JP2000227565A - Reflection mirror fixing structure and reflection mirror optical system - Google Patents
Reflection mirror fixing structure and reflection mirror optical systemInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いた
走査光学系等に利用される反射ミラー固定構造及び反射
ミラー光学系に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflection mirror fixing structure and a reflection mirror optical system used for a scanning optical system using a laser beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザ光を用いた走査光学系を有する装
置の中でも、特に高精度の描画が要求されるものとし
て、銀塩フィルムに露光するレーザフォトプロッタ、及
びフォトレジストに露光するダイレクトイメージャ等の
露光装置がある。これらの装置は、光源から発したレー
ザ光を、所定の露光面に収束させるために、レンズ，光
学分岐素子，及び音響光学素子等を有しているため、光
学系全体の光路長がどうしても長くなってしまう。そこ
で、光路の途中にレーザ光を反射させるための反射ミラ
ーを介在させて、その光路を屈曲させることにより、装
置をコンパクトにまとめる必要がある。2. Description of the Related Art Among apparatuses having a scanning optical system using a laser beam, those requiring particularly high-precision drawing include a laser photoplotter for exposing a silver halide film and a direct imager for exposing a photoresist. Exposure apparatus. These apparatuses have a lens, an optical branching element, an acousto-optical element, and the like in order to converge laser light emitted from a light source to a predetermined exposure surface, so that the optical path length of the entire optical system is inevitably long. turn into. Therefore, it is necessary to make the device compact by interposing a reflection mirror for reflecting the laser light in the middle of the optical path and bending the optical path.
【０００３】この反射ミラーを装置内の所望の位置に直
接固定することは難しいので、該反射ミラーを固定する
ためのミラー保持枠，及び該ミラー保持枠を支持する脚
部を有する反射ミラー固定構造によって、当該反射ミラ
ーをその装置内の所望の位置に固定する。即ち、予め、
そのミラー保持枠に反射ミラーを嵌合固定した後、装置
の所定位置に脚部を固定することにより、当該反射ミラ
ーを光路上の所望の位置に配置することができる。Since it is difficult to directly fix the reflecting mirror at a desired position in the apparatus, a reflecting mirror fixing structure having a mirror holding frame for fixing the reflecting mirror and a leg for supporting the mirror holding frame. Thereby, the reflecting mirror is fixed at a desired position in the device. That is,
After the reflection mirror is fitted and fixed to the mirror holding frame, the leg is fixed to a predetermined position of the apparatus, whereby the reflection mirror can be arranged at a desired position on the optical path.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の反射ミラー固定構造では、保持枠に固定された
反射ミラーの面精度を高くすることが難しい。露光装置
等の走査光学系では、その反射ミラーのミラー面におけ
るレーザ光の波長レベル以下の誤差が、描画品質に影響
してしまう。たとえ、反射ミラー自体の面精度を高くし
たとしても、保持枠の加工精度を高くすることは難しい
ので、結局、その保持枠に反射ミラーを固定すると、該
反射ミラーは保持枠の加工精度に起因する形状の誤差分
だけ湾曲してしまう。However, in the above-described conventional reflecting mirror fixing structure, it is difficult to increase the surface accuracy of the reflecting mirror fixed to the holding frame. In a scanning optical system such as an exposure apparatus, an error that is equal to or less than the wavelength level of laser light on the mirror surface of the reflection mirror affects the writing quality. Even if the surface accuracy of the reflecting mirror itself is increased, it is difficult to increase the processing accuracy of the holding frame. Therefore, when the reflecting mirror is fixed to the holding frame, the reflecting mirror is caused by the processing accuracy of the holding frame. It is curved by the error of the shape to be formed.
【０００５】図４は、反射ミラーの湾曲を模式的に示し
ている。反射ミラー１は、左右の両端部が内側に（ミラ
ー面１Ａが凹面となるように）湾曲した例を示してい
る。このように湾曲した反射ミラー１へ入射してきたレ
ーザ光Ｌ1は、そのミラー面１Ａによって反射される
と、縦方向と横方向とで異なるパワーを受けるので、そ
の後収束された際には、縦方向のピント位置と横方向の
ピント位置とがずれてしまう（非点隔差の発生）。この
非点隔差が発生すると、最終的に、露光装置の所定の描
画面における描画品質が低下することになる。FIG. 4 schematically shows the curvature of the reflection mirror. The reflecting mirror 1 shows an example in which both left and right ends are curved inward (so that the mirror surface 1A is concave). Laser light L 1 that has been incident on the reflecting mirror 1 that is curved in this way, once reflected by the mirror surface 1A, since experience different powers in the vertical direction and the horizontal direction, when it is then converged, vertical The focus position in the horizontal direction is shifted from the focus position in the horizontal direction (occurrence of astigmatic difference). When this astigmatic difference occurs, finally, the drawing quality on a predetermined drawing surface of the exposure apparatus deteriorates.
【０００６】その非点隔差を解消させるために、プリズ
ム又はシリンダーレンズを用いて補正することも考えら
れるが、装置のコストが高くなるだけでなく、調整も困
難であり、現実的ではない。In order to eliminate the astigmatic difference, correction using a prism or a cylinder lens is conceivable. However, this not only increases the cost of the apparatus but also makes adjustment difficult, which is not practical.
【０００７】そこで、反射ミラーに起因する非点隔差
を、充分小さく抑えることが可能な反射ミラー固定構造
及び反射ミラー光学系を提供することを、本発明の課題
とする。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a reflecting mirror fixing structure and a reflecting mirror optical system capable of sufficiently reducing the astigmatic difference caused by the reflecting mirror.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明による走査式描画
装置は、上記課題を解決するために、以下のような構成
を採用した。In order to solve the above-mentioned problems, the scanning type drawing apparatus according to the present invention employs the following configuration.
【０００９】即ち、請求項１記載の反射ミラー固定構造
は、レーザ光を反射させる反射ミラーを保持するととも
に、複数の取付座を有するミラー保持部と、このミラー
保持部が前記反射ミラーを保持した状態で、当該ミラー
保持部を、前記反射ミラーのミラー面内における複数の
回転位置に配置させるように、前記取付座の任意のもの
と係合して、当該ミラー保持部を支持固定する脚部と
を、備えることを特徴とする。That is, the reflecting mirror fixing structure according to the first aspect holds a reflecting mirror for reflecting a laser beam, a mirror holding portion having a plurality of mounting seats, and the mirror holding portion holds the reflecting mirror. In such a state, the mirror holding portion is engaged with an optional one of the mounting seats so as to dispose the mirror holding portion at a plurality of rotation positions in the mirror plane of the reflection mirror, and the leg portion supports and fixes the mirror holding portion. And characterized in that:
【００１０】このように構成されると、ミラー保持部の
取付手段によって、反射ミラーを該反射ミラーの面内に
おける所望の回転位置に配置することができるので、そ
の反射ミラーに対して所定の角度で入射してきたレーザ
光が、そのミラー面によって反射された場合に、その反
射光に生じる非点隔差を小さく抑えることができる。[0010] With this configuration, the reflecting mirror can be arranged at a desired rotational position in the plane of the reflecting mirror by the mounting means of the mirror holding portion. When the laser light incident on the mirror surface is reflected by the mirror surface, the astigmatic difference generated in the reflected light can be suppressed to a small value.
【００１１】請求項２記載の反射ミラー固定構造は、請
求項１において、前記脚部に固定されるとともに、前記
取付座の任意のものと係合可能な取付部を、さらに備え
ることで、特定したものである。A second aspect of the present invention is a reflective mirror fixing structure according to the first aspect, further comprising a mounting portion fixed to the leg portion and capable of engaging with any of the mounting seats. It was done.
【００１２】請求項３記載の反射ミラー固定構造は、請
求項１又は請求項２において、前記ミラー保持部を、前
記反射ミラーの面内で９０度回転させた場合に、その回
転の前後で相対応する位置に、１対の前記取付座を配設
したことで、特定したものである。なお、ミラー保持部
に、複数の取付座を、前記の９０度以外の位置にも設け
ることとしてもよい。According to a third aspect of the present invention, in the reflecting mirror fixing structure according to the first or second aspect, when the mirror holding unit is rotated by 90 degrees in the plane of the reflecting mirror, the phase is changed before and after the rotation. This is specified by disposing the pair of mounting seats at corresponding positions. Note that a plurality of mounting seats may be provided on the mirror holding unit at positions other than the above-described 90 degrees.
【００１３】請求項４記載の反射ミラー固定構造は、請
求項１〜３のいずれかにおいて、前記ミラー保持部の取
付座のうち、所定角度で前記反射ミラーに入射したレー
ザ光の反射光に発生する非点隔差を最小とするものを選
択し、その選択された取付座を前記脚部に固定すること
で、特定したものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the reflecting mirror fixing structure according to any one of the first to third aspects, wherein the reflected light of the laser beam incident on the reflecting mirror at a predetermined angle is formed in the mounting seat of the mirror holding portion. This is specified by selecting the one that minimizes the astigmatism difference and fixing the selected mounting seat to the leg.
【００１４】請求項５に記載の反射ミラー光学系は、複
数の前記反射ミラーを、該反射ミラーに起因する非点隔
差が相殺し合うように、請求項１〜４のいずれかに記載
の反射ミラー固定構造によって固定して成ることを特徴
とする。According to a fifth aspect of the present invention, in the reflecting mirror optical system, the plurality of the reflecting mirrors are arranged such that the astigmatic difference caused by the reflecting mirrors cancels each other. It is characterized by being fixed by a mirror fixing structure.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
一実施形態を説明する。 ＜露光装置の走査光学系＞以下に、図１を参照して、本
実施形態の反射ミラー固定構造を用いた露光装置の走査
光学系について説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. <Scanning Optical System of Exposure Apparatus> The scanning optical system of the exposure apparatus using the reflection mirror fixing structure of the present embodiment will be described below with reference to FIG.
【００１６】露光装置は、固定的に設けられたレーザ光
源１０及び光学台１１と、これに対して図中Ｘ方向にス
ライド可能に配設された描画テーブル１２とを備える。
ここでは光源１０としてアルゴンレーザを用いており、
この光源１０から出射されたレーザ光は、光学台１１に
配置された走査光学系を介して描画テーブル１２上の描
画面１３に、前記Ｘ方向に対して直交するＹ方向の走査
線を形成する。The exposure apparatus includes a laser light source 10 and an optical table 11 which are fixedly provided, and a drawing table 12 which is slidably provided in the X direction in the drawing.
Here, an argon laser is used as the light source 10,
The laser light emitted from the light source 10 forms a scanning line in a Y direction orthogonal to the X direction on a drawing surface 13 on a drawing table 12 via a scanning optical system arranged on an optical bench 11. .
【００１７】光学台１１の下側に配置された光源１０か
ら出射されたレーザ光は、ミラー２０，２１により反射
されて光学台１１に形成された光路孔１１ａを通過し、
ミラー２２で反射された後、変倍レンズ系２３によって
そのビーム径が調整される。変倍レンズ系２３を透過し
たレーザ光は、ハーフミラー２４によって、反射される
描画光ＬD（図１において実線で示す）と、透過するモ
ニタ光ＬM（図１において一点鎖線で示す）とに分離さ
れる。The laser light emitted from the light source 10 disposed below the optical bench 11 is reflected by mirrors 20 and 21 and passes through an optical path hole 11a formed in the optical bench 11.
After being reflected by the mirror 22, the beam diameter is adjusted by the variable power lens system 23. The laser light transmitted through the variable power lens system 23 is reflected by the half mirror 24 into drawing light L D (shown by a solid line in FIG. 1) and transmitted monitor light L M (shown by a dashed line in FIG. 1). Is separated into
【００１８】描画光ＬDは、ハーフミラー２５により二
分され、反射された描画光はビームセパレータ２６ａに
入射し、透過した描画光はミラー２７を介してビームセ
パレータ２６ｂに入射する。各ビームセパレータ２６
ａ，２６ｂは、夫々の描画光をさらに複数本に分離する
機能を有する。なお、ここに示す例では、各描画光は８
本に分離されるのだが、図１では図示の都合上３本の線
で示している。The drawing light L D is divided by the half mirror 25, reflected drawn light is incident on the beam separator 26a, drawing light transmitted is incident on the beam separator 26b via the mirror 27. Each beam separator 26
a and 26b have a function of further separating each drawing light into a plurality of lines. In the example shown here, each drawing light is 8
Although they are separated into books, they are shown by three lines in FIG. 1 for convenience of illustration.
【００１９】分離された描画光は、それぞれミラー２８
ａ，２８ｂを挟んで配設された一対のレンズ群から成る
第１縮小光学系２９ａ，２９ｂによりビーム間隔が狭め
られ、マルチチャンネルのＡＯＭ３０ａ，３０ｂに入射
する。各ＡＯＭ３０ａ，３０ｂは、独立して変調可能な
複数の変調部を備え、各描画光を独立して変調する。一
方のＡＯＭ３０ａにより変調された各描画光は、直接ビ
ームスプリッタ３２に入射し、他方のＡＯＭ３０ｂによ
り変調された各描画光は、ミラー３１で反射された後、
そのビームスプリッタ３２に入射する。即ち、両ＡＯＭ
３０ａ，３０ｂ由来の描画光は、ビームスプリッタ３２
で合成され、以後同一光路を進む。Each of the separated drawing lights is applied to a mirror 28.
The beam intervals are narrowed by first reduction optical systems 29a and 29b composed of a pair of lens groups disposed with the lenses a and 28b interposed therebetween, and are incident on multi-channel AOMs 30a and 30b. Each of the AOMs 30a and 30b includes a plurality of modulation units that can be independently modulated, and independently modulates each drawing light. Each drawing light modulated by one AOM 30a directly enters the beam splitter 32, and each drawing light modulated by the other AOM 30b is reflected by the mirror 31,
The light enters the beam splitter 32. That is, both AOMs
The drawing light originating from the beam splitters 30a and 30b is
And then proceed on the same optical path.
【００２０】そして、この合成された描画光は、ミラー
３３で反射された後、ミラー３４を挟んで配置された一
対のレンズ群から成る第２縮小光学系３５により、ビー
ム間隔が縮小され、イメージローテータ３６に入射す
る。イメージローテータ３６は、複数並行する描画光が
描画面１３上で適正に配列されるよう、その方向を調整
する。After the combined drawing light is reflected by the mirror 33, the beam interval is reduced by the second reduction optical system 35 composed of a pair of lens groups disposed with the mirror 34 interposed therebetween. The light enters the rotator 36. The image rotator 36 adjusts the direction so that a plurality of parallel drawing lights are properly arranged on the drawing surface 13.
【００２１】なお、ハーフミラー２４を透過したモニタ
光ＬMは、ミラー５０で反射された後、モニタ光用縮小
光学系５１，モニタ光用倍率調整光学系５２を経て、ミ
ラー５３で反射され、第２縮小光学系３５の後群レンズ
とイメージローテータ３６との間で、描画光の光路外に
配置されたミラー５４により反射されて描画光に合流す
る。[0021] The monitor light L M passing through the half mirror 24 is reflected by the mirror 50, monitor light reduction optical system 51, via the monitor light magnification adjusting optical system 52, it is reflected by the mirror 53, Between the rear group lens of the second reduction optical system 35 and the image rotator 36, the light is reflected by a mirror 54 disposed outside the optical path of the drawing light and merges with the drawing light.
【００２２】イメージローテータ３６を出射した描画光
及びモニタ光は、後述の反射ミラー固定構造によって固
定された１対の反射ミラー１で反射された後、コリメー
トレンズ３９を透過し、同様にその反射ミラー固定構造
によって固定されたミラー１により反射されてポリゴン
ミラー４１に入射する。（なお、図１では図示の都合
上、ミラー固定構造を省略して反射ミラー１のみを示し
ている。）The drawing light and monitor light emitted from the image rotator 36 are reflected by a pair of reflecting mirrors 1 fixed by a reflecting mirror fixing structure to be described later, and then transmitted through a collimating lens 39. The light is reflected by the mirror 1 fixed by the fixed structure and enters the polygon mirror 41. (Note that, in FIG. 1, for the sake of illustration, the mirror fixing structure is omitted and only the reflection mirror 1 is shown.)
【００２３】ポリゴンミラー４１は、図１における時計
方向に回転し、描画光及びモニタ光を同時に反射，偏向
する。ポリゴンミラー４１により反射偏向された描画光
及びモニタ光は、ｆθレンズ４２により収束され、ミラ
ー４３，コンデンサレンズ４４を介して描画面１３に向
う。ミラー４５は、描画光の光路外に配置され、モニタ
光のみをミラー４６方向へ反射させる。The polygon mirror 41 rotates clockwise in FIG. 1, and simultaneously reflects and deflects the drawing light and the monitor light. The drawing light and the monitor light reflected and deflected by the polygon mirror 41 are converged by the fθ lens 42 and directed to the drawing surface 13 via the mirror 43 and the condenser lens 44. The mirror 45 is disposed outside the optical path of the drawing light, and reflects only the monitor light toward the mirror 46.
【００２４】描画光は、直進して描画面１３に達し、こ
の描画面１３を走査する。描画光は複数本あり、これら
は走査線と直交する方向に並んだ状態で、Ｙと平行に描
画面１３上を走査する。従って、副走査方向（図１にお
けるＸ方向）に並んだ複数ドット（ここでは１６ドッ
ト）を同時に描画しながら、走査線に沿って図１におけ
るＹ方向に走査してゆく。上述のように、レーザ光のビ
ーム径が拡大された部分には、本実施形態の反射ミラー
固定構造を採用しているので、描画面１３における非点
隔差は充分小さく抑制され、所望の描画品質を得ること
ができる。The drawing light travels straight and reaches the drawing surface 13 and scans the drawing surface 13. There are a plurality of drawing light beams, which scan the drawing surface 13 in parallel with Y in a state of being arranged in a direction orthogonal to the scanning lines. Accordingly, scanning is performed in the Y direction in FIG. 1 along the scanning line while simultaneously drawing a plurality of dots (here, 16 dots) arranged in the sub-scanning direction (X direction in FIG. 1). As described above, since the reflecting mirror fixing structure of the present embodiment is employed in the portion where the beam diameter of the laser beam is enlarged, the astigmatism difference on the drawing surface 13 is suppressed sufficiently small, and the desired drawing quality is obtained. Can be obtained.
【００２５】なお、ミラー４５によって描画光から分離
されたモニタ光は、ミラー４６により反射されてモニタ
スケール４７上を走査する。このモニタスケール４７に
よって、描画光が描画面１３上のどの位置を走査中であ
るかを検知することができる。一回の走査がなされてい
る間に、描画テーブル１２は、図１のＸ方向（副走査方
向）に１６ドット分移動しているので、連続して走査を
行うことができる。The monitor light separated from the drawing light by the mirror 45 is reflected by the mirror 46 and scans on the monitor scale 47. With this monitor scale 47, it is possible to detect which position on the drawing surface 13 the drawing light is scanning. Since the drawing table 12 moves by 16 dots in the X direction (sub-scanning direction) in FIG. 1 during one scanning, scanning can be performed continuously.
【００２６】＜反射ミラー固定構造の構成＞以下、前記
露光装置の走査光学系に用いられている反射ミラー１を
固定するための反射ミラー固定構造について、説明す
る。この反射ミラー固定構造は、反射ミラー１を保持す
るミラー保持部２と、該ミラー保持部２を着脱可能に支
持固定する脚部３とを、有する。<Configuration of Reflecting Mirror Fixing Structure> A reflecting mirror fixing structure for fixing the reflecting mirror 1 used in the scanning optical system of the exposure apparatus will be described below. This reflection mirror fixing structure has a mirror holding portion 2 for holding the reflection mirror 1 and legs 3 for detachably supporting and fixing the mirror holding portion 2.
【００２７】図２は、反射ミラー固定構造の構成を示
し、図２（Ｂ）は、反射ミラー１のミラー面１Ａを正面
から見た図であり、図２（Ａ）は、図１（Ｂ）のＡ−Ａ
断面図である。反射ミラー１は、ミラー保持部２に固定
された状態で、該ミラー保持部２を介して脚部３に固定
される。脚部３は、Ｌ字状の構造を有し、図２における
水平方向に延びた水平部材３Ａと、そこから垂直に突出
形成された垂直部材３Ｂと、該垂直部材３Ｂの先端部に
着脱可能に固定される取付部３Ｃとを、有する。FIG. 2 shows the configuration of the reflection mirror fixing structure. FIG. 2B is a view of the mirror surface 1A of the reflection mirror 1 as viewed from the front, and FIG. 2A is a view of FIG. A) AA
It is sectional drawing. The reflection mirror 1 is fixed to the leg 3 via the mirror holding unit 2 while being fixed to the mirror holding unit 2. The leg 3 has an L-shaped structure, and can be attached to and detached from a horizontal member 3A extending in the horizontal direction in FIG. 2, a vertical member 3B vertically formed from the horizontal member 3A, and a tip end of the vertical member 3B. And a mounting portion 3C that is fixed to
【００２８】図３は、ミラー保持部２を示す詳細図であ
る。図３（Ｂ）は、反射ミラー１のミラー面１Ａを正面
から見た図であり、図３（Ａ）は、図３（Ｂ）のＡ−Ａ
断面図である。この図３（Ａ）の下側が反射ミラー１の
ミラー面１Ａ側（表側）であり、上側がその反射ミラー
１の裏側となっている。以下にこの図を併せて参照し、
ミラー保持部２の構成について詳述する。FIG. 3 is a detailed view showing the mirror holding unit 2. FIG. 3B is a view of the mirror surface 1A of the reflection mirror 1 as viewed from the front, and FIG.
It is sectional drawing. The lower side of FIG. 3A is the mirror surface 1A side (front side) of the reflection mirror 1, and the upper side is the back side of the reflection mirror 1. See also this figure below,
The configuration of the mirror holding unit 2 will be described in detail.
【００２９】反射ミラー１は、光学ガラスを研磨加工す
ることにより、円板状に形成され、特にそのミラー面１
Ａが平坦となるように、高精度に加工されたものであ
る。The reflection mirror 1 is formed in a disk shape by polishing an optical glass, and in particular, the mirror surface 1 is formed.
A is processed with high precision so that A becomes flat.
【００３０】そして、この反射ミラーを保持するための
ミラー保持部２は、アルミを下記のような形状に、旋盤
加工及びフライス加工することにより成るものである。
即ち、このミラー保持部２は、その中心軸方向に短い扁
平な略円筒状であり、該ミラー保持部２の貫通孔の表側
の開口端近傍には、内方フランジ２Ａが形成されてい
る。この内方フランジ２Ａは、反射ミラー１の外径より
も若干小さい内径を有し、該内方フランジ２Ａの裏側に
は、反射ミラー１を当て付けてミラー面１Ａを位置決め
するための当付面２Ｂが、そのミラー面１Ａに合わせて
平坦に形成されている。さらに、そのミラー保持部２の
貫通孔内周における当付面２Ｂよりも裏側部分には、反
射ミラー１の外径とほぼ同じ径を有して、該反射ミラー
１を嵌合させることができる嵌合壁２Ｃが、形成されて
いる。The mirror holding portion 2 for holding the reflection mirror is made by turning and milling aluminum into the following shape.
That is, the mirror holding portion 2 has a flat and substantially cylindrical shape that is short in the direction of the central axis, and an inner flange 2A is formed near the opening end on the front side of the through hole of the mirror holding portion 2. The inner flange 2A has an inner diameter slightly smaller than the outer diameter of the reflection mirror 1, and an abutting surface for applying the reflection mirror 1 and positioning the mirror surface 1A on the back side of the inner flange 2A. 2B is formed flat to match the mirror surface 1A. Further, the mirror holding portion 2 has a diameter substantially equal to the outer diameter of the reflection mirror 1 at a portion on the inner periphery of the through hole behind the abutment surface 2B, so that the reflection mirror 1 can be fitted. A fitting wall 2C is formed.
【００３１】また、ミラー保持部２の貫通孔の嵌合壁２
Ｃよりも裏側部分の内径は、反射ミラー１の外径よりも
若干大きく形成されており、さらに、そのミラー保持部
２の貫通孔の裏側開口端近傍には、メネジ２Ｄが切られ
ている。また、固定環９は、その縦断面が矩形となった
リング状であり、その外周には、前記メネジ２Ｄと螺合
可能なオネジ９Ａが切られている。なお、この固定環９
の内径は、反射ミラー１の外径よりも小さく形成されて
いる。The fitting wall 2 of the through hole of the mirror holding portion 2
The inside diameter of the portion on the back side of C is slightly larger than the outside diameter of the reflection mirror 1, and a female screw 2D is cut near the back opening end of the through hole of the mirror holding portion 2. The fixed ring 9 has a ring shape having a rectangular longitudinal section, and an outer thread 9A that can be screwed with the female thread 2D is cut on the outer periphery. This fixed ring 9
Is formed smaller than the outer diameter of the reflection mirror 1.
【００３２】さらに、図３（Ｂ）に示すように、ミラー
保持部２には、図２に示した脚部３の取付部３Ｃに、当
該ミラー保持部２を取り付けるための取付座５が、１対
形成されている。これら取付座５は、ミラー保持部２の
中心軸と平行な平面で切られた切欠面５Ａを、夫々有し
ており、両切欠面５Ａは互いに直交するように、形成さ
れている。そして、各取付座５には、その切欠面５Ａに
垂直なネジ穴５Ｂが、その切欠面５Ａに開口するように
１対設けられており、これらネジ穴５Ｂは、ミラー保持
部２の中心軸を含んで切欠面５Ａと直交する面に関し
て、対称となるように配設されている。なお、一方の取
付座５に設けたネジ穴５Ｂの対同士の間隔は、他方の取
付座５に設けたネジ穴５Ｂの対同士の間隔と一致してい
る。また、これらネジ穴５Ｂは、全て同一形状である。Further, as shown in FIG. 3B, a mounting seat 5 for mounting the mirror holding portion 2 to the mounting portion 3C of the leg 3 shown in FIG. One pair is formed. Each of these mounting seats 5 has a cutout surface 5A cut by a plane parallel to the central axis of the mirror holding unit 2, and both cutout surfaces 5A are formed so as to be orthogonal to each other. Each of the mounting seats 5 is provided with a pair of screw holes 5B perpendicular to the cutout surface 5A so as to open in the cutout surface 5A. Are arranged symmetrically with respect to a plane orthogonal to the cutout surface 5A. The interval between pairs of screw holes 5B provided on one mounting seat 5 matches the interval between pairs of screw holes 5B provided on the other mounting seat 5. The screw holes 5B have the same shape.
【００３３】前述の如く形成されたミラー保持部２に、
反射ミラー１を嵌合させる。即ち、反射ミラー１は、ミ
ラー保持部２の裏側から、そのミラー面１Ａが表側とな
るように、当該ミラー保持部２内へ挿入される。そし
て、反射ミラー１外周のミラー面１Ａ側の端部が、ミラ
ー保持部２の嵌合壁２Ｃに嵌合されるとともに、そのミ
ラー面１Ａが、ミラー保持部２の当付面２Ｂに当て付け
られることにより、当該反射ミラー１はミラー保持部２
内に位置決めされる。In the mirror holding unit 2 formed as described above,
The reflection mirror 1 is fitted. That is, the reflection mirror 1 is inserted into the mirror holding unit 2 from the back side of the mirror holding unit 2 such that the mirror surface 1A is on the front side. Then, the end of the outer periphery of the reflection mirror 1 on the side of the mirror surface 1A is fitted to the fitting wall 2C of the mirror holding unit 2, and the mirror surface 1A is brought into contact with the contact surface 2B of the mirror holding unit 2. As a result, the reflection mirror 1 is
Is positioned within.
【００３４】この状態で、ミラー保持部２のメネジ２Ｄ
に、固定環９のオネジ９Ａを螺合させることにより、反
射ミラー１は、その固定環９と当付面２Ｂとの間に締め
付けられて、位置決め固定される。このように反射ミラ
ー１を固定した状態のミラー保持部２は、脚部３に取り
付けられている。該脚部３の水平部材３Ａは、長手方向
に長くかつ扁平な略直方体状であり、１対のネジ８によ
って光学台１１上に螺合固定されている。In this state, the female screw 2D of the mirror holding unit 2
Then, by screwing the male screw 9A of the fixed ring 9, the reflection mirror 1 is tightened between the fixed ring 9 and the abutment surface 2B, and is positioned and fixed. The mirror holding unit 2 with the reflection mirror 1 fixed in this manner is attached to the leg 3. The horizontal member 3 </ b> A of the leg 3 is long and flat in the longitudinal direction and has a substantially rectangular parallelepiped shape, and is screwed and fixed on the optical bench 11 by a pair of screws 8.
【００３５】また、垂直部材３Ｂも、長手方向に長くか
つ扁平な略直方体状であり、水平部材３Ａの一方の端部
近傍に、両部材３Ａ，３Ｂの長手方向の軸が互いに直交
するように固定されている。なお、この垂直部材３Ｂ
は、該垂直部材３Ｂの側面が水平部材３Ａの側面と平行
となるように配置固定されている。The vertical member 3B is also long and flat in the longitudinal direction and has a substantially flat rectangular parallelepiped shape. Near the one end of the horizontal member 3A, the longitudinal axes of the two members 3A and 3B are orthogonal to each other. Fixed. The vertical member 3B
Are arranged and fixed such that the side surface of the vertical member 3B is parallel to the side surface of the horizontal member 3A.
【００３６】さらに、この垂直部材３Ｂの側面に垂直か
つ水平部材３Ａの上面にも垂直な、当該垂直部材３Ｂの
１対の面のうち、水平部材３Ａの上面中央方向を向いた
面には、取付部３Ｃが固定されている。この取付部３Ｃ
も、長手方向に長くかつ扁平な略直方体状であるが、そ
の長手方向の長さは、垂直部材３Ｂの長手方向の長さの
半分程度である。該取付部３Ｃは、その最も広い１対の
面の片方で垂直部材３Ｂに接合し、垂直部材３Ｂの長手
方向の軸と、当該取付部３Ｃの長手方向の軸とが平行と
なるように、かつ、垂直部材３Ｂの先端よりも当該取付
部３Ｃの先端が突出するように配置されている。そし
て、この取付部３Ｃは、垂直部材３Ｂに対して、１対の
ネジ７によって、着脱可能に螺合固定されている。Further, of the pair of surfaces of the vertical member 3B, which are perpendicular to the side surface of the vertical member 3B and also to the upper surface of the horizontal member 3A, the surface facing the center of the upper surface of the horizontal member 3A includes: The mounting portion 3C is fixed. This mounting part 3C
Is long and flat in the longitudinal direction, and has a flat and substantially rectangular parallelepiped shape, and the length in the longitudinal direction is about half of the length in the longitudinal direction of the vertical member 3B. The mounting portion 3C is joined to the vertical member 3B at one of the widest pair of surfaces, and the longitudinal axis of the vertical member 3B is parallel to the longitudinal axis of the mounting portion 3C. In addition, the mounting portion 3C is disposed so that the tip thereof protrudes beyond the tip of the vertical member 3B. The mounting portion 3C is detachably screwed and fixed to the vertical member 3B by a pair of screws 7.
【００３７】また、この取付部３Ｃの垂直部材３Ｂに対
する接合面と反対側の面には、前記ミラー保持部２の取
付座５の切欠面５Ａが接合している。そして、取付部３
Ｃを貫通して、取付座５のネジ穴５Ｂと螺合する１対の
ネジ６によって、これら取付座５及び取付部３Ｃは、着
脱可能に相互に螺合固定されている。即ち、ミラー保持
部２の取付座５及び脚部３の取付部３Ｃは、そのミラー
保持部２を脚部３に取り付けるための取付手段として機
能している。A notch surface 5A of the mounting seat 5 of the mirror holding portion 2 is bonded to a surface of the mounting portion 3C opposite to a bonding surface to the vertical member 3B. And the mounting part 3
The mounting seat 5 and the mounting portion 3C are detachably screwed and fixed to each other by a pair of screws 6 that penetrate C and screw into the screw holes 5B of the mounting seat 5. That is, the mounting seat 5 of the mirror holding section 2 and the mounting section 3C of the leg section 3 function as mounting means for mounting the mirror holding section 2 to the leg section 3.
【００３８】＜取付座の選択＞ところで、反射ミラー１
は、光学ガラスを研磨加工することによって、高精度に
形成されるが、ミラー保持部２は、アルミを旋盤及びフ
ライス加工して形成されるため、反射ミラー１と同等レ
ベルの精度で仕上げることは困難である。従って、反射
ミラー１をミラー保持部２に固定すると、その反射ミラ
ー１は、ミラー保持部２の加工精度に起因する形状の誤
差分だけ湾曲してしまう。<Selection of mounting seat> By the way, the reflection mirror 1
Is formed with high precision by polishing optical glass. However, since the mirror holding section 2 is formed by turning and milling aluminum, it can be finished with the same level of precision as the reflection mirror 1. Have difficulty. Therefore, when the reflecting mirror 1 is fixed to the mirror holding unit 2, the reflecting mirror 1 is curved by an error in the shape caused by the processing accuracy of the mirror holding unit 2.
【００３９】そこで、反射ミラー１をミラー保持部２に
固定した状態で、その反射ミラー１の湾曲を測定してお
き、後述の如く、その湾曲による影響が小さくなるよう
に、ミラー保持部２の取付座５を選択したうえで、その
選択された取付座５を、脚部３の取付部３Ｃに取り付け
なければならない。以下に、ミラー保持部２の取付座５
の選択について説明する。Therefore, with the reflection mirror 1 fixed to the mirror holding unit 2, the curvature of the reflection mirror 1 is measured, and as described later, the mirror holding unit 2 is controlled so that the influence of the curvature is reduced. After selecting the mounting seat 5, the selected mounting seat 5 must be mounted on the mounting portion 3 </ b> C of the leg 3. The mounting seat 5 of the mirror holding part 2 will be described below.
The selection will be described.
【００４０】図４において、反射ミラー１のミラー面１
Ａに対し、その湾曲の母線を含むとともにミラー面１Ａ
と直交する面内で入射してきたレーザ光Ｌ2は、その湾
曲の母線と直交する面内で入射してきたレーザ光Ｌ1よ
りも、非点隔差が小さくなる。即ち、湾曲したミラー面
１Ａに対するレーザ光の入射方向によっては、反射によ
って発生する非点隔差が小さくなることがある。In FIG. 4, the mirror surface 1 of the reflection mirror 1 is shown.
A includes a curved generating line and a mirror surface 1A
The laser beam L 2 which has entered in a plane perpendicular to the can than the laser light L 1 that has been incident in a plane perpendicular to the generatrices of the curved astigmatism is reduced. That is, depending on the incident direction of the laser beam on the curved mirror surface 1A, the astigmatic difference generated by reflection may be small.
【００４１】前述の如く、ミラー保持部２には、取付座
５を２つ設けてあるため、その取付座５のどちらを選択
するかによって、発生する非点隔差の程度は異なる。そ
こで、ミラー保持部２に反射ミラー１を固定した状態に
おけるミラー面１Ａの湾曲を測定したうえで、そのミラ
ー面１Ａの湾曲を示すデータを用いて、反射ミラー１
を、上述の如くミラー保持部２及び脚部３を介して露光
装置の光学系内に固定した場合に、そのミラー面１Ａに
おける反射によって発生する非点隔差を、両取付座５の
双方に対応させて算出する。この算出結果に基づき、非
点隔差が小さくなる方の取付座５を選択する。As described above, since two mounting seats 5 are provided on the mirror holding unit 2, the degree of astigmatic difference generated differs depending on which of the mounting seats 5 is selected. Therefore, after measuring the curvature of the mirror surface 1A in a state where the reflection mirror 1 is fixed to the mirror holding unit 2, the reflection mirror 1 is used by using data indicating the curvature of the mirror surface 1A.
Is fixed in the optical system of the exposure apparatus via the mirror holding portion 2 and the leg portion 3 as described above, the astigmatic difference generated by the reflection on the mirror surface 1A corresponds to both the mounting seats 5. And calculate. Based on this calculation result, the mounting seat 5 with the smaller astigmatic difference is selected.
【００４２】そして、その選択された取付座５を、脚部
３の取付部３Ｃに、ネジ６を用いて固定する。なお、こ
の固定作業は、脚部３の取付部３Ｃが、垂直部材３Ｂに
固定されていない状態で行う。さらに、その脚部３の取
付部３Ｃを、ネジ７を用いて、垂直部材３Ｂに取り付け
たうえで、水平部材３Ａを装置内の所定位置に、ネジ８
を用いて固定することにより、反射ミラー１のミラー面
１Ａを、露光装置の光学系内における所望の位置に、所
望の角度で配置する。Then, the selected mounting seat 5 is fixed to the mounting portion 3C of the leg portion 3 using the screw 6. This fixing operation is performed in a state where the mounting portion 3C of the leg 3 is not fixed to the vertical member 3B. Further, the mounting portion 3C of the leg 3 is attached to the vertical member 3B using the screw 7, and then the horizontal member 3A is placed at a predetermined position in the apparatus.
, The mirror surface 1A of the reflection mirror 1 is arranged at a desired position in the optical system of the exposure apparatus at a desired angle.
【００４３】このようにして、反射ミラー１のミラー面
１Ａに対し、反射によって生ずる非点隔差が小さくなる
方向に、レーザ光を入射させるように、設定することが
できる。なお、レーザ光が、ミラー面１Ａの湾曲の母線
と直交する面に対して４５度をなす面内で入射してくる
場合、この入射レーザ光は、そのミラー面１Ａの湾曲に
より、縦方向と横方向にほぼ同じパワーを受けるため、
非点隔差はほとんど発生しない。この場合、どちらの取
付座５を使用することも可能である。従って、１対の取
付座５を、その切欠面５Ａが互いに直交するように設け
ておくことにより、非点隔差が大きくなる方向を確実に
回避することができるのである。In this manner, it is possible to set the laser beam to be incident on the mirror surface 1A of the reflection mirror 1 in a direction in which the astigmatic difference caused by the reflection becomes smaller. When the laser light is incident within a plane that forms an angle of 45 degrees with respect to a plane orthogonal to the generatrix of the curvature of the mirror surface 1A, the incident laser light is caused to be in the vertical direction by the curvature of the mirror surface 1A. To receive almost the same power in the lateral direction,
Almost no astigmatic difference occurs. In this case, either mounting seat 5 can be used. Therefore, by providing the pair of mounting seats 5 so that the notched surfaces 5A are orthogonal to each other, it is possible to reliably avoid the direction in which the astigmatic difference increases.
【００４４】また、光学系内に、複数の反射ミラー１を
設置する場合、予め各反射ミラー１の面精度を測定し、
各反射ミラー１によって発生する非点隔差を相殺するよ
うに、各反射ミラー１の取付座５を選択すると、最終的
に発生する非点隔差をさらに抑制することができる。When a plurality of reflecting mirrors 1 are installed in the optical system, the surface accuracy of each reflecting mirror 1 is measured in advance,
When the mounting seat 5 of each reflecting mirror 1 is selected so as to cancel out the astigmatic difference generated by each reflecting mirror 1, the astigmatic difference finally generated can be further suppressed.
【００４５】図１に示す露光装置の走査光学系におい
て、これらの反射ミラー１が配置されている部分では、
レーザ光のビーム径が拡大された状態であるため、非点
隔差が描画品質に与える影響が大きい。従って、本実施
形態のミラー固定構造を用いて、反射ミラー１に起因す
る非点隔差を小さく抑えることにより、高い描画品質が
得られる。In the scanning optical system of the exposure apparatus shown in FIG. 1, where these reflection mirrors 1 are arranged,
Since the beam diameter of the laser beam is in an expanded state, the astigmatic difference has a large effect on the drawing quality. Therefore, by using the mirror fixing structure of the present embodiment to reduce the astigmatic difference caused by the reflection mirror 1, high drawing quality can be obtained.
【００４６】[0046]
【発明の効果】以上のように構成した本発明の反射ミラ
ー固定構造によると、反射ミラーのミラー面湾曲に起因
する非点隔差の発生を、小さく抑制することができ、反
射ミラー光学系の性能を向上させることができる。According to the reflecting mirror fixing structure of the present invention configured as described above, the occurrence of astigmatism due to the mirror surface curvature of the reflecting mirror can be suppressed to a small level, and the performance of the reflecting mirror optical system can be reduced. Can be improved.
【図１】 本発明の一実施形態による露光装置の走査光
学系の構成を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a scanning optical system of an exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の一実施形態による反射ミラー固定構
造を示す構成図FIG. 2 is a configuration diagram showing a reflection mirror fixing structure according to an embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の一実施形態によるミラー保持部を示
す構成図FIG. 3 is a configuration diagram showing a mirror holding unit according to an embodiment of the present invention.
【図４】 反射ミラーの湾曲を模式的に示す説明図FIG. 4 is an explanatory view schematically showing the curvature of a reflecting mirror;
１ 反射ミラー １Ａ ミラー面 ２ ミラー保持部 ２Ａ 内方フランジ ２Ｂ 当付面 ２Ｃ 嵌合壁 ２Ｄ メネジ ３ 脚部 ３Ａ 水平部材 ３Ｂ 垂直部材 ３Ｃ 取付部 ５ 取付座 ５Ａ 切欠面 ５Ｂ ネジ穴 ９ 固定環 ９Ａ オネジ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Reflection mirror 1A Mirror surface 2 Mirror holding portion 2A Inner flange 2B Abutment surface 2C Fitting wall 2D Female screw 3 Leg 3A Horizontal member 3B Vertical member 3C Mounting portion 5 Mounting seat 5A Notch surface 5B Screw hole 9 Fixed ring 9A Male screw
Claims (5)
るとともに、複数の取付座を有するミラー保持部と、 このミラー保持部が前記反射ミラーを保持した状態で、
当該ミラー保持部を、前記反射ミラーのミラー面内にお
ける複数の回転位置に配置させるように、前記取付座の
任意のものと係合して、当該ミラー保持部を支持固定す
る脚部とを備えることを特徴とする反射ミラー固定構
造。1. A mirror holding portion having a plurality of mounting seats for holding a reflecting mirror for reflecting a laser beam, and a mirror holding portion holding the reflecting mirror.
Legs for engaging with any of the mounting seats and supporting and fixing the mirror holding portion so that the mirror holding portion is arranged at a plurality of rotation positions within the mirror surface of the reflection mirror. A reflecting mirror fixing structure, characterized in that:
座の任意のものと係合可能な取付部を、さらに備えるこ
とを特徴とする請求項１記載の反射ミラー固定構造。2. The reflection mirror fixing structure according to claim 1, further comprising a mounting portion fixed to said leg portion and engageable with any of said mounting seats.
内で９０度回転させた場合に、その回転の前後で相対応
する位置に、１対の前記取付座を配設したことを特徴と
する請求項１又は請求項２記載の反射ミラー固定構造。3. The apparatus according to claim 1, wherein when the mirror holding section is rotated by 90 degrees in the plane of the reflection mirror, a pair of the mounting seats are disposed at corresponding positions before and after the rotation. 3. The reflection mirror fixing structure according to claim 1, wherein:
度で前記反射ミラーに入射したレーザ光の反射光に発生
する非点隔差を最小とするものを選択し、その選択され
た取付座を前記脚部に固定することを特徴とする請求項
１〜３のいずれかに記載の反射ミラー固定構造。4. A mount for minimizing astigmatic difference generated in reflected light of laser light incident on the reflection mirror at a predetermined angle among the mounts of the mirror holding section, and the selected mount is selected. The reflecting mirror fixing structure according to claim 1, wherein the reflecting mirror is fixed to the leg.
起因する非点隔差が相殺し合うように、請求項１〜４の
いずれかに記載の反射ミラー固定構造によって固定して
成ることを特徴とする反射ミラー光学系。5. A reflecting mirror fixing structure according to claim 1, wherein said plurality of reflecting mirrors are fixed so that astigmatism caused by said reflecting mirrors cancel each other. Characteristic reflection mirror optical system.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2850999A JP2000227565A (en) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | Reflection mirror fixing structure and reflection mirror optical system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2850999A JP2000227565A (en) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | Reflection mirror fixing structure and reflection mirror optical system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000227565A true JP2000227565A (en) | 2000-08-15 |
Family
ID=12250659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2850999A Pending JP2000227565A (en) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | Reflection mirror fixing structure and reflection mirror optical system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000227565A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112882185A (en) * | 2021-01-22 | 2021-06-01 | 西安应用光学研究所 | Glue joint fixing structure and fixing method suitable for adjustable lens group of reflecting system |
-
1999
- 1999-02-05 JP JP2850999A patent/JP2000227565A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112882185A (en) * | 2021-01-22 | 2021-06-01 | 西安应用光学研究所 | Glue joint fixing structure and fixing method suitable for adjustable lens group of reflecting system |
| CN112882185B (en) * | 2021-01-22 | 2023-03-03 | 西安应用光学研究所 | Glue joint fixing structure and fixing method suitable for adjustable lens group of reflection system |
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