JP2000202916A - Stereo lithographing method and device produced thereby - Google Patents

Stereo lithographing method and device produced thereby

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JP2000202916A JP11007796A JP779699A JP2000202916A JP 2000202916 A JP2000202916 A JP 2000202916A JP 11007796 A JP11007796 A JP 11007796A JP 779699 A JP779699 A JP 779699A JP 2000202916 A JP2000202916 A JP 2000202916A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize the easy and low cost production of a complicated shape with a device, by which a matter is housed in a resin case. SOLUTION: In this device, a stereo lithographing method, by which a setting is developed by the irradiation of a light U, is applied to a liquid photosetting resin L. In this case, cases 1-4 made of the photosetting resin L are formed on a stage S. After that, through the once interruption of the irradiation of the light and the utilization between the light irradiations, a turbine 10 is set to the cases 3-4. By continuing setting processes from the above, the remaining portion of the photosetting resin L, resulting in forming cases 6-9 at the side and the upper part of the turbine 10. Thus, even when a whole resin case has a complicated shape or when the turbine itself has a very small size, a device can be easily produced at low cost.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光造形加工法およ
び該加工法により製作される装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical shaping method and an apparatus manufactured by the method.

【0002】[0002]

【従来の技術およびその課題】たとえば歯車等の機械部
品、タービンやフィルタ等の流体素子を樹脂製ケース内
に組み込んで機械装置や流体装置を構成する一般的な手
法としては、予め樹脂成形された割型ケースを用意し、
一方の割型ケース内に機械部品または流体素子を組み込
んだ後、他方の割型ケースを一方の割型ケースに取付固
定するようにしている。
2. Description of the Related Art As a general method of constructing a mechanical device or a fluid device by incorporating a mechanical component such as a gear or a fluid element such as a turbine or a filter into a resin case, a resin molding is performed in advance. Prepare a split case,
After a mechanical part or a fluid element is incorporated in one split mold case, the other split mold case is attached and fixed to one split mold case.

【0003】ところが、このような手法の場合、割型ケ
ースや機械部品等が非常に複雑な形状をしているときに
は、成形金型の形状も複雑になり、コスト高になる。ま
た装置本体が、上記手法による組立てが困難なほど複雑
な形状をしている場合には、上記手法による組立てを行
うことができない。
[0003] However, in the case of such a method, when the split mold case and the mechanical parts have a very complicated shape, the shape of the molding die becomes complicated and the cost increases. In addition, when the apparatus main body has such a complicated shape that it is difficult to assemble by the above method, the assembling by the above method cannot be performed.

【0004】さらに、装置自体がマイクロマシンを構成
するような小形の装置である場合には、機械部品や流体
素子も非常に小さなものになるので、装置の組立てに顕
微鏡等を用いなければならず、ミクロンオーダーの超精
密な組立作業が必要になって、組立てが容易ではない。
また、各割型ケースの合わせ面に隙間が形成されている
場合には、運転時にこの隙間からケース内部の潤滑材や
流体がケース外部に漏れる恐れがある。
Further, when the apparatus itself is a small apparatus that constitutes a micro machine, mechanical parts and fluid elements become very small, so that a microscope or the like must be used for assembling the apparatus. Ultra-precision assembly work on the order of microns is required, and assembly is not easy.
Further, if a gap is formed in the mating surface of each split mold case, there is a possibility that lubricant or fluid inside the case leaks out of the case from the gap during operation.

【0005】本発明は、このような従来の問題点を解消
するためになされたもので、その目的は、物体を内部に
収容してなる装置において複雑な形状を安価に製作でき
るようにすることにある。また、本発明の他の目的は、
当該装置において組立てが困難な形状・構造・サイズの
ものでも容易に製作できるようにすることにある。さら
に、本発明の別の目的は、当該装置において潤滑材や流
体の外部への漏れを確実に防止できるようにすることに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to make it possible to manufacture a complicated shape at low cost in a device in which an object is housed. It is in. Another object of the present invention is to
An object of the present invention is to make it possible to easily manufacture a device having a shape, a structure, and a size that are difficult to assemble. Still another object of the present invention is to make it possible to reliably prevent a lubricant or a fluid from leaking outside in the device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る光
造形加工法は、液状の光硬化樹脂に光を照射して、該光
硬化樹脂を所望の形状に硬化させる光造形加工法におい
て、光硬化樹脂の硬化プロセス中に、硬化した光硬化樹
脂の上に物体を載置し、この状態から硬化プロセスを続
行するようにしたことを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a stereolithography method for irradiating a liquid photocurable resin with light to cure the photocurable resin into a desired shape. During the curing process of the photocurable resin, an object is placed on the cured photocurable resin, and the curing process is continued from this state.

【0007】請求項2の発明に係る装置は、液状の光硬
化樹脂に光を照射することにより該光硬化樹脂を所望の
形状に硬化させる光造形加工法を用いて製作される装置
であって、光硬化樹脂の硬化プロセス中に、硬化した光
硬化樹脂の上に物体を載置し、この状態から硬化プロセ
スを続行することにより製作されることを特徴としてい
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus manufactured by using an optical molding method for irradiating a liquid photocurable resin with light to cure the photocurable resin into a desired shape. During the curing process of the photo-curable resin, the object is placed on the cured photo-curable resin, and the curing process is continued from this state to manufacture the photo-curable resin.

【0008】請求項3の発明に係る光造形加工法は、請
求項1において、前記物体が、光硬化樹脂に支持される
可動部材であることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the stereolithography method, the object is a movable member supported by a photocurable resin.

【0009】請求項4の発明に係る装置は、請求項2に
おいて、前記物体が、光硬化樹脂に支持される可動部材
であることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the second aspect, the object is a movable member supported by a photocurable resin.

【0010】請求項5の発明に係る光造形加工法は、請
求項3において、前記可動部材がマイクロマシン用の可
動部材であって、回転体または摺動体であることを特徴
としている。
A stereolithography method according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that, in the third aspect, the movable member is a movable member for a micromachine, and is a rotating body or a sliding body.

【0011】請求項6の発明に係る装置は、請求項4に
おいて、前記可動部材がマイクロマシン用の可動部材で
あって、回転体または摺動体であることを特徴としてい
る。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the movable member is a movable member for a micromachine, and is a rotating body or a sliding body.

【0012】請求項7の発明に係る光造形加工法は、請
求項3または5において、前記可動部材がタービンまた
は歯車であることを特徴としている。
A stereolithography method according to a seventh aspect of the present invention is characterized in that, in the third or fifth aspect, the movable member is a turbine or a gear.

【0013】請求項8の発明に係る装置は、請求項4ま
たは6において、前記可動部材がタービンまたは歯車で
あることを特徴としている。
According to an eighth aspect of the present invention, in the fourth or sixth aspect, the movable member is a turbine or a gear.

【0014】請求項9の発明に係る光造形加工法は、請
求項1において、前記物体が、光硬化樹脂に固定された
固定部材であることを特徴としている。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a stereolithography method according to the first aspect, wherein the object is a fixing member fixed to a photocurable resin.

【0015】請求項10の発明に係る装置は、請求項2
において、前記物体が、光硬化樹脂に固定された固定部
材であることを特徴としている。
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided an apparatus according to the second aspect.
Wherein the object is a fixing member fixed to a photocurable resin.

【0016】請求項11の発明に係る光造形加工法は、
請求項9において、前記固定部材がマイクロマシン用の
固定部材であることを特徴としている。
[0016] The stereolithography method according to the eleventh invention is characterized in that:
According to a ninth aspect, the fixing member is a fixing member for a micro machine.

【0017】請求項12の発明に係る装置は、請求項1
0において、前記固定部材がマイクロマシン用の固定部
材であることを特徴としている。
The device according to the twelfth aspect of the invention is the first aspect of the invention.
0, the fixing member is a fixing member for a micromachine.

【0018】請求項13の発明に係る光造形加工法は、
請求項9または11において、前記固定部材がフィルタ
であることを特徴としている。
The stereolithography method according to the invention of claim 13 is:
The ninth or eleventh aspect is characterized in that the fixing member is a filter.

【0019】請求項14の発明に係る装置は、請求項1
0または12において、前記固定部材がフィルタである
ことを特徴としている。
The device according to the invention of claim 14 is the device according to claim 1
0 or 12, wherein the fixing member is a filter.

【0020】請求項15の発明に係る光造形加工法は、
請求項9または11において、前記固定部材がセンサで
あることを特徴としている。
The stereolithography method according to the invention of claim 15 is
The ninth or eleventh aspect is characterized in that the fixing member is a sensor.

【0021】請求項16の発明に係る装置は、請求項1
0または12において、前記固定部材がセンサであるこ
とを特徴としている。
The device according to the sixteenth aspect of the present invention is the first aspect of the present invention.
0 or 12, wherein the fixing member is a sensor.

【0022】請求項17の発明に係る光造形加工法は、
請求項9または11において、前記固定部材が回路素子
であることを特徴としている。
According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided a stereolithography method.
The ninth or eleventh aspect is characterized in that the fixing member is a circuit element.

【0023】請求項18の発明に係る装置は、請求項1
0または12において、前記固定部材が回路素子である
ことを特徴としている。
The device according to claim 18 is the device according to claim 1.
0 or 12, wherein the fixing member is a circuit element.

【0024】請求項1および2の発明においては、光硬
化樹脂の硬化プロセス中に、光の照射を一旦中断しある
いは光照射の合間を利用して、硬化した光硬化樹脂の上
に物体を載置し、この状態から硬化プロセスを続行し
て、光硬化樹脂の残りの部分を硬化させるようにしてい
る。これにより、装置全体が複雑な形状のものであって
も、成形金型を必要とすることなく、安価に製作できる
ようになる。
According to the first and second aspects of the present invention, during the curing process of the photocurable resin, the light irradiation is temporarily interrupted or the object is placed on the cured photocurable resin by using the interval between the light irradiations. The curing process is continued from this state to cure the remaining portion of the photocurable resin. Thus, even if the entire apparatus has a complicated shape, it can be manufactured at low cost without the need for a molding die.

【0025】また、光硬化樹脂の任意の部分を硬化させ
ることが可能なので、従来の手法による組立てが困難な
形状・構造のものであって、容易に製作できるようにな
る。さらに、製作される装置の大きさに制限がないの
で、装置自体がマイクロマシンを構成するような小形の
ものであっても、容易に製作できる。
Further, since an arbitrary portion of the photocurable resin can be cured, the photocurable resin has a shape and structure that are difficult to assemble by a conventional method, and can be easily manufactured. Further, since the size of the device to be manufactured is not limited, even if the device itself is a small one that constitutes a micromachine, it can be easily manufactured.

【0026】しかも、硬化した光硬化樹脂の部分はすべ
て一体に形成されるので、内部の潤滑材や流体が外部に
漏れるのを確実に防止できる。
In addition, since the cured portions of the photocurable resin are all integrally formed, leakage of the internal lubricant or fluid to the outside can be reliably prevented.

【0027】なお、硬化した光硬化樹脂の上に載置され
る物体は、請求項3または4の発明に記載されているよ
うな可動部材でもよく、あるいは請求項9または10の
発明に記載されているような固定部材でもよい。
The object placed on the cured photocurable resin may be a movable member as described in the third or fourth aspect of the invention, or may be a movable member as described in the ninth or tenth aspect. The fixing member as described above may be used.

【0028】可動部材は、請求項5または6の発明に記
載されているように、マイクロマシン用の可動物体であ
って回転体または摺動体でもよく、固定部材は、請求項
11または12の発明に記載されているように、マイク
ロマシン用の固定部材であってもよい。
The movable member may be a movable object for a micromachine and may be a rotating body or a sliding body, and the fixed member may be a movable body for a micromachine. As described, it may be a fixing member for a micromachine.

【0029】また可動部材は、請求項7または8の発明
に記載されているように、タービンまたは歯車でもよ
く、固定部材は、請求項13ないし18の発明にそれぞ
れ記載されているように、フィルタ、センサまたは電気
回路、電子回路等の回路素子であってよい。
The movable member may be a turbine or a gear as described in the seventh or eighth aspect of the present invention, and the fixed member may be a filter as described in the thirteenth to eighteenth aspects. , A sensor or a circuit element such as an electric circuit or an electronic circuit.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】〔第1の実施態様〕本発明の第1
の実施態様による光造形加工法について図1ないし図5
を用いて説明する。ここでは、光硬化樹脂を硬化させる
ことにより構成される樹脂製ケースの内部にタービンが
配置される装置を製作する場合を例にとる。図1ないし
図4は、この光造形加工法の加工プロセスを説明するた
めの図、図5はこの光造形加工法により製作された装置
の全体斜視図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [ First Embodiment] The first embodiment of the present invention
FIGS. 1 to 5 show an optical molding method according to the embodiment of FIG.
This will be described with reference to FIG. Here, an example in which a device in which a turbine is disposed inside a resin case configured by curing a photocurable resin is manufactured will be described. 1 to 4 are views for explaining a processing process of the stereolithography method, and FIG. 5 is an overall perspective view of an apparatus manufactured by the stereolithography method.

【0031】なお、この第1の実施態様では、光造形加
工法として、液面規制板のない自由液面法を用いた場合
を例にとるが、液面規制板を用いた液面規制法を採用し
てもよく、あるいは、その他のいずれの手法を採用する
ようにしてもよい。この点は、以下の第2,第3の実施
態様においても同様である。
In the first embodiment, a case where a free liquid level method without a liquid level regulating plate is used as an optical shaping method is taken as an example, but a liquid level regulating method using a liquid level regulating plate is used. May be adopted, or any other method may be adopted. This is the same in the following second and third embodiments.

【0032】この場合には、まず、図示しない容器内に
液状の光硬化樹脂Lを入れるとともに、昇降可能に設け
られたステージSを上方に移動させて、ステージ上面S
aと液面との間に液状の光硬化樹脂Lの薄い層を形成す
る。この状態から、液面に光Uを照射して光硬化樹脂L
を硬化させることにより、一層目の硬化層を形成する
(図1参照)。
In this case, first, the liquid photo-curable resin L is put into a container (not shown), and the stage S provided so as to be able to move up and down is moved upward so that the stage upper surface S
A thin layer of the liquid photocurable resin L is formed between a and the liquid surface. From this state, the liquid surface is irradiated with light U to cure the photocurable resin L.
To form a first cured layer (see FIG. 1).

【0033】次に、ステージSを一段階下降させて、硬
化層と液面との間に液状の光硬化樹脂Lの薄い層を再
び形成し、この状態から、液面に光Uを照射することに
より、二層目の硬化層を形成する(図1参照)。次
に、硬化層を形成する際の操作と同様の操作により、
三層目の硬化層を形成する。ただし、この硬化層の
形成の際には、図1に示すように、硬化層の中央部に
円形の孔3aが形成されるように、光Uの照射位置を制
御する。
Next, the stage S is lowered by one step to form a thin layer of the liquid photocurable resin L again between the cured layer and the liquid surface, and from this state, the liquid surface is irradiated with light U. Thereby, a second hardened layer is formed (see FIG. 1). Next, by the same operation as when forming the cured layer,
A third hardened layer is formed. However, when forming the hardened layer, the irradiation position of the light U is controlled so that a circular hole 3a is formed in the center of the hardened layer as shown in FIG.

【0034】次に、硬化層を形成する際の操作と同様
の操作により、図2に示すように、中央に孔4aを有す
る四層目の硬化層を形成する。
Next, as shown in FIG. 2, a fourth cured layer having a hole 4a in the center is formed by the same operation as that for forming the cured layer.

【0035】そして、図3に示すように、四層目の硬化
層の上にタービン10を配置する。このとき、タービ
ン10の軸10aの下部が硬化層,の各孔3a,4
a内に挿入されるようにする。
Then, as shown in FIG. 3, the turbine 10 is arranged on the fourth hardened layer. At this time, each hole 3a, 4 of the hardened layer
a.

【0036】次に、図3の紙面手前側および奥側におい
て光硬化樹脂Lを硬化させることにより、硬化層の上
部に順次硬化層を積層して、図5に示すような硬化層
を形成する。
Next, by curing the photocurable resin L on the near side and the back side of the sheet of FIG. 3, a cured layer is sequentially laminated on the cured layer to form a cured layer as shown in FIG. .

【0037】次に、硬化層の上部に、図4に示すよう
な硬化層〜を形成する(図5参照)。この場合にお
いて、硬化層,の形成の際には、光Uの照射位置を
制御することにより、硬化層,に形成した各孔3
a,4aと対向する孔が各硬化層,にそれぞれ形成
されるようにするとともに、これらの孔内にタービン1
0の軸10aの上部が配置されるようにする(図4参
照)。
Next, a hardened layer 1 as shown in FIG. 4 is formed on the hardened layer (see FIG. 5). In this case, when the hardened layer is formed, by controlling the irradiation position of the light U, each hole 3 formed in the hardened layer is controlled.
a and 4a are formed in each of the hardened layers, respectively, and the turbine 1 is formed in these holes.
The upper part of the 0 axis 10a is arranged (see FIG. 4).

【0038】このようにして、図5に示すように、樹脂
製ケース20の内部にタービン10を備えた装置(流体
装置)1が完成される。この装置1は、貫通孔1aを有
しており、該貫通孔1a内にタービン10が回転自在に
配置されている。この装置1では、貫通孔1a内に流体
を流すことにより、該流体の流れでタービン10を回転
させることができる。
Thus, as shown in FIG. 5, a device (fluid device) 1 having the turbine 10 inside the resin case 20 is completed. This device 1 has a through hole 1a, and a turbine 10 is rotatably arranged in the through hole 1a. In this device 1, by flowing a fluid into the through-hole 1a, the turbine 10 can be rotated by the flow of the fluid.

【0039】ここで、従来の手法である成形金型を用い
て装置1を製作しようとした場合には、樹脂製ケース2
0を二つ割りにして、一方の割型ケースにタービン10
を配置した後、他方の割型ケースを一方の割型ケースに
取り付ける必要がある。
Here, when the apparatus 1 is to be manufactured using a molding die which is a conventional method, the resin case 2
0 is divided into two, and the turbine 10
After disposing, the other split mold case needs to be attached to one split mold case.

【0040】ところが、この場合には、各割型ケースの
合わせ面に隙間が形成されていたときに、この隙間から
ケース内部の流体がケース外部に漏れる恐れがある。ま
た、装置自体がマイクロマシンを構成するような小形の
装置である場合には、内部のタービンも非常に小さなも
のになるので、装置の組立てが容易ではない。
However, in this case, when a gap is formed in the mating surface of each split mold case, the fluid inside the case may leak out of the case from the gap. If the apparatus itself is a small apparatus that constitutes a micromachine, the internal turbine becomes very small, so that it is not easy to assemble the apparatus.

【0041】これに対して、本実施態様では、硬化した
光硬化樹脂の部分はすべて一体に形成されるので、ケー
ス外部への流体の漏れを確実に防止できる。また、マイ
クロマシンのような小形の装置の場合であっても、光の
照射範囲等を制御するだけでよいので、容易に製作可能
である。
On the other hand, in the present embodiment, since the cured portions of the photocurable resin are all integrally formed, leakage of the fluid to the outside of the case can be reliably prevented. Further, even in the case of a small-sized device such as a micromachine, it can be easily manufactured because it is only necessary to control the light irradiation range and the like.

【0042】さらに、本実施態様によれば、ケースが非
常に複雑な形状や構造を有している場合であっても、上
述した光造形加工法を用いて光硬化樹脂の任意の部分を
硬化させることが可能なので、ケースの製作を容易かつ
安価に行える。
Further, according to the present embodiment, even if the case has a very complicated shape or structure, any part of the photocurable resin is cured by using the above-mentioned stereolithography. The case can be manufactured easily and inexpensively.

【0043】なお、タービン10のかわりに、歯車やそ
の他の可動部材を用いて装置を構成するようにしてもよ
い。この場合には、前記実施態様の場合と同様に、複雑
な形状・構造のものを容易かつ安価に製作でき、任意の
大きさのものを製作できるととともに、ケース内部の潤
滑材等の漏れを確実に防止できる。
It should be noted that the apparatus may be configured using gears or other movable members instead of the turbine 10. In this case, similarly to the above-described embodiment, it is possible to easily and inexpensively manufacture a product having a complicated shape and structure, to manufacture a product having an arbitrary size, and to prevent leakage of lubricant and the like inside the case. It can be reliably prevented.

【0044】〔第2の実施態様〕本発明の第2の実施態
様による光造形加工法について図6ないし図10を用い
て説明する。ここでは、光硬化樹脂を硬化させることに
より構成される樹脂製ケースの内部にフィルタが配置さ
れる装置を製作する場合を例にとる。図6ないし図9
は、この光造形加工法の加工プロセスを説明するための
図、図10はこの光造形加工法により製作された装置の
全体斜視図である。なお、これらの図において、前記第
1の実施態様と同一符号は同一または相当部分を示して
いる。
[ Second Embodiment ] An optical shaping method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, an example in which a device in which a filter is disposed inside a resin case configured by curing a photocurable resin is manufactured will be described. 6 to 9
Is a view for explaining the processing process of the optical shaping method, and FIG. 10 is an overall perspective view of an apparatus manufactured by the optical shaping method. In these figures, the same reference numerals as those in the first embodiment denote the same or corresponding parts.

【0045】この場合には、前記第1の実施態様の場合
と同様に、図示しない容器内に収容された液状の光硬化
樹脂Lの内部においてステージSを上方に移動させ、ス
テージ上面Saと液面との間に液状の光硬化樹脂Lの薄
い層を形成する。そして、液面に光Uを照射して光硬化
樹脂Lを硬化させることにより、一層目の硬化層31を
形成する(図6参照)。この硬化層31の形成の際に
は、図7に示すように、平面視矩形状の硬化層が形成さ
れるように、光Uの照射範囲を制御する。
In this case, as in the case of the first embodiment, the stage S is moved upward inside the liquid photocurable resin L accommodated in a container (not shown), and the stage upper surface Sa and the liquid are cured. A thin layer of liquid photocurable resin L is formed between the surface and the surface. Then, the liquid surface is irradiated with light U to cure the photocurable resin L, thereby forming the first cured layer 31 (see FIG. 6). When the hardened layer 31 is formed, the irradiation range of the light U is controlled so that a hardened layer having a rectangular shape in a plan view is formed as shown in FIG.

【0046】次に、ステージSを一段階下降させて、一
層目の硬化層31と液面との間に液状の光硬化樹脂Lの
薄い層を形成し、この状態から、液面に光Uを照射する
ことにより、二層目の硬化層31を形成する(図6およ
び図7参照)。以下同様にして、三層ないし五層目の硬
化層31を形成する。このようにして、ステージSの上
には、硬化層31の積層体30が形成される。
Next, the stage S is lowered by one stage to form a thin layer of the liquid photocurable resin L between the first hardened layer 31 and the liquid surface. To form a second hardened layer 31 (see FIGS. 6 and 7). Thereafter, the third to fifth hardened layers 31 are formed in the same manner. In this way, the stacked body 30 of the cured layer 31 is formed on the stage S.

【0047】次に、図8に示すように、五層目の硬化層
31の上にフィルタFを載置する。この状態から、複数
の硬化層31からなる積層体30を形成する際の操作と
同様の操作により、フィルタFの上面に硬化層32の積
層体30′を形成する(図9および図10参照)。
Next, as shown in FIG. 8, the filter F is mounted on the fifth hardened layer 31. From this state, a laminated body 30 ′ of the cured layer 32 is formed on the upper surface of the filter F by the same operation as that for forming the laminated body 30 including the plurality of cured layers 31 (see FIGS. 9 and 10). .

【0048】このようにして、図10に示すように、樹
脂製ケース41の長手方向中央部分にフィルタFが嵌め
込まれた装置(流体装置)40が製作される。この装置
40は、貫通孔40aを有しており、該貫通孔40a内
に流体を流すことにより、該流体を濾過処理することが
できる。
In this way, as shown in FIG. 10, a device (fluid device) 40 in which the filter F is fitted in the longitudinal center portion of the resin case 41 is manufactured. The device 40 has a through-hole 40a, and the fluid can be filtered by flowing the fluid into the through-hole 40a.

【0049】ここで、従来の手法である成形金型を用い
て装置40を製作する場合には、樹脂製ケース41とし
て積層体30および積層体30′の二つの部分を製作し
て、これらの部分にフィルタFを挟み込んで固定する必
要がある。
Here, when the apparatus 40 is manufactured by using a molding die which is a conventional method, two parts of the laminate 30 and the laminate 30 'are produced as a resin case 41, and these are formed. It is necessary to sandwich and fix the filter F in the portion.

【0050】ところが、この場合には、前記第1の実施
態様の場合と同様に、各部分の合わせ面に隙間が形成さ
れていた場合に、この隙間の部分からケース内部の流体
がケース外部に漏れる恐れがある。また、装置自体がマ
イクロマシンを構成するような小形の装置である場合に
は、フィルタも非常に小さなものになるので、装置の組
立てが容易ではない。
However, in this case, as in the case of the first embodiment, if a gap is formed in the mating surface of each part, the fluid inside the case flows from the gap to the outside of the case. There is a risk of leakage. If the device itself is a small device that constitutes a micromachine, the filter becomes very small, and it is not easy to assemble the device.

【0051】これに対して、この第2の実施態様では、
フィルタFを挟んで各積層体30,30′が一体的に形
成されるので、ケース外部への流体の漏れを確実に防止
できる。また、マイクロマシンのような小形の装置の場
合であっても、光の照射範囲等を制御すればよいので、
容易に製作可能である。
On the other hand, in the second embodiment,
Since each of the laminates 30 and 30 'is formed integrally with the filter F interposed therebetween, leakage of fluid to the outside of the case can be reliably prevented. Also, even in the case of a small device such as a micromachine, since the irradiation range of light and the like may be controlled,
It can be easily manufactured.

【0052】さらに、この第2の実施態様によれば、ケ
ースが非常に複雑な形状や構造を有している場合であっ
ても、上述した光造形加工法を用いて光硬化樹脂の任意
の部分を硬化させることが可能なので、ケースの製作を
容易かつ安価に行える。
Further, according to the second embodiment, even if the case has a very complicated shape and structure, any of the photo-curable resins can be formed using the above-mentioned stereolithography. Since the part can be cured, the case can be manufactured easily and inexpensively.

【0053】〔第3の実施態様〕本発明の第3の実施態
様による光造形加工法について図11ないし図14を用
いて説明する。ここでは、前記第2の実施態様の場合と
同様に、光硬化樹脂を硬化させることにより構成される
樹脂製ケースの内部にフィルタが配置される装置を製作
する場合を例にとっているが、前記第2の実施態様で
は、光硬化樹脂の硬化層をケースの長手方向に積層して
いく例が示されているのに対し、この第3の実施態様で
は、光硬化樹脂の硬化層がケース長手方向と直交する方
向に積層されていく例が示されている点が前記第2の実
施態様と異なっている。
[ Third Embodiment ] An optical shaping method according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, as in the case of the second embodiment, a case where a device in which a filter is disposed inside a resin case configured by curing a photocurable resin is taken as an example. In the second embodiment, an example is shown in which the cured layer of the photocurable resin is laminated in the longitudinal direction of the case, whereas in the third embodiment, the cured layer of the photocurable resin is laminated in the longitudinal direction of the case. The second embodiment differs from the second embodiment in that an example in which the layers are stacked in a direction perpendicular to the second embodiment is shown.

【0054】図11ないし図13は、この光造形加工法
の加工プロセスを説明するための図、図14はこの光造
形加工法により製作された装置の全体斜視図である。な
お、これらの図において、前記第2の実施態様と同一符
号は同一または相当部分を示している。
FIGS. 11 to 13 are views for explaining the working process of the stereolithography method, and FIG. 14 is an overall perspective view of an apparatus manufactured by the stereolithography method. In these figures, the same reference numerals as those in the second embodiment denote the same or corresponding parts.

【0055】この場合には、前記第1の実施態様におけ
る硬化層〜を形成する場合と同様の操作により、ま
ず、ステージSの上面Saに硬化層35および36を形
成する(図11参照)。このとき、硬化層36の形成の
際には、硬化層36の中央部において紙面垂直方向に延
びる溝36aが形成されるように、光Uの照射位置を制
御する。
In this case, first, the hardened layers 35 and 36 are formed on the upper surface Sa of the stage S by the same operation as that for forming the hardened layers 1 to 3 in the first embodiment (see FIG. 11). At this time, when the hardened layer 36 is formed, the irradiation position of the light U is controlled such that a groove 36a extending in the direction perpendicular to the paper of the drawing is formed at the center of the hardened layer 36.

【0056】次に、図12に示すように、硬化層36の
溝36a内にフィルタFを載置する。この状態から、前
記第1の実施態様における硬化層〜を形成する場合
と同様の操作により、硬化層37および38,39を形
成する(図13および図14参照)。このとき、硬化層
38を形成する際には、光Uの照射位置を制御すること
により、硬化層36に形成した溝36aと対向する溝が
硬化層38にそれぞれ形成されるようにするとともに、
これらの溝内にフィルタFの上部が配置されるようにす
る(図13および図14参照)。
Next, as shown in FIG. 12, the filter F is placed in the groove 36a of the hardened layer 36. From this state, the hardened layers 37, 38, and 39 are formed by the same operation as that for forming the hardened layers 1 to 3 in the first embodiment (see FIGS. 13 and 14). At this time, when forming the hardened layer 38, by controlling the irradiation position of the light U, the grooves opposed to the grooves 36a formed in the hardened layer 36 are formed in the hardened layer 38, respectively.
The upper part of the filter F is arranged in these grooves (see FIGS. 13 and 14).

【0057】このようにして、図14に示すように、樹
脂製ケース41′の内部にフィルタFが埋め込まれた装
置(流体装置)40′が製作される。この装置40′
は、貫通孔40′aを有しており、該貫通孔40′a内
に流体を流すことにより、該流体を濾過処理することが
できる。
In this manner, as shown in FIG. 14, a device (fluid device) 40 'in which the filter F is embedded in the resin case 41' is manufactured. This device 40 '
Has a through-hole 40'a, and the fluid can be filtered by flowing the fluid through the through-hole 40'a.

【0058】ここで、従来の手法である成形金型を用い
て装置40′を製作する場合には、樹脂製ケース41′
として二つの割型部分を製作し、一方の割型部分にフィ
ルタFをセットした後、他方の割型部分を一方の割型部
分に固定する必要がある。
Here, when the apparatus 40 'is manufactured using a molding die which is a conventional technique, a resin case 41' is used.
It is necessary to manufacture two split mold parts, set the filter F in one split mold part, and then fix the other split mold part to one split mold part.

【0059】ところが、この場合には、各割型部分の合
わせ面に隙間が形成されていたときに、この隙間の部分
からケース内部の流体がケース外部に漏れる恐れがあ
る。また、装置自体がマイクロマシンを構成するような
小形の装置である場合には、フィルタも非常に小さなも
のになるので、装置の組立てが容易ではない。
However, in this case, when a gap is formed in the mating surface of each split mold portion, fluid inside the case may leak from the gap to the outside of the case. If the device itself is a small device that constitutes a micromachine, the filter becomes very small, and it is not easy to assemble the device.

【0060】これに対して、この第3の実施態様では、
硬化した光硬化樹脂の部分はすべて一体に形成されるの
で、ケース外部への流体の漏れを確実に防止できる。ま
た、マイクロマシンのような小形の装置の場合であって
も、光の照射範囲等を制御すればよいので、容易に製作
可能である。
On the other hand, in the third embodiment,
Since the cured photo-curing resin is all integrally formed, leakage of fluid to the outside of the case can be reliably prevented. Further, even in the case of a small device such as a micromachine, the device can be easily manufactured because the irradiation range of light and the like need only be controlled.

【0061】さらに、この第3の実施態様によれば、ケ
ースが非常に複雑な形状や構造を有している場合であっ
ても、上述した光造形加工法を用いて光硬化樹脂の任意
の部分を硬化させることが可能なので、ケースの製作を
容易かつ安価に行える。
Further, according to the third embodiment, even if the case has a very complicated shape or structure, any of the photo-curable resin can be formed using the above-mentioned stereolithography processing method. Since the part can be cured, the case can be manufactured easily and inexpensively.

【0062】なお、ケースに対するフィルタの取付方向
は、前記第2および第3の実施態様に示すような、流体
の流れと直交する方向には限定されず、流体の流れに対
して斜めに配置されたものであってもよい。
The direction in which the filter is attached to the case is not limited to the direction orthogonal to the flow of the fluid as shown in the second and third embodiments, but is arranged obliquely to the flow of the fluid. May be used.

【0063】〔その他の実施態様〕前記第2および第3
の実施態様では、フィルタを含む装置を製作する場合を
例にとって説明したが、フィルタのかわりに、センサを
用いて装置を構成するようにしてもよい。さらに、フィ
ルタのかわりに、電気回路や電子回路の回路素子を用い
て装置を構成するようにしてもよい。
[ Other Embodiments ] The second and third embodiments will be described.
In the above embodiment, the case where a device including a filter is manufactured has been described as an example, but the device may be configured using a sensor instead of the filter. Further, the device may be configured using circuit elements of an electric circuit or an electronic circuit instead of the filter.

【0064】この場合には、前記第2および第3の実施
態様の場合と同様に、複雑な形状・構造のものを容易か
つ安価に製作でき、任意の大きさのものを製作できる。
しかも、この場合には、光硬化樹脂が一般に絶縁樹脂で
あるため、とくに回路素子の保持部材としては好適であ
る。
In this case, as in the case of the second and third embodiments, a product having a complicated shape and structure can be manufactured easily and inexpensively, and a product having an arbitrary size can be manufactured.
Moreover, in this case, since the photocurable resin is generally an insulating resin, it is particularly suitable as a holding member for circuit elements.

【0065】さらに、本発明は、機能材料や化学物質の
他、任意の部材を含む装置を製作する場合にも同様に適
用できる。
Further, the present invention can be similarly applied to the case of manufacturing an apparatus including an arbitrary member in addition to a functional material and a chemical substance.

【0066】[0066]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、光
硬化樹脂の硬化プロセス中に、硬化した光硬化樹脂の上
に物体を載置し、この状態から硬化プロセスを続行する
ようにしている。これにより、装置自体が複雑な形状の
ものであっても、成形金型を必要とすることなく、安価
に製作できるようになる効果がある。また、光硬化樹脂
の任意の部分を硬化させることが可能なので、組立てが
困難な形状・構造のものであって、容易に製作できるよ
うになる。しかも、製作される装置の大きさに制限がな
いので、任意の大きさのものを容易に製作できる。さら
に、硬化した光硬化樹脂の部分はすべて一体に形成され
るので、内部の潤滑材や流体の漏れを確実に防止できる
効果がある。
As described in detail above, according to the present invention, during the curing process of the photocurable resin, an object is placed on the cured photocurable resin, and the curing process is continued from this state. ing. As a result, even if the device itself has a complicated shape, there is an effect that the device can be manufactured at low cost without requiring a molding die. Further, since an arbitrary portion of the photocurable resin can be cured, the photocurable resin has a shape and structure that are difficult to assemble and can be easily manufactured. In addition, since the size of the device to be manufactured is not limited, an arbitrary size device can be easily manufactured. Further, since the cured photo-curable resin is all formed integrally, there is an effect that the leakage of the lubricant or fluid inside can be reliably prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 1 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 2 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 3 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 4 is a view for explaining a processing process using the optical shaping processing method according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施態様による光造形加工法を
用いて製作されたタービン装置の製作例を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a production example of a turbine device produced by using the optical shaping method according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 6 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第2の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 7 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 8 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to a second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施態様による光造形加工法を
用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 9 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to the second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第2の実施態様による光造形加工法
を用いて製作されたフィルタ装置の製作例を示す図。
FIG. 10 is a view showing a manufacturing example of a filter device manufactured by using an optical shaping method according to a second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第3の実施態様による光造形加工法
を用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 11 is a view for explaining a processing process using a stereolithography method according to a third embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第3の実施態様による光造形加工法
を用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 12 is a view for explaining a processing process using a stereolithography method according to a third embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第3の実施態様による光造形加工法
を用いた加工プロセスを説明するための図。
FIG. 13 is a view for explaining a processing process using an optical shaping method according to a third embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第3の実施態様による光造形加工法
を用いて製作されたフィルタ装置の製作例を示す図。
FIG. 14 is a diagram showing a manufacturing example of a filter device manufactured by using an optical shaping method according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 装置 1a 貫通孔 3a,4a 円形の孔 10 タービン 10a 軸 20 ケース 31,32 硬化層 35,36 硬化層 37,38,39 硬化層 36a 溝 40,40′ 装置 40a,40′a 貫通孔 41,41′ ケース L 液状の光硬化樹脂 U 光 S ステージ F フィルタ 〜 硬化層 Reference Signs List 1 device 1a through hole 3a, 4a circular hole 10 turbine 10a shaft 20 case 31, 32 hardened layer 35, 36 hardened layer 37, 38, 39 hardened layer 36a groove 40, 40 'device 40a, 40'a through hole 41, 41 'case L liquid photo-curing resin U light S-stage F filter-cured layer

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液状の光硬化樹脂に光を照射して、該光
硬化樹脂を所望の形状に硬化させる光造形加工法におい
て、 光硬化樹脂の硬化プロセス中に、硬化した光硬化樹脂の
上に物体を載置し、この状態から硬化プロセスを続行す
るようにした、ことを特徴とする光造形加工法。
1. A photolithographic processing method for irradiating a liquid photocurable resin with light to cure the photocurable resin into a desired shape. Wherein the object is placed on the substrate and the curing process is continued from this state.
【請求項2】 液状の光硬化樹脂に光を照射することに
より該光硬化樹脂を所望の形状に硬化させる光造形加工
法を用いて製作される装置であって、 光硬化樹脂の硬化プロセス中に、硬化した光硬化樹脂の
上に物体を載置し、この状態から硬化プロセスを続行す
ることにより製作される装置。
2. An apparatus manufactured by using an optical shaping method for irradiating a liquid light curable resin with light to cure the light curable resin into a desired shape, the apparatus comprising: A device manufactured by placing an object on a cured photocurable resin and continuing the curing process from this state.
【請求項3】 前記物体が、光硬化樹脂に支持される可
動部材である、ことを特徴とする請求項1に記載の光造
形加工法。
3. The stereolithography method according to claim 1, wherein the object is a movable member supported by a photocurable resin.
【請求項4】 前記物体が、光硬化樹脂に支持される可
動部材である、ことを特徴とする請求項2に記載の装
置。
4. The apparatus according to claim 2, wherein the object is a movable member supported by a photocurable resin.
【請求項5】 前記可動部材がマイクロマシン用の可動
部材であって、回転体または摺動体である、ことを特徴
とする請求項3に記載の光造形加工法。
5. The stereolithography method according to claim 3, wherein the movable member is a movable member for a micromachine, and is a rotating body or a sliding body.
【請求項6】 前記可動部材がマイクロマシン用の可動
部材であって、回転体または摺動体である、ことを特徴
とする請求項4に記載の装置。
6. The apparatus according to claim 4, wherein the movable member is a movable member for a micro machine, and is a rotating body or a sliding body.
【請求項7】 前記可動部材がタービンまたは歯車であ
る、ことを特徴とする請求項3または5に記載の光造形
加工法。
7. The stereolithography method according to claim 3, wherein the movable member is a turbine or a gear.
【請求項8】 前記可動部材がタービンまたは歯車であ
る、ことを特徴とする請求項4または6に記載の装置。
8. The apparatus according to claim 4, wherein the movable member is a turbine or a gear.
【請求項9】 前記物体が、光硬化樹脂に固定された固
定部材である、ことを特徴とする請求項1に記載の光造
形加工法。
9. The stereolithography method according to claim 1, wherein the object is a fixing member fixed to a photocurable resin.
【請求項10】 前記物体が、光硬化樹脂に固定された
固定部材である、ことを特徴とする請求項2に記載の装
置。
10. The apparatus according to claim 2, wherein the object is a fixing member fixed to a photocurable resin.
【請求項11】 前記固定部材がマイクロマシン用の固
定部材である、ことを特徴とする請求項9に記載の光造
形加工法。
11. The stereolithography method according to claim 9, wherein the fixing member is a fixing member for a micro machine.
【請求項12】 前記固定部材がマイクロマシン用の固
定部材である、ことを特徴とする請求項10に記載の装
置。
12. The apparatus according to claim 10, wherein the fixing member is a fixing member for a micro machine.
【請求項13】 前記固定部材がフィルタである、こと
を特徴とする請求項9または11に記載の光造形加工
法。
13. The stereolithography method according to claim 9, wherein the fixing member is a filter.
【請求項14】 前記固定部材がフィルタである、こと
を特徴とする請求項10または12に記載の装置。
14. The device according to claim 10, wherein the fixing member is a filter.
【請求項15】 前記固定部材がセンサである、ことを
特徴とする請求項9または11に記載の光造形加工法。
15. The stereolithography method according to claim 9, wherein the fixing member is a sensor.
【請求項16】 前記固定部材がセンサである、ことを
特徴とする請求項10または12に記載の装置。
16. The device according to claim 10, wherein the fixing member is a sensor.
【請求項17】 前記固定部材が回路素子である、こと
を特徴とする請求項9または11に記載の光造形加工
法。
17. The stereolithography method according to claim 9, wherein the fixing member is a circuit element.
【請求項18】 前記固定部材が回路素子である、こと
を特徴とする請求項10または12に記載の装置。
18. The device according to claim 10, wherein the fixing member is a circuit element.
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