JP2000296347A - Method for recovering diamond particle - Google Patents
Method for recovering diamond particleInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する分野】本発明は、精密研磨用の砥粒懸濁
液の廃液や研磨シート又は研磨テープの廃材からダイヤ
モンド粒子を回収する方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for recovering diamond particles from a waste liquid of an abrasive suspension for precision polishing or a waste material of a polishing sheet or a polishing tape.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】磁気デ
ィスク用の基板の鏡面研磨やテクスチャ加工、磁気ヘッ
ドの研磨、等の精密研磨には、遊離砥粒研磨法や固定砥
粒研磨法が応用されている。2. Description of the Related Art Free abrasive polishing and fixed abrasive polishing are applied to precision polishing such as mirror polishing or texturing of a substrate for a magnetic disk, polishing of a magnetic head, and the like. Have been.
【０００３】遊離砥粒研磨法は、砥粒懸濁液を被研磨物
表面に供給しつつ、この被研磨物表面に研磨布を押し付
けて擦る研磨法である。また、固定砥粒研磨法は、被研
磨物表面に研磨シート又は研磨テープを押し付けて擦る
研磨法である。The free abrasive polishing method is a polishing method in which an abrasive suspension is supplied to the surface of the object to be polished while a polishing cloth is pressed against the surface of the object to be polished. Further, the fixed abrasive polishing method is a polishing method in which a polishing sheet or a polishing tape is pressed against the surface of an object to be polished and rubbed.
【０００４】遊離砥粒研磨法に使用される砥粒懸濁液
は、砥粒としてアルミナ、炭化珪素、ダイヤモンド、等
の粒子をグリコール酸、等の砥粒分散剤を添加した水溶
液中に分散させたものであり、精密研磨に使用した後
は、廃液として廃棄されている。The abrasive suspension used in the free abrasive polishing method is obtained by dispersing particles such as alumina, silicon carbide, and diamond as abrasive particles in an aqueous solution containing an abrasive dispersant such as glycolic acid. After being used for precision polishing, it is discarded as a waste liquid.
【０００５】また、固定砥粒研磨法に使用される研磨シ
ート又は研磨テープは、砥粒として上記した粒子をポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、等のバインダーで固
定した研磨層をポリエステル、ポリプロピレン、等のプ
ラスチックフィルム表面に形成したものをテープ状又は
その他の形状に適宜切断したものであり、このように切
断したものの残り、不良品又は不要となったもの、又は
精密研磨に使用してしまったものは、廃材として廃棄さ
れている。A polishing sheet or a polishing tape used in the fixed abrasive polishing method comprises a polishing layer in which the above-mentioned particles are fixed as abrasive particles with a binder such as a polyester resin or a polyurethane resin, and a polishing layer such as polyester or polypropylene. What was formed on the film surface was cut into a tape or other shape as appropriate, the rest of such cut, defective or unnecessary, or those used for precision polishing, Discarded as waste material.
【０００６】このように、非常に高価なダイヤモンド粒
子を含有している砥粒懸濁液の廃液やダイヤモンド粒子
を固定した研磨シート又は研磨テープの廃材は廃棄され
ているのが現状であり、砥粒懸濁液や研磨シート又は研
磨テープの製造コスト削減のため、ダイヤモンド粒子の
回収及び再利用が望まれている。As described above, the waste liquid of the abrasive suspension containing very expensive diamond particles and the waste material of the polishing sheet or the polishing tape to which the diamond particles are fixed are currently discarded. In order to reduce the production cost of a grain suspension, a polishing sheet or a polishing tape, it is desired to collect and reuse diamond particles.
【０００７】特開平１１−１２５６２号には、砥粒懸濁
液の廃液からダイヤモンド粒子を含んだ固形分を分離、
濃縮し、この固形分を水洗、酸洗してダイヤモンド粒子
を回収する方法が開示されている。しかし、この従来の
方法では、ダイヤモンド粒子に付着した砥粒分散剤が完
全に除去されない、という問題があり、このように砥粒
分散剤を付着したダイヤモンド粒子を含んだ固形分を水
洗すると、ダイヤモンド粒子が水中に長時間分散したま
まの状態にあり、その回収に時間と労力がかかる。ま
た、回収したダイヤモンド粒子を再利用して砥粒懸濁液
や研磨シート又は研磨テープを製造する際、ダイヤモン
ド粒子が砥粒懸濁液中に均一に分散されない、という分
散異常を引き起こす原因となる。このため、ダイヤモン
ド粒子の再利用の前に、ダイヤモンド粒子に付着した砥
粒分散剤を除去しなければならず、このような砥粒分散
剤の除去に手間とコストがかかる。[0007] Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-12562 discloses that a solid containing diamond particles is separated from a waste liquid of an abrasive suspension.
A method of concentrating, washing the solid content with water and pickling to collect diamond particles is disclosed. However, with this conventional method, there is a problem that the abrasive dispersant attached to the diamond particles is not completely removed. The particles remain dispersed in the water for a long time, and their recovery takes time and effort. In addition, when manufacturing the abrasive grain suspension or the polishing sheet or the polishing tape by recycling the collected diamond particles, the diamond particles are not uniformly dispersed in the abrasive grain suspension, causing a dispersion abnormality. . Therefore, before the diamond particles are reused, the abrasive dispersant attached to the diamond particles must be removed, and it takes time and cost to remove such abrasive dispersants.
【０００８】したがって、本発明の課題は、ダイヤモン
ド粒子を含有している砥粒懸濁液の廃液やダイヤモンド
粒子を固定した研磨シート又は研磨テープの廃材から不
純物の付着のない高純度のダイヤモンド粒子を回収でき
る方法を提供することである。Accordingly, an object of the present invention is to provide high-purity diamond particles free of impurities from waste liquid of an abrasive suspension containing diamond particles or a waste of a polishing sheet or a polishing tape on which diamond particles are fixed. It is to provide a method that can be collected.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、ダイヤモンド
粒子を含有している砥粒懸濁液の廃液、又はダイヤモン
ド粒子を固定した研磨シート又は研磨テープの廃材、か
らダイヤモンド粒子を回収する方法である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method for recovering diamond particles from a waste liquid of an abrasive suspension containing diamond particles or a waste of a polishing sheet or a polishing tape having diamond particles fixed thereon. is there.
【００１０】上記課題を解決する本発明のダイヤモンド
粒子回収方法は、ダイヤモンド粒子と砥粒分散剤とを含
有している砥粒懸濁液の廃液を、強酸に金属酸塩を溶解
した強酸性の液で処理した後に、弱酸性の液で処理する
ことを特徴とする。廃液に含有される砥粒分散剤成分
は、強酸性の液での処理により除去され、廃液に含有さ
れる金属成分（研磨クズ）は、弱酸性の液での処理によ
り除去される。[0010] In order to solve the above-mentioned problems, the method for recovering diamond particles according to the present invention comprises the steps of: removing a waste liquid of an abrasive suspension containing diamond particles and an abrasive dispersant; After the treatment with the liquid, the treatment is performed with a weakly acidic liquid. The abrasive dispersant component contained in the waste liquid is removed by treatment with a strongly acidic liquid, and the metal component (polishing waste) contained in the waste liquid is removed by treatment with a weakly acidic liquid.
【００１１】また、上記課題を解決する本発明のダイヤ
モンド粒子回収方法は、ダイヤモンド粒子をバインダー
で固定している研磨層をプラスチックフィルム表面に形
成した研磨シート又は研磨テープの廃材を、強酸に金属
酸塩を溶解した強酸性の液で処理した後に、弱酸性の液
で処理することを特徴とする。廃材中に含まれるバイン
ダー成分は、強酸性の液での処理により除去され、廃材
中に含まれる金属成分（研磨クズ）は、弱酸性の液での
処理により除去される。In addition, the method of the present invention for solving the above-mentioned problems is a method for recovering a polishing sheet or a polishing tape in which a polishing layer in which diamond particles are fixed with a binder is formed on the surface of a plastic film, by using a metal acid and a strong acid. After the treatment with a strongly acidic solution in which a salt is dissolved, the treatment is carried out with a weakly acidic solution. The binder component contained in the waste material is removed by treatment with a strongly acidic solution, and the metal component (polished waste) contained in the waste material is removed by treatment with a weakly acidic solution.
【００１２】本発明の方法に使用する強酸は、好適に、
硫酸であり、金属酸塩は、重クロム酸カリウム、又は過
マンガン酸カリウムである。弱酸性の液には、硫酸又は
強酸性の液を水で希釈した水溶液が使用できる。The strong acid used in the process of the present invention is preferably
Sulfuric acid and the metal salt is potassium dichromate or potassium permanganate. As the weakly acidic solution, an aqueous solution obtained by diluting sulfuric acid or a strongly acidic solution with water can be used.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】＜第一の実施の形態＞ 本発明に
従った第一の実施の形態は、ダイヤモンド粒子と砥粒分
散剤とを含有している砥粒懸濁液の廃液からダイヤモン
ド粒子を回収する方法である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION <First Embodiment> A first embodiment according to the present invention is a method for producing diamond from waste liquid of an abrasive suspension containing diamond particles and an abrasive dispersant. This is a method for collecting particles.
【００１４】ダイヤモンド粒子を含有している砥粒懸濁
液は、グリコール酸、等の砥粒分散剤を添加した水溶液
中にダイヤモンド粒子を分散させたものであり、その廃
液には、精密研磨中に被研磨物から削り出された研磨ク
ズ（金属成分）がさらに含まれている。The abrasive suspension containing diamond particles is obtained by dispersing diamond particles in an aqueous solution to which an abrasive dispersant such as glycolic acid has been added. Further contains polishing scraps (metal components) cut out from the object to be polished.
【００１５】このような砥粒懸濁液の廃液からダイヤモ
ンド粒子を回収するため、まず、砥粒懸濁液を、強酸に
金属酸塩を溶解した強酸性の液で処理し、廃液から砥粒
分散剤成分を除去する。In order to recover diamond particles from the waste liquid of such an abrasive suspension, first, the abrasive suspension is treated with a strong acid solution in which a metal salt is dissolved in a strong acid, and the abrasive particles are separated from the waste liquid. Remove the dispersant component.
【００１６】この強酸処理は、廃液に上記の強酸性の液
を直接加えて行えるが、使用する強酸性の液の節約のた
め、砥粒懸濁液の廃液からこの液分の一部又は全部を予
め除去してから強酸性の液を加えて行われ得る。This strong acid treatment can be carried out by directly adding the above-mentioned strongly acidic liquid to the waste liquid. However, in order to save the strongly acidic liquid used, a part or all of this liquid is removed from the waste liquid of the abrasive suspension. May be removed in advance, and then a strongly acidic solution may be added.
【００１７】このような廃液からの液分の除去は、沈降
分離法、遠心分離法、等の既知の固体液体分離法により
行える。また、廃液を加熱してその液分を蒸発させても
よい。The removal of the liquid component from the waste liquid can be performed by a known solid-liquid separation method such as a sedimentation method or a centrifugal method. Further, the waste liquid may be heated to evaporate the liquid.
【００１８】この強酸処理では、強酸に金属酸塩を溶解
した強酸性の液の作用によりダイヤモンド粒子に付着し
た砥粒分散剤成分が完全に除去される。In this strong acid treatment, the abrasive dispersant component adhering to the diamond particles is completely removed by the action of a strongly acidic solution of a metal salt dissolved in a strong acid.
【００１９】強酸には、脱水力の強い硫酸が使用され、
金属酸塩には、重クロム酸カリウム又は過マンガン酸カ
リウムが使用される。As the strong acid, sulfuric acid having a strong dehydrating power is used.
As the metal salt, potassium dichromate or potassium permanganate is used.
【００２０】次に、上記の強酸処理により廃液から砥粒
分散剤成分を除去した強酸処理後液を弱酸性の液で処理
し、この強酸処理後液から金属成分を除去する。Next, the solution after the strong acid treatment, from which the abrasive dispersant component has been removed from the waste solution by the strong acid treatment, is treated with a weakly acidic solution, and the metal component is removed from the solution after the strong acid treatment.
【００２１】この弱酸処理は、強酸処理後液からこの液
分の一部又は全部を予め除去してから弱酸性の液を加え
て行われ得る。また、弱酸処理は、強酸処理後液を希釈
又は一部中和して強酸処理後液を弱酸性の液体にし、上
記の強酸処理に続けて行うことができる。This weak acid treatment can be carried out by removing a part or all of this solution from the solution after the strong acid treatment and then adding a weakly acidic solution. In addition, the weak acid treatment can be performed after the strong acid treatment by diluting or partially neutralizing the solution after the strong acid treatment to make the solution after the strong acid treatment a weakly acidic liquid.
【００２２】強酸処理後液からの液分の除去は、上記の
既知の固体液体分離法により行える。The removal of the liquid component from the solution after the strong acid treatment can be performed by the above-mentioned known solid-liquid separation method.
【００２３】この弱酸処理では、精密研磨中に発生した
研磨クズ（金属成分）が除去される。弱酸性の液には、
上記の強酸処理で使用した強酸性の液を水で希釈した水
溶液が使用できる。In this weak acid treatment, polishing scraps (metal components) generated during precision polishing are removed. For weakly acidic liquids,
An aqueous solution obtained by diluting the strongly acidic liquid used in the above strong acid treatment with water can be used.
【００２４】最後に、上記の弱酸処理後液又はこの弱酸
処理後液から分離した固形分を水洗してダイヤモンド粒
子を回収する。Finally, the above-mentioned solution after the weak acid treatment or the solid separated from the solution after the weak acid treatment is washed with water to collect diamond particles.
【００２５】＜第二の実施の形態＞ 本発明の第二の実
施の形態は、研磨シート又は研磨テープの廃材からダイ
ヤモンド粒子を回収する方法である。<Second Embodiment> A second embodiment of the present invention is a method for recovering diamond particles from a waste material of a polishing sheet or a polishing tape.
【００２６】精密研磨に使用する研磨シート又は研磨テ
ープは、プラスチックフィルム表面に、ダイヤモンド粒
子をバインダーで固定した研磨層を形成したものをテー
プ状又はその他の形状に適宜切断したものであり、この
ように切断したものの残り、不良品又は不要となったも
の、又は精密研磨に使用してしまったものが廃材であ
る。ダイヤモンド粒子は、バインダーを塗布したフィル
ム表面に砥粒を散布付着させ、又はバインダーを含有す
る溶液中に砥粒を分散混入した塗料をフィルム表面に塗
布し乾燥させて、研磨層に固定されている。The polishing sheet or polishing tape used for precision polishing is obtained by forming a polishing layer in which diamond particles are fixed with a binder on the surface of a plastic film, and appropriately cutting it into a tape or other shape. The remaining material that has been cut into pieces, defective or unnecessary, or used for precision polishing is waste material. The diamond particles are fixed to the polishing layer by spraying and attaching abrasive grains to the surface of the film coated with the binder, or by applying a coating obtained by dispersing and mixing the abrasive grains in a solution containing the binder to the film surface and drying, and drying. .
【００２７】このような研磨シート又は研磨テープの廃
材からダイヤモンド粒子を回収するため、まず、この廃
材を金属酸塩を溶解した強酸性の液で処理し、研磨層中
のバインダー成分等の有機物成分を除去する。In order to recover diamond particles from the waste material of such a polishing sheet or polishing tape, the waste material is first treated with a strongly acidic solution in which a metal salt is dissolved, and an organic component such as a binder component in the polishing layer is removed. Is removed.
【００２８】この強酸処理は、研磨シート又は研磨テー
プの廃材に上記の強酸性の液を直接加えて行える。ここ
で、廃材中のプラスチックフィルムは、上記の強酸性の
液に溶かされるが、この強酸性の液の節約のため、廃材
からプラスチックフィルムの一部又は全部を予め除去し
てから上記の強酸性の液を加えて行われ得る。このよう
なプラスチックフィルムの除去は、研磨層の部分とプラ
スチックフィルムとを機械的に分離することによって行
える。これは、好適に、廃材をメチルエチルケトン（Ｍ
ＥＫ）等の有機溶剤中に浸漬した後、研磨層の部分とプ
ラスチックフィルムとを機械的に分離することにより行
われる。This strong acid treatment can be performed by directly adding the above-mentioned strongly acidic liquid to the waste material of the polishing sheet or the polishing tape. Here, the plastic film in the waste material is dissolved in the above-described strongly acidic solution. Can be added. Such removal of the plastic film can be performed by mechanically separating the portion of the polishing layer and the plastic film. This preferably means that the waste material is methyl ethyl ketone (M
After immersion in an organic solvent such as EK), the polishing is performed by mechanically separating the polishing layer and the plastic film.
【００２９】この強酸処理では、強酸性の液の作用によ
りバインダー成分が完全に除去される。また、廃材中に
含まれるプラスチックフィルム成分も上記の強酸性の液
に分解除去される。In the strong acid treatment, the binder component is completely removed by the action of the strongly acidic solution. Further, the plastic film component contained in the waste material is also decomposed and removed into the above-mentioned strongly acidic liquid.
【００３０】強酸には、脱水力の強い硫酸が使用され、
金属酸塩には、重クロム酸カリウム又は過マンガン酸カ
リウムが使用される。As the strong acid, sulfuric acid having a strong dehydrating power is used.
As the metal salt, potassium dichromate or potassium permanganate is used.
【００３１】次に、上記の強酸処理後の液を弱酸性の液
で処理し、この強酸処理後液から金属成分を除去する。Next, the solution after the strong acid treatment is treated with a weakly acidic solution to remove metal components from the solution after the strong acid treatment.
【００３２】この弱酸処理は、上記の強酸処理後の液か
ら液分の一部又は全部を予め除去してから弱酸性の液を
加えて行われ得る。This weak acid treatment can be performed by removing a part or all of the liquid from the solution after the strong acid treatment in advance and then adding a weakly acidic solution.
【００３３】強酸処理後液からの液分の除去は、上記の
既知の固体液体分離法により行える。The removal of the liquid component from the solution after the strong acid treatment can be performed by the above-mentioned known solid-liquid separation method.
【００３４】この弱酸処理では、精密研磨中に発生した
金属成分が除去される。弱酸性の液には、上記の強酸処
理で使用した強酸性の液を水で希釈した水溶液が使用で
きる。In this weak acid treatment, metal components generated during precision polishing are removed. As the weakly acidic liquid, an aqueous solution obtained by diluting the strongly acidic liquid used in the strong acid treatment with water can be used.
【００３５】最後に、弱酸処理後液を水洗してダイヤモ
ンド粒子を回収する。ここで、弱酸処理後液中にダイヤ
モンド粒子以外のプラスチックフィルムやバインダー成
分に由来する不溶解成分があるときは、アルカリ処理に
よりこの不溶解物を溶解してから、水洗処理してダイヤ
モンド粒子を回収する。Finally, the solution after the weak acid treatment is washed with water to collect diamond particles. Here, if there is an insoluble component derived from a plastic film or a binder component other than the diamond particles in the solution after the weak acid treatment, the insoluble material is dissolved by an alkali treatment, and then washed with water to collect the diamond particles. I do.
【００３６】[0036]
【実施例】＜実施例１＞ 本発明に従って、磁気ディス
ク用のアルミニウム基板表面のテクスチャ加工に使用し
た砥粒懸濁液の廃液（１００リットル）からダイヤモン
ド粒子を回収した。砥粒懸濁液は、ダイヤモンド粒子
（約０．２重量％）を水中に分散させたものに砥粒分散
剤としてグリコール酸（１重量％）を添加したものであ
る。EXAMPLES Example 1 According to the present invention, diamond particles were recovered from a waste liquid (100 liters) of an abrasive suspension used for texturing the surface of an aluminum substrate for a magnetic disk. The abrasive suspension is prepared by dispersing diamond particles (about 0.2% by weight) in water and adding glycolic acid (1% by weight) as an abrasive dispersant.
【００３７】まず、遠心分離機により廃液からその固形
分を分離、濃縮した。これにより得られた固形分（２０
０ｇ）に濃硫酸（１００ｇ）を加え、撹拌後８時間静置
し、上澄みを除去した。First, the solid content was separated from the waste liquid by a centrifuge and concentrated. The solid content (20
0 g), concentrated sulfuric acid (100 g) was added, and after stirring, the mixture was allowed to stand for 8 hours, and the supernatant was removed.
【００３８】次に、これにより得られた沈殿物に、クロ
ム酸混液（硫酸に重クロム酸カリウムを溶解したもの）
（硫酸６０重量％、重クロム酸カリウム２．５重量％）
（５０ｇ）を加え、撹拌後５時間静置し、上澄みを除去
した。Next, a chromic acid mixed solution (a solution of potassium dichromate in sulfuric acid) is added to the precipitate thus obtained.
(60% by weight of sulfuric acid, 2.5% by weight of potassium dichromate)
(50 g) was added, and the mixture was stirred and allowed to stand for 5 hours to remove the supernatant.
【００３９】次に、これにより得られた沈殿物に、１０
％希濃硫酸の水溶液（５０ｇ）を加え、撹拌後６時間静
置し、上澄みを除去した。Next, the resulting precipitate was added to 10
Aqueous solution of 50% dilute concentrated sulfuric acid (50 g) was added.
【００４０】最後に、これにより得られた沈殿物に水
（３リットル）を加え、撹拌後３時間静置し、上澄みを
除去する水洗工程を２回繰り返し、これにより得られた
沈殿物を乾燥させてダイヤモンド粒子を回収した。Finally, water (3 liters) was added to the precipitate thus obtained, and the mixture was left to stand for 3 hours after stirring, and the washing step of removing the supernatant was repeated twice, and the precipitate thus obtained was dried. Then, the diamond particles were collected.
【００４１】回収されたダイヤモンド粒子は、１８０ｇ
であった。回収したダイヤモンド粒子の粒度分布は、使
用前の砥粒懸濁液に含有させたダイヤモンド粒子の粒度
分布に一致した。また、回収したダイヤモンド粒子をＸ
線回折法や電子顕微鏡で観察したところ、ダイヤモンド
粒子には不純物の付着がなかった。The recovered diamond particles weigh 180 g.
Met. The particle size distribution of the recovered diamond particles matched the particle size distribution of the diamond particles contained in the abrasive suspension before use. Further, the collected diamond particles are
Observation by a line diffraction method or an electron microscope revealed that no impurities were attached to the diamond particles.
【００４２】＜実施例２＞ 本発明に従って、磁気ディ
スク用のアルミニウム基板表面のテクスチャ加工に使用
した研磨テープの廃材からダイヤモンド粒子を回収し
た。研磨テープは、ポリエステルフィルム表面に、ダイ
ヤモンド粒子をポリエステル樹脂の溶液に分散させた塗
料を塗布し、乾燥させたものである。Example 2 According to the present invention, diamond particles were recovered from the waste material of a polishing tape used for texturing the surface of an aluminum substrate for a magnetic disk. The polishing tape is obtained by applying a paint in which diamond particles are dispersed in a solution of a polyester resin to the surface of a polyester film and drying the paint.
【００４３】まず、テクスチャ加工に使用した研磨テー
プを有機溶剤（ＭＥＫ等）に約１分間浸漬させた後、機
械的に研磨テープから研磨層の部分を分離し、有機溶剤
を除去した。First, the polishing tape used for texture processing was immersed in an organic solvent (MEK or the like) for about 1 minute, and then the polishing layer was mechanically separated from the polishing tape to remove the organic solvent.
【００４４】次に、分離した研磨層の部分（２００ｇ）
に濃硫酸（２００ｇ）を加え、撹拌後８時間静置し、上
澄みを除去した。Next, the portion of the separated polishing layer (200 g)
To the mixture was added concentrated sulfuric acid (200 g).
【００４５】次に、これにより得られた沈殿物に、クロ
ム酸混液（硫酸に重クロム酸カリウムを溶解したもの）
（硫酸６０重量％、重クロム酸カリウム２．５重量％）
（５０ｇ）を加え、撹拌後５時間静置し、上澄みを除去
した。Next, a chromic acid mixed solution (a solution obtained by dissolving potassium dichromate in sulfuric acid) was added to the resulting precipitate.
(60% by weight of sulfuric acid, 2.5% by weight of potassium dichromate)
(50 g) was added, and the mixture was stirred and allowed to stand for 5 hours to remove the supernatant.
【００４６】次に、これにより得られた沈殿物に、１０
％希濃硫酸の水溶液（５０ｇ）を加え、撹拌後６時間静
置し、上澄みを除去した。Next, 10 μm was added to the resulting precipitate.
Aqueous solution of 50% dilute concentrated sulfuric acid (50 g) was added.
【００４７】最後に、これにより得られた沈殿物に水
（３リットル）を加え、撹拌後３時間静置し、上澄みを
除去する水洗工程を２回繰り返し、これにより得られた
沈殿物を乾燥させてダイヤモンド粒子を回収した。Finally, water (3 liters) was added to the resulting precipitate, and the mixture was stirred and allowed to stand for 3 hours. The washing step of removing the supernatant was repeated twice, and the resulting precipitate was dried. Then, the diamond particles were collected.
【００４８】回収されたダイヤモンド粒子は、１５０ｇ
であった。回収したダイヤモンド粒子の粒度分布は、使
用前の砥粒懸濁液に含有させたダイヤモンド粒子の粒度
分布に一致した。また、回収したダイヤモンド粒子をＸ
線回折法や電子顕微鏡で観察したところ、ダイヤモンド
粒子には不純物の付着がなかった。The recovered diamond particles weigh 150 g.
Met. The particle size distribution of the recovered diamond particles matched the particle size distribution of the diamond particles contained in the abrasive suspension before use. Further, the collected diamond particles are
Observation by a line diffraction method or an electron microscope revealed that no impurities were attached to the diamond particles.
【００４９】[0049]
【発明の効果】本発明が以上のように構成されるので、
不純物の付着のない高純度のダイヤモンド粒子を砥粒懸
濁液の廃液や研磨シート又は研磨テープの廃材から回収
できる。そして、回収したダイヤモンド粒子を再利用す
ることにより、砥粒懸濁液や研磨シート又は研磨テープ
の製造コストを削減できる。As the present invention is configured as described above,
High-purity diamond particles free of impurities can be recovered from the waste liquid of the abrasive suspension or the waste material of the polishing sheet or the polishing tape. By reusing the collected diamond particles, the production cost of the abrasive suspension, the polishing sheet or the polishing tape can be reduced.
Claims (3)
る砥粒懸濁液の廃液を、強酸に金属酸塩を溶解した強酸
性の液で処理して砥粒分散剤成分を除去した後に、弱酸
性の液で処理して金属成分を除去すること、を特徴とす
るダイヤモンド粒子回収方法。1. An abrasive slurry suspension containing diamond particles and an abrasive dispersant is treated with a strongly acidic solution of a metal salt dissolved in a strong acid to remove the abrasive dispersant component. A method of removing a metal component by treating with a weakly acidic liquid.
いる研磨層をプラスチックフィルム表面に形成した研磨
シート又は研磨テープの廃材を、強酸に金属酸塩を溶解
した強酸性の液で処理してバインダー成分を除去した後
に、弱酸性の液で処理して金属成分を除去すること、を
特徴とするダイヤモンド粒子回収方法。2. A polishing sheet or polishing tape having a polishing layer in which diamond particles are fixed with a binder formed on the surface of a plastic film is treated with a strongly acidic solution of a metal salt dissolved in a strong acid to form a binder component. And removing the metal component by treating with a weakly acidic solution after removing the diamond component.
クロム酸カリウム又は過マンガン酸カリウムである、請
求項１又は２のダイヤモンド粒子回収方法。3. The method for recovering diamond particles according to claim 1, wherein said strong acid is sulfuric acid, and said metal salt is potassium dichromate or potassium permanganate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11106470A JP2000296347A (en) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | Method for recovering diamond particle |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP11106470A JP2000296347A (en) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | Method for recovering diamond particle |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000296347A true JP2000296347A (en) | 2000-10-24 |
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ID=14434428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11106470A Withdrawn JP2000296347A (en) | 1999-04-14 | 1999-04-14 | Method for recovering diamond particle |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000296347A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010115751A (en) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Showa Denko Kk | Recycling method for aqueous diamond slurry |
| CN103495505A (en) * | 2013-10-10 | 2014-01-08 | 安化县众旺钨业有限公司 | Floatation method of diamonds and application to separation and purification of artificial diamonds from grinding waste materials thereof |
| CN105856073A (en) * | 2016-06-20 | 2016-08-17 | 福建晶安光电有限公司 | Recovery method of sapphire polishing waste liquid |
| CN106829953A (en) * | 2017-02-14 | 2017-06-13 | 北京国瑞升科技股份有限公司 | A kind of diamond recovery and the method for recycling and product |
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-
1999
- 1999-04-14 JP JP11106470A patent/JP2000296347A/en not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010115751A (en) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Showa Denko Kk | Recycling method for aqueous diamond slurry |
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| CN105856073A (en) * | 2016-06-20 | 2016-08-17 | 福建晶安光电有限公司 | Recovery method of sapphire polishing waste liquid |
| CN105856073B (en) * | 2016-06-20 | 2017-08-22 | 福建晶安光电有限公司 | A kind of sapphire polishes the recovery method of waste liquid |
| CN106829953A (en) * | 2017-02-14 | 2017-06-13 | 北京国瑞升科技股份有限公司 | A kind of diamond recovery and the method for recycling and product |
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