JP2000261076A - レーザ出力調整装置 - Google Patents
レーザ出力調整装置Info
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- JP2000261076A JP2000261076A JP5893499A JP5893499A JP2000261076A JP 2000261076 A JP2000261076 A JP 2000261076A JP 5893499 A JP5893499 A JP 5893499A JP 5893499 A JP5893499 A JP 5893499A JP 2000261076 A JP2000261076 A JP 2000261076A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因する
出力低下を自動的に補正してバリアブルアッテネータユ
ニットの出力レベルを安定維持させる。 【解決手段】レーザ発振器の出射光路上に回転式バリア
ブルアッテネータ８と回転式コンペンセータ９を組合せ
たバリアブルアッテネータユニット７を配置し、該ユニ
ットを経てレーザ出力を所要の低レベルに減衰させるよ
うにしたレーザ出力調整装置において、アッテネータを
透過した減衰レーザ光の検出手段として、アッテネータ
の表面反射光を検出するレーザ検出器１３，演算器１
４、および該演算器の出力をフィードバック量としてそ
の信号とレーザ出力設定器１２の設定信号とを対比する
比較器１５を備え、比較器の誤差信号を制御量として回
転器ドライバ１０を介してアッテネータ，コンペンセー
タの回転角度を修正し、そのレーザ出力レベルを設定値
に合わせて定値制御するようにする。
出力低下を自動的に補正してバリアブルアッテネータユ
ニットの出力レベルを安定維持させる。 【解決手段】レーザ発振器の出射光路上に回転式バリア
ブルアッテネータ８と回転式コンペンセータ９を組合せ
たバリアブルアッテネータユニット７を配置し、該ユニ
ットを経てレーザ出力を所要の低レベルに減衰させるよ
うにしたレーザ出力調整装置において、アッテネータを
透過した減衰レーザ光の検出手段として、アッテネータ
の表面反射光を検出するレーザ検出器１３，演算器１
４、および該演算器の出力をフィードバック量としてそ
の信号とレーザ出力設定器１２の設定信号とを対比する
比較器１５を備え、比較器の誤差信号を制御量として回
転器ドライバ１０を介してアッテネータ，コンペンセー
タの回転角度を修正し、そのレーザ出力レベルを設定値
に合わせて定値制御するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ発振器の出
力調整装置に関する。
力調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＹＡＧレーザなどのレーザ発振器から出
射するレーザ光の用途は通信，計測，加工，医療などの
分野に亘っている。そこで、レーザ発振器をこれらの用
途に適合させるために、レーザ発振器から出力するレー
ザ光を例えば紫外光に変えて使用するために、波長変換
器，減衰器などを通して所要の高調波，低出力レベルの
レーザに変換するようにしている。
射するレーザ光の用途は通信，計測，加工，医療などの
分野に亘っている。そこで、レーザ発振器をこれらの用
途に適合させるために、レーザ発振器から出力するレー
ザ光を例えば紫外光に変えて使用するために、波長変換
器，減衰器などを通して所要の高調波，低出力レベルの
レーザに変換するようにしている。
【０００３】図５はその一例として、ＹＡＧレーザ（発
振波長：１．０６μｍ）から出射した角周波数ωのレー
ザ光を第４高調波４ω光に変換した上で、所要の低出力
レベルに減衰させて出力してレーザ機器に伝送するよう
にした高調波レーザ発振装置を示す。図において、１は
レーザ媒質（ＹＡＧ結晶）１ａ，励起ランプ１ｂ，共振
ミラー１ｃ，Ｑスイッチ１ｄを組合せたＹＡＧレーザ発
振器、２はＳＨＧ素子（第２高調波発生素子）、３はダ
イクロイックミラー、４はダンパー、５はＦＨＧ素子
（第４高調波発生素子）、６は全反射ミラー、７はバリ
アブルアッテネータユニット（可変減衰ユニット）であ
る。
振波長：１．０６μｍ）から出射した角周波数ωのレー
ザ光を第４高調波４ω光に変換した上で、所要の低出力
レベルに減衰させて出力してレーザ機器に伝送するよう
にした高調波レーザ発振装置を示す。図において、１は
レーザ媒質（ＹＡＧ結晶）１ａ，励起ランプ１ｂ，共振
ミラー１ｃ，Ｑスイッチ１ｄを組合せたＹＡＧレーザ発
振器、２はＳＨＧ素子（第２高調波発生素子）、３はダ
イクロイックミラー、４はダンパー、５はＦＨＧ素子
（第４高調波発生素子）、６は全反射ミラー、７はバリ
アブルアッテネータユニット（可変減衰ユニット）であ
る。
【０００４】次に、前記バリアブルアッテネータユニッ
ト７の構成を図６に示す。すなわち、バリアブルアッテ
ネータユニット７は、そのレーザ入力光（高調波レーザ
光）の一部を表面反射させて回転角度θに応じてレーザ
光を減衰させる回転式のバリアブルアッテネータ８と、
アッテネータ８の透過光の光路ずれを補正する回転式の
コンペンセータ９との二つの光学素子を組合せた構成に
なり、各光学素子はそれぞれ回転器８ａ，８ｂに取付
け、回転器ドライバ１０からの指令を受けて互いに逆方
向へ角度θ，−θだけ同期回転するようにしている。な
お、図７はバリアブルアッテネータ８の回転角度とここ
を透過するレーザ光の透過率との関係を表す特性図であ
り、この特性は既知である。
ト７の構成を図６に示す。すなわち、バリアブルアッテ
ネータユニット７は、そのレーザ入力光（高調波レーザ
光）の一部を表面反射させて回転角度θに応じてレーザ
光を減衰させる回転式のバリアブルアッテネータ８と、
アッテネータ８の透過光の光路ずれを補正する回転式の
コンペンセータ９との二つの光学素子を組合せた構成に
なり、各光学素子はそれぞれ回転器８ａ，８ｂに取付
け、回転器ドライバ１０からの指令を受けて互いに逆方
向へ角度θ，−θだけ同期回転するようにしている。な
お、図７はバリアブルアッテネータ８の回転角度とここ
を透過するレーザ光の透過率との関係を表す特性図であ
り、この特性は既知である。
【０００５】そして、運転時には図７に示した特性を基
に、図６の回転角設定器１１に設定値を与えてレーザ発
振器から伝播するレーザ入力を所要の低出力レベルに減
衰させた上で後段のレーザ機器に導光するようにしてい
る。
に、図６の回転角設定器１１に設定値を与えてレーザ発
振器から伝播するレーザ入力を所要の低出力レベルに減
衰させた上で後段のレーザ機器に導光するようにしてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図５の装置
でレーザ発振器１を長期間運転すると、経時的に励起ラ
ンプの発光量低下，レーザ媒質，ミラーなどの光学部品
の汚損などが原因で、一定の条件で発振されたレーザ発
振器の基本波出力が低下するようになる。しかも、レー
ザ発振器の出力が低下すると、基本波から波長変換され
た高調波出力，したがってバリアブルアッテネータユニ
ット７に入力するレーザ光強度も低下し、その結果とし
てアッテネータユニット７を透過してレーザ機器に導光
する減衰光を当初に設定した所要のレベルに維持できな
くなる。
でレーザ発振器１を長期間運転すると、経時的に励起ラ
ンプの発光量低下，レーザ媒質，ミラーなどの光学部品
の汚損などが原因で、一定の条件で発振されたレーザ発
振器の基本波出力が低下するようになる。しかも、レー
ザ発振器の出力が低下すると、基本波から波長変換され
た高調波出力，したがってバリアブルアッテネータユニ
ット７に入力するレーザ光強度も低下し、その結果とし
てアッテネータユニット７を透過してレーザ機器に導光
する減衰光を当初に設定した所要のレベルに維持できな
くなる。
【０００７】そこで、従来では運転中に高調波レーザの
出力を測定してチエックし、この測定値を基にオペレー
タが回転角度設定器で設定値を修正し、バリアブルアッ
テネータ８，コンペンセータ９の回転角度θを初期値か
ら変えて必要なレベルのレーザ出力が得られるように調
整している。しかしながら、このような調節方法では、
常に安定したレーザ出力が得られない。
出力を測定してチエックし、この測定値を基にオペレー
タが回転角度設定器で設定値を修正し、バリアブルアッ
テネータ８，コンペンセータ９の回転角度θを初期値か
ら変えて必要なレベルのレーザ出力が得られるように調
整している。しかしながら、このような調節方法では、
常に安定したレーザ出力が得られない。
【０００８】本発明は上記の点に鑑みなされたものであ
り、レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因するレー
ザ出力低下を自動的に補正してバリアブルアッテネータ
ユニットのレーザ光出力レベルを設定値に合わせて安定
維持できるよう改良したレーザ出力調整装置を提供する
ことを目的とする。
り、レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因するレー
ザ出力低下を自動的に補正してバリアブルアッテネータ
ユニットのレーザ光出力レベルを設定値に合わせて安定
維持できるよう改良したレーザ出力調整装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、レーザ発振器から出射するレーザ
光の光路上に回転式バリアブルアッテネータと回転式コ
ンペンセータの光学素子を組合せたバリアブルアッテネ
ータユニットを配置し、該バリアブルアッテネータユニ
ットを経てレーザ出力を所要の低レベルに減衰させるよ
うにしたレーザ出力調整装置において、バリアブルアッ
テネータを透過した減衰レーザ光強度を検出するレーザ
検出手段と、該検出手段の出力をフィードバック量とし
てその信号とレーザ出力設定器で設定した目標値信号と
を比較する比較器を備え、該比較器から出力する誤差信
号を制御量としてバリアブルアッテネータ，およびコン
ペンセータの回転角度を修正し、そのレーザ出力レベル
を設定値に合わせて定値制御する（請求項１）ものと
し、具体的にはレーザ検出手段を次記のような形態で構
成する。
に、本発明によれば、レーザ発振器から出射するレーザ
光の光路上に回転式バリアブルアッテネータと回転式コ
ンペンセータの光学素子を組合せたバリアブルアッテネ
ータユニットを配置し、該バリアブルアッテネータユニ
ットを経てレーザ出力を所要の低レベルに減衰させるよ
うにしたレーザ出力調整装置において、バリアブルアッ
テネータを透過した減衰レーザ光強度を検出するレーザ
検出手段と、該検出手段の出力をフィードバック量とし
てその信号とレーザ出力設定器で設定した目標値信号と
を比較する比較器を備え、該比較器から出力する誤差信
号を制御量としてバリアブルアッテネータ，およびコン
ペンセータの回転角度を修正し、そのレーザ出力レベル
を設定値に合わせて定値制御する（請求項１）ものと
し、具体的にはレーザ検出手段を次記のような形態で構
成する。
【００１０】(1) レーザ検出手段として、バリアブルア
ッテネータの表面反射光を検出するレーザ検出器と、そ
の検出値とバリアブルアッテネータの回転角度からアッ
テネータ透過後の減衰レーザ光強度を演算により求める
演算器を備え、該演算器の出力信号を制御系のフィード
バック量として比較器に入力するようにする（請求項
２）。
ッテネータの表面反射光を検出するレーザ検出器と、そ
の検出値とバリアブルアッテネータの回転角度からアッ
テネータ透過後の減衰レーザ光強度を演算により求める
演算器を備え、該演算器の出力信号を制御系のフィード
バック量として比較器に入力するようにする（請求項
２）。
【００１１】(2) 前項(1) において、レーザ検出器をバ
リアブルアッテネータと同軸上で２倍の回転角度で同期
回転する第２の回転器に設置し、レーザ検出器をアッテ
ネータの表面反射光の向きに合わせて追従移動させるよ
うにする（請求項３）。
リアブルアッテネータと同軸上で２倍の回転角度で同期
回転する第２の回転器に設置し、レーザ検出器をアッテ
ネータの表面反射光の向きに合わせて追従移動させるよ
うにする（請求項３）。
【００１２】(3) レーザ検出手段として、コンペンセー
タの表面反射光を検出するレーザ検出器と、その検出値
とバリアブルアッテネータの回転角度からアッテネータ
透過後の減衰レーザ光強度を演算により求める演算器を
備え、その出力信号を制御系のフィードバック量として
比較器に入力するようにする（請求項４）。
タの表面反射光を検出するレーザ検出器と、その検出値
とバリアブルアッテネータの回転角度からアッテネータ
透過後の減衰レーザ光強度を演算により求める演算器を
備え、その出力信号を制御系のフィードバック量として
比較器に入力するようにする（請求項４）。
【００１３】(4) レーザ検出手段として、コンペンセー
タの後段に光路上に配置したレーザ出力伝送用ミラーの
漏れ光を検出するレーザ検出器を備え、その出力信号を
制御系のフィードバック量として比較器に入力するよう
にする（請求項５）。
タの後段に光路上に配置したレーザ出力伝送用ミラーの
漏れ光を検出するレーザ検出器を備え、その出力信号を
制御系のフィードバック量として比較器に入力するよう
にする（請求項５）。
【００１４】上記の各方式による一連のフィードバック
制御により、レーザ発振器の長期間運転に伴う励起ラン
プの劣化，レーザ媒質，ミラーなどの光学部品の汚損な
どに起因するレーザ出力低下をバリアブルアッテネータ
ユニットで自動的に補正して安定したレーザ出力レベル
を維持することができる。
制御により、レーザ発振器の長期間運転に伴う励起ラン
プの劣化，レーザ媒質，ミラーなどの光学部品の汚損な
どに起因するレーザ出力低下をバリアブルアッテネータ
ユニットで自動的に補正して安定したレーザ出力レベル
を維持することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
〜図４の各実施例に基づいて説明する。なお、各実施例
の図中で図５，図６に対応する同一の光学素子には同じ
符号を付してその説明は省略する。
〜図４の各実施例に基づいて説明する。なお、各実施例
の図中で図５，図６に対応する同一の光学素子には同じ
符号を付してその説明は省略する。
【００１６】〔実施例１〕図１は本発明の請求項１，２
に対応する実施例を示すものである。この実施例におい
ては、レーザ出力設定器１２，バリアブルアッテネータ
８の表面反射光を検出するレーザ検出器１３，演算器１
４，比較器１５，増幅器１６，および図６に示した回転
器ドライバ１０とでバリアブルアッテネータユニット７
に対するフィードバック制御系を構成している。
に対応する実施例を示すものである。この実施例におい
ては、レーザ出力設定器１２，バリアブルアッテネータ
８の表面反射光を検出するレーザ検出器１３，演算器１
４，比較器１５，増幅器１６，および図６に示した回転
器ドライバ１０とでバリアブルアッテネータユニット７
に対するフィードバック制御系を構成している。
【００１７】かかる構成において、バリアブルアッテネ
ータ８に入射したレーザ入力光は、その一部が表面反射
してレーザ検出器１３に入射し、残りが透過光としてア
ッテネータ８を透過し、さらに後段のコンペンセータ９
にて光軸のずれが補正されて減衰レーザ光として出力す
る。
ータ８に入射したレーザ入力光は、その一部が表面反射
してレーザ検出器１３に入射し、残りが透過光としてア
ッテネータ８を透過し、さらに後段のコンペンセータ９
にて光軸のずれが補正されて減衰レーザ光として出力す
る。
【００１８】ここで、演算器１４は、レーザ検出器１３
からの出力信号，バリアブルアッテネータ８の回転器８
ａの回転角度信号θ，および回転角度θに対応する既知
の反射率とから演算によって透過光の強度を求め、その
値を比較器１５に出力する。一方、比較器１５では演算
器１４の出力値とレーザ出力設定器１２からの設定信号
とを比較し、その偏差である誤差信号を後段の増幅器１
６で増幅して回転器ドライバ１０に与える。そして、回
転器ドライバ１０の指令により回転器８ａを回転し、比
較器１５の誤差信号が零に近づくようにバリアブルアッ
テネータ８の回転角度θを修正する。また、バリアブル
アッテネータ８の回転角度修正と同時にコンペンセータ
９の回転器９ａが回転器８ａとは逆に−θ方向へ同期回
転して透過光の光軸ずれを補正し、減衰レーザ光とレー
ザ入力光と光軸を一致させる。
からの出力信号，バリアブルアッテネータ８の回転器８
ａの回転角度信号θ，および回転角度θに対応する既知
の反射率とから演算によって透過光の強度を求め、その
値を比較器１５に出力する。一方、比較器１５では演算
器１４の出力値とレーザ出力設定器１２からの設定信号
とを比較し、その偏差である誤差信号を後段の増幅器１
６で増幅して回転器ドライバ１０に与える。そして、回
転器ドライバ１０の指令により回転器８ａを回転し、比
較器１５の誤差信号が零に近づくようにバリアブルアッ
テネータ８の回転角度θを修正する。また、バリアブル
アッテネータ８の回転角度修正と同時にコンペンセータ
９の回転器９ａが回転器８ａとは逆に−θ方向へ同期回
転して透過光の光軸ずれを補正し、減衰レーザ光とレー
ザ入力光と光軸を一致させる。
【００１９】この一連のフィードバック制御により、レ
ーザ発振器（図５参照）の励起ランプ劣化などに起因す
る出力低下などでバリアブルアッテネータユニット７に
入射するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分を
バリアブルアッテネータユニット７にて補正し、その出
力レベルをレーザ出力設定器１２で設定した所要値に合
わせて安定維持できる。
ーザ発振器（図５参照）の励起ランプ劣化などに起因す
る出力低下などでバリアブルアッテネータユニット７に
入射するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分を
バリアブルアッテネータユニット７にて補正し、その出
力レベルをレーザ出力設定器１２で設定した所要値に合
わせて安定維持できる。
【００２０】なお、バリアブルアッテネータ８の裏面，
およびコンペンセータ９の表裏両面は無反射コーティン
グされていて、その反射光は微弱であるので、コンペン
セータ９を透過した減衰レーザ光の強度はバリアブルア
ッテネータ８を透過した透過光と略同じ値となる。
およびコンペンセータ９の表裏両面は無反射コーティン
グされていて、その反射光は微弱であるので、コンペン
セータ９を透過した減衰レーザ光の強度はバリアブルア
ッテネータ８を透過した透過光と略同じ値となる。
【００２１】〔実施例２〕図２は本発明の請求項３に対
応する前記実施例１の応用実施例を示すものである。こ
の実施例においては、バリアブルアッテネータ８の表面
反射光を検出するレーザ検出器１３が回転式バリアブル
アッテネータ８の回転器８ａと同軸上に配した第２の回
転器１７に取付けてあり、第２の回転器１７は第２の回
転器ドライバ１８からの指令で回転器８ａの回転角θに
対して２倍の回転角２θで同期回転するようにしてい
る。
応する前記実施例１の応用実施例を示すものである。こ
の実施例においては、バリアブルアッテネータ８の表面
反射光を検出するレーザ検出器１３が回転式バリアブル
アッテネータ８の回転器８ａと同軸上に配した第２の回
転器１７に取付けてあり、第２の回転器１７は第２の回
転器ドライバ１８からの指令で回転器８ａの回転角θに
対して２倍の回転角２θで同期回転するようにしてい
る。
【００２２】すなわち、バリアブルアッテネータ８の表
面反射光の向きは回転角θが変化す入射光に対して２倍
の２θで変化する。そこで、前記のようにレーザ検出器
１３を第２の回転器１７に取付けてアッテネータ８に向
けておくことにより、レーザ検出器１３を常に表面反射
光の光軸に追従させることができる。したがって、先記
の実施例１におけるレーザ検出器１３と比べて小型の検
出器の使用が可能となる。
面反射光の向きは回転角θが変化す入射光に対して２倍
の２θで変化する。そこで、前記のようにレーザ検出器
１３を第２の回転器１７に取付けてアッテネータ８に向
けておくことにより、レーザ検出器１３を常に表面反射
光の光軸に追従させることができる。したがって、先記
の実施例１におけるレーザ検出器１３と比べて小型の検
出器の使用が可能となる。
【００２３】〔実施例３〕図３は本発明の請求項４に対
応する実施例を示すものである。この実施例において
は、バリアブルアッテネータ８を透過したレーザ光強度
を検出する手段として、レーザ検出器１３をコンペンセ
ータ９の回転器９ａと同軸上で２倍の回転角度で同期回
転する第２の回転器１７（先記実施例２で述べたと同様
な回転器）に取付け、この位置でコンペンセータ９の微
弱な表面反射光を検出するようにしている。また、この
検出器１３の出力信号は先記実施例１と同様に演算器１
４に入力し、コンペンセータ９の回転角度（アッテネー
タ８の回転角度θと同じ）の信号と合わせて透過光の強
度を演算によって求めるようにしている。
応する実施例を示すものである。この実施例において
は、バリアブルアッテネータ８を透過したレーザ光強度
を検出する手段として、レーザ検出器１３をコンペンセ
ータ９の回転器９ａと同軸上で２倍の回転角度で同期回
転する第２の回転器１７（先記実施例２で述べたと同様
な回転器）に取付け、この位置でコンペンセータ９の微
弱な表面反射光を検出するようにしている。また、この
検出器１３の出力信号は先記実施例１と同様に演算器１
４に入力し、コンペンセータ９の回転角度（アッテネー
タ８の回転角度θと同じ）の信号と合わせて透過光の強
度を演算によって求めるようにしている。
【００２４】この実施例においても、先記実施例１と同
様に、レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因する出
力低下などでバリアブルアッテネータユニット７に入射
するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分をバリ
アブルアッテネータユニット７にて補正し、その出力レ
ベルをレーザ出力設定器１２で設定した所要値に安定維
持することができる。
様に、レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因する出
力低下などでバリアブルアッテネータユニット７に入射
するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分をバリ
アブルアッテネータユニット７にて補正し、その出力レ
ベルをレーザ出力設定器１２で設定した所要値に安定維
持することができる。
【００２５】〔実施例４〕図４は本発明の請求項５に対
応する実施例を示すものである。この実施例において
は、バリアブルアッテネータ８を透過したレーザ光強度
を検出する手段として、コンペンセータ９を透過した減
衰レーザ光路上に配した全反射ミラー１９の背後に配置
し、全反射ミラー１９から背後に漏れる微弱の漏れ光を
検出するようにしている。そして、レーザ検出器１３の
出力信号はフィードバック量として比較器１５に直接入
力し、レーザ出力設定信号と比較した上でその誤差信号
を基に先記の各実施例と同様にバリアブルアッテネータ
８，コンペンセータ９の各回転器８ａ，８ｂの回転角
θ，−θを修正して減衰レーザ光の出力レベルを設定値
に合わせて定値制御する。
応する実施例を示すものである。この実施例において
は、バリアブルアッテネータ８を透過したレーザ光強度
を検出する手段として、コンペンセータ９を透過した減
衰レーザ光路上に配した全反射ミラー１９の背後に配置
し、全反射ミラー１９から背後に漏れる微弱の漏れ光を
検出するようにしている。そして、レーザ検出器１３の
出力信号はフィードバック量として比較器１５に直接入
力し、レーザ出力設定信号と比較した上でその誤差信号
を基に先記の各実施例と同様にバリアブルアッテネータ
８，コンペンセータ９の各回転器８ａ，８ｂの回転角
θ，−θを修正して減衰レーザ光の出力レベルを設定値
に合わせて定値制御する。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、回
転式バリアブルアッテネータと回転式コンペンセータを
組合せてレーザ光路上に配置したバリアブルアッテネー
タユニットに対し、アッテネータ透過後のレーザ光強度
をレーザ検出器，ないしレーザ検出と演算器によって求
め、これをフィードバック量としてバリアブルアッテネ
ータ，およびコンペンセータの回転角度を自動修正制御
するようにしたことにより、一定条件で発振させている
レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因するレーザ発
振器の出力低下で、バリアブルアッテネータユニットに
入射するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分を
バリアブルアッテネータユニットにて補正し、その出力
レベルを常にレーザ出力設定器で設定した所要値に合わ
せて安定維持できる。
転式バリアブルアッテネータと回転式コンペンセータを
組合せてレーザ光路上に配置したバリアブルアッテネー
タユニットに対し、アッテネータ透過後のレーザ光強度
をレーザ検出器，ないしレーザ検出と演算器によって求
め、これをフィードバック量としてバリアブルアッテネ
ータ，およびコンペンセータの回転角度を自動修正制御
するようにしたことにより、一定条件で発振させている
レーザ発振器の励起ランプ劣化などに起因するレーザ発
振器の出力低下で、バリアブルアッテネータユニットに
入射するレーザ入力が低下した場合でも、その低下分を
バリアブルアッテネータユニットにて補正し、その出力
レベルを常にレーザ出力設定器で設定した所要値に合わ
せて安定維持できる。
【図１】本発明の実施例１に対応するバリアブルアッテ
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
【図２】本発明の実施例２に対応するバリアブルアッテ
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
【図３】本発明の実施例３に対応するバリアブルアッテ
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
【図４】本発明の実施例４に対応するバリアブルアッテ
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
ネータユニットの構成，およびその制御系統を表す図
【図５】本発明の適用例としての高調波レーザ発振装置
の構成を表すブロック図
の構成を表すブロック図
【図６】図５のバリアブルアッテネータユニットに採用
した回転式バリアブルアッテネータ，回転式コンペンセ
ータの構成図
した回転式バリアブルアッテネータ，回転式コンペンセ
ータの構成図
【図７】図６におけるバリアブルアッテネータの回転角
度とここを透過するレーザ光の透過率との関係を表す特
性図
度とここを透過するレーザ光の透過率との関係を表す特
性図
１ レーザ発振器 ７ バリアブルアッテネータユニット ８ 回転式バリアブルアッテネータ ８ａ 回転器 ９ 回転式コンペンセータ ９ａ 回転器 １０ 回転ドライバ １２ レーザ出力設定器 １３ レーザ検出器 １４ 演算器 １５ 比較器 １６ 増幅器 １７ 第２の回転器 １８ 第２の回転器ドライバ １９ 全反射ミラー
Claims (5)
- 【請求項１】レーザ発振器から出射するレーザ光の光路
上に回転式バリアブルアッテネータと回転式コンペンセ
ータの光学素子を組合せたバリアブルアッテネータユニ
ットを配置し、該バリアブルアッテネータユニットを経
てレーザ出力を所要の低レベルに減衰させるようにした
レーザ出力調整装置において、バリアブルアッテネータ
を透過した減衰レーザ光強度を検出するレーザ検出手段
と、該検出手段の出力をフィードバック量としてその信
号とレーザ出力設定器で設定した目標値信号とを比較す
る比較器を備え、該比較器から出力する誤差信号を制御
量としてバリアブルアッテネータ，およびコンペンセー
タの回転角度を修正し、そのレーザ出力レベルを設定値
に合わせて定値制御するようにしたことを特徴とするレ
ーザ出力調整装置。 - 【請求項２】請求項１記載のレーザ出力調整装置におい
て、レーザ検出手段として、バリアブルアッテネータの
表面反射光を検出するレーザ検出器と、その検出値とバ
リアブルアッテネータの回転角度からアッテネータ透過
後の減衰レーザ光強度を演算により求める演算器を備え
たことを特徴とするレーザ出力調整装置。 - 【請求項３】請求項２記載のレーザ出力調整装置におい
て、レーザ検出器を、バリアブルアッテネータと同軸上
で２倍の回転角度で同期回転する第２の回転器に設置し
たことを特徴とするレーザ出力調整装置。 - 【請求項４】請求項１記載のレーザ出力調整装置におい
て、レーザ検出手段として、コンペンセータの表面反射
光を検出するレーザ検出器と、その検出値とバリアブル
アッテネータの回転角度からアッテネータ透過後の減衰
レーザ光強度を演算により求める演算器を備えたことを
特徴とするレーザ出力調整装置。 - 【請求項５】請求項１記載のレーザ出力調整装置におい
て、レーザ検出手段として、コンペンセータの後段に光
路上に配置したレーザ出力伝送用ミラーの漏れ光を検出
するレーザ検出器を備えたことを特徴とするレーザ出力
調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5893499A JP2000261076A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | レーザ出力調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5893499A JP2000261076A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | レーザ出力調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000261076A true JP2000261076A (ja) | 2000-09-22 |
Family
ID=13098676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5893499A Pending JP2000261076A (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | レーザ出力調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000261076A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6770844B2 (en) * | 2001-01-11 | 2004-08-03 | Nec Corporation | Method of correcting laser beam intensity, laser beam intensity correction mechanism and multi-branched laser oscillation device having the same |
| JP2012509500A (ja) * | 2008-11-21 | 2012-04-19 | エオリト システム | 強力レーザビームの放射にさらされる非線形光学系の寿命を伸ばす装置及び前記装置を含む非線形光源 |
| KR101155140B1 (ko) | 2010-11-10 | 2012-06-11 | 유병소 | 레이저 리프트 오프 장비의 레이저빔 감쇠기 및 이를 포함하는 레이저빔 조사 장치 |
| WO2016135965A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | ギガフォトン株式会社 | ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 |
| CN107112707A (zh) * | 2015-06-10 | 2017-08-29 | 株式会社菲尔光学 | 线光束形成装置 |
-
1999
- 1999-03-05 JP JP5893499A patent/JP2000261076A/ja active Pending
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| KR101155140B1 (ko) | 2010-11-10 | 2012-06-11 | 유병소 | 레이저 리프트 오프 장비의 레이저빔 감쇠기 및 이를 포함하는 레이저빔 조사 장치 |
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| JPWO2016135965A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2018-01-18 | ギガフォトン株式会社 | ビームダンプ装置、それを備えたレーザ装置および極端紫外光生成装置 |
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| JP2018505568A (ja) * | 2015-06-10 | 2018-02-22 | フィルオプティクス・カンパニー・リミテッドＰｈｉｌｏｐｔｉｃｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | ラインビーム形成装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040302 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041019 |