JP2000205839A - Measuring device for shape - Google Patents

Measuring device for shape

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JP2000205839A
JP2000205839A JP11008564A JP856499A JP2000205839A JP 2000205839 A JP2000205839 A JP 2000205839A JP 11008564 A JP11008564 A JP 11008564A JP 856499 A JP856499 A JP 856499A JP 2000205839 A JP2000205839 A JP 2000205839A
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雅彦 秋山
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直樹 辻
Masao Sugimori
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a measuring device for a shape that measures various kinds of parts on a measured object in a short time by a simple operation and man-hours for development are reduced. SOLUTION: A function from among detecting functions of a straight line edge, a circle edge, an arc edge, a center line edge, a center line between two straight lines, vertical line with a point passed to a straight line, a straight line connected between two points, an intersection point of two lines is chosen with command buttons 61-68. A dimension of a required part of a measured object is determined by combining the detecting functions. A confirming process of the setting of the detecting function is realized by storing the functions chosen as a hierarchical data structure.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、物体の形状を測定
する形状測定器に関する。
The present invention relates to a shape measuring instrument for measuring the shape of an object.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、物体の各部の長さ、角度、距
離、形状等を測定するために形状測定器が用いられてい
る。図20はパーソナルコンピュータを用いた従来の形
状測定器を示すブロック図である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a shape measuring instrument has been used to measure the length, angle, distance, shape, etc. of each part of an object. FIG. 20 is a block diagram showing a conventional shape measuring instrument using a personal computer.

【0003】図20の形状測定器は、撮像素子としてC
CD(電荷結合素子)を用いたカメラ100、光源11
0、パーソナルコンピュータ120およびCRTモニタ
130により構成される。カメラ100には、レンズ1
01が装着される。カメラ100は、支持台(図示せ
ず)に固定される。
[0003] The shape measuring instrument shown in FIG.
Camera 100 using CD (Charge Coupled Device), light source 11
0, a personal computer 120 and a CRT monitor 130. The camera 100 includes a lens 1
01 is attached. The camera 100 is fixed to a support (not shown).

【0004】測定対象物300は、カメラ100と光源
110との間でステージ(図示せず)上に載置される。
光源110からの光が測定対象物300に照射され、測
定対象物300の透過像がカメラ100により撮像され
る。
A measuring object 300 is mounted on a stage (not shown) between the camera 100 and the light source 110.
Light from the light source 110 is applied to the measurement target 300, and a transmission image of the measurement target 300 is captured by the camera 100.

【0005】カメラ100により得られた画像信号は、
パーソナルコンピュータ120に転送される。パーソナ
ルコンピュータ120には、インタフェースとして働く
画像取り込みボード121が装着される。画像取り込み
ボード121は、カメラ100から与えられた画像信号
をCPU(中央演算処理装置)、メモリ、外部記憶装置
等からなる信号処理部122に与える。
[0005] The image signal obtained by the camera 100 is
The data is transferred to the personal computer 120. An image capturing board 121 serving as an interface is mounted on the personal computer 120. The image capturing board 121 provides an image signal provided from the camera 100 to a signal processing unit 122 including a CPU (Central Processing Unit), a memory, an external storage device, and the like.

【0006】信号処理部122は、画像データに基づい
て測定対象物300の各部の長さ、角度、形状等の寸法
を算出し、測定対象物300の画像および算出結果をモ
ニタ130に表示させる。
The signal processing unit 122 calculates dimensions such as the length, angle, and shape of each part of the measuring object 300 based on the image data, and displays an image of the measuring object 300 and the calculation result on the monitor 130.

【0007】図21は図20のカメラ100により撮像
された測定対象物の光量分布の一例を示す図である。図
21の横軸はCCDの画素位置であり、縦軸は光量であ
る。
FIG. 21 is a diagram showing an example of the light amount distribution of the measurement object imaged by the camera 100 of FIG. The horizontal axis in FIG. 21 is the pixel position of the CCD, and the vertical axis is the light amount.

【0008】図21に示すように、測定対象物300が
存在する領域では光量が低く、測定対象物300の周囲
の領域では光量が高くなる。光量分布におけるエッジe
1,e2は、測定対象物300の輪隔を表す。したがっ
て、光量分布におけるエッジe1,e2間の距離を算出
することにより、測定対象物300の寸法を測定するこ
とができる。
As shown in FIG. 21, the light quantity is low in the area where the measuring object 300 is present, and is high in the area surrounding the measuring object 300. Edge e in light intensity distribution
Reference numerals 1 and e2 represent the ring intervals of the measurement object 300. Therefore, by calculating the distance between the edges e1 and e2 in the light quantity distribution, it is possible to measure the dimension of the measurement object 300.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来の形状測定
器においては、モニタ130に表示される測定対象物の
複数のエッジを指定すると、指定されたエッジの座標が
検出され、検出されたエッジの座標を用いて測定対象物
の所望の部分の寸法が算出される。例えば、測定対象物
の画像の2つのエッジを指定することにより2つのエッ
ジ間の距離を算出することができる。このように測定対
象物の所望の部分の寸法を算出するために、次のような
種々の検出機能が準備される。
In the above-described conventional shape measuring instrument, when a plurality of edges of a measurement object displayed on the monitor 130 are designated, coordinates of the designated edge are detected, and the detected edge is detected. Is used to calculate the size of the desired portion of the measurement object. For example, a distance between two edges can be calculated by designating two edges of the image of the measurement object. In order to calculate the dimensions of a desired portion of the measurement target in this manner, the following various detection functions are prepared.

【0010】例えば、図22(a)に示す検出機能で
は、直線エッジ600が検出される。図22(b)に示
す検出機能では、2つの直線エッジ601,602間の
中心線603が検出される。図22(c)に示す検出機
能では、円エッジ604およびその中心点604aが検
出される。
For example, in the detection function shown in FIG. 22A, a straight edge 600 is detected. In the detection function shown in FIG. 22B, a center line 603 between two straight edges 601 and 602 is detected. The detection function shown in FIG. 22C detects the circular edge 604 and its center point 604a.

【0011】また、図23(a)に示す検出機能では、
円エッジ605の中心点606を通りかつエッジ607
に垂直な直線608が検出される。図23(b)に示す
検出機能では、2つの円エッジ609,610の中心点
611,612を結ぶ直線613が検出される。図23
(c)の検出機能では、2つの直線エッジ614,61
5の交点616を通りかつ別の直線エッジ617に垂直
な直線618が検出される。
Further, in the detection function shown in FIG.
An edge 607 passing through the center point 606 of the circular edge 605
Is detected. In the detection function shown in FIG. 23B, a straight line 613 connecting the center points 611 and 612 of the two circular edges 609 and 610 is detected. FIG.
In the detection function of (c), two straight edges 614 and 61
A straight line 618 passing through the intersection 616 of 5 and perpendicular to another straight edge 617 is detected.

【0012】さらに、図24(a)に示す検出機能で
は、2つの直線エッジ619,620間の中心線621
が検出され、かつ別の2つの直線エッジ622,623
間の中心線624が検出され、さらに中心線621,6
24間の中心線625が検出される。
In the detection function shown in FIG. 24A, a center line 621 between two straight edges 619 and 620 is used.
Is detected, and another two straight edges 622 and 623 are detected.
A center line 624 between them is detected.
A centerline 625 between 24 is detected.

【0013】図24(b)に示す検出機能では、2つの
円エッジ627,628の中心点629,630を結ん
だ直線631と別の直線エッジ632との間の中心線6
33が検出される。
In the detection function shown in FIG. 24B, a center line 6 between a straight line 631 connecting the center points 629 and 630 of two circular edges 627 and 628 and another straight edge 632 is detected.
33 are detected.

【0014】図24(c)の検出機能では、円エッジ6
34の中心点635を通りかつ別の2つの直線エッジ6
36,637間の中心線638に垂直な直線639が検
出される。
In the detection function shown in FIG.
34 and another two straight edges 6 passing through the center point 635
A straight line 639 perpendicular to the center line 638 between 36 and 637 is detected.

【0015】このような種々の検出機能により検出され
た直線または点の座標を用いて測定対象物の種々の部分
の寸法を算出することができる。
The dimensions of various parts of the object to be measured can be calculated using the coordinates of a straight line or a point detected by such various detection functions.

【0016】しかしながら、従来の形状測定器では、上
記の種々の検出機能を実現するアルゴリズムを検出機能
の内容ごとに作成する必要がある。すなわち、新たな検
出機能を実現するためには新たなアルゴリズムを作成す
ることが必要となる。そのため、ソフトウエアの開発工
数が増大する。
However, in the conventional shape measuring device, it is necessary to create algorithms for realizing the various detection functions described above for each content of the detection function. That is, it is necessary to create a new algorithm to realize a new detection function. As a result, the number of software development steps increases.

【0017】また、ユーザは、各検出機能を実行する際
に、モニタ130の画面上に表示された測定対象物の画
像のエッジを正確に指定する必要がある。そのため、測
定に細かい作業が必要となり、測定時間が長くなる。
Further, when executing each of the detection functions, the user needs to accurately specify the edge of the image of the measurement object displayed on the screen of the monitor 130. Therefore, detailed work is required for the measurement, and the measurement time becomes longer.

【0018】さらに、複雑な検出機能を用いた場合、ユ
ーザは検出された直線または点がどの直線または点に基
づいて検出されたのかを認識することが困難となる。
Further, when a complicated detection function is used, it is difficult for the user to recognize on which straight line or point the detected straight line or point was detected.

【0019】本発明の目的は、測定対象物の種々の部分
を簡単な操作により短時間で測定することができるとと
もに開発工数が削減された形状測定器を提供することで
ある。
An object of the present invention is to provide a shape measuring instrument which can measure various portions of an object to be measured in a short time by a simple operation and has reduced the number of development steps.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段および発明の効果】(1)
第1の発明 第1の発明に係る形状測定器は、測定対象物の形状を測
定する形状測定器であって、光を測定対象物に投射する
投光部と、投光部に投射されて測定対象物を透過した光
を受光し、受光量に対応した信号を出力する受光部と、
受光部からの出力信号をアナログ・デジタル変換し、デ
ジタルの画像データを得る変換手段と、変換手段により
得られた画像データに基づいて測定対象物の画像を表示
する表示手段と、表示手段により表示された画像のエッ
ジを指定するエッジ指定手段と、変換手段により得られ
た画像データに基づいてエッジ指定手段により指定され
たエッジを検出するエッジ検出手段と、エッジ検出手段
により検出されたエッジまたは既に算出された補助線ま
たは補助点に基づいて補助線または補助点を算出する補
助算出手段と、エッジ検出手段により検出されたエッジ
または補助算出手段により算出された補助線または補助
点を算出対象として指定する算出対象指定手段と、算出
対象指定手段により指定された複数の算出対象に関する
物理量を算出する物理量算出手段とを備えたものであ
る。
Means for Solving the Problems and Effects of the Invention (1)
A first aspect of the present invention is a shape measuring instrument for measuring a shape of an object to be measured, and a light projecting unit that projects light onto the object to be measured, and a light projecting unit that projects light onto the light projecting unit. A light receiving unit that receives light transmitted through the object to be measured and outputs a signal corresponding to the amount of received light;
A conversion unit that converts an output signal from the light receiving unit from analog to digital to obtain digital image data, a display unit that displays an image of the measurement target based on the image data obtained by the conversion unit, and a display unit that displays the image. Edge specifying means for specifying an edge of the selected image; edge detecting means for detecting an edge specified by the edge specifying means based on the image data obtained by the converting means; and an edge detected by the edge detecting means or an edge detected by the edge detecting means. Auxiliary calculation means for calculating an auxiliary line or an auxiliary point based on the calculated auxiliary line or auxiliary point, and an edge detected by the edge detection means or an auxiliary line or an auxiliary point calculated by the auxiliary calculation means are designated as calculation targets. Calculating a physical quantity related to a plurality of calculation targets specified by the calculation target specifying unit It is obtained by a physical quantity calculation means.

【0021】本発明に係る形状測定器においては、投光
部により測定対象物に光が投射され、測定対象物を透過
した光が受光部により受光され、受光量に対応する信号
が出力される。受光部の出力信号は変換手段によりアナ
ログ・デジタル変換され、デジタルの画像データが得ら
れる。その画像データに基づいて表示手段により測定対
象物の画像が表示される。
In the shape measuring instrument according to the present invention, light is projected onto the object to be measured by the light projecting unit, light transmitted through the object to be measured is received by the light receiving unit, and a signal corresponding to the amount of received light is output. . The output signal of the light receiving section is converted from analog to digital by the conversion means, and digital image data is obtained. An image of the measurement object is displayed by the display means based on the image data.

【0022】表示手段により表示された画像のエッジが
エッジ指定手段により指定されると、画像データに基づ
いて指定されたエッジがエッジ検出手段により検出され
る。また、検出されたエッジまたは既に算出された補助
線または補助点に基づいて補助算出手段により補助線ま
たは補助点が算出される。
When the edge of the image displayed by the display means is designated by the edge designation means, the designated edge is detected by the edge detection means based on the image data. Further, the auxiliary line or the auxiliary point is calculated by the auxiliary calculating means based on the detected edge or the already calculated auxiliary line or the auxiliary point.

【0023】算出対象指定手段によりエッジと補助線ま
たは補助点が算出対象として指定されると、物理量算出
手段により複数の算出対象に関する物理量が算出され
る。
When the edge and the auxiliary line or the auxiliary point are specified as calculation targets by the calculation target specifying means, physical quantities relating to a plurality of calculation targets are calculated by the physical quantity calculating means.

【0024】このように、検出されたエッジまたは既に
算出された補助線または補助点に基づいて補助線または
補助点が算出されるので、エッジ、補助線または補助点
を算出対象として指定することにより、測定対象物の種
々の部分に関する物理量を多数の専用のアルゴリズムを
作成することなく算出することが可能となる。
As described above, since the auxiliary line or the auxiliary point is calculated based on the detected edge or the already calculated auxiliary line or auxiliary point, by specifying the edge, the auxiliary line or the auxiliary point as a calculation target. In addition, it is possible to calculate the physical quantities related to various portions of the measurement object without creating many dedicated algorithms.

【0025】したがって、ソフトウエアの開発工数が削
減されるとともに、簡単な操作で測定対象物の種々の部
分を測定することができ、測定時間が短縮される。
Therefore, the number of software development steps can be reduced, and various portions of the object to be measured can be measured with a simple operation, and the measurement time can be shortened.

【0026】(2)第2の発明 第2の発明に係る形状測定器は、第1の発明に係る形状
測定器の構成において、エッジ検出手段は、表示手段に
より表示された画像の複数点を指定するための画像位置
指定手段と、画像位置指定手段により指定された複数点
に基づいてエッジ検出領域を設定するエッジ検出領域設
定手段とを含み、エッジ検出手段は、エッジ検出領域設
定手段により設定されたエッジ検出領域内の画像データ
に基づいてエッジを検出するものである。
(2) Second invention In the configuration of the shape measuring instrument according to the first invention, the edge detecting means is provided with a plurality of points of the image displayed by the display means. Image position specifying means for specifying, and edge detection area setting means for setting an edge detection area based on a plurality of points specified by the image position specification means, wherein the edge detection means is set by the edge detection area setting means The edge is detected based on the image data in the detected edge detection area.

【0027】この場合、複数点に基づいてエッジ検出領
域が設定され、エッジ検出領域内の画像データに基づい
てエッジが検出されるので、画像のエッジの近くの複数
点を指定することによりエッジを容易に検出することが
できる。したがって、画像のエッジを正確に指定する操
作が必要なくなる。
In this case, an edge detection area is set based on a plurality of points, and an edge is detected based on image data in the edge detection area. Therefore, by specifying a plurality of points near the edge of the image, the edge is detected. It can be easily detected. Therefore, there is no need to perform an operation to accurately specify the edge of the image.

【0028】(3)第3の発明 第3の発明に係る形状測定器は、第2の発明に係る形状
測定器の構成において、エッジ指定手段は、エッジ検出
手段により検出されたエッジを使用してエッジ検出領域
を所定の位置に再設定するエッジ検出領域再設定手段を
さらに含み、表示手段は、エッジ検出領域再設定手段に
より再設定されたエッジ検出領域を表示するものであ
る。
(3) Third invention The shape measuring instrument according to the third invention is the configuration of the shape measuring instrument according to the second invention, wherein the edge designating means uses the edge detected by the edge detecting means. And an edge detection area resetting means for resetting the edge detection area to a predetermined position. The display means displays the edge detection area reset by the edge detection area resetting means.

【0029】この場合、エッジ検出手段により検出され
たエッジ検出領域がエッジ検出領域再設定手段により所
定の位置に再設定され、再設定されたエッジ検出領域が
表示手段により表示される。したがって、ユーザは検出
されたエッジを容易に認識することができる。
In this case, the edge detection area detected by the edge detection means is reset to a predetermined position by the edge detection area resetting means, and the reset edge detection area is displayed by the display means. Therefore, the user can easily recognize the detected edge.

【0030】(4)第4の発明 第4の発明に係る形状測定器は、第1、第2または第3
の発明に係る形状測定器の構成において、エッジ検出手
段は、直線エッジの検出機能または円エッジの検出機能
を有するものである。
(4) Fourth invention The shape measuring instrument according to the fourth invention is characterized in that the shape measuring instrument is a
In the configuration of the shape measuring instrument according to the invention, the edge detecting means has a function of detecting a straight edge or a function of detecting a circular edge.

【0031】この場合、エッジ検出手段の直線エッジ検
出機能により直線エッジが検出され、円エッジ検出機能
により円エッジまたは円弧エッジが検出される。
In this case, a straight edge is detected by the straight edge detecting function of the edge detecting means, and a circular edge or an arc edge is detected by the circular edge detecting function.

【0032】(5)第5の発明 第5の発明に係る形状測定器は、第1〜第4のいずれか
の発明に係る形状測定器の構成において、補助算出手段
は、2直線の中心線の検出機能、1点を通りかつ1直線
に垂直な直線の検出機能、2点を結ぶ直線の検出機能ま
たは2直線の交点の検出機能を有するものである。
(5) Fifth invention The shape measuring instrument according to the fifth invention is the configuration of the shape measuring instrument according to any one of the first to fourth inventions, wherein the auxiliary calculation means is a center line of two straight lines. Has the function of detecting a straight line passing through one point and perpendicular to one straight line, the function of detecting a straight line connecting two points, or the function of detecting the intersection of two straight lines.

【0033】この場合、2直線の中心線の検出機能によ
り補助線として2直線の中心線が検出され、1点を通り
かつ1直線に垂直な直線の検出機能により補助線として
1点を通りかつ1直線に垂直な直線が検出される。ま
た、2点を結ぶ直線の検出機能により補助線として2点
を結ぶ直線が検出され、2直線の交点の検出機能により
補助点として2直線の交点が検出される。
In this case, the center line of the two straight lines is detected by the function of detecting the center line of the two straight lines, and the center line of the two straight lines is detected by the function of detecting a straight line passing through one point and perpendicular to the one straight line. A straight line perpendicular to one straight line is detected. Further, a straight line connecting two points is detected as an auxiliary line by a function of detecting a straight line connecting two points, and an intersection of two straight lines is detected as an auxiliary point by a function of detecting an intersection of two straight lines.

【0034】(6)第6の発明 第6の発明に係る形状測定器は、第1〜第5のいずれか
の発明に係る形状測定器の構成において、補助算出手段
により算出された補助線または補助点とこの補助線また
は補助点の算出の基礎となるエッジ、補助線または補助
点との関係を記憶する記憶手段と、補助算出手段により
算出された補助線または補助点を指定するための補助指
定手段とをさらに備え、表示手段は、記憶手段に記憶さ
れた関係に基づいて指定手段により指定された補助線ま
たは補助点の算出の基礎となるエッジ、補助線または補
助点を表示するものである。
(6) Sixth Invention The shape measuring instrument according to the sixth invention is the configuration of the shape measuring instrument according to any one of the first to fifth inventions, wherein the auxiliary line or the auxiliary line calculated by the auxiliary calculating means is provided. Storage means for storing the relationship between an auxiliary point and an edge, an auxiliary line or an auxiliary point serving as a basis for calculating the auxiliary line or the auxiliary point, and an auxiliary for designating the auxiliary line or the auxiliary point calculated by the auxiliary calculation means And a display unit for displaying an edge, an auxiliary line, or an auxiliary point, which is a basis for calculating the auxiliary line or the auxiliary point specified by the specifying unit based on the relationship stored in the storage unit. is there.

【0035】この場合、表示された補助線または補助点
のいずれかが指定されると、指定された補助線または補
助点の算出の基礎となるエッジ、補助線または補助点が
表示される。したがって、ユーザは検出処理の内容を容
易に認識することが可能となる。
In this case, when any of the displayed auxiliary line or auxiliary point is designated, an edge, an auxiliary line or an auxiliary point which is a basis for calculating the specified auxiliary line or auxiliary point is displayed. Therefore, the user can easily recognize the contents of the detection processing.

【0036】[0036]

【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施例における
形状測定器の構成を示す模式図である。なお、以下の説
明で、CCDの画素(ピクセル)の単位よりも小さい単
位をサブピクセルと呼ぶ。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a shape measuring instrument according to an embodiment of the present invention. In the following description, a unit smaller than a unit of a pixel of the CCD is referred to as a sub-pixel.

【0037】図1において、形状測定器1は、筐体10
内に投光部20および受光部30を備える。投光部20
と受光部30との間には、測定対象物が載置されるステ
ージ40が設けられている。
In FIG. 1, a shape measuring instrument 1 includes a housing 10
A light emitting unit 20 and a light receiving unit 30 are provided therein. Floodlight unit 20
A stage 40 on which an object to be measured is placed is provided between the light receiving section 30 and the light receiving section 30.

【0038】また、この形状測定器1には、各種信号お
よび各種データを入力および出力するための入出力端子
13が設けられている。入出力端子13には、ケーブル
14を介してパーソナルコンピュータ70が接続され
る。
The shape measuring instrument 1 is provided with an input / output terminal 13 for inputting and outputting various signals and various data. A personal computer 70 is connected to the input / output terminal 13 via a cable 14.

【0039】パーソナルコンピュータ70は、キーボー
ド71、マウス等のポインティングデバイス72および
ディスプレイ73を備える。ディスプレイ73の画面に
は、測定対象物の画像を表示する画像表示部74、測定
データを表示する測定結果表示部75および操作部76
が形成される。
The personal computer 70 includes a keyboard 71, a pointing device 72 such as a mouse, and a display 73. On the screen of the display 73, an image display section 74 for displaying an image of the measurement target, a measurement result display section 75 for displaying measurement data, and an operation section 76
Is formed.

【0040】図2は図1の形状測定器1の構造を示す模
式的断面図である。図2において、筐体10内に投光部
20および受光部30が設けられている。投光部20
は、発光ダイオード21、すりガラス等からなる拡散板
22、絞り23、投光レンズ24、投光ミラー25およ
び防塵用フィルタ26を含む。絞り23は、円形の開口
部を有する薄板状部材からなり、絞り径は固定されてい
る。受光部30は、防塵用フィルタ31、第1のレンズ
32、受光ミラー33、バンドパスフィルタ35、絞り
36、第2のレンズ37およびCCD(電荷結合素子)
38を含む。絞り36は、円形の開口部を有する薄板状
部材からなる。バンドパスフィルタ35、絞り36およ
び第2のレンズ37はレンズ鏡筒34内に一体的に収納
されている。また、レンズ鏡筒34およびCCD38は
ケース39内に一体的に収納されている。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing the structure of the shape measuring instrument 1 of FIG. In FIG. 2, a light projecting unit 20 and a light receiving unit 30 are provided in a housing 10. Floodlight unit 20
Includes a light emitting diode 21, a diffusion plate 22 made of frosted glass or the like, a stop 23, a light projecting lens 24, a light projecting mirror 25, and a dustproof filter 26. The diaphragm 23 is formed of a thin plate member having a circular opening, and the diaphragm diameter is fixed. The light receiving unit 30 includes a dustproof filter 31, a first lens 32, a light receiving mirror 33, a band pass filter 35, an aperture 36, a second lens 37, and a CCD (charge coupled device).
38. The diaphragm 36 is formed of a thin plate member having a circular opening. The band pass filter 35, the aperture 36 and the second lens 37 are integrally accommodated in the lens barrel 34. Further, the lens barrel 34 and the CCD 38 are housed integrally in a case 39.

【0041】投光部20の防塵用フィルタ26と受光部
30の防塵用フィルタ31との間には、ステージ40に
より透明ガラスからなる測定台41が配置されている。
測定台41の支持面42上に測定対象物が支持される。
測定台41の支持面42は受光部30の第1のレンズ3
2の光軸に垂直に設定されている。
A measuring table 41 made of transparent glass is arranged by a stage 40 between the dustproof filter 26 of the light projecting section 20 and the dustproof filter 31 of the light receiving section 30.
An object to be measured is supported on a support surface 42 of the measuring table 41.
The support surface 42 of the measuring table 41 is the first lens 3 of the light receiving unit 30.
2 is set perpendicular to the optical axis.

【0042】発光ダイオード21から出射された光は、
拡散板22により拡散され、拡散板22による拡散光
は、絞り23の円形の開口部を通過することにより円形
に整形される。絞り23の円形の開口部を通過した光
は、投光レンズ24により水平方向に進行する平行光に
変換される。その平行光は、投光ミラー25により上方
に反射され、防塵用フィルタ26を透過し、測定台41
上の測定対象物に照射される。
The light emitted from the light emitting diode 21 is
The light diffused by the diffusion plate 22 and diffused by the diffusion plate 22 is shaped into a circle by passing through a circular opening of the diaphragm 23. The light that has passed through the circular opening of the stop 23 is converted by the light projecting lens 24 into parallel light that travels in the horizontal direction. The parallel light is reflected upward by the light projecting mirror 25, passes through the dustproof filter 26, and
The object to be measured is irradiated.

【0043】測定対象物を透過した光は、防塵用フィル
タ31を透過し、第1のレンズ32により集光され、受
光ミラー33により水平方向に反射される。受光ミラー
33により反射された光は、バンドパスフィルタ35を
透過し、絞り36の円形の開口部を通過し、第2のレン
ズ37によりCCD38の受光領域に結像される。
The light transmitted through the object to be measured passes through the dustproof filter 31, is condensed by the first lens 32, and is reflected by the light receiving mirror 33 in the horizontal direction. The light reflected by the light receiving mirror 33 passes through the band-pass filter 35, passes through the circular opening of the stop 36, and is imaged on the light receiving area of the CCD 38 by the second lens 37.

【0044】図3は図1の形状測定器のブロック図であ
る。図3において、タイミング発生回路51は、垂直同
期パルスV、水平同期パルスHおよびCCDシャッタパ
ルスSHを発生するとともに、LED(発光ダイオー
ド)点灯パルスLDを発生する。LED(発光ダイオー
ド)点灯回路52は、タイミング発生回路51により発
生されたLED点灯パルスLDに応答して発光ダイオー
ド21を点灯させる。
FIG. 3 is a block diagram of the shape measuring instrument of FIG. In FIG. 3, a timing generation circuit 51 generates a vertical synchronizing pulse V, a horizontal synchronizing pulse H, a CCD shutter pulse SH, and an LED (light emitting diode) lighting pulse LD. The LED (light emitting diode) lighting circuit 52 turns on the light emitting diode 21 in response to the LED lighting pulse LD generated by the timing generating circuit 51.

【0045】発光ダイオード21から出射された光は、
絞り23の円形の開口部を通過し、投光レンズ24によ
り平行光にされ、測定対象物に照射される。測定対象物
からの透過光は、第1のレンズ32により集光され、絞
り36の円形の開口部を通過し、第2のレンズ37によ
りCCD38の受光領域に結像される。CCD38は、
受光量に対応するアナログの出力信号を導出する。
The light emitted from the light emitting diode 21 is
The light passes through the circular opening of the stop 23, is converted into parallel light by the light projecting lens 24, and is irradiated on the object to be measured. The transmitted light from the measurement object is condensed by the first lens 32, passes through the circular opening of the diaphragm 36, and forms an image on the light receiving area of the CCD 38 by the second lens 37. The CCD 38 is
An analog output signal corresponding to the amount of received light is derived.

【0046】A/D変換器(アナログ−デジタル変換
器)53は、CCD38の出力信号をデジタル信号に変
換し、そのデジタル信号を画像データとして画像メモリ
54に書き込むとともに、動画処理回路57に与える。
An A / D converter (analog-digital converter) 53 converts the output signal of the CCD 38 into a digital signal, writes the digital signal into the image memory 54 as image data, and supplies the digital signal to the moving image processing circuit 57.

【0047】エッジ検出処理部55は、微分器を含み、
画像メモリ54から読み出された画像データを微分する
ことにより後述する方法で画像のエッジの位置を検出
し、エッジデータとしてエッジメモリ56に書き込む。
動画処理回路57は、A/D変換器53から与えられた
画像データに基づいて測定対象物の画像を示す動画デー
タを出力する。
The edge detection processing section 55 includes a differentiator,
By differentiating the image data read from the image memory 54, the position of the edge of the image is detected by a method described later, and is written to the edge memory 56 as edge data.
The moving image processing circuit 57 outputs moving image data indicating an image of the measurement target based on the image data provided from the A / D converter 53.

【0048】マイクロコンピュータ58は、エッジメモ
リ56に記憶されたエッジデータおよび動画処理回路5
7から出力される動画データを選択的に通信インタフェ
ース回路59を介してパーソナルコンピュータ70に送
信する。また、マイクロコンピュータ58は、パーソナ
ルコンピュータ70から通信インタフェース回路59を
介して与えられた指令信号に基づいてエッジ検出処理部
55に処理開始トリガ信号TRおよびエッジ検出ウィン
ドウ指定信号EDを与える。
The microcomputer 58 includes the edge data stored in the edge memory 56 and the moving image processing circuit 5.
7 is selectively transmitted to the personal computer 70 via the communication interface circuit 59. Further, the microcomputer 58 supplies a processing start trigger signal TR and an edge detection window designation signal ED to the edge detection processing unit 55 based on a command signal given from the personal computer 70 via the communication interface circuit 59.

【0049】パーソナルコンピュータ70は、マイクロ
コンピュータ58から通信インタフェース回路59を介
して送信された動画データに基づいて測定対象物の画像
を図1のディスプレイ73の画面上の画像表示部74に
表示する。また、パーソナルコンピュータ70は、マイ
クロコンピュータ58から通信インタフェース回路59
を介して送信されたエッジデータに基づいて測定対象物
の各部の長さ、角度、距離等の寸法を算出し、算出結果
を測定データとして図1のディスプレイ73の画面上の
測定結果表示部75に表示する。
The personal computer 70 displays an image of the object to be measured on the image display section 74 on the screen of the display 73 in FIG. 1 based on the moving image data transmitted from the microcomputer 58 via the communication interface circuit 59. Further, the personal computer 70 is provided with a communication interface circuit 59 from the microcomputer 58.
The dimensions such as the length, angle, and distance of each part of the object to be measured are calculated based on the edge data transmitted through the interface, and the calculation result is used as measurement data to display a measurement result display section 75 on the screen of the display 73 in FIG. To be displayed.

【0050】図4は図1のA/D変換器53の出力値の
一例を示す図である。図4において、横軸はCCD38
の画素位置であり、縦軸はA/D変換器53の出力値で
ある。図4に示すように、A/D変換器53の出力値
は、CCD38の画素位置「−3」から「2」にかけて
立ち上がっている。
FIG. 4 is a diagram showing an example of the output value of the A / D converter 53 of FIG. In FIG. 4, the horizontal axis is the CCD 38.
The vertical axis indicates the output value of the A / D converter 53. As shown in FIG. 4, the output value of the A / D converter 53 rises from the pixel position “−3” of the CCD 38 to “2”.

【0051】図5は図1のエッジ検出処理部55の微分
器の出力値の一例を示す図である。図5において、横軸
はCCD38の画素位置であり、縦軸は微分器の出力値
である。図5に示すように、微分器の出力値のピーク位
置PK0はCCD38の画素位置「0」となっている。
微分器の出力値のピーク位置PK0がCCD38の画素
レベルでのエッジ位置となる。
FIG. 5 is a diagram showing an example of the output value of the differentiator of the edge detection processing section 55 of FIG. In FIG. 5, the horizontal axis is the pixel position of the CCD 38, and the vertical axis is the output value of the differentiator. As shown in FIG. 5, the peak position PK0 of the output value of the differentiator is the pixel position “0” of the CCD 38.
The peak position PK0 of the output value of the differentiator is the edge position of the CCD 38 at the pixel level.

【0052】したがって、エッジ検出処理部55は、画
素レベルでのピーク位置PK0を画素レベルでのエッジ
位置としてエッジメモリ56に格納する。
Therefore, the edge detection processing section 55 stores the peak position PK0 at the pixel level as the edge position at the pixel level in the edge memory 56.

【0053】また、エッジ検出処理部55は、画素レベ
ルでのピーク位置PK0における微分器の出力値と前後
の画素位置における微分器の出力値に基づいてサブピク
セルレベルでのピーク位置PK1を算出する。この場
合、エッジ検出処理部55は、画素レベルでのピーク位
置PK0における微分器の出力値および前後の画素位置
における微分器の出力値に対して所定のサブピクセルテ
ーブルを用いて波形近似を行うことによりサブピクセル
レベルでのピーク位置PK1を算出する。
The edge detection processing section 55 calculates the peak position PK1 at the sub-pixel level based on the output value of the differentiator at the peak position PK0 at the pixel level and the output values of the differentiators at the preceding and succeeding pixel positions. . In this case, the edge detection processing unit 55 performs waveform approximation on the output value of the differentiator at the peak position PK0 at the pixel level and the output values of the differentiators at the preceding and succeeding pixel positions using a predetermined sub-pixel table. To calculate the peak position PK1 at the sub-pixel level.

【0054】サブピクセルテーブルには、画素レベルで
のピーク位置PK0とサブピクセルレベルでのピーク位
置PK1との差分値ΔPKがルックアップテーブルとし
て格納されている。したがって、サブピクセルテーブル
に画素レベルでのピーク位置PK0における微分器の出
力値および前後の画素位置における微分器の出力値を与
えると、差分値ΔPKが出力される。エッジ検出処理部
55は、画素レベルでのピーク位置PK0およびサブピ
クセルテーブルから出力された差分値ΔPKを用いてサ
ブピクセルレベルでのピーク位置PK1を算出する。
The difference value ΔPK between the peak position PK0 at the pixel level and the peak position PK1 at the subpixel level is stored in the sub-pixel table as a look-up table. Therefore, when the output value of the differentiator at the peak position PK0 at the pixel level and the output values of the differentiators at the preceding and succeeding pixel positions are given to the sub-pixel table, the difference value ΔPK is output. The edge detection processing unit 55 calculates the peak position PK1 at the sub-pixel level using the peak position PK0 at the pixel level and the difference value ΔPK output from the sub-pixel table.

【0055】図6は図1のパーソナルコンピュータ70
のディスプレイ73の第1の画面を示す図である。
FIG. 6 shows the personal computer 70 of FIG.
5 is a diagram showing a first screen of a display 73 of FIG.

【0056】図6に示すように、ディスプレイ73の画
面上の画像表示部74には測定対象物の画像が表示され
る。また、測定結果表示部75には、測定データを表示
する複数のフレームが構成されている。さらに、操作部
76には、エッジ/補助ボタン81、測定指定ボタン8
2および測定実行ボタン83が形成されている。エッジ
/補助ボタン81を指定した場合には、8個のコマンド
ボタン61〜68が表示される。
As shown in FIG. 6, an image of the measurement object is displayed on an image display section 74 on the screen of the display 73. The measurement result display unit 75 includes a plurality of frames for displaying measurement data. Further, the operation unit 76 includes an edge / auxiliary button 81, a measurement designation button 8
2 and a measurement execution button 83 are formed. When the edge / auxiliary button 81 is designated, eight command buttons 61 to 68 are displayed.

【0057】図7は図6のコマンドボタン61〜68に
対応するエッジ検出機能および補助線/補助点検出機能
を示す図である。コマンドボタン61〜68により図7
(a)〜(h)の検出機能がそれぞれ選択される。
FIG. 7 is a diagram showing an edge detecting function and an auxiliary line / auxiliary point detecting function corresponding to the command buttons 61 to 68 of FIG. FIG.
The detection functions (a) to (h) are respectively selected.

【0058】これらの検出機能は、パーソナルコンピュ
ータ70のハードディスク等の記録媒体に格納される検
出処理プログラムに従ってCPU(中央演算処理装置)
および図3のエッジ検出処理部55により実現される。
These detection functions are performed by a CPU (central processing unit) according to a detection processing program stored in a recording medium such as a hard disk of the personal computer 70.
And the edge detection processing unit 55 of FIG.

【0059】なお、補助線とは、補助線/補助点検出機
能により検出された線をいい、補助点とは、補助線/補
助点検出機能により検出された点をいう。
The auxiliary line is a line detected by the auxiliary line / auxiliary point detecting function, and the auxiliary point is a point detected by the auxiliary line / auxiliary point detecting function.

【0060】ポインティングデバイス72によりコマン
ドボタン61を指定すると、図7(a)に示す直線エッ
ジの検出機能が選択される。この場合、ポインティング
デバイス72により指定された直線エッジ150が検出
される。コマンドボタン62を指定すると、図7(b)
に示す円エッジの検出機能が選択される。この場合、指
定された円エッジ151およびその中心点が検出され
る。
When the command button 61 is designated by the pointing device 72, the straight edge detection function shown in FIG. 7A is selected. In this case, the straight edge 150 specified by the pointing device 72 is detected. When the command button 62 is designated, FIG.
Is selected. In this case, the designated circular edge 151 and its center point are detected.

【0061】コマンドボタン63を指定すると、図7
(c)に示す円弧エッジの検出機能が選択される。この
場合、指定された円弧エッジ153が検出される。この
円弧エッジの検出機能は、円エッジの検出機能の一部で
ある。
When the command button 63 is designated, FIG.
The arc edge detection function shown in (c) is selected. In this case, the designated arc edge 153 is detected. This arc edge detection function is a part of the circular edge detection function.

【0062】コマンドボタン64を指定すると、図7
(d)に示す中心線エッジの検出機能が選択される。こ
の場合、指定された範囲内の2つのエッジ153,15
4間の中心点をつないだ中心線155が検出される。
When the command button 64 is designated, FIG.
The center line edge detection function shown in (d) is selected. In this case, two edges 153 and 15 within the designated range
A center line 155 connecting the center points between the four is detected.

【0063】コマンドボタン65を指定すると、図7
(e)に示す2直線間の中心線の検出機能が選択され
る。2直線としてはエッジまたは補助線を指定すること
ができる。この場合、指定された2つの直線156,1
57間の中心線158が検出される。
When the command button 65 is designated, FIG.
The detection function of the center line between the two straight lines shown in (e) is selected. An edge or an auxiliary line can be designated as the two straight lines. In this case, the two specified straight lines 156, 1
A centerline 158 between 57 is detected.

【0064】コマンドボタン66を指定すると、図7
(f)に示す1点を通りかつ1直線に垂直な直線の検出
機能が選択される。1点としては円エッジの中心点また
は補助点を指定することができる。1直線としては直線
エッジまたは補助線を指定することができる。この場
合、指定された点159を通りかつ指定された直線16
0に垂直な直線161が検出される。
When the command button 66 is designated, FIG.
The function of detecting a straight line passing through one point and perpendicular to one straight line shown in FIG. As one point, a center point or an auxiliary point of a circular edge can be designated. A straight edge or an auxiliary line can be designated as one straight line. In this case, the specified straight line 16 passing through the specified point 159
A straight line 161 perpendicular to 0 is detected.

【0065】コマンドボタン67を指定すると、図7
(g)に示す2点を結ぶ直線の検出機能が選択される。
2点としては、円エッジの中心点または補助点を指定す
ることができる。この場合、指定された点162と指定
された点163とを結ぶ直線164が検出される。
When the command button 67 is designated, FIG.
The detection function of the straight line connecting the two points shown in (g) is selected.
As the two points, the center point or the auxiliary point of the circular edge can be designated. In this case, a straight line 164 connecting the designated point 162 and the designated point 163 is detected.

【0066】コマンドボタン68を指定すると、図7
(h)の2直線の交点の検出機能が選択される。2直線
としては直線エッジまたは補助線を指定することができ
る。この場合、指定された直線165と指定された直線
166との交点167が検出される。
When the command button 68 is designated, FIG.
(H) The function of detecting the intersection of two straight lines is selected. A straight edge or an auxiliary line can be designated as the two straight lines. In this case, an intersection 167 between the specified straight line 165 and the specified straight line 166 is detected.

【0067】図8は図1のパーソナルコンピュータ70
のディスプレイ73の第2の画面を示す図である。
FIG. 8 shows the personal computer 70 of FIG.
7 is a diagram showing a second screen of the display 73 of FIG.

【0068】操作部76の測定指定ボタン82を指定す
ると、測定の種類を指定する算出指定ボタン91〜98
および保存ボタン99が表示される。
When the measurement designation button 82 of the operation unit 76 is designated, calculation designation buttons 91 to 98 for designating the type of measurement
And a save button 99 are displayed.

【0069】算出指定ボタン91を指定すると、2直線
間の距離の算出処理が選択される。算出指定ボタン92
を指定すると、2直線間の角度の算出処理が選択され
る。算出指定ボタン93を指定すると、円の半径の算出
処理が選択される。算出指定ボタン94を指定すると、
円の直径の算出処理が選択される。
When the calculation designation button 91 is designated, a process for calculating the distance between two straight lines is selected. Calculation designation button 92
Is selected, the process of calculating the angle between the two straight lines is selected. When the calculation designation button 93 is designated, the calculation processing of the radius of the circle is selected. When the calculation designation button 94 is designated,
The calculation processing of the diameter of the circle is selected.

【0070】算出指定ボタン95を指定すると、直線と
点または円の中心点との距離の算出処理が選択される。
算出指定ボタン96を指定すると、直線と円の接線との
距離の算出処理が選択される。算出指定ボタン97を指
定すると、2つの点または円の中心点間の距離の算出処
理が選択される。算出指定ボタン98を指定すると、2
つの円の接線間の距離の算出処理が選択される。
When the calculation designation button 95 is designated, the processing for calculating the distance between the straight line and the center of the point or the circle is selected.
When the calculation designation button 96 is designated, a process for calculating the distance between the straight line and the tangent to the circle is selected. When the calculation designation button 97 is designated, a process of calculating the distance between two points or the center point of a circle is selected. When the calculation designation button 98 is designated, 2
The process of calculating the distance between the tangents of two circles is selected.

【0071】この場合、測定結果表示部75のフレーム
を指定した後に、算出指定ボタン91〜98のいずれか
を指定することにより、指定されたフレームに測定の種
類を対応づけることができる。なお、保存ボタン99を
指定すると、指定されたフレームと指定された測定の種
類との対応がパーソナルコンピュータ70のメモリ、ハ
ードディスク等の記録媒体に保存される。
In this case, by designating any one of the calculation designation buttons 91 to 98 after designating the frame of the measurement result display section 75, the type of measurement can be associated with the designated frame. When the save button 99 is designated, the correspondence between the designated frame and the designated measurement type is saved in a recording medium such as a memory or a hard disk of the personal computer 70.

【0072】図9は図1のパーソナルコンピュータ70
のディスプレイ73の第3の画面を示す図である。
FIG. 9 shows the personal computer 70 of FIG.
13 is a diagram showing a third screen of the display 73 of FIG.

【0073】操作部76の測定実行ボタン83を指定す
ると、データ測定ボタン84が表示される。測定結果表
示部75のフレームを指定し、データ測定ボタン84を
指定すると、図8の画面で指定された測定の種類が実行
され、算出結果が測定データとして測定結果表示部75
の対応するフレームに表示される。
When the measurement execution button 83 of the operation section 76 is designated, a data measurement button 84 is displayed. When the frame of the measurement result display section 75 is specified and the data measurement button 84 is specified, the type of measurement specified on the screen of FIG. 8 is executed, and the calculation result is used as the measurement data as the measurement result display section 75.
Will be displayed in the corresponding frame.

【0074】次に、図10に示す測定対象物の測定の一
例を図11〜図13を参照しながら説明する。
Next, an example of the measurement of the measuring object shown in FIG. 10 will be described with reference to FIGS.

【0075】ここでは、図10の測定対象物において、
エッジ201,202間の中心線203を検出し、かつ
エッジ204,205間の中心線206を検出し、さら
に中心線203,206間の中心線207を検出し、中
心線207とエッジ208との間の距離L1を算出する
場合を説明する。
Here, in the measuring object of FIG.
A center line 203 between the edges 201 and 202 is detected, a center line 206 between the edges 204 and 205 is detected, and a center line 207 between the center lines 203 and 206 is detected. The case of calculating the distance L1 between them will be described.

【0076】まず、図6のエッジ/補助ボタン81を指
定し、コマンドボタン61を指定した後、図11(a)
に示すように、エッジ201の線上または近くの2点2
11,212を指定する。それにより、図11(b)に
示すように、エッジ201上にエッジ検出ウインドウ3
01が表示され、直線エッジの検出機能によりエッジ2
01の座標が検出される。
First, the user designates the edge / auxiliary button 81 and the command button 61 in FIG.
As shown in FIG. 2, two points 2 on or near the line of the edge 201
11 and 212 are designated. As a result, as shown in FIG.
01 is displayed, and the edge 2 is detected by the straight edge detection function.
01 coordinates are detected.

【0077】同様にして、図11(c)に示すように、
エッジ202,204,205,208を指定すると、
エッジ検出ウインドウ302,304,305,308
がそれぞれ表示され、エッジ202,204,205,
208の座標が検出される。
Similarly, as shown in FIG.
When edges 202, 204, 205, and 208 are specified,
Edge detection windows 302, 304, 305, 308
Are displayed, and edges 202, 204, 205,
208 are detected.

【0078】次に、図12(d)に示すように、図6の
コマンドボタン65を指定し、検出されたエッジ201
の線上または近くの1点213を指定し、かつ検出され
たエッジ202の近くの1点214を指定することによ
り、エッジ201,202を選択する。
Next, as shown in FIG. 12D, the command button 65 of FIG.
Edges 201 and 202 are selected by designating one point 213 on or near the line of, and designating one point 214 near the detected edge 202.

【0079】それにより、図12(e)に示すように、
2直線間の中心線の検出機能によりエッジ201,20
2間の中心線203が検出され、画面に表示される。
As a result, as shown in FIG.
Edges 201 and 20 are detected by the function of detecting the center line between two straight lines.
The center line 203 between the two is detected and displayed on the screen.

【0080】同様にして、図12(f)に示すように、
図6のコマンドボタン65を指定し、エッジ204,2
05を選択する。それにより、選択されたエッジ20
4,205間の中心線206が検出され、画面に表示さ
れる。
Similarly, as shown in FIG.
The command button 65 in FIG.
Select 05. Thereby, the selected edge 20
The center line 206 between the positions 4, 205 is detected and displayed on the screen.

【0081】次に、図13(g)に示すように、図6の
コマンドボタン65を指定し、検出された中心線203
の線上または近くの1点215を指定し、かつ検出され
た中心線206の線上または近くの1点216を指定す
ることにより、中心線203,206を選択する。
Next, as shown in FIG. 13 (g), the command button 65 of FIG.
The center lines 203 and 206 are selected by designating a point 215 on or near the line of, and specifying a point 216 on or near the detected center line 206.

【0082】それにより、図13(h)に示すように、
2直線間の中心線の検出機能により選択された中心線2
03,206間の中心線207が検出され、画面に表示
される。
As a result, as shown in FIG.
Center line 2 selected by the center line detection function between two straight lines
The center line 207 between 03 and 206 is detected and displayed on the screen.

【0083】その後、測定指定ボタン82を指定するこ
とにより図8の画面を表示させ、測定結果表示部75の
フレームを指定する。さらに、算出指定ボタン91を指
定し、図13(i)に示すように、検出された中心線2
07の線上または近くの1点217を指定し、かつ検出
されたエッジ208の線上または近くの1点218を指
定することにより、中心線207およびエッジ208を
選択する。以上の設定をハードディスク等にファイルと
して保存する場合には、図8の保存ボタン99を指定す
る。その結果、以上述べてきた設定がファイルとして保
存される。
Thereafter, the screen of FIG. 8 is displayed by designating the measurement designation button 82, and the frame of the measurement result display section 75 is designated. Further, a calculation designation button 91 is designated, and as shown in FIG.
The center line 207 and the edge 208 are selected by specifying a point 217 on or near the line 07 and specifying a point 218 on or near the detected edge 208. To save the above settings as a file on a hard disk or the like, the save button 99 in FIG. 8 is designated. As a result, the settings described above are saved as a file.

【0084】次に、測定実行ボタン83を指定すること
により、図9の画面を表示させる。さらに、データ測定
ボタン84を指定すると、すべてのフレームに対する測
定が実行される。この場合、中心線207とエッジ20
8との間の距離が算出され、対応するフレームに算出さ
れた距離が表示される。
Next, the screen shown in FIG. 9 is displayed by designating the measurement execution button 83. Further, when the data measurement button 84 is designated, measurement is performed for all frames. In this case, the center line 207 and the edge 20
8 is calculated, and the calculated distance is displayed in the corresponding frame.

【0085】図14はエッジ検出処理を示すフローチャ
ートである。また、図15はエッジ検出処理におけるエ
ッジ検出ウィンドウを正確な位置に再設定する動作を示
す図である。
FIG. 14 is a flowchart showing the edge detection processing. FIG. 15 is a diagram showing an operation of resetting the edge detection window to an accurate position in the edge detection processing.

【0086】ここでは、図15のエッジ500を検出す
る場合について説明する。以下、図14および図15を
参照しながらエッジ検出処理について説明する。
Here, a case where the edge 500 shown in FIG. 15 is detected will be described. Hereinafter, the edge detection processing will be described with reference to FIGS.

【0087】まず、図15(a)に示すように、ユーザ
により図1のポインティングデバイス72を用いてエッ
ジ500の近くの2点p1,p2が指定されると(ステ
ップS1)、パーソナルコンピュータ70のエッジ検出
処理プログラムは、指定された2点p1,p2に基づい
てエッジ検出ウィンドウEWを設定する(ステップS
2)。この場合、エッジ検出ウィンドウEWは、指定さ
れた2点p1,p2を結ぶ直線を中心として両側に所定
幅の領域に設定される。
First, as shown in FIG. 15A, when two points p1 and p2 near the edge 500 are designated by the user using the pointing device 72 of FIG. 1 (step S1), the personal computer 70 The edge detection processing program sets an edge detection window EW based on the designated two points p1 and p2 (Step S)
2). In this case, the edge detection window EW is set to an area having a predetermined width on both sides around a straight line connecting the designated two points p1 and p2.

【0088】次に、パーソナルコンピュータ70は、通
信インタフェース回路59およびマイクロコンピュータ
58を介してエッジ検出処理部55に処理開始トリガ信
号TRおよびエッジ検出ウィンドウ指定信号EDを送信
する。ここで、エッジ検出ウィンドウ指定信号EDは、
エッジ検出ウインドウEWの位置を示す座標データであ
る。
Next, the personal computer 70 transmits the processing start trigger signal TR and the edge detection window designation signal ED to the edge detection processing section 55 via the communication interface circuit 59 and the microcomputer 58. Here, the edge detection window designation signal ED is
It is coordinate data indicating the position of the edge detection window EW.

【0089】これにより、図3のエッジ検出処理部55
は、エッジ検出ウィンドウEW内の画像データに基づい
てエッジ500の座標を検出する(ステップS3)。検
出されたエッジ500の座標はエッジデータとしてエッ
ジメモリ56に格納されるとともに、マイクロコンピュ
ータ58および通信インタフェース回路59を介してパ
ーソナルコンピュータ70に送信される。
Thus, the edge detection processing unit 55 shown in FIG.
Detects the coordinates of the edge 500 based on the image data in the edge detection window EW (step S3). The detected coordinates of the edge 500 are stored in the edge memory 56 as edge data and transmitted to the personal computer 70 via the microcomputer 58 and the communication interface circuit 59.

【0090】次に、パーソナルコンピュータ70のエッ
ジ検出処理プログラムは、エッジデータに基づいてエッ
ジ検出ウィンドウEWの2つの短辺EA,EBとエッジ
500との交点501,502を算出する(ステップS
4)。
Next, the edge detection processing program of the personal computer 70 calculates intersections 501 and 502 between the two short sides EA and EB of the edge detection window EW and the edge 500 based on the edge data (step S).
4).

【0091】さらに、図15(b)に示すように、算出
された交点501,502に基づいてエッジ検出ウィン
ドウEWを再設定する(ステップS5)。この場合、エ
ッジ検出ウィンドウEWは、交点501,502を結ぶ
直線を中心として両側に所定幅の領域に再設定される。
Further, as shown in FIG. 15B, the edge detection window EW is reset based on the calculated intersections 501 and 502 (step S5). In this case, the edge detection window EW is reset to a region of a predetermined width on both sides around the straight line connecting the intersections 501 and 502.

【0092】このように、ユーザが画像表示部74の画
面上の測定対象物の画像のエッジの近くの2点を指定す
ることにより、エッジが検出されるとともに、エッジ検
出ウィンドウEWが表示されたエッジに沿って再設定さ
れる。したがって、ユーザは画面上のエッジの正確な位
置を指定する細かい操作が不要となる。その結果、測定
時間が短縮される。
As described above, when the user specifies two points near the edge of the image of the measurement object on the screen of the image display unit 74, the edge is detected and the edge detection window EW is displayed. Reset along the edges. Therefore, the user does not need to perform a detailed operation for specifying the exact position of the edge on the screen. As a result, the measurement time is reduced.

【0093】上記のように、本実施例の形状測定器によ
れば、少ない数のエッジ検出機能および補助線/補助点
検出機能を組み合わせることにより種々の測定内容が実
現される。したがって、測定内容ごとにアルゴリズムを
作成することなく、多様な測定を行うことが可能とな
る。その結果、ソフトウエアの開発工数が低減される。
As described above, according to the shape measuring instrument of the present embodiment, various measurement contents can be realized by combining a small number of edge detecting functions and auxiliary line / auxiliary point detecting functions. Therefore, various measurements can be performed without creating an algorithm for each measurement content. As a result, software development man-hours are reduced.

【0094】次に、図16および図17を用いて本実施
例の形状測定器における検出処理の設定内容の確認処理
の一例を説明する。
Next, with reference to FIGS. 16 and 17, an example of the confirmation processing of the setting contents of the detection processing in the shape measuring instrument of this embodiment will be described.

【0095】ここでは、図16に示すように、エッジm
1,m2間の中心線m5を検出し、かつエッジm3,m
4間の中心線m6を検出し、さらに中心線m5,m6間
の中心線m7を検出するものとする。この検出処理の設
定内容は、階層的データ構造としてパーソナルコンピュ
ータ70のメモリに格納される。
Here, as shown in FIG.
A center line m5 between the first and the second m2 and edges m3 and m
The center line m6 between the four center lines m4 and m4 is detected, and the center line m7 between the center lines m5 and m6 is detected. The setting content of this detection processing is stored in the memory of the personal computer 70 as a hierarchical data structure.

【0096】なお、補助線としては、中心線以外に、垂
直線、2点間直線等の種類があるが、中心線m7,m
5,m6の配置を画面で見ることにより容易に中心線で
あることが理解できる。
In addition to the center line, there are various types of auxiliary lines such as a vertical line and a straight line between two points.
It can be easily understood that the center line is easily seen by viewing the arrangement of 5, m6 on the screen.

【0097】図17は図16の検出処理によりメモリに
格納されるデータを示す図である。図17に示すよう
に、エッジm1の検出処理を行うと、メモリに処理番号
としてデータM1が格納され、処理の種類として直線エ
ッジの検出処理を示すデータが格納される。また、エッ
ジm2の検出処理を行うと、メモリに処理番号としてデ
ータM2が格納され、処理の種類として直線エッジの検
出処理を示すデータが格納される。
FIG. 17 is a diagram showing data stored in the memory by the detection processing of FIG. As shown in FIG. 17, when the detection processing of the edge m1 is performed, data M1 is stored in the memory as a processing number, and data indicating the processing of detecting a straight edge is stored as a processing type. When the edge m2 is detected, data M2 is stored as a process number in the memory, and data indicating a straight edge detection process is stored as a process type.

【0098】エッジm3の検出処理を行うと、メモリに
処理番号としてデータM3が格納され、処理の種類とし
て直線エッジの検出処理を示すデータが格納される。ま
た、エッジm4の検出処理を行うと、メモリに処理番号
としてデータM4が格納され、処理の種類として直線エ
ッジの検出処理を示すデータが格納される。
When edge m3 is detected, data M3 is stored in the memory as a process number, and data indicating a straight edge detection process is stored as a process type. When the edge m4 is detected, data M4 is stored in the memory as a process number, and data indicating a straight edge detection process is stored as a process type.

【0099】次に、エッジm1,m2間の中心線m5の
検出処理を行うと、メモリに処理番号としてデータM5
が格納され、処理の種類として2直線間の中心線の検出
処理を示すデータが格納され、参照番号としてデータM
1,M2が格納される。
Next, when the detection processing of the center line m5 between the edges m1 and m2 is performed, the data M5 is stored in the memory as the processing number.
Is stored, data indicating a process of detecting a center line between two straight lines is stored as a process type, and data M is used as a reference number.
1, M2 are stored.

【0100】同様に、エッジm3,m4間の中心線m6
の検出処理を行うと、メモリに処理番号としてデータM
6が格納され、処理の種類として2直線間の中心線の検
出処理を示すデータが格納され、参照番号としてデータ
M3,M4が格納される。
Similarly, the center line m6 between the edges m3 and m4
Is detected, data M is stored in the memory as a processing number.
6 is stored, data indicating a process of detecting a center line between two straight lines is stored as a process type, and data M3 and M4 are stored as reference numbers.

【0101】さらに、中心線m5,m6間の中心線m7
の検出処理を行うと、メモリに処理番号としてデータM
7が格納され、処理の種類として2直線間の中心線の検
出処理を示すデータが格納され、参照番号としてデータ
M5,M6が格納される。
Further, the center line m7 between the center lines m5 and m6
Is detected, data M is stored in the memory as a processing number.
7 is stored, data indicating a process of detecting a center line between two straight lines is stored as a process type, and data M5 and M6 are stored as reference numbers.

【0102】図18は図17のメモリに格納される階層
的データ構造を示す図である。図18に示すように、図
17のメモリに格納されるデータは、処理番号および参
照番号によりデータは階層構造を有する。それにより、
ユーザが検出処理の設定内容を容易に確認することがで
きる。
FIG. 18 is a diagram showing a hierarchical data structure stored in the memory of FIG. As shown in FIG. 18, the data stored in the memory of FIG. 17 has a hierarchical structure according to the processing number and the reference number. Thereby,
The user can easily confirm the setting contents of the detection processing.

【0103】まず、図16の中心線m7をポインティン
グデバイス72で指定すると、メモリに記憶される処理
番号のデータM7に対応する参照番号のデータM5,M
6に基づいて中心線m5,m6が中心線m7とともに画
面上で強調表示される。これにより、ユーザは、中心線
m7が中心線m5,m6に基づいて形成されたものであ
ることを確認することができる。
First, when the center line m7 in FIG. 16 is designated by the pointing device 72, the reference number data M5, M5 corresponding to the processing number data M7 stored in the memory.
6, the center lines m5 and m6 are highlighted together with the center line m7 on the screen. Thus, the user can confirm that the center line m7 is formed based on the center lines m5 and m6.

【0104】同様に、ポインティングデバイス72で中
心線m5を指定すると、メモリに記憶された処理番号の
データM5に対応する参照番号のデータM1,M2に基
づいてエッジm1,m2が中心線m5とともに画面上で
強調表示される。これにより、ユーザは、中心線m5が
中心線m1,m2に基づいて形成されたものであること
を確認することができる。
Similarly, when the center line m5 is designated by the pointing device 72, the edges m1 and m2 are displayed together with the center line m5 on the screen based on the reference number data M1 and M2 corresponding to the processing number data M5 stored in the memory. Highlighted above. Thereby, the user can confirm that the center line m5 is formed based on the center lines m1 and m2.

【0105】また、ポインティングデバイス72で中心
線m6を指定すると、メモリに記憶された処理番号のデ
ータM6に対応する参照番号のデータM3,M4に基づ
いてエッジm3,m4が中心線m6とともに画面上で強
調表示される。これにより、ユーザは、中心線m6がエ
ッジm3,m4に基づいて形成されたものであることを
確認することができる。
When the center line m6 is designated by the pointing device 72, the edges m3 and m4 are displayed together with the center line m6 on the screen based on the reference number data M3 and M4 corresponding to the processing number data M6 stored in the memory. Is highlighted. Thereby, the user can confirm that the center line m6 is formed based on the edges m3 and m4.

【0106】このように、処理番号、処理の種類および
参照番号がメモリ内に階層的データ構造として格納され
るので、一種類のアルゴリズムにより種々の検出処理の
設定内容の確認処理を容易に実現することができる。
As described above, since the processing number, the processing type, and the reference number are stored in the memory as a hierarchical data structure, it is easy to confirm the setting contents of various detection processings by using one kind of algorithm. be able to.

【0107】なお、検出処理の設定内容の確認処理を階
層的データ構造を用いずに実現することも可能である。
It is also possible to realize the confirmation processing of the setting contents of the detection processing without using a hierarchical data structure.

【0108】例えば、図19に示すように、処理番号、
参照番号およびモードを一次元的データ構造によりメモ
リの領域A〜Nに格納し、領域Aを領域C,Iに対応付
け、領域Cを領域E,Gに対応付け、領域Iを領域K,
Mに対応付ける専用のアルゴリズムを用意する。これに
より、検出処理の設定内容を確認することができる。
For example, as shown in FIG.
The reference numbers and modes are stored in the areas A to N of the memory in a one-dimensional data structure, the area A is associated with the areas C and I, the area C is associated with the areas E and G, the area I is the areas K and
A dedicated algorithm corresponding to M is prepared. Thereby, the setting contents of the detection processing can be confirmed.

【0109】しかしながら、この場合には、検出処理の
内容ごとに専用の対応付けのアルゴリズムを作成する必
要があり、多数のアルゴリズムが必要となる。
However, in this case, it is necessary to create a dedicated association algorithm for each content of the detection processing, and a large number of algorithms are required.

【0110】一方、図17に示した階層的データ構造を
用いると、検出処理の内容にかかわらず同一のアルゴリ
ズムで検出処理の設定内容の確認処理を実現することが
可能となる。
On the other hand, if the hierarchical data structure shown in FIG. 17 is used, it is possible to confirm the setting contents of the detection processing by the same algorithm regardless of the contents of the detection processing.

【0111】本実施例では、A/D変換器53が変換手
段に相当し、ディスプレイ73が表示手段に相当し、ポ
インティングデバイス72およびディスプレイ73がエ
ッジ指定手段、画像位置指定手段、算出対象指定手段お
よび補助指定手段に相当する。また、パーソナルコンピ
ュータ70およびエッジ検出処理部55がエッジ検出手
段に相当し、パーソナルコンピュータ70が補助算出手
段、物理量算出手段、エッジ検出領域設定手段およびエ
ッジ検出領域再設定手段に相当する。
In this embodiment, the A / D converter 53 corresponds to the conversion means, the display 73 corresponds to the display means, and the pointing device 72 and the display 73 correspond to the edge designation means, the image position designation means, the calculation target designation means. And an auxiliary designation means. Further, the personal computer 70 and the edge detection processing unit 55 correspond to an edge detection unit, and the personal computer 70 corresponds to an auxiliary calculation unit, a physical quantity calculation unit, an edge detection area setting unit, and an edge detection area resetting unit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における形状測定器の構成を
示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a shape measuring instrument according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の形状測定器の構造を示す模式的断面図で
ある。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing the structure of the shape measuring instrument of FIG.

【図3】図1の形状測定器のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of the shape measuring instrument of FIG. 1;

【図4】図1の形状測定器におけるA/D変換器の出力
値の一例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of an output value of an A / D converter in the shape measuring instrument of FIG. 1;

【図5】図1の形状測定器におけるエッジ検出処理部の
微分器の出力値の一例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of an output value of a differentiator of an edge detection processing unit in the shape measuring device of FIG. 1;

【図6】図1のパーソナルコンピュータのディスプレイ
に表示される第1の画面を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a first screen displayed on a display of the personal computer in FIG. 1;

【図7】図1の形状測定器における各種検出機能を示す
図である。
FIG. 7 is a diagram showing various detection functions in the shape measuring instrument of FIG. 1;

【図8】図1のパーソナルコンピュータのディスプレイ
に表示される第2の画面を示す図である。
8 is a diagram showing a second screen displayed on the display of the personal computer in FIG. 1.

【図9】図1のパーソナルコンピュータのディスプレイ
に表示される第3の画面を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a third screen displayed on the display of the personal computer in FIG. 1;

【図10】測定対象物の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of an object to be measured.

【図11】図10の測定対象物の測定の一例を説明する
ための図である。
11 is a diagram for explaining an example of measurement of the measurement target in FIG.

【図12】図10の測定対象物の測定の一例を説明する
ための図である。
12 is a diagram for explaining an example of measurement of the measurement object in FIG.

【図13】図10の測定対象物の測定の一例を説明する
ための図である。
FIG. 13 is a diagram for explaining an example of measurement of the measurement object in FIG. 10;

【図14】エッジ検出処理を示すフローチャートであ
る。
FIG. 14 is a flowchart illustrating edge detection processing.

【図15】エッジ検出処理におけるエッジ検出ウインド
ウの再設定を示す図である。
FIG. 15 is a diagram illustrating resetting of an edge detection window in edge detection processing.

【図16】検出手段の設定内容の確認処理を説明するた
めの図である。
FIG. 16 is a diagram for explaining a process of confirming the setting content of the detection unit.

【図17】図16の検出手段によりメモリに格納される
データを示す図である。
FIG. 17 is a diagram showing data stored in a memory by the detection means of FIG. 16;

【図18】図17のメモリに格納される階層的データ構
造を示す図である。
18 is a diagram showing a hierarchical data structure stored in the memory of FIG.

【図19】検出処理によりメモリに格納される一次元的
データ構造および各領域の対応付けを示す図である。
FIG. 19 is a diagram showing a one-dimensional data structure stored in a memory by a detection process and an association of each area.

【図20】従来の形状測定器を示すブロック図である。FIG. 20 is a block diagram showing a conventional shape measuring instrument.

【図21】図20の形状測定器におけるカメラにより撮
像される測定対象物の光量分布の一例を示す図である。
21 is a diagram illustrating an example of a light amount distribution of a measurement target imaged by a camera in the shape measuring instrument in FIG. 20.

【図22】従来の形状測定器における検出機能を示す図
である。
FIG. 22 is a diagram showing a detection function in a conventional shape measuring instrument.

【図23】従来の形状測定器における検出機能を示す図
である。
FIG. 23 is a diagram showing a detection function in a conventional shape measuring instrument.

【図24】従来の形状測定器における検出機能を示す図
である。
FIG. 24 is a diagram showing a detection function in a conventional shape measuring instrument.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 形状測定器 20 投光部 30 受光部 53 A/D変換器 54 画像メモリ 55 エッジ検出処理部 56 エッジメモリ 61〜68 コマンドボタン 70 パーソナルコンピュータ 72 ポインティングデバイス 73 ディスプレイ 74 画像表示部 75 測定結果表示部 76 操作部 81 エッジ/補助ボタン 82 測定指定ボタン 83 測定実行ボタン 91〜98 算出指定ボタン Reference Signs List 1 shape measuring device 20 light emitting unit 30 light receiving unit 53 A / D converter 54 image memory 55 edge detection processing unit 56 edge memory 61 to 68 command button 70 personal computer 72 pointing device 73 display 74 image display unit 75 measurement result display unit 76 Operation unit 81 Edge / auxiliary button 82 Measurement designation button 83 Measurement execution button 91-98 Calculation designation button

フロントページの続き (72)発明者 杉森 正夫 大阪府大阪市東淀川区東中島1丁目3番14 号 株式会社キーエンス内 Fターム(参考) 2F065 AA04 AA12 AA31 BB05 DD06 FF01 FF04 GG07 HH02 JJ03 JJ26 LL00 LL04 LL12 LL21 LL30 NN03 QQ03 QQ21 QQ24 QQ32 QQ35 QQ36 SS13 UU05Continuation of the front page (72) Inventor Masao Sugimori 1-3-14 Higashinakajima, Higashiyodogawa-ku, Osaka City, Osaka F-term in Keyence Corporation (reference) 2F065 AA04 AA12 AA31 BB05 DD06 FF01 FF04 GG07 HH02 JJ03 JJ26 LL00 LL04 LL12 LL12 LL21 LL21 LL21 LL30 NN03 QQ03 QQ21 QQ24 QQ32 QQ35 QQ36 SS13 UU05

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定対象物の形状を測定する形状測定器
であって、 光を測定対象物に投射する投光部と、 前記投光部により投射されて測定対象物を透過した光を
受光し、受光量に対応した信号を出力する受光部と、 前記受光部からの出力信号をアナログ・デジタル変換
し、デジタルの画像データを得る変換手段と、 前記変換手段により得られた画像データに基づいて測定
対象物の画像を表示する表示手段と、 前記表示手段により表示された画像のエッジを指定する
ためのエッジ指定手段と、 前記変換手段により得られた画像データに基づいて前記
エッジ指定手段により指定されたエッジを検出するエッ
ジ検出手段と、 前記エッジ検出手段により検出されたエッジまたは既に
算出された補助線または補助点に基づいて補助線または
補助点を算出する補助算出手段と、 前記エッジ検出手段により検出されたエッジまたは前記
補助算出手段により算出された補助線または補助点を算
出対象として指定するための算出対象指定手段と、 前記算出対象指定手段により指定された複数の算出対象
に関する物理量を算出する物理量算出手段とを備えたこ
とを特徴とする形状測定器。
1. A shape measuring device for measuring a shape of an object to be measured, comprising: a light projecting unit for projecting light onto the object to be measured; A light-receiving unit that outputs a signal corresponding to the amount of received light; a conversion unit that converts an output signal from the light-receiving unit from analog to digital to obtain digital image data; based on the image data obtained by the conversion unit. Display means for displaying an image of the object to be measured by the display means; edge designation means for designating an edge of the image displayed by the display means; and the edge designation means based on the image data obtained by the conversion means. Edge detecting means for detecting a designated edge; and an auxiliary line or an auxiliary point based on the edge detected by the edge detecting means or an already calculated auxiliary line or auxiliary point. Auxiliary calculation means to be output, a calculation target specifying means for specifying an edge detected by the edge detection means or an auxiliary line or an auxiliary point calculated by the auxiliary calculation means as a calculation target, and A shape measuring device comprising: physical quantity calculating means for calculating physical quantities related to a plurality of designated calculation targets.
【請求項2】 前記エッジ指定手段は、前記表示手段に
より表示された画像の複数点を指定するための画像位置
指定手段と、前記画像位置指定手段により指定された複
数点に基づいてエッジ検出領域を設定するエッジ検出領
域設定手段とを含み、 前記エッジ検出手段は、前記エッジ検出領域設定手段に
より設定されたエッジ検出領域内の画像データに基づい
てエッジを検出することを特徴とする請求項1記載の形
状測定器。
2. The image processing apparatus according to claim 1, wherein the edge designating means designates a plurality of points of the image displayed by the display means, and an edge detection area based on the plurality of points designated by the image position designating means. 2. An edge detection area setting means for setting an edge detection area, wherein the edge detection means detects an edge based on image data in the edge detection area set by the edge detection area setting means. The shape measuring instrument as described.
【請求項3】 前記エッジ指定手段は、前記エッジ検出
手段により検出されたエッジを使用してエッジ検出領域
を所定の位置に再設定するエッジ検出領域再設定手段を
さらに含み、 前記表示手段は、前記エッジ検出領域再設定手段により
再設定されたエッジ検出領域を表示することを特徴とす
る請求項2記載の形状測定器。
3. The edge specifying means further includes an edge detection area resetting means for resetting an edge detection area to a predetermined position by using an edge detected by the edge detecting means. The shape measuring instrument according to claim 2, wherein the edge detection area reset by the edge detection area resetting means is displayed.
【請求項4】 前記エッジ検出手段は、直線エッジの検
出機能または円エッジの検出機能を有することを特徴と
する請求項1、2または3記載の形状測定器。
4. The shape measuring instrument according to claim 1, wherein said edge detecting means has a function of detecting a straight edge or a function of detecting a circular edge.
【請求項5】 前記補助算出手段は、2直線の中心線の
検出機能、1点を通りかつ1直線に垂直な直線の検出機
能、2点を結ぶ直線の検出機能または2直線の交点の検
出機能を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれ
かに記載の形状測定器。
5. The auxiliary calculating means detects a center line of two straight lines, detects a straight line passing through one point and is perpendicular to one straight line, detects a straight line connecting two points, or detects an intersection of two straight lines. The shape measuring instrument according to any one of claims 1 to 4, having a function.
【請求項6】 前記補助算出手段により算出された補助
線または補助点とこの補助線または補助点の算出の基礎
となるエッジ、補助線または補助点との関係を記憶する
記憶手段と、 前記補助算出手段により算出された補助線または補助点
を指定するための補助指定手段とをさらに備え、 前記表示手段は、前記記憶手段に記憶された関係に基づ
いて前記指定手段により指定された補助線または補助点
の算出の基礎となるエッジ、補助線または補助点を表示
することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の
形状測定器。
6. A storage unit for storing a relationship between an auxiliary line or an auxiliary point calculated by the auxiliary calculation unit and an edge, an auxiliary line, or an auxiliary point serving as a basis for calculating the auxiliary line or the auxiliary point; And an auxiliary designation unit for designating an auxiliary line or an auxiliary point calculated by the calculation unit, wherein the display unit is configured to specify the auxiliary line or the auxiliary line specified by the designation unit based on the relationship stored in the storage unit. The shape measuring instrument according to claim 1, wherein an edge, an auxiliary line, or an auxiliary point serving as a basis for calculating the auxiliary point is displayed.
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