JP2000234996A - Particle counter - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光等を使
い、測定流体（例えば上水など）の浮遊物をカウントす
る装置において、測定流体の流量を一定にするパーティ
クルカウンター計に関する発明である。。更に詳述すれ
ば、測定精度が向上出来るパーティクルカウンター計に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for counting suspended matters of a measuring fluid (for example, tap water) using a laser beam or the like, and relates to a particle counter for keeping the flow rate of the measuring fluid constant. . More specifically, the present invention relates to a particle counter capable of improving measurement accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図である。図において、測定流体ＦＬ
ｏは、ボール弁１を経てヘッドタンク３（脱泡槽）に導
かれる。2. Description of the Related Art FIG. 2 is an explanatory view of the configuration of a conventional example generally used conventionally. In the figure, the measurement fluid FL
o is led to the head tank 3 (defoaming tank) via the ball valve 1.
【０００３】ヘッドタンク３は、所定のヘッド圧を確保
すると共に、脱泡槽の機能をも有する。ボール弁２は、
ヘッドタンク３の排水Ａのために使用される。The head tank 3 has a function of a defoaming tank while ensuring a predetermined head pressure. Ball valve 2
Used for drainage A of the head tank 3.
【０００４】ヘッドタンク３のレベルは、オーバーフロ
ー流体Ｂで規制される。ヘッドタンク３の底部から測定
流体ＦＬｏは取り出され、粒子カウンター４の下部から
上部に流された後、流量計５で測定流体の流量が測定監
視される。The level of the head tank 3 is regulated by the overflow fluid B. The measuring fluid FLo is taken out from the bottom of the head tank 3 and is flowed from the lower part of the particle counter 4 to the upper part.
【０００５】粒子カウンター４では、粒子カウンター４
を単位時間に通過する浮遊物の大きさと個数をカウント
して出力している。ニードル弁５では、測定流体ＦＬｏ
の流量が調整される。[0005] In the particle counter 4, the particle counter 4
The size and number of suspended matter that passes through in a unit time are counted and output. In the needle valve 5, the measurement fluid FLo
Is adjusted.
【０００６】即ち、測定流体ＦＬｏに圧力がかかってい
ない場合は、オーバーヘッドタンク３の水頭を利用し、
検出器４・流量計５とつなぎ、ニードル弁６で流量調整
をしている。測定流体ＦＬｏに圧力のある場合は、下流
側に定流量弁等を使用する。That is, when pressure is not applied to the measurement fluid FLo, the head of the overhead tank 3 is used,
It is connected to the detector 4 and the flow meter 5, and the flow rate is adjusted by the needle valve 6. When the measurement fluid FLo has a pressure, a constant flow valve or the like is used on the downstream side.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、粒子カウン
ター４では、粒子カウンター４を単位時間に通過する浮
遊物の大きさと個数をカウントして出力している。従っ
て、流量変動がそのまま測定精度につながることにな
る。By the way, the particle counter 4 counts and outputs the size and number of suspended matter passing through the particle counter 4 per unit time. Therefore, the flow rate fluctuation directly leads to the measurement accuracy.
【０００８】一方、測定流体ＦＬｏは、温度変化や圧力
変動により、気泡が発生する。特に、流量計５のフロー
ト部分やニードル弁６では、測定管路が一旦狭くなるの
で、気泡が発生し易く、発生した気泡はフロートや接ぎ
手部分に付着すると、管路抵抗となったり、水頭を低く
するなどして、流量が減少する。On the other hand, air bubbles are generated in the measurement fluid FLo due to a change in temperature or a change in pressure. In particular, in the float portion of the flow meter 5 and the needle valve 6, since the measurement pipe is once narrowed, air bubbles are likely to be generated. If the generated bubbles adhere to the float or the joint, the pipe resistance or the water head may be generated. For example, the flow rate is reduced.
【０００９】定流量弁でも、気泡が入ると液体と違い圧
縮性があるため、圧力変動で制御系が乱れ、ハンチング
を起こす。Even in the case of a constant flow rate valve, when air bubbles enter, since it has compressibility unlike liquid, the control system is disturbed by pressure fluctuation and hunting occurs.
【００１０】本発明は、上記の課題を解決するものであ
る。本発明の目的は、測定精度が向上出来るパーティク
ルカウンター計を提供することにある。The present invention solves the above-mentioned problems. An object of the present invention is to provide a particle counter capable of improving measurement accuracy.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１のパーティクルカウン
ター計においては、測定流体が流入され測定流体の脱泡
と所定圧の測定流体が流出されるヘッドタンクと、この
ヘッドタンクからの測定流体が供給され測定流体の浮遊
物をカウントする粒子カウンターと、この粒子カウンタ
ーの排水の流量を測定する流量計とを具備するパーティ
クルカウンター計において、前記粒子カウンターに一端
が接続され他端が大気に開放されると共に他端が前記ヘ
ッドタンクとの測定流体のレベル差により前記測定流体
の流量を調節可能なように移動可能に構成された排水パ
イプと、この排水パイプの他端より排出された測定流体
を溜めこの測定流体の水位が前記排水パイプの前記他端
の口を塞がないように配置された排水槽と、この排水槽
よりの測定流体の流量を測定する流量計とを具備したこ
とを特徴とする。In order to achieve the above object, according to the present invention, in the particle counter according to the first aspect of the present invention, the measuring fluid is introduced, the defoaming of the measuring fluid and the measuring fluid having a predetermined pressure are performed. In the head tank to be discharged, a particle counter that is supplied with the measurement fluid from the head tank and counts the suspended matter of the measurement fluid, and a particle counter that includes a flow meter that measures the flow rate of drainage of the particle counter, A drain pipe having one end connected to the particle counter and the other end open to the atmosphere, and the other end movable so that the flow rate of the measurement fluid can be adjusted by a level difference of the measurement fluid from the head tank; And the level of the measurement fluid discharged from the other end of the drain pipe does not block the mouth of the other end of the drain pipe. And placed drainage tank, characterized by comprising a flow meter for measuring the flow rate of the measurement fluid from the sump.
【００１２】この結果、 簡潔な構成により、安価で、常に一定流量が得られ、
測定精度が向上されたパーティクルカウンター計が得ら
れる。As a result, with a simple configuration, an inexpensive, constant flow can always be obtained.
A particle counter with improved measurement accuracy can be obtained.
【００１３】また、排水槽は、ヘッドタンク以降に発
生した気泡、特に、粒子カウンタで絞られるため、その
直後に発生する気泡も取り除くことが出来るので、流量
精度が向上され、結果として、測定精度が向上されたパ
ーティクルカウンター計が得られる。Further, since the drain tank is squeezed by a bubble counter, particularly a bubble generated after the head tank, by a particle counter, bubbles generated immediately thereafter can be removed, so that the flow rate accuracy is improved, and as a result, the measurement accuracy is improved. Is obtained, the particle counter of which is improved.
【００１４】本発明の請求項２においては、請求項１記
載のパーティクルカウンター計において、前記排水パイ
プの他端側が内筒を構成し排水槽が外筒を構成する二重
管を具備した事を特徴とする。この結果、構成が簡単に
なり、安価なパーティクルカウンター計が得られる。According to a second aspect of the present invention, in the particle counter of the first aspect, the other end of the drainage pipe has an inner cylinder, and the drainage tank has a double pipe having an outer cylinder. Features. As a result, the configuration is simplified, and an inexpensive particle counter can be obtained.
【００１５】本発明の請求項３においては、請求項１又
は請求項２記載のパーティクルカウンター計において、
全ての配管にテフロン管が使用された事を特徴とする。According to a third aspect of the present invention, there is provided a particle counter according to the first or second aspect,
It is characterized in that Teflon pipes are used for all pipes.
【００１６】この結果、途中で気泡が発生しても、配管
に気泡が付着しにくいので、更に、精度が向上されたパ
ーティクルカウンター計が得られる。As a result, even if air bubbles are generated on the way, the air bubbles hardly adhere to the pipe, so that a particle counter with further improved accuracy can be obtained.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図２と同一記号の構成は同一機能を
表す。以下、図２と相違部分のみ説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention. In the figure, the configuration of the same symbol as FIG. 2 represents the same function. Hereinafter, only differences from FIG. 2 will be described.
【００１８】図において、排水パイプ１１は、粒子カウ
ンター４に一端１１１が接続され他端１１２が大気に開
放されると共に、他端１１２がヘッドタンク３との測定
流体ＦＬｏのレベル差により測定流体ＦＬｏの流量を調
節可能なように、移動可能に構成されている。In FIG. 1, a drain pipe 11 has one end 111 connected to the particle counter 4 and the other end 112 opened to the atmosphere, and the other end 112 measured by the level difference of the measurement fluid FLo with the head tank 3. It is configured to be movable so that the flow rate can be adjusted.
【００１９】排水槽１２は、この排水パイプ１１の他端
１１２より排出された測定流体ＦＬｏを溜め、この測定
流体ＦＬｏの水位が、排水パイプ１１の他端１１２の口
を塞がないように配置されている。The drainage tank 12 stores the measurement fluid FLo discharged from the other end 112 of the drainage pipe 11 so that the water level of the measurement fluid FLo does not block the mouth of the other end 112 of the drainage pipe 11. Have been.
【００２０】この場合は、排水パイプ１１の他端１１２
側が内筒を構成し、排水槽１２が外筒を構成する二重管
構造が採用されている。流量計１３は、この排水槽１２
よりの測定流体ＦＬｏの流量を測定する。In this case, the other end 112 of the drain pipe 11
A double pipe structure is adopted in which the side constitutes an inner cylinder and the drainage tank 12 constitutes an outer cylinder. The flow meter 13 is connected to the drain tank 12.
The flow rate of the measurement fluid FLo is measured.
【００２１】以上の構成において、測定流体ＦＬｏはボ
ール弁１を介してヘッドタンク３（脱泡槽）に導かれ
る。ヘッドタンク３のレベルは、オーバーフロー水Ｂで
規制される。In the above configuration, the measurement fluid FLo is guided to the head tank 3 (defoaming tank) via the ball valve 1. The level of the head tank 3 is regulated by the overflow water B.
【００２２】ヘッドタンク３の底部から、測定流体ＦＬ
ｏが取り出され、粒子カウンター４の下部から上部に流
された後、排水パイプ１１を介して、排水槽１２の底か
ら排水槽１２へ流入されるFrom the bottom of the head tank 3, the measuring fluid FL
After o is taken out and flows from the lower part of the particle counter 4 to the upper part, it flows into the drain tank 12 from the bottom of the drain tank 12 through the drain pipe 11.
【００２３】排水パイプ１１の他端１１２は排水槽１２
の上部まで伸びており、排水パイプ１１の他端１１２
は、測定流体ＦＬｏの水面の上に出ている排水槽１２
は、図の上下方向に、取付位置の調整ができるようにな
っていて、ヘッドタンク３の水位と排水パイプ１１の他
端１１２とのレベル差で測定流体ＦＬｏの流量を調整で
きるようになっている。粒子カウンター４の下流で発生
する気泡は、排水パイプ１１の他端１１２で放出される
ので、気泡は流量計１３まで流れず、流量計１３での測
定誤差にならず、所定の一定流量が確保出来る。The other end 112 of the drain pipe 11 is
And the other end 112 of the drain pipe 11
Is a drainage tank 12 projecting above the surface of the measurement fluid FLo.
In the figure, the mounting position can be adjusted in the vertical direction in the figure, and the flow rate of the measurement fluid FLo can be adjusted by the level difference between the water level of the head tank 3 and the other end 112 of the drain pipe 11. I have. Since bubbles generated downstream of the particle counter 4 are discharged at the other end 112 of the drain pipe 11, the bubbles do not flow to the flow meter 13, do not cause a measurement error in the flow meter 13, and secure a predetermined constant flow rate. I can do it.
【００２４】流量は、具体的には、例えば、50〜100ml
／min位であるなお、ヘッドタンク３の水位と排水パイ
プ１１の他端１１２とのレベル差で、測定流体ＦＬｏの
流量を調整できれば良いので、排水パイプ１１の他端１
１２のみが、図の上下方向に、取付位置の調整が出来れ
ば良く、排水槽１２は固定されていても良い。The flow rate is, for example, 50 to 100 ml.
It is sufficient that the flow rate of the measurement fluid FLo can be adjusted by the level difference between the water level of the head tank 3 and the other end 112 of the drain pipe 11.
It is only necessary that only 12 can adjust the mounting position in the vertical direction in the figure, and the drainage tank 12 may be fixed.
【００２５】排水槽１２の底から、流量計１３を介して
測定流体ＦＬｏを排出し、流量を監視する。流量計１３
を通過した後、測定流体ＦＬｏは大気中に解放され、排
水される。The measuring fluid FLo is discharged from the bottom of the drainage tank 12 through the flow meter 13 and the flow rate is monitored. Flow meter 13
, The measurement fluid FLo is released to the atmosphere and drained.
【００２６】ここで、流量計１３部分では、圧力変動や
温度上昇で測定流体ＦＬｏ中に気泡が発生しやすく、気
泡が流路に付着すると流量が減ってくる。すると、排水
槽１３の測定流体ＦＬｏの入りと出のバランスが崩れ、
水位が上がってくる。Here, in the flow meter 13 part, bubbles tend to be generated in the measurement fluid FLo due to pressure fluctuations and temperature rises, and when the bubbles adhere to the flow path, the flow rate decreases. Then, the balance between the entrance and exit of the measurement fluid FLo in the drainage tank 13 is broken,
The water level rises.
【００２７】水位が上がると、流量計１３を通過した後
の、大気解放されている水位とのレベル差が広がり、測
定流体ＦＬｏの流量が増えるので、バランスした水位に
自動的になる。When the water level rises, the level difference from the water level released to the atmosphere after passing through the flow meter 13 increases, and the flow rate of the measurement fluid FLo increases, so that the water level automatically becomes a balanced water level.
【００２８】従って安価で、測定流体ＦＬｏの一定流量
が保たれ、流量計測の精度が向上されたパーティクルカ
ウンター計が得られる。Therefore, it is possible to obtain a particle counter which is inexpensive, maintains a constant flow rate of the measurement fluid FLo, and improves the accuracy of flow rate measurement.
【００２９】この結果、 （１）測定流体ＦＬｏが流れる途中で発生する気泡が、
流量計１３や、ニードル弁６に付着すると、測定流体Ｆ
Ｌｏの流量が下がる場合でも、途中に排水槽１２を設け
ることにより、粒子カウンター４を流れる測定流体ＦＬ
ｏは一定流量が得られ、かつ、排水槽１２の下流の流量
計１３で発生する気泡による抵抗は、排水槽１２の水面
が上下に動いて自動的に調節される。As a result, (1) bubbles generated during the flow of the measurement fluid FLo are:
When it adheres to the flow meter 13 or the needle valve 6, the measurement fluid F
Even when the flow rate of Lo is reduced, the measurement fluid FL flowing through the particle counter 4 is provided by providing the drainage tank 12 on the way.
In o, a constant flow rate is obtained, and the resistance due to bubbles generated in the flow meter 13 downstream of the drainage tank 12 is automatically adjusted by moving the water surface of the drainage tank 12 up and down.
【００３０】したがって、 簡潔な構成により、安価で、常に一定流量が得られ、
測定精度が向上されたパーティクルカウンター計が得ら
れる。Therefore, with a simple configuration, a constant flow rate can always be obtained at a low cost.
A particle counter with improved measurement accuracy can be obtained.
【００３１】また、排水槽１２は、ヘッドタンク３以
降に発生した気泡、特に、粒子カウンタ４で絞られるた
め、その直後に発生する気泡も取り除くことが出来るの
で、流量精度が向上され、結果として、測定精度が向上
されたパーティクルカウンター計が得られる。Further, since the drainage tank 12 is squeezed by the air bubbles generated after the head tank 3, in particular, the particle counter 4, the air bubbles generated immediately thereafter can be removed. Thus, a particle counter with improved measurement accuracy can be obtained.
【００３２】（２）排水パイプ１１の他端１１２側が内
筒を構成し、排水槽１２が外筒を構成する二重管が構成
されれば、構成が簡単になり、安価なパーティクルカウ
ンター計が得られる。(2) If the other end 112 of the drain pipe 11 constitutes an inner cylinder and the drain tank 12 constitutes a double pipe constituting an outer cylinder, the construction becomes simple and an inexpensive particle counter can be obtained. can get.
【００３３】（３）配管にテフロン管が使用されれば、
途中で気泡が発生しても、配管に気泡が付着しにくいの
で、更に、精度が向上されたパーティクルカウンター計
が得られる。(3) If a Teflon pipe is used for the pipe,
Even if air bubbles are generated on the way, the air bubbles hardly adhere to the pipe, so that a particle counter with further improved accuracy can be obtained.
【００３４】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。The foregoing description has been directed to specific preferred embodiments for the purpose of describing and illustrating the invention. Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many more modifications without departing from the spirit thereof.
This includes deformation.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。粒子カウンターに一
端が接続され他端が大気に開放されると共に他端がヘッ
ドタンクとの測定流体のレベル差により測定流体の流量
を調節可能なように移動可能に構成された排水パイプ
と、この排水パイプの他端より排出された測定流体を溜
めこの測定流体の水位が排水パイプの他端の口を塞がな
いように配置された排水槽と、この排水槽よりの測定流
体の流量を測定する流量計とが設けられた。As described above, according to the first aspect of the present invention,
According to the above, the following effects are obtained. One end is connected to the particle counter, the other end is open to the atmosphere, and the other end is configured to be movable so that the flow rate of the measurement fluid can be adjusted by the level difference of the measurement fluid from the head tank, A drain tank that collects the measurement fluid discharged from the other end of the drain pipe and that is arranged so that the water level of the measurement fluid does not block the other end of the drain pipe, and measures the flow rate of the measurement fluid from the drain tank. And a flow meter to be provided.
【００３６】したがって、 簡潔な構成により、安価で、常に一定流量が得られ、
測定精度が向上されたパーティクルカウンター計が得ら
れる。 また、排水槽は、ヘッドタンク以降に発生した気泡も
取り除くことができるので、測定精度が向上されたパー
ティクルカウンター計が得られる。Therefore, with a simple structure, a constant flow rate can always be obtained at a low cost.
A particle counter with improved measurement accuracy can be obtained. Further, the drain tank can also remove bubbles generated after the head tank, so that a particle counter with improved measurement accuracy can be obtained.
【００３７】本発明の請求項２によれば、排水パイプの
他端側が内筒を構成し、排水槽が外筒を構成する二重管
が構成されたので、構成が簡単になり、安価なパーティ
クルカウンター計が得られる。According to the second aspect of the present invention, the other end of the drainage pipe constitutes an inner cylinder, and the drainage tank constitutes a double pipe constituting an outer cylinder. A particle counter is obtained.
【００３８】本発明の請求項３によれば、全ての配管に
テフロン管が使用されたので、途中で気泡が発生して
も、配管に気泡が付着しにくいので、更に、精度が向上
されたパーティクルカウンター計が得られる。According to the third aspect of the present invention, since Teflon pipes are used for all the pipes, even if air bubbles are generated on the way, the air bubbles hardly adhere to the pipes, so that the accuracy is further improved. A particle counter is obtained.
【００３９】従って、本発明によれば、測定精度が向上
出来るパーティクルカウンター計を実現することが出来
る。Therefore, according to the present invention, it is possible to realize a particle counter capable of improving measurement accuracy.
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a main part configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of a configuration of a main part of a conventional example generally used in the related art.
１ ボール弁 ２ ボール弁 ３ ヘッドタンク ４ 粒子カウンター １１ 排水パイプ １１１ 一端 １１２ 他端 １２ 排水槽 １３ 流量計 A 排水 B オーバーフロー流体 ＦＬｏ 測定流体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ball valve 2 Ball valve 3 Head tank 4 Particle counter 11 Drain pipe 111 One end 112 Other end 12 Drain tank 13 Flow meter A Drain B Overflow fluid FLo Measurement fluid
Claims (3)
圧の測定流体が流出されるヘッドタンクと、 このヘッドタンクからの測定流体が供給され測定流体の
浮遊物をカウントする粒子カウンターと、 この粒子カウンターの排水の流量を測定する流量計とを
具備するパーティクルカウンター計において、 前記粒子カウンターに一端が接続され他端が大気に開放
されると共に他端が前記ヘッドタンクとの測定流体のレ
ベル差により前記測定流体の流量を調節可能なように移
動可能に構成された排水パイプと、 この排水パイプの他端より排出された測定流体を溜めこ
の測定流体の水位が前記排水パイプの前記他端の口を塞
がないように配置された排水槽と、 この排水槽よりの測定流体の流量を測定する流量計とを
具備したことを特徴とするパーティクルカウンター計。1. A head tank into which a measuring fluid flows, a defoaming of the measuring fluid and a measuring fluid having a predetermined pressure flow out, a particle counter which is supplied with the measuring fluid from the head tank and counts suspended matters of the measuring fluid. A particle counter having a flow meter for measuring the flow rate of waste water of the particle counter, wherein one end is connected to the particle counter and the other end is opened to the atmosphere, and the other end is connected to the head tank. A drain pipe configured to be movable so that the flow rate of the measurement fluid can be adjusted according to a level difference, and a measurement fluid discharged from the other end of the drain pipe is stored, and a water level of the measurement fluid is equal to the other level of the drain pipe. A par with a drain tank arranged so as not to block the end of the mouth, and a flow meter for measuring a flow rate of a measurement fluid from the drain tank. I cycle counter meter.
水槽が外筒を構成する二重管を具備した事を特徴とする
請求項１記載のパーティクルカウンター計。2. The particle counter according to claim 1, wherein the other end of the drain pipe comprises an inner cylinder and the drain tank comprises a double pipe which constitutes an outer cylinder.
特徴とする請求項１又は請求項２記載のパーティクルカ
ウンター計。3. The particle counter according to claim 1, wherein Teflon pipes are used for all the pipes.
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|---|---|---|---|
| JP11036639A JP2000234996A (en) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | Particle counter |
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| JP11036639A JP2000234996A (en) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | Particle counter |
Publications (1)
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| JP2000234996A true JP2000234996A (en) | 2000-08-29 |
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| JP11036639A Withdrawn JP2000234996A (en) | 1999-02-16 | 1999-02-16 | Particle counter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000234996A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018509637A (en) * | 2015-02-23 | 2018-04-05 | ティーエスアイ インコーポレイテッド | Fake counting performance of condensed particle counter |
-
1999
- 1999-02-16 JP JP11036639A patent/JP2000234996A/en not_active Withdrawn
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| US10520414B2 (en) | 2015-02-23 | 2019-12-31 | Tsi Incorporated | Condensation particle counter false count performance |
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