JP4949313B2 - Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium - Google Patents

Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium Download PDF

Info

Publication number
JP4949313B2
JP4949313B2 JP2008107187A JP2008107187A JP4949313B2 JP 4949313 B2 JP4949313 B2 JP 4949313B2 JP 2008107187 A JP2008107187 A JP 2008107187A JP 2008107187 A JP2008107187 A JP 2008107187A JP 4949313 B2 JP4949313 B2 JP 4949313B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
information recording
recording medium
metal body
information
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008107187A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009259334A (en
Inventor
昇 岩田
善照 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2008107187A priority Critical patent/JP4949313B2/en
Publication of JP2009259334A publication Critical patent/JP2009259334A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4949313B2 publication Critical patent/JP4949313B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

本発明は、加熱によるか、または加熱および磁気的な作用により情報を記録することができる情報記録媒体に関する。   The present invention relates to an information recording medium capable of recording information by heating or by heating and magnetic action.

近年、高度情報化社会の到来によって取り扱う情報量が膨大となり、記録装置の大容量化、高密度化が求められている。ハードディスクに代表される磁気記録の分野においては、記録媒体、記録ヘッド、および再生ヘッドの特性の向上によって、面密度で1平方インチ辺り300Gbit(300Gbit/inch)を超える記録密度が達成されつつある。記録媒体の面密度の向上は、現在も進んでおり、将来的には、1平方インチ辺り1Tbit(1Tbit/inch)を超えると考えられている。 In recent years, the amount of information handled has become enormous due to the arrival of an advanced information society, and there has been a demand for a large capacity and high density recording apparatus. In the field of magnetic recording typified by hard disks, recording density exceeding 300 Gbit (300 Gbit / inch 2 ) per square inch is being achieved by improving the characteristics of recording media, recording heads, and reproducing heads. . Improvement of the surface density of the recording medium is still progressing, and in the future, it is considered to exceed 1 Tbit per square inch (1 Tbit / inch 2 ).

磁気記録媒体に対して高い空間分解能で磁気ビットを記録できる記録方式としては、光アシスト磁気記録方式が提案されている。光アシスト磁気記録方式は、次世代高密度磁気記録の有望な技術として注目を浴びており、高い保磁力(Hc)を有する熱揺らぎに強い磁気記録媒体に対して磁気記録を行うものである。具体的には、磁気記録媒体の表面に光を集光し、局所的に該磁気記録媒体の温度を上げることにより、該磁気記録媒体の保磁力(Hc)を減少させる。そして、この保磁力(Hc)が減少した部位に外部磁界を印加することによって、該磁気記録媒体に磁気記録を行う。特許文献1には、光アシスト磁気記録方式を用いて、フェリ磁性体からなる記録層を形成した磁気記録媒体に対して情報を記録する方法が開示されている。   As a recording method capable of recording magnetic bits with high spatial resolution on a magnetic recording medium, an optically assisted magnetic recording method has been proposed. The optically assisted magnetic recording system is attracting attention as a promising technology for next-generation high-density magnetic recording, and performs magnetic recording on a magnetic recording medium having a high coercive force (Hc) and resistant to thermal fluctuations. Specifically, the coercive force (Hc) of the magnetic recording medium is reduced by condensing light on the surface of the magnetic recording medium and locally raising the temperature of the magnetic recording medium. Magnetic recording is performed on the magnetic recording medium by applying an external magnetic field to the portion where the coercive force (Hc) is reduced. Patent Document 1 discloses a method of recording information on a magnetic recording medium on which a recording layer made of a ferrimagnetic material is formed using an optically assisted magnetic recording method.

特許文献2〜4には、光アシスト磁気記録方式において、磁気記録媒体を局所的に加熱するための熱源として、近接場光を用いる手法について開示されている。ここで、本明細書等における「近接場光」とは、光の波長よりも小さな微小構造物、例えば開口部のような構造物に光を入射することにより発生し、該開口部のごく近傍にのみ局在する光(電磁場)のことを指す。   Patent Documents 2 to 4 disclose methods using near-field light as a heat source for locally heating a magnetic recording medium in the optically assisted magnetic recording method. Here, “near-field light” in this specification and the like is generated when light is incident on a minute structure smaller than the wavelength of light, for example, a structure such as an opening, and is very close to the opening. It refers to light (electromagnetic field) that is localized only in.

このうち、特許文献3には、強い近接場光が発生する点以外の部分で発生する近接場光の影響を小さくするような、平面状の散乱体を用いたプローブ、および該プローブを記録/再生装置に適用した例が開示されている。特許文献4には、導体にレーザ光を照射し、導体の縁部近傍において強い近接場を発生させるとともに、該導体に電流を流すことによって該導体周辺に磁界を発生させることができる電磁界発生素子、および該電磁界発生素子を情報記録再生装置に適用した例が開示されている。   Among these, in Patent Document 3, a probe using a planar scatterer that reduces the influence of near-field light generated in a portion other than the point where strong near-field light is generated, and the probe are recorded / recorded. An example applied to a playback apparatus is disclosed. Patent Document 4 discloses that an electromagnetic field can be generated by irradiating a conductor with laser light, generating a strong near field near the edge of the conductor, and generating a magnetic field around the conductor by flowing a current through the conductor. An example in which an element and the electromagnetic field generating element are applied to an information recording / reproducing apparatus is disclosed.

また、磁気記録だけでなく、光記録の分野においても、Blu−rayディスク(登録商標)などの高い記録密度を有する記録媒体が開発されている。光記録の分野においても、光源の短波長化、ならびにSIL(Solid Immersion Lens)およびSIM(Solid Immersion Mirror)などの近接場光技術を用いた高密度化が図られている。例えば、特許文献5には、SILと微小開口との組み合わせを用いた近接場ヘッドが開示されている。
特開平04−176034号公報(特許第2617025号公報)(平成4年6月23日公開) 特開2000−195002号公報(平成12年7月14日公開) 特開2004−151046号公報(平成16年5月27日公開) 特開2006−114099号公報(平成18年4月27日公開) 特開2000−163797号公報(平成12年6月16日公開)
In addition to magnetic recording, in the field of optical recording, a recording medium having a high recording density such as a Blu-ray disc (registered trademark) has been developed. Also in the field of optical recording, the wavelength of a light source is shortened and the density is increased by using near-field light technology such as SIL (Solid Immersion Lens) and SIM (Solid Immersion Mirror). For example, Patent Document 5 discloses a near-field head using a combination of SIL and a minute aperture.
Japanese Patent Laid-Open No. 04-176034 (Patent No. 2617025) (published on June 23, 1992) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-195002 (released on July 14, 2000) JP 2004-151046 A (published May 27, 2004) JP 2006-114099 A (published April 27, 2006) JP 2000-163797 A (released on June 16, 2000)

このように、光アシスト磁気記録技術および光記録技術では、記録時に磁気記録媒体を、所定の温度にまで加熱する必要がある。そのため、記録の高速化、すなわち記録に要する時間を短縮するためには、光源である半導体レーザーの照射パワーを強くする必要が生じる。言い換えれば、光アシスト磁気記録技術および光記録技術では、半導体レーザーの出力の上限により、記録速度が制限されてしまうという問題がある。逆に、記録速度を高速化するためには、高出力のレーザー光を発生させなければならず、情報記録装置の消費電力が増大してしまうという問題がある。   Thus, in the optically assisted magnetic recording technology and the optical recording technology, it is necessary to heat the magnetic recording medium to a predetermined temperature during recording. Therefore, in order to increase the recording speed, that is, to shorten the time required for recording, it is necessary to increase the irradiation power of the semiconductor laser as the light source. In other words, the optically assisted magnetic recording technique and the optical recording technique have a problem that the recording speed is limited by the upper limit of the output of the semiconductor laser. Conversely, in order to increase the recording speed, a high-power laser beam must be generated, which causes a problem that the power consumption of the information recording apparatus increases.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、光源の消費電力を増大させることなく、記録に要する時間を短縮した情報記録媒体を提供することである。また、上記情報記録媒体を製造する製造方法、上記情報記録媒体に情報を記録する情報記録装置、および上記情報記録装置による情報の記録方法についても併せて提供する。   The present invention has been made in view of the above problems, and a main object thereof is to provide an information recording medium that shortens the time required for recording without increasing the power consumption of the light source. Also provided are a manufacturing method for manufacturing the information recording medium, an information recording apparatus for recording information on the information recording medium, and a method for recording information by the information recording apparatus.

本発明に係る情報記録媒体は、上記課題を解決するために、
基板上に直接または間接的に形成され、かつ、基板面内方向において連続している情報記録層を備えた情報記録媒体であって、
上記情報記録層は、複数の凸部を有しており、隣接する上記凸部の間には、誘電体を介して金属体が設けられていることを特徴としている。
In order to solve the above problems, an information recording medium according to the present invention provides
An information recording medium comprising an information recording layer formed directly or indirectly on a substrate and continuous in the in-plane direction of the substrate,
The information recording layer has a plurality of convex portions, and a metal body is provided between the adjacent convex portions via a dielectric.

本発明に係る情報記録媒体は、情報記録層において隣接する凸部の間に、誘電体を介して金属体が設けられている。そのため、情報記録媒体に光が照射されることにより、金属体と誘電体との界面において高強度の電界集中(局所プラズモン)を生じさせることができる。これによって、情報記録媒体表面からだけではなく、情報記録媒体内部から情報記録層において情報を記録しようとする箇所を加熱することができるため、情報を記録しようとする箇所を効率良く加熱することができる。   In the information recording medium according to the present invention, a metal body is provided via a dielectric between adjacent convex portions in the information recording layer. Therefore, when the information recording medium is irradiated with light, high-intensity electric field concentration (local plasmon) can be generated at the interface between the metal body and the dielectric. As a result, not only from the surface of the information recording medium but also from the inside of the information recording medium, the location where information is to be recorded in the information recording layer can be heated, so that the location where information is to be recorded can be efficiently heated. it can.

このように、本発明に係る情報記録媒体では、情報記録層において情報を記録しようとする箇所を効率的に加熱することができるため、情報の記録速度を高速化することができる効果を奏する。   As described above, the information recording medium according to the present invention can efficiently heat a portion where information is to be recorded in the information recording layer, and thus has an effect of increasing the information recording speed.

また、光源から発せられる光から変換されたプラズモンは、誘電体と金属体との界面を選択的に伝播し、局在化することから、情報記録層において情報を記録しようとする箇所の周囲のみに電界の集中を引き起こすことができる。これによって、情報記録媒体の局所的な加熱を行うことができるため、高密度に情報を記録することができる効果を奏する。   Also, since plasmons converted from light emitted from the light source selectively propagate and localize at the interface between the dielectric and the metal body, only the area around the location where information is to be recorded in the information recording layer. Can cause electric field concentration. Thereby, since the information recording medium can be locally heated, the information can be recorded with high density.

さらに、隣接する凸部の間の凹部に金属体が形成されることにより、情報記録媒体の表面を平滑に保ちつつ、金属体を情報記録媒体内部に形成することができる。これによって、記録再生ヘッドを情報記録媒体に近接させて記録再生を行うことのできるため、高密度に情報を記録することを可能にすることができる効果も併せて奏する。   Furthermore, by forming the metal body in the concave portion between the adjacent convex portions, the metal body can be formed inside the information recording medium while keeping the surface of the information recording medium smooth. As a result, recording / reproducing can be performed with the recording / reproducing head being brought close to the information recording medium, so that it is possible to record information at a high density.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記情報記録層は、上記基板表面の形状に沿って形成されていることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, it is preferable that the information recording layer is formed along the shape of the substrate surface.

上記の構成によれば、基板上に情報記録層を形成することにより、情報記録層における複数の凸部を形成することができるため、情報記録媒体の製造を容易にすることができる効果を奏する。   According to said structure, since the several convex part in an information recording layer can be formed by forming an information recording layer on a board | substrate, there exists an effect which can manufacture manufacture of an information recording medium easily. .

また、情報記録層の凸部を基板表面の形状に追従する形で形成することができるため、従来の製造方法において必要であった情報記録層の表面に対する大気暴露、また情報記録層をエッチング処理などの工程を回避することができる。このため、情報記録層本来の特性を損なうことを防止することができる効果を併せて奏する。   In addition, since the convex portion of the information recording layer can be formed so as to follow the shape of the substrate surface, exposure to the air on the surface of the information recording layer, which was necessary in the conventional manufacturing method, and etching processing of the information recording layer Such a process can be avoided. For this reason, the effect which can prevent impairing the original characteristic of an information recording layer is produced.

さらに、情報記録層だけでなく、誘電体および金属体も基板上に連続形成することができる効果を奏する。   Furthermore, there is an effect that not only the information recording layer but also a dielectric and a metal can be continuously formed on the substrate.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記金属体は、上記凸部を取り囲むように、連続して設けられていることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, it is preferable that the metal body is continuously provided so as to surround the convex portion.

上記の構成によれば、金属体が、情報記録層に形成されている凸部の周囲に連続して設けられているため、この金属体に囲まれた領域を局所的に強く加熱することができる。これによって、情報記録媒体において微小な記録領域を形成することができる効果を奏する。   According to said structure, since the metal body is provided continuously around the convex part currently formed in the information recording layer, the area | region enclosed by this metal body can be heated locally strongly. it can. This produces an effect that a minute recording area can be formed in the information recording medium.

また、情報記録層が磁性体からなる場合には、情報記録媒体をパターンドメディアとして機能させることができる効果を奏する。   Further, when the information recording layer is made of a magnetic material, there is an effect that the information recording medium can function as a patterned medium.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記金属体は、上記凸部の周囲において、複数に分割して設けられていることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, it is preferable that the metal body is divided into a plurality of portions around the convex portion.

上記の構成によれば、金属体が、情報記録層に形成されている凸部の周囲において、複数に分割して設けられているため、金属体と誘電体との界面で生じたプラズモンは、分割して設けられている金属体毎に閉じ込められる。これによって、金属体と誘電体との界面において、極めて高い電界の集中を引き起こすことができる。すなわち、電界集中が起こった金属体に囲まれた領域である凸部を局所的に非常に強く加熱することができる。   According to the above configuration, since the metal body is divided into a plurality of portions around the convex portion formed in the information recording layer, the plasmon generated at the interface between the metal body and the dielectric is It is confined to each metal body provided separately. This can cause an extremely high electric field concentration at the interface between the metal body and the dielectric. That is, the convex portion, which is a region surrounded by a metal body in which electric field concentration has occurred, can be heated extremely strongly locally.

したがって、情報記録媒体において微小な記録領域を形成することができると共に、光源の消費電力を低減することができる効果を奏する。   Therefore, it is possible to form a minute recording area in the information recording medium and to reduce the power consumption of the light source.

また、情報記録層が磁性体からなる場合には、情報記録媒体をパターンドメディアとして機能させることができる効果を奏する。   Further, when the information recording layer is made of a magnetic material, there is an effect that the information recording medium can function as a patterned medium.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記金属体は、トラック長さ方向に連続して設けられていることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, the metal body is preferably provided continuously in the track length direction.

上記の構成によれば、金属体に挟まれた領域である情報記録層に形成されている凸部を局所的に強く加熱することができる。これによって、情報記録媒体において微小な記録領域を形成することができる効果を奏する。   According to said structure, the convex part currently formed in the information recording layer which is an area | region pinched | interposed into the metal body can be heated locally strongly. This produces an effect that a minute recording area can be formed in the information recording medium.

また、情報記録層が磁性体からなる場合には、情報記録媒体をディスクリートトラックメディアとして機能させることができる効果を奏する。   Further, when the information recording layer is made of a magnetic material, the information recording medium can function as a discrete track medium.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記金属体は、金、銀、アルミニウム、白金、またはこれらのうちの少なくともいずれかを含む合金からなることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, it is preferable that the metal body is made of gold, silver, aluminum, platinum, or an alloy containing at least one of these.

上記の構成によれば、金、銀、アルミニウム、白金、またはこれらのうちの少なくともいずれかを含む合金は、プラズモンの発生効率が高く、プラズモンを金属体と誘電体との界面において、効率よく発生させることができる。   According to the above configuration, gold, silver, aluminum, platinum, or an alloy containing at least one of them has high plasmon generation efficiency, and plasmon is efficiently generated at the interface between the metal body and the dielectric. Can be made.

したがって、金属体として上記の物質を用いることにより、金属体と誘電体との界面において、強い電界の集中を引き起こすことができる効果を奏する。   Therefore, by using the above substance as the metal body, there is an effect that a strong electric field can be concentrated at the interface between the metal body and the dielectric.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記情報記録層は、磁性体からなることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, the information recording layer is preferably made of a magnetic material.

上記の構成によれば、情報記録媒体を光アシスト磁気記録に好適な磁気記録媒体として活用することができる。すなわち、上記構成の情報記録媒体は、光源の消費電力を増加することなく、高密度かつ記録に要する時間を短縮した磁気記録媒体として活用することができる効果を奏する。   According to said structure, an information recording medium can be utilized as a magnetic recording medium suitable for optically assisted magnetic recording. That is, the information recording medium having the above configuration can be used as a magnetic recording medium with high density and reduced recording time without increasing the power consumption of the light source.

また、情報記録層は、連続して設けられているため、情報記録層における凸部同士は、磁気異方性の弱い磁性体によって繋がれていることとなる。これによって、凸部同士が弱い交換結合力を生じるため、静磁結合力が緩和されることとなる。これによって、凸部の間隔を狭めた場合であっても、隣り合う記録磁区が強い静磁結合力で結合してしまい、外部磁界による記録が困難となることを防止することができる効果も併せて奏する。   Moreover, since the information recording layer is provided continuously, the convex portions in the information recording layer are connected by a magnetic material having a weak magnetic anisotropy. Thereby, since the convex portions generate weak exchange coupling force, the magnetostatic coupling force is relaxed. As a result, even when the interval between the convex portions is narrowed, the recording magnetic domains adjacent to each other are coupled with a strong magnetostatic coupling force, and it is possible to prevent the difficulty in recording with an external magnetic field. Play.

本発明に係る情報記録媒体は、さらに、上記情報記録層は、光記録材料からなることが好ましい。   In the information recording medium according to the present invention, the information recording layer is preferably made of an optical recording material.

上記の構成によれば、情報記録媒体を光情報記録に好適な光情報記録媒体として活用できる、すなわち、上記構成の情報記録媒体は、光源の消費電力を増加することなく、高密度かつ記録に要する時間を短縮した光情報記録媒体として活用することができる効果を奏する。   According to the above configuration, the information recording medium can be used as an optical information recording medium suitable for optical information recording. In other words, the information recording medium having the above configuration is capable of high density and recording without increasing the power consumption of the light source. There is an effect that it can be utilized as an optical information recording medium in which the time required is shortened.

情報記録層が磁性体からなる情報記録媒体または情報記録層が光記録材料からなる情報記録媒体に対して情報を記録すると共に、当該記録媒体から情報を再生する情報記録再生装置も本発明の範疇に含まれる。   An information recording / reproducing apparatus that records information on an information recording medium in which the information recording layer is made of a magnetic material or an information recording medium in which the information recording layer is made of an optical recording material and reproduces information from the recording medium also falls within the scope of the present invention. include.

本発明に係る情報記録再生装置は、さらに、上記光源と上記情報記録媒体との間であり、かつ、上記光の経路上に、近接場光を生成する近接場光生成手段を備えていることが好ましい。   The information recording / reproducing apparatus according to the present invention further includes near-field light generating means for generating near-field light between the light source and the information recording medium and on the light path. Is preferred.

上記の構成によれば、情報記録媒体に照射される光のサイズを波長サイズ以下に小さくすることができる。これによって、情報記録層をより一層加熱しやすくなるため、情報の記録に要する時間をより一層短縮することができる効果を奏する。   According to said structure, the size of the light irradiated to an information recording medium can be made small below a wavelength size. As a result, the information recording layer can be more easily heated, so that the time required for information recording can be further shortened.

さらに、情報記録層が磁性体からなる情報記録媒体に対して光を照射し、上記情報記録媒体における情報記録領域を加熱する加熱工程と、上記情報記録領域に対して磁界を印加する磁界印加工程と、を含む情報記録方法も本発明の範疇に含まれる。   Furthermore, a heating process of irradiating the information recording medium whose information recording layer is made of a magnetic material to heat the information recording area of the information recording medium, and a magnetic field applying process of applying a magnetic field to the information recording area The information recording method including the above is also included in the category of the present invention.

さらに、情報記録層が光記録材料からなる情報記録媒体に対して光を照射し、上記情報記録媒体における情報記録領域を加熱する加熱工程を含む情報記録方法も本発明の範疇に含まれる。   Furthermore, an information recording method including a heating step of irradiating an information recording medium in which the information recording layer is made of an optical recording material and heating an information recording area of the information recording medium is also included in the scope of the present invention.

さらに、情報記録層が磁性体からなる情報記録媒体から発生する漏洩磁界を検出する漏洩磁界検出工程を含む情報再生方法も本発明の範疇に含まれる。   Furthermore, an information reproducing method including a leakage magnetic field detection step of detecting a leakage magnetic field generated from an information recording medium whose information recording layer is made of a magnetic material is also included in the scope of the present invention.

さらに、情報記録層が光記録材料からなる情報記録媒体から反射する反射光の光量を検出する光量検出工程を含む情報再生方法も本発明の範疇に含まれる。   Furthermore, an information reproducing method including a light amount detection step of detecting the amount of reflected light reflected from an information recording medium whose information recording layer is made of an optical recording material is also included in the scope of the present invention.

また、基板上に直接または間接的に形成された層であって、かつ、基板面内方向において連続して形成されていると共に、複数の凸部を有する情報記録層を形成する工程と、隣接する上記凸部の間に、誘電体を介して金属体を形成する工程と、を含む情報記録媒体の製造方法も本発明の範疇に含まれる。   Also, a layer formed directly or indirectly on the substrate and continuously formed in the in-plane direction of the substrate, and forming an information recording layer having a plurality of convex portions, adjacent to the step A method of manufacturing an information recording medium including a step of forming a metal body via a dielectric between the convex portions is also included in the scope of the present invention.

本発明に係る情報記録媒体は、以上のように、基板面内方向において連続している情報記録層に形成されている、互いに隣接する凸部の間には、誘電体を介して金属体が設けられている。   As described above, the information recording medium according to the present invention is formed on the information recording layer that is continuous in the in-plane direction of the substrate, and a metal body is interposed between the adjacent convex portions via a dielectric. Is provided.

これによって、光源の消費電力を増加することなく、情報記録媒体の記録密度を高密度化すると共に、記録に要する時間を短縮する(すなわち、記録速度を高速化する)ことができる効果を奏する。   As a result, the recording density of the information recording medium can be increased and the time required for recording can be shortened (that is, the recording speed can be increased) without increasing the power consumption of the light source.

〔実施形態1〕
本発明に係る情報記録媒体の一実施形態について、図1から7を参照しつつ以下に説明する。
Embodiment 1
An embodiment of an information recording medium according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

(情報記録媒体1aの構成)
本実施形態に係る情報記録媒体1aの構成について、図1および2(a)〜(c)を参照して以下に説明する。図1は、情報記録媒体1aの構成を示す概略断面図である。図2(a)〜(c)は、情報記録媒体1aの構成を示す平面図であり、(a)は図1のAA´線における平面図であり、(b)は図1のBB´における平面図であり、(c)は図1のCC´における平面図である。
(Configuration of information recording medium 1a)
The configuration of the information recording medium 1a according to the present embodiment will be described below with reference to FIGS. 1 and 2 (a) to (c). FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the information recording medium 1a. 2A to 2C are plan views showing the configuration of the information recording medium 1a. FIG. 2A is a plan view taken along the line AA 'in FIG. 1, and FIG. It is a top view, (c) is a top view in CC 'of FIG.

図1および2(a)〜(c)に示すように、情報記録媒体1aは、基板11、記録層(情報記録層)12、誘電体13、金属体14、保護層15を備えている。なお、図1に示す記録ヘッド70は、情報記録媒体1aを構成する部材ではないが、本発明の理解を容易とするため、便宜上図1に示している。   As shown in FIGS. 1 and 2 (a) to 2 (c), the information recording medium 1 a includes a substrate 11, a recording layer (information recording layer) 12, a dielectric 13, a metal body 14, and a protective layer 15. The recording head 70 shown in FIG. 1 is not a member constituting the information recording medium 1a, but is shown in FIG. 1 for convenience in order to facilitate understanding of the present invention.

情報記録媒体1aは、記録層12において各種情報を記録する。より具体的には、記録層12のうち、凸部12aの領域において情報を記録する。   The information recording medium 1a records various information in the recording layer 12. More specifically, information is recorded in the region of the convex portion 12 a in the recording layer 12.

情報記録媒体1aを構成する各部材について、以下に説明する。   Each member constituting the information recording medium 1a will be described below.

(基板11)
基板11は、その上に形成される記録層12などを変形させることなく保持するものであり、その表面に複数の凸部11aを備えている。
(Substrate 11)
The substrate 11 holds the recording layer 12 and the like formed thereon without being deformed, and has a plurality of convex portions 11a on the surface thereof.

凸部11aは、基板11の表面に複数設けられている。凸部11aは、後に形成される記録層12の形状(および誘電体13の形状)に反映される。なお、本明細書等では、基板11と凸部11aとが異なる材質からなる場合であっても、凸部11aは基板の一部であるとしている。   A plurality of convex portions 11 a are provided on the surface of the substrate 11. The convex portion 11a is reflected in the shape of the recording layer 12 (and the shape of the dielectric 13) to be formed later. In the present specification and the like, even if the substrate 11 and the convex portion 11a are made of different materials, the convex portion 11a is a part of the substrate.

(記録層12)
記録層12は、情報を記録、保持する記録材料からなる層である。記録層12は、図1に示すように、基板面内方向において連続して形成されている。すなわち、記録層12は、誘電体13および金属体14などにより互いに分離されることなく、連続した層として形成されている。
(Recording layer 12)
The recording layer 12 is a layer made of a recording material that records and holds information. As shown in FIG. 1, the recording layer 12 is formed continuously in the in-plane direction of the substrate. That is, the recording layer 12 is formed as a continuous layer without being separated from each other by the dielectric 13 and the metal body 14.

また、記録層12は、基板11における凸部11aの形状に追従するように、凸部12aが設けられている。すなわち、図1に示すように、記録層12の形状は、基板11の表面形状に沿った形状となっている。なお、記録層12の形状は、基板11の表面形状に沿ったものでなくてもよい。記録層12の形状が基板11の表面形状に沿ったものではない場合についての説明は、情報記録媒体1aの変形例の項に記載する。   The recording layer 12 is provided with a convex portion 12 a so as to follow the shape of the convex portion 11 a on the substrate 11. That is, as shown in FIG. 1, the shape of the recording layer 12 is a shape along the surface shape of the substrate 11. Note that the shape of the recording layer 12 may not be along the surface shape of the substrate 11. The description of the case where the shape of the recording layer 12 is not along the surface shape of the substrate 11 will be described in the section of a modification of the information recording medium 1a.

(誘電体13)
誘電体13は、記録層12上に形成され、記録層12を保護するとともに、金属体14との界面において局在プラズモンを高効率で生成するために設けられている。
(Dielectric 13)
The dielectric 13 is formed on the recording layer 12 to protect the recording layer 12 and to generate localized plasmons at the interface with the metal body 14 with high efficiency.

(金属体14)
金属体14は、隣接する凸部12aの間に、誘電体13を介して設けられている。金属体14は、情報記録媒体1aに対する光の照射によって、誘電体13との界面において局在プラズモンを生じるために設けられている。
(Metal body 14)
The metal body 14 is provided via the dielectric 13 between the adjacent convex portions 12a. The metal body 14 is provided in order to generate localized plasmons at the interface with the dielectric 13 when the information recording medium 1a is irradiated with light.

(保護層15)
保護層15は、記録層12、誘電体13、および金属体14を保護するために設けられるものである。なお、保護層15上に、記録ヘッド70または光ピックアップなどとの接触による情報記録媒体1aの損傷を防ぐための潤滑層をさらに設けてもよい。
(Protective layer 15)
The protective layer 15 is provided to protect the recording layer 12, the dielectric 13, and the metal body 14. A lubricating layer may be further provided on the protective layer 15 to prevent damage to the information recording medium 1a due to contact with the recording head 70 or an optical pickup.

(記録ヘッド70)
最後に、図1に示す記録ヘッド70の構成について、以下に説明する。図1に示すように、記録ヘッド70は、近接場光発生部材73、集光レンズ74、および光源75を備えている。近接場光72の生成について、以下に詳述する。
(Recording head 70)
Finally, the configuration of the recording head 70 shown in FIG. 1 will be described below. As shown in FIG. 1, the recording head 70 includes a near-field light generating member 73, a condenser lens 74, and a light source 75. The generation of the near-field light 72 will be described in detail below.

具体的には、光源75から発せられ、集光レンズ74を通過したレーザー光71が、近接場光発生部材73を通過することによって、近接場光72が生成する。生成した近接場光72は、情報記録媒体1aに照射される。なお、レーザー光71は、必ずしも集光レンズ74を通過するものである必要はなく、光源75から発せられた光が直接近接場光発生部材73に到達してもよい。   Specifically, the near-field light 72 is generated when the laser light 71 emitted from the light source 75 and passed through the condenser lens 74 passes through the near-field light generating member 73. The generated near-field light 72 is applied to the information recording medium 1a. The laser light 71 does not necessarily pass through the condenser lens 74, and the light emitted from the light source 75 may directly reach the near-field light generating member 73.

近接場光発生部材73としては、従来公知のものを用いることができる。具体的には、レーザー光源の波長よりも小さな微小開口が形成された金属板または金属薄膜、光導波路または光プローブ、散乱体、および電磁界発生素子などを挙げることができる。   As the near-field light generating member 73, a conventionally known one can be used. Specific examples include a metal plate or metal thin film in which a microscopic aperture smaller than the wavelength of the laser light source is formed, an optical waveguide or optical probe, a scatterer, and an electromagnetic field generating element.

なお、本発明に係る情報記録媒体の記録再生に際しては、近接場光発生部材73の利用は必須ではない。すなわち、光源75から発せられる光が、集光レンズ74を通って情報記録媒体1a上に直接照射されるものであってもよい。このとき、集光レンズ74は1枚のレンズであってもよいし、複数のレンズが組み合わされた群レンズであってもよい。   Note that the use of the near-field light generating member 73 is not indispensable when recording / reproducing information on the information recording medium according to the present invention. That is, the light emitted from the light source 75 may be directly irradiated onto the information recording medium 1 a through the condenser lens 74. At this time, the condenser lens 74 may be a single lens or a group lens in which a plurality of lenses are combined.

(情報記録媒体1aの作用効果)
情報記録媒体1aは、隣接する凸部12aの間に、誘電体13を介して金属体14が設けられている。これによって、近接場光72(伝播光を用いる場合にはレーザー光71)の照射の際に、誘電体13と金属体14との界面において、プラズモンが生成されるため、誘電体13と金属体14との界面において強い電界の集中が引き起こされる。このように、情報記録媒体1aでは、その内部において、電界の集中を引き起こすことができるため、記録層12の所望の箇所(情報を記録する箇所)を内部から加熱することができる。すなわち、記録層12における情報の記録箇所を効率的に加熱することができるため、近接場光72(レーザー光71)の強度を増強することなく、情報の記録速度を高速化することができる。
(Operational effect of information recording medium 1a)
In the information recording medium 1a, a metal body 14 is provided between adjacent convex portions 12a with a dielectric 13 interposed therebetween. As a result, plasmons are generated at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14 when the near-field light 72 (laser light 71 when propagating light is used) is irradiated. A strong electric field concentration is caused at the interface with 14. As described above, in the information recording medium 1a, the concentration of the electric field can be caused inside the information recording medium 1a. Therefore, a desired location (location where information is recorded) of the recording layer 12 can be heated from the inside. That is, since the information recording portion in the recording layer 12 can be efficiently heated, the information recording speed can be increased without increasing the intensity of the near-field light 72 (laser light 71).

また、光源75から発せられる光から変換されたプラズモンは、誘電体13と金属体14との界面を選択的に伝播し、局在化することから、記録層12において情報を記録しようとする箇所の周囲のみに電界の集中を引き起こすことができる。これによって、情報記録媒体1aにおける局所的な加熱を行うことができるため、高密度に情報を記録することができる。   In addition, the plasmon converted from the light emitted from the light source 75 selectively propagates and localizes at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14, and therefore, a location where information is to be recorded in the recording layer 12. The concentration of the electric field can be caused only in the vicinity of the. Thereby, since the local heating in the information recording medium 1a can be performed, information can be recorded with high density.

ここで、本明細書等における「プラズモン」とは、金属−誘電体界面に生じる電子の疎密波の一種を指している。近接場光(またはレーザー光)から変換されたプラズモンは、金属と誘電体との界面を伝播し、当該界面の形状変化がある部分において、局在した状態である局所プラズモンとなる。これによって、電界の集中が引き起こされ、局所プラズモンは、熱へと変換される。   Here, “plasmon” in this specification and the like refers to a kind of electron density wave generated at the metal-dielectric interface. The plasmon converted from the near-field light (or laser light) propagates through the interface between the metal and the dielectric, and becomes a local plasmon in a localized state at a portion where the shape of the interface changes. This causes an electric field concentration and local plasmons are converted into heat.

また、情報記録媒体1aは、金属体14を情報記録媒体1a内部に形成することができる。これによって、情報記録媒体1aの表面を平滑に保つことができるため、記録再生ヘッドを情報記録媒体1aに近接させて記録再生を行うことができる。そのため、高密度に情報を記録することを可能にすることができる。   Moreover, the information recording medium 1a can form the metal body 14 inside the information recording medium 1a. Thereby, since the surface of the information recording medium 1a can be kept smooth, the recording / reproducing head can be brought close to the information recording medium 1a to perform recording / reproducing. Therefore, information can be recorded with high density.

さらに、情報記録媒体1aにおいて、記録層12は、誘電体13および金属体14により分離されることなく、連続した層として設けられている。これによって、金属体14に囲まれた領域を局所的に強く加熱することができるため、情報記録媒体1aにおいて微小な記録領域を形成することができる。   Furthermore, in the information recording medium 1 a, the recording layer 12 is provided as a continuous layer without being separated by the dielectric 13 and the metal body 14. Accordingly, the region surrounded by the metal body 14 can be heated locally and strongly, so that a minute recording region can be formed in the information recording medium 1a.

なお、記録層12が磁性体からなる場合には、情報記録媒体1aをパターンドメディアとして機能させることができる。この場合、記録層12の凸部12a同士は、磁気異方性の弱い磁性体によって繋がれていることとなる。これによって、凸部12a同士が弱い交換結合力を生じるため、静磁結合力が緩和されることとなる。そのため、凸部12aの間隔を狭めた場合、すなわち記録媒体1aを高密度な記録媒体とする場合であっても、隣り合う記録磁区が強い静磁結合力で結合してしまい、外部磁界による記録が困難となることを防止することができる。   When the recording layer 12 is made of a magnetic material, the information recording medium 1a can function as a patterned medium. In this case, the convex portions 12a of the recording layer 12 are connected by a magnetic material having a weak magnetic anisotropy. As a result, the convex portions 12a generate a weak exchange coupling force, so that the magnetostatic coupling force is relaxed. Therefore, even when the interval between the convex portions 12a is narrowed, that is, when the recording medium 1a is a high-density recording medium, adjacent recording magnetic domains are coupled with a strong magnetostatic coupling force, and recording by an external magnetic field is performed. Can be prevented from becoming difficult.

(基板11の詳細)
基板11の材質および形状は、記録層12などの各層を変形させることなく保持できれば特に限定されるものではない。
(Details of substrate 11)
The material and shape of the substrate 11 are not particularly limited as long as each layer such as the recording layer 12 can be held without being deformed.

基板11の材質としては、例えば、金属、酸化物、窒化物、半導体および樹脂などを用いることができる。より具体的には、二酸化ケイ素、リン化ニッケルをコートしたアルミニウム、ポリカーボネーなどを挙げることができる。また、基板11の形状は、記録媒体1aが円形であることが一般的であるため、円形であることが好ましい。しかし、円形以外の形状であってもよい。   As a material of the substrate 11, for example, a metal, an oxide, a nitride, a semiconductor, a resin, or the like can be used. More specifically, silicon dioxide, aluminum coated with nickel phosphide, polycarbonate and the like can be mentioned. In addition, since the recording medium 1a is generally circular, the substrate 11 is preferably circular. However, shapes other than circular may be used.

(凸部11aの詳細)
凸部11aは、基板11と同一材料からなるものであってもよいし、異なる材料からなってもよい。また、凸部11aは、基板11上に付着することによって形成されてもよく、基板11を削ることにより形成されてもよい。
(Details of convex portion 11a)
The convex portion 11a may be made of the same material as the substrate 11, or may be made of a different material. Moreover, the convex part 11a may be formed by adhering on the board | substrate 11, and may be formed by shaving the board | substrate 11. FIG.

また、凸部11aの断面形状は、図1および2(a)〜(c)に示すような曲率を持った形状であってもよいし、矩形状またはこれに近い形状であってもよい。さらに、上面から見た場合の形状も、円形(凸部11aは円柱状)、矩形(凸部11aは四角柱状)、または六角形など、特に限定されるものではない。凸部11aの断面形状が半円形でない場合については、図4および5に示す。   Further, the cross-sectional shape of the convex portion 11a may be a shape having a curvature as shown in FIGS. 1 and 2 (a) to (c), or may be a rectangular shape or a shape close thereto. Furthermore, the shape when viewed from the top is not particularly limited, such as a circle (the convex portion 11a is a columnar shape), a rectangle (the convex portion 11a is a quadrangular prism shape), or a hexagon. The case where the cross-sectional shape of the convex portion 11a is not semicircular is shown in FIGS.

基板11面に対する凸部11aの高さ(すなわち、凸部11aの頂点と底部との距離)は、5nm以上であることが好ましい。これは、記録層12における凸部12aの間に形成される金属体14の厚みを得るためである。   The height of the convex portion 11a with respect to the surface of the substrate 11 (that is, the distance between the apex and the bottom portion of the convex portion 11a) is preferably 5 nm or more. This is to obtain the thickness of the metal body 14 formed between the convex portions 12 a in the recording layer 12.

(記録層12の詳細)
記録層12の材質は、特に限定されるものではなく、情報記録媒体1aの種類に応じて適宜設定することができる。例えば、情報記録媒体1aが磁気記録媒体である場合には、記録層12は、磁性体からなる。また、情報記録媒体1aが光記録媒体である倍には、記録層12は光記録媒体からなる。
(Details of recording layer 12)
The material of the recording layer 12 is not particularly limited, and can be appropriately set according to the type of the information recording medium 1a. For example, when the information recording medium 1a is a magnetic recording medium, the recording layer 12 is made of a magnetic material. In addition, the recording layer 12 is made of an optical recording medium twice as long as the information recording medium 1a is an optical recording medium.

記録層12が磁性体からなる場合、磁性体は、例えば、強磁性体材料、フェリ磁性体材料、またはこれらの積層膜からなることが好ましい。これらの積層膜のうち、高密度記録を行う観点から、基板面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直磁化膜であることがより好ましい。より具体的には、コバルト−クロム−白金合金、コバルト−クロム−白金−ホウ素合金、コバルト−白金合金、コバルト−ニッケル−白金合金、鉄−白金合金、鉄−ニッケル−白金合金、テルビウム−鉄合金、テルビウム−鉄−コバルト合金、ディスプロシウム−鉄合金、またはディスプロシウム−鉄−コバルト合金を挙げることができる。また、これらの合金を主体とする強磁性体またはフェリ磁性体であってもよい。   When the recording layer 12 is made of a magnetic material, the magnetic material is preferably made of, for example, a ferromagnetic material, a ferrimagnetic material, or a laminated film thereof. Of these laminated films, a perpendicular magnetization film having an easy axis in the direction perpendicular to the substrate surface is more preferable from the viewpoint of high density recording. More specifically, cobalt-chromium-platinum alloy, cobalt-chromium-platinum-boron alloy, cobalt-platinum alloy, cobalt-nickel-platinum alloy, iron-platinum alloy, iron-nickel-platinum alloy, terbium-iron alloy Terbium-iron-cobalt alloy, dysprosium-iron alloy, or dysprosium-iron-cobalt alloy. Further, a ferromagnetic material or a ferrimagnetic material mainly composed of these alloys may be used.

記録層12が光記録材料からなる場合、光記録材料としては、ビスマス−ゲルマニウム合金、アンチモン−テルル合金、ゲルマニウム−アンチモン−テルル合金、インジウム−アンチモン−テルル合金、ゲルマニウム−アンチモン−テルル合金などの相変化材料を挙げることができる。また、光記録材料は、これらの合金を主体とする材料であってもよい。もちろん、光記録材料は、相変化材料に限定されるものではなく、追記型材料であってもよい。追記型材料としては、シリコン−銅合金、アルミ−銅合金、またはこれらを主体とする材料を挙げることができる。すなわち、光記録材料は、書き換え型や追記型光ディスクの記録材料に適用される材料であれば特に限定されるものではない。   When the recording layer 12 is made of an optical recording material, examples of the optical recording material include phases such as a bismuth-germanium alloy, an antimony-tellurium alloy, a germanium-antimony-tellurium alloy, an indium-antimony-tellurium alloy, and a germanium-antimony-tellurium alloy. Mention may be made of changing materials. The optical recording material may be a material mainly composed of these alloys. Of course, the optical recording material is not limited to the phase change material, and may be a write-once material. Examples of the write-once material include a silicon-copper alloy, an aluminum-copper alloy, or a material mainly composed of these. That is, the optical recording material is not particularly limited as long as it is a material applied to a recording material for a rewritable or write once optical disc.

また、記録層12が磁性体からなる場合には、記録層12と基板11(または凸部11a)との間に軟磁性体層(図示しない)が形成されていてもよい。軟磁性体層は、SUL(Soft underlayer)とも称される層であり、記録層12に外部磁界を印加する際に、基板11面に垂直な方向の磁界を増強し、記録を補助するための層である。軟磁性体層の材料としては、例えば、ニッケル−鉄合金、ニッケル−鉄−タンタル合金、コバルト−ジルコニウム合金、またはこれらの合金を主体とする軟磁性体などを挙げることができる。なお、軟磁性体層が形成される場合、凸部11aは、基板11上に形成されず、軟磁性体層の表面に軟磁性体層と同一または異なる材料により形成されてもよい。   When the recording layer 12 is made of a magnetic material, a soft magnetic material layer (not shown) may be formed between the recording layer 12 and the substrate 11 (or the protrusion 11a). The soft magnetic layer is also referred to as a SUL (Soft Underlayer), and enhances the magnetic field in a direction perpendicular to the surface of the substrate 11 when an external magnetic field is applied to the recording layer 12 to assist recording. Is a layer. Examples of the material for the soft magnetic layer include a nickel-iron alloy, a nickel-iron-tantalum alloy, a cobalt-zirconium alloy, or a soft magnetic material mainly composed of these alloys. When the soft magnetic layer is formed, the convex portion 11a may not be formed on the substrate 11, but may be formed on the surface of the soft magnetic layer with the same or different material as the soft magnetic layer.

(誘電体13の詳細)
誘電体13の材質としては、例えば、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、および窒化ガリウムに代表されるような透明誘電体材料を挙げることができる。
(Details of dielectric 13)
Examples of the material of the dielectric 13 include transparent dielectric materials represented by silicon dioxide, silicon nitride, aluminum oxide, aluminum nitride, magnesium oxide, magnesium fluoride, and gallium nitride.

なお、記録ヘッド70と記録層12とを極力近付ける観点から、保護層15のみで記録層12の保護が可能な場合には、誘電体13は金属体14と接する箇所のみに形成されていればよい。すなわち、記録層12の凸部12a上には形成されていなくてもよい。この場合、情報記録媒体1aは、記録層12と保護層15とが接する構成となる。   From the viewpoint of bringing the recording head 70 and the recording layer 12 as close as possible, if the recording layer 12 can be protected only by the protective layer 15, the dielectric 13 should be formed only at a location in contact with the metal body 14. Good. That is, it does not have to be formed on the convex portion 12 a of the recording layer 12. In this case, the information recording medium 1a has a configuration in which the recording layer 12 and the protective layer 15 are in contact with each other.

また、誘電体13の厚みは、2nm以上、30nm以下の範囲であることが特に好ましい。誘電体13の厚みが2nm以上であるとき、金属体14と誘電体13との界面において、電界の集中を引き起こすことができる。誘電体13における幅の上限は、特に限定されるものではないが、近接場光72が記録層12に到達する距離を考慮して、30nm以下とすることが好ましい。   The thickness of the dielectric 13 is particularly preferably in the range of 2 nm or more and 30 nm or less. When the thickness of the dielectric 13 is 2 nm or more, electric field concentration can be caused at the interface between the metal body 14 and the dielectric 13. The upper limit of the width of the dielectric 13 is not particularly limited, but is preferably 30 nm or less in consideration of the distance that the near-field light 72 reaches the recording layer 12.

(金属体14の詳細)
金属体14の材質としては、プラズモンの発生効率を高める観点から、金、銀、アルミニウム、白金、またはこれらの金属の少なくともいずれかを主体とする合金を用いることが好ましい。これらの金属は、プラズモンの発生効率が高いため、誘電体13との界面においてプラズモンを効率良く発生させることができる。
(Details of metal body 14)
As a material of the metal body 14, it is preferable to use gold, silver, aluminum, platinum, or an alloy mainly composed of at least one of these metals from the viewpoint of increasing the plasmon generation efficiency. Since these metals have high plasmon generation efficiency, plasmons can be efficiently generated at the interface with the dielectric 13.

金属体14の材質として、金または金を主体とする合金を用いた場合には、光源75として600nm〜1.5μm程度の波長のレーザー光を発生させる光源を用いることによって、強い電界の集中を引き起こすことができる。金属体14の材質として銀、アルミニウム、白金、またはこれらの金属主体とする合金を用いた場合には、光源75として600nm以下の短波長レーザー光を発生させる光源を用いることによって、強い電界の集中を引き起こすことができる。   When gold or an alloy mainly composed of gold is used as the material of the metal body 14, strong electric field concentration can be obtained by using a light source that generates laser light having a wavelength of about 600 nm to 1.5 μm as the light source 75. Can cause. When silver, aluminum, platinum, or an alloy mainly composed of these metals is used as the material of the metal body 14, a strong electric field concentration can be obtained by using a light source that generates a short-wavelength laser beam of 600 nm or less as the light source 75. Can cause.

また、金属体14の基板11面に平行な方向における長さ(以下、幅)は、2nm以上、50nm以下の範囲であることが好ましい。金属体14の幅が2nm以上であるとき、金属体14と誘電体13との界面において電界の集中を引き起こすことができる。金属体14の幅の上限は、特に限定されるものではないが、面密度が1Tbit/inch近傍の高密度な情報記録媒体において使用する場合には、50nm以下とすることが好ましい。なお、金属体14の幅が一様でない場合には、最大幅が上記の範囲であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the length (henceforth, width) in the direction parallel to the board | substrate 11 surface of the metal body 14 is the range of 2 nm or more and 50 nm or less. When the width of the metal body 14 is 2 nm or more, electric field concentration can be caused at the interface between the metal body 14 and the dielectric 13. The upper limit of the width of the metal body 14 is not particularly limited, but is preferably 50 nm or less when used in a high-density information recording medium having a surface density of about 1 Tbit / inch 2 . When the width of the metal body 14 is not uniform, the maximum width is preferably in the above range.

金属体14の基板11面に垂直な方向における長さ(以下、厚み)は、2nm以上、70nm以下の範囲であることが好ましい。金属体14の厚みが2nm以上であるとき、金属体14と誘電体13との界面において電界の集中を引き起こすことができる。金属体14における厚みの上限は、特に限定されるものではないが、金属体14のアスペクト比が大きくなると、金属体14の膜厚が厚くなる。金属体14の膜厚が厚くなると、金属体14を研磨(エッチング)するために長い時間を要することとなる。このため、金属体14の厚みは、70nm以下程度とすることが望ましい。   The length (hereinafter, thickness) in the direction perpendicular to the surface of the substrate 11 of the metal body 14 is preferably in the range of 2 nm or more and 70 nm or less. When the thickness of the metal body 14 is 2 nm or more, electric field concentration can be caused at the interface between the metal body 14 and the dielectric 13. The upper limit of the thickness of the metal body 14 is not particularly limited, but as the aspect ratio of the metal body 14 increases, the thickness of the metal body 14 increases. When the thickness of the metal body 14 is increased, it takes a long time to polish (etch) the metal body 14. For this reason, the thickness of the metal body 14 is desirably about 70 nm or less.

(保護層15の詳細)
保護層15の材質としては、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)に代表されるような平滑であり、硬質の薄膜、または光硬化樹脂などの保護効果の高い材料を挙げることができる。
(Details of protective layer 15)
Examples of the material of the protective layer 15 include a smooth material as typified by diamond-like carbon (DLC), and a material having a high protective effect such as a hard thin film or a photo-curing resin.

(情報記録媒体1aの製造方法)
次に、情報記録媒体1aの製造方法について、図3(a)〜(d)を参照して以下に説明する。図3(a)〜(d)は、情報記録媒体1aの製造方法を示した図であり、(a)は、基板11上における凸部11aの形成を示しており、(b)は記録層12、誘電体13、金属体14の形成を示しており、(c)は、金属体14の部分的な除去を示しており、(d)は、保護層15の形成を示している。
(Method of manufacturing information recording medium 1a)
Next, a method for manufacturing the information recording medium 1a will be described below with reference to FIGS. 3 (a) to 3 (d). FIGS. 3A to 3D are views showing a method for manufacturing the information recording medium 1a. FIG. 3A shows the formation of the convex portion 11a on the substrate 11, and FIG. 3B shows the recording layer. 12 shows the formation of the dielectric 13 and the metal body 14, (c) shows the partial removal of the metal body 14, and (d) shows the formation of the protective layer 15.

情報記録媒体1aの製造方法は、主として、複数の凸部12aを有し、連続して備えられている記録層12を形成する工程と、隣接する凸部12aの間に、誘電体13および金属体14を設ける工程と、を含んでいる。これらの工程を含む情報記録媒体1aの製造方法の詳細について、以下に詳述する。   The manufacturing method of the information recording medium 1a mainly includes a dielectric 13 and a metal between the step of forming a recording layer 12 having a plurality of convex portions 12a and continuously provided and the adjacent convex portions 12a. Providing a body 14. Details of the method of manufacturing the information recording medium 1a including these steps will be described in detail below.

(凸部11aの作製)
情報記録媒体1aにおいて、記録層12における凹凸形状は、凸部11aの形状に沿うように記録層12を形成することにより実現している。すなわち、情報記録媒体1aにおける凹凸形状は、基板11aにおける凸部11aの形成に依存している。
(Preparation of convex part 11a)
In the information recording medium 1a, the uneven shape in the recording layer 12 is realized by forming the recording layer 12 along the shape of the convex portion 11a. That is, the uneven shape in the information recording medium 1a depends on the formation of the convex portion 11a in the substrate 11a.

基板11上に凸部11aを形成については、図3(a)に示す。凸部11aの形成方法は、基板11上に凹凸形状を形成することができるものであれば、特に限定されるものではない。例えば、電子線リソグラフィーを用いてドット状にしたレジストをマスクとして、基板11をエッチングすることにより形成すればよい。また、自己組織化分子を用いる方法を用いてもよいし、島状形成した金属や酸化物、窒化物を凸部11aとしてもよい。また、これらをマスク材として基板11をエッチングする方法を用いてもよい。基板11のエッチングには、例えば、イオンミリング法またはリアクティブイオンエッチング(RIE)法を用いることができる。また、基板11に対して直接FIB(Focused Ion Beam)で加工を施して凸部11aを形成するようにしてもよい。   The formation of the convex portion 11a on the substrate 11 is shown in FIG. The formation method of the convex part 11a will not be specifically limited if uneven | corrugated shape can be formed on the board | substrate 11. FIG. For example, the substrate 11 may be formed by etching using a resist formed into a dot shape using electron beam lithography as a mask. Alternatively, a method using self-assembled molecules may be used, and island-formed metal, oxide, or nitride may be used as the convex portion 11a. Alternatively, a method of etching the substrate 11 using these as a mask material may be used. For the etching of the substrate 11, for example, an ion milling method or a reactive ion etching (RIE) method can be used. Alternatively, the convex portion 11a may be formed by processing the substrate 11 directly using FIB (Focused Ion Beam).

このとき、記録層12の凸部12a上に形成された部分を情報の記録に用い、個々の凸部12aに対応して1つのビットの情報を記録する場合には、凸部11aの直径を20nm程度とし、凸部11aの間隔を5nm程度とすることが好ましい。これによって、情報記録媒体1aの面密度が1Tbit/inch相当の情報記録媒体とすることができる。もちろん、情報記録媒体1aが、必ずしも個々の凸部12aに対応して1つのビットが記録される媒体である必要はなく、複数の凸部11aにまたがって記録ビットが形成されていてもよい。 At this time, when the portion formed on the convex portion 12a of the recording layer 12 is used for recording information and information of one bit is recorded corresponding to each convex portion 12a, the diameter of the convex portion 11a is It is preferable that the distance is approximately 20 nm and the interval between the convex portions 11a is approximately 5 nm. As a result, the information recording medium 1a can be an information recording medium having a surface density equivalent to 1 Tbit / inch 2 . Of course, the information recording medium 1a does not necessarily have to be a medium on which one bit is recorded corresponding to each convex portion 12a, and a recording bit may be formed across a plurality of convex portions 11a.

(記録層12、誘電体13、金属体14の作製)
続いて、図3(b)に示すように、スパッタリングまたは蒸着などの手法を用いて、記録層12を基板11および凸部11a上に形成する。このとき、記録層12の形状は、基板11および凸部11aに沿って形成されるため、凸部11aの形成されている領域の記録層12は、凸部となり、凸部11aの形成されていない領域の記録層12は凹部となる。すなわち、記録層12における凸部12aが形成される。
(Preparation of recording layer 12, dielectric 13 and metal 14)
Subsequently, as shown in FIG. 3B, the recording layer 12 is formed on the substrate 11 and the convex portion 11a by using a technique such as sputtering or vapor deposition. At this time, since the shape of the recording layer 12 is formed along the substrate 11 and the convex portion 11a, the recording layer 12 in the region where the convex portion 11a is formed becomes a convex portion, and the convex portion 11a is formed. The recording layer 12 in the non-existing region becomes a recess. That is, the convex part 12a in the recording layer 12 is formed.

そして、隣接する凸部12aの間に誘電体13を形成すると共に、金属体14を形成する。このとき、金属体14は、誘電体13を介して形成されるようにする。誘電体13および金属体14も、記録層12と同様の手法により形成することができる。   And while forming the dielectric 13 between the adjacent convex parts 12a, the metal body 14 is formed. At this time, the metal body 14 is formed via the dielectric 13. The dielectric 13 and the metal 14 can also be formed by the same method as that for the recording layer 12.

続いて、図3(c)に示すように、誘電体13の少なくとも一部が情報記録媒体1aの表面に現れるまで、表面を平坦化する。これにより、凸部12a上に形成された金属体14が削り取られる。この工程は例えば、CMP(Chemical Mechanical Polishing)による研磨、スパッタリング装置を用いた逆スパッタ処理、または、イオンミリング処理をすることにより実現することができる。   Subsequently, as shown in FIG. 3C, the surface is flattened until at least a part of the dielectric 13 appears on the surface of the information recording medium 1a. Thereby, the metal body 14 formed on the convex part 12a is scraped off. This step can be realized by, for example, polishing by CMP (Chemical Mechanical Polishing), reverse sputtering using a sputtering apparatus, or ion milling.

(保護層15の作製)
最後に、図3(d)に示すように、保護層15を形成する。これによって、情報記録媒体1aが完成する。なお、必要に応じて潤滑層を形成するようにしてもよい。
(Preparation of protective layer 15)
Finally, as shown in FIG. 3D, the protective layer 15 is formed. Thereby, the information recording medium 1a is completed. In addition, you may make it form a lubricating layer as needed.

(製造方法の作用効果)
このように、情報記録媒体1aの製造方法では、記録層12の凸部12aを基板11および凸部11aの形状に追従する形で形成することができるため、従来の製造方法において必要であった記録層12の表面に対する大気暴露、また記録層12を成膜した後のエッチング処理などの工程を回避することができる。このため、記録層12本来の特性を損なうことを防止することができる。また、記録層12の材料として、酸化または窒化しやすい材料を適用することができる。
(Function and effect of manufacturing method)
Thus, in the manufacturing method of the information recording medium 1a, since the convex part 12a of the recording layer 12 can be formed in the form which follows the shape of the board | substrate 11 and the convex part 11a, it was required in the conventional manufacturing method. Steps such as air exposure to the surface of the recording layer 12 and etching after the recording layer 12 is formed can be avoided. For this reason, it is possible to prevent the original characteristics of the recording layer 12 from being impaired. Further, as the material of the recording layer 12, a material that is easily oxidized or nitrided can be applied.

(情報記録媒体1aの情報記録方法)
次に、情報記録媒体1aにおける情報の記録方法について以下に説明する。本実施形態に係る情報記録媒体1aは、近接場光72を用いて記録するようにしてもよいし、近接場光発生部材73を介さずに伝播光(レーザー光71)を用いて記録するようにしてもよい。本実施形態では、近接場光72を用いることにより情報記録媒体1aに情報を記録する方法について説明する。なお、伝播光(レーザー光71)を用いる場合についても記録媒体内部で起こる現象は同じである。
(Information recording method of information recording medium 1a)
Next, a method for recording information in the information recording medium 1a will be described below. The information recording medium 1a according to the present embodiment may be recorded using the near-field light 72, or may be recorded using propagating light (laser light 71) without using the near-field light generating member 73. It may be. In the present embodiment, a method for recording information on the information recording medium 1a by using the near-field light 72 will be described. Note that the phenomenon occurring inside the recording medium is the same when propagating light (laser light 71) is used.

(情報記録媒体1aが磁気記録媒体である場合)
情報記録媒体1aが、磁気記録媒体である場合、情報記録媒体1aに対する記録方法は、主として、情報記録媒体1aに対して近接場光72を照射することにより、記録層12を加熱する加熱工程と、情報記録媒体1aに対して磁界を印加する磁界印加工程と、を含んでいる。
(When the information recording medium 1a is a magnetic recording medium)
When the information recording medium 1a is a magnetic recording medium, the recording method for the information recording medium 1a mainly includes a heating step of heating the recording layer 12 by irradiating the near-field light 72 to the information recording medium 1a. And a magnetic field applying step of applying a magnetic field to the information recording medium 1a.

(加熱工程)
近接場光72は、上述したように、レーザー光71が近接場光発生部材73を通過することによって生成される。生成された近接場光72は、情報記録媒体1aに照射される。これにより、照射された領域の記録層12が加熱される。より具体的には、近接場光72の照射の際に、誘電体13と金属体14との界面において、プラズモンが生成され、強い電界の集中が引き起こされる。電界の集中が引き起こされることにより、情報記録媒体1aの内部において熱が生成する。
(Heating process)
As described above, the near-field light 72 is generated by the laser light 71 passing through the near-field light generating member 73. The generated near-field light 72 is applied to the information recording medium 1a. Thereby, the recording layer 12 in the irradiated region is heated. More specifically, when the near-field light 72 is irradiated, plasmons are generated at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14, causing a strong electric field concentration. Due to the concentration of the electric field, heat is generated inside the information recording medium 1a.

(磁界印加工程)
記録層12が加熱されることにより、記録層12を形成する磁性体の保磁力は、キュリー温度に近づくために小さくなる。このとき、情報記録媒体1aに対して、加熱された領域の記録層12の保磁力を上回る外部磁界を印加することによって、記録層12の磁化を反転させることができる。これにより、情報記録媒体1aに対して情報を記録させることができる。
(Magnetic field application process)
When the recording layer 12 is heated, the coercive force of the magnetic material forming the recording layer 12 decreases to approach the Curie temperature. At this time, the magnetization of the recording layer 12 can be reversed by applying an external magnetic field exceeding the coercive force of the recording layer 12 in the heated region to the information recording medium 1a. Thereby, information can be recorded on the information recording medium 1a.

(情報記録媒体1aが光情報記録媒体である場合)
情報記録媒体1aが光情報記録媒体である場合、情報記録媒体1aに対する記録方法は、主として、情報記録媒体1aに対して近接場光72を照射することにより、記録層12を加熱する加熱工程を含む。加熱工程は、磁気記録媒体の場合と同様であるため詳細な説明は省略する。具体的には、光情報記録媒体の場合には、加熱された記録層12が相変化したり、または新たに化合物が生成したりすることにより、加熱されていない領域と異なる反射率を持つ状態に変化する。これによって、情報記録媒体1aに対して情報を記録させることができる。
(When the information recording medium 1a is an optical information recording medium)
When the information recording medium 1a is an optical information recording medium, the recording method for the information recording medium 1a mainly includes a heating step of heating the recording layer 12 by irradiating the information recording medium 1a with near-field light 72. Including. Since the heating process is the same as that of the magnetic recording medium, a detailed description thereof is omitted. Specifically, in the case of an optical information recording medium, a state where the heated recording layer 12 has a reflectivity different from that of an unheated region due to phase change or new generation of a compound. To change. Thereby, information can be recorded on the information recording medium 1a.

(情報記録媒体1aの変形例)
情報記録媒体1aの変形例を図4〜6に示す。図4〜6は、情報記録媒体1aの変形例の構成を示す概略断面図である。
(Modification of information recording medium 1a)
Modified examples of the information recording medium 1a are shown in FIGS. 4 to 6 are schematic cross-sectional views showing configurations of modified examples of the information recording medium 1a.

(凸部11aの形状)
上記では、凸部11aの断面形状が半円形状である場合を例示しているが、これに限定されるものではない。例えば、図4に示すように、凸部11aの断面形状が、矩形のであってもよいし、図5に示すように、台形状であってもよい。
(Shape of convex part 11a)
Although the case where the cross-sectional shape of the convex part 11a is a semicircle shape is illustrated above, it is not limited to this. For example, as shown in FIG. 4, the cross-sectional shape of the convex portion 11a may be rectangular, or may be trapezoidal as shown in FIG.

図4および5に示すように凸部11aの断面形状を様々変更した場合であっても、図1に示す情報記録媒体1aと同様の作用により、同様の効果を得ることができる。   Even when the cross-sectional shape of the convex portion 11a is variously changed as shown in FIGS. 4 and 5, the same effect can be obtained by the same operation as that of the information recording medium 1a shown in FIG.

(凸部11aを設けない場合)
図6には、基板11上に凸部11aが設けられていない情報記録媒体1bの構成を示す概略断面図である。図6に示すように、記録層12において凸部12aが形成されていれば、情報記録媒体1aにおいて、凸部11aは必ずしも必要ではない。
(When the convex portion 11a is not provided)
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the information recording medium 1 b in which the convex portion 11 a is not provided on the substrate 11. As shown in FIG. 6, if the convex part 12a is formed in the recording layer 12, the convex part 11a is not necessarily required in the information recording medium 1a.

記録層12に複数の凸部12aが形成されていれば、隣接する凸部12aの間である凹部に誘電体13を介して金属体14を形成することが可能である。したがって、図6に示す情報記録媒体1bであっても、図1に示す情報記録媒体1aと同様の作用効果を得ることができる。   If a plurality of convex portions 12 a are formed on the recording layer 12, the metal body 14 can be formed in the concave portion between the adjacent convex portions 12 a through the dielectric 13. Therefore, even the information recording medium 1b shown in FIG. 6 can achieve the same effects as the information recording medium 1a shown in FIG.

なお、凸部11aを設けない場合であっても、凸部12aの形状および大きさは、凸部11aの形状および大きさと同様である。すなわち、凸部12aの形状については、特に限定されるものではなく、凸部12aの高さについては、5nm以上であることが好ましい。   Even when the convex portion 11a is not provided, the shape and size of the convex portion 12a are the same as the shape and size of the convex portion 11a. That is, the shape of the convex portion 12a is not particularly limited, and the height of the convex portion 12a is preferably 5 nm or more.

(情報記録媒体1bの製造方法)
基板11上に凸部11aが設けられていない場合の情報記録媒体1bの製造方法について、図7を参照して以下に説明する。図7は、情報記録媒体1bの製造方法を示す図であり、(a)は記録層12の形成を示しており、(b)はマスク部20の形成を示しており、(c)は記録層12のエッチングを示しており、(d)は誘電体13および金属体14の形成を示しており、(e)は金属体14の研削を示しており、(f)は保護層15の形成を示している。
(Method of manufacturing information recording medium 1b)
A method for manufacturing the information recording medium 1b when the convex portion 11a is not provided on the substrate 11 will be described below with reference to FIG. 7A and 7B are diagrams showing a method of manufacturing the information recording medium 1b, in which FIG. 7A shows the formation of the recording layer 12, FIG. 7B shows the formation of the mask portion 20, and FIG. 7C shows the recording. 5 shows etching of the layer 12, (d) shows formation of the dielectric 13 and the metal body 14, (e) shows grinding of the metal body 14, and (f) shows formation of the protective layer 15. Is shown.

まず、図7(a)に示すように、基板11上に記録層12を形成した後、図7(b)に示すようにマスク部20を形成する。マスク部20は、凸部11aの形成と同様の方法により形成することができる。続いて、図7(c)に示すように、記録層12をイオンミリング法またはリアクティブイオンエッチング(RIE)法を用いてエッチングする。このとき、マスク部20がエッチングに対するマスクとして働く。エッチング後、表面に残ったマスク部20を必要に応じて除去し、凸部12aを得る。   First, as shown in FIG. 7A, after the recording layer 12 is formed on the substrate 11, the mask portion 20 is formed as shown in FIG. 7B. The mask part 20 can be formed by the same method as the formation of the convex part 11a. Subsequently, as shown in FIG. 7C, the recording layer 12 is etched using an ion milling method or a reactive ion etching (RIE) method. At this time, the mask portion 20 serves as a mask for etching. After the etching, the mask portion 20 remaining on the surface is removed as necessary to obtain the convex portion 12a.

次に、図7(d)に示すように誘電体13と金属体14とを形成した後、図7(e)に示すように、誘電体13の少なくとも一部が情報記録媒体1bの表面に現れるまで、表面を平坦化しつつ、金属体14を削り取る。この工程は図3(c)において示した方法と同様に、CMP(Chemical Mechanical Polishing)による研磨、もしくはスパッタリング装置を用いた逆スパッタ処理、または、イオンミリング処理により実現可能である。最後に、図7(f)に示すように、保護層15を形成して情報記録媒体1bが完成する。なお、必要に応じて潤滑層を塗布形成してもよい。   Next, after forming the dielectric 13 and the metal body 14 as shown in FIG. 7D, at least a part of the dielectric 13 is formed on the surface of the information recording medium 1b as shown in FIG. 7E. The metal body 14 is scraped off while the surface is flattened until it appears. Similar to the method shown in FIG. 3C, this step can be realized by polishing by CMP (Chemical Mechanical Polishing), reverse sputtering using a sputtering apparatus, or ion milling. Finally, as shown in FIG. 7F, the protective layer 15 is formed to complete the information recording medium 1b. In addition, you may apply | coat and form a lubricating layer as needed.

(付記事項)
情報記録媒体1aにおいて、隣接する凸部12aの間の記録層12の層厚、すなわち記録層12における凹部の層厚は、成膜時のシャドーイング(遮蔽)効果によって、凸部12aにおける層厚よりも薄くなる。加えて、記録層12が垂直磁化を有する磁性体材料で構成される場合には、凸部11aの斜面に形成された記録層12は、磁化容易軸方向が基板11の面内方向に傾いている。すなわち、記録層12における凹部および凸部11aの斜面に形成される記録層12は、基板面に対して垂直な方向の磁気異方性が小さくなる。
(Additional notes)
In the information recording medium 1a, the layer thickness of the recording layer 12 between adjacent convex portions 12a, that is, the thickness of the concave portion in the recording layer 12, is determined by the shadowing (shielding) effect at the time of film formation. Thinner. In addition, when the recording layer 12 is made of a magnetic material having perpendicular magnetization, the recording layer 12 formed on the inclined surface of the convex portion 11 a has the easy axis direction of magnetization inclined toward the in-plane direction of the substrate 11. Yes. That is, the magnetic anisotropy in the direction perpendicular to the substrate surface of the recording layer 12 formed on the slopes of the concave and convex portions 11a in the recording layer 12 is reduced.

したがって、記録層12の凸部12aの領域を記録領域として用いる場合には、隣接する凸部12a間の結合が弱まっているため、凸部12a毎に独立した磁化反転を起こしやすくなる。すなわち、記録層12は、連続的に形成されている層でありつつ、個々の凸部12a単位で磁気ビットを形成することができる。   Therefore, when the region of the convex portion 12a of the recording layer 12 is used as a recording region, since the coupling between the adjacent convex portions 12a is weakened, it is easy to cause independent magnetization reversal for each convex portion 12a. That is, the recording layer 12 is a layer formed continuously, but can form magnetic bits in units of individual convex portions 12a.

情報記録媒体1aにおいて、基板11上に形成されている凸部11aの互いの位置関係は、図2(a)〜(c)に示すような縦方向および横方向のいずれにも整列した配置でなくてもよい。縦方向または横方向にのみ並んだ配置であってもよいし、ランダムに配置されていてもよいし、部分的に凸部11aが存在しない箇所があってもよい。また、凸部11aの大きさは、全て均一の大きさでなくてもよい。   In the information recording medium 1a, the positional relationship between the protrusions 11a formed on the substrate 11 is arranged in both the vertical direction and the horizontal direction as shown in FIGS. It does not have to be. The arrangement may be arranged only in the vertical direction or the horizontal direction, may be arranged randomly, or there may be a portion where the convex portion 11a does not exist partially. Further, the size of the convex portions 11a may not be uniform.

〔実施形態2〕
本発明に係る情報記録媒体の他の実施形態について、図8および9(a)〜(c)を参照しつつ以下に説明する。なお、実施形態1と同様の部材に関しては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 2]
Another embodiment of the information recording medium according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 8 and 9 (a) to (c). In addition, about the member similar to Embodiment 1, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

(情報記録媒体1cの構成)
本実施形態に係る情報記録媒体1cの構成について、図8および9(a)〜(c)を参照して説明する。図8は、情報記録媒体1cの構成を示す概略断面図である。図9(a)〜(c)は、情報記録媒体1cの構成を示す平面図であり、(a)は図8のAA´線における平面図であり、(b)は図8のBB´における平面図であり、(c)は図8のCC´における平面図である。
(Configuration of information recording medium 1c)
The configuration of the information recording medium 1c according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 8 and 9 (a) to (c). FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the information recording medium 1c. 9A to 9C are plan views showing the configuration of the information recording medium 1c. FIG. 9A is a plan view taken along the line AA 'in FIG. 8, and FIG. 9B is a view taken along line BB' in FIG. It is a top view, (c) is a top view in CC 'of FIG.

図8および9(a)〜(c)に示すように、情報記録媒体1cは、基板11、記録層12、誘電体13、金属体14および保護層15を備えている。また、基板11には凸部11aが形成されており、記録層12は、凸部11aの形状に沿って形成されている。すなわち、凸部11aの形成されている位置の記録層12には、複数の凸部12aが形成されている。これらの部材については、実施形態1において詳述したためここではその説明を省略する。なお、図1と同様に、記録ヘッド70は情報記録媒体1cを構成するものではないが、本発明の理解を容易にするために、便宜上図8に図示している。   As shown in FIGS. 8 and 9 (a) to 9 (c), the information recording medium 1 c includes a substrate 11, a recording layer 12, a dielectric 13, a metal body 14, and a protective layer 15. The substrate 11 is provided with a convex portion 11a, and the recording layer 12 is formed along the shape of the convex portion 11a. That is, a plurality of convex portions 12a are formed on the recording layer 12 where the convex portions 11a are formed. Since these members have been described in detail in the first embodiment, the description thereof is omitted here. As in FIG. 1, the recording head 70 does not constitute the information recording medium 1c, but is shown in FIG. 8 for convenience in order to facilitate understanding of the present invention.

本実施形態に係る情報記録媒体1cは、図9(a)に示すように、金属体14が凸部11aの周囲(凸部12aの周囲と言い換えることもできる)において、複数に分離して設けられている。これは、金属体14が凸部12aの周囲において離散して設けられていると言い換えることもできる。   As shown in FIG. 9A, the information recording medium 1c according to the present embodiment is provided by separating the metal body 14 into a plurality of parts around the convex part 11a (in other words, around the convex part 12a). It has been. In other words, the metal body 14 is provided discretely around the convex portion 12a.

金属体14が凸部12aの周囲において離散して設けられている場合であっても、図9(b)に示すように、隣接する凸部12aの間に誘電体13を介して金属体14を形成することができる。   Even when the metal body 14 is provided discretely around the convex portion 12a, the metal body 14 is interposed between the adjacent convex portions 12a via the dielectric 13 as shown in FIG. Can be formed.

なお、図8には金属体14が図示されていないが、これは、図8が凸部11aの高さが最も高くなる位置での断面図であるため、離散して設けられている金属体14が当該断面に現れないためである。凸部11aの高さが低い位置における断面図であれば、図1に示す断面図と同様に、金属体14が現れる。   Although the metal body 14 is not illustrated in FIG. 8, this is a cross-sectional view at a position where the height of the convex portion 11 a is the highest, so that the metal bodies are provided discretely. This is because 14 does not appear in the cross section. If it is sectional drawing in the position where the height of the convex part 11a is low, the metal body 14 will appear like the sectional view shown in FIG.

(情報記録媒体1cの作用効果)
情報記録媒体1cのように、金属体14が凸部12aの周囲において離散して設けられている場合であっても、近接場光72(伝播光を用いる場合にはレーザー光71)の照射の際に、誘電体13と金属体14との界面において、強い電界の集中を引き起すことができる。そのため、情報記録媒体1cの内部において、記録層12の所望の箇所を内部から加熱することができる。
(Operational effect of information recording medium 1c)
Even in the case where the metal body 14 is provided discretely around the convex portion 12a as in the information recording medium 1c, the irradiation of the near-field light 72 (the laser light 71 when using propagating light) is performed. At this time, strong electric field concentration can be caused at the interface between the dielectric 13 and the metal 14. Therefore, a desired portion of the recording layer 12 can be heated from the inside in the information recording medium 1c.

これによって、情報記録媒体1aと同様に、光源75の消費電力を増加することなく、記録密度を高密度化すると共に、情報の記録速度を高速化することができる。   As a result, as with the information recording medium 1a, the recording density can be increased and the information recording speed can be increased without increasing the power consumption of the light source 75.

また、情報記録層1cにおいて、金属体14と誘電体13との界面において生じたプラズモンは、分割して設けられている金属体14毎に閉じ込められる。これによって、金属体14と誘電体13との界面において、極めて高い電界の集中を引き起こすことができる。すなわち、電界集中が起こった金属体14に囲まれた領域である凸部12aを局所的に非常に強く加熱することができる。   In the information recording layer 1c, plasmons generated at the interface between the metal body 14 and the dielectric 13 are confined for each metal body 14 provided in a divided manner. This can cause a very high electric field concentration at the interface between the metal body 14 and the dielectric 13. That is, the convex portion 12a, which is a region surrounded by the metal body 14 where electric field concentration has occurred, can be heated extremely strongly locally.

したがって、情報記録媒体1cにおいて微小な記録領域を形成することができると共に、光源75の消費電力を低減することができる。なお、記録層12が磁性体からなる場合には、情報記録媒体1cをパターンドメディアとして機能させることができる。   Therefore, a minute recording area can be formed in the information recording medium 1c, and the power consumption of the light source 75 can be reduced. If the recording layer 12 is made of a magnetic material, the information recording medium 1c can function as a patterned medium.

(情報記録媒体1cの製造方法)
情報記録媒体1cの製造方法について、以下に説明する。情報記録媒体1cは、上記した情報記録媒体1aとほぼ同様の製造方法により作製することができる。そのため、本実施形態では、情報記録媒体1aの製造方法と相違する点についてのみ以下に説明する。
(Method of manufacturing information recording medium 1c)
A method for manufacturing the information recording medium 1c will be described below. The information recording medium 1c can be manufactured by substantially the same manufacturing method as the information recording medium 1a described above. Therefore, in the present embodiment, only differences from the method for manufacturing the information recording medium 1a will be described below.

情報記録媒体1cは、金属体14を形成する工程(すなわち、図3(b)に示す工程)において、金属体14の膜厚を情報記録媒体1aを製造する場合よりも薄くすることによって製造することができる。   The information recording medium 1c is manufactured by making the film thickness of the metal body 14 thinner than that for manufacturing the information recording medium 1a in the process of forming the metal body 14 (that is, the process shown in FIG. 3B). be able to.

また、金属体14を研磨、エッチングまたはイオンミリング処理する工程(すなわち、図3(d)に示す工程)において、研磨、エッチングまたはイオンミリングの時間を長くすることによっても製造することができる。より具体的には、隣接する凸部12aの間の凹部に形成される誘電体13を介して形成されている金属体14のうち、凹部の浅い領域に形成された金属体14が削り取られて除去されるまで、研磨またはエッチングを施す。これによって、凸部12aの周囲の金属体14が離散している情報記録媒体1cとすることができる。   Further, in the step of polishing, etching or ion milling the metal body 14 (that is, the step shown in FIG. 3D), the metal body 14 can also be manufactured by increasing the time of polishing, etching or ion milling. More specifically, the metal body 14 formed in the shallow region of the recess is scraped out of the metal body 14 formed via the dielectric 13 formed in the recess between the adjacent protrusions 12a. Polish or etch until removed. As a result, the information recording medium 1c in which the metal bodies 14 around the convex portions 12a are discrete can be obtained.

なお、研磨またはエッチングの時間を長くする場合には、記録層12を削り取ってしまうことを防ぐために、誘電体13の膜厚を情報記録媒体1aを製造する場合よりも厚くしておくことが好ましい。   When the polishing or etching time is lengthened, it is preferable to make the dielectric 13 thicker than the case where the information recording medium 1a is manufactured in order to prevent the recording layer 12 from being scraped off. .

〔実施形態3〕
本発明に係る情報記録媒体の他の実施形態について、図10および11(a)および(b)を参照しつつ以下に説明する。なお、実施形態1および2と同様の部材に関しては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 3]
Another embodiment of the information recording medium according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 10 and 11 (a) and (b). In addition, about the member similar to Embodiment 1 and 2, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

(情報記録媒体1dの構成)
本実施形態に係る情報記録媒体1dの構成について、図10および11(a)および(b)を参照して説明する。図10は、情報記録媒体1dの構成を示す概略断面図である。図11(a)および(b)は、情報記録媒体1dの構成を示す平面図であり、(a)は図10のAA´線における平面図であり、(b)は図10のBB´における平面図である。
(Configuration of information recording medium 1d)
The configuration of the information recording medium 1d according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11 (a) and (b). FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of the information recording medium 1d. 11 (a) and 11 (b) are plan views showing the configuration of the information recording medium 1d, (a) is a plan view taken along the line AA 'in FIG. 10, and (b) is in BB' in FIG. It is a top view.

図10および11(a)および(b)に示すように、情報記録媒体1dは、基板11、記録層12、誘電体13、金属体14、および保護層15を備えている。また、基板11には情報記録媒体1dのトラック長さ方向に連続して形成された凸部11aが形成されており、記録層12は、凸部11aの形状に沿って形成されている。すなわち、凸部11aの形成されている位置の記録層12には、凸部12aが形成されている。これらの部材については、実施形態1および2において詳述したためここではその説明を省略する。なお、図1および8と同様に、記録ヘッド70は情報記録媒体1d構成するものではないが、本発明の理解を容易にするために、便宜上図10に図示している。   As shown in FIGS. 10 and 11 (a) and 11 (b), the information recording medium 1 d includes a substrate 11, a recording layer 12, a dielectric 13, a metal body 14, and a protective layer 15. Further, the substrate 11 has a convex portion 11a formed continuously in the track length direction of the information recording medium 1d, and the recording layer 12 is formed along the shape of the convex portion 11a. That is, the convex portion 12a is formed on the recording layer 12 at the position where the convex portion 11a is formed. Since these members have been described in detail in the first and second embodiments, the description thereof is omitted here. 1 and 8, the recording head 70 does not constitute the information recording medium 1d, but is shown in FIG. 10 for the sake of convenience in order to facilitate understanding of the present invention.

(情報記録媒体1dの作用効果)
このように、凸部11aが情報記録媒体1dのトラック長さ方向に連続して形成されている場合であっても、図10および11(a)および(b)に示すように、隣接する凸部12aの間に誘電体13を介して金属体14を形成することができる。したがって、近接場光72(伝播光を用いる場合にはレーザー光71)の照射の際に、誘電体13と金属体14との界面において、強い電界の集中を引き起すことができる。そのため、情報記録媒体1cの内部において、記録層12の所望の箇所を内部から加熱することができる。
(Operational effect of information recording medium 1d)
Thus, even if the convex portion 11a is formed continuously in the track length direction of the information recording medium 1d, as shown in FIGS. 10 and 11 (a) and (b), the adjacent convex portion A metal body 14 can be formed between the portions 12 a via the dielectric 13. Therefore, a strong electric field concentration can be caused at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14 upon irradiation with the near-field light 72 (laser light 71 when propagating light is used). Therefore, a desired portion of the recording layer 12 can be heated from the inside in the information recording medium 1c.

これによって、情報記録媒体1aの場合と同様に、光源75の消費電力を増加することなく、情報記録媒体1dの記録密度を高密度化すると共に、情報の記録速度を高速化することができる。   As a result, as in the information recording medium 1a, the recording density of the information recording medium 1d can be increased and the information recording speed can be increased without increasing the power consumption of the light source 75.

また、情報記録媒体1dにおいて、金属体14に挟まれた領域である凸部12aを局所的に強く加熱することができる。これによって、情報記録媒体1dにおいて微小な記録領域を形成することができる。なお、記録層12が磁性体からなる場合には、情報記録媒体1dをディスクリートトラックメディアとして機能させることができる。   Further, in the information recording medium 1d, the convex portion 12a that is a region sandwiched between the metal bodies 14 can be locally heated strongly. Thereby, a minute recording area can be formed in the information recording medium 1d. In the case where the recording layer 12 is made of a magnetic material, the information recording medium 1d can function as a discrete track medium.

(情報記録媒体1dの製造方法)
情報記録媒体1dの製造方法について以下に説明する。情報記録媒体1dは、上記した情報記録媒体1aとほぼ同様の製造方法により作製することができる。そのため、本実施形態では、情報記録媒体1aの製造方法と相違する点についてのみ以下に説明する。したがって、ここでは、凸部11aを形成する工程についてのみ説明する。
(Method of manufacturing information recording medium 1d)
A method for manufacturing the information recording medium 1d will be described below. The information recording medium 1d can be manufactured by substantially the same manufacturing method as the above-described information recording medium 1a. Therefore, in the present embodiment, only differences from the method for manufacturing the information recording medium 1a will be described below. Therefore, only the process of forming the convex part 11a is demonstrated here.

情報記録媒体1dの製造では、図3(a)の工程において、凸部11aを情報記録媒体1dのトラック長さ方向に連続して形成する。このとき、トラック長さ方向に連続して形成されている凸部11aは、例えば、電子線リソグラフィーを用いて線状に形成したレジストをマスクとして、基板11をエッチングすることにより形成することができる。基板11のエッチングには、例えば、イオンミリング法またはリアクティブイオンエッチング(RIE)法を用いることができる。   In the manufacture of the information recording medium 1d, in the process of FIG. 3A, the convex portions 11a are continuously formed in the track length direction of the information recording medium 1d. At this time, the convex portion 11a continuously formed in the track length direction can be formed by etching the substrate 11 using, for example, a resist formed in a linear shape by electron beam lithography as a mask. . For the etching of the substrate 11, for example, an ion milling method or a reactive ion etching (RIE) method can be used.

また、基板11に対してFIB(Focused Ion Beam)で直接加工することにより、トラック長さ方向に連続して形成されている凸部11aを形成してもよい。   Further, the substrate 11 may be directly processed by FIB (Focused Ion Beam) to form the convex portion 11a continuously formed in the track length direction.

なお、情報記録媒体1dにおいて、面密度を1Tbit/inch相当とするためには、例えば、凸部11aのピッチを25nmとする。もちろん、情報記録媒体1dは、必ずしも隣接する凸部11aの間にビットが記録されるものである必要はなく、複数の凸部11aにまたがって記録ビットが形成されていてもよい。 In the information recording medium 1d, in order to make the surface density equivalent to 1 Tbit / inch 2 , for example, the pitch of the convex portions 11a is set to 25 nm. Of course, the information recording medium 1d does not necessarily have to record bits between the adjacent convex portions 11a, and the recording bits may be formed across the plurality of convex portions 11a.

このように情報記録媒体1dでは、情報記録媒体1aの製造方法と同様に、従来のディスクリートメディアの製法において必要とされる、記録層12の表面に対する大気暴露、または記録層12を成膜した後のエッチング処理を不要にすることができるため、記録層12に対するダメージ(損傷)を小さくすることができる。また、記録層12の材料として、酸化または窒化しやすい材料を適用することができる。   As described above, in the information recording medium 1d, similarly to the manufacturing method of the information recording medium 1a, after exposure to the atmosphere on the surface of the recording layer 12 or deposition of the recording layer 12, which is required in the conventional manufacturing method of discrete media. Therefore, the damage (damage) to the recording layer 12 can be reduced. Further, as the material of the recording layer 12, a material that is easily oxidized or nitrided can be applied.

(情報記録媒体1dの変形例)
情報記録媒体1dにおいて、記録層12が磁性体からなる場合には、記録層12と基板11(または凸部11a)との間に軟磁性体層(図示しない)が形成されていてもよい。磁性体層が形成される場合、凸部11aは、基板11上に形成されず、軟磁性体層の表面に軟磁性体層と同一または異なる材料により形成されてもよい。
(Modification of information recording medium 1d)
In the information recording medium 1d, when the recording layer 12 is made of a magnetic material, a soft magnetic material layer (not shown) may be formed between the recording layer 12 and the substrate 11 (or the convex portion 11a). When the magnetic layer is formed, the protrusion 11a may not be formed on the substrate 11, but may be formed on the surface of the soft magnetic layer with the same or different material as the soft magnetic layer.

(付記事項)
情報記録媒体1dにおいて、隣接する凸部12aの間の記録層12の層厚、すなわち記録層12における凹部の層厚は、成膜時のシャドーイング(遮蔽)効果によって、凸部12aにおける層厚よりも薄くなる。加えて、記録層12が垂直磁化を有する磁性体材料で構成される場合には、凸部11aの斜面に形成された記録層12は、磁化容易軸方向が基板11の面内方向に傾いている。すなわち、記録層12における凹部および凸部11aの斜面に形成される記録層12は、基板面に対して垂直な方向の磁気異方性が小さくなる。
(Additional notes)
In the information recording medium 1d, the thickness of the recording layer 12 between adjacent convex portions 12a, that is, the thickness of the concave portion in the recording layer 12, is determined by the shadowing (shielding) effect during film formation. Thinner. In addition, when the recording layer 12 is made of a magnetic material having perpendicular magnetization, the recording layer 12 formed on the inclined surface of the convex portion 11 a has the easy axis direction of magnetization inclined toward the in-plane direction of the substrate 11. Yes. That is, the magnetic anisotropy in the direction perpendicular to the substrate surface of the recording layer 12 formed on the slopes of the concave and convex portions 11a in the recording layer 12 is reduced.

したがって、記録層12の凸部12aの領域を記録領域として用いる場合には、隣接する凸部12a間の結合が弱まっているため、隣接する凸部12aの間の磁気的な結合力も弱まっている。このため、記録層12が連続的に形成されている層でありながら、隣接するトラック同士の磁気的な結合力を断ち切ることができる。これによって、トラック幅を狭くすることができるため、記録媒体1dをディスクリートトラックメディア状の磁気記録媒体とすることができる。   Therefore, when the region of the convex portion 12a of the recording layer 12 is used as a recording region, the coupling between the adjacent convex portions 12a is weakened, and thus the magnetic coupling force between the adjacent convex portions 12a is also weakened. . Therefore, the magnetic coupling force between adjacent tracks can be cut off even though the recording layer 12 is a continuous layer. As a result, the track width can be narrowed, so that the recording medium 1d can be a discrete track medium-like magnetic recording medium.

情報記録媒体1dは、基板11上にトラッキングを行うための案内溝を備えていても良い。情報記録媒体1dにおいて、特に、案内溝と金属体14が形成されている領域と対応させた場合には、情報を記録する領域を減らすことなく、案内溝の形成と近接場光発生部材の形成とを可能とすることができる。   The information recording medium 1 d may be provided with a guide groove for tracking on the substrate 11. In the information recording medium 1d, particularly when the guide groove and the region where the metal body 14 is formed, the guide groove and the near-field light generating member are formed without reducing the information recording region. And can be made possible.

このような情報記録媒体1dを実現するためには、凸部11aを形成する際に、凸部11aを、隣接する凸部12aの間の凹部に金属体14を埋め込むために必要な高さと、案内溝の高さ(深さ)とを合わせた高さ(深さ)に形成しておく必要がある。これは、例えば、レジストをマスクとしたエッチング処理を用いて凸部11aを形成する際に、エッチング時間を長くすることによって実現することができる。   In order to realize such an information recording medium 1d, when forming the convex portion 11a, the convex portion 11a has a height necessary for embedding the metal body 14 in the concave portion between the adjacent convex portions 12a, and It is necessary to form the guide groove at a height (depth) that is combined with the height (depth) of the guide groove. This can be realized, for example, by lengthening the etching time when forming the convex portion 11a using an etching process using a resist as a mask.

なお、実施形態1および2に記載の情報記録媒体1a、1bおよび1cにも、上記のような案内溝を形成することができる。   Note that the guide grooves as described above can also be formed in the information recording media 1a, 1b, and 1c described in the first and second embodiments.

〔実施形態4〕
記録層12に磁性体を適用した実施形態1から3に係る情報記録媒体(すなわち、光アシスト磁気記録媒体)に対して情報を記録すると共に、上記情報記録媒体から情報を読み出す情報記録再生装置について、実施形態4として以下に説明する。なお、実施形態1〜3と同様の部材に関しては、同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 4]
Information recording / reproducing apparatus for recording information on the information recording media according to the first to third embodiments (that is, optically assisted magnetic recording media) in which a magnetic material is applied to the recording layer 12 and reading information from the information recording media Embodiment 4 will be described below. In addition, about the member similar to Embodiment 1-3, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.

(情報記録再生装置500の構成)
情報記録再生装置500の構成について、図12を参照して以下に説明する。図12は、情報記録再生装置500の構成を示すブロック図である。
(Configuration of information recording / reproducing apparatus 500)
The configuration of the information recording / reproducing apparatus 500 will be described below with reference to FIG. FIG. 12 is a block diagram showing the configuration of the information recording / reproducing apparatus 500.

情報記録再生装置500は、磁気記録再生ヘッド501、スライダ502、磁気ディスク503、スピンドル506、サスペンションアーム507、ボイスコイルモータ508、制御部509から構成されている。   The information recording / reproducing apparatus 500 includes a magnetic recording / reproducing head 501, a slider 502, a magnetic disk 503, a spindle 506, a suspension arm 507, a voice coil motor 508, and a control unit 509.

磁気ディスク503は、実施形態1〜3において説明した情報記録媒体1a〜1dの記録層12に磁性体材料を用いたディスクである。   The magnetic disk 503 is a disk using a magnetic material for the recording layers 12 of the information recording media 1a to 1d described in the first to third embodiments.

スピンドル506は、磁気ディスク503を回転駆動するものである。また、スライダ502は、サスペンションアーム507に支持されており、サスペンションアーム507は、ボイスコイルモータ508によって磁気ディスク503上で駆動する。スピンドル506、サスペンションアーム507、ボイスコイルモータ508は従来公知のものを用いることができる。磁気記録再生ヘッド501および制御部509については、以下に詳述する。   The spindle 506 rotates the magnetic disk 503. The slider 502 is supported by a suspension arm 507, and the suspension arm 507 is driven on the magnetic disk 503 by a voice coil motor 508. Conventionally known spindles 506, suspension arms 507, and voice coil motors 508 can be used. The magnetic recording / reproducing head 501 and the control unit 509 will be described in detail below.

(磁気記録再生ヘッド501)
磁気記録再生ヘッド501は、スライダ502に備えられており、光アシスト記録方式により情報記録媒体に対して情報の記録・再生を行う。すなわち、レーザー光を照射するためのレーザー光源と、情報記録媒体に対して磁界を印加するための磁界印加手段、および、情報記録媒体から発生する漏洩磁界を検出する磁界検出手段を備えている。
(Magnetic recording / reproducing head 501)
The magnetic recording / reproducing head 501 is provided on the slider 502 and records / reproduces information on / from the information recording medium by an optically assisted recording method. That is, a laser light source for irradiating laser light, a magnetic field applying unit for applying a magnetic field to the information recording medium, and a magnetic field detecting unit for detecting a leakage magnetic field generated from the information recording medium are provided.

具体的な磁気記録再生ヘッド501の動作を以下に説明する。まず、スピンドル506が回転することにより磁気ディスク503が回転し、空気流を発生させる。発生した空気流を利用して、スライダ502は、磁気ディスク503上に約5〜10nm程度浮上する。そして、浮上したスライダ502の先端部に備えられた磁気記録再生ヘッド501が、磁気ディスク503に対して光ビームの照射と記録磁界の印加とを行うことによって、情報が記録される。また磁気記録再生ヘッド501に備えられた磁界検出手段が、磁気ディスク503からの漏洩磁界を検出することによって、情報が再生される。   A specific operation of the magnetic recording / reproducing head 501 will be described below. First, when the spindle 506 is rotated, the magnetic disk 503 is rotated to generate an air flow. Using the generated air flow, the slider 502 floats on the magnetic disk 503 by about 5 to 10 nm. Information is recorded by the magnetic recording / reproducing head 501 provided at the tip of the flying slider 502 irradiating the magnetic disk 503 with a light beam and applying a recording magnetic field. Information is reproduced by the magnetic field detection means provided in the magnetic recording / reproducing head 501 detecting the leakage magnetic field from the magnetic disk 503.

磁気記録再生ヘッド501、および磁気記録再生ヘッド501が備えられているスライダ502は、従来公知のものを用いることができる。磁気記録再生ヘッド501は、近接場光発生部材73、光源75、および磁界印加手段(図示しない)を備えており、磁気ディスク503に対してレーザー光71または近接場光72を照射し、磁界を印加できるものであって、かつ磁気ディスク503からの漏洩磁界を検出する磁界検出手段(図示しない)を備えるものであれば、特に限定されるものではない。上記磁界印加手段としては、例えば従来公知の磁気コイルや磁気ポールが、上記磁界検出手段には、例えば、同じく従来公知のGMR(Giant Magneto Resistance)素子やTMR(Tunneling Magneto Resistance)素子を用いることができる。また、スライダ502は、従来のハードディスク装置に用いられるスライダを採用してもよい。光源75についても従来公知のものを用いることができる。近接場光発生部材73は、実施の形態1において上述した通りである。   As the magnetic recording / reproducing head 501 and the slider 502 provided with the magnetic recording / reproducing head 501, conventionally known ones can be used. The magnetic recording / reproducing head 501 includes a near-field light generating member 73, a light source 75, and a magnetic field applying unit (not shown), and irradiates the magnetic disk 503 with laser light 71 or near-field light 72 to generate a magnetic field. There is no particular limitation as long as it can be applied and includes magnetic field detection means (not shown) for detecting a leakage magnetic field from the magnetic disk 503. As the magnetic field application means, for example, a conventionally known magnetic coil or magnetic pole is used, and for the magnetic field detection means, for example, a conventionally known GMR (Giant Magneto Resistance) element or TMR (Tunneling Magneto Resistance) element is used. it can. The slider 502 may be a slider used in a conventional hard disk device. A conventionally known light source 75 can also be used. The near-field light generating member 73 is as described above in the first embodiment.

なお、光源75は、レーザー光71が近接場光発生部材73に照射されるのであれば、必ずしも磁気記録再生ヘッド501に備えられている必要はない。例えば、サスペンションアーム507に備えられていてもよい。又、レーザー光71を近接場光発生部材73に照射するに当って、光導波路やグレーチング形状を利用するものであっても構わない。   Note that the light source 75 is not necessarily provided in the magnetic recording / reproducing head 501 as long as the laser light 71 is applied to the near-field light generating member 73. For example, the suspension arm 507 may be provided. Further, when the near-field light generating member 73 is irradiated with the laser beam 71, an optical waveguide or a grating shape may be used.

(制御部509)
制御部509は、図12に示すように、回転駆動制御部510、信号処理部511、出力制御部512、および記録部513から構成されており、スライダ502、スピンドル506、サスペンションアーム507、およびボイスコイルモータ508の動作を制御するためのものである。
(Control unit 509)
As shown in FIG. 12, the control unit 509 includes a rotation drive control unit 510, a signal processing unit 511, an output control unit 512, and a recording unit 513, and includes a slider 502, a spindle 506, a suspension arm 507, and a voice. This is for controlling the operation of the coil motor 508.

回転駆動制御部510は、スピンドル506の回転駆動を制御している。このときの回転駆動の制御には、例えば、磁気記録再生ヘッド501の半径位置によらず回転速度を一定とするCAV(Constant Angular Velocity)制御、磁気記録再生ヘッド501の半径位置に応じて線速度が一定となるように回転速度を変えるCLV(Constant Linear Velocity)制御、トラックをゾーンごとに分けて回転速度を制御するZCAV(Zoned CAV)制御、およびトラックをゾーンごとに分けて線速度が一定となるように回転速度を変えるZCLV(Zoned CLV)制御を用いることが出来る。   The rotation drive control unit 510 controls the rotation drive of the spindle 506. The rotation drive control at this time includes, for example, CAV (Constant Angular Velocity) control in which the rotation speed is constant regardless of the radial position of the magnetic recording / reproducing head 501, and the linear velocity according to the radial position of the magnetic recording / reproducing head 501. CLV (Constant Linear Velocity) control to change the rotation speed so that the constant is constant, ZCAV (Zoned CAV) control to control the rotation speed by dividing the track into zones, and the linear velocity is constant by dividing the track into zones ZCLV (Zoned CLV) control that changes the rotation speed can be used.

CAV制御の場合、回転駆動制御部510は、スピンドル506の回転速度が一定となるよう、あらかじめ決められた回転速度でスピンドル506を駆動する。CLV制御の場合は、磁気記録再生ヘッド501の半径位置を検出し、これに応じて回転速度を制御する。ZCAV制御、およびZCLV制御の場合は、磁気記録再生ヘッド501のゾーン位置を検出し、これに応じて回転速度または線速度が一定となるように制御する。   In the case of CAV control, the rotational drive control unit 510 drives the spindle 506 at a predetermined rotational speed so that the rotational speed of the spindle 506 is constant. In the case of CLV control, the radial position of the magnetic recording / reproducing head 501 is detected, and the rotational speed is controlled accordingly. In the case of ZCAV control and ZCLV control, the zone position of the magnetic recording / reproducing head 501 is detected, and control is performed so that the rotational speed or linear velocity is constant according to this.

信号処理部511は、磁気記録再生ヘッド501と信号を送受している。具体的には、以下の通りである。記録に際しては、信号処理部511において記録情報をエンコードすることによって、記録再生ヘッド501から磁気ディスク503に対して照射されるレーザー光の発光パターンと、磁界の発生パターンとに記録情報を置き換え、上記のパターンを記録再生ヘッド501へと送る。再生に際しては、磁気記録再生ヘッド501において検出した情報を信号処理部511でデコードすることによって、再生情報として取り出す。   The signal processing unit 511 transmits and receives signals to and from the magnetic recording / reproducing head 501. Specifically, it is as follows. At the time of recording, the recording information is encoded by the signal processing unit 511 so that the recording information is replaced with the light emission pattern of the laser beam emitted from the recording / reproducing head 501 to the magnetic disk 503 and the generation pattern of the magnetic field. Is sent to the recording / reproducing head 501. During reproduction, information detected by the magnetic recording / reproducing head 501 is extracted by the signal processing unit 511 as reproduction information.

出力制御部512は、磁気記録再生ヘッド501から照射されるレーザー光の出力を調節している。また、記憶部513は、磁気ディスク503から読み出した情報や、信号処理部511がレーザー光の発生パターンや磁界の発生パターンを決定するための参照情報、および出力制御部512がレーザー光の出力を決定するための参照情報を蓄積するためのメモリである。   The output control unit 512 adjusts the output of the laser light emitted from the magnetic recording / reproducing head 501. In addition, the storage unit 513 stores information read from the magnetic disk 503, reference information for the signal processing unit 511 to determine the generation pattern of the laser beam and the generation pattern of the magnetic field, and the output control unit 512 outputs the output of the laser beam. This is a memory for storing reference information for determination.

(情報記録再生装置500の動作)
次に、情報記録再生装置500の記録、再生の動作について以下に説明する。
(Operation of information recording / reproducing apparatus 500)
Next, recording and reproduction operations of the information recording / reproducing apparatus 500 will be described below.

情報記録再生装置500に電源が投入されると、上述したように、磁気記録再生ヘッド501は、磁気ディスク503上に浮上する。続いて、磁気記録再生ヘッド501が通電することにより、光源75からレーザー光71が発せられ、発せられたレーザー光71は、近接場光発生部材73に照射されることにより近接場光72を生成する。このとき、光源75からレーザー光71が発せられるのに合わせて、磁界発生源から記録磁界が発せられる。このとき、出力制御部512は、磁気ディスク503の記録層12における記録しようとする領域の保磁力が磁気記録再生ヘッド501から印加される記録磁界よりも小さくなるように光源のパワーを調節する。これによって、近接場光によって局所的に加熱された記録層12の記録を行う領域の保磁力が記録磁界よりも小さくなるため、磁気ディスク503に記録が行われる。   When the information recording / reproducing apparatus 500 is turned on, the magnetic recording / reproducing head 501 floats on the magnetic disk 503 as described above. Subsequently, when the magnetic recording / reproducing head 501 is energized, laser light 71 is emitted from the light source 75, and the emitted laser light 71 is applied to the near-field light generating member 73 to generate near-field light 72. To do. At this time, a recording magnetic field is emitted from the magnetic field generation source in accordance with the laser light 71 emitted from the light source 75. At this time, the output control unit 512 adjusts the power of the light source so that the coercive force of the area to be recorded on the recording layer 12 of the magnetic disk 503 is smaller than the recording magnetic field applied from the magnetic recording / reproducing head 501. As a result, the coercive force of the recording area of the recording layer 12 that is locally heated by the near-field light is smaller than the recording magnetic field, so that recording is performed on the magnetic disk 503.

また、磁気ディスク503の記録情報の再生は、上述したように、磁気ディスク503からの漏洩磁界を磁気記録再生ヘッド501の磁界検出部が検出することによって行われる。検出された漏洩磁界が、電気信号に変換されることによって、磁気ディスク503の記録情報の再生が行われる。   In addition, as described above, reproduction of recorded information on the magnetic disk 503 is performed by the magnetic field detection unit of the magnetic recording / reproducing head 501 detecting the leakage magnetic field from the magnetic disk 503. The detected leakage magnetic field is converted into an electric signal, whereby the recorded information on the magnetic disk 503 is reproduced.

なお、本実施形態では、記録層12に磁性体を適用した磁気記録媒体についての記録再生装置についてのみ説明したが、記録層12に光記録材料を用いれば、光情報記録媒体として用いることが可能である。この場合、情報記録再生装置としては、CD、DVD、BDなどの従来公知の光情報記録媒体に対して記録再生可能である光情報記録再生装置、またはその他の公知技術を用いて製造される光情報記録再生装置となる。これらの光情報記録再生装置においては、レーザー光71(近接場光72)の照射によって、情報記録媒体1a〜1dの記録層12の一部が加熱され、加熱された領域の反射率が変化することによって情報が記録される。情報の再生に際しては、記録時よりも低パワーのレーザー光71(近接場光72)を照射し、記録層12からの反射光量を検出することにより情報を再生する。これらの光情報記録再生装置を用いるに当っては、保護層15を透明誘電体、または樹脂材料とし、その膜厚を記録再生装置の光学系に合わせて適宜変更して用いてもよい。また、必ずしも保護層15側からレーザー光71が入射する必要はない。基板11に透明基板を用いる場合には、基板11側からレーザー光71が入射するような構成であってもよい。   In this embodiment, only the recording / reproducing apparatus for the magnetic recording medium in which the magnetic material is applied to the recording layer 12 has been described. However, if an optical recording material is used for the recording layer 12, it can be used as an optical information recording medium. It is. In this case, as the information recording / reproducing apparatus, an optical information recording / reproducing apparatus capable of recording / reproducing with respect to a conventionally known optical information recording medium such as CD, DVD, BD, or the like manufactured using other known techniques. It becomes an information recording / reproducing apparatus. In these optical information recording / reproducing apparatuses, a part of the recording layer 12 of the information recording media 1a to 1d is heated by the irradiation of the laser beam 71 (near-field light 72), and the reflectance of the heated region changes. Information is recorded. When reproducing information, the information is reproduced by irradiating laser light 71 (near-field light 72) having a lower power than that during recording and detecting the amount of reflected light from the recording layer 12. In using these optical information recording / reproducing apparatuses, the protective layer 15 may be made of a transparent dielectric material or a resin material, and the thickness thereof may be appropriately changed according to the optical system of the recording / reproducing apparatus. Further, the laser beam 71 is not necessarily incident from the protective layer 15 side. When a transparent substrate is used as the substrate 11, the laser beam 71 may be incident from the substrate 11 side.

(付記事項)
実施形態1〜3において説明した情報記録媒体1a〜1dの記録層12に磁性体を用いて、情報記録媒体1a〜1dを光アシスト磁気記録媒体として用いる場合には、再生時には、レーザー光を情報記録媒体1a〜1dに照射し、漏洩磁界を検出する、光アシスト再生方式を適用してもよい。
(Additional notes)
When a magnetic material is used for the recording layers 12 of the information recording media 1a to 1d described in Embodiments 1 to 3 and the information recording media 1a to 1d are used as optically assisted magnetic recording media, laser light is used as information during reproduction. An optically assisted reproduction system that irradiates the recording media 1a to 1d and detects a leakage magnetic field may be applied.

この場合、再生時においても情報記録媒体1a〜1dの内部において電界の集中が発生するため、従来に比べて低いレーザー出力による光アシスト再生が可能である。したがって、光源75の消費電力を低減することができると共に、再生の高速化を実現することもできる。   In this case, since electric field concentration occurs in the information recording media 1a to 1d even during reproduction, optically assisted reproduction with a lower laser output than before is possible. Therefore, the power consumption of the light source 75 can be reduced, and the reproduction speed can be increased.

以上、本発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲において種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention has been specifically described above based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the claims and are different. Embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in the respective embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

以下、実施例を示し、本発明の形態についてさらに詳しく説明する。もちろん、本発明は以下の実施例に限定されるものではなく、細部については様々な様態が可能である。   Hereinafter, an Example is shown and it demonstrates in more detail about the form of this invention. Of course, the present invention is not limited to the following examples, and various modes are possible for details.

〔実施例1〕
情報記録媒体1aにおける電界強度の測定方法および測定結果について、以下に説明する。電界強度は、波長680nmのレーザー光71を照射したときの情報記録媒体1aをFDTD(Finate Difference Time Domain)法を用いてシミレーションすることによって測定した。
[Example 1]
A method for measuring the electric field strength and the measurement result in the information recording medium 1a will be described below. The electric field strength was measured by simulating the information recording medium 1a when irradiated with a laser beam 71 having a wavelength of 680 nm by using an FDTD (Fine Difference Time Domain) method.

(電界強度の測定方法)
シミュレーションに際して、以下のような設定を行った。レーザー光71の強度分布をガウス分布とし、スポット径を700nmとした。近接場光発生部材73は、すり鉢状の微小開口(入射部直径400nm、出射部直径20nm)を有する、厚さ100nmの金薄膜とした。近接場光発生部材73と情報記録媒体1aとの距離は5nmとした。また、入射光の偏向は、円偏光とし、レーザー光の電界のピーク強度(|E|)は1(V/m)とした。
(Measurement method of electric field strength)
The following settings were made during the simulation. The intensity distribution of the laser beam 71 was a Gaussian distribution, and the spot diameter was 700 nm. The near-field light generating member 73 was a gold thin film with a thickness of 100 nm having a mortar-shaped minute opening (incident part diameter 400 nm, outgoing part diameter 20 nm). The distance between the near-field light generating member 73 and the information recording medium 1a was 5 nm. The incident light was deflected circularly, and the peak intensity (| E | 2 ) of the electric field of the laser light was 1 (V / m) 2 .

シミュレーションに用いた情報記録媒体1aは、基板11および凸部11aをともに二酸化ケイ素とし、凸部11aが25nm間隔で並ぶように配置した。凸部11aの高さは15nmとした。記録層12はコバルト−白金合金とした。また、凸部11aの頂点における膜厚は、10nmとした。誘電体13には、二酸化ケイ素を用いた。誘電体13は、膜厚7nmで記録層12上に形成した。金属体14は金を用いた。金属体14は、図1に示した断面で、幅7nm、高さ6nmとなるように形成した。なお、凸部11aの上に設けられた誘電体13の頂部は、幅18nmの範囲で削り取り、保護層15としてカーボン膜を膜厚5nmで形成した。   In the information recording medium 1a used for the simulation, both the substrate 11 and the convex portion 11a are made of silicon dioxide, and the convex portions 11a are arranged at intervals of 25 nm. The height of the convex part 11a was 15 nm. The recording layer 12 was a cobalt-platinum alloy. The film thickness at the apex of the convex portion 11a was 10 nm. For the dielectric 13, silicon dioxide was used. The dielectric 13 was formed on the recording layer 12 with a film thickness of 7 nm. Gold was used for the metal body 14. The metal body 14 was formed to have a width of 7 nm and a height of 6 nm in the cross section shown in FIG. Note that the top of the dielectric 13 provided on the convex portion 11a was scraped in a range of 18 nm in width, and a carbon film was formed as the protective layer 15 with a film thickness of 5 nm.

(電界強度の測定結果)
実施形態1に係る情報記録媒体1aにおける電界強度の測定結果を図13に示す。図13は、図1に示した断面について、情報記録媒体1aにレーザー光を照射した場合の電界強度を表した図である。なお、図13は、図1に示した概略断面図と上下が逆となっている。すなわち、図面13中下方向よりレーザー光が照射されている。
(Measurement result of electric field strength)
The measurement result of the electric field intensity in the information recording medium 1a according to Embodiment 1 is shown in FIG. FIG. 13 is a diagram showing the electric field strength when the information recording medium 1a is irradiated with laser light in the cross section shown in FIG. Note that FIG. 13 is upside down from the schematic cross-sectional view shown in FIG. That is, the laser beam is irradiated from below in FIG.

図13に示すように、レーザー光の照射により近接場光発生部材73の微小開口に近接場光が発生し、情報記録媒体1aの記録層12に照射されていることを確認することができた。さらに、近接場光72が照射された領域の金属体14と誘電体13との界面付近において、情報記録媒体1a内部で局所的な強い電界の集中を観測することができた。   As shown in FIG. 13, it was confirmed that the near-field light was generated in the minute opening of the near-field light generating member 73 by the laser light irradiation and was irradiated to the recording layer 12 of the information recording medium 1a. . Furthermore, a local strong electric field concentration could be observed inside the information recording medium 1a in the vicinity of the interface between the metal body 14 and the dielectric 13 in the region irradiated with the near-field light 72.

電界が集中している箇所の電界強度(|E|)は、図13に示すように、微小開口の出射部における電界強度と同程度(50(V/m)強)であり、非常に強いものであった。 As shown in FIG. 13, the electric field strength (| E | 2 ) at the location where the electric field is concentrated is approximately the same as the electric field strength (50 (V / m) 2 strength) at the exit portion of the minute aperture, It was strong.

これは、情報記録媒体1aの表面に照射された近接場光72が情報記録媒体1aの内部、より詳しくは誘電体13と金属体14との界面においてプラズモンに変換され、局所プラズモンとして、電界の集中を引き起こしたためである。これによって、情報記録媒体1a内部から加熱することができるため、光源75の消費電力を低減しつつ、記録層12の情報を記録しようとする箇所を十分に効率良く加熱することができる。   This is because the near-field light 72 applied to the surface of the information recording medium 1a is converted into plasmons inside the information recording medium 1a, more specifically, at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14, and as an electric field, This is because it caused concentration. As a result, the information recording medium 1a can be heated from the inside, so that the portion of the recording layer 12 where information is to be recorded can be heated sufficiently efficiently while reducing the power consumption of the light source 75.

図14には、図2(a)に示した平面における電界強度の測定結果を示した。図14に示すように、誘電体13と金属体14との界面における電界集中は、凸部12aを取り囲むように生じており、電界強度の強い領域に囲まれた記録層12が特に加熱され、情報が記録され易い状態となることが明らかとなった。   FIG. 14 shows the measurement results of the electric field strength in the plane shown in FIG. As shown in FIG. 14, the electric field concentration at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14 occurs so as to surround the convex portion 12a, and the recording layer 12 surrounded by the region where the electric field strength is strong is particularly heated. It became clear that information was easily recorded.

〔比較例1〕
実施例1において金属体14を用いずに、金属体14の部分を誘電体13で置き換えた以外は実施例1と同じ構成である情報記録媒体101aについて、実施例1と同様の方法によって電界強度を測定した。
[Comparative Example 1]
The electric field strength of the information recording medium 101a having the same configuration as in Example 1 except that the metal body 14 is not replaced with the dielectric 13 in Example 1 by the same method as in Example 1. Was measured.

情報記録媒体101aにおける図1に相当する断面での電界強度の測定結果を図15に示す。図15は、情報記録媒体101aにレーザー光を照射した場合の電界強度を表した図であり、図13と同様に図面15中下方向よりレーザー光が照射されている。   FIG. 15 shows the measurement result of the electric field strength in the cross section corresponding to FIG. 1 in the information recording medium 101a. FIG. 15 is a diagram showing the electric field intensity when the information recording medium 101a is irradiated with laser light. Like FIG. 13, the laser light is irradiated from below in FIG.

図15に示すように、情報記録媒体101a内部において、実施例1で見られたような微小開口の出射部における電界強度に匹敵する程の高強度の電界集中は見られなかった。   As shown in FIG. 15, there was no electric field concentration in the information recording medium 101a as high as the electric field intensity comparable to the electric field intensity at the exit portion of the minute aperture as seen in Example 1.

〔比較例2〕
実施例1において誘電体13を用いずに、誘電体13の部分を全て金属体14で置き換えた以外は実施例1と同じ構成である情報記録媒体102aについて、実施例1と同様の方法によって電界強度を測定した。
[Comparative Example 2]
The information recording medium 102a having the same configuration as that of the first embodiment except that the dielectric 13 is not used and the entire portion of the dielectric 13 is replaced with the metal member 14 in the first embodiment. The strength was measured.

情報記録媒体102aにおける図1に相当する断面での電界強度の測定結果を図16に示す。図16は、情報記録媒体102aにレーザー光を照射した場合の電界強度を表した図であり、図13および図15と同様に図面16中下方向よりレーザー光が照射されている。   FIG. 16 shows the measurement result of the electric field strength in the cross section corresponding to FIG. 1 in the information recording medium 102a. FIG. 16 is a diagram showing the electric field strength when the information recording medium 102a is irradiated with laser light, and the laser light is irradiated from below in FIG. 16 as in FIGS.

図16に示すように、情報記録媒体102a内部において、電界集中は確認されなかった。   As shown in FIG. 16, electric field concentration was not confirmed in the information recording medium 102a.

〔実施例2〕
実施例1の構成において、記録層12を磁性体材料であるコバルト−白金合金から、光情報記録媒体に用いられるビスマス−ゲルマニウム合金に置き換えた以外は実施例1と同じ構成である情報記録媒体1aについて、実施例1と同様の方法によって電界強度を測定した。その結果、記録層12の材料変更に関わらず、図13および14に示した結果と同様の高強度の電界集中が情報記録媒体1a内部(誘電体13と金属体14との界面付近)で確認され、記録層12の材料が光情報記録材料であっても高強度の電界集中が得られることが明らかとなった。
[Example 2]
In the configuration of the first embodiment, the information recording medium 1a has the same configuration as that of the first embodiment except that the recording layer 12 is replaced with a bismuth-germanium alloy used for an optical information recording medium from a cobalt-platinum alloy that is a magnetic material. The electric field strength was measured by the same method as in Example 1. As a result, regardless of the material change of the recording layer 12, high-intensity electric field concentration similar to the results shown in FIGS. 13 and 14 is confirmed inside the information recording medium 1a (near the interface between the dielectric 13 and the metal 14). As a result, it has been clarified that even when the material of the recording layer 12 is an optical information recording material, high electric field concentration can be obtained.

〔実施例3〕
実施例1の構成において、近接場発生部材73を取り除き、光源75から発せられた伝播光(レーザー光71)を情報記録媒体1aに照射した場合の電界強度(図1に示した断面)を図17に示した。図17に示すように、近接場発生部材73を用いずに、伝播光を直接情報記録媒体1aに照射した場合においても、情報記録媒体1aの内部では、金属体14と誘電体13との界面近傍で電界集中が確認された。このときの電界ピーク強度(|E|)は5(V/m)を超えており、入射させた伝播光(レーザー光)の電界ピーク強度(1(V/m))を上回る電界集中が得られた。
Example 3
In the configuration of Embodiment 1, the near-field generating member 73 is removed, and the electric field strength (cross section shown in FIG. 1) when propagating light (laser light 71) emitted from the light source 75 is applied to the information recording medium 1a is shown. 17 shows. As shown in FIG. 17, even when propagating light is directly applied to the information recording medium 1a without using the near-field generating member 73, the interface between the metal body 14 and the dielectric 13 is formed inside the information recording medium 1a. Electric field concentration was confirmed in the vicinity. The electric field peak intensity (| E | 2 ) at this time exceeds 5 (V / m) 2 and the electric field exceeds the electric field peak intensity (1 (V / m) 2 ) of incident propagating light (laser light). Concentration was obtained.

〔比較例3〕
実施例3において、情報記録媒体を、比較例1で示した金属体14を用いない情報記録媒体101aに変更し、実施例3と同様に光源75から発せられた伝播光(レーザー光71)を情報記録媒体101aに照射した場合の電界強度を測定した。
[Comparative Example 3]
In Example 3, the information recording medium is changed to the information recording medium 101a that does not use the metal body 14 shown in Comparative Example 1, and the propagation light (laser light 71) emitted from the light source 75 is used as in Example 3. The electric field strength when irradiated to the information recording medium 101a was measured.

その結果、情報記録媒体101a内部において、実施例3で見られたような高強度の電界集中は確認されなかった。   As a result, high-intensity electric field concentration as seen in Example 3 was not confirmed in the information recording medium 101a.

〔比較例4〕
実施例3において誘電体13を用いずに、誘電体13の部分を全て金属体14で置き換えた以外は実施例3と同じ情報記録媒体102aについて、実施例3と同様の方法によって電界強度を測定した。
[Comparative Example 4]
The electric field strength was measured by the same method as in Example 3 for the same information recording medium 102a as in Example 3 except that the dielectric 13 was not used in Example 3 and all the parts of the dielectric 13 were replaced with the metal body 14. did.

その結果、情報記録媒体102a内部において、電界集中は確認されなかった。   As a result, electric field concentration was not confirmed in the information recording medium 102a.

〔実施例4〕
実施形態2に係る情報記録媒体1cにおける電界強度の測定結果を図18に示す。図18は、情報記録媒体1cにレーザー光を照射した場合の電界強度を図9(a)に示した平面における電界強度の測定結果を示した図である。
Example 4
The measurement result of the electric field strength in the information recording medium 1c according to Embodiment 2 is shown in FIG. FIG. 18 is a diagram showing the measurement result of the electric field strength in the plane shown in FIG. 9A when the information recording medium 1c is irradiated with laser light.

図18に示すように、金属体14を凸部12aの周囲に離散して配置した場合においても、情報記録媒体1c内部の誘電体13と金属体14との界面付近において、局所的な強い電界の集中を測定することができた。   As shown in FIG. 18, even when the metal body 14 is discretely arranged around the convex portion 12a, a strong local electric field is generated in the vicinity of the interface between the dielectric 13 and the metal body 14 inside the information recording medium 1c. Was able to measure concentration.

電界が集中している箇所の電界強度(|E|)は、微小開口の出射部における電界強度(50(V/m)強)を遥かに上回り、200(V/m)を超える極めて強いものとなった。これは、金属体14が離散して配置されていたため、誘電体13と金属体14との界面付近に発生したプラズモンが金属体14を伝わって伝播(周囲に拡散)していくことができず、プラズモンが個々の金属体14毎に閉じ込められた効果であると考えられる。 The electric field strength (| E | 2 ) at the location where the electric field is concentrated is much higher than the electric field strength (50 (V / m) 2 slightly) at the exit portion of the minute aperture and exceeds 200 (V / m) 2 . It became extremely strong. This is because the metal bodies 14 are discretely arranged, so that plasmons generated near the interface between the dielectric body 13 and the metal body 14 cannot propagate through the metal body 14 (diffuse around). The plasmon is considered to be an effect of confining each metal body 14.

これによって、情報記録媒体1b内部から極めて強いパワーで記録層12を加熱することができるため、光源75の消費電力を低減しつつ、記録しようとする箇所を十分に効率良く加熱することができる。また、図18に示すように、誘電体13と金属体14との界面における電界集中は、凸部12aを囲む4点において特に強く生じている様子が確認できた。すなわち、電界が集中している4点に囲まれた領域の記録層12が特に強く加熱され、情報が記録され易い状態となることが明らかとなった。   As a result, the recording layer 12 can be heated from the inside of the information recording medium 1b with extremely strong power, so that the portion to be recorded can be heated sufficiently efficiently while reducing the power consumption of the light source 75. Further, as shown in FIG. 18, it was confirmed that the electric field concentration at the interface between the dielectric 13 and the metal body 14 was particularly strongly generated at the four points surrounding the convex portion 12a. That is, it has been clarified that the recording layer 12 in the region surrounded by the four points where the electric field is concentrated is heated particularly strongly and information is easily recorded.

〔実施例5〕
実施例4の構成において、記録層12を磁性体材料であるコバルト−白金合金から、光情報記録媒体に用いられるビスマス−ゲルマニウム合金に置き換えた以外は実施例4と同じ構成である情報記録媒体1cについて、実施例1と同様の方法によって電界強度を測定した。その結果、記録層12の材料変更に関わらず、図18に示した結果と同様の極めて高い強度の電界集中が情報記録媒体1c内部(誘電体13と金属体14との界面付近)で確認され、記録層12の材料が光情報記録材料であっても高強度の電界集中が得られることが明らかとなった。
Example 5
In the configuration of Example 4, the information recording medium 1c has the same configuration as that of Example 4 except that the recording layer 12 is replaced with a bismuth-germanium alloy used for an optical information recording medium from a cobalt-platinum alloy, which is a magnetic material. The electric field strength was measured by the same method as in Example 1. As a result, regardless of the material change of the recording layer 12, the extremely high electric field concentration similar to the result shown in FIG. 18 is confirmed inside the information recording medium 1c (near the interface between the dielectric 13 and the metal 14). It was found that even when the material of the recording layer 12 is an optical information recording material, high-intensity electric field concentration can be obtained.

〔実施例6〕
実施例4の構成において、近接場発生部材73を取り除き、光源75から発せられた伝播光を情報記録媒体1bに照射した場合の電界強度を測定した。その結果、近接場発生部材73を用いずに、伝播光(レーザー光71)を直接情報記録媒体1bに照射した場合においても、情報記録媒体1bの内部では、金属体14と誘電体13との界面近傍で入射させた伝播光(レーザー光71)の電界ピーク強度を上回る電界集中が確認された。
Example 6
In the configuration of Example 4, the near-field generating member 73 was removed, and the electric field strength when the propagation light emitted from the light source 75 was applied to the information recording medium 1b was measured. As a result, even when propagating light (laser light 71) is directly applied to the information recording medium 1b without using the near-field generating member 73, the metal body 14 and the dielectric 13 are formed inside the information recording medium 1b. Electric field concentration exceeding the electric field peak intensity of propagating light (laser beam 71) incident near the interface was confirmed.

〔実施例7〕
実施形態3に係る情報記録媒体1dを用い、実施例1と同様の方法によって電界強度を測定した。
Example 7
Using the information recording medium 1d according to Embodiment 3, the electric field strength was measured by the same method as in Example 1.

情報記録媒体1dにおける電界強度の測定結果を図19に示す。図19は、情報記録媒体1dにレーザー光を照射した場合の、図10に示した断面における電界強度を表した図である。図19に示すように、近接場光72が照射された領域の情報記録媒体1d内部(誘電体13と金属体14との界面付近)において、強い電界の集中を測定することができた。   The measurement result of the electric field strength in the information recording medium 1d is shown in FIG. FIG. 19 is a diagram showing the electric field strength in the cross section shown in FIG. 10 when the information recording medium 1d is irradiated with laser light. As shown in FIG. 19, strong electric field concentration could be measured inside the information recording medium 1d in the region irradiated with the near-field light 72 (near the interface between the dielectric 13 and the metal body 14).

電界が集中している箇所の電界強度(|E|)は、図19に示すように、微小開口の出射部における電界強度とほぼ同程度(50(V/m)強)であり、非常に強いものであった。 As shown in FIG. 19, the electric field strength (| E | 2 ) at the location where the electric field is concentrated is almost the same as the electric field strength (50 (V / m) 2 strength) at the exit portion of the minute aperture, It was very strong.

これによって、情報記録媒体1d内部から記録層12を加熱することができるため、光源75の消費電力を低減しつつ、記録層12の情報を記録しようとする箇所を十分に効率良く加熱することができる。   As a result, the recording layer 12 can be heated from the inside of the information recording medium 1d, so that the portion of the recording layer 12 where information is to be recorded can be sufficiently efficiently heated while reducing the power consumption of the light source 75. it can.

〔比較例5〕
実施例7において、金属体14を用いずに、金属体14の部分を誘電体13で置き換えた以外は、実施例7と同じ構成の情報記録媒体101cについて、実施例7と同様の方法によって、電界強度を測定した。
[Comparative Example 5]
In Example 7, the information recording medium 101c having the same configuration as in Example 7 was replaced by the same method as in Example 7 except that the metal body 14 was replaced with the dielectric 13 without using the metal body 14. The electric field strength was measured.

その結果、情報記録媒体101c内部において、実施例7で見られたような微小開口の出射部における電界強度に匹敵するような高強度の電界集中は見られなかった。   As a result, no high-intensity electric field concentration comparable to the electric field intensity at the exit portion of the minute aperture as in Example 7 was found in the information recording medium 101c.

〔比較例6〕
実施例7において誘電体13を用いずに、誘電体13の部分を全て金属体14で置き換えた以外は実施例7と同じ情報記録媒体102cについて、実施例7と同様の方法によって電界強度を測定した。
[Comparative Example 6]
In Example 7, the electric field strength was measured by the same method as in Example 7 for the same information recording medium 102c as in Example 7 except that the dielectric 13 was not used and all the part of the dielectric 13 was replaced with the metal body 14. did.

その結果、情報記録媒体102c内部において、電界集中は確認されなかった。   As a result, electric field concentration was not confirmed in the information recording medium 102c.

〔実施例8〕
実施例7の構成において、近接場発生部材73を取り除き、光源75から発せられた伝播光(レーザー光71)を情報記録媒体1dに照射した場合の電界強度を測定した。その結果、近接場発生部材73を用いずに、伝播光(レーザー光71)を直接情報記録媒体1dに照射した場合においても、情報記録媒体1dの内部では、誘電体13と金属体14との界面近傍で入射させた伝播光(レーザー光71)の電界ピーク強度(1(V/m))を上回る電界集中が確認された。
Example 8
In the configuration of Example 7, the near-field generating member 73 was removed, and the electric field intensity was measured when the information recording medium 1d was irradiated with propagating light (laser light 71) emitted from the light source 75. As a result, even when propagating light (laser light 71) is directly applied to the information recording medium 1d without using the near-field generating member 73, the dielectric 13 and the metal body 14 are formed inside the information recording medium 1d. Electric field concentration exceeding the electric field peak intensity (1 (V / m) 2 ) of propagating light (laser beam 71) incident in the vicinity of the interface was confirmed.

本発明に係る情報記録媒体は、具体的には、ハードディスク、CD(Compact Disc)、DVD(Digital Versatile Disc)、BD(Blu-ray Disc)などに代表される情報記録媒体として好適に利用することができる。   Specifically, the information recording medium according to the present invention is suitably used as an information recording medium represented by a hard disk, a CD (Compact Disc), a DVD (Digital Versatile Disc), a BD (Blu-ray Disc), and the like. Can do.

実施形態1に係る情報記録媒体の構成を示す概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of an information recording medium according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る情報記録媒体の構成を示す平面図であり、(a)は図1のAA´線における平面図であり、(b)は図1のBB´線における平面図であり、(c)は図1のCC´線における平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a configuration of an information recording medium according to Embodiment 1, wherein (a) is a plan view taken along the line AA ′ in FIG. 1, and (b) is a plan view taken along the line BB ′ in FIG. c) is a plan view taken along line CC ′ of FIG. 実施形態1に係る情報記録媒体の製造方法を示す図であり、(a)は基板における凸部の形成を示しており、(b)は記録層、誘電体、金属体の形成を示しており、(c)は金属体の部分的な除去を示しており、(d)は保護層の形成を示している。2A and 2B are diagrams illustrating a method for manufacturing an information recording medium according to Embodiment 1, wherein FIG. 1A illustrates formation of a convex portion on a substrate, and FIG. 2B illustrates formation of a recording layer, a dielectric, and a metal body. , (C) shows the partial removal of the metal body, and (d) shows the formation of the protective layer. 実施形態1に係る情報記録媒体の変形例の構成を示す概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a modification of the information recording medium according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る情報記録媒体のさらに他の変形例の構成を示す概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of still another modification of the information recording medium according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る情報記録媒体のさらに他の変形例の構成を示す概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of still another modification of the information recording medium according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1に係る情報記録媒体の変形例の製造方法を示す図であり、(a)は記録層の形成を示しており、(b)はマスクの形成を示しており、(c)は記録層のエッチングを示しており、(d)は誘電体および金属体の形成を示しており、(e)は金属体の研削を示しており、(f)は保護層の形成を示している。6A and 6B are diagrams illustrating a manufacturing method of a modification example of the information recording medium according to the first embodiment, in which FIG. 5A illustrates formation of a recording layer, FIG. 5B illustrates formation of a mask, and FIG. FIG. 5 shows etching of the layers, (d) shows the formation of the dielectric and metal bodies, (e) shows the grinding of the metal bodies, and (f) shows the formation of the protective layer. 実施形態2に係る情報記録媒体の構成を示す概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of an information recording medium according to Embodiment 2. FIG. 実施形態2に係る情報記録媒体の構成を示す平面図であり、(a)は図8のAA´線における平面図であり、(b)は図8のBB´線における平面図であり、(c)は図8のCC´線における平面図である。FIG. 9 is a plan view showing a configuration of an information recording medium according to Embodiment 2, wherein (a) is a plan view taken along the line AA ′ of FIG. 8, and (b) is a plan view taken along the line BB ′ of FIG. c) is a plan view taken along line CC ′ of FIG. 実施形態3に係る情報記録媒体の構成を示す概略断面図である。6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of an information recording medium according to Embodiment 3. FIG. 実施形態3に係る情報記録媒体の構成を示す平面図であり、(a)は図10のAA´線における平面図であり、(b)は図10のBB´線における平面図である。It is a top view which shows the structure of the information recording medium which concerns on Embodiment 3, (a) is a top view in the AA 'line of FIG. 10, (b) is a top view in the BB' line of FIG. 実施形態4に係る情報記録再生装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the information recording / reproducing apparatus which concerns on Embodiment 4. 実施例1において測定した電界強度を表した図である。FIG. 3 is a diagram showing the electric field strength measured in Example 1. 実施例1において測定した電界強度を表した図である。FIG. 3 is a diagram showing the electric field strength measured in Example 1. 比較例1において測定した電界強度を表した図である。6 is a diagram showing electric field strength measured in Comparative Example 1. FIG. 比較例2において測定した電界強度を表した図である。10 is a diagram showing electric field strength measured in Comparative Example 2. FIG. 実施例3において測定した電界強度を表した図である。6 is a diagram showing electric field strength measured in Example 3. FIG. 実施例4において測定した電界強度を表した図である。It is a figure showing the electric field strength measured in Example 4. 実施例7において測定した電界強度を表した図である。It is a figure showing the electric field strength measured in Example 7.

符号の説明Explanation of symbols

1a 情報記録媒体
1b 情報記録媒体
1c 情報記録媒体
1d 情報記録媒体
11 基板
11a 凸部
12 記録層(情報記録層)
12a 凸部
13 誘電体
14 金属体
15 保護層
70 記録ヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a Information recording medium 1b Information recording medium 1c Information recording medium 1d Information recording medium 11 Substrate 11a Convex part 12 Recording layer (information recording layer)
12a Convex part 13 Dielectric 14 Metal body 15 Protective layer 70 Recording head

Claims (16)

基板上に直接または間接的に形成され、かつ、基板面内方向において連続している情報記録層を備えた情報記録媒体であって、
上記情報記録層は、複数の凸部を有しており、隣接する上記凸部の間には、誘電体を介して金属体が設けられており、
上記凸部の頂部には、上記金属体が設けられていないことを特徴とする情報記録媒体。
An information recording medium comprising an information recording layer formed directly or indirectly on a substrate and continuous in the in-plane direction of the substrate,
The information recording layer has a plurality of protrusions, and a metal body is provided between the adjacent protrusions via a dielectric ,
An information recording medium , wherein the metal body is not provided on the top of the convex portion .
上記情報記録層は、上記基板表面の形状に沿って形成されていることを特徴とする請求項1に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the information recording layer is formed along a shape of the substrate surface. 上記金属体は、上記凸部を取り囲むように、連続して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the metal body is continuously provided so as to surround the convex portion. 上記金属体は、上記凸部の周囲において、複数に分割して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the metal body is divided into a plurality of parts around the convex portion. 上記金属体は、トラック長さ方向に連続して設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the metal body is provided continuously in a track length direction. 上記金属体は、金、銀、アルミニウム、白金、またはこれらのうちの少なくともいずれかを含む合金からなることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の情報記録媒体。   6. The information recording medium according to claim 1, wherein the metal body is made of gold, silver, aluminum, platinum, or an alloy containing at least one of these. 上記情報記録層は、磁性体からなることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the information recording layer is made of a magnetic material. 上記情報記録層は、光記録材料からなることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の情報記録媒体。   The information recording medium according to claim 1, wherein the information recording layer is made of an optical recording material. 請求項7に記載の情報記録媒体に対して、上記誘電体と上記金属体との界面付近でプラズモンが発生するように光を照射する光源と、
上記情報記録媒体に対して磁界を印加する磁界印加手段と、
上記情報記録媒体から漏洩する漏洩磁界を検出する磁界検出手段と、
を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
A light source for irradiating the information recording medium according to claim 7 with light so that plasmons are generated in the vicinity of an interface between the dielectric and the metal ,
Magnetic field applying means for applying a magnetic field to the information recording medium;
Magnetic field detection means for detecting a leakage magnetic field leaking from the information recording medium;
An information recording / reproducing apparatus comprising:
請求項8に記載の情報記録媒体に対して、上記誘電体と上記金属体との界面付近でプラズモンが発生するように光を照射する光源と、
上記記録媒体から反射される光量を検出する光量検出手段と、
を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
A light source for irradiating the information recording medium according to claim 8 with light so that plasmons are generated in the vicinity of an interface between the dielectric and the metal ,
A light amount detecting means for detecting a light amount reflected from the recording medium;
An information recording / reproducing apparatus comprising:
上記光源と上記情報記録媒体との間であり、かつ、上記光の経路上に、近接場光生成部を備えていることを特徴とする請求項9または10に記載の情報記録再生装置。   The information recording / reproducing apparatus according to claim 9, further comprising a near-field light generation unit between the light source and the information recording medium and on the light path. 請求項7に記載の情報記録媒体に対して光を照射し、上記情報記録媒体における情報記録領域を加熱する加熱工程と、
上記情報記録領域に対して磁界を印加する磁界印加工程と、
を含むことを特徴とする情報記録方法。
A heating step of irradiating the information recording medium according to claim 7 with light to heat an information recording area in the information recording medium;
A magnetic field application step of applying a magnetic field to the information recording area;
An information recording method comprising:
請求項7に記載の情報記録媒体から発生する漏洩磁界を検出する漏洩磁界検出工程を含むことを特徴とする情報再生方法。   An information reproducing method comprising a leakage magnetic field detection step of detecting a leakage magnetic field generated from the information recording medium according to claim 7. 請求項8に記載の情報記録媒体に対して光を照射し、上記情報記録媒体における情報記録領域を加熱する加熱工程を含むことを特徴とする情報記録方法。   9. An information recording method comprising a heating step of irradiating the information recording medium according to claim 8 with light to heat an information recording area in the information recording medium. 請求項8に記載の情報記録媒体から反射する反射光の光量を検出する光量検出工程を含むことを特徴とする情報再生方法。   An information reproducing method comprising a light amount detecting step of detecting a light amount of reflected light reflected from the information recording medium according to claim 8. 情報記録層を備え、上記情報記録層は、複数の凸部を有しており、隣接する上記凸部の間には、誘電体を介して金属体が設けられており、上記凸部の頂部には、金属体が設けられていない情報記録媒体の製造方法であって、
基板上に直接または間接的に形成された層であって、基板面内方向において連続して形成されていると共に、複数の凸部を有する情報記録層を形成する工程と、
隣接する上記凸部の間に、誘電体を介して金属体を形成する工程と、を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
An information recording layer, the information recording layer has a plurality of protrusions, and a metal body is provided between the adjacent protrusions via a dielectric, the top of the protrusions Is a method of manufacturing an information recording medium not provided with a metal body,
A layer formed directly or indirectly on the substrate, continuously formed in the in-plane direction of the substrate, and forming an information recording layer having a plurality of convex portions;
And a step of forming a metal body via a dielectric between the adjacent convex portions.
JP2008107187A 2008-04-16 2008-04-16 Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium Expired - Fee Related JP4949313B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008107187A JP4949313B2 (en) 2008-04-16 2008-04-16 Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008107187A JP4949313B2 (en) 2008-04-16 2008-04-16 Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009259334A JP2009259334A (en) 2009-11-05
JP4949313B2 true JP4949313B2 (en) 2012-06-06

Family

ID=41386571

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008107187A Expired - Fee Related JP4949313B2 (en) 2008-04-16 2008-04-16 Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4949313B2 (en)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0729206A (en) * 1993-07-08 1995-01-31 Hitachi Ltd Optical recording medium
JP2000315321A (en) * 1999-04-30 2000-11-14 Minolta Co Ltd Non-destructive reproducing method of information on optical recording medium as well as optical reproducing device and optical recording/reproducing device
JP2003157502A (en) * 2001-11-22 2003-05-30 Toshiba Corp Magnetic recorder and magnetic recording and writing method
JP4668126B2 (en) * 2006-05-31 2011-04-13 シャープ株式会社 Information recording medium

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009259334A (en) 2009-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4100133B2 (en) Recording head and information recording apparatus using the same
US8743497B2 (en) Discrete track media (DTM) design and fabrication for heat assisted magnetic recording (HAMR)
JP4436881B2 (en) Magnetic recording medium, magnetic recording / reproducing apparatus, and magnetic recording / reproducing method
JP5506387B2 (en) Near-field optical head and information recording / reproducing apparatus
JP5841313B2 (en) Near-field optical head and information recording / reproducing apparatus
JP4119846B2 (en) High-density optical recording medium, storage device thereof, and recording / reproducing method thereof
JP4004978B2 (en) Information recording / reproducing head and information recording / reproducing apparatus
JP2010192016A (en) Magnetic recording medium, magnetic recording and reproducing head, magnetic recording and reproducing device, and method of manufacturing magnetic recording medium
JP5269693B2 (en) Magnetic recording medium
US20100073803A1 (en) Magnetic recording device and magnetic recording head drive mechanism
JP4949313B2 (en) Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium
JP2009140538A (en) Recording head and information recording/reproduction device
JP4738267B2 (en) Information recording device
JP4880578B2 (en) Information recording medium, magnetic recording / reproducing apparatus, and optical recording / reproducing apparatus
JP5097613B2 (en) Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium
US20080225673A1 (en) Information recording device and head
JP4540811B2 (en) Magnetic signal recording method and magnetic recording / reproducing apparatus
JP2004127389A (en) Recording/reproducing head, and recording/reproducing device
JP4507840B2 (en) Optically assisted magnetic recording head, magnetic recording apparatus, and optically assisted magnetic recording head manufacturing method
JP2007115375A (en) Magnetic recording and reproducing device
JP3971832B2 (en) Optical disk and optical disk device
JP2007012226A (en) Method and device for recording magnetic information
JP5715366B2 (en) Manufacturing method of near-field light-assisted magnetic recording head
WO2007129543A1 (en) Proximity field optical head and information recorder/reproducer
JP3617806B2 (en) Thermally assisted magnetic head and thermally assisted magnetic recording apparatus using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100826

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111012

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120106

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120207

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120307

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4949313

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees