JP2000263376A - Static pressure magnetic compound bearing spindle device - Google Patents

Static pressure magnetic compound bearing spindle device

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JP2000263376A
JP2000263376A JP11071500A JP7150099A JP2000263376A JP 2000263376 A JP2000263376 A JP 2000263376A JP 11071500 A JP11071500 A JP 11071500A JP 7150099 A JP7150099 A JP 7150099A JP 2000263376 A JP2000263376 A JP 2000263376A
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JP
Japan
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spindle
hydrostatic
current
grasping
processing
Prior art date
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Application number
JP11071500A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takami Ozaki
孝美 尾崎
Nobuyuki Suzuki
伸幸 鈴木
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect the load acting to a main spindle and tool or the damage state of the tool without providing a load measuring device to the outside and ensure the high speed, high accuracy and high rigidity of the main spindle. SOLUTION: The means 15 to 18 for detecting the current supplied to the electromagnets of static pressure magnetic compound bearings 6 to 9 are built in a spindle controller 3. The machining state grasping means 19 for grasping the machining state such as tool damage state from the current detection value is provided so as to convert the static load of a main spindle 4 from the current detection value itself, when the control means 43 of an exciting current is constituted by an integration circuit or proportional integration circuit. The machining state grasping means 19 can be the thing coverting the static load by entering the current detection value in a smooth circuit or the thing grasping the machining state from the amplitude of each frequency component by frequency analyzing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、高速切削加工装
置や研削加工装置等に装備される静圧磁気複合軸受スピ
ンドル装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydrostatic magnetic composite bearing spindle device provided in a high-speed cutting device, a grinding device, or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】最近、金
型加工等で、高能率で高精度な加工が注目されている。
このような加工を実現するためには、高速回転が可能
で、高回転精度を有し、静剛性・動剛性が高いスピンド
ル装置が必要であり、さらに加工状態を検出しながら、
最適な加工条件で加工することが要求される。このよう
な要求に対して、静圧気体軸受と磁気軸受とを複合化し
たハイブリッド型の非接触軸受を提案した(特願平10
−097505号など)。これによれば、静圧気体軸受
の優れた動剛性および回転精度と、磁気軸受の優れた静
剛性という両軸受の特長を生かしたコンパクトな軸受と
できる。また、加工状態の検出のための工作機械の加工
負荷の測定は、主軸回転のためのモータ出力の測定値か
ら、加工時の負荷を推測する方式が採られる。
2. Description of the Related Art Recently, high-efficiency and high-precision processing such as die processing has been attracting attention.
In order to realize such machining, a spindle device that can rotate at high speed, has high rotational accuracy, and has high static rigidity and dynamic rigidity is required.
Processing under optimal processing conditions is required. In response to such demands, a hybrid type non-contact bearing in which a hydrostatic gas bearing and a magnetic bearing are combined has been proposed (Japanese Patent Application No. Hei.
-097550). According to this, it is possible to provide a compact bearing that utilizes the characteristics of both bearings, that is, excellent dynamic rigidity and rotational accuracy of the hydrostatic gas bearing, and excellent static rigidity of the magnetic bearing. The measurement of the processing load of the machine tool for detecting the processing state employs a method of estimating the load at the time of processing from the measured value of the motor output for rotating the spindle.

【0003】しかし、このようにモータ出力測定値から
加工時の負荷を推測する方式では、加工状態検出のため
に、専用の測定機器を必要とし、システムコストがかか
るという問題点がある。また、モータ出力測定値から加
工状態を検出する方式では、主軸の回転周波数に関係す
る加工状態の検出が行えない。なお、従来、磁気軸受で
主軸を支持するスピンドル装置において、磁気軸受の励
磁電流から加工状態を検出するものが提案されている。
しかし、磁気軸受のみによる支持では、高い高速回転精
度、動剛性を得ることが難しい。また、上記の磁気軸受
の励磁電流から加工状態を検出するものにおいて、周波
数フィルタを設けて周波数に関係する加工状態の検出を
行うことも試みられている。しかし、多数の周波数帯に
つき検出しようとすると、周波数フィルタの個数が多く
必要となり、構成が複雑になってコスト高になる。
However, such a method of estimating a load at the time of machining from a measured value of a motor output requires a dedicated measuring device for detecting a machining state, and has a problem that a system cost is increased. Further, in the method of detecting the machining state from the measured value of the motor output, the machining state related to the rotation frequency of the spindle cannot be detected. Conventionally, there has been proposed a spindle device that supports a main shaft with a magnetic bearing and detects a machining state from an excitation current of the magnetic bearing.
However, it is difficult to obtain high-speed rotation accuracy and high dynamic rigidity by supporting only with the magnetic bearing. Further, in the above-described apparatus for detecting a machining state from an excitation current of a magnetic bearing, an attempt has been made to detect a machining state related to frequency by providing a frequency filter. However, if an attempt is made to detect a large number of frequency bands, a large number of frequency filters are required, which complicates the configuration and increases the cost.

【0004】この発明の目的は、高速回転が可能で、高
回転精度、高静剛性・動剛性を有し、かつ加工中の加工
状態の検出を可能としながら、外部に負荷測定用装置を
設けることが不要で、低コスト化が図れる静圧磁気複合
軸受スピンドル装置を提供することである。この発明の
他の目的は、主軸の静負荷の検出を可能とすることであ
る。この発明のさらに他の目的は、主軸の回転周波数に
関係する加工状態の検出を簡単な構成で可能とすること
である。この発明のさらに他の目的は、主軸の負荷の検
出値を外部で管理可能とすることである。この発明のさ
らに他の目的は、主軸の負荷の検出値を遠隔地で管理可
能とすることである。
An object of the present invention is to provide a load measuring device externally while being capable of high-speed rotation, having high rotational accuracy, high static rigidity and dynamic rigidity, and enabling detection of a machining state during machining. It is an object of the present invention to provide a hydrostatic magnetic composite bearing spindle device which does not require the above and can reduce the cost. Another object of the present invention is to enable detection of a static load on a spindle. Still another object of the present invention is to enable a simple configuration to detect a machining state related to a rotation frequency of a spindle. Still another object of the present invention is to make it possible to externally manage the detected value of the load on the spindle. Still another object of the present invention is to make it possible to remotely detect the detected value of the load on the spindle.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明の構成を、実施
形態に対応する図1と共に説明する。この発明における
第1の静圧磁気複合軸受スピンドル装置(1)は、工具
(11)が先端に取付けられる主軸(4)を、静圧気体
軸受(6A〜9A)と磁気軸受(6B〜9B)とが複合
化された静圧磁気複合軸受(6〜9)で支持し、前記主
軸(4)を回転させるスピンドル駆動源(10)を設け
たスピンドル装置であって、前記磁気軸受(6B〜9
B)の励磁電流を検出する電流検出手段(15〜18)
と、この電流検出手段(15〜18)の電流検出値から
前記工具(11)による加工状態を把握する加工状態把
握手段(19)とを備えたものである。この構成による
と、静圧磁気複合軸受(6〜9)における磁気軸受(6
B〜9B)の励磁電流の電流検出値から、加工状態把握
手段(19)により加工状態が把握できる。すなわち、
加工中に工具(11)に作用する負荷で、主軸(4)が
ラジアル方向などに変位しようとすると、この変位を復
元させるように、磁気軸受(6B〜9B)の励磁電流が
磁気軸受(6B〜9B)の持つ制御機能により変化す
る。そのため、励磁電流から、例えば工具摩耗,工具損
傷や、加工不良等の加工状態が把握できる。このように
加工状態把握手段(19)を設けたため、静圧磁気複合
軸受(6〜9)の高機能、すなわち高速回転が可能で、
高回転精度、高静剛性・動剛性を有するという機能と相
まって、加工状態を検出しながら、最適な加工条件で加
工することが可能となり、静圧磁気複合軸受(6〜9)
の特長を生かした高能率でより一層高精度な加工が行え
る。しかも、検出器類は、磁気軸受(6B〜9B)の励
磁電流の電流検出手段(15〜18)を設けるだけで良
く、外部に負荷測定用装置を設けることが不要であり、
またモータの電流を検出するものに比べて、簡単なもの
で済み、低コストにできる。
The structure of the present invention will be described with reference to FIG. 1 corresponding to an embodiment. In the first hydrostatic magnetic composite bearing spindle device (1) according to the present invention, a spindle (4) to which a tool (11) is attached at the tip is composed of a hydrostatic gas bearing (6A to 9A) and a magnetic bearing (6B to 9B). A spindle drive source (10) supported by a hydrostatic magnetic composite bearing (6 to 9) in which the magnetic bearings (6B to 9) are combined, and a spindle drive source (10) for rotating the main shaft (4).
Current detecting means (15 to 18) for detecting the exciting current of B)
And a machining state grasping means (19) for grasping the machining state by the tool (11) from the current detection values of the current detecting means (15 to 18). According to this configuration, the magnetic bearing (6) in the hydrostatic composite bearing (6 to 9) is used.
From the detected current values of the excitation currents in B to 9B), the machining state can be grasped by the machining state grasping means (19). That is,
When the main shaft (4) is displaced in a radial direction or the like by a load acting on the tool (11) during machining, the exciting current of the magnetic bearings (6B to 9B) is changed so as to restore the displacement. To 9B) depending on the control function. Therefore, a machining state such as tool wear, tool damage, machining failure, and the like can be grasped from the excitation current. Since the machining state grasping means (19) is provided in this way, the high performance of the hydrostatic magnetic composite bearings (6 to 9), that is, high speed rotation is possible.
Combined with the functions of high rotational accuracy, high static rigidity and dynamic rigidity, it is possible to perform processing under optimum processing conditions while detecting the processing state.
Higher efficiency and higher precision processing can be performed by taking advantage of the features described above. Moreover, the detectors need only be provided with current detecting means (15 to 18) for exciting current of the magnetic bearings (6B to 9B), and it is not necessary to provide an external load measuring device.
In addition, compared to a method for detecting the motor current, a simpler method is required, and the cost can be reduced.

【0006】この発明において、電流検出手段(15〜
18)は、前記静圧磁気複合軸受(6〜9)を制御する
スピンドルコントローラ(3)に設けられたものであっ
ても良い。このように、電流検出手段(15〜18)を
スピンドルコントローラ(3)に備えることで、コンパ
クトで取扱性の良いものとなる。この発明において、前
記加工状態把握手段(19)は、電流検出手段(15〜
18)の電流検出値を平滑化する電流平滑部と、この電
流平滑部の平滑値出力から主軸の静負荷を換算し、その
静負荷換算結果から加工状態を把握する加工状態把握部
とを有するものとしても良い。このように、静負荷換算
結果から加工状態を把握することで、微小時間に生じる
負荷変動や外乱に左右されずに、制御に必要な加工状態
の把握が、簡単に精度良く行える。
In the present invention, the current detecting means (15 to
18) may be provided in a spindle controller (3) that controls the hydrostatic magnetic composite bearings (6 to 9). As described above, by providing the current detecting means (15 to 18) in the spindle controller (3), it becomes compact and easy to handle. In the present invention, the processing state grasping means (19) includes a current detecting means (15 to 15).
18) a current smoothing unit for smoothing the detected current value, and a machining state grasping unit for converting the static load of the spindle from the smoothed value output of the current smoothing unit and grasping the machining state from the static load conversion result. It is good. As described above, by grasping the machining state from the static load conversion result, the machining state required for control can be grasped easily and accurately without being affected by load fluctuation or disturbance occurring in a very short time.

【0007】この発明の第2の静圧磁気複合軸受スピン
ドル装置は、工具(11)が先端に取付けられる主軸
(4)を、静圧気体軸受(6A〜9A)と磁気軸受(6
B〜9B)とが複合化された静圧磁気複合軸受(6〜
9)で支持し、前記主軸(4)を回転させるスピンドル
駆動源(10)を設けたスピンドル装置であって、前記
主軸(4)の変位を検出する変位検出手段(28,3
8)と、この変位検出手段(28,38)の変位検出値
から前記工具(11)による加工状態を把握する加工状
態把握手段(19)とを備えたものである。加工中に工
具(11)に作用する負荷で主軸(4)が変位を生じる
と、変位検出手段(28,38)でその変位が検出され
る。そのため、この変位検出値から加工状態が把握でき
る。したがって、上記の加工状態把握手段(19)を設
けることで、静圧磁気複合軸受(6〜9)における、高
速回転が可能で、高回転精度、高静剛性・動剛性を有す
るという機能と相まって、加工状態を検出しながら、最
適な加工条件で加工することが可能となり、静圧磁気複
合軸受(6〜9)の特長を生かした高能率でより一層高
精度な加工が行える。しかも変位検出手段(28,3
8)は、磁気軸受(6B〜9B)の制御のために磁気軸
受(6B〜9B)に一般に設けられる検出手段であるた
め、専用の検出手段を設けることなく、加工状態の把握
が行え、低コストで加工精度の向上が図れる。
According to a second hydrostatic magnetic composite bearing spindle device of the present invention, a main shaft (4) to which a tool (11) is attached at the tip is composed of a hydrostatic gas bearing (6A to 9A) and a magnetic bearing (6A).
B-9B) and a hydrostatic magnetic composite bearing (6-
9) A spindle device provided with a spindle drive source (10) supported by 9) and rotating the spindle (4), wherein the displacement detection means (28, 3) detects displacement of the spindle (4).
8) and machining state grasping means (19) for grasping the machining state by the tool (11) from the displacement detection values of the displacement detecting means (28, 38). When the spindle (4) is displaced by a load acting on the tool (11) during machining, the displacement is detected by the displacement detecting means (28, 38). Therefore, the machining state can be grasped from the displacement detection value. Therefore, the provision of the above-mentioned machining state grasping means (19) is combined with the functions of the hydrostatic magnetic composite bearings (6 to 9) capable of high-speed rotation, having high rotation accuracy, high static rigidity and dynamic rigidity. In addition, it is possible to perform machining under the optimal machining conditions while detecting the machining state, and it is possible to perform machining with higher efficiency and higher accuracy by utilizing the features of the hydrostatic composite bearings (6 to 9). Moreover, the displacement detecting means (28, 3
8) is a detecting means generally provided in the magnetic bearings (6B to 9B) for controlling the magnetic bearings (6B to 9B), so that the machining state can be grasped without providing a dedicated detecting means, and Processing accuracy can be improved at low cost.

【0008】この発明の第1,第2の静圧磁気複合軸受
スピンドル装置において、前記加工状態把握手段(1
9)は、前記電流検出手段(15〜18)または前記変
位検出手段(28,38)の出力を周波数分析する周波
数分析部と、この周波数分析部から出力される加工時の
各周波数成分の振幅から加工状態を把握する加工状態把
握部とを有するものとしても良い。工具や、ワーク、加
工機械の固有振動、あるいは主軸回転数などから、工具
に作用する負荷は工具の振動として表れ、工具損傷等の
加工状態は、その工具損傷,加工不良の種類等によって
振動周波数に特有の傾向を示す。そのため、周波数分析
部を設け、加工時の各周波数成分の振幅から加工状態を
把握する加工状態把握部を設けることで、各周波数成分
の平均化された負荷の検出では観測できない精度の良い
加工状態の検出ができる。また、周波数分析を行うた
め、周波数フィルタに比べて簡単な構成で多数の周波数
帯の分析が可能となる。
In the first and second hydrostatic magnetic composite bearing spindle devices of the present invention, the machining state grasping means (1)
9) a frequency analyzing section for frequency-analyzing the output of the current detecting means (15 to 18) or the displacement detecting means (28, 38); and an amplitude of each frequency component output from the frequency analyzing section during processing. And a machining state grasping unit for grasping the machining state from the above. The load acting on the tool is expressed as tool vibration based on the natural vibration of the tool, the workpiece, and the processing machine, or the rotational speed of the spindle. The machining state, such as tool damage, depends on the type of tool damage, machining failure, etc. Show a characteristic tendency. Therefore, by providing a frequency analysis unit and a machining state grasping unit that grasps the machining state from the amplitude of each frequency component during machining, a highly accurate machining state that cannot be observed by detecting the averaged load of each frequency component Can be detected. Further, since the frequency analysis is performed, it is possible to analyze a large number of frequency bands with a simpler configuration than a frequency filter.

【0009】この発明において、前記スピンドル駆動源
(10)は、前記静圧磁気複合軸受(6〜9)を設置し
たハウジング(10)に内蔵したものであっても良い。
このようなスピンドル駆動源内蔵のスピンドル装置にお
いて、この発明の上記各構成による効果が、有効に発揮
される。
In the present invention, the spindle drive source (10) may be built in a housing (10) in which the hydrostatic magnetic composite bearings (6 to 9) are installed.
In such a spindle device with a built-in spindle drive source, the effects of the above-described configurations of the present invention are effectively exhibited.

【0010】この発明の前記各スピンドル装置におい
て、静圧磁気複合軸受(6〜9)を制御するスピンドル
コントローラ(3)と、前記電流検出手段(15〜1
8)の電流検出値、前記電流平滑部の平滑値出力、およ
び前記周波数分析部で出力された各周波数成分の振幅値
のいずかの値を前記スピンドルコントローラ(3)の外
部に出力する外部出力手段(44)を設けても良い。こ
のように外部出力手段(44)を設けることで、工具
(11)の負荷をスピンドルコントローラ(1)の外部
で監視することができる。例えば、このスピンドル装置
(1)を装備した加工装置(13)の数値制御装置(1
4)や、独立した情報処理手段等で、工具(11)の負
荷を監視し、加工状態を把握することができる。この発
明の加工状態遠隔把握スピンドル装置は、この発明の上
記いずれかの構成のスピンドル装置(1)と、このスピ
ンドル装置(1)の遠隔地にある情報処理手段(91)
と、前記スピンドル装置(1)の加工状態把握手段(1
9)の出力、前記電流検出手段(15〜18)の電流検
出値、前記電流平滑部の平滑値出力、および前記周波数
分析部で出力された各周波数成分の振幅値のいずかを、
通信回線(65)で前記遠隔地の情報処理手段(91)
に通信する通信手段(60)とを備え、上記情報処理手
段(91)は、通信された情報に所定の処理を施す機能
を有するものとしても良い。このように通信回線(6
5)による通信機能を持たせることで、遠隔地で工具の
負荷や加工状態を把握することができ、遠隔地で多数の
スピンドル装置や加工機械を集中管理することが可能に
なる。
In each of the spindle devices of the present invention, a spindle controller (3) for controlling the hydrostatic composite bearings (6 to 9) and the current detecting means (15 to 1).
8) The current detection value, the smoothed value output of the current smoothing unit, and the amplitude value of each frequency component output by the frequency analysis unit are output to the outside of the spindle controller (3). Output means (44) may be provided. By providing the external output means (44), the load on the tool (11) can be monitored outside the spindle controller (1). For example, the numerical controller (1) of the processing device (13) equipped with the spindle device (1)
4) The load of the tool (11) can be monitored by an independent information processing means or the like, and the machining state can be grasped. The spindle device for remotely grasping a machining state according to the present invention includes a spindle device (1) having any one of the above-described configurations according to the present invention, and an information processing means (91) located at a remote location from the spindle device (1).
And a processing state grasping means (1) of the spindle device (1).
9), any of the current detection values of the current detection means (15 to 18), the smoothed value output of the current smoothing unit, and the amplitude value of each frequency component output by the frequency analysis unit.
Information processing means (91) at the remote place via a communication line (65)
The information processing means (91) may have a function of performing predetermined processing on the communicated information. Thus, the communication line (6
By providing the communication function according to 5), it is possible to grasp the load of the tool and the processing state at a remote place, and it is possible to centrally manage a large number of spindle devices and processing machines at a remote place.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】この発明の一実施形態を図面と共
に説明する。図1は、この実施形態にかかる静圧磁気複
合軸受スピンドル装置の概念構成を示すブロック図であ
る。まず、概略を説明する。このスピンドル装置1は、
スピンドル装置本体2と、スピンドルコントローラ3と
で主に構成される。スピンドル装置本体2は、主軸4
を、ハウジング5に設置された複数のラジアル型の静圧
磁気複合軸受6,7とアキシアルの静圧磁気複合軸受
8,9で支持し、スピンドル駆動源10を設けたもので
ある。各々の静圧磁気複合軸受6〜9は、静圧気体軸受
6A〜9Aと、磁気軸受6B〜9Bを複合させたもので
あり、スピンドルコントローラ3で制御される。主軸4
は、先端に工具11を把持するチャック12を有してい
る。このスピンドル装置1を装備した加工装置13は、
数値制御装置14で制御される。スピンドルコントロー
ラ3は、静圧磁気複合軸受6〜9を構成する磁気軸受6
B〜9Bの励磁電流を検出する電流検出手段15〜18
と、この電流検出手段15〜18の電流検出値から工具
11による加工状態を把握する加工状態把握手段19と
を備える。また、スピンドルコントローラ3には、数値
制御装置14等から送られる外部の指令によって磁気軸
受6B〜9Bの励磁をオンオフする外部指令応答オンオ
フ手段20が設けられている。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a conceptual configuration of a hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to this embodiment. First, the outline will be described. This spindle device 1
It is mainly composed of a spindle device main body 2 and a spindle controller 3. The spindle device main body 2 includes a main shaft 4
Are supported by a plurality of radial-type hydrostatic composite bearings 6 and 7 installed in the housing 5 and axial hydrostatic magnetic composite bearings 8 and 9, and a spindle drive source 10 is provided. Each of the hydrostatic magnetic composite bearings 6 to 9 is a combination of the hydrostatic gas bearings 6A to 9A and the magnetic bearings 6B to 9B, and is controlled by the spindle controller 3. Spindle 4
Has a chuck 12 at its tip for holding a tool 11. The processing device 13 equipped with this spindle device 1
It is controlled by the numerical controller 14. The spindle controller 3 includes a magnetic bearing 6 constituting the hydrostatic magnetic composite bearings 6 to 9.
Current detecting means 15 to 18 for detecting exciting currents B to 9B
And a machining state grasping means 19 for grasping the machining state of the tool 11 from the current detection values of the current detecting means 15 to 18. Further, the spindle controller 3 is provided with an external command response on / off means 20 for turning on / off the excitation of the magnetic bearings 6B to 9B by an external command sent from the numerical controller 14 or the like.

【0012】スピンドル装置本体2につき、図2〜図5
と共に説明する。このスピンドル装置1は、加工装置1
3のビルトインモータ形式のスピンドル装置であって、
スピンドル駆動源10は、各軸受6〜9の設置されたハ
ウジング5内に設置されている。このモータからなるス
ピンドル駆動源10は、主軸4に一体に設けたられたロ
ータ21と、ハウジング5に設置されたステータ22と
で構成される。ハウジング5は略円筒状に形成されてい
る。スピンドル駆動源10は、ビルトイン型とせずに、
ハウジング5の外部に設けて伝達機構を介して主軸4に
回転伝達するものであっても良い。各軸受6〜9とスピ
ンドル駆動源10の配置は、この例では、主軸4の前部
(工具側部)および後部をラジアル型の静圧磁気複合軸
受6,7で支持し、その中間をアキシアル型の静圧磁気
複合軸受8,9で支持し、後端にスピンドル駆動源10
を配置した構成としてある。上記配置に代えて、両ラジ
アル型軸受6,7の中間にスピンドル駆動源10を配置
し、アキシアル型軸受8,9を主軸4の任意位置に配置
しても良い。また、アキシアル型軸受8,9は、非接触
軸受であれば良く、静圧磁気複合軸受に代えて、単独の
磁気軸受または静圧気体軸受を用いても良い。
FIGS. 2 to 5 show the spindle device main body 2.
It will be described together. The spindle device 1 includes a processing device 1
3. A built-in motor type spindle device according to item 3,
The spindle drive source 10 is installed in the housing 5 in which the bearings 6 to 9 are installed. The spindle drive source 10 including the motor includes a rotor 21 provided integrally with the main shaft 4 and a stator 22 provided in the housing 5. The housing 5 is formed in a substantially cylindrical shape. The spindle drive source 10 is not a built-in type,
It may be provided outside the housing 5 to transmit rotation to the main shaft 4 via a transmission mechanism. In this example, the arrangement of the bearings 6 to 9 and the spindle drive source 10 is such that the front part (tool side part) and the rear part of the main shaft 4 are supported by radial type hydrostatic composite bearings 6 and 7, and the intermediate part is axial. Supported by a pair of hydrostatic magnetic bearings 8 and 9 and a spindle drive source 10 at the rear end.
Are arranged. Instead of the above arrangement, the spindle drive source 10 may be arranged between the radial bearings 6 and 7, and the axial bearings 8 and 9 may be arranged at an arbitrary position on the main shaft 4. The axial type bearings 8 and 9 may be non-contact bearings, and a single magnetic bearing or a static pressure gas bearing may be used instead of the hydrostatic / magnetic composite bearing.

【0013】ラジアル型の各静圧磁気複合軸受6,7
は、互いに同じ構成のものであり、片方の軸受6につ
き、図3に横断面を示すと共に、図4に縦断面を拡大し
て示す。静圧磁気複合軸受6,7は、各々静圧気体軸受
6A,7Aと磁気軸受6B,7Bとを複合化させたもの
である。この明細書で言う複合化とは、静圧および磁気
の両形式の軸受を共通部分が生じるように組み合わせる
ことを意味し、例えば、静圧気体軸受面と磁気軸受面と
に共通部分(ラジアル軸受では軸方向の重なり部分)を
生じさせるか、あるいは両形式の軸受に少なくとも一部
の部品が共通化されるものであれば良い。
Radial type hydrostatic magnetic composite bearings 6, 7
3 have the same configuration. FIG. 3 shows a cross section of one of the bearings 6, and FIG. The hydrostatic and magnetic composite bearings 6 and 7 are each a composite of the hydrostatic gas bearings 6A and 7A and the magnetic bearings 6B and 7B. The term "combination" as used in this specification means that both types of bearings of a static pressure type and a magnetic type are combined so as to generate a common portion. For example, a common portion (a radial bearing) is formed between a static pressure gas bearing surface and a magnetic bearing surface. In this case, an axially overlapping portion may be generated, or at least a part of parts may be shared by both types of bearings.

【0014】この実施形態では、図4に示すように、磁
気軸受6B,7Bの電磁石のコア23に、静圧気体軸受
6A,7Aの絞り24aを設けることで、軸受構成部品
の共通化と共に、軸受面の一部が軸方向に重なるように
してある。コア23は、軸方向に離れた一対の主コア部
23a,23aと、これら主コア部23a,23aを連
結した連結コア部23bと、両主コア部23a,23a
の主軸側端から対向して延びる延出部23c,23cと
で、縦断面がC字状に形成されている。主コア部23a
と延出部23cの内径側面は、主軸4と所定の磁気ギャ
ップを形成する円筒面とされている。磁気軸受6B,7
Bは、このコア23の連結コア部23bにコイル25を
巻装したものである。コイル25は、樹脂材等の非磁性
体26に埋め込まれている。
In this embodiment, as shown in FIG. 4, the throttles 24a of the hydrostatic gas bearings 6A and 7A are provided in the core 23 of the electromagnet of the magnetic bearings 6B and 7B, so that the bearing components can be used in common. Part of the bearing surface is configured to overlap in the axial direction. The core 23 includes a pair of main cores 23a, 23a separated in the axial direction, a connection core 23b connecting the main cores 23a, 23a, and both main cores 23a, 23a.
And a pair of extending portions 23c, 23c extending from the main shaft side end to form a C-shaped vertical section. Main core part 23a
The inner diameter side surface of the extension portion 23c is a cylindrical surface forming a predetermined magnetic gap with the main shaft 4. Magnetic bearing 6B, 7
B is a structure in which the coil 25 is wound around the connecting core portion 23b of the core 23. The coil 25 is embedded in a non-magnetic body 26 such as a resin material.

【0015】静圧気体軸受6A,7Aは、コア23およ
び非磁性体26の内径側面で形成されて主軸4との間に
軸受隙間dを形成する静圧軸受面6Aa,7Aaと、コ
ア23の各主コア部23a,23aに設けられて静圧軸
受面6Aa,7Aaに開口する絞り24aとで構成され
る。絞り24aは、各主コア部23aの外径側面に開口
した給気孔24の先端に設けられている。図3に階段断
面を示すように、コア23は、主軸4の回りの円周方向
複数箇所(同図の例では4箇所)に配置されてハウジン
グ5に固定されている。円周方向に隣合うコア23間の
隙間は、樹脂材等の非磁性体27で埋められている。こ
の非磁性体27は、コイル25の周囲の非磁性体26
(図4)と一体のものであっても良い。
The static pressure gas bearings 6A and 7A are formed on the inner diameter side surfaces of the core 23 and the non-magnetic material 26 and form a bearing gap d between the main shaft 4 and the static pressure bearing surfaces 6Aa and 7Aa. An aperture 24a is provided on each of the main cores 23a, 23a and opens on the hydrostatic bearing surfaces 6Aa, 7Aa. The throttles 24a are provided at the ends of the air supply holes 24 opened on the outer diameter side surfaces of the main core portions 23a. As shown in a stepped cross section in FIG. 3, the cores 23 are arranged at a plurality of locations (four locations in the example in the figure) in the circumferential direction around the main shaft 4 and fixed to the housing 5. The gap between the circumferentially adjacent cores 23 is filled with a non-magnetic material 27 such as a resin material. The non-magnetic body 27 is formed around the non-magnetic body 26 around the coil 25.
(FIG. 4).

【0016】磁気軸受6B,7Bは、主軸4とコア23
との磁気ギャップの変位を検出する変位検出手段28を
有している。この変位検出手段28は、変位量を直接に
検出するものであっても良いが、この例では、静圧軸受
隙間dの静圧を検出することで、その圧力検出値を変位
量に換算して磁気ギャップの変位を検出するものとして
ある。具体的には、変位検出手段28は、静圧軸受隙間
dに先端が開口した圧力検出用の通気路28aと、この
通気路28aに連通したセンサ28bとで構成される。
センサ28bは、図2のようにコア23から軸方向に離
れた位置に配置されている。通気路28aは、細孔また
はパイプで形成されていて、静圧軸受隙間dにはコア2
3の延出部23c,23c間における非磁性体26の部
分で開口している。図3は、図面を見易くするために絞
り24aと通気路28aの開口位置を周方向にずらせて
図示してあるが、実際は互いに周方向の同じ位置とされ
ている。
The magnetic bearings 6B and 7B are composed of a main shaft 4 and a core 23.
And a displacement detecting means 28 for detecting the displacement of the magnetic gap between them. The displacement detecting means 28 may directly detect the displacement amount, but in this example, by detecting the static pressure in the static pressure bearing gap d, the detected pressure value is converted into the displacement amount. To detect the displacement of the magnetic gap. More specifically, the displacement detecting means 28 is composed of a pressure detection air passage 28a having a distal end opened in the static pressure bearing gap d, and a sensor 28b communicating with the air passage 28a.
The sensor 28b is disposed at a position axially away from the core 23 as shown in FIG. The air passage 28a is formed by a fine hole or a pipe, and the core 2
An opening is provided at the portion of the non-magnetic member 26 between the third extending portions 23c. In FIG. 3, the opening positions of the throttle 24a and the ventilation path 28a are shifted in the circumferential direction for the sake of clarity, but they are actually at the same position in the circumferential direction.

【0017】図5は、アキシアル型の静圧磁気複合軸受
8,9の拡大図である。この一対の軸受8,9は、主軸
4に設けられた鍔部4aの両面に対向してハウジング5
内に設置されたものであり、互いに一つの両面式アキシ
アル型静圧気体軸受30を構成する。両側の静圧磁気複
合軸受8,9は、互いに同じ構成のものである。これら
静圧磁気複合軸受8,9は、各々静圧気体軸受8A,9
Aと磁気軸受8B,9Bとを複合化させたものである。
この実施形態では、磁気軸受8B,9Bの電磁石のコア
33に、静圧気体軸受8A,9Aの絞り34aを設ける
ことで、軸受構成部品の共通化と共に、軸受面の一部が
軸方向に重なるようにしてある。コア33は、スピンド
ル鍔部4aの対向面に開き部33dが生じるように、縦
断面形状がC字状に形成され、その内部にコイル35が
収められている。開き部33dは非磁性体で埋められて
いる。コア33は、図示の例では断面L字状の内周コア
部33aと外周コア部33bとの組立構成としてある
が、一体物であっても良い。コア33には軸方向に間座
29が隣接している。
FIG. 5 is an enlarged view of the axial type hydrostatic composite bearings 8 and 9. The pair of bearings 8, 9 are opposed to both surfaces of a flange 4 a provided on the
And constitute one double-sided axial type hydrostatic gas bearing 30. The hydrostatic composite bearings 8 and 9 on both sides have the same configuration. These hydrostatic magnetic composite bearings 8 and 9 are respectively composed of hydrostatic gas bearings 8A and 9
A and the magnetic bearings 8B and 9B are combined.
In this embodiment, the throttles 34a of the hydrostatic gas bearings 8A and 9A are provided on the electromagnet cores 33 of the magnetic bearings 8B and 9B, so that the bearing components are shared and a part of the bearing surface overlaps in the axial direction. It is like that. The core 33 has a C-shaped longitudinal section so that an opening 33d is formed on the surface facing the spindle flange 4a, and the coil 35 is accommodated therein. The opening 33d is filled with a non-magnetic material. The core 33 has an assembly configuration of an inner core portion 33a and an outer core portion 33b having an L-shaped cross section in the illustrated example, but may be an integral structure. The spacer 29 is adjacent to the core 33 in the axial direction.

【0018】アキシアル型の静圧気体軸受8A,9A
は、コア33の側面で形成されてスピンドル鍔部4aと
の間に軸受隙間d2を形成する静圧軸受面8Aa,9A
aと、コア33に設けられて静圧軸受面8Aa,9Aa
に開口する絞り34aとで構成される。絞り34aは、
コア33の外径側面に開口した給気孔34の先端に設け
られている。
Axial type hydrostatic gas bearings 8A, 9A
Are hydrostatic bearing surfaces 8Aa, 9A formed on the side surface of the core 33 and forming a bearing gap d2 with the spindle flange 4a.
a, and hydrostatic bearing surfaces 8Aa, 9Aa provided on the core 33.
And a stop 34a which is open to the outside. The aperture 34a is
It is provided at the tip of an air supply hole 34 opened on the outer diameter side surface of the core 33.

【0019】アキシアル型の磁気軸受8B,9Bは、ス
ピンドル鍔部4aとコア33との磁気ギャップの変位を
検出する変位検出手段38を有している。この変位検出
手段38も、変位量を直接に検出するものであっても良
いが、この例では、静圧軸受隙間d2の静圧を検出する
ことで、その圧力検出値を変位量に換算して磁気ギャッ
プの変位を検出するものとしてある。具体的には、変位
検出手段38は、静圧軸受隙間d2に先端が開口した圧
力検出用の通気路38aと、この通気路38aに連通し
たセンサ38b(図2)とで構成される。
The axial type magnetic bearings 8B and 9B have displacement detecting means 38 for detecting the displacement of the magnetic gap between the spindle flange 4a and the core 33. The displacement detecting means 38 may directly detect the displacement amount, but in this example, by detecting the static pressure in the static pressure bearing gap d2, the detected pressure value is converted into the displacement amount. To detect the displacement of the magnetic gap. More specifically, the displacement detection means 38 includes a pressure detection air passage 38a having a distal end opened in the static pressure bearing gap d2, and a sensor 38b (FIG. 2) communicating with the air passage 38a.

【0020】各静圧磁気複合軸受6〜9における静圧気
体軸受6A〜9Aの給気孔24,34には、ハウジング
5内に設けられた給気孔40の給気入口40aから、圧
縮空気またはその他の圧縮気体が供給される。
In the static pressure gas bearings 6A to 9A of each of the static pressure magnetic composite bearings 6 to 9, compressed air or other compressed air or other air is supplied to the gas supply holes 24 and 34 from the gas supply inlet 40a of the gas supply hole 40 provided in the housing 5. Is supplied.

【0021】制御系につき説明する。図1に示すよう
に、スピンドルコントローラ3は、そのコントローラ基
本部3aに、電源41、電磁石用パワー回路42、およ
び制御手段43を有する。電磁石用パワー回路42は、
電源41から供給された電流を、制御手段43の制御に
従って、各静圧磁気複合軸受6〜9の磁気軸受6B〜9
Bに励磁電流として与える手段であり、電流増幅回路等
で構成される。制御手段43は、各静圧磁気複合軸受6
〜9における変位検出手段28,38の検出値に応じ
て、主軸4の変位が復元するように、各磁気軸受6B〜
9Bの励磁電流を制御する手段である。制御手段43
は、具体的には、例えば、変位検出手段28,38の検
出値を積分回路または比例積分回路で演算したした結果
に応じて励磁電流の制御指令を与えるものとされる。
The control system will be described. As shown in FIG. 1, the spindle controller 3 has a power supply 41, an electromagnet power circuit 42, and a control means 43 in the controller basic unit 3a. The electromagnet power circuit 42
The current supplied from the power supply 41 is supplied to the magnetic bearings 6B to 9 of the respective hydrostatic magnetic composite bearings 6 to 9 under the control of the control means 43.
This is a means for giving an exciting current to B, and is constituted by a current amplifier circuit or the like. The control means 43 controls each static pressure magnetic composite bearing 6
9 so that the displacement of the main shaft 4 is restored according to the detection values of the displacement detecting means 28 and 38 in the magnetic bearings 6B to
This is a means for controlling the exciting current of 9B. Control means 43
Specifically, for example, an excitation current control command is given in accordance with the result obtained by calculating the detection values of the displacement detection means 28 and 38 by an integration circuit or a proportional integration circuit.

【0022】この実施形態では、この基本構成のスピン
ドルコントローラ3に、前記の電流検出手段15〜1
8、加工状態把握手段19、および外部指令応答オンオ
フ手段20を設けると共に、外部出力手段44を設け、
かつ数値制御装置14に励磁オンオフ指令生成手段45
と加工状態対応処理手段46を設けている。電流検出手
段15〜18には、例えば電流検出器が用いられる。数
値制御装置14は、図6に示すように、数値制御機能部
14aとプログラマブルコントローラ機能部14bとを
有し、数値制御機能部14aは、加工プログラム50を
解読して加工装置本体13aの各軸の数値制御を行うと
共に、加工プログラム50に記述されているシーケンス
指令をプログラマブルコントローラ機能部14bに転送
する。プログラマブルコントローラ機能部14bは、所
定のシーケンスプログラムに従って加工装置本体13a
のシーケンス制御を行う手段であり、このプログラマブ
ルコントローラ機能部14bに上記の励磁オンオフ指令
生成手段45と加工状態対応処理手段46が設けられて
いる。
In this embodiment, the spindle controller 3 having this basic configuration is provided with the above-mentioned current detecting means 15-1.
8, the machining state grasping means 19 and the external command response on / off means 20 are provided, and the external output means 44 is provided,
And an excitation on / off command generating means 45 provided to the numerical controller 14.
And processing state correspondence processing means 46. For example, a current detector is used for the current detection units 15 to 18. As shown in FIG. 6, the numerical control device 14 has a numerical control function unit 14a and a programmable controller function unit 14b, and the numerical control function unit 14a decodes the machining program 50 to read each axis of the machining device body 13a. And the sequence command described in the machining program 50 is transferred to the programmable controller function unit 14b. The programmable controller function unit 14b is configured to execute the processing device body 13a
The programmable controller function unit 14b is provided with the excitation on / off command generation unit 45 and the processing state correspondence processing unit 46.

【0023】図8は、加工状態把握手段19の基本的な
概念構成を示す。加工状態把握手段19は、前述のよう
に電流検出手段15〜18の電流検出値から工具11に
よる加工状態を把握する手段であり、把握結果は、数値
制御装置14の加工状態対応処理手段46に送られる。
この把握結果は、電流検出値そのままであっても良く、
また電流検出値を設定値と比較した比較結果であっても
良く、さらに電流検出値から所定の演算処理をした値で
あっても良く、さらにその演算処理を設定値と比較した
結果であっても良い。制御手段43が、前記のように変
位検出手段28,38の検出値を積分回路または比例積
分回路で演算した値に従って励磁電流の制御を行うもの
である場合は、加工状態把握手段19は、電流検出値そ
のものから主軸4の静負荷を換算するものとされる。ま
た、加工状態把握手段19は、各電流検出手段15〜1
8の検出電流値に対して個々に加工状態の把握結果を出
力するものとしてあるが、複数の電流検出手段15〜1
8の検出電流値を総合的に判断した加工状態の把握結果
を出力するものであっても、各電流検出手段15〜18
のうちの特定の一つまたは複数の検出電流値のみで加工
状態を把握するものであっても良い。
FIG. 8 shows a basic conceptual configuration of the processing state grasping means 19. The machining state grasping means 19 is a means for grasping the machining state by the tool 11 from the current detection values of the current detecting means 15 to 18 as described above, and the grasping result is sent to the machining state correspondence processing means 46 of the numerical controller 14. Sent.
This grasp result may be the current detection value as it is,
It may be a comparison result obtained by comparing the current detection value with a set value, a value obtained by performing a predetermined calculation process from the current detection value, and a result obtained by comparing the calculation process with the set value. Is also good. If the control means 43 controls the exciting current in accordance with the values calculated by the integration circuits or the proportional integration circuits based on the detection values of the displacement detection means 28 and 38 as described above, The static load of the spindle 4 is converted from the detected value itself. Further, the processing state grasping means 19 includes the current detecting means 15 to 1.
8 is to output the results of grasping the machining state individually with respect to the detected current values of 8;
8, the current detection means 15 to 18 may output a grasping result of the machining state which comprehensively determines the detected current value.
Of these, the machining state may be grasped only by one or more specific detected current values.

【0024】図9は、加工状態把握手段19の具体例の
一つを示す。この例では、加工状態把握手段19は、前
記電流検出手段15〜18の個々の電流検出値につき、
各々平滑化する電流平滑部19aと、この電流平滑部1
9aの平滑値出力からスピンドルの静負荷を換算し、そ
の静負荷換算結果から加工状態を把握する加工状態把握
部19bとを有するものとしてある。加工状態把握部1
9bは、具体的には、例えは、換算されたスピンドル静
負荷を設定値と比較し、設定値を超えた場合に異常の出
力を行うものとされる。図12は加工状態把握部19b
で行う処理の一例を示す。主軸4aの静負荷は、一定の
加工を続ける場合、曲線aで示すように一定の値とな
る。工具摩耗が進んだり、工具の損傷が生じた場合は、
曲線bや曲線cに示すように変化する。そこで、設定値
として、適正な負荷として許容できる上限値と下限値と
を定め、その範囲(斜線部分)にあるときは、工具が正
常であり、この範囲から曲線b,cのように外れた場合
に、工具異常の異常信号を、加工状態の把握結果として
出力する。なお、この明細書で「平滑値出力をスピンド
ル静負荷に換算する」とは、負荷の単位に換算する場合
と、負荷として設定値と比較し易い値に平滑値出力を電
流値等のままで換算する場合との両方を含む。
FIG. 9 shows a specific example of the processing state grasping means 19. In this example, the machining state grasping means 19 calculates the current detection value of each of the current detecting
A current smoothing unit 19a for smoothing each of the currents;
And a machining state grasping unit 19b for transforming the static load of the spindle from the smoothed value output of 9a and grasping the machining state from the static load conversion result. Processing state grasping part 1
9b specifically, for example, compares the converted spindle static load with a set value, and outputs an abnormality when the set spindle load exceeds the set value. FIG. 12 shows a processing state grasping unit 19b.
1 shows an example of the processing performed in step (a). The static load of the main shaft 4a becomes a constant value as shown by a curve a when constant processing is continued. If tool wear increases or tool damage occurs,
It changes as shown by curves b and c. Therefore, an upper limit value and a lower limit value which are allowable as an appropriate load are determined as set values. When the upper limit value and the lower limit value are within the range (shaded area), the tool is normal and deviates from this range as shown by curves b and c. In this case, an abnormal signal of the tool abnormality is output as a result of grasping the machining state. In this specification, “converting a smoothed value output to a spindle static load” refers to a case where a smoothed value output is converted to a unit of load and a value at which a smoothed value output is converted to a value which is easily compared with a set value as a load. Includes both conversions.

【0025】図10は、加工状態把握手段19の他の具
体例を示す。この例では、加工状態把握手段19は、前
記電流検出手段15〜18の個々の電流検出値につき、
周波数分析する周波数分析部19cと、この周波数分析
部19cから出力される加工時の各周波数成分の振幅か
ら加工状態を把握する加工状態把握部19dとを有する
ものとしてある。図13は加工状態把握部19cで行う
処理の一例を示す。一定の加工を続ける場合、電流検出
値の周波数分析結果は、曲線dで示すように、各周波数
成分の振幅が異なった略一定の波形となる。そこで、所
定の周波数帯毎に許容できる振幅の設定値m1,m2…
を設定しておき、いずれかの周波数成分の振幅値が、例
えば破線で示す曲線部分eのように、対応する周波数帯
の設定値m2を超えると、工具異常であると判定する。
FIG. 10 shows another specific example of the processing state grasping means 19. In this example, the machining state grasping means 19 calculates the current detection value of each of the current detecting
It has a frequency analysis unit 19c for frequency analysis and a processing state grasping unit 19d for grasping the machining state from the amplitude of each frequency component at the time of processing output from the frequency analysis unit 19c. FIG. 13 shows an example of a process performed by the processing state grasping unit 19c. When the constant processing is continued, the frequency analysis result of the detected current value becomes a substantially constant waveform having different amplitudes of the respective frequency components as shown by a curve d. Therefore, the set values m1, m2,.
Is set, and if the amplitude value of any of the frequency components exceeds the set value m2 of the corresponding frequency band, for example, as indicated by a curve portion e indicated by a broken line, it is determined that the tool is abnormal.

【0026】なお、加工状態把握手段19は、前記各具
体例では、電流検出手段15〜18の電流検出値から加
工状態を把握するものとしたが、加工状態把握手段19
は、変位検出手段28,38の検出値から加工状態を把
握するものとしても良い。例えば、加工状態把握手段1
9は、図11に示すように、変位検出手段28,38の
変位センサアンプの出力を周波数分析する周波数分析部
19eと、この周波数分析部19eから出力される加工
時の各周波数成分の振幅から加工状態を把握する加工状
態把握部19fとを有するものとしても良い。
The machining state grasping means 19 is to grasp the machining state from the current detection values of the current detecting means 15 to 18 in each of the above specific examples.
May be used to grasp the machining state from the detected values of the displacement detecting means 28 and 38. For example, processing state grasping means 1
Reference numeral 9 denotes a frequency analysis unit 19e for frequency-analyzing the outputs of the displacement sensor amplifiers of the displacement detection means 28 and 38, and the amplitude of each frequency component output from the frequency analysis unit 19e during machining, as shown in FIG. A machining state grasping unit 19f for grasping the machining state may be provided.

【0027】図1に示すように、前記各構成の加工状態
把握手段19は、設定部19gを有しており、設定値と
比較して加工状態の把握結果を出力するものである場合
に設定部19gが用いられる。この設定部19gは、数
値制御装置14や他の手段の指令により、各種の設定値
が変更可能に設定され、または予め複数設定された各設
定値が選択可能とされる。例えば、スピンドル装置の運
転中に粗加工や仕上げ加工など、負荷の異なる加工が行
われる場合は、工具の良否判断は負荷に応じた設定値で
行う必要がある。設定部19gは、このような設定値の
変更が可能とされていて、数値制御装置14の加工の変
更に伴う信号を検出して設定値を変更する。
As shown in FIG. 1, the machining state grasping means 19 of each of the above-described components has a setting section 19g, which is used to output a grasping result of the machining state in comparison with a set value. The part 19g is used. The setting unit 19g is set such that various setting values can be changed or a plurality of preset setting values can be selected according to a command from the numerical controller 14 or other means. For example, when processing with different loads, such as roughing and finishing, is performed during operation of the spindle device, it is necessary to judge the acceptability of the tool with a set value according to the load. The setting unit 19g is capable of changing such a set value, and detects a signal accompanying a change in processing of the numerical controller 14 and changes the set value.

【0028】外部出力手段44は、電流検出手段15〜
18の電流検出値や、加工状態把握手段で把握された経
過や結果、例えば電流平滑部19a(図9)の平滑値出
力、周波数分析部19c,19eで出力された各周波数
成分の振幅値等を、スピンドルコントローラ3の外部に
出力する手段である。数値制御装置14は、この外部出
力手段44を介して加工状態が入力されるものとしても
良く、また外部出力手段44の出力は、数値制御装置1
4とは別の情報処理手段、例えば加工状態の統計処理用
の情報処理手段に入力されるようにしても良い。数値制
御装置14に設けられる加工状態対応処理手段46は、
加工状態把握手段19の把握結果の出力に従い、警報の
発生や加工装置の強制停止など、工具不良等に対する所
定の処理を加工装置13に行わせるものである。
The external output means 44 comprises current detection means 15 to
18, the progress and results grasped by the machining state grasping means, for example, the smoothed value output of the current smoothing section 19 a (FIG. 9), the amplitude value of each frequency component outputted by the frequency analysis sections 19 c and 19 e, etc. Is output to the outside of the spindle controller 3. The numerical control device 14 may be configured such that the processing state is input via the external output means 44, and the output of the external output means 44 is
4 may be input to another information processing means, for example, an information processing means for statistical processing of the processing state. The processing state correspondence processing means 46 provided in the numerical control device 14 includes:
In accordance with the output of the grasping result of the machining state grasping means 19, the machining apparatus 13 performs a predetermined process for a tool failure or the like, such as generation of an alarm or forced stop of the machining apparatus.

【0029】外部指令応答オンオフ手段20は、スピン
ドルコントローラ3の外部の指令によって、静圧磁気複
合軸受6〜9における磁気軸受6B〜9Bの励磁をオン
オフする手段である。外部指令応答オンオフ手段20に
よる励磁のオンオフは、磁気軸受6B〜9Bの全てにつ
き行うようにしても、また特定のものだけにつき行うよ
うにしても良い。図1の例では、外部指令応答オンオフ
手段20は、電磁石用パワー回路42から磁気軸受6B
〜9Bに接続された各電気回路部分に、制御信号で応答
するスイッチを介在させたものとしてある。外部指令応
答オンオフ手段20は、図14に示すように、電源41
と電磁石用パワー回路42との間に設けても良く、また
図15に示すように制御手段43と電磁石用パワー回路
42との間に設け、電磁石用パワー回路42に対して電
流が零となる指令を与えるようにしても良い。
The external command response on / off means 20 is means for turning on / off the excitation of the magnetic bearings 6B to 9B in the hydrostatic magnetic composite bearings 6 to 9 according to a command external to the spindle controller 3. On / off of the excitation by the external command response on / off means 20 may be performed for all of the magnetic bearings 6B to 9B, or may be performed for only a specific one. In the example of FIG. 1, the external command response on / off means 20 is connected to the magnetic bearing 6B from the electromagnet power circuit 42.
9B is provided with a switch responsive to a control signal in each electric circuit portion. The external command response on / off means 20 includes a power supply 41 as shown in FIG.
15 may be provided between the control means 43 and the electromagnet power circuit 42, and the current becomes zero for the electromagnet power circuit 42, as shown in FIG. A command may be given.

【0030】数値制御装置14の励磁オンオフ指令生成
手段45は、数値制御による加工の進行に伴って、加工
プログラム50の指令に応じて外部指令応答オンオフ手
段20にオンオフ指令を与えるものとしてある。この場
合に、励磁オンオフ指令生成手段45は、例えば、加工
プログラム50の所定の指令が数値制装置14で解読さ
れたとき、または実行されるときに数値制御装置14内
で発生する所定の指令によって、励磁オンオフ指令を生
成するものとされる。なお、外部指令応答オンオフ手段
20へのオンオフ指令は、数値制御装置14とは別のコ
ンピュータ等の情報処理手段等から行うようにしても良
い。
The excitation on / off command generating means 45 of the numerical controller 14 gives an on / off command to the external command response on / off means 20 in accordance with a command of the machining program 50 as the machining by the numerical control progresses. In this case, the excitation on / off command generating means 45 is configured, for example, by a predetermined command generated in the numerical controller 14 when the predetermined command of the machining program 50 is decoded by the numerical controller 14 or executed. , An excitation on / off command is generated. The on / off command to the external command response on / off means 20 may be issued from an information processing means such as a computer other than the numerical controller 14.

【0031】図7は、外部指令応答オンオフ手段20を
オンオフさせて加工するときの制御の一例を示す。この
例は、図6に示す加工プログラム50のように、粗加工
指令の後で仕上加工指令がある場合に適用される例であ
る。まず、粗加工指令(S1)により励磁をオン(S
2)にした後、主軸4を起動する(S3)。この状態
で、静圧磁気複合軸受6〜9は、静圧および磁力の両方
で主軸4を支持する。仕上加工指令があるまでは、この
まま励磁オンを維持する(S4)。仕上加工指令がある
と、励磁をオフにし(S5)、静圧磁気複合軸受6〜9
は静圧気体軸受6A〜9Aのみで支持する。加工の終了
や、別部位の粗加工等の所定の指令があると(S6)、
励磁をオンにし(S7)、静圧および磁力の両方で主軸
4を支持する。
FIG. 7 shows an example of control when machining is performed by turning on / off the external command response on / off means 20. This example is an example applied when there is a finishing machining command after a rough machining command as in a machining program 50 shown in FIG. First, the excitation is turned on by the rough machining command (S1) (S1).
After 2), the spindle 4 is started (S3). In this state, the hydrostatic / magnetic composite bearings 6 to 9 support the main shaft 4 with both static pressure and magnetic force. Until the finish processing command is issued, the excitation is maintained as it is (S4). When there is a finish processing command, the excitation is turned off (S5), and the hydrostatic magnetic composite bearings 6 to 9 are turned off.
Are supported only by the static pressure gas bearings 6A to 9A. When there is a predetermined command such as the end of machining or rough machining of another part (S6),
The excitation is turned on (S7), and the spindle 4 is supported by both static pressure and magnetic force.

【0032】このように、粗加工時に磁気軸受6B〜9
Bをオフとし、仕上げ加工時に磁気軸受6B〜9Bとす
ることにより、粗加工時には高能率化が図れ、仕上げ加
工時には高精度化が図れて、高能率、高精度の加工を実
現できる。
As described above, the magnetic bearings 6B to 9
By turning off B and using the magnetic bearings 6B to 9B at the time of finish machining, high efficiency can be achieved at the time of rough machining, and high accuracy can be achieved at the time of finish machining, and high efficiency and high precision machining can be realized.

【0033】図16は、この静圧磁気複合軸受スピンド
ル装置1を装備した加工装置13の一例を示す。この例
は金型加工装置に適用した例である。スピンドル装置1
のスピンドル装置本体2は、テーブル装置51の上方
で、基台52にガイド53を介して昇降自在にかつ下向
きに設置され、スピンドル昇降装置54により昇降駆動
される。テーブル装置51は、図17に示すようにワー
クWを載置するテーブル55を水平な直交する2軸方向
(X,Y方向)に移動自在に設けたものであり、各方向
のテーブル駆動装置56,57の駆動により進退移動す
る。テーブル55は、Y軸方向に移動可能な下側テーブ
ル55a上に、X軸方向に移動可能に上側テーブル55
bを設置した2段構造とされている。各軸のテーブル駆
動装置56,57およびスピンドル昇降装置54は、各
々ボールねじおよびサーボモータで構成されている。
FIG. 16 shows an example of a processing device 13 equipped with the hydrostatic magnetic composite bearing spindle device 1. This example is an example applied to a mold processing apparatus. Spindle device 1
The spindle device main body 2 is set up and down on a base 52 via a guide 53 above a table device 51, and is driven up and down by a spindle lifting device 54. As shown in FIG. 17, the table device 51 is provided with a table 55 on which a work W is placed so as to be movable in two horizontal axes (X and Y directions) orthogonal to each other. , 57 are moved forward and backward. The table 55 includes an upper table 55 movably in the X-axis direction on a lower table 55a movable in the Y-axis direction.
b has a two-stage structure. The table driving devices 56 and 57 and the spindle elevating device 54 of each axis are respectively constituted by a ball screw and a servomotor.

【0034】つぎに、通信系を説明する。図1に示すよ
うに、このスピンドル装置1は、スピンドルコントロー
ラ3内、またはスピンドルコントローラ3とは別に、遠
隔地の情報処理手段91と電話回線網等の通信回線65
で通信する通信手段60を有している。通信手段60
は、外部出力手段44を兼ねるものであっても良く、ま
た数値制御装置14や、この数値制御装置14の上位制
御コンピュータとなる情報処理手段(図示せず)等に設
けられてものであっても良い。この通信手段60は、ス
ピンドル装置1の加工状態把握手段19の出力、電流検
出手段15〜18の電流検出値、電流平滑部19a(図
9)の平滑値出力、および周波数分析部19c,19e
(図10,図11)で出力された各周波数成分の振幅値
のいずかを通信可能なものとしてある。また、遠隔地の
情報処理手段91は、前記通信手段60から通信された
情報に所定の処理を施す機能を備えている。この所定の
処理は、例えば加工状態の統計的処理や、スピンドルコ
ントローラ3または数値制御装置14を制御する指令の
生成等である。また、この遠隔地の情報処理手段91
は、スピンドルコントローラ3の外部指令応答オンオフ
手段20にオンオフ指令を与える機能を持つものとして
ある。情報処理手段91から外部指令応答オンオフ手段
20へのオンオフ指令の送信は、数値制御装置14やこ
の数値制御装置14の上位制御コンピュータとなる情報
処理手段(図示せず)を介して行うようにしても良い。
Next, the communication system will be described. As shown in FIG. 1, the spindle device 1 includes a remote information processing unit 91 and a communication line 65 such as a telephone line network in the spindle controller 3 or separately from the spindle controller 3.
And a communication means 60 for communicating with the user. Communication means 60
May also serve as the external output means 44, and may be provided in the numerical control device 14, information processing means (not shown) serving as a higher-level control computer of the numerical control device 14, and the like. Is also good. The communication unit 60 includes an output of the processing state grasping unit 19 of the spindle device 1, a current detection value of the current detection units 15 to 18, a smoothed value output of the current smoothing unit 19a (FIG. 9), and frequency analysis units 19c and 19e.
Any of the amplitude values of each frequency component output in (FIGS. 10 and 11) can be communicated. Further, the remote information processing means 91 has a function of performing a predetermined process on the information communicated from the communication means 60. The predetermined processing includes, for example, statistical processing of a processing state, generation of a command for controlling the spindle controller 3 or the numerical controller 14, and the like. Further, the information processing means 91 in this remote place
Has a function of giving an on / off command to the external command response on / off means 20 of the spindle controller 3. The transmission of the on / off command from the information processing means 91 to the external command response on / off means 20 is performed via the numerical control device 14 or information processing means (not shown) serving as a higher-level control computer of the numerical control device 14. Is also good.

【0035】図18は、図1のスピンドル装置1、およ
びこのスピンドル装置1を装備した加工装置13の通信
系の展開例を示す。この加工装置13を設置した事業所
71には、他の加工装置72が複数設置されており、こ
れら加工装置13,72は、各々単独で、または複数台
が共通の情報処理手段73,74に接続されている。こ
れら情報処理手段73,74は、ウェブサーバ80、フ
ァイバウォール81、およびロータ82等のネットワー
ク構成機器と共にローカルエリアネットワーク89を構
成する。このローカルエリアネットワーク89は、通信
回線65によりインターネット90を介して、各々別の
事業所83,84のローカルエリアネットワークに設置
された遠隔地の情報処理手段91に通信機器86を介し
て接続されている。加工装置13は、基本的にはその数
値制御装置14が、情報処理手段73に接続され、この
情報処理手段73を介してローカルエリアネットワーク
89内の通信線に接続された構成とされているが、これ
と併用して、あるいはこれとは別に、数値制御装置14
やスピンドルコントローラ3に設けられた通信手段60
から直接にローカルエリアネットワーク89内の通信線
に接続された通信系統を備えるものとしても良い。
FIG. 18 shows a development example of the communication system of the spindle device 1 of FIG. 1 and the processing device 13 equipped with the spindle device 1. A plurality of other processing devices 72 are installed in the business establishment 71 in which the processing device 13 is installed, and these processing devices 13 and 72 are used alone or in a plurality of common information processing means 73 and 74. It is connected. These information processing means 73 and 74 constitute a local area network 89 together with network components such as the web server 80, the fiber wall 81, and the rotor 82. The local area network 89 is connected via the communication line 65 to the remote information processing means 91 installed in the local area networks of the different offices 83 and 84 via the communication device 86 via the Internet 90. I have. The processing device 13 is basically configured such that the numerical control device 14 is connected to the information processing means 73 and connected to a communication line in the local area network 89 via the information processing means 73. , Together with or separately from this, the numerical controller 14
Communication means 60 provided in the spindle controller 3
, A communication system connected directly to a communication line in the local area network 89 may be provided.

【0036】[0036]

【発明の効果】この発明の静圧磁気複合軸受スピンドル
装置は、主軸の支持に静圧磁気複合軸受を用い、その磁
気軸受の励磁電流を検出する電流検出手段と、この電流
検出手段の電流検出値から工具による加工状態を把握す
る加工状態把握手段とを備えたものであるため、外部に
負荷測定用装置を設けることなく、主軸および工具に作
用する負荷または工具の損傷状態等の加工状態の把握が
行える。そのため、静圧磁気複合軸受の高速回転が可能
で、高回転精度、高静剛性・動剛性を有するという特長
を生かし、加工状態を検出しながら、最適な加工条件で
加工し、より一層高精度な加工を行うことができる。前
記電流検出手段の電流検出値を平滑化する電流平滑部を
設けた場合は、主軸の静負荷の検出が可能となる。主軸
の変位を検出する変位検出手段と、この変位検出手段の
変位検出値から前記工具による加工状態を把握する加工
状態把握手段とを設けた場合は、専用のセンサ類を設け
ることなく、加工状態の把握が可能となる。また、電流
検出手段または変位検出手段の出力を周波数分析する周
波数分析部を設けた場合は、主軸の回転周波数に関係す
る加工状態の検出が、簡単な構成で可能になる。
According to the present invention, a hydrostatic magnetic composite bearing spindle device uses a hydrostatic magnetic composite bearing for supporting a main shaft, and current detecting means for detecting an exciting current of the magnetic bearing, and current detection of the current detecting means. Since it is equipped with a machining state grasping means for grasping the machining state by the tool from the values, the machining state such as the load acting on the spindle and the tool or the damage state of the tool can be achieved without providing an external load measuring device. Can grasp. As a result, the high-speed rotation of the hydrostatic magnetic composite bearing is possible, making use of the features of high rotation accuracy, high static rigidity and dynamic rigidity. Processing can be performed. In the case where a current smoothing unit for smoothing the current detection value of the current detection means is provided, it is possible to detect a static load on the spindle. When a displacement detecting means for detecting the displacement of the main spindle and a machining state grasping means for grasping a machining state by the tool from a displacement detection value of the displacement detecting means are provided, the machining state is not provided without providing dedicated sensors. Can be grasped. In addition, when a frequency analysis unit that analyzes the frequency of the output of the current detection unit or the displacement detection unit is provided, it is possible to detect a machining state related to the rotation frequency of the spindle with a simple configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態にかかる静圧磁気複合軸
受スピンドル装置の概念構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a conceptual configuration of a hydrostatic composite bearing spindle device according to an embodiment of the present invention.

【図2】そのスピンドル装置本体の縦断側面図である。FIG. 2 is a vertical sectional side view of the spindle device main body.

【図3】同スピンドル装置本体の横断正面図である。FIG. 3 is a cross-sectional front view of the spindle device main body.

【図4】ラジアル型の静圧磁気複合軸受の拡大断面図で
ある。
FIG. 4 is an enlarged sectional view of a radial type hydrostatic composite bearing.

【図5】アキシアル型の静圧磁気複合軸受の拡大断面図
である。
FIG. 5 is an enlarged sectional view of an axial type hydrostatic magnetic bearing.

【図6】数値制御装置の概念構成を示すブロック図であ
る。
FIG. 6 is a block diagram illustrating a conceptual configuration of a numerical control device.

【図7】静圧磁気複合軸受における磁気軸受の励磁オン
オフ制御例を示す流れ図である。
FIG. 7 is a flowchart showing an example of an excitation on / off control of a magnetic bearing in a hydrostatic magnetic composite bearing.

【図8】加工状態把握手段の基本構成を示すブロック図
である。
FIG. 8 is a block diagram showing a basic configuration of a processing state grasping means.

【図9】加工状態把握手段の変形例を示すブロック図で
ある。
FIG. 9 is a block diagram showing a modification of the processing state grasping means.

【図10】加工状態把握手段の他の変形例を示すブロッ
ク図である。
FIG. 10 is a block diagram showing another modification of the processing state grasping means.

【図11】加工状態把握手段のさらに他の変形例を示す
ブロック図である。
FIG. 11 is a block diagram showing still another modification of the processing state grasping means.

【図12】電流平滑による加工状態把握の例を示すグラ
フである。
FIG. 12 is a graph showing an example of grasping a machining state by current smoothing.

【図13】周波数分析による加工状態把握の例を示すグ
ラフである。
FIG. 13 is a graph showing an example of grasping a machining state by frequency analysis.

【図14】外部指令応答オンオフ手段の配置を異ならせ
たスピンドルコントローラのブロックである。
FIG. 14 is a block diagram of a spindle controller in which the arrangement of external command response on / off means is different.

【図15】外部指令応答オンオフ手段の配置をさらに異
ならせたスピンドルコントローラのブロックである。
FIG. 15 is a block diagram of a spindle controller in which the arrangement of external command response on / off means is further different.

【図16】この静圧磁気複合軸受スピンドル装置を装備
した加工装置の正面図である。
FIG. 16 is a front view of a processing apparatus equipped with the hydrostatic composite bearing spindle device.

【図17】同加工装置のテーブル部分の平面図である。FIG. 17 is a plan view of a table portion of the processing apparatus.

【図18】遠隔操作ないし遠隔監視可能な静圧磁気複合
軸受スピンドル装置の概念構成を示す説明図である。
FIG. 18 is an explanatory diagram showing a conceptual configuration of a hydrostatic magnetic composite bearing spindle device that can be remotely operated or remotely monitored.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…スピンドル装置 19a…電流平滑部 2…スピンドル装置本体 19b,19d,19f
…加工状態把握部 3…スピンドルコントローラ 19c,19e…周波数
分析部 4…主軸 20…外部指令応答オン
オフ手段 5…ハウジング 28,38…変位検出手
段 6〜9…静圧磁気複合軸受 44…外部出力手段 6A〜9A…静圧気体軸受 45…励磁オンオフ指
令生成手段 6B〜9B…磁気軸受 46…加工状態対応処
理手段 10…スピンドル駆動源 60…通信手段 14…数値制御装置 65…通信回線 15〜18…電流検出手段 91…遠隔地の情報処
理手段 19…加工状態把握手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Spindle device 19a ... Current smoothing part 2 ... Spindle device main body 19b, 19d, 19f
... Processing state grasping part 3 ... Spindle controller 19c, 19e ... Frequency analysis part 4 ... Spindle 20 ... External command response on / off means 5 ... Housing 28, 38 ... Displacement detecting means 6-9 ... Static magnetic composite bearing 44 ... External output means 6A to 9A: Static pressure gas bearing 45: Excitation on / off command generating means 6B to 9B: Magnetic bearing 46: Processing state correspondence processing means 10: Spindle drive source 60: Communication means 14: Numerical control device 65: Communication line 15 to 18: Current detecting means 91 ... remote information processing means 19 ... processing state grasping means

フロントページの続き Fターム(参考) 3C001 KA06 KB02 3C029 CC03 3C045 FD16 3J102 AA01 AA02 BA03 BA19 CA09 CA19 DA02 DA03 DA09 DB37 EA02 EA06 EA13 GA07 Continuation of the front page F term (reference) 3C001 KA06 KB02 3C029 CC03 3C045 FD16 3J102 AA01 AA02 BA03 BA19 CA09 CA19 DA02 DA03 DA09 DB37 EA02 EA06 EA13 GA07

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 工具が先端に取付けられる主軸を、静圧
気体軸受と磁気軸受とが複合化された静圧磁気複合軸受
で支持し、前記主軸を回転させるスピンドル駆動源を設
けたスピンドル装置であって、前記磁気軸受の励磁電流
を検出する電流検出手段と、この電流検出手段の電流検
出値から前記工具による加工状態を把握する加工状態把
握手段とを備えた静圧磁気複合軸受主軸装置。
1. A spindle device having a spindle on which a tool is mounted at a tip end is supported by a hydrostatic / magnetic composite bearing in which a hydrostatic gas bearing and a magnetic bearing are combined, and a spindle drive source for rotating the spindle is provided. A hydrostatic magnetic composite bearing main spindle device comprising: a current detecting means for detecting an exciting current of the magnetic bearing; and a processing state grasping means for grasping a machining state by the tool from a current detection value of the current detecting means.
【請求項2】 前記電流検出手段は、前記静圧磁気複合
軸受を制御するスピンドルコントローラに設けられたも
のである請求項1記載の静圧磁気複合軸受スピンドル装
置。
2. The hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 1, wherein said current detecting means is provided in a spindle controller for controlling said hydrostatic magnetic composite bearing.
【請求項3】 前記加工状態把握手段は、前記電流検出
手段の電流検出値を平滑化する電流平滑部と、この電流
平滑部の平滑値出力から主軸の静負荷を換算し、その静
負荷換算結果から加工状態を把握する加工状態把握部と
を有するものとした請求項1または請求項2記載の静圧
磁気複合軸受スピンドル装置。
3. The processing state grasping means includes: a current smoothing section for smoothing a current detection value of the current detecting means; and a static load of the main shaft converted from a smoothed value output of the current smoothing section. The hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 1 or 2, further comprising a machining state grasping unit for grasping a machining state from a result.
【請求項4】 工具が先端に取付けられる主軸を、静圧
気体軸受と磁気軸受とが複合化された静圧磁気複合軸受
で支持し、前記主軸を回転させるスピンドル駆動源を設
けたスピンドル装置であって、前記主軸の変位を検出す
る変位検出手段と、この変位検出手段の変位検出値から
前記工具による加工状態を把握する加工状態把握手段と
を備えた静圧磁気複合軸受スピンドル装置。
4. A spindle device in which a spindle on which a tool is mounted at a tip is supported by a hydrostatic and magnetic composite bearing in which a hydrostatic gas bearing and a magnetic bearing are combined, and a spindle drive source for rotating the spindle is provided. A hydrostatic magnetic composite bearing spindle device comprising: a displacement detecting means for detecting a displacement of the main shaft; and a machining state grasping means for grasping a machining state by the tool from a displacement detected value of the displacement detecting means.
【請求項5】 前記加工状態把握手段は、前記電流検出
手段または前記変位検出手段の出力を周波数分析する周
波数分析部と、この周波数分析部から出力される加工時
の各周波数成分の振幅から加工状態を把握する加工状態
把握部とを有するものとした請求項1または請求項2ま
たは請求項4記載の静圧磁気複合軸受スピンドル装置。
5. The processing state grasping means comprises: a frequency analyzing section for frequency-analyzing an output of the current detecting means or the displacement detecting means; and a processing means for processing the output from the frequency analyzing section based on an amplitude of each frequency component at the time of processing. The hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 1, further comprising a machining state grasping section for grasping a state.
【請求項6】 前記スピンドル駆動源は、前記静圧磁気
複合軸受を設置したハウジングに内蔵されたモータであ
る請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の静圧磁気
複合軸受スピンドル装置。
6. The hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 1, wherein the spindle drive source is a motor built in a housing in which the hydrostatic magnetic composite bearing is installed.
【請求項7】 前記静圧磁気複合軸受を制御するスピン
ドルコントローラと、前記電流検出手段の電流検出値、
前記電流平滑部の平滑値出力、および前記周波数分析部
で出力された各周波数成分の振幅値のいずかの値を前記
スピンドルコントローラの外部に出力する外部出力手段
とを設けた請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の
静圧磁気複合軸受スピンドル装置。
7. A spindle controller for controlling the hydrostatic magnetic composite bearing, a current detection value of the current detection means,
An external output means for outputting a smoothed value output of the current smoothing unit and any one of amplitude values of respective frequency components output by the frequency analysis unit to outside of the spindle controller. The hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 5.
【請求項8】 請求項1ないし請求項7のいずれかに記
載の静圧磁気複合軸受スピンドル装置と、このスピンド
ル装置の遠隔地にある情報処理手段と、前記スピンドル
装置の加工状態把握手段の出力、前記電流検出手段の電
流検出値、前記電流平滑部の平滑値出力、および前記周
波数分析部で出力された各周波数成分の振幅値のいずれ
かを、通信回線で前記遠隔地の情報処理手段に通信する
通信手段とを備え、上記情報処理手段は、通信された情
報に所定の処理を施す機能を有するものとした加工状態
遠隔把握スピンドル装置。
8. An output of the hydrostatic magnetic composite bearing spindle device according to claim 1, an information processing means remote from the spindle device, and a processing state grasping means of the spindle device. Any one of the current detection value of the current detection unit, the smoothed value output of the current smoothing unit, and the amplitude value of each frequency component output by the frequency analysis unit to the remote information processing unit via a communication line. And a communication means for communicating, wherein the information processing means has a function of performing predetermined processing on the communicated information.
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