JP2000275025A - 試料検査装置 - Google Patents
試料検査装置Info
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外周部の高さが異なる試料の自重を端面にか
けることのない状態で試料にキズをつけることなく試料
の複数の端部を略水平に保ち端部をカメラから一定の距
離に保持して、撮像し形状計測あるいは形状検査できる
試料検査装置を提供する。 【解決手段】 試料３１をカメラ撮像範囲まで搬送ベル
ト４４で運び、容器３１がカメラ撮像範囲にあるとき、
シリンダー６１で加圧板２１を規定された位置まで押し
下げ、加圧板２１の下にある容器３１をカメラ９からの
距離を一定に保つように押さえる。それに対し、搬送ベ
ルト４４の裏側からは受圧ローラ４７で加圧板２１と容
器３１の間で容器３１が破壊しないように押し上げる。
その状態で容器３１をカメラ９で撮像し、そのデータを
画像処理装置１０で処理し、検査する。
けることのない状態で試料にキズをつけることなく試料
の複数の端部を略水平に保ち端部をカメラから一定の距
離に保持して、撮像し形状計測あるいは形状検査できる
試料検査装置を提供する。 【解決手段】 試料３１をカメラ撮像範囲まで搬送ベル
ト４４で運び、容器３１がカメラ撮像範囲にあるとき、
シリンダー６１で加圧板２１を規定された位置まで押し
下げ、加圧板２１の下にある容器３１をカメラ９からの
距離を一定に保つように押さえる。それに対し、搬送ベ
ルト４４の裏側からは受圧ローラ４７で加圧板２１と容
器３１の間で容器３１が破壊しないように押し上げる。
その状態で容器３１をカメラ９で撮像し、そのデータを
画像処理装置１０で処理し、検査する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器などの試料の
表面形状あるいは内面を撮像し、形状計測あるいは試料
のキズ、汚れの検出をする検査装置に関する。
表面形状あるいは内面を撮像し、形状計測あるいは試料
のキズ、汚れの検出をする検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】皿や壁掛け時計の本体を収納する容器な
ど、特に外周部の高さが一定でないような形状の容器に
絵文字を印刷する場合、見かけ上のバランスから、容器
の複数の上端部のなす平面での形状を計測し、その形状
の重心位置から印刷位置が決められる。また、容器の端
面は製造途中や搬送中にキズ、汚れが発生しやすくそれ
らの検査をする必要がある。
ど、特に外周部の高さが一定でないような形状の容器に
絵文字を印刷する場合、見かけ上のバランスから、容器
の複数の上端部のなす平面での形状を計測し、その形状
の重心位置から印刷位置が決められる。また、容器の端
面は製造途中や搬送中にキズ、汚れが発生しやすくそれ
らの検査をする必要がある。
【０００３】従来、皿等の容器の上端面の形状寸法計測
およびキズ、汚れの検出は外周部の高さが一定な形状の
ものについては、特開昭５７−１７９６５１に示される
ようにコンベアー等の搬送手段によって運ばれてきた容
器を、位置決め装置によりあらかじめ決められた検査位
置に位置決めした後、検査を行っていた。そうすること
により、検査対象の外周の高さが一定のため外周上の位
置によらず、センサーはコンベアー面に対し垂直に置い
ただけで、センサーからの距離は周上のどの点も一定に
保たれ、計測あるいは検査が可能となる。また、図７は
従来例における容器を伏せた状態での構成図である。こ
の例のように外周部の高さが一定でない形状をもつよう
な容器の場合で、試料内部の検査を行わずに外周径の計
測のみをおこなうには、図７に示すように駆動プーリ４
５と従動プーリ４６にかけられた搬送ベルト４４上の試
料３１の方向を一定に揃えずに試料を伏せた状態にし
て、試料の上端面を搬送ベルトに押しつけて、ベルト面
に形成される試料の底部の形状から、カメラ等の撮像手
段で外周を計測していた。また、図８は従来例における
外周部の高さが一定でない形状をもつ試料に対するカメ
ラ位置を示す図である。図８に示すように、検査対象と
する試料３１毎に外周部上端面のなす平面１０１上の試
料の外周面で囲まれた領域の重心を通り、平面１０１の
法線上にカメラ等のセンサーを配置していた。
およびキズ、汚れの検出は外周部の高さが一定な形状の
ものについては、特開昭５７−１７９６５１に示される
ようにコンベアー等の搬送手段によって運ばれてきた容
器を、位置決め装置によりあらかじめ決められた検査位
置に位置決めした後、検査を行っていた。そうすること
により、検査対象の外周の高さが一定のため外周上の位
置によらず、センサーはコンベアー面に対し垂直に置い
ただけで、センサーからの距離は周上のどの点も一定に
保たれ、計測あるいは検査が可能となる。また、図７は
従来例における容器を伏せた状態での構成図である。こ
の例のように外周部の高さが一定でない形状をもつよう
な容器の場合で、試料内部の検査を行わずに外周径の計
測のみをおこなうには、図７に示すように駆動プーリ４
５と従動プーリ４６にかけられた搬送ベルト４４上の試
料３１の方向を一定に揃えずに試料を伏せた状態にし
て、試料の上端面を搬送ベルトに押しつけて、ベルト面
に形成される試料の底部の形状から、カメラ等の撮像手
段で外周を計測していた。また、図８は従来例における
外周部の高さが一定でない形状をもつ試料に対するカメ
ラ位置を示す図である。図８に示すように、検査対象と
する試料３１毎に外周部上端面のなす平面１０１上の試
料の外周面で囲まれた領域の重心を通り、平面１０１の
法線上にカメラ等のセンサーを配置していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の検査装置は
高さ方向に非対称の試料を整列させずに任意の方向で連
続して検査する場合、前もって試料の外周部の高さの最
高位置、最低位置を把握し一定の方向に揃える必要があ
る。その方向を揃えた状態で試料の形状に対応した方向
にカメラを配置する必要がある。
高さ方向に非対称の試料を整列させずに任意の方向で連
続して検査する場合、前もって試料の外周部の高さの最
高位置、最低位置を把握し一定の方向に揃える必要があ
る。その方向を揃えた状態で試料の形状に対応した方向
にカメラを配置する必要がある。
【０００５】さらに、複数のサイズの試料を混在して検
査するには、それぞれの試料に対応した位置に複数のカ
メラを配置するか、それぞれの試料のサイズおよび、方
向に対応した位置にカメラを移動させる必要がある。し
かし、カメラを移動させる場合にもあらかじめ、試料の
上端部の高さを計測する必要がある。また、位置決め精
度を確保するためには、移動機構や制御機構が複雑にな
り、また処理時間も長くなる。皿のような試料で、特に
周辺の上端部が薄く、かつ、高さが緩やかに変化した形
状のものは水平方向、垂直方向どちらからでも、正確な
高さを検出することが困難となっている。また、図７の
ように試料を伏せた状態で検査する場合、自重が端面に
かかって、キズがつく等の問題がある。
査するには、それぞれの試料に対応した位置に複数のカ
メラを配置するか、それぞれの試料のサイズおよび、方
向に対応した位置にカメラを移動させる必要がある。し
かし、カメラを移動させる場合にもあらかじめ、試料の
上端部の高さを計測する必要がある。また、位置決め精
度を確保するためには、移動機構や制御機構が複雑にな
り、また処理時間も長くなる。皿のような試料で、特に
周辺の上端部が薄く、かつ、高さが緩やかに変化した形
状のものは水平方向、垂直方向どちらからでも、正確な
高さを検出することが困難となっている。また、図７の
ように試料を伏せた状態で検査する場合、自重が端面に
かかって、キズがつく等の問題がある。
【０００６】そこで、本発明は、外周部の高さが異なる
形状であっても自重を被検査物である試料の端面にかけ
ることなく、また撮像手段を移動させることなく試料の
上端部のなす平面とカメラを一定の距離に保った状態
で、試料の外周部の計測やキズ、汚れ等の検査ができる
ようにすることを目的とする。
形状であっても自重を被検査物である試料の端面にかけ
ることなく、また撮像手段を移動させることなく試料の
上端部のなす平面とカメラを一定の距離に保った状態
で、試料の外周部の計測やキズ、汚れ等の検査ができる
ようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、撮像
手段を用いて試料の形状計測や外観検査を行う検査装置
において、複数の試料を連続して撮像手段の撮像範囲に
運ぶ搬送手段と、光透過性の材質よりなり前記撮像範囲
内で前記試料の複数の上端部を略水平面となすように試
料を前記搬送手段に挟みつけて押圧する加圧手段と、前
記搬送手段の受圧部分に前記試料を支持するように受圧
調整手段を設け、前記試料の複数の上端部のなす前記略
水平面の垂線上に配置した撮像手段と、前記撮像手段で
撮像したデータを取り込み処理する画像処理装置とを備
えることを特徴とする。
手段を用いて試料の形状計測や外観検査を行う検査装置
において、複数の試料を連続して撮像手段の撮像範囲に
運ぶ搬送手段と、光透過性の材質よりなり前記撮像範囲
内で前記試料の複数の上端部を略水平面となすように試
料を前記搬送手段に挟みつけて押圧する加圧手段と、前
記搬送手段の受圧部分に前記試料を支持するように受圧
調整手段を設け、前記試料の複数の上端部のなす前記略
水平面の垂線上に配置した撮像手段と、前記撮像手段で
撮像したデータを取り込み処理する画像処理装置とを備
えることを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１に記載の発明
であって、前記搬送手段が、無限軌道となる搬送ベルト
と、前記搬送ベルトを駆動させる駆動手段と、前記加圧
手段で搬送ベルトに加えられる長さの変化分を調整する
長さ調整手段とを備えることを特徴とする。
であって、前記搬送手段が、無限軌道となる搬送ベルト
と、前記搬送ベルトを駆動させる駆動手段と、前記加圧
手段で搬送ベルトに加えられる長さの変化分を調整する
長さ調整手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】請求項３の発明は、請求項１または２に記
載の発明であって、前記加圧手段が、試料を押圧する加
圧板と、前記加圧板を略水平に保った状態で上下動をガ
イドするリニアガイドと、前記加圧板に上部から押圧力
を与えるシリンダーとを備えることを特徴とする。
載の発明であって、前記加圧手段が、試料を押圧する加
圧板と、前記加圧板を略水平に保った状態で上下動をガ
イドするリニアガイドと、前記加圧板に上部から押圧力
を与えるシリンダーとを備えることを特徴とする。
【００１０】請求項４の発明は、請求項１または２記載
の発明であって、前記加圧手段が、試料を押圧する加圧
板を複数枚互いに回転リンクで連結させた無限軌道構成
とし、前記無限軌道をなす加圧板を移送する駆動手段
と、前記加圧板の移動をガイドするように設けた複数の
ローラと、前記加圧板を略水平に保った状態で押圧しか
つ転動動作が可能な加圧ローラとを備えることを特徴と
する。
の発明であって、前記加圧手段が、試料を押圧する加圧
板を複数枚互いに回転リンクで連結させた無限軌道構成
とし、前記無限軌道をなす加圧板を移送する駆動手段
と、前記加圧板の移動をガイドするように設けた複数の
ローラと、前記加圧板を略水平に保った状態で押圧しか
つ転動動作が可能な加圧ローラとを備えることを特徴と
する。
【００１１】請求項５の発明は、請求項１から４のいず
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、試料を搭載した搬送手段の撮像範囲にある裏面に受
圧ローラと、前記受圧ローラの押し上げ力を調整しかつ
支持するように受圧力調整器とを備えることを特徴とす
る。
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、試料を搭載した搬送手段の撮像範囲にある裏面に受
圧ローラと、前記受圧ローラの押し上げ力を調整しかつ
支持するように受圧力調整器とを備えることを特徴とす
る。
【００１２】請求項６の発明は、請求項１から４のいず
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、試料を搭載した搬送手段の撮像範囲にある裏面に受
圧ローラと、前記加圧ローラの回転軸受け部に前記加圧
板の接触圧を検出する圧力センサーとを設け、前記圧力
センサーの検出値より受圧ローラの押し上げ力を調整し
かつ支持するように受圧力調整器を備えることを特徴と
する。
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、試料を搭載した搬送手段の撮像範囲にある裏面に受
圧ローラと、前記加圧ローラの回転軸受け部に前記加圧
板の接触圧を検出する圧力センサーとを設け、前記圧力
センサーの検出値より受圧ローラの押し上げ力を調整し
かつ支持するように受圧力調整器を備えることを特徴と
する。
【００１３】請求項７の発明は、請求項１から４のいず
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、前記搬送手段の搬送ベルトの一部に伸縮性のある素
材を使用した搬送ベルトで形成されることを特徴とす
る。
れか一つの項に記載の発明であって、前記受圧調整手段
が、前記搬送手段の搬送ベルトの一部に伸縮性のある素
材を使用した搬送ベルトで形成されることを特徴とす
る。
【００１４】請求項８の発明は、請求項１から７のいず
れか一つの項に記載の発明であって、前記加圧板の試料
に接触する部位を屈折率の異なる材質あるいは厚みを変
えて試料の拡大像を得るようにすることを特徴とする。
れか一つの項に記載の発明であって、前記加圧板の試料
に接触する部位を屈折率の異なる材質あるいは厚みを変
えて試料の拡大像を得るようにすることを特徴とする。
【００１５】上記構成による本発明の試料検査装置は、
試料の外周部の高さが一定でない形状であっても、加圧
手段と受圧手段の押し上げ力により試料の間に接触圧を
発生させ、その調整により自重を端面にかけることな
く、また撮像手段を動かすことなく検査対象である試料
端面を撮像手段に対して一定の距離に保持して、撮像し
検査することができる。
試料の外周部の高さが一定でない形状であっても、加圧
手段と受圧手段の押し上げ力により試料の間に接触圧を
発生させ、その調整により自重を端面にかけることな
く、また撮像手段を動かすことなく検査対象である試料
端面を撮像手段に対して一定の距離に保持して、撮像し
検査することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
に係る構成図で、被検査試料に撮像手段側から照射でき
るように配置された光源１１と、撮像手段として画像を
取り込むカメラ９と、加圧手段として試料を一定の位置
まで押さえ試料の上端部のなす平面を水平にし、カメラ
９からの距離を一定に保つ加圧板２１と、加圧板２１を
押さえるシリンダー６１と、加圧板２１の上下動作をガ
イドするリニアガイド６２と、搬送手段４０として試料
３１を連続的にカメラ撮像範囲へ運ぶ搬送ベルト４４
と、搬送ベルト４４を移動させる駆動プーリ４５と、従
動プーリ４６と、カメラ９で取り込んだデータを処理す
る画像処理装置１０とで構成される。
に係る構成図で、被検査試料に撮像手段側から照射でき
るように配置された光源１１と、撮像手段として画像を
取り込むカメラ９と、加圧手段として試料を一定の位置
まで押さえ試料の上端部のなす平面を水平にし、カメラ
９からの距離を一定に保つ加圧板２１と、加圧板２１を
押さえるシリンダー６１と、加圧板２１の上下動作をガ
イドするリニアガイド６２と、搬送手段４０として試料
３１を連続的にカメラ撮像範囲へ運ぶ搬送ベルト４４
と、搬送ベルト４４を移動させる駆動プーリ４５と、従
動プーリ４６と、カメラ９で取り込んだデータを処理す
る画像処理装置１０とで構成される。
【００１７】加圧板２１は光透過性の例えば、プラスチ
ック板などを用いる。撮像手段としては他に撮像管など
も用いることが可能である。
ック板などを用いる。撮像手段としては他に撮像管など
も用いることが可能である。
【００１８】図２は同じく図１に示した実施の形態に係
る搬送手段４０の説明図で、搬送手段４０は、加圧板で
押さえられた試料を下側から搬送ベルト４４を介して押
し上げる受圧ローラ４７と、撮像範囲の前後で搬送ベル
ト４４をガイドするベルトガイド４１ａ、４１ｂと、加
圧板２１および試料３１で押し下げられた搬送ベルト４
４の長さの変化を吸収するためのテンションプーリ４８
と、テンションプーリ４８により押し広げられた搬送ベ
ルト４４が駆動プーリ４５、従動プーリ４６から外れる
のを防ぐガイドプーリ４３ａ、４３ｂとから構成され
る。
る搬送手段４０の説明図で、搬送手段４０は、加圧板で
押さえられた試料を下側から搬送ベルト４４を介して押
し上げる受圧ローラ４７と、撮像範囲の前後で搬送ベル
ト４４をガイドするベルトガイド４１ａ、４１ｂと、加
圧板２１および試料３１で押し下げられた搬送ベルト４
４の長さの変化を吸収するためのテンションプーリ４８
と、テンションプーリ４８により押し広げられた搬送ベ
ルト４４が駆動プーリ４５、従動プーリ４６から外れる
のを防ぐガイドプーリ４３ａ、４３ｂとから構成され
る。
【００１９】図１及び図２で作用を説明する。駆動プー
リ４５と従動プーリ４６にかけられ駆動される搬送ベル
ト４４上の試料３１が、搬送ベルト４４の移動とともに
カメラ撮像範囲に達した時、加圧板２１が水平を保たれ
たままリニアガイド６２で上下動をガイドされ、シリン
ダー６１で押し下げられる。加圧板２１が規定の位置に
達するまで、受圧ローラ４７方向へ試料３１は押し下げ
られる。押し下げられた試料３１の上端部のなす平面と
カメラ９を一定の距離に保持する。この状態で試料３１
は加圧板２１を透過した光源１１からの光を照射され
る。カメラ９はその画像を取り込み、画像データを画像
処理装置１０へ送る。そのデータを画像処理装置１０は
処理し、試料３１の形状を計測したり、キズや汚れの検
査を行うことができる。計測が終了すると、シリンダー
６１の押圧力は解放され、リニアガイド６２は上昇し、
試料３１は搬送ベルト４４の移動とともに次工程へ搬送
される。
リ４５と従動プーリ４６にかけられ駆動される搬送ベル
ト４４上の試料３１が、搬送ベルト４４の移動とともに
カメラ撮像範囲に達した時、加圧板２１が水平を保たれ
たままリニアガイド６２で上下動をガイドされ、シリン
ダー６１で押し下げられる。加圧板２１が規定の位置に
達するまで、受圧ローラ４７方向へ試料３１は押し下げ
られる。押し下げられた試料３１の上端部のなす平面と
カメラ９を一定の距離に保持する。この状態で試料３１
は加圧板２１を透過した光源１１からの光を照射され
る。カメラ９はその画像を取り込み、画像データを画像
処理装置１０へ送る。そのデータを画像処理装置１０は
処理し、試料３１の形状を計測したり、キズや汚れの検
査を行うことができる。計測が終了すると、シリンダー
６１の押圧力は解放され、リニアガイド６２は上昇し、
試料３１は搬送ベルト４４の移動とともに次工程へ搬送
される。
【００２０】この時、搬送ベルト４４は受圧ローラ４７
側へ押された長さ分、テンションプーリ４８で調整され
る。このとき、駆動プーリ４５、従動プーリ４６から搬
送ベルト４４が外れないようガイドプーリ４３ａ、４３
ｂでガイドする。
側へ押された長さ分、テンションプーリ４８で調整され
る。このとき、駆動プーリ４５、従動プーリ４６から搬
送ベルト４４が外れないようガイドプーリ４３ａ、４３
ｂでガイドする。
【００２１】図３は本発明の第２の実施の形態に係る構
成図である。加圧手段２０は第１の実施の形態の加圧板
を連結し、試料３１のカメラ撮像範囲への供給を連続的
におこなえるようにした加圧系である。なお、図１と重
複する説明は省略する。第１の実施の形態に対し、撮像
範囲の前の段階から徐々に加圧されるため試料３１に衝
撃力を加えることなく、また搬送手段４０と加圧手段２
０との間で確実に把持するため撮像範囲の正確な位置へ
の搬送ができる。
成図である。加圧手段２０は第１の実施の形態の加圧板
を連結し、試料３１のカメラ撮像範囲への供給を連続的
におこなえるようにした加圧系である。なお、図１と重
複する説明は省略する。第１の実施の形態に対し、撮像
範囲の前の段階から徐々に加圧されるため試料３１に衝
撃力を加えることなく、また搬送手段４０と加圧手段２
０との間で確実に把持するため撮像範囲の正確な位置へ
の搬送ができる。
【００２２】図４は本発明の第２の実施の形態に係る加
圧手段２０の説明図である。加圧手段２０は加圧板２１
ａを移動可能な状態で、容器３１を移動とともに一定の
位置まで押さえる加圧ローラ２２ａ、２２ｂと、加圧板
２１ａの端部を別の加圧板と突き合わせ、突き合わせた
辺を軸に加圧板２１ａを回転可能な状態で連結する回転
リンク２８と、無限軌道をなすように連結した加圧板２
１ａをガイドするローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４
ｄと、ローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄと同様に
加圧板２１ａをガイドしながら回転板２１ａが移動しや
すいように冗長性を持たせた状態で固定されたテンショ
ンガイド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄとから構成さ
れる。
圧手段２０の説明図である。加圧手段２０は加圧板２１
ａを移動可能な状態で、容器３１を移動とともに一定の
位置まで押さえる加圧ローラ２２ａ、２２ｂと、加圧板
２１ａの端部を別の加圧板と突き合わせ、突き合わせた
辺を軸に加圧板２１ａを回転可能な状態で連結する回転
リンク２８と、無限軌道をなすように連結した加圧板２
１ａをガイドするローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４
ｄと、ローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄと同様に
加圧板２１ａをガイドしながら回転板２１ａが移動しや
すいように冗長性を持たせた状態で固定されたテンショ
ンガイド２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄとから構成さ
れる。
【００２３】図３および図４に示した第２の実施の形態
では、搬送手段４０で移動する試料３１がローラ２４ａ
と加圧ローラ２２ａの間の位置に達した時、加圧板２１
ａとベルトガイド４１ａに押し上げられた搬送ベルト４
４の間に挟まれ固定されながら移動していく。そのあ
と、加圧ローラ２２ａを過ぎた時点からさらに下に押し
下げられ規定の位置に達する。カメラ９で受圧ローラ４
７方向へ押し下げられた試料３１の画像を取り込み、画
像データを画像処理装置１０へ送り、そのデータを画像
処理装置１０で処理する。試料３１と接触した状態で移
動した加圧板２１ａはローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、
２４ｄにガイドされながら順次、移動し撮像範囲のとこ
ろへもどってくる。このように試料３１に急激な力を加
えずに、連続的に規定の位置まで押し下げることによ
り、試料３１の上端部のなす平面とカメラ９を一定の距
離に保ちながら、形状を計測したりキズや汚れの検査を
行う。
では、搬送手段４０で移動する試料３１がローラ２４ａ
と加圧ローラ２２ａの間の位置に達した時、加圧板２１
ａとベルトガイド４１ａに押し上げられた搬送ベルト４
４の間に挟まれ固定されながら移動していく。そのあ
と、加圧ローラ２２ａを過ぎた時点からさらに下に押し
下げられ規定の位置に達する。カメラ９で受圧ローラ４
７方向へ押し下げられた試料３１の画像を取り込み、画
像データを画像処理装置１０へ送り、そのデータを画像
処理装置１０で処理する。試料３１と接触した状態で移
動した加圧板２１ａはローラ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、
２４ｄにガイドされながら順次、移動し撮像範囲のとこ
ろへもどってくる。このように試料３１に急激な力を加
えずに、連続的に規定の位置まで押し下げることによ
り、試料３１の上端部のなす平面とカメラ９を一定の距
離に保ちながら、形状を計測したりキズや汚れの検査を
行う。
【００２４】前記の試料検査装置において、搬送手段４
０の搬送ベルト４４をゴムなど伸縮性のある素材を使用
した搬送ベルトにすることにより、受圧ローラ４７をな
くしても同様の効果が得られる。また、試料３１が加圧
板２１で押さえられた時に生じる、搬送ベルト４４の長
さ変化を調整するテンションプーリ４８も不要になり、
維持管理を容易にすることができる。
０の搬送ベルト４４をゴムなど伸縮性のある素材を使用
した搬送ベルトにすることにより、受圧ローラ４７をな
くしても同様の効果が得られる。また、試料３１が加圧
板２１で押さえられた時に生じる、搬送ベルト４４の長
さ変化を調整するテンションプーリ４８も不要になり、
維持管理を容易にすることができる。
【００２５】図５は本発明の第３の実施の形態の加圧手
段および受圧調整手段の説明図で、加圧ローラ２２ａの
軸に取り付けた圧力センサー５２と、受圧ローラ４７の
押し上げ力を調整する受圧力調整器５１と、受圧力調整
器５１で受圧力を調整可能な受圧ローラ４７とから構成
される。試料３１は加圧ローラ２２ａにより加圧板２１
を介して押し下げられる。加圧ローラ２２ａの回転軸部
分に取り付けた圧力センサ５２により試料３１と加圧板
２１の接触圧を検出する。その検出値をもとに、受圧力
調整器５１により受圧ローラ４７の押し上げ力を調整す
る。このように試料３１が重い場合には大きな押し上げ
力を発生させ、試料３１が軽い場合には小さな押し上げ
力を発生させることにより、試料３１の質量が異なる場
合であっても、試料毎に受圧力を調整し加圧板２１と試
料３１の接触圧を一定に保つことができる。その結果、
外周部が薄く壊れやすい試料３１であっても、試料３１
の自重を外周部にかけることなく検査できる。
段および受圧調整手段の説明図で、加圧ローラ２２ａの
軸に取り付けた圧力センサー５２と、受圧ローラ４７の
押し上げ力を調整する受圧力調整器５１と、受圧力調整
器５１で受圧力を調整可能な受圧ローラ４７とから構成
される。試料３１は加圧ローラ２２ａにより加圧板２１
を介して押し下げられる。加圧ローラ２２ａの回転軸部
分に取り付けた圧力センサ５２により試料３１と加圧板
２１の接触圧を検出する。その検出値をもとに、受圧力
調整器５１により受圧ローラ４７の押し上げ力を調整す
る。このように試料３１が重い場合には大きな押し上げ
力を発生させ、試料３１が軽い場合には小さな押し上げ
力を発生させることにより、試料３１の質量が異なる場
合であっても、試料毎に受圧力を調整し加圧板２１と試
料３１の接触圧を一定に保つことができる。その結果、
外周部が薄く壊れやすい試料３１であっても、試料３１
の自重を外周部にかけることなく検査できる。
【００２６】図６は本発明の第４の実施の形態に係る加
圧板の説明図で、試料３１に押しつけられる加圧板２１
の部分を光透過性があり屈折率の異なる材質で形成した
り、あるいは加圧板２１の中央部に近づくにつれ順次厚
くなるように拡大レンズ部２１ｂを形成する。その結
果、試料３１の内部に存在する微小なキズや汚れを拡大
レンズ部２１ｂを通して得られる拡大画像から、従来技
術では判別し難かった試料の内部の検査を容易に検査す
ることができるようになる。
圧板の説明図で、試料３１に押しつけられる加圧板２１
の部分を光透過性があり屈折率の異なる材質で形成した
り、あるいは加圧板２１の中央部に近づくにつれ順次厚
くなるように拡大レンズ部２１ｂを形成する。その結
果、試料３１の内部に存在する微小なキズや汚れを拡大
レンズ部２１ｂを通して得られる拡大画像から、従来技
術では判別し難かった試料の内部の検査を容易に検査す
ることができるようになる。
【００２７】
【発明の効果】上記構成による本発明の試料検査装置
は、試料の外周部の高さが一定でない形状であっても、
加圧手段と受圧調整手段の押し上げ力により試料の間に
接触圧を発生させ、その調整により自重を端面にかける
ことなく、また撮像手段を動かすことなく試料端面と撮
像手段とを一定の距離に保持して、撮像し検査すること
ができる。とくに請求項４に係わる試料検査装置では、
試料を加圧手段と搬送手段との間で確実に挟み込むこと
により、短い時間で連続して形状計測や検査を行うこと
ができる。
は、試料の外周部の高さが一定でない形状であっても、
加圧手段と受圧調整手段の押し上げ力により試料の間に
接触圧を発生させ、その調整により自重を端面にかける
ことなく、また撮像手段を動かすことなく試料端面と撮
像手段とを一定の距離に保持して、撮像し検査すること
ができる。とくに請求項４に係わる試料検査装置では、
試料を加圧手段と搬送手段との間で確実に挟み込むこと
により、短い時間で連続して形状計測や検査を行うこと
ができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る構成図であ
る。
る。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る搬送手段の説
明図である。
明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る構成図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る加圧手段の説
明図である。
明図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係る加圧手段と受
圧調整手段の説明図である。
圧調整手段の説明図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る加圧板を示す
説明図である。
説明図である。
【図７】従来例における容器を伏せた状態での構成図で
ある。
ある。
【図８】従来例における外周部の高さが一定でない形状
の試料に対してのカメラ位置を示す説明図である。
の試料に対してのカメラ位置を示す説明図である。
９ カメラ １０ 画像処理装置 １１ 光源 ２０ 加圧手段 ２１、２１ａ 加圧板 ２１ｂ 拡大レンズ部 ２２ａ、２２ｂ 加圧ローラ ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ、２４ｄ ローラ ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ、２５ｄ テンションローラ ２８ 回転リンク ３１ 試料 ４０ 搬送手段 ４１ａ、４１ｂ ベルトガイド ４３ａ，４３ｂ ガイドプーリ ４４ 搬送ベルト ４５ 駆動プーリ ４６ 従動プーリ ４７ 受圧ローラ ４８ テンションプーリ ５１ 受圧力調整器 ５２ 圧力センサー ６１ シリンダー ６２ リニアガイド
Claims (8)
- 【請求項１】撮像手段を用いて試料の形状計測や外観検
査を行う検査装置において、複数の試料を連続して撮像
手段の撮像範囲に運ぶ搬送手段と、光透過性の材質より
なり前記撮像範囲内で前記試料の複数の上端部を略水平
面となすように試料を前記搬送手段に挟みつけて押圧す
る加圧手段と、前記搬送手段の受圧部分に前記試料を支
持するように受圧調整手段を設け、前記試料の複数の上
端部のなす前記略水平面の垂線上に配置した撮像手段
と、前記撮像手段で撮像したデータを取り込み処理する
画像処理装置とを備えることを特徴とする試料検査装
置。 - 【請求項２】前記搬送手段は、無限軌道となる搬送ベル
トと、前記搬送ベルトを駆動させる駆動手段と、前記加
圧手段で搬送ベルトに加えられる長さの変化分を調整す
る長さ調整手段とを備える請求項１記載の試料検査装
置。 - 【請求項３】前記加圧手段は、試料を押圧する加圧板
と、前記加圧板を略水平に保った状態で上下動をガイド
するリニアガイドと、前記加圧板に上部から押圧力を与
えるシリンダーとを備える請求項１または２記載の試料
検査装置。 - 【請求項４】前記加圧手段は、試料を押圧する加圧板を
複数枚互いに回転リンクで連結させた無限軌道構成と
し、前記無限軌道をなす加圧板を移送する駆動手段と、
前記加圧板の移動をガイドするように設けた複数のロー
ラと、前記加圧板を略水平に保った状態で押圧しかつ転
動動作が可能な加圧ローラとを備える請求項１または２
記載の試料検査装置。 - 【請求項５】前記受圧調整手段は、試料を搭載した搬送
手段の撮像範囲にある裏面に設けた受圧ローラと、前記
受圧ローラの押し上げ力を調整しかつ支持するように受
圧力調整器とを備える請求項１から４のいずれか一つの
項に記載の試料検査装置。 - 【請求項６】前記受圧調整手段は、試料を搭載した搬送
手段の撮像範囲にある裏面に受圧ローラと、前記加圧ロ
ーラの回転軸受け部に前記加圧板の接触圧を検出する圧
力センサーとを設け、前記圧力センサーの検出値より受
圧ローラの押し上げ力を調整しかつ支持するように受圧
力調整器を備える請求項１から４のいずれか一つの項に
記載の試料検査装置。 - 【請求項７】前記受圧調整手段は、前記搬送手段の一部
に伸縮性のある素材を使用した搬送ベルトで形成される
請求項１から４のいずれか一つの項に記載の試料検査装
置。 - 【請求項８】前記加圧板の試料に接触する部位を、屈折
率の異なる材質あるいは厚みを変えて試料の拡大像を得
ることを特徴とする請求項１から７のいずれか一つの項
に記載の試料検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084151A JP2000275025A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 試料検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11084151A JP2000275025A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 試料検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275025A true JP2000275025A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13822516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11084151A Pending JP2000275025A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 試料検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275025A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107818194A (zh) * | 2016-09-12 | 2018-03-20 | 波音公司 | 用于验证部件的方法和用于验证部件的几何特征的检具 |
| CN110361528A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-10-22 | 苏州和迈精密仪器有限公司 | 一种高通量自动化荧光免疫分析仪及其控制方法 |
| WO2023008390A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | 国立大学法人静岡大学 | 物質識別装置、物質識別方法、及びテラヘルツ光源 |
| KR102609020B1 (ko) * | 2022-07-07 | 2023-12-01 | 주식회사 아이티팩토리 | 금속이물 자동검사장치 |
| CN117840067A (zh) * | 2024-01-15 | 2024-04-09 | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 一种dcb干湿法工艺产品双面检测设备 |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP11084151A patent/JP2000275025A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107818194A (zh) * | 2016-09-12 | 2018-03-20 | 波音公司 | 用于验证部件的方法和用于验证部件的几何特征的检具 |
| CN107818194B (zh) * | 2016-09-12 | 2023-11-03 | 波音公司 | 用于验证部件的方法和用于验证部件的几何特征的检具 |
| CN110361528A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-10-22 | 苏州和迈精密仪器有限公司 | 一种高通量自动化荧光免疫分析仪及其控制方法 |
| WO2023008390A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | 国立大学法人静岡大学 | 物質識別装置、物質識別方法、及びテラヘルツ光源 |
| KR102609020B1 (ko) * | 2022-07-07 | 2023-12-01 | 주식회사 아이티팩토리 | 금속이물 자동검사장치 |
| CN117840067A (zh) * | 2024-01-15 | 2024-04-09 | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 一种dcb干湿法工艺产品双面检测设备 |
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