JP2000182514A - Manufacture of back surface board for plasma display panel - Google Patents

Manufacture of back surface board for plasma display panel

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JP2000182514A
JP2000182514A JP35201998A JP35201998A JP2000182514A JP 2000182514 A JP2000182514 A JP 2000182514A JP 35201998 A JP35201998 A JP 35201998A JP 35201998 A JP35201998 A JP 35201998A JP 2000182514 A JP2000182514 A JP 2000182514A
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JP
Japan
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barrier rib
phosphor
substrate
pattern
methacrylate
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Pending
Application number
JP35201998A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Nojiri
剛 野尻
Hiroyuki Kawakami
広幸 川上
Kazuya Sato
和也 佐藤
Yumiko Sugiura
有美子 杉浦
Mariko Shimamura
真理子 島村
Yukiko Muramatsu
有紀子 村松
Seiji Tai
誠司 田井
Hiroyuki Tanaka
裕之 田仲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the number of processes, to improve the strength of a barrier rib forming part, to provide the excellent dimensional accuracy with the excellent workability and a low energy by hardening the barrier rib forming part formed into the predetermined shape at the predetermined position of a substrate, and thereafter, forming a multi color pattern including the phosphor and the organic material on the barrier rib forming part at the predetermined position. SOLUTION: A hardened barrier rib forming part 2a is obtained by a process for embedding the barrier rib material in a clearance between a relief pattern and a relief pattern provided on a substrate at the predetermined positions, a process for hardening the barrier rib material and a process for eliminating the relief patterns. The barrier rib material includes the inorganic material and the organic material, which includes the high molecular binder having ethylene unsaturated group, as essential ingredient. As the phosphor and the organic material to be used at the time of forming a multi color pattern, the photosensitive resin composition including each phosphor for emitting the red, green and blue light is used.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル用背面板の製造法及びバリアリブ材料に関す
る。
The present invention relates to a method for manufacturing a back plate for a plasma display panel and a barrier rib material.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、平板ディスプレイの1つとし
て、プラズマ放電により発光する蛍光体を設けることに
よって多色表示を可能にしたプラズマディスプレイパネ
ル(以下PDPと記す)が知られている。PDPは、ガ
ラスからなる平板状の前面板と背面板とが互いに平行に
かつ対向して配設され、両者はその間に設けられた焼成
後のバリアリブにより一定の間隔に保持されており、前
面板、背面板及び焼成後のバリアリブに囲まれた空間で
放電する構造になっている。このような空間には、表示
のための蛍光体が塗布され、放電によって封入ガスから
発生する紫外線によって蛍光体が発光させられ、この光
を観察者が視認できるようになっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as one of flat panel displays, a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) capable of performing multicolor display by providing a phosphor which emits light by plasma discharge has been known. In the PDP, a flat front plate and a rear plate made of glass are disposed in parallel and opposed to each other, and both are held at a fixed interval by a fired barrier rib provided therebetween. , And discharges in a space surrounded by the back plate and the fired barrier ribs. In such a space, a phosphor for display is applied, and the phosphor is caused to emit light by ultraviolet rays generated from the sealing gas by discharge, so that the light can be visually recognized by an observer.

【0003】従来、PDP用背面板は、複数の電極が整
列配置された平面板上に、バリアリブ材料(無機材料及
び樹脂類の混合物)のペーストを用いて、印刷法により
硬化前のバリアリブを形成する方法、感光性フィルムを
用いることにより硬化前のバリアリブを形成する方法等
により、硬化前のバリアリブを形成し、必要に応じてバ
リアリブ中の樹脂分を硬化させた後に、この基板を40
0〜650℃に加熱してバリアリブを焼成することによ
り、有機バインダ等を飛散させて除去し、この基板を冷
却した後に、蛍光体を含む有機バインダ等を用いて、所
望の位置に多色のパターンを形成した後、再び400〜
650℃前後の温度で基板を焼成し、有機バインダ等を
飛散させて除去し、蛍光体パターンを形成することによ
り作製していた。
Conventionally, a back plate for PDP is formed by forming a barrier rib before curing by a printing method using a paste of a barrier rib material (a mixture of an inorganic material and a resin) on a flat plate on which a plurality of electrodes are arranged and arranged. After forming the barrier ribs before curing by a method of forming barrier ribs before curing by using a photosensitive film, and curing the resin component in the barrier ribs as necessary,
By heating the barrier rib by heating to 0 to 650 ° C., the organic binder and the like are scattered and removed, and after the substrate is cooled, a multicolored organic binder or the like is placed at a desired position using an organic binder or the like containing a phosphor. After forming the pattern,
It has been manufactured by baking the substrate at a temperature of about 650 ° C., scattering and removing an organic binder and the like, and forming a phosphor pattern.

【0004】硬化前のバリアリブを形成する方法として
は、従来から、印刷スクリーンとガラス粉末ペーストと
を用いた厚膜印刷法が一般的に行われており、また、感
光性の材料を用いて位置精度良く硬化前のバリアリブを
形成する方法(特開平2−165539号公報、特開平
2−165540号公報、特開平7−192626号公
報等)も提案されている。これらは、いずれの方法にお
いてもバリアリブ材料を所望の位置に形成した後に、5
00℃前後で焼成することにより、焼成後のバリアリブ
を得ている。
[0004] As a method of forming a barrier rib before curing, a thick film printing method using a printing screen and a glass powder paste has been generally performed, and a position is determined by using a photosensitive material. A method of accurately forming a barrier rib before curing (JP-A-2-165538, JP-A-2-165540, JP-A-7-192626, etc.) has also been proposed. After forming the barrier rib material at a desired position in any method,
By firing at around 00 ° C., a fired barrier rib is obtained.

【0005】焼成後のバリアリブが形成された基板を用
いて、蛍光体パターンを形成する方法としては、各色の
蛍光体を分散させたスラリー液又はペーストを、スクリ
ーン印刷等の印刷方法によって塗布する方法(特開平1
−115027号公報、特開平1−124929号公
報、特開平1−124930号公報、特開平2−155
142号公報等)が提案されており、また、位置精度良
く蛍光体パターンを形成する方法として、蛍光体を含有
させた感光性エレメント(感光性フィルム)を用いる方
法(特開平6−273925号公報等)が提案されてい
る。
As a method of forming a phosphor pattern using a substrate on which barrier ribs have been formed after firing, a method of applying a slurry liquid or paste in which phosphors of each color are dispersed by a printing method such as screen printing. (Japanese Unexamined Patent Publication No.
JP-A-115027, JP-A-1-124929, JP-A-1-124930, JP-A-2-155
No. 142) has been proposed, and as a method of forming a phosphor pattern with high positional accuracy, a method using a photosensitive element (photosensitive film) containing a phosphor (Japanese Patent Laid-Open No. 6-273925). Etc.) have been proposed.

【0006】従来のPDP用背面板は、硬化前のバリア
リブ又は硬化後のバリアリブを、平面板上に形成した
後、400〜650℃で焼成し、冷却後、スクリーン印
刷等の印刷方法、蛍光体を含有する感光性フィルムを用
い、パターンマスクを用いて所望の位置に多色のパター
ンをそれぞれ配置する方法等により多色のパターンを形
成した後、この基板を、再び400℃〜650℃前後に
加熱して有機バインダ等を飛散させて除去し、蛍光体パ
ターンを形成することにより作製していたが、硬化前の
バリアリブ又は硬化後のバリアリブを焼成する際の加熱
によって、基板が縮小する(対角50cm程度の大きさの
基板においては、数十〜数百ミクロン縮小する)ため
に、あらかじめ設計した蛍光体パターン用スクリーン印
刷のマスクや、光露光用パターンマスクが、一致しなく
なり、良好なパターニングを行うことがきわめて困難で
あった。また、この問題は、PDPの表示面積が大きく
なるにつれて誤差が大きくなるために、大画面PDPの
作製に際し、非常に大きな問題であった。
A conventional back panel for a PDP is formed by forming a barrier rib before curing or a barrier rib after curing on a flat plate, baking it at 400 to 650 ° C., cooling it, and then using a printing method such as screen printing or a phosphor. After forming a multicolor pattern by a method of disposing a multicolor pattern at a desired position using a pattern mask, using a photosensitive film containing, the substrate is again heated to about 400 ° C. to 650 ° C. It was manufactured by heating to scatter and remove the organic binder and the like to form a phosphor pattern. However, the substrate shrinks due to heating at the time of firing the barrier rib before curing or the barrier rib after curing. In the case of a substrate having a size of about 50 cm square, the size is reduced by several tens to several hundreds of microns). Pattern mask, will not match, it was very difficult to perform satisfactory patterning. In addition, this problem is a very serious problem in manufacturing a large-screen PDP because the error increases as the display area of the PDP increases.

【0007】一方、基板の縮小の割合に合わせて、パタ
ーンマスク又は蛍光体パターン用スクリーンマスクを、
硬化前のバリアリブ又は硬化後のバリアリブの成形サイ
ズよりも若干縮小して作製して対応させる場合もある
が、焼成時の基板の縮小幅は、必ずしも一定ではなく、
部分的に縮小幅が異なるために、製品の歩留まりが悪
く、大画面PDPを寸法精度よく作製することが非常に
困難であった。
On the other hand, a pattern mask or a screen mask for a phosphor pattern is used in accordance with the reduction ratio of the substrate.
There is a case where the barrier ribs before curing or the barrier ribs after curing are slightly reduced in size from the molded size to correspond to each other, but the reduction width of the substrate during firing is not necessarily constant,
Since the reduction width is partially different, the yield of products is poor, and it is very difficult to manufacture a large-screen PDP with dimensional accuracy.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】請求項1記載の発明
は、工程数を減少させ、バリアリブ形成部の強度を向上
させ、作業性よく、低エネルギーで、寸法精度に優れた
プラズマディスプレイパネル用背面板を歩留まりよく作
製できるプラズマディスプレイパネル用背面板の製造法
を提供するものである。請求項2記載の発明は、請求項
1記載の発明の効果に加えて、レリーフパターンを除去
する際のバリアリブ形成部の耐剥離液性が優れるプラズ
マディスプレイパネル用背面板の製造法を提供するもの
である。
According to the first aspect of the present invention, the number of steps is reduced, the strength of the barrier rib forming part is improved, the workability, low energy, and dimensional accuracy are excellent. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a back plate for a plasma display panel, which can produce a face plate with a high yield. The invention according to claim 2 provides a method of manufacturing a back plate for a plasma display panel in which the barrier rib forming portion has excellent peeling liquid resistance when removing a relief pattern, in addition to the effect of the invention according to claim 1. It is.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、(A)無機材
料及び(a)エチレン性不飽和基を有する高分子結合剤
を含有する有機材料を含むバリアリブ材料を用いて、基
板上に所定の位置及び形状で形成したバリアリブ形成部
を硬化した後、この硬化したバリアリブ形成部上の所定
の位置に蛍光体及び有機材料を含む多色のパターンをフ
ォトリソグラフ法により形成し、この状態で焼成するこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面板の
製造法に関する。
According to the present invention, a barrier rib material containing (A) an inorganic material and (a) an organic material containing a polymer binder having an ethylenically unsaturated group is formed on a substrate. After curing the barrier rib forming portion formed in the position and the shape of the above, a multicolor pattern including a phosphor and an organic material is formed at a predetermined position on the cured barrier rib forming portion by a photolithographic method, and firing in this state And a method of manufacturing a back plate for a plasma display panel.

【0010】また本発明は、硬化したバリアリブ形成部
が、(Ia)基板上に所定の位置に設けられたレリー
フパターンとレリーフパターンの間隙に(A)バリアリ
ブ材料を埋め込む工程、(Ib)(A)バリアリブ材
料を硬化する工程及び(Ic)レリーフパターンを除
去する工程の各工程により得られる前記プラズマディス
プレイパネル用背面板の製造法に関する。
In the present invention, the cured barrier rib forming portion may further comprise: (Ia) embedding a barrier rib material in a gap between the relief patterns provided at predetermined positions on the substrate; The present invention relates to a method of manufacturing the back plate for a plasma display panel obtained by the steps of :) curing the barrier rib material and (Ic) removing the relief pattern.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明のプラズマディスプレイパ
ネル(以下PDPと記す)用背面板の製造法は、(A)
無機材料及び(a)エチレン性不飽和基を有する高分子
結合剤を含有する有機材料を含むバリアリブ材料を用い
て、基板上に所定の位置及び形状で形成したバリアリブ
形成部を硬化した後、この硬化したバリアリブ形成部上
の所定の位置に蛍光体及び有機材料を含む多色のパター
ンをフォトリソグラフ法により形成し、この状態で焼成
することを特徴とする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The method of manufacturing a back plate for a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) of the present invention comprises the steps of (A)
Using a barrier rib material including an inorganic material and (a) an organic material containing a polymer binder having an ethylenically unsaturated group, a barrier rib forming portion formed at a predetermined position and shape on a substrate is cured. A multicolor pattern containing a phosphor and an organic material is formed at a predetermined position on the cured barrier rib forming portion by a photolithographic method, and firing is performed in this state.

【0012】本発明において、基板上に所定の位置及び
形状で形成したバリアリブ形成部を硬化する方法として
は、特に制限はなく、例えば、以下に示す〔第1の方
法〕〜〔第5の方法〕等が挙げられる。
In the present invention, the method of curing the barrier rib forming portion formed at a predetermined position and shape on the substrate is not particularly limited, and for example, the following [first method] to [fifth method] And the like.

【0013】〔第1の方法〕としては、(Ia)基板
上に所定の位置に設けられたレリーフパターンとレリー
フパターンの間隙に(A)バリアリブ材料を埋め込む工
程、(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化する工程及
び(Ic)レリーフパターンを除去する工程の各工程
を行なうことにより得られる方法である。この〔第1の
方法〕をフォト埋め込み法と定義する。
As a first method, (Ia) a step of embedding a barrier rib material in a gap between relief patterns provided at predetermined positions on a substrate, and (Ib) a step of (Ab) And (Ic) a step of removing the relief pattern. This [first method] is defined as a photo embedding method.

【0014】〔第2の方法〕としては、(Ia)基板
上にスクリーン版を介して、所定の位置に(A)バリア
リブ材料を印刷する工程及び(Ib)(A)バリアリ
ブ材料を硬化する工程の各工程を行なうことにより得ら
れる方法である。この〔第2の方法〕をスクリーン印刷
法と定義する。
[Second method] includes (Ia) a step of printing (A) a barrier rib material at a predetermined position on a substrate via a screen plate, and (Ib) a step of (A) curing the barrier rib material. This is a method obtained by performing each of the steps. This [second method] is defined as a screen printing method.

【0015】〔第3の方法〕としては、(Ia)基板
上に(A)バリアリブ材料層を積層し、この(A)バリ
アリブ材料層上に所定のパターンマスクを設け、サンド
ブラストする工程、(Ib)(A)バリアリブ材料を
硬化する工程及び(Ic)パターンマスクを除去する
工程の各工程を行なうことにより得られる方法である。
この〔第3の方法〕をサンドブラスト法と定義する。
[Third method] includes (Ia) laminating (A) a barrier rib material layer on a substrate, (A) providing a predetermined pattern mask on the barrier rib material layer, and sand blasting; And (A) a step of curing the barrier rib material and (Ic) a step of removing the pattern mask.
This [third method] is defined as a sandblast method.

【0016】〔第4の方法〕としては、(Ia)基板
上に(A)バリアリブ材料層を積層し、この(A)バリ
アリブ材料層上に所定の形状の凹凸を有する鋳型の凹凸
を転写する工程及び(Ib)(A)バリアリブ材料を
硬化する工程の各工程を行なうことにより得られる方法
である。この〔第4の方法〕を鋳型法と定義する。
[Fourth method] is as follows. (Ia) Laminate a (A) barrier rib material layer on a substrate, and transfer (A) a mold having irregularities of a predetermined shape onto the (A) barrier rib material layer. This is a method obtained by performing each step of the step and (Ib) (A) the step of curing the barrier rib material. This [fourth method] is defined as a template method.

【0017】〔第5の方法〕としては、(Ia)基板
上に(A)バリアリブ材料層を積層する工程、(Ib
)(A)バリアリブ材料層に活性光線を像的に照射す
る工程、(Ic)現像により活性光線を像的に照射し
た(A)バリアリブ材料層を選択的に除去してパターン
を形成する工程の各工程を行なうことにより得られる方
法である。この〔第5の方法〕をフォトリソグラフ法と
定義する。これらの〔第1の方法〕〜〔第5の方法〕の
詳細については後述する。
[Fifth method] includes (Ia) a step of laminating (A) a barrier rib material layer on a substrate;
(A) a step of imagewise irradiating the barrier rib material layer with actinic light; and (Ic) a step of forming a pattern by selectively removing the barrier rib material layer imagewise irradiated with actinic light by development. This is a method obtained by performing each step. This [fifth method] is defined as a photolithographic method. Details of these [first method] to [fifth method] will be described later.

【0018】本発明における(A)バリアリブ材料は、
無機材料及び(a)エチレン性不飽和基を有する高分子
結合剤を含有する有機材料を必須成分として含むもので
ある。 (A)バリアリブ材料における無機材料としては、無機
顔料及び無機結着材が挙げられる。無機顔料としては、
例えば、酸化チタン、アルミナ、マグネシア、酸化亜
鉛、酸化鉄、酸化クロム、酸化銅等の無機材料が挙げら
れ、これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用
される。無機結着材としては、例えば、公知の低融点ガ
ラス等のガラスフリット材料などが挙げられる。
The (A) barrier rib material in the present invention comprises:
It contains an inorganic material and (a) an organic material containing a polymer binder having an ethylenically unsaturated group as essential components. (A) Examples of the inorganic material in the barrier rib material include an inorganic pigment and an inorganic binder. As inorganic pigments,
For example, inorganic materials such as titanium oxide, alumina, magnesia, zinc oxide, iron oxide, chromium oxide, and copper oxide may be used, and these may be used alone or in combination of two or more. Examples of the inorganic binder include known glass frit materials such as low melting point glass.

【0019】(A)バリアリブ材料における有機材料に
含有する(a)エチレン性不飽和基を有する高分子結合
剤としては、例えば、カルボキシル基、水酸基、アミノ
基、イソシアネート基、オキシラン環、酸無水物等の官
能基を有するビニル共重合体に、少なくとも1個のエチ
レン性不飽和基と、オキシラン環、イソシアネート基、
水酸基、カルボキシル基等の1個の官能基を有する化合
物を付加反応させて得られる側鎖にエチレン性不飽和基
を有するラジカル重合性共重合体などが挙げられる。
Examples of (A) the polymer binder having an ethylenically unsaturated group contained in the organic material in the barrier rib material include a carboxyl group, a hydroxyl group, an amino group, an isocyanate group, an oxirane ring, and an acid anhydride. A vinyl copolymer having a functional group such as at least one ethylenically unsaturated group, an oxirane ring, an isocyanate group,
Radical polymerizable copolymers having an ethylenically unsaturated group in the side chain obtained by subjecting a compound having one functional group such as a hydroxyl group and a carboxyl group to an addition reaction are exemplified.

【0020】前記カルボキシル基、水酸基、アミノ基、
オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重
合体の製造に用いられる必須のビニル単量体としては、
例えば、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマ
ル酸、イタコン酸、ケイ皮酸、アクリル酸2−ヒドロキ
シエチル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリ
ルアミド、メタクリルアミド、イソシアン酸エチルメタ
クリレート、グリシジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレート、無水マレイン酸等のカルボキシル基、水酸
基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有
するビニル単量体等が挙げられる。これらは単独で又は
2種以上を組み合わせて使用される。
The carboxyl group, hydroxyl group, amino group,
Oxirane ring, as an essential vinyl monomer used for producing a vinyl copolymer having a functional group such as an acid anhydride,
For example, acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, cinnamic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, acrylamide, methacrylamide, ethyl isocyanate methacrylate, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate And vinyl monomers having a functional group such as a carboxyl group such as maleic anhydride, a hydroxyl group, an amino group, an oxirane ring, and an acid anhydride. These are used alone or in combination of two or more.

【0021】また、このビニル共重合体の製造に必要に
応じて用いられるその他のビニル単量体としては、例え
ば、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸n−プロピ
ル、メタクリル酸n−プロピル、アクリル酸iso−プロ
ピル、メタクリル酸iso−プロピル、アクリル酸n−ブ
チル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル酸iso−ブチ
ル、メタアクリル酸iso−ブチル、アクリル酸sec−ブチ
ル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert−ブチ
ル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸ペンチル、
メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メタクリ
ル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリル酸ヘプ
チル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸2
−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル酸
オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノニル、ア
クリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリル酸ドデ
シル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テトラデシ
ル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキサデシ
ル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オクタデシ
ル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイコシ
ル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシル、メ
タクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチル、メタ
クリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシル、
メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シクロヘプチ
ル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸ベンジ
ル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、メタ
クリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチル、メタク
リル酸メトキシエチル、アクリル酸メトキシジエチレン
グリコール、メタクリル酸メトキシジエチレングリコー
ル、アクリル酸メトキシジプロピレングリコール、メタ
クリル酸メトキシジプロピレングリコール、アクリル酸
メトキシトリエチレングリコール、メタクリル酸メトキ
シトリエチレングリコール、アクリル酸ジメチルアミノ
エチル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル
酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸ジエチルアミノ
エチル、アクリル酸ジメチルアミノプロピル、メタクリ
ル酸ジメチルアミノプロピル、アクリル酸2−クロロエ
チル、メタクリル酸2−クロロエチル、アクリル酸2−
フルオロエチル、メタクリル酸2−フルオロエチル、ア
クリル酸2−シアノエチル、メタクリル酸2−シアノエ
チル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエ
ン、塩化ビニル、酢酸ビニル、N−ビニルピロリドン、
フダジエン、イソプレン、クロロプレン、アクリロニト
リル、メタクリロニトリル等が挙げられる。これらは、
単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Other vinyl monomers used as needed in the production of the vinyl copolymer include, for example, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-acrylic acid. Propyl, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, iso-butyl acrylate, iso-butyl methacrylate, sec-butyl acrylate , Sec-butyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate,
Pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, methacrylic acid 2
-Ethylhexyl, octyl acrylate, octyl methacrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate Octadecyl acrylate, octadecyl methacrylate, eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate, docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate,
Cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, methoxyethyl acrylate, methoxyethyl methacrylate, methoxyethyl methacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate, Methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, diethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl methacrylate, Dimethylaminopropyl acrylate, dimethylamino methacrylate Propyl, 2-chloroethyl, 2-chloroethyl methacrylate acrylate, 2
Fluoroethyl, 2-fluoroethyl methacrylate, 2-cyanoethyl acrylate, 2-cyanoethyl methacrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, vinyl chloride, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone,
Examples include fusadienes, isoprene, chloroprene, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like. They are,
Used alone or in combination of two or more.

【0022】ビニル共重合体に付加反応させる少なくと
も1個のエチレン性不飽和基と、オキシラン環、イソシ
アネート基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、酸無
水物等の1個の官能基を有する化合物としては、例え
ば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレー
ト、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリルグ
リシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロトン酸
グリシジル、イソクロトン酸グリシジル、イソシアン酸
エチルメタクリレート、アクリル酸2−ヒドロキシエチ
ル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸、
メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、ケ
イ皮酸、アクリルアミド、メタクリルアミド、無水マレ
イン酸等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上
を組み合わせて使用される。
As a compound having at least one ethylenically unsaturated group to be subjected to an addition reaction to a vinyl copolymer and one functional group such as an oxirane ring, an isocyanate group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, and an acid anhydride. Are, for example, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, α-ethyl acryl glycidyl, crotonyl glycidyl ether, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonic acid, ethyl isocyanate methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxymethacrylate Ethyl, acrylic acid,
Examples include methacrylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, cinnamic acid, acrylamide, methacrylamide, and maleic anhydride. These are used alone or in combination of two or more.

【0023】以下に、(a)エチレン性不飽和基を有す
る高分子結合剤の一例を列挙するが、これらに限定され
るものではない。 (1)メタクリル酸を必須成分として重合して得られた
ビニル共重合体を不活性溶剤に溶解し、トリエチルアミ
ン、トリエチルジアミン、塩化ベンジルトリエチルアン
モニウム等の触媒及びハイドロキノン等の重合禁止剤を
添加して、グリシジルメタクリレートをビニル共重合体
のメタクリル酸由来のカルボキシル基に付加反応させて
得られる高分子結合剤。 (2)イソシアネートエチルメタクリレートを必須成分
として重合して得られたビニル共重合体を不活性溶剤に
溶解し、ジブチルチンジラウリレート、ジブチルチンオ
ニシド、トリエチルアミン、トリエチルジアミン、塩化
ベンジルトリエチルアンモニウム等の触媒及びハイドロ
キノン等の重合禁止剤を添加して、メタクリル酸2−ヒ
ドロキシエチルをビニル共重合体のイソシアネートエチ
ルメタクリレート由来のイソシアネート基に付加反応さ
せて得られる高分子結合剤。
Examples of (a) a polymer binder having an ethylenically unsaturated group are listed below, but the invention is not limited thereto. (1) A vinyl copolymer obtained by polymerizing methacrylic acid as an essential component is dissolved in an inert solvent, and a catalyst such as triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethylammonium chloride and a polymerization inhibitor such as hydroquinone are added. And a polymer binder obtained by subjecting glycidyl methacrylate to an addition reaction with a carboxyl group derived from methacrylic acid of a vinyl copolymer. (2) A vinyl copolymer obtained by polymerizing isocyanate ethyl methacrylate as an essential component is dissolved in an inert solvent, and a catalyst such as dibutyltin dilaurate, dibutyltin onside, triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethylammonium chloride, etc. And a polymer binder obtained by adding a polymerization inhibitor such as hydroquinone and the like, and adding 2-hydroxyethyl methacrylate to an isocyanate group derived from isocyanateethyl methacrylate of the vinyl copolymer.

【0024】(3)メタクリル酸2−ヒドロキシエチル
を必須成分として重合して得られたビニル重合体を不活
性溶剤に溶解し、ジブチルチンジラウリレート、ジブチ
ルチンオキシド、トリエチルアミン、トリエチルジアミ
ン、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム等の触媒及び
ハイドロキノン等の重合禁止剤を添加して、イソシアネ
ートエチルメタクリレートをビニル共重合体のメタクリ
ル酸2−ヒドロキシエチル由来の水酸基に付加反応させ
て得られる高分子結合剤。 (4)無水マレイン酸を必須成分として共重合して得ら
れたビニル共重合体を不活性溶剤に溶解し、トリエチル
アミン、トリエチルジアミン、塩化ベンジルトリエチル
アンモニウム等の触媒及びハイドロキノン等の重合禁止
剤を添加して、アクリル酸2−ヒドロキシエチルを酸無
水物に付加反応させて得られる高分子結合剤。
(3) A vinyl polymer obtained by polymerizing 2-hydroxyethyl methacrylate as an essential component is dissolved in an inert solvent, and dibutyltin dilaurate, dibutyltin oxide, triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethyl chloride are dissolved. A polymer binder obtained by adding a catalyst such as ammonium and a polymerization inhibitor such as hydroquinone to cause an addition reaction of isocyanateethyl methacrylate to a hydroxyl group derived from 2-hydroxyethyl methacrylate of a vinyl copolymer. (4) A vinyl copolymer obtained by copolymerizing maleic anhydride as an essential component is dissolved in an inert solvent, and a catalyst such as triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethylammonium chloride and a polymerization inhibitor such as hydroquinone are added. A polymer binder obtained by adding 2-hydroxyethyl acrylate to an acid anhydride.

【0025】(5)メタクリル酸2−ヒドロキシエチル
を必須成分として共重合して得られたビニル共重合体を
不活性溶剤に溶解し、トリエチルアミン、トリエチルジ
アミン、塩化ベンジルトリエチルアンモニウム等の触媒
及びハイドロキノン等の重合禁止剤を添加して、無水マ
レイン酸をビニル共重合体のメタクリル酸2−ヒドロキ
シエチル由来の水酸基に付加反応させて得られる高分子
結合剤。 (6)メタクリル酸を必須成分として共重合して得られ
たビニル共重合体を不活性溶剤に溶解し、トリエチルア
ミン、トリエチルジアミン、塩化ベンジルトリエチルア
ンモニウム等の触媒及びハイドロキノン等の重合禁止剤
を添加して、グリシジルメタクリレートをビニル共重合
体のメタクリル酸由来のカルボキシル基に付加反応させ
た後、生成した水酸基にさらに無水マレイン酸を付加反
応させて得られる高分子結合剤。これらの(a)エチレ
ン性不飽和基を有する高分子結合剤の中から、(1)の
高分子結合剤が焼成時の熱分解性が良好である点から好
ましい。
(5) A vinyl copolymer obtained by copolymerizing 2-hydroxyethyl methacrylate as an essential component is dissolved in an inert solvent, and a catalyst such as triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethylammonium chloride and hydroquinone are used. A polymer binder obtained by adding a polymerization inhibitor of the formula (1) to cause an addition reaction of maleic anhydride to a hydroxyl group derived from 2-hydroxyethyl methacrylate of a vinyl copolymer. (6) A vinyl copolymer obtained by copolymerizing methacrylic acid as an essential component is dissolved in an inert solvent, and a catalyst such as triethylamine, triethyldiamine, benzyltriethylammonium chloride and a polymerization inhibitor such as hydroquinone are added. A polymer binder obtained by subjecting a glycidyl methacrylate to an addition reaction with a carboxyl group derived from methacrylic acid of a vinyl copolymer, and further adding a maleic anhydride to a generated hydroxyl group. Among these (a) polymer binders having an ethylenically unsaturated group, the polymer binder of (1) is preferable because of its good thermal decomposability at the time of firing.

【0026】本発明における(a)エチレン性不飽和基
を有する高分子結合剤の重量平均分子量(ゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレ
ン換算した値)は、1,000〜300,000とする
ことが好ましく、5,000〜150,000とするこ
とがより好ましい。この重量平均分子量が、1,000
未満でも300,000を超えてもバリアリブ形成部の
形成性が低下する傾向がある。
The weight-average molecular weight (a value measured by gel permeation chromatography and converted into standard polystyrene) of (a) the polymer binder having an ethylenically unsaturated group in the present invention is 1,000 to 300,000. And more preferably 5,000 to 150,000. This weight average molecular weight is 1,000
If it is less than 300,000 or more, the formability of the barrier rib forming portion tends to decrease.

【0027】本発明における(a)エチレン性不飽和基
を有する高分子結合剤のエチレン性不飽和基濃度は、
3.0×10-4〜5.8×10-3モル/gとすることが
好ましく、6.0×10-4〜5.5×10-3モル/gと
することがより好ましく、9×10-4〜5.0×10-3
モル/gとすることが特に好ましい。このエチレン性不
飽和基濃度が3.0×10-4モル/g未満では、バリア
リブ形成部の強度が低下する傾向があり、5.8×10
-3モル/gを超えると、(a)エチレン性不飽和基を有
する高分子結合剤を製造する際にゲル化を起こす傾向が
ある。
In the present invention, the (a) ethylenically unsaturated group concentration of the polymer binder having an ethylenically unsaturated group is as follows:
Is preferably set to 3.0 × 10 -4 ~5.8 × 10 -3 mol / g, more preferably to 6.0 × 10 -4 ~5.5 × 10 -3 mol / g, 9 × 10 -4 to 5.0 × 10 -3
It is particularly preferred to be mol / g. If the ethylenically unsaturated group concentration is less than 3.0 × 10 −4 mol / g, the strength of the barrier rib forming portion tends to decrease, and 5.8 × 10 4
If it exceeds -3 mol / g, gelation tends to occur when producing (a) a polymer binder having an ethylenically unsaturated group.

【0028】本発明における(a)エチレン性不飽和基
を有する高分子結合剤のカルボキシル基含有率(酸価
(mgKOH/g)で規定できる)は、必要に応じて適宜調整
することができる。バリアリブ形成部を硬化する方法と
して〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法を用いる場
合において、レリーフパターンを除去する際にアルカリ
性水溶液を剥離液として用いる時は、酸価を0〜80と
することが好ましく、0〜50とすることがより好まし
く、0〜30とすることが特に好ましい。この場合にお
いての酸価が80を超えると、レリーフパターンを除去
する際のバリアリブ形成部の耐剥離液性が低下する傾向
がある。
The carboxyl group content (defined by the acid value (mgKOH / g)) of the polymer binder (a) having an ethylenically unsaturated group in the present invention can be appropriately adjusted as required. When using the photo embedding method as the [first method] as a method for curing the barrier rib forming portion, the acid value should be 0 to 80 when an alkaline aqueous solution is used as a stripping solution when removing the relief pattern. Is preferably, and more preferably 0 to 50, and particularly preferably 0 to 30. If the acid value in this case exceeds 80, the peeling liquid resistance of the barrier rib forming portion when the relief pattern is removed tends to decrease.

【0029】また、バリアリブ形成部を硬化する方法と
して〔第5の方法〕であるフォトリソグラフ法を用いる
場合においては、(A)バリアリブ材料に感光性を付与
したものを使用するため、公知の各種現像液により現像
可能となるように酸価を規定することができる。例え
ば、炭酸ナトリウム又は炭酸カリウム等のアルカリ水溶
液を用いて現像する場合には、酸価を、70〜260と
することが好ましい。この酸価が、70未満では、現像
が困難となる傾向があり、260を超えると、耐現像液
性(現像により除去されずに残りパターンとなる部分
が、現像液によって侵されない性質)が低下する傾向が
ある。また、水又はアルカリ水溶液と1種以上の有機溶
剤とからなる水系現像液を用いて現像する場合には、酸
価を、16〜260とすることが好ましい。この酸価
が、16未満では、現像が困難となる傾向があり、26
0を超えると、耐現像液性が低下する傾向がある。
In the case of using the photolithography method (fifth method) as a method for curing the barrier rib forming portion, (A) a material obtained by imparting photosensitivity to a barrier rib material is used. The acid value can be specified so that development is possible with a developer. For example, when developing with an aqueous alkali solution such as sodium carbonate or potassium carbonate, the acid value is preferably from 70 to 260. If the acid value is less than 70, development tends to be difficult, and if it exceeds 260, the developer resistance (the property that a portion that is not removed by development and remains as a pattern and is not attacked by the developer) decreases. Tend to. When developing using an aqueous developing solution comprising water or an alkaline aqueous solution and one or more organic solvents, the acid value is preferably from 16 to 260. If the acid value is less than 16, development tends to be difficult, and
If it exceeds 0, the developer resistance tends to decrease.

【0030】また、本発明における(a)成分には、エ
チレン性不飽和基を有さない公知の高分子結合剤
((a′)成分)を併用することができる。(a′)成
分の重量平均分子量、カルボキシル基含有率の好ましい
範囲は、前記した(a)成分と同様である。 (a′)成分を併用する場合においてその使用量は、
(a)成分及び(a′)成分の総量を100重量部とし
て、1〜60重量部とすることが好ましく、2〜50重
量部とすることがより好ましく、5〜40重量部とする
ことが特に好ましく、10〜30重量部とすることが極
めて好ましい。また、(a′)成分を併用する場合にお
いてエチレン性不飽和基濃度は、(a)成分と(a′)
成分の総和で、前記した(a)成分単独使用の場合に好
ましいとした範囲にすることが好ましい。
The component (a) in the present invention can be used in combination with a known polymer binder (component (a ')) having no ethylenically unsaturated group. The preferred ranges of the weight average molecular weight and the carboxyl group content of the component (a ') are the same as those of the component (a) described above. When the component (a ′) is used in combination, the amount used is
The total amount of the component (a) and the component (a ') is 100 parts by weight, preferably 1 to 60 parts by weight, more preferably 2 to 50 parts by weight, and more preferably 5 to 40 parts by weight. Particularly preferred is 10 to 30 parts by weight. When the component (a ′) is used in combination, the concentration of the ethylenically unsaturated group is determined by comparing the component (a) with the component (a ′).
It is preferable that the sum of the components is in a range that is preferable when the component (a) is used alone.

【0031】本発明における(A)バリアリブ材料に
は、バリアリブ形成部の強度の向上を目的に、(b)エ
チレン性不飽和基を有するラジカル重合性不飽和化合物
を用いることができる。 (b)エチレン性不飽和基を有するラジカル重合性不飽
和化合物としては、従来、ラジカル重合性モノマとして
知られているものを全て用いることができる。
As the (A) barrier rib material in the present invention, (b) a radical polymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group can be used for the purpose of improving the strength of the barrier rib forming portion. (B) As the radically polymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group, any of those conventionally known as radically polymerizable monomers can be used.

【0032】例えば、アクリル酸又はメタクリル酸のエ
ステル系モノマ(アクリル酸メチル、メタクリル酸メチ
ル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル
酸n−プロピル、メタクリル酸n−プロピル、アクリル
酸iso−プロピル、メタクリル酸iso−プロピル、アクリ
ル酸n−ブチル、メタクリル酸n−ブチル、アクリル酸
iso−ブチル、メタクリル酸iso−ブチル、アクリル酸se
c−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、アクリル酸tert
−ブチル、メタクリル酸tert−ブチル、アクリル酸ペン
チル、メタクリル酸ペンチル、アクリル酸ヘキシル、メ
タクリル酸ヘキシル、アクリル酸ヘプチル、メタクリル
酸ヘプチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリ
ル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタク
リル酸オクチル、アクリル酸ノニル、メタクリル酸ノニ
ル、アクリル酸デシル、メタクリル酸デシル、アクリル
酸ドデシル、メタクリル酸ドデシル、アクリル酸テトラ
デシル、メタクリル酸テトラデシル、アクリル酸ヘキサ
デシル、メタクリル酸ヘキサデシル、アクリル酸オクタ
デシル、メタクリル酸オクタデシル、アクリル酸エイコ
シル、メタクリル酸エイコシル、アクリル酸ドコシル、
メタクリル酸ドコシル、アクリル酸シクロペンチル、メ
タクリル酸シクロペンチル、アクリル酸シクロヘキシ
ル、メタクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸シクロヘ
プチル、メタクリル酸シクロヘプチル、アクリル酸ベン
ジル、メタクリル酸ベンジル、アクリル酸フェニル、メ
タクリル酸フェニル、アクリル酸メトキシエチル、メタ
クリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエ
チル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸
ジメチルアミノプロピル、メタクリル酸ジメチルアミノ
プロピル、アクリル酸2−クロロエチル、メタクリル酸
2−クロロエチル、アクリル酸2−フルオロエチル、メ
タクリル酸2−フルオロエチル、アクリル酸2−シアノ
エチル、メタクリル酸2−シアノエチル、アクリル酸メ
トキシジエチレングリコール、メタクリル酸メトキシジ
エチレングリコール、アクリル酸メトキシジプロピレン
グリコール、メタクリル酸メトキシジプロピレングリコ
ール、アクリル酸メトキシトリエチレングリコール、メ
タクリル酸メトキシトリエチレングリコール等)、スチ
レン系モノマ(スチレン、α−メチルスチレン、p−t
−ブチルスチレン等)、ポリオレフィン系モノマ(ブタ
ジエン、イソプレン、クロロプレン等)、ビニル系モノ
マ(塩化ビニル、酢酸ビニル等)、ニトリル系モノマ
(アクリロニトリル、メタクリロニトリル等)、1−
(メタクリロイロキシエトキシカルボニル)−2−
(3′−クロロ−2′−ヒドロキシプロポキシカルボニ
ル)ベンゼン、エチレングリコールジアクリレート、エ
チレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコ
ールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリ
エチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレン
グリコールジアクリレート、テトラエチレングリコール
ジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレ
ート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ヘキ
サプロピレングリコールジアクリレート、ヘキサプロピ
レングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリ
コールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジメ
タクリレート、ブチレングリコールジアクリレート、ブ
チレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリ
コールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタ
クリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、
1,3−ブタンジオールジメタクリレート、1,4−ブ
タンジオールジアクリレート、1,4−ブタンジオール
ジメタクリレート、1,5−ペンタンジオールジアクリ
レート、1,5−ペンタンジオールジメタクリレート、
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトー
ルジアクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレ
ート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメ
チロールプロパンジメタクリレート、ビスフェノールA
ジアクリレート、ビスフェノールAジメタクリレート、
2,2−ビス(4−アクリロキシエトキシフェニル)プ
ロパン、2,2−ビス(4−メタクリロキシエトキシフ
ェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロキシジ
エトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−メタ
クリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビ
ス(4−アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパ
ン、2,2−ビス(4−メタクリロキシポリエトキシフ
ェニル)プロパン、ビスフェノールAジグリシジルエー
テルジアクリレート、ビスフェノールAジグリシジルエ
ーテルジメタクリレート、ウレタンジアクリレート化合
物、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメ
タクリレート、エチレンオキシド変性トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、エチレンオキシド変性トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリメタ
クリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレ
ート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリ
レートなどが挙げられる。これらは単独で又は2種類以
上を組み合わせて使用される。
For example, ester monomers of acrylic acid or methacrylic acid (methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl acrylate, methacrylic Iso-propyl acid, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, acrylic acid
iso-butyl, iso-butyl methacrylate, se acrylate
c-butyl, sec-butyl methacrylate, tert-acrylate
-Butyl, tert-butyl methacrylate, pentyl acrylate, pentyl methacrylate, hexyl acrylate, hexyl methacrylate, heptyl acrylate, heptyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, octyl acrylate, methacryl Octyl acrylate, nonyl acrylate, nonyl methacrylate, decyl acrylate, decyl methacrylate, dodecyl acrylate, dodecyl methacrylate, tetradecyl acrylate, tetradecyl methacrylate, hexadecyl acrylate, hexadecyl methacrylate, octadecyl acrylate, octadecyl methacrylate , Eicosyl acrylate, eicosyl methacrylate, docosyl acrylate,
Docosyl methacrylate, cyclopentyl acrylate, cyclopentyl methacrylate, cyclohexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, cycloheptyl acrylate, cycloheptyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenyl acrylate, phenyl methacrylate, phenyl methacrylate , Methoxyethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, 2-chloroethyl acrylate, 2-chloroethyl methacrylate, 2-fluoroethyl acrylate, methacryl 2-fluoroethyl acrylate, 2-cyanoethyl acrylate, 2-cyanoethyl methacrylate, methoxydiethylene acrylate Coal, methoxydiethylene glycol methacrylate, methoxydipropylene glycol acrylate, methoxydipropylene glycol methacrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol methacrylate, etc., styrene monomers (styrene, α-methylstyrene, p- t
-Butylstyrene, etc.), polyolefin monomers (butadiene, isoprene, chloroprene, etc.), vinyl monomers (vinyl chloride, vinyl acetate, etc.), nitrile monomers (acrylonitrile, methacrylonitrile, etc.), 1-
(Methacryloyloxyethoxycarbonyl) -2-
(3'-chloro-2'-hydroxypropoxycarbonyl) benzene, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate , Tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, hexapropylene glycol diacrylate, hexapropylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol diacrylate, butylene glycol Dimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol diacrylate,
1,3-butanediol dimethacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 1,5-pentanediol diacrylate, 1,5-pentanediol dimethacrylate,
1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, bisphenol A
Diacrylate, bisphenol A dimethacrylate,
2,2-bis (4-acryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2- Bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-methacryloxypolyethoxyphenyl) propane, bisphenol A diglycidyl ether di Acrylate, bisphenol A diglycidyl ether dimethacrylate, urethane diacrylate compound, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, ethyl Oxide-modified trimethylolpropane triacrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate Pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0033】(b)エチレン性不飽和基を有するラジカ
ル重合性不飽和化合物を用いる場合においてのその配合
量は、(a)成分100重量部に対して、0〜100重
量部とすることが好ましく、0〜50重量部とすること
がより好ましい。この配合量が100重量部を超える
と、バリアリブ形成部の形成性が低下する傾向がある。
When the radically polymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group (b) is used, the amount thereof is preferably from 0 to 100 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (a). , 0 to 50 parts by weight. If the amount exceeds 100 parts by weight, the formability of the barrier rib forming portion tends to decrease.

【0034】本発明における(A)バリアリブ材料に
は、バリアリブ形成部の強度の向上を目的に(c)活性
光の照射により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を
用いることができる。なお、バリアリブ形成部を硬化す
る方法として〔第5の方法〕であるフォトリソグラフ法
を用いる場合においては、(A)バリアリブ材料に感光
性を付与する必要があるため(c)活性光の照射により
遊離ラジカルを生成する光重合開始剤は必須成分とな
る。
As the (A) barrier rib material in the present invention, (c) a photopolymerization initiator which generates free radicals upon irradiation with active light can be used for the purpose of improving the strength of the barrier rib forming portion. In the case of using the photolithography method as the [fifth method] as a method for curing the barrier rib forming portion, (A) it is necessary to impart photosensitivity to the barrier rib material, and (c) irradiation with active light is performed. The photopolymerization initiator that generates free radicals is an essential component.

【0035】(c)活性光の照射により遊離ラジカルを
生成する光重合開始剤としては、例えば、芳香族ケトン
(ベンゾフェノン、N,N′−テトラメチル−4,4′
−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,
N′−テトラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノ
ン、4−メシキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルホリノフェニル)−ブタノン−1、2,2−ジメトキ
シ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロ
キシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−メチル
−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォ
リノプロパノン−1、2,4−ジエチルチオキサント
ン、2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等)、ベンゾインエーテル(ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエ
ーテル等)、ベンゾイン(メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等)、ベンジル誘導体(ベンジルジメチルケタ
ール等)、2,4,5−トリアリールイミドゾール二量
体(2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニル
イミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−
4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量
体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−フェニル
イミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェ
ニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシフ
ェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体
等)、アクリジン誘導体(9−フェニルアクリジン、
1,7−ビス(9,9′−アクリジニル)ヘプタン等)
などが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組
み合わせて使用される。
(C) Examples of photopolymerization initiators that generate free radicals upon irradiation with actinic light include aromatic ketones (benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4 '
-Diaminobenzophenone (Michler's ketone), N,
N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-mesoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,2- Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropanone-1,2,4- Diethylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, etc.), benzoin ether (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.), benzoin (methyl benzoin, ethyl benzoin, etc.), benzyl derivative (benzyl dimethyl ketal, etc.), 2 , 4,5 Triaryl imide tetrazole dimer (2-(o-chlorophenyl) -4,5-diphenyl imidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl) -
4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-phenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, -(2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like, and acridine derivatives (9-phenylacridine,
1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane and the like
And the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0036】(c)活性光の照射により遊離ラジカルを
生成する光重合開始剤を用いる場合においてのその配合
量は、(a)成分の総量100重量部に対して、0.0
1〜30重量部とすることが好ましく、0.1〜20重
量部とすることがより好ましい。この配合量が、0.0
1重量部未満では、(A)バリアリブ材料の光硬化が不
充分となる傾向があり、30重量部を超えると、(A)
バリアリブ材料の露光表面での活性光の吸収が増大し
て、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
(C) When a photopolymerization initiator which generates free radicals upon irradiation with actinic light is used, the amount of the photoinitiator is 0.0 to 100 parts by weight of the total amount of the component (a).
The amount is preferably 1 to 30 parts by weight, more preferably 0.1 to 20 parts by weight. If the amount is 0.0
If the amount is less than 1 part by weight, the photocuring of the (A) barrier rib material tends to be insufficient, and if it exceeds 30 parts by weight, the (A)
The absorption of active light on the exposed surface of the barrier rib material tends to increase, and the internal light curing tends to be insufficient.

【0037】本発明における(A)バリアリブ材料に
は、後述する(Id)(A)バリアリブ材料硬化する工
程において、硬化を促進でき、バリアリブ形成部の強度
を向上できる点から、加熱により遊離ラジカルを生成す
る熱重合開始剤を用いることができる。
In the barrier rib material (A) of the present invention, in the step (Id) (A) of curing the barrier rib material to be described later, curing can be promoted and the strength of the barrier rib forming portion can be improved, so that free radicals are generated by heating. The resulting thermal polymerization initiator can be used.

【0038】加熱により遊離ラジカルを生成する熱重合
開始剤としては、例えば、過酸化アセチル、過酸化クミ
ル、過酸化tert−ブチル、過酸化プロピオニル、過酸化
ベンゾイル、過酸化2−クロロベンゾイル、過酸化3−
クロロベンゾイル、過酸化4−クロロベンゾイル、過酸
化2,4−ジクロロベンゾイル、過酸化4−ブロモメチ
ルベンゾイル、過酸化ラウロイル、過硫酸カリウム、ペ
ルオキシ炭酸ジイソプロピル、テトラリンヒドロペルオ
キシド、1−フェニル−2−メチルプロピル−1−ヒド
ロペルオキシド、過トリフェニル酢酸−tert−ブチル、
tert−ブチルヒドロペルオキシド、過ギ酸tert−ブチ
ル、過酢酸tert−ブチル、過安息香酸tert−ブチル、過
フェニル酢酸tert−ブチル、過4−メトキシ酢酸tert−
ブチル、過N−(3−トルイル)カルバミン酸tert−ブ
チル等の過酸化物、2,2′−アゾビスプロパン、2,
2′−ジクロロ−2,2′−アゾビスプロパン、1,
1′−アゾ(メチルエチル)ジアセテート、2,2′−
アゾビス(2−アミジノプロパン)塩酸塩、2,2′−
アゾビス(2−アミジノプロパン)硝酸塩、2,2′−
アゾビスイソブタン、2,2′−アゾビスイソブチルア
ミド、2,2′−アゾビスイソブチロニトリル、2,
2′−アゾビス−2−メチルプロピオン酸メチル、2,
2′−ジクロロ−2,2′−アゾビスブタン、2,2′
−アゾビス−2−メチルブチロニトリル、2,2′−ア
ゾビスイソ酪酸ジメチル、1,1′−アゾビス(1−メ
チルブチロニトリル−3−スルホン酸ナトリウム)、2
−(4−メチルフェニルアゾ)−2−メチルマロノジニ
トリル、4,4′−アゾビス−4−シアノ吉草酸、3,
5−ジヒドロキシメチルフェニルアゾ−2−メチルマロ
ノジニトリル、2−(4−ブロモフェニルアゾ)−2−
アリルマロノジニトリル、2,2′−アゾビス−2−メ
チルバレロニトリル、4,4′−アゾビス−4−シアノ
吉草酸ジメチル、2,2′−アゾビス−2,4−ジメチ
ルバレロニトリル、1,1′−アゾビスシクロヘキサン
ニトリル、2,2′−アゾビス−2−プロピルブチロニ
トリル、1,1′−アゾビス−1−クロロフェニルエタ
ン、1,1′−アゾビス−1−シクロヘキサンカルボニ
トリル、1,1′−アゾビス−1−シクロヘプタンニト
リル、1,1′−アゾビス−1−フェニルエタン、1,
1′−アゾビスクメン−4−ニトロフェニルアゾベンジ
ルシアノ酢酸エチル、フェニルアゾジフェニルメタン、
フェニルアゾトリフェニルメタン、4−ニトロフェニル
アゾトリフェニルメタン、1,1′−アゾビス−1,2
−ジフェニルエタン、ポリ(ビスフェノールA−4,
4′−アゾビス−4−シアノペンタノエート)、ポリ
(テトラエチレングリコール−2,2′−アゾビスイソ
ブチレート)等のアゾ化合物類、1,4−ビス(ペンタ
メチレン)−2−テトラゼン、1,4−ジメトキシカル
ボニル−1,4−ジフェニル−2−テトラゼン、ベンゼ
ンスルホニルアジドなどが挙げられる。これらは単独で
又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the thermal polymerization initiator that generates free radicals upon heating include acetyl peroxide, cumyl peroxide, tert-butyl peroxide, propionyl peroxide, benzoyl peroxide, 2-chlorobenzoyl peroxide, and 2-chlorobenzoyl peroxide. 3-
Chlorobenzoyl, 4-chlorobenzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, 4-bromomethylbenzoyl peroxide, lauroyl peroxide, potassium persulfate, diisopropyl peroxycarbonate, tetralin hydroperoxide, 1-phenyl-2-methyl Propyl-1-hydroperoxide, tert-butyl pertriphenylacetate,
tert-butyl hydroperoxide, tert-butyl formate, tert-butyl peracetate, tert-butyl perbenzoate, tert-butyl perphenylacetate, tert-butyl per-4-methoxyacetate
Peroxides such as butyl, tert-butyl per-N- (3-toluyl) carbamate, 2,2′-azobispropane,
2'-dichloro-2,2'-azobispropane, 1,
1'-azo (methylethyl) diacetate, 2,2'-
Azobis (2-amidinopropane) hydrochloride, 2,2'-
Azobis (2-amidinopropane) nitrate, 2,2'-
Azobisisobutane, 2,2'-azobisisobutyramide, 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,
Methyl 2'-azobis-2-methylpropionate, 2,
2'-dichloro-2,2'-azobisbutane, 2,2 '
-Azobis-2-methylbutyronitrile, dimethyl 2,2'-azobisisobutyrate, 1,1'-azobis (sodium 1-methylbutyronitrile-3-sulfonate),
-(4-methylphenylazo) -2-methylmalonodinitrile, 4,4'-azobis-4-cyanovaleric acid, 3,
5-dihydroxymethylphenylazo-2-methylmalonodinitrile, 2- (4-bromophenylazo) -2-
Allylmalonodinitrile, 2,2'-azobis-2-methylvaleronitrile, dimethyl 4,4'-azobis-4-cyanovalerate, 2,2'-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile, 1,1 '-Azobiscyclohexanenitrile, 2,2'-azobis-2-propylbutyronitrile, 1,1'-azobis-1-chlorophenylethane, 1,1'-azobis-1-cyclohexanecarbonitrile, 1,1' Azobis-1-cycloheptanenitrile, 1,1′-azobis-1-phenylethane, 1,
Ethyl 1'-azobiscumene-4-nitrophenylazobenzylcyanoacetate, phenylazodiphenylmethane,
Phenylazotriphenylmethane, 4-nitrophenylazotriphenylmethane, 1,1'-azobis-1,2
Diphenylethane, poly (bisphenol A-4,
Azo compounds such as 4'-azobis-4-cyanopentanoate), poly (tetraethylene glycol-2,2'-azobisisobutyrate), 1,4-bis (pentamethylene) -2-tetrazene, 1,4-dimethoxycarbonyl-1,4-diphenyl-2-tetrazen, benzenesulfonyl azide and the like can be mentioned. These are used alone or in combination of two or more.

【0039】加熱により遊離ラジカルを生成する熱重合
開始剤を使用する場合の配合量は、(a)成分100重
量部に対して、0〜20重量部とすることが好ましく、
0.1〜10重量部とすることがより好ましい。
When a thermal polymerization initiator which generates free radicals by heating is used, the amount is preferably 0 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the component (a).
More preferably, it is 0.1 to 10 parts by weight.

【0040】また、本発明における(A)バリアリブ材
料には、バリアリブ形成部の形成性等の点から、必要に
応じて、有機溶剤を用いることができる。有機溶剤とし
ては、例えば、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテ
ルアセテート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペン
タジオールモノイソブチレート、イソホロン、ブチルカ
ルビトール、3−メトキシブチルアセテート、ブチルカ
ルビトールアセテート、メチルナフタレン、テルピネオ
ール等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を
組み合わせて使用される。
As the barrier rib material (A) in the present invention, an organic solvent can be used, if necessary, in view of the formability of the barrier rib forming portion. Examples of the organic solvent include diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, 2,2,4-trimethyl-1,3-pentadiol monoisobutyrate, isophorone, butyl carbitol, 3-methoxybutyl acetate, and butyl. Carbitol acetate, methylnaphthalene, terpineol and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0041】有機溶剤を使用する場合において、その配
合量は、無機材料及び(a)エチレン性不飽和基を有す
る高分子結合剤を含有する有機材料の総量100重量部
に対して、0〜50重量部とすることが好ましく、0〜
30重量部とすることがより好ましい。この配合量が5
0重量部を超えると、バリアリブ形成部の形状を形成す
る際の形成性が劣る傾向がある。
When an organic solvent is used, the amount of the organic solvent is from 0 to 50 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the inorganic material and (a) the organic material containing the polymer binder having an ethylenically unsaturated group. It is preferable to use parts by weight,
More preferably, it is 30 parts by weight. This compounding amount is 5
When the amount exceeds 0 parts by weight, the formability when forming the shape of the barrier rib forming portion tends to be poor.

【0042】本発明における(A)バリアリブ材料にお
いて、(a)エチレン性不飽和基を有する高分子結合剤
を含有する有機材料の配合量は、無機材料100重量部
に対して、1〜100重量部とすることが好ましく、2
〜90重量部とすることがより好ましく、3〜70重量
部とすることがより好ましく、4〜60重量部とするこ
とがより好ましく、5〜50重量部とすることが特に好
ましく、5〜30重量部とすることが極めて好ましい。
この配合量が1重量部未満では、バリアリブ形成部の強
度が低下する傾向があり、100重量部を超えると、焼
成後のバリアリブの体積の収縮が大きくなる傾向があ
り、基板上に形成したバリアリブが剥離する傾向があ
る。なお、バリアリブ形成部の焼成前の体積と、これを
焼成した後の体積の差は、より小さいものであることが
好ましい。
In the barrier rib material (A) of the present invention, the amount of the organic material containing (a) the polymer binder having an ethylenically unsaturated group is 1 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic material. Part, preferably 2
It is more preferable to be 90 parts by weight, more preferably 3 to 70 parts by weight, more preferably 4 to 60 parts by weight, particularly preferably 5 to 50 parts by weight, and 5 to 30 parts by weight. It is extremely preferred to use parts by weight.
When the amount is less than 1 part by weight, the strength of the barrier rib forming portion tends to decrease, and when the amount exceeds 100 parts by weight, the volume of the barrier rib after firing tends to increase, and the barrier rib formed on the substrate tends to increase. Tend to peel off. It is preferable that the difference between the volume of the barrier rib forming portion before firing and the volume of the barrier rib forming portion after firing is smaller.

【0043】本発明における多色のパターンは、蛍光体
及び有機材料を含むもので形成される。多色のパターン
を形成する際に使用される蛍光体及び有機材料を含むも
のとしては、例えば、赤、緑及び青に発光する蛍光体
を、それぞれ一色ずつ含有する(B)蛍光体を含有する
感光性樹脂組成物等が挙げられる。
The multicolor pattern in the present invention is formed of a pattern containing a phosphor and an organic material. As a material containing a phosphor and an organic material used for forming a multicolor pattern, for example, a phosphor (B) containing one color each of phosphors emitting red, green and blue light is included. And a photosensitive resin composition.

【0044】多色のパターンを形成する際に使用される
(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物としては、蛍
光体を必須成分とする感光性樹脂組成物であれば特に制
限はなく、例えば、(d)フィルム性付与ポリマ、
(e)エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合
物、(f)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する
光開始剤及び(g)蛍光体を含むものが好ましく、この
ような(d)成分、(e)成分、(f)成分及び(g)
成分としては、例えば、特開平9−265906号公
報、特開平9−288973号公報、特開平10−92
312号公報、特開平10−92313号公報、特開平
10−228103号公報等に記載されているものが挙
げられる。また、これらの配合量及び別途添加剤等も前
記公報に準じて使用することができる。
The photosensitive resin composition containing the phosphor (B) used in forming a multicolor pattern is not particularly limited as long as the photosensitive resin composition contains the phosphor as an essential component. For example, (d) a film imparting polymer,
It is preferable to use (d) a photopolymerizable unsaturated compound having an ethylenically unsaturated group, (f) a photoinitiator that generates free radicals upon irradiation with active light, and (g) a phosphor. ) Component, (e) component, (f) component and (g)
As the components, for example, JP-A-9-265906, JP-A-9-288973, and JP-A-10-92
No. 312, JP-A-10-92313, JP-A-10-228103 and the like. Further, the blending amounts thereof and the additives can be used in accordance with the above-mentioned publication.

【0045】本発明のプラズマディスプレイパネル用背
面板の製造法としては、例えば、(I)基板上に所定の
位置及び形状で硬化後のバリアリブ形成部を形成する工
程、(II)硬化後のバリアリブ形成部上の所定の位置に
多色のパターンを形成する工程及び(III)焼成する工
程の各工程を行なう方法等が挙げられる。
The method of manufacturing the back plate for a plasma display panel according to the present invention includes, for example, (I) a step of forming a cured rib forming portion at a predetermined position and shape on a substrate, and (II) a cured rib. A method of performing each step of a step of forming a multicolor pattern at a predetermined position on a forming portion and a step of baking (III) is exemplified.

【0046】本発明における基板としては、電極が形成
され、表面が絶縁性を有し又は絶縁処理されたものであ
って、また、耐熱性を有し又は耐熱処理が施されたもの
であれば特に制限はなく、例えば、ガラス(ソーダガラ
ス、高歪点ガラス等)、アルミナ、ホーローなどが挙げ
られ、これらの基板は、接着のために表面処理が施され
ていてもよい。なお、これらの基板の厚さは、通常、
0.5〜10mmである。
The substrate according to the present invention may be any substrate on which electrodes are formed and whose surface is insulative or insulated, and which has heat resistance or is subjected to heat treatment. There is no particular limitation, for example, glass (soda glass, high strain point glass, etc.), alumina, enamel, and the like. These substrates may be subjected to a surface treatment for adhesion. The thickness of these substrates is usually
0.5 to 10 mm.

【0047】本発明における基板に形成された電極の材
料としては、例えば、Ag、Al、ITO(インディウ
ムチンオキサイド)、Cr−Cu−Cr等が挙げられ、
これらの材料を用いて電極を形成するには、例えば、ス
クリーン印刷法、スパッタリング、フォトリソグラフ法
等の方法を用いることができる。なお、ストライプ状に
形成された電極の幅としては、通常、50〜150μm
であり、その厚さは、通常、1〜20μmである。
Examples of the material of the electrode formed on the substrate in the present invention include Ag, Al, ITO (indium tin oxide), Cr—Cu—Cr, and the like.
In order to form an electrode using these materials, for example, a method such as a screen printing method, a sputtering method, or a photolithographic method can be used. The width of the electrode formed in a stripe shape is usually 50 to 150 μm.
And its thickness is usually 1 to 20 μm.

【0048】以下、図1を用いて本発明のプラズマディ
スプレイパネル用背面板の製造法について詳述する。図
1は本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の製
造法の各工程の一例を示した模式図であり、図1(I)
は、基板1上に硬化後のバリアリブ形成部2aを形成し
た状態を示し、図1(II)は、硬化後のバリアリブ形成
部2a上に多色のパターン(1色目のパターン3a、2
色目のパターン3b、3色目のパターン3c)を形成し
た状態を示し、図1(III)は、図1(II)の状態で焼
成を行ない、基板1上に、焼成後のバリアリブ2b、多
色の蛍光体パターン(1色目の蛍光体パターン4a、2
色目の蛍光体パターン4b、3色目の蛍光体パターン4
c)を形成した状態を示した。以下、各工程について説
明する。
Hereinafter, a method for manufacturing the back plate for a plasma display panel according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view showing an example of each step of the method for manufacturing a back plate for a plasma display panel according to the present invention, and FIG.
1 shows a state in which a cured barrier rib forming portion 2a is formed on the substrate 1, and FIG. 1 (II) shows a multi-color pattern (first color patterns 3a, 2a) on the cured barrier rib forming portion 2a.
FIG. 1 (III) shows a state in which baking is performed in the state of FIG. 1 (II), and a fired barrier rib 2b and a multi-color pattern 3b are formed on the substrate 1. Phosphor patterns (first color phosphor patterns 4a, 2a)
The phosphor pattern 4b of the third color and the phosphor pattern 4 of the third color
The state where c) was formed was shown. Hereinafter, each step will be described.

【0049】〔(I)基板上に所定の位置及び形状で硬
化後のバリアリブ形成部を形成する工程〕基板1上に硬
化後のバリアリブ形成部2aを形成した状態を図1
(I)に示した。(I)の工程を行なう方法としては、
例えば、前記した〔第1の方法〕〜〔第5の方法〕等が
挙げられる。以下、〔第1の方法〕〜〔第5の方法〕に
ついて、順次説明する。
[(I) Step of Forming Cured Barrier Rib Forming Portion at Predetermined Position and Shape on Substrate] FIG.
(I). As a method of performing the step (I),
For example, the above-mentioned [first method] to [fifth method] are exemplified. Hereinafter, the [first method] to [fifth method] will be sequentially described.

【0050】〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法
は、(Ia)基板上に所定の位置に設けられたレリー
フパターンとレリーフパターンの間隙に(A)バリアリ
ブ材料を埋め込む工程、(Ib)(A)バリアリブ材
料を硬化する工程及び(Ic)レリーフパターンを除
去する工程の各工程を行なうことにより得られる方法で
ある。
In the photo embedding method of the first method, (Ia) a step of embedding a barrier rib material in a gap between relief patterns provided at predetermined positions on a substrate, and (Ib) (Ib) This is a method obtained by performing each step of A) a step of curing a barrier rib material and (Ic) a step of removing a relief pattern.

【0051】〔(Ia)基板上に所定の位置に設けら
れたレリーフパターンとレリーフパターンの間隙に
(A)バリアリブ材料を埋め込む工程〕本工程における
レリーフパターンは、後に除去が可能なものであれば特
に制限なく種々の材料を使用することができるが、微細
な構造のレリーフパターンを容易に得られる点から、レ
リーフパターンは感光性樹脂組成物を使用するフォトリ
ソグラフ法で形成することが好ましい。
[(Ia) Step of Embedding (A) Barrier Rib Material in the Space Between Relief Patterns Provided at Predetermined Positions on Substrate] If the relief pattern in this step can be removed later, Although various materials can be used without any particular limitation, the relief pattern is preferably formed by a photolithographic method using a photosensitive resin composition, since a relief pattern having a fine structure can be easily obtained.

【0052】前記感光性樹脂組成物は、特に制限なく公
知のものを使用でき、例えば、ネガ型感光性樹脂組成
物、ポジ型感光性樹脂組成物等を挙げることができる。
ポジ型感光性樹脂組成物としては、特に制限なく公知の
ものを使用できるが、例えば、1,2−ナフトキノンジ
アジド系化合物、o−ニトロベンジル系化合物等を用い
た可溶性基光生成型の組成物、オニウム塩等を用いた光
酸発生・酸分解型の組成物などが挙げられる。ネガ型感
光性樹脂組成物としては、特に制限なく公知のものを使
用できるが、例えば(h)エチレン性不飽和化合物、
(i)カルボキシル基含有フィルム性付与ポリマ及び
(j)光重合開始剤を必須成分として含有し、他に必要
に応じて、(k)染料又は顔料、(l)その他添加物、
(m)有機溶剤を含んだ光重合型の組成物が挙げられ
る。
As the photosensitive resin composition, known ones can be used without particular limitation, and examples thereof include a negative photosensitive resin composition and a positive photosensitive resin composition.
As the positive photosensitive resin composition, known ones can be used without any particular limitation. For example, a soluble-base-light-generating composition using a 1,2-naphthoquinonediazide compound, an o-nitrobenzyl compound, or the like can be used. And an acid-decomposable / acid-decomposable composition using an onium salt or the like. As the negative photosensitive resin composition, known ones can be used without particular limitation. For example, (h) an ethylenically unsaturated compound,
(I) a carboxyl group-containing film-imparting polymer and (j) a photopolymerization initiator as essential components, and if necessary, (k) a dye or pigment, (l) other additives,
(M) A photopolymerizable composition containing an organic solvent is exemplified.

【0053】感光性樹脂組成物を使用するフォトリソグ
ラフ法において、基板上に感光性樹脂組成物からなる感
光性樹脂組成物層を設ける方法として、感光性樹脂組成
物を基板上に直接塗布し、必要に応じて乾燥する方法が
あるが、環境衛生の点、レリーフパターンの膜厚(高
さ)を大きくできる点等から、感光性フィルムを用い、
ラミネーターにより感光性フィルムの感光性樹脂組成物
層を基板上に転写することにより基板上に感光性樹脂組
成物層を設ける方法が好ましい。基板上に設ける感光性
樹脂組成物層の膜厚は、後に形成するバリアリブの高さ
が必要であり、通常、50〜250μmである。
In a photolithographic method using a photosensitive resin composition, as a method of providing a photosensitive resin composition layer composed of a photosensitive resin composition on a substrate, the photosensitive resin composition is directly applied to the substrate, There is a method of drying if necessary, but from the viewpoint of environmental hygiene and the point that the thickness (height) of the relief pattern can be increased, a photosensitive film is used.
A method in which a photosensitive resin composition layer of a photosensitive film is transferred onto a substrate by a laminator to provide the photosensitive resin composition layer on the substrate is preferable. The thickness of the photosensitive resin composition layer provided on the substrate requires the height of a barrier rib to be formed later, and is usually 50 to 250 μm.

【0054】基板上に設けた感光性樹脂組成物層は、後
に形成するバリアリブの幅に対応する所定のパターンの
ネガマスクを介して、活性光線を照射することにより像
状露光した後、現像により感光性樹脂組成物層を選択的
に除去してレリーフパターンを形成できる。活性光線と
してはカーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、
キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用い
られる。現像方法としては、特に制限されず、ウェット
現像、ドライ現像等が挙げられる。ウェット現像の場合
は、感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いる。現像
液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等
の弱アルカリ性の稀薄水溶液が挙げられ、現像方式は、
ディップ方式、スプレー方式等が挙げられる。
The photosensitive resin composition layer provided on the substrate is exposed imagewise by irradiating actinic rays through a negative mask having a predetermined pattern corresponding to the width of a barrier rib to be formed later, and then exposed by development. The relief pattern can be formed by selectively removing the conductive resin composition layer. Actinic rays include carbon arc lamps, ultra-high pressure mercury lamps, high pressure mercury lamps,
What effectively radiates ultraviolet rays, such as a xenon lamp, is used. The developing method is not particularly limited, and examples thereof include wet development and dry development. In the case of wet development, a developer corresponding to the photosensitive resin composition is used. Examples of the developing solution include a weakly alkaline diluted aqueous solution such as sodium carbonate and potassium carbonate.
Dip method, spray method and the like can be mentioned.

【0055】本発明においては、後にレリーフパターン
とレリーフパターンとの間隙に(A)バリアリブ材料を
埋め込むため、レリーフパターンは(A)バリアリブ材
料にほとんど侵されない性質を有することが好ましい。
これを達成するには、現像後の感光性樹脂組成物層のパ
ターンを必要に応じ水切り乾燥した後、露光及び/又は
加熱することが好ましい。通常、この露光は0.1〜5
J/cm2の活性光線を照射することにより行うことがで
き、加熱は80〜170℃で10〜180分間である。
これにより、基板上に設けられたレリーフパターンの全
部分を充分に硬化させることができ、レリーフパターン
に耐薬品性、耐溶剤性を付与することができる。このよ
うにして得られるレリーフパターンの厚さ(高さ)は、
通常、50〜250μmであり、ストライプ型又は長方
形型のレリーフパターンであれば、その幅は50〜25
0μmである。
In the present invention, since the barrier rib material (A) is buried in the gap between the relief patterns later, it is preferable that the relief pattern has the property of being hardly affected by the barrier rib material (A).
In order to achieve this, it is preferable that the pattern of the photosensitive resin composition layer after development is drained and dried if necessary, and then exposed and / or heated. Usually, this exposure is between 0.1 and 5
The irradiation can be carried out by irradiating an actinic ray of J / cm 2 , and heating is performed at 80 to 170 ° C. for 10 to 180 minutes.
This makes it possible to sufficiently cure the entire portion of the relief pattern provided on the substrate, and to impart chemical resistance and solvent resistance to the relief pattern. The thickness (height) of the relief pattern obtained in this way is
Usually, the width is 50 to 250 μm, and if it is a stripe type or rectangular type relief pattern, the width is 50 to 25 μm.
0 μm.

【0056】このようにして得られたレリーフパターン
とレリーフパターンの間隙に(A)バリアリブ材料を埋
め込む方法としては、公知の塗布方法を用いることがで
き、例えば、スクリーン印刷法、ナイフコート法、ロー
ルコート法、スプレーコート法、グラビアコート法、バ
ーコート法、カーテンコート法、ディスペンサー法、イ
ンクジェット法等が挙げられる。
As a method for embedding the barrier rib material (A) in the gap between the thus obtained relief patterns, a known coating method can be used, for example, a screen printing method, a knife coating method, a roll coating method, and the like. Examples include a coating method, a spray coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a curtain coating method, a dispenser method, and an ink jet method.

【0057】本工程においては、(A)バリアリブ材料
を埋め込んだ後に、減圧下で(A)バリアリブ材料を脱
泡することが好ましい。減圧下で(A)バリアリブ材料
を脱泡する方法としては、例えば、(A)バリアリブ材
料を埋め込んだ後、60分以内に0.5〜50トールで
10秒間〜10分間減圧脱気する方法が挙げられる。ま
た、この脱気後、必要に応じて60分以内に40〜18
0℃で3分〜3時間乾燥することが好ましい。
In this step, it is preferable to defoam the (A) barrier rib material under reduced pressure after embedding the (A) barrier rib material. As a method of defoaming the (A) barrier rib material under reduced pressure, for example, there is a method of embedding the (A) barrier rib material and then degassing under reduced pressure at 0.5 to 50 Torr for 10 seconds to 10 minutes within 60 minutes. No. After the deaeration, if necessary, within 40 to 40 to 18
It is preferable to dry at 0 ° C. for 3 minutes to 3 hours.

【0058】また、本工程における(A)バリアリブ材
料の乾燥工程は、後述する(Ib)(A)バリアリブ
材料を硬化する工程と同一の工程で行ってもよい。
The (A) step of drying the barrier rib material in this step may be performed in the same step as the step (Ib) of curing the (A) barrier rib material described later.

【0059】〔(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化
する工程〕本発明における硬化は、硬化後のバリアリブ
形成部2aの強度が、後述する(II)硬化後のバリアリ
ブ形成部上の所定の位置に多色のパターンを形成する工
程において、変形又は破壊されることなく、耐えられる
強度にするものである。本発明における硬化方法として
は、例えば、熱硬化、光硬化、電子線硬化、超音波硬
化、高周波硬化等が挙げられるが、作業性、材料の選択
容易性等の点から、熱硬化を使用することが好ましい。
また、これらの硬化方法を単独で又は2種類以上を併用
して行なうこともできる。
[(Ib) (A) Step of Curing the Barrier Rib Material] In the curing of the present invention, the strength of the barrier rib forming portion 2a after curing is determined by (II) a predetermined position on the cured barrier rib forming portion described later. In the step of forming a multicolor pattern, the strength is set to withstand without being deformed or destroyed. The curing method in the present invention includes, for example, heat curing, light curing, electron beam curing, ultrasonic curing, high frequency curing, and the like. From the viewpoint of workability, ease of material selection, etc., thermal curing is used. Is preferred.
Further, these curing methods can be performed alone or in combination of two or more.

【0060】熱硬化を行なう場合の加熱温度は、50〜
300℃とすることが好ましく、60〜250℃とする
ことがより好ましく、70〜220℃とすることが特に
好ましく、80〜200℃とすることが極めて好まし
い。この加熱温度が50℃未満では、硬化が不充分とな
る傾向があり、後述する(II)の工程において、硬化後
のバリアリブ形成部2aが変形又は破壊される傾向があ
る。また、300℃を超えると、硬化反応中に、(A)
バリアリブ材料中の有機材料が分解する傾向があり、基
板1の収縮が起こる傾向がある。
The heating temperature in the case of performing thermosetting is 50 to
The temperature is preferably 300 ° C., more preferably 60 to 250 ° C., particularly preferably 70 to 220 ° C., and particularly preferably 80 to 200 ° C. If the heating temperature is lower than 50 ° C., curing tends to be insufficient, and in the step (II) described later, the cured barrier rib forming portion 2a tends to be deformed or broken. If the temperature exceeds 300 ° C., (A)
The organic material in the barrier rib material tends to decompose, and the substrate 1 tends to shrink.

【0061】熱硬化を行なう場合の加熱時間は、5分間
〜8時間とすることが好ましく、1〜4時間とすること
がより好ましい。この加熱時間が5分間未満では、硬化
が不充分となる傾向があり、後述する(II)の工程にお
いて、硬化後のバリアリブ形成部2aが変形又は破壊さ
れる傾向がある。また、8時間を超えると、硬化反応中
に、(A)バリアリブ材料中の有機材料が分解する傾向
があり、基板1の収縮が起こる傾向がある。
The heating time when performing thermosetting is preferably from 5 minutes to 8 hours, more preferably from 1 to 4 hours. If the heating time is less than 5 minutes, the curing tends to be insufficient, and in the step (II) described later, the cured barrier rib forming portion 2a tends to be deformed or broken. If the time exceeds 8 hours, the organic material in the (A) barrier rib material tends to decompose during the curing reaction, and the substrate 1 tends to shrink.

【0062】また、本工程である硬化を行なった後、後
述する(Ic)レリーフパターンを除去する工程を容
易にする目的で、レリーフパターンの除去前に、レリー
フパターン上に付着した余分な硬化後の(A)バリアリ
ブ材料を除去することが好ましい。除去方法としては、
例えば、レリーフパターン上に付着した余分な硬化後の
(A)バリアリブ材料をサンドペーパを用いてウェット
研磨を行う方法が挙げられる。この時使用するサンドペ
ーパーは、#100〜#2000を使用することが好ま
しいが、リブ表面を粗さないこと及び研磨速度を上げる
ことを考慮し、#400〜#1000のサンドペーパー
を用いることがより好ましい。
In order to facilitate the step (Ic) of removing the relief pattern, which will be described later, after the curing of this step is performed, before the removal of the relief pattern, an excess amount of the hardened resin adhering to the relief pattern is removed. (A) It is preferable to remove the barrier rib material. As the removal method,
For example, there is a method in which the excessively hardened (A) barrier rib material adhered on the relief pattern is wet-polished using sandpaper. It is preferable to use sandpaper # 100 to # 2000 at this time, but it is preferable to use sandpaper # 400 to # 1000 in consideration of not roughening the rib surface and increasing the polishing rate. More preferred.

【0063】また、本工程である(Ib)(A)バリ
アリブ材料を硬化する工程は、後述する(Ic)レリ
ーフパターンを除去する工程を行なった後に行なうこと
もできる。
The step (Ib) of curing the (A) barrier rib material may be performed after the step (Ic) of removing the relief pattern described later.

【0064】〔(Ic)レリーフパターンを除去する
工程〕本工程において、レリーフパターンを除去する方
法としては、特に制限はないが、通常、剥離液を用いて
除去する方法が挙げられる。使用する剥離液としては、
例えば、水酸化ナトリウム又は水酸化カリウム又はモノ
エタノールアミンの1〜10重量%水溶液等が挙げられ
る。剥離液の濃度が1重量%未満では、剥離の効果が小
さいために剥離時間がかかりすぎる傾向があり、10重
量%を超えると、バリアリブ形成部を侵す傾向がある。
剥離液の温度については特に制限はなく、レリーフパタ
ーンの剥離を好適に行う条件を設定して随時適応するこ
とが望ましい。剥離方式としては、浸漬方式、スプレイ
方式のいずれも好適であり、浸漬方式及びスプレイ方式
を併用する方式も好ましい。
[(Ic) Step of Removing Relief Pattern] In this step, the method of removing the relief pattern is not particularly limited, but usually includes a method of removing with a stripper. The stripping solution used is
For example, a 1 to 10% by weight aqueous solution of sodium hydroxide, potassium hydroxide, or monoethanolamine may be used. If the concentration of the stripping liquid is less than 1% by weight, the stripping effect tends to be too long due to the small effect of stripping, and if it exceeds 10% by weight, the barrier rib forming portion tends to be attacked.
There is no particular limitation on the temperature of the stripping solution, and it is desirable to set conditions for suitably stripping the relief pattern and to adapt as needed. As the peeling method, any of the immersion method and the spray method is suitable, and a method using both the immersion method and the spray method is also preferable.

【0065】このようにしてレリーフパターンの除去を
行って得られる硬化後のバリアリブ形成部2aの厚さ
(高さ)は、通常、50〜250μmであり、ストライ
プ型又は格子型のバリアリブであれば、その幅は20〜
120μmであり、高さ/幅は、0.42〜12.5で
ある。
The thickness (height) of the cured barrier rib forming portion 2a obtained by removing the relief pattern in this manner is usually 50 to 250 μm, and if it is a stripe type or lattice type barrier rib. , Its width is 20 ~
120 μm and the height / width is 0.42 to 12.5.

【0066】〔第2の方法〕であるスクリーン印刷法
は、(Ia)基板上にスクリーン版を介して、所定の
位置に(A)バリアリブ材料を印刷する工程及び(Ib
)(A)バリアリブ材料を硬化する工程の各工程を行
なうことにより得られる方法である。
The screen printing method, which is the second method, comprises (Ia) a step of printing (A) a barrier rib material at a predetermined position on a substrate through a screen plate, and (Ib)
And (A) a method obtained by performing each step of the step of curing the barrier rib material.

【0067】〔(Ia)基板上にスクリーン版を介し
て、所定の位置に(A)バリアリブ材料を印刷する工
程〕本工程におけるスクリーン版は、所定の位置にバリ
アリブ形成部を形成できる構造になっていれば特に制限
はなく、公知のスクリーン版を使用することができる。
また、印刷方法にも特に制限はなく、公知の方法を用い
て(A)バリアリブ材料を印刷することができる。ま
た、このスクリーン印刷法においては、バリアリブ形成
部の高さを得るために、複数回、重ねて(A)バリアリ
ブ材料を印刷することができる。なお、バリアリブ形成
部の高さは、通常、50〜250μmである。
[(Ia) Step of Printing (A) Barrier Rib Material at Predetermined Position on Substrate via Screen Plate] The screen plate in this step has a structure capable of forming a barrier rib forming portion at a predetermined position. There is no particular limitation as long as it is provided, and a known screen plate can be used.
The printing method is not particularly limited, and the (A) barrier rib material can be printed using a known method. Further, in this screen printing method, in order to obtain the height of the barrier rib forming portion, the (A) barrier rib material can be printed a plurality of times. The height of the barrier rib forming portion is usually 50 to 250 μm.

【0068】〔(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化
する工程〕〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法にお
ける(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化する工程に
準じて行なうことができる。
[(Ib) (A) Step of Curing Barrier Rib Material] The first method can be carried out in accordance with the step of curing the (Ib) (A) barrier rib material in the photo embedding method.

【0069】このようにしてスクリーン印刷法により得
られる硬化後のバリアリブ形成部2aの厚さ(高さ)
は、フォト埋め込み法と同様に、通常、50〜250μ
mであり、ストライプ型又は格子型のバリアリブであれ
ば、その幅は20〜120μmであり、高さ/幅は、
0.42〜12.5である。
The thickness (height) of the cured barrier rib forming portion 2a obtained by the screen printing method as described above.
Is usually 50 to 250 μm as in the photo embedding method.
m, if it is a stripe type or lattice type barrier rib, the width is 20 to 120 μm, and the height / width is
0.42 to 12.5.

【0070】〔第3の方法〕であるサンドブラスト法
は、(Ia)基板上に(A)バリアリブ材料層を積層
し、この(A)バリアリブ材料層上に所定のパターンマ
スクを設け、サンドブラストする工程、(Ib)
(A)バリアリブ材料を硬化する工程及び(Ic)パ
ターンマスクを除去する工程の各工程を行なうことによ
り得られる方法である。
In the sand blast method as the third method, (Ia) a step of laminating a (A) barrier rib material layer on a substrate, providing a predetermined pattern mask on the (A) barrier rib material layer, and performing sand blasting , (Ib)
This is a method obtained by performing each step of (A) a step of curing a barrier rib material and (Ic) a step of removing a pattern mask.

【0071】〔(Ia)基板上に(A)バリアリブ材
料層を積層し、この(A)バリアリブ材料層上に所定の
パターンマスクを設け、サンドブラストする工程〕本工
程において、基板上に(A)バリアリブ材料層を積層す
る方法としては、公知の方法を使用することができ、例
えば、ナイフコート法、ロールコート法、スプレーコー
ト法、グラビアコート法、バーコート法、カーテンコー
ト法等が挙げられる。(A)バリアリブ材料層の膜厚
は、後に形成するバリアリブ形成部の高さが必要であ
り、その膜厚を得るために、複数回重ねて積層すること
もできる。このようにして得られる(A)バリアリブ材
料層の膜厚は、通常、50〜250μmである。
[(Ia) Step of laminating (A) barrier rib material layer on substrate, (A) providing predetermined pattern mask on barrier rib material layer, and sandblasting] In this step, (A) As a method of laminating the barrier rib material layer, a known method can be used, and examples thereof include a knife coating method, a roll coating method, a spray coating method, a gravure coating method, a bar coating method, a curtain coating method and the like. (A) The thickness of the barrier rib material layer needs to be the height of the barrier rib forming portion to be formed later. In order to obtain the thickness, the barrier rib material layer can be stacked a plurality of times. The thickness of the barrier rib material layer (A) thus obtained is usually 50 to 250 μm.

【0072】次いで、(A)バリアリブ材料層の上に耐
サンドブラスト性を有するパターンマスクを設ける。パ
ターンマスクを設ける方法としては、公知の方法を使用
することができ、例えば、〔第1の方法〕であるフォト
埋め込み法におけるレリーフパターン形成方法を採用す
ることができる。得られたパターンマスクの膜厚は、特
に制限はなく、通常、5〜70μmである。
Next, a pattern mask having sandblast resistance is provided on the barrier rib material layer (A). As a method for providing the pattern mask, a known method can be used, and for example, a relief pattern forming method in the photo embedding method which is the [first method] can be employed. The thickness of the obtained pattern mask is not particularly limited, and is usually 5 to 70 μm.

【0073】次いで、パターンマスクの上から、(A)
バリアリブ材料層上の不要部分(バリアリブ形成部以外
の部分)をサンドブラストする。サンドブラストする方
法としては、特に制限はなく、例えば、無機粉体、圧縮
空気等からなる噴射物を噴射する方法などが挙げられ
る。
Next, from the top of the pattern mask, (A)
Unnecessary portions (portions other than barrier rib forming portions) on the barrier rib material layer are sandblasted. The method of sandblasting is not particularly limited, and examples thereof include a method of injecting an ejected material composed of inorganic powder, compressed air, and the like.

【0074】〔(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化
する工程〕〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法にお
ける(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化する工程に
準じて行なうことができる。なお、本工程の硬化は、
(A)バリアリブ材料層を積層した後であれば、パター
ンマスクを設ける前でも、サンドブラストをする前で
も、後述する(Ic)パターンマスクを除去する工程
の前後のどこで行なってもよい。
[(Ib) (A) Step of Curing Barrier Rib Material] The first method can be performed according to the step of (Ib) (A) curing the barrier rib material in the photo embedding method. The curing in this step is
(A) Before laminating the barrier rib material layer, it may be performed before or after the step of removing the pattern mask (Ic), which will be described later, before providing the pattern mask or before sandblasting.

【0075】〔(Ic)パターンマスクを除去する工
程〕〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法における
(Ic)レリーフパターンを除去する工程に準じて行
なうことができる。
[(Ic) Step of Removing Pattern Mask] It can be performed in accordance with the (Ic) step of removing the relief pattern in the photo embedding method which is the [first method].

【0076】このようにしてサンドブラスト法により得
られる硬化後のバリアリブ形成部2aの厚さ(高さ)
は、フォト埋め込み法と同様に、通常、50〜250μ
mであり、ストライプ型又は格子型のバリアリブであれ
ば、その幅は20〜120μmであり、高さ/幅は、
0.42〜12.5である。
The thickness (height) of the cured barrier rib forming portion 2a obtained by the sandblasting method in this way
Is usually 50 to 250 μm as in the photo embedding method.
m, if it is a stripe type or lattice type barrier rib, the width is 20 to 120 μm, and the height / width is
0.42 to 12.5.

【0077】〔第4の方法〕である鋳型法は、(Ia
)基板上に(A)バリアリブ材料層を積層し、この
(A)バリアリブ材料層上に所定の形状の凹凸を有する
鋳型の凹凸を転写する工程あるいは(Ia′)所定の
形状の凹凸を有する鋳型の凹部に(A)バリアリブ材料
層を充填し、これを基板上に転写する工程及び(Ib
)(A)バリアリブ材料を硬化する工程の各工程を行
なうことにより得られる方法である。
The template method of the [fourth method] is (Ia
A) a step of laminating (A) a barrier rib material layer on a substrate and transferring (A) a mold having irregularities of a predetermined shape onto the barrier rib material layer or (Ia ') a mold having irregularities of a predetermined shape (A) a step of filling a barrier rib material layer into the concave portion and transferring it onto a substrate, and (Ib)
And (A) a method obtained by performing each step of the step of curing the barrier rib material.

【0078】〔(Ia)基板上に(A)バリアリブ材
料層を積層し、この(A)バリアリブ材料層上に所定の
形状の凹凸を有する鋳型の凹凸を転写する工程〕本工程
において、基板上に(A)バリアリブ材料層を積層する
方法は、〔第3の方法〕であるサンドブラスト法におけ
る(A)バリアリブ材料層を積層する方法に準じて行な
うことができる。次いで、凹部がバリアリブ形成部、凸
部が放電空間となるような凹凸を有する鋳型の凹凸を転
写する。
[(Ia) Step of laminating (A) a barrier rib material layer on a substrate and transferring (A) a mold having irregularities of a predetermined shape onto the barrier rib material layer] The method of laminating the (A) barrier rib material layer can be performed according to the method of (A) laminating the barrier rib material layer in the sand blast method of [third method]. Next, the concave and convex portions of the mold having the concave portions formed into the barrier rib forming portions and the convex portions formed into the discharge spaces are transferred.

【0079】〔(Ia′)所定の形状の凹凸を有する
鋳型の凹部に(A)バリアリブ材料層を充填し、これを
基板上に転写する工程〕本工程において、所定の形状の
凹凸を有する鋳型の凹部に(A)バリアリブ材料層を充
填する方法は、〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法
における(Ia)基板上に所定の位置に設けられたレ
リーフパターンとレリーフパターンの間隙に(A)バリ
アリブ材料を埋め込む工程に準じて行なうことができ
る。次いで、凹部に充填された(A)バリアリブ材料を
基板に密着させた後、鋳型のみを除去して所定の形状の
(A)バリアリブ材料を基板上に転写する。
[(Ia ') Step of filling (A) barrier rib material layer into concave portion of mold having irregularities of predetermined shape and transferring it to substrate] In this step, mold having irregularities of predetermined shape (A) The method of filling the barrier rib material layer into the recesses is as follows: (Ia) In the (Ia) photo embedding method, (Ia) a gap between a relief pattern provided at a predetermined position on a substrate and (A) ) It can be performed according to the step of embedding the barrier rib material. Next, after the (A) barrier rib material filled in the recess is brought into close contact with the substrate, only the mold is removed and the (A) barrier rib material having a predetermined shape is transferred onto the substrate.

【0080】このような凹凸を有する鋳型の材質は、
(A)バリアリブ材料層と接着しないものであれば特に
制限はなく、例えば、公知の金属、セラミック、プラス
チック等が挙げられる。
The material of the mold having such irregularities is as follows:
(A) There is no particular limitation as long as it does not adhere to the barrier rib material layer, and examples thereof include known metals, ceramics, and plastics.

【0081】〔(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化
する工程〕〔第1の方法〕であるフォト埋め込み法にお
ける(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化する工程に
準じて行なうことができる。
[(Ib) (A) Step of Curing Barrier Rib Material] The first method can be carried out in accordance with the (Ib) (A) step of curing the barrier rib material in the photo embedding method.

【0082】このようにして鋳型法により得られる硬化
後のバリアリブ形成部2aの厚さ(高さ)は、フォト埋
め込み法と同様に、通常、50〜250μmであり、ス
トライプ型又は格子型のバリアリブであれば、その幅は
20〜120μmであり、高さ/幅は、0.42〜1
2.5である。
The thickness (height) of the cured barrier rib forming portion 2a obtained by the mold method in this manner is usually 50 to 250 μm, similar to the photo embedding method, and is a stripe type or lattice type barrier rib. , The width is 20 to 120 μm and the height / width is 0.42 to 1
2.5.

【0083】〔第5の方法〕であるフォトリソグラフ法
は、(Ia)基板上に(A)バリアリブ材料層を積層
する工程、(Ib)(A)バリアリブ材料層に活性光
線を像的に照射する工程、(Ic)現像により活性光
線を像的に照射した(A)バリアリブ材料層を選択的に
除去してパターンを形成する工程の各工程を行なうこと
により得られる方法である。なお、このフォトリソグラ
フ法において使用する(A)バリアリブ材料は、前記し
たように(c)活性光の照射により遊離ラジカルを生成
する光重合開始剤が必須成分として含有されるものであ
る。
The photolithography method (fifth method) comprises (Ia) a step of laminating a (A) barrier rib material layer on a substrate, and (Ib) an imagewise irradiation of the (A) barrier rib material layer with actinic rays. And (Ic) a step of forming a pattern by selectively removing the barrier rib material layer imagewise irradiated with actinic rays by development (Ac). The (A) barrier rib material used in this photolithography method contains, as an essential component, (c) a photopolymerization initiator that generates free radicals upon irradiation with active light, as described above.

【0084】〔(Ia)基板上に(A)バリアリブ材
料層を積層する工程〕本工程において、(Ia)基板
上に(A)バリアリブ材料層を積層する方法は、〔第3
の方法〕であるサンドブラスト法における(A)バリア
リブ材料層を積層する方法に準じて行なうことができ
る。
[(Ia) Step of Laminating (A) Barrier Rib Material Layer on Substrate] In this step, the method of laminating (A) the barrier rib material layer on the (Ia) substrate is described in [Third Embodiment]
The method (A) of laminating barrier rib material layers in the sandblasting method.

【0085】〔(Ib)(A)バリアリブ材料層に活
性光線を像的に照射する工程〕次いで、(A)バリアリ
ブ材料層上にネガフィルム、ポジフィルム等のフォトマ
スクを介して、活性光線を像的に照射する。このときに
使用するフォトマスクは、バリアリブ形成部となる位置
に活性光線が照射される形状である必要がある。これに
より、(A)バリアリブ材料層のバリアリブ形成部に活
性光線が照射され、バリアリブ形成部は光硬化する。本
工程における活性光線としては、公知の活性光源が使用
でき、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセ
ノンアーク、その他から発生する光等が挙げられる。光
開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であ
るので、その場合の活性光源は、紫外線を有効に放射す
るものにすべきである。また、光開始剤が可視光線に感
受するもの、例えば、9、10−フェナンスレンキノン
等である場合には、活性光線としては、可視光が用いら
れ、その光源としては、前記のもの以外に写真用フラッ
ド電球、太陽ランプ等も使用することができる。
[(Ib) (A) Step of irradiating (A) barrier rib material layer imagewise with actinic light] Then, (A) actinic light is applied onto the barrier rib material layer via a photomask such as a negative film or a positive film. Irradiate imagewise. It is necessary that the photomask used at this time has a shape in which active light is irradiated to a position to be a barrier rib forming portion. Thereby, the active light is irradiated to the barrier rib forming portion of the (A) barrier rib material layer, and the barrier rib forming portion is light-cured. As the actinic ray in this step, a known actinic light source can be used, and examples thereof include light generated from a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, and the like. Since the sensitivity of the photoinitiator is usually maximal in the ultraviolet region, the active light source in that case should be one that effectively emits ultraviolet light. When the photoinitiator is sensitive to visible light, for example, 9,10-phenanthrenequinone or the like, visible light is used as the active light, and the light source is other than those described above. Photo flood light bulbs, solar lamps and the like can also be used.

【0086】また、本工程における活性光線としては、
平行光線、散乱光線等が挙げられ、平行光線及び散乱光
線のどちらを使用してもよく、また、両方を一工程にお
いて使用してもよく、両方を二段階で別々に使用しても
よい。なお、両方を二段階で別々に使用する場合には、
どちらを先に行ってもよい。また、本工程における活性
光線の照射量は、特に制限はないが、光硬化性等の点か
ら、5〜10000mJ/cm2とすることが好ましく、7〜
5000mJ/cm2とすることがより好ましく、10〜10
00mJ/cm2とすることが特に好ましい。
The actinic rays in this step include:
Examples include parallel rays and scattered rays. Either parallel rays or scattered rays may be used, or both may be used in one step, or both may be used separately in two stages. If both are used separately in two stages,
Either may be performed first. The irradiation amount of the actinic ray in this step is not particularly limited, but is preferably 5 to 10,000 mJ / cm 2 from the viewpoint of photocurability and the like, and is preferably 7 to 10 mJ / cm 2.
5000 mJ / cm 2 is more preferable, and 10 to 10
It is particularly preferred to be 00 mJ / cm 2 .

【0087】本工程では、バリアリブ形成部の硬化を光
硬化させるものであるが、前述した〔第1の方法〕〜
〔第4の方法〕における硬化する方法に準じた方法を、
例えば後述する(Ic)の工程の後に併用することも
できる。
In this step, the curing of the barrier rib forming portion is performed by photo-curing.
The method according to the method of curing in [Fourth method]
For example, they can be used together after the step (Ic) described later.

【0088】〔(Ic)現像により活性光線を像的に
照射した(A)バリアリブ材料層を選択的に除去してパ
ターンを形成する工程〕本工程において、現像により活
性光線を像的に照射した(A)バリアリブ材料層を選択
的に除去してパターンを形成する方法としては、例え
ば、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の
現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、
スクラッピング等の公知方法により現像を行い、不要部
を除去する方法等が挙げられる。
[(Ic) Step of Forming a Pattern by Selectively Removing the Barrier Rib Material Layer Irradiated with Active Rays by Image Development by Development] In this step, the active rays were imagewise irradiated by development. (A) As a method of forming a pattern by selectively removing a barrier rib material layer, for example, spraying, rocking immersion, brushing, and the like are performed using a known developing solution such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, or an organic solvent.
A method in which development is performed by a known method such as scraping to remove unnecessary portions, and the like can be given.

【0089】このようにしてフォトリソグラフ法により
得られる硬化後のバリアリブ形成部2aの厚さ(高さ)
は、フォト埋め込み法と同様に、通常、50〜250μ
mであり、ストライプ型又は格子型のバリアリブであれ
ば、その幅は20〜120μmであり、高さ/幅は、
0.42〜12.5である。
The thickness (height) of the cured barrier rib forming portion 2a obtained by the photolithographic method in this manner
Is usually 50 to 250 μm as in the photo embedding method.
m, if it is a stripe type or lattice type barrier rib, the width is 20 to 120 μm, and the height / width is
0.42 to 12.5.

【0090】以上に挙げた方法等により、(I)基板上
に所定の位置及び形状で硬化後のバリアリブ形成部を形
成する工程を行なうことができる。
By the above-mentioned methods and the like, (I) the step of forming the cured rib portion at the predetermined position and shape on the substrate can be performed.

【0091】〔(II)硬化後のバリアリブ形成部上の所
定の位置に多色のパターンを形成する工程〕本発明にお
ける所定の位置に多色のパターンを形成した状態として
は、例えば、硬化後のバリアリブ形成部と基板によって
形成される凹部内表面に、周期的に多色のパターンを形
成した状態等が挙げられる。硬化後のバリアリブ形成部
2a上に周期的に多色のパターンを形成した状態を図1
(II)に示した。なお、図1(II)において、3aは1
色目のパターンであり、3bは2色目のパターンであ
り、3cは3色目のパターンである。
[(II) Step of Forming Multicolor Pattern at Predetermined Position on Barrier Rib Formed Part after Curing] The state of forming a multicolor pattern at a predetermined position in the present invention is, for example, the state after curing. And a state in which a multicolor pattern is periodically formed on the inner surface of the concave portion formed by the barrier rib forming portion and the substrate. FIG. 1 shows a state in which a multicolor pattern is periodically formed on the barrier rib forming portion 2a after curing.
(II). In FIG. 1 (II), 3a is 1
3b is a second color pattern, and 3c is a third color pattern.

【0092】硬化後のバリアリブ形成部上の所定の位置
に多色のパターンを形成する方法としては、例えば、
赤、緑及び青に発光する蛍光体を、それぞれ一色ずつ含
有する各々の感光性樹脂組成物(ネガ型)を用いて、前
記した(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層
を、硬化後のバリアリブ形成部と基板によって形成され
る凹部内表面に追従するように積層し、活性光線を像的
に照射し、現像により不要部分を除去することを、各色
毎に繰り返すことにより、赤、緑及び青に発光する蛍光
体及び有機材料を含む多色のパターンを形成する方法等
が挙げられる。また、感光性樹脂組成物(ネガ型)に代
えて、感光性樹脂組成物(ポジ型)を用いても、同様に
行なうことができる。
As a method of forming a multicolor pattern at a predetermined position on the barrier rib forming portion after curing, for example,
Using each of the photosensitive resin compositions (negative type) containing a phosphor emitting red, green and blue one color at a time, a layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) is formed. By laminating the barrier rib forming portion after curing and the inner surface of the concave portion formed by the substrate, irradiating the active light imagewise and removing unnecessary portions by development, by repeating for each color, A method of forming a multicolor pattern including a phosphor emitting red, green, and blue and an organic material may be used. Further, the same procedure can be performed by using a photosensitive resin composition (positive type) instead of the photosensitive resin composition (negative type).

【0093】(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物
の層を、硬化後のバリアリブ形成部と基板によって形成
される凹部内表面に追従するように積層する方法として
は、例えば、硬化後のバリアリブ形成部2aが形成され
た基板1上に、直接塗布し、乾燥して積層する方法、
(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物を、公知の方
法にて感光性エレメントとして積層する方法等が挙げら
れる。
(B) The method of laminating the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor so as to follow the barrier rib forming portion after curing and the inner surface of the concave portion formed by the substrate includes, for example, A method of directly applying, drying and laminating on the substrate 1 on which the barrier rib forming portion 2a is formed,
(B) A method of laminating a photosensitive resin composition containing a phosphor as a photosensitive element by a known method is exemplified.

【0094】硬化後のバリアリブ形成部2aが形成され
た基板1上の凹部内表面に(B)蛍光体を含有する感光
性樹脂組成物の層を、均一に追従させて積層した後、パ
ターンを形成させる凹部の開口幅と同程度の透過幅を有
するフォトマスクを介して、活性光線を像的に照射した
後、公知の現像液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラ
ッシング、スクラッピング等の公知方法により現像を行
い、不要部を除去する。
After the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) is uniformly laminated on the inner surface of the concave portion on the substrate 1 on which the barrier rib forming portion 2a after curing is formed, the pattern is formed. After irradiating the actinic ray imagewise through a photomask having the same transmission width as the opening width of the concave portion to be formed, using a known developing solution, spraying, rocking immersion, brushing, scraping, etc. Development is performed by a known method, and unnecessary portions are removed.

【0095】上記した積層から現像までの各工程を1色
毎に繰り返して、赤色、緑色及び青色に発色する(B)
蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層からなる多色の
パターンを形成することができる。なお、多色のパター
ンを形成する際の、赤色、青色及び緑色に発色するそれ
ぞれの蛍光体を単独で含む(B)蛍光体を含有する感光
性樹脂組成物の層は、赤色、青色及び緑色の各色につい
ては、どの様な順番でも行うことができる。
The above-described steps from lamination to development are repeated for each color to produce red, green and blue (B).
A multicolor pattern composed of a layer of a photosensitive resin composition containing a phosphor can be formed. In addition, when forming a multicolor pattern, the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B), which contains each phosphor that emits red, blue, and green independently, is red, blue, and green. Can be performed in any order.

【0096】〔(III)焼成する工程〕図1(II)の状
態で焼成を行ない、基板1上に、焼成後のバリアリブ2
b、多色の蛍光体パターンを形成した状態を図1(II
I)に示した。なお、図1(III)において、4aは1色
目の蛍光体パターンであり、4bは2色目の蛍光体パタ
ーンであり、4cは3色目の蛍光体パターンである。
[(III) Firing Step] Firing is performed in the state shown in FIG. 1 (II), and the fired barrier ribs 2 are placed on the substrate 1.
b, a state in which a multicolor phosphor pattern is formed is shown in FIG.
I). In FIG. 1 (III), 4a is a first color phosphor pattern, 4b is a second color phosphor pattern, and 4c is a third color phosphor pattern.

【0097】焼成方法としては、特に制限はなく、公知
の焼成方法を使用することができ、この焼成工程におい
て、硬化後のバリアリブ形成部2a内の有機材料並びに
蛍光体及び有機材料を含む多色のパターン内の蛍光体及
び結着剤以外の有機成分を一括焼成にて除去し、基板1
上に、焼成後のバリアリブ2b及び多色の蛍光体パター
ンを形成することができる。
The firing method is not particularly limited, and a known firing method can be used. In this firing step, the organic material in the barrier rib forming portion 2a after curing and the multicolor containing the phosphor and the organic material are used. The organic components other than the phosphor and the binder in the pattern (1) are removed by batch firing, and the substrate 1
A fired barrier rib 2b and a multicolor phosphor pattern can be formed thereon.

【0098】焼成時の焼成温度は、350〜800℃と
することが好ましく、400〜600℃とすることがよ
り好ましい。この焼成温度が350℃未満では、硬化後
のバリアリブ形成部2a内の有機材料並びに蛍光体及び
有機材料を含む多色のパターン内の蛍光体及び結着剤以
外の有機成分が除去されない傾向があり、800℃を超
えると、多色パターン内の(g)蛍光体が劣化する傾向
があり、また、基板1が変形する傾向がある。
The firing temperature during firing is preferably from 350 to 800 ° C., more preferably from 400 to 600 ° C. If the firing temperature is lower than 350 ° C., the organic material in the barrier rib forming portion 2a after curing and the organic components other than the phosphor and the binder in the multicolor pattern including the phosphor and the organic material tend not to be removed. , 800 ° C., the phosphor (g) in the multicolor pattern tends to deteriorate, and the substrate 1 tends to deform.

【0099】焼成時の焼成時間は、15分〜28時間と
することが好ましく、1〜15時間とすることがより好
ましく、3〜10時間とすることが特に好ましい。この
焼成時間が15分間未満では、硬化後のバリアリブ形成
部2a内の有機材料並びに蛍光体及び有機材料を含む多
色のパターン内の蛍光体及び結着剤以外の有機成分が除
去されない傾向があり、28時間を超えると、多色パタ
ーン内の蛍光体が劣化する傾向があり、また、基板1が
変形する傾向がある。
The firing time during firing is preferably 15 minutes to 28 hours, more preferably 1 to 15 hours, and particularly preferably 3 to 10 hours. If the baking time is shorter than 15 minutes, the organic material in the barrier rib forming portion 2a after curing and the organic components other than the phosphor and the binder in the multicolor pattern including the phosphor and the organic material tend not to be removed. , 28 hours, the phosphors in the multicolor pattern tend to deteriorate, and the substrate 1 tends to deform.

【0100】焼成時の昇温速度は、0.5〜50℃/分
とすることが好ましく、1〜45℃/分とすることがよ
り好ましい。また、最高温度での焼成時間は、3〜12
0分間とすることが好ましく、5〜90分間とすること
がより好ましい。また、最高焼成温度に到達する前の3
00〜450℃の間に、その温度を保持するステップを
設けることが好ましく、その保持時間は、5〜100分
間とすることが好ましい。
The rate of temperature rise during firing is preferably 0.5 to 50 ° C./min, more preferably 1 to 45 ° C./min. The firing time at the highest temperature is 3-12.
The time is preferably 0 minutes, more preferably 5 to 90 minutes. Also, before reaching the maximum firing temperature, 3
It is preferable to provide a step of maintaining the temperature between 00 and 450 ° C., and the holding time is preferably 5 to 100 minutes.

【0101】また、本工程においては、必要に応じて、
空気又は窒素ガスを吹き付けながら焼成を行なうことが
できる。空気又は窒素ガスを吹き付けながら焼成を行な
う場合の空気又は窒素ガスの流量は、0〜300リット
ル/分とすることが好ましく、0〜200リットル/分
とすることが好よりましい。また、空気又は窒素ガスの
流量及び種類は、焼成時の温度に合わせて、適宜、選択
することができる。
In this step, if necessary,
The firing can be performed while blowing air or nitrogen gas. When calcination is performed while blowing air or nitrogen gas, the flow rate of air or nitrogen gas is preferably 0 to 300 liter / minute, and more preferably 0 to 200 liter / minute. Further, the flow rate and type of air or nitrogen gas can be appropriately selected according to the temperature at the time of firing.

【0102】[0102]

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 製造例1 〔(a)エチレン性不飽和基を有する高分子結合剤(a
−1)の作製〕撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口
及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕
込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を
80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間
かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃
で6時間撹拌を続けた後、表1に示す(3)を添加し
た。(3)を添加後、反応系を100℃に昇温し、0.
5時間かけて表1に示す(4)を滴下した。(4)の滴
下後、100℃で20時間撹拌を続けた後、室温に冷却
して、重量平均分子量が60,000、酸価が0.5KO
Hmg/gの側鎖にエチレン性不飽和基を有する光重合性高
分子結合剤(a−1)を得た。
The present invention will be described below with reference to examples. Production Example 1 [(a) Polymer binder having an ethylenically unsaturated group (a
Preparation of -1)] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet, and a thermometer was charged with (1) shown in Table 1, and heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere to carry out a reaction. While maintaining the temperature at 80 ° C. ± 2 ° C., (2) shown in Table 1 was dropped uniformly over 4 hours. After dropping (2), 80 ℃ ± 2 ℃
After stirring for 6 hours, (3) shown in Table 1 was added. After adding (3), the reaction system was heated to 100 ° C.
(4) shown in Table 1 was added dropwise over 5 hours. After the dropwise addition of (4), stirring was continued at 100 ° C. for 20 hours, and the mixture was cooled to room temperature, and had a weight average molecular weight of 60,000 and an acid value of 0.5 KO.
A photopolymerizable polymer binder (a-1) having an ethylenically unsaturated group in a side chain of Hmg / g was obtained.

【0103】[0103]

【表1】 [Table 1]

【0104】製造例2 〔熱可塑性ポリマ(a−2)の作製〕撹拌機、還流冷却
機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、
表2に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃
に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表2
に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の
滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分
子量が80,000、酸価が0mgKOH/gの熱可塑性ポリ
マ(a−2)を得た。
Production Example 2 [Preparation of Thermoplastic Polymer (a-2)] In a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer,
(1) shown in Table 2 was charged, and 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere.
Temperature and keeping the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C.
(2) shown in the above was dropped uniformly over 4 hours. After the dropwise addition of (2), stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a thermoplastic polymer (a-2) having a weight average molecular weight of 80,000 and an acid value of 0 mgKOH / g.

【0105】[0105]

【表2】 [Table 2]

【0106】製造例3 〔(A)バリアリブ材料(A−1)の作製〕表3に示す
無機材料及び有機材料を、室温で混合し、(A)バリア
リブ材料(A−1)を得た。
Production Example 3 [(A) Preparation of Barrier Rib Material (A-1)] The inorganic materials and organic materials shown in Table 3 were mixed at room temperature to obtain (A) a barrier rib material (A-1).

【0107】[0107]

【表3】 [Table 3]

【0108】製造例4 〔(A)バリアリブ材料(A−2)の作製〕表4に示す
無機材料及び有機材料を、室温で混合し、(A)バリア
リブ材料(A−2)を得た。
Production Example 4 [(A) Preparation of Barrier Rib Material (A-2)] The inorganic materials and organic materials shown in Table 4 were mixed at room temperature to obtain (A) a barrier rib material (A-2).

【0109】[0109]

【表4】 [Table 4]

【0110】製造例5 〔(A)バリアリブ材料(A−3)の作製〕表5に示す
無機材料及び有機材料を、室温で混合し、(A)バリア
リブ材料(A−3)を得た。
Production Example 5 [(A) Preparation of Barrier Rib Material (A-3)] The inorganic material and the organic material shown in Table 5 were mixed at room temperature to obtain (A) a barrier rib material (A-3).

【0111】[0111]

【表5】 [Table 5]

【0112】製造例6 〔(A)バリアリブ材料(A−4)の作製の作製〕表6
に示す無機材料及び有機材料を、室温で混合し、(A)
バリアリブ材料(A−4)を得た。
Production Example 6 [(A) Production of Barrier Rib Material (A-4)] Table 6
(A) mixing an inorganic material and an organic material shown in
A barrier rib material (A-4) was obtained.

【0113】[0113]

【表6】 [Table 6]

【0114】製造例7 〔(d)フィルム性付与ポリマ(d−1)の作製〕撹拌
機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えた
フラスコに、表7に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲
気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ち
ながら、表7に示す(2)を4時間かけて均一に滴下し
た。滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平
均分子量が80,000、酸価が130mgKOH/gの
(d)フィルム性付与ポリマ(d−1)を得た。
Production Example 7 [(d) Production of film-imparting polymer (d-1)] A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer is shown in Table 7 (1) Was heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere, and (2) shown in Table 7 was uniformly dropped over 4 hours while maintaining the reaction temperature at 80 ° C. ± 2 ° C. After the dropwise addition, stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a polymer (d-1) having a weight average molecular weight of 80,000 and an acid value of 130 mgKOH / g (d).

【0115】[0115]

【表7】 [Table 7]

【0116】製造例8 〔(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント(B−1)の作製〕表8に示す材料
を、ライカイ機を用いて15分間混合し、赤色の(B)
蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
Production Example 8 [(B) Production of photosensitive element (B-1) having layer of photosensitive resin composition containing phosphor] The materials shown in Table 8 were mixed for 15 minutes using a Raikai machine. And red (B)
A solution of a photosensitive resin composition containing a phosphor was prepared.

【0117】[0117]

【表8】 [Table 8]

【0118】得られた溶液を、20μmの厚さのポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、80
〜110℃の熱風対流式乾燥機で10分間乾燥して溶剤
を除去し、赤色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組
成物の層を形成した。得られた赤色の(B)蛍光体を含
有する感光性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは、50μ
mであった。次いで、この赤色の(B)蛍光体を含有す
る感光性樹脂組成物の層の上に、厚さが25μmのポリ
エチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ、
赤色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を
有する感光性エレメント(B−1)を得た。
The obtained solution was uniformly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm.
The solvent was removed by drying with a hot air convection dryer at 〜110 ° C. for 10 minutes to form a layer of the photosensitive resin composition containing the red (B) phosphor. The thickness of the obtained layer of the photosensitive resin composition containing the red (B) phosphor is 50 μm after drying.
m. Next, a polyethylene film having a thickness of 25 μm is laminated as a cover film on the layer of the photosensitive resin composition containing the red (B) phosphor,
A photosensitive element (B-1) having a layer of a photosensitive resin composition containing a red (B) phosphor was obtained.

【0119】製造例9 〔(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント(B−2)の作製〕表9に示す材料
を、ライカイ機を用いて15分間混合し、緑色の(B)
蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
Production Example 9 [(B) Production of photosensitive element (B-2) having layer of photosensitive resin composition containing phosphor] Materials shown in Table 9 were mixed for 15 minutes using a Raikai machine. And green (B)
A solution of a photosensitive resin composition containing a phosphor was prepared.

【0120】[0120]

【表9】 [Table 9]

【0121】以下、製造例8と同様にして、緑色の
(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を形成
し、緑色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の
層を有する感光性エレメント(B−2)を得た。得られ
た緑色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層
の乾燥後の厚さは、50μmであった。
Thereafter, in the same manner as in Production Example 8, a layer of the photosensitive resin composition containing the green (B) phosphor was formed, and the layer of the photosensitive resin composition containing the green (B) phosphor was formed. A photosensitive element (B-2) having a layer was obtained. The thickness of the obtained layer of the photosensitive resin composition containing the green phosphor (B) after drying was 50 μm.

【0122】製造例10 〔(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有す
る感光性エレメント(B−3)の作製〕表10に示す材
料を、ライカイ機を用いて15分間混合し、青色の
(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の溶液を調製
した。
Production Example 10 [(B) Production of photosensitive element (B-3) having layer of photosensitive resin composition containing phosphor] Materials shown in Table 10 were mixed for 15 minutes using a raikai machine. Then, a solution of a photosensitive resin composition containing a blue (B) phosphor was prepared.

【0123】[0123]

【表10】 [Table 10]

【0124】以下、製造例8と同様にして、青色の
(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を形成
し、青色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の
層を有する感光性エレメント(B−3)を得た。得られ
た青色の(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層
の乾燥後の厚さは、50μmであった。
Thereafter, in the same manner as in Production Example 8, a layer of the photosensitive resin composition containing the blue (B) phosphor was formed, and the photosensitive resin composition containing the blue (B) phosphor was formed. A photosensitive element (B-3) having a layer was obtained. The thickness of the obtained layer of the photosensitive resin composition containing the blue (B) phosphor was 50 μm after drying.

【0125】製造例11 〔感光性フィルム(D−1)の作製〕メタクリル酸メチ
ル/アクリル酸エチル/メタクリル酸共重合体(重量比
53/30/17、重量平均分子量10万)の41重量
%メチルセロソルブ/トルエン(重量比8:2)溶液1
37g(固形分55g)、ビスフェノールAポリオキシ
エチレンジメタクリート34g、γ−クロロ−β−ヒド
ロキシプロピル−β−メタクリロイルオキシエチル−O
−フタレート11g、安定剤(AW−500、川口化学
株式会社製)0.1g、トリブロモメチルフェニルスル
フォン1.2g、シリコーンレベリング剤(SH−19
3、トーレシリコン株式会社製)0.04g、1,7ビ
ス−(9−アクリジニル)ヘプタン0.2g、ベンジル
ジメチルケタール3g、ロイコクリスタルバイオレット
1.0g、マラカイトグリーン0.05g、トルエン7
g、メチルエチルケトン13g及びメタノール3gを配
合し、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
Production Example 11 [Preparation of photosensitive film (D-1)] 41% by weight of methyl methacrylate / ethyl acrylate / methacrylic acid copolymer (weight ratio 53/30/17, weight average molecular weight 100,000) Methyl cellosolve / toluene (weight ratio 8: 2) solution 1
37 g (solid content 55 g), 34 g of bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β-methacryloyloxyethyl-O
-11 g of phthalate, 0.1 g of stabilizer (AW-500, manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.), 1.2 g of tribromomethylphenylsulfone, silicone leveling agent (SH-19)
3, 0.04 g of Toray Silicon Co., Ltd.), 0.2 g of 1,7 bis- (9-acridinyl) heptane, 3 g of benzyl dimethyl ketal, 1.0 g of leuco crystal violet, 0.05 g of malachite green, and toluene 7
g, 13 g of methyl ethyl ketone and 3 g of methanol were blended to obtain a solution of the photosensitive resin composition.

【0126】この感光性樹脂組成物の溶液を20μm厚
のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布
し、110℃の熱風対流式乾燥機で約10分間乾燥し
て、厚さが25μmのポリエチレンフィルムをカバーフ
ィルムとして張り合わせ感光性フィルム(D−1)を得
た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は50μmであ
った。
The solution of the photosensitive resin composition was uniformly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 20 μm and dried for about 10 minutes with a hot air convection dryer at 110 ° C. to cover the polyethylene film having a thickness of 25 μm. A laminated photosensitive film (D-1) was obtained as a film. The film thickness of the photosensitive resin composition layer after drying was 50 μm.

【0127】製造例12 〔埋め込み層(熱可塑性樹脂層)を有するフィルム(C
−1)の作製〕表11に示す材料からなる樹脂溶液を、
20μmの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルム
上に均一に塗布し、80〜110℃の熱風対流式乾燥機
で10分間乾燥して溶剤を除去し、厚さが25μmのポ
リエチレンフィルムをカバーフィルムとして張り合わせ
て、埋め込み層(熱可塑性樹脂層)を有するフィルムを
作製した。得られた埋め込み層(熱可塑性樹脂層)のポ
リエチレンテレフタレートフィルム以外のトータル厚さ
は、80μmであった。
Production Example 12 [Film having embedded layer (thermoplastic resin layer) (C
Preparation of -1)] A resin solution composed of the materials shown in Table 11 was
A 20 μm-thick polyethylene terephthalate film was evenly coated, dried with a hot air convection dryer at 80 to 110 ° C. for 10 minutes to remove the solvent, and a 25 μm-thick polyethylene film was laminated as a cover film. A film having an embedded layer (thermoplastic resin layer) was produced. The total thickness of the obtained embedded layer (thermoplastic resin layer) other than the polyethylene terephthalate film was 80 μm.

【0128】[0128]

【表11】 [Table 11]

【0129】実施例1 〔(I)基板上に所定の位置及び形状で硬化後のバリア
リブ形成部を形成する工程〕ストライプ状の幅80μ
m、厚さ15μmの銀電極を、基板の縦方向と平行に、
等間隔に備えた、透明な対角40インチ(縦61cm、横
81cm)の背面板用基板に、製造例11で得られた感光
性フィルム(D−1)のカバーフィルムを剥離し、感光
性樹脂組成物層が基板面に接するように、加熱温度が8
0℃、圧着圧力が1×104N/m(線圧)、基板の送り速
度が3m/分で、3回ラミネートし、基板上の感光性樹
脂組成物層の厚さを150μmとした。
Example 1 [(I) Step of Forming Cured Barrier Rib Formed Part at Predetermined Position and Shape on Substrate] Stripe Width 80 μm
m, a silver electrode having a thickness of 15 μm in parallel with the longitudinal direction of the substrate,
The cover film of the photosensitive film (D-1) obtained in Production Example 11 was peeled off onto a transparent substrate for a back plate having a 40-inch diagonal (61 cm long, 81 cm wide) provided at regular intervals, and Heating temperature is 8 so that the resin composition layer is in contact with the substrate surface.
The laminate was laminated three times at 0 ° C., a pressure of 1 × 10 4 N / m (linear pressure), and a feed speed of the substrate of 3 m / min. The thickness of the photosensitive resin composition layer on the substrate was 150 μm.

【0130】次いで、この感光性樹脂組成物層の上に、
基板の縦方向と平行に、バリアリブ間の開口幅(露光
部)が150μm、バリアリブの幅(遮光部)が70μ
mとなるように設計されたストライプ状のマスクを、バ
リアリブ間の開口幅の中心が電極幅の中心となるように
重ね合わせ、(株)オーク製作所製HMW−590型平行
光線露光機を使用して、120mJ/cm2の紫外線照射を行
った。常温で15分放置した後、1重量%炭酸ナトリウ
ム水溶液を用いて、30℃で70秒間スプレー現像し、
バリアリブを形成する位置以外にレジストパターンを形
成した。現像後、80℃で10分間乾燥し、東芝電材
(株)製東芝紫外線照射装置を使用して、3J/cm2の紫外
線照射した後、160℃で10分間加熱を行った。
Next, on the photosensitive resin composition layer,
In parallel with the longitudinal direction of the substrate, the opening width between the barrier ribs (exposed portion) is 150 μm, and the width of the barrier rib (light shielding portion) is 70 μm.
m are superimposed so that the center of the opening width between the barrier ribs is the center of the electrode width, and a parallel light exposure machine HMW-590 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. is used. Then, ultraviolet irradiation of 120 mJ / cm 2 was performed. After standing at room temperature for 15 minutes, it was spray-developed with a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 70 seconds,
A resist pattern was formed at a position other than the position where the barrier rib was formed. After development, dry at 80 ° C for 10 minutes.
After UV irradiation at 3 J / cm 2 using a Toshiba UV irradiator manufactured by Toshiba Corporation, heating was performed at 160 ° C. for 10 minutes.

【0131】次いで、バリアリブを形成する位置以外に
レリーフパターンを形成した前記基板のバリアリブを形
成する位置(レリーフパターンとレリーフパターンの
間)に、製造例3で得られた(A)バリアリブ材料(A
−1)を、スクリーン印刷にて埋め込み、減圧下で脱泡
を行なった後、80℃で30分間乾燥した。この埋め込
み〜乾燥までを、最終充填時の乾燥までの目減りが最小
となるようにするために、2回繰り返した後、160℃
で45分間加熱し、(A)バリアリブ材料(A−1)を
硬化させた。
Next, at the position (between the relief pattern and the relief pattern) of the barrier rib of the substrate on which the relief pattern was formed other than the position where the barrier rib was formed, the (A) barrier rib material (A) obtained in Production Example 3 was obtained.
-1) was embedded by screen printing, defoamed under reduced pressure, and then dried at 80 ° C. for 30 minutes. The process from embedding to drying is repeated twice so as to minimize the loss from drying at the time of final filling to 160 ° C.
For 45 minutes to cure the (A) barrier rib material (A-1).

【0132】次いで、800番のサンドペーパーを用い
て埋め込まれた(A)バリアリブ材料(A−1)の不要
部分及びレリーフパターンの表面を平坦に研磨した。次
いで、(A)バリアリブ材料(A−1)を埋め込んだ基
板を、40℃の5重量%水酸化ナトリウム水溶液に、1
5分間浸潰した後、50℃の温水に浸潰することによ
り、レリーフパターンを剥離した後、充分に水洗し、バ
リアリブ間の開口幅が150μm、バリアリブの幅が7
0μm、バリアリブの高さが150μmのストライプ状
の硬化後のバリアリブ形成部を形成した基板を得た。
Then, unnecessary portions of the embedded (A) barrier rib material (A-1) and the surface of the relief pattern were polished flat using a No. 800 sandpaper. Next, (A) the substrate in which the barrier rib material (A-1) is embedded is placed in a 5% by weight aqueous sodium hydroxide solution at 40 ° C. for 1 hour.
After immersion for 5 minutes, the relief pattern was peeled off by immersion in warm water at 50 ° C., and then sufficiently washed with water. The opening width between the barrier ribs was 150 μm, and the width of the barrier ribs was 7 μm.
A substrate was formed in which a striped barrier rib formation portion having a thickness of 0 μm and a barrier rib height of 150 μm was formed.

【0133】〔(II)硬化後のバリアリブ形成部上の所
定の位置に多色のパターンを形成する工程〕前記で得ら
れた硬化後のバリアリブ形成部を形成した基板のバリア
リブ形成部が形成された側に、(B)蛍光体を含有する
感光性樹脂組成物の層が接するように、製造例8で得ら
れた(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を有
する感光性エレメント(B−1)のポリエチレンフィル
ムを剥がしながら、ラミネータ(日立化成工業(株)製、
商品名HLM−3000型)を用いて、加熱温度が60
℃、圧着圧力が2.5×103N/m(線圧)、基板の送り
速度が0.5m/分で積層した。
[(II) Step of Forming a Multicolor Pattern at a Predetermined Position on the Cured Barrier Rib Forming Part] The barrier rib forming part of the substrate on which the cured barrier rib forming part obtained above was formed is formed. Having a layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) obtained in Production Example 8 such that the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) is in contact with the side of the photosensitive resin composition containing the phosphor. While peeling off the polyethylene film of the element (B-1), a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.,
Using HLM-3000 (trade name), heating temperature is 60
C., the pressure was 2.5 × 10 3 N / m (linear pressure), and the substrate was fed at a feed rate of 0.5 m / min.

【0134】次いで、(B)蛍光体を含有する感光性樹
脂組成物の層を有する感光性エレメント(B−1)のポ
リエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、(B)蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物の層の上に、製造例1
2で得られた埋め込み層(熱可塑性樹脂層)を有するフ
ィルム(C−1)を、ポリエチレンフィルムが(B)蛍
光体を含有する感光性樹脂組成物の層に接するように、
ラミネータ(日立化成工業(株)製、商品名HLM−30
00型)を用いて、加熱温度が110℃、圧着圧力が5
×103N/m(線圧)、基板の送り速度が0.5m/分で
積層し、(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層
を凹部内表面に追従するように形成した。
Next, the polyethylene terephthalate film of the photosensitive element (B-1) having a layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) is peeled off, and the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) is removed. Production Example 1 on the product layer
The film (C-1) having the embedding layer (thermoplastic resin layer) obtained in Step 2 was placed so that the polyethylene film was in contact with the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B),
Laminator (HLM-30, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
00 type), the heating temperature is 110 ° C., and the pressing pressure is 5
X 10 3 N / m (linear pressure), the substrate is fed at a feed rate of 0.5 m / min, and (B) a layer of a photosensitive resin composition containing a phosphor is formed so as to follow the inner surface of the concave portion. did.

【0135】次いで、埋め込み層(熱可塑性樹脂層)を
有するフィルム(C−1)を剥離し、(B)蛍光体を含
有する感光性樹脂組成物の層上に、バリアリブ間の3本
に1本の間隔で作成された、開口幅と同程度の活性光線
透過幅を有するフォトマスクを、対角40インチのバリ
アリブが形成された背面板用基板の中心部で、バリアリ
ブ間の開口幅の中心にフォトマスクの活性光線透過幅の
中心が位置し、ストライプ方向に平行となるように密着
させて、(株)オーク製作所製、HMW−201GX型露
光機を使用し、200mJ/cm2で活性光線を像的に照射し
た。
Next, the film (C-1) having the burying layer (thermoplastic resin layer) was peeled off, and (B) one of three layers between the barrier ribs was formed on the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor. A photomask having an active light transmission width substantially equal to the opening width formed at intervals of the book is placed at the center of the back plate substrate on which the barrier ribs having a diagonal width of 40 inches are formed. The center of the actinic ray transmission width of the photomask is located at a position parallel to the stripe direction. The actinic ray is irradiated at 200 mJ / cm 2 using an HMW-201GX type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. Was illuminated imagewise.

【0136】次いで、1重量%炭酸ナトリウム水溶液を
用いて、30℃で40秒間スプレー現像した。現像後、
80℃で10分間乾燥し、東芝電材(株)製東芝紫外線照
射装置を使用して、3J/cm2の紫外線照射を行い、さら
に、150℃で30分間加熱した。
Next, the film was spray-developed with a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate at 30 ° C. for 40 seconds. After development
After drying at 80 ° C. for 10 minutes, ultraviolet irradiation at 3 J / cm 2 was performed using a Toshiba UV irradiator manufactured by Toshiba Electric Materials Co., Ltd., followed by heating at 150 ° C. for 30 minutes.

【0137】上記したパターンの形成を、製造例9で得
られた(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を
有する感光性エレメント(B−2)及び製造例10で得
られた(B)蛍光体を含有する感光性樹脂組成物の層を
有する感光性エレメント(B−3)についてもそれぞれ
同様にして行ない、硬化後のバリアリブ形成部が形成さ
れた基板に、赤色、緑色及び青色の蛍光体を含有する感
光性樹脂組成物の層のストライプが繰り返し凹部内表面
に形成された多色のパターンを形成した。
The above pattern was formed by the photosensitive element (B-2) having the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor (B) obtained in Production Example 9 and the photosensitive element (B-2) obtained in Production Example 10. (B) The same applies to the photosensitive element (B-3) having the layer of the photosensitive resin composition containing the phosphor. A stripe of the layer of the photosensitive resin composition containing the blue phosphor was repeatedly formed on the inner surface of the concave portion to form a multicolor pattern.

【0138】〔(III)焼成する工程〕上記で得られた
硬化後のバリアリブ形成部及び多色のパターンが形成さ
れた基板を、室温〜450℃まで、2℃/分の速度で昇
温し、450℃に到達後、450℃で1時間加熱処理
(焼成)を行い、硬化後のバリアリブ形成部中の有機材
料並びに多色のパターン中の蛍光体及び結着剤以外の有
機成分を一括して除去し、焼成後のバリアリブ及び多色
の蛍光体パターンを形成しプラズマディスプレイパネル
用背面板を得た。
[(III) Firing step] The cured barrier rib forming portion and the substrate on which the multicolor pattern is formed are heated from room temperature to 450 ° C. at a rate of 2 ° C./min. After reaching 450 ° C., heat treatment (firing) is performed at 450 ° C. for 1 hour, and the organic material in the barrier rib forming portion after curing and the organic components other than the phosphor and the binder in the multicolor pattern are collectively processed. After removal, a fired barrier rib and a multicolor phosphor pattern were formed to obtain a back plate for a plasma display panel.

【0139】〔プラズマディスプレイパネル用背面板の
評価〕上記で得られたプラズマディスプレイパネル用背
面板の断面を、実体顕微鏡及びSEMにより目視にて観
察し、バリアリブ間に形成された蛍光体パターン形成状
況を、図2に示すように、プラズマディスプレイパネル
用背面板の中心Aを基準位置とし、プラズマディスプレ
イパネル用背面板5の端から3cm内側の各位値を評価位
置として9箇所(中心a、中心−上b、中心−下c、左
−中央d、左−上e、左−下f、右−中央g、右−上
h、右−下i)設定し、この評価位置をそれぞれ評価
し、結果を表12に示した。なお、図2は、プラズマデ
ィスプレイパネル用背面板の評価位置を示す模式図であ
り、5はプラズマディスプレイパネル用背面板、a〜i
は各評価位置である。また、この評価基準は次の通りで
ある。 ○:蛍光体パターンがPDP用基板の凹部内表面(バリ
アリブ壁面及び基板面)上に均一かつ対称形に形成され
ている。 ×:蛍光体パターンがPDP用基板の凹部内表面(バリ
アリブ壁面及び基板面)上に均一かつ対称形に形成され
ていない。
[Evaluation of Plasma Display Panel Back Plate] The cross section of the plasma display panel back plate obtained above was visually observed with a stereoscopic microscope and an SEM, and the phosphor pattern formed between the barrier ribs was formed. As shown in FIG. 2, nine points (center a, center−) are set with the center A of the plasma display panel back plate as a reference position and each value 3 cm inside from the end of the plasma display panel back plate 5 as an evaluation position. Top b, center-bottom c, left-center d, left-top e, left-bottom f, right-center g, right-top h, right-bottom i) Are shown in Table 12. FIG. 2 is a schematic view showing an evaluation position of the back plate for a plasma display panel.
Is each evaluation position. The evaluation criteria are as follows. :: The phosphor pattern is uniformly and symmetrically formed on the inner surface of the concave portion (the barrier rib wall surface and the substrate surface) of the PDP substrate. X: The phosphor pattern is not formed uniformly and symmetrically on the inner surface of the concave portion (the barrier rib wall surface and the substrate surface) of the PDP substrate.

【0140】実施例2 実施例1において、製造例3で得られたバリアリブ前駆
混合物(A−1)を、製造例4で得られたバリアリブ前
駆混合物(A−2)に代えた以外は、実施例1と同様に
して、プラズマディスプレイパネル用背面板を得た。得
られたプラズマディスプレイパネル用背面板を、実施例
1と同様にして、評価し、結果を表12に示した。
Example 2 Example 1 was repeated except that the barrier rib precursor mixture (A-1) obtained in Production Example 3 was replaced with the barrier rib precursor mixture (A-2) obtained in Production Example 4. In the same manner as in Example 1, a back plate for a plasma display panel was obtained. The obtained back plate for a plasma display panel was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 12.

【0141】実施例3 実施例1において、製造例3で得られたバリアリブ前駆
混合物(A−1)を、製造例5で得られたバリアリブ前
駆混合物(A−3)に代えた以外は、実施例1と同様に
して、プラズマディスプレイパネル用背面板を得た。得
られたプラズマディスプレイパネル用背面板を、実施例
1と同様にして、評価し、結果を表12に示した。
Example 3 Example 1 was repeated except that the barrier rib precursor mixture (A-1) obtained in Production Example 3 was replaced with the barrier rib precursor mixture (A-3) obtained in Production Example 5. In the same manner as in Example 1, a back plate for a plasma display panel was obtained. The obtained back plate for a plasma display panel was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 12.

【0142】比較例1 実施例1において、製造例3で得られたバリアリブ前駆
混合物(A−1)を、製造例6で得られたバリアリブ前
駆混合物(A−4)に代えた以外は、実施例1と同様に
して、プラズマディスプレイパネル用背面板を得た。得
られたプラズマディスプレイパネル用背面板を、実施例
1と同様にして、評価し、結果を表12に示した。
Comparative Example 1 The procedure of Example 1 was repeated, except that the barrier rib precursor mixture (A-1) obtained in Production Example 3 was replaced with the barrier rib precursor mixture (A-4) obtained in Production Example 6. In the same manner as in Example 1, a back plate for a plasma display panel was obtained. The obtained back plate for a plasma display panel was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 12.

【0143】比較例2 実施例1において、〔(I)基板上に所定の位置及び形
状で硬化後のバリアリブ形成部を形成する工程〕を行な
った後に下記に示す〔焼成する工程〕を行い、次いで、
〔(II)硬化後のバリアリブ形成部上の所定の位置に多
色のパターンを形成する工程〕及び〔(III)焼成する
工程〕を行なった以外は、実施例1と同様にして、プラ
ズマディスプレイパネル用背面板を得た。 〔焼成する工程〕硬化後のバリアリブ形成部を形成した
基板を、室温〜450℃まで、2℃/分の速度で昇温
し、450℃に到達後、450℃で1時間加熱処理(焼
成)を行い、硬化後のバリアリブ形成部中の有機材料を
除去し、焼成後のバリアリブを形成した基板を得た。得
られたプラズマディスプレイパネル用背面板を、実施例
1と同様にして、評価し、結果を表12に示した。
Comparative Example 2 In Example 1, [(I) a step of forming a cured rib formation portion at a predetermined position and shape on a substrate] was performed, and then the following [firing step] was performed. Then
Plasma display was performed in the same manner as in Example 1 except that [(II) the step of forming a multicolor pattern at a predetermined position on the barrier rib forming portion after curing] and [(III) the firing step] were performed. A back plate for a panel was obtained. [Firing Step] The substrate on which the barrier rib forming portion after curing is formed is heated from room temperature to 450 ° C. at a rate of 2 ° C./min, and after reaching 450 ° C., is heated at 450 ° C. for 1 hour (firing). The organic material in the barrier rib forming portion after curing was removed to obtain a substrate on which the fired barrier rib was formed. The obtained back plate for a plasma display panel was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 12.

【0144】[0144]

【表12】 [Table 12]

【0145】表12の結果から、本発明のプラズマディ
スプレイパネル用背面板の製造法を用いて作製した、プ
ラズマディスプレイパネル用背面板(実施例1〜3)の
蛍光体パターンは、PDP用基板の凹部内表面(バリア
リブ壁面及び基板面)上に均一かつ対称形に形成されて
おり、高精度な、高品位なプラズマディスプレイパネル
用背面板が得られた。これに対して、比較例1及び比較
例2の方法を用いたプラズマディスプレイパネル用背面
板の蛍光体パターンは、PDP用基板の凹部内表面(バ
リアリブ壁面及び基板面)上に均一かつ対称形に形成さ
れず(蛍光体パターンの位置がずれていた)、プラズマ
ディスプレイパネル用背面板としては、実用に耐えない
ものであった。
From the results shown in Table 12, the phosphor pattern of the plasma display panel back plate (Examples 1 to 3) manufactured by using the method of manufacturing a plasma display panel back plate of the present invention is the same as that of the PDP substrate. A high-precision, high-quality back plate for a plasma display panel, which is uniformly and symmetrically formed on the inner surface of the recess (the barrier rib wall surface and the substrate surface), was obtained. On the other hand, the phosphor pattern of the back plate for a plasma display panel using the method of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 is uniformly and symmetrically formed on the inner surface of the concave portion (the barrier rib wall surface and the substrate surface) of the PDP substrate. It was not formed (the position of the phosphor pattern was shifted), and was not practical for a plasma display panel back plate.

【0146】[0146]

【発明の効果】請求項1記載のプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の製造法は、工程数を減少させ、バリアリ
ブ形成部の強度を向上させ、作業性よく、低エネルギー
で、寸法精度に優れたプラズマディスプレイパネル用背
面板を歩留まりよく作製できる。請求項2記載のプラズ
マディスプレイパネル用背面板の製造法をは、請求項1
記載のプラズマディスプレイパネル用背面板の製造法の
効果を奏し、レリーフパターンを除去する際のバリアリ
ブ形成部の耐剥離液性が優れる。
According to the method for manufacturing a back plate for a plasma display panel according to the first aspect of the present invention, the number of steps is reduced, the strength of the barrier rib forming portion is improved, workability is improved, energy is reduced, and dimensional accuracy is improved. A back panel for a display panel can be manufactured with high yield. The method for manufacturing a back plate for a plasma display panel according to claim 2 is described in claim 1.
The effect of the manufacturing method of the back plate for a plasma display panel described above is exhibited, and the stripping liquid resistance of the barrier rib forming portion when removing the relief pattern is excellent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
の製造法の各工程の一例を示した模式図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of each step of a method for manufacturing a back plate for a plasma display panel according to the present invention.

【図2】プラズマディスプレイパネル用背面板の評価位
置を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing an evaluation position of a back plate for a plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2a 硬化後のバリアリブ形成部 2b 焼成後のバリアリブ 3a 1色目のパターン 3b 2色目のパターン 3c 3色目のパターン 4a 1色目の蛍光体パターン 4b 2色目の蛍光体パターン 4c 3色目の蛍光体パターン 5 プラズマディスプレイパネル用背面板 a 中心 b 中心−上 c 中心−下 d 左−中央 e 左−上 f 左−下 g 右−中央 h 右−上 i 右−下 1 Substrate 2a Barrier rib forming part after curing 2b Barrier rib after firing 3a First color pattern 3b Second color pattern 3c Third color pattern 4a First color phosphor pattern 4b Second color phosphor pattern 4c Third color phosphor pattern 5 Back plate for plasma display panel a center b center-top c center-bottom d left-center e left-top f left-bottom g right-center h right-top i right-bottom

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 和也 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 杉浦 有美子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 島村 真理子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 村松 有紀子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田井 誠司 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 田仲 裕之 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 GA03 GF18 GF19 GG09 JA02 JA15 JA21 KA09 KA14 MA26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Kazuya Sato 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside the Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Yumiko Sugiura 4-13 Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Hitachi Chemical Co., Ltd.Ibaraki Research Laboratory (72) Inventor Mariko Shimamura 4-3-1 Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd.Ibaraki Research Laboratory (72) Inventor Yukiko Muramatsu Hitachi City, Ibaraki Prefecture 4-13-1, Higashicho, Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Seiji Tai 4-3-1-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture, Japan Ibaraki Research Laboratory, Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyuki Tanaka 4-13-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant F-term (reference) 5C027 AA09 5C040 GA03 GF18 GF18 GF19 GG09 JA02 JA15 JA21 KA09 KA14 MA26

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)無機材料及び(a)エチレン性不
飽和基を有する高分子結合剤を含有する有機材料を含む
バリアリブ材料を用いて、基板上に所定の位置及び形状
で形成したバリアリブ形成部を硬化した後、この硬化し
たバリアリブ形成部上の所定の位置に蛍光体及び有機材
料を含む多色のパターンをフォトリソグラフ法により形
成し、この状態で焼成することを特徴とするプラズマデ
ィスプレイパネル用背面板の製造法。
1. A barrier rib formed at a predetermined position and shape on a substrate using a barrier rib material containing (A) an inorganic material and (a) an organic material containing a polymer binder having an ethylenically unsaturated group. A plasma display characterized by forming a multicolored pattern containing a phosphor and an organic material at a predetermined position on the cured barrier rib forming portion by photolithography after curing the forming portion, and firing in this state. Manufacturing method of panel back plate.
【請求項2】 硬化したバリアリブ形成部が、(Ia
)基板上に所定の位置に設けられたレリーフパターン
とレリーフパターンの間隙に(A)バリアリブ材料を埋
め込む工程、(Ib)(A)バリアリブ材料を硬化す
る工程及び(Ic)レリーフパターンを除去する工程
の各工程により得られる請求項1記載のプラズマディス
プレイパネル用背面板の製造法。
2. The method according to claim 1, wherein the hardened barrier rib forming portion is (Ia)
A) a step of embedding a barrier rib material in a gap between relief patterns provided at predetermined positions on the substrate, a step of curing the barrier rib material, and a step of removing the relief pattern. The method for producing a back plate for a plasma display panel according to claim 1, which is obtained by the following steps:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100873424B1 (en) 2000-12-22 2008-12-11 톰슨 라이센싱 Process for manufacturing an array of barriers for a plasma display panel, tile for a plasma panel, and a plasma panel

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