JP2000284100A - 荷電粒子線照射装置の偏向装置 - Google Patents
荷電粒子線照射装置の偏向装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 荷電粒子線照射装置の偏向装置のコイル異常
を検出する。 【解決手段】 偏向装置４’の電磁石７ａ’，７ｂ’を
構成するコイルｒ１〜ｒ１２を抵抗値の一様な複数のコ
イルｒ１〜ｒ１２で構成する。そして、前記複数のコイ
ルｒ１〜ｒ１２を並列に直流発生装置６と接続し、並列
に接続されたコイルｒ１〜ｒ１２の分岐回路１０に電流
検出手段Ａａを設ける。直流発生装置６は定電流モード
としてコイルｒ１〜ｒ１２を駆動することで、例えば、
絶縁破壊によりコイルｒ３の電流が増加すると、他のコ
イルｒ１，ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流は一様に低下
する。逆に、断線などでコイルｒ３の電流値が低下する
と、他のコイルｒ１，ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流値
は一様に増加するので、電流計の指示を観察しておけ
ば、回路中のコイルｒ３の異常を検出できる。
を検出する。 【解決手段】 偏向装置４’の電磁石７ａ’，７ｂ’を
構成するコイルｒ１〜ｒ１２を抵抗値の一様な複数のコ
イルｒ１〜ｒ１２で構成する。そして、前記複数のコイ
ルｒ１〜ｒ１２を並列に直流発生装置６と接続し、並列
に接続されたコイルｒ１〜ｒ１２の分岐回路１０に電流
検出手段Ａａを設ける。直流発生装置６は定電流モード
としてコイルｒ１〜ｒ１２を駆動することで、例えば、
絶縁破壊によりコイルｒ３の電流が増加すると、他のコ
イルｒ１，ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流は一様に低下
する。逆に、断線などでコイルｒ３の電流値が低下する
と、他のコイルｒ１，ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流値
は一様に増加するので、電流計の指示を観察しておけ
ば、回路中のコイルｒ３の異常を検出できる。
Description
【０００１】
【発明の属する利用分野】この発明は、荷電粒子線照射
装置の偏向装置に関するもので、特に、偏向装置を構成
する電磁石のコイル異常の検出、その異常時の校正機構
及び前記コイルの劣化防止に関するものである。
装置の偏向装置に関するもので、特に、偏向装置を構成
する電磁石のコイル異常の検出、その異常時の校正機構
及び前記コイルの劣化防止に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】荷電粒子ビームを被照射体に一様に照射
する照射装置として例えば、図４に示す荷電粒子照射装
置がある。
する照射装置として例えば、図４に示す荷電粒子照射装
置がある。
【０００３】前記照射装置は、棒状や紐状などの線状体
用の照射装置で、荷電粒子発生源１、走査装置２、ビー
ム導出部３、偏向装置４で構成されており、偏向装置４
はビーム導出部３の下向きに開放された荷電粒子ビーム
ｌの放出窓５の下方に設けられている。
用の照射装置で、荷電粒子発生源１、走査装置２、ビー
ム導出部３、偏向装置４で構成されており、偏向装置４
はビーム導出部３の下向きに開放された荷電粒子ビーム
ｌの放出窓５の下方に設けられている。
【０００４】この偏向装置４は、例えば、図５に示すよ
うに、直流発生装置６と直列に接続された一対の電磁石
７ａ，７ｂからなり、前記電磁石７ａ，７ｂは図４に示
すように、荷電粒子ビームｌの走査方向に間隔を置いて
対向して配置され、互いに逆方向の静磁場を発生するよ
うになっている。そして、前記電磁石７ａ，７ｂ間に配
置した被照射体８に、荷電粒子発生源１から走査装置２
で走査されて放出窓５から放出される荷電粒子ビームｌ
を均一に（例えば、被照射体８の底部側にも）照射でき
るようになっている。
うに、直流発生装置６と直列に接続された一対の電磁石
７ａ，７ｂからなり、前記電磁石７ａ，７ｂは図４に示
すように、荷電粒子ビームｌの走査方向に間隔を置いて
対向して配置され、互いに逆方向の静磁場を発生するよ
うになっている。そして、前記電磁石７ａ，７ｂ間に配
置した被照射体８に、荷電粒子発生源１から走査装置２
で走査されて放出窓５から放出される荷電粒子ビームｌ
を均一に（例えば、被照射体８の底部側にも）照射でき
るようになっている。
【０００５】ところで、上記の偏向装置４の電磁石７
ａ，７ｂは、荷電粒子ビームｌを偏向するために放出窓
５の下方に配置する必要があるが、ここは、被照射体
（製品）８の冷却水、荷電粒子ビームｌ、制動Ｘ線、オ
ゾンなどにさらされる悪環境下であり、特に、高エネル
ギーを有する荷電粒子ビームｌの衝突が避けられず、装
置が局部的に発熱して電磁石７ａ，７ｂを構成するコイ
ルＲ１，Ｒ２の絶縁破壊を生じやすい。
ａ，７ｂは、荷電粒子ビームｌを偏向するために放出窓
５の下方に配置する必要があるが、ここは、被照射体
（製品）８の冷却水、荷電粒子ビームｌ、制動Ｘ線、オ
ゾンなどにさらされる悪環境下であり、特に、高エネル
ギーを有する荷電粒子ビームｌの衝突が避けられず、装
置が局部的に発熱して電磁石７ａ，７ｂを構成するコイ
ルＲ１，Ｒ２の絶縁破壊を生じやすい。
【０００６】ところが、上記コイルＲ１，Ｒ２の絶縁破
壊に至る変化は、外部から検知するのは困難であり、破
壊によって知らぬ間に荷電粒子ビームｌの軌道が変化し
てしまう問題がある。
壊に至る変化は、外部から検知するのは困難であり、破
壊によって知らぬ間に荷電粒子ビームｌの軌道が変化し
てしまう問題がある。
【０００７】ここで、電磁石７ａ，７ｂの電源は、通
常、直流発生装置６を定電流モードで使用するため、直
流発生装置６は、コイルＲ１，Ｒ２の絶縁破壊が起こっ
たとしても、絶縁破壊が発生する前と同じ電流を流し続
ける。
常、直流発生装置６を定電流モードで使用するため、直
流発生装置６は、コイルＲ１，Ｒ２の絶縁破壊が起こっ
たとしても、絶縁破壊が発生する前と同じ電流を流し続
ける。
【０００８】このとき、コイルＲ１，Ｒ２の抵抗値は低
くなるため、直流発生装置６の電圧が低下し、この電圧
を監視しておけば、コイルＲ１，Ｒ２の異常を検出でき
るはずである。
くなるため、直流発生装置６の電圧が低下し、この電圧
を監視しておけば、コイルＲ１，Ｒ２の異常を検出でき
るはずである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
電圧を測定する方法では、測定電圧は、コイルの温度上
昇による抵抗値の変化でも変動するので、コイル異常の
検出に使えないという問題がある。
電圧を測定する方法では、測定電圧は、コイルの温度上
昇による抵抗値の変化でも変動するので、コイル異常の
検出に使えないという問題がある。
【００１０】一方、先にも述べたとおり、コイルに異常
が生じると、対向する電磁石の発生する磁場の分布や大
きさに狂いが生じてビームの軌道が変化し、被照射体に
均一にビームを照射できなくなるため、照射作業を中止
して直ちにコイルの交換をしなければならず、効率が悪
いという問題がある。
が生じると、対向する電磁石の発生する磁場の分布や大
きさに狂いが生じてビームの軌道が変化し、被照射体に
均一にビームを照射できなくなるため、照射作業を中止
して直ちにコイルの交換をしなければならず、効率が悪
いという問題がある。
【００１１】そこで、この発明の課題は、コイルの異常
を検知できるようにすること、また、コイル異常が起こ
った際でも直ちにコイルの交換をしなくてもよくするこ
と、さらに、それらに加えて、絶縁破壊を防止して上記
のような問題が未然に生じないようにすることである。
を検知できるようにすること、また、コイル異常が起こ
った際でも直ちにコイルの交換をしなくてもよくするこ
と、さらに、それらに加えて、絶縁破壊を防止して上記
のような問題が未然に生じないようにすることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明では、下向きに開放された荷電粒子ビーム
の放出窓の下方に対向させて設けられ、互いに逆方向の
静磁場を発生する一対の電磁石を直流定電流電源装置と
直列に接続し、前記電磁石間に配置した被照射体に荷電
粒子を均一に照射する荷電粒子線照射装置の偏向装置に
おいて、上記各電磁石のコイルを抵抗値の等しい複数個
のコイルで構成し、その複数のコイルを並列にして上記
直流定電流電源装置と接続するとともに、前記並列に接
続された電磁石のコイルの分岐回路の少なくとも一つに
電流検出手段を設けた構成を採用したのである。
め、この発明では、下向きに開放された荷電粒子ビーム
の放出窓の下方に対向させて設けられ、互いに逆方向の
静磁場を発生する一対の電磁石を直流定電流電源装置と
直列に接続し、前記電磁石間に配置した被照射体に荷電
粒子を均一に照射する荷電粒子線照射装置の偏向装置に
おいて、上記各電磁石のコイルを抵抗値の等しい複数個
のコイルで構成し、その複数のコイルを並列にして上記
直流定電流電源装置と接続するとともに、前記並列に接
続された電磁石のコイルの分岐回路の少なくとも一つに
電流検出手段を設けた構成を採用したのである。
【００１３】このような構成を採用したことにより、通
電中は、コイルには直流定電流電源装置により一定電流
が流されるので、コイルの抵抗値の温度変化に係わらず
電流検出手段の検出する電流値は変化しない。このと
き、複数個のコイルのいずれかが、絶縁破壊による異常
を起こすと、異常を起こしたコイルの電流が増加し、他
のコイルの電流は低下するので、電流検出手段によって
電流値を観察していれば、異常を検知できる。
電中は、コイルには直流定電流電源装置により一定電流
が流されるので、コイルの抵抗値の温度変化に係わらず
電流検出手段の検出する電流値は変化しない。このと
き、複数個のコイルのいずれかが、絶縁破壊による異常
を起こすと、異常を起こしたコイルの電流が増加し、他
のコイルの電流は低下するので、電流検出手段によって
電流値を観察していれば、異常を検知できる。
【００１４】また、コイルが断線した場合には、断線し
たコイルに電流が流れなくなり、残りのコイルの電流が
一様に増加するので、電流検出手段によって電流値を観
察していれば、異常を検知できる。
たコイルに電流が流れなくなり、残りのコイルの電流が
一様に増加するので、電流検出手段によって電流値を観
察していれば、異常を検知できる。
【００１５】この際、上記同じ直流定電流電源装置に代
えて、対向する電磁石ごとに直流定電流電源装置を設け
た構成を採用することにより、例えば、対向する個々の
電磁石を構成する複数のコイルのいずれかが異常を起こ
し、磁場の分布や大きさのバランスに狂いが生じた場合
でも、それを補うように電磁石ごとに設けた直流定電流
電源装置から個別に電力供給をしてやれば、個々に磁場
の調整が可能となるため、コイルの交換を行うことな
く、逆方向で大きさと分布の等しい静磁場を発生させる
ことができる。
えて、対向する電磁石ごとに直流定電流電源装置を設け
た構成を採用することにより、例えば、対向する個々の
電磁石を構成する複数のコイルのいずれかが異常を起こ
し、磁場の分布や大きさのバランスに狂いが生じた場合
でも、それを補うように電磁石ごとに設けた直流定電流
電源装置から個別に電力供給をしてやれば、個々に磁場
の調整が可能となるため、コイルの交換を行うことな
く、逆方向で大きさと分布の等しい静磁場を発生させる
ことができる。
【００１６】さらに、上記電磁石のコイル巻き線をＦ種
絶縁より絶縁性の高いものとした構成を採用することに
より、絶縁性を高めることで、荷電粒子線による装置の
局部的な発熱に抗して、耐久性を向上させることができ
る。
絶縁より絶縁性の高いものとした構成を採用することに
より、絶縁性を高めることで、荷電粒子線による装置の
局部的な発熱に抗して、耐久性を向上させることができ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１８】図１に第１実施形態として、本願発明を適
用した荷電粒子線照射装置の偏向装置４’を示す。
用した荷電粒子線照射装置の偏向装置４’を示す。
【００１９】この偏向装置４’は、一対の電磁石７
ａ’，７ｂ’のコイル異常を検出できるようにしたもの
で、このコイル異常検出装置は、コイルを複数個のコイ
ル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜１２）で構成した電磁石７
ａ’，７ｂ’、電流検出手段Ａａ，Ａｂと直流発生装置
６からなっている。
ａ’，７ｂ’のコイル異常を検出できるようにしたもの
で、このコイル異常検出装置は、コイルを複数個のコイ
ル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜１２）で構成した電磁石７
ａ’，７ｂ’、電流検出手段Ａａ，Ａｂと直流発生装置
６からなっている。
【００２０】前記電磁石７ａ’，７ｂ’を構成する個々
のコイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）は、その抵
抗値が一様に等しく、図１に示すように、各電磁石７
ａ’，７ｂ’ごとに前記コイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７
〜ｒ１２）は、並列に接続されて直流発生装置６と直列
に接続されている。
のコイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）は、その抵
抗値が一様に等しく、図１に示すように、各電磁石７
ａ’，７ｂ’ごとに前記コイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７
〜ｒ１２）は、並列に接続されて直流発生装置６と直列
に接続されている。
【００２１】また、前記電磁石７ａ’，７ｂ’の各々並
列に接続されたコイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１
２）の分岐回路１０ａ，１０ｂには、電流検出手段Ａ
ａ，Ａｂが設けられている。
列に接続されたコイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１
２）の分岐回路１０ａ，１０ｂには、電流検出手段Ａ
ａ，Ａｂが設けられている。
【００２２】電流検出手段Ａａ，Ａｂは、この形態の場
合、電流計が用いられおり、分岐回路１０ａ，１０ｂの
コイルｒ１，ｒ７の前後のいずれに設けても良い。
合、電流計が用いられおり、分岐回路１０ａ，１０ｂの
コイルｒ１，ｒ７の前後のいずれに設けても良い。
【００２３】なお、ここでは、電流検出手段Ａａ，Ａｂ
に電流計を用いたが、これに限定されるものではない。
これ以外にも、例えば、電流トランスＣＴなどの電流検
出センサを用いて遠隔測定を行うようにしてもよいこと
は当然である。また、ここでは、電流検出手段Ａａ，Ａ
ｂを分岐回路１０ａ，１０ｂのみに設けたが、これに限
定されるものではなく、他の分岐回路や分岐回路それぞ
れに、複数の電流検出手段Ａａ，Ａｂを設けても良い。
に電流計を用いたが、これに限定されるものではない。
これ以外にも、例えば、電流トランスＣＴなどの電流検
出センサを用いて遠隔測定を行うようにしてもよいこと
は当然である。また、ここでは、電流検出手段Ａａ，Ａ
ｂを分岐回路１０ａ，１０ｂのみに設けたが、これに限
定されるものではなく、他の分岐回路や分岐回路それぞ
れに、複数の電流検出手段Ａａ，Ａｂを設けても良い。
【００２４】直流発生装置６は、定電流電源となる定電
流モードを有するもので、出力電流の調整ができるよう
になっている。
流モードを有するもので、出力電流の調整ができるよう
になっている。
【００２５】この形態は上記のように構成され、直流発
生装置６を定電流モードに設定し、最適条件のもとで設
備の使用を開始する。
生装置６を定電流モードに設定し、最適条件のもとで設
備の使用を開始する。
【００２６】また、電磁石７ａ’，７ｂ’のコイル（ｒ
１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）が正常なときの電流値を
読み、これを基準値として測定値と比較すれば、簡単に
判別できる。
１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）が正常なときの電流値を
読み、これを基準値として測定値と比較すれば、簡単に
判別できる。
【００２７】このとき、通電中のコイル（ｒ１〜ｒ
６），（ｒ７〜ｒ１２）が温度上昇により、全コイル
（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）の抵抗値が変化して
も（各コイルの抵抗値を一様に等しいとしたため、この
時の変化量は同じになるはずである）直流発生装置６を
定電流モードで使用しているので、コイル（ｒ１〜ｒ
６），（ｒ７〜ｒ１２）に印加される電圧は変化する
が、コイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）を流れる
全電流Ｉは変化しない。そのため、電流検出手段Ａａ，
Ａｂの検出する電流も変化しない。
６），（ｒ７〜ｒ１２）が温度上昇により、全コイル
（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）の抵抗値が変化して
も（各コイルの抵抗値を一様に等しいとしたため、この
時の変化量は同じになるはずである）直流発生装置６を
定電流モードで使用しているので、コイル（ｒ１〜ｒ
６），（ｒ７〜ｒ１２）に印加される電圧は変化する
が、コイル（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）を流れる
全電流Ｉは変化しない。そのため、電流検出手段Ａａ，
Ａｂの検出する電流も変化しない。
【００２８】いま、例えば、電磁石７ａ’のコイルｒ３
で絶縁破壊が発生し、コイルｒ３の抵抗値が低下する
と、コイルｒ３の電流が増加し、その他のコイルｒ１，
ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流は一様に低下する。これ
は、直流発生装置６を定電流モードにしているので、コ
イルｒ３の電流値が増加しても全電流Ｉの値は変わらな
いためである。よって、電流計Ａａの指示を観察してお
けば、コイルｒ３の異常を検出できる。
で絶縁破壊が発生し、コイルｒ３の抵抗値が低下する
と、コイルｒ３の電流が増加し、その他のコイルｒ１，
ｒ２，ｒ４，ｒ５，ｒ６の電流は一様に低下する。これ
は、直流発生装置６を定電流モードにしているので、コ
イルｒ３の電流値が増加しても全電流Ｉの値は変わらな
いためである。よって、電流計Ａａの指示を観察してお
けば、コイルｒ３の異常を検出できる。
【００２９】次に、電磁石７ａ’の回路中のコイル（ｒ
１〜ｒ６）の一つ、例えば、コイルｒ４が断線した場合
を考えると、そのコイルｒ４には電流が流れなくなるの
で、他のコイルｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ５，ｒ６の電流値
が一様に増加する。これは、先程と同様、定電流モード
により全電流Ｉの値は変わらないためであり、同様に、
電流計Ａａの指示を観察しておけば、コイルｒ４の異常
を検出できる。
１〜ｒ６）の一つ、例えば、コイルｒ４が断線した場合
を考えると、そのコイルｒ４には電流が流れなくなるの
で、他のコイルｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ５，ｒ６の電流値
が一様に増加する。これは、先程と同様、定電流モード
により全電流Ｉの値は変わらないためであり、同様に、
電流計Ａａの指示を観察しておけば、コイルｒ４の異常
を検出できる。
【００３０】同様に、電磁石７ｂ’の場合もコイル（ｒ
７〜ｒ１２）異常を起こせば電流計Ａｂによって検知で
きる。そのため、その説明は省略する。
７〜ｒ１２）異常を起こせば電流計Ａｂによって検知で
きる。そのため、その説明は省略する。
【００３１】このように、電流の変化を検出すること
で、温度上昇などによる抵抗値の変化と絶縁破壊や断線
などを俊別できるので、電磁石７ａ’，７ｂ’のコイル
（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）異常を検知できる。
で、温度上昇などによる抵抗値の変化と絶縁破壊や断線
などを俊別できるので、電磁石７ａ’，７ｂ’のコイル
（ｒ１〜ｒ６），（ｒ７〜ｒ１２）異常を検知できる。
【００３２】図２、図３に第２実施形態として、ブロッ
ク分離型電力供給回路とした本願発明の荷電粒子線照射
装置の偏向装置４”を示す。
ク分離型電力供給回路とした本願発明の荷電粒子線照射
装置の偏向装置４”を示す。
【００３３】すなわち、図１で示す第１実施形態の互い
に逆方向の静磁場を発生する一対の電磁石７ａ’，７
ｂ’を、図２に示すように、左ブロック７ａ”と右ブロ
ック７ｂ”の二つのブロック７ａ”，７ｂ”に分け、そ
れぞれのブロック７ａ”，７ｂ”に、図３に示すように
直流発生装置６ａ，６ｂを設けたものである。
に逆方向の静磁場を発生する一対の電磁石７ａ’，７
ｂ’を、図２に示すように、左ブロック７ａ”と右ブロ
ック７ｂ”の二つのブロック７ａ”，７ｂ”に分け、そ
れぞれのブロック７ａ”，７ｂ”に、図３に示すように
直流発生装置６ａ，６ｂを設けたものである。
【００３４】なお、個々に設けられる直流発生装置６
ａ，６ｂは、第１実施形態と同じ定電流モードを有する
もので、出力電流の調整ができるものである。こうする
こで、各ブロック７ａ”，７ｂ”ごとのコイル（ｒ１〜
ｒ６）と（ｒ７〜ｒ１２）に供給する電流を調整できる
ようにしてある。
ａ，６ｂは、第１実施形態と同じ定電流モードを有する
もので、出力電流の調整ができるものである。こうする
こで、各ブロック７ａ”，７ｂ”ごとのコイル（ｒ１〜
ｒ６）と（ｒ７〜ｒ１２）に供給する電流を調整できる
ようにしてある。
【００３５】この形態は上記のように構成されており、
例えば、いま、左ブロック７ａ”のコイルｒ３に異常が
生じたとする。この異常は左ブロック７ａ”に設けた電
流検出手段Ａａで検出することができる。
例えば、いま、左ブロック７ａ”のコイルｒ３に異常が
生じたとする。この異常は左ブロック７ａ”に設けた電
流検出手段Ａａで検出することができる。
【００３６】このような場合、左ブロックの電磁石７
ａ”と右ブロックの電磁石７ｂ”は互いに逆方向で大き
さと分布の等しい静磁場を作り出す必要があるが、前記
のようにコイルｒ３に異常が生じると、磁場の大きさと
分布に狂いが生じる。
ａ”と右ブロックの電磁石７ｂ”は互いに逆方向で大き
さと分布の等しい静磁場を作り出す必要があるが、前記
のようにコイルｒ３に異常が生じると、磁場の大きさと
分布に狂いが生じる。
【００３７】そのため、電流検出手段Ａａでコイル（ｒ
１〜ｒ６）の異常を検出すると、ブロックごとの個々の
直流発生装置６ａ，６ｂを調整して電流量を調整し、個
別に電力供給してやれば、個々に磁場の調整が可能にな
る。
１〜ｒ６）の異常を検出すると、ブロックごとの個々の
直流発生装置６ａ，６ｂを調整して電流量を調整し、個
別に電力供給してやれば、個々に磁場の調整が可能にな
る。
【００３８】この結果、コイルｒ３の交換を行うことな
く、互いに逆方向で大きさと分布の等しい静磁場の再生
が可能になる。
く、互いに逆方向で大きさと分布の等しい静磁場の再生
が可能になる。
【００３９】ちなみに、この方法は、コイル（ｒ１〜ｒ
６）と（ｒ７〜ｒ１２）の異常時の調整以外に、磁場を
微調整する際にも使用可能である。
６）と（ｒ７〜ｒ１２）の異常時の調整以外に、磁場を
微調整する際にも使用可能である。
【００４０】なお、他の作用効果については第１実施形
態と同じなので、その説明は省略する。
態と同じなので、その説明は省略する。
【００４１】第３実施形態として、図１〜図３の電磁石
７ａ’，７ｂ’，７ａ”，７ｂ”を構成する各コイル
（ｒ１〜ｒ１２）の巻き線をＦ種絶縁より高い絶縁性を
有するものとしたものについて説明する。
７ａ’，７ｂ’，７ａ”，７ｂ”を構成する各コイル
（ｒ１〜ｒ１２）の巻き線をＦ種絶縁より高い絶縁性を
有するものとしたものについて説明する。
【００４２】すなわち、本荷電粒子照射装置の偏向装置
４’，４”は、荷電粒子ビーム放出窓５の下方に設けら
れるため、高エネルギーを有する荷電粒子ビームの衝突
が避けられず、装置が局部的に発熱する。
４’，４”は、荷電粒子ビーム放出窓５の下方に設けら
れるため、高エネルギーを有する荷電粒子ビームの衝突
が避けられず、装置が局部的に発熱する。
【００４３】このとき、コイル巻き線をＦ種絶縁より高
い絶縁性を有するものとしたことにより、高温に対する
絶縁性を向上できるので、コイル異常の原因の一つであ
る絶縁破壊の発生を低下させて耐久性を向上させること
ができる。
い絶縁性を有するものとしたことにより、高温に対する
絶縁性を向上できるので、コイル異常の原因の一つであ
る絶縁破壊の発生を低下させて耐久性を向上させること
ができる。
【００４４】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成したこと
により、例えば、コイルの温度上昇による抵抗値の変化
と絶縁破壊や断線などによる異常とを俊別してコイル異
常を検出できる。
により、例えば、コイルの温度上昇による抵抗値の変化
と絶縁破壊や断線などによる異常とを俊別してコイル異
常を検出できる。
【００４５】また、電磁石を左右のブロックに分けて直
流発生装置を設けたものでは、上記効果に加えて、コイ
ル異常が起こった場合でもブロックごとに静磁場を補正
できるので、直ちにコイルの交換を行わなくとも使用で
きる。
流発生装置を設けたものでは、上記効果に加えて、コイ
ル異常が起こった場合でもブロックごとに静磁場を補正
できるので、直ちにコイルの交換を行わなくとも使用で
きる。
【００４６】さらに、電磁石のコイル巻き線をＦ種絶縁
より絶縁性の高いものとしたものでは、上記効果に加え
て、コイル異常を起こし難くすることができる。
より絶縁性の高いものとしたものでは、上記効果に加え
て、コイル異常を起こし難くすることができる。
【図１】第１実施形態の偏向回路の回路図
【図２】第２実施形態の模式図
【図３】図２の回路図
【図４】従来例の荷電粒子照射装置の正面図
【図５】図４の偏向回路の回路図
３ ビーム導出部 ４ 偏向装置 ４’偏向装置 ５ 放出窓 ６ 直流発生器 ６ａ 直流発生器 ６ｂ 直流発生器 ７ａ’電磁石 ７ｂ’電磁石 ７ａ”電磁石 ７ｂ”電磁石 ８ 被照射体 １０ 分岐回路 Ａａ 電流検出手段 Ａｂ 電流検出手段 ｌ 荷電粒子ビーム ｒ１〜ｒ１２ コイル
Claims (3)
- 【請求項１】 下向きに開放された荷電粒子ビームの放
出窓の下方に対向させて設けられ、互いに逆方向の静磁
場を発生する一対の電磁石を直流定電流電源装置と直列
に接続し、前記電磁石間に配置した被照射体に荷電粒子
を均一に照射する荷電粒子線照射装置の偏向装置におい
て、 上記各電磁石のコイルを抵抗値の等しい複数個のコイル
で構成し、その複数のコイルを並列にして上記直流定電
流電源装置と接続するとともに、前記並列に接続された
電磁石のコイルの分岐回路の少なくとも一つに電流検出
手段を設けた荷電粒子線照射装置の偏向装置。 - 【請求項２】 上記同じ直流定電流電源装置に代えて、
対向する電磁石ごとに直流定電流電源装置を設けた請求
項１に記載の荷電粒子線照射装置の偏向装置。 - 【請求項３】 上記電磁石のコイル巻き線をＦ種絶縁よ
り絶縁性の高いものとした上記請求項１または２に記載
の荷電粒子線照射装置の偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11088291A JP2000284100A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 荷電粒子線照射装置の偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11088291A JP2000284100A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 荷電粒子線照射装置の偏向装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000284100A true JP2000284100A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13938817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11088291A Pending JP2000284100A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 荷電粒子線照射装置の偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000284100A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013031019A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2015-03-23 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の燃料供給装置 |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11088291A patent/JP2000284100A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2013031019A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2015-03-23 | トヨタ自動車株式会社 | 内燃機関の燃料供給装置 |
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