JP2000162054A - 荷重分布センサ - Google Patents

荷重分布センサ

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JP2000162054A
JP2000162054A JP10341541A JP34154198A JP2000162054A JP 2000162054 A JP2000162054 A JP 2000162054A JP 10341541 A JP10341541 A JP 10341541A JP 34154198 A JP34154198 A JP 34154198A JP 2000162054 A JP2000162054 A JP 2000162054A
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JP
Japan
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load
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distribution sensor
unit
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JP10341541A
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English (en)
Inventor
Tsuneki Shinokura
恒樹 篠倉
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 剛性が大きく熱的にも強い三次元荷重分布セ
ンサを提供する。 【解決手段】 高剛性金属製四角柱14の4側面の内の
2側面には図5(a)のように垂直荷重検出用歪みゲー
ジ15を、残りの2側面には図5(b)のように水平荷
重検出用歪みゲージ16,17をそれぞれ貼付して単位
素子として、これをマトリックス状に複数個配置し、例
えば形状記憶合金製格子枠により単位素子群をバラバラ
にはずれないように保持する。高剛性金属製の四角柱を
用い歪みゲージの取り付け方に工夫をこらすことで、掲
記課題の解決を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、金属やセラミッ
クスのような剛性の高い物体同士を接触,加圧した場合
の接触面での三次元荷重分布を、同程度に剛性の高いセ
ンサで測定する荷重分布センサに関する。
【0002】
【従来の技術】図7に荷重分布センサの代表的な従来例
を示す。同図(a)は全体構造を示す斜視図、同(b)
はその断面図、同(c)は動作状態図を示す。すなわ
ち、同図(a)に示すように、フィルム1は基本的には
ポリエステルやナイロン,エポキシ,ゴムなどの比較的
軟質の電気絶縁体で構成されている。このフィルム1の
上表面には、上電極2が複数本互いに絶縁されて埋め込
まれており、X方向に揃って配列されている。同様に、
フィルム1の下表面には、上電極2とは直角のY方向に
配列された下電極3が、埋め込まれて構成されている。
【0003】フィルム1の内部には、導電性粒子4が図
7(b)の如く上電極X1 ,X2 ,…Xn と下電極
1 ,Y2 ,…Yn (図7(b)ではYn のみ表示)に
対応して埋め込まれている。従って、フィルム1に荷重
が作用しない場合は、上電極Xi,Xj 間の導電性粒子
4の電気抵抗は高い値を示す。これに対し、フィルム1
に図7(c)のような荷重体5による荷重が加わると、
フィルム1の変形によって導電性粒子群が圧縮されて粒
子間の接触面積が増えるため、上電極Xi ,Xj 間の電
気抵抗値は下がることになる。このような抵抗値変化か
ら、荷重の大きさとその分布を検出する、というのが従
来例の概要である。
【0004】例えば、図7(c)において、荷重体5に
よる変形量を小さく抑えたい場合、従来例のような軟質
なフィルムでは変形量が大きすぎて不向きである。ま
た、従来例は荷重検出方向が垂直方向のみで、摩擦力な
どの水平方向の荷重を検出することは困難である。つま
り、荷重分布を三次元的に検出することが必要になる
が、その理由について図6を参照して説明する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図6(a)に示すよう
に、剛性の高いセラミックス体6と剛性の高い金属体7
を接触させ、これを上押板8と下押板9との間に挟み、
ボルト10で締めつけたとする。いま、この状態で熱が
下押板9側から金属体7を経て、セラミックス体6へ伝
わったとする。その結果、熱膨張が生じてセラミックス
体6と金属体7の接触面で、垂直方向の荷重だけでなく
水平方向の荷重が矢印のように発生することになる。こ
れら3方向の荷重を測るため、図6(b)のように、セ
ラミックス体6と金属体7との間に例えばフィルム状荷
重センサ11を挟むと、フィルムが軟質で熱的にも弱い
ため、フィルム自身の変形量が大きく、荷重を正確に測
ることができない。
【0006】すなわち、上記のような場合には、荷重セ
ンサ自身が剛体で変形量が小さく、かつ熱的な影響を受
け難いことと同時に、3方向の荷重を測定する機能を有
していなければならないが、従来のものではこの課題に
対処できないということになる。したがって、この発明
の課題は、剛性を高くして変形量を小さく抑え、熱的に
も強くて3方向の荷重も測定可能とすることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
べく、請求項1の発明では、高剛性金属製四角柱の4側
面の内の2側面には垂直荷重検出用歪みゲージを、残り
の2側面には水平荷重検出用歪みゲージをそれぞれ貼付
したものを単位素子として、これを複数個マトリックス
状に配置し、形状記憶合金製格子枠を用いて前記単位素
子群を保持するようにしている。上記請求項1の発明に
おいては、前記形状記憶合金製格子枠は、低温で拡大伸
長した状態にしてはめ込み、加熱して元の状態に復原す
ることにより、前記単位素子群の保持を行なうことがで
きる(請求項2の発明)。また、上記請求項1または2
の発明においては、前記垂直荷重検出用歪みゲージは1
側面には垂直方向に、他の1側面には水平方向にそれぞ
れ貼付し、水平荷重検出用歪みゲージは各側面に2つを
互いに斜めに交差させてそれぞれ貼付することができる
(請求項3の発明)。
【0008】
【発明の実施の形態】図1はこの発明の実施の形態を示
す構成図、図2は組立工程説明図、図3は格子枠組立工
程説明図、図4はセンサ回路例を示す構成図、図5はこ
の発明で用いられるセンサ単位素子の説明図で、以下、
これらの図を参照して説明する。すなわち、この発明で
用いられるセンサ単位素子(以下、単位素子または素子
ともいう)は図5(a)に示すように、基底部13に高
剛性の金属製四角柱からなる受圧柱14を接合し、その
上に荷重を受ける受圧部12を接合して構成される。
【0009】いま、垂直方向の荷重をFzとすると、こ
れを検出するための歪みゲージとしては、図5(a)に
符号G11,G12で示す歪みゲージ15が用いられる。こ
こではG11で垂直歪みを、また、G12で横歪み(ポアッ
ソン比に相当する歪み)をそれぞれ検出する。また、水
平方向の荷重Fx,Fyを検出するための歪みゲージは
図5(b)のように、互いに斜めに交差させてそれぞれ
貼付される。Fx用歪みゲージ16ではG21に圧縮力、
22に引張力がそれぞれ作用し、同様にFy用歪みゲー
ジ17ではG31に圧縮力、G32に引張力がそれぞれ作用
し、いずれも上述と同様の横歪み成分は相殺されるよう
になっている。
【0010】ゲージG11とG12、G21とG22およびG31
とG32の各直列回路によって、ホイートストンブリッジ
回路を組むと例えば図4のようになり、各直列回路の中
点から荷重に応じた信号を取り出すことにより、Fx,
FyおよびFzを求めることができる。このとき、電圧
Vとアースを共通化することにより、信号配線数を減ら
すことが可能となる。ブリッジからの複数の出力信号は
マクチプレクサ18によって選択され、歪計19により
検出される。なお、図4では単位素子がn個設けられた
場合を想定しており、従って、ゲージG111 ,G11n
121 ,G12n、G211 ,G21n とG221 ,G22n およ
びG311 ,G31n とG321 ,G32n などが図示されてい
る。
【0011】ところで、この発明による荷重分布センサ
は、その外観は図1(a)のように示され、その断面は
図1(b)のようになる。すなわち、荷重分布センサ
は、図5で説明した単位素子を、図2(a)のように複
数個(ここでは3×4個)配置して構成されるが、その
複数の単位素子を保持するために、図2(b)のような
格子枠24を用いる。格子枠24は図3(a)に示すよ
うに、X格子板20にはスリット21が、また、Y格子
板22にはスリット23がそれぞれ形成されている。し
たがって、スリット21にスリット23を嵌め合わせる
ことにより、図2(b)または図3(b)に示すような
格子枠24を得ることができる。
【0012】上記格子として、ここでは例えばNi−T
i合金やCu−Zn−Al合金などの形状記憶合金(変
形前の状態を記憶していて、加熱によって変形前の状態
に戻る性質を有する合金)を用いる。形状記憶合金は室
温以下では小さな応力(数kg/mm2 以下)で変形
し、室温以上に温めてやると変形前の形状へ自然に戻る
(この状態では、高強度である)。そこで、このような
性質を利用して、図2(b)に示す格子枠24を室温以
下の低温(例えば0℃)において、例えば歪み7%まで
拡大させておき、この状態で図2(a)で示すような単
位素子を3×4のマトリックス状に配列した素子群の上
から被せ、その後、室温以上の温度(例えば40℃)に
温めてやることにより、格子枠24は拡大前の状態に戻
り素子群を保持できるようになる。
【0013】素子群の配列に当たっては図2(a)のよ
うに、素子間に僅かな隙間25を設けて配列するように
している。このとき、配線は既に済ませておくことは言
うまでもない。また、図2(b)の符号26は、格子枠
24にX,Y方向の引張力を与え、歪み7%程度にまで
拡大するための穴を示す。つまり、図2(b)に符号d
として示す、拡大したときの格子枠24の格子間隔を、
素子の受圧部12の長さcよりも若干大きくしておき、
この拡大した格子枠24を素子間の隙間25を通して被
せ、その後室温に戻せば格子枠24は元の状態に収縮す
るので、素子群がバラバラにはずれないように保持する
ことができる、という訳である。なお、図3でX格子板
20の幅aを、Y格子板22の幅bよりも小さくしてい
るのは、上記配線のための隙間を確保するためである。
配線がX格子板20の下側の隙間を通して左右外側に導
かれる様子は、図1(b)に示されている。
【0014】
【発明の効果】この発明によれば、高剛性の金属製四画
柱を用い歪みゲージの取り付け方を工夫することで、高
い剛性を持ち工業的な有用性の極めて高い、三次元荷重
センサを得ることができるという利点がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態を示す構成図である。
【図2】組立工程説明図である。
【図3】格子枠の組立工程説明図である。
【図4】センサ回路例を示す構成図である。
【図5】図5はこの発明で用いられるセンサ単位素子の
説明図である。
【図6】三次元荷重分布センサの概要図である。
【図7】従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
12…受圧部、13…基底部、14…受圧柱、15,1
6,17…歪みゲージ、18…マルチプレクサ、19…
歪計、20,22…格子板、21,23…スリット、2
4…格子枠、25…隙間、26…穴。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 接触する剛体との間の垂直荷重および水
    平荷重の分布を測定する荷重分布センサであって、 高剛性金属製四角柱の4側面の内の2側面には垂直荷重
    検出用歪みゲージを、残りの2側面には水平荷重検出用
    歪みゲージをそれぞれ貼付したものを単位素子として、
    これを複数個マトリックス状に配置し、形状記憶合金製
    格子枠を用いて前記単位素子群を保持するようにしたこ
    とを特徴とする荷重分布センサ。
  2. 【請求項2】 前記形状記憶合金製格子枠は、低温で拡
    大伸長した状態にしてはめ込み、加熱して元の状態に復
    原することにより、前記単位素子群の保持を行なうこと
    を特徴とする請求項1に記載の荷重分布センサ。
  3. 【請求項3】 前記垂直荷重検出用歪みゲージは1側面
    には垂直方向に、他の1側面には水平方向にそれぞれ貼
    付し、水平荷重検出用歪みゲージは各側面に2つを互い
    に斜めに交差させてそれぞれ貼付したことを特徴とする
    請求項1または2のいずれかに記載の荷重分布センサ。
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Cited By (4)

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