JP2000323643A - Ic element and its manufacture as well as information carrier with mounted ic element and its manufacture - Google Patents

Ic element and its manufacture as well as information carrier with mounted ic element and its manufacture

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JP2000323643A JP2000044765A JP2000044765A JP2000323643A JP 2000323643 A JP2000323643 A JP 2000323643A JP 2000044765 A JP2000044765 A JP 2000044765A JP 2000044765 A JP2000044765 A JP 2000044765A JP 2000323643 A JP2000323643 A JP 2000323643A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the loss of electromagnetic energy, to stabilize electric power received from a reader and a writer and to stabilize a communication between the reader and the writer, by a method wherein a conductor which constitutes an antenna container is formed in a multilayer structure which comprises a metal sputtered layer or a metal vapor-deposited layer and a metal plated layer. SOLUTION: A metal sputtered layer or a metal vapor-deposited layer 6 is formed uniformly on a surface protective film 2 which is formed on the circuit formation face of a completed wafer. Then, a metal plated layer 7 is laminated in the exposed part of the metal sputtered layer or the metal vapor- deposited layer 6. Then, the completed wafer in which the metal plated layer 7 comprising an electrode, an antenna coil and a lead is formed on the uniform metal sputtered layer or the uniform metal vapor-deposited layer 6 is obtained. As a result, the loss of electromagnetic energy can be reduced, electric power which is received from a reader and writer can be stabilized, a communication between the reader and the writer can be stabilized, and a communication distance between the reader and the writer can be expanded.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ上にコイル
が一体形成されたIC素子と、当該IC素子の製造方法
と、当該IC素子を搭載した情報担体と、当該情報担体
の製造方法とに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC element having a coil integrally formed on a chip, a method of manufacturing the IC element, an information carrier having the IC element mounted thereon, and a method of manufacturing the information carrier. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、所定形状の基体内にIC素子
と当該IC素子の端子部に電気的に接続されたアンテナ
コイルとを備え、リーダライタからの電力の受給及びリ
ーダライタとの間の信号の送受信を電磁波を用いて非接
触で行う非接触式の情報担体が知られている。この種の
情報担体としては、その外形により、カード形、コイン
形又はボタン形などがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, an IC element and an antenna coil electrically connected to a terminal portion of the IC element are provided in a base having a predetermined shape, so that power is received from a reader / writer and the distance between the reader / writer and the reader / writer is reduced. 2. Description of the Related Art A non-contact information carrier that transmits and receives signals in a non-contact manner using electromagnetic waves is known. As this type of information carrier, there are a card shape, a coin shape, a button shape and the like depending on the outer shape.

【0003】従来、この種の情報担体としては、アンテ
ナコイルを基体にパターン形成したもの、或いは、巻線
からなるアンテナコイルを基体に担持したものが用いら
れているが、近年に至って、アンテナコイルとIC素子
との接続点の保護処理や防湿対策が不要で安価に作成で
きること、及び基体に曲げやねじれ等のストレスが作用
した場合にもコイルに断線を生じることがなく耐久性に
優れることから、IC素子自体にアンテナコイルが一体
形成されたIC素子を基体に搭載したものが提案されて
いる。
Heretofore, as this type of information carrier, a carrier in which an antenna coil is formed in a pattern on a base, or a carrier in which an antenna coil composed of a winding is carried on a base, has been used. It does not require protection treatment of the connection point between the IC and the IC element and does not require moisture proof measures, and can be manufactured at low cost. Also, even if stress such as bending or torsion is applied to the base, the coil does not break and has excellent durability. There has been proposed a device in which an IC element in which an antenna coil is integrally formed with the IC element itself is mounted on a base.

【0004】IC素子にアンテナコイルを形成する方法
としては、スパッタ法が用いられており、IC素子に一
体形成されたアンテナコイルの導体は、アルミニウムの
スパッタ膜から構成されている。
As a method of forming an antenna coil on an IC element, a sputtering method is used, and the conductor of the antenna coil integrally formed on the IC element is formed of a sputtered aluminum film.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、アンテナコ
イルをIC素子に一体形成すると、アンテナコイルを基
体にパターン形成したり、巻線からなるアンテナコイル
を基体に担持する場合に比べて、コイルの巻径や導体幅
が小さくなり、巻数についても自ずと限界があるため、
リーダライタとの間の通信距離を大きくすることが困難
で、必要な通信距離を確保することできない場合があ
る。
By the way, when the antenna coil is formed integrally with the IC element, the winding of the coil is smaller than when the antenna coil is patterned on the base or the antenna coil composed of the winding is carried on the base. Since the diameter and conductor width are small and the number of turns is naturally limited,
In some cases, it is difficult to increase the communication distance with the reader / writer, and the necessary communication distance cannot be secured.

【0006】本発明は、かかる従来技術の不備を解消す
るためになされたものであって、アンテナコイルが一体
形成されたIC素子を搭載してなる情報担体であって、
通信距離がより大きな情報担体とその製造方法を提供す
ること、及び、この種の情報担体に好適なアンテナコイ
ルが一体形成されたIC素子の構成とその製造方法とを
提供することを技術的な課題とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned deficiencies of the prior art, and is an information carrier including an IC element in which an antenna coil is integrally formed.
It is an object of the present invention to provide an information carrier having a longer communication distance and a method of manufacturing the same, and to provide a configuration of an IC element integrally formed with an antenna coil suitable for this type of information carrier and a method of manufacturing the same. It is an issue.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】〈IC素子〉本発明は、
前記の課題を達成するため、IC素子については、アン
テナコイルが一体形成されたIC素子において、前記ア
ンテナコイルを構成する導体を、金属スパッタ層又は金
属蒸着層と金属めっき層とを有する多層構造にした。
Means for Solving the Problems <IC element> The present invention provides:
In order to achieve the above object, in the case of an IC element in which an antenna coil is integrally formed, a conductor constituting the antenna coil has a multilayer structure having a metal sputtered layer or a metal vapor deposition layer and a metal plating layer. did.

【0008】金属めっき層は、金属スパッタ層や金属蒸
着層に比べて電気抵抗値が小さいので、コイルの導体を
金属スパッタ層又は金属蒸着層と金属めっき層とを有す
る多層構造にすると、単に金属スパッタ層のみ又は金属
蒸着層のみから構成した場合に比べて電磁エネルギの損
失を小さくすることができ、リーダライタとの間の通信
距離を大きくすることができる。
[0008] Since the metal plating layer has a smaller electric resistance value than the metal sputter layer or the metal deposition layer, if the coil conductor has a multilayer structure having a metal sputter layer or a metal deposition layer and a metal plating layer, the metal simply has a metal structure. Electromagnetic energy loss can be reduced as compared with the case where only a sputtered layer or only a metal deposition layer is used, and a communication distance with a reader / writer can be increased.

【0009】〈IC素子の製造方法〉本発明は、前記の
課題を達成するため、IC素子の製造方法については、
第1に、所定のプロセスを経て作製された完成ウエハの
表面保護膜上に金属スパッタ層又は金属蒸着層を均一に
形成する工程と、当該金属スパッタ層又は金属蒸着層上
にフォトレジスト層を均一に形成する工程と、前記フォ
トレジスト層にアンテナコイルを含む所要のパターンを
露光・現像することにより、前記金属スパッタ層又は金
属蒸着層を前記所定のパターンで露出させる工程と、前
記金属スパッタ層又は金属蒸着層の露出部分に無電解め
っき法又は電気めっき法若しくは精密電鋳法を用いて金
属めっき層を積層する工程と、前記完成ウエハに付着し
たフォトレジスト層を除去する工程と、前記金属めっき
層より露出した前記金属スパッタ層又は金属蒸着層を選
択的にエッチングし、前記所定のパターンに相当する所
定の導電パターンを形成する工程と、前記完成ウエハを
スクライビングしてアンテナコイルが一体形成された所
要のIC素子を得る工程とを含む構成とした。
<Method of Manufacturing IC Element> In order to achieve the above object, the present invention relates to a method of manufacturing an IC element.
First, a step of uniformly forming a metal sputtered layer or a metal deposited layer on a surface protective film of a completed wafer manufactured through a predetermined process, and forming a uniform photoresist layer on the metal sputtered layer or the metal deposited layer. And exposing and developing a required pattern including an antenna coil on the photoresist layer to expose the metal sputtered layer or metal deposited layer in the predetermined pattern; and Laminating a metal plating layer on the exposed portion of the metal deposition layer using electroless plating or electroplating or precision electroforming; removing the photoresist layer attached to the completed wafer; A predetermined conductive pattern corresponding to the predetermined pattern, selectively etching the metal sputtering layer or the metal deposition layer exposed from the layer; And forming the finished antenna coil by scribing the wafer is configured to include a step of obtaining the required IC elements which are integrally formed.

【0010】また、第2に、所定のプロセスを経て作製
された完成ウエハの表面保護膜上にフォトレジスト層を
均一に形成する工程と、前記フォトレジスト層にアンテ
ナコイルを含む所要のパターンを露光・現像することに
より、前記表面保護膜を前記所定のパターンで露出させ
る工程と、現像処理後の完成ウエハをスパッタ装置又は
真空蒸着装置に装着し、前記表面保護膜の露出部分に金
属スパッタ層又は金属蒸着層を形成する工程と、前記完
成ウエハに付着したフォトレジスト層を除去する工程
と、前記金属スパッタ層又は金属蒸着層に無電解めっき
法又は電気めっき法を用いて金属めっき層を積層する工
程と、前記完成ウエハをスクライビングしてアンテナコ
イルが一体形成された所要のIC素子を得る工程とを含
む構成とした。
Second, a step of uniformly forming a photoresist layer on a surface protection film of a completed wafer manufactured through a predetermined process, and exposing a required pattern including an antenna coil to the photoresist layer. By developing, a step of exposing the surface protective film in the predetermined pattern, and mounting the completed wafer after the development processing on a sputtering device or a vacuum evaporation device, and a metal sputter layer or a metal sputtered layer on an exposed portion of the surface protective film. Forming a metal deposition layer, removing the photoresist layer attached to the completed wafer, and laminating a metal plating layer on the metal sputtering layer or the metal deposition layer using an electroless plating method or an electroplating method. And a step of scribing the completed wafer to obtain a required IC element integrally formed with an antenna coil.

【0011】かように、完成ウエハにアンテナコイルを
含む所要の導電パターンを形成し、しかる後に完成ウエ
ハをスクライビングして所要のIC素子を得ると、個々
のIC素子にアンテナコイルを形成する場合に比べてコ
イルが一体形成されたIC素子を高能率に製造でき、そ
の製造コストを低減することができる。また、ウエハに
形成された全てのIC素子に対して均一な厚みのアンテ
ナコイルを高精度に形成することが可能となり、通信特
性のばらつきを少なくすることができる。さらに、個々
のIC素子についてスパッタ法又は真空蒸着法及びメッ
キ法を用いてアンテナコイルを形成すると、IC素子の
外周部に不要の導体が付着してIC素子の絶縁性が問題
になるが、完成ウエハにコイルを含む所要の導電パター
ンを形成した場合には、スパッタ時等において完成ウエ
ハの外周部に不要の導体が付着しても、該部は不要部分
としてもともと処分されるべき部分であるので、個々の
IC素子の絶縁性が問題になることもない。
As described above, when a required conductive pattern including an antenna coil is formed on a completed wafer, and then the completed wafer is scribed to obtain a desired IC element, the antenna coil is formed on each IC element. In comparison, an IC element in which a coil is integrally formed can be manufactured with high efficiency, and the manufacturing cost can be reduced. Further, it becomes possible to form an antenna coil having a uniform thickness with high precision for all the IC elements formed on the wafer, and it is possible to reduce the variation in communication characteristics. Furthermore, when an antenna coil is formed on each IC element by using a sputtering method, a vacuum evaporation method, and a plating method, an unnecessary conductor adheres to an outer peripheral portion of the IC element, which causes a problem of insulation of the IC element. When a required conductive pattern including a coil is formed on the wafer, even if an unnecessary conductor adheres to the outer peripheral portion of the completed wafer at the time of sputtering or the like, the portion is originally a portion that should be disposed of as an unnecessary portion. In addition, the insulating properties of the individual IC elements do not matter.

【0012】〈情報担体〉本発明は、前記の課題を達成
するため、情報担体については、アンテナコイルが一体
形成されたIC素子を基体に搭載してなる情報担体にお
いて、前記IC素子を前記基体の平面方向の中心部に配
置するという構成にした。
<Information Carrier> In order to achieve the above object, the present invention provides an information carrier comprising an IC element integrally formed with an antenna coil mounted on a base. Is arranged at the center in the plane direction.

【0013】かように、IC素子を基体の平面方向の中
心部に配置すると、IC素子に一体形成されたコイルと
リーダライタに備えられたアンテナコイルの中心を合致
させやすくなるので、両コイル間の電磁結合係数を大き
くすることができ、リーダライタから情報担体への電力
の供給及びリーダライタと情報担体との間の信号の送受
信を確実に行うことができる。特に、情報担体を構成す
る基体の形状を、円形や正方形それに正多角形など、リ
ーダライタに対する方向性がないか、リーダライタに対
する方向性が少ない形状にした場合には、IC素子に一
体形成されたコイルとリーダライタに備えられたアンテ
ナコイルの中心をより合致させやすくなるので、より使
用が容易な情報担体とすることができる。
As described above, when the IC element is disposed at the center of the base in the plane direction, the center of the coil formed integrally with the IC element and the center of the antenna coil provided in the reader / writer can be easily matched. , The power supply from the reader / writer to the information carrier and the transmission and reception of signals between the reader / writer and the information carrier can be reliably performed. In particular, when the shape of the base constituting the information carrier is a shape having no or little directionality with respect to the reader / writer, such as a circle, a square, or a regular polygon, it is formed integrally with the IC element. The center of the antenna coil provided in the reader / writer can be more easily matched with the center of the coil, so that the information carrier can be more easily used.

【0014】〈情報担体の製造方法〉本発明は、前記の
課題を達成するため、情報担体の製造方法については、
第1に、IC素子を挿入可能な多数の透孔が規則的に開
設された第1帯状素材と透孔を有しない第2帯状素材と
を接合する工程と、コイルが一体形成されたIC素子を
前記透孔内に収納して固定する工程と、前記第1帯状素
材と透孔を有しない第3帯状素材とを接合する工程と、
接合された前記第1乃至第3の帯状素材を一体に打ち抜
いて前記IC素子を有する所要の情報担体を得る工程と
を含むという構成にした。
<Method of Manufacturing Information Carrier> In order to achieve the above object, the present invention relates to a method of manufacturing an information carrier,
First, a step of joining a first band-shaped material having a large number of through holes into which IC elements can be inserted regularly and a second band-shaped material having no through holes, and an IC element in which a coil is integrally formed. And fixing the first strip-shaped material and a third strip-shaped material having no through-hole.
A step of integrally punching out the joined first to third band-shaped materials to obtain a required information carrier having the IC element.

【0015】第2に、IC素子を挿入可能な多数の透孔
が規則的に開設され、かつ、当該各透孔の周囲にリング
状の凹部が同心円状に形成された第1帯状素材の前記凹
部内に前記IC素子とは独立の別体に形成されたコイル
を収納して固定する工程と、前記第1帯状素材の片面に
透孔を有しない第2帯状素材を接合する工程と、コイル
が一体形成されたIC素子を前記透孔内に収納して固定
する工程と、前記第1帯状素材と透孔を有しない第3帯
状素材とを接合する工程と、接合された前記第1乃至第
3の帯状素材を一体に打ち抜いて前記IC素子及び当該
IC素子とは独立の別体に形成されたコイルを有する所
要の情報担体を得る工程とを含むという構成にした。
Second, the first belt-shaped material of the first band-shaped material in which a large number of through holes into which IC elements can be inserted are regularly opened, and a ring-shaped recess is formed concentrically around each of the through holes. A step of housing and fixing a coil formed separately from the IC element in the recess, a step of joining a second band-shaped material having no through hole on one surface of the first band-shaped material, Accommodating an IC element integrally formed in the through hole, fixing the first band material and a third band material having no through hole, A step of integrally punching the third strip-shaped material to obtain a required information carrier having the IC element and a coil formed separately from the IC element.

【0016】かように、帯状素材に所要のIC素子(又
はIC素子とコイル)が搭載されたものを作製し、しか
る後にこの帯状素材から所要の情報担体を打ち抜き形成
するようにすると、同一の情報担体を高能率に製造する
ことができるので、所要の情報担体の製造コストを低減
することができる。
As described above, when a device in which a required IC element (or an IC element and a coil) is mounted on a band-shaped material is manufactured, and then a required information carrier is punched and formed from this band-shaped material, the same Since the information carrier can be manufactured with high efficiency, the manufacturing cost of the required information carrier can be reduced.

【0017】なお、前記第1及び第2の製造方法におい
ては、情報担体の基体を3部材(第1乃至第3の帯状素
材)で形成したが、第1帯状素材にIC素子を収納する
ための透孔を開設する構成に代えて、第1帯状素材にI
C素子を収納するための凹部を形成することにより、情
報担体の基体を2部材で形成することもできる。
In the first and second manufacturing methods, the base of the information carrier is formed of three members (first to third band-shaped materials). However, the information carrier is accommodated in the first band-shaped material. In place of the configuration in which the through holes are opened, the first belt-shaped material
By forming a recess for accommodating the C element, the base of the information carrier can be formed of two members.

【0018】また、前記第1及び第2の製造方法におい
ては、IC素子(又はIC素子とコイル)を帯状素材内
に完全に埋設したが、帯状素材に開設された透孔又は帯
状素材に形成された凹部内にIC素子(又はIC素子と
コイル)を収納した後、前記透孔又は凹部を樹脂封止す
ることによって、IC素子(又はIC素子とコイル)を
帯状素材の片面に露出させることもできる。
Further, in the first and second manufacturing methods, the IC element (or the IC element and the coil) is completely embedded in the strip material, but the IC element (or the IC element and the coil) is formed in the through hole or the strip material opened in the strip material. After the IC element (or the IC element and the coil) is housed in the formed recess, the IC element (or the IC element and the coil) is exposed on one side of the belt-shaped material by sealing the through hole or the recess with resin. Can also.

【0019】さらに、IC素子(又はIC素子とコイ
ル)を帯状素材の片面に露出させる場合には、帯状素材
にIC素子(又はIC素子とコイル)を収納するための
凹部を形成することにより、情報担体の基体を1部材で
形成することもできる。
Further, when the IC element (or the IC element and the coil) is exposed on one side of the strip-shaped material, a concave portion for accommodating the IC element (or the IC element and the coil) is formed in the strip-shaped material. The base of the information carrier may be formed of one member.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】〈IC素子〉以下、本発明に係る
IC素子の実施形態例を、図1及び図2に基づいて説明
する。図1(a),(b),(c)は実施形態例に係る
IC素子の平面図、図2(a),(b)は実施形態例に
係るIC素子の要部断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <IC element> An embodiment of an IC element according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1A, 1B, and 1C are plan views of an IC element according to the embodiment, and FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views of main parts of the IC element according to the embodiment.

【0021】本実施形態例に係るIC素子は、図1及び
図2に示すように、IC素子1の入出力端子1aの形成
面側に、酸化シリコン膜や樹脂膜等の絶縁性の表面保護
膜2を介して、矩形スパイラル形状のアンテナコイル3
を一体に形成してなる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the IC element according to this embodiment has an insulating surface protection such as a silicon oxide film or a resin film on the side where the input / output terminals 1a of the IC element 1 are formed. A rectangular spiral antenna coil 3 through the membrane 2
Are integrally formed.

【0022】図1(a)のIC素子1は、回路形成部4
を除く外周部にのみアンテナコイル3を形成したもので
あって、IC素子1に形成された回路とアンテナコイル
3との間における浮遊容量の発生を防止することがで
き、リーダライタからの電力の受給効率及びリーダライ
タとの間の信号の送受信効率を高めることができる。
The IC element 1 shown in FIG.
The antenna coil 3 is formed only on the outer peripheral portion except for the antenna coil 3, and it is possible to prevent the occurrence of stray capacitance between the antenna coil 3 and a circuit formed in the IC element 1, and to reduce the power from the reader / writer. The receiving efficiency and the efficiency of transmitting and receiving signals to and from the reader / writer can be improved.

【0023】図1(b)のIC素子1は、回路形成部4
と対向する部分までアンテナコイル3を形成したもので
あって、コイルの巻数を多くできることから、リーダラ
イタからの電力の受給効率及びリーダライタとの間の信
号の送受信効率を高めることができる。なお、図1
(b)の例においては、アンテナコイル3を回路形成部
4と対向する部分及びその外周部に形成したが、回路形
成部4と対向する部分にのみ形成することもできる。
The IC element 1 shown in FIG.
Since the antenna coil 3 is formed up to the portion opposed to the above, since the number of turns of the coil can be increased, the efficiency of receiving power from the reader / writer and the efficiency of transmitting and receiving signals to and from the reader / writer can be improved. FIG.
In the example of (b), the antenna coil 3 is formed on the portion facing the circuit forming portion 4 and on the outer periphery thereof, but may be formed only on the portion facing the circuit forming portion 4.

【0024】図1(c)のIC素子1は、矩形スパイラ
ル形状に形成されたアンテナコイル3の角の部分を斜め
に面取りしたものであって、角部における電流集中を防
止してアンテナコイル3の抵抗値を低減することがで
き、リーダライタからの電力の受給効率及びリーダライ
タとの間の信号の送受信効率を高めることができる。面
取りの形状は円弧状にしても同様の効果を得ることがで
きる。また、面取りは各線の内周側及び外周側の双方に
施すことが好ましいが、外周側にのみ施した場合にも効
果がある。
The IC element 1 shown in FIG. 1C is obtained by obliquely chamfering a corner of an antenna coil 3 formed in a rectangular spiral shape. Can be reduced, and the efficiency of receiving power from the reader / writer and the efficiency of transmitting and receiving signals to and from the reader / writer can be increased. The same effect can be obtained even if the shape of the chamfer is circular. In addition, it is preferable that the chamfering is performed on both the inner circumference side and the outer circumference side of each line, but the effect is also obtained when the chamfering is performed only on the outer circumference side.

【0025】いずれの場合にも、実用上十分な電力の供
給を受け、かつ、リーダライタとの間の通信特性を確保
するためには、前記アンテナコイル3の線幅を7μm以
上、線間距離を5μm以下、巻数を20ターン以上とす
ることが好ましい。
In any case, in order to receive a sufficient power supply for practical use and secure communication characteristics with the reader / writer, the line width of the antenna coil 3 must be 7 μm or more, Is preferably 5 μm or less and the number of turns is 20 or more.

【0026】IC素子1の入出力端子1aとアンテナコ
イル3との接続は、表面保護膜2に開設された透孔5を
介して行われる。この場合、アンテナコイル3の形成位
置が若干ずれた場合にも、入出力端子1aとアンテナコ
イル3との接続が確実に行われるように、図2(a)、
(b)に示す如く、透孔5の直径又は幅をアンテナコイ
ル3の線幅よりも小さくすることがより好ましい。
The connection between the input / output terminal 1a of the IC element 1 and the antenna coil 3 is made through a through hole 5 formed in the surface protection film 2. In this case, even if the formation position of the antenna coil 3 is slightly shifted, the connection between the input / output terminal 1a and the antenna coil 3 is ensured, as shown in FIG.
As shown in (b), it is more preferable that the diameter or the width of the through hole 5 is smaller than the line width of the antenna coil 3.

【0027】アンテナコイル3を構成する導体は、図2
(a)、(b)に示すように、金属スパッタ層又は金属
蒸着層6と金属めっき層7を含む多層構造になってい
る。図2(a)は、金属スパッタ層又は金属蒸着層6の
上面にのみ金属めっき層7を形成した例であり、図2
(b)は、金属スパッタ層又は金属蒸着層6の周面全体
に金属めっき層7を形成した例を示している。前記金属
スパッタ層又は金属蒸着層6及び金属めっき層7は、任
意の導電性金属をもって形成することができるが、比較
的安価で導電率が高いことから、金属スパッタ層又は金
属蒸着層6についてはアルミニウム、ニッケル、銅及び
クロムから選択される金属又はこれらの金属群から選択
される2種以上の金属の合金で形成することが好まし
く、均質な単層構造とするほか、異なる金属層又は合金
層を多層に積層した他層構造とすることもできる。一
方、前記金属めっき7は、銅で形成することが好まし
く、無電解めっき法又は電気めっき法若しくは精密電鋳
法により形成することができる。
The conductor forming the antenna coil 3 is shown in FIG.
As shown in (a) and (b), it has a multilayer structure including a metal sputtering layer or a metal deposition layer 6 and a metal plating layer 7. FIG. 2A shows an example in which the metal plating layer 7 is formed only on the upper surface of the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6.
(B) shows an example in which the metal plating layer 7 is formed on the entire peripheral surface of the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6. The metal sputter layer or metal deposition layer 6 and the metal plating layer 7 can be formed of any conductive metal, but are relatively inexpensive and have high conductivity. It is preferably formed of a metal selected from aluminum, nickel, copper and chromium, or an alloy of two or more metals selected from the group consisting of these metals. In addition to a uniform single-layer structure, different metal layers or alloy layers May be formed in a multi-layer structure of other layers. On the other hand, the metal plating 7 is preferably formed of copper, and can be formed by electroless plating, electroplating, or precision electroforming.

【0028】〈IC素子の製造方法〉次に、本発明に係
るIC素子製造方法の実施形態例を、図3乃至図6に基
づいて説明する。図3は所定のプロセス処理を経て完成
されたいわゆる完成ウエハの平面図、図4は本発明に係
るIC素子製造方法の第1例を示す工程図、図5は本発
明に係るIC素子製造方法の第2例を示す工程図、図6
はアンテナコイルを含む所要の導電パターンが形成され
た完成ウエハの平面図である。
<Method of Manufacturing IC Element> Next, an embodiment of a method of manufacturing an IC element according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a plan view of a so-called completed wafer completed through a predetermined process, FIG. 4 is a process diagram showing a first example of an IC element manufacturing method according to the present invention, and FIG. 5 is an IC element manufacturing method according to the present invention. FIG. 6 is a process diagram showing a second example of FIG.
FIG. 3 is a plan view of a completed wafer on which required conductive patterns including an antenna coil are formed.

【0029】図3に示すように、完成ウエハ11には、
最外周部を除く内周部分に多数個のIC素子用の回路1
2が等間隔に形成されており、その回路形成面側には、
所要の表面保護膜2が形成されている(図4及び図5参
照)。
As shown in FIG. 3, the completed wafer 11 has
Circuit 1 for a large number of IC elements in the inner peripheral part except the outermost peripheral part
2 are formed at equal intervals, and on the circuit forming surface side,
The required surface protective film 2 is formed (see FIGS. 4 and 5).

【0030】図4に示す第1実施形態例に係るIC素子
製造方法では、まず図4(a)に示すように、完成ウエ
ハ11の回路形成面に形成された表面保護膜2上に、ア
ルミニウム又はアルミニウム合金若しくは銅又は銅合金
を用いて、金属スパッタ層又は金属蒸着層6を均一に形
成する。次いで、図4(b)に示すように、当該金属ス
パッタ層又は金属蒸着層6上にフォトレジスト層12を
均一に形成し、形成されたフォトレジスト層12にコイ
ルを含む所要のパターンが形成されたマスク13を被
せ、マスク13の外側から所定波長の光14を照射して
フォトレジスト層12を露光する。しかる後に露光され
たフォトレジスト層12の現像処理を行い、図4(c)
に示すように、フォトレジスト層12の露光部分を除去
して、前記金属スパッタ層又は金属蒸着層6の前記露光
パターンと対応する部分を露出させる。金属スパッタ層
又は金属蒸着層6の露出パターンには、図6に示すよう
に、リング状の電極部15と、前記各回路形成部4と対
向する部分に形成されたアンテナコイル3と、これら電
極部15と各アンテナコイル3とを連結するリード部1
6とが含まれる。次いで、前記電極部15を一方の電極
として、金属スパッタ層又は金属蒸着層6の露出部分に
電気めっき又は精密電鋳を施し、図4(d)に示すよう
に、金属スパッタ層又は金属蒸着層6の露出部分に金属
めっき層7を積層する。次いで、完成ウエハ11の表面
に付着したフォトレジスト層12をアッシング処理等に
よって除去し、図4(e)に示すように、均一な金属ス
パッタ層又は金属蒸着層6上に電極部15とアンテナコ
イル3とリード部16とを有する金属めっき層7が形成
された完成ウエハ11を得る。次いで、金属めっき層7
より露出した金属スパッタ層又は金属蒸着層6を選択的
にエッチングし、図4(f)に示すように、金属めっき
層7より露出した金属スパッタ層又は金属蒸着層6を除
去する。これによって、金属スパッタ層又は金属蒸着層
6と金属めっき層7とが共に図6に示す所要の導電パタ
ーンに形成された完成ウエハ11が得られる。最後に、
前記完成ウエハ11をスクライビングして、図1に示す
所要のIC素子1を得る。
In the method of manufacturing an IC device according to the first embodiment shown in FIG. 4, first, as shown in FIG. 4A, aluminum is formed on the surface protection film 2 formed on the circuit forming surface of the completed wafer 11. Alternatively, using an aluminum alloy, copper, or a copper alloy, the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6 is formed uniformly. Next, as shown in FIG. 4B, a photoresist layer 12 is uniformly formed on the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6, and a required pattern including a coil is formed on the formed photoresist layer 12. The photoresist layer 12 is exposed by irradiating the mask 13 with light 14 having a predetermined wavelength from outside the mask 13. After that, the exposed photoresist layer 12 is subjected to a developing process, and FIG.
As shown in FIG. 5, the exposed portion of the photoresist layer 12 is removed to expose a portion of the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6 corresponding to the exposed pattern. As shown in FIG. 6, the exposed pattern of the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6 includes a ring-shaped electrode portion 15, an antenna coil 3 formed in a portion facing each of the circuit forming portions 4, Lead part 1 for connecting part 15 and each antenna coil 3
6 are included. Next, using the electrode portion 15 as one electrode, electroplating or precision electroforming is performed on an exposed portion of the metal sputter layer or the metal deposition layer 6, and as shown in FIG. The metal plating layer 7 is laminated on the exposed portion of the metal layer 6. Next, the photoresist layer 12 adhered to the surface of the completed wafer 11 is removed by an ashing process or the like, and as shown in FIG. A completed wafer 11 on which the metal plating layer 7 having the leads 3 and the lead portions 16 is formed is obtained. Next, the metal plating layer 7
The exposed metal sputter layer or metal deposition layer 6 is selectively etched to remove the metal sputter layer or metal evaporation layer 6 exposed from the metal plating layer 7 as shown in FIG. As a result, a completed wafer 11 in which the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6 and the metal plating layer 7 are both formed into the required conductive patterns shown in FIG. 6 is obtained. Finally,
By scribing the completed wafer 11, the required IC element 1 shown in FIG. 1 is obtained.

【0031】なお、前記実施形態例においては、金属め
っき層7の形成手段として電気めっき法又は精密電鋳法
を用いたが、かかる構成に代えて、無電解めっき法を用
いて前記金属めっき層7を形成することもできる。この
場合には、金属めっき層7の形成に電極を必要としない
ので、フォトレジスト層12の露光に際して、電極部1
5の形成とリード部16の形成が不要になる。
In the above-described embodiment, the electroplating method or the precision electroforming method is used as a means for forming the metal plating layer 7, but instead of such a structure, the metal plating layer 7 is formed using an electroless plating method. 7 can also be formed. In this case, an electrode is not required for forming the metal plating layer 7, and therefore, when the photoresist layer 12 is exposed,
The formation of the lead 5 and the formation of the lead portion 16 become unnecessary.

【0032】無電解めっきは、化学めっきとも呼ばれ、
素地金属をめっき金属の金属塩溶液中に浸して金属イオ
ンを素地表面に析出させるもので、比較的簡単な設備で
密着力が強く均一で十分な厚みを有するめっき層が得ら
れるという特徴がある。前記金属塩は、めっきする金属
イオンの供給源となるものであり、銅をめっきする場合
には、硫酸銅、塩化第二銅、硝酸銅等の溶液がめっき液
として用いられる。銅などの金属イオンは、素地となる
金属スパッタ層又は金属蒸着層6上にのみに析出し、絶
縁性の表面保護層2上には析出しない。素地材は、めっ
き金属イオンに対してイオン化傾向が小さく、かつ、め
っき金属イオンの析出に対する触媒作用をもつ必要があ
る。このため、アルミニウムからなる金属スパッタ層又
は金属蒸着層6上に銅をめっきする場合には、アルミニ
ウム層の表面にニッケルを数μm以下の厚さに形成し、
硝酸亜鉛液に数秒間浸して亜鉛に置換する前処理を施す
ことが好ましい。
Electroless plating is also called chemical plating,
The base metal is immersed in a metal salt solution of the plating metal to deposit metal ions on the surface of the base metal, and the feature is that a relatively simple facility can be used to obtain a plating layer having a strong adhesion and a uniform and sufficient thickness. . The metal salt serves as a supply source of metal ions to be plated. When plating copper, a solution such as copper sulfate, cupric chloride, or copper nitrate is used as a plating solution. Metal ions such as copper are deposited only on the base metal sputtered layer or metal deposited layer 6 and not on the insulating surface protection layer 2. The base material needs to have a low ionization tendency with respect to the plating metal ions and have a catalytic action on the deposition of the plating metal ions. For this reason, when plating copper on the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6 made of aluminum, nickel is formed on the surface of the aluminum layer to a thickness of several μm or less,
It is preferable to perform a pretreatment of immersing in a zinc nitrate solution for several seconds to replace with zinc.

【0033】一方、電気めっき法及び精密電鋳法は、め
っき金属のイオンを含むめっき浴中に金属スパッタ層又
は金属蒸着層6が形成された完成ウエハ11とめっき金
属からなる電極とを浸漬し、完成ウエハ11に形成され
た金属スパッタ層又は金属蒸着層6を陰極、めっき浴中
に浸漬された電極を陽極として電圧を印加し、めっき浴
中の金属イオンを金属スパッタ層又は金属蒸着層6の表
面に析出させる方法である。電気めっき法及び精密電鋳
法も、銅をめっきする場合には、硫酸銅、塩化第二銅、
硝酸銅等の溶液がめっき液として用いられる。
On the other hand, in the electroplating method and the precision electroforming method, the completed wafer 11 on which the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6 is formed and the electrode made of the plated metal are immersed in a plating bath containing ions of the plated metal. A voltage is applied using the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6 formed on the completed wafer 11 as a cathode and the electrode immersed in the plating bath as an anode to apply metal ions in the plating bath to the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6. It is a method of precipitating on the surface of the. Electroplating and precision electroforming also use copper sulfate, cupric chloride,
A solution such as copper nitrate is used as a plating solution.

【0034】本例のIC素子製造方法は、完成ウエハ1
1にコイルを含む所要の導電パターンを形成し、しかる
後に完成ウエハ11をスクライビングして所要のIC素
子1を得るという構成にしたので、個々のIC素子にコ
イルを形成する場合に比べてコイルが一体形成されたI
C素子を高能率に製造でき、その製造コストを低減する
ことができる。また、ウエハに形成された全てのIC素
子に対して均一な厚みのコイルを高精度に形成すること
ができるので、通信特性のばらつきを小さくすることが
できる。さらに、個々のIC素子についてスパッタ法又
は真空蒸着法及びメッキ法を用いてコイルを形成する
と、IC素子の外周部に不要の導体が付着してIC素子
の絶縁性が問題になるが、完成ウエハ11にコイルを含
む所要の導電パターンを形成した場合には、スパッタ時
等において完成ウエハ11の外周部に不要の導体が付着
しても、該部は不要部分としてもともと処分されるべき
部分であるので、個々のIC素子の絶縁性に悪影響を与
えることもない。加えて、本例のIC素子製造方法は、
フォトレジスト層12がある状態で金属めっき層7の形
成を行い、しかる後に金属スパッタ層又は金属蒸着層6
の金属めっき層7が積層されていない部分をエッチング
によって除去するようにしたので、図2(a)に示すよ
うに、金属めっき層7が金属スパッタ層又は金属蒸着層
6の上面にのみ積層され、幅方向に広がらないので、精
密なアンテナコイル3を形成することができ、狭い面積
内に巻数の多いアンテナコイル3を形成することができ
る。
The method of manufacturing an IC element according to the present embodiment uses the completed wafer 1
1, a required conductive pattern including a coil is formed, and then the completed wafer 11 is scribed to obtain a required IC element 1. Therefore, the coil is formed as compared with the case where the coil is formed in each individual IC element. Integrated I
The C element can be manufactured with high efficiency, and the manufacturing cost can be reduced. Further, since a coil having a uniform thickness can be formed with high precision for all the IC elements formed on the wafer, it is possible to reduce variation in communication characteristics. Furthermore, if a coil is formed by sputtering or vacuum evaporation and plating for each IC element, unnecessary conductors adhere to the outer periphery of the IC element, causing a problem of insulation of the IC element. In the case where a required conductive pattern including a coil is formed on 11, even if an unnecessary conductor adheres to the outer peripheral portion of the completed wafer 11 at the time of sputtering or the like, this portion is a portion that should be originally disposed as an unnecessary portion. Therefore, there is no adverse effect on the insulating properties of the individual IC elements. In addition, the method of manufacturing an IC element of this example
The metal plating layer 7 is formed in a state where the photoresist layer 12 is present, and thereafter, the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6 is formed.
Since the portion where the metal plating layer 7 is not laminated is removed by etching, the metal plating layer 7 is laminated only on the upper surface of the metal sputtering layer or the metal vapor deposition layer 6 as shown in FIG. Since the antenna coil 3 does not spread in the width direction, a precise antenna coil 3 can be formed, and the antenna coil 3 having a large number of turns can be formed in a small area.

【0035】一方、図5に示す第2実施形態例に係るI
C素子製造方法では、図5(a)に示すように、完成ウ
エハ11に形成された表面保護膜2上にフォトレジスト
層12を均一に形成し、形成されたフォトレジスト層1
2にコイルを含む所要のパターンが形成されたマスク1
3を被せ、マスク13の外側から所定波長の光14を照
射してフォトレジスト層12を露光する。しかる後に露
光されたフォトレジスト層12の現像処理を行い、図5
(b)に示すように、フォトレジスト層12の露光部分
を除去して、表面保護膜2の前記露光パターンと対応す
る部分を露出させる。フォトレジスト層12の露光パタ
ーンは、図6に示すように、電極部15とアンテナコイ
ル3とリード部16とを含む形状にすることができる。
次いで、現像処理後の完成ウエハ11をスパッタ装置又
は真空蒸着装置に装着し、図5(c)に示すように、前
記表面保護膜2の露出部分に金属スパッタ層又は金属蒸
着層6を形成する。次いで、図5(d)に示すように、
完成ウエハ11に付着したフォトレジスト層12をアッ
シング処理等によって除去した後、電極部15を一方の
電極として、金属スパッタ層又は金属蒸着層6に電気め
っきを施し、図5(e)に示すように、金属スパッタ層
又は金属蒸着層6の露出部分に金属めっき層7を積層す
る。最後に、前記完成ウエハ11をスクライビングし
て、図1に示す所要のIC素子1を得る。
On the other hand, according to the second embodiment shown in FIG.
In the method for manufacturing the C element, as shown in FIG. 5A, a photoresist layer 12 is uniformly formed on a surface protection film 2 formed on a completed wafer 11, and the formed photoresist layer 1 is formed.
A mask 1 in which a required pattern including a coil is formed in 2
3 and the photoresist layer 12 is exposed by irradiating light 14 having a predetermined wavelength from outside the mask 13. Thereafter, the exposed photoresist layer 12 is subjected to a development process, and FIG.
As shown in (b), the exposed portions of the photoresist layer 12 are removed to expose portions of the surface protection film 2 corresponding to the exposure patterns. As shown in FIG. 6, the exposure pattern of the photoresist layer 12 can have a shape including the electrode portion 15, the antenna coil 3, and the lead portion 16.
Next, the completed wafer 11 after the development processing is mounted on a sputtering apparatus or a vacuum evaporation apparatus, and a metal sputtering layer or a metal evaporation layer 6 is formed on the exposed portion of the surface protective film 2 as shown in FIG. . Next, as shown in FIG.
After the photoresist layer 12 adhered to the completed wafer 11 is removed by an ashing process or the like, the metal part is used as one electrode to perform electroplating on the metal sputtered layer or the metal deposited layer 6, as shown in FIG. Then, a metal plating layer 7 is laminated on an exposed portion of the metal sputtering layer or the metal deposition layer 6. Finally, the completed wafer 11 is scribed to obtain a required IC element 1 shown in FIG.

【0036】なお、前記実施形態例においては、金属め
っき層7の形成手段として電気めっき法を用いたが、か
かる構成に代えて、無電解めっき法を用いて前記金属め
っき層7を形成することもできる。この場合には、金属
めっき層7の形成に電極を必要としないので、フォトレ
ジスト層12の露光に際して、電極部15の形成とリー
ド部16の形成が不要になる。
In the above-described embodiment, the electroplating method is used as the means for forming the metal plating layer 7. However, the metal plating layer 7 may be formed using an electroless plating method instead of such a configuration. Can also. In this case, since no electrode is required for forming the metal plating layer 7, the formation of the electrode portion 15 and the formation of the lead portion 16 are unnecessary when exposing the photoresist layer 12.

【0037】本例のIC素子製造方法は、前記第1実施
形態例に係るIC素子製造方法と同様の効果を有するほ
か、完成ウエハ11に導電パターンを形成するための工
程数を少なくできるので、アンテナコイルが一体形成さ
れたIC素子をより高能率に製造することができる。
The method of manufacturing an IC element according to the present embodiment has the same effects as the method of manufacturing an IC element according to the first embodiment, and can reduce the number of steps for forming a conductive pattern on the completed wafer 11. An IC element in which an antenna coil is integrally formed can be manufactured with higher efficiency.

【0038】〈情報担体〉以下、本発明に係る情報担体
の実施形態例を、図7乃至図17に基づいて説明する。
図7は第1実施形態例に係る情報担体の一部切断した平
面図、図8は第1実施形態例に係る情報担体の分解斜視
図、図9は第1実施形態例に係る情報担体の断面図、図
10は第1実施形態例に係る情報担体の使用状態の説明
図、図11は第2実施形態例に係る情報担体の断面図、
図12は第3実施形態例に係る情報担体の断面図、図1
3は第4実施形態例に係る情報担体の断面図、図14は
第5実施形態例に係る情報担体の断面図、図15は第6
実施形態例に係る情報担体の断面図、図16は第7実施
形態例に係る情報担体の断面図、図17は第8実施形態
例に係る情報担体の断面図である。
<Information Carrier> An embodiment of an information carrier according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
FIG. 7 is a partially cut-away plan view of the information carrier according to the first embodiment, FIG. 8 is an exploded perspective view of the information carrier according to the first embodiment, and FIG. 9 is a perspective view of the information carrier according to the first embodiment. Sectional view, FIG. 10 is an explanatory view of the use state of the information carrier according to the first embodiment, FIG. 11 is a sectional view of the information carrier according to the second embodiment,
FIG. 12 is a sectional view of an information carrier according to the third embodiment, and FIG.
3 is a sectional view of the information carrier according to the fourth embodiment, FIG. 14 is a sectional view of the information carrier according to the fifth embodiment, and FIG.
FIG. 16 is a cross-sectional view of an information carrier according to a seventh embodiment, and FIG. 17 is a cross-sectional view of an information carrier according to an eighth embodiment.

【0039】第1実施形態例に係る情報担体20aは、
図7乃至図9に示すように、平面形状が円形に形成され
たコイン形の基体21と、当該基体21の平面方向及び
厚さ方向の中心部に設定されたIC素子1とからなる。
IC素子1としては、図1及び図2に示すように、アン
テナコイルが一体形成されたものが用いられる。
The information carrier 20a according to the first embodiment is
As shown in FIG. 7 to FIG. 9, a coin-shaped base 21 having a circular planar shape is formed, and the IC element 1 is set at the center of the base 21 in the plane direction and the thickness direction.
As shown in FIGS. 1 and 2, the IC element 1 has an antenna coil integrally formed.

【0040】基体21は、図8及び図9に示すように、
上部材22と中間部材23と下部材24とから構成され
ており、それぞれ接着剤層25を介して一体に接合され
ている。基体21を構成する各部材22,23,24
は、紙材又はプラスチックシートをもって形成すること
ができるが、廃棄後に自然分解し、焼却しても有蓋ガス
の発生量が少なく、価格的にも安価であることから、紙
材をもって作製することが特に好ましい。また、前記各
部材22,23,24の1つ又は2つを紙材にて形成
し、他の1つ又は2つをプラスチックシートにて形成す
ることももちろん可能である。
As shown in FIG. 8 and FIG.
It is composed of an upper member 22, an intermediate member 23, and a lower member 24, which are integrally joined via an adhesive layer 25, respectively. Each member 22, 23, 24 constituting the base 21
Can be formed of paper or plastic sheet, but it is naturally decomposed after disposal and generates a small amount of covered gas even when incinerated, and it is inexpensive. Particularly preferred. Also, it is of course possible to form one or two of the members 22, 23, 24 from a paper material and form the other one or two from a plastic sheet.

【0041】前記中間部材23の中央部には、IC素子
1を内挿可能な透孔27が開設されており、前記各部材
22,23,24を接合することによって形成される空
間内にIC素子1が収納される。なお、IC素子1は、
取扱時の動揺を防止するために下部材24に接着するこ
とが好ましい。この場合、下部材24の片面に接着剤層
25を均一に形成しておき、この接着剤層25を利用し
て中間部材23と下部材24との接着と、下部材24と
IC素子1との接着を行うようにすることが、コスト状
有利である。また、透孔27の平面形状は任意の形状と
することができるが、中間部材23と下部材24とを接
合することによって形成される凹部にIC素子1を収納
する際、当該凹部とIC素子1の回転方向の向きを厳密
に合わせる必要がないことから、図7及び図8に示すよ
うに、円形の透孔27を形成する方が製造上有利であ
る。
At the center of the intermediate member 23, a through-hole 27 through which the IC element 1 can be inserted is opened, and an IC is formed in a space formed by joining the members 22, 23 and 24. The element 1 is housed. The IC element 1 is
It is preferable to adhere to the lower member 24 in order to prevent shaking during handling. In this case, an adhesive layer 25 is uniformly formed on one surface of the lower member 24, and the intermediate member 23 and the lower member 24 are bonded using the adhesive layer 25, and the lower member 24 and the IC element 1 are connected to each other. Is advantageous in terms of cost. Further, the planar shape of the through hole 27 can be any shape. However, when the IC element 1 is housed in a concave portion formed by joining the intermediate member 23 and the lower member 24, the concave portion and the IC element Since it is not necessary to strictly adjust the directions of the rotation directions, it is more advantageous in manufacturing to form a circular through hole 27 as shown in FIGS.

【0042】本例の情報担体20aは、IC素子1を円
形に形成された基体21の平面方向の中心部に配置した
ので、図10に示すように、略半円形のスロット101
と当該スロット101における円弧部の中心に備えられ
た非接触通信用のアンテナコイル102とを有するリー
ダライタ100の前記スロット101内に情報担体20
を挿入することによって、自動的にIC素子1に一体形
成されたアンテナコイル3とリーダライタ100に備え
られたアンテナコイル102の心出しを行うことがで
き、両コイル3,102間の電磁結合係数を大きくでき
ることから、リーダライタ100から情報担体20への
電力の供給及びリーダライタ100と情報担体20との
間の信号の送受信を確実に行うことができる。また、情
報担体20aの平面形状を円形に形成したので、略半円
形に形成されたスロット101に対する方向性がなく、
使用の容易性に優れる。さらに、IC素子1を基体21
内に完全に収納したので、IC素子1の保護効果が高く
耐久性に優れると共に、該部からIC素子1が見えない
ので、美観にも優れる。
In the information carrier 20a of this embodiment, since the IC element 1 is arranged at the center of the base 21 formed in a circular shape in the plane direction, as shown in FIG.
The information carrier 20 is inserted into the slot 101 of the reader / writer 100 having the antenna coil 102 for non-contact communication provided at the center of the arc portion in the slot 101.
Can be automatically centered between the antenna coil 3 integrally formed on the IC element 1 and the antenna coil 102 provided on the reader / writer 100, and the electromagnetic coupling coefficient between the coils 3 and 102 can be automatically adjusted. Therefore, power supply from the reader / writer 100 to the information carrier 20 and transmission / reception of signals between the reader / writer 100 and the information carrier 20 can be reliably performed. In addition, since the planar shape of the information carrier 20a is circular, there is no directionality with respect to the substantially semicircular slot 101,
Excellent ease of use. Further, the IC element 1 is
Since the IC element 1 is completely housed inside, the protection effect of the IC element 1 is high and the durability is excellent, and since the IC element 1 is not seen from the part, the appearance is also excellent.

【0043】第2実施形態例に係る情報担体20bは、
図11に示すように、上部材22と中間部材23と下部
材24との3部材をもって基体21を構成すると共に、
IC素子1の周囲に、アンテナコイル3とリーダライタ
に備えられたコイルとの間の電磁結合を強化するための
ブースタコイル28を同心円状に配置したことを特徴と
する。図中の符号29はブースタコイル28を収納する
ための凹部を示しており、この凹部29は中間部材23
の透孔27の周囲にリング状に形成される。その他の構
成については、前記第1実施例に係る情報担体20aと
同じであるので、重複を避けるために説明を省略する。
本例の情報担体20bは、第1実施形態例に係る情報担
体20aと同様の効果を有するほか、IC素子1の周囲
にブースタコイル28を同心円状に配置したので、IC
素子1に一体形成されたアンテナコイル3とリーダライ
タ100に備えられたアンテナコイル102との電磁結
合をブースタコイル28を介することによってより高い
ものとすることができ、より一層の電力供給の安定化及
び信号送受信の安定化又は通信距離の増加を図ることが
できる。
The information carrier 20b according to the second embodiment is
As shown in FIG. 11, the base 21 is configured by three members, an upper member 22, an intermediate member 23, and a lower member 24.
A booster coil 28 for enhancing electromagnetic coupling between the antenna coil 3 and a coil provided in a reader / writer is arranged concentrically around the IC element 1. Reference numeral 29 in the drawing denotes a recess for accommodating the booster coil 28, and this recess 29 is
Is formed in a ring shape around the through hole 27. The rest of the configuration is the same as that of the information carrier 20a according to the first embodiment, and a description thereof will be omitted to avoid duplication.
The information carrier 20b of this example has the same effect as the information carrier 20a according to the first embodiment, and furthermore, since the booster coil 28 is arranged concentrically around the IC element 1, the
The electromagnetic coupling between the antenna coil 3 formed integrally with the element 1 and the antenna coil 102 provided in the reader / writer 100 can be made higher through the booster coil 28, and the power supply can be further stabilized. In addition, stabilization of signal transmission / reception or an increase in communication distance can be achieved.

【0044】第3実施形態例に係る情報担体20cは、
図12に示すように、上部材22と下部材24との2部
材をもって基体21を構成し、下部材24にIC素子1
を収納するための凹部30を形成したことを特徴とす
る。その他の構成については、前記第1実施例に係る情
報担体20aと同じであるので、重複を避けるために説
明を省略する。本例の情報担体20cは、第1実施形態
例に係る情報担体20aと同様の効果を有するほか、部
品点数が少ないことから、情報担体のより一層の低コス
ト化を図ることができる。
The information carrier 20c according to the third embodiment is
As shown in FIG. 12, the base 21 is composed of two members, an upper member 22 and a lower member 24, and the IC element 1 is attached to the lower member 24.
A recess 30 for accommodating the same. The rest of the configuration is the same as that of the information carrier 20a according to the first embodiment, and a description thereof will be omitted to avoid duplication. The information carrier 20c of the present example has the same effects as the information carrier 20a according to the first embodiment, and also has a small number of parts, so that the cost of the information carrier can be further reduced.

【0045】第4実施形態例に係る情報担体20dは、
図13に示すように、上部材22と下部材24との2部
材をもって基体21を構成し、下部材24にIC素子1
を収納するための第1凹部30とブースタコイル28を
収納するための第2凹部29を形成したことを特徴とす
る。その他の構成については、前記第3実施例に係る情
報担体20cと同じであるので、重複を避けるために説
明を省略する。本例の情報担体20cは、第2実施形態
例に係る情報担体20bと同様の効果を有するほか、部
品点数が少ないことから、情報担体のより一層の低コス
ト化を図ることができる。
The information carrier 20d according to the fourth embodiment is
As shown in FIG. 13, the base 21 is composed of two members, an upper member 22 and a lower member 24, and the IC element 1 is attached to the lower member 24.
And a second concave portion 29 for storing the booster coil 28 is formed. The other configuration is the same as that of the information carrier 20c according to the third embodiment, and the description is omitted to avoid duplication. The information carrier 20c of the present example has the same effects as the information carrier 20b according to the second embodiment, and also has a smaller number of parts, so that the cost of the information carrier can be further reduced.

【0046】第5実施形態例に係る情報担体20eは、
図14に示すように、IC素子収納用の透孔27が開設
された上部材22と当該透孔27を有しない下部材24
との2部材をもって基体21を構成し、上部材22と下
部材24とを接合することによって形成される凹部内に
IC素子1を収納し、当該凹部内をポッティング樹脂3
1で封止したことを特徴とする。その他の構成について
は、前記第1実施例に係る情報担体20aと同じである
ので、重複を避けるために説明を省略する。本例の情報
担体20eは、IC素子1が基体をもって被覆されない
点を除いて、第1実施形態例に係る情報担体20aと同
様の効果を有する。
The information carrier 20e according to the fifth embodiment comprises:
As shown in FIG. 14, an upper member 22 having a through hole 27 for accommodating an IC element and a lower member 24 having no through hole 27 are provided.
The IC element 1 is accommodated in a concave portion formed by joining the upper member 22 and the lower member 24 to each other.
1 is sealed. The rest of the configuration is the same as that of the information carrier 20a according to the first embodiment, and a description thereof will be omitted to avoid duplication. The information carrier 20e of this example has the same effect as the information carrier 20a according to the first embodiment, except that the IC element 1 is not covered with the base.

【0047】第6実施形態例に係る情報担体20fは、
図15に示すように、IC素子収納用の透孔27が開設
されると共に当該透孔27の周囲にブースタコイル収納
用の凹部29が同心に形成された上部材22と、前記透
孔27及び凹部29を有しない下部材24との2部材を
もって基体21を構成し、前記凹部29内にブースタコ
イル28を収納して当該凹部29内をポッティング樹脂
31で封止すると共に、上部材22と下部材24とを接
合することによって形成される凹部内にIC素子1を収
納して当該凹部内をポッティング樹脂31で封止したこ
とを特徴とする。その他の構成については、前記第5実
施例に係る情報担体20eと同じであるので、重複を避
けるために説明を省略する。本例の情報担体20fは、
IC素子1が基体をもって被覆されない点を除いて、第
1実施形態例に係る情報担体20aと同様の効果を有す
る。
The information carrier 20f according to the sixth embodiment comprises:
As shown in FIG. 15, a through hole 27 for accommodating an IC element is opened, and a concave portion 29 for accommodating a booster coil is formed concentrically around the through hole 27; The base member 21 is composed of two members, the lower member 24 having no concave portion 29, the booster coil 28 is housed in the concave portion 29, the concave portion 29 is sealed with a potting resin 31, and the upper member 22 and the lower The IC element 1 is housed in a recess formed by joining the member 24, and the inside of the recess is sealed with a potting resin 31. The other configuration is the same as that of the information carrier 20e according to the fifth embodiment, and the description is omitted to avoid duplication. The information carrier 20f of the present example includes:
Except that the IC element 1 is not covered with the base, the same effect as that of the information carrier 20a according to the first embodiment is obtained.

【0048】第7実施形態例に係る情報担体20gは、
図16に示すように、片面にIC素子1を収納するため
の凹部30が形成された1部材をもって基体21を構成
し、前記凹部30内にIC素子1を収納して当該凹部3
0内をポッティング樹脂31で封止したことを特徴とす
る。その他の構成については、前記第5実施例に係る情
報担体20eと同じであるので、重複を避けるために説
明を省略する。本例の情報担体20gは、第5実施形態
例に係る情報担体20eと同様の効果を有するほか、部
品点数が少ないことから、情報担体のより一層の低コス
ト化を図ることができる。
The information carrier 20g according to the seventh embodiment is
As shown in FIG. 16, the base 21 is constituted by one member having a concave portion 30 for accommodating the IC element 1 on one side, and the IC element 1 is accommodated in the concave portion 30 and the concave portion 3 is formed.
0 is sealed with a potting resin 31. The other configuration is the same as that of the information carrier 20e according to the fifth embodiment, and the description is omitted to avoid duplication. The information carrier 20g of the present example has the same effects as the information carrier 20e according to the fifth embodiment, and also has a smaller number of parts, so that the cost of the information carrier can be further reduced.

【0049】第8実施形態例に係る情報担体20hは、
図17に示すように、片面にIC素子1を収納するため
の第1凹部30とブースタコイル28を収納するための
第2凹部29が形成された1部材をもって基体21を構
成し、前記第1凹部30内にIC素子1を収納して当該
凹部30内をポッティング樹脂31で封止すると共に、
前記第2凹部29内にブースタコイル28を収納して当
該凹部29内をポッティング樹脂31で封止したことを
特徴とする。その他の構成については、前記第7実施例
に係る情報担体20gと同じであるので、重複を避ける
ために説明を省略する。本例の情報担体20hは、第6
実施形態例に係る情報担体20fと同様の効果を有する
ほか、部品点数が少ないことから、情報担体のより一層
の低コスト化を図ることができる。
The information carrier 20h according to the eighth embodiment is
As shown in FIG. 17, the base 21 is constituted by one member in which a first recess 30 for housing the IC element 1 and a second recess 29 for housing the booster coil 28 are formed on one surface. While accommodating the IC element 1 in the concave portion 30 and sealing the concave portion 30 with the potting resin 31,
The booster coil 28 is housed in the second recess 29 and the inside of the recess 29 is sealed with a potting resin 31. The other configuration is the same as that of the information carrier 20g according to the seventh embodiment, and the description is omitted to avoid duplication. The information carrier 20h of this example is the sixth type.
In addition to having the same effect as the information carrier 20f according to the embodiment, since the number of parts is small, the cost of the information carrier can be further reduced.

【0050】なお、前記各実施形態例においては、基体
21の平面形状を円形に形成したが、その他、正方形、
長方形、三角形又は多角形など、任意の形状に形成する
ことができる。
In each of the above embodiments, the planar shape of the base 21 is circular.
It can be formed in any shape such as a rectangle, a triangle or a polygon.

【0051】また、前記第2、第4、第6及び第8実施
形態例に係る情報担体においては、独立の別体に形成さ
れたブースタコイル28を凹部又は透孔内に設置した
が、かかる構成に代えて、基体21を構成するいずれか
の部材に、例えば印刷、メッキ或いはスパッタ等の手段
によってブースタコイル28を直接形成することも可能
である。
Further, in the information carrier according to the second, fourth, sixth and eighth embodiments, the booster coil 28 formed as an independent and separate body is installed in the recess or through hole. Instead of the configuration, the booster coil 28 can be directly formed on any member constituting the base 21 by means of, for example, printing, plating, or sputtering.

【0052】さらに、前記ブースタコイル28は、アン
テナコイルと主に電磁結合する第1コイルとリーダライ
タに備えられた非接触通信用のコイルと主に電磁結合す
る第2コイルとからなり、前記第2コイルの直径が前記
第1コイルの直径よりも大きく、かつこれら第1及び第
2コイルが直列に接続されたものから構成することもで
きる。
Further, the booster coil 28 comprises a first coil mainly electromagnetically coupled to the antenna coil and a second coil mainly electromagnetically coupled to a non-contact communication coil provided in the reader / writer. The diameter of the two coils may be larger than the diameter of the first coil, and the first and second coils may be connected in series.

【0053】〈情報担体の製造方法〉次に、本発明に係
る情報担体製造方法の実施形態例を、図18乃至図22
に基づいて説明する。図18は本発明に係る情報担体の
製造に使用される帯状素材の第1例を示す部分斜視図、
図19は帯状素材の第2例を示す部分斜視図、図20は
帯状素材の第3例を示す部分斜視図、図21は帯状素材
の第4例を示す部分斜視図、図22は帯状素材の第5例
を示す部分斜視図である。
<Method of Manufacturing Information Carrier> Next, an embodiment of an information carrier manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIGS.
It will be described based on. FIG. 18 is a partial perspective view showing a first example of a belt-shaped material used for manufacturing an information carrier according to the present invention,
19 is a partial perspective view showing a second example of the band-shaped material, FIG. 20 is a partial perspective view showing a third example of the band-shaped material, FIG. 21 is a partial perspective view showing a fourth example of the band-shaped material, and FIG. It is a partial perspective view which shows the 5th example of.

【0054】本発明の情報担体製造方法は、帯状に形成
された1つの基体構成用の素材(帯状素材)にIC素子
1を含む所要の搭載部品を設定し、次いで、必要に応じ
て、当該帯状素材の片面又は両面に他の帯状素材を接合
するか搭載部品のポッティングを行い、しかる後に、単
体の若しくは接合された帯状素材から所要の情報担体を
打ち抜き形成することを特徴とする。本発明に係る情報
担体製造方法の実施には、図18に示すようにIC素子
1を収納するための透孔27が一定間隔で開設された帯
状素材41、図19に示すようにIC素子1を収納する
ための透孔27が一定間隔で開設されると共に各透孔2
7の周囲にブースタコイル28を収納するためのリング
状の凹部29が同心に形成され、当該リング状の凹部2
9の底面に接着剤層32が塗布された帯状素材42、図
20に示すようにIC素子1を収納するための凹部30
が一定間隔で開設され、当該凹部30の底面に接着剤層
32が塗布された帯状素材43、図21に示すようにI
C素子1を収納するための第1凹部30が一定間隔で開
設されると共に各第1凹部30の周囲にブースタコイル
28を収納するためのリング状の第2凹部29が同心に
形成され、これら各凹部29,30の底面に接着剤層3
2が塗布された帯状素材44、図22に示すように透孔
や凹部を有さず片面に接着剤層25が均一に塗布帯状素
材45が選択的に用いられる。
According to the method for manufacturing an information carrier of the present invention, required mounting parts including the IC element 1 are set on a material (band material) for forming one base formed in a belt shape, and then, if necessary, It is characterized in that another band-shaped material is bonded to one or both sides of the band-shaped material, or a mounted component is potted, and thereafter, a required information carrier is punched out of a single or bonded band-shaped material. The method for manufacturing an information carrier according to the present invention includes a strip-shaped material 41 in which through holes 27 for accommodating the IC element 1 are opened at regular intervals as shown in FIG. 18, and an IC element 1 as shown in FIG. Holes 27 for accommodating the through holes 2 are formed at regular intervals and each of the through holes 2
7, a ring-shaped recess 29 for accommodating the booster coil 28 is formed concentrically, and the ring-shaped recess 2 is formed.
9, a band-shaped material 42 on which an adhesive layer 32 is applied, and a recess 30 for accommodating the IC element 1 as shown in FIG.
Are formed at regular intervals, and a band-shaped material 43 in which the adhesive layer 32 is applied to the bottom surface of the concave portion 30, as shown in FIG.
First concave portions 30 for accommodating the C element 1 are formed at regular intervals, and a ring-shaped second concave portion 29 for accommodating the booster coil 28 is formed concentrically around each first concave portion 30. An adhesive layer 3 is provided on the bottom of each of the recesses 29 and 30.
22, a band-shaped material 45 having no adhesive holes or depressions on one side without a hole or a concave portion is selectively used as shown in FIG.

【0055】本発明に係る情報担体製造方法の第1例
は、第1実施形態例に係る情報担体20aを製造するた
めのものであって、図18に示した1枚の帯状素材41
と図22に示した2枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材41の片面に接着剤層25を介して帯
状素材45を接合し、IC素子1を収納可能な空間を有
する帯状部材41,45の接合体を得る。次いで、前記
空間内にIC素子1を位置決めして収納し、接着剤層2
5を介して帯状素材45に接着する。次いで、帯状素材
41の他面側にもう1枚の帯状素材45を接着剤層25
を介して接合し、内部空間内にIC素子1が収納された
帯状部材41,45の接合体を得る。最後に、この接合
体を所定の形状に切断して、第1実施形態例に係る情報
担体20aを得る。本例の情報担体製造方法は、帯状素
材41,45に多数のIC素子1をケーシングし、しか
る後にこの帯状素材41,45から所要の情報担体を打
ち抜き形成するので、同一の情報担体を高能率に製造す
ることができ、情報担体の製造コストを低減することが
できる。
The first example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20a according to the first embodiment, and a single strip 41 shown in FIG.
And the two band-shaped materials 45 shown in FIG. Then, first, the band-shaped material 45 is joined to one surface of the band-shaped material 41 via the adhesive layer 25 to obtain a joined body of the band-shaped members 41 and 45 having a space in which the IC element 1 can be stored. Next, the IC element 1 is positioned and stored in the space, and the adhesive layer 2
5 and adhere to the belt-shaped material 45. Next, another belt-shaped material 45 is placed on the other surface of the belt-shaped material 41 with the adhesive layer 25.
To obtain a joined body of the band-shaped members 41 and 45 in which the IC element 1 is housed in the internal space. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape to obtain the information carrier 20a according to the first embodiment. In the information carrier manufacturing method of this example, a large number of IC elements 1 are casingd on the strip-shaped materials 41 and 45, and then the required information carriers are punched out of the strip-shaped materials 41 and 45. And the cost of manufacturing the information carrier can be reduced.

【0056】本発明に係る情報担体製造方法の第2例
は、第2実施形態例に係る情報担体20bを製造するた
めのものであって、図19に示した1枚の帯状素材42
と図22に示した2枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材42に形成されたリング状の凹部29
内にブースタコイル28を収納し、接着剤層32を介し
て当該凹部29の底面に接着する。次いで、帯状素材4
2の片面に接着剤層25を介して帯状素材45を接合
し、IC素子1を収納可能な空間を有する帯状部材4
2,45の接合体を得る。次いで、前記空間内にIC素
子1を位置決めして収納し、接着剤層25を介して帯状
素材45に接着する。次いで、帯状素材41の他面側に
もう1枚の帯状素材45を接着剤層25を介して接合
し、内部空間内にIC素子1が収納された帯状部材4
2,45の接合体を得る。最後に、この接合体を所定の
形状に切断して、第2実施形態例に係る情報担体20b
を得る。本例の情報担体製造方法も、第1実施形態例に
係る情報担体製造方法と同様の効果を有する。
The second example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20b according to the second embodiment, and a single strip-shaped material 42 shown in FIG.
And the two band-shaped materials 45 shown in FIG. Then, first, the ring-shaped concave portion 29 formed in the belt-shaped material 42 is formed.
The booster coil 28 is housed therein and adhered to the bottom surface of the concave portion 29 via the adhesive layer 32. Next, the strip material 4
The band-shaped member 45 having a space in which the IC element 1 can be accommodated by bonding a band-shaped material 45 to one surface of
2,45 conjugates are obtained. Next, the IC element 1 is positioned and stored in the space, and is adhered to the belt-shaped material 45 via the adhesive layer 25. Next, another band-shaped material 45 is bonded to the other surface side of the band-shaped material 41 via the adhesive layer 25, and the band-shaped member 4 in which the IC element 1 is stored in the internal space.
2,45 conjugates are obtained. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape, and the information carrier 20b according to the second embodiment is cut.
Get. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0057】本発明に係る情報担体製造方法の第3例
は、第3実施形態例に係る情報担体20cを製造するた
めのものであって、図20に示した1枚の帯状素材43
と図22に示した1枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材43に形成された凹部30内にIC素
子1を位置決めして収納し、接着剤層32を介して当該
凹部30の底面に接着する。次いで、帯状素材43の凹
部形成面側に帯状素材45を接着剤層25を介して接合
し、内部空間内にIC素子1が収納された帯状部材4
3,45の接合体を得る。最後に、この接合体を所定の
形状に切断して、第3実施形態例に係る情報担体20c
を得る。本例の情報担体製造方法も、第1実施形態例に
係る情報担体製造方法と同様の効果を有する。
The third example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20c according to the third embodiment, and comprises a single band-like material 43 shown in FIG.
And one strip-shaped material 45 shown in FIG. Then, first, the IC element 1 is positioned and stored in the concave portion 30 formed in the band-shaped material 43, and is adhered to the bottom surface of the concave portion 30 via the adhesive layer 32. Next, the band-shaped material 45 is bonded to the side of the recess-formed surface of the band-shaped material 43 via the adhesive layer 25, and the band-shaped member 4 in which the IC element 1 is stored in the internal space.
3,45 conjugates are obtained. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape, and the information carrier 20c according to the third embodiment is cut.
Get. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0058】本発明に係る情報担体製造方法の第4例
は、第4実施形態例に係る情報担体20dを製造するた
めのものであって、図21に示した1枚の帯状素材44
と図22に示した1枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材44に形成された第1凹部30内にI
C素子1を位置決めして収納し、接着剤層32を介して
当該凹部30の底面に接着すると共に、当該帯状素材4
4に形成されたリング状の第2凹部29内にブースタコ
イル28を収納し、接着剤層32を介して当該凹部29
の底面に接着する。次いで、帯状素材44の凹部形成面
側に帯状素材45を接着剤層25を介して接合し、内部
空間内にIC素子1が収納された帯状部材44,45の
接合体を得る。最後に、この接合体を所定の形状に切断
して、第3実施形態例に係る情報担体20cを得る。本
例の情報担体製造方法も、第1実施形態例に係る情報担
体製造方法と同様の効果を有する。
The fourth example of the information carrier manufacturing method according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20d according to the fourth embodiment, and includes a single band-like material 44 shown in FIG.
And one strip-shaped material 45 shown in FIG. Then, first, I is inserted into the first concave portion 30 formed in the belt-shaped material 44.
The C element 1 is positioned and stored, adhered to the bottom surface of the concave portion 30 via an adhesive layer 32, and
The booster coil 28 is housed in the ring-shaped second concave portion 29 formed in
Adhere to the bottom of Next, the band-shaped material 45 is bonded to the concave portion forming surface side of the band-shaped material 44 via the adhesive layer 25 to obtain a bonded body of the band-shaped members 44 and 45 in which the IC elements 1 are accommodated in the internal space. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape to obtain the information carrier 20c according to the third embodiment. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0059】本発明に係る情報担体製造方法の第5例
は、第5実施形態例に係る情報担体20eを製造するた
めのものであって、図18に示した1枚の帯状素材41
と図22に示した1枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材41の片面に接着剤層25を介して帯
状素材45を接合し、IC素子1を収納可能な空間を有
する帯状部材41,45の接合体を得る。次いで、前記
空間内にIC素子1を位置決めして収納し、接着剤層2
5を介して帯状素材45に接着する。次いで、前記IC
素子1が収納された空間内にポッティング樹脂31を充
填し、IC素子1が設定された帯状部材41,45の接
合体を得る。最後に、この接合体を所定の形状に切断し
て、第5実施形態例に係る情報担体20eを得る。本例
の情報担体製造方法も、第1実施形態例に係る情報担体
製造方法と同様の効果を有する。
The fifth example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20e according to the fifth embodiment, and a single strip 41 shown in FIG.
And one strip-shaped material 45 shown in FIG. Then, first, the band-shaped material 45 is joined to one surface of the band-shaped material 41 via the adhesive layer 25 to obtain a joined body of the band-shaped members 41 and 45 having a space in which the IC element 1 can be stored. Next, the IC element 1 is positioned and stored in the space, and the adhesive layer 2
5 and adhere to the belt-shaped material 45. Then, the IC
The space in which the element 1 is stored is filled with the potting resin 31 to obtain a joined body of the belt-shaped members 41 and 45 on which the IC element 1 is set. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape to obtain the information carrier 20e according to the fifth embodiment. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0060】本発明に係る情報担体製造方法の第6例
は、第6実施形態例に係る情報担体20fを製造するた
めのものであって、図19に示した1枚の帯状素材42
と図22に示した1枚の帯状素材45を用いる。そし
て、まず帯状素材42に形成されたリング状の凹部29
内にブースタコイル28を収納し、接着剤層32を介し
て当該凹部29の底面に接着する。次いで、帯状素材4
2の片面に帯状素材45を接着剤層25を介して接合
し、IC素子1を収納可能な空間を有する帯状部材4
2,45の接合体を得る。次いで、前記空間内にIC素
子1を位置決めして収納し、接着剤層25を介して帯状
素材45に接着する。次いで、前記ブースタコイル28
が収納された凹部29内と前記IC素子1が収納された
空間内にポッティング樹脂31を充填し、IC素子1及
びブースタコイル28が設定された帯状部材42,45
の接合体を得る。最後に、この接合体を所定の形状に切
断して、第6実施形態例に係る情報担体20fを得る。
本例の情報担体製造方法も、第1実施形態例に係る情報
担体製造方法と同様の効果を有する。
The sixth example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20f according to the sixth embodiment, and comprises a single strip material 42 shown in FIG.
And one strip-shaped material 45 shown in FIG. Then, first, the ring-shaped concave portion 29 formed in the belt-shaped material 42 is formed.
The booster coil 28 is housed therein and adhered to the bottom surface of the concave portion 29 via the adhesive layer 32. Next, the strip material 4
2, a band-shaped material 45 is bonded to one surface of the band-shaped material via an adhesive layer 25, and the band-shaped member 4 having a space in which the IC element 1 can be stored.
2,45 conjugates are obtained. Next, the IC element 1 is positioned and stored in the space, and is adhered to the belt-shaped material 45 via the adhesive layer 25. Next, the booster coil 28
The potting resin 31 is filled in the recess 29 in which the IC element 1 is stored and the space in which the IC element 1 is stored, and the band-shaped members 42 and 45 in which the IC element 1 and the booster coil 28 are set.
To obtain a conjugate. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape to obtain an information carrier 20f according to the sixth embodiment.
The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0061】本発明に係る情報担体製造方法の第7例
は、第7実施形態例に係る情報担体20gを製造するた
めのものであって、図20に示した1枚の帯状素材43
を用いる。そして、まず帯状素材43に形成された凹部
30内にIC素子1を位置決めして収納し、接着剤層3
2を介して当該凹部30の底面に接着する。次いで、前
記IC素子1が収納された凹部30内にポッティング樹
脂31を充填し、IC素子1が設定された帯状部材43
を得る。最後に、この帯状部材43を所定の形状に切断
して、第7実施形態例に係る情報担体20gを得る。本
例の情報担体製造方法も、第1実施形態例に係る情報担
体製造方法と同様の効果を有する。
The seventh example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20g according to the seventh embodiment, and a single strip 43 shown in FIG.
Is used. Then, first, the IC element 1 is positioned and stored in the concave portion 30 formed in the band-shaped material 43, and the adhesive layer 3 is formed.
2 and adhere to the bottom surface of the concave portion 30. Next, the potting resin 31 is filled in the recess 30 in which the IC element 1 is stored, and the belt-shaped member 43 on which the IC element 1 is set.
Get. Finally, the band-shaped member 43 is cut into a predetermined shape to obtain the information carrier 20g according to the seventh embodiment. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0062】本発明に係る情報担体製造方法の第8例
は、第8実施形態例に係る情報担体20hを製造するた
めのものであって、図21に示した1枚の帯状素材44
を用いる。そして、まず帯状素材44に形成された第1
凹部30内にIC素子1を位置決めして収納し、接着剤
層32を介して当該凹部30の底面に接着すると共に、
当該帯状素材44に形成されたリング状の第2凹部29
内にブースタコイル28を収納し、接着剤層32を介し
て当該凹部29の底面に接着する。次いで、前記IC素
子1が収納された第1凹部30内及び前記ブースタコイ
ル28が収納された第2凹部29内にポッティング樹脂
31を充填し、IC素子1及びブースタコイル28が設
定された帯状部材43を得る。最後に、この接合体を所
定の形状に切断して、第8実施形態例に係る情報担体2
0hを得る。本例の情報担体製造方法も、第1実施形態
例に係る情報担体製造方法と同様の効果を有する。
The eighth example of the method for manufacturing an information carrier according to the present invention is for manufacturing the information carrier 20h according to the eighth embodiment, and comprises a single band-like material 44 shown in FIG.
Is used. And, first, the first
The IC element 1 is positioned and accommodated in the concave portion 30 and adhered to the bottom surface of the concave portion 30 via the adhesive layer 32.
The ring-shaped second concave portion 29 formed in the band-shaped material 44
The booster coil 28 is housed therein and adhered to the bottom surface of the concave portion 29 via the adhesive layer 32. Next, a potting resin 31 is filled in the first concave portion 30 in which the IC element 1 is stored and in the second concave portion 29 in which the booster coil 28 is stored, and a band-shaped member in which the IC element 1 and the booster coil 28 are set. 43 is obtained. Finally, the joined body is cut into a predetermined shape, and the information carrier 2 according to the eighth embodiment is cut.
Obtain 0h. The information carrier manufacturing method of this example also has the same effect as the information carrier manufacturing method according to the first embodiment.

【0063】なお、前記第2,第4,第6,第8実施形
態例においては、ブースタコイル28を基体21と独立
の別体に形成したが、基体21を構成するいずれかの帯
状部材に印刷形成することもできる。
In the above-described second, fourth, sixth, and eighth embodiments, the booster coil 28 is formed separately from the base 21. It can also be formed by printing.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のIC素子
は、IC素子と一体に形成されるアンテナコイルの導体
を金属スパッタ層又は金属蒸着層と金属めっき層とを有
する多層構造にしたので、当該導体を単に金属スパッタ
層のみ又は金属蒸着層のみから構成した場合に比べて電
磁エネルギの損失を小さくすることができ、リーダライ
タからの受給電力の安定化、リーダライタとの間の通信
の安定化、及びリーダライタとの間の通信距離の拡大を
図ることができる。
As described above, in the IC element of the present invention, the conductor of the antenna coil formed integrally with the IC element has a multilayer structure having a metal sputtering layer or a metal deposition layer and a metal plating layer. This makes it possible to reduce the loss of electromagnetic energy as compared with the case where the conductor is simply composed of only the metal sputtered layer or only the metal deposited layer, stabilize the power received from the reader / writer, and improve the communication between the reader / writer. Stabilization and an increase in communication distance with a reader / writer can be achieved.

【0065】本発明のIC素子製造方法は、個々のIC
素子にアンテナコイルを形成するのではなく、完成ウエ
ハに個々のIC素子に応じた多数のアンテナコイルを同
時に形成するので、アンテナコイルが一体形成されたI
C素子を高能率に製造することができ、この種のIC素
子の低コスト化を図ることができると共に、アンテナコ
イルの基になる金属スパッタ層、金属蒸着層及び金属め
っき層の厚みを均一化津高精度に形成することができる
ので、通信特性のばらつきが小さいIC素子を得ること
ができる。
The method of manufacturing an IC element according to the present invention
Instead of forming an antenna coil on the element, a large number of antenna coils corresponding to individual IC elements are formed on the completed wafer at the same time.
The C element can be manufactured with high efficiency, the cost of this type of IC element can be reduced, and the thickness of the metal sputtered layer, metal deposited layer and metal plated layer, which are the base of the antenna coil, is made uniform. Since it can be formed with high precision, it is possible to obtain an IC element having a small variation in communication characteristics.

【0066】本発明の情報担体は、コイルが一体形成さ
れたIC素子を基体の平面方向の中心部に配置したの
で、IC素子に一体形成されたコイルとリーダライタに
備えられたアンテナコイルの中心を容易に合致させるこ
とができ、両コイル間の電磁結合係数を大きくすること
ができるので、リーダライタから情報担体への電力の供
給及びリーダライタと情報担体との間の信号の送受信を
安定化できる。
In the information carrier of the present invention, since the IC element having the coil formed integrally is disposed at the center of the base in the plane direction, the center of the coil formed integrally with the IC element and the center of the antenna coil provided in the reader / writer are provided. Can be easily matched, and the electromagnetic coupling coefficient between both coils can be increased, so that the power supply from the reader / writer to the information carrier and the transmission and reception of signals between the reader / writer and the information carrier are stabilized. it can.

【0067】本発明の情報担体製造方法は、帯状素材に
IC素子を含む所要の搭載部品が搭載されたものを作製
し、しかる後にこの帯状素材から所要の情報担体を打ち
抜き形成するようにしたので、同一の情報担体を高能率
に製造することができ、IC素子を備えた情報担体の製
造コストを低減することができる。
According to the method of manufacturing an information carrier of the present invention, a belt-like material is prepared by mounting a required mounting component including an IC element, and then the required information carrier is punched out of the belt-like material. In addition, the same information carrier can be manufactured with high efficiency, and the manufacturing cost of an information carrier having an IC element can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態例に係るIC素子の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an IC element according to an embodiment.

【図2】実施形態例に係るIC素子の要部断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the IC element according to the embodiment.

【図3】完成ウエハの平面図である。FIG. 3 is a plan view of a completed wafer.

【図4】本発明に係るIC素子製造方法の第1例を示す
工程図である。
FIG. 4 is a process chart showing a first example of an IC element manufacturing method according to the present invention.

【図5】本発明に係るIC素子製造方法の第2例を示す
工程図である。
FIG. 5 is a process chart showing a second example of the method for manufacturing an IC element according to the present invention.

【図6】アンテナコイルを含む所要の導電パターンが形
成された完成ウエハの平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a completed wafer on which required conductive patterns including an antenna coil are formed.

【図7】第1実施形態例に係る情報担体の一部切断した
平面図である。
FIG. 7 is a partially cut-away plan view of the information carrier according to the first embodiment.

【図8】第1実施形態例に係る情報担体の分解斜視図で
ある。
FIG. 8 is an exploded perspective view of the information carrier according to the first embodiment.

【図9】第1実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 9 is a sectional view of the information carrier according to the first embodiment.

【図10】第1実施形態例に係る情報担体の使用状態の
説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of a use state of the information carrier according to the first embodiment.

【図11】第2実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 11 is a sectional view of an information carrier according to a second embodiment.

【図12】図第3実施形態例に係る情報担体の断面図で
ある。
FIG. 12 is a sectional view of an information carrier according to the third embodiment.

【図13】第4実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 13 is a sectional view of an information carrier according to a fourth embodiment.

【図14】第5実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 14 is a sectional view of an information carrier according to a fifth embodiment.

【図15】第6実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 15 is a sectional view of an information carrier according to a sixth embodiment.

【図16】第7実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 16 is a sectional view of an information carrier according to a seventh embodiment.

【図17】第8実施形態例に係る情報担体の断面図であ
る。
FIG. 17 is a sectional view of an information carrier according to an eighth embodiment.

【図18】帯状素材の第1例を示す部分斜視図である。FIG. 18 is a partial perspective view showing a first example of a belt-shaped material.

【図19】帯状素材の第2例を示す部分斜視図である。FIG. 19 is a partial perspective view showing a second example of the belt-shaped material.

【図20】帯状素材の第3例を示す部分斜視図である。FIG. 20 is a partial perspective view showing a third example of the belt-shaped material.

【図21】帯状素材の第4例を示す部分斜視図である。FIG. 21 is a partial perspective view showing a fourth example of the belt-shaped material.

【図22】帯状素材の第5例を示す部分斜視図である。FIG. 22 is a partial perspective view showing a fifth example of the belt-shaped material.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 IC素子 2 表面保護膜 3 アンテナコイル 4 回路形成部 5 透孔 6 金属スパッタ層又は金属蒸着層 7 金属めっき層 11 完成ウエハ 12 フォトレジスト層 13 マスク 14 所定波長の光 15 電極部 16 リード部 20a〜20h 情報担体 21 基体 22 上部材 23 中間部材 24 下部材 25 接着剤層 27 透孔 28 ブースタコイル 29 凹部 41〜45 帯状素材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 IC element 2 Surface protective film 3 Antenna coil 4 Circuit formation part 5 Through-hole 6 Metal sputter layer or metal evaporation layer 7 Metal plating layer 11 Complete wafer 12 Photoresist layer 13 Mask 14 Light of predetermined wavelength 15 Electrode part 16 Lead part 20a ~ 20h Information carrier 21 Base 22 Upper member 23 Intermediate member 24 Lower member 25 Adhesive layer 27 Through hole 28 Booster coil 29 Depression 41-45 Strip material

Claims (27)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 アンテナコイルが一体形成されたIC素
子において、前記アンテナコイルを構成する導体を、金
属スパッタ層又は金属蒸着層と金属めっき層とを有する
多層構造にしたことを特徴とするIC素子。
1. An IC element in which an antenna coil is integrally formed, wherein the conductor forming the antenna coil has a multilayer structure having a metal sputtering layer or a metal deposition layer and a metal plating layer. .
【請求項2】 請求項1に記載のIC素子において、前
記金属スパッタ層又は金属蒸着層をアルミニウム、ニッ
ケル、銅及びクロムから選択される金属又はこれらの金
属群から選択される2種以上の金属の合金で形成し、前
記金属スパッタ層又は金属蒸着層の上に前記金属めっき
を銅で形成したことを特徴とするIC素子。
2. The IC element according to claim 1, wherein the metal sputtered layer or the metal deposited layer is made of a metal selected from aluminum, nickel, copper and chromium, or two or more metals selected from the group consisting of these metals. An IC element formed of an alloy of the above, wherein the metal plating is formed of copper on the metal sputtered layer or the metal deposited layer.
【請求項3】 請求項1に記載のIC素子において、絶
縁性の表面保護膜を介して前記IC素子の入出力端子形
成面側に前記アンテナコイルを形成し、前記IC素子の
入出力端子と前記アンテナコイルとを、前記表面保護膜
に開設された前記アンテナコイルの線幅よりも小径の透
孔を介して電気的に接続したことを特徴とするIC素
子。
3. The IC element according to claim 1, wherein the antenna coil is formed on an input / output terminal formation surface side of the IC element via an insulating surface protection film, and the input / output terminal of the IC element is connected to the antenna coil. An IC element, wherein said antenna coil is electrically connected to said antenna coil through a through hole having a diameter smaller than a line width of said antenna coil formed in said surface protection film.
【請求項4】 請求項1に記載のIC素子において、前
記アンテナコイルの平面形状を矩形スパイラル形状と
し、角部の全部又は一部に面取りを施したことを特徴と
するIC素子。
4. The IC element according to claim 1, wherein a planar shape of the antenna coil is a rectangular spiral shape, and all or a part of a corner is chamfered.
【請求項5】 請求項1に記載のIC素子において、前
記金属めっき層を、無電解めっき法又は電気めっき法若
しくは精密電鋳法により形成したことを特徴とするIC
素子。
5. The IC device according to claim 1, wherein said metal plating layer is formed by electroless plating, electroplating or precision electroforming.
element.
【請求項6】 請求項1に記載のIC素子において、前
記アンテナコイルの線幅を7μm以上、線間距離を5μ
m以下、巻数を20ターン以上としたことを特徴とする
IC素子。
6. The IC element according to claim 1, wherein the antenna coil has a line width of 7 μm or more and a line distance of 5 μm.
m, and the number of turns is 20 turns or more.
【請求項7】 所定のプロセスを経て作製された完成ウ
エハの表面保護膜上に金属スパッタ層又は金属蒸着層を
均一に形成する工程と、当該金属スパッタ層又は金属蒸
着層上にフォトレジスト層を均一に形成する工程と、前
記フォトレジスト層にアンテナコイルを含む所要のパタ
ーンを露光・現像することで前記金属スパッタ層又は金
属蒸着層を前記所定のパターンで露出させる工程と、前
記金属スパッタ層又は金属蒸着層の露出部分に無電解め
っき法又は電気めっき法若しくは精密電鋳法を用いて金
属めっき層を積層する工程と、前記完成ウエハに付着し
たフォトレジスト層を除去する工程と、前記金属めっき
層より露出した前記金属スパッタ層又は金属蒸着層を選
択的にエッチングし、前記所定のパターンに相当する所
定の導電パターンを形成する工程と、前記完成ウエハを
スクライビングしてアンテナコイルが一体形成された所
要のIC素子を得る工程とを含むことを特徴とするIC
素子の製造方法。
7. A step of uniformly forming a metal sputtered layer or a metal deposited layer on a surface protective film of a completed wafer manufactured through a predetermined process, and forming a photoresist layer on the metal sputtered layer or the metal deposited layer. Forming a uniform pattern, exposing and developing a predetermined pattern including an antenna coil on the photoresist layer to expose the metal sputter layer or the metal deposition layer in the predetermined pattern; and Laminating a metal plating layer on the exposed portion of the metal deposition layer using electroless plating or electroplating or precision electroforming; removing the photoresist layer attached to the completed wafer; Selectively etching the metal sputtered layer or the metal deposited layer exposed from the layer, and forming a predetermined conductive pattern corresponding to the predetermined pattern. Forming an integrated circuit and obtaining a required IC element integrally formed with an antenna coil by scribing the completed wafer.
Device manufacturing method.
【請求項8】 所定のプロセスを経て作製された完成ウ
エハの表面保護膜上にフォトレジスト層を均一に形成す
る工程と、前記フォトレジスト層にアンテナコイルを含
む所要のパターンを露光・現像することで前記表面保護
膜を前記所定のパターンで露出させる工程と、現像処理
後の完成ウエハをスパッタ装置又は真空蒸着装置に装着
し、前記表面保護膜の露出部分に金属スパッタ層又は金
属蒸着層を形成する工程と、前記完成ウエハに付着した
フォトレジスト層を除去する工程と、前記金属スパッタ
層又は金属蒸着層に無電解めっき法又は電気めっき法を
用いて金属めっき層を積層する工程と、前記完成ウエハ
をスクライビングしてアンテナコイルが一体形成された
所要のIC素子を得る工程とを含むことを特徴とするI
C素子の製造方法。
8. A step of uniformly forming a photoresist layer on a surface protective film of a completed wafer manufactured through a predetermined process, and exposing and developing a required pattern including an antenna coil in the photoresist layer. A step of exposing the surface protective film in the predetermined pattern, and mounting the completed wafer after the development process on a sputtering device or a vacuum vapor deposition device to form a metal sputter layer or a metal vapor deposited layer on the exposed portion of the surface protective film. Performing a step of removing a photoresist layer attached to the completed wafer; a step of laminating a metal plating layer on the metal sputtering layer or the metal deposition layer using an electroless plating method or an electroplating method; Scribing a wafer to obtain a required IC element integrally formed with an antenna coil.
Method for manufacturing C element.
【請求項9】 アンテナコイルが一体形成されたIC素
子を基体に搭載してなる情報担体において、前記IC素
子を前記基体の平面方向の中心部に配置したことを特徴
とする情報担体。
9. An information carrier in which an IC element integrally formed with an antenna coil is mounted on a base, wherein the IC element is arranged at the center of the base in the planar direction.
【請求項10】 請求項9に記載の情報担体において、
前記IC素子の表裏両面側を前記基体にて覆ったことを
特徴とする情報担体。
10. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, wherein both sides of the IC element are covered with the base.
【請求項11】 請求項9に記載の情報担体において、
前記IC素子の片面側のみを前記基体にて覆ったことを
特徴とする情報担体。
11. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, wherein only one side of the IC element is covered with the base.
【請求項12】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体の平面形状を、円形又は正方形に形成したこと
を特徴とする情報担体。
12. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, wherein the planar shape of the base is circular or square.
【請求項13】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体の全部又は一部を紙にて形成したことを特徴と
する情報担体。
13. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, wherein all or a part of the base is formed of paper.
【請求項14】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体を上部材と下部材と中間部材とからなる3層の
貼り合わせ構造とし、前記中間部材の中央部に開設され
た透孔内に前記IC素子を収納したことを特徴とする情
報担体。
14. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, characterized in that the base has a three-layer bonding structure consisting of an upper member, a lower member, and an intermediate member, and the IC element is housed in a through hole formed in the center of the intermediate member.
【請求項15】 請求項14に記載の情報担体におい
て、前記透孔の平面形状を円形にしたことを特徴とする
情報担体。
15. The information carrier according to claim 14, wherein the through hole has a circular planar shape.
【請求項16】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体を上部材と下部材とからなる2層の貼り合わせ
構造とし、前記上部材又は下部材の中央部に形成された
凹部内に前記IC素子を収納したことを特徴とする情報
担体。
16. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, characterized in that the substrate has a two-layer bonding structure composed of an upper member and a lower member, and the IC element is housed in a concave portion formed in the center of the upper member or the lower member.
【請求項17】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体を単層構造とし、前記基体の中央部に形成され
た凹部内に前記IC素子を収納したことを特徴とする情
報担体。
17. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, wherein the base has a single-layer structure, and the IC element is accommodated in a concave portion formed in a central portion of the base.
【請求項18】 請求項16又は請求項17に記載の情
報担体において、前記凹部の平面形状を円形にしたこと
を特徴とする情報担体。
18. The information carrier according to claim 16, wherein the recess has a circular planar shape.
【請求項19】 請求項9に記載の情報担体において、
前記基体内に、前記IC素子と独立の別体に形成された
他のコイルを備えたことを特徴とする情報担体。
19. The information carrier according to claim 9, wherein
An information carrier, comprising another coil formed separately from the IC element in the base.
【請求項20】 IC素子を挿入可能な多数の透孔が規
則的に開設された第1帯状素材と透孔を有しない第2帯
状素材とを接合する工程と、アンテナコイルが一体形成
されたIC素子を前記透孔内に収納して固定する工程
と、前記第1帯状素材と透孔を有しない第3帯状素材と
を接合する工程と、接合された前記第1乃至第3の帯状
素材を一体に打ち抜いて前記IC素子を有する所要の情
報担体を得る工程とを含むことを特徴とする情報担体の
製造方法。
20. A step of joining a first strip-shaped material having a large number of through-holes into which IC elements can be inserted regularly and a second strip-shaped material having no through-holes, and an antenna coil integrally formed. A step of accommodating and fixing the IC element in the through-hole, a step of joining the first strip-shaped material and a third strip-shaped material having no through-hole, and the joined first to third strip-shaped materials. And obtaining a required information carrier having said IC element by integrally punching said IC element.
【請求項21】 IC素子を挿入可能な多数の透孔が規
則的に開設され、かつ、当該各透孔の周囲にリング状の
凹部が同心円状に形成された第1帯状素材の前記凹部内
に前記IC素子とは独立の別体に形成されたコイルを収
納して固定する工程と、前記第1帯状素材の片面に透孔
を有しない第2帯状素材を接合する工程と、アンテナコ
イルが一体形成されたIC素子を前記透孔内に収納して
固定する工程と、前記第1帯状素材と透孔を有しない第
3帯状素材とを接合する工程と、接合された前記第1乃
至第3の帯状素材を一体に打ち抜いて前記IC素子及び
当該IC素子とは独立の別体に形成されたコイルを有す
る所要の情報担体を得る工程とを含むことを特徴とする
情報担体の製造方法。
21. A plurality of through-holes into which IC elements can be inserted are regularly opened, and a ring-shaped recess is formed concentrically around each of the through-holes. A step of housing and fixing a coil formed separately from the IC element, a step of joining a second band-shaped material having no through-hole on one surface of the first band-shaped material, A step of accommodating and fixing the integrated IC element in the through hole, a step of joining the first strip material and a third strip material having no through hole, and 3. A method of manufacturing an information carrier, the method comprising: obtaining a required information carrier having the IC element and a coil formed separately from the IC element by integrally punching the strip-shaped material.
【請求項22】 IC素子を挿入可能な多数の凹部が規
則的に形成された第1帯状素材の前記凹部内にアンテナ
コイルが一体形成されたIC素子を収納して固定する工
程と、前記第1帯状素材の凹部形成面側に透孔を有しな
い第2帯状素材を接合する工程と、接合された前記第1
及び第2の帯状素材を一体に打ち抜いて前記IC素子を
有する所要の情報担体を得る工程とを含むことを特徴と
する情報担体の製造方法。
22. A step of accommodating and fixing an IC element having an antenna coil integrally formed therein in the first strip-shaped material in which a plurality of recesses into which IC elements can be inserted are regularly formed; A step of joining a second belt-shaped material having no through-hole on the side of the recess-formed surface of the first belt-shaped material;
And a step of integrally punching the second strip material to obtain a required information carrier having the IC element.
【請求項23】 IC素子を挿入可能な多数の第1凹部
が規則的に形成され、かつ、当該各第1凹部の周囲にリ
ング状の第2凹部が同心円状に形成された第1帯状素材
の前記第1凹部内にアンテナコイルが一体形成されたI
C素子を収納して固定する工程と、前記第1帯状素材の
第2凹部内に前記IC素子とは独立の別体に形成された
コイルを収納して固定する工程と、前記第1帯状素材の
凹部形成面側に透孔を有しない第2帯状素材を接合する
工程と、接合された前記第1及び第2の帯状素材を一体
に打ち抜いて前記IC素子及び当該IC素子とは独立の
別体に形成されたコイルを有する所要の情報担体を得る
工程とを含むことを特徴とする情報担体の製造方法。
23. A first strip-shaped material in which a number of first recesses into which IC elements can be inserted are formed regularly, and a ring-shaped second recess is formed concentrically around each of the first recesses. Wherein the antenna coil is integrally formed in the first recessed portion.
Accommodating and fixing the C element, accommodating and fixing a coil formed separately from the IC element in a second recess of the first belt-shaped material, Joining a second strip material having no through-hole on the side of the concave portion, and punching the joined first and second strip materials together to separate the IC element and the IC element from each other. Obtaining a required information carrier having a coil formed in the body.
【請求項24】 IC素子を挿入可能な多数の透孔が規
則的に開設された第1帯状素材と透孔を有しない第2帯
状素材とを接合する工程と、アンテナコイルが一体形成
されたIC素子を前記透孔内に収納して固定する工程
と、前記IC素子が収納された前記透孔を樹脂封止する
工程と、接合された前記第1及び第2の帯状素材を一体
に打ち抜いて前記IC素子を有する所要の情報担体を得
る工程とを含むことを特徴とする情報担体の製造方法。
24. A step of joining a first band-shaped material having a large number of through holes into which IC elements can be inserted regularly and a second band-shaped material having no through holes, and an antenna coil integrally formed. A step of accommodating and fixing the IC element in the through-hole, a step of resin-sealing the through-hole in which the IC element is accommodated, and punching out the joined first and second strip-shaped materials integrally Obtaining a required information carrier having the IC element by the method.
【請求項25】 IC素子を挿入可能な多数の透孔が規
則的に開設され、かつ、当該各透孔の周囲にリング状の
凹部が同心円状に形成された第1帯状素材の前記凹部内
に前記IC素子とは独立の別体に形成されたコイルを収
納して固定する工程と、前記第1帯状素材と透孔を有し
ない第2帯状素材とを接合する工程と、アンテナコイル
が一体形成されたIC素子を前記透孔内に収納して固定
する工程と、前記コイルが収納された凹部及び前記IC
素子が収納された透孔を樹脂封止する工程と、接合され
た前記第1及び第2の帯状素材を一体に打ち抜いて前記
IC素子及び当該IC素子とは独立の別体に形成された
コイルを有する所要の情報担体を得る工程とを含むこと
を特徴とする情報担体の製造方法。
25. A plurality of through holes into which IC elements can be inserted are regularly opened, and a ring-shaped recess is formed concentrically around each of the through holes. A step of housing and fixing a coil formed separately from the IC element, a step of joining the first strip material and a second strip material having no through-hole, A step of accommodating the formed IC element in the through-hole and fixing the same;
A step of resin-sealing the through-hole in which the element is housed, and a coil formed separately from the IC element and the IC element by punching out the joined first and second band-shaped materials integrally. Obtaining a required information carrier having the following formula:
【請求項26】 IC素子を挿入可能な多数の凹部が規
則的に形成された帯状素材の前記凹部内にアンテナコイ
ルが一体形成されたIC素子を収納して固定する工程
と、前記IC素子が収納された前記凹部を樹脂封止する
工程と、前記帯状素材を打ち抜いて前記IC素子を有す
る所要の情報担体を得る工程とを含むことを特徴とする
情報担体の製造方法。
26. A step of accommodating and fixing an IC element having an antenna coil integrally formed in said concave part of a band-shaped material in which a large number of concave parts into which IC elements can be inserted are formed regularly; A method for manufacturing an information carrier, comprising: a step of resin-sealing the accommodated concave portion; and a step of punching the strip-shaped material to obtain a required information carrier having the IC element.
【請求項27】 IC素子を挿入可能な多数の第1凹部
が規則的に形成され、かつ、当該各第1凹部の周囲にリ
ング状の第2凹部が同心円状に形成された帯状素材の前
記第1凹部内にアンテナコイルが一体形成されたIC素
子を収納して固定する工程と、前記帯状部材の第2凹部
内に前記IC素子とは独立の別体に形成されたコイルを
収納して固定する工程と、前記第1及び第2の凹部を樹
脂封止する工程と、前記帯状素材を打ち抜いて前記IC
素子及び当該IC素子とは独立の別体に形成されたコイ
ルを有する所要の情報担体を得る工程とを含むことを特
徴とする情報担体の製造方法。
27. A strip-shaped material in which a large number of first recesses into which IC elements can be inserted are formed regularly, and a ring-shaped second recess is formed concentrically around each of the first recesses. A step of housing and fixing an IC element having an antenna coil integrally formed in a first recess, and a step of housing a coil formed separately from the IC element in a second recess of the band-shaped member. Fixing the resin, sealing the first and second recesses with a resin, and punching the band-shaped material to form the IC.
Obtaining a required information carrier having a coil formed separately from the element and the IC element.
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