JP2000239094A - Crystal puller - Google Patents

Crystal puller

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JP2000239094A
JP2000239094A JP2000032216A JP2000032216A JP2000239094A JP 2000239094 A JP2000239094 A JP 2000239094A JP 2000032216 A JP2000032216 A JP 2000032216A JP 2000032216 A JP2000032216 A JP 2000032216A JP 2000239094 A JP2000239094 A JP 2000239094A
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JP
Japan
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seed crystal
crystal
holder
support
seed
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Application number
JP2000032216A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Joachim Aufreiter
アウフライター ヨアヒム
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Leybold Systems GmbH
Original Assignee
Leybold Systems GmbH
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/32Seed holders, e.g. chucks

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make avoidable the breakage of a seed crystal or a holder therefor due to stress by limiting a housing part holding the seed crystal placed in the holder for seed crystal in a movable state in the axial direction with a supporting surface tapering off in a downward direction and by hanging the single crystal from the supporting surface. SOLUTION: A crystal block is joined with a seed crystal 7 held in the holder 2 for seed crystal through the neck part when a crystal is pulled. The holder 2 is provided with a bore 9 having a housing part 10 having a narrower part 11 in a lower section which has a supporting surface 12 directing itself upward so as to form a truncated cone. The seed crystal 7 has a head part 13 and it is placed above the surface 12. The height size of the head part 13 is smaller than that of the part 10 and therefore the head part 13 can move upward in the part 10 when force acts on the seed crystal 7 from its lower part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、結晶引上げ装置で
あって、種結晶ホルダが設けられていて、該種結晶ホル
ダが、鉛直方向に運動可能なサポート機構に結合されて
おり、該サポート機構と同期的に運動可能な、結晶ブロ
ックを支持するための支持装置が設けられていて、前記
結晶ブロックが、ネック部を介して、種結晶ホルダによ
って保持されている種結晶に結合されるようになってい
る形式のものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal pulling apparatus, comprising a seed crystal holder, which is connected to a vertically movable support mechanism. A support device is provided for supporting the crystal block, which can be moved synchronously with the crystal block, such that the crystal block is coupled via a neck to a seed crystal held by a seed crystal holder. About the format that is

【0002】[0002]

【従来の技術】このような形式の結晶引上げ装置は、例
えばDE−2515850の図6に図示され、明細書中
において詳説されている。支持装置は、結晶ブロックの
全重量が、直径の小さいネック部を介して種結晶ホルダ
に伝達されてそこからさらに引上げ軸に伝達されないよ
うにするために、ネック部の引上げ後に生じる、長くな
るにつれてより重くなる結晶ブロックを支持するために
使用される。
2. Description of the Related Art A crystal pulling apparatus of this type is shown, for example, in FIG. 6 of DE-2515850 and is described in detail in the description. The support device is designed to increase the length of the crystal block as it grows after the neck is pulled up, so that the total weight of the crystal block is not transmitted to the seed holder via the small diameter neck and from there to the further pulling shaft. Used to support heavier crystal blocks.

【0003】前記DE−2515850に開示されてい
るように、種結晶ホルダを引き上げ軸に直接的に結合す
る代わりに、種結晶ホルダは、しばしば、ロープを用い
てサポート機構に結合され、それによって、結晶の成長
に応じて上方に移動させることができるようにもなって
いる。
[0003] Instead of coupling the seed holder directly to the lifting shaft, as disclosed in said DE-2515850, the seed holder is often connected to the support mechanism by means of a rope, whereby: It can also be moved upward as the crystal grows.

【0004】直接引上げ軸に固定された種結晶ホルダを
有する装置においても、ロープ送り部材を有する装置に
おいても、支持装置は、結晶ブロックに当て付ける際
に、種結晶ホルダに対して相対的にやや下方に向かって
移動することがあるという問題が生じる。その原因は、
結晶ブロックの表面に起伏があること、または結晶の引
上げの際に、結晶の圧縮ひずみが生ぜしめられる方法段
階によるものである。種結晶ホルダに相対的に下方に向
かう支持装置の運動は、種結晶のネック部の破壊ストレ
スを生ぜしめ、その結果、種結晶ホルダの、または種結
晶のネック部の破壊が生じ得る。
In both the apparatus having the seed crystal holder fixed directly to the pulling shaft and the apparatus having the rope feed member, the supporting device is slightly moved relative to the seed crystal holder when it is applied to the crystal block. A problem arises in that it may move downward. The cause is
This may be due to undulations in the surface of the crystal block or to a method step in which the crystal is subjected to a compressive strain when the crystal is pulled. Movement of the support device downward relative to the seed holder may cause fracture stress at the seed neck, which may result in failure of the seed holder or the neck of the seed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、冒頭に記載した形式の結晶引上げ装置を改良して、
種結晶ホルダに対して相対的に下方に向かう支持装置の
移動によって引き起こされる破壊の危険性をできるだけ
回避することができる装置を提供することである。
An object of the present invention is to improve a crystal pulling apparatus of the type described at the outset,
It is an object of the invention to provide a device in which the danger of destruction caused by the movement of the support device relatively downwards with respect to the seed crystal holder can be avoided as much as possible.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明に従って、種結晶ホルダが、種結晶を軸方向
に移動可能に保持するための収容部を有しており、該収
容部が下方に向かって支持面によって制限されていて、
該支持面に種結晶が上から載置されるようにした。
According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, a seed crystal holder has a housing for holding a seed crystal movably in an axial direction. Is downwardly limited by the support surface,
The seed crystal was placed on the support surface from above.

【0007】[0007]

【発明の効果】種結晶ホルダをこのように構成すること
によって、支持装置は結晶ブロックへの当てつけ時に下
方に向かって移動する際に、種結晶は種結晶ホルダ内で
制限されて上方に運動可能である。これによって種結晶
および/または種結晶ホルダにおけるストレスは回避さ
れる。これによりこの領域において破壊の原因は取り除
かれている。さらに本発明によって、ストレスに基づい
て種結晶および/またはネック部の破損部分がはがれ、
不純物として坩堝内に落下することを防止することがで
きる。さらに本発明による種結晶ホルダ内における自由
移動によって付加的に、曲げによって不均衡が生じこれ
により結晶引上げ装置の支持力が減少することが回避さ
れる。
By configuring the seed crystal holder in this manner, the seed crystal is restricted within the seed crystal holder and can move upward when the support device moves downward when applied to the crystal block. It is. This avoids stress on the seed crystal and / or the seed crystal holder. This has eliminated the cause of the destruction in this area. Further, according to the present invention, the broken portion of the seed crystal and / or the neck portion is peeled off based on stress,
It is possible to prevent falling into the crucible as impurities. In addition, the free movement in the seed crystal holder according to the invention additionally avoids imbalances caused by bending, which prevents a reduction in the support of the crystal puller.

【0008】前記支持面は種々異なって形成されていて
よい。非常に簡単な実施形態として支持面が狭隘部によ
って形成されており、この狭隘部に種結晶のヘッド部が
載置されるようになっている。この種結晶はこのような
実施形態では上方から種結晶ホルダ内に挿入される必要
がある。
[0008] The support surface may be formed differently. In a very simple embodiment, the support surface is formed by a narrow part, in which the head of the seed crystal is mounted. This seed crystal must be inserted into the seed crystal holder from above in such an embodiment.

【0009】本発明の別の構成によって、狭隘部が円錐
体として形成されている場合、この種結晶は挿入後に必
然的に種結晶内でセンタリングされる。
According to another feature of the invention, if the constriction is formed as a cone, the seed crystal is necessarily centered in the seed crystal after insertion.

【0010】支持面が、別個の構成部材として種結晶ホ
ルダ内に挿入可能な、種結晶の減径部に係合する支持台
に設けられている場合、下方または側方からの種結晶の
挿入が可能である。
If the support surface is provided on a support which engages with the reduced diameter portion of the seed crystal and which can be inserted as a separate component into the seed crystal holder, the insertion of the seed crystal from below or from the side Is possible.

【0011】このような実施形態は、支持台が種結晶ホ
ルダ内に挿入された、それぞれ半円形の切欠を備えた互
いに向い合う側で減径部に係合する2つの支持プレート
から形成されていてかつ2つの支持プレートの半径方向
でのずれが種結晶ホルダに係合する係止スリーブによっ
て防止されている場合には、特に簡単に構成される。
In such an embodiment, the support is formed from two support plates inserted into the seed crystal holder, which engage the reduced diameter portion on opposite sides with respective semicircular notches. It is particularly simple if the two support plates are prevented from shifting in the radial direction by a locking sleeve which engages the seed crystal holder.

【0012】本発明は、種々異なる実施形態が可能であ
る。さらに本発明の基本原理を明確にするためにそれら
の実施形態のうち2つを図面に示した。
The invention is capable of various different embodiments. Two of these embodiments are shown in the drawings to further clarify the basic principles of the present invention.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】次に図面に基づき本発明の実施の
形態を詳説する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0014】図1には、従来技術に基づく保持体1が示
されており、この保持体1は主として種結晶ホルダ2と
支持装置3とを有している。保持体1は結晶体4を支持
する。この結晶体4は結晶ブロック5から成っており、
この結晶ブロック5は結晶の引き上げ時にはネック部6
を介して種結晶7に結合してしている。種結晶7自体は
種結晶ホルダ2内に保持されている。この種結晶ホルダ
2はこの実施例ではロープ8で懸吊されており、このロ
ープ8は、結晶体4の重量の一部を種結晶7を介して支
持するために、本来は緊張されていなければならない。
しかし図示した位置ではロープは弛緩しており、これに
より種結晶ホルダ2は傾いて、結晶ブロック5のネック
部6が種結晶7から折り取られる。このような欠点は、
例えば支持装置3が結晶ブロック5に当て付ける際に種
結晶ホルダ2に対して相対的に下方に滑動した場合に生
じる。
FIG. 1 shows a holder 1 according to the prior art, which has mainly a seed crystal holder 2 and a support device 3. The support 1 supports the crystal 4. This crystal 4 is composed of crystal blocks 5,
The crystal block 5 has a neck 6 when the crystal is pulled up.
To the seed crystal 7 via Seed crystal 7 itself is held in seed crystal holder 2. The seed crystal holder 2 is suspended by a rope 8 in this embodiment, and the rope 8 must be originally tensioned in order to support a part of the weight of the crystal 4 via the seed crystal 7. Must.
However, at the position shown, the rope is relaxed, whereby the seed crystal holder 2 is tilted and the neck 6 of the crystal block 5 is cut off from the seed crystal 7. Such disadvantages are:
For example, this occurs when the support device 3 slides downward relative to the seed crystal holder 2 when applied to the crystal block 5.

【0015】図2に示した種結晶ホルダ2の断面図から
種結晶ホルダ2が、収容部10が設けられた貫通した孔
9を有しているのが分かる。この収容部10は、下方区
分に狭隘部11を有しており、この狭隘部11は上方に
向けられた、円錐体によって形成された支持面12を有
している。種結晶7はヘッド部13を有しており、この
種結晶7のヘッド部13は支持面12上に載置されてい
る。ヘッド部13は収容部10より高くなく、これによ
り種結晶7は下から力が作用する際に収容部内で上方へ
向かって運動することが可能となる。
From the cross-sectional view of the seed crystal holder 2 shown in FIG. 2, it can be seen that the seed crystal holder 2 has a through hole 9 in which the accommodating portion 10 is provided. The housing 10 has a narrow section 11 in the lower section, the narrow section 11 having an upwardly directed support surface 12 formed by a cone. Seed crystal 7 has head portion 13, and head portion 13 of seed crystal 7 is placed on support surface 12. The head part 13 is not higher than the accommodation part 10, so that the seed crystal 7 can move upward in the accommodation part when a force acts from below.

【0016】図3には種結晶ホルダ2の内部で押し上げ
られた状態の種結晶7が示されている。この図ではヘッ
ド部13が収容部10の上方区分に位置しているのが分
かる。
FIG. 3 shows the seed crystal 7 pushed up inside the seed crystal holder 2. In this figure, it can be seen that the head part 13 is located in the upper section of the accommodation part 10.

【0017】図4〜図6に示した種結晶ホルダ2は、図
2および図3とは別の構成の種結晶7用に形成されてい
る。図2および図3と機能的に一致する部材は、図4〜
図6においても同じ部材番号で示した。この実施形態で
は、種結晶7はヘッド部13の下方に減径部14を有し
ており、該減径部14に支持台15が係合する。この支
持台15は種結晶7のヘッド部13のための支持面12
を形成する。種結晶ホルダ2は係止スリーブ16によっ
て取り囲まれているので、支持台15は側方に向かって
種結晶ホルダ2から突出することはない。図4では、種
結晶ホルダ2の上方にサポート機構17の引上げ軸の下
方端部が示されており、このサポート機構17に種結晶
ホルダ2がねじ締結される。
The seed crystal holder 2 shown in FIGS. 4 to 6 is formed for a seed crystal 7 having a different structure from those of FIGS. Members functionally identical to FIGS. 2 and 3 are shown in FIGS.
In FIG. 6, the same member numbers are used. In this embodiment, the seed crystal 7 has a reduced diameter portion 14 below the head portion 13, and the support 15 is engaged with the reduced diameter portion 14. The support 15 is a support surface 12 for the head 13 of the seed crystal 7.
To form Since the seed crystal holder 2 is surrounded by the locking sleeve 16, the support 15 does not protrude sideways from the seed crystal holder 2. FIG. 4 shows the lower end of the pulling shaft of the support mechanism 17 above the seed crystal holder 2, and the seed crystal holder 2 is screwed to the support mechanism 17.

【0018】図5には、種結晶ホルダ2の内部で押し上
げられた状態にある図3に相応する種結晶7が示されて
いる。
FIG. 5 shows the seed crystal 7 corresponding to FIG. 3 in a state of being pushed up inside the seed crystal holder 2.

【0019】図6の拡大された横断面図でみて、支持台
15が、種結晶ホルダ2の内部でそれぞれ半円形の切欠
20,21を備えた2つの支持プレート18,19から
成っているのが分かる。各切欠20,21が減径部14
を取り囲むように、支持プレート18,19はそれぞれ
の側から種結晶ホルダ2のスリット22内に挿入され
る。
In the enlarged cross-sectional view of FIG. 6, the support 15 consists of two support plates 18, 19 with semicircular notches 20, 21 inside the seed crystal holder 2, respectively. I understand. Each notch 20, 21 is a reduced diameter portion 14.
The support plates 18 and 19 are inserted into the slits 22 of the seed crystal holder 2 from each side so as to surround.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来技術による結晶引上げ装置の重要な部分領
域の概略図である。
FIG. 1 is a schematic view of an important partial region of a crystal pulling apparatus according to the prior art.

【図2】種結晶が挿入された本発明による種結晶ホルダ
の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a seed crystal holder according to the present invention into which a seed crystal has been inserted.

【図3】種結晶の位置が変えられた図2相応の本発明に
よる種結晶ホルダの断面図である。
3 shows a sectional view of the seed crystal holder according to the invention according to FIG. 2 with the position of the seed crystal changed.

【図4】種結晶が挿入された本発明による種結晶ホルダ
の第2実施形態の断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of a second embodiment of a seed crystal holder according to the present invention into which a seed crystal has been inserted.

【図5】種結晶の位置が変えられた図4相応の本発明に
よる種結晶ホルダの断面図である。
5 is a sectional view of the seed crystal holder according to the invention corresponding to FIG. 4 with the position of the seed crystal changed.

【図6】図4および図5に図示した種結晶ホルダの水平
断面図である。
FIG. 6 is a horizontal sectional view of the seed crystal holder shown in FIGS. 4 and 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 保持体、 2 種結晶ホルダ、 3 支持装置、
4 結晶体、 5 結晶ブロック、 6 ネック部、
7 種結晶、 8 ロープ、 9 孔、 10収容部、
11 狭隘部、 12 支持面、 13 ヘッド部、
14 減径部、 15 支持台、 16 係止スリー
ブ、 17 サポート機構、 18,19 支持プレー
ト、 20,21 切欠、 22 スリット
1 holder, 2 seed crystal holder, 3 support device,
4 crystal, 5 crystal block, 6 neck,
7 seed crystals, 8 ropes, 9 holes, 10 storage units,
11 narrow part, 12 support surface, 13 head part,
14 diameter reduction part, 15 support base, 16 locking sleeve, 17 support mechanism, 18, 19 support plate, 20, 21 notch, 22 slit

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 結晶引上げ装置であって、種結晶ホルダ
(2)が設けられていて、該種結晶ホルダ(2)が、鉛
直方向に運動可能なサポート機構に結合されており、該
サポート機構と同期的に運動可能な、結晶ブロック
(5)を支持するための支持装置(3)が設けられてい
て、前記結晶ブロック(5)が、ネック部(6)を介し
て、種結晶ホルダ(2)によって保持されている種結晶
(7)に結合されるようになっている形式のものにおい
て、 種結晶ホルダ(2)が、種結晶(7)を軸方向に移動可
能に保持するための収容部(10)を有しており、該収
容部(10)が下方に向かって支持面(12)によって
制限されていて、該支持面(12)に種結晶(7)が上
から載置されるようになっていることを特徴とする、結
晶引上げ装置。
1. A crystal pulling apparatus, comprising: a seed crystal holder (2); wherein the seed crystal holder (2) is coupled to a vertically movable support mechanism; A support device (3) is provided for supporting a crystal block (5), which can move synchronously with the crystal block (5), said crystal block (5) being connected via a neck (6) to a seed crystal holder ( In a type adapted to be coupled to the seed crystal (7) held by 2), a seed crystal holder (2) for holding the seed crystal (7) movably in the axial direction. A receiving portion (10), the receiving portion (10) being limited downward by a support surface (12), and a seed crystal (7) being placed on the support surface (12) from above. A crystal pulling apparatus, characterized in that the crystal pulling apparatus is adapted to be used.
【請求項2】 支持面(12)が、狭隘部(11)によ
って形成されており、該狭隘部(11)上に種結晶
(7)のヘッド部(13)が載置されるようになってい
る、請求項1記載の結晶引上げ装置
2. A support surface (12) is formed by a narrow portion (11), and a head portion (13) of a seed crystal (7) is placed on the narrow portion (11). 2. The crystal pulling apparatus according to claim 1, wherein
【請求項3】 狭隘部(11)が円錐体として形成され
ている、請求項2記載の結晶引上げ装置。
3. The crystal pulling device according to claim 2, wherein the constriction is formed as a cone.
【請求項4】 支持面(12)が、別個の構成部材とし
て種結晶ホルダ(2)内に挿入可能な、種結晶(7)の
減径部(14)に係合する支持台(15)を有してい
る、請求項1から3までのいずれか1項記載の結晶引上
げ装置。
4. A support (15) whose support surface (12) engages a reduced diameter portion (14) of a seed crystal (7), which can be inserted as a separate component into the seed crystal holder (2). The crystal pulling apparatus according to any one of claims 1 to 3, comprising:
【請求項5】 支持台(15)が、それぞれ半円形の切
欠(20,21)を備えた互いに向い合う側で減径部
(14)に係合する、種結晶ホルダ(2)内に挿入され
た2つの支持プレート(18,19)から形成されてお
り、支持プレート(18,19)の半径方向のずれが、
種結晶ホルダ(2)に係合する係止スリーブ(16)に
よって防止されるようになっている、請求項4記載の結
晶引上げ装置。
5. Insertion into a seed crystal holder (2) in which a support (15) engages a reduced diameter section (14) on opposite sides with respective semicircular notches (20, 21). And the support plate (18, 19) is formed from the support plate (18, 19).
5. The crystal pulling device according to claim 4, wherein the device is prevented by a locking sleeve (16) engaging the seed crystal holder (2).
JP2000032216A 1999-02-12 2000-02-09 Crystal puller Pending JP2000239094A (en)

Applications Claiming Priority (2)

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DE19905870.9 1999-02-12
DE19905870A DE19905870A1 (en) 1999-02-12 1999-02-12 Crystal growth unit has a seed holder with a recess allowing upwards axial movement of the seed to avoid crystal neck kinking or fracture

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