JP3463054B2 - Multi-beam scanner - Google Patents

Multi-beam scanner

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JP3463054B2
JP3463054B2 JP00790796A JP790796A JP3463054B2 JP 3463054 B2 JP3463054 B2 JP 3463054B2 JP 00790796 A JP00790796 A JP 00790796A JP 790796 A JP790796 A JP 790796A JP 3463054 B2 JP3463054 B2 JP 3463054B2
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JP
Japan
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light
light beams
deflecting
scanning
angular displacement
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JP00790796A
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JPH09197310A (en
Inventor
一 森脇
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株式会社エヌ・イー・エフ
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マルチビーム走査
装置に関し、特に、複数の光ビームを所定の感光材上に
同時に集光させて感光材を露光するために使用するマル
チビーム走査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-beam scanning device, and more particularly to a multi-beam scanning device used for exposing a photosensitive material by simultaneously focusing a plurality of light beams on a predetermined photosensitive material.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のマルチビーム走査装置として、
例えば、特開平5−276335号公報に記載された技
術(従来例1)、あるいは特開平4−101112号公
報に記載された技術(従来例2)が知られている。
2. Description of the Related Art As a multi-beam scanning device of this type,
For example, a technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-276335 (conventional example 1) or a technique described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-101112 (conventional example 2) is known.

【0003】従来例1には、インナードラム走査型の走
査装置において、2つのレーザダイオードから出力され
るレーザビームのうちの1つのレーザビームをウェッジ
プリズムを通過させ偏向させて回転させ、次いで、2つ
のレーザビームを上記のウェッジプリズムに同期し回転
する光偏向器によって偏向させ、ドラム内周面に保持さ
れた記録シート上を回転走査させる構成が開示されてい
る。
In the conventional example 1, in an inner drum scanning type scanning device, one of the laser beams output from two laser diodes is passed through a wedge prism to be deflected and then rotated. A configuration is disclosed in which one laser beam is deflected by an optical deflector that rotates in synchronism with the wedge prism, and rotational scanning is performed on a recording sheet held on the inner peripheral surface of the drum.

【0004】また、従来例2には、複数の発光部を有す
る光源から放射された光ビームを光学手段により光偏向
器に導光し、偏向された光ビームを結晶光学系によって
被走査面上に導き、複数の光ビームで同時に走査するマ
ルチビーム走査光学系において、複数の発光部を光ビー
ムの走査方向と直交する方向に配列するとともに、光学
手段または結像光学系に複数の光ビームによる被走査線
上での走査線の走査間隔を調整する調整部材を設ける構
成が開示されている。調整部材としては、負レンズと正
レンズからなるものが使用される。そして、レンズ間隔
を相対的に変えて焦点位置を変化させることで副走査方
向の結像倍率を可変とし、これにより、所望の位置に走
査間隔を調整するようにしている。
Further, in the second conventional example, a light beam emitted from a light source having a plurality of light emitting portions is guided to an optical deflector by an optical means, and the deflected light beam is crystallized by a crystal optical system on a surface to be scanned. In a multi-beam scanning optical system that simultaneously scans with a plurality of light beams, the plurality of light emitting units are arranged in a direction orthogonal to the scanning direction of the light beams, and the optical means or the imaging optical system uses a plurality of light beams. A configuration is disclosed in which an adjusting member that adjusts a scanning interval of scanning lines on a line to be scanned is provided. As the adjusting member, one having a negative lens and a positive lens is used. Then, the imaging distance in the sub-scanning direction is made variable by changing the focal point position by relatively changing the lens interval, thereby adjusting the scanning interval to a desired position.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
1の装置の場合、レーザビーム間のピッチ調整がウェッ
ジプリズムの頂角で決まることから、この種の調節が困
難である。そして、組立時においてピッチ調整する場合
には、レーザダイオードの取り付け位置を調整しなくて
はならず、所望の走査間隔を得ることが難しい。また、
レーザビームのピッチがウェッジプリズムの頂角だけで
実質的に決まってしまうことから、例えば高密度と低密
度との切替えがあり、レーザビームのピッチを大きく変
える必要がある場合には対応が困難となる。
However, in the case of the apparatus of Conventional Example 1, this type of adjustment is difficult because the pitch adjustment between the laser beams is determined by the apex angle of the wedge prism. When adjusting the pitch during assembly, it is necessary to adjust the mounting position of the laser diode, and it is difficult to obtain a desired scanning interval. Also,
Since the pitch of the laser beam is substantially determined only by the apex angle of the wedge prism, for example, there is a switch between high density and low density, and it is difficult to deal with the case where the pitch of the laser beam needs to be greatly changed. Become.

【0006】さらに、従来例1のようなインナードラム
走査記録装置では、モータは、高速回転で回り、且つ、
回転ムラの精度も高精度に要求される。ところが、従来
例1の構成の場合には、上記のような同期回転をするた
めに歯車機構を設け、この歯車機構にウェッジプリズム
や光偏向器などの慣性のあるレーザビーム走査部を取り
付けていることから、高速回転や高精度を実現すること
が困難である。
Further, in the inner drum scanning recording apparatus as in the prior art example 1, the motor rotates at high speed, and
Accurate rotation unevenness is also required. However, in the case of the configuration of the first conventional example, a gear mechanism is provided for performing the synchronous rotation as described above, and an inertial laser beam scanning unit such as a wedge prism or an optical deflector is attached to the gear mechanism. Therefore, it is difficult to realize high speed rotation and high accuracy.

【0007】一方、従来例2の装置の場合には、調整部
材である正レンズと負レンズを動かして副走査方向の結
像倍率を調整する構成であるため、調整時のフィードバ
ックの時間がかかる。また、副走査方向の結像倍率の調
整によって結像面での副走査方向のビーム径を変える構
成であるため、高精細な高密度記録には適していない。
On the other hand, in the case of the apparatus of the conventional example 2, since the positive lens and the negative lens which are the adjusting members are moved to adjust the image forming magnification in the sub-scanning direction, it takes time for feedback at the time of adjustment. . Further, since the beam diameter in the sub-scanning direction on the image forming surface is changed by adjusting the imaging magnification in the sub-scanning direction, it is not suitable for high-definition and high-density recording.

【0008】さらに、上記のような複数の発光部として
は、複数のレーザダイオードを備えた半導体レーザーア
レイが通常使用され、また半導体レーザアレイにおける
ピッチ間隔は実際には50〜150μm程度である。そ
して、この構成でアレイ状の半導体レーザを使用した場
合には、発熱の影響でクロストークが発生することか
ら、レーザダイオードを独立して駆動することが困難と
なる。その他、複数の発光部を光ビームの走査方向と直
交方向に配置するので、走査方向に対して発散角補正用
の光学素子が必要となり、構造が複雑となる。
Further, a semiconductor laser array having a plurality of laser diodes is usually used as the plurality of light emitting portions as described above, and the pitch interval in the semiconductor laser array is actually about 50 to 150 μm. When an array of semiconductor lasers is used in this configuration, crosstalk occurs due to the effect of heat generation, and it is difficult to drive the laser diodes independently. In addition, since the plurality of light emitting units are arranged in the direction orthogonal to the scanning direction of the light beam, an optical element for correcting the divergence angle with respect to the scanning direction is required, and the structure becomes complicated.

【0009】本発明の課題は、上記のような問題がな
く、光ビーム間のピッチ間隔を容易に調節できて、複数
の光ビームの走査間隔を容易に調整することができる、
マルチビーム走査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned problems, to easily adjust the pitch interval between light beams, and to easily adjust the scanning interval of a plurality of light beams.
It is to provide a multi-beam scanning device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明が提供するマルチ
ビーム走査装置は、それぞれ光ビームを出力する複数の
発光手段と、進行方向の異なる複数の前記光ビームの光
軸合わせをする合成手段と、前記光軸合わせされた複数
の光ビームを偏向する偏向手段と、前記偏向された複数
の光ビームを被走査面に結像させる結像手段とを有し、
さらに、前記発光手段と前記合成手段との間に設けら
れ、前記複数の光ビームの少なくとも1つを走査方向と
直交する副走査方向に偏向する角度変位調整ユニットを
備えていることを特徴とする。
A multi-beam scanning device provided by the present invention comprises a plurality of light emitting means for respectively outputting light beams, and a combining means for aligning the optical axes of the plurality of light beams having different traveling directions. A deflection means for deflecting the plurality of light beams whose optical axes are aligned, and an image forming means for forming an image of the plurality of deflected light beams on a surface to be scanned,
Further, an angular displacement adjusting unit is provided which is provided between the light emitting means and the synthesizing means and which deflects at least one of the plurality of light beams in a sub-scanning direction orthogonal to the scanning direction. .

【0011】上記構成おいて、角度変位調整ユニット
は、例えば、2枚のウェッジプリズムを組み合わせて構
成されるものであり、光ビームが直進する位置を原点と
して、これら2枚のウェッジプリズムを逆方向へ同一角
度で回転させることで、偏向の程度が調整される。ま
た、合成手段は、例えば、偏向ビームスプリッタであ
り、またこの場合には、偏向ビームスプリッタに入射さ
れる一方の光ビームにおける偏光方向を変えるためのλ
/2板を有する構成とすることができる。このようなλ
/2板を設けることで、光ビームにおける偏光方向を偏
向ビームスプリッタに合わせて変えることができ、偏光
ビームスプリッタにおける光ビームの透過率ないし反射
率を上げて光量のロスをなくすことができる。
In the above construction, the angular displacement adjusting unit is constructed by combining, for example, two wedge prisms, and the position where the light beam goes straight is the origin.
Then, these two wedge prisms have the same angle in opposite directions.
By rotating in degrees, the degree of deflection is adjusted. The combining means is, for example, a deflecting beam splitter, and in this case, λ for changing the polarization direction of one of the light beams incident on the deflecting beam splitter.
It can be configured to have a / 2 plate. Such λ
By providing the / 2 plate, the polarization direction of the light beam can be changed according to the deflection beam splitter, and the transmittance or the reflectance of the light beam in the polarization beam splitter can be increased to eliminate the loss of the light amount.

【0012】好ましい実施の形態では、複数の発光手段
としては、コリメータレンズを有するそれぞれ半導体レ
ーザが使用される。また、そして、上記のように偏向ビ
ームスプリッタを用いてこれらの半導体レーザからのレ
ーザビームの光軸を合せることで、複数のレーザビーム
が合成される。これらレーザビームは、次いで、所定の
結像光学系により結像面に集光される。
In a preferred embodiment, semiconductor lasers each having a collimator lens are used as the plurality of light emitting means. Further, a plurality of laser beams are combined by aligning the optical axes of the laser beams from these semiconductor lasers using the deflecting beam splitter as described above. These laser beams are then focused on the image forming plane by a predetermined image forming optical system.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態のマ
ルチビーム走査装置を説明する。図1は、実施の形態に
おける光学系概略を示した説明図である。このマルチビ
ーム走査装置は、発光手段(光源)として2つのレーザ
ダイオードLD1とLD2、コリメータレンズ7,8、
λ/2板5、偏光ビームスプリッタ6、角度変位ユニッ
ト14、シリンドリカルレンズ10,11、ポリゴンミ
ラー9、fθレンズ11などから構成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A multi-beam scanning device according to an embodiment of the present invention will be described below. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of an optical system in the embodiment. This multi-beam scanning device includes two laser diodes LD1 and LD2 as light emitting means (light sources), collimator lenses 7 and 8,
The λ / 2 plate 5, the polarization beam splitter 6, the angular displacement unit 14, the cylindrical lenses 10 and 11, the polygon mirror 9, the fθ lens 11 and the like.

【0014】レーザダイオードLD1,LD2からの光
ビームは、コリメータレンズ7,8によって、それぞれ
平行光束となる。ここで、レーザダイオードLD1から
の光ビーム3は、図2に示したように、P波としてλ/
2板5に入射し、λ/2板5により偏光方向が90゜変
えられてS波として出射され、偏向ビームスプリッタ6
に入射される。また、レーザダイオードLD2からの光
ビーム4は、P波としてλ/2板5に入射する。
The light beams from the laser diodes LD1 and LD2 are collimated by the collimator lenses 7 and 8, respectively. Here, the light beam 3 from the laser diode LD1 is, as shown in FIG.
The light beam is incident on the second plate 5, the polarization direction is changed by 90 ° by the λ / 2 plate 5, and the S-wave is emitted.
Is incident on. Further, the light beam 4 from the laser diode LD2 enters the λ / 2 plate 5 as a P wave.

【0015】偏向ビームスプリッタ6は、S波は透過、
P波は反射するように作られている。このため、レーザ
ダイオードLD1からの光ビーム3は、偏向ビームスプ
リッタ6を通過する。この場合における透過率は、具体
的には例えば90%以上となる。光ビーム3は、その
後、シリンドリカルレンズ10を通過し、また光偏向器
として使用されるポリゴンミラー9により副走査方向に
集光される。
The deflecting beam splitter 6 transmits the S wave,
The P wave is made to reflect. Therefore, the light beam 3 from the laser diode LD1 passes through the deflection beam splitter 6. Specifically, the transmittance in this case is, for example, 90% or more. The light beam 3 then passes through the cylindrical lens 10 and is focused in the sub-scanning direction by the polygon mirror 9 used as an optical deflector.

【0016】なお、シリンドリカルレンズ10は、ポリ
ゴンミラー9における面倒れ補正用とレーザダイオード
LD1とLD2の非点隔差調整用及び発散角補正用とし
て配置され、副走査方向に屈折力を有するものである。
また、ポリゴンミラー9は、主走査方向に偏向するため
の偏向器である。
The cylindrical lens 10 is arranged for correcting the surface tilt of the polygon mirror 9, for adjusting the astigmatic difference between the laser diodes LD1 and LD2, and for correcting the divergence angle, and has a refracting power in the sub-scanning direction. .
The polygon mirror 9 is a deflector for deflecting in the main scanning direction.

【0017】そして、光ビーム3は、ポリゴンミラー9
の面で反射し、また平面走査時において偏向角を像面で
直線偏向するfθレンズ11を通り、さらに結像面上で
の倒れ補正用のシリンドリカルレンズ12を通過して、
感光材Pの走査感材面13に結像する。なお、感光材P
としては、例えば、OPC(Organic Phot
oconductor:有機光導電体)版が用いられ
る。
The light beam 3 is reflected by the polygon mirror 9
Through the fθ lens 11 that linearly deflects the deflection angle on the image plane during planar scanning, and further passes through the cylindrical lens 12 for tilt correction on the image plane,
An image is formed on the scanning material surface 13 of the photosensitive material P. The photosensitive material P
For example, OPC (Organic Photo)
An organic photoconductor) plate is used.

【0018】一方、レーザダイオードLD2から出射さ
れたビーム4は、コリメータレンズ8にて平行光束とな
った後、角度変位調整ユニット14を通過し、微小角度
光軸よりズレた状態で、偏向ビームスプリッタ6の入射
面にP波として入射する。偏向ビームスプリッタ6は、
光ビーム4をその反射面で反射する。この場合における
反射率は、具体的には例えば90%以上となる。光ビー
ム4は、その後は、光ビーム3と同等の光路を通り、す
なわち、シリンドリカルレンズ10を透過し、ポリゴン
ミラー9の面で反射した後、fθレンズ11とシリンド
リカルレンズ12を通過して走査感材面13に結像す
る。
On the other hand, the beam 4 emitted from the laser diode LD2 becomes a parallel light beam by the collimator lens 8, and then passes through the angular displacement adjusting unit 14, and is deviated from the minute angle optical axis. It is incident as a P wave on the incident surface of No. The deflecting beam splitter 6 is
The light beam 4 is reflected by its reflection surface. In this case, the reflectance is specifically 90% or more. After that, the light beam 4 passes through the same optical path as that of the light beam 3, that is, passes through the cylindrical lens 10 and is reflected by the surface of the polygon mirror 9, and then passes through the fθ lens 11 and the cylindrical lens 12 to give a scanning feeling. An image is formed on the material surface 13.

【0019】上記のように、レーザダイオードLD1,
LD2からの2つの光ビームを合成する手段として、ビ
ームスプリッタ6を設けることで、例えばハーフミラー
を用いた時の出射光量ロスが50%以上であったもの
が、10%以内におさえることが可能となる。この結
果、レーザダイオードLD1とLD2のパワーマージン
を大きくとることが可能となる。
As described above, the laser diode LD1,
By providing the beam splitter 6 as a means for synthesizing the two light beams from the LD 2, it is possible to reduce the loss of the emitted light amount when using a half mirror to 50% or more, to 10% or less. Becomes As a result, it becomes possible to secure a large power margin between the laser diodes LD1 and LD2.

【0020】また、角度変位調整ユニット14は、図3
と図4を参照して、ウェジプリズム16を2枚組み合わ
せてなるカイロプリズム15から構成されている。そし
て、、互いの偏角を打ち消すように、光ビームが直進す
る位置を原点とし、2枚のウェジプリズム16を逆方向
へ同一角度で回転させることができる構成となってい
る。このための具体的な構成例を図5に示す。
The angular displacement adjusting unit 14 is shown in FIG.
With reference to FIG. 4, the Cairo prism 15 is formed by combining two wedge prisms 16. Then, in order to cancel out the declination of each other, with the position where the light beams travel straight as the origin, the two wedge prisms 16 can be rotated in the opposite directions at the same angle. A specific configuration example for this purpose is shown in FIG.

【0021】このような構成とすることで、副走査方向
における光ビームの振れを調節することができて、光ビ
ームを副走査方向に偏向することが可能である。つま
り、例えば図6に示したように、結像面において、レー
ザダイオードLD2からの光ビームによる結像を、レー
ザダイオードLD1からの光ビームの結像に対して副走
査方向Mに調整することが可能となる。なお、図6
(a)は調整前の、また図6(b)は調整後を示したも
のである。
With such a structure, the deflection of the light beam in the sub-scanning direction can be adjusted, and the light beam can be deflected in the sub-scanning direction. That is, for example, as shown in FIG. 6, the imaging by the light beam from the laser diode LD2 can be adjusted in the sub-scanning direction M with respect to the imaging by the light beam from the laser diode LD1 on the imaging plane. It will be possible. Note that FIG.
6A shows before adjustment, and FIG. 6B shows after adjustment.

【0022】ここで、図3と図4において、θをウェジ
プリズム16の1枚の偏角、φをウェジプリズム16の
回転角(2枚のウェジプリズム16において逆方向で同
一角度)、δをカイロプリズム15の偏角とすると、
3 and 4, θ is the deviation angle of one wedge prism 16, φ is the rotation angle of the wedge prism 16 (the same angle in opposite directions in the two wedge prisms 16), and δ is the Cairo prism 15. And the declination of

【数1】 δ=tan-1(2・tanθ・sinφ) … (1) で表すことができる。[Expression 1] δ = tan −1 (2 · tan θ · sin φ) (1)

【0023】また、ウェジプリズム16にける頂角αと
偏角θとの間には、
Further, between the apex angle α and the deviation angle θ in the wedge prism 16,

【数2】θ=(n−1)α … (2) の関係がある。但し、nは屈折率、αはウェジプリズム
の頂角である。
## EQU2 ## There is a relationship of θ = (n-1) α (2). Here, n is the refractive index and α is the apex angle of the wedge prism.

【0024】そして、上記の(1)(2)式より、カイ
ロプリズム15の偏向調整能力は、ウェジプリズム16
の頂角αを0.5゜とし、またウェジプリズム16の偏
角θにおけるnを1.5とした場合には、0.25゜で
ある。よって、ウェジプリズム15の1枚の偏角θが
0.25゜であれば、(1)式より、10゜回転させて
もわずか0.08゜の偏角の移動になることが判る。ま
た、90゜回転させた場合でも、0.5゜の偏角の移動
ですむことが判る。よって、微小角度の調整をするため
にはこのようなカイロプリズム15を用いることが有効
な手段であることが判る。
From the above equations (1) and (2), the deflection adjustment capability of the Cairo prism 15 is determined by the wedge prism 16
When the apex angle α of is 0.5 ° and n in the deviation angle θ of the wedge prism 16 is 1.5, it is 0.25 °. Therefore, if the deviation angle θ of one of the wedge prisms 15 is 0.25 °, it can be understood from the equation (1) that the deviation angle is only 0.08 ° even if it is rotated by 10 °. Also, it can be seen that even if it is rotated by 90 °, it can be moved with a declination of 0.5 °. Therefore, it is understood that the use of such a Cairo prism 15 is an effective means for adjusting a minute angle.

【0025】次に、図5により、角度変位調整ユニット
14の具体的な構造を説明する。2枚のウェジプリズム
16は、それぞれ、ラック歯車17が加工されたホルダ
ー18に各々実装される。なお、図5において、奥側の
ウェジプリズム16が実装されるホルダーは便宜上図示
を省略した。2枚のウェジプリズム16の間には、ピニ
オン歯車19が垂直に取り付いており、各ラック歯車1
7と連動するようになっている。さらに、ピニオン歯車
19は、調整つまみ20に連動する歯車21と連結して
いる。なお、図5のように、この角度変位ユニット14
は、カイロプリズム15が光軸中心の偏角をもつように
配置される。
Next, the specific structure of the angular displacement adjusting unit 14 will be described with reference to FIG. Each of the two wedge prisms 16 is mounted on a holder 18 in which a rack gear 17 is processed. Note that, in FIG. 5, the holder on which the wedge prism 16 on the back side is mounted is omitted for convenience of illustration. A pinion gear 19 is vertically attached between the two wedge prisms 16, and each rack gear 1
It works together with 7. Further, the pinion gear 19 is connected to a gear 21 that is interlocked with the adjusting knob 20. As shown in FIG. 5, this angular displacement unit 14
Are arranged so that the Cairo prism 15 has a deviation angle about the optical axis.

【0026】このような構成である角度変位調整ユニッ
ト14では、調節つまみ20を回ることで、2枚のウェ
ジプリズム16を上記のように逆方向に同一角度で回転
することができる。また、歯車21とピニオン歯車19
の減速比を大きくとることで、角度変位の調整が更に調
整が容易となる。そして、例えば、偏角が0.08゜で
ある場合には、カイロプリズム15を10゜回転すれば
良いことから、減速比を1/8とした場合において、調
節つまみ20を80゜回転させれば良い。
In the angular displacement adjusting unit 14 having such a structure, by rotating the adjusting knob 20, the two wedge prisms 16 can be rotated at the same angle in the opposite directions as described above. Also, the gear 21 and the pinion gear 19
By increasing the speed reduction ratio of, the angular displacement can be adjusted more easily. For example, when the declination is 0.08 °, it is sufficient to rotate the Cairo prism 15 by 10 °. Therefore, when the reduction ratio is 1/8, the adjustment knob 20 can be rotated by 80 °. Good.

【0027】このように、本実施形態のマルチビーム走
査装置では、角度変位調整ユニット14の調整つまみ2
0を回転させることで、感光材P上におけるレーザダイ
オードLD1とLD2による走査線の間隔(走査間隔)
を調整することができる。
As described above, in the multi-beam scanning device of this embodiment, the adjusting knob 2 of the angular displacement adjusting unit 14 is used.
By rotating 0, the interval (scan interval) between the scanning lines formed by the laser diodes LD1 and LD2 on the photosensitive material P
Can be adjusted.

【0028】ところで、通常この種の光学系では、例え
ば、400〜1000dpiの密度を有し、且つ、結像
面でマルチビームを得るためには、角度変位調整ユニッ
ト14により0.008゜〜0.08゜程度だけ偏角を
調整出来ればよい。また、主走査方向における開始位置
の調整は、図1に示したように結像面に位相開始センサ
ー22を実装することで行うことができる。そして、こ
の位相開始センサー22により、レーザダイオードLD
1,LD2の走査時間の差分で主走査方向における開始
ポイントをずらすことで、レーザダイオードLD1,L
D2による走査開始位置を合わせることができる。
By the way, usually, in this kind of optical system, in order to have a density of 400 to 1000 dpi and to obtain a multi-beam on the image plane, the angular displacement adjusting unit 14 is used to form 0.008 ° to 0 °. It suffices if the deflection angle can be adjusted by about 0.08 °. Further, the adjustment of the start position in the main scanning direction can be performed by mounting the phase start sensor 22 on the image plane as shown in FIG. Then, with this phase start sensor 22, the laser diode LD
By shifting the start point in the main scanning direction by the difference between the scanning times of 1 and LD2, the laser diodes LD1 and L
The scanning start position by D2 can be adjusted.

【0029】なお、以上の説明では、λ/2板をコリメ
ートレンズ7と偏向ビームスプリッタとの間に設けた
が、角度変位ユニットと偏向ビームスプリッタとの間に
設ける構成としても良い。
Although the λ / 2 plate is provided between the collimator lens 7 and the deflecting beam splitter in the above description, it may be provided between the angular displacement unit and the deflecting beam splitter.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のマルチビーム走査装置によれば、光ビーム間のピッチ
間隔を容易に調節でき、またこれにより、複数の光ビー
ムの走査間隔を容易に調整することが可能となる。
As is apparent from the above description, according to the multi-beam scanning device of the present invention, the pitch interval between the light beams can be easily adjusted, and the scanning intervals of the plurality of light beams can be easily adjusted. Can be adjusted to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態のマルチビーム走査装置の
説明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a multi-beam scanning device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のマルチビーム走査装置を構成するビーム
スプリッタの説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a beam splitter which constitutes the multi-beam scanning device of FIG.

【図3】図1のマルチビーム走査装置の角度変位調整ユ
ニットを構成するカイロプリズムの説明図。
FIG. 3 is an explanatory view of a Cairo prism which constitutes an angular displacement adjusting unit of the multi-beam scanning device of FIG.

【図4】カイロプリズムを構成するウェッジプリズムの
偏角の説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a deviation angle of a wedge prism that constitutes a Cairo prism.

【図5】角度変位調整ユニットの説明図。FIG. 5 is an explanatory view of an angular displacement adjustment unit.

【図6】(a)は結像面における光ビームの調整前のス
ポット位置を示した説明図、(b)は同じく調整後のス
ポット位置を示した説明図。
6A is an explanatory diagram showing a spot position of a light beam before adjustment on an image forming plane, and FIG. 6B is an explanatory diagram showing a spot position of the same after adjustment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5 λ/2 6 偏向ビームスプリッタ 7、8 コリメータレンズ 9 ポリゴンミラー 14 角度変位ユニット 5 λ / 2 6 Deflection beam splitter 7,8 Collimator lens 9 polygon mirror 14 Angular displacement unit

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 それぞれ光ビームを出力する複数の発光
手段と、 進行方向の異なる複数の前記光ビームの光軸合わせをす
る合成手段と、 前記光軸合わせされた複数の光ビームを偏向する偏向手
段と、 前記偏向された複数の光ビームを被走査面に結像させる
結像手段と、を有し、さらに、前記発光手段と前記合成
手段との間に設けられ、前記複数の光ビームの少なくと
も1つを走査方向と直交する副走査方向に偏向する角度
変位調整ユニットを備えており、前記角度変位調整ユニットは、2枚のウェッジプリズム
を組み合わせて構成されるものであり、光ビームが直進
する位置を原点として、前記2枚のウェッジプリズムを
逆方向へ同一角度で回転させることで、前記偏向の程度
が調整されることを特徴とする マルチビーム走査装置。
1. A plurality of light emitting means for respectively outputting light beams, a synthesizing means for aligning the optical axes of the plurality of light beams having different traveling directions, and a deflection for deflecting the plurality of light axes aligned with each other. Means and image forming means for forming an image of the deflected light beams on a surface to be scanned, and further provided between the light emitting means and the combining means, An angular displacement adjusting unit for deflecting at least one in a sub-scanning direction orthogonal to the scanning direction is provided, and the angular displacement adjusting unit includes two wedge prisms.
The light beam goes straight ahead.
The origin of the position is the two wedge prisms.
Rotation at the same angle in the opposite direction, the degree of deflection
The multi-beam scanning device is characterized in that
【請求項2】 前記合成手段が偏向ビームスプリッタで
あり、また、前記偏向ビームスプリッタに入射される一
方の光ビームにおける偏光方向を変えるためのλ/2板
を有することを特徴とする請求項1記載のマルチビーム
走査装置。
2. The synthesizing means is a deflecting beam splitter, and further has a λ / 2 plate for changing the polarization direction of one of the light beams incident on the deflecting beam splitter. The described multi-beam scanning device.
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