JP2000243284A - Manufacture of flat display panel - Google Patents

Manufacture of flat display panel

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JP2000243284A
JP2000243284A JP11037196A JP3719699A JP2000243284A JP 2000243284 A JP2000243284 A JP 2000243284A JP 11037196 A JP11037196 A JP 11037196A JP 3719699 A JP3719699 A JP 3719699A JP 2000243284 A JP2000243284 A JP 2000243284A
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JP
Japan
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sealing
tube
flat display
chip tube
display panel
Prior art date
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Application number
JP11037196A
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Japanese (ja)
Inventor
Shingo Nomura
進吾 野村
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a flat display panel that positively performs sealing of a chip tube, minimizes possibility of the degradation of reliability and minimizes the length of a part projecting from a glass panel in relation to the shape of the chip tube after the sealing. SOLUTION: This manufacturing method comprises a process for forming a chip tube 23 projecting from a glass substrate 17 and communicating with the inside of a flat panel display on the surface of the glass substrate 17 of the flat display formed, by sealing the circumference of two glass substrates 17, 18 facing to each other while keeping a prescribed distance, a process for evacuating the inside of the flat display through the chip tube 23, a discharge gas introduction process for introducing the discharge gas into the flat display after the evacuation process through the chip tube 23, and a sealing process for welding and sealing the tube 23 to the same circumferential part nearly perpendicular to the lengthwise direction of the chip tube 23 by abutting a gas burner on the chip tube 23, with the inside of the flat display kept in under vacuum.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、フラットディスプ
レイパネルにおいて、フラットディスプレイ用のガラス
基板と放電セル封止用ガラス板とに挟まれた放電セル内
を高真空に排気する為に、チップ管がガラス基板に焼成
接着された後チップ管を通して該放電セル内を高真空に
排気し、更に、該放電セル内に、放電ガスを導入した
後、該放電セル内に導入されたガス圧力を保持する為
に、チップ管を封じ切るフラットディスプレイパネルの
製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat display panel, in which a chip tube is evacuated to a high vacuum between discharge cells sandwiched between a flat display glass substrate and a discharge cell sealing glass plate. After being baked and adhered to the glass substrate, the inside of the discharge cell is evacuated to a high vacuum through a chip tube, and further, after introducing a discharge gas into the discharge cell, the pressure of the gas introduced into the discharge cell is maintained. Therefore, the present invention relates to a method for manufacturing a flat display panel for sealing a chip tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、PDP(Plasma Display Panel)
などのフラットディスプレイ装置においては、表示装置
としてフラットなガラス板が使用され、その2枚のガラ
ス板の隙間を真空に排気した後、その2枚のガラス板の
隙間に放電ガスを封入して、放電セルを形成した後、そ
の放電ガスを放電させることにより、その放電光を光源
として、パネル上に画像を表示させている。
2. Description of the Related Art Conventionally, PDP (Plasma Display Panel)
In such a flat display device, a flat glass plate is used as a display device. After evacuation of the gap between the two glass plates, a discharge gas is sealed in the gap between the two glass plates. After the discharge cells are formed, the discharge gas is discharged to display an image on a panel using the discharge light as a light source.

【0003】従って、表示装置を形成する為には、必ず
2枚のガラス板で挟まれた隙間を真空に排気して、その
真空状態を保った2枚のガラス板内に放電ガスを導入し
た後、放電ガスの発散を防止する為に、2枚のガラス板
を封止する必要がある。その為に、2枚のガラス板のう
ちの第1のガラス板に排気用の穴を開け、第1のガラス
板と第2のガラス板間を所定隙間を維持してフリットシ
ール材で封止した後、第1のガラス板に開けた排気用の
穴に排気用のチップ管を取り付けて、そのチップ管を通
して、第1のガラス板と第2のガラス板の隙間の放電セ
ル部を真空に排気し、更に該チップ管を通して放電ガス
を封入して、放電セルを形成する。
Therefore, in order to form a display device, a gap between two glass plates must be evacuated to a vacuum, and a discharge gas is introduced into the two glass plates maintaining the vacuum state. Thereafter, it is necessary to seal the two glass plates in order to prevent the discharge gas from diverging. For this purpose, an exhaust hole is made in the first glass plate of the two glass plates, and a predetermined gap is maintained between the first glass plate and the second glass plate and sealed with a frit sealing material. After that, an exhaust chip tube is attached to an exhaust hole opened in the first glass plate, and the discharge cell portion in a gap between the first glass plate and the second glass plate is evacuated through the chip tube. The gas is exhausted, and a discharge gas is sealed through the tip tube to form a discharge cell.

【0004】この放電ガスを封入するためには、チップ
管を封止切断する必要があるが、このチップ管を封止す
る方法としては、特開平7−57637号公報には電気
的加熱手段により、ヒーターに通電してチップ管を溶融
させて封止するものが開示されている。
In order to enclose the discharge gas, it is necessary to seal and cut the tip tube. A method for sealing the tip tube is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-57637 by an electric heating means. Discloses a method in which a heater is energized to melt and seal a chip tube.

【0005】図11は、従来の2枚のガラス板を封止す
るための装置の概略正面図を示している。まず始に、2
枚のガラス板からなる偏平容器63により構成されるフ
ラットディスプレイ装置本体は、例えば偏平容器63の
両外側面を平板状の保持具60に挟持された状態で支持
台61上に立設され、さらに第1のガラスパネル58の
外側面に沿ってチューブ状ガラス管であるチップ管59
の先端59aが排気用孔に密閉接続した偏平容器63内
部の偏平空間(第1のガラスパネルと第2のガラスパネ
ルに挟まれた空間)と連通して配置され、偏平容器63
内の真空、放電ガスの導入可能としている。
FIG. 11 is a schematic front view of a conventional apparatus for sealing two glass plates. First, 2
The flat display device main body constituted by the flat container 63 made of a single glass plate is erected on the support base 61 with, for example, both outer surfaces of the flat container 63 sandwiched between the flat holders 60. A tip tube 59 which is a tubular glass tube along the outer surface of the first glass panel 58.
Are arranged in communication with a flat space (a space between the first glass panel and the second glass panel) inside the flat container 63 hermetically connected to the exhaust hole.
The inside of the chamber and the discharge gas can be introduced.

【0006】更に、この支持台61の端部には、チップ
管59を溶融させる為の通電加熱用コイル状ヒーター6
5(電源67と通電して)をチップ管59が中心を貫通
するように設け、チップ管59の封止部となる管軸方向
の所定範囲の円周面に対してほぼ均一に加熱するように
配置している。
Further, an end of the support table 61 is provided with an electric heating coil heater 6 for melting the tip tube 59.
5 (by energizing with the power supply 67) is provided so that the tip tube 59 passes through the center, and heats substantially uniformly over a predetermined range of the circumferential surface in the tube axis direction serving as a sealing portion of the tip tube 59. Has been placed.

【0007】また、第1のガラスパネルと第2のガラス
パネルによってなる偏平容器63の内側の偏平空間に先
端59aを連通接続するチップ管59の他端59bは、
真空ポンプ62、例えばロータリーポンプに接続された
排気系64に接続され、偏平空間内の排気が可能とな
る。
The other end 59b of the tip tube 59 for connecting the tip 59a to the flat space inside the flat container 63 formed by the first glass panel and the second glass panel is connected to:
It is connected to a vacuum pump 62, for example, an exhaust system 64 connected to a rotary pump, so that exhaust in the flat space can be performed.

【0008】まず、支持台61上に支持された偏平容器
63全体を加熱する加熱手段(図示せず)によって、全
体を加熱して、各部のガス放出を行い、その後、例え
ば、偏平容器63の加熱を停止するか、その加熱温度を
低下させてチップ管59を通じて、排気系64によって
偏平容器63の内側の偏平空間を排気して、十分な真空
度に達するまでこの偏平空間を排気する。
First, the entire container is heated by a heating means (not shown) for heating the entire flat container 63 supported on the support table 61 to release gas from each part. The heating is stopped or the heating temperature is decreased, and the flat space inside the flat container 63 is evacuated by the exhaust system 64 through the tip tube 59, and the flat space is evacuated until a sufficient degree of vacuum is reached.

【0009】その後、電源67をオンして、加熱手段6
6の通電ヒーター65に通電し、チップ管59の封止部
を管軸方向に関しては局所的にしかしながら、その全周
に渡って加熱する。この加熱時における封止部の横断面
の変化状態を図13に示す。初期の状態で図13Aで示
すように、断面形状がほぼ正円形であったチップ管59
が、加熱によって軟化あるいは溶融することによって、
その軟化あるいは溶融の開始部から、チップ管59内部
が排気されることによって負圧とされることにより、チ
ップ管59が収縮するように変形を開始し、図13のA
→B→C→D→Eへと変化し、図13Eに示すように、
その断面が偏平形状となり、封止部の閉塞が行われる。
Thereafter, the power supply 67 is turned on and the heating means 6 is turned on.
The heater 6 is energized to heat the sealing portion of the chip tube 59 over the entire periphery thereof, though locally in the tube axis direction. FIG. 13 shows how the transverse section of the sealing portion changes during this heating. In the initial state, as shown in FIG. 13A, the tip tube 59 has a substantially circular cross section.
Is softened or melted by heating,
The interior of the tip tube 59 is evacuated to a negative pressure from the start of softening or melting, so that the tip tube 59 starts to be deformed so as to contract, and A in FIG.
→ B → C → D → E, and as shown in FIG. 13E,
The cross section has a flat shape, and the sealing portion is closed.

【0010】そして支持台61上に支持されたフラット
ディスプレイ本体である偏平容器63に取り付けられた
チップ管59は、図13Cに示すように封止部の管軸方
向の一部で排気通路の閉塞がなされた状態時点で、或い
は図13Dで示したように封止部の管軸方向のほぼ全域
でチップ管59の中心孔が閉塞する前後の時点で、支持
台61もしくは排気系64をチップ管59の管軸方向に
相対的に移動させて、チップ管59をその端部59a、
及び59bを互いに引き離す方向に引き伸ばして封着さ
せていた。但し、この引き延ばす長さは、封止部が加熱
手段の加熱領域から引き出されることがないように調整
されている。
[0010] The tip tube 59 attached to the flat container 63 which is a flat display main body supported on the support base 61 closes the exhaust passage at a part of the sealing portion in the tube axis direction as shown in FIG. 13C. 13D, or before and after the center hole of the tip tube 59 is closed almost in the entire tube axis direction of the sealing portion as shown in FIG. 13D, the support table 61 or the exhaust system 64 is connected to the tip tube. The tip tube 59 is relatively moved in the tube axis direction of the tube 59 so that the tip tube 59 has an end portion 59a.
And 59b are stretched in the direction of separating from each other and sealed. However, the length of the extension is adjusted so that the sealing portion is not pulled out of the heating area of the heating means.

【0011】そして封止を行った後は、加熱手段による
高温加熱を停止し、徐冷し、封止部において、ガラス切
断用の治具により、チップ管59の先端の不要部分を切
断するものであった。
After the sealing, the high-temperature heating by the heating means is stopped, the temperature is gradually cooled, and an unnecessary portion at the tip of the chip tube 59 is cut at the sealing portion by a glass cutting jig. Met.

【0012】従来技術でのチップ管を封着する場合、上
記のようにチップ管を管軸方向に引き伸ばすことで、チ
ップ管内に肉溜まりを発生しにくくするとともに、チッ
プ管を形成するガラスが溶融ないしは軟化状態にある場
合に、そのガラスのチップ管内への負圧による引き込み
を防止する作用を有し、これによって顕著なチップ管の
肉厚ムラの発生や、屈曲部の発生を回避し、封止部にお
ける歪みの発生の低減化を図っている。
When the tip tube is sealed in the prior art, the tip tube is stretched in the direction of the tube axis as described above, thereby making it difficult for a wall to be formed in the tip tube and melting the glass forming the tip tube. Or has a function of preventing the glass from being pulled into the chip tube by a negative pressure when the glass is in a softened state, thereby avoiding remarkable unevenness in the thickness of the chip tube and occurrence of a bent portion, and sealing. The occurrence of distortion at the stop is reduced.

【0013】また、このような封止における引き伸ばし
によって、その封止部の面積が小となって加熱されやす
くなるので、この時、必要に応じて加熱手段66のヒー
ター65への通電量を減じて温度を幾分、低減させるこ
とができるものであった。
[0013] Further, since the area of the sealing portion becomes small and the heating is easy due to the stretching in the sealing, the amount of electricity supplied to the heater 65 of the heating means 66 is reduced if necessary. The temperature could be reduced somewhat.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術において、ガラス材からなるチップ管を電気的加熱に
より溶融する為には、非常に大きな電流をヒーターに流
す必要があるが、度々、ヒーターに高電流を流すこと
は、ヒーターを形成する抵抗体の金属疲労を早期に招く
と共に、ヒーターに高電流を流す為の配線の劣化も伴
う。このように、ヒーター及び、ヒーターに高電流を流
す為の配線の劣化は、封止時における偶発的なトラブル
(チップ管の溶融が不十分等)の原因となり、ひいては
封止の信頼性を低下させることになりかねず、大きな問
題となっていた。
However, in the prior art, in order to melt a glass-made chip tube by electric heating, it is necessary to supply a very large current to the heater. Applying a current causes metal fatigue of the resistor forming the heater at an early stage, and also causes deterioration of wiring for supplying a high current to the heater. As described above, the deterioration of the heater and the wiring for supplying a high current to the heater causes an accidental trouble at the time of sealing (such as insufficient melting of the chip tube, etc.), and thus lowers the reliability of the sealing. It was a big problem.

【0015】また、チップ管59を溶融する為の電気エ
ネルギーは、ヒーター65とチップ管59の外壁との空
間を、空気という熱媒体を通じて伝播していく為、抵抗
体の摩耗、劣化の程度により、ヒーター65が発生する
電気的エネルギーに差が生じ、チップ管59を封止する
場合、毎回同一条件でチップ管59の封止部を封止しよ
うとしても、同一封止状態を得ることは、なかなか困難
である。
The electric energy for melting the chip tube 59 propagates through the space between the heater 65 and the outer wall of the chip tube 59 through a heat medium called air. When a difference occurs in the electric energy generated by the heater 65 and the chip tube 59 is sealed, even if the sealing portion of the chip tube 59 is sealed under the same conditions each time, the same sealed state is obtained. It is very difficult.

【0016】また、図13に示したように、ヒーター5
9によりチップ管の封止を開始してから、チップ管のガ
ラス壁が溶融していくが、封止するたび毎にヒーター6
5の発生する電気的熱エネルギーを精密に制御しない
と、通常通りにヒーター65に通電したつもりでも、図
13Dのような状態でチップ管が溶融されることがあり
える為、チップ管の封止が不十分となり、ひいては、こ
の封止部分において、図12に示した偏平容器63の偏
平空間内を、パネル外の外気から完全に遮断することが
できなくなり、すなわち、この部分において放電ガスの
リーク(漏れ)が発生してしまう。
Further, as shown in FIG.
After the sealing of the chip tube is started by the step 9, the glass wall of the chip tube is melted.
Unless the electric heat energy generated in Step 5 is precisely controlled, the chip tube may be melted in a state as shown in FIG. 13D even if the heater 65 is intended to be energized as usual. Insufficiently, it is impossible to completely shut off the flat space of the flat container 63 shown in FIG. 12 from the outside air outside the panel in this sealed portion. Leakage).

【0017】さらに、ヒーター65は、通常、金属の抵
抗体で構成されているが、これに通電する関係上、金属
疲労が蓄積されるので、チップ管59の封止途中に抵抗
体が破損、つまり切断されるようなこともあり得る。従
って、電気的エネルギーによりチップ管59の封止をす
る限り、常にこのような不安がつきまとうことになる。
Further, the heater 65 is usually formed of a metal resistor. However, since the heater 65 is energized, metal fatigue accumulates. That is, it may be cut off. Therefore, as long as the tip tube 59 is sealed with electric energy, such anxiety always accompanies.

【0018】また、チップ管59の形状においても、正
円の円柱状のチップ管59を使用して、偏平容器63の
偏平空間を排気する場合、封止後にチップ管59の不要
部分を切断しても、チップ管59は外に向かって突き出
た形状は変わらず、図12に示すように、封止後に第1
のガラスパネル58と第2のガラスパネル69を組み合
わせた、従来技術におけるフラットディスプレイ装置を
組み立てる場合に、チップ管59の突き出た部分は、非
常に邪魔となる。
Also, in the case of the shape of the tip tube 59, when the flat space of the flat container 63 is evacuated by using the circular cylindrical tip tube 59, unnecessary portions of the tip tube 59 are cut off after sealing. However, the shape of the tip tube 59 protruding outward does not change, and as shown in FIG.
When assembling a flat display device of the related art in which the glass panel 58 and the second glass panel 69 are combined, the protruding portion of the chip tube 59 becomes very obstructive.

【0019】本発明は、前記の問題点を解消するためな
されたものであって、前述したように、第1のガラスパ
ネル及び第2のガラスパネルによって構成され、内部の
厚さ狭小な空間を形成する偏平容器が用いられ、しかも
内部が高真空に排気維持されることを要求されるフラッ
トディスプレイパネルに関し、熱膨張率が小、硬質ガラ
スより成る肉厚のガラスチップ管によりその排気及び封
止がなされるフラットディスプレイパネルの製造方法に
おいて、この封止を確実に行い、信頼性低下の可能性を
限りなく低減するとともに、更に、封止後のチップ管形
状をチェックして、不良の場合においては再封止を行う
ことができ、また、封止後のチップ管形状について、で
きるだけガラスパネルから突き出た部分の長さを低減す
ることにより、表示装置としてのフラットディスプレイ
の奥行の狭小化を図るフラットディスプレイパネルの製
造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and as described above, is constituted by the first glass panel and the second glass panel, and has a small internal space. For a flat display panel in which a flat container to be formed is used and the inside of the flat display panel is required to be maintained at a high vacuum, the flat glass panel has a small coefficient of thermal expansion and is evacuated and sealed by a thick glass chip tube made of hard glass. In the flat display panel manufacturing method, which is performed, this sealing is surely performed, and the possibility of deterioration in reliability is reduced as much as possible. Can be resealed, and the shape of the chip tube after sealing can be reduced by reducing the length of the part protruding from the glass panel as much as possible. And to provide a method of manufacturing a flat display panel to reduce the narrowing in the depth of the flat display of the apparatus.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、次の構成を有する。請求項1の発明は、
所定間隙を維持して対向する2枚のガラス基板の周囲を
封着して形成したフラットディスプレイパネルのそのガ
ラス基板表面に、ガラス基板から突出し、かつ、フラッ
トディスプレイパネル内部と連通する接続管を形成する
接続管形成工程と、接続管を通じてフラットディスプレ
イパネル内部を真空に排気する排気工程と、排気工程後
のフラットディスプレイパネル内部に、接続管を通じて
放電ガスを導入する放電ガス導入工程と、フラットディ
スプレイパネル内部を真空に維持した状態で接続管に対
して、その接続管の長手方向に略直角な同一周囲部にガ
スバーナーをあて、接続管を溶着封止する接続管封止工
程と、を有するフラットディスプレイパネルの製造方法
である。
The present invention has the following configuration to achieve the above object. The invention of claim 1 is
A connection tube protruding from the glass substrate and communicating with the inside of the flat display panel is formed on the surface of the glass substrate of the flat display panel formed by sealing the periphery of two glass substrates facing each other while maintaining a predetermined gap. A connecting pipe forming step, an exhausting step of evacuating the inside of the flat display panel through the connecting pipe to a vacuum, a discharging gas introducing step of introducing a discharging gas through the connecting pipe into the flat display panel after the exhausting step, and a flat display panel. A connection pipe sealing step of applying a gas burner to the same peripheral portion substantially perpendicular to the longitudinal direction of the connection pipe with the connection pipe maintained in a vacuum state, and welding and sealing the connection pipe. This is a method for manufacturing a display panel.

【0021】請求項2の発明は、請求項1に記載のフラ
ットディスプレイパネルの製造方法であって、接続管封
止工程で封止される接続管部分の温度を検知し、検知温
度に基づきガスバーナーを調整する溶着温度制御工程を
有することを特徴とするフラットディスプレイパネルの
製造方法である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a flat display panel according to the first aspect, wherein the temperature of the connection pipe portion sealed in the connection pipe sealing step is detected, and the gas is detected based on the detected temperature. A method for manufacturing a flat display panel, comprising a welding temperature control step of adjusting a burner.

【0022】請求項3の発明は、請求項1又は2に記載
のフラットディスプレイパネルの製造方法であって、接
続管封止工程後に、接続管の溶着封止部分の形状を所定
形状とのマッチング処理を行い、接続管の封止状態の良
否を判別するマッチング処理工程と、そのマッチング処
理工程において、封止不良と判別された接続管に対し、
再度、ガスバーナーをあてて溶着封止する再封止工程と
を有することを特徴とするフラットディスプレイパネル
の製造方法である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a flat display panel according to the first or second aspect, wherein the shape of the welded sealing portion of the connection pipe is matched with a predetermined shape after the connection pipe sealing step. Performing the process, a matching processing step of determining the quality of the sealing state of the connection pipe, and, in the matching processing step, for the connection pipe determined to be defective sealing,
And a re-sealing step of re-welding and sealing by applying a gas burner again.

【0023】請求項4の発明は、請求項1から3の何れ
か1項に記載のフラットディスプレイパネルの製造方法
であって、接続管は、その縦断面形状が先端方向に向か
って減少する形状であることを特徴とするフラットディ
スプレイパネルの製造方法である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a flat display panel according to any one of the first to third aspects, wherein the connecting pipe has a longitudinal section whose shape decreases in a tip direction. A method for manufacturing a flat display panel.

【0024】請求項1の発明によれば、放電ガス導入工
程により放電ガスをフラットディスプレイパネル内部に
導入してから接続管を封じ切る際に、ガスバーナーによ
り接続管の周囲に均一にガスの燃焼熱を直接照射し、接
続管の溶融を行うので、接続管の溶融を容易にし、かつ
封止部の封止不良によるリーク等を限りなく防止するこ
とができ、封止部の信頼性を限りなく向上させることが
できる。従って、従来技術におけるように通電されたヒ
ーターが発する電気熱を空間に伝播させて、接続管を溶
融させるよりも、安定的に溶融を行い、封止部の信頼性
の更なる向上を図ることができる。
According to the first aspect of the present invention, when the discharge pipe is introduced into the flat display panel in the discharge gas introduction step and the connection pipe is sealed off, the gas burner uniformly burns the gas around the connection pipe. Since the connection pipe is melted by direct irradiation with heat, it is easy to melt the connection pipe, and it is possible to prevent leaks due to sealing failure of the sealing part as much as possible, and to limit the reliability of the sealing part. It can be improved without. Therefore, the electric heat generated by the energized heater is transmitted to the space as in the prior art, and the connection pipe is melted more stably than the connection pipe is melted, and the reliability of the sealing portion is further improved. Can be.

【0025】請求項2の発明によれば、接続管封止工程
で封止される接続管部分の温度を検知し、検知温度に基
づきガスバーナーを調整する溶着温度制御工程を有する
のでより適切によりきめ細かな接続管の溶着封止が可能
となる。
According to the second aspect of the present invention, the temperature of the connection pipe portion sealed in the connection pipe sealing step is detected, and the welding temperature control step of adjusting the gas burner based on the detected temperature is provided. It is possible to finely seal the connection pipe by welding.

【0026】請求項3の発明によれば、接続管封止工程
後にマッチング処理工程を設けることで、接続管の溶着
封止部分の形状を予め設定してある所定形状とのマッチ
ング処理により接続管の封止状態の良否を判別すること
ができ、そのマッチング処理工程において、封止不良と
判別された接続管に対し、再度、ガスバーナーをあてて
溶着封止する再封止工程とを有することにより、一度封
止した箇所を再度、点火されたガスの熱により封止する
ことにより、封止部の信頼性向上を図ることができる。
According to the third aspect of the present invention, a matching process is provided after the connecting tube sealing step, so that the shape of the welded sealing portion of the connecting tube is matched with a predetermined shape set in advance. In the matching process step, it is possible to determine whether the sealing state is good or not, and to have a resealing step of applying a gas burner again to the connection pipe determined to be sealing failure and welding and sealing the connection pipe. Thereby, the once sealed portion is sealed again by the heat of the ignited gas, so that the reliability of the sealed portion can be improved.

【0027】請求項4の発明によれば、接続管は、その
縦断面形状が先端方向に向かって階段的や徐々に減少す
る等の減少する形状であるために、フラットディスプレ
イパネル内の不純物除去を目的とした挿入するシート状
ゲツターをその内部に装着することが可能となり、か
つ、接続管の階段的に減少する部分を封止することで、
封じ切った後に接続管の不要な部分を削除することによ
り、封じ切った後の接続管の高さを低くでき、かつ、2
枚のガラス基板の高さを加えた寸法を小さくできるの
で、全体としてのディスプレイパネルの奥行きを小さく
できることとなる。
According to the fourth aspect of the present invention, since the connecting pipe has a longitudinal cross-sectional shape that decreases stepwise or gradually toward the distal end, it removes impurities from the flat display panel. It is possible to mount a sheet-like getter to be inserted for the purpose of the inside, and by sealing a portion of the connecting pipe that decreases stepwise,
By removing unnecessary portions of the connection pipe after the sealing, the height of the connection pipe after the sealing can be reduced, and
Since the size including the height of the glass substrates can be reduced, the depth of the display panel as a whole can be reduced.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実施
形態に係るフラットディスプレイパネル封止装置Aの概
略ブロック図であり、その構成、機能について以下に、
詳細に説明する。フラットディスプレイパネル封止装置
Aは、フラットディスプレイ用ガラス基板17と放電セ
ル封止用ガラス板18とに挟まれた放電セル内を高真空
に排気する排気装置1と、同放電セル内に放電ガスの供
給を行うための放電ガス供給部2と、データを入力する
入力端子INとシステム制御部4のデータを出力する為
の出力端子OUTとを有し、システム制御部4に任意の
初期条件を設定するI/F部3と、フラットディスプレ
イパネル封止装置Aの全体的な制御を司るシステム制御
部4と、チップ管23を封じ切りの為のガスの流量、及
び点火タイミングを制御する為の封止コントロール部5
と、チップ管23を封止するチップ管封止部13と、チ
ップ管封止部13へ封止用のガスを供給する封止ガス供
給部6と、配管切り替えバルブ7と、排気管8内の真空
度を計測する真空計25とから概略構成されている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic block diagram of a flat display panel sealing device A according to a first embodiment of the present invention.
This will be described in detail. The flat display panel sealing device A includes an exhaust device 1 that evacuates a discharge cell sandwiched between a flat display glass substrate 17 and a discharge cell sealing glass plate 18 to a high vacuum, and discharge gas in the discharge cell. A discharge gas supply unit 2 for supplying a power supply, an input terminal IN for inputting data, and an output terminal OUT for outputting data of the system control unit 4. An I / F unit 3 to be set, a system control unit 4 which controls the overall control of the flat display panel sealing device A, and a flow rate of gas for sealing off the chip tube 23 and an ignition timing. Sealing control section 5
A chip tube sealing portion 13 for sealing the chip tube 23, a sealing gas supply portion 6 for supplying a sealing gas to the chip tube sealing portion 13, a pipe switching valve 7, and an exhaust pipe 8. And a vacuum gauge 25 for measuring the degree of vacuum.

【0029】また、フラットディスプレイ用ガラス基板
17と放電セル封止用ガラス基板18を載置保持する為
のパネル保持用テーブル22と、該パネル保持用テーブ
ル22上にフラットディスプレイ用ガラス基板17と放
電セル封止用ガラス基板18を放電セル封止用ガラス基
板18の外側面を接して載置される場合、放電セル封止
用ガラス基板18に衝撃が加わらないようにする為の緩
衝板19とを有している。
Further, a panel holding table 22 for mounting and holding the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18, and the flat display glass substrate 17 is placed on the panel holding table 22. When the cell sealing glass substrate 18 is placed with the outer surface of the discharge cell sealing glass substrate 18 in contact with the glass substrate 18, a buffer plate 19 for preventing a shock from being applied to the discharge cell sealing glass substrate 18. have.

【0030】排気装置1には、フラットディスプレイ用
ガラス基板17上に垂直方向に突出して設けたチップ管
23に接続する排気管8が設けられ、システム制御部4
からの制御信号に基づき動作する。排気制御のパラメー
タとして排気管8内の真空度を計測するために真空計2
5がアーム管10に近接して設けられ、該真空計25の
検出データが封止コントロール部5に、又、封止コント
ロール部5を通して、システム制御部4に送られ、排気
装置1の排気量や配管切り替えバルブ7の切り替えが制
御される。
The exhaust device 1 is provided with an exhaust pipe 8 which is connected to a chip pipe 23 which is provided on the flat display glass substrate 17 so as to protrude in the vertical direction.
It operates based on a control signal from Vacuum gauge 2 for measuring the degree of vacuum in exhaust pipe 8 as a parameter for exhaust control
5 is provided in the vicinity of the arm tube 10, and the detection data of the vacuum gauge 25 is sent to the sealing control unit 5, through the sealing control unit 5, to the system control unit 4, and the displacement of the exhaust device 1 is And the switching of the piping switching valve 7 is controlled.

【0031】放電ガス供給部2には、前記排気装置1か
ら延びた排気管8を共用してチップ管23を通して放電
セル内に放電ガスの供給を可能とするために、放電ガス
配管9が排気管8に設けた配管切り替えバルブ7に接続
され、選択的に放電ガス供給部2による放電ガスの供給
が実施可能となっている。
The discharge gas supply section 2 is provided with a discharge gas pipe 9 to share the exhaust pipe 8 extending from the exhaust device 1 and supply the discharge gas into the discharge cell through the chip tube 23. The discharge gas supply unit 2 selectively supplies a discharge gas, which is connected to a pipe switching valve 7 provided in a pipe 8.

【0032】配管切り替えバルブ7は、フラットディス
プレイパネルの放電セル内の排気を行う場合の排気装置
1と、放電セル内への放電ガス供給を行う放電ガス供給
部2の切り替え制御するものであり、排気装置1や放電
ガス供給部2と同様にシステム制御部4からの信号に基
づき切り替えを制御されている。
The piping switching valve 7 controls switching between the exhaust device 1 for exhausting the discharge cells of the flat display panel and the discharge gas supply unit 2 for supplying the discharge gas into the discharge cells. Switching is controlled based on a signal from the system control unit 4 as in the case of the exhaust device 1 and the discharge gas supply unit 2.

【0033】チップ管封止部13は、チップ管23と排
気管8を接続すると共に、チップ管23を封止するもの
であり、円筒状のアーム管10と、排気管8とチップ管
23を接続するにあたりチップ管23の先端口に被せ
て、なおかつ、チップ管23から真空がもれないように
チップ管23の先端口を覆う真空もれ防止用治具11
と、アーム管10の内周下部にチップ管23の所定の位
置を封じ切る為にチップ管23を中心に囲むように配置
されたリング状ガス点火装置15と、そのリング状ガス
点火装置15と前記封止ガス供給部6を接続する封止ガ
ス配管14と、そのリング状ガス点火装置15の内側に
チップ管23の所定封止部に向けてガス噴出口を配置し
たガスバーナー16とを有し、フラットディスプレイ用
ガラス基板17と放電セル封止用ガラス基板18とに挟
まれた放電セル内を高真空に排気、放電ガス導入、及び
ガスバーナー16から噴出されるチップ管封じ切り用の
封止ガスに点火してから、その炎の熱効果によりチップ
管23の所定の位置を封じ切るものである。
The chip tube sealing portion 13 connects the chip tube 23 and the exhaust tube 8 and seals the chip tube 23. The chip tube sealing portion 13 connects the cylindrical arm tube 10, the exhaust tube 8 and the chip tube 23 to each other. When connecting, the jig 11 for covering the distal end of the tip tube 23 and covering the distal end of the tip tube 23 so that no vacuum leaks from the tip tube 23.
A ring-shaped gas igniter 15 arranged at the lower part of the inner periphery of the arm tube 10 so as to surround a predetermined position of the chip tube 23 around the center of the chip tube 23; It has a sealing gas pipe 14 for connecting the sealing gas supply unit 6 and a gas burner 16 having a gas ejection port disposed inside a ring-shaped gas igniter 15 toward a predetermined sealing portion of the tip tube 23. Then, the inside of the discharge cell sandwiched between the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 is evacuated to a high vacuum, a discharge gas is introduced, and a chip tube sealed from the gas burner 16 is cut off. After the stop gas is ignited, the predetermined position of the tip tube 23 is cut off by the thermal effect of the flame.

【0034】アーム管10は所定大きさの円筒状をして
おり、上面中心部には排気管8が貫通し、下面側からは
チップ管23を進入可能とし、内部においてチップ管吸
着治具11が排気管8の先端にチップ管23を密閉接続
する。
The arm tube 10 has a cylindrical shape of a predetermined size, the exhaust tube 8 penetrates through the center of the upper surface, allows the chip tube 23 to enter from the lower surface side, and has the chip tube suction jig 11 inside. Connects the tip tube 23 to the end of the exhaust pipe 8 in a sealed manner.

【0035】温度センサー12は、チップ管を最適な条
件で封じ切る為に、点火されたガスの温度を正確に測定
する為に、そのチップ管が封止される部分の温度を感知
するセンサーであり、リング状ガス点火装置15の上方
位置に設けられ、封止部分の温度をパラメータにガスバ
ーナー16から噴出するガス炎の制御を可能としてい
る。すなわち、温度センサー12によるチップ管23の
検知温度がシステム制御部4に送られ、その検知温度に
基づきシステム制御部4が封止コントロール部5に制御
信号を送ることで封止コントロール部5がリング状ガス
点火装置15と封止ガス供給部6に制御信号を送ること
で、封止ガス供給部6からのガス量が調整され、かつリ
ング状ガス点火装置15も同時に調整され、適切なガス
炎によってチップ管の封止/再封止が行われる。
The temperature sensor 12 is a sensor that senses the temperature of the portion where the tip tube is sealed in order to accurately measure the temperature of the ignited gas in order to seal the tip tube under optimum conditions. In addition, it is provided above the ring-shaped gas igniter 15 and enables control of the gas flame ejected from the gas burner 16 using the temperature of the sealed portion as a parameter. That is, the detected temperature of the chip tube 23 by the temperature sensor 12 is sent to the system control unit 4, and the system control unit 4 sends a control signal to the sealing control unit 5 based on the detected temperature, so that the sealing control unit 5 By sending a control signal to the ring-shaped gas igniter 15 and the sealing gas supply unit 6, the amount of gas from the sealing gas supply unit 6 is adjusted, and the ring-shaped gas igniter 15 is also adjusted at the same time. Sealing / resealing of the tip tube is performed.

【0036】次に、フラットディスプレイパネル封止装
置Aを用いた封止方法を説明する。まず、封止対象であ
るフラットディスプレイパネルを形成するに当たっては
始に、フラットディスプレイ用ガラス基板17と放電セ
ル封止用ガラス基板18とに挟まれた放電セル内を高真
空に排気する為の細長いガラスチューブであるチップ管
23を、フラットディスプレイ用ガラス基板17面上に
焼成接着する。すなわち、チップ管23は、フラットデ
ィスプレイ用ガラス基板17と放電セル封止用ガラス基
板18がフラットディスプレイ封止装置A上にセッティ
ングされる前に、事前に、フラットディスプレイ用ガラ
ス基板17に設けられた排気孔24を囲み、フラットデ
ィスプレイ用ガラス基板17面に対して略垂直状態とし
て高温焼成して密閉性を維持するように接着される(図
1)。
Next, a sealing method using the flat display panel sealing device A will be described. First, in forming a flat display panel to be sealed, first, a long and thin elongated space for evacuating the inside of the discharge cell sandwiched between the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 to a high vacuum. The chip tube 23 which is a glass tube is baked and adhered on the surface of the flat display glass substrate 17. That is, the chip tube 23 is provided on the flat display glass substrate 17 before the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 are set on the flat display sealing device A. It surrounds the exhaust hole 24, is substantially perpendicular to the surface of the flat display glass substrate 17, and is baked at a high temperature and adhered so as to maintain hermeticity (FIG. 1).

【0037】その後、フリット20をフラットディスプ
レイ用ガラス基板17上に塗布し、そのフリットを焼成
する事で、複数のリブ21により所定隙間を維持しなが
らフラットディスプレイ用ガラス基板17と放電セル封
止用ガラス基板18を密閉接着してフラットディスプレ
イパネル(フレーム)を成形する。
Thereafter, the frit 20 is applied on the glass substrate 17 for flat display, and the frit is baked. The glass substrate 18 is hermetically bonded to form a flat display panel (frame).

【0038】その後、図1に示す通り、パネル支持用テ
ーブル22上に設けた衝撃を和らげる為の緩衝板19上
に、フラットディスプレイパネルを放電セル封止用ガラ
ス基板18を下に、チップ管23を上方向きに設置す
る。
Thereafter, as shown in FIG. 1, the flat display panel is placed on the buffer plate 19 for reducing the impact provided on the panel support table 22, the discharge cell sealing glass substrate 18 is placed below, and the chip tube 23 is placed. Is installed upward.

【0039】前記の通り、フラットディスプレイ用ガラ
ス基板17と放電セル封止用ガラス基板18がパネル支
持用テーブル22に設置された後、円筒状のアーム管1
0の内の排気管8に接続されたチップ管吸着治具11
が、リークしないようにチップ管23の一端口にしっか
り装着され、排気管8とチップ管23が連通する。
As described above, after the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 are set on the panel support table 22, the cylindrical arm tube 1 is formed.
The tip tube suction jig 11 connected to the exhaust pipe 8
However, it is firmly attached to one end of the tip tube 23 so as not to leak, and the exhaust pipe 8 and the tip tube 23 communicate with each other.

【0040】チップ管吸着治具11とチップ管23とが
接続された後、図1に示すように、あらかじめ検証され
ているチップ管23の最適な封止条件、及び放電セル内
を所定の真空度まで排気するように、排気装置1を作動
させる為の各種データ、及び放電セル内に供給する放電
ガス圧等を設定する為に、I/F部3の入力IN側から
データを入力し、この入力されたデータがシステム制御
部4に転送される。
After the tip tube suction jig 11 and the tip tube 23 are connected, as shown in FIG. 1, the optimum sealing conditions of the tip tube 23, which have been verified in advance, and a predetermined vacuum Input data from the input IN side of the I / F unit 3 in order to set various data for operating the exhaust device 1 and the discharge gas pressure to be supplied into the discharge cells so as to exhaust the air to a degree. The input data is transferred to the system control unit 4.

【0041】システム制御部4は、I/F部3で入力さ
れたデータに基づき、まず、排気装置1に指令を発し
て、排気装置1を作動させる。この時、システム制御部
4は、フラットディスプレイ用ガラス基板17と放電セ
ル封止用ガラス基板18とに挟まれた放電セル内を排気
する場合と、該放電セル内に放電ガスを供給する場合を
区別する為、配管切り替えバルブ7に指令を出して、放
電ガス供給部2から放電セル内に供給する為の放電ガス
が排気管8に紛れ込まないように、放電ガス配管9から
排気管8への径路を遮断する。
The system control unit 4 first issues a command to the exhaust system 1 based on the data input by the I / F unit 3 to operate the exhaust system 1. At this time, the system control unit 4 performs a case where the inside of the discharge cell sandwiched between the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 and a case where the discharge gas is supplied into the discharge cell. For distinction, a command is issued to the pipe switching valve 7 so that the discharge gas for supplying the discharge gas from the discharge gas supply unit 2 into the discharge cell is prevented from entering the exhaust pipe 8 from the discharge gas pipe 9 to the exhaust pipe 8. Cut off the path.

【0042】以上のように配管切り替えバルブ7の状態
が設定されると放電セル内は、チップ管23に装着され
たアーム管10、アーム管に接続された排気管8を通し
て、排気装置1により排気される。この時、フラットデ
ィスプレイ用ガラス基板17、放電セル封止用ガラス基
板18は、高温を印加できるような炉(記載していな
い)内に設置され、高温を印加されながら排気装置1に
より、放電セル内が所定の真空度になるまで排気され
る。又、この時、真空計25は常にアーム管10付近の
真空度を計測しており、その計測値は常に、システム制
御部4に転送される。
When the state of the pipe switching valve 7 is set as described above, the interior of the discharge cell is exhausted by the exhaust device 1 through the arm pipe 10 attached to the chip pipe 23 and the exhaust pipe 8 connected to the arm pipe. Is done. At this time, the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 are placed in a furnace (not shown) to which a high temperature can be applied, and the discharge cell 1 The inside is evacuated until a predetermined degree of vacuum is reached. At this time, the vacuum gauge 25 always measures the degree of vacuum near the arm tube 10, and the measured value is always transferred to the system control unit 4.

【0043】システム制御部4は、真空計25からの真
空度計測データを基に、I/F部3を通して設定された
所定の真空度まで放電セル内が排気されたと判断する
と、システム制御部4は排気装置1に指令を発して排気
装置1を停止させる。
When the system control unit 4 determines that the inside of the discharge cell has been exhausted to a predetermined degree of vacuum set through the I / F unit 3 based on the vacuum degree measurement data from the vacuum gauge 25, the system control unit 4 Issues a command to the exhaust device 1 to stop the exhaust device 1.

【0044】この後、システム制御部4は、配管切り替
えバルブ7に指令を出して、放電ガス配管9と排気管8
が接続されるように、配管切り替えバルブ7を切り替え
る。
Thereafter, the system control unit 4 issues a command to the pipe switching valve 7 so that the discharge gas pipe 9 and the exhaust pipe 8
Is switched so that is connected.

【0045】配管切り替えバルブ7により、放電ガス配
管9と排気管8が連通されると、システム制御部4は放
電ガス供給部2に指令を発し、放電ガスを放電ガス配管
9に放出し、排気管8、チップ管23を通してフラット
ディスプレイ用ガラス基板17と放電セル封止用ガラス
基板18とに挟まれた放電セル内に放電ガスを供給す
る。
When the discharge gas pipe 9 and the exhaust pipe 8 are communicated by the pipe switching valve 7, the system control unit 4 issues a command to the discharge gas supply unit 2, discharges the discharge gas to the discharge gas pipe 9, and exhausts the gas. A discharge gas is supplied into the discharge cells sandwiched between the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 through the tube 8 and the chip tube 23.

【0046】また、この時、真空計25は、フラットデ
ィスプレイ用ガラス基板17と放電セル封止用ガラス基
板18とに挟まれた放電セル内に供給する放電ガス圧を
検出し、そのガス圧値を常に配管切り替えバルブ7に転
送する。また、配管切り替えバルブ7はシステム制御部
4によって放電ガスの所定値をあらかじめ設定されてお
り、真空計25から転送された放電ガス圧値が所定の値
に達した瞬間、配管切り替えバルブ7の全ての配管径
路、すなわち、第1に、排気装置1一配管切り替えバル
ブ7一排気管8−アーム管10一放電セルの径路、第2
には、放電ガス供給部2一配管切り替えバルブ7一排気
管8−アーム管10一放電セルの2つの径路を遮断す
る。
At this time, the vacuum gauge 25 detects the pressure of the discharge gas supplied into the discharge cell sandwiched between the glass substrate 17 for flat display and the glass substrate 18 for sealing the discharge cell. Is always transferred to the pipe switching valve 7. Further, the predetermined value of the discharge gas is previously set in the pipe switching valve 7 by the system control unit 4, and when the discharge gas pressure value transferred from the vacuum gauge 25 reaches the predetermined value, all of the pipe switching valve 7 First, the exhaust device 1, the pipe switching valve 7, the exhaust pipe 8, the arm pipe 10, the discharge cell path, the second
, The two paths of the discharge gas supply unit 2, the pipe switching valve 7, the exhaust pipe 8, the arm pipe 10, and the discharge cell are shut off.

【0047】放電ガスを供給した後、放電ガスが十分、
放電セル内に充満するまで、しばらく時間を置き、その
後に、システム制御部4はI/F部3により設定された
設定値に基づき、封止コントロール部5に指令を発する
が、封止コントロール部5はこの指令に基づき封止ガス
供給部6に指令を出して、チップ管23を封止する為に
封止ガスを供給させる。さらに、封止コントロール部5
はリング状ガス点火装置15に指令を発して、封止ガス
供給部6、封止ガス配管14を通してこのリング状ガス
点火装置15に供給される封止ガスに点火する。
After supplying the discharge gas, the discharge gas is sufficient.
The system control unit 4 issues a command to the sealing control unit 5 based on the set value set by the I / F unit 3 after a while, until the discharge cells are filled. 5 issues a command to the sealing gas supply unit 6 based on this command, and supplies a sealing gas to seal the chip tube 23. Furthermore, the sealing control unit 5
Issues a command to the ring-shaped gas igniter 15 to ignite the sealing gas supplied to the ring-shaped gas igniter 15 through the sealing gas supply unit 6 and the sealing gas pipe 14.

【0048】この時、図2に示すように、リング状ガス
点火装置15はチップ管23を囲むようにして配置され
ており、更に、点火されたガス炎はリング状ガス点火装
置15の内周側に半径方向に向かって対称に配置されて
いるガスバーナー16から放出されるが、その放出され
る方向はチップ管23に対して等角度の4方(対称位
置)からである為、チップ管23に対して均等に熱を直
接的に印加できる。
At this time, as shown in FIG. 2, the ring-shaped gas igniter 15 is arranged so as to surround the tip tube 23, and the ignited gas flame is placed on the inner peripheral side of the ring-shaped gas igniter 15. The gas is emitted from the gas burners 16 symmetrically arranged in the radial direction. However, since the emission direction is from four directions (symmetrical positions) equiangular with respect to the chip tube 23, the gas is emitted to the chip tube 23. On the other hand, heat can be directly applied uniformly.

【0049】また、点火されたガス炎によるチップ管2
3の溶融過程において、温度センサー12はその溶融箇
所のガラス温度を検知しており、その温度はチップ管2
3を封止過程中に連続してシステム制御部4に転送され
ており、システム制御部4は、そのガラス温度とI/F
部3からあらかじめ入力された設定値とを比較し、も
し、低い場合は、封止コントロール部5、及びリング状
ガス点火装置15に指令を発して、供給する封止ガス量
を調整したり、ガスバーナー16のノズル向き、開閉度
等を調整したりして、封止部の温度が所定の温度になる
ように、調整することができる。
Further, the tip tube 2 formed by the ignited gas flame
In the melting process 3, the temperature sensor 12 detects the glass temperature at the melting point, and the temperature is
3 is continuously transferred to the system control unit 4 during the sealing process, and the system control unit 4
It compares with a set value previously input from the unit 3 and, if it is lower, issues a command to the sealing control unit 5 and the ring-shaped gas igniter 15 to adjust the amount of sealing gas to be supplied, The temperature of the sealing portion can be adjusted to a predetermined temperature by adjusting the nozzle direction, the degree of opening and closing, and the like of the gas burner 16.

【0050】そして、チップ管23の外壁のガラスは、
4方から均等に直接的にガス炎により溶融されるので、
チップ管23の封止部において、放電セル側と排気管8
側を完全に遮断するように封止され、リーク等の不良を
発生する事がなく、電気的な加熱手段によるよりも、封
止の信頼性を飛躍的に向上させることができものであ
る。
The glass on the outer wall of the tip tube 23 is
Since it is evenly and directly melted by the gas flame from four directions,
In the sealed portion of the chip tube 23, the discharge cell side and the exhaust pipe 8
The sealing is performed so as to completely shut off the side, no failure such as leakage occurs, and the reliability of the sealing can be remarkably improved as compared with the electric heating means.

【0051】次に、本発明の第2の実施形態について図
3から図8を参照しつつ説明する。尚、前記構成と同一
部分には同一符号を付して説明を省略する。前述した本
発明の第1の実施形態においては、チップ管23は円柱
形としたが、本第2の実施形態においてはチップ管23
bの形状を図5に示すように、横断面形状が下方から上
方に従って長方形の断面積が徐々に相似しながら減少す
る、略反転U字ドーム形状の中空容器(お椀型中空容
器)を形成する下部チップ管L23bと、該下部チップ
管L23bの頂部に長手方向(N方向)に亙って、幅
(M方向)が下部チップ管L23bの幅W1よりも狭い
幅W2の中空四角筒である上部チップ管H23bを形成
(段差形状)し、上部チップ管H23bと下部チップ管
U23bとは内部において連通している。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same parts as those in the above-described configuration are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. In the above-described first embodiment of the present invention, the tip tube 23 has a cylindrical shape, but in the second embodiment, the tip tube 23 has a cylindrical shape.
As shown in FIG. 5, the shape of b is a substantially inverted U-shaped dome-shaped hollow container (bowl-shaped hollow container) in which the cross-sectional shape gradually decreases from the bottom to the top while the cross-sectional area of the rectangle gradually decreases. A lower tip tube L23b and an upper portion which is a hollow rectangular tube having a width (M direction) narrower than a width W1 of the lower tip tube L23b at the top of the lower tip tube L23b in the longitudinal direction (N direction). The tip tube H23b is formed (stepped), and the upper tip tube H23b and the lower tip tube U23b communicate with each other inside.

【0052】また、本実施形態では上記したようにチッ
プ管形状が第1の実施形態と異なるために、チップ管に
係わるアーム管10b、チップ管吸着治具11b、リン
グ状ガス点火装置15b、及びフラットディスプレイ用
ガラス基板17に設ける排気孔24bの形状がチップ管
23bの形状に対応してそれぞれ図3、4、7に示すよ
うに変更されている。すなわち、アーム管10bは箱形
状となり、チップ管吸着治具11bは上部チップ管H2
3bの開口形状に合わせた形状となり、リング状ガス点
火装置15bは4角リング状となり、ガスバーナーの数
もチップ管23bに均等に炎が当たるように増やしてい
る。
In this embodiment, since the shape of the tip tube is different from that of the first embodiment as described above, the arm tube 10b relating to the tip tube, the tip tube suction jig 11b, the ring-shaped gas ignition device 15b, and The shapes of the exhaust holes 24b provided in the flat display glass substrate 17 are changed as shown in FIGS. 3, 4, and 7, respectively, corresponding to the shape of the chip tube 23b. That is, the arm tube 10b has a box shape, and the tip tube suction jig 11b has the upper tip tube H2.
The ring-shaped gas igniter 15b has a square ring shape, and the number of gas burners is increased so that the tip tube 23b is evenly exposed to the flame.

【0053】上記のようにチップ管23bとそれに関わ
れ部分を第1の実施形態に対して変更を加えた本実施形
態の封止工程でも、まず始めに、段差形状をしたチップ
管23bの下端開口を、フラットディスプレイ用ガラス
基板17に設けた長方形の排気孔24bを囲むように、
フラットディスプレイ用ガラス基板17に垂直に焼成装
着する(図3参照)。
In the sealing step of the present embodiment in which the tip tube 23b and its related parts are changed from the first embodiment as described above, first, the lower end opening of the stepped tip tube 23b To surround the rectangular exhaust hole 24b provided in the glass substrate 17 for flat display.
It is vertically mounted on the glass substrate 17 for flat display (see FIG. 3).

【0054】また、前記チップ管23b形状は図5に示
した通り前面形状がお椀型に短筒を乗せた形状(段差形
状)であり、開口部は図6に示した通り細長形状をして
いることから、チップ管23b内に装着するパネル内の
コンタミネーションを除去する為のゲッターとして細長
いシート形状をしたシート状ゲッター52を採用し、フ
ラットディスプレイ用ガラス基板17と放電セル封止用
ガラス基板18とに挟まれた放電セル内の高真空をより
効率的に得るものとしている。
Further, as shown in FIG. 5, the shape of the tip tube 23b is such that a short tube is placed in a bowl shape on the front surface (stepped shape), and the opening is elongated as shown in FIG. Therefore, a sheet-like getter 52 having an elongated sheet shape is adopted as a getter for removing contamination in a panel mounted in the chip tube 23b, and the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate are used. 18 to obtain a high vacuum in the discharge cell more efficiently.

【0055】図4は、フラットディスプレイ用ガラス基
板17の一部を示しており、チップ管23bはフラット
ディスプレイ用ガラス基板17と放電セル封止用ガラス
基板18が図3に示すフラットディスプレイパネル封止
システムBにセッティングされる前に、事前にフラット
ディスプレイ用ガラス基板17に設けられた排気孔24
bを囲むように、また、フラットディスプレイ用ガラス
基板17に対して垂直に焼成して封着されている。尚、
図4におけるフリット20は、チップ管23bを焼成装
着するガラス面の裏側に、ガラス端面70に対して所定
幅の内周位置に塗布されている。
FIG. 4 shows a part of the glass substrate 17 for flat display. The chip tube 23b is formed by sealing the glass substrate 17 for flat display and the glass substrate 18 for discharging cell sealing shown in FIG. Before being set in the system B, the exhaust holes 24 provided in the glass substrate 17 for flat display in advance.
b, and is sealed by baking perpendicular to the glass substrate 17 for flat display. still,
The frit 20 in FIG. 4 is applied to the back side of the glass surface on which the chip tube 23b is baked and mounted, at an inner circumferential position having a predetermined width with respect to the glass end surface 70.

【0056】シート状ゲッター52は、排気孔24bを
覆うように形成するチップ管23b内に位置されるが、
排気孔24bを通して放電セル内(図3参照)に落下し
ない程度の大きさを持って形成されている。
The sheet-like getter 52 is located in the tip tube 23b formed so as to cover the exhaust hole 24b.
It is formed so as not to fall into the discharge cell (see FIG. 3) through the exhaust hole 24b.

【0057】また、フラットディスプレイ用ガラス基板
17と放電セル封止用ガラス基板18がフリット20に
より焼成封着されてパネル保持用テーブル22に設置さ
れた後、シート状ゲツター52は、チップ管23bの上
部開口(上部チップ管H23b)から挿入され、図3に
示すようにチップ管23bの底、つまり、フラットディ
スプレイ用ガラス基板17とチップ管23bが焼成接着
された箇所に留まることになる。
After the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 are fired and sealed by the frit 20 and set on the panel holding table 22, the sheet-like getter 52 is connected to the chip tube 23b. It is inserted through the upper opening (upper chip tube H23b), and remains at the bottom of the chip tube 23b, that is, at the place where the glass substrate 17 for flat display and the chip tube 23b are bonded by firing, as shown in FIG.

【0058】次に、フラットディスプレイ用ガラス基板
17と放電セル封止用ガラス基板18がパネル支持用テ
ーブル22に設置された後、アーム管10b下部のチッ
プ管吸着治具11bが、リークしないようにチップ管2
3bにしっかり装着される。このチップ管吸着治具11
bは、上部チップ管H23bの上部開口に完全フィット
している為、排気した場合でもこの接続部分からリーク
することはない。以後、上記第1の実施形態で説明した
工程により放電セル内の排気、及び放電ガスの導入が行
われるので説明を省略する。
Next, after the flat display glass substrate 17 and the discharge cell sealing glass substrate 18 are set on the panel support table 22, the tip tube suction jig 11b below the arm tube 10b is prevented from leaking. Tip tube 2
3b is securely attached. This tip tube suction jig 11
b completely fits into the upper opening of the upper tip tube H23b, so that even when exhausted, there is no leakage from this connection. Thereafter, the exhaust in the discharge cell and the introduction of the discharge gas are performed by the steps described in the first embodiment, and thus the description is omitted.

【0059】そして、放電ガスを供給した後、放電ガス
が十分、放電セル内に充満した後、システム制御部4は
事前にI/F部3により設定された設定値に基づき、封
止コントロール部5に指令を発するが、封止コントロー
ル部5はこの指令に基づき、封止ガス供給部6に指令を
出して、チップ管23bを封止する為に、封止ガスを供
給させる。
After the discharge gas is supplied and the discharge gas is sufficiently filled in the discharge cells, the system control section 4 sets the sealing control section based on the set value set by the I / F section 3 in advance. 5, the sealing control unit 5 issues a command to the sealing gas supply unit 6 based on this command to supply a sealing gas to seal the chip tube 23b.

【0060】さらに、リング状ガス点火装置15bに指
令を発して、封止ガス供給部6、封止ガス配管14を通
してこのリング状ガス点火装置15bに供給される封止
ガスに点火する。この時、図7に示した通り、チップ管
23bを中心としてリング状ガス点火装置15bは配置
されており、更に点火されたガスはリング状ガス点火装
置15bの内側に配置されているガスバーナー16から
放出されるが、その放出される方向はチップ管23bを
囲むような方向からである為、チップ管23bに対して
均等に熱が直接的に印加されることになる。
Further, a command is issued to the ring-shaped gas igniter 15b to ignite the sealing gas supplied to the ring-shaped gas igniter 15b through the sealing gas supply unit 6 and the sealing gas pipe 14. At this time, as shown in FIG. 7, the ring-shaped gas igniter 15b is arranged around the tip tube 23b, and the ignited gas is further supplied to the gas burner 16 arranged inside the ring-shaped gas igniter 15b. However, since the emission direction is from the direction surrounding the tip tube 23b, heat is directly applied uniformly to the tip tube 23b.

【0061】また、点火されたガスによってチップ管2
3bが溶融されている際、温度センサー12はその溶融
箇所のガラスの温度を感知しており、その温度はチップ
管23bを封止している間中、システム制御部4に常に
転送されており、システム制御部4は、その温度とI/
F部3からあらかじめ入力された設定値とを比較検討し
ており、もし、低い場合は封止コントロール部5及びリ
ング状ガス点火装置15bに指令を発して、供給する封
止ガス量を調整したり、ガスバーナー16のノズルを調
整したりして、チップ管封止領域51(図3参照)の温
度が所定の温度になるように、調整することができる。
Also, the tip tube 2 is ignited by the ignited gas.
When 3b is being melted, the temperature sensor 12 senses the temperature of the glass at the melting point, and the temperature is constantly transferred to the system control unit 4 while the tip tube 23b is sealed. , The system controller 4 determines the temperature and I /
The setting value input in advance from the F unit 3 is compared and examined. If the setting value is low, a command is issued to the sealing control unit 5 and the ring-shaped gas ignition device 15b to adjust the amount of the sealing gas to be supplied. Alternatively, the temperature of the tip tube sealing region 51 (see FIG. 3) can be adjusted to a predetermined temperature by adjusting the nozzle of the gas burner 16.

【0062】このような順序を経て、本第2の実施形態
ではチップ管23bの封止を行うが、封止完了後の封止
領域51の拡大図を図8に示す。上記第2の実施形態に
よるチップ管23bの封止を行った場合、封止後のチッ
プ管23bの不要な部分を切り取ると、チップ管23b
は図8に示したようにアーチ形状となる為、従来技術に
比べると、切り取り後のチップ管23bの長さも短縮さ
れるので、表示装置としてパネルを組み立てるときにパ
ネルの奥行きの短縮化が可能であり、表示装置として組
み立て後のパネルを部屋に置くときなどには、非常に便
利になる。
According to the second embodiment, the chip tube 23b is sealed through such an order. FIG. 8 shows an enlarged view of the sealed region 51 after the sealing is completed. When the tip tube 23b according to the second embodiment is sealed, if an unnecessary portion of the sealed tip tube 23b is cut off, the tip tube 23b is cut off.
8 has an arch shape as shown in FIG. 8, so that the length of the chip tube 23b after cutting is shortened as compared with the related art, so that the depth of the panel can be reduced when assembling the panel as a display device. This is very convenient when the assembled panel is placed in a room as a display device.

【0063】次に、本発明の第3の実施形態について図
9を参照して説明する。尚、前記構成と同一部分には同
一符号を付して説明を省略する。図9は、第2の実施形
態においてチップ管23bを封止終了後を示しており、
チップ管23bが封止されると、システム制御部4はI
/F部3によってあらかじめ設定されているデータに基
づき、カメラ駆動部保持用テーブル56上に設置されて
いるカメラ部Y軸駆動台55を、まず、封止されたチッ
プ管23bの長手方向と同じY軸位置に移動させる。こ
の後、封止されたチップ管23bの封止領域51の真上
に、例えばCCDカメラ等のカメラ部54が位置するよ
うに、カメラ部X軸駆動軸53を移動させる。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those in the above-described configuration are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. FIG. 9 shows a state after the sealing of the tip tube 23b in the second embodiment,
When the chip tube 23b is sealed, the system control unit 4
First, the camera unit Y-axis drive table 55 installed on the camera drive unit holding table 56 is set in the same direction as the longitudinal direction of the sealed chip tube 23b based on the data set in advance by the / F unit 3. Move to Y-axis position. Thereafter, the camera unit X-axis drive shaft 53 is moved so that the camera unit 54 such as a CCD camera is located right above the sealed region 51 of the sealed chip tube 23b.

【0064】カメラ部54において、封止領域51の封
止後の形状が撮像されると、その形状データは、システ
ム制御部4に転送され(転送径路は図示していない)、
システム制御部4はこの形状データを受信すると、あら
かじめ入力されている良品形状とこの封止形状データを
公知のマッチング処理により比較し、封止の不良/良好
の判断を行う。もし、この時、不良と判断した場合、シ
ステム制御部4は、I/F部3に対して、その旨を示す
データを転送する。
When the camera section 54 captures an image of the sealed shape of the sealed area 51, the shape data is transferred to the system control section 4 (the transfer path is not shown).
Upon receiving the shape data, the system control unit 4 compares the non-defective product shape input in advance with the sealing shape data by a known matching process to determine whether the sealing is defective or good. At this time, if it is determined to be defective, the system control unit 4 transfers data indicating that to the I / F unit 3.

【0065】この不良表示がI/F部3に示されると、
マニュアル繰作によってアーム管10bが再度、封止領
域51の真上に配置され、I/F部3において再封止の
設定がなされると、システム制御部4は再度、封止コン
トロール部5、封止ガス供給部6、リング状ガス点火装
置15bに対して、それぞれ指令を発して、再度ガスバ
ーナーによる封止工程を行う。
When this defective display is shown in the I / F section 3,
When the arm tube 10b is arranged again immediately above the sealing region 51 again by manual processing and the setting of the resealing is made in the I / F unit 3, the system control unit 4 again operates the sealing control unit 5, A command is issued to each of the sealing gas supply unit 6 and the ring-shaped gas ignition device 15b, and the sealing process by the gas burner is performed again.

【0066】以上説明したように本発明の第3の実施形
態によれば、チップ管の封止後の良否状態を正確に検査
する機能を備えることにより、封止状態に不良が発生し
た場合には、再度封止工程を実施することでチップ管封
止の信頼性を飛躍的に向上させることができる。
As described above, according to the third embodiment of the present invention, the function of accurately inspecting the quality of the chip tube after sealing is provided, so that when a defect occurs in the sealing state, By performing the sealing step again, the reliability of the chip tube sealing can be remarkably improved.

【0067】なお、前記の実施形態では本発明の好適例
を説明したが、本発明はこれに限定されないことはもち
ろんである。例えば、第2実施形態の作用効果を得るこ
とのできるチップ管23bの形状は、下部チップ管の横
断面積を上部チップ管の横断面積よりも大きく設けるこ
とにより、ゲッターを含めて効率良く高真空を得ること
ができると共に細い上部チップ管部分を封着するために
効率よく封着を可能とできるのである。従って、図10
に示すようにチップ管23cの下部から上部に向かって
徐々に横断面積が減少する部分を有する形状であれば同
様の作用効果を得ることができ、本願発明の技術的範囲
に含まれる。
Although the preferred embodiment of the present invention has been described in the above embodiment, it is needless to say that the present invention is not limited to this. For example, the shape of the tip tube 23b that can obtain the operation and effect of the second embodiment is such that the cross-sectional area of the lower chip tube is provided to be larger than the cross-sectional area of the upper chip tube, so that the high vacuum including the getter can be efficiently performed. In addition, the sealing can be efficiently performed to seal the thin upper tip tube portion. Therefore, FIG.
As shown in the figure, if the shape has a portion where the cross-sectional area gradually decreases from the lower part to the upper part of the tip tube 23c, the same function and effect can be obtained, which is included in the technical scope of the present invention.

【0068】[0068]

【発明の効果】以上説明した通り、請求項1の発明によ
れば、放電ガス導入工程により放電ガスをフラットディ
スプレイパネル内部に導入してからチップ管を封じ切る
際に、ガスバーナーによりをチップ管の周囲に均一にガ
スの燃焼熱を直接照射し、チップ管の溶融を行うので、
チップ管の溶融を容易にしかつ封止部の封止不良による
リーク等を限りなく防止することができ、封止部の信頼
性を飛躍的に向上させることができる。従って、従来技
術におけるように通電されたヒーターが発する電気熱を
空間に伝播させて、チップ管を溶融させるよりも、安定
的に溶融を行い、封止部の信頼性の更なる向上を図るこ
とができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, when the discharge tube is introduced into the flat display panel in the discharge gas introduction step and the chip tube is sealed off, the gas burner is used to cut off the chip tube. Directly irradiates the heat of combustion of the gas directly around the tip to melt the tip tube.
The melting of the chip tube can be facilitated, leaks due to defective sealing of the sealing portion can be prevented as much as possible, and the reliability of the sealing portion can be greatly improved. Therefore, the electric heat generated by the energized heater is propagated to the space as in the prior art, and the tip tube is melted more stably than in the case where the tip tube is melted, thereby further improving the reliability of the sealing portion. Can be.

【0069】請求項2の発明によれば、チップ管封止工
程で封止されるチップ管部分の温度を検知し、検知温度
に基づきガスバーナーを調整する溶着温度制御工程を有
するのでより適切によりきめ細かなチップ管の溶着封止
が可能となる。
According to the second aspect of the present invention, since the temperature of the tip tube portion sealed in the tip tube sealing step is detected and the welding temperature control step of adjusting the gas burner based on the detected temperature is provided, it is more appropriate. It is possible to finely seal the tip tube by welding.

【0070】請求項3の発明によれば、チップ管封止工
程後にマッチング処理工程を設けることで、チップ管の
溶着封止部分の形状を予め設定してある所定形状とのマ
ッチング処理によりチップ管の封止状態の良否を判別す
ることができ、そのマッチング処理工程において、封止
不良と判別されたチップ管に対し、再度、ガスバーナー
をあてて溶着封止する再封止工程とを有することによ
り、一度封止した箇所を再度、点火されたガスの熱によ
り封止することにより、封止部の信頼性向上を図ること
ができる。
According to the third aspect of the present invention, a matching process is provided after the tip tube sealing process, so that the shape of the welded sealing portion of the tip tube is matched with a predetermined shape set in advance. In the matching process step, a resealing step of reapplying a gas burner and welding and sealing the chip tube, which is determined to be defective, can be performed. Thereby, the once sealed portion is sealed again by the heat of the ignited gas, so that the reliability of the sealed portion can be improved.

【0071】請求項4の発明によれば、チップ管は、そ
の縦断面形状が先端方向に向かって減少する形状である
ために、フラットディスプレイパネル内の不純物除去を
目的とした挿入するシート状ゲツターをその内部に装着
することが可能となり、かつ、チップ管の階段的に減少
する部分を封止することで、封じ切った後にチップ管の
不要な部分を削除することにより、封じ切った後のチッ
プ管の高さを低くでき、かつ、2枚のガラス基板の高さ
を加えた寸法を小さくできるので、結果的に全体として
のディスプレイパネルの奥行きを小さくできることか
ら、フラットディスプレイパネル表示装置として組み立
てた後に、表示時装置の奥行きを狭くでき、壁掛け用と
して表示装置を部屋の壁に設置する際には、非常に有効
である。
According to the fourth aspect of the present invention, since the tip tube has a shape whose longitudinal cross-section decreases toward the distal end, a sheet-like getter to be inserted for the purpose of removing impurities in the flat display panel. It is possible to attach the inside of the tip tube, and by sealing the stepwise decreasing portion of the tip tube, by removing unnecessary portions of the tip tube after sealing, the Since the height of the chip tube can be reduced and the dimensions of the two glass substrates plus the height can be reduced, the depth of the display panel as a whole can be reduced as a result. After that, the depth of the display device can be reduced, which is very effective when the display device is installed on a wall of a room for wall hanging.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係るフラットディス
プレイパネル封止装置Aの概略ブロック図である。
FIG. 1 is a schematic block diagram of a flat display panel sealing device A according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態に係るチップ管23の
封止部の上面図である。
FIG. 2 is a top view of a sealing portion of the chip tube 23 according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施形態に係るフラットディス
プレイパネル封止装置Bの概略ブロック図である。
FIG. 3 is a schematic block diagram of a flat display panel sealing device B according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明における第2の実施例におけるガラス基
板にチップ管23bを配置した上面図である。
FIG. 4 is a top view in which a chip tube 23b is arranged on a glass substrate according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施形態におけるチップ管23
bの斜面図である。
FIG. 5 shows a tip tube 23 according to a second embodiment of the present invention.
It is a slope view of b.

【図6】本発明の第2の実施形態におけるチップ管23
bの上面図である。
FIG. 6 shows a tip tube 23 according to a second embodiment of the present invention.
It is a top view of b.

【図7】本発明の第2の実施形態におけるチップ管23
bの封止部の上面図である。
FIG. 7 shows a tip tube 23 according to a second embodiment of the present invention.
It is a top view of the sealing part of b.

【図8】本発明の第2の実施形態における封止後のチッ
プ管23b形状の断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of the shape of a tip tube 23b after sealing according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明における第3の実施形態の斜視図であ
る。
FIG. 9 is a perspective view of a third embodiment of the present invention.

【図10】本発明のその他の実施形態におけるチップ管
23cの斜面図である。
FIG. 10 is a perspective view of a tip tube 23c according to another embodiment of the present invention.

【図11】従来技術におけるフラットディスプレイパネ
ル封止装置である。
FIG. 11 shows a conventional flat display panel sealing device.

【図12】従来技術のチップ管を封止した状態でのフラ
ットディスプレイパネルの全体斜視図である。
FIG. 12 is an overall perspective view of a flat display panel in a state where a conventional chip tube is sealed.

【図13】従来技術のチップ管封止中のチップ管形状の
作用的説明図である。
FIG. 13 is an operational explanatory view of a tip tube shape during tip tube sealing according to the prior art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 排気装置 2 放電ガス供給部 3 I/F部 4 システム制御部 5 封止コントロール部 6 封止ガス供給部 7 配管切り替えバルブ 8 排気管 9 放電ガス配管 10 アーム管 10b アーム管 11 チップ管吸着治具 11b チップ管吸着治具 12 温度センサー 13 チップ管封止部 14 封止ガス配管 15 リング状ガス点火装置 15b リング状ガス点火装置 16 ガスバーナー 17 フラットディスプレイ用ガラス基板 18 放電セル封止用ガラス基板 19 緩衝板 20 フリット 21 リブ 22 パネル保持用テーブル 23、23b、L23b、H23b、23c チップ管 24、24b 排気孔 25 真空計 51 封止領域 52 シートゲッター 53 カメラ部Xj軸駆動軸 54 カメラ部 55 カメラ部Y軸駆動台 56 カメラ駆動部保持用テーブル 58 従来技術における第1のガラスパネル 59 チップ管 60 保持具 61 支持台 62 真空ポンプ 63 偏平容器 64 排気系 65 ヒーター 66 加熱手段 67 電源 68 フリット 69 第2のガラスパネル 70 ガラス端 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust apparatus 2 Discharge gas supply part 3 I / F part 4 System control part 5 Sealing control part 6 Sealing gas supply part 7 Pipe switching valve 8 Exhaust pipe 9 Discharge gas pipe 10 Arm pipe 10b Arm pipe 11 Chip pipe adsorption jig Tool 11b Chip tube suction jig 12 Temperature sensor 13 Chip tube sealing portion 14 Sealed gas pipe 15 Ring gas igniter 15b Ring gas igniter 16 Gas burner 17 Flat display glass substrate 18 Discharge cell sealing glass substrate Reference Signs List 19 buffer plate 20 frit 21 rib 22 panel holding table 23, 23b, L23b, H23b, 23c chip tube 24, 24b exhaust hole 25 vacuum gauge 51 sealing area 52 sheet getter 53 camera unit Xj-axis drive shaft 54 camera unit 55 camera Section Y-axis drive table 56 Camera drive section holding table Bull 58 First glass panel in the prior art 59 Chip tube 60 Holder 61 Support 62 Vacuum pump 63 Flat container 64 Exhaust system 65 Heater 66 Heating means 67 Power supply 68 Frit 69 Second glass panel 70 Glass end

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定間隙を維持して対向する2枚のガラ
ス基板の周囲を封着して形成したフラットディスプレイ
パネルの該ガラス基板表面に、該ガラス基板から突出
し、かつ、フラットディスプレイパネル内部と連通する
チップ管を形成するチップ管形成工程と、 前記チップ管を通じてフラットディスプレイパネル内部
を真空に排気する排気工程と、 前記排気工程後のフラットディスプレイパネル内部に、
前記チップ管を通じて放電ガスを導入する放電ガス導入
工程と、 前記フラットディスプレイパネル内部を真空に維持した
状態で前記チップ管に対して、該チップ管の長手方向に
略直角な同一周囲部にガスバーナーをあて、チップ管を
溶着封止するチップ管封止工程と、を有するフラットデ
ィスプレイパネルの製造方法。
1. A flat display panel formed by sealing the periphery of two glass substrates facing each other while maintaining a predetermined gap, protruding from the glass substrate and projecting from the glass substrate to the inside of the flat display panel. A tip tube forming step of forming a communicating chip tube, an exhausting step of evacuating the inside of the flat display panel through the tip tube to a vacuum, and an inside of the flat display panel after the exhausting step.
A discharge gas introducing step of introducing a discharge gas through the chip tube; and a gas burner on the same peripheral portion substantially perpendicular to a longitudinal direction of the chip tube with respect to the chip tube while maintaining the inside of the flat display panel at a vacuum. And a chip tube sealing step of welding and sealing the chip tube.
【請求項2】 請求項1に記載のフラットディスプレイ
パネルの製造方法であって、 前記チップ管封止工程で封止されるチップ管部分の温度
を検知し、検知温度に基づき前記ガスバーナーを調整す
る溶着温度制御工程を有することを特徴とするフラット
ディスプレイの製造方法。
2. The method for manufacturing a flat display panel according to claim 1, wherein a temperature of a chip tube portion sealed in the chip tube sealing step is detected, and the gas burner is adjusted based on the detected temperature. A method for manufacturing a flat display, comprising a step of controlling a welding temperature.
【請求項3】 請求項1又は2に記載のフラットディス
プレイパネルの製造方法であって、 前記チップ管封止工程後に、チップ管の溶着封止部分の
形状を所定形状とのマッチング処理を行い、チップ管の
封止状態の良否を判別するマッチング処理工程と、 前記マッチング処理工程において、封止不良と判別され
たチップ管を有するフラットディスプレイに対し、再
度、チップ管にガスバーナーをあてて溶着封止する再封
止工程とを有することを特徴とするフラットディスプレ
イパネルの製造方法。
3. The method for manufacturing a flat display panel according to claim 1, wherein after the chip tube sealing step, a shape matching process is performed on a shape of a welded sealing portion of the chip tube with a predetermined shape, A matching processing step of determining the quality of the sealed state of the chip tube; and, in the matching processing step, a gas burner is applied to the chip tube again to seal the flat display having the chip tube determined to be defective in sealing. And a resealing step for stopping the flat display panel.
【請求項4】 請求項1から3の何れか1項に記載のフ
ラットディスプレイパネルの製造方法であって、 前記チップ管は、その縦断面形状が先端方向に向かって
減少する形状であることを特徴とするフラットディスプ
レイパネルの製造方法。
4. The method of manufacturing a flat display panel according to claim 1, wherein the tip tube has a shape in which a longitudinal cross-sectional shape decreases in a tip direction. A method for manufacturing a flat display panel.
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Cited By (3)

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JP2008518420A (en) * 2004-11-01 2008-05-29 オリオン ピーディーピー カンパニー リミテッド Flat display panel with exhaust holes in the display area
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