JP2000173093A - Optical element and information recording and reproducing apparatus - Google Patents

Optical element and information recording and reproducing apparatus

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JP2000173093A
JP2000173093A JP10346370A JP34637098A JP2000173093A JP 2000173093 A JP2000173093 A JP 2000173093A JP 10346370 A JP10346370 A JP 10346370A JP 34637098 A JP34637098 A JP 34637098A JP 2000173093 A JP2000173093 A JP 2000173093A
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information recording
recording medium
optical element
optical
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Masaru Muranishi
勝 村西
Akitomo Itou
顕知 伊藤
Atsushi Kikukawa
敦 菊川
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Hitachi Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To constitute an optical element and an information recording and reproducing apparatus in which information can be transferred at high speed and in which a recording operation can be performed with a higher density than an optical disk apparatus in conventional cases by a method wherein a pinhole which has a sufficient light transmittance is formed in a slider. SOLUTION: The end face of an optical waveguide or an optical fiber 4 is cut obliquely. A metal film 5 is formed on the end face. A pinhole 6 is formed in the metal film 5. The angle which is formed by the optical axis of the optical waveguide or the optical fiber 4 with the end face is set at an angle at which a surface plasmon is excitated in the metal film. Thereby, the transmitted light rate of the pinhole 6 can be increased, and it is possible to constitute an information recording and reproducing apparatus in which a recording operation can be performed with high density and whose data transfer rate is fast.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は光学素子および情報
記録再生装置に係り、特に、光を空間の特定の領域に照
射する光学素子、および情報記録媒体に対し情報を光学
的に記録再生する情報記録再生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical element and an information recording / reproducing apparatus, and more particularly to an optical element for irradiating a specific area of space with light and information for optically recording / reproducing information on / from an information recording medium. The present invention relates to a recording / reproducing device.

【0002】[0002]

【従来の技術】レンズで光を集光しようとした場合、そ
の波長よりも小さい領域に光を集光することは困難であ
る。光を、その波長よりも小さい領域に選択的に照射す
る手段として、不透明な物質に設けたピンホールを用い
ること、これを応用して従来の光学顕微鏡を超える分解
能を有する顕微鏡を構成可能なことが、応用物理学会学
会誌「応用物理」Vol.65、No.1に記載されてい
る。
2. Description of the Related Art When light is focused by a lens, it is difficult to focus light in a region smaller than the wavelength. Use a pinhole in an opaque substance as a means of selectively irradiating light to a region smaller than the wavelength, and use this to construct a microscope with a resolution higher than that of a conventional optical microscope Is described in the Journal of the Japan Society of Applied Physics, “Applied Physics,” Vol. 65, No. 1.

【0003】また、これの情報記録再生装置への応用に
関しては、論文誌「AppliedPhysics L
etter」のVol.61、No.2の143ページ
に、Betzig等の報告が、論文誌「Japanes
e Journal ofApplied Physi
cs」のVol.35の443ページに、Hosaka
等の報告が記載されている。
[0003] In addition, regarding the application of the present invention to an information recording / reproducing apparatus, see the journal “Applied Physics L”.
61, No. 2, page 143, reports Betzig et al. in the journal "Japanes."
e Journal of Applied Physi
cs "on page 443 of Vol.
Etc. are described.

【0004】これを情報記録再生装置に応用した発明と
して、特開平3−171434号公報が出願されてい
る。上記特開平3−171434には、情報を記録する
媒体を高速回転させ、その媒体の上に、光源、レンズ、
ピンホールを収納したスライダを配置し、浮上ヘッド、
または負圧ヘッドとした発明が記載されている。この場
合も、ピンホールの大きさを光の波長よりも小さくする
ことで、媒体上の記録マークを通常の光ディスクの場合
よりも小さくすることができ、記録密度を通常の光ディ
スクよりも高くすることができる。
As an invention in which this is applied to an information recording / reproducing apparatus, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-171434 has been filed. JP-A-3-171434 describes that a medium for recording information is rotated at a high speed, and a light source, a lens,
Place a slider containing pinholes, fly head,
Alternatively, the invention using a negative pressure head is described. Also in this case, by making the size of the pinhole smaller than the wavelength of light, the recording mark on the medium can be made smaller than that of a normal optical disc, and the recording density can be made higher than that of a normal optical disc. Can be.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】情報記録再生装置にお
いては、情報の転送速度を大きくするために、一定強度
の信号光量が必要である。微細なピンホールを通過した
光を用いて情報の記録再生を行うことが、前述のとおり
報告されているが、ピンホールの光の透過効率は、概
ね、10のマイナス4乗からマイナス5乗程度である。
In an information recording / reproducing apparatus, a signal intensity of a certain intensity is required in order to increase a transfer rate of information. It has been reported as described above that information is recorded and reproduced using light that has passed through a fine pinhole, but the light transmission efficiency of the pinhole is generally about 10 −4 to −5. It is.

【0006】光源として、通常の半導体レーザを用いる
場合、その出力は数10mW程度であり、透過効率が前
述の値だった場合、情報を記録、再生する記録媒体に照
射される光の強度は、概ね、0.1〜1μWとなる。
When a normal semiconductor laser is used as a light source, the output is about several tens of mW, and when the transmission efficiency has the above value, the intensity of light applied to a recording medium for recording and reproducing information becomes Generally, it becomes 0.1 to 1 μW.

【0007】この強度の光で、例えば情報の再生を行う
場合、後述するように、十分なSN比を得ることは困難
である。信号の周波数帯域を狭くすることで、SN比を
向上させることは可能であるが、この場合、情報の転送
レートが、通常の磁気ディスク装置や光ディスク装置に
比較して、著しく小さくなってしまう。
When information is reproduced, for example, with light of this intensity, it is difficult to obtain a sufficient SN ratio, as will be described later. It is possible to improve the S / N ratio by narrowing the frequency band of the signal, but in this case, the information transfer rate is significantly reduced as compared with a normal magnetic disk device or optical disk device.

【0008】情報の転送速度を大きくするためには、さ
らに、情報記録媒体と情報を記録再生する手段との相対
速度を大きくする必要がある。さらに、ピンホールを用
いた情報記録再生装置においては、ピンホールと情報記
録媒体との間隔を、一定に保つ必要がある。
In order to increase the information transfer speed, it is necessary to further increase the relative speed between the information recording medium and the means for recording and reproducing information. Further, in an information recording / reproducing apparatus using a pinhole, it is necessary to keep a constant distance between the pinhole and the information recording medium.

【0009】これらの要求を満たす方法として、ピンホ
ールを浮上スライダに搭載する方法は有用な方法であ
る。しかしながら、上記特開平3−171434号公報
に記載されている構成では、浮上スライダにピンホール
だけでなく、レーザ光源とレンズが搭載されている。
As a method satisfying these requirements, a method of mounting a pinhole on a flying slider is a useful method. However, in the configuration described in JP-A-3-171434, not only a pinhole but also a laser light source and a lens are mounted on a flying slider.

【0010】装置を現実に構成する場合、スライダにレ
ーザ光源やレンズが搭載さると、スライダの質量は大き
くなってしまう。すると、記録媒体への追従特性が劣化
し、装置の構築は現実には困難となってしまう。
When the apparatus is actually constructed, if a laser light source or a lens is mounted on the slider, the mass of the slider increases. Then, the following characteristic of the recording medium is deteriorated, and it is actually difficult to construct the apparatus.

【0011】また、上記特開平3−171434号公報
には、具体的なピンホールの構造が記載されておらず、
ピンホールの構造を、Betzig等、Hosaka等
により報告されたものと同様と仮定すると、前述のとお
り、信号光量が小さくなってしまう。
The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-171434 does not disclose a specific pinhole structure.
Assuming that the structure of the pinhole is similar to that reported by Betzig et al., Hosaka et al., As described above, the amount of signal light is reduced.

【0012】本発明の目的は、十分な透過光率を有する
ピンホールをスライダに搭載することにより、情報の高
速転送が可能で、従来の光ディスク装置よりも高密度な
記録が可能となる光学素子および情報記録再生装置を構
成することにある。
An object of the present invention is to provide an optical element capable of transferring information at a high speed by mounting a pinhole having a sufficient transmissivity on a slider and recording at a higher density than a conventional optical disk device. And an information recording / reproducing apparatus.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】従来の技術では、レンズ
で集光したり、光ファイバの先端にピンホールを設け、
光ファイバの反対の端面から光を入射させて、ピンホー
ルに光を照射していた。ピンホールを通った光を用い
て、従来の光ディスク装置よりも高い密度で記録再生を
行う訳であるから、ピンホールの大きさは、光源から放
射される光の波長よりも小さい必要がある。
In the prior art, light is condensed by a lens or a pinhole is provided at the tip of an optical fiber.
Light was incident from the opposite end face of the optical fiber to irradiate the pinhole with light. Since recording / reproducing is performed at a higher density than a conventional optical disk device using light passing through a pinhole, the size of the pinhole needs to be smaller than the wavelength of light emitted from the light source.

【0014】レンズで集光した場合、集光スポットは、
光の波長よりも小さくなることは原理的にあり得ない。
また、光ファイバにおいては、光はコアに閉じ込められ
るのであるが、やはり、光はその波長程度には広がって
しまう。よって、ピンホールを通過する光は、ピンホー
ルに照射される光に対して非常に少なくなってしまい、
効率が低下する。
When the light is focused by a lens, the focused spot is
In principle, it cannot be smaller than the wavelength of light.
Further, in an optical fiber, light is confined in a core, but the light spreads to about its wavelength. Therefore, the light passing through the pinhole becomes very small with respect to the light applied to the pinhole,
Efficiency decreases.

【0015】本発明では、ピンホールに光を照射する
際、光の波長程度に広がってピンホールに直接当たらな
い光を、ピンホールへ導くことで効率を向上させてい
る。ピンホールへ光を導くため、本発明では、表面プラ
ズモンを利用している。金属薄膜にP偏光の光を、ある
入射角で入射させると、入射光の一部は表面プラズモン
に変化する。この表面プラズモンを金属薄膜の縁で反射
させてピンホールへ集めることで、ピンホールに直接当
たらなかった光をピンホールへ導くことができる。
In the present invention, when irradiating light to a pinhole, light that spreads to about the wavelength of light and does not directly hit the pinhole is guided to the pinhole to improve efficiency. In order to guide light to the pinhole, the present invention utilizes surface plasmons. When P-polarized light is incident on a metal thin film at a certain incident angle, part of the incident light changes to surface plasmon. By reflecting the surface plasmon on the edge of the metal thin film and collecting the surface plasmon on the pinhole, light not directly hitting the pinhole can be guided to the pinhole.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図1から図6を用いて、本発明
の実施形態の第1の例について説明する。図1は本発明
の光学素子を搭載したスライダの断面図、図2は図1の
ピンホール6近傍の拡大図、図3は本発明の動作原理の
説明図、図4は本発明の光学素子を応用した情報記録再
生装置の斜視図、図5は図4のアーム近傍の拡大図、図
6は図4の情報記録再生装置の情報記録媒体の拡大図で
ある。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A first example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is a cross-sectional view of a slider on which the optical element of the present invention is mounted, FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the pinhole 6 in FIG. 1, FIG. 3 is an explanatory view of the operation principle of the present invention, and FIG. FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of an arm in FIG. 4, and FIG. 6 is an enlarged view of an information recording medium of the information recording and reproducing apparatus in FIG.

【0017】図1のスライダ1は、情報記録媒体2に対
して、相対速度vで相対運動をしている。スライダ1は
アーム3により支持されており、情報記録媒体2に一定
の力で押し付けられている。スライダ1と情報記録媒体
2との相対運動に起因して空気流が発生し、この空気流
による流体力は、スライダ1を情報記録媒体2から引き
離す方向に作用する。スライダ1は情報記録媒体2に対
し、アーム3による押し付け力と流体力とが釣り合う位
置に、一定の間隔を保って浮上している。
The slider 1 shown in FIG. 1 moves relative to the information recording medium 2 at a relative speed v. The slider 1 is supported by an arm 3 and is pressed against the information recording medium 2 with a constant force. An air flow is generated due to the relative movement between the slider 1 and the information recording medium 2, and the fluid force generated by the air flow acts in a direction to separate the slider 1 from the information recording medium 2. The slider 1 floats on the information recording medium 2 at a position where the pressing force of the arm 3 and the fluid force are balanced with a certain interval.

【0018】スライダ1には光ファイバ4が固定されて
いる。図1には、明瞭には記載されていないが、光ファ
イバ4には、後述するスライダ外部の光源から光が入射
する。スライダ1の情報記録媒体2に対向する面には、
光ファイバ4の端面が現れており、この面には金属膜5
が成膜されている。光ファイバ4に入射した光は、金属
膜5に設けられたピンホール6を通過し、情報記録媒体
2に照射される。
An optical fiber 4 is fixed to the slider 1. Although not clearly shown in FIG. 1, light is incident on the optical fiber 4 from a light source outside the slider described later. On the surface of the slider 1 facing the information recording medium 2,
An end face of the optical fiber 4 appears, and a metal film 5
Is formed. The light incident on the optical fiber 4 passes through a pinhole 6 provided in the metal film 5 and irradiates the information recording medium 2.

【0019】この光の透過光が光検出器14で検出され
る。光検出器14は、レンズ11、ウォラストンプリズ
ム12、フォトダイオード13などから構成されてい
る。透過光はレンズ11で集光され、さらに、ウォラス
トンプリズム12で偏光分離され、各々の偏光成分が別
々にフォトダイオード13で電気信号に変換される。
The transmitted light of this light is detected by the photodetector 14. The photodetector 14 includes a lens 11, a Wollaston prism 12, a photodiode 13, and the like. The transmitted light is condensed by a lens 11, further polarized and separated by a Wollaston prism 12, and each polarized component is separately converted into an electric signal by a photodiode 13.

【0020】情報記録媒体2は、透明な基板10と記録
膜9とから構成される。透明な基板10の材質として
は、石英やポリカーボネート等を用いることができる。
記録膜9は、光磁気ディスク装置に用いられるPt−C
o系の光磁気記録膜となっている。
The information recording medium 2 comprises a transparent substrate 10 and a recording film 9. As a material of the transparent substrate 10, quartz, polycarbonate, or the like can be used.
The recording film 9 is made of Pt-C used for a magneto-optical disk drive.
It is an o-type magneto-optical recording film.

【0021】記録膜9には、エッチングプロセスで記録
膜9の一部を取り除いたり、もしくは磁化の方向を変化
させたりして、あるマークが形成されており、このマー
クにより情報が記録されている。例えば、記録膜9の一
部が取り除かれている場合、取り除かれた部分の光透過
率はそうでない部分に比較して大きくなる。よって、記
録膜9に光を照射し、その透過光の強度を検出すること
で記録膜9に記録されている情報を読み出すことができ
る。
A certain mark is formed on the recording film 9 by removing a part of the recording film 9 by an etching process or changing the direction of magnetization, and information is recorded by the mark. . For example, when a part of the recording film 9 has been removed, the light transmittance of the removed part is higher than that of the other part. Therefore, the information recorded on the recording film 9 can be read out by irradiating the recording film 9 with light and detecting the intensity of the transmitted light.

【0022】また、後述するように、光ファイバ4には
直線偏光の光が入射し、ピンホール6からは直線偏光の
光が透過する。記録膜9には磁化の方向によっても情報
が記録されており、直線偏光の光が入射した場合、その
偏光方向はファラデー効果によって回転する。ウォラス
トンプリズム12を用いて透過光を偏光によって分離
し、フォトダイオード13によって二つの偏光成分を分
離して検出することにより、偏光方向の回転が検出でき
る。このことにより、情報の再生が可能となる。
As will be described later, linearly polarized light enters the optical fiber 4, and linearly polarized light passes through the pinhole 6. Information is also recorded on the recording film 9 according to the direction of magnetization. When linearly polarized light enters, the polarization direction is rotated by the Faraday effect. Rotation of the polarization direction can be detected by separating the transmitted light by polarization using the Wollaston prism 12 and separating and detecting two polarized components by the photodiode 13. As a result, information can be reproduced.

【0023】スライダ1には、さらにコイル7が設けら
れており、ピンホール6から記録膜9にパルス状の光を
照射すると同時に、ケーブル8からコイル7に、記録す
る情報に対応したパルス状に正負に反転する電流を流し
て、情報の記録を行うことが可能である。
The slider 1 is further provided with a coil 7 for irradiating the recording film 9 with pulsed light from the pinhole 6 and, at the same time, pulsing from the cable 8 to the coil 7 in accordance with the information to be recorded. Information can be recorded by supplying a current that reverses the sign.

【0024】図1には、明瞭には記載していないが、記
録膜9の表面には、さらにC膜が数nm成膜され、その
上に高分子の潤滑剤が、やはり数nm塗布されている。
このC膜と潤滑剤により、記録膜9の耐摩耗性を高めて
いる。
Although not clearly shown in FIG. 1, a few nm thick C film is further formed on the surface of the recording film 9, and a high molecular lubricant is further coated thereon by several nm. ing.
The C film and the lubricant enhance the wear resistance of the recording film 9.

【0025】図2は、ピンホール6近傍の拡大図で、図
(A)は縦断面図、図(B)は横断面図である。図1の
光ファイバ4は、図2のコア15とクラッド16から構
成されている。光ファイバ4の端面の法線は、光ファイ
バ4の光軸(中心)に対して、角度θだけ傾いている。
FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the pinhole 6, wherein FIG. 2A is a longitudinal sectional view and FIG. 2B is a transverse sectional view. The optical fiber 4 shown in FIG. 1 includes the core 15 and the clad 16 shown in FIG. The normal to the end face of the optical fiber 4 is inclined by an angle θ with respect to the optical axis (center) of the optical fiber 4.

【0026】さらに、光ファイバ4の端面には、エッチ
ング加工が施され、コア15がクラッド16に対して凹
んでいる。このような加工は、光ファイバを石英系の光
ファイバとし、光ファイバ端面を、例えば50%のフッ
酸で、10秒程度常温でエッチングすることにより行う
ことができる。
Further, the end face of the optical fiber 4 is subjected to etching, and the core 15 is recessed with respect to the clad 16. Such processing can be performed by using a silica-based optical fiber as the optical fiber and etching the end face of the optical fiber with, for example, 50% hydrofluoric acid at room temperature for about 10 seconds.

【0027】この上に金属膜5が成膜されている。金属
膜5の材質としては、AgやAuを用いることができ
る。光ファイバ4が石英系の光ファイバであった場合、
AgやAuは付きが悪いので、Crの下地膜を数nm程
度付けるとよい。金属膜5の膜厚に関しては後述する。
金属膜5にはピンホール6が設けられている。このピン
ホール6は、例えば集束イオンビームを用いて加工する
ことができる。
On this, a metal film 5 is formed. Ag or Au can be used as the material of the metal film 5. When the optical fiber 4 is a silica-based optical fiber,
Since Ag and Au do not adhere well, it is preferable to provide a Cr underlayer of about several nm. The thickness of the metal film 5 will be described later.
A pinhole 6 is provided in the metal film 5. This pinhole 6 can be processed using, for example, a focused ion beam.

【0028】図2に示すように、光ファイバ4内を伝播
し、端面に入射する光の偏光方向は、光ファイバ4の光
軸と、光ファイバ4の端面の法線のはる平面内にある。
すなわち、金属膜5に対してP偏光となっている。よっ
て、金属膜5に対する入射角が一定の条件を満たす場
合、金属膜5と外側の空間の界面に、図2に示すような
モードを有する表面プラズモンを励起することができ
る。
As shown in FIG. 2, the direction of polarization of the light propagating in the optical fiber 4 and incident on the end face is in the plane where the optical axis of the optical fiber 4 and the normal line of the end face of the optical fiber 4 meet. is there.
That is, P-polarized light is applied to the metal film 5. Therefore, when the incident angle with respect to the metal film 5 satisfies a certain condition, surface plasmons having a mode as shown in FIG. 2 can be excited at the interface between the metal film 5 and the outer space.

【0029】例えば、金属膜5の材質をAgとし、入射
光の真空中における波長λを630nmとすると、金属
膜5の屈折率nは、0.065−4.0iとなる。図1に
おいて、金属膜5と情報記録媒体2の間は空気であり、
その屈折率は約1.0である。すると、金属膜5表面に
励起される表面プラズモンの伝播定数kは、入射光の伝
播定数をk0=2π/λとして、数式1で与えられる。
For example, if the material of the metal film 5 is Ag and the wavelength λ of the incident light in vacuum is 630 nm, the refractive index n of the metal film 5 is 0.065-4.0i. In FIG. 1, the space between the metal film 5 and the information recording medium 2 is air,
Its refractive index is about 1.0. Then, the propagation constant k of the surface plasmon excited on the surface of the metal film 5 is given by Expression 1 where the propagation constant of the incident light is k0 = 2π / λ.

【0030】[0030]

【数1】 (Equation 1)

【0031】一般に、光ファイバのコアへの光の閉じ込
めは弱いので、コア内を伝播する光は、近似的に平面波
と考えることができる。よって、コア15の屈折率をn
fとした場合、光ファイバ4の端面の法線と、光ファイ
バ4の光軸(中心)のなす角度θが、数式2を満たすと
き、表面プラズモンが励起される。
Generally, light confined in the core of an optical fiber is weak, so that light propagating in the core can be approximately considered as a plane wave. Therefore, the refractive index of the core 15 is n
In the case of f, when the angle θ between the normal to the end face of the optical fiber 4 and the optical axis (center) of the optical fiber 4 satisfies Equation 2, surface plasmon is excited.

【0032】[0032]

【数2】 (Equation 2)

【0033】前述の通り、金属膜5の材質をAgとし、
コア15の屈折率nfを1.457とすると、角度θは
約45.1度で表面プラズモンが励起できる。この方法
は、いわゆるクレッチマン(Kretschmann)
配置による表面プラズモンの励起となっている。角度θ
は、Agの他に、例えばAuでは46.2度、Alでは
43.9度となる。
As described above, the material of the metal film 5 is Ag,
Assuming that the refractive index nf of the core 15 is 1.457, the surface plasmon can be excited at an angle θ of about 45.1 degrees. This method is known as Kretschmann.
Surface plasmon is excited by the arrangement. Angle θ
Is 46.2 degrees for Au and 43.9 degrees for Al, for example, in addition to Ag.

【0034】コア15の、光ファイバ4の光軸に垂直な
面に関する断面は円形となっており、金属膜5の成膜さ
れている光ファイバ4の端面は、光ファイバ4の光軸に
対して傾いており、その断面形状は、図2に示すよう
に、楕円となる。コア15の直径をDとすると、コア1
5の端面の形状は、短軸の長さがD、長軸の長さが、D
/sinθとなる。
The cross section of the core 15 with respect to the plane perpendicular to the optical axis of the optical fiber 4 is circular, and the end face of the optical fiber 4 on which the metal film 5 is formed is positioned with respect to the optical axis of the optical fiber 4. As shown in FIG. 2, the cross-sectional shape is elliptical. Assuming that the diameter of the core 15 is D, the core 1
The shape of the end face of No. 5 is such that the length of the short axis is D and the length of the long axis is D
/ sin θ.

【0035】例えば、コア15の直径Dを3μmとする
と、長軸の長さは約4.2μmとなる。よって、金属膜
5には、約4.2μmの範囲で光が照射されることとな
る。励起された表面プラズモンは、図2に示すとおり、
楕円の長軸の方向で、図2のx軸に関して正の向きに伝
播する。
For example, if the diameter D of the core 15 is 3 μm, the length of the major axis is about 4.2 μm. Therefore, the metal film 5 is irradiated with light in a range of about 4.2 μm. The excited surface plasmon, as shown in FIG.
In the direction of the major axis of the ellipse, it propagates in a positive direction with respect to the x-axis in FIG.

【0036】ここで、角度θが上述の値からずれた場合
について考える。上述の表面プラズモンが励起される条
件は、入射光に対し表面プラズモンが位相整合を起こす
条件から求められる。よって角度θがずれた場合、位相
整合がずれることになる。
Here, consider the case where the angle θ deviates from the above-mentioned value. The condition for exciting the surface plasmon is obtained from the condition that the surface plasmon causes phase matching with the incident light. Therefore, when the angle θ is shifted, the phase matching is shifted.

【0037】ここで、楕円の長軸の両端で発生した表面
プラズモンの位相が、360度ずれる条件が、位相ずれ
に関する目安を与え、角度ずれに関する許容値の目安を
与える。この条件を書き下すと、数式3となる。
Here, the condition that the phase of the surface plasmon generated at both ends of the major axis of the ellipse is shifted by 360 degrees gives an indication of the phase shift and gives an indication of the allowable value of the angle shift. When this condition is rewritten, Equation 3 is obtained.

【0038】[0038]

【数3】 (Equation 3)

【0039】これを、数式1(k0=2π/λ)の関係
を用いて書き直すと、次の数式4のようになる。
When this is rewritten using the relationship of Expression 1 (k0 = 2π / λ), the following Expression 4 is obtained.

【0040】[0040]

【数4】 (Equation 4)

【0041】つまり、数式4で与えられる二つの角度の
間に、光ファイバ4の端面の法線と、光ファイバ4の光
軸(中心)とのなす角度が入っていれば、表面プラズモ
ンが励起されると考えられる。
That is, if the angle between the normal to the end face of the optical fiber 4 and the optical axis (center) of the optical fiber 4 is between the two angles given by the equation 4, the surface plasmon is excited. It is thought to be done.

【0042】金属膜5の材質がAg、コア15の直径D
が3μmの場合においては、角度θが、小さい方では約
38.3度、大きい方では55.9度になったときに、楕
円の長軸の両端で発生した表面プラズモンの位相が36
0度ずれることになる。よって、角度θが38.3度と
55.9度の間にある場合、表面プラズモンの励起が起
こると考えてよい。
The material of the metal film 5 is Ag, and the diameter D of the core 15 is
Is 3 μm, when the angle θ is about 38.3 degrees in the smaller one and 55.9 degrees in the larger one, the phase of the surface plasmon generated at both ends of the major axis of the ellipse becomes 36 degrees.
It will be shifted by 0 degrees. Therefore, when the angle θ is between 38.3 degrees and 55.9 degrees, it can be considered that surface plasmon excitation occurs.

【0043】数式3および数式4より、コア15の直径
Dは、小さいほど表面プラズモンの励起が起こる角度は
広くなるが、コア15の直径Dが、概ね入射光の真空中
における波長λよりも小さくなった場合、コア15への
閉じ込めが弱くなり、入射光は、その波長λ程度に広が
ってしまう。よって、コア15の直径Dは、入射光の波
長より小さくしても無意味となる。
From Equations 3 and 4, the smaller the diameter D of the core 15 is, the wider the angle at which surface plasmon excitation occurs becomes. However, the diameter D of the core 15 is generally smaller than the wavelength λ of the incident light in vacuum. In such a case, the confinement in the core 15 becomes weak, and the incident light spreads to about the wavelength λ. Therefore, it is meaningless if the diameter D of the core 15 is smaller than the wavelength of the incident light.

【0044】また、コア15の直径Dが大きくなると、
表面プラズモンの励起の起こる角度範囲が狭くなるの
で、コア15の直径Dの範囲としては、波長λと同程度
から10倍程度となる。例えば、波長λが630nmの
場合、コア15の直径Dの範囲は、概ね600nmから
6μm程度とすればよい。これは、通常の通信用光ファ
イバのコア径と一致する。
When the diameter D of the core 15 increases,
Since the angle range in which surface plasmon excitation occurs is narrowed, the range of the diameter D of the core 15 is about the same as the wavelength λ to about 10 times. For example, when the wavelength λ is 630 nm, the range of the diameter D of the core 15 may be approximately 600 nm to 6 μm. This coincides with the core diameter of a normal communication optical fiber.

【0045】ただし、コア15に対する金属膜5の付着
の強さや、情報記録媒体2に対する耐摩耗性を考慮する
と、金属膜5を異なる金属からなる多層膜とすることは
有効である。例えば、下地膜としてCrを成膜した上に
Agを成膜し、さらに、耐摩耗性を向上させるために、
その上にまたCrを成膜することも有効である。この場
合には、表面プラズモンの伝播定数kは、数式1のよう
な簡単な式では与えることができなくなる。この場合
は、数式3により角度θの範囲を決める必要がある。
However, considering the adhesion strength of the metal film 5 to the core 15 and the abrasion resistance to the information recording medium 2, it is effective to use the metal film 5 as a multilayer film made of different metals. For example, in order to improve the abrasion resistance by forming an Ag film on a Cr film as a base film,
It is also effective to form a Cr film thereon. In this case, the propagation constant k of the surface plasmon cannot be given by a simple equation such as Equation 1. In this case, it is necessary to determine the range of the angle θ by Expression 3.

【0046】金属膜5の膜厚に関しては、薄すぎると、
金属膜5とコア15の界面の影響が現れ、前述の解析が
成り立たなくなる。しかし、界面の影響を考慮し、角度
θを選べば同様の動作が期待できる。厚過ぎた場合、コ
ア15を伝播した光は金属膜15で吸収されてしまい、
金属膜15と空間の界面まで光が到達しなくなってしま
う。
Regarding the thickness of the metal film 5, if it is too thin,
The influence of the interface between the metal film 5 and the core 15 appears, and the above-mentioned analysis does not hold. However, if the angle θ is selected in consideration of the influence of the interface, the same operation can be expected. If it is too thick, the light that has propagated through the core 15 will be absorbed by the metal film 15,
Light does not reach the interface between the metal film 15 and the space.

【0047】金属膜15の材質として何を選ぶかによる
が、代表的な金属の屈折率の虚部は、概ね2〜10程度
である。よって、例えば、金属膜15と空間との界面
で、光の振幅が概ね1/eとなる厚さを考えると、入射
する光の波長を、例えば630nmとした場合、約10
nm〜50nmとなる。金属膜15の膜厚としては、こ
の程度にすることが望ましい。
The imaginary part of the refractive index of a typical metal is about 2 to 10 depending on what is selected as the material of the metal film 15. Therefore, for example, considering the thickness at which the amplitude of light is approximately 1 / e at the interface between the metal film 15 and the space, when the wavelength of the incident light is, for example, 630 nm, about 10
nm to 50 nm. The thickness of the metal film 15 is desirably set to this level.

【0048】前述の通り、コア15とクラッド16の端
面の間には段差があり、この上に成膜された金属膜5に
も段差が形成され、楕円形の縁ができる。金属膜5と空
間の界面に励起された表面プラズモンは、図2のx軸の
正の向きに伝播し、この縁の部分で反射される。コア1
5の端面である楕円は、図2の点Aの近傍では、数式5
で示される放物線に近似できる。
As described above, there is a step between the end faces of the core 15 and the clad 16, and a step is also formed on the metal film 5 formed thereon, thereby forming an elliptical edge. The surface plasmon excited at the interface between the metal film 5 and the space propagates in the positive direction of the x-axis in FIG. 2 and is reflected at this edge. Core 1
The ellipse, which is the end face of No. 5, is near the point A in FIG.
It can be approximated by a parabola shown by

【0049】[0049]

【数5】 (Equation 5)

【0050】数式5の放物線の焦点は、点Aから(D・
sinθ)/2、の位置にある。反射した表面プラズモ
ンは、この焦点の位置に集められる。ピンホール6は、
この焦点の位置に設けられており、図2のLは、L=
(D・sinθ)/2、となっている。ピンホール6に
向かって伝播する表面プラズモンは、ピンホール6の縁
17の部分で散乱される。ピンホール6の大きさは、光
ファイバ4に入射する光の波長よりも小さくなってい
る。
The focus of the parabola in Equation 5 is from point A to (D ·
sin θ) / 2. The reflected surface plasmons are collected at this focal point. Pinhole 6
It is provided at the position of this focal point, and L in FIG.
(D · sin θ) / 2. Surface plasmons propagating toward the pinhole 6 are scattered at the edge 17 of the pinhole 6. The size of the pinhole 6 is smaller than the wavelength of light incident on the optical fiber 4.

【0051】例えば、図2の角度θが0であった場合、
ピンホール6を透過する光、およびピンホール6の縁1
7ので散乱される光は、コア15内を伝播して直接入射
する光だけである。
For example, if the angle θ in FIG.
Light transmitted through pinhole 6 and edge 1 of pinhole 6
The light scattered by 7 is only the light that propagates in the core 15 and directly enters.

【0052】これまで、応用物理学会学会誌「応用物
理」Vol.65、No.1や、論文誌「Applied
Physics Letter」のVol.61、N
o.2の143ページ、論文誌「Japanese J
ournal of Applied Physic
s」のVol.35の443ページに記載されている報
告によると、コア15内を伝播する光のうち、ピンホー
ル6の縁17で散乱され情報記録媒体2に照射される光
の割合は、10のマイナス5乗からマイナス4乗であ
る。
Up to now, the Journal of the Japan Society of Applied Physics, “Applied Physics,” Vol. 65, No. 1, and the journal “Applied”
61, N of Physics Letter
o.2, page 143, the journal "Japanese J
own of Applied Physic
35, p. 443, the proportion of the light scattered by the edge 17 of the pinhole 6 and irradiated on the information recording medium 2 among the light propagating in the core 15 is as follows: It is 10 minus 5th power to minus 4th power.

【0053】入射する光の強度を、通常の半導体レーザ
の出力である数10mWとすると、情報記録媒体2に照
射される光は、0.1〜1μWであり、極めて微弱であ
る。再生信号のS/N比は、信号の周波数帯域によって
変化するが、デジタル信号の再生には、情報の転送レー
トに対応した周波数帯域に対して、通常、20dB程度
のS/N比が必要とされる。
Assuming that the intensity of the incident light is several tens mW, which is the output of a normal semiconductor laser, the light applied to the information recording medium 2 is 0.1 to 1 μW, which is extremely weak. The S / N ratio of the reproduced signal varies depending on the frequency band of the signal. However, the reproduction of a digital signal usually requires an S / N ratio of about 20 dB for the frequency band corresponding to the information transfer rate. Is done.

【0054】記録膜9におけるファラデー回転角を、例
えば1°とした場合、1μWの入力に対する出力は、3
5nW程度である。光源の波長を630nm、フォトダ
イオード13の量子効率を100%、フォトダイオード
13の電流出力を電圧に変換する抵抗の大きさを10k
Ω、装置の温度を絶対温度で300K、記録膜9の透過
率を10%と仮定した場合、原理的に避けることのでき
ないショット雑音と熱雑音のみを考慮した場合でも、S
/N比が20dBとなる周波数帯域は、20kHz程度
である。すなわち、情報の転送レートは20kb/s程
度が限界となり、通常の磁気ディスク装置や光ディスク
装置と比較して著しく転送レートが低くなってしまう。
When the Faraday rotation angle in the recording film 9 is, for example, 1 °, the output for 1 μW input is 3
It is about 5 nW. The wavelength of the light source is 630 nm, the quantum efficiency of the photodiode 13 is 100%, and the magnitude of a resistor for converting the current output of the photodiode 13 into a voltage is 10 k.
Assuming that the temperature of the apparatus is 300K in absolute temperature and the transmittance of the recording film 9 is 10%, even if only shot noise and thermal noise which cannot be avoided in principle are considered, S
The frequency band where the / N ratio is 20 dB is about 20 kHz. That is, the transfer rate of information is limited to about 20 kb / s, and the transfer rate is significantly lower than that of a normal magnetic disk device or optical disk device.

【0055】角度θを表面プラズモンが励起される角度
に選んだ場合、直接入射する光の他に、励起された表面
プラズモンがピンホールの縁17に入射する。前述の通
り、ピンホール6を表面プラズモンが集められる位置に
設けた場合、さらに多くの光が縁17に入射することに
なり、ピンホール6は角度θが0であった場合に比較し
て、非常に明るい点光源となる。
When the angle θ is selected to be an angle at which the surface plasmon is excited, the excited surface plasmon is incident on the edge 17 of the pinhole in addition to the directly incident light. As described above, when the pinhole 6 is provided at a position where surface plasmons are collected, more light is incident on the edge 17, and the pinhole 6 has a smaller angle θ than when the angle θ is 0. A very bright point light source.

【0056】例えば、角度θを面プラズモンが励起され
る角度に選び、ピンホール6から情報記録媒体2に照射
される光の強度が、前述の値の10倍になった場合、原
理的に避けることのできないショット雑音と熱雑音のみ
を考慮すると、S/N比が20dBとなる周波数帯域は
約1.6MHzとなり、原理的には1.6Mb/s程度の
転送レートが可能である。同様に100倍となった場合
は情報記録媒体2に100μWの光が照射されることと
なり、転送レートは原理的には100Mb/sが可能で
ある。
For example, if the angle θ is selected to be an angle at which the surface plasmon is excited, and the intensity of the light emitted from the pinhole 6 to the information recording medium 2 becomes ten times the above-mentioned value, it is avoided in principle. If only shot noise and thermal noise that cannot be considered are considered, the frequency band where the S / N ratio is 20 dB is about 1.6 MHz, and a transfer rate of about 1.6 Mb / s is possible in principle. Similarly, when the magnification becomes 100 times, the information recording medium 2 is irradiated with 100 μW light, and the transfer rate can be 100 Mb / s in principle.

【0057】本実施形態の第1の例においては、光ファ
イバの端面にピンホール6が設けられている。バルクの
光学系でも類似の光学系を組むことは可能であるが、例
えば情報記録媒体2にうねりがあった場合、スライダ1
はこれに追従して変位する。すると、スライダ1に光を
入射させる光学系とスライダ1との相対位置が変化し、
ピンホールに対する入射角が変化してしまう。上記第1
の例においては、角度θは光ファイバ4を加工するとき
に固定されてしまい、この角度から変化することはな
い。よって、安定した性能を得ることができる。
In the first example of this embodiment, a pinhole 6 is provided on the end face of the optical fiber. It is possible to form a similar optical system with a bulk optical system. For example, if the information recording medium 2 has undulation, the slider 1
Is displaced following this. Then, the relative position between the optical system that causes light to enter the slider 1 and the slider 1 changes,
The angle of incidence on the pinhole changes. The first
In the example, the angle θ is fixed when the optical fiber 4 is processed, and does not change from this angle. Therefore, stable performance can be obtained.

【0058】図3は、本発明の動作原理の説明図であ
り、ピンホール6近傍の拡大図でもある。上記第1の例
においては、ピンホール6を通過した光、および縁17
で散乱された光を記録膜9に照射し、情報の記録再生を
行っている。情報の記録再生を光学的に行うためには、
光スポットの大きさは記録マークよりも小さいか、大き
くとも同程度である必要がある。光スポットよりも非常
に小さい記録マークを記録再生することは困難である。
FIG. 3 is an explanatory view of the operation principle of the present invention, and is also an enlarged view of the vicinity of the pinhole 6. In the first example, the light passing through the pinhole 6 and the edge 17
The recording film 9 is illuminated with the light scattered by the above to record and reproduce information. In order to record and reproduce information optically,
The size of the light spot needs to be smaller than or larger than the recording mark. It is difficult to record and reproduce a recording mark much smaller than the light spot.

【0059】通常の光ディスク装置では、光スポットを
作るためにレンズで光を集光している。この場合、光の
波長よりも小さいスポットを得ることは原理的に困難で
ある。通常の光ディスク装置では、光源の波長は概ね6
00〜800nm程度であり、スポットの大きさも概ね
この程度である。これに対し、上記第1の例では、光ス
ポットの大きさはピンホール6の大きさdに、金属膜5
への光のしみ込みの深さを加えた値となる。
In an ordinary optical disk device, light is collected by a lens in order to form a light spot. In this case, it is theoretically difficult to obtain a spot smaller than the wavelength of light. In a normal optical disk device, the wavelength of the light source is approximately 6
The spot size is about 00 to 800 nm, and the spot size is also about this level. On the other hand, in the first example, the size of the light spot is set to the size d of the pinhole 6 and the size of the metal film 5 is set.
This value is the sum of the depth of light penetration into the light.

【0060】ピンホール6の加工を典型的なFIB装置
で加工を行った場合、ピンホール6の直径dは数十nm
とすることができ、光のしみ込みの深さも、典型的には
数十nmであるので、光スポットの大きさは100nm
以下となる。よって、通常の光ディスク装置の場合より
も小さい記録マークを記録再生可能である。このことか
ら、通常の光ディスク装置よりも記録密度の高い情報記
録再生装置を構成できる。
When the processing of the pinhole 6 is performed by a typical FIB apparatus, the diameter d of the pinhole 6 is several tens nm.
Since the depth of light penetration is also typically several tens of nm, the size of the light spot is 100 nm.
It is as follows. Therefore, it is possible to record and reproduce smaller recording marks than in the case of a normal optical disk device. Thus, an information recording / reproducing device having a higher recording density than a normal optical disk device can be configured.

【0061】図3において、ピンホール6と記録膜9の
間隔hが0の場合、記録膜9上での光スポットの大きさ
Dは、前述の通り、ピンホール6の大きさdに、金属膜
5への光のしみ込みの深さを加えた値となる。しかし、
間隔hが大きくなると、光は回折で広がってしまい、光
スポットの大きさDは大きくなってしまう。間隔hの限
界について考察するために、記録膜9上での光の振幅に
2次元のフーリエ変換を行う。すると、大きさDの光ス
ポットを作るためには、記録膜9上での波数ベクトルp
に関し、概ね、数式6で示される空間周波数成分を必要
とする。
In FIG. 3, when the distance h between the pinhole 6 and the recording film 9 is 0, the size D of the light spot on the recording film 9 is changed to the size d of the pinhole 6 by a metal as described above. This is a value obtained by adding the depth of light penetration into the film 5. But,
When the interval h increases, the light spreads due to diffraction, and the size D of the light spot increases. In order to consider the limit of the interval h, a two-dimensional Fourier transform is performed on the amplitude of light on the recording film 9. Then, in order to create a light spot of size D, the wave vector p on the recording film 9
Generally requires a spatial frequency component represented by Expression 6.

【0062】[0062]

【数6】 (Equation 6)

【0063】ここでは、ピンホール6を用いて、光ファ
イバ4に入射する光の波長よりも十分に小さい光スポッ
トを作ることを考えているので、光ファイバ4に入射す
る光の波長をλとして、D<λ、とする。ピンホール6
を通過した光、および縁17で散乱された光の振幅につ
いて、記録膜9の面内の空間周波数の絶対値が、π/
D、である成分について考える。
Here, since it is considered that a light spot sufficiently smaller than the wavelength of the light incident on the optical fiber 4 is formed by using the pinhole 6, the wavelength of the light incident on the optical fiber 4 is set as λ. , D <λ. Pinhole 6
The absolute value of the in-plane spatial frequency of the recording film 9 is π /
Consider a component that is D.

【0064】以後、この成分をaと呼ぶ。記録膜9上で
の光の振幅は、ヘルムホルツ方程式を満たすので、D<
λ、より、aのピンホール6からの距離zに関する依存
の仕方は数式7のようになる。但し、Cを比例定数とし
て数式8である。
Hereinafter, this component is referred to as a. Since the amplitude of light on the recording film 9 satisfies the Helmholtz equation, D <
Equation 7 shows how λ and a depend on the distance z from the pinhole 6. Here, Equation 8 is obtained by using C as a proportional constant.

【0065】[0065]

【数7】 (Equation 7)

【0066】[0066]

【数8】 (Equation 8)

【0067】数式7より、aは、z>1/γの領域では
急激に小さくなってしまうことが判る。よって、間隔h
は1/γよりも小さくしなければならない。前述のとお
り、光スポットの大きさDは、大きくても、記録マーク
の大きさlと同程度でなければならない。
From equation (7), it can be seen that a rapidly decreases in the region where z> 1 / γ. Therefore, the interval h
Must be less than 1 / γ. As described above, the size D of the light spot needs to be at most the same as the size l of the recording mark.

【0068】ここで、波長λ=630nm、光のスポッ
トの大きさD=100nmとすると、1/γ≒34n
m、となる。すなわち、ピンホール6から照射された波
長630nmの光で、100nm程度の大きさの記録マ
ークを記録再生するためには、ピンホール6と記録膜9
の間隔は、概ね34nm以下とする必要がある。
Here, assuming that the wavelength λ is 630 nm and the light spot size D is 100 nm, 1 / γ ≒ 34n
m. That is, in order to record and reproduce a recording mark having a size of about 100 nm with light having a wavelength of 630 nm irradiated from the pinhole 6, the pinhole 6 and the recording film 9 are required.
Should be approximately 34 nm or less.

【0069】また、D<<λの領域では、1/γ<λが
成り立つので、スライダ1の浮上量は、ピンホール6に
入射する光の波長よりも小さくする必要がある。DVD
−ROMにおいては、約1μmの光スポットを用いて、
約3Gb/in2の記録密度を実現している。上記第1
の例において、光スポットの大きさDを100nmとし
た場合、記録密度としては、300Gb/in2が可能
である。
Since 1 / γ <λ is satisfied in the region of D << λ, the flying height of the slider 1 needs to be smaller than the wavelength of the light incident on the pinhole 6. DVD
In a ROM, using a light spot of about 1 μm,
A recording density of about 3 Gb / in2 is realized. The first
In the example, when the size D of the light spot is 100 nm, the recording density can be 300 Gb / in2.

【0070】このことから、ピンホールをスライダに設
け、ピンホールから照射された光を用いて情報の記録再
生を行う場合、ピンホールとスライダの情報記録媒体に
対向する面の位置決めは、極めて精密に行う必要があ
る。すなわち、図2におけるクラッド16に対するコア
15の段差の大きさと、スライダ1の浮上量の和hは、
33nm以下とする必要がある。
Thus, when a pinhole is provided in a slider and information is recorded / reproduced using light irradiated from the pinhole, the positioning of the pinhole and the surface of the slider facing the information recording medium is extremely precise. Need to be done. That is, the sum h of the step size of the core 15 with respect to the clad 16 and the flying height of the slider 1 in FIG.
It is necessary to be 33 nm or less.

【0071】本発明の方法では、ピンホール6がスライ
ダ1の、情報記録媒体2に対向する面に直接設けられて
いるので、位置決めの問題は全く発生しない。また、前
述のとおり、ピンホール6はコア15に設けた凹みの部
分に設けられているので、ピンホール6が情報記録媒体
2に衝突して破壊される確率は非常に小さくなる。
In the method of the present invention, since the pinhole 6 is provided directly on the surface of the slider 1 facing the information recording medium 2, no positioning problem occurs. Further, as described above, since the pinhole 6 is provided in the recessed portion provided in the core 15, the probability that the pinhole 6 collides with the information recording medium 2 and is broken is extremely small.

【0072】図4は、本発明になる光学素子を応用した
情報記録再生装置の斜視図である。情報記録媒体2は円
板状の形状をしており、ベース21に固定されたスピン
ドルモータ22により回転する。この回転運動により、
スライダ1と相対運動する。位置決めアクチュエータ2
3もベース21に固定されており、その可動部にアーム
3が固定されている。位置決めアクチュエータ23はそ
の軸の回りに回転し、アーム3の先端に取り付けられた
スライダ1を情報記録媒体2の半径方向に移動させる。
FIG. 4 is a perspective view of an information recording / reproducing apparatus to which the optical element according to the present invention is applied. The information recording medium 2 has a disk shape and is rotated by a spindle motor 22 fixed to a base 21. With this rotational movement,
It moves relative to the slider 1. Positioning actuator 2
3 is also fixed to the base 21, and the arm 3 is fixed to the movable part. The positioning actuator 23 rotates around its axis, and moves the slider 1 attached to the tip of the arm 3 in the radial direction of the information recording medium 2.

【0073】スライダ1および情報記録媒体2の構造
は、図1のスライダ1、情報記録媒体2と同じである。
ベース21に固定されたインターフェース24はコネク
タ25を有し、コネクタ25に接続されたケーブルか
ら、本装置を駆動するための電源の供給を受けるほか、
装置に対する情報の記録再生の命令、記録すべき情報の
入力、再生すべき情報の出力を行う。
The structures of the slider 1 and the information recording medium 2 are the same as those of the slider 1 and the information recording medium 2 of FIG.
The interface 24 fixed to the base 21 has a connector 25, and receives power from the cable connected to the connector 25 for driving the apparatus.
The information recording / reproducing command to the device, the input of the information to be recorded, and the output of the information to be reproduced are performed.

【0074】インターフェース24に、装置外部から情
報の記録もしくは再生の命令を受け取った場合、インタ
ーフェース24は、その命令をシステムコントローラ2
6に入力する。この命令を受け取ったシステムコントロ
ーラ26は、スピンドルモータ22に電力を供給し、情
報記録媒体2を回転させる。
When the interface 24 receives a command for recording or reproducing information from outside the apparatus, the interface 24 transmits the command to the system controller 2.
Enter 6 The system controller 26 receiving this command supplies power to the spindle motor 22 to rotate the information recording medium 2.

【0075】スライダ1は、図1を用いて説明したとお
り、情報記録媒体2に対して一定の浮上量を保って相対
運動する。システムコントローラ26は、さらに、レー
ザ光源27を点灯させる。レーザ光源27から放射され
た光は、図4には、明瞭には記載していない光ファイバ
4に入射し、ピンホール6を通して情報記録媒体2に光
が照射される。
As described with reference to FIG. 1, the slider 1 moves relative to the information recording medium 2 while maintaining a constant flying height. The system controller 26 further turns on the laser light source 27. The light emitted from the laser light source 27 is incident on the optical fiber 4 which is not clearly shown in FIG. 4, and the information recording medium 2 is irradiated with the light through the pinhole 6.

【0076】システムコントローラ26は、レーザ光源
27を点灯させると同時に、光検出器14からの信号を
受け取る。情報記録媒体2上には、トラックと呼ばれ
る、情報を記録したマークの列が、同心円状に設けられ
ている。後述するように、個々のトラックには、トラッ
ク同士を識別するためのマークと、トラックからのずれ
を識別するためのマークが形成されている。
The system controller 26 turns on the laser light source 27 and receives a signal from the photodetector 14 at the same time. On the information recording medium 2, a row of marks on which information is recorded, which is called a track, is provided concentrically. As will be described later, each track is provided with a mark for identifying the track and a mark for identifying a deviation from the track.

【0077】このため、システムコントローラ26は、
光検出器14からの信号から、情報記録媒体2上でのピ
ンホール6が、どのトラック上にいるのか、また、トラ
ックからどの程度ずれているのかを求めることができ
る。
For this reason, the system controller 26
From the signal from the photodetector 14, it is possible to determine on which track the pinhole 6 on the information recording medium 2 is located and how much the pinhole 6 is displaced from the track.

【0078】システムコントローラ26は、装置外部か
らの命令で指定された情報を、記録もしくは再生すべき
位置と、光検出器14の信号から求めた実際のピンホー
ル6の位置とを比較する。この比較した結果を基に、位
置決めアクチュエータ23を駆動して、ピンホール6を
情報記録媒体2上の所定トラック上に位置決めする。
The system controller 26 compares the position at which information specified by an instruction from the outside of the apparatus is to be recorded or reproduced with the actual position of the pinhole 6 obtained from the signal of the photodetector 14. Based on the comparison result, the positioning actuator 23 is driven to position the pinhole 6 on a predetermined track on the information recording medium 2.

【0079】位置決めが為された後、装置外部からの命
令が情報の再生であった場合、システムコントローラ2
6は、レーザ光源27を一定強度で発光させる。この発
光強度は、記録膜9に記録された情報を破壊しない強度
となっている。
After the positioning, if the command from the outside of the apparatus is to reproduce information, the system controller 2
6 causes the laser light source 27 to emit light at a constant intensity. This emission intensity is an intensity that does not destroy information recorded on the recording film 9.

【0080】情報記録媒体2には、記録膜9の一部を取
り除くか、もしくは記録膜9の磁化の方向を変化させて
記録マークを形成しており、レーザ光源27から放射さ
れ、ピンホール6を通過して記録膜9に照射された光の
透過光量を、光検出器14で検出することにより情報の
再生を行う。
A recording mark is formed on the information recording medium 2 by removing a part of the recording film 9 or changing the direction of magnetization of the recording film 9. The information is reproduced by detecting, with the photodetector 14, the transmitted light amount of the light that has passed through and radiated to the recording film 9.

【0081】前述のとおり、光検出器14は、記録膜9
を透過した光の偏光方向の情報を検出する機能を有して
いる。光検出器14で検出された情報は、システムコン
トローラ26でエラー修正等の処理を施された後、イン
ターフェース24から装置外部へ出力される。
As described above, the photodetector 14 has the recording film 9
Has a function of detecting information on the polarization direction of the light transmitted through the light. The information detected by the photodetector 14 is subjected to processing such as error correction by the system controller 26 and then output from the interface 24 to the outside of the apparatus.

【0082】装置外部からの命令が情報の記録であった
場合、システムコントローラ26は記録すべき情報に対
応して、レーザ光源27から放射される光の強度を変調
すると同時に、図1のコイル7に流す電流を変調する。
情報の記録は記録膜9の磁化の方向を変化させることで
行う。これは、光磁気ディスク装置で用いられる磁界変
調方式である。
When the command from the outside of the apparatus is to record information, the system controller 26 modulates the intensity of light emitted from the laser light source 27 in accordance with the information to be recorded, and Modulates the current flowing through
Recording of information is performed by changing the direction of magnetization of the recording film 9. This is a magnetic field modulation method used in a magneto-optical disk device.

【0083】レーザ光源27からピンホール6を介して
光を照射して、記録膜9の情報を記録すべき個所の温度
をキュリー温度以上に上げる。同時に、コイル7に電流
を流し、記録膜9の温度の上がった部分のに磁界を印加
する。レーザ光源27の発光を止めると記録膜9の温度
が下がり、印加された磁界の方向に磁化される。
Light is emitted from the laser light source 27 through the pinhole 6 to raise the temperature of the recording film 9 at the location where information is to be recorded to a Curie temperature or higher. At the same time, a current is applied to the coil 7 to apply a magnetic field to the portion of the recording film 9 where the temperature has risen. When the laser light source 27 stops emitting light, the temperature of the recording film 9 decreases, and the recording film 9 is magnetized in the direction of the applied magnetic field.

【0084】印加する磁界の方向を、図1の上向きにす
るか、下向きにするかによって、記録膜9の光が照射さ
れた部分の磁化は、上向きになったり下向きになったり
する。この、上向きに磁化された部分と、下向きに磁化
された部分を、交互に並べることで情報の記録を行う。
Depending on whether the direction of the applied magnetic field is directed upward or downward in FIG. 1, the magnetization of the portion of the recording film 9 irradiated with light is directed upward or downward. Information is recorded by alternately arranging the upwardly magnetized portion and the downwardly magnetized portion.

【0085】図5は、アーム3近傍の拡大図であり、図
5の上の図(A)はアーム3の平面図、下の図(B)は
側面図である。アーム3のうち、図5でLsと書かれた
部分がばねとして作用し、回転する情報記録媒体2の面
ブレに追従する。
FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the arm 3. FIG. 5 (A) is a plan view of the arm 3, and FIG. 5 (B) is a side view. The portion of the arm 3 described as Ls in FIG. 5 acts as a spring, and follows the surface fluctuation of the rotating information recording medium 2.

【0086】光ファイバ4は、固定治具31、32によ
ってアーム3に固定されている。光ファイバ4の固定治
具31よりもスライダ1に近い部分の、片方の端部はス
ライダ1に固定され、もう片方の端部は固定治具31に
固定されている。固定治具31も、スライダ1も、図5
でLsと書かれた部分よりも先に付いている。
The optical fiber 4 is fixed to the arm 3 by fixing jigs 31 and 32. One end of a portion of the optical fiber 4 closer to the slider 1 than the fixing jig 31 is fixed to the slider 1, and the other end is fixed to the fixing jig 31. As shown in FIG.
Is attached before the part written as Ls.

【0087】よって、光ファイバ4の、固定治具31と
スライダ1の間の部分を、図5のように曲げたときの反
力は、いずれもアーム3のLsと書かれた部分より先の
部分に作用する。この反力のうち、スライダ1に作用す
る反力と、固定治具31に作用する反力とは、作用反作
用の法則によって完全に打ち消し合う。
Therefore, when the portion of the optical fiber 4 between the fixing jig 31 and the slider 1 is bent as shown in FIG. Act on the part. Among the reaction forces, the reaction force acting on the slider 1 and the reaction force acting on the fixing jig 31 completely cancel each other according to the law of the action reaction.

【0088】よって、光ファイバ4を、図5のように曲
げたときの反力は、アーム3のLsと書かれた部分に
は、実質的には作用していないのと同じになり、アーム
3のばね作用を考える上では、考慮しなくてもよい。光
ファイバ4は、さらに固定治具32でアーム3に固定さ
れているので、光ファイバ4の固定治具31、32の間
の部分の剛性が、アーム3のばね作用に影響を与える。
Therefore, the reaction force when the optical fiber 4 is bent as shown in FIG. 5 is substantially the same as that which does not act on the portion of the arm 3 where Ls is written. It is not necessary to consider the spring action of No. 3. Since the optical fiber 4 is further fixed to the arm 3 by the fixing jig 32, the rigidity of the portion of the optical fiber 4 between the fixing jigs 31 and 32 affects the spring action of the arm 3.

【0089】この影響は、光ファイバ4として、通常の
通信用の外径125μmの光ファイバを用いた場合で
も、図5における固定治具31、32の間隔Lfを大き
くし、光ファイバ4の固定治具31、32間の剛性を下
げることで、事実上問題ないレベルまで小さくすること
ができる。また、光ファイバ4の外径を小さくすること
も、光ファイバ4の剛性を下げる意味で有効である。
This effect is caused by increasing the distance Lf between the fixing jigs 31 and 32 in FIG. 5 and fixing the optical fiber 4 even when an ordinary optical fiber having an outer diameter of 125 μm is used as the optical fiber 4. By lowering the rigidity between the jigs 31 and 32, the rigidity can be reduced to a level at which there is no practical problem. Also, reducing the outer diameter of the optical fiber 4 is effective in reducing the rigidity of the optical fiber 4.

【0090】しかし、コア15からクラッド16への光
の漏れ出しがあるので、クラッド16の厚みは、レーザ
光源27から放射される光の波長よりも充分大きくする
必要があり、少なくとも、レーザ光源27から放射され
る光の波長の10倍にはする必要がある。
However, since light leaks from the core 15 to the clad 16, the thickness of the clad 16 needs to be sufficiently larger than the wavelength of light emitted from the laser light source 27. 10 times the wavelength of the light emitted from the

【0091】例えば、レーザ光源27から放射される光
の波長を630nmとした場合、クラッド16の厚み
は、6.3μm以上とする必要がある。よって、コア1
5の直径Dに、この6.3μmの2倍を加えた長さが、
光ファイバ4の直径の下限である。コア15の直径Dの
下限は約0.6μmであるから、光ファイバ4の直径の
下限は約12.9μmとなる。
For example, when the wavelength of light emitted from the laser light source 27 is 630 nm, the thickness of the clad 16 needs to be 6.3 μm or more. Therefore, core 1
The length obtained by adding twice this 6.3 μm to the diameter D of 5,
This is the lower limit of the diameter of the optical fiber 4. Since the lower limit of the diameter D of the core 15 is about 0.6 μm, the lower limit of the diameter of the optical fiber 4 is about 12.9 μm.

【0092】剛性の点から見て、光ファイバ4の直径は
小さいほどよく、剛性の点から、通常の通信用の光ファ
イバを使うことができる。これらのことから、例えば、
レーザ光源27から放射される光の波長が630nmだ
った場合、光ファイバの外径は、12.4μmから12
5μmの間に入っていればよい。
From the viewpoint of rigidity, the smaller the diameter of the optical fiber 4 is, the better it is. From the viewpoint of rigidity, an ordinary optical fiber for communication can be used. From these, for example,
When the wavelength of the light emitted from the laser light source 27 is 630 nm, the outer diameter of the optical fiber is 12.4 μm to 12 μm.
What is necessary is that it is between 5 μm.

【0093】光ファイバ4とアーム3との間の摩擦力
も、アーム3のばね動作に影響を与えるが、図5のよう
に、光ファイバ4をアーム3から浮かして保持すること
により、摩擦力の影響も取り除くことができる。
Although the frictional force between the optical fiber 4 and the arm 3 also affects the spring operation of the arm 3, as shown in FIG. 5, by holding the optical fiber 4 floating from the arm 3, the frictional force is reduced. The effects can be removed.

【0094】アーム3は位置決めアクチュエータ23に
取り付けられているが、アーム3の根元部分には、レー
ザ光源27が取り付けられている。レーザ光源27は、
半導体レーザ34、ファイバホルダ33から構成されて
いる。半導体レーザ34から放射された光は、光ファイ
バ4に結合する。ファイバホルダ33は、光ファイバ4
の端面を半導体レーザ34の活性層の位置に固定してい
る。
The arm 3 is attached to the positioning actuator 23. At the base of the arm 3, a laser light source 27 is attached. The laser light source 27
It comprises a semiconductor laser 34 and a fiber holder 33. Light emitted from the semiconductor laser 34 is coupled to the optical fiber 4. The fiber holder 33 holds the optical fiber 4
Is fixed at the position of the active layer of the semiconductor laser 34.

【0095】半導体レーザ34から放射された光が、光
ファイバ4に入射し、スライダ1の有するピンホール6
を通って、情報記録媒体2に照射される。半導体レーザ
34は、放射される光の偏光方向が、図5の側面図にお
いて、上下方向となるように固定されている。光ファイ
バ4は単に1方向に曲がっているだけなので、金属膜5
に入射するときにはP偏光となっている。光ファイバ4
としては、偏波保存ファイバを用いてもよい。
The light radiated from the semiconductor laser 34 enters the optical fiber 4 and the pinhole 6 of the slider 1 is
And is irradiated on the information recording medium 2. The semiconductor laser 34 is fixed so that the polarization direction of the emitted light is up and down in the side view of FIG. Since the optical fiber 4 is simply bent in one direction, the metal film 5
Is P-polarized when it is incident on. Optical fiber 4
, A polarization maintaining fiber may be used.

【0096】半導体レーザ34は、システムコントロー
ラ26に接続され、システムコントローラ26の命令に
よって点滅する。半導体レーザ34、光ファイバホルダ
33は、実際にはかなり重い部品となるので、スライダ
1に乗せるよりは、図5のように、スライダ1の外側、
特に位置決めアクチュエータ23の回転軸の近くに持っ
てくることが望ましい。
The semiconductor laser 34 is connected to the system controller 26 and blinks according to a command from the system controller 26. Since the semiconductor laser 34 and the optical fiber holder 33 are actually quite heavy components, as shown in FIG.
In particular, it is desirable to bring it near the rotation axis of the positioning actuator 23.

【0097】図6は、情報記録媒体2の表面の拡大図で
ある。図6では、濃い灰色の背景に白いマークと、背景
よりも薄い灰色の三日月状のマークが並んでいる。濃い
灰色の部分は、記録膜9が、図3のように、上向きに磁
化されていることを示し、白い部分は、そこだけ記録膜
9が取り除かれていることを示し、薄い灰色の部分は、
図3のように、そこが下向きに磁化されていることを示
している。
FIG. 6 is an enlarged view of the surface of the information recording medium 2. In FIG. 6, a white mark is arranged on a dark gray background and a gray crescent mark lighter than the background. A dark gray portion indicates that the recording film 9 is magnetized upward as shown in FIG. 3, a white portion indicates that the recording film 9 has been removed therefrom, and a light gray portion indicates ,
As shown in FIG. 3, this indicates that the portion is magnetized downward.

【0098】記録膜9のある部分よりは、ない部分の方
が透過率が高いので、透過率に対応させて、灰色と白の
明暗を付けた。図6中で、点線で示してあるのが6本の
トラック41〜46である。本来は、トラックは円形で
あるが、その一部を拡大しているので、図6では直線の
ように見える。
Since the transmittance is higher in a portion where the recording film 9 is not present than in a portion where the recording film 9 is present, gray and white light and dark are given according to the transmittance. 6, six tracks 41 to 46 are indicated by dotted lines. Originally, the track is circular, but since the track is partially enlarged, it looks like a straight line in FIG.

【0099】個々のトラックには、トラック識別マーク
47が設けられている。このマークはトラック毎に異な
っており、このマークによって、ピンホール6がどのト
ラックの上にいるかを識別する。個々のトラックには、
さらに、ウォブルマーク48と予知マーク49が設けら
れている。
Each track is provided with a track identification mark 47. This mark is different for each track, and the mark identifies on which track the pinhole 6 is located. Each track has
Further, a wobble mark 48 and a prediction mark 49 are provided.

【0100】ピンホール6は情報記録媒体2に対し、図
6において、下から上へ相対運動する。予知マーク49
は、この後に、ウォブルマーク48が来ることを示して
いる。よって、予知マーク49は、ウォブルマーク48
の直前の場所以外には使われていないパターンによって
構成されている。
The pinhole 6 moves relative to the information recording medium 2 from bottom to top in FIG. Foresight mark 49
Indicates that the wobble mark 48 comes after this. Therefore, the prediction mark 49 is the wobble mark 48
It is composed of a pattern that is not used except for the location immediately before.

【0101】ウォブルマーク48は、トラックに対し、
左右にずれた二つのマークにより構成されており、ピン
ホール6とトラックのずれを検出するためのマークであ
る。例えば、ピンホール6が、トラック46近傍の実線
51に沿って、トラック46の近傍を通ったとする。光
検出器14では、ピンホール6が、予知マーク49を過
ぎったときの光パルスの後、ウォブルマーク48を過ぎ
ったときに、マーク52、53による2個の光パルスを
検出する。
A wobble mark 48 indicates a track
The mark is composed of two marks shifted left and right, and is a mark for detecting a shift between the pinhole 6 and the track. For example, it is assumed that the pinhole 6 has passed near the track 46 along a solid line 51 near the track 46. The photodetector 14 detects two light pulses by the marks 52 and 53 when the pinhole 6 passes the wobble mark 48 after the light pulse after passing the prediction mark 49.

【0102】ピンホール6の軌跡が、実線51のよう
に、トラック46から左にずれていた場合、マーク52
に関しては、マークの中心の近くを通り、マーク53に
関しては中心から離れた所を通る。このため、2個の光
パルスのうち、最初のパルスは強く、後のパルスは弱く
なる。
When the locus of the pinhole 6 is shifted to the left from the track 46 as indicated by a solid line 51, the mark 52
, Passes near the center of the mark, and the mark 53 passes away from the center. For this reason, of the two light pulses, the first pulse is strong, and the second pulse is weak.

【0103】マークの部分は光の透過率が高い部分であ
り、もし、トラック46に対し、ピンホール6の軌跡が
右にずれていた場合、最初の光パルスが弱くなり、後の
光パルスが強くなる。ピンホール6の軌跡がトラック4
6の上に丁度乗っていた場合、2個の光パルスの強度は
等しくなる。
The mark portion is a portion where the light transmittance is high. If the trajectory of the pinhole 6 is shifted to the right with respect to the track 46, the first light pulse is weakened, and the subsequent light pulse is weakened. Become stronger. The track of pinhole 6 is track 4
If they were just riding on 6, the intensity of the two light pulses would be equal.

【0104】システムコントローラ26では、予知マー
ク49に対応した光パルスの、直後の2個の光パルスの
大きさを比較し、ピンホール6の軌跡がトラックに対
し、どちらに、どの程度ずれているかを求めることがで
きる。このずれを示す信号をトラックエラー信号と呼
ぶ。
The system controller 26 compares the magnitude of the two light pulses immediately after the light pulse corresponding to the prediction mark 49, and determines to which and how much the trajectory of the pinhole 6 deviates from the track. Can be requested. A signal indicating this deviation is called a track error signal.

【0105】装置外部からの命令によって記録された記
録マーク50においても、識別マーク47においても、
ピンホール6は、トラックの丁度上を通った場合に最も
大きな信号(この場合光パルス)を得ることができる。
情報の再生において、再生した情報の誤りを少なくする
ためには、信号は大きいほど望ましい。
In both the recording mark 50 and the identification mark 47 recorded by a command from the outside of the apparatus,
The pinhole 6 can obtain the largest signal (in this case, an optical pulse) when passing just above the track.
In the reproduction of information, in order to reduce errors in the reproduced information, the larger the signal, the more desirable.

【0106】このために、システムコントローラ26
は、トラックエラー信号に基づいて、位置決めアクチュ
エータ23を駆動し、ピンホール6を所定のトラックの
丁度上に位置決めする。情報の記録の場合においても、
記録された情報を再生する場合のことを考慮して、トラ
ック上に位置決めして記録を行う。
For this purpose, the system controller 26
Drives the positioning actuator 23 based on the track error signal, and positions the pinhole 6 just above a predetermined track. In the case of recording information,
In consideration of the case where recorded information is reproduced, recording is performed by positioning on a track.

【0107】図6において、識別マーク47、ウォブル
マーク48、予知マーク49が、記録膜9を取り除いて
形成されているのに対し、記録マーク40は磁化の方向
によって形成されている。識別マーク47、ウォブルマ
ーク48、予知マーク49は透過率が高くなり、記録マ
ーク40では透過率は変わらない。よって、透過光量か
ら、それがピンホール6の位置を示すマークであるの
か、記録された情報であるのかが識別できる。
In FIG. 6, the identification mark 47, the wobble mark 48, and the prediction mark 49 are formed by removing the recording film 9, while the recording mark 40 is formed by the direction of magnetization. The transmittance of the identification mark 47, the wobble mark 48, and the prediction mark 49 increases, and the transmittance of the recording mark 40 does not change. Therefore, it can be determined from the transmitted light amount whether the mark is a mark indicating the position of the pinhole 6 or recorded information.

【0108】また、記録膜9は光磁気膜でなく、相変化
型光ディスク装置に用いられる相変化膜としても、同様
に情報の記録再生が可能である。この場合、コイル7は
不要となる。
Also, information can be recorded and reproduced in the same manner even if the recording film 9 is not a magneto-optical film but a phase change film used in a phase change type optical disk device. In this case, the coil 7 becomes unnecessary.

【0109】図7から図11を用いて、本発明の実施形
態の第2の例について説明する。図7は本発明の光学素
子の側面および断面を示す図であり、スライダ61は側
面図、スライダ71は断面図となっている。図8は図7
のピンホール66近傍の拡大図、図9は情報記録再生装
置の斜視図、図10はキャリッジ80近傍の構造図、図
11はスライダ61の斜視図である。
A second example of the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a diagram showing a side surface and a cross section of the optical element of the present invention. The slider 61 is a side view, and the slider 71 is a cross-sectional view. FIG. 8 shows FIG.
FIG. 9 is a perspective view of the information recording / reproducing apparatus, FIG. 10 is a structural view near the carriage 80, and FIG. 11 is a perspective view of the slider 61.

【0110】図7のスライダ61は、情報記録媒体2に
対して相対速度vで相対運動をしている。スライダ61
には、情報記録媒体2との相対運動に起因する流体力が
作用している。スライダ61はアーム3により支持され
ており、前述の流体力とアーム3のばね力との釣り合っ
た位置で、スライダ61は情報記録媒体2との間隔を一
定に保って相対運動している。
The slider 61 shown in FIG. 7 moves relative to the information recording medium 2 at a relative speed v. Slider 61
, A fluid force due to the relative motion with the information recording medium 2 is acting. The slider 61 is supported by the arm 3, and at a position where the above-mentioned fluid force and the spring force of the arm 3 are balanced, the slider 61 relatively moves while keeping a constant distance from the information recording medium 2.

【0111】スライダ71は、情報記録媒体2に対して
相対速度vで相対運動をしている。スライダ71には、
情報記録媒体2との相対運動に起因する流体力が作用し
ている。スライダ71はアーム72により支持されてお
り、前述の流体力とアーム72のばね力との釣り合った
位置で、スライダ71は、情報記録媒体2との間隔を一
定に保って相対運動している。
The slider 71 moves relative to the information recording medium 2 at a relative speed v. The slider 71 has
Fluid force due to relative movement with the information recording medium 2 acts. The slider 71 is supported by an arm 72. At a position where the above-mentioned fluid force and the spring force of the arm 72 are balanced, the slider 71 is relatively moved while keeping a constant distance from the information recording medium 2.

【0112】スライダ61には、光導波路64、半導体
レーザ62が設けられている。光導波路64はスライダ
61の側面に取り付けられており、スライダ61の情報
記録媒体2に対向する面に、光導波路64の一つの端面
が現れている。この端面に金属膜65が設けられてお
り、金属膜65にはピンホール66が設けられている。
半導体レーザ62から放射された光は、光導波路64に
結合され、光導波路64内を伝播し、ピンホール66に
入射する。
The slider 61 has an optical waveguide 64 and a semiconductor laser 62. The optical waveguide 64 is attached to a side surface of the slider 61, and one end surface of the optical waveguide 64 appears on a surface of the slider 61 facing the information recording medium 2. A metal film 65 is provided on this end face, and a pinhole 66 is provided in the metal film 65.
Light emitted from the semiconductor laser 62 is coupled to the optical waveguide 64, propagates in the optical waveguide 64, and enters the pinhole 66.

【0113】図7に示すとおり、半導体レーザ62から
ピンホール66へ光が伝播する方向に対し、金属膜65
が設けられている光導波路64の端面は傾いている。半
導体レーザ62は、通常の端面発光型の半導体レーザで
あり、TEモードで発振し、電界ベクトルはスライダ6
1の側面内、すなわち図7の面内にある。このため、半
導体レーザ62から放射され、ピンホール66に入射す
る光は、金属膜65に対してP偏光で入射する。
As shown in FIG. 7, the direction in which light propagates from the semiconductor laser 62 to the
The end face of the optical waveguide 64 provided with is inclined. The semiconductor laser 62 is a normal edge emitting semiconductor laser, oscillates in the TE mode, and the electric field vector is
1, that is, in the plane of FIG. 7. Therefore, light emitted from the semiconductor laser 62 and incident on the pinhole 66 is incident on the metal film 65 as P-polarized light.

【0114】前記第1の例の場合と同様、金属膜65に
は表面プラズモンが励起される。後述するように、この
表面プラズモンはピンホール66に集められ、ピンホー
ル66の縁で散乱される。ピンホール66の縁での表面
プラズモンの散乱によって生じた光は、情報記録媒体2
に照射される。
As in the case of the first example, surface plasmons are excited in the metal film 65. As described later, this surface plasmon is collected in the pinhole 66 and scattered at the edge of the pinhole 66. The light generated by the scattering of the surface plasmon at the edge of the pinhole 66 is transmitted to the information recording medium 2.
Is irradiated.

【0115】ピンホール66の大きさは、半導体レーザ
62から放射される光の波長よりも小さく、情報記録媒
体2上に形成された、半導体レーザ62から放射される
光の波長よりも小さい記録マークの読み出しが可能であ
る。ピンホール66と情報記録媒体2との間隔に関して
は、前記第1の例の場合と同様である。
The size of the pinhole 66 is smaller than the wavelength of the light emitted from the semiconductor laser 62 and is smaller than the wavelength of the light emitted from the semiconductor laser 62 on the information recording medium 2. Can be read. The distance between the pinhole 66 and the information recording medium 2 is the same as in the case of the first example.

【0116】半導体レーザ62は、スライダ61の側面
に設けられた電極膜75の上にダイボンディングされて
いる。ケーブル63は、2本互いに絶縁された2本の導
体からなり、片方が電極膜75に、もう片方が半導体レ
ーザ62の上面に接続されている。半導体レーザ62を
点灯させるための電流は、ケーブル63により行われ
る。なお、情報記録媒体2の構造や機能に関しては、前
記第1の例の場合と同様である。
The semiconductor laser 62 is die-bonded on the electrode film 75 provided on the side surface of the slider 61. The cable 63 is composed of two conductors insulated from each other, one of which is connected to the electrode film 75 and the other is connected to the upper surface of the semiconductor laser 62. A current for lighting the semiconductor laser 62 is provided by a cable 63. The structure and function of the information recording medium 2 are the same as those in the first example.

【0117】ピンホール66を通過し、情報記録媒体2
に照射された光は、情報記録媒体2を透過し、スライダ
71に設けられた偏光素子69に入射する。偏光素子6
9は情報記録媒体2を透過した光のうち、特定の方向の
直線偏光成分のみを透過する。この透過光が光検出器7
0で検出される。
After passing through the pinhole 66, the information recording medium 2
Is transmitted through the information recording medium 2 and is incident on the polarizing element 69 provided on the slider 71. Polarizing element 6
Numeral 9 transmits only linearly polarized light components in a specific direction out of the light transmitted through the information recording medium 2. This transmitted light is the light detector 7
0 is detected.

【0118】偏光素子69において透過する光の直線偏
光の方向は、ピンホール66から情報記録媒体2に照射
される光の偏光方向に対して45度傾いた方向に向けて
おく。こうしておくことにより、半導体レーザ62から
一定強度の光を放射させ、光検出素子70で検出される
光の強度を見ることで、情報記録媒体2上に記録されて
いる情報の再生が可能である。
The direction of the linearly polarized light transmitted through the polarizing element 69 is set at a direction inclined by 45 degrees with respect to the polarization direction of the light applied to the information recording medium 2 from the pinhole 66. By doing so, light having a constant intensity is emitted from the semiconductor laser 62 and the intensity of the light detected by the light detection element 70 is observed, whereby information recorded on the information recording medium 2 can be reproduced. .

【0119】スライダ71にはコイル67が設けられて
おり、情報記録媒体2に情報を記録する場合には、半導
体レーザ62を記録する情報に対応して点滅させると同
時にコイル67に電流を流し、前記第1の例の場合と同
様に、情報記録媒体2上に情報の記録を行う。光検出素
子70からの信号の伝達や、コイル67への電流の供給
はケーブル68を介して行う。
The slider 71 is provided with a coil 67. When information is recorded on the information recording medium 2, the semiconductor laser 62 is turned on and off in accordance with the information to be recorded, and at the same time, a current is passed through the coil 67. Information is recorded on the information recording medium 2 as in the case of the first example. Transmission of a signal from the light detection element 70 and supply of current to the coil 67 are performed via a cable 68.

【0120】図8はピンホール66近傍の拡大図で、図
(A)は縦断面図、図(B)は横断面図である。図7の
光導波路64は、図8のコア74とクラッド73から構
成されている。クラッド73や、コア74の材質に関し
ては、両者とも半導体レーザ62から放射される光に対
して透明な物質で、クラッド73の屈折率よりも、コア
74の屈折率が大きければ何でもよい。例えば、クラッ
ド73の材質をSiO2とし、コア74の材質をSi3
N4とすることができる。
FIG. 8 is an enlarged view of the vicinity of the pinhole 66. FIG. 8A is a longitudinal sectional view, and FIG. 8B is a transverse sectional view. The optical waveguide 64 shown in FIG. 7 includes the core 74 and the clad 73 shown in FIG. Regarding the material of the clad 73 and the core 74, any material may be used as long as both materials are transparent to the light emitted from the semiconductor laser 62 and the refractive index of the core 74 is larger than the refractive index of the clad 73. For example, the material of the clad 73 is SiO2, and the material of the core 74 is Si3.
N4.

【0121】光導波路64の端面の法線は、光導波路6
4内を光を伝播する方向に対して、角度θだけ傾いてい
る。この端面の上に金属膜65が成膜されている。金属
膜65の材質に関しては、前記第1の例の場合と同様で
ある。金属膜65にはピンホール66が設けられている
が、このピンホール66は、例えば集束イオンビームを
用いて加工することができる。
The normal of the end face of the optical waveguide 64 is
4 is tilted by an angle θ with respect to the direction in which light propagates. A metal film 65 is formed on this end face. The material of the metal film 65 is the same as in the case of the first example. The metal film 65 is provided with a pinhole 66, and this pinhole 66 can be processed using, for example, a focused ion beam.

【0122】光導波路64内を伝播し端面に入射する光
の偏光方向は、前述のとおり、光導波路64内を光で伝
播する方向と、光導波路64の端面の法線のはる平面内
にある。すなわち、金属膜65に対してP偏光となって
いる。よって、金属膜65に対する入射角θが一定の条
件を満たす場合、前記第1の例の場合と同様に、金属膜
65と外側の空間の界面に、表面プラズモンを励起する
ことができる。
As described above, the polarization direction of the light propagating in the optical waveguide 64 and entering the end face is, as described above, the direction in which the light propagates in the optical waveguide 64 and the plane in which the normal of the end face of the optical waveguide 64 extends. is there. That is, P-polarized light is applied to the metal film 65. Therefore, when the incident angle θ with respect to the metal film 65 satisfies a certain condition, surface plasmons can be excited at the interface between the metal film 65 and the outer space as in the case of the first example.

【0123】コア74の寸法は、膜厚がH、幅がBとな
っている。前述のとおり端面が角度θだけ傾いているの
で、端面に現れるコア74の断面形状は、高さH、幅B
/sinθの長方形状になる。通常の成膜プロセスで光
導波路64を作成した場合、コア74の膜厚Hは0.1
〜数μm、コア74の幅Bも0.1〜数μmとなる。
The dimensions of the core 74 are such that the film thickness is H and the width is B. As described above, since the end face is inclined by the angle θ, the cross-sectional shape of the core 74 that appears on the end face has a height H and a width B.
/ sinθ. When the optical waveguide 64 is formed by a normal film forming process, the thickness H of the core 74 is 0.1.
And the width B of the core 74 is also 0.1 to several μm.

【0124】角度θの大きさについては、基本的には前
記第1の例の場合と同じである。しかし、前述のよう
に、コア74の材質をSi3N4、クラッド73の材質
をSiO2とした場合、コア74による光の閉じ込めは
強く、第1の例におけるコア15の屈折率nfを、光導
波路64のTEモードに対する等価屈折率neqに入れ
替える必要がある。
The magnitude of the angle θ is basically the same as in the first example. However, as described above, when the material of the core 74 is Si 3 N 4 and the material of the clad 73 is SiO 2, the confinement of light by the core 74 is strong, and the refractive index nf of the core 15 in the first example is It is necessary to replace the equivalent refractive index neq for the TE mode.

【0125】角度θのずれに関しては、第1の例におけ
る長軸の長さがD/sinθを、端面に現れるコア74
の断面形状の幅B/sinθに入れ替えれば同様の議論
ができる。励起された表面プラズモンは、図8に示すと
おり、図8のx軸に関して正の向きに伝播する。金属膜
65の厚さに関しても、第1の例における金属膜5の膜
厚と同様である。
As for the deviation of the angle θ, the length of the major axis in the first example is represented by D / sin θ, and
The same discussion can be made by replacing the width B / sin θ of the sectional shape of FIG. The excited surface plasmon propagates in a positive direction with respect to the x-axis in FIG. 8, as shown in FIG. The thickness of the metal film 65 is the same as the thickness of the metal film 5 in the first example.

【0126】図8に示すとおり、金属膜65は光導波路
64の端面の中で、放物線状の縁を有している。この放
物線は、図8のx軸がその軸となっている。前述のとお
り、金属膜65と空間の界面に励起された表面プラズモ
ンは、x軸の正の向きに伝播する。この表面プラズモン
は放物線状の縁に入射し、縁で反射される。放物線の性
質により、反射された表面プラズモンは放物線の焦点に
集められる。この焦点の位置にピンホール66が設けら
れている。
As shown in FIG. 8, the metal film 65 has a parabolic edge in the end face of the optical waveguide 64. This parabola has its x-axis in FIG. 8 as its axis. As described above, the surface plasmon excited at the interface between the metal film 65 and the space propagates in the positive direction of the x-axis. This surface plasmon is incident on the parabolic edge and is reflected at the edge. Due to the nature of the parabola, the reflected surface plasmons are focused on the parabola. A pinhole 66 is provided at the position of this focal point.

【0127】ピンホール66から情報記録媒体2に照射
される光を、できる限り多くするためには、光導波路6
4内を伝播する光を、できる限り表面プラズモンに変換
し、これをピンホール66に集める必要がある。光導波
路64内を伝播する光の多くの部分は、コア74内に閉
じ込められており、できる限り多くの光を表面プラズモ
ンに変換するためには、金属膜65は、少なくとも図8
に示すように、コア74の端面を覆う必要がある。
To increase the amount of light emitted from the pinhole 66 to the information recording medium 2 as much as possible, the optical waveguide 6
It is necessary to convert the light propagating in 4 into surface plasmons as much as possible and collect them in pinholes 66. Most of the light propagating in the optical waveguide 64 is confined in the core 74, and in order to convert as much light as possible to surface plasmons, the metal film 65 needs to have at least FIG.
It is necessary to cover the end face of the core 74 as shown in FIG.

【0128】図8に示すように、コア74の中心をxy
座標の原点とし、放物線の形状を、数式9で表わされる
ものとする。金属膜65がコア74の端面を覆うために
は、数式10、数式11とする必要がある。
As shown in FIG. 8, the center of the core 74 is
Let the origin of the coordinates be the shape of the parabola expressed by equation (9). In order for the metal film 65 to cover the end face of the core 74, it is necessary to use Equations 10 and 11.

【0129】[0129]

【数9】 (Equation 9)

【0130】[0130]

【数10】 (Equation 10)

【0131】[0131]

【数11】 [Equation 11]

【0132】例えば、コア74の膜厚Hを2.8μm、
端面に現れるコア74の断面形状の幅B/sinθを
2.2μmとした場合、x0=2μm、0<f<0.54
4μm、とすればよい。この場合、x軸と放物線の交点
とピンホールとの距離Lは、上述のfと同じに取ればよ
い。
For example, when the thickness H of the core 74 is 2.8 μm,
When the width B / sin θ of the cross-sectional shape of the core 74 appearing on the end face is 2.2 μm, x0 = 2 μm, 0 <f <0.54.
It may be 4 μm. In this case, the distance L between the intersection of the x-axis and the parabola and the pinhole may be the same as the above-mentioned f.

【0133】本発明の実施形態の第2の例を、情報記録
再生装置に応用した場合の装置の構成を図9に示す。図
9の上の図(A)は装置の外観図であり、下の図(B)
はフタ29を取り外した状態の図である。ベース21に
はコネクタ25が取り付けられており、前記第1例の場
合と同様に、本装置を駆動するための電源の供給を受け
るほか、装置に対する情報の記録再生の命令、記録すべ
き情報の入力、再生すべき情報の出力を行う。
FIG. 9 shows a configuration of an apparatus in which the second example of the embodiment of the present invention is applied to an information recording / reproducing apparatus. 9A is an external view of the apparatus, and FIG. 9B is a lower view.
Is a view showing a state where the lid 29 is removed. A connector 25 is attached to the base 21. As in the case of the first example, in addition to receiving power supply for driving the present apparatus, a command for recording / reproducing information to the apparatus and an instruction of information to be recorded are provided. Input and output information to be reproduced.

【0134】前述のとおり、スライダ61の情報記録媒
体2に対向する面と、情報記録媒体2との間隔は非常に
狭くする必要があり、大気中の塵埃がスライダ61と情
報記録媒体2の間に入り込んだ場合、情報記録媒体2が
破壊され、記録されていた情報が消失する。このことか
ら、この装置はクリーンルーム中で組み立てる等の方法
により、情報記録媒体2とスライダ61が存在する空間
の空気は清浄にする必要がある。さらにフタ29によ
り、外側との空気の出入りを制限している。
As described above, the distance between the surface of the slider 61 facing the information recording medium 2 and the information recording medium 2 needs to be very small, and dust in the air can be removed between the slider 61 and the information recording medium 2. When it enters, the information recording medium 2 is destroyed, and the recorded information is lost. For this reason, it is necessary to clean the air in the space where the information recording medium 2 and the slider 61 exist by a method such as assembling the apparatus in a clean room. Further, the lid 29 restricts the inflow and outflow of air from the outside.

【0135】前記第1の例の場合と同様、情報記録媒体
2は円板状の形状をしており、ベース21に固定された
スピンドルモータ22により回転する。この回転運動に
より、スライダ61、71と相対運動する。図9では、
スライダ71は情報記録媒体2の影に隠れてしまうの
で、図9には記載されていないが、情報記録媒体2の下
に位置している。
As in the case of the first example, the information recording medium 2 has a disk shape and is rotated by a spindle motor 22 fixed to a base 21. This rotational movement causes relative movement with the sliders 61 and 71. In FIG.
Although not shown in FIG. 9, the slider 71 is hidden under the shadow of the information recording medium 2, but is located below the information recording medium 2.

【0136】ピボット81はベース21に固定されてお
り、キャリッジ80はピボット81の周りに回転可能と
なっている。キャリッジ80にはアーム3が、アーム3
の先端にはスライダ61が取り付けられている。スライ
ダ61の構造に関しては前述の通りである。
The pivot 81 is fixed to the base 21, and the carriage 80 is rotatable around the pivot 81. The arm 3 is provided on the carriage 80.
A slider 61 is attached to the tip of the slider. The structure of the slider 61 is as described above.

【0137】後述するように、キャリッジ80には、図
9に明瞭に記載されているアーム3、スライダ61のほ
かに、もう一組のアーム3とスライダ61、二組のアー
ム72、スライダ71が取り付けられている。キャリッ
ジ80には、さらに後述するコイル92が取り付けられ
ているが、図9では磁気回路82の影に隠れてしまって
いる。
As will be described later, in addition to the arm 3 and the slider 61 clearly shown in FIG. 9, the carriage 80 has another set of the arm 3 and the slider 61, and two sets of the arm 72 and the slider 71. Installed. Although a coil 92 described later is further attached to the carriage 80, it is hidden by the magnetic circuit 82 in FIG.

【0138】コイル92には磁気回路82によって磁場
が作用しており、電流を流すことによりピボット81周
りのモーメントが発生して、キャリッジ80をピボット
81周りに回転させる。すなわち、キャリッジ80、ピ
ボット81、磁気回路82、コイル92によって、前記
第1の例における位置決めアクチュエータ23に相当す
るものを構成している。第1の例におけるインターフェ
ース24とシステムコントローラ26は、図9のベース
21の下側にあり、図9ではベース21の影になってい
る。
A magnetic field is applied to the coil 92 by the magnetic circuit 82. When a current flows, a moment around the pivot 81 is generated, and the carriage 80 is rotated around the pivot 81. That is, the carriage 80, the pivot 81, the magnetic circuit 82, and the coil 92 constitute what corresponds to the positioning actuator 23 in the first example. The interface 24 and the system controller 26 in the first example are below the base 21 in FIG. 9, and are shaded by the base 21 in FIG.

【0139】前記第1の例における半導体レーザ34
が、第2の例においては、半導体レーザ62となり、ス
ライダ61に取り付けられている点、前記第1の例にお
けるコイル7が、第2の例においては、コイル67とな
り、スライダ71に取り付けられている点、前記第1の
例における光検出器14が、第2の例においては、光検
出器70となり、スライダ71に取り付けられている
点、また、後述するとおり、情報記録媒体2が2枚ある
点などが、前記第1の例における情報記録再生装置と異
なっている。その他は第1の例の場合と同様に動作す
る。
The semiconductor laser 34 of the first example
However, in the second example, the coil 7 in the first example becomes the semiconductor laser 62 and is attached to the slider 61, and the coil 7 in the first example becomes the coil 67 in the second example and is attached to the slider 71. In the second example, the photodetector 14 in the first example is a photodetector 70 in the second example, and the photodetector 14 is attached to the slider 71. There are certain differences from the information recording / reproducing apparatus in the first example. Other operations are the same as in the first example.

【0140】図10はキャリッジ80近傍の拡大図であ
る。図10の上の図(A)は平面図、下の図(B)は側
面図である。キャリッジ80には2個のアーム3と2個
のアーム72が取り付けられている。各々のアーム3の
先端にはスライダ61が、アーム72の先端にはスライ
ダ71が取り付けられている。図10(B)の側面図の
上一組のスライダ61、71は、上側の情報記録媒体2
に対し情報の記録再生を行い、下一組のスライダ61、
71は、下側の情報記録媒体2に対し情報の記録再生を
行う。
FIG. 10 is an enlarged view of the vicinity of the carriage 80. 10A is a plan view, and FIG. 10B is a side view. Two arms 3 and two arms 72 are attached to the carriage 80. A slider 61 is attached to a tip of each arm 3, and a slider 71 is attached to a tip of an arm 72. The upper pair of sliders 61 and 71 is attached to the upper information recording medium 2 in the side view of FIG.
The recording and reproduction of information is performed with respect to
Reference numeral 71 records and reproduces information on the lower information recording medium 2.

【0141】キャリッジ80にはコイル92が取り付け
られている。図10(A)の平面図に示すとおり、磁気
回路82により、平面図におけるコイル92の上側と下
側には、各々反対向きの磁場が作用している。よって、
コイル92に電流を流すことで、コイル92には、キャ
リッジ80をピボット81の周りに回転させるモーメン
トが作用する。
A coil 92 is mounted on the carriage 80. As shown in the plan view of FIG. 10A, the magnetic circuit 82 applies magnetic fields in opposite directions to the upper side and the lower side of the coil 92 in the plan view. Therefore,
When a current flows through the coil 92, a moment acts on the coil 92 to rotate the carriage 80 around the pivot 81.

【0142】このモーメントにより、キャリッジ80は
ピボット81の周りに回転し、2個のスライダ61と2
個のスライダ71は情報記録媒体2の半径方向へ移動す
る。この動作により、所定のトラックへ開口66を追従
させる。
By this moment, the carriage 80 rotates around the pivot 81, and the two sliders 61 and 2
The sliders 71 move in the radial direction of the information recording medium 2. With this operation, the opening 66 follows a predetermined track.

【0143】このように、一つのキャリッジに複数のア
ームを取り付ける構造とすることにより、複数のスライ
ダを同時に動かすことができる。スライダ61とスライ
ダ71は同時に動き、情報の記録再生を行なう。また、
情報記録再生装置を2枚以上の情報記録媒体を有する構
造とすることにより、装置1台当りの情報記録容量を大
きくすることができる。
As described above, by employing a structure in which a plurality of arms are attached to one carriage, a plurality of sliders can be moved simultaneously. The slider 61 and the slider 71 move at the same time, and record and reproduce information. Also,
When the information recording / reproducing apparatus has a structure having two or more information recording media, the information recording capacity per apparatus can be increased.

【0144】図11はスライダ61の斜視図である。ス
ライダ61の側面に、クラッド73、コア74から構成
される光導波路64、電極膜75が設けられている。電
極膜75に半導体レーザ62がダイボンディングされて
いる。
FIG. 11 is a perspective view of the slider 61. FIG. On the side surface of the slider 61, an optical waveguide 64 composed of a clad 73 and a core 74, and an electrode film 75 are provided. The semiconductor laser 62 is die-bonded to the electrode film 75.

【0145】[0145]

【発明の効果】本発明により、十分な透過光率を有する
ピンホールをスライダに搭載し、情報の高速な転送が可
能で、従来の光ディスク装置よりも、高密度に情報の記
録が可能な情報記録再生装置を構成できる。
According to the present invention, a pinhole having a sufficient transmitted light rate is mounted on a slider, information can be transferred at a high speed, and information can be recorded at a higher density than a conventional optical disk device. A recording / reproducing device can be configured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明におけるスライダの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a slider according to the present invention.

【図2】図1におけるピンホール近傍の拡大断面図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged sectional view near a pinhole in FIG.

【図3】図2におけるピンホール近傍の拡大断面図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged sectional view near a pinhole in FIG. 2;

【図4】本発明の光学素子を応用した情報記録再生装置
の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of an information recording / reproducing apparatus to which the optical element of the present invention is applied.

【図5】本発明におけるアーム近傍の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of an arm according to the present invention.

【図6】情報記録再生装置の情報記録媒体表面の拡大図
である。
FIG. 6 is an enlarged view of an information recording medium surface of the information recording / reproducing apparatus.

【図7】本発明のスライダの断面図および側面図であ
る。
FIG. 7 is a sectional view and a side view of a slider according to the present invention.

【図8】図7におけるピンホール近傍の拡大断面図であ
る。
FIG. 8 is an enlarged sectional view near a pinhole in FIG. 7;

【図9】本発明の光学素子を応用した情報記録再生装置
の斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of an information recording / reproducing apparatus to which the optical element of the present invention is applied.

【図10】図9におけるキャリッジ近傍の拡大図であ
る。
FIG. 10 is an enlarged view of the vicinity of the carriage in FIG.

【図11】図10におけるスライダの斜視図である。FIG. 11 is a perspective view of the slider in FIG. 10;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 スライダ 2 情報記録媒体 3 アーム 4 光ファイバ 5 金属膜 6 ピンホール 7 コイル 8 ケーブル 9 記録膜 10 基板 11 レンズ 12 ウォラストンプリズム 13 フォトダイオード 14 光検出器 15 コア15 16 クラッド 17 ピンホール6の縁 22 スピンドルモータ 23 位置決めアクチュエータ 24 インターフェース 26 システムコントローラ 27 レーザ光源 34 半導体レーザ 61 スライダ 62 半導体レーザ 63 ケーブル 64 光導波路 65 金属膜 66 ピンホール 67 コイル 68 ケーブル 69 偏光素子 70 光検出器 71 スライダ 73 クラッド 74 コア DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Slider 2 Information recording medium 3 Arm 4 Optical fiber 5 Metal film 6 Pinhole 7 Coil 8 Cable 9 Recording film 10 Substrate 11 Lens 12 Wollaston prism 13 Photodiode 14 Photodetector 15 Core 15 16 Cladding 17 Pinhole 6 Edge Reference Signs List 22 spindle motor 23 positioning actuator 24 interface 26 system controller 27 laser light source 34 semiconductor laser 61 slider 62 semiconductor laser 63 cable 64 optical waveguide 65 metal film 66 pinhole 67 coil 68 cable 69 polarizing element 70 photodetector 71 slider 73 clad 74 core

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菊川 敦 埼玉県比企郡鳩山町赤沼2520番地 株式会 社日立製作所基礎研究所内 Fターム(参考) 2H050 AB03Z AC03 AC42 AC87 AC90 5D119 AA11 CA06 EC24 JA36 JA59 JA64 MA06 NA05  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Atsushi Kikukawa 2520 Akanuma, Hatoyama-cho, Hiki-gun, Saitama F-term in Hitachi, Ltd. Basic Research Laboratory (Reference) 2H050 AB03Z AC03 AC42 AC87 AC90 5D119 AA11 CA06 EC24 JA36 JA59 JA64 MA06 NA05

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光導波路の光軸に対して斜めに形成され
た端面が、情報記録媒体に対向してピンホールの形成さ
れた金属膜を有し、前記端面と前記光軸とのなす角度
が、前記金属膜に表面プラズモンの励起される角度であ
ることを特徴とする光学素子。
1. An end face formed obliquely to an optical axis of an optical waveguide has a metal film having a pinhole facing an information recording medium, and an angle formed between the end face and the optical axis. Is an angle at which surface plasmons are excited in the metal film.
【請求項2】 光源と、前記光源からの光を伝播する光
導波路と、前記光導波路を備え、情報記録媒体に対向し
て相対運動をするスライダとから構成され、前記情報記
録媒体に対向する前記光導波路の端面に金属膜が成膜さ
れ、前記金属膜にピンホールが形成された光学素子にお
いて、前記ピンホールを有する金属膜の成膜された光導
波路の端面が、前記光導波路内を伝播する光の方向に対
して、所定の角度で傾いていることを特徴とする光学素
子。
2. A light source comprising: a light source; an optical waveguide for transmitting light from the light source; and a slider including the optical waveguide and moving relative to the information recording medium, facing the information recording medium. A metal film is formed on an end face of the optical waveguide, and in an optical element in which a pinhole is formed in the metal film, the end face of the optical waveguide on which the metal film having the pinhole is formed passes through the inside of the optical waveguide. An optical element which is inclined at a predetermined angle with respect to the direction of propagating light.
【請求項3】 請求項2に記載の光学素子において、前
記光導波路内を伝播する光の方向と、前記金属膜の成膜
されている端面の法線とのなす角度は、前記光源から放
射された光に対し、前記金属膜に表面プラズモンを励起
する角度であることを特徴とする光学素子。
3. The optical element according to claim 2, wherein an angle between a direction of light propagating in the optical waveguide and a normal to an end face on which the metal film is formed is radiated from the light source. An optical element having an angle to excite surface plasmons on the metal film with respect to the emitted light.
【請求項4】 請求項1、2または3に記載の光学素子
において、前記金属膜を有する端面が楕円形状のとき、
前記ピンホールの位置は、前記楕円形状の長軸上で、か
つ、前記光軸と前記端面の法線とのなす角をθ、前記コ
アの径をdとすると、前記楕円形状の縁から{(d・s
inθ)/4}だけ離れていることを特徴とする光学素
子。
4. The optical element according to claim 1, wherein the end face having the metal film has an elliptical shape.
Assuming that the position of the pinhole is on the major axis of the elliptical shape, the angle between the optical axis and the normal to the end face is θ, and the diameter of the core is d, the position of the pinhole is {from the edge of the elliptical shape. (Ds
inθ) / 4 °.
【請求項5】 請求項1、2または3に記載の光学素子
において、前記光導波路のコアの形状が、光軸に対する
垂直断面が円形で、前記金属膜が成膜されたコア端面が
楕円形状のとき、前記ピンホールは前記楕円の長軸上に
位置し、かつ、前記光導波路端面でコアとクラッドとの
間に段差があると共に、前記楕円の長軸上のピンホール
の位置が、前記光軸と前記端面の法線とのなす角をθ、
前記コアの径をdとしたとき、前記コア端面の楕円の縁
から{(d・sinθ)/4}だけ離れていることを特
徴とする光学素子。
5. The optical element according to claim 1, wherein the core of the optical waveguide has a circular cross section perpendicular to an optical axis, and an end face of the core on which the metal film is formed is elliptical. In the case, the pinhole is located on the major axis of the ellipse, and there is a step between the core and the clad at the end face of the optical waveguide, and the position of the pinhole on the major axis of the ellipse is The angle between the optical axis and the normal to the end face is θ,
An optical element characterized in that when the diameter of the core is d, the core is separated from the edge of the ellipse of the core end face by {(d · sin θ) / 4}.
【請求項6】 請求項1〜5のうちいずれかに記載の光
学素子において、前記光導波路端面の金属膜が不透明な
物質からなり、前記金属膜の縁の一部が放物線状の形状
をしており、前記ピンホールが前記放物線の焦点の位置
に形成されていることを特徴とする光学素子。
6. The optical element according to claim 1, wherein a metal film on an end face of the optical waveguide is made of an opaque material, and a part of an edge of the metal film has a parabolic shape. An optical element, wherein the pinhole is formed at a focus position of the parabola.
【請求項7】 請求項1〜6のうちいずれかに記載の光
学素子において、前記光導波路は、光ファイバであるこ
とを特徴とする光学素子。
7. An optical element according to claim 1, wherein said optical waveguide is an optical fiber.
【請求項8】 請求項1〜7のうちいずれかに記載の光
学素子と、前記光学素子に対して相対運動する情報記録
媒体と、前記情報記録媒体に前記光学素子によって照射
された光を検出し、前記情報記録媒体に記録された情報
を読み取る光検出器とを備えたことを特徴とする情報記
録再生装置。
8. An optical element according to claim 1, an information recording medium relatively moving with respect to said optical element, and detecting light irradiated on said information recording medium by said optical element. And an optical detector for reading information recorded on the information recording medium.
【請求項9】 光学的手段により情報の記録または再生
が可能な情報記録媒体と、前記情報記録媒体の所定の領
域に光を照射する光学素子と、前記光学素子によって前
記情報記録媒体に照射された光の透過光、反射光もしく
は散乱光を検出して、前記情報記録媒体に記録された情
報を読み取る光検出器と、前記光検出器で読み取った情
報を装置外部に出力すると共に、装置外部からの命令を
受け取るインターフェースと、前記情報記録媒体と前記
光学素子とを相対運動させる機構系と、前記インターフ
ェースを介して装置外部から入力された命令と前記光検
出器で読み取った情報とを比較し、該比較結果に基づき
前記機構系を駆動して前記光学素子を前記情報記録媒体
上の所定の位置に位置決めするサーボ回路とを有する情
報記録再生装置において、前記光学素子は、請求項1〜
7に記載の光学素子であることを特徴とする情報記録再
生装置。
9. An information recording medium on or from which information can be recorded or reproduced by optical means, an optical element for irradiating a predetermined area of the information recording medium with light, and an optical element for irradiating the information recording medium with the optical element. A light detector that detects transmitted light, reflected light or scattered light of the light, and reads information recorded on the information recording medium, and outputs information read by the light detector to the outside of the device, and An interface for receiving an instruction from the device, a mechanism system for relatively moving the information recording medium and the optical element, and comparing an instruction input from outside the device via the interface with information read by the photodetector. A servo circuit for driving the mechanical system based on the comparison result to position the optical element at a predetermined position on the information recording medium. And the optical element, claim 1
An information recording / reproducing apparatus, which is the optical element according to claim 7.
【請求項10】 光学的手段により情報の記録または再
生が可能な情報記録媒体と、前記情報記録媒体の所定の
領域に光を照射する光学素子と、前記光学素子によって
前記情報記録媒体に照射された光の透過光、反射光もし
くは散乱光を検出して、前記情報記録媒体に記録された
情報を読み取る光検出器と、前記光検出器で読み取った
情報を装置外部に出力すると共に、装置外部からの命令
を受け取るインターフェースと、前記情報記録媒体と前
記光学素子とを相対運動させる機構系と、前記インター
フェースを介して装置外部から入力された命令と前記光
検出器で読み取った情報とを比較し、該比較結果に基づ
き前記機構系を駆動して前記光学素子を前記情報記録媒
体上の所定の位置に位置決めするサーボ回路とを有する
情報記録再生装置において、前記光学素子は、前記情報
記録媒体に対向する光導波路もしくは光ファイバの端面
が、前記光導波路もしくは光ファイバ内を伝播する光の
方向に対して傾いている光学素子であることを特徴とす
る情報記録再生装置。
10. An information recording medium on or from which information can be recorded or reproduced by optical means, an optical element for irradiating a predetermined area of the information recording medium with light, and an optical element for irradiating the information recording medium with the optical element. A light detector that detects transmitted light, reflected light or scattered light of the light, and reads information recorded on the information recording medium, and outputs information read by the light detector to the outside of the device, and An interface for receiving an instruction from the device, a mechanism system for relatively moving the information recording medium and the optical element, and comparing an instruction input from outside the device via the interface with information read by the photodetector. A servo circuit that drives the mechanism based on the comparison result to position the optical element at a predetermined position on the information recording medium. Wherein the optical element is an optical element in which an end face of an optical waveguide or an optical fiber facing the information recording medium is inclined with respect to a direction of light propagating in the optical waveguide or the optical fiber. Information recording and reproducing apparatus.
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