JP2000164364A - Organic electroluminescent element and manufacture thereof - Google Patents

Organic electroluminescent element and manufacture thereof

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JP2000164364A
JP2000164364A JP10337661A JP33766198A JP2000164364A JP 2000164364 A JP2000164364 A JP 2000164364A JP 10337661 A JP10337661 A JP 10337661A JP 33766198 A JP33766198 A JP 33766198A JP 2000164364 A JP2000164364 A JP 2000164364A
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film
conductive film
organic
depositing
shape
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JP10337661A
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Japanese (ja)
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Akihiko Kono
昭彦 河野
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Sharp Corp
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations

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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the durability preventing the intrusion of water molecule into an element and lowering the heat generation of the element by providing predetermined-shaped magnetic substance members as an inductor arranged to that organic film is positioned inside and outside each other. SOLUTION: Magnetic substance materials are arranged in a hole carrier layer 5 on a hole injection layer 3. A lower electrode 1 is arranged under the magnetic substance materials 4a, 4c, 4e, but the lower electrode 1 is not arranged under the magnetic substance materials 4b, 4d, and a glass board 2 is provided through the hole injection layer 3. Connecting materials 6a, 6b electrically connected to the lower electrode 1 are provided over the magnetic substance materials 4b, 4d. The magnetic substance material and the lower electrode 1 are positioned opposite to each other in the vertical direction so as to functions as an inductor. Since a secondary coil for receiving the power supply and a rectifying circuit and included in the element, intrusion of the impure material such as water molecule and oxygen is prevented, and the deteriorating speed of the element is lowered so as to improve the characteristic and the lifetime of the element.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、有機エレクトロ
ルミネッセンス素子とその製造方法に関し、特に非接触
で電力を供給可能な有機エレクトロルミネッセンス素子
とその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence device and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an organic electroluminescence device capable of supplying electric power in a non-contact manner and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機エレクトロルミネッセンス素子は、
強い蛍光を持つ有機薄膜を一対の電極(陽極と陰極)で
挟んだ構造をしている。この一対の電極間に直流電圧
(電界)を印加すると、陽極から正の電荷(以下ホール
と称する)、陰極からは電子が有機薄膜に注入され、印
加された電界により有機薄膜中をホールと電子が移動す
る。そして、ホールと電子がある確率で再結合し、その
際放出されるエネルギーが強い蛍光を持つ有機分子を励
起し、その励起分子がエネルギーの基底状態に戻るとき
に蛍光を発する。励起状態を経て外部へ光を取り出す割
合を発光の量子収率と呼ぶが、これは電気エネルギーか
ら光への変換効率を表している。
2. Description of the Related Art Organic electroluminescent devices are
It has a structure in which an organic thin film having strong fluorescence is sandwiched between a pair of electrodes (anode and cathode). When a DC voltage (electric field) is applied between the pair of electrodes, positive charges (hereinafter referred to as holes) are injected from the anode and electrons are injected into the organic thin film from the cathode, and the applied electric field causes holes and electrons to flow through the organic thin film. Moves. Then, the holes and electrons recombine with a certain probability, and the emitted energy excites organic molecules having strong fluorescence, and emits fluorescence when the excited molecules return to the ground state of energy. The rate at which light is extracted to the outside via the excited state is called the quantum yield of light emission, which indicates the conversion efficiency from electric energy to light.

【0003】この有機エレクトロルミネッセンス素子
は、他の発光素子よりも、低電圧で高い発光効率を示
し、視認性が高く、発光色も多様性に富むという特長を
持ち、フラットパネルディスプレイの表示部として期待
されている。
The organic electroluminescent device has characteristics that it exhibits higher luminous efficiency at a lower voltage than other light emitting devices, has high visibility, and has a wide variety of luminescent colors, and is used as a display portion of a flat panel display. Expected.

【0004】ところで、従来、有機エレクトロルミネッ
センス素子への電力供給は、陽極及び陰極と電気的に接
続された外部の電力供給回路によって行われている。図
16に、交流電源103から整流回路102を介して有
機エレクトロルミネッセンス素子101に直流電圧を供
給する回路の概略構成図を示す。一般的に、図16に示
すように、有機エレクトロルミネッセンス素子101か
ら外部への電気的な取り出しが必要である。
Conventionally, power is supplied to an organic electroluminescence element by an external power supply circuit electrically connected to an anode and a cathode. FIG. 16 is a schematic configuration diagram of a circuit for supplying a DC voltage from the AC power supply 103 to the organic electroluminescence element 101 via the rectifier circuit 102. Generally, as shown in FIG. 16, it is necessary to electrically extract the organic electroluminescence element 101 to the outside.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】一般に、有機エレクト
ロルミネッセンス素子は、水分子や酸素等により影響を
受けると素子特性が劣化し、点灯寿命が短くなることが
知られている。したがって、水分子や酸素等の侵入を防
ぐために封止を行うことが必須となる。しかし、従来技
術では、一対の電極と電力供給回路を電気的に接続する
必要があるので、封止によって有機エレクトロルミネッ
センス素子を完全に被うことはできない。つまり、外部
の電力供給回路側から一対の電極を介して、有機エレク
トロルミネッセンス素子への水分子や酸素等の侵入が避
けられず、素子が劣化するという問題がある。また、有
機エレクトロルミネッセンス素子は、発光に伴う素子の
発熱で有機材料が結晶化し、素子が劣化するという問題
がある。
In general, it has been known that the organic electroluminescent element is deteriorated in element characteristics when it is affected by water molecules, oxygen or the like, and the operating life is shortened. Therefore, it is essential to perform sealing in order to prevent intrusion of water molecules, oxygen, and the like. However, in the related art, since it is necessary to electrically connect the pair of electrodes and the power supply circuit, the organic electroluminescent element cannot be completely covered by sealing. That is, there is a problem that invasion of water molecules, oxygen and the like into the organic electroluminescence element from the external power supply circuit side via the pair of electrodes is unavoidable, and there is a problem that the element is deteriorated. In addition, the organic electroluminescent element has a problem that the organic material is crystallized due to heat generation of the element due to light emission, and the element is deteriorated.

【0006】この発明は、以上のような事情を考慮して
なれたものであり、有機エレクトロルミネッセンス素子
への水分子等の侵入を防止し、かつ素子の発熱を低減さ
せて素子の耐久性を向上させることのできる有機エレク
トロルミネッセンス素子を提供することを課題とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and prevents the intrusion of water molecules and the like into an organic electroluminescence element, reduces the heat generation of the element, and improves the durability of the element. It is an object to provide an organic electroluminescence element that can be improved.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板上
に、下部電極としての第1導電膜と、エレクトロルミネ
ッセンスを発しうる複数層の有機膜と、上部電極として
の第2導電膜とからなり、第1または第2導電膜のいず
れか一方は、断面構造として凹凸状の繰り返し形状を有
し、かつ複数層の有機膜が、前記繰り返し形状の外部に
位置する第1膜部と、前記繰り返し形状の内部に位置す
る第2膜部とから構成され、前記有機膜が、その第1膜
部及び第2膜部それぞれの内部であって、前記繰り返し
形状の内部と外部に交互に位置するように配置された所
定形状の磁性体部材を備え、それによってインダクタと
して機能することを特徴とする有機エレクトロルミネッ
センス素子を提供するものである。
According to the present invention, a first conductive film as a lower electrode, a plurality of organic films capable of emitting electroluminescence, and a second conductive film as an upper electrode are provided on a transparent substrate. And one of the first and second conductive films has an uneven repetition shape as a cross-sectional structure, and a plurality of organic films, a first film portion located outside the repetition shape, And a second film portion located inside the repetitive shape, wherein the organic film is inside each of the first film portion and the second film portion and alternately located inside and outside the repetitive shape. An organic electroluminescence element is provided, which is provided with a magnetic member having a predetermined shape arranged as described above and thereby functions as an inductor.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】また、このような構成を持つこの
発明の有機エレクトロミネッセンス素子は、特に、前記
第1導電膜が、断面構造として凹凸状の繰り返し形状を
有し、前記有機膜の第1膜部が、第1導電膜の上に形成
され、前記有機膜の第2膜部が、透明基板の上に形成さ
れ、前記第1導電膜の繰り返し形状の内部と外部に交互
に位置するように配置された所定形状の磁性体部材と、
第1導電膜とがインダクタとして機能することを特徴と
する素子である。
Further, in the organic electroluminescence device of the present invention having such a structure, in particular, the first conductive film has a cross-sectional structure having a repeating pattern of irregularities, and Is formed on a first conductive film, the second film portion of the organic film is formed on a transparent substrate, and alternately formed inside and outside the repeating shape of the first conductive film. A magnetic member of a predetermined shape arranged to be located,
The first conductive film functions as an inductor.

【0009】また、前記第2導電膜が、断面構造として
凹凸状の繰り返し形状を有し、前記有機膜の第1膜部が
第2導電膜の上に形成され、前記有機膜の第2膜部が第
1導電膜の上に形成され、前記第2導電膜の繰り返し形
状の内部と外部に交互に位置するように配置された所定
形状の磁性体部材と、第2導電膜とがインダクタとして
機能することを特徴とする。
Further, the second conductive film has a cross-sectional structure of a concave and convex repetitive shape, a first film portion of the organic film is formed on the second conductive film, and a second film of the organic film is formed. A magnetic member having a predetermined shape formed on the first conductive film and arranged so as to be alternately located inside and outside the repetitive shape of the second conductive film; and the second conductive film as an inductor. It is characterized by functioning.

【0010】ここで、有機膜は、ホール注入層、ホール
輸送層、発光層とから構成される。さらに、この発明
は、前記透明基板上に、第1の導電膜と第2の導電膜と
の間に並列に配置された抵抗体と誘電体とからなる整流
回路を形成したことを特徴とする有機エレクトロルミネ
ッセンス素子である。
Here, the organic film includes a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer. Furthermore, the present invention is characterized in that a rectifier circuit comprising a resistor and a dielectric disposed in parallel between the first conductive film and the second conductive film is formed on the transparent substrate. It is an organic electroluminescence element.

【0011】また、この発明は、前記整流回路が透明基
板の端部近傍に配置され、前記有機膜の発光に寄与する
部分の表面積aが、有機エレクトロルミネッセンス素子
全体の表面積Sに対して、0.5S≦a<Sであること
を特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子であ
る。
Further, in the present invention, the rectifier circuit is disposed near an end of the transparent substrate, and the surface area a of the portion of the organic film contributing to light emission is 0% with respect to the surface area S of the whole organic electroluminescence element. It is an organic electroluminescent device, wherein 0.5S ≦ a <S.

【0012】この発明において、透明基板は有機エレク
トロルミネッセンス素子の支持基板となるが、透光性を
有する材料で作ることが好ましく、ガラス、石英、透明
プラスチック等が用いられる。下部電極である第1電膜
は、透光性を有する導電性材料で作ることが好ましく、
ITD膜等を用いることができる。上部電極である第2
導電膜は、導電性を有する材料であればよいが、たとえ
ば、AlLi合金を用いることができる。第1導電膜を
接続するための接続材料や、第2導電膜を接続するため
の接続材料も導電性を有する材料(AlLi合金等)を
用いればよい。磁性体部材は、第1導電膜あるいは第2
導電膜と組み合わせることによって、いわゆるインダク
タとして機能することのできる材料を用いる必要がある
が、たとえばFeCoSiBを用いればよい。
In the present invention, the transparent substrate serves as a support substrate for the organic electroluminescence element, but is preferably made of a material having a light-transmitting property, and glass, quartz, transparent plastic or the like is used. The first electrode film serving as the lower electrode is preferably made of a conductive material having a light-transmitting property.
An ITD film or the like can be used. The second, which is the upper electrode
The conductive film may be any material having conductivity, and for example, an AlLi alloy can be used. As a connection material for connecting the first conductive film and a connection material for connecting the second conductive film, a conductive material (such as an AlLi alloy) may be used. The magnetic member may be a first conductive film or a second conductive film.
It is necessary to use a material that can function as a so-called inductor when combined with a conductive film. For example, FeCoSiB may be used.

【0013】この発明は、第1導電膜を透明基板の上に
所定のパターン形状に分割して蒸着する工程と、ホール
注入層を第1導電膜の一部分のみを残して上記構造の上
に蒸着する工程と、磁性体部材をホール注入層の上に所
定パターン形状に蒸着する工程と、ホール輸送層を、上
記構造の上であって磁性体部材を覆い、かつ前記ホール
注入層が蒸着されていない第1導電膜の一部分のみを残
して蒸着する工程と、前記ホール注入層が蒸着されてい
ない第1導電膜の一部分を互いに接続するように接続材
料を上記構造の上に蒸着する工程と、発光層を上記構造
の上に所定のパターン形状に蒸着する工程と、第2導電
膜を上記構造の上に蒸着する工程とからなる有機エレク
トロルミネッセンス素子の製造方法を提供するものであ
る。
According to the present invention, a first conductive film is divided and deposited in a predetermined pattern on a transparent substrate, and a hole injection layer is deposited on the above structure while leaving only a part of the first conductive film. Performing a step of depositing a magnetic member on the hole injection layer in a predetermined pattern shape, and forming a hole transport layer on the structure, covering the magnetic member, and depositing the hole injection layer. Depositing only a portion of the first conductive film without leaving, and depositing a connection material on the structure so as to connect the portions of the first conductive film on which the hole injection layer is not deposited to each other; An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: a step of depositing a light emitting layer on the structure in a predetermined pattern shape; and a step of depositing a second conductive film on the structure.

【0014】また、第1導電膜を透明基板の上に蒸着す
る工程と、ホール注入層を上記構造の上に蒸着する工程
と、第2導電膜を接続するための接続材料を上記構造の
上に所定のパターン形状に蒸着する工程と、ホール輸送
層を上記構造の上であって前記接続材料の一部分を残す
ように所定のパターン形状に蒸着する工程と、磁性体部
材をホール輸送層の上に所定のパターン形状に蒸着する
工程と、発光層を上記構造の上で磁性体部材を覆い、か
つ前記ホール輸送層が蒸着されていない接続材料の一部
分のみを残して蒸着する工程と、第2導電膜を上記構造
の上であって前記接続材料の一部分と接続するように分
割して蒸着する工程とからなる有機エレクトロルミネッ
センス素子の製造方法を提供する。
A step of depositing a first conductive film on the transparent substrate, a step of depositing a hole injection layer on the structure, and a step of forming a connection material for connecting the second conductive film on the structure. Depositing a hole transport layer on the above-mentioned structure in a predetermined pattern so as to leave a part of the connection material; and depositing a magnetic member on the hole transport layer. Depositing a light-emitting layer on the magnetic material on the structure, and depositing the hole transport layer while leaving only a part of the connection material where the hole transport layer is not deposited; A step of depositing a conductive film on the structure and dividing the conductive film so as to be connected to a part of the connecting material, thereby providing a method for manufacturing an organic electroluminescent element.

【0015】以下、図を用いて、この発明の実施例につ
いて示すが、これに限定するものではない。以下、第1
の導電膜を下部電極,第2の導電膜を上部電極とも呼
ぶ。図1に、この発明において、非接触によって有機エ
レクトロルミネッセンス素子に電力供給を行う回路の概
略構成図を示す。図1において、電力誘導回路は、交流
電源103,発振器104,高周波電力ドライバ105
及び一次コイル106で構成され、電磁誘導回路は二次
コイル107と整流回路102で構成される。一次コイ
ル106と二次コイル107の間は非接触で電力が受け
渡される。この発明は、有機エレクトロルミネッセンス
素子101が、二次コイル107と整流回路102とか
らなる電磁誘導回路をも含んだ構成を備えていることを
特徴とする。また、後述するように、二次コイルは、磁
性体材料及び上下電極の特殊な配置によって形成され
る。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. Hereinafter, the first
Is also referred to as a lower electrode, and the second conductive film is also referred to as an upper electrode. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a circuit for supplying power to an organic electroluminescence element in a non-contact manner in the present invention. In FIG. 1, the power induction circuit includes an AC power supply 103, an oscillator 104, and a high-frequency power driver 105.
, And a primary coil 106, and the electromagnetic induction circuit includes a secondary coil 107 and a rectifier circuit 102. Electric power is transferred between the primary coil 106 and the secondary coil 107 in a non-contact manner. The present invention is characterized in that the organic electroluminescence element 101 has a configuration including an electromagnetic induction circuit including a secondary coil 107 and a rectifier circuit 102. Further, as described later, the secondary coil is formed by a special arrangement of the magnetic material and the upper and lower electrodes.

【0016】図2に、この発明の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の等価回路図を示す。ここで、有機エレク
トロルミネッセンス素子は、図1に示す二次コイル10
7と整流回路102とを含むが、図2において整流回路
102は、ダイオード108,抵抗109,コンデンサ
110からなる。一次コイル106と、有機エレクトロ
ルミネッセンス素子に含まれる二次コイル107との間
で電磁誘導が起こり、図1の電力誘電回路から有機エレ
クトロルミネッセンス素子へ非接触で電力が運ばれる。
FIG. 2 shows an equivalent circuit diagram of the organic electroluminescence device of the present invention. Here, the organic electroluminescence element is a secondary coil 10 shown in FIG.
7 and a rectifier circuit 102. In FIG. 2, the rectifier circuit 102 includes a diode 108, a resistor 109, and a capacitor 110. Electromagnetic induction occurs between the primary coil 106 and the secondary coil 107 included in the organic electroluminescent element, and power is transferred from the power induction circuit of FIG. 1 to the organic electroluminescent element in a non-contact manner.

【0017】すなわち、交流電源103によって供給さ
れた電力は発振器104によって高周波に変換され、高
周波電力ドライバ105によって一次コイル106に運
ばれる。電力の供給を受ける有機エレクトロルミネッセ
ンス素子側は、この一次コイル側で発生した電磁誘導を
非接触で受けて、二次コイル107として作用する磁性
体材料と下部電極または上部電極が、それぞれ磁界の変
化及び電界の変化として電力を取り出す。そしてこの電
力は有機エレクトロルミネッセンス素子に形成された抵
抗体及び誘導体からなる整流回路102において、直流
に変換される。この直流の電力が、有機エレクトロルミ
ネッセンス素子の発光部分に供給され、素子を連続点灯
させる。
That is, the electric power supplied by the AC power supply 103 is converted into a high frequency by the oscillator 104, and transferred to the primary coil 106 by the high frequency power driver 105. The organic electroluminescence element receiving power receives the electromagnetic induction generated on the primary coil side in a non-contact manner, and the magnetic material acting as the secondary coil 107 and the lower electrode or the upper electrode change the magnetic field, respectively. And electric power is taken out as a change in the electric field. This electric power is converted to direct current in a rectifier circuit 102 formed of a resistor and a derivative formed in the organic electroluminescence element. This DC power is supplied to the light emitting portion of the organic electroluminescence element, and the element is continuously lit.

【0018】次に、この発明の有機エレクトロルミネッ
センス素子の構造について説明する。図3に、この発明
の有機エレクトロルミネッセンス素子の一実施例の主要
部の概略断面図を示す。ここでは、下部電極と磁性体材
料との上下方向の位置関係が交互に反転し、下部電極と
磁性体材料によって二次コイルを形成している場合を示
している。
Next, the structure of the organic electroluminescence device of the present invention will be described. FIG. 3 is a schematic sectional view of a main part of an embodiment of the organic electroluminescence device of the present invention. Here, a case is shown in which the vertical positional relationship between the lower electrode and the magnetic material is alternately reversed, and a secondary coil is formed by the lower electrode and the magnetic material.

【0019】図3において、有機ルミネッセンス素子
は、支持基板であるガラス基板2,下部電極1,3つの
層からなる有機薄膜層(3,5,7)、上部電極10及
び磁性体材料4(4a〜4e)と、図示していない抵抗
体及び誘電体とから構成される。また図3に示すよう
に、下部電極1(1a,1b,1c)は、接続材料6
(6a,6b)によって電気的に接続される。
In FIG. 3, an organic luminescence element comprises a glass substrate 2 as a support substrate, an organic thin film layer (3, 5, 7) composed of three layers, a lower electrode 1, three layers, an upper electrode 10, and a magnetic material 4 (4a). 4e) and a resistor and a dielectric (not shown). As shown in FIG. 3, the lower electrode 1 (1a, 1b, 1c) is
(6a, 6b) are electrically connected.

【0020】下部電極1には、透明電極材料、たとえば
インジウム錫酸化物(ITO)が用いられ、上部電極2
0及び接続材料6にはAlLi合金(以下AlLiと記
す)が用いられる。有機薄膜層は、ホール注入層3,ホ
ール輸送層5及び発光層7の3つの層からなり、所定の
パターニングが行われて形成される。ホール注入層3の
材料としては、銅フタロシアニン(CuPb)が用いら
れる。ホール輸送層5の材料としては、N,N−ビス
(3−メチルフェニル)−(1,1−ビフェニル)−
4,4ジアミン(以下TPDと記す)が用いられる。発
光層7の材料としては、キノリノールアルミニウム錯体
(以下Alq3と記す)が用いられる。ただし、これら
の材料は一例であって、これに限るものではない。たと
えば、特開昭63−295695号公報に記載された合
金や、特開平3−152897号公報に記載された有機
化合物を用いることができる。また、支持基板は、透明
基板が好ましく、ガラスの他、透明プラスチック、石英
などを用いることができる。
For the lower electrode 1, a transparent electrode material, for example, indium tin oxide (ITO) is used.
An AlLi alloy (hereinafter referred to as AlLi) is used for the connection material 6 and the connection material 6. The organic thin film layer is composed of three layers, a hole injection layer 3, a hole transport layer 5, and a light emitting layer 7, and is formed by performing predetermined patterning. Copper phthalocyanine (CuPb) is used as a material of the hole injection layer 3. As a material of the hole transport layer 5, N, N-bis (3-methylphenyl)-(1,1-biphenyl)-
4,4 diamine (hereinafter referred to as TPD) is used. As a material of the light emitting layer 7, a quinolinol aluminum complex (hereinafter, referred to as Alq 3 ) is used. However, these materials are only examples, and the present invention is not limited to these materials. For example, alloys described in JP-A-63-295695 and organic compounds described in JP-A-3-152897 can be used. Further, the support substrate is preferably a transparent substrate, and besides glass, transparent plastic, quartz, or the like can be used.

【0021】磁性体材料4は、図3に示すように、ホー
ル注入層3の上でホール輸送層5の中に配置される。こ
こで、磁性体材料4のうち、符号4a,4c,4eで示
される磁性体材料は、その下方に下部電極1が配置され
ている。一方、符号4b,4dで閉め荒れる磁性体材料
の下方には下部電極1がなく、ホール注入層3を介して
ガラス基板2が存在し、逆に磁性体材料4b,4dの上
方に、下部電極1と電気的に接続された接続材料6a,
6bが存在する。
The magnetic material 4 is disposed in the hole transport layer 5 on the hole injection layer 3 as shown in FIG. Here, of the magnetic materials 4 among the magnetic materials 4, 4 c and 4 e, the lower electrode 1 is disposed below the magnetic materials. On the other hand, there is no lower electrode 1 below the magnetic material closed and roughened by reference numerals 4b and 4d, and the glass substrate 2 exists via the hole injection layer 3, and conversely, the lower electrode 1 is provided above the magnetic materials 4b and 4d. 1, a connection material 6a electrically connected to
6b is present.

【0022】すなわち、図3に示す断面において、磁性
体材料4と下部電極1との上下方向の位置関係は交互に
反転している。このような位置関係の構造は、磁性体材
料に下部電極1をコイル状に巻き付けた構造と等価であ
り、インダクタンス(すなわち二次コイル107)とし
ての役割を果たす。磁性体材料4としては、アモルファ
ス磁性材料FeCoSiBが用いられ、各磁性体材料4
a〜4eは、互いに平行に配列され、紙面に垂直な方向
に延伸した構造に形成される。
That is, in the cross section shown in FIG. 3, the vertical positional relationship between the magnetic material 4 and the lower electrode 1 is alternately reversed. The structure having such a positional relationship is equivalent to a structure in which the lower electrode 1 is wound around a magnetic material in a coil shape, and serves as an inductance (that is, the secondary coil 107). As the magnetic material 4, an amorphous magnetic material FeCoSiB is used.
a to 4e are arranged in parallel with each other and formed in a structure extending in a direction perpendicular to the paper surface.

【0023】なお、図3には、整流回路は図示していな
いが、後述するように、直接表示には寄与しないガラス
基板の端部に、抵抗体と誘導体とからなる整流回路を形
成することにより、この発明の有機エレクトロルミネッ
センス素子が構成される。抵抗体の材料としてはTaを
用い、誘導体の材料としてはZnSを用いることができ
る。図3に示す有機エレクトロルミネッセンス素子を構
成する各部材は、メタルマスクを用いて所定の形状にパ
ターニングされ、必要な材料を所定の温度に加熱するこ
とにより、それぞれ真空蒸着によって形成される。真空
蒸着は、一般に用いられている抵抗加熱真空蒸着装置を
用いて行えばよい。
Although a rectifier circuit is not shown in FIG. 3, a rectifier circuit composed of a resistor and a derivative is formed at an end of a glass substrate which does not directly contribute to display, as described later. Thus, the organic electroluminescence device of the present invention is constituted. Ta can be used as the material of the resistor, and ZnS can be used as the material of the derivative. Each member constituting the organic electroluminescence element shown in FIG. 3 is patterned into a predetermined shape using a metal mask, and is formed by vacuum evaporation by heating a required material to a predetermined temperature. Vacuum evaporation may be performed using a generally used resistance heating vacuum evaporation apparatus.

【0024】次に、この発明の有機エレクトロルミネッ
センス素子の製造工程について説明する。図5に、この
発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造工程の
フローチャートを示す。以下、このフローチャートの工
程1から工程9について説明する。 工程1:下部電極1の形成(図6) 5×5mm角のインジウム錫酸化物(以下ITOと略
す)付きガラス基板(松浪ガラス製)に、周知のフォト
リソグラフ技法によって、図6に示すようにITOパタ
ーンを形成する。ここで、各ITOパターンは、紙面の
左右方向の幅160μm,長さ180μm程度とし、ピ
ッチを200μmとなるように形成する。
Next, the manufacturing process of the organic electroluminescence device of the present invention will be described. FIG. 5 shows a flowchart of the manufacturing process of the organic electroluminescence device of the present invention. Hereinafter, steps 1 to 9 of this flowchart will be described. Step 1: Formation of Lower Electrode 1 (FIG. 6) As shown in FIG. 6, a 5 × 5 mm square glass substrate (made of Matsunami glass) with indium tin oxide (hereinafter abbreviated as ITO) is formed by a well-known photolithographic technique. An ITO pattern is formed. Here, each ITO pattern is formed to have a width of about 160 μm and a length of about 180 μm in the left-right direction on the paper surface and a pitch of 200 μm.

【0025】ここで、下部電極1は、多数のパターンに
分割して形成されるが、紙面の左右方向に並んだパター
ンは後述する工程5において、接続材料6によって電気
的に接続され、工程8において、下部電極パターン11
と12、下部電極パターン15と16、下部電極パター
ン13と14とが電気的に接続されて、結局下部電極1
の全パターンが電気的に同電位の1ラインとなるように
形成される。
Here, the lower electrode 1 is formed by being divided into a large number of patterns. The patterns arranged in the horizontal direction on the paper are electrically connected by a connecting material 6 in a step 5 described later, and a step 8 is performed. In the lower electrode pattern 11
And 12, the lower electrode patterns 15 and 16, and the lower electrode patterns 13 and 14 are electrically connected.
Are formed such that all the patterns are electrically one line having the same potential.

【0026】次に、工程2から工程9において、この発
明の有機ルミネッセンス素子を構成する部材が、真空蒸
着法によって形成される。抵抗加熱真空蒸着装置の中
で、工程1で作成され基板を基板ホルダーにセットす
る。また、昇華材料用Moボード(日本バックスメタル
製)に3つの有機薄膜層を形成する材料(CuPc,T
PD,Alq3)を載せ、さらにMo平ボード(日本バ
ックスメタル製)に磁性体材料4(FeCoSiB)、
下部電極の接続材料6(AlLi)、抵抗体8の材料
(Ta)、誘導体9の材料(ZnS)及び上部電極10
の材料(AlLi)を載せた後、真空引きを開始する。
真空蒸着は、10-6Torr程度の真空度状態で行う。
Next, in steps 2 to 9, the members constituting the organic luminescence element of the present invention are formed by a vacuum evaporation method. In the resistance heating vacuum evaporation apparatus, the substrate prepared in step 1 is set on a substrate holder. Also, a material (CuPc, T) for forming three organic thin film layers on a sublimation material Mo board (manufactured by Nippon Bax Metal).
PD, Alq 3 ), and a magnetic material 4 (FeCoSiB) on a Mo flat board (manufactured by Nippon Bax Metal).
Lower electrode connecting material 6 (AlLi), resistor 8 material (Ta), derivative 9 material (ZnS) and upper electrode 10
After placing the material (AlLi), vacuum evacuation is started.
Vacuum deposition is performed in a vacuum state of about 10 −6 Torr.

【0027】工程2:ホール注入層3の蒸着(図7) 図7に示すような構造パターンが形成されるように、図
6でできた基板表面上をメタルマスクで覆い、有機薄膜
層のホール注入層材料3(CuPc)を加熱し、蒸着レ
ート0.1〜0.2nm/secにて膜厚50nm程度
蒸着する。ここでホール注入層材料3は、後工程で下部
電極の接続材料6を形成するために、下層のITOパタ
ーンのエッジ部分を10μm程度分の幅だけ開口するよ
うに形成される。この蒸着により、ホール注入層3は、
下部電極1の上(3a,3c,3e)とガラス基板2の
上(3b,3d)に形成される。
Step 2: Deposition of Hole Injection Layer 3 (FIG. 7) The substrate surface formed in FIG. 6 is covered with a metal mask to form a structure pattern as shown in FIG. The injection layer material 3 (CuPc) is heated and deposited at a deposition rate of 0.1 to 0.2 nm / sec to a thickness of about 50 nm. Here, the hole injection layer material 3 is formed so as to open the edge portion of the lower ITO pattern by a width of about 10 μm in order to form the connection material 6 of the lower electrode in a later step. With this deposition, the hole injection layer 3 becomes
It is formed on the lower electrode 1 (3a, 3c, 3e) and on the glass substrate 2 (3b, 3d).

【0028】工程3:磁性体材料4の蒸着(図8) ここでは、図7の工程2で作成された構造の表面上を所
定のメタルマスクで覆い、磁性体材料4(FeCoSi
B)を加熱し、蒸着レート0.1〜0.2nm/sec
にて膜厚100nm程度蒸着する。図8において、磁性
体材料4は、ホール注入層3の上に同じ方向すなわち紙
面の左右方向と垂直に延伸された棒状に形成され、紙面
の左右方向の幅20μm,左右方向のピッチ100μ
m,長さ4mmとする。ここで、磁性体材料4a,4
c,4eの下方には下部電極1が存在するが、磁性体材
料4b,4dの下方には下部電極1は存在しない。
Step 3: Deposition of Magnetic Material 4 (FIG. 8) Here, the surface of the structure formed in step 2 of FIG. 7 is covered with a predetermined metal mask, and the magnetic material 4 (FeCoSi
B) is heated and the deposition rate is 0.1 to 0.2 nm / sec.
Is deposited to a thickness of about 100 nm. In FIG. 8, the magnetic material 4 is formed on the hole injection layer 3 in a rod shape extending in the same direction, that is, perpendicular to the horizontal direction of the paper, and has a width of 20 μm in the horizontal direction of the paper and a pitch of 100 μm in the horizontal direction.
m, length 4 mm. Here, the magnetic material 4a, 4
The lower electrode 1 exists below c and 4e, but does not exist below the magnetic materials 4b and 4d.

【0029】工程4:ホール輸送層5の蒸着(図9) 図8の工程3で作成された構造の表面上を所定のメタル
マスクで覆い、ホール輸送材料TPDを加熱し、蒸着レ
ート0.1〜0.2nm/secにて膜厚50nm程度
蒸着する。ホール輸送層材料5も、ITOパターンのエ
ッジ部分を10μm程度の幅だけ開口して形成される。
図9において、ホール輸送層5は、ホール注入層3の上
部に形成され、ホール注入層3の上に位置する磁性体材
料4はこのホール輸送層5の中に埋め込まれる。
Step 4: Deposition of Hole Transport Layer 5 (FIG. 9) The surface of the structure formed in Step 3 of FIG. 8 is covered with a predetermined metal mask, the hole transport material TPD is heated, and the deposition rate is 0.1. Vapor deposition is performed at a thickness of about 50 nm at about 0.2 nm / sec. The hole transport layer material 5 is also formed by opening the edge portion of the ITO pattern by a width of about 10 μm.
In FIG. 9, the hole transport layer 5 is formed on the hole injection layer 3, and the magnetic material 4 located on the hole injection layer 3 is embedded in the hole transport layer 5.

【0030】工程5:下部電極の接続材料6の蒸着(図
10) 図9の工程4で作成された構造の表面上を所定のメタル
マスクで覆い、下部電極の接続材料6(AlLi)を加
熱し、蒸着レート1nm/secにて膜厚50nm程度
蒸着する。接続材料6は、紙面の左右方向の幅60μ
m,ピッチ100μmとし、ITOパターンの開口部分
(10μm幅の部分)をおおうように形成される。
Step 5: Deposition of connection material 6 for lower electrode (FIG. 10) The surface of the structure formed in step 4 of FIG. 9 is covered with a predetermined metal mask, and connection material 6 (AlLi) for the lower electrode is heated. Then, a film thickness of about 50 nm is deposited at a deposition rate of 1 nm / sec. The connection material 6 has a width of 60 μ in the horizontal direction on the paper.
m, a pitch of 100 μm, and is formed so as to cover an opening portion (a portion having a width of 10 μm) of the ITO pattern.

【0031】図10において、接続材料6aは下部電極
1aと1bとを橋状に接続するように形成され、接続材
料6bは下部電極1bと1cとを橋状に接続するように
形成される。これにより、下部電極1a,1b,1c
は、接続材料6aと6bを介して電気的に同電位となる
ように接続される。また、図10に示すように、下部電
極の接続材料6の蒸着と同時にガラス基板2の端部に、
誘導体の電極21を形成する。誘導体の電極21は、下
部電極の接続材料6と同じ材料AlLiを用いればよ
い。
In FIG. 10, the connection material 6a is formed so as to connect the lower electrodes 1a and 1b in a bridge shape, and the connection material 6b is formed so as to connect the lower electrodes 1b and 1c in a bridge shape. Thereby, the lower electrodes 1a, 1b, 1c
Are connected so as to be electrically at the same potential via the connection materials 6a and 6b. Further, as shown in FIG. 10, at the same time as the deposition of the connection material 6 for the lower electrode,
The derivative electrode 21 is formed. The same material AlLi as the lower electrode connection material 6 may be used for the derivative electrode 21.

【0032】工程6:発光層7の蒸着(図11) 図10の工程4で作成された構造の表面上を所定のメタ
ルマスクで覆い、有機薄膜層の発光層材料7(Al
3)を加熱し、蒸着レート0.1〜0.2nm/se
cにて膜厚50nm程度蒸着する。図11において、発
光層7はホール輸送層5と接続材料6の上に、磁性体材
料4の延伸方向と直交する方向(紙面の左右方向)にパ
ターニングされる。
Step 6: Vapor Deposition of Light Emitting Layer 7 (FIG. 11) The surface of the structure prepared in Step 4 of FIG. 10 is covered with a predetermined metal mask, and the light emitting layer material 7 (Al
q 3) was heated and evaporation rate 0.1 to 0.2 nm / se
In step c, a film is deposited to a thickness of about 50 nm. In FIG. 11, the light emitting layer 7 is patterned on the hole transport layer 5 and the connection material 6 in a direction perpendicular to the extending direction of the magnetic material 4 (the left-right direction on the paper).

【0033】工程7:抵抗体8の蒸着(図12) 図11の工程6で作成された構造の表面上を所定のメタ
ルマスクで覆い、抵抗体8となるTaを加熱し、蒸着レ
ート0.1〜0.2nm/secにて膜厚10nm程度
蒸着する。図12において、抵抗体8は、ガラス基板2
の端部で、誘電体の電極21に平行に、紙面の左右方向
の幅5μm,長さ4mm程度蒸着される。
Step 7: Deposition of Resistor 8 (FIG. 12) The surface of the structure formed in Step 6 of FIG. 11 is covered with a predetermined metal mask, and Ta to be the resistor 8 is heated. A film is deposited at a thickness of about 10 nm at a rate of 1 to 0.2 nm / sec. In FIG. 12, the resistor 8 is a glass substrate 2
Is deposited at a width of about 5 μm and a length of about 4 mm in the left-right direction on the paper in parallel with the dielectric electrode 21.

【0034】工程8:誘電体9の蒸着(図12) 工程9における抵抗体8を形成後、誘電体形成用の所定
のメタルマスクを用いて、誘電体9となるZnSを加熱
し、蒸着レート1〜10nm/secにて、膜厚1μm
程度蒸着する。図12において、誘電体9は、工程5で
作成した誘電体の電極21の上に紙面の左右方向の幅1
25μm,長さ4mm程度蒸着される。また、誘電体9
の蒸着と同時に、他の部分との不要な導通を防ぐため
に、図12に示すような位置に絶縁カバー22を形成す
る。ここで絶縁カバー22は、誘導体9と同じ材料Zn
Sを用いる。
Step 8: Deposition of Dielectric 9 (FIG. 12) After the resistor 8 is formed in Step 9, ZnS to be the dielectric 9 is heated using a predetermined metal mask for forming a dielectric, and the deposition rate is increased. 1 μm at 1-10 nm / sec
Deposit to the extent. In FIG. 12, a dielectric material 9 has a width 1 in the left-right direction of the drawing on the dielectric electrode 21 created in step 5.
It is deposited with a thickness of about 25 μm and a length of about 4 mm. In addition, dielectric 9
The insulating cover 22 is formed at a position as shown in FIG. 12 in order to prevent unnecessary conduction with other parts at the same time as the vapor deposition of. Here, the insulating cover 22 is made of the same material Zn as the derivative 9.
S is used.

【0035】工程9:上部電極10の蒸着(図13) 図12の工程8でできた構造の表面上を上部電極10形
成用のメタルマスクで覆い、上部電極となるAlLiを
加熱し、蒸着レート1nm/secにて、膜厚150n
m程度蒸着する。図13において、上部電極10は、抵
抗体8、誘電体9の存在する領域を除き、発光する有機
薄膜層の上部全体に蒸着される。
Step 9: Deposition of the upper electrode 10 (FIG. 13) The surface of the structure formed in Step 8 of FIG. 12 is covered with a metal mask for forming the upper electrode 10, and AlLi to be the upper electrode is heated, and the deposition rate is increased. 150 nm film thickness at 1 nm / sec
about m. In FIG. 13, the upper electrode 10 is deposited on the entire upper part of the light emitting organic thin film layer except for the region where the resistor 8 and the dielectric 9 exist.

【0036】また、図13において、この上部電極10
の形成と同時に、電極材料AlLiを用いて、電極2
3、24、25、26を蒸着する。ここで、電極23
は、誘電体9の上に形成される誘電体の電極である。電
極24と25は、下部電極17と上部電極10に対して
並列に抵抗体と誘電体を接続するものである。電極26
は、下部電極11と12とを電気的に接続するものであ
り、図示していないが、同様に下部電極13と14、下
部電極15と16を接続するための電極を形成する。上
記の各工程2〜9において、膜厚及び蒸着レートは水晶
発振式膜厚計にてモニターする。
In FIG. 13, the upper electrode 10
Simultaneously with the formation of the electrode 2 using the electrode material AlLi.
3, 24, 25 and 26 are deposited. Here, the electrode 23
Is a dielectric electrode formed on the dielectric 9. The electrodes 24 and 25 connect a resistor and a dielectric in parallel with the lower electrode 17 and the upper electrode 10. Electrode 26
Is for electrically connecting the lower electrodes 11 and 12 and, although not shown, similarly forms electrodes for connecting the lower electrodes 13 and 14 and the lower electrodes 15 and 16. In each of the above steps 2 to 9, the film thickness and the deposition rate are monitored by a quartz oscillation type film thickness meter.

【0037】図13は、上記のような製造工程により完
成された有機エレクトロルミネッセンス素子の斜視図で
ある。外部の電極誘導回路を源として電磁誘導によっ
て、磁性体材料4と下部電極1とで構成される二次コイ
ルに電力が供給されると、上部電極10と下部電極1と
の間に電界の変化が表われ、この変化が抵抗体8及び誘
電体9からなる整流回路によって直流電圧に変換され
て、有機薄膜内で発光現象を連続的に引き起こす。
FIG. 13 is a perspective view of an organic electroluminescence device completed by the above-described manufacturing process. When electric power is supplied to a secondary coil composed of the magnetic material 4 and the lower electrode 1 by electromagnetic induction using an external electrode induction circuit as a source, the electric field changes between the upper electrode 10 and the lower electrode 1. This change is converted into a DC voltage by the rectifier circuit including the resistor 8 and the dielectric 9, and the light emission phenomenon is continuously caused in the organic thin film.

【0038】図14に、図13における線分A−A’で
切りとった素子の断面図を示し、図15に、図13にお
ける線分B−B’で切りとった素子の断面図を示す。図
14、図15において、図の下方に示す水平方向の矢印
は、発光範囲を示している。発光範囲とは、有機薄膜層
(3,5,7)の中で発光した光がガラス基板2を透過
して基板下方へ放出される領域である。
FIG. 14 is a sectional view of the device taken along line AA 'in FIG. 13, and FIG. 15 is a sectional view of the device taken along line BB' in FIG. In FIGS. 14 and 15, horizontal arrows shown at the bottom of the figures indicate light emission ranges. The light emission range is an area where light emitted in the organic thin film layers (3, 5, 7) passes through the glass substrate 2 and is emitted below the substrate.

【0039】図14、図15の積層構造を上下方向に見
て、下方から順にガラス基板2、下部電極1、ホール注
入層3、ホール輸送層5、発光層7、上部電極10が積
層された部分が発光範囲となる。これらの層が積層され
た発光範囲は、図2に示したダイオード108の役割を
果たす。すなわち、発光範囲は、整流回路102の一部
(ダイオード部)をなす。
14 and 15, the glass substrate 2, the lower electrode 1, the hole injection layer 3, the hole transport layer 5, the light emitting layer 7, and the upper electrode 10 are stacked in this order from the bottom, as viewed in the vertical direction. The portion becomes the light emission range. The light emitting range in which these layers are stacked plays the role of the diode 108 shown in FIG. That is, the light emission range forms a part (diode portion) of the rectifier circuit 102.

【0040】ただし、その他の部分は、素子を上下方向
に見ると、磁性体材料4あるいは下部電極の接続材料6
が存在するため、光は外部へ放出されない。すなわち、
ガラス基板2、下部電極1、ホール注入層3、磁性体材
料4、ホール輸送層5、発光層7、上部電極10の順に
積層された領域、ガラス基板2、下部電極1、ホール注
入層3、磁性体材料4、ホール輸送層5、接続材料6、
発光層7、上部電極10の順に積層された領域、ガラス
基板2、下部電極1、ホール注入層3、ホール輸送層
5、接続材料6、発光層7、上部電極10の順に積層さ
れた領域は、非発光領域である。
However, when the element is viewed in the vertical direction, the other parts are the magnetic material 4 or the connection material 6 of the lower electrode.
Light is not emitted outside. That is,
Glass substrate 2, lower electrode 1, hole injection layer 3, magnetic material 4, hole transport layer 5, light emitting layer 7, region in which upper electrode 10 is laminated in this order, glass substrate 2, lower electrode 1, hole injection layer 3, Magnetic material 4, hole transport layer 5, connecting material 6,
The region in which the light emitting layer 7 and the upper electrode 10 are laminated in this order, the region in which the glass substrate 2, the lower electrode 1, the hole injection layer 3, the hole transport layer 5, the connection material 6, the light emitting layer 7, and the upper electrode 10 are laminated in this order are , A non-light emitting area.

【0041】この実施例では、発光に寄与する部分の表
面積aは、有機エレクトロルミネッセンス素子全体の表
面積Sに対して50%以上(0.5S≦a<S)とする
ことができる。また、この発明の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の構造の設計において、発光しない領域の
面積が発光領域より充分に小さくなるように磁性体材料
の配置、大きさを設定すれば、視覚的には素子が全面に
発光しているように見える。
In this embodiment, the surface area a of the portion contributing to light emission can be set to 50% or more (0.5S ≦ a <S) with respect to the surface area S of the entire organic electroluminescence element. Also, in the design of the structure of the organic electroluminescence element of the present invention, if the arrangement and size of the magnetic material are set so that the area of the non-light emitting area is sufficiently smaller than the light emitting area, the element becomes visually It appears to be emitting light.

【0042】このように図13に示すような5×5mm
角の基板上に有機エレクトロルミネッセンス素子を作成
したが、電磁誘導によって上下電極間に誘導された電圧
値が10Vのとき、輝度500cd/m2の緑色発光を
得ることができた。
As described above, 5 × 5 mm as shown in FIG.
An organic electroluminescent device was formed on a corner substrate. When the voltage induced between the upper and lower electrodes by electromagnetic induction was 10 V, green light emission with a luminance of 500 cd / m 2 could be obtained.

【0043】図3及び図6から図13に、下部電極1と
磁性体材料4によって二次コイルを形成するタイプの有
機エレクトロルミネッセンス素子を示したが、これに限
るものではなく上部電極10と磁性体材料4によって二
次コイルを形成するようにしてもよい。
FIGS. 3 and 6 to 13 show an organic electroluminescent element of a type in which a secondary coil is formed by the lower electrode 1 and the magnetic material 4, but the present invention is not limited to this. The secondary coil may be formed by the body material 4.

【0044】図4に、この発明の有機エレクトロルミネ
ッセンス素子の他の実施例の主要部の概略断面図を示
す。ここでは、上部電極10と磁性体材料4との上下方
向の位置関係が交互に反転し、二次コイルを形成してい
る場合を示している。なお、図4では、抵抗体8及び誘
電体9からなる整流回路は省略しているが、図13に示
すのと同様にガラス基板2上の端部に整流回路が設けら
れる。
FIG. 4 is a schematic sectional view of a main part of another embodiment of the organic electroluminescence device of the present invention. Here, a case is shown in which the vertical positional relationship between the upper electrode 10 and the magnetic material 4 is alternately reversed to form a secondary coil. Although the rectifier circuit including the resistor 8 and the dielectric 9 is omitted in FIG. 4, a rectifier circuit is provided at an end on the glass substrate 2 as shown in FIG.

【0045】図4において、磁性体材料4fから4j
は、ホール輸送層5の上部であって、発光層7の中に形
成されている。上部電極10(10a,10b,10
c)は、発光層7の上部に形成されるが、ホール注入層
3の上部に形成される接続材料19(19a,19b)
によって電気的に接続される。接続材料19a,19b
は、上部電極10と同じ材料(たとえばAlLi)を用
いればよい。
In FIG. 4, the magnetic materials 4f to 4j
Is formed above the hole transport layer 5 and in the light emitting layer 7. The upper electrode 10 (10a, 10b, 10
c) is formed on the light emitting layer 7 but is formed on the hole injection layer 3 in the connection material 19 (19a, 19b).
Electrically connected by Connection materials 19a, 19b
May be made of the same material as the upper electrode 10 (for example, AlLi).

【0046】この構造では、磁性体材料4f、4h,4
jは、上部電極10の下方にあるが、磁性体材料4g,
4iは上部電極10の上方にある。すなわち、磁性体材
料4と上部電極10の上下方向の位置関係は、交互に反
転しているが、これにより二次コイルの役割を果たすこ
とができる。図4の実施例の場合は、図5の製造工程と
は異なり、下部電極1の形成、ホール注入層3の蒸着、
上部電極の接続材料19の蒸着、ホール輸送層5の蒸
着、磁性体材料4の蒸着、発光層7の蒸着、上部電極1
0の蒸着の順に行えばよい。
In this structure, the magnetic material 4f, 4h, 4
j is located below the upper electrode 10, but the magnetic material 4g,
4i is above the upper electrode 10. That is, the positional relationship between the magnetic material 4 and the upper electrode 10 in the vertical direction is alternately reversed, but this can serve as a secondary coil. 4 is different from the manufacturing process of FIG. 5 in that the lower electrode 1 is formed, the hole injection layer 3 is deposited,
Deposition of connection material 19 for upper electrode, deposition of hole transport layer 5, deposition of magnetic material 4, deposition of luminescent layer 7, upper electrode 1
0 may be performed in the order of vapor deposition.

【0047】この発明の電磁誘導によって発光する有機
エレクトロルミネッセンス素子の用途としては、電力供
給回路のような周辺回路と素子との接続が不要であるの
で、小型軽量化に適しており、フラットパネルディスプ
レイのほか、携帯情報端末の表示部や情報カードなどに
使用でき、特に、化学変化を伴って消耗する1次電池を
含まないような表示機器にも使用することができる。
The organic electroluminescence device of the present invention which emits light by electromagnetic induction is not required to connect a peripheral circuit such as a power supply circuit to the device. In addition, the present invention can be used for a display unit of a portable information terminal, an information card, and the like, and in particular, can be used for a display device that does not include a primary battery that is consumed due to a chemical change.

【0048】[0048]

【発明の効果】この発明によれば、有機エレクトロルミ
ネッセンス素子は、電力供給を受ける二次コイルと整流
回路とが含まれているので、発光のための電力供給回路
を素子外部に設ける必要がなく、有機エレクトロルミネ
ッセンス素子を真空一貫プロセスで作製できるので、素
子内部への水分子や酸素等の不純物の侵入を防ぐことが
でき、従来より素子の劣化速度を減少させ、素子特性の
向上と素子の長寿命化が実現できる。
According to the present invention, since the organic electroluminescence element includes the secondary coil receiving power supply and the rectifier circuit, it is not necessary to provide a power supply circuit for light emission outside the element. Since the organic electroluminescence device can be manufactured by an integrated vacuum process, the intrusion of impurities such as water molecules and oxygen into the device can be prevented, the deterioration rate of the device can be reduced, the device characteristics can be improved, and the device characteristics can be improved. Long life can be realized.

【0049】また、この発明の有機エレクトロルミネッ
センス素子に内蔵されている磁性体材料が、ヒートシン
クとして働くので、素子の発熱を抑え、素子の耐久性を
向上させることができる。さらに、この発明の有機エレ
クトロルミネッセンス素子には整流回路が含まれ、素子
の発光部分に直流電流が供給されるので、連続的な発光
が可能である。
Further, since the magnetic material contained in the organic electroluminescence device of the present invention functions as a heat sink, heat generation of the device can be suppressed and the durability of the device can be improved. Furthermore, the organic electroluminescence device of the present invention includes a rectifier circuit, and a direct current is supplied to a light emitting portion of the device, so that continuous light emission is possible.

【0050】また、素子内に一体的に作製される磁性
体、電極、抵抗体及び誘電体の材料と形状を変更するこ
とによって、発光輝度を変えたり、発光可能な外部磁場
の周波数を選択することができる。
Further, by changing the materials and shapes of the magnetic material, electrodes, resistors, and dielectrics integrally formed in the element, the light emission luminance is changed, and the frequency of the external magnetic field capable of emitting light is selected. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】非接触により有機エレクトロルミネッセンス素
子へ電力を供給する回路の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a circuit for supplying power to an organic electroluminescence element in a non-contact manner.

【図2】この発明の有機エレクトロルミネッセンス素子
の等価回路図である。
FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the organic electroluminescence element of the present invention.

【図3】この発明の一実施例における有機エレクトロル
ミネッセンス素子の主要部の概略断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a main part of an organic electroluminescence element according to an embodiment of the present invention.

【図4】この発明の他の実施例における有機エレクトロ
ルミネッセンス素子の主要部の概略断面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view of a main part of an organic electroluminescence element according to another embodiment of the present invention.

【図5】この発明の一実施例における有機エレクトロル
ミネッセンス素子の製造工程のフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart of a manufacturing process of the organic electroluminescence device according to one embodiment of the present invention.

【図6】この発明の一実施例におけるエレクトロルミネ
ッセンス素子の製造工程1における斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a step 1 of manufacturing an electroluminescence element according to an embodiment of the present invention.

【図7】この発明の一実施例におけるエレクトロルミネ
ッセンス素子の製造工程2における斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view illustrating a step 2 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図8】この発明の一実施例におけるエレクトロルミネ
ッセンス素子の製造工程3における斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view of a step 3 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図9】この発明の一実施例におけるエレクトロルミネ
ッセンス素子の製造工程4における斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view illustrating a step 4 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図10】この発明の一実施例におけるエレクトロルミ
ネッセンス素子の製造工程5における斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view illustrating a step 5 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図11】この発明の一実施例におけるエレクトロルミ
ネッセンス素子の製造工程6における斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view illustrating a step 6 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図12】この発明の一実施例におけるエレクトロルミ
ネッセンス素子の製造工程7及び8における斜視図であ
る。
FIG. 12 is a perspective view of an electroluminescent element according to an embodiment of the present invention, in manufacturing steps 7 and 8.

【図13】この発明の一実施例におけるエレクトロルミ
ネッセンス素子の製造工程9における斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view illustrating a step 9 of manufacturing the electroluminescent element according to the embodiment of the present invention.

【図14】この発明において、図13におけるA−A’
で切断した有機エレクトロルミネッセンス素子の断面図
である。
FIG. 14 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. 13 according to the present invention;
FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic electroluminescence element cut in FIG.

【図15】この発明において、図13におけるB−B’
で切断した有機エレクトロルミネッセンス素子の断面図
である。
FIG. 15 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 13 according to the present invention;
FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic electroluminescence element cut in FIG.

【図16】従来の有機エレクトロルミネッセンス素子へ
の電力を供給する回路の概略構成図である。
FIG. 16 is a schematic configuration diagram of a conventional circuit for supplying power to an organic electroluminescence element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 下部電極 2 ガラス基板 3 ホール注入層 4 磁性体材料 5 ホール輸送層 6 下部電極の接続材料 7 発光層 8 抵抗体 9 誘電体 10 上部電極 11,12,13,14,15,16,17 下部電極 19 上部電極の接続材料 21 誘電体の電極 22 絶縁カバー 23 誘電体の電極 24 下部電極17,誘電体電極21及び抵抗体8を接
続する電極 25 上部電極10,誘電体電極23及び抵抗体8を接
続する電極 26 下部電極11と12との接続用電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lower electrode 2 Glass substrate 3 Hole injection layer 4 Magnetic material 5 Hole transport layer 6 Connection material of lower electrode 7 Light emitting layer 8 Resistor 9 Dielectric 10 Upper electrode 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17 Lower part Electrode 19 Connection material for upper electrode 21 Dielectric electrode 22 Insulating cover 23 Dielectric electrode 24 Electrode connecting lower electrode 17, dielectric electrode 21 and resistor 8 25 Upper electrode 10, dielectric electrode 23 and resistor 8 26 for connecting the lower electrodes 11 and 12

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板上に、下部電極としての第1導
電膜と、エレクトロルミネッセンスを発しうる複数層の
有機膜と、上部電極としての第2導電膜とからなり、第
1または第2導電膜のいずれか一方は、断面構造として
凹凸状の繰り返し形状を有し、かつ複数層の有機膜が、
前記繰り返し形状の外部に位置する第1膜部と、前記繰
り返し形状の内部に位置する第2膜部とから構成され、
前記有機膜が、その第1膜部及び第2膜部それぞれの内
部であって、前記繰り返し形状の内部と外部に交互に位
置するように配置された所定形状の磁性体部材を備え、
それによってインダクタとして機能することを特徴とす
る有機エレクトロルミネッセンス素子。
1. A first or second conductive film comprising a first conductive film as a lower electrode, a plurality of organic films capable of emitting electroluminescence, and a second conductive film as an upper electrode on a transparent substrate. Either one of the films has a repeating structure of irregularities as a cross-sectional structure, and a plurality of organic films,
A first film portion located outside the repeating shape, and a second film portion located inside the repeating shape,
The organic film includes a magnetic member of a predetermined shape arranged inside each of the first film portion and the second film portion and alternately positioned inside and outside the repeating shape,
An organic electroluminescence device characterized by that it functions as an inductor.
【請求項2】 前記第1導電膜が、断面構造として凹凸
状の繰り返し形状を有し、前記有機膜の第1膜部が、第
1導電膜の上に形成され、前記有機膜の第2膜部が、透
明基板の上に形成され、前記第1導電膜の繰り返し形状
の内部と外部に交互に位置するように配置された所定形
状の磁性体部材と、第1導電膜とがインダクタとして機
能することを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子。
2. The method according to claim 1, wherein the first conductive film has a repetitive uneven shape as a cross-sectional structure, a first film portion of the organic film is formed on the first conductive film, and a second film portion of the organic film is formed. A film member is formed on a transparent substrate, and a magnetic member having a predetermined shape arranged alternately inside and outside the repetitive shape of the first conductive film, and the first conductive film as an inductor. The organic electroluminescent device according to claim 1, which functions.
【請求項3】 前記第2導電膜が、断面構造として凹凸
状の繰り返し形状を有し、前記有機膜の第1膜部が第2
導電膜の上に形成され、前記有機膜の第2膜部が第1導
電膜の上に形成され、前記第2導電膜の繰り返し形状の
内部と外部に交互に位置するように配置された所定形状
の磁性体部材と、第2導電膜とがインダクタとして機能
することを特徴とする請求項1記載の有機エレクトロル
ミネッセンス素子。
3. A method according to claim 1, wherein the second conductive film has a repetitive uneven shape as a cross-sectional structure, and a first film portion of the organic film is formed of a second film.
A predetermined film formed on the conductive film, wherein the second film portion of the organic film is formed on the first conductive film, and arranged alternately inside and outside the repetitive shape of the second conductive film; The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the magnetic member having the shape and the second conductive film function as an inductor.
【請求項4】 前記有機膜が、ホール注入層、ホール輸
送層、発光層からなることを特徴とする請求項1、2ま
たは3記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
4. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the organic film comprises a hole injection layer, a hole transport layer, and a light emitting layer.
【請求項5】 前記透明基板上に、第1導電と第2導電
膜との間に並列に配置された抵抗体と誘電体からなる整
流回路を形成したことを特徴とする請求項1、2、3ま
たは4に記載した有機エレクトロルミネッセンス素子。
5. A rectifier circuit comprising a resistor and a dielectric disposed in parallel between a first conductive layer and a second conductive layer on the transparent substrate. 4. The organic electroluminescence device according to 3 or 4.
【請求項6】 前記整流回路が透明基板の端部近傍に配
置され、前記有機膜の発光に寄与する部分の表面積a
が、有機エレクトロルミネッセンス素子全体の表面積S
に対して、0.5S≦a<Sであることを特徴とする請
求項5に記載した有機エレクトロルミネッセンス素子。
6. A surface area a of a portion of the organic film that contributes to light emission, wherein the rectifier circuit is disposed near an end of a transparent substrate.
Is the surface area S of the entire organic electroluminescence element.
6. The organic electroluminescent device according to claim 5, wherein 0.5S ≦ a <S.
【請求項7】 第1導電膜を透明基板の上に所定のパタ
ーン形状に分割して蒸着する工程と、ホール注入層を第
1導電膜の一部分のみを残して上記構造の上に蒸着する
工程と、磁性体部材をホール注入層の上に所定パターン
形状に蒸着する工程と、ホール輸送層を上記構造の上で
あって磁性体部材を覆いかつ前記ホール注入層が蒸着さ
れていない第1導電膜の一部分のみを残して蒸着する工
程と、前記ホール注入層が蒸着されていない第1導電膜
の一部分を互いに接続するように接続材料を上記構造の
上に蒸着する工程と、発光層を上記構造の上に所定のパ
ターン形状に蒸着する工程と、第2導電膜を上記構造の
上に蒸着する工程とからなる請求項4記載の有機エレク
トロルミネッセンス素子の製造方法。
7. A step of depositing a first conductive film in a predetermined pattern shape on a transparent substrate, and a step of depositing a hole injection layer on the structure except for a part of the first conductive film. Depositing a magnetic member in a predetermined pattern on the hole injection layer; and forming a hole transport layer on the structure, covering the magnetic member, and forming a first conductive layer on which the hole injection layer is not deposited. Depositing only a part of the film, depositing a connection material on the structure to connect parts of the first conductive film where the hole injection layer is not deposited, and The method for manufacturing an organic electroluminescent device according to claim 4, comprising a step of depositing a predetermined pattern on the structure and a step of depositing a second conductive film on the structure.
【請求項8】 第1導電膜を透明基板の上に蒸着する工
程と、ホール注入層を上記構造の上に蒸着する工程と、
第2導電膜を接続するための接続材料を上記構造の上に
所定のパターン形状に蒸着する工程と、ホール輸送層を
上記構造の上であって前記接続材料の一部分を残すよう
に所定のパターン形状に蒸着する工程と、磁性体部材を
ホール輸送層の上に所定のパターン形状に蒸着する工程
と、発光層を上記構造の上で磁性体部材を覆い、かつ前
記ホール輸送層が蒸着されていない接続材料の一部分の
みを残して蒸着する工程と、第2導電膜を上記構造の上
であって前記接続材料の一部分と接続するように分割し
て蒸着する工程とからなる請求項4記載の有機エレクト
ロルミネッセンス素子の製造方法。
8. A step of depositing a first conductive film on a transparent substrate, and a step of depositing a hole injection layer on the structure.
Depositing a connection material for connecting the second conductive film in a predetermined pattern on the structure; and forming a hole transport layer on the structure in a predetermined pattern so as to leave a part of the connection material. A step of depositing a magnetic material on the hole transport layer in a predetermined pattern shape, a step of depositing the light emitting layer on the magnetic material on the structure, and the hole transport layer being deposited. 5. The method according to claim 4, further comprising the steps of: evaporating the second conductive film while leaving only a part of the connection material that does not exist; A method for manufacturing an organic electroluminescence element.
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