JP2000289834A - Object carrier device - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触で物体を搬
送する物体搬送装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object transfer device for transferring an object in a non-contact manner.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、高温超電導バルク体を使用する非
接触搬送装置としては、永久磁石を並べた軌道上をバル
ク体の移動体が動くようにしたものが提案されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a non-contact transfer device using a high-temperature superconducting bulk material, there has been proposed a device in which a moving body of a bulk material moves on a track on which permanent magnets are arranged.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の非接触搬送装置では、高価な永久磁石が軌道の
距離に相当する分だけ必要となり、経済的でない。However, the above-mentioned conventional non-contact transfer device requires expensive permanent magnets corresponding to the distance of the track, which is not economical.
【０００４】また、搬送体の運動をスムーズにするため
には、軌道の長手方向に磁場の均一性を確保する必要が
あった。In order to make the movement of the carrier smooth, it is necessary to ensure the uniformity of the magnetic field in the longitudinal direction of the track.
【０００５】本発明は、上記問題点を除去し、永久磁石
の数は搬送体の個数の分だけで足り、軌道の距離には関
係がなく、かつ、長尺化も極めて容易に低コストで構築
することができる物体搬送装置を提供することを目的と
する。The present invention eliminates the above-mentioned problems, and the number of permanent magnets is sufficient only for the number of carriers, regardless of the distance of the orbit, and the length can be increased very easily at low cost. An object is to provide an object transport device that can be constructed.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕物体搬送装置において、非磁性体からなるガイド
パイプと、このガイドパイプに配置され、駆動される１
次側磁石と、ピン止め効果を有し、前記１次側磁石によ
って吊り下げられる２次側磁石と、この２次側磁石に設
けられる物体搭載装置とを具備するようにしたものであ
る。In order to achieve the above object, the present invention provides: [1] A guide pipe made of a non-magnetic material, and a guide pipe arranged and driven in the guide pipe in an object transport device.
The secondary magnet includes a secondary magnet, a secondary magnet having a pinning effect, suspended by the primary magnet, and an object mounting device provided on the secondary magnet.
【０００７】〔２〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記１次側磁石が永久磁石であり、前記２次側磁
石が高温超電導バルク体である。[2] In the object conveying apparatus according to the above [1], the primary magnet is a permanent magnet, and the secondary magnet is a high-temperature superconducting bulk body.
【０００８】〔３〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記１次側磁石が高温超電導バルク体であり、前
記２次側磁石が永久磁石である。[3] In the object transfer device according to the above [1], the primary magnet is a high-temperature superconducting bulk body, and the secondary magnet is a permanent magnet.
【０００９】〔４〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記１次側磁石は、この１次側磁石に接続される
ワイヤを駆動する機構を具備するようにしたものであ
る。[4] In the object transfer device according to the above [1], the primary magnet is provided with a mechanism for driving a wire connected to the primary magnet.
【００１０】〔５〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記１次側磁石は、前記ガイドパイプを流れる流
体によって駆動するようにしたものである。[5] In the object transfer device according to the above [1], the primary magnet is driven by a fluid flowing through the guide pipe.
【００１１】〔６〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記物体搭載装置はクリーンルーム内にセットさ
れるようにしたものである。[6] In the object transport device according to the above [1], the object mounting device is set in a clean room.
【００１２】〔７〕上記〔１〕記載の物体搬送装置にお
いて、前記ガイドパイプはループ状に形成されるように
したものである。[7] In the object conveying device according to the above [1], the guide pipe is formed in a loop shape.
【００１３】〔８〕物体搬送装置において、駆動される
１次側磁石と、この１次側磁石の下方に配置され、直流
電流が異なった方向に流れる往復導電路を有する長レー
ストラックコイルと、この長レーストラックコイルの下
方に配置され、ピン止め効果を有し、前記１次側磁石に
よって吊り下げ駆動されるとともに、前記長レーストラ
ックコイルにより支持案内される２次側磁石と、この２
次側磁石に設けられる物体搭載装置とを具備するように
したものである。[8] In the object transfer device, a primary magnet to be driven, a long race track coil disposed below the primary magnet and having a reciprocating conductive path through which a direct current flows in different directions; A secondary magnet that is disposed below the long race track coil, has a pinning effect, is driven to be suspended by the primary magnet, and is supported and guided by the long race track coil;
An object mounting device provided on the secondary magnet is provided.
【００１４】[0014]
〔９〕物体搬送装置において、直流電流が
異なった方向に流れる往復導電路を有する長レーストラ
ックコイルと、この長レーストラックコイルの下方に配
置され、ピン止め効果を有し、１次側磁石によって吊り
下げ駆動されるとともに、前記長レーストラックコイル
により支持案内される２次側磁石と、この２次側磁石を
駆動するための機構と、この２次側磁石に設けられる物
体搭載装置とを具備するようにしたものである。[9] In the object transfer device, a long race track coil having a reciprocating conductive path through which a direct current flows in different directions, and disposed below the long race track coil, having a pinning effect and having a primary magnet A secondary magnet that is suspended and driven and supported and guided by the long race track coil, a mechanism for driving the secondary magnet, and an object mounting device provided on the secondary magnet are provided. It is something to do.
【００１５】〔１０〕物体搬送装置において、複数個縦
続配置されるレーストラックコイルと、このレーストラ
ックコイルのオーバーラップ区間でレーストラックコイ
ルの電源の切り換えを行う切換スイッチと、順次切り換
えられるレーストラックコイルの下方に配置され、ピン
止め効果を有し、前記レーストラックコイルによって支
持案内される２次側磁石と、この２次側磁石を駆動する
ための機構と、この２次側磁石に設けられる物体搭載装
置とを具備するようにしたものである。[10] In the object transporting apparatus, a plurality of race track coils arranged in cascade, a changeover switch for changing over a power supply of the racetrack coils in an overlap section of the racetrack coils, and a racetrack coil which is sequentially changed over , Having a pinning effect, supported and guided by the race track coil, a mechanism for driving the secondary magnet, and an object provided on the secondary magnet And a mounting device.
【００１６】〔１１〕物体搬送装置において、支持柱
と、この支持柱を中心としてこの支持柱の頂部から吊り
下げられるとともに、直流電流が異なった方向に流れる
往復導電路を有する２重円形コイルと、この２重円形コ
イルの軸を傾ける手段と、前記２重円形コイルの下部に
設けられるとともに、前記２重円形コイルの軸の傾きに
対応してこの２重円形コイルに案内されながら公転運動
が可能な２次側磁石と、この２次側磁石に設けられる物
体搭載装置とを具備するようにしたものである。[11] In the object transport device, a supporting column and a double circular coil suspended from the top of the supporting column around the supporting column and having a reciprocating conductive path through which a direct current flows in different directions. Means for tilting the axis of the double circular coil; and a revolving motion provided at a lower portion of the double circular coil and guided by the double circular coil in accordance with the tilt of the axis of the double circular coil. It is provided with a possible secondary magnet and an object mounting device provided in the secondary magnet.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１８】図１は本発明の第１実施例を示す物体搬送
装置の模式図である。FIG. 1 is a schematic view of an object transporting apparatus showing a first embodiment of the present invention.
【００１９】この図において、１は非磁性体によって作
られたガイドパイプ、２は１次側磁石としての永久磁
石、３はその永久磁石を移動させるワイヤ、４はそのワ
イヤ３を駆動する駆動プーリーである。In this figure, 1 is a guide pipe made of a non-magnetic material, 2 is a permanent magnet as a primary magnet, 3 is a wire for moving the permanent magnet, and 4 is a drive pulley for driving the wire 3 It is.
【００２０】また、５は後述する液体窒素容器内の液体
窒素により臨界温度以下に冷却して超電導状態にされる
高温超電導バルク体、６は液体窒素容器、７はその液体
窒素容器内に封入される液体窒素、８は搬送すべき物体
（例えば、半導体ウエハ）１０を載置する容器、９はそ
の容器を吊るす紐である。Reference numeral 5 denotes a high-temperature superconducting bulk material which is cooled to a critical temperature or lower by liquid nitrogen in a liquid nitrogen container to be described below to be brought into a superconducting state, 6 is a liquid nitrogen container, and 7 is sealed in the liquid nitrogen container Liquid nitrogen 8 is a container on which an object (for example, a semiconductor wafer) 10 to be transferred is placed, and 9 is a string for hanging the container.
【００２１】このように、１次側磁石である永久磁石２
と共に２次側磁石としての高温超電導バルク体５が構成
され、１セットの搬送単位Ａが構成される。As described above, the permanent magnet 2 as the primary magnet
Together with this, a high-temperature superconducting bulk body 5 as a secondary magnet is configured, and one set of transport units A is configured.
【００２２】そこで、非磁性体によって作られたガイド
パイプ１内には１次側磁石としての永久磁石２が配置さ
れ、この永久磁石２は駆動プーリー４の駆動によりワイ
ヤ３を介して、移動可能である。Therefore, a permanent magnet 2 as a primary magnet is arranged in a guide pipe 1 made of a non-magnetic material, and the permanent magnet 2 can be moved via a wire 3 by driving a driving pulley 4. It is.
【００２３】一方、ガイドパイプ１の外部に、１次側磁
石としての永久磁石２と対向するように、２次側磁石と
しての高温超電導バルク体５を組み合わせるようにし
て、ガイドパイプ１内の１次側磁石としての永久磁石２
を移動させることによって、２次側磁石としての高温超
電導バルク体５及びこの２次側磁石を含む移動物体をガ
イドパイプ１に沿って追随的に移動させることができ
る。On the other hand, a high-temperature superconducting bulk body 5 as a secondary magnet is combined outside the guide pipe 1 so as to face the permanent magnet 2 as a primary magnet. Permanent magnet 2 as secondary magnet
Is moved, the high-temperature superconducting bulk body 5 as a secondary-side magnet and a moving object including the secondary-side magnet can be moved along the guide pipe 1.
【００２４】また、ワイヤ３を介して駆動機構によって
永久磁石２を駆動する代わりに、ガイドパイプ１内に流
体を流して、永久磁石２を移動させるようにしてもよ
い。Further, instead of driving the permanent magnet 2 by a driving mechanism via the wire 3, a fluid may be caused to flow in the guide pipe 1 to move the permanent magnet 2.
【００２５】なお、移動物体としての液体窒素容器６に
は容器８を吊るし、そこに搬送すべき物体（例えば、半
導体ウエハ）１０を搭載することにより、物体１０を搬
送することができる。The object 10 can be transported by suspending the container 8 in the liquid nitrogen container 6 as a moving object and mounting an object (for example, a semiconductor wafer) 10 to be transported there.
【００２６】このように、１次側磁石としての永久磁石
２と対向するように、２次側磁石としての高温超電導バ
ルク体５を組み合わせることにより、磁束のピン止め効
果によって、１次側磁石と２次側磁石の間に一定の距離
（ギャップ）を確保することができ、２次側磁石とガイ
ドパイプ１の接触を一切無くして、物体１０の搬送を行
うことができる。As described above, by combining the high-temperature superconducting bulk member 5 as a secondary magnet so as to face the permanent magnet 2 as a primary magnet, the primary magnet and the high-temperature superconducting magnet are combined by a magnetic flux pinning effect. A certain distance (gap) can be secured between the secondary magnets, and the object 10 can be transported without any contact between the secondary magnets and the guide pipe 1.
【００２７】なお、ピン止め効果を有する磁気浮上装置
自体としては、例えば、特開平７−２１３０８２号公報
に開示されているものがある。As a magnetic levitation device having a pinning effect, there is, for example, one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-213082.
【００２８】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。Next, a second embodiment of the present invention will be described.
【００２９】図２は本発明の第２実施例を示す物体搬送
装置の模式図である。FIG. 2 is a schematic view of an object transfer device according to a second embodiment of the present invention.
【００３０】この実施例では、第１実施例で示した１セ
ットの搬送単位Ａを複数個配置する。つまり、複数個の
搬送単位Ａ1 ，Ａ2 ，Ａ3 …を配置するようにしたもの
である。すなわち、ここでは、長尺のガイドパイプ２１
内に複数個（例えば、３個）の１次側磁石としての永久
磁石２1 ，２2 ，２3 …を配置し、これに対応した２次
側磁石としての高温超電導バルク体５1 ，５2 ，５3 …
をセットし、複数の物体１０1 ，１０2 ，１０3 …の搬
送を可能にしたものである。In this embodiment, a plurality of the transport units A of one set shown in the first embodiment are arranged. That is, a plurality of transport units A 1 , A 2 , A 3 ... Are arranged. That is, here, the long guide pipe 21 is used.
A plurality (for example, three) of permanent magnets 2 1 , 2 2 , 2 3, ... As primary magnets are arranged therein, and high-temperature superconducting bulk members 5 1 , 5 as secondary magnets corresponding thereto are arranged. 2 , 5 3 …
Are set, and a plurality of objects 10 1 , 10 2 , 10 3 ... Can be transported.
【００３１】なお、図２において、６1 ，６2 ，６3 …
は液体窒素容器、７1 ，７2 ，７3…は液体窒素容器内
に封入される液体窒素、８1 ，８2 ，８3 …は搬送物体
（例えば、半導体ウエハ）１０1 ，１０2 ，１０3 …を
載置する容器、９1 ，９2 ，９3 …は容器を吊るす紐で
ある。２２は駆動プーリー、２３はワイヤである。In FIG. 2, 6 1 , 6 2 , 6 3 ...
Are liquid nitrogen containers, 7 1 , 7 2 , 7 3, ... Are liquid nitrogen sealed in the liquid nitrogen container, 8 1 , 8 2 , 8 3, ... Are transfer objects (for example, semiconductor wafers) 10 1 , 10 2 , Containers on which 10 3 are placed, and 9 1 , 9 2 , 9 3 ... are strings for hanging the containers. 22 is a drive pulley and 23 is a wire.
【００３２】このように、第２実施例によれば、所望の
個数の搬送装置を容易に構築することができる。As described above, according to the second embodiment, a desired number of transfer devices can be easily constructed.
【００３３】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。Next, a third embodiment of the present invention will be described.
【００３４】図３は本発明の第３実施例を示す物体搬送
装置の模式図であり、第１実施例と同じ部分には同じ番
号を付してその説明は省略する。FIG. 3 is a schematic view of an object transporting apparatus according to a third embodiment of the present invention. The same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００３５】この実施例では、第１実施例で示したガイ
ドパイプを含む搬送装置Ａを複数個接続して配置する。
つまり、搬送装置Ｉ、搬送装置II、搬送装置III を直列
に配置して、搬送物体１０の複数の処理工程に対応した
搬送装置群を構築するようにしたものである。In this embodiment, a plurality of transfer devices A including the guide pipes shown in the first embodiment are connected and arranged.
That is, the transport device I, the transport device II, and the transport device III are arranged in series, and a transport device group corresponding to a plurality of processing steps of the transport object 10 is constructed.
【００３６】このように、第３実施例によれば、複数の
処理工程に対応した搬送物体の搬送システムを容易に構
築することができる。As described above, according to the third embodiment, it is possible to easily construct a transport system for transport objects corresponding to a plurality of processing steps.
【００３７】次に、本発明の第４実施例について説明す
る。Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
【００３８】図４は本発明の第４実施例を示す物体搬送
装置の模式図である。FIG. 4 is a schematic view of an object transfer device according to a fourth embodiment of the present invention.
【００３９】この図において、３１は非磁性体によって
作られたガイドパイプ、３２はそのガイドパイプ内に配
置される１次側磁石としての高温超電導バルク体、３３
は液体窒素容器、３４はその液体窒素容器内に封入され
る液体窒素である。In this figure, 31 is a guide pipe made of a non-magnetic material, 32 is a high-temperature superconducting bulk body as a primary magnet disposed in the guide pipe, 33
Is a liquid nitrogen container, and 34 is liquid nitrogen sealed in the liquid nitrogen container.
【００４０】また、３５は２次側磁石としての永久磁
石、３６はその永久磁石に吊るされる容器、３７はその
容器を吊るすための紐、３８はその容器に載置される搬
送物体（例えば、半導体ウエハ）であり、これらは、ク
リーンルーム３０内に設けられる。Further, 35 is a permanent magnet as a secondary magnet, 36 is a container suspended from the permanent magnet, 37 is a string for suspending the container, and 38 is a transport object (for example, Semiconductor wafers), which are provided in the clean room 30.
【００４１】本実施例では、非磁性体によって作られた
ガイドパイプ３１内には１次側磁石としての高温超電導
バルク体３２が配置され、この高温超電導バルク体３２
を含む液体窒素容器３３をガイドパイプ３１内に流体を
流すことによって、液体窒素容器３３を移動させるよう
に構成することができる。In this embodiment, a high-temperature superconducting bulk material 32 as a primary magnet is disposed in a guide pipe 31 made of a non-magnetic material.
The liquid nitrogen container 33 can be configured to move by flowing a fluid through the guide pipe 31.
【００４２】なお、流体によらず、第１実施例のよう
に、ワイヤを介して、駆動機構によって駆動するように
してもよい。The driving mechanism may be driven by a driving mechanism via a wire as in the first embodiment, regardless of the fluid.
【００４３】一方、ガイドパイプ３１の外部に、１次側
磁石としての高温超電導バルク体３２と対向するよう
に、２次側磁石としての永久磁石３５を組み合わせるよ
うにして、ガイドパイプ３１内の１次側磁石としての高
温超電導バルク体３２を移動させることによって、２次
側磁石としての永久磁石３５を含む移動物体をガイドパ
イプ３１に沿って追随的に移動させることができる。On the other hand, a permanent magnet 35 as a secondary magnet is combined outside the guide pipe 31 so as to face the high-temperature superconducting bulk body 32 as a primary magnet. By moving the high-temperature superconducting bulk material 32 as the secondary magnet, a moving object including the permanent magnet 35 as the secondary magnet can be moved along the guide pipe 31.
【００４４】また、永久磁石３５には紐３７がかけら
れ、容器３６が釣られており、その容器３６内に搬送す
べき物体（例えば、半導体ウエハ）３８が搭載されて搬
送されるようになっている。Further, a string 37 is hung on the permanent magnet 35, and a container 36 is fished, and an object (for example, a semiconductor wafer) 38 to be transferred is mounted in the container 36 and transferred. ing.
【００４５】このように、１次側磁石としての高温超電
導バルク体３２と対向するように、２次側磁石としての
永久磁石３５を組み合わせることにより、磁束のピン止
め効果によって、１次側磁石と２次側磁石の間に一定の
距離（ギャップ）を確保することができ、２次側磁石と
ガイドパイプの接触を一切無くして、物体の搬送を行う
ことができる。As described above, by combining the permanent magnet 35 as the secondary magnet so as to face the high-temperature superconducting bulk body 32 as the primary magnet, the primary magnet and the permanent magnet 35 are combined by the magnetic flux pinning effect. A fixed distance (gap) can be secured between the secondary magnets, and the object can be transported without any contact between the secondary magnets and the guide pipe.
【００４６】このように、第４実施例によれば、特に、
物体を搬送する２次側磁石としては永久磁石だけでよく
構造が簡単であり、その搬送装置の組立が容易である。As described above, according to the fourth embodiment, in particular,
As the secondary magnet for transporting an object, only a permanent magnet is sufficient and the structure is simple, and the transport device is easy to assemble.
【００４７】この実施例においても、第２実施例及び第
３実施例を容易に適用することができる。Also in this embodiment, the second and third embodiments can be easily applied.
【００４８】さらに、ガイドパイプを気密構造とすれ
ば、ガイドパイプ内の駆動装置、及び１次側磁石とパイ
プ内壁の間等で発生する塵埃をパイプ外部の空間に混入
することもなくなる。つまり、クリーンルーム３０内で
の搬送装置として好適である。Further, if the guide pipe has an airtight structure, dust generated between the drive device in the guide pipe and the space between the primary magnet and the inner wall of the pipe does not enter the space outside the pipe. That is, it is suitable as a transfer device in the clean room 30.
【００４９】次に、本発明の第５実施例について説明す
る。Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
【００５０】図５は本発明の第５実施例を示す物体搬送
装置の模式図である。FIG. 5 is a schematic view of an object transfer device according to a fifth embodiment of the present invention.
【００５１】この実施例においては、可撓性のある材料
によるループ状のガイドパイプ４１を配置して、そのガ
イドパイプ４１内に１次側磁石４２を配置し、その１次
側磁石４２に対応した２次側磁石４３に搬送物体４４を
セットして、ガス封入口４５からガスを封入して、１次
側磁石４２を駆動するようにしたり、或いは、巻き込み
リール４７と繰り出しリール４８を配置して、複数の１
次側磁石４２を駆動するようにしてもよい。なお、４６
はガス排出口である。In this embodiment, a loop-shaped guide pipe 41 made of a flexible material is arranged, and a primary magnet 42 is arranged in the guide pipe 41. The transfer object 44 is set on the secondary magnet 43 and the gas is sealed from the gas inlet 45 to drive the primary magnet 42, or the winding reel 47 and the feeding reel 48 are arranged. And more than one
The secondary magnet 42 may be driven. Note that 46
Is a gas outlet.
【００５２】このように、第５実施例によれば、搬送ル
ートを自在に構築する事が可能である。As described above, according to the fifth embodiment, the transport route can be freely constructed.
【００５３】また、このような方式を採用すれば、搬送
装置の長尺化、搬送体の数の増大にも容易に対応でき
る。By adopting such a method, it is possible to easily cope with an increase in the length of the transport device and an increase in the number of transport bodies.
【００５４】次に、本発明の第６実施例について説明す
る。Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.
【００５５】図６は本発明の第６実施例を示す物体搬送
装置の模式図、図７はその物体搬送装置の平面図であ
る。FIG. 6 is a schematic view of an object transfer device according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view of the object transfer device.
【００５６】これらの図において、５１は駆動可能な１
次側磁石、５３は長レーストラックコイル（あるいは２
本の導体）であり、１次側磁石５１の下方に配置され、
直流電流が異なった方向に流れる往復導電路を有する。
５５はその長レーストラックコイル５３に給電するため
のＤＣ電源、５７は１次側磁石５１によって駆動される
高温超電導バルク体（２次側磁石）である。なお、Ｇは
ギャップである。In these figures, reference numeral 51 denotes a drivable 1
The secondary magnet 53 is a long race track coil (or 2
Conductors), disposed below the primary-side magnet 51,
It has a reciprocating conductive path through which direct current flows in different directions.
Reference numeral 55 denotes a DC power supply for supplying power to the long race track coil 53, and reference numeral 57 denotes a high-temperature superconducting bulk (secondary magnet) driven by the primary magnet 51. G is a gap.
【００５７】このように、１次側磁石５１の移動に追従
して高温超電導バルク体５７が電磁力による非接触支持
状態で駆動される点は、前記実施例と同様であるが、こ
の実施例によれば、長レーストラックコイル５３が磁気
レール（詳細は後述）の働きをして、高温超電導バルク
体５７を支持案内することができる。なお、高温超電導
バルク体５７には物体搭載装置が設けられるが、ここで
は図示していない。As described above, the point that the high-temperature superconducting bulk body 57 is driven in a non-contact support state by the electromagnetic force following the movement of the primary side magnet 51 is the same as in the previous embodiment. According to this, the long race track coil 53 functions as a magnetic rail (details will be described later), and can support and guide the high-temperature superconducting bulk body 57. The high-temperature superconducting bulk body 57 is provided with an object mounting device, but is not shown here.
【００５８】次に、本発明の第７実施例について説明す
る。Next, a seventh embodiment of the present invention will be described.
【００５９】図８は本発明の第７実施例を示す物体搬送
装置の模式斜視図、図９はその物体搬送装置の模式図、
図１０はその物体搬送体の浮上原理の説明図、図１１は
その物体搬送装置の部分平面図である。FIG. 8 is a schematic perspective view of an object transfer device showing a seventh embodiment of the present invention, FIG. 9 is a schematic view of the object transfer device,
FIG. 10 is an explanatory view of the floating principle of the object carrier, and FIG. 11 is a partial plan view of the object carrier.
【００６０】これらの図において、６１は長レーストラ
ックコイルであり、直流電流が異なった方向に流れる往
復導電路を有する。６３はその長レーストラックコイル
に直流を給電するためのＤＣ電源、６５は着磁した高温
超電導バルク体である。In these figures, reference numeral 61 denotes a long race track coil having a reciprocating conductive path through which a direct current flows in different directions. 63 is a DC power supply for supplying a direct current to the long race track coil, and 65 is a magnetized high-temperature superconducting bulk body.
【００６１】また、長レーストラックコイル６１の端部
にはそのコイル６１を上下駆動する装置６６（吊り上
げ、吊り下げ機構）を配置して、そのコイル６１を傾斜
させることによって、高温超電導バルク体６５を駆動さ
せることができる。なお、この駆動機構としては、前記
実施例で示した１次側磁石を設けてこれを移動させるよ
うにしてもよい。又は高温超電導バルク体６５に小型ブ
ロペラ等の推進駆動機構を備えるようにしてもよい。At the end of the long race track coil 61, a device 66 (lifting / suspending mechanism) for driving the coil 61 up and down is arranged. Can be driven. As the driving mechanism, the primary magnet shown in the above embodiment may be provided and moved. Alternatively, a propulsion drive mechanism such as a small propeller may be provided in the high-temperature superconducting bulk body 65.
【００６２】この実施例においては、図１０及び図１１
に示すように、長レーストラックコイル６１の通電電流
により、捕捉磁界Ｈｃを有する高温超電導バルク体６５
に電磁力が働く。この電磁力は高温超電導バルク体６５
を吊り下げる力、及び軌道に対する案内力として作用す
る。In this embodiment, FIGS. 10 and 11
As shown in FIG. 7, the current flowing through the long race track coil 61 causes the high-temperature superconducting bulk
Electromagnetic force works. This electromagnetic force is applied to the high temperature superconducting bulk body 65.
And acts as a guide force for the track.
【００６３】高温超電導バルク体６５の駆動は、上記し
た駆動機構により駆動させることができる。The bulk of the high-temperature superconducting body 65 can be driven by the above-described drive mechanism.
【００６４】例えば、図９に示すように、レーストラッ
クコイル６１を高温超電導ビスマス線材で構成し、間隔
Ｌ1 を１５０ｍｍとし起磁力を６００００ＡＴとした場
合、その下にＬ2 （約１００ｍｍ）の空隙を開けて高温
超電導バルク体（直径４６ｍｍ、厚み１５ｍｍの円板
型）６５を吊り下げられることが分かった。このときの
浮上体の重量は液体窒素容器も含めて約３００ｇとし
た。うち、バルク体の正味重量が１５０ｇである。For example, as shown in FIG. 9, when the race track coil 61 is made of a high-temperature superconducting bismuth wire and the interval L 1 is 150 mm and the magnetomotive force is 60000AT, the gap of L 2 (about 100 mm) is provided below. , And it was found that a high-temperature superconducting bulk body (a disc type having a diameter of 46 mm and a thickness of 15 mm) 65 could be suspended. The weight of the floating body at this time was about 300 g including the liquid nitrogen container. Of these, the net weight of the bulk body is 150 g.
【００６５】このように、第７実施例によれば、バルク
体の浮上は垂直方向、水平方向、ピッチング方向に対し
ても安定で、かつ、コイルの長手方向には自由に（摩擦
無しで）移動することができる。As described above, according to the seventh embodiment, the floating of the bulk body is stable in the vertical direction, the horizontal direction, and the pitching direction, and freely (without friction) in the longitudinal direction of the coil. You can move.
【００６６】また、高温超電導バルク体６５には物体搭
載装置が設けられるが、ここでは図示していない。The high-temperature superconducting bulk body 65 is provided with an object mounting device, which is not shown here.
【００６７】次に、本発明の第８実施例について説明す
る。Next, an eighth embodiment of the present invention will be described.
【００６８】図１２は本発明の第８実施例を示す物体搬
送装置の構成図であり、図１２（ａ）はその物体搬送装
置の平面図、図１２（ｂ）はその物体搬送装置の全体模
式図である。FIG. 12 is a block diagram of an object transporting apparatus showing an eighth embodiment of the present invention. FIG. 12 (a) is a plan view of the object transporting apparatus, and FIG. 12 (b) is an entirety of the object transporting apparatus. It is a schematic diagram.
【００６９】この実施例では、第７実施例のレーストラ
ックコイルを用いた物体搬送装置を縦続接続して、軌道
を延長するようにしたものである。In this embodiment, the trajectory is extended by cascade-connecting the object transfer device using the race track coil of the seventh embodiment.
【００７０】図１２において、７１は第１のレーストラ
ックコイル、７２は第２のレーストラックコイル、７３
は第３のレーストラックコイル、７４は第４のレースト
ラックコイル、７５は第５のレーストラックコイルであ
り、第１のレーストラックコイル７１の終端部７１Ｂと
第２のレーストラックコイル７２の始端部７２Ａと、第
２のレーストラックコイル７２の終端部７２Ｂと第３の
レーストラックコイル７３の始端部７３Ａと、第３のレ
ーストラックコイル７３の終端部７３Ｂと第４のレース
トラックコイル７４の始端部７４Ａと、第４のレースト
ラックコイル７４の終端部７４Ｂと第５のレーストラッ
クコイル７５の始端部７５Ａとはそれぞれ軌道をオーバ
ーラップさせた、オーバーラップ区間を配置する。な
お、７０は着磁した高温超電導バルク体である。In FIG. 12, reference numeral 71 denotes a first race track coil, 72 denotes a second race track coil, and 73 denotes a first race track coil.
Is a third race track coil, 74 is a fourth race track coil, 75 is a fifth race track coil, and the end portion 71B of the first race track coil 71 and the start end of the second race track coil 72 72A, an end portion 72B of the second race track coil 72, a start end portion 73A of the third race track coil 73, an end portion 73B of the third race track coil 73, and a start end portion of the fourth race track coil 74. 74A, the end portion 74B of the fourth race track coil 74 and the start end portion 75A of the fifth race track coil 75 each have an overlap section in which the tracks overlap. Reference numeral 70 denotes a magnetized high-temperature superconducting bulk material.
【００７１】また、高温超電導バルク体の駆動機構とし
ては、第７実施例に示したと同様の駆動機構を用いるこ
とができる。As the driving mechanism for the high-temperature superconducting bulk body, the same driving mechanism as that shown in the seventh embodiment can be used.
【００７２】そして、各レーストラックコイル７１〜７
５にはそれぞれ各直流電源８１〜８５が接続される。ま
た、各直流電源８１〜８５には各スイッチ７６〜８０が
設けられ、各スイッチ７６〜８０は、制御装置８６から
の制御信号により、高温超電導バルク体７０の移動に対
応して開閉される。例えば、直流電源８１のスイッチ７
６がオンとなり、レーストラックコイル７１によって搬
送されてきた高温超電導バルク体７０が第１のレースト
ラックコイル７１の終端部７１Ｂと第２のレーストラッ
クコイル７２の始端部７２Ａとのオーバーラップ区間に
至ると、スイッチ７６がオフとなり、スイッチ７７がオ
ンに切り換わり、第２のレーストラックコイル７２によ
り高温超電導バルク体７０の支持案内が引きつがれてい
く。Then, each of the race track coils 71 to 7
Each of the DC power supplies 5 is connected to a DC power supply 81 to 85. Each of the DC power supplies 81 to 85 is provided with each of switches 76 to 80, and each of the switches 76 to 80 is opened and closed according to the movement of the high-temperature superconducting bulk body 70 by a control signal from the control device 86. For example, the switch 7 of the DC power supply 81
6 is turned on, and the high-temperature superconducting bulk material 70 conveyed by the race track coil 71 reaches an overlapping section between the end portion 71B of the first race track coil 71 and the start end portion 72A of the second race track coil 72. Then, the switch 76 is turned off and the switch 77 is turned on, and the support guide of the high-temperature superconducting bulk body 70 is pulled by the second race track coil 72.
【００７３】このように、第８実施例によれば、レース
トラックコイルを複数個縦続接続して、オーバーラップ
区間でレーストラックコイルの電源の切り換えを行うよ
うにしたので、軌道の長尺化を図ることができる。As described above, according to the eighth embodiment, a plurality of race track coils are connected in cascade, and the power supply of the race track coils is switched in the overlap section. Can be planned.
【００７４】次に、本発明の第９実施例について説明す
る。Next, a ninth embodiment of the present invention will be described.
【００７５】図１３は本発明の第９実施例を示す物体搬
送装置の模式図である。FIG. 13 is a schematic view of an object transfer device according to a ninth embodiment of the present invention.
【００７６】この図において、９１は支持柱、９３は支
持柱９１を中心としてこの支持柱９１の頂部から吊り下
げられるとともに、ＤＣ電流が異なった方向に流れる往
復導電路を有する２重円形コイル、９５は支持柱９１の
頂部から２重円形コイル９３を吊るす吊り下げ部材であ
り、ＤＣ電流の給電路も添設される。９７はＤＣ電源で
あり、導電路９６と給電路が添設される吊り下げ部材９
５とを介してＤＣ電流を２重円形コイル９３へ直流電流
が異なった方向に流れる往復導電路を形成するようにす
る。また、支持柱９１は２重円形コイル９３の軸が傾む
くように傾斜させることができる。９９は２次側磁石
（高温超電導バルク体）であり、２重円形コイル９３の
下部に設けられるとともに、２重円形コイル９３の軸の
傾きに対応してこの２重円形コイル９３に案内されなが
ら駆動される。なお、２次側磁石９９には物体搭載装置
が設けられるが、ここでは図示していない。In this figure, reference numeral 91 denotes a support column; 93, a double circular coil suspended from the top of the support column 91 around the support column 91 and having a reciprocating conductive path through which DC current flows in different directions; Reference numeral 95 denotes a suspension member for suspending the double circular coil 93 from the top of the support column 91, and a DC current supply path is also provided. Reference numeral 97 denotes a DC power supply, and a suspending member 9 to which a conductive path 96 and a power supply path are attached.
5 to form a reciprocating conductive path in which the DC current flows to the double circular coil 93 in different directions. Further, the support column 91 can be inclined so that the axis of the double circular coil 93 is inclined. Reference numeral 99 denotes a secondary-side magnet (high-temperature superconducting bulk material), which is provided below the double circular coil 93 and is guided by the double circular coil 93 in accordance with the inclination of the axis of the double circular coil 93. Driven. The secondary magnet 99 is provided with an object mounting device, but is not shown here.
【００７７】このように、第９実施例によれば、２重円
形コイル９３の軸を傾けることにより、２重円形コイル
９３の間に吊り下げられた２次側磁石（高温超電導バル
ク体）９９を公転運動させることができる。As described above, according to the ninth embodiment, the secondary magnet (high-temperature superconducting bulk material) 99 suspended between the double circular coils 93 by tilting the axis of the double circular coil 93. Can be revolved.
【００７８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but various modifications are possible based on the spirit of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.
【００７９】[0079]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
【００８０】（Ａ）永久磁石は搬送体の個数の分だけ必
要なだけであり、軌道の距離には関係がなく、かつ、長
尺化も極めて容易に物体搬送装置を低コストで構築する
ことができる。(A) The number of permanent magnets is required only for the number of carriers, regardless of the distance of the orbit, and the length of the object can be extremely easily constructed at low cost. Can be.
【００８１】（Ｂ）所望の個数の搬送装置を容易に構築
することができる。(B) A desired number of transfer devices can be easily constructed.
【００８２】（Ｃ）複数の処理工程に対応した搬送物体
の搬送システムを構築することができる。(C) It is possible to construct a transport system for transport objects corresponding to a plurality of processing steps.
【００８３】（Ｄ）物体を搬送する２次側磁石としては
永久磁石だけで構造が簡単であり、その搬送装置の組立
が容易である。(D) As a secondary magnet for carrying an object, only a permanent magnet is used, and the structure is simple, and the assembling of the carrying device is easy.
【００８４】（Ｅ）搬送ルートを自在に構築することが
でき、搬送装置の長尺化、搬送体の増大にも容易に対応
することができる。(E) It is possible to freely construct a transport route, and it is possible to easily cope with an increase in the length of the transport device and an increase in the number of transport bodies.
【００８５】（Ｆ）長レーストラックコイルによる２次
側磁石の案内及び支持（吊り下げ）機能を持たせること
ができる。(F) The function of guiding and supporting (suspending) the secondary magnet by the long race track coil can be provided.
【００８６】（Ｇ）上記（Ｆ）の長レーストラックコイ
ルに駆動用の１次側磁石を組み合わせれば弱い力でもバ
ルク体を駆動させることができる。(G) By combining the long race track coil (F) with a primary magnet for driving, the bulk body can be driven with a weak force.
【００８７】（Ｈ）レーストラックコイルを複数個縦続
接続して、オーバーラップ区間でレーストラックコイル
の電源の切り換えを行うようにしたので、軌道の延長化
を図ることができる。(H) A plurality of race track coils are connected in cascade, and the power of the race track coils is switched in the overlap section, so that the track can be extended.
【００８８】（Ｉ）２重円形コイルの軸の傾斜による公
転運動を可能にした搬送物体の搬送を行うことができ
る。(I) It is possible to convey a conveyed object in which revolving motion is enabled by tilting the axis of the double circular coil.
【図１】本発明の第１実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an object transporting device showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 2 is a schematic view of an object transporting apparatus showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 3 is a schematic view of an object transporting device showing a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第４実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 4 is a schematic view of an object transporting device showing a fourth embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第５実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 5 is a schematic view of an object transporting apparatus according to a fifth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第６実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 6 is a schematic view of an object transporting apparatus showing a sixth embodiment of the present invention.
【図７】本発明の第６実施例を示す物体搬送装置の平面
図である。FIG. 7 is a plan view of an object transfer device according to a sixth embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第７実施例を示す物体搬送装置の模式
斜視図である。FIG. 8 is a schematic perspective view of an object transfer device according to a seventh embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第７実施例を示す物体搬送装置の模式
図である。FIG. 9 is a schematic view of an object transporting apparatus according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第７実施例を示す物体搬送体の浮上
原理の説明図である。FIG. 10 is an explanatory view of a floating principle of an object carrier according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第７実施例を示す物体搬送装置の部
分平面図である。FIG. 11 is a partial plan view of an object transfer device according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第８実施例を示す物体搬送装置の部
分平面図である。FIG. 12 is a partial plan view of an object transfer device according to an eighth embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第９実施例を示す物体搬送装置の模
式図である。FIG. 13 is a schematic view of an object transfer device according to a ninth embodiment of the present invention.
１，３１ ガイドパイプ（非磁性体） ２，２1 ，２2 ，２3 ，３５ 永久磁石 ３，２３ ワイヤ ４，２２ 駆動プーリー ５，５1 ，５2 ，５3 ，３２ 高温超電導バルク体 ６，６1 ，６2 ，６3 ，３３ 液体窒素容器 ７，７1 ，７2 ，７3 ，３４ 液体窒素 ８，８1 ，８2 ，８3 ，３６ 容器 ９，９1 ，９2 ，９3 ，３７ 容器を吊るす紐 １０，１０1 ，１０2 ，１０3 ，３８，４４ 搬送物
体（半導体ウエハ） ２１ 長尺のガイドパイプ ４１ ループ状のガイドパイプ ４２，５１ １次側磁石 ４３，９９ ２次側磁石 ４５ ガス封入口 ４６ ガス排出口 ４７ 巻き込みリール ４８ 繰り出しリール ５３，６１ 長レーストラックコイル ５５，６３，９７ ＤＣ電源 ５７，６５ 高温超電導バルク体（２次側磁石） ７０ 着磁した高温超電導バルク体 ７１ 第１のレーストラックコイル ７１Ｂ 第１のレーストラックコイルの終端部（オー
バーラップ区間） ７２ 第２のレーストラックコイル ７２Ａ 第２のレーストラックコイルの始端部（オー
バーラップ区間） ７２Ｂ 第２のレーストラックコイルの終端部（オー
バーラップ区間） ７３ 第３のレーストラックコイル ７３Ａ 第３のレーストラックコイルの始端部（オー
バーラップ区間） ７３Ｂ 第３のレーストラックコイルの終端部（オー
バーラップ区間） ７４ 第４のレーストラックコイル ７４Ａ 第４のレーストラックコイルの始端部（オー
バーラップ区間） ７４Ｂ 第４のレーストラックコイルの終端部（オー
バーラップ区間） ７５ 第５のレーストラックコイル ７５Ａ 第５のレーストラックコイルの始端部（オー
バーラップ区間） ７６〜８０ スイッチ ８１〜８５ 直流電源 ８６ 制御装置 ９１ 支持柱 ９３ ２重円形コイル ９５ 吊り下げ部材 ９６ 導電路1, 31 guide pipe (non-magnetic) 2,2 1, 2 2, 2 3, 35 permanent magnets 3 and 23 wire 4, 22 drive pulley 5,5 1, 5 2, 5 3, 32 high temperature superconducting bulk 6 , 6 1, 6 2, 6 3, 33 liquid nitrogen container 7,7 1, 7 2, 7 3, 34 liquid nitrogen 8,8 1, 8 2, 8 3, 36 container 9,9 1, 9 2, 9 3 , 37 String for suspending the container 10, 10 1 , 10 2 , 10 3 , 38, 44 Transferred object (semiconductor wafer) 21 Long guide pipe 41 Loop guide pipe 42, 51 Primary magnet 43, 99 2 Secondary magnet 45 Gas filling port 46 Gas exhaust port 47 Entrainment reel 48 Payout reel 53, 61 Long race track coil 55, 63, 97 DC power supply 57, 65 High-temperature superconducting bulk body (secondary magnet) 70 Magnetized high-temperature superconducting Bulk body 71 Of the first race track coil 72B End of the first race track coil (overlap section) 72 Second start of the race track coil 72A (overlap section) 72B End of the second race track coil Part (overlap section) 73 Third race track coil 73A Beginning end of third race track coil (overlap section) 73B End section of third race track coil (overlap section) 74 Fourth race track coil 74A Start end of fourth race track coil (overlap section) 74B End end of fourth race track coil (overlap section) 75 Fifth race track coil 75A Start end of fifth race track coil (overlap) Section) 76-80 Switches 81 to 85 DC power supply 86 Control device 91 Support column 93 Double circular coil 95 Suspended member 96 Conductive path
Claims (11)
からなるガイドパイプと、（ｂ）該ガイドパイプに配置
され、駆動される１次側磁石と、（ｃ）ピン止め効果を
有し、前記１次側磁石によって吊り下げられる２次側磁
石と、（ｄ）該２次側磁石に設けられる物体搭載装置と
を具備することを特徴とする物体搬送装置。1. An object transfer device, comprising: (a) a guide pipe made of a non-magnetic material; (b) a primary magnet disposed and driven on the guide pipe; and (c) having a pinning effect. , A secondary magnet suspended by the primary magnet, and (d) an object mounting device provided on the secondary magnet.
前記１次側磁石が永久磁石であり、前記２次側磁石が高
温超電導バルク体であることを特徴とする物体搬送装
置。2. The object transport device according to claim 1, wherein
The object conveying device, wherein the primary magnet is a permanent magnet, and the secondary magnet is a high-temperature superconducting bulk body.
前記１次側磁石が高温超電導バルク体であり、前記２次
側磁石が永久磁石であることを特徴とする物体搬送装
置。3. The object transfer device according to claim 1, wherein
The object transfer device according to claim 1, wherein the primary magnet is a high-temperature superconducting bulk material, and the secondary magnet is a permanent magnet.
前記１次側磁石は、該１次側磁石に接続されるワイヤを
駆動する機構を具備することを特徴とする物体搬送装
置。4. The object transport device according to claim 1, wherein
The object transport device, wherein the primary magnet includes a mechanism for driving a wire connected to the primary magnet.
前記１次側磁石は、前記ガイドパイプを流れる流体によ
って駆動することを特徴とする物体搬送装置。5. The object transport device according to claim 1, wherein
The object conveying device according to claim 1, wherein the primary magnet is driven by a fluid flowing through the guide pipe.
前記物体搭載装置はクリーンルーム内にセットされるこ
とを特徴とする物体搬送装置。6. The object transport device according to claim 1, wherein
The object transfer device, wherein the object mounting device is set in a clean room.
前記ガイドパイプはループ状に形成されることを特徴と
する物体搬送装置。7. The object transport device according to claim 1, wherein
The object conveyance device, wherein the guide pipe is formed in a loop shape.
る１次側磁石と、（ｂ）該１次側磁石の下方に配置さ
れ、直流電流が異なった方向に流れる往復導電路を有す
る長レーストラックコイルと、（ｃ）該長レーストラッ
クコイルの下方に配置され、ピン止め効果を有し、前記
１次側磁石によって吊り下げ駆動されるとともに、前記
長レーストラックコイルにより支持案内される２次側磁
石と、（ｄ）該２次側磁石に設けられる物体搭載装置と
を具備することを特徴とする物体搬送装置。8. An object conveyance device comprising: (a) a driven primary magnet; and (b) a reciprocating conductive path disposed below the primary magnet and having a direct current flowing in different directions. A race track coil, (c) disposed below the long race track coil, having a pinning effect, driven to be suspended by the primary magnet, and supported and guided by the long race track coil. An object transport device, comprising: a secondary magnet; and (d) an object mounting device provided on the secondary magnet.
が異なった方向に流れる往復導電路を有する長レースト
ラックコイルと、（ｂ）該長レーストラックコイルの下
方に配置され、ピン止め効果を有し、１次側磁石によっ
て吊り下げ駆動されるとともに、前記長レーストラック
コイルにより支持案内される２次側磁石と、（ｃ）該２
次側磁石を駆動するための機構と、（ｄ）該２次側磁石
に設けられる物体搭載装置とを具備することを特徴とす
る物体搬送装置。9. An object transfer device, comprising: (a) a long race track coil having a reciprocating conductive path through which a direct current flows in different directions; and (b) disposed below the long race track coil to provide a pinning effect. A secondary magnet driven and suspended by the primary magnet and supported and guided by the long race track coil;
An object transport device comprising: a mechanism for driving a secondary magnet; and (d) an object mounting device provided on the secondary magnet.
縦続配置されるレーストラックコイルと、（ｂ）該レー
ストラックコイルのオーバーラップ区間でレーストラッ
クコイルの電源の切り換えを行う切換スイッチと、
（ｃ）順次切り換えられるレーストラックコイルの下方
に配置され、ピン止め効果を有し、前記レーストラック
コイルによって支持案内される２次側磁石と、（ｄ）該
２次側磁石を駆動するための機構と、（ｅ）該２次側磁
石に設けられる物体搭載装置とを具備することを特徴と
する物体搬送装置。10. An object transfer device, comprising: (a) a plurality of race track coils arranged in cascade; (b) a changeover switch for changing over a power supply of the race track coils in an overlap section of the race track coils;
(C) a secondary magnet disposed below the sequentially switched race track coil, having a pinning effect, and being supported and guided by the race track coil; and (d) driving the secondary magnet. An object transport device comprising: a mechanism; and (e) an object mounting device provided on the secondary magnet.
と、（ｂ）該支持柱を中心として該支持柱の頂部から吊
り下げられるとともに、直流電流が異なった方向に流れ
る往復導電路を有する２重円形コイルと、（ｃ）該２重
円形コイルの軸を傾ける手段と、（ｄ）前記２重円形コ
イルの下部に設けられるとともに、前記２重円形コイル
の軸の傾きに対応して該２重円形コイルに案内されなが
ら公転運動が可能な２次側磁石と、（ｅ）該２次側磁石
に設けられる物体搭載装置とを具備することを特徴とす
る物体搬送装置。11. An object transporting apparatus, comprising: (a) a support column; and (b) a reciprocating conductive path suspended from the top of the support column around the support column and through which a direct current flows in different directions. A double circular coil, (c) means for tilting the axis of the double circular coil, and (d) provided below the double circular coil and corresponding to the tilt of the axis of the double circular coil. An object transport device, comprising: a secondary magnet capable of revolving while being guided by a double circular coil; and (e) an object mounting device provided on the secondary magnet.
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