JP2000275302A - Probe for ic test and dc testing device for ic - Google Patents
Probe for ic test and dc testing device for icInfo
- Publication number
- JP2000275302A JP2000275302A JP11084064A JP8406499A JP2000275302A JP 2000275302 A JP2000275302 A JP 2000275302A JP 11084064 A JP11084064 A JP 11084064A JP 8406499 A JP8406499 A JP 8406499A JP 2000275302 A JP2000275302 A JP 2000275302A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- input terminal
- operational amplifier
- probe
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はＩＣ試験用プロー
ブとこのプローブを用いて構成したＩＣの直流試験装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test probe and a DC test apparatus for an IC using the probe.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に従来のＩＣ試験装置を示す。図中
１００は被試験ＩＣ，２００はＩＣ試験装置を示す。Ｉ
Ｃ試験装置２００は大きく分けて直流試験ユニット１０
と機能試験ユニット２０とによって構成される。ここで
は被試験ＩＣ１００の端子Ｔ１が出力専用ピン、Ｔ２が
コモン端子である場合を示す。従って、機能試験ユニッ
ト２０は被試験ＩＣ１００から信号を取込み、取り込ん
だ信号が期待値と一致するか否かを判定して機能試験を
行う構成とされる。なお、２１は入力インピーダンスの
高いバッファ増幅器を示す。2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a conventional IC test apparatus. In the figure, 100 indicates an IC under test, and 200 indicates an IC test apparatus. I
The C test apparatus 200 is roughly divided into the DC test unit 10
And a function test unit 20. Here, a case where the terminal T1 of the IC under test 100 is an output-only pin and T2 is a common terminal is shown. Therefore, the functional test unit 20 is configured to fetch a signal from the IC under test 100, determine whether the fetched signal matches an expected value, and perform a functional test. Reference numeral 21 denotes a buffer amplifier having a high input impedance.
【０００３】機能試験を行う場合はリレー接点ＳＷ２が
オンの状態に制御されて機能試験ユニット２０が被試験
ＩＣ１００の端子Ｔ１に接続されて機能試験が実行され
る。なお、図４では機能試験ユニット２０を１端子分し
か示していないが、現実には被試験ＩＣ１００の端子の
数の機能試験ユニットが用意され、これらの各機能試験
ユニットが各端子に接続されて被試験ＩＣ１００の内部
の全ての回路が正常に動作するか否かが試験される。When performing a function test, the relay contact SW2 is controlled to be turned on, the function test unit 20 is connected to the terminal T1 of the IC under test 100, and the function test is executed. Although FIG. 4 shows only one functional test unit 20 for one terminal, in reality, functional test units of the number of terminals of the IC under test 100 are prepared, and these functional test units are connected to each terminal. It is tested whether or not all circuits inside the IC under test 100 operate normally.
【０００４】直流試験を行う場合には、リレー接点ＳＷ
２はオフに切り替えられ、代わってリレー接点ＳＷ１が
オンの状態に制御され、直流試験ユニット１０が被試験
ＩＣ１００に接続される。直流試験ユニット１０では被
試験ＩＣ１００の端子Ｔ１とＴ２の間に所定の電圧を印
加した状態で端子Ｔ１を通れる電流を測定する電圧印加
電流測定試験と、端子Ｔ１とＴ２間に所定の電流を印加
した状態で端子Ｔ１とＴ２間に発生する電圧を測定する
電流印加電圧測定試験が行われ、これらの試験によって
各端子の直流特性を測定し、正常な接続状態に作られた
か否かが検査される。When performing a DC test, a relay contact SW
2 is turned off, the relay contact SW1 is controlled to be turned on instead, and the DC test unit 10 is connected to the IC under test 100. In the DC test unit 10, a voltage application current measurement test for measuring a current passing through the terminal T1 with a predetermined voltage applied between the terminals T1 and T2 of the IC under test 100, and applying a predetermined current between the terminals T1 and T2 In this state, a current applied voltage measurement test for measuring a voltage generated between the terminals T1 and T2 is performed, and the DC characteristics of each terminal are measured by these tests to check whether or not the terminals are properly connected. You.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図４に示したように、
従来はリレー接点ＳＷ１とＳＷ２によって直流試験ユニ
ット１０と機能試験ユニット２０を選択的に被試験ＩＣ
１００に接続している。リレー接点ＳＷ１，ＳＷ２を回
路に接続すると、これに伴って比較的容量値が大きい浮
遊容量Ｃ１，Ｃ２及びＣ３が回路に接続され、この浮遊
容量Ｃ１〜Ｃ３の存在によって被試験ＩＣ１００から出
力される信号の波形が正しく機能試験ユニット２０に伝
達できない不都合が生じる。As shown in FIG.
Conventionally, the DC test unit 10 and the function test unit 20 are selectively selected by the relay contacts SW1 and SW2.
100. When the relay contacts SW1 and SW2 are connected to the circuit, the stray capacitances C1, C2 and C3 having relatively large capacitance values are connected to the circuit, and are output from the IC under test 100 due to the presence of the stray capacitances C1 to C3. There is a disadvantage that the signal waveform cannot be transmitted to the function test unit 20 correctly.
【０００６】つまり、最近の傾向として低消費電力化を
目的として被試験ＩＣ１００の電源電圧が低電圧化さ
れ、ノイズに対して耐性が低くなっている。そのため、
全ての信号出力端子の駆動能力を最小限に抑え、低ノイ
ズ化を図っている。つまり、低消費電力化のために駆動
電力容量も低電力化されるため、特に機能試験時にＩＣ
試験装置２００の入力端子の負荷容量（浮遊容量Ｃ１，
Ｃ２，Ｃ３）を駆動できない不都合が生じる。That is, as a recent trend, the power supply voltage of the IC under test 100 has been reduced for the purpose of reducing power consumption, and the resistance to noise has been reduced. for that reason,
The drive capability of all signal output terminals is minimized to reduce noise. In other words, the driving power capacity is also reduced for low power consumption.
The load capacitance (the stray capacitance C1,
C2 and C3) cannot be driven.
【０００７】また、従来の直流試験ユニット１０は電圧
印加電流測定モードと電流印加電圧測定モードで動作し
てＩＣの各端子の直流特性を検査する構成であるため、
構造が複雑で高価なものとなっている。この発明の目的
は、被試験ＩＣとの接続点の浮遊容量が小さいＩＣ試験
装置を構成することができるＩＣ試験用プローブと、こ
のＩＣ試験用プローブを用いて構成され、安価に提供す
ることができるＩＣの直流試験装置を提案するものであ
る。Further, since the conventional DC test unit 10 operates in the voltage applied current measuring mode and the current applied voltage measuring mode to inspect the DC characteristics of each terminal of the IC,
The structure is complicated and expensive. An object of the present invention is to provide an IC test probe capable of configuring an IC test apparatus having a small stray capacitance at a connection point with an IC under test, and an inexpensive probe configured using the IC test probe. The present invention proposes a DC testing device for an IC.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明では、演算増幅
器と、この演算増幅器の反転入力端子とプローブの入力
端子との間に接続される入力抵抗器と、演算増幅器の反
転入力端子と出力端子との間に接続した帰還抵抗器と、
演算増幅器の非反転入力端子に一端が接続され他端がプ
ローブのコモン入力端子に接続された電圧源とによって
ＩＣ試験用プローブを構成し、演算増幅器の出力端子を
リレー接点を通じて選択的に直流試験ユニットまたは機
能試験ユニットに接続する構成としたものである。According to the present invention, an operational amplifier, an input resistor connected between an inverting input terminal of the operational amplifier and an input terminal of a probe, an inverting input terminal and an output terminal of the operational amplifier are provided. And a feedback resistor connected between
An IC test probe is composed of a voltage source whose one end is connected to the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the other end is connected to the common input terminal of the probe, and the output terminal of the operational amplifier is selectively DC tested through a relay contact. It is configured to be connected to a unit or a function test unit.
【０００９】このＩＣ試験用プローブ構成によれば、被
試験ＩＣとの接続点にリレー接点を接続しないから被試
験ＩＣの出力側に容量値が大きい浮遊容量が接続される
ことはない。つまり、ＩＣ試験用プローブの後段にリレ
ー接点を用いて直流試験ユニットと、機能試験ユニット
を選択的に接続してＩＣ試験装置を構成し、リレー接点
に寄生する浮遊容量をＩＣ試験用プローブの出力側に接
続したから、これらの浮遊容量はＩＣ試験用プローブを
構成する演算増幅器で駆動されるため、被試験ＩＣが出
力する信号の波形を乱すことなく、機能試験ユニットに
伝達することができる。According to this IC test probe configuration, since no relay contact is connected to the connection point with the IC under test, a stray capacitance having a large capacitance value is not connected to the output side of the IC under test. In other words, a DC test unit and a functional test unit are selectively connected using a relay contact at the subsequent stage of the IC test probe to constitute an IC test apparatus, and a stray capacitance at the relay contact is output from the IC test probe. Since these stray capacitances are driven by the operational amplifier constituting the IC test probe, they can be transmitted to the functional test unit without disturbing the waveform of the signal output from the IC under test.
【００１０】更に、この発明によるＩＣ試験用プローブ
によれば、演算増幅器に接続した入力抵抗器と帰還抵抗
器の抵抗値及び電圧源から供給する電圧を既知であるも
のとすると、演算増幅器の出力端子に発生する電圧を測
定することにより、被試験ＩＣの内部抵抗の値及び被試
験ＩＣから演算増幅器に流れる電流の値を算出すること
ができる。Further, according to the IC test probe of the present invention, if the resistance values of the input resistor and the feedback resistor connected to the operational amplifier and the voltage supplied from the voltage source are known, the output of the operational amplifier is known. By measuring the voltage generated at the terminal, the value of the internal resistance of the IC under test and the value of the current flowing from the IC under test to the operational amplifier can be calculated.
【００１１】つまり、電圧源から被試験ＩＣの端子に所
定の電圧を印加した状態で被試験ＩＣの端子に流れる電
流を測定できるから、電圧印加電流測定試験を行うこと
もできる利点が得られる。That is, since a current flowing to the terminal of the IC under test can be measured while a predetermined voltage is applied from the voltage source to the terminal of the IC under test, there is an advantage that a voltage applied current measurement test can be performed.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】図１にこの発明によるＩＣ試験用
プローブと、このＩＣ試験用プローブを用いたＩＣの直
流試験装置の一実施例を示す。図１において３００はこ
の発明で提案するＩＣ試験用プローブを示す。この発明
によるＩＣ試験用プローブ３００は演算増幅器３０１
と、この演算増幅器３０１の反転入力端子とプローブ３
００の入力端子Ｐ１との間に接続される入力抵抗器３０
２と、演算増幅器３０１の反転入力端子と出力端子との
間に接続した帰還抵抗器３０３と、演算増幅器３０１の
非反転入力端子とプローブ３００のコモン入力端子Ｐ２
との間に接続した電圧源３０４とによって構成される。FIG. 1 shows an embodiment of an IC test probe according to the present invention and an IC DC test apparatus using the IC test probe. In FIG. 1, reference numeral 300 denotes an IC test probe proposed in the present invention. An IC test probe 300 according to the present invention includes an operational amplifier 301.
And the inverting input terminal of the operational amplifier 301 and the probe 3
Input resistor 30 connected between the input terminal P1
2, a feedback resistor 303 connected between an inverting input terminal and an output terminal of the operational amplifier 301, a non-inverting input terminal of the operational amplifier 301, and a common input terminal P2 of the probe 300.
And a voltage source 304 connected between them.
【００１３】ＩＣ試験用プローブ３００の出力側にリレ
ー接点ＳＷ１，ＳＷ２を接続し、ＩＣ試験用プローブ３
００の出力側に直流試験ユニット１０と機能試験ユニッ
ト２０をこれらリレー接点ＳＷ１とＳＷ２を通じて選択
的に接続してＩＣ試験装置２００を構成する。ＩＣ試験
用プローブ３００の入力側には浮遊容量Ｃ４とＣ５が発
生するが、この浮遊容量Ｃ４とＣ５は入力抵抗器３０２
とコモン電極ＣＭとの間に発生する浮遊容量であるか
ら、リレー接点ＳＷ１とＳＷ２に寄生する浮遊容量Ｃ１
〜Ｃ３と比較して容量値は小さい。しかも、演算増幅器
３０１の入力インピーダンスを高く採ることができるか
ら、被試験ＩＣ１００が低電力型であっても浮遊容量Ｃ
４，Ｃ５を充分駆動することができる。The relay contacts SW1 and SW2 are connected to the output side of the IC test probe 300, and the IC test probe 3 is connected.
The DC test unit 10 and the function test unit 20 are selectively connected to the output side of 00 through the relay contacts SW1 and SW2 to configure the IC test apparatus 200. On the input side of the IC test probe 300, stray capacitances C4 and C5 are generated.
And the stray capacitance generated between the common electrode CM and the stray capacitance C1 parasitic on the relay contacts SW1 and SW2.
The capacitance value is smaller than that of C3. In addition, since the input impedance of the operational amplifier 301 can be set high, even if the IC under test 100 is a low power type, the stray capacitance C
4, C5 can be driven sufficiently.
【００１４】またリレー接点ＳＷ１，ＳＷ２を演算増幅
器３０１の出力側に接続したから、浮遊容量Ｃ１〜Ｃ３
の容量が比較的大きくても、これらの浮遊容量は演算増
幅器３０１で充分駆動することができる。この結果、機
能試験時に被試験ＩＣ１００から出力される信号の波形
を機能試験ユニット２０に正確に伝達することができる
利点が得られる。Since the relay contacts SW1 and SW2 are connected to the output side of the operational amplifier 301, the stray capacitances C1 to C3
These stray capacitances can be sufficiently driven by the operational amplifier 301 even if the capacitances of these are relatively large. As a result, there is an advantage that the waveform of the signal output from the IC under test 100 during the function test can be accurately transmitted to the function test unit 20.
【００１５】更に、この発明によるＩＣ試験用プローブ
３００は、このＩＣ試験用プローブ３００自体で被試験
ＩＣ１００の端子の直流特性の試験を行うことができ
る。直流特性試験とは被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO
の値、或いは被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm を測
定することにある。 内部抵抗ＲO の測定 被試験ＩＣ１００の出力電圧Ｖo がＶo ＝０の場合に
は、演算増幅器３０１の入力端子間には電圧源３０４の
電圧Ｖinが印加される。入力抵抗器３０２の抵抗値をＲ
1 ，帰還抵抗器３０３の抵抗値をＲf ，演算増幅器３０
１の出力電圧をＶ OUT ，入力抵抗器Ｒ1 を流れる電流を
Ｉin，帰還抵抗器３０３を流れる電流ＩOとすると、Ｉ
in＝ＩO となるように演算増幅器３０１が動作し、入力
端子間の電位が同電位となる。従って、次式が成立す
る。Furthermore, an IC test probe according to the present invention
300 is a test object of the IC test probe 300 itself.
Can test DC characteristics of IC100 terminals
You. DC characteristics test means the internal resistance R of the IC under test 100.O
Or the current Im output from the IC under test 100 is measured.
Is to determine. Internal resistance ROIs measured when the output voltage Vo of the IC under test 100 is Vo = 0.
Is a voltage source 304 between the input terminals of the operational amplifier 301.
Voltage VinIs applied. When the resistance of the input resistor 302 is R
1, The resistance of the feedback resistor 303 is Rf, Operational amplifier 30
1 output voltage to V OUT, Input resistor R1The current flowing through
Iin, The current I flowing through the feedback resistor 303OThen I
in= IOThe operational amplifier 301 operates so that
The potential between the terminals becomes the same potential. Therefore, the following equation holds
You.
【００１６】 ＩO （ＲO ＋Ｒ1 ）＝Ｖin ………… （１） ＶOUT −Ｖin＝Ｒf ・ＩO ………… （２） （１），（２）式から内部抵抗ＲO は ＲO ＝｛Ｖin・Ｒf ／（ＶOUT −Ｖin）｝−Ｒ1 で求めることができる。電圧源３０４は一般にＤＡ変換
器等で構成することができ、その発生電圧Ｖinは既知と
することができる。また、Ｒ1 ，Ｒf も既知とすること
ができるから、従って直流試験装置１０はリレー接点Ｓ
Ｗ１を通じて演算増幅器３０１の出力電圧ＶOUT を測定
することにより、被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の値
を測定することができる。I O (R O + R 1 ) = V in (1) V OUT −V in = R f · I O (2) From the equations (1) and (2), the internal resistance is obtained. R O is R O = {V in · R f / (V OUT -V in)} - can be obtained by R 1. Voltage source 304 can generally be configured by the DA converter or the like, the generated voltage V in can be known. In addition, since R 1 and R f can be known, the DC test apparatus 10 can be connected to the relay contact S
By measuring the output voltage V OUT of the operational amplifier 301 through W1, the value of the internal resistance R O of the IC under test 100 can be measured.
【００１７】 電流Ｉm の測定 電圧源３０４の発生電圧Ｖinが被試験ＩＣ１００の端子
Ｔ１とＴ２に印加されている状態で、被試験ＩＣ１００
を流れる電流Ｉm は入力抵抗器３０２を流れる電流Ｉm
と等価であるものと見ることができる。Ｉin＝ＩO であ
るから電流Ｉmは（１）式から Ｉm ＝ＩO ＝Ｖin／（ＲO ＋Ｒ1 ） で求めることができる。[0017] In a state where the generated voltage V in the measurement voltage source 304 of the current Im is applied to the terminals T1 and T2 of the test IC100, tested IC100
Is the current Im flowing through the input resistor 302.
Can be seen as being equivalent to Since I in = I o , the current Im can be obtained from the equation (1) as Im = I o = V in / (R o + R 1 ).
【００１８】このように、この発明によるＩＣ試験用プ
ローブ３００は機能試験時に被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り届け
る機能を具備している点と、直流試験時はプローブ自体
で被試験ＩＣ１００の直流特性を測定できる機能を具備
している。この結果、直流試験ユニット１０は単に演算
増幅器３０１が出力する電圧ＶOUT を測定し、この測定
結果を用いて内部抵抗ＲO の値を演算する機能と、電圧
源３０４が発生する電圧Ｖinの値（既知の値）を取得し
て電流Ｉm を算出する機能を持てばよく、その構成を簡
素化することができる。As described above, the IC test probe 300 according to the present invention has the function of correctly sending the waveform of the signal output from the IC under test 100 to the function test unit 20 at the time of the function test, and the function of the probe at the time of the DC test. It has a function of measuring the DC characteristics of the IC under test 100 by itself. As a result, the DC test unit 10 is simply measures the voltage V OUT of the operational amplifier 301 is output, a function of calculating the value of the internal resistance R O using this measurement result, the voltage V in the voltage source 304 to generate What is necessary is just to have a function of acquiring a value (known value) and calculating the current Im, and the configuration can be simplified.
【００１９】図２は被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉ
m が微小値である場合のＩＣ試験用プローブの構成例を
示す。この場合には演算増幅器３０１の反転入力端子と
出力端子との間に積分コンデンサ３０５を接続し、演算
増幅器３０１を積分器として動作させ、積分コンデンサ
３０５に積分される電圧値の変化ΔＶを測定して電流Ｉ
m を求める構成としたものである。FIG. 2 shows the current I output from the IC under test 100.
5 shows a configuration example of an IC test probe when m is a minute value. In this case, an integrating capacitor 305 is connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 301, the operational amplifier 301 is operated as an integrator, and a change ΔV in a voltage value integrated in the integrating capacitor 305 is measured. Current I
It is configured to obtain m.
【００２０】このためには直流試験ユニット１０に予め
規定した単位時間ｔの間に演算増幅器３０１の出力電圧
ＶOUT の変化量ΔＶを取り込む手段を設け、このΔＶを
取得することにより、 Ｉm ＝ΔＶ・Ｃ／ｔ ………… （３） で電流Ｉm を求めることができる。For this purpose, the DC test unit 10 is provided with means for taking in the variation ΔV of the output voltage V OUT of the operational amplifier 301 during a unit time t defined in advance, and by acquiring this ΔV, Im = ΔV C / t: The current Im can be obtained from (3).
【００２１】この積分型のＩＣ試験用プローブを用いる
ことにより、電流Ｉm の値が微小であっても時間ｔを長
く採ることにより精度よく電流Ｉm の値を求めることが
できる利点が得られる。図３は図１と図２の実施例を組
み合わせ、微小電流の測定が可能な直流試験と機能試験
の双方を行うことができるＩＣ試験用プローブの構成を
示す。By using this integral type IC test probe, there is an advantage that even if the value of the current Im is very small, the value of the current Im can be obtained accurately by taking a long time t. FIG. 3 shows the configuration of an IC test probe that combines the embodiments of FIG. 1 and FIG. 2 and that can perform both a DC test and a function test capable of measuring a minute current.
【００２２】このためには演算増幅器３０１の反転入力
端子と出力端子との間にスイッチ３０６と３０７を通じ
て帰還抵抗器３０３と積分コンデンサ３０５を選択的に
接続できる構成としたものである。従って、機能試験及
び被試験ＩＣ１００の内部抵抗ＲO の測定、或いは被試
験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が比較的大きい値
の場合はスイッチ３０６をオン、スイッチ３０７をオフ
の状態にして、帰還抵抗器３０３を接続した状態とし、
被試験ＩＣ１００が出力する電流Ｉm の値が微小値、例
えばリーク電流を測定する場合はスイッチ３０６をオ
フ、スイッチ３０７をオンの状態に切り替えればよい。For this purpose, the configuration is such that the feedback resistor 303 and the integrating capacitor 305 can be selectively connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 301 through the switches 306 and 307. Therefore, the function test and measurement of the internal resistance R O of the IC under test 100, or when the value of the current Im output from the IC under test 100 is a relatively large value, the switch 306 is turned on and the switch 307 is turned off, and the feedback is performed. With the resistor 303 connected,
When the value of the current Im output from the IC under test 100 is a minute value, for example, when measuring a leak current, the switch 306 may be turned off and the switch 307 may be turned on.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上の説明したように、この発明による
ＩＣ試験用プローブを用いることにより、被試験ＩＣ１
００が低電力型であっても、被試験ＩＣ１００が出力す
る信号の波形を正しく機能試験ユニット２０に送り込む
ことができる。この結果、低電力型のＩＣでも信頼性の
高い機能試験を行うことができる。As described above, by using the IC test probe according to the present invention, the IC under test 1
Even if 00 is a low power type, the waveform of the signal output from the IC under test 100 can be correctly sent to the function test unit 20. As a result, a highly reliable functional test can be performed even with a low-power IC.
【００２４】更に、プローブ自体でＩＣの端子の直流試
験を行うことができる。この結果として直流試験ユニッ
ト１０の構成を簡素化することができる利点も得られ
る。Further, a direct current test of the terminals of the IC can be performed by the probe itself. As a result, there is an advantage that the configuration of the DC test unit 10 can be simplified.
【図１】この発明によるＩＣ試験用プローブと、これを
用いたＩＣの直流試験方法を説明するための接続図。FIG. 1 is a connection diagram for explaining an IC test probe according to the present invention and a DC test method for an IC using the probe.
【図２】この発明によるＩＣ試験用プローブの他の実施
例を説明するための接続図。FIG. 2 is a connection diagram for explaining another embodiment of the IC test probe according to the present invention.
【図３】この発明によるＩＣ試験用プローブの更に他の
実施例を説明するための接続図。FIG. 3 is a connection diagram for explaining still another embodiment of the IC test probe according to the present invention.
【図４】従来の技術を説明するための接続図。FIG. 4 is a connection diagram for explaining a conventional technique.
１００ 被試験ＩＣ ２００ ＩＣ試験装置 ３００ ＩＣ試験用プローブ ３０１ 演算増幅器 ３０２ 入力抵抗器 ３０３ 帰還抵抗器 ３０４ 電圧源 ３０５ 積分コンデンサ ＳＷ１，ＳＷ２ リレー接点 REFERENCE SIGNS LIST 100 IC under test 200 IC test apparatus 300 IC test probe 301 Operational amplifier 302 Input resistor 303 Feedback resistor 304 Voltage source 305 Integration capacitor SW1, SW2 Relay contact
Claims (3)
入力端子との間に既知の値を持つ入力抵抗器を接続し、
演算増幅器の非反転入力端子とプローブのコモン入力端
子との間に既知の電圧を発生する電圧源とを接続すると
共に、演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に既
知の値を持つ帰還抵抗器を接続し、演算増幅器の出力側
にリレー接点を通じて直流試験ユニットと機能試験ユニ
ットとを選択的に接続する構成としたことを特徴とする
ＩＣ試験用プローブ。1. An input resistor having a known value is connected between an inverting input terminal of an operational amplifier and an input terminal of a probe,
A voltage source for generating a known voltage is connected between the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the common input terminal of the probe, and a feedback having a known value is provided between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier. An IC test probe, wherein a resistor is connected, and a DC test unit and a function test unit are selectively connected to an output side of an operational amplifier through a relay contact.
力側にリレー接点を通じて直流試験ユニットを接続した
状態において、上記直流試験ユニットに上記演算増幅器
の出力電圧値を測定する手段と、この出力電圧値と上記
電圧源が発生する電圧値、帰還抵抗器の抵抗値、入力抵
抗器の抵抗値とにより被試験ＩＣの内部抵抗を演算する
演算手段とを設けた構成としたことを特徴とするＩＣの
直流試験装置。2. A means for measuring an output voltage value of the operational amplifier to the DC test unit in a state where a DC test unit is connected to the output side of the IC test probe through a relay contact according to claim 1. A calculation means for calculating the internal resistance of the IC under test based on the voltage value, the voltage value generated by the voltage source, the resistance value of the feedback resistor, and the resistance value of the input resistor is provided. DC test equipment for IC.
入力端子との間に既知の値を持つ入力抵抗器を接続し、
演算増幅器の非反転入力端子とプローブのコモン入力端
子との間に既知の電圧を発生する電圧源とを接続すると
共に、演算増幅器の反転入力端子と出力端子との間に既
知の容量値を持つ積分コンデンサを接続し、直流試験ユ
ニットに上記積分コンデンサに積分される積分電圧の単
位時間当たりの変化量を測定する手段と、この変化量と
上記積分コンデンサの容量値及び上記電圧源が出力する
電圧値とから被試験ＩＣを流れる電流の値を算出する演
算手段とを設けた構成としたことを特徴とするＩＣの直
流試験装置。3. An input resistor having a known value is connected between an inverting input terminal of the operational amplifier and an input terminal of the probe,
Connect a voltage source that generates a known voltage between the non-inverting input terminal of the operational amplifier and the common input terminal of the probe, and have a known capacitance value between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier Means for connecting an integrating capacitor to the DC test unit for measuring a change per unit time of an integrated voltage integrated in the integrating capacitor; a change amount, a capacitance value of the integrating capacitor, and a voltage output from the voltage source; And a calculating means for calculating a value of a current flowing through the IC under test from the values.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084064A JP2000275302A (en) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Probe for ic test and dc testing device for ic |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084064A JP2000275302A (en) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Probe for ic test and dc testing device for ic |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275302A true JP2000275302A (en) | 2000-10-06 |
Family
ID=13820076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11084064A Withdrawn JP2000275302A (en) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | Probe for ic test and dc testing device for ic |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275302A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002214279A (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Akita Kaihatsu Center Ard:Kk | Device evaluation circuit |
| WO2013054782A1 (en) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | シャープ株式会社 | Resistance measuring device, connection resistance measuring method |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11084064A patent/JP2000275302A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002214279A (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-31 | Akita Kaihatsu Center Ard:Kk | Device evaluation circuit |
| WO2013054782A1 (en) * | 2011-10-12 | 2013-04-18 | シャープ株式会社 | Resistance measuring device, connection resistance measuring method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6856138B2 (en) | Time-domain reflectometer for testing terminated network cable | |
| JP4290370B2 (en) | Driving device for driving display and display device including driving device | |
| JP2008524629A (en) | Method and system for testing semiconductor devices | |
| US4947106A (en) | Programmatically generated in-circuit test of analog to digital converters | |
| JP2001522461A (en) | Integrated circuit tester with compensation for leakage current | |
| JP3119335B2 (en) | IC test equipment | |
| KR100555544B1 (en) | Apparatus for generating test stimulus signal having current source regardless of internal impedance value of a device under test | |
| US5760596A (en) | Testing series passive components without contacting the driven node | |
| JP2000275302A (en) | Probe for ic test and dc testing device for ic | |
| JP4720696B2 (en) | Signal measuring device | |
| JP4310280B2 (en) | Impedance conversion circuit, input / output circuit and semiconductor test equipment | |
| JP2009156580A (en) | Input capacitance measuring circuit | |
| US6949946B1 (en) | Integrated semiconductor circuit and method for functional testing of pad cells | |
| JP4674005B2 (en) | Power supply device and test device | |
| JP4173229B2 (en) | IC test equipment | |
| JP2001133519A (en) | Device for testing ic | |
| JP2827233B2 (en) | Semiconductor test equipment | |
| JP3436138B2 (en) | Bias power supply circuit for semiconductor test equipment | |
| JPH10213616A (en) | Integrated circuit for driving liquid crystal and method for testing | |
| JPH09325176A (en) | Ic tester | |
| US7141984B2 (en) | Switching circuit for current measurement range resistor and current measurement apparatus including switching circuit | |
| JPH09214296A (en) | Schmitt input buffer for semiconductor device and inspecting method of the same | |
| JP2000292478A (en) | Ic test method and ic tester | |
| JP2002062333A (en) | Measuring apparatus | |
| JPH11211787A (en) | Ic tester |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |