JP2000218520A - Work carrier - Google Patents

Work carrier

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JP2000218520A
JP2000218520A JP1982699A JP1982699A JP2000218520A JP 2000218520 A JP2000218520 A JP 2000218520A JP 1982699 A JP1982699 A JP 1982699A JP 1982699 A JP1982699 A JP 1982699A JP 2000218520 A JP2000218520 A JP 2000218520A
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JP
Japan
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work
carrier
pocket
base
carrier pocket
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982699A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshinori Yumoto
俊典 湯本
Hideo Abe
英夫 阿部
Motoyoshi Nomura
元義 野村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Diamond Industrial Co Ltd
Minebea Co Ltd
Original Assignee
Asahi Diamond Industrial Co Ltd
Minebea Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Diamond Industrial Co Ltd, Minebea Co Ltd filed Critical Asahi Diamond Industrial Co Ltd
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Publication of JP2000218520A publication Critical patent/JP2000218520A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure a long term use under a high working accuracy by constructing at least a part where a carrier pocket for holding a work is formed, of wear resistant member containing super abrasive grains. SOLUTION: A work carrier 11 is constructed of a base 13 and a pocket member 27 forming a carrier pocket 25. The base 13 is formed of a metal disc and has a plurality of recesses of same shape along it outer circumference at eqaual intervals with a short boundary 21 held therebetween. The pocket member 27 is mounted to the recess 15 on the base 13 so as to directly construct the carrier pocket 25. The pocket member 27 is made of a member which is formed by binding super abrasive grains with metallic bonding material (metal bond) such as bronze powder, and is formed by hot press or the like. With the constitution, the member constituting the carrier pocket 25 in which the work is stored is formed by the metal bond, the carrier pocket 25, and accordingly the carrier pocket 25 with an extremely good wear resistant characteristic is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、両頭研削加工など、被
加工物即ちワークの平行な二つの面に同時に加工を加え
る加工方法において使用する、ワークを保持するための
ワークキャリアに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work carrier for holding a work, which is used in a method for simultaneously processing two parallel surfaces of a work, that is, a work, such as double-head grinding.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば両頭研削加工において、多数のワ
ークを連続的に加工する方法として、ロータリキャリア
方式と称されるものがある。この方式は、図6に示され
るように、円盤状のワークキャリア1の外周近傍に、ワ
ークを保持するためのキャリアポケット2を多数形成
し、このキャリアポケット2にワーク3を保持した状態
で研削ホイールである上下のヘッド4、5の間を通し、
ワークキャリアの上下面より突出しているワークの上下
の面を研削するものである。そして、従来使用されてい
るワークキャリアには、SK材等の鉄系材料、ガラスフ
ァイバ入りエポキシやベークライト等樹脂系のもの等が
ある。
2. Description of the Related Art For example, in a double-head grinding process, there is a method called a rotary carrier method as a method for continuously processing a large number of works. In this method, as shown in FIG. 6, a large number of carrier pockets 2 for holding a work are formed near the outer periphery of a disk-shaped work carrier 1 and grinding is performed in a state where the work 3 is held in the carrier pocket 2. Pass between the upper and lower heads 4, 5 which are wheels,
The upper and lower surfaces of the work projecting from the upper and lower surfaces of the work carrier are ground. Conventionally used work carriers include iron-based materials such as SK materials and resin-based materials such as epoxy containing glass fiber and bakelite.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ワークキャ
リアのワークを保持する保持部即ちキャリアポケット
は、加工中にワークを安定して保持するとともに、ワー
クの出し入れが容易に行われねばならないという要求が
ある。このため、例えば円筒形のワークであれば、キャ
リアポケットの内径は、ワーク外径に対しておよそ10
%大きい径に設定する。そして、従来のワークキャリア
は上記した如き材料で作られているために、加工中のワ
ークとの接触により、キャリアポケットの部分に磨耗が
生じ、或いは変形が生じる等してワークを安定的に保持
することが出来なくなる。結果として、加工中にワーク
がキャリアポッケット内で遊ぶようになり、ワークの加
工精度が低下し、不良品を生じるようになる。特に最近
では、このような作業は自動化されている場合が多く、
その場合には大量の不良品発生の危険性があり、頻繁に
ワークキャリアの早期交換を行うことを余儀なくされて
いる。
By the way, the holding portion for holding the work of the work carrier, that is, the carrier pocket, is required to stably hold the work during the machining and to allow the work to be easily taken in and out. is there. Therefore, for example, in the case of a cylindrical work, the inner diameter of the carrier pocket is about 10 times the outer diameter of the work.
Set the diameter larger by%. And since the conventional work carrier is made of the above-mentioned material, the work pocket is abraded or deformed due to the contact with the work being processed, and the work is stably held. You will not be able to do it. As a result, the work comes to play in the carrier pocket during the processing, and the processing accuracy of the work is reduced, resulting in defective products. Especially recently, such tasks are often automated,
In this case, there is a risk of occurrence of a large number of defective products, and frequent replacement of the work carrier is required.

【0004】本発明は、上記従来技術に係るワークキャ
リアの問題点に鑑みなされたものであり、耐磨耗性が高
く、長期間に渡って使用でき、ワークの加工精度を良好
に維持できるワークキャリアを提供することを目的とす
る。また、靱性があり、ワークキャリアへのワークの着
脱時或いは加工中に、ワークがワークキャリアに当たる
等しても、割れや欠けが発生しないワークキャリアを提
供することも本発明の目的である。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the work carrier according to the prior art, and has a high abrasion resistance, can be used for a long period of time, and can maintain good machining accuracy of the work. The purpose is to provide a carrier. It is also an object of the present invention to provide a work carrier which is tough and does not crack or chip even when the work hits the work carrier during attachment or detachment of the work from the work carrier or during processing.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るワークキャリアにおいては、少なくと
もそのワークを保持するためのキャリアポケットを形成
する部分を、超砥粒を含んでなる耐磨耗性部材で構成し
た。
In order to solve the above-mentioned problems, in a work carrier according to the present invention, at least a portion for forming a carrier pocket for holding the work is made of an anti-abrasive material containing super-abrasive grains. It was composed of a wearable member.

【0006】ある実施の形態では、その耐磨耗性部材は
超砥粒をメタルボンドで固定した部材である。
In one embodiment, the wear-resistant member is a member in which superabrasive grains are fixed by metal bonds.

【0007】ある実施の形態では、その超砥粒はダイヤ
モンドである。
[0007] In one embodiment, the superabrasive is diamond.

【0008】[0008]

【実施の形態】以下、図面に基づき本願発明の具体的実
施の形態を説明するが、本願発明の範囲は以下に説明さ
れる実施の形態に限定されるものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below.

【0009】図1は、本発明の第1の実施の形態に係る
ワークキャリア11を用いて両頭研削を行う状態を概念
的に示した平面図である。ワークキャリア11の外周に
沿って略半円状のキャリアポケット25が一定の間隔で
多数形成されている。このキャリアポケット25にワー
ク101がそれぞれ収受される。符号103はワークキ
ャリア11と同心に配置された、半円環状のガイドであ
り、その内周面105がワーク101の外周に接し、ワ
ーク101をキャリアポケット25内に保持しかつ案内
するようになっている。107は研削ホイールであり、
ワークキャリア11を挟む形で上下に二枚配置される。
そして、ワークキャリア11が回転することにより、キ
ャリアポケット25に保持されたワーク101が順次上
下の研削ホイールの間に送り込まれ、その上下面を研削
加工される。
FIG. 1 is a plan view conceptually showing a state in which double-head grinding is performed using a work carrier 11 according to a first embodiment of the present invention. A large number of substantially semicircular carrier pockets 25 are formed at regular intervals along the outer periphery of the work carrier 11. The works 101 are received in the carrier pockets 25, respectively. Reference numeral 103 denotes a semi-circular guide concentrically arranged with the work carrier 11, the inner peripheral surface 105 of which is in contact with the outer periphery of the work 101, and holds and guides the work 101 in the carrier pocket 25. ing. 107 is a grinding wheel,
Two work carriers 11 are arranged vertically above and below the work carrier 11.
Then, as the work carrier 11 rotates, the work 101 held in the carrier pocket 25 is sequentially fed between the upper and lower grinding wheels, and the upper and lower surfaces thereof are ground.

【0010】図2は、図1におけるワークキャリア11
とガイド103の部分拡大平面図であり、図3は、図2
におけるA−A線による断面図である。ワークキャリア
11は、台金13と、キャリアポケット25を形成する
ポケット部材27とで構成されている。
FIG. 2 shows the work carrier 11 shown in FIG.
FIG. 3 is a partially enlarged plan view of the guide 103 and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. The work carrier 11 includes a base 13 and a pocket member 27 forming a carrier pocket 25.

【0011】台金13は、炭素鋼等適宜な金属材料で作
られた円板であり、その外周に沿って、多数の同一形状
の凹部17が、互いの間に短い境界部21を挟んで、等
間隔に形成されている。この凹部15は、半円部17
と、その半円部17の両端から互いに平行に延びる短い
伸直部19で構成されている。
The base metal 13 is a disk made of an appropriate metal material such as carbon steel, and has a plurality of recesses 17 of the same shape along the outer periphery thereof with a short boundary portion 21 interposed therebetween. Are formed at equal intervals. The concave portion 15 has a semicircular portion 17
And short straight portions 19 extending in parallel from both ends of the semicircular portion 17.

【0012】符号27は、台金13の凹部15に取り付
けられ、キャリアポケット25を直接構成するポケット
部材である。ポケット部材27は、台金13の厚みより
も0.1mm程度薄くして、半円部29と、その半円部
29の両端から互いに平行に延びる伸直部31で構成さ
れている。そして、その外側形状は、台金13の凹部の
形状に対応した形状となっており、その内側形状は、こ
のキャリアポケット25に収受されるワークの外形形状
に対応した形となっている。すなわち、本実施の形態で
はワーク101の外形は円形であり、ポケット部材27
の半円部29の内側半径は、そのワークの半径より僅か
に大きい寸法となっており、キャリアポケット25への
ワークの出入りが容易に行われ、固定されたガイド10
3に沿って移動することにより、収納されたワークをキ
ャリアポケット内で遊ばないよう安定的に保持するよう
になっている。なお、ポケット部材27の伸直部31の
先端は、図示のとおり、台金13の境界部21の先端と
同一円周上、もしくは内側に若干引っ込んだ形となって
いる。
Reference numeral 27 denotes a pocket member which is attached to the concave portion 15 of the base metal 13 and directly constitutes the carrier pocket 25. The pocket member 27 is made thinner by about 0.1 mm than the thickness of the base metal 13, and includes a semicircular portion 29 and straight portions 31 extending parallel to each other from both ends of the semicircular portion 29. The outer shape corresponds to the shape of the concave portion of the base metal 13, and the inner shape corresponds to the outer shape of the work received in the carrier pocket 25. That is, in the present embodiment, the outer shape of the work 101 is circular, and
The inside radius of the semicircular portion 29 is slightly larger than the radius of the work, so that the work can easily enter and exit the carrier pocket 25, and the fixed guide 10 can be fixed.
By moving along 3, the stored work is stably held so as not to play in the carrier pocket. As shown in the figure, the tip of the straight portion 31 of the pocket member 27 is slightly retracted on the same circumference as the tip of the boundary 21 of the base 13 or inside.

【0013】本実施の形態でのポケット部材は、超砥粒
を含んだ素材で構成されている。より詳細に言えば、超
砥粒をブロンズ粉末等金属質結合材(メタルボンド)で
固結して形成した部材であり、ホットプレス等により成
形される。超砥粒としてはCBN砥粒等もあるが、本実
施の形態で使用されている超砥粒はダイヤモンドであ
る。ダイヤモンドは、CBNと比較して耐磨耗性が高
く、ポケット部材として好適に使用できる。また、本発
明に使用するダイヤモンドの粒径は、300ミクロン以
下のものを、単独の粒径で、或いは複数の粒径のものを
混合して使用する。そしてこのポケット部材は、ロー付
けその他の手段も採用可能であるが、本実施の形態で
は、エポキシ系の接着剤を用いて台金13に接着されて
いる。なお、本実施の形態でのガイド103は、その材
質について特に制限はなく、例えば超硬合金、焼き入れ
鋼等が使用可能である。
The pocket member according to the present embodiment is made of a material containing superabrasive grains. More specifically, it is a member formed by solidifying superabrasive grains with a metallic binder such as bronze powder (metal bond), and is formed by hot pressing or the like. The superabrasives include CBN abrasives and the like, but the superabrasives used in the present embodiment are diamond. Diamond has higher abrasion resistance than CBN, and can be suitably used as a pocket member. The diamond used in the present invention has a diameter of 300 microns or less, a single diameter or a mixture of a plurality of diameters. The pocket member may be brazed or other means. In the present embodiment, the pocket member is adhered to the base 13 using an epoxy-based adhesive. The guide 103 in the present embodiment is not particularly limited in its material, and for example, a cemented carbide, hardened steel, or the like can be used.

【0014】以上の通り、本実施の形態では、ワークが
収納されるキャリアポケットを構成する部材をメタルボ
ンドで形成したので、きわめて耐磨耗性に優れたキャリ
アポケットとなり、従来のワークキャリアに比して、耐
磨耗性が格段に優れたワークキャリアが提供され、長時
間、ワークキャリアの交換無しで、高い加工精度を維持
することが出来る。
As described above, in the present embodiment, since the members constituting the carrier pocket for accommodating the work are formed by metal bonds, the carrier pocket has extremely excellent abrasion resistance, and is compared with the conventional work carrier. Thus, a work carrier having extremely excellent wear resistance is provided, and high machining accuracy can be maintained for a long time without replacing the work carrier.

【0015】なお、メタルボンドに代えて、超砥粒を含
んだ耐磨耗性部材としては、台金に超砥粒、例えばダイ
ヤモンドを電着した部材、或いはダイヤモンドコンパク
トで形成した部材も使用可能であり、これらによっても
従来のワークキャリアに比して極めて優れた耐磨耗性が
確保できる。しかし、ダイヤモンドを電着したもので
は、ダイヤモンド層が一層であり、しかも、ワークを傷
つけないためにはダイヤモンド砥粒の突出量を小さくす
る必要がある。また、ダイヤモンドコンパクトの場合に
は、メタルボンドに比して高価であり、しかも靱性の点
でメタルボンドより劣る。従って、メタルボンドの使用
が最適であると判明した。
In place of the metal bond, as a wear-resistant member containing superabrasive grains, a member obtained by electrodepositing superabrasive grains, for example, diamond on a base metal, or a member formed of diamond compact can be used. With these, it is possible to secure extremely excellent wear resistance as compared with a conventional work carrier. However, the electrodeposited diamond has only one diamond layer, and it is necessary to reduce the amount of protrusion of the diamond abrasive grains in order not to damage the work. The diamond compact is more expensive than a metal bond and is inferior to a metal bond in toughness. Therefore, it turned out that the use of a metal bond is optimal.

【0016】[0016]

【実施例】ここで、具体的な1実施例と、従来例の1つ
を比較例として詳述すると、以下のとおりである。結果
を表1に示す。 実施例 図2に示すワークキャリアを製作した。台金13はSK
材で、厚みは2.3mmである。続いて、粒度100/
120のダイヤモンドをメタルボンドで焼結し、厚み
2.2mmのポケット部材を製作した。仕様はSD10
0N125Mである。このポケット部材を、台金の両側
面から突出しないように配置し、エポキシ系の接着剤で
固着した。このワークキャリアを用いて、焼き入れ鋼S
UJ2製の円筒状部材の幅決め加工を行った。100万
個加工後でもキャリアポケットの磨耗は半径で0.1m
m以下であり、ワークの加工精度は良好であった。 比較例 従来品のSK材のワークキャリアを使用して、同様の幅
決め加工を行った。加工数30万個でキャリアポケット
が半径で約1mm磨耗し、ワークの加工精度不良が発生
したため、加工を中止し、ワークキャリアを交換した。
Here, one concrete example and one of the conventional examples will be described in detail as comparative examples as follows. Table 1 shows the results. Example A work carrier shown in FIG. 2 was manufactured. Base 13 is SK
The material is 2.3 mm thick. Subsequently, particle size 100 /
120 diamonds were sintered by metal bond to produce a pocket member having a thickness of 2.2 mm. Specifications are SD10
0N125M. This pocket member was arranged so as not to protrude from both side surfaces of the base metal, and was fixed with an epoxy-based adhesive. Using this work carrier, hardened steel S
The width of the UJ2 cylindrical member was determined. Even after machining 1 million pieces, the wear of the carrier pocket is 0.1 m in radius
m or less, and the processing accuracy of the work was good. Comparative Example Similar width determination processing was performed using a conventional SK material work carrier. The machining was stopped and the work carrier was replaced because the carrier pocket was worn by about 1 mm in radius after machining of 300,000 pieces, resulting in poor machining accuracy of the work.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】図4は本発明の第2の実施の形態に係るワ
ークキャリア41の部分拡大平面図である。本実施の形
態では、キャリアポケット45を構成するポケット部材
47が一体に形成されている点に特徴がある。すなわ
ち、台金43は第1の実施の形態と異なり、その外周部
に凹所を備えておらず、外周が円形の部材である。一方
ポケット部材47は円環状に形成され、その外周側にキ
ャリアポケット45を構成する凹所48が等間隔で多数
形成されている。
FIG. 4 is a partially enlarged plan view of a work carrier 41 according to a second embodiment of the present invention. The present embodiment is characterized in that a pocket member 47 constituting the carrier pocket 45 is formed integrally. That is, unlike the first embodiment, the base metal 43 does not have a recess at its outer peripheral portion and is a member having a circular outer periphery. On the other hand, the pocket member 47 is formed in an annular shape, and a plurality of recesses 48 forming the carrier pocket 45 are formed at equal intervals on the outer peripheral side.

【0019】このポケット部材45も超砥粒、より具体
的にはダイヤモンド砥粒をメタルボンドで固結すること
により形成されている。そしてこのポケット部材45の
成形及び台金43への取付けは以下のように行う。即
ち、先ず台金43に一体焼結することにより、台金43
の外周の外側に、所定の幅で円環状のダイヤモンドメタ
ルボンド固結体を成形する。すなわちポケット部材45
の母材の成形と台金43への取付けを同時に行う。次に
放電加工により、キャリアポケット45を順次形成す
る。なお、この実施の形態に形態に係るワークキャリア
を使用する場合にも、第1の実施の形態に係るワークキ
ャリアに関連して使用されたガイド103と同種のガイ
ドが使用される。
The pocket member 45 is also formed by solidifying super-abrasive grains, more specifically, diamond abrasive grains with a metal bond. The molding of the pocket member 45 and the attachment to the base metal 43 are performed as follows. That is, the base metal 43 is first sintered integrally,
An annular diamond metal bond compact having a predetermined width is formed on the outside of the outer periphery of the metal alloy. That is, the pocket member 45
Of the base material and mounting on the base 43 are performed at the same time. Next, carrier pockets 45 are sequentially formed by electric discharge machining. When using the work carrier according to the embodiment in this embodiment, the same type of guide as the guide 103 used in connection with the work carrier according to the first embodiment is used.

【0020】図5は、本発明の第3の実施の形態に係る
ワークキャリア61の部分拡大平面図である。この実施
の形態では、先の第1及び第2の実施の形態とことな
り、形成されるキャリアポケット65が閉じた円となっ
ている。すなわち、台金63は、その外周近傍に円周方
向に沿って等間隔で多数の同一径の孔64を備え、この
孔64内に円環状に成形されたポケット部材67が接着
剤で固定され、キャリアポケット65を構成している。
FIG. 5 is a partially enlarged plan view of a work carrier 61 according to a third embodiment of the present invention. This embodiment differs from the first and second embodiments in that the formed carrier pocket 65 is a closed circle. That is, the base metal 63 is provided with a number of holes 64 having the same diameter at equal intervals along the circumferential direction in the vicinity of the outer periphery thereof, and a ring-shaped pocket member 67 is fixed in the holes 64 with an adhesive. , And a carrier pocket 65.

【0021】なお、上記実施の形態では、主として両頭
研削加工に使用した例をもって説明したが、本発明のワ
ークキャリアの用途はそれに限定されるものではなく、
例えばラップ加工等においても使用可能である。
In the above embodiment, an example in which the work carrier is used mainly for double-head grinding has been described. However, the use of the work carrier of the present invention is not limited thereto.
For example, it can be used in lapping and the like.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上詳述したとおり、本発明に係るワー
クキャリアにおいては、少なくともワークを収受するキ
ャリアポケットを構成する部材を、超砥粒を含んだ耐磨
耗性部材で形成したので、このキャリアポケットの部分
がきわめて耐磨耗性に優れたものとなり、従来のワーク
キャリアに比して、高い加工精度を維持した状態できわ
めて長期間使用することが出来、加工コストの低減に大
いに利することができる。また、超砥粒を含んだ耐磨耗
性部材として、超砥粒をメタルボンドで固結して形成し
た部材を使用した場合、靱性にも優れ、ワークキャリア
の、特に重要な部分であるキャリアポケットでの欠けや
割れの発生を防止できる。
As described in detail above, in the work carrier according to the present invention, at least the member constituting the carrier pocket for receiving the work is formed of a wear-resistant member containing superabrasive grains. Carrier pockets are extremely abrasion resistant and can be used for a very long time while maintaining high machining accuracy compared to conventional work carriers, greatly reducing machining costs. be able to. In addition, when a member formed by consolidating superabrasive grains with a metal bond is used as the wear-resistant member containing the superabrasive grains, the toughness is excellent, and the carrier, which is a particularly important part of the work carrier, is used. Chipping and cracking in the pocket can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るワークキャリ
アを使用して両頭研削加工を行っている状態を概念的に
示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view conceptually showing a state in which double-head grinding is performed using a work carrier according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1におけるワークキャリアとガイドの部分拡
大平面図である。
FIG. 2 is a partially enlarged plan view of a work carrier and a guide in FIG.

【図3】図2におけるA−A線による断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG.

【図4】第2の実施の形態に係るワークキャリアの部分
拡大平面図である。
FIG. 4 is a partially enlarged plan view of a work carrier according to a second embodiment.

【図5】第3の実施の形態に係るワークキャリアの部分
拡大平面図である。
FIG. 5 is a partially enlarged plan view of a work carrier according to a third embodiment.

【図6】ワークキャリアを用いたロータリキャリア方式
での両頭研削加工を示す、要部斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a main part showing a double-head grinding process by a rotary carrier method using a work carrier.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、41、61 ワークキャリア 13、43、63 台金 15 凹所 25、45、65 キャリアポケット 27、47、67 ポケット部材 11, 41, 61 Work carrier 13, 43, 63 Metal base 15 Concavity 25, 45, 65 Carrier pocket 27, 47, 67 Pocket member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 英夫 神奈川県川崎市高津区久地185 旭ダイヤ モンド工業株式会社玉川工場内 (72)発明者 野村 元義 神奈川県川崎市高津区久地185 旭ダイヤ モンド工業株式会社玉川工場内 Fターム(参考) 3C058 AA04 AA09 AA18 AB04 AB08 CA02 CB01 CB06 DA06  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hideo Abe 185 Kuji, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Asahi Diamond Industrial Co., Ltd. F-term in the Tamagawa Plant of Industrial Co., Ltd. (reference) 3C058 AA04 AA09 AA18 AB04 AB08 CA02 CB01 CB06 DA06

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 加工工具たる二つのヘッドを対向配置
し、該二つのヘッドの間にワークを送り込み、該ワーク
の平行な二つの面に同時に加工を加える加工方法におい
て使用するワークキャリアであって、円板状の基板の外
周部もしくは外周近傍に、ワークの外形形状に対応した
形状を有するキャリヤポケットを複数形成してなるワー
クキャリアにおいて、少なくとも前記キャリアポケット
を形成する部分を、超砥粒を含んでなる耐磨耗性部材で
構成したことを特徴とする、ワークキャリア。
1. A work carrier for use in a working method in which two heads as working tools are arranged to face each other, a work is sent between the two heads, and a work is simultaneously performed on two parallel surfaces of the work. In a work carrier in which a plurality of carrier pockets having a shape corresponding to the outer shape of a work are formed on an outer peripheral portion or in the vicinity of an outer peripheral portion of a disk-shaped substrate, at least a portion forming the carrier pocket is formed by using super-abrasive grains. A work carrier comprising a wear-resistant member.
【請求項2】 請求項1に記載のワークキャリアにおい
て、前記耐磨耗性部材は、メタルボンドで超砥粒を固定
して形成された部材であることを特徴とする、ワークキ
ャリア。
2. The work carrier according to claim 1, wherein the wear-resistant member is a member formed by fixing superabrasive grains with a metal bond.
【請求項3】 請求項1又は2に記載のワークキャリア
において、前記超砥粒はダイヤモンドであることを特徴
とする、ワークキャリア。
3. The work carrier according to claim 1, wherein the superabrasive grains are diamond.
JP1982699A 1999-01-28 1999-01-28 Work carrier Pending JP2000218520A (en)

Priority Applications (1)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006255871A (en) * 2005-03-18 2006-09-28 Nisshin Seisakusho:Kk Honing grinding wheel and its manufacturing method

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