JP2000329627A - ファイバグレーティングセンサおよびこれを用いた張力測定装置 - Google Patents

ファイバグレーティングセンサおよびこれを用いた張力測定装置

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JP2000329627A JP11140805A JP14080599A JP2000329627A JP 2000329627 A JP2000329627 A JP 2000329627A JP 11140805 A JP11140805 A JP 11140805A JP 14080599 A JP14080599 A JP 14080599A JP 2000329627 A JP2000329627 A JP 2000329627A
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tension
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fiber
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Toshisada Sekiguchi
利貞 関口
Michihiro Nakai
道弘 中居
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Fujikura Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来よりも広い範囲の張力測定が可能なファ
イバグレーティングセンサを提供する。 【解決手段】 ファイバグレーティングに印加された張
力を検出するファイバグレーティングセンサにおいて、
チャープトピッチのチャープトグレーティング部4Bが
形成されたファイバグレーティングを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は張力を検出するファ
イバグレーティングセンサ(以下、FGセンサと略記す
る)に関し、特に張力の検出範囲を拡大したものであ
る。
【0002】
【従来の技術】ファイバグレーティングは光ファイバの
長さ方向に、コアの屈折率やコア径の周期的な変化など
の摂動を形成したものである。そして、この周期的な変
化の周期を比較的狭く設計することによって、特定波長
帯の光を反射する特性が得られる。図10はファイバグ
レーティングの製造方法の一例を示した説明図であっ
て、この製造方法は、ゲルマニウム添加石英ガラスに特
定波長の紫外光を照射すると屈折率が上昇する特性(い
わゆるフォトリフラクティブ効果)を利用したものであ
る。
【0003】まず、高屈折率のコア1aとその周囲に設
けられた低屈折率のクラッド1bとを備えた裸光ファイ
バ1の外周上に紫外線硬化型樹脂などからなる被覆層
(図示せず)が設けられた光ファイバ素線を用意し、こ
の被覆層の一部を除去して裸光ファイバ1を露出させ
る。コア1aはゲルマニウム添加石英ガラスからなり、
クラッド1bは純石英ガラスまたはフッ素添加石英ガラ
スから形成されている。一方、符号3は位相マスクであ
る。この位相マスク3は石英ガラスなどの光を透過する
材料からなり、その片面には所定の周期で複数の格子3
a…が形成されている。
【0004】そして、裸光ファイバ1の側面に、その格
子3a…の形成面が対峙するように位相マスク3を配置
し、位相マスク3を介して波長240nm付近の紫外光
2を照射する。紫外光2の光源としてはKrFエキシマ
レーザなどが好適である。すると、格子3a…によって
+1次回折光と−1次回折光とが回折して干渉縞が生
じ、紫外光の強度パターンが形成され、前記干渉縞が生
じた部分のコア1aの屈折率が変化する。その結果、図
11に示したように、裸光ファイバ1の長さ方向に、複
数の屈折率上昇部分4aが所定周期で配列され、コア1
aの屈折率の周期的な変化が形成されたグレーティング
部4Aが得られる。
【0005】このファイバグレーティングに光を入射す
ると、グレーティング部4Aにおいて、特定波長の光が
反射する。この反射光の波長は、屈折率変化の周期(グ
レーティングピッチ)に依存し、グレーティングピッチ
が一定の場合、コア1a内の光の波長とこの屈折率変化
の1/2の周期とが一致すると、非常に強い反射が生じ
る。つまり、グレーティングピッチが大きくなると、反
射光の波長は長波長側にシフトする。そこで、このよう
な反射光の波長のグレーティングピッチ依存性を利用し
て張力を検出するFGセンサが提案されている。
【0006】すなわち、ファイバグレーティングの両端
を把持し、その長さ方向に張力を印加すると、ファイバ
グレーティングが伸びることによってグレーティングピ
ッチが大きくなる。上述のようにファイバグレーティン
グの反射光の波長はグレーティングピッチに依存するた
め、図12の反射光の波長スペクトルに示したように、
張力を印加すると反射光のピークが長波長側にシフトす
る。このときグレーティングピッチが一定の場合、ピー
クの光パワーはほとんど変化しない。そして、張力が大
きくなる程、波長光のピークは長波長側に大きくシフト
する。よって、予め反射光の波長と張力との関係を求め
ておき、FGセンサの反射波長特性を検出することによ
って、ファイバグレーティングに印加された張力の大き
さを求めることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
FGセンサにおいては、張力の測定範囲が限られるとい
う問題があった。すなわち、FGセンサの反射光の波長
を測定するためにFGセンサに入力する光の波長範囲は
通常限られている。これに対して従来のFGセンサにお
いては、張力の大きさに対する反射光の波長のシフト量
が大きい。そのため、張力が大きくなると反射光に対応
する波長が入力光の波長範囲外となり、測定不可能とな
る。本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、従来よ
りも広い範囲の張力測定が可能なFGセンサを提供する
ことを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明においては以下のよう解決手段を提案する。す
なわち、第1の発明は、ファイバグレーティングに印加
された張力を検出するファイバグレーティングセンサに
おいて、ファイバグレーティングのグレーティングピッ
チがチャープトピッチであることを特徴とするファイバ
グレーティングセンサである。第2の発明は、ファイバ
グレーティングに印加された張力を検出するファイバグ
レーティンセンサにおいて、グレーティング部を形成し
た裸光ファイバの外周上に、厚さ0.5mm以上の合成
樹脂層が形成されてなり、張力が印加されたとき、グレ
ーティングピッチの変化量が、前記グレーティング部の
長さ方向の中心が最も小さく、グレーティング部の両端
部に向かって徐々に大きくなるものであることを特徴と
するファイバグレーティングセンサである。第3の発明
は、第1または第2の発明のファイバグレーティングセ
ンサと、このファイバグレーティングセンサに光を入力
する光源と、このファイバグレーティングの透過光ある
いはこのファイバグレーティングセンサにて反射した反
射光の光パワーを検出する光検出器とを備えていること
を特徴とする張力測定装置である。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、第1ないし第2の実施形態
例について説明する。 (第1の実施形態例)図1は本発明の第1の実施形態例
の説明図である。このFGセンサにおいてはチャープト
ピッチで形成されたチャープトグレーティング部4Bを
有するファイバグレーティング(チャープトグレーティ
ング)を用いる。
【0010】チャープトピッチとは、裸光ファイバ1の
長さ方向においてグレーティングピッチが変化している
ものであり、この例においては、裸光ファイバ1の長さ
方向において、チャープトグレーティング部4Bの中央
が短く、チャープトグレーティング部4Bの両端部に向
かって長くなっている。この他、裸光ファイバ1の方向
において、チャープトグレーティング部4Bの一方の端
部のグレーティングピッチが長く、他方の端部に向かっ
て徐々にグレーティングピッチが長くなっているものな
ども例示できる。
【0011】チャープトグレーティング部4Bの長さ、
グレーティングピッチ、チャープ率などは入力する光の
波長帯域などによって適宜調整されるが、本実施形態例
においてはチャープ率を0.05mm/mm以上、好ま
しくは0.01〜0.05mm/mmとする。0.05
mm/mm未満の場合はグレーティングピッチが一定の
場合との差が少なく、効果が不十分となる場合がある。
チャープ率とはチャープトグレーティング部4Bのグレ
ーティングピッチの変化の割合であって、ピッチの最小
値と最大値との差を、ピッチの最小の位置と最大の位置
との距離で剰算した値から求めることができる。この例
において、前記波長帯域は1.552〜1.556μm
であり、チャープトグレーティング部4Bの長さは12
mm、グレーティングピッチは0.5〜0.6μm、チ
ャープ率は0.2mm/mmである。
【0012】また、このチャープトグレーティング部4
Bは、図10に示した方法において、格子3aの周期を
チャープトピッチにした位相マスク3を用いて作製する
ことができる。したがって、この例においてコア1aは
ゲルマニウム添加石英ガラスからなり、クラッド1bは
純石英ガラスまたはフッ素添加石英ガラスから形成され
ている。また、この例において、裸光ファイバ1の外径
は約125μm、被覆層除去前の光ファイバ素線の外径
は約250μmである。
【0013】また、チャープトグレーティング部4Bを
形成した裸光ファイバ1は、通常、光ファイバ素線の被
覆層の材料として用いられる紫外線硬化型樹脂などで、
例えば外径約250μmになるように再被覆する。そし
て、機械的強度を高めるため、この再被覆部分を、例え
ばステンレスなどの強靱な材料からなる円管状の補強ケ
ースにおさめ、補強ケースのふたつの開口部からチャー
プトグレーティング部4Bの両側の光ファイバ素線をそ
れぞれ引き出す。そして、この補強ケースの内壁と再被
覆部分の外面との間と、この補強ケースのふたつの開口
部にシリコーン変性ポリマーなどの弾性樹脂を充填して
用いる。この例のFGセンサをおさめる補強ケースは、
例えば内径4.5mm、外径5.0mmのものである。
【0014】図2はチャープトグレーティングの長さ方
向に張力を印加したときの反射光の波長スペクトルを示
したものである。反射光のピークaは張力印加前のもの
で、ピークb,c,dの順に張力が大きくなっている。
図11に示した一定周期のグレーティングピッチのもの
と比較して、ピークの形状はブロードになり、また、張
力の大きさに対する波長のシフト量は小さい。また、張
力が大きくなるにしたがってさらにピークはブロードに
なり、その光パワーが徐々に小さくなる。
【0015】図7は張力の大きさと反射光の光パワーと
の関係を示したグラフであって、曲線iは第1の実施形
態例を示している。このグラフより、張力の増大に伴っ
て光パワーが減少しており、光パワーの値から張力を求
めることができることがわかる。このように張力が大き
くなるにしたがってピークの形状や光パワーが変化する
のは、張力を印加することによってグレーティングピッ
チが大きくなり、また、チャープ率が変化するためであ
る。
【0016】このように、このFGセンサにおいては、
張力の大きさに対する波長のシフト量が小さく、従来よ
りも広範囲の張力測定が可能となる。また、張力が大き
くなると反射光の光パワーが小さくなるため、パワーメ
ータ(光検出器)などで反射光の光パワーを検出するこ
とによって張力の大きさを求めることができる。また、
このときFGセンサの透過光は、反射光の光パワーが損
失したものとして得られるので、透過光の光パワーを検
出することによっても張力の大きさを求めることができ
る。したがって、従来の反射光の波長を検出するものの
ように、スペクトラムアナラザなどの高価な波長モニタ
を用いずに張力測定装置を構成することができる。
【0017】(第2の実施形態例)図3は第2に実施形
態例を示したもので、図3(a)は図3(b)中のA−
Aで示した位置の断面図、図3(b)は側断面図であ
る。このFGセンサにおいては、最も好ましくは、反射
(透過)光量の観点から、グレーティングピッチが一定
のグレーティング部4Aが形成されたファイバグレーテ
ィングを用いる。また、チャープ率が0.05mm/m
m以下程度の低チャープ率のチャープトグレーティング
を用いることもできる。この場合は、グレーティングピ
ッチがグレーティング4Aの中央が短く、両端部に向か
って徐々に長くなっているものが好ましい。一定ピッチ
のファイバグレーティングにおいては、反射光(透過
光)の波長スペクトルのピークのブロード化において、
印加された張力に対する依存性が大きく、わずかな張力
によってもピークがブロードになりやすい。そのため、
微細な張力を感知する用途においては一定ピッチのファ
イバグレーティングが好ましい。これに対して、チャー
プトグレーティングにおいては、微細な張力による反射
光(透過光)の波長スペクトルのピークの変化は微少
で、光ファイバの破断限界まで張力を感知することがで
き、広範囲の張力の測定に適している。この例において
グレーティングピッチは0.53μmで一定であり、グ
レーティング部4Aの長さは10mmである。このファ
イバグレーティングは図10、図11に示したファイバ
グレーティングと同様にして製造することができる。
【0018】このFGセンサにおいては、このファイバ
グレーティングのグレーティング部4Aと、このグレー
ティング部4Aの両側の被覆層5の終端を含む部分が、
断面半円の柱状の補強材7とともに円管状の合成樹脂製
チューブ(一括被覆層)9内におさめられている。補強
材7の側面の曲面部7aは合成樹脂製チューブ9の内壁
に接触しており、ファイバグレーティングは補強材7の
側面の平面部7bと合成樹脂製チューブ9の内壁とに囲
まれた空間の中心付近に配置されている。また、裸光フ
ァイバ1の外面および被覆層5の外面と、平面部7aお
よび合成樹脂製チューブ9の内壁との間には合成樹脂層
11が充填されている。
【0019】この例において、合成樹脂製チューブ9の
内径は4.0mm外径は4.2mmである。また、合成
樹脂製チューブ9内の被覆層5が除去された裸光ファイ
バ1の長さは30mm、裸光ファイバ1の両側の合成樹
脂製チューブ9内の被覆層5の長さは、それぞれ2.5
mmである。また、裸光ファイバ1の外径は約125μ
m、被覆層5を含む外径は約250μm、裸光ファイバ
1の外周上の合成樹脂層11の厚さは最小値が0.5m
m、最大値が2.0mmである。
【0020】補強材7は裸光ファイバ1に近接している
ため、裸光ファイバ1の材料と線膨張係数が近い材料か
ら形成すると、裸光ファイバ1に対する補強材7の環境
温度変化などに伴う膨張収縮の影響が小さくなり、好ま
しい。この例において、補強材7は石英ガラスから形成
されている。また、合成樹脂製チューブ9としては、ポ
リエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などからな
る熱収縮チューブを用いると、FGセンサの作製時の操
作性が良好で、かつ合成樹脂製チューブ9内に隙間が形
成されにくく、好ましい。合成樹脂層11としてはポリ
エチレンなどが用いられる。合成樹脂層11の材料はポ
リエチレンに限定するものではなく、裸光ファイバ1と
の密着性が良好で、適度な剛性と弾性を有するものであ
れば種々の合成樹脂を用いることができ、特に熱可塑性
樹脂においては、殆どのものを適用することができる。
【0021】このFGセンサは以下のようにして製造す
ることができる。すなわち、加熱前の合成樹脂製チュー
ブ9内に補強材7とファイバグレーティングの裸光ファ
イバ1とその両側の被覆層5の終端をおさめ、合成樹脂
製チューブ9内の隙間に合成樹脂層11を形成する所定
量の溶融した合成樹脂を充填する。すると、この合成樹
脂の熱によって合成樹脂製チューブ9が収縮し、この合
成樹脂が硬化するにともなって補強材7と合成樹脂層1
1とファイバグレーティングとが一体化し、FGセンサ
が得られる。
【0022】このFGセンサは、機械的強度を高めるた
め、図4に示したように、例えばステンレスなどの強靱
な材料からなる円管状の補強ケース12におさめ、補強
ケース12内の合成樹脂製チューブ9の周囲と補強ケー
ス12の内壁と、補強ケース12のふたつの開口部にシ
リコーン変性ポリマーなどの弾性樹脂13を充填して用
いる。
【0023】このFGセンサにおいては、グレーティン
グ部4Aが形成された裸光ファイバ1の外周上に比較的
厚い合成樹脂層11が設けられている。そのため、応力
を印加したときに、従来のように大きくグレーティング
ピッチが変化しにくく、反射光のピークのシフト量が小
さくなる。また、合成樹脂層11と裸光ファイバ1とは
密着(接着)しており、張力を加えると、合成樹脂層1
1の弾性と、合成樹脂層11と裸光ファイバ1表面との
摩擦、滑りなどによって、裸光ファイバ1の長さ方向に
おける張力の大きさが異なるものとなる。すなわち、グ
レーティング部4Aにかかる張力の大きさは、グレーテ
ィング部4Aの中心が最も小さく、グレーティング部4
Aの両端部にむかって徐々に大きくなる。そのため、グ
レーティング部4Aの長さ方向の位置における張力の大
きさの差はわずかであるが、このわずかな差によって、
グレーティングピッチの変化量は、グレーティング部4
Aの中心が最も小さく、グレーティング部4Aの端部に
向かって大きくなる。すなわちチャープトピッチとな
る。
【0024】図5はこのFGセンサの長さ方向に張力を
印加したときの反射光の波長スペクトルを示したもので
ある。反射光のピークeは張力印加前のもので、ピーク
f,g,hの順に張力が大きくなっている。反射光のピ
ークは張力が大きくなるにしたがって徐々にブロードに
なり、光パワーが徐々に小さくなる。また、図11のグ
ラフと比較して張力の大きさに対する波長のシフト量は
小さい。図7中の曲線jは第2の実施形態例を示してい
る。このグラフより、張力の増大に伴って光パワーが減
少しており、光パワーの値から張力を求めることができ
ることがわかる。
【0025】このように張力の大きさによって反射光の
ピークの形状や光パワーの最大値が変化するのは、張力
が大きくなると、グレーティング部4Aの中心とその端
部に印加される張力の大きさの差が大きくなり、グレー
ティングピッチのチャープ率が大きくなるためである。
図6(a)、図6(b)はこのFGセンサの透過スペク
トルの一例を示したものであって、反射光に対応した損
失ピークを有するスペクトルが検出されている。図6
(a)は張力を印加する前、図6(b)は張力を印加し
ときのもので、張力印加前のピークは急峻であるのに対
し、張力を印加したときはピークがブロードになり、か
つ長波長側にシフトしている。
【0026】合成樹脂層11の厚さはその材料やFGセ
ンサの特性などによって適宜調整されるが、少なくとも
0.5mm以上、好ましくは1.0〜1.5mmとす
る。0.5mm未満の場合はグレーティングピッチの変
化量を制御できず、効果が低下することがある。また、
補強材7は必須の構成ではないが、以下の理由により補
強材7を設けると好ましい。すなわち、補強材7を設け
ることによってFGセンサの機械的な強度が向上する。
また、補強材7によって合成樹脂層11が引き留められ
ることによっても、グレーティング部4Aのグレーティ
ングピッチが大きく変化しにくく、従来のように反射光
のピークが大きくシフトしにくくなる。
【0027】したがって、このFGセンサにおいては、
第1の実施形態例のFGセンサと同様に、張力の大きさ
に対する波長のシフト量が小さく、従来よりも広範囲の
張力測定が可能となる。また、張力が大きくなると光パ
ワーが小さくなるため、パワーメータなどで反射光また
は透過光の光パワーを検出することによって張力の大き
さを求めることができる。したがって、スペクトラムア
ナラザなどのような高価な波長モニタを用いずに張力測
定装置を構成することができる。また、第2の実施形態
例においては、裸光ファイバ1の外周上に比較的厚い合
成樹脂層11が設けられているため、機械的な強度を向
上させることができるというさらなる効果が得られる。
【0028】このFGセンサにおいては、合成樹脂層1
1がグレーティング部4A全体を含む部分に設けられて
いる必要がある。また、機械的な強度を向上させるため
には、裸光ファイバ1が露出した部分の外周全体に合成
樹脂層11を設けると好ましい。このときグレーティン
グ部4Aは、露出した裸光ファイバ1全体に設けること
もできるし、その長さ方向の一部に設けることもでき
る。
【0029】図8(a),図8(b)は、本発明のFG
センサを用いた張力測定装置の構成例を示したものであ
る。図8(a)に示した張力測定装置においては、光源
とパワーメータとの間に接続点21,21を介してFG
センサ20が挿入されている。そして、光源からFGセ
ンサ20に所定の波長幅を有する光を入力し、パワーメ
ータにてFGセンサ20の透過光の光パワーを検出する
ことによって、FGセンサ20に印加された張力の大き
さを求めることができる。
【0030】図8(b)に示した張力測定装置において
は、FGセンサ20の入力側に、接続点21を介してカ
プラが接続されている。カプラは、FGセンサ20側に
ふたつの端子を有し、反対側にふたつの端子を有してい
る。FGセンサ20側の残りの端子は無反射処理された
無反射終端となっている。反対側のふたつの端子の一方
には光源が接続され、他方にはパワーメータが接続され
ている。そして、光源からFGセンサ20に所定の波長
幅を有する光を入力すると、反射光がカプラを介してパ
ワーメータにて検出される。そして、この反射光の光パ
ワーからFGセンサ20に印加された張力を求めること
ができる。
【0031】図9(a),図9(b)はFGセンサに張
力を印加する方法の例を示したものである。図9(a)
においては、FGセンサ20の両側から伸びる光ファイ
バ素線をクランプ22,22にて把持し、これらのクラ
ンプ22,22を、相互に離れる方向に移動することに
よってFGセンサ20に張力を印加する。図9(b)に
おいてはFGセンサ20自体をクランプ22にて把持
し、このFGセンサ20から伸びる一方の光ファイバ素
線を他のクランプ22にて把持し、これらのクランプ2
2,22を、相互に離れる方向に移動することによって
FGセンサ20に張力を印加する。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては以
下のような効果を得ることができる。すなわち、第1の
発明のFGセンサにおいては、張力の大きさに対する波
長のシフト量が小さく、従来よりも広範囲の張力測定が
可能となる。よって、従来の反射光の波長を検出するも
ののように、スペクトラムアナラザなどの高価な波長モ
ニタを用いずに張力測定装置を構成することができる。
また、第2の発明においては、第1の発明と同様の効果
が得られる。さらに、比較的厚い合成樹脂層が設けられ
ているため、機械的な強度を向上させることができると
いうさらなる効果が得られる。そして、第1ないし第2
の発明のFGセンサは、張力が大きくなると反射光の光
パワーが小さくなるため、パワーメータ(光検出器)な
どで反射光または透過光の光パワーを検出することによ
って張力の大きさを求める張力測定装置を構成すること
ができる。したがって、従来の反射光の波長を検出する
もののように、スペクトラムアナラザなどの高価な波長
モニタを用いる必要がなく、低コストである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態例の説明図である。
【図2】 チャープトグレーティングの長さ方向に張力
を印加したときの反射光の波長スペクトルを示したグラ
フである。
【図3】 第2に実施形態例を示したもので、図3
(a)は図3(b)中のA−Aで示した位置の断面図、
図3(b)は側断面図である。
【図4】 第2の実施形態例のFGセンサを補強ケース
におさめた状態を示した一部側断面図である。
【図5】 第2の実施形態例のFGセンサの長さ方向に
張力を印加したときの反射光の波長スペクトルを示した
グラフである。
【図6】 図6(a)、図6(b)は第2の実施形態例
のFGセンサの透過スペクトルの一例を示したグラフで
ある。
【図7】 第1ないし第2の実施形態例のFGセンサの
張力の大きさと反射光の光パワーとの関係を示したグラ
フである。
【図8】 図8(a),図8(b)は、本発明のFGセ
ンサを用いた張力測定装置の構成例を示したものであ
る。
【図9】 図9(a),図9(b)はFGセンサに張力
を印加する方法の例を示した説明図である。
【図10】 ファイバグレーティングの製造方法の一例
を示した説明図である。
【図11】 ファイバグレーティングの一例を示した説
明図である。
【図12】 従来のFGセンサの反射光の波長スペクト
ルを示したグラフである。
【符号の説明】
1…裸光ファイバ、1a…コア、1b…クラッド、4A
…グレーティング部、4B…チャープトグレーティング
部、11…合成樹脂層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F056 VF02 2H038 AA05 BA25 2H050 AA07 AB05X AB10Y AC84 AD06

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ファイバグレーティングに印加された張
    力を検出するファイバグレーティングセンサにおいて、
    ファイバグレーティングのグレーティングピッチがチャ
    ープトピッチであることを特徴とするファイバグレーテ
    ィングセンサ。
  2. 【請求項2】 ファイバグレーティングに印加された張
    力を検出するファイバグレーティンセンサにおいて、グ
    レーティング部を形成した裸光ファイバの外周上に、厚
    さ0.5mm以上の合成樹脂層が形成されてなり、張力
    が印加されたとき、グレーティングピッチの変化量が、
    前記グレーティング部の長さ方向の中心が最も小さく、
    グレーティング部の両端部に向かって徐々に大きくなる
    ものであることを特徴とするファイバグレーティングセ
    ンサ。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載のファイバグレ
    ーティングセンサと、このファイバグレーティングセン
    サに光を入力する光源と、このファイバグレーティング
    の透過光あるいはこのファイバグレーティングセンサに
    て反射した反射光の光パワーを検出する光検出器とを備
    えていることを特徴とする張力測定装置。
JP11140805A 1999-05-20 1999-05-20 ファイバグレーティングセンサおよびこれを用いた張力測定装置 Withdrawn JP2000329627A (ja)

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