭酸ガスセンサ１は検知素子
２と炭酸ガスとの熱平衡反応を利用しているので、検知
素子２のインピーダンスを測定する検知温度を下げると
ガス感度が低下してしまう。
の点からセンサ温度は可能な限り低いことが望ましい
が、図１１に示した従来の炭酸ガスセンサ１は検知素子
２と炭酸ガスとの熱平衡反応を利用しているので、検知
素子２のインピーダンスを測定する検知温度を下げると
ガス感度が低下してしまう。
【０００７】また、検知素子２の経時変化は既知濃度に
おける抵抗値Ｒ0が時間変化する問題である。従来の技
術では、抵抗値比Ｒ／Ｒ0と炭酸ガス濃度の相関を用い
るため、炭酸ガス濃度を精度良く検知するためには、頻
繁に経時変化分を補正しなければならず、作業コストや
精度の点で改善すべき点が残る。
おける抵抗値Ｒ0が時間変化する問題である。従来の技
術では、抵抗値比Ｒ／Ｒ0と炭酸ガス濃度の相関を用い
るため、炭酸ガス濃度を精度良く検知するためには、頻
繁に経時変化分を補正しなければならず、作業コストや
精度の点で改善すべき点が残る。
【０００８】更に、検知素子２の経時変化の主な原因
は、検知素子２を構成するセラミックの粒子の界面にお
けるＯＨ基の脱離である。このＯＨ基の脱離防止の対策
として動作温度を下げる方法が考えられるが、検知素子
２の感度低下の問題が新たに発生し、感度と経時変化量
を考慮したＳＮ比は改善されない。すなわち、従来の技
術においては、互いにトレードオフの関係にある検知素
子２の検知温度の低温化と感度向上を同時に達成するこ
とは困難であった。
は、検知素子２を構成するセラミックの粒子の界面にお
けるＯＨ基の脱離である。このＯＨ基の脱離防止の対策
として動作温度を下げる方法が考えられるが、検知素子
２の感度低下の問題が新たに発生し、感度と経時変化量
を考慮したＳＮ比は改善されない。すなわち、従来の技
術においては、互いにトレードオフの関係にある検知素
子２の検知温度の低温化と感度向上を同時に達成するこ
とは困難であった。
【０００９】本発明は、上記の課題を解決するものであ
り、炭酸ガスセンサの検知素子の検知温度の低温化と感
度向上を同時に達成できるとともに検知素子の抵抗値が
経時変化した場合でも、高精度に補正できる炭酸ガス検
知装置及び炭酸ガス検知方法を提供することを目的とす
る。
り、炭酸ガスセンサの検知素子の検知温度の低温化と感
度向上を同時に達成できるとともに検知素子の抵抗値が
経時変化した場合でも、高精度に補正できる炭酸ガス検
知装置及び炭酸ガス検知方法を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の炭酸ガス検知装
置は、検知素子と、前記検知素子を任意の温度に制御す
る加熱手段と、前記検知素子の抵抗値を検出する測定手
段と、前記測定手段で検出した抵抗値を受けてガス濃度
を求める濃度演算手段と、前記加熱手段への温度切り替
えタイミング及び前記測定手段への抵抗値検出タイミン
グを制御するタイミング制御手段とを有することを特徴
とする。
置は、検知素子と、前記検知素子を任意の温度に制御す
る加熱手段と、前記検知素子の抵抗値を検出する測定手
段と、前記測定手段で検出した抵抗値を受けてガス濃度
を求める濃度演算手段と、前記加熱手段への温度切り替
えタイミング及び前記測定手段への抵抗値検出タイミン
グを制御するタイミング制御手段とを有することを特徴
とする。
【００１１】このような構成によれば、炭酸ガス検知用
のセンサとして機能する検知素子の検知温度の低温化と
感度向上を同時に達成できる炭酸ガス検知装置を提供す
ることができる。
のセンサとして機能する検知素子の検知温度の低温化と
感度向上を同時に達成できる炭酸ガス検知装置を提供す
ることができる。
【００１２】また、前記測定手段は、複数の周波数で測
定する周波数切り替え手段を有する構成とすることもで
き、この場合では検知素子の抵抗値が経時変化しても、
高精度に補正できる炭酸ガス検知装置を提供することが
できる。
定する周波数切り替え手段を有する構成とすることもで
き、この場合では検知素子の抵抗値が経時変化しても、
高精度に補正できる炭酸ガス検知装置を提供することが
できる。
【００１３】本発明の炭酸ガス検知方法は、上記の炭酸
ガス検知装置を使用するものであって、前記検知素子の
温度を、前記検知素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によっ
て可逆的に変化する温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸
着する温度ＴＬとに交互に前記加熱手段によって設定
し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨを前記測定手段で検出
し、予め定められた抵抗値ＲＨとガス濃度の相関を用い
て前記濃度演算手段によりガス濃度を判定することを特
徴とする。
ガス検知装置を使用するものであって、前記検知素子の
温度を、前記検知素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によっ
て可逆的に変化する温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸
着する温度ＴＬとに交互に前記加熱手段によって設定
し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨを前記測定手段で検出
し、予め定められた抵抗値ＲＨとガス濃度の相関を用い
て前記濃度演算手段によりガス濃度を判定することを特
徴とする。
【００１４】また、前記検知素子の温度を、前記検知素
子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する
温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに
交互に前記加熱手段によって設定し、温度ＴＬにおける
抵抗値ＲＬを前記測定手段で検出し、予め定められた抵
抗値ＲＬとガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段に
よりガス濃度を判定するようにしてもよい。
子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する
温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに
交互に前記加熱手段によって設定し、温度ＴＬにおける
抵抗値ＲＬを前記測定手段で検出し、予め定められた抵
抗値ＲＬとガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段に
よりガス濃度を判定するようにしてもよい。
【００１５】このような炭酸ガス検知方法では、炭酸ガ
スセンサの検知素子の検知温度の低温化と感度向上を同
時に達成できる炭酸ガス検知方法を提供することができ
る。
スセンサの検知素子の検知温度の低温化と感度向上を同
時に達成できる炭酸ガス検知方法を提供することができ
る。
【００１６】さらに、前記検知素子の温度を、前記検知
素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化す
る温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬと
に交互に前記加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおけ
る抵抗値ＲＨと温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬを前記測定
手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＨと抵抗値ＲＬ
とガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス
濃度を判定する検知方法としてもよく、この場合では、
検知素子の抵抗値が経時変化しても、高精度に補正でき
る。
素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化す
る温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬと
に交互に前記加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおけ
る抵抗値ＲＨと温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬを前記測定
手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＨと抵抗値ＲＬ
とガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス
濃度を判定する検知方法としてもよく、この場合では、
検知素子の抵抗値が経時変化しても、高精度に補正でき
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】請求項１に記載の発明は、検知素
子と、前記検知素子を任意の温度に制御する加熱手段
と、前記検知素子の抵抗値を検出する測定手段と、前記
測定手段で検出した抵抗値を受けてガス濃度を求める濃
度演算手段と、前記加熱手段への温度切り替えタイミン
グ及び前記測定手段への抵抗値検出タイミングを制御す
るタイミング制御手段とを有することを特徴とする炭酸
ガス検知装置であり、ヒータ消費電力を低減するととも
に、温度駆動により炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭
酸ガスに対するセンサ感度を大きくするという作用を有
する。
子と、前記検知素子を任意の温度に制御する加熱手段
と、前記検知素子の抵抗値を検出する測定手段と、前記
測定手段で検出した抵抗値を受けてガス濃度を求める濃
度演算手段と、前記加熱手段への温度切り替えタイミン
グ及び前記測定手段への抵抗値検出タイミングを制御す
るタイミング制御手段とを有することを特徴とする炭酸
ガス検知装置であり、ヒータ消費電力を低減するととも
に、温度駆動により炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭
酸ガスに対するセンサ感度を大きくするという作用を有
する。
【００１８】請求項２に記載の発明は、前記測定手段
は、複数の周波数で測定する周波数切り替え手段を有す
ることを特徴とする請求項１記載の炭酸ガス検知装置で
あり、センサ感度の周波数依存性を利用して経時変化の
補正を精度良く行うという作用を有する。
は、複数の周波数で測定する周波数切り替え手段を有す
ることを特徴とする請求項１記載の炭酸ガス検知装置で
あり、センサ感度の周波数依存性を利用して経時変化の
補正を精度良く行うという作用を有する。
【００１９】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨ
を前記測定手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＨと
ガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃
度を判定することを特徴とする炭酸ガス検知方法であ
り、ヒータ消費電力を低減するとともに、温度駆動によ
り炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭酸ガスに対するセ
ンサ感度を大きくするという作用を有する。
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨ
を前記測定手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＨと
ガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃
度を判定することを特徴とする炭酸ガス検知方法であ
り、ヒータ消費電力を低減するとともに、温度駆動によ
り炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭酸ガスに対するセ
ンサ感度を大きくするという作用を有する。
【００２０】請求項４に記載の発明は、請求項１または
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬ
を前記測定手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＬと
ガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃
度を判定することを特徴とする炭酸ガス検知方法であ
り、温度駆動により炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭
酸ガスに対するセンサ感度を大きくするという作用を有
する。
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬ
を前記測定手段で検出し、予め定められた抵抗値ＲＬと
ガス濃度の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃
度を判定することを特徴とする炭酸ガス検知方法であ
り、温度駆動により炭酸ガスの吸着脱離を促進させて炭
酸ガスに対するセンサ感度を大きくするという作用を有
する。
【００２１】請求項５に記載の発明は、請求項１または
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨ
と温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬを前記測定手段で検出
し、予め定められた抵抗値ＲＨと抵抗値ＲＬとガス濃度
の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃度を判定
することを特徴とする炭酸ガス検知方法であり、センサ
感度の温度依存性を利用して経時変化の補正を精度良く
行うという作用を有する。
２記載の炭酸ガス検知装置を用いた炭酸ガス検知方法で
あって、前記検知素子の温度を、前記検知素子の抵抗値
が炭酸ガスの濃度によって可逆的に変化する温度ＴＨと
炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度ＴＬとに交互に前記
加熱手段によって設定し、温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨ
と温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬを前記測定手段で検出
し、予め定められた抵抗値ＲＨと抵抗値ＲＬとガス濃度
の相関を用いて前記濃度演算手段によりガス濃度を判定
することを特徴とする炭酸ガス検知方法であり、センサ
感度の温度依存性を利用して経時変化の補正を精度良く
行うという作用を有する。
【００２２】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図１０に基づいて説明する。
から図１０に基づいて説明する。
【００２３】図１は本発明の一実施の形態における炭酸
ガス濃度検知装置のブロック図である。
ガス濃度検知装置のブロック図である。
【００２４】図１においては、１は炭酸ガスセンサ、２
は検知素子、３はヒータ、４は加熱手段、５は測定手
段、６は濃度演算手段、７はタイミング制御手段であ
り、図１１に示した従来の技術とはタイミング制御手段
７を備えている点が相違する。すなわち、図１１の従来
の技術と同様に、炭酸ガスセンサ１は検知素子２とそれ
を動作温度に加熱するヒータ３とで構成され、ヒータ３
は加熱手段４に接続され、この加熱手段４によって検知
素子２の温度を任意に制御するように電力が供給され
る。測定手段５は検知素子２のインピーダンスを検出
し、その検出値を受けて濃度演算手段６は炭酸ガス濃度
を算出して出力する。
は検知素子、３はヒータ、４は加熱手段、５は測定手
段、６は濃度演算手段、７はタイミング制御手段であ
り、図１１に示した従来の技術とはタイミング制御手段
７を備えている点が相違する。すなわち、図１１の従来
の技術と同様に、炭酸ガスセンサ１は検知素子２とそれ
を動作温度に加熱するヒータ３とで構成され、ヒータ３
は加熱手段４に接続され、この加熱手段４によって検知
素子２の温度を任意に制御するように電力が供給され
る。測定手段５は検知素子２のインピーダンスを検出
し、その検出値を受けて濃度演算手段６は炭酸ガス濃度
を算出して出力する。
【００２５】タイミング制御手段７は検知素子２の温度
を判断して加熱手段４に制御温度の切り替えタイミング
の信号を出力するとともに、測定手段５に検知タイミン
グの信号を出力する。検知素子２は、例えば特開平９−
１５１７９号公報に開示されているように、セラミック
素子とこのセラミック素子の表面もしくは内部に一対以
上の電極と、これらの電極に信号の出し入れが可能なリ
ード線とを有する炭酸ガス検知素子である。そして、検
知素子２のセラミックは、アルカリ土類金属、遷移金
属、ランタノイド元素から選ばれる１種以上の酸化物、
アルカリ土類金属の炭酸塩の１種以上とからなる組成物
の構成を有する。
を判断して加熱手段４に制御温度の切り替えタイミング
の信号を出力するとともに、測定手段５に検知タイミン
グの信号を出力する。検知素子２は、例えば特開平９−
１５１７９号公報に開示されているように、セラミック
素子とこのセラミック素子の表面もしくは内部に一対以
上の電極と、これらの電極に信号の出し入れが可能なリ
ード線とを有する炭酸ガス検知素子である。そして、検
知素子２のセラミックは、アルカリ土類金属、遷移金
属、ランタノイド元素から選ばれる１種以上の酸化物、
アルカリ土類金属の炭酸塩の１種以上とからなる組成物
の構成を有する。
【００２６】次に、本発明の一実施の形態における炭酸
ガス検知装置の動作方法について説明する。
ガス検知装置の動作方法について説明する。
【００２７】加熱手段４はタイミング制御手段７からの
信号を受けて、図２（ａ）は図１の実施の形態のセンサ
温度制御におけるセンサ温度と経過時間の関係を示す線
図に示すように、検知素子２の温度が温度ＴＨと温度Ｔ
Ｌと交互に得られるよう、ヒータ３に電力を供給する。
ここで、温度ＴＨは検知素子２の抵抗値が炭酸ガスの濃
度によって可逆的に変化する温度、温度ＴＬは検知素子
２が炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度であり、温度Ｔ
Ｈは４５０℃以上かつ６００℃以下、温度ＴＬは２００
℃以上かつ４００℃以下であることが望ましい。このと
き、検知素子２の抵抗値は、図２（ｂ）は図１の実施の
形態のセンサ温度制御における検知素子の抵抗値と経過
時間の関係を示す線図のように、センサ温度よりも大き
な時定数で変化し、タイミング制御手段からの信号を受
けて測定手段５は検知素子２の温度ＴＨにおける抵抗値
ＲＨ1，ＲＨ2，・・・ＲＨｎ、及び、温度ＴＬにおける
抵抗値ＲＬ1，ＲＬ2，・・・，ＲＬｎを検出する。タイ
ミング制御手段７が検知素子２の温度を判定する方法と
しては、温度センサを用いて検知素子２の温度を接触あ
るいは非接触で測定してもよく、予め測定したセンサ温
度とヒータ電力との関係から時間によってセンサ温度を
推定してもよい。
信号を受けて、図２（ａ）は図１の実施の形態のセンサ
温度制御におけるセンサ温度と経過時間の関係を示す線
図に示すように、検知素子２の温度が温度ＴＨと温度Ｔ
Ｌと交互に得られるよう、ヒータ３に電力を供給する。
ここで、温度ＴＨは検知素子２の抵抗値が炭酸ガスの濃
度によって可逆的に変化する温度、温度ＴＬは検知素子
２が炭酸ガスを非可逆的に吸着する温度であり、温度Ｔ
Ｈは４５０℃以上かつ６００℃以下、温度ＴＬは２００
℃以上かつ４００℃以下であることが望ましい。このと
き、検知素子２の抵抗値は、図２（ｂ）は図１の実施の
形態のセンサ温度制御における検知素子の抵抗値と経過
時間の関係を示す線図のように、センサ温度よりも大き
な時定数で変化し、タイミング制御手段からの信号を受
けて測定手段５は検知素子２の温度ＴＨにおける抵抗値
ＲＨ1，ＲＨ2，・・・ＲＨｎ、及び、温度ＴＬにおける
抵抗値ＲＬ1，ＲＬ2，・・・，ＲＬｎを検出する。タイ
ミング制御手段７が検知素子２の温度を判定する方法と
しては、温度センサを用いて検知素子２の温度を接触あ
るいは非接触で測定してもよく、予め測定したセンサ温
度とヒータ電力との関係から時間によってセンサ温度を
推定してもよい。
【００２８】図３（ａ）は図１の実施の形態における炭
酸ガス濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であって、炭
酸ガス濃度と経過時間の関係を示す線図に示すように、
例えば雰囲気の炭酸ガス濃度を基準の３５０ｐｐｍから
２０００ｐｐｍへ切り替えたときには、検知素子２の抵
抗値は図３（ｂ）の図１の実施の形態における炭酸ガス
濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であって、検知素子
の抵抗値の経時変化を示す線図のように変化する。抵抗
値ＲＨｎ及びＲＬｎと既知の炭酸ガス濃度における抵抗
値ＲＨ0及びＲＬ0との比ＲＨｎ／ＲＨ0及びＲＬｎ／Ｒ
Ｌ0と、炭酸ガス濃度との相関を用いて、濃度演算手段
６により炭酸ガス濃度を算出して出力する。
酸ガス濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であって、炭
酸ガス濃度と経過時間の関係を示す線図に示すように、
例えば雰囲気の炭酸ガス濃度を基準の３５０ｐｐｍから
２０００ｐｐｍへ切り替えたときには、検知素子２の抵
抗値は図３（ｂ）の図１の実施の形態における炭酸ガス
濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であって、検知素子
の抵抗値の経時変化を示す線図のように変化する。抵抗
値ＲＨｎ及びＲＬｎと既知の炭酸ガス濃度における抵抗
値ＲＨ0及びＲＬ0との比ＲＨｎ／ＲＨ0及びＲＬｎ／Ｒ
Ｌ0と、炭酸ガス濃度との相関を用いて、濃度演算手段
６により炭酸ガス濃度を算出して出力する。
【００２９】ＲＨ／ＲＨ0及びＲＬ／ＲＬ0と炭酸ガス濃
度との相関はそれぞれ、図４のａとｂで示す特性とな
る。また、図４においてｃ及びｄで示す特性は、従来の
ように検知素子２の温度をＴＨ及びＴＬ一定に制御した
場合のＲＨ／ＲＨ0及びＲＬ／ＲＬ0と炭酸ガス濃度の相
関である。ここでは、３５０ｐｐｍ濃度における抵抗値
を基準にしてＲＨ0，ＲＬ0とした。
度との相関はそれぞれ、図４のａとｂで示す特性とな
る。また、図４においてｃ及びｄで示す特性は、従来の
ように検知素子２の温度をＴＨ及びＴＬ一定に制御した
場合のＲＨ／ＲＨ0及びＲＬ／ＲＬ0と炭酸ガス濃度の相
関である。ここでは、３５０ｐｐｍ濃度における抵抗値
を基準にしてＲＨ0，ＲＬ0とした。
【００３０】図４の図１の実施の形態における炭酸ガス
濃度と検知素子抵抗の関係を示す線図から明らかなよう
に、感度の大きさはｂ＞＞ａ＞ｃ＞＞ｄであり、本発明
によれば、従来の技術に比べて低い動作温度でより大き
なガス感度を得ることができる。すなわち、本発明は、
検知素子２を低温にしたときの炭酸ガス吸着量が雰囲気
の炭酸ガス濃度に大きく依存することを利用したもので
あり、新規な炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法を
提供することができる。
濃度と検知素子抵抗の関係を示す線図から明らかなよう
に、感度の大きさはｂ＞＞ａ＞ｃ＞＞ｄであり、本発明
によれば、従来の技術に比べて低い動作温度でより大き
なガス感度を得ることができる。すなわち、本発明は、
検知素子２を低温にしたときの炭酸ガス吸着量が雰囲気
の炭酸ガス濃度に大きく依存することを利用したもので
あり、新規な炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法を
提供することができる。
【００３１】また、本発明によれば、抵抗値ＲＨとＲＬ
との比ＲＨ／ＲＬを濃度演算のパラメータとすることに
より、検知素子２の抵抗値の経時変化を高精度に補正で
きる。検知素子２の抵抗値は温度とＣＯ2濃度と経時変
化量に比例し、近似的に、（数１）
との比ＲＨ／ＲＬを濃度演算のパラメータとすることに
より、検知素子２の抵抗値の経時変化を高精度に補正で
きる。検知素子２の抵抗値は温度とＣＯ2濃度と経時変
化量に比例し、近似的に、（数１）
【００３２】
【数１】
【００３３】と表すことができる。ここで、ｋは定数、
Ｒ（Ｔ）は温度依存性の項、Ｒ（ＣＯ 2）は炭酸ガス濃
度依存性の項で温度の関数、Ｒ（ｔ）は経時変化分の項
である。いま、ＲＨ／ＲＬの比を考えると、同一の検知
素子２の場合ではＲ（ｔ）は共通であり、ＴＨとＴＬの
温度は一定なので、（数２）
Ｒ（Ｔ）は温度依存性の項、Ｒ（ＣＯ 2）は炭酸ガス濃
度依存性の項で温度の関数、Ｒ（ｔ）は経時変化分の項
である。いま、ＲＨ／ＲＬの比を考えると、同一の検知
素子２の場合ではＲ（ｔ）は共通であり、ＴＨとＴＬの
温度は一定なので、（数２）
【００３４】
【数２】
【００３５】となる。ここで、ｋ’＝ｋ・Ｒ（ＴＨ）／
Ｒ（ＴＬ）は一定である。ＲＨ（ＣＯ 2）／ＲＬ（Ｃ
Ｏ2）の濃度依存性の項は、第５図に示すように、ＲＨ
（ＣＯ2）＜＜ＲＬ（ＣＯ2）であるので、ＲＨ／ＲＬを
濃度演算のパラメータとすることができる。
Ｒ（ＴＬ）は一定である。ＲＨ（ＣＯ 2）／ＲＬ（Ｃ
Ｏ2）の濃度依存性の項は、第５図に示すように、ＲＨ
（ＣＯ2）＜＜ＲＬ（ＣＯ2）であるので、ＲＨ／ＲＬを
濃度演算のパラメータとすることができる。
【００３６】図５の図１の実施の形態における検知素子
抵抗の経時変化を表す図は３５０ｐｐｍ炭酸ガス雰囲気
におけるＲＨ、ＲＬ、及びＲＨ／ＲＬの経時変化を示
す。ＲＨ及びＲＬは経時的に変化するが、その変化率は
ほぼ一定であるのでＲＨ／ＲＬもほぼ一定となる。従っ
て、本発明によれば、炭酸ガス検知装置を一定の濃度雰
囲気においた場合、濃度演算手段６からの炭酸ガス濃度
出力値の経時変化量を、従来の炭酸ガス検知装置に比べ
て極めて小さくすることができる。
抵抗の経時変化を表す図は３５０ｐｐｍ炭酸ガス雰囲気
におけるＲＨ、ＲＬ、及びＲＨ／ＲＬの経時変化を示
す。ＲＨ及びＲＬは経時的に変化するが、その変化率は
ほぼ一定であるのでＲＨ／ＲＬもほぼ一定となる。従っ
て、本発明によれば、炭酸ガス検知装置を一定の濃度雰
囲気においた場合、濃度演算手段６からの炭酸ガス濃度
出力値の経時変化量を、従来の炭酸ガス検知装置に比べ
て極めて小さくすることができる。
【００３７】図６は本発明の別の実施の形態における炭
酸ガス検知装置のブロック図である。
酸ガス検知装置のブロック図である。
【００３８】この例は図１で示した構成において、測定
手段５に周波数切り替え手段８を加えた点だけが相違
し、その他は同じである。
手段５に周波数切り替え手段８を加えた点だけが相違
し、その他は同じである。
【００３９】本実施の形態における炭酸ガス検知装置の
動作方法が先の実施の形態と異なるのは、抵抗値ＲＨあ
るいはＲＬを検知する場合、少なくとも２つの異なる周
波数の測定信号を用い、一方を１００ｋＨｚ以下の低周
波数、もう一方は１００ｋＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の高
周波数とすることである。例として、温度ＴＬにおける
検知素子２の抵抗値の周波数依存性を示した図７を用い
て説明する。
動作方法が先の実施の形態と異なるのは、抵抗値ＲＨあ
るいはＲＬを検知する場合、少なくとも２つの異なる周
波数の測定信号を用い、一方を１００ｋＨｚ以下の低周
波数、もう一方は１００ｋＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の高
周波数とすることである。例として、温度ＴＬにおける
検知素子２の抵抗値の周波数依存性を示した図７を用い
て説明する。
【００４０】図７の図６の実施の形態における検知素子
の周波数依存性と経時変化を表す図において、ＲＬｌは
低周波数で検知したときの検知素子抵抗、ＲＬｈは高周
波数で検知したときの検知素子抵抗である。検知素子抵
抗が経時変化しても周波数依存性は変わらない。すなわ
ち、図７の抵抗−周波数の特性曲線は平行移動するだけ
なので、ＲＬｌ／ＲＬｈの比をパラメータとすることに
より検知素子２の抵抗値の経時変化を高精度に補正でき
る。
の周波数依存性と経時変化を表す図において、ＲＬｌは
低周波数で検知したときの検知素子抵抗、ＲＬｈは高周
波数で検知したときの検知素子抵抗である。検知素子抵
抗が経時変化しても周波数依存性は変わらない。すなわ
ち、図７の抵抗−周波数の特性曲線は平行移動するだけ
なので、ＲＬｌ／ＲＬｈの比をパラメータとすることに
より検知素子２の抵抗値の経時変化を高精度に補正でき
る。
【００４１】上記の炭酸ガス感度の周波数依存性を利用
した経時変化補正方法は特開平９−１４１９２５号公報
に開示されている。しかし、本発明における炭酸ガス感
度の周波数依存性は従来のセンサ温度一定における周波
数依存性よりも大きく、炭酸ガス感度を大きくできる相
乗効果がある。例えば、炭酸ガス濃度を３５０ｐｐｍか
ら２０００ｐｐｍに変えたときの感度Ｓ、すなわち、抵
抗値の変化率Ｒ２０００ｐｐｍ／Ｒ３５０ｐｐｍは図８
に示す周波数依存性を有する。図８の図６の実施の形態
における炭酸ガス感度の周波数特性を表す図においては
１０ＭＨｚにおける感度を基準として規格化されてお
り、ａ及びｂで示す特性はそれぞれ本発明におけるセン
サ温度ＴＨ、ＴＬでの感度、ｃで示す特性は従来のよう
にセンサ温度を一定に制御する方法による温度ＴＨでの
感度である。図８に示すように、本発明における炭酸ガ
ス感度の周波数依存性は従来による周波数依存性よりも
大きく、炭酸ガス感度を大きくできる。
した経時変化補正方法は特開平９−１４１９２５号公報
に開示されている。しかし、本発明における炭酸ガス感
度の周波数依存性は従来のセンサ温度一定における周波
数依存性よりも大きく、炭酸ガス感度を大きくできる相
乗効果がある。例えば、炭酸ガス濃度を３５０ｐｐｍか
ら２０００ｐｐｍに変えたときの感度Ｓ、すなわち、抵
抗値の変化率Ｒ２０００ｐｐｍ／Ｒ３５０ｐｐｍは図８
に示す周波数依存性を有する。図８の図６の実施の形態
における炭酸ガス感度の周波数特性を表す図においては
１０ＭＨｚにおける感度を基準として規格化されてお
り、ａ及びｂで示す特性はそれぞれ本発明におけるセン
サ温度ＴＨ、ＴＬでの感度、ｃで示す特性は従来のよう
にセンサ温度を一定に制御する方法による温度ＴＨでの
感度である。図８に示すように、本発明における炭酸ガ
ス感度の周波数依存性は従来による周波数依存性よりも
大きく、炭酸ガス感度を大きくできる。
【００４２】図９の図６の実施の形態における検知素子
抵抗の経時変化を表す図は検知素子抵抗ＲＬｌ，ＲＬｈ
及びその比ＲＬｈ／ＲＬｌの経時変化を示す。検知素子
抵抗ＲＬｈ，ＲＬｌは経時的に変化するが、その変化率
はほぼ一定であるのでＲＬｈ／ＲＬｌもほぼ一定とな
る。従って、本発明によれば、炭酸ガス検知装置を一定
の濃度雰囲気においた場合、濃度演算手段６からの炭酸
ガス濃度出力値の経時変化量を、従来の炭酸ガス検知装
置に比べて極めて小さくすることができる。
抵抗の経時変化を表す図は検知素子抵抗ＲＬｌ，ＲＬｈ
及びその比ＲＬｈ／ＲＬｌの経時変化を示す。検知素子
抵抗ＲＬｈ，ＲＬｌは経時的に変化するが、その変化率
はほぼ一定であるのでＲＬｈ／ＲＬｌもほぼ一定とな
る。従って、本発明によれば、炭酸ガス検知装置を一定
の濃度雰囲気においた場合、濃度演算手段６からの炭酸
ガス濃度出力値の経時変化量を、従来の炭酸ガス検知装
置に比べて極めて小さくすることができる。
【００４３】また、ＲＨ／ＲＬをパラメータに濃度演算
する場合に、測定手段５に含まれる周波数切り替え手段
８によって測定用信号を切り替え、検知素子抵抗ＲＨを
検出するときは１００ｋＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の測定
信号を用い、検知素子抵抗ＲＬを検出するときは１００
ｋＨｚ以下の測定信号を用いる。すなわち、図７におけ
るＲＬｈ／ＲＬｌをパラメータにすることにより、ＲＨ
／ＲＬの炭酸ガス感度を大きくすることができる。
する場合に、測定手段５に含まれる周波数切り替え手段
８によって測定用信号を切り替え、検知素子抵抗ＲＨを
検出するときは１００ｋＨｚ以上１０ＭＨｚ以下の測定
信号を用い、検知素子抵抗ＲＬを検出するときは１００
ｋＨｚ以下の測定信号を用いる。すなわち、図７におけ
るＲＬｈ／ＲＬｌをパラメータにすることにより、ＲＨ
／ＲＬの炭酸ガス感度を大きくすることができる。
【００４４】図１０は図６の実施の形態における炭酸ガ
ス濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であり、ａで示す
特性はＲＨを１ＭＨｚで検出しＲＬを１ｋＨｚで検出し
た場合、ｂで示す特性はＲＨ／ＲＬを同じ１ｋＨｚで検
出した場合の結果である。図５に示した検知素子２の抵
抗値比と炭酸ガス濃度の関係の特性図と比較すれば明ら
かなように、本実施の形態によれば炭酸ガス感度を大き
くできる。
ス濃度と検知素子抵抗の関係を示す図であり、ａで示す
特性はＲＨを１ＭＨｚで検出しＲＬを１ｋＨｚで検出し
た場合、ｂで示す特性はＲＨ／ＲＬを同じ１ｋＨｚで検
出した場合の結果である。図５に示した検知素子２の抵
抗値比と炭酸ガス濃度の関係の特性図と比較すれば明ら
かなように、本実施の形態によれば炭酸ガス感度を大き
くできる。
【００４５】
【発明の効果】本発明の炭酸ガス検知装置及びこれを使
用する炭酸ガス検知方法では、センサの動作温度の低温
化と感度向上を同時に達成できるとともに、検知素子の
抵抗値が経時変化した場合でも、高精度に補正できる。
更に、環境の温度や湿度が変化してセンサの出力がシフ
トした場合でも高精度に補正できる。このように、経時
変化を補正することができるので、炭酸ガス濃度の検知
精度が大幅に向上する。また、動作温度を低くするとと
もに感度を大きくできるので、ヒータ電力の省電力化と
信号のＳＮ比向上にも大きく貢献できる。
用する炭酸ガス検知方法では、センサの動作温度の低温
化と感度向上を同時に達成できるとともに、検知素子の
抵抗値が経時変化した場合でも、高精度に補正できる。
更に、環境の温度や湿度が変化してセンサの出力がシフ
トした場合でも高精度に補正できる。このように、経時
変化を補正することができるので、炭酸ガス濃度の検知
精度が大幅に向上する。また、動作温度を低くするとと
もに感度を大きくできるので、ヒータ電力の省電力化と
信号のＳＮ比向上にも大きく貢献できる。
【図１】本発明の一実施の形態における炭酸ガス濃度検
知装置のブロック図
知装置のブロック図
【図２】（ａ）図１の実施の形態のセンサ温度制御にお
けるセンサ温度と経過時間の関係を示す線図 （ｂ）図１の実施の形態のセンサ温度制御における検知
素子の抵抗値と経過時間の関係を示す線図
けるセンサ温度と経過時間の関係を示す線図 （ｂ）図１の実施の形態のセンサ温度制御における検知
素子の抵抗値と経過時間の関係を示す線図
【図３】（ａ）図１の実施の形態における炭酸ガス濃度
と検知素子抵抗の関係を示す図であって、炭酸ガス濃度
と経過時間の関係を示す線図 （ｂ）図１の実施の形態における炭酸ガス濃度と検知素
子抵抗の関係を示す図であって、検知素子の抵抗値の経
時変化を示す線図
と検知素子抵抗の関係を示す図であって、炭酸ガス濃度
と経過時間の関係を示す線図 （ｂ）図１の実施の形態における炭酸ガス濃度と検知素
子抵抗の関係を示す図であって、検知素子の抵抗値の経
時変化を示す線図
【図４】図１の実施の形態における炭酸ガス濃度と検知
素子抵抗の関係を示す線図
素子抵抗の関係を示す線図
【図５】図１の実施の形態における検知素子抵抗の経時
変化を表す図
変化を表す図
【図６】本発明の別の実施の形態における炭酸ガス濃度
検知装置のブロック図
検知装置のブロック図
【図７】図６の実施の形態における検知素子の周波数依
存性と経時変化を表す図
存性と経時変化を表す図
【図８】図６の実施の形態における炭酸ガス感度の周波
数特性を表す図
数特性を表す図
【図９】図６の実施の形態における検知素子抵抗の経時
変化を表す図
変化を表す図
【図１０】図６の実施の形態における炭酸ガス濃度と検
知素子抵抗の関係を示す図
知素子抵抗の関係を示す図
【図１１】従来の炭酸ガス濃度検知装置のブロック図
１ 炭酸ガスセンサ ２ 検知素子 ３ ヒータ ４ 加熱手段 ５ 測定手段 ６ 濃度演算手段 ７ タイミング制御手段 ８ 周波数切り替え手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G046 AA12 DA05 DB07 DB08 DC04 DC14 DC18 2G060 AA01 AB09 AE19 AF07 BA01 BB02 HA03 HB05 HB07 HB08 HC01 HC08 HC10 KA01
Claims (5)
- 【請求項１】検知素子と、前記検知素子を任意の温度に
制御する加熱手段と、前記検知素子の抵抗値を検出する
測定手段と、前記測定手段で検出した抵抗値を受けてガ
ス濃度を求める濃度演算手段と、前記加熱手段への温度
切り替えタイミング及び前記測定手段への抵抗値検出タ
イミングを制御するタイミング制御手段とを有すること
を特徴とする炭酸ガス検知装置。 - 【請求項２】前記測定手段は、複数の周波数で測定する
周波数切り替え手段を有することを特徴とする請求項１
記載の炭酸ガス検知装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の炭酸ガス検知装置
を用いた炭酸ガス検知方法であって、前記検知素子の温
度を、前記検知素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって
可逆的に変化する温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着
する温度ＴＬとに交互に前記加熱手段によって設定し、
温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨを前記測定手段で検出し、
予め定められた抵抗値ＲＨとガス濃度の相関を用いて前
記濃度演算手段によりガス濃度を判定することを特徴と
する炭酸ガス検知方法。 - 【請求項４】請求項１または２記載の炭酸ガス検知装置
を用いた炭酸ガス検知方法であって、前記検知素子の温
度を、前記検知素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって
可逆的に変化する温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着
する温度ＴＬとに交互に前記加熱手段によって設定し、
温度ＴＬにおける抵抗値ＲＬを前記測定手段で検出し、
予め定められた抵抗値ＲＬとガス濃度の相関を用いて前
記濃度演算手段によりガス濃度を判定することを特徴と
する炭酸ガス検知方法。 - 【請求項５】請求項１または２記載の炭酸ガス検知装置
を用いた炭酸ガス検知方法であって、前記検知素子の温
度を、前記検知素子の抵抗値が炭酸ガスの濃度によって
可逆的に変化する温度ＴＨと炭酸ガスを非可逆的に吸着
する温度ＴＬとに交互に前記加熱手段によって設定し、
温度ＴＨにおける抵抗値ＲＨと温度ＴＬにおける抵抗値
ＲＬを前記測定手段で検出し、予め定められた抵抗値Ｒ
Ｈと抵抗値ＲＬとガス濃度の相関を用いて前記濃度演算
手段によりガス濃度を判定することを特徴とする炭酸ガ
ス検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135302A JP2000329722A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11135302A JP2000329722A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000329722A true JP2000329722A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=15148543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11135302A Pending JP2000329722A (ja) | 1999-05-17 | 1999-05-17 | 炭酸ガス検知装置及び炭酸ガス検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000329722A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304124A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Toshiba Corp | 二酸化炭素濃度測定用センサーシステム |
| JP2012083294A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Shizuokaken Koritsu Daigaku Hojin | Ｃｏ２環境計測システム |
| CN105674514A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-15 | 珠海格力电器股份有限公司 | 空调器的控制方法和装置 |
| CN113008943A (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-22 | 财团法人工业技术研究院 | 气体感测装置及气体浓度感测方法 |
-
1999
- 1999-05-17 JP JP11135302A patent/JP2000329722A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304124A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Toshiba Corp | 二酸化炭素濃度測定用センサーシステム |
| JP2012083294A (ja) * | 2010-10-14 | 2012-04-26 | Shizuokaken Koritsu Daigaku Hojin | Ｃｏ２環境計測システム |
| CN105674514A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-15 | 珠海格力电器股份有限公司 | 空调器的控制方法和装置 |
| CN113008943A (zh) * | 2019-12-20 | 2021-06-22 | 财团法人工业技术研究院 | 气体感测装置及气体浓度感测方法 |
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