JP2000262847A - 有機溶剤蒸気処理装置 - Google Patents
有機溶剤蒸気処理装置Info
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は処理空気中にジメチルスルホキシド
（ＤＭＳＯ）が含まれる場合であっても処理可能な有機
溶剤蒸気処理装置を提供しようとするものである。 【解決手段】処理空気通路の吸着ローターの前面に洗浄
液を噴霧するノズルを設けることによって吸着ローター
を洗浄液で洗浄するようにしたものであり、吸着ロータ
ーにＤＭＳＯが付着しても簡単に吸着ローターを洗浄液
で洗浄することができるようにした。
（ＤＭＳＯ）が含まれる場合であっても処理可能な有機
溶剤蒸気処理装置を提供しようとするものである。 【解決手段】処理空気通路の吸着ローターの前面に洗浄
液を噴霧するノズルを設けることによって吸着ローター
を洗浄液で洗浄するようにしたものであり、吸着ロータ
ーにＤＭＳＯが付着しても簡単に吸着ローターを洗浄液
で洗浄することができるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体の
生産工場などの排出ガスに含まれる有機溶剤蒸気を濃縮
除去する場合に用いられる有機溶剤蒸気処理装置に関す
るものである。
生産工場などの排出ガスに含まれる有機溶剤蒸気を濃縮
除去する場合に用いられる有機溶剤蒸気処理装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より活性炭紙や疎水性ゼオライトを
担持した紙をコルゲート加工して作られたハニカム状の
吸着ローターを用いた有機溶剤蒸気処理装置は例えば特
許出願公開平成６年第１６５９３４号公報に開示されて
いる。
担持した紙をコルゲート加工して作られたハニカム状の
吸着ローターを用いた有機溶剤蒸気処理装置は例えば特
許出願公開平成６年第１６５９３４号公報に開示されて
いる。
【０００３】このような有機溶剤蒸気処理装置は、吸着
ローターを有するチャンバーを吸着ゾーンと脱着ゾーン
とに分割し、吸着ローターを回転させながら吸着ゾーン
に有機溶剤蒸気を含む処理空気を流して吸着ゾーンで有
機溶剤蒸気を吸着し、吸着ゾーンを出た空気を清浄なも
のにしながら、脱着ゾーンで吸着ローターに熱風を当て
て有機溶剤を脱着させることによって脱着ゾーンより出
た空気中に有機溶剤蒸気を濃縮するようにしている。
ローターを有するチャンバーを吸着ゾーンと脱着ゾーン
とに分割し、吸着ローターを回転させながら吸着ゾーン
に有機溶剤蒸気を含む処理空気を流して吸着ゾーンで有
機溶剤蒸気を吸着し、吸着ゾーンを出た空気を清浄なも
のにしながら、脱着ゾーンで吸着ローターに熱風を当て
て有機溶剤を脱着させることによって脱着ゾーンより出
た空気中に有機溶剤蒸気を濃縮するようにしている。
【０００４】このようにして脱着ゾーンを出て濃縮され
た有機溶剤蒸気は燃焼処理などの手段によって無害化す
る。つまり脱着ゾーンに送る空気を処理ゾーンに送る空
気の量の例えば１／１０とすることによって、脱着ゾー
ンの出口側では有機溶剤蒸気の濃度が処理空気の濃度の
１０倍となり燃焼処理を行い易くなる。
た有機溶剤蒸気は燃焼処理などの手段によって無害化す
る。つまり脱着ゾーンに送る空気を処理ゾーンに送る空
気の量の例えば１／１０とすることによって、脱着ゾー
ンの出口側では有機溶剤蒸気の濃度が処理空気の濃度の
１０倍となり燃焼処理を行い易くなる。
【０００５】また燃焼処理すべき有機溶剤蒸気と空気の
混合気体の量が１／１０となり、燃焼装置も小型で済む
ようになる。
混合気体の量が１／１０となり、燃焼装置も小型で済む
ようになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の有
機溶剤蒸気処理装置は多くの種類の有機溶剤蒸気の処理
を問題なく行うことができるのであるが、特定の有機溶
剤蒸気を処理する場合に次のような問題がある。
機溶剤蒸気処理装置は多くの種類の有機溶剤蒸気の処理
を問題なく行うことができるのであるが、特定の有機溶
剤蒸気を処理する場合に次のような問題がある。
【０００７】つまり最近の半導体工場から排出される有
機溶剤蒸気の中にジメチルスルホキシド（以下ＤＭＳＯ
と書く）が含まれており、これが吸着ローターの性能に
障害を与えることがある。これは、ＤＭＳＯは吸着剤が
活性炭であってもゼオライトであっても極めて吸着性が
強く、かつその沸点が約２００℃と比較的に高く、もと
もと吸着ローターより脱着しにくいという性質がある。
機溶剤蒸気の中にジメチルスルホキシド（以下ＤＭＳＯ
と書く）が含まれており、これが吸着ローターの性能に
障害を与えることがある。これは、ＤＭＳＯは吸着剤が
活性炭であってもゼオライトであっても極めて吸着性が
強く、かつその沸点が約２００℃と比較的に高く、もと
もと吸着ローターより脱着しにくいという性質がある。
【０００８】脱着ゾーンへ送る脱着空気の温度を例えば
２５０〜３００℃位まで上げるとＤＭＳＯの脱着は完全
に行われるのであるが、脱着空気の温度をあまり上げる
と安全上の問題が生じる。特に吸着ローターが活性炭紙
で作られている場合には発火する危険性もある。
２５０〜３００℃位まで上げるとＤＭＳＯの脱着は完全
に行われるのであるが、脱着空気の温度をあまり上げる
と安全上の問題が生じる。特に吸着ローターが活性炭紙
で作られている場合には発火する危険性もある。
【０００９】これに加えてＤＭＳＯは極めて吸湿性が高
く、完全に脱着されずに吸着ローター上に残留した場合
は、処理空気に含まれる湿気を吸着する。するとその湿
気に処理空気中のＤＭＳＯが新たに吸着され、ＤＭＳＯ
の水溶液が吸着ローターに付着した状態となる。
く、完全に脱着されずに吸着ローター上に残留した場合
は、処理空気に含まれる湿気を吸着する。するとその湿
気に処理空気中のＤＭＳＯが新たに吸着され、ＤＭＳＯ
の水溶液が吸着ローターに付着した状態となる。
【００１０】このようになると脱着に際して水とＤＭＳ
Ｏの両方を脱着しなければならず、脱着に必要なエネル
ギーが大きくなり、結局ＤＭＳＯは脱着されず吸着ロー
ター上に残留してしまう。このようにしてＤＭＳＯが一
旦吸着ローター上に残留すると悪循環が発生し、次第に
吸着ローター上に付着してゆく。
Ｏの両方を脱着しなければならず、脱着に必要なエネル
ギーが大きくなり、結局ＤＭＳＯは脱着されず吸着ロー
ター上に残留してしまう。このようにしてＤＭＳＯが一
旦吸着ローター上に残留すると悪循環が発生し、次第に
吸着ローター上に付着してゆく。
【００１１】これにともなって、吸着ローターの吸着剤
はＤＭＳＯに覆われて吸着能力が次第に下がってくる。
はＤＭＳＯに覆われて吸着能力が次第に下がってくる。
【００１２】本発明は処理空気中にＤＭＳＯが含まれる
場合であっても処理可能な有機溶剤蒸気処理装置を提供
しようとするものである。
場合であっても処理可能な有機溶剤蒸気処理装置を提供
しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】処理空気通路の吸着ロー
ターの前面に洗浄液を噴霧するノズルを設けることによ
って吸着ローターを洗浄液で洗浄するようにしたもので
あり、吸着ローターにＤＭＳＯが付着しても簡単に吸着
ローターを洗浄液で洗浄することができるようにした。
ターの前面に洗浄液を噴霧するノズルを設けることによ
って吸着ローターを洗浄液で洗浄するようにしたもので
あり、吸着ローターにＤＭＳＯが付着しても簡単に吸着
ローターを洗浄液で洗浄することができるようにした。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、有機溶剤蒸気の吸着剤を担持した吸着ローターと、
吸着ローターに対して少なくとも被処理空気を送る処理
空気通路と再生空気を送る再生空気通路とを備え、処理
空気通路の吸着ローターの前面に洗浄液を噴霧するノズ
ルを設けることによって吸着ローターを洗浄液で洗浄す
るようにしたものであり、吸着ローターにＤＭＳＯが付
着しても簡単に吸着ローターを洗浄液で洗浄することが
できるという作用を有する。
は、有機溶剤蒸気の吸着剤を担持した吸着ローターと、
吸着ローターに対して少なくとも被処理空気を送る処理
空気通路と再生空気を送る再生空気通路とを備え、処理
空気通路の吸着ローターの前面に洗浄液を噴霧するノズ
ルを設けることによって吸着ローターを洗浄液で洗浄す
るようにしたものであり、吸着ローターにＤＭＳＯが付
着しても簡単に吸着ローターを洗浄液で洗浄することが
できるという作用を有する。
【００１５】
【実施例】以下本発明の実施例１について図に沿って詳
細に説明する。図１は本発明の実施例１における有機溶
剤蒸気処理装置の分解斜視図、図２は同ブロック図であ
る。
細に説明する。図１は本発明の実施例１における有機溶
剤蒸気処理装置の分解斜視図、図２は同ブロック図であ
る。
【００１６】１は吸着ローターであり、例えば疎水性ゼ
オライトを担持したセラミック紙をハニカム状に形成し
たものであり、ケーシング２内に回転可能に保持されて
いる。そしてケーシング２は、セパレータ３により処理
ゾーン４と脱着ゾーン５とに分割されている。
オライトを担持したセラミック紙をハニカム状に形成し
たものであり、ケーシング２内に回転可能に保持されて
いる。そしてケーシング２は、セパレータ３により処理
ゾーン４と脱着ゾーン５とに分割されている。
【００１７】また、吸着ローター１はギヤドモータ６、
駆動ベルト７により矢印の方向に回転駆動されるよう構
成されている。８は脱着用ヒータであり、脱着ゾーン５
と連通している。９は脱着用ブロアであり、脱着ゾーン
５の出口側に吸い込み口が連通している。これによって
脱着用ヒータで加熱された空気が脱着ゾーン５を通過す
る。
駆動ベルト７により矢印の方向に回転駆動されるよう構
成されている。８は脱着用ヒータであり、脱着ゾーン５
と連通している。９は脱着用ブロアであり、脱着ゾーン
５の出口側に吸い込み口が連通している。これによって
脱着用ヒータで加熱された空気が脱着ゾーン５を通過す
る。
【００１８】１０は処理空気用ブロアであり、有機溶剤
蒸気を含む処理空気を送るものである。１１、１２はダ
ンパーであり、ダンパー１１は処理空気の発生源（図示
せず）と処理空気用ブロア１０の間に設けられている。
ダンパー１２は処理空気用ブロア１０の入口と大気を連
通する管路に設けられている。
蒸気を含む処理空気を送るものである。１１、１２はダ
ンパーであり、ダンパー１１は処理空気の発生源（図示
せず）と処理空気用ブロア１０の間に設けられている。
ダンパー１２は処理空気用ブロア１０の入口と大気を連
通する管路に設けられている。
【００１９】１３、１４は噴霧ノズルであり、処理ゾー
ン４の処理空気の流入側に設けられ、吸着ローター４に
水を噴霧するものである。また１５はドレンパンであ
り、噴霧ノズル１３、１４より噴霧され、吸着ローター
４を洗浄し、垂れて来た水を受けるものである。
ン４の処理空気の流入側に設けられ、吸着ローター４に
水を噴霧するものである。また１５はドレンパンであ
り、噴霧ノズル１３、１４より噴霧され、吸着ローター
４を洗浄し、垂れて来た水を受けるものである。
【００２０】１６はフィルターであり、ドレンパン１５
に溜まった水を濾過するものである。１７はポンプであ
り、フィルター１６を通過した水を加圧し噴霧ノズル１
３、１４へ送るものである。また、ドレンパン１５から
フィルター１６に至る水路の間に市水道等の水源からの
管路が接続されている。
に溜まった水を濾過するものである。１７はポンプであ
り、フィルター１６を通過した水を加圧し噴霧ノズル１
３、１４へ送るものである。また、ドレンパン１５から
フィルター１６に至る水路の間に市水道等の水源からの
管路が接続されている。
【００２１】さらにドレンパン１５から排水処理装置
（図示せず）へ排水を送る管路が設けられている。
（図示せず）へ排水を送る管路が設けられている。
【００２２】本発明の実施例１における有機溶剤蒸気処
理装置は以上のような構成であり、以下その動作につい
て説明する。先ず、ダンパー１２を閉じるとともにダン
パー１１を開放する。そして脱着用ブロア９及び処理空
気用ブロア１０に通電し、続いてギヤドモータ６及び脱
着用ヒータ８に通電する。
理装置は以上のような構成であり、以下その動作につい
て説明する。先ず、ダンパー１２を閉じるとともにダン
パー１１を開放する。そして脱着用ブロア９及び処理空
気用ブロア１０に通電し、続いてギヤドモータ６及び脱
着用ヒータ８に通電する。
【００２３】これによって、有機溶剤蒸気を含む処理空
気が処理空気用ブロア１０によって送られる。そして処
理空気は処理ゾーン４に入って処理空気に含まれる有機
溶剤蒸気は吸着ローター１に吸着される。処理ゾーン４
を出た空気は清浄空気となって大気へ放出される。
気が処理空気用ブロア１０によって送られる。そして処
理空気は処理ゾーン４に入って処理空気に含まれる有機
溶剤蒸気は吸着ローター１に吸着される。処理ゾーン４
を出た空気は清浄空気となって大気へ放出される。
【００２４】吸着ローター１に吸着された有機溶剤蒸気
は脱着ゾーン５において脱着用ヒータ８によって加熱さ
れた空気によって脱着され、濃縮されて脱着用ブロア９
によって燃焼装置（図示せず）等の無害化装置へ送られ
る。
は脱着ゾーン５において脱着用ヒータ８によって加熱さ
れた空気によって脱着され、濃縮されて脱着用ブロア９
によって燃焼装置（図示せず）等の無害化装置へ送られ
る。
【００２５】有機溶剤蒸気にＤＭＳＯが含まれている場
合には、前記説明のとおり本発明の有機溶剤蒸気処理装
置を暫く使用し続けると吸着ローター１上にＤＭＳＯが
次第に堆積し、吸着ローター１の吸着能力が徐々に低下
する。そして例えば吸着ローター１の吸着能力が９０％
まで低下した時に賦活動作を行う。
合には、前記説明のとおり本発明の有機溶剤蒸気処理装
置を暫く使用し続けると吸着ローター１上にＤＭＳＯが
次第に堆積し、吸着ローター１の吸着能力が徐々に低下
する。そして例えば吸着ローター１の吸着能力が９０％
まで低下した時に賦活動作を行う。
【００２６】先ず、ダンパー１１を閉じるとともにダン
パー１２を開放する。そして処理空気用ブロア１０に通
電し、続いてギヤドモータ６に通電する。その状態でド
レンパン１５内に上水道などの水源から水を供給すると
ともにポンプ１７に通電し、ドレンパン１５内の水を噴
霧ノズル１３、１４より噴霧し、吸着ローター１を洗浄
する。ＤＭＳＯは極めて水に溶解しやすく、噴霧された
水に溶解してドレンパン１５に溜まる。
パー１２を開放する。そして処理空気用ブロア１０に通
電し、続いてギヤドモータ６に通電する。その状態でド
レンパン１５内に上水道などの水源から水を供給すると
ともにポンプ１７に通電し、ドレンパン１５内の水を噴
霧ノズル１３、１４より噴霧し、吸着ローター１を洗浄
する。ＤＭＳＯは極めて水に溶解しやすく、噴霧された
水に溶解してドレンパン１５に溜まる。
【００２７】つまり、吸着ローター１はギヤドモータ６
によって回転しながら水を噴霧されるため、全面に亘っ
て洗浄される。また洗浄中は処理空気用ブロア１０によ
って大気が吸着ローター１を通過するため、噴霧された
水は吸着ローター１の噴霧された側から反対側へ移動す
る。このようにして吸着ローター１は全体がまんべんな
く洗浄される。
によって回転しながら水を噴霧されるため、全面に亘っ
て洗浄される。また洗浄中は処理空気用ブロア１０によ
って大気が吸着ローター１を通過するため、噴霧された
水は吸着ローター１の噴霧された側から反対側へ移動す
る。このようにして吸着ローター１は全体がまんべんな
く洗浄される。
【００２８】洗浄の初期においてはドレンパン１５に溜
まる水はＤＭＳＯが高濃度で溶解しており、濃い褐色に
着色しており排水処理装置へ流す。洗浄の中期、後期に
おいてはドレンパン１５に溜まる水のＤＭＳＯ濃度は低
く着色も薄いため、洗浄の中期ではドレンパン１５から
水を抜くことなく、着色が濃くなるまで再使用する。こ
れによって洗浄に使う水の量を少なくすることができ、
排水処理を行うべき水の量が少なくなる。
まる水はＤＭＳＯが高濃度で溶解しており、濃い褐色に
着色しており排水処理装置へ流す。洗浄の中期、後期に
おいてはドレンパン１５に溜まる水のＤＭＳＯ濃度は低
く着色も薄いため、洗浄の中期ではドレンパン１５から
水を抜くことなく、着色が濃くなるまで再使用する。こ
れによって洗浄に使う水の量を少なくすることができ、
排水処理を行うべき水の量が少なくなる。
【００２９】そして洗浄の後期において一旦ドレンパン
１５から水を抜き、清浄水を供給して清浄な水で洗浄す
る。
１５から水を抜き、清浄水を供給して清浄な水で洗浄す
る。
【００３０】ドレンパン１５から排出された溶液は耐熱
容器に移し、加熱して先ず水蒸気を飛ばし、次に２５０
℃以上の温度でＤＭＳＯを気化させ、脱硫装置を有する
燃焼装置で燃焼処理する。
容器に移し、加熱して先ず水蒸気を飛ばし、次に２５０
℃以上の温度でＤＭＳＯを気化させ、脱硫装置を有する
燃焼装置で燃焼処理する。
【００３１】吸着ローター１を十分に洗浄した後は噴霧
を停止し、吸着ローター１を乾燥させる。つまり吸着ロ
ーター１を回転させながら蒸気等で加熱した空気を吸着
ゾーン４に送ったり、脱着用ヒータ８に通電して熱風を
脱着ゾーン５に送ることによって吸着ローター１を乾燥
させる。吸着ローター１を十分に乾燥させた後は再び有
機溶剤蒸気処理装置の運転を開始する。
を停止し、吸着ローター１を乾燥させる。つまり吸着ロ
ーター１を回転させながら蒸気等で加熱した空気を吸着
ゾーン４に送ったり、脱着用ヒータ８に通電して熱風を
脱着ゾーン５に送ることによって吸着ローター１を乾燥
させる。吸着ローター１を十分に乾燥させた後は再び有
機溶剤蒸気処理装置の運転を開始する。
【００３２】次に本発明の実施例２について図に沿って
詳細に説明する。図３は本発明の実施例２における有機
溶剤蒸気処理装置の分解斜視図である。
詳細に説明する。図３は本発明の実施例２における有機
溶剤蒸気処理装置の分解斜視図である。
【００３３】この実施例２の実施例１との相違点は、パ
ージゾーン１８を設けた点と洗浄ゾーン１９を設けた点
であり、その他は同一である。従って、共通の構成部分
については同一の番号を付与し重複した説明は避ける。
パージゾーン１８は脱着用ヒータ８の投入エネルギーを
回収するものである。
ージゾーン１８を設けた点と洗浄ゾーン１９を設けた点
であり、その他は同一である。従って、共通の構成部分
については同一の番号を付与し重複した説明は避ける。
パージゾーン１８は脱着用ヒータ８の投入エネルギーを
回収するものである。
【００３４】洗浄ゾーン１９は処理ゾーン４の一部がセ
パレータ２０によって分割されることによって構成され
ている。また洗浄ゾーン１９への送風路と処理ゾーン４
への送風路とは互いに分割されておらず、処理空気用ブ
ロア１０で両ゾーンへ処理空気が送られ、両ゾーンを出
て清浄空気となった処理空気も送風路が分割されること
なく送られる。
パレータ２０によって分割されることによって構成され
ている。また洗浄ゾーン１９への送風路と処理ゾーン４
への送風路とは互いに分割されておらず、処理空気用ブ
ロア１０で両ゾーンへ処理空気が送られ、両ゾーンを出
て清浄空気となった処理空気も送風路が分割されること
なく送られる。
【００３５】本発明の実施例２における有機溶剤蒸気処
理装置は以上のような構成であり、以下その動作につい
て説明する。有機溶剤蒸気を含む処理空気が清浄空気と
なって大気へ放出される動作については実施例１と基本
的に同一であり、相違する点は以下の点である。つまり
処理空気の一部がパージゾーン１８へ送られ、熱を回収
して脱着用ヒータ８へ入る。
理装置は以上のような構成であり、以下その動作につい
て説明する。有機溶剤蒸気を含む処理空気が清浄空気と
なって大気へ放出される動作については実施例１と基本
的に同一であり、相違する点は以下の点である。つまり
処理空気の一部がパージゾーン１８へ送られ、熱を回収
して脱着用ヒータ８へ入る。
【００３６】次に、賦活動作について説明を行う。先
ず、実施例１と同様にダンパー１１を閉じるとともにダ
ンパー１２を開放する。そして処理空気用ブロア１０に
通電し、続いてギヤドモータ６に通電する。その状態で
噴霧ノズル１３、１４より水を噴霧し、吸着ローター１
を洗浄する。
ず、実施例１と同様にダンパー１１を閉じるとともにダ
ンパー１２を開放する。そして処理空気用ブロア１０に
通電し、続いてギヤドモータ６に通電する。その状態で
噴霧ノズル１３、１４より水を噴霧し、吸着ローター１
を洗浄する。
【００３７】実施例２のものは洗浄ゾーン１９が設けら
れているため、噴霧ノズル１３、１４より噴霧された水
は処理ゾーン４まで飛び散ることはなく、洗浄ゾーン１
９内で単位面積当たりの洗浄水を多く供給することがで
きる。
れているため、噴霧ノズル１３、１４より噴霧された水
は処理ゾーン４まで飛び散ることはなく、洗浄ゾーン１
９内で単位面積当たりの洗浄水を多く供給することがで
きる。
【００３８】以上、実施例１および実施例２では洗浄液
として水を使用する例を示したが、人体に害のない溶媒
例えばエタノールあるいはエタノールと水の混合物等を
使用することもできる。
として水を使用する例を示したが、人体に害のない溶媒
例えばエタノールあるいはエタノールと水の混合物等を
使用することもできる。
【００３９】他の溶媒を使用する場合には、洗浄動作中
は処理空気用ブロア１０を停止して溶媒の蒸気が外部へ
放出されないようにし、洗浄が終了した後、脱着用ブロ
ア９及び脱着用ヒータ８を動作させ脱着ゾーン５におい
て吸着ローター１から溶媒を除去する。
は処理空気用ブロア１０を停止して溶媒の蒸気が外部へ
放出されないようにし、洗浄が終了した後、脱着用ブロ
ア９及び脱着用ヒータ８を動作させ脱着ゾーン５におい
て吸着ローター１から溶媒を除去する。
【００４０】
【発明の効果】本発明の有機溶剤蒸気処理装置は上記の
如く構成したので、吸着ローターにＤＭＳＯが付着して
も簡単に吸着ローターを洗浄液で洗浄することができ、
簡単に吸着ローターの賦活を行うことができるものであ
る。
如く構成したので、吸着ローターにＤＭＳＯが付着して
も簡単に吸着ローターを洗浄液で洗浄することができ、
簡単に吸着ローターの賦活を行うことができるものであ
る。
【００４１】さらに本発明の有機溶剤蒸気処理装置は、
洗浄水中のＤＭＳＯの濃度が低い場合に洗浄水を再循環
して使用可能にしているため、洗浄水の使用が少なくて
済み、また処理すべき使用後の洗浄水の量を少なくする
ことができる。しかも、洗浄の最後は清浄水で洗浄する
ようにしているため、洗浄水を循環再利用しても洗浄効
果に問題はない。
洗浄水中のＤＭＳＯの濃度が低い場合に洗浄水を再循環
して使用可能にしているため、洗浄水の使用が少なくて
済み、また処理すべき使用後の洗浄水の量を少なくする
ことができる。しかも、洗浄の最後は清浄水で洗浄する
ようにしているため、洗浄水を循環再利用しても洗浄効
果に問題はない。
【００４２】しかも、洗浄後に吸着ローターを脱着用ヒ
ータの熱で乾燥させることができるため、吸着ローター
の乾燥のために特別な構成を必要としない。
ータの熱で乾燥させることができるため、吸着ローター
の乾燥のために特別な構成を必要としない。
【００４３】また、本発明のものは洗浄ゾーンを設けた
場合には、単位面積当たりに多量の洗浄液を噴霧するこ
とができ、ＤＭＳＯが多量に付着していても短時間に洗
浄することができる。
場合には、単位面積当たりに多量の洗浄液を噴霧するこ
とができ、ＤＭＳＯが多量に付着していても短時間に洗
浄することができる。
【図１】本発明の有機溶剤蒸気処理装置の実施例１を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図２】本発明の有機溶剤蒸気処理装置の実施例１を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図３】本発明の有機溶剤蒸気処理装置の実施例２を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図４】本発明の有機溶剤蒸気処理装置の実施例２を示
すブロック図である。
すブロック図である。
１ 吸着ローター ２ ケーシング ３、２０ セパレータ ４ 処理ゾーン ５ 脱着ゾーン ６ ギヤドモータ ７ 駆動ベルト ８ 脱着用ヒータ ９ 脱着用ブロア １０ 処理空気用ブロア １１、１２ ダンパー １３、１４ 噴霧ノズル １５ ドレンパン １６ フィルター １７ ポンプ １８ パージゾーン １９ 洗浄ゾーン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鄭 石治 台湾桃園縣平鎮市上海路207号４Ｆ 華懋 科技股▲分▼ 有限公司 内 Ｆターム(参考） 3B201 AA47 AB53 BB22 BB33 CD22 4D002 AA40 AB03 AC10 BA04 BA05 CA05 CA20 DA45 EA08 EA09 GA01 GA02 GB02 GB03 HA03 4D012 CA11 CC04 CD01 CD08 CE01 CF10 CG01 CH10
Claims (3)
- 【請求項１】有機溶剤蒸気の吸着剤を担持した吸着ロー
ターと、吸着ローターに対して少なくとも被処理空気を
送る処理空気通路と再生空気を送る再生空気通路とを備
え、処理空気通路の吸着ローターの前面に洗浄液を噴霧
するノズルを設けたことを特徴とする有機溶剤蒸気処理
装置。 - 【請求項２】吸着ローターを洗浄した洗浄液をその中の
有機溶剤の濃度に応じて再利用するようにした請求項１
記載の有機溶剤蒸気処理装置。 - 【請求項３】洗浄液を噴霧する洗浄ゾーンを設けた請求
項１記載の有機溶剤蒸気処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077217A JP2000262847A (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 有機溶剤蒸気処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11077217A JP2000262847A (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 有機溶剤蒸気処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000262847A true JP2000262847A (ja) | 2000-09-26 |
Family
ID=13627690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11077217A Pending JP2000262847A (ja) | 1999-03-23 | 1999-03-23 | 有機溶剤蒸気処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000262847A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1315561C (zh) * | 2003-07-10 | 2007-05-16 | 株式会社发英网 | 气体处理装置 |
| CN109289441A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-02-01 | 广汽菲亚特克莱斯勒汽车有限公司广州分公司 | 汽车涂装车间废气浓缩转轮的吹扫保养装置及其应用方法 |
| US10406475B2 (en) * | 2016-10-11 | 2019-09-10 | Seibu Giken Co., Ltd. | Gas recovery concentration apparatus |
-
1999
- 1999-03-23 JP JP11077217A patent/JP2000262847A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1315561C (zh) * | 2003-07-10 | 2007-05-16 | 株式会社发英网 | 气体处理装置 |
| US10406475B2 (en) * | 2016-10-11 | 2019-09-10 | Seibu Giken Co., Ltd. | Gas recovery concentration apparatus |
| CN109289441A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-02-01 | 广汽菲亚特克莱斯勒汽车有限公司广州分公司 | 汽车涂装车间废气浓缩转轮的吹扫保养装置及其应用方法 |
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