JP2000158618A5

JP2000158618A5 -

Info

Publication number: JP2000158618A5
Application number: JP1998339473A
Authority: JP
Filing date: 1998-11-30
Publication date: 2006-01-12

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、
プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のドリルを有するドリル機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のドリルとにおけるドリル軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている該マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするマスク版製造方法。
【請求項２】
印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、
プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のポンチ及びダイスを有するパンチプレス機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のポンチとにおけるポンチ軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のポンチの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ポンチの先端と、該パンチプレス機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ポンチ軸線方向における各ポンチ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするマスク版製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２のマスク版製造方法において、
上記最大離間距離に応じて、各ドリル又は各ポンチの軸線方向におけるストローク範囲を調整することを特徴とするマスク版製造方法。 [Claims]
[Claim 1 ]
In a mask plate manufacturing method for manufacturing a mask plate having a metal mask or a plastic mask in which a through opening for a print pattern is formed as a print mask.
A mask material made of a plastic plate, and which is fixed to the mask frame directly or via a thin film, by preparing the drill mechanism having a plurality of drill diameters are different from each other, the mask material is fixed to the mask frame If, by changing the relative position of the direction towards perpendicular to the drill axis direction at an arbitrary drill, while adjusting the penetration position relative to the mask material of said any drilling, the through opening by the arbitrary drilled in the step of, the distal end of each drill, the maximum distance between the mask member attached to the said drill mechanism, so that the mask material can significantly alter than the height of the mask frame being fixed, the drill axis A method for manufacturing a mask plate, which comprises setting a moving range of each drill, the mask material, or both in a direction.
2. The method of claim 1]
In a mask plate manufacturing method for manufacturing a mask plate having a metal mask or a plastic mask in which a through opening for a print pattern is formed as a print mask.
A mask material made of a plastic plate, and which is fixed to the mask frame directly or via a thin film, by preparing a punch press mechanism having a plurality of punches and dice that have different diameters from each other, it is fixed to the mask frame and said mask material was, by changing the relative position towards direction perpendicular to the punch axis direction at an arbitrary punch, while adjusting the penetration position relative to the mask material of said given punch, the through by the optional punch In the step of forming the opening, the maximum separation distance between the tip of each punch and the mask material attached to the punch press mechanism can be changed more than the height of the mask frame to which the mask material is fixed. As described above, a mask plate manufacturing method, characterized in that the moving range of each punch, the mask material, or both of them is set in the direction of the punch axis.
[Claim 3]
In the mask plate manufacturing method of claim 1 or 2,
A method for manufacturing a mask plate, which comprises adjusting a stroke range in the axial direction of each drill or punch according to the maximum separation distance.

【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のドリルを有するドリル機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のドリルとにおけるドリル軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のドリルの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のドリルにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ドリルの先端と、該ドリル機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている該マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするものである。 0011
[Means for solving problems]
In order to achieve the above object, the invention of claim 1 is a mask plate manufacturing method for manufacturing a mask plate having a metal mask or a plastic mask in which a through opening for a printing pattern is formed as a printing mask. A mask material made of a plastic plate is fixed to a mask frame directly or via a thin film, and a drill mechanism having a plurality of drills having different diameters is prepared, and the mask material fixed to the mask frame. The through opening is formed by the arbitrary drill while adjusting the penetration position of the arbitrary drill with respect to the mask material by changing the relative position in the direction orthogonal to the drill axis direction with the arbitrary drill. In the process, the drill axis direction so that the maximum separation distance between the tip of each drill and the mask material attached to the drill mechanism can be changed more than the height of the mask frame to which the mask material is fixed. It is characterized in that each drill in the above, the mask material, or the moving range of both is set .

このマスク版製造方法においては、マスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定してから、ドリルにより、該マスク材に印刷パターン用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫通開口部が形成されているプラスチックマスクを、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消することができる。
また、マスク枠と、該マスク枠に直接あるいは薄膜を介して固定されたマスク材とからなる版用部材を大量生産しておくことで、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができる。
また、このマスク版製造方法においては、マスク材に対するドリルの貫通位置を調整することができなかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなかったりするという不具合を解消することができる。例えば、各ドリルの先端とドリル機構に装着したマスク材とを、マスク枠の高さよりも大きく離間させることができないと、上記貫通位置を調整する際に、ドリルをマスク枠に引っかけてしまうおそれがある。具体的な一例としては、マスク枠を水平移動させて該マスク枠に固定されるマスク材の上記貫通位置を調整する場合において、ドリル先端の下方を通過させるようにマスク枠を水平移動させると、該ドリル先端をマスク枠に引っかけてしまう。このため、水平方向において、任意のドリルをマスク枠の外側に位置させている場合には、該ドリルをマスク枠の内側に位置させることができず、上記貫通位置を調整することができなくなる。また、全てのドリルをマスク枠の内側に位置させており、且つ、マスク枠に直接固定したマスク材の周縁部に貫通開口部を形成する場合には、マスク枠の水平移動時に、任意のドリルの周囲にあるドリルをマスク枠に引っかけてしまうおそれがある。そして、このようにドリルを引っかけると、任意のドリルを上記貫通位置の上方に位置させることができず、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなくなる。このような場合には、マスク材及びマスク枠の寸法を大きくして、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成しないようにする必要がある。そこで、このマスク版製造方法においては、各ドリルの先端と、ドリル機構に装着したマスク材との最大離間距離を、マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ドリル軸線方向における各ドリル、マスク材又は両者の移動範囲を設定する。 In this mask plate manufacturing method, the mask material from the fixed to the mask frame directly or via a thin film, and more drill, to form through openings for printing the pattern on the mask material. Therefore, already pulp las tic mask through openings are formed, it is possible to eliminate the deformation and displacement of the through opening caused by fixing the mask frame directly or via a thin film.
Further, by mass-producing a plate member composed of a mask frame and a mask material fixed directly to the mask frame or via a thin film, a process that requires a long time such as an adhesive application / drying process is required. Can be done in advance.
Further, in this mask plate manufacturing method, it is possible to solve the problems that the penetration position of the drill with respect to the mask material cannot be adjusted and the through opening cannot be formed at the peripheral edge of the mask material. Can be done. For example, if the tip of each drill and the mask material attached to the drill mechanism cannot be separated more than the height of the mask frame, the drill may be caught on the mask frame when adjusting the penetration position. is there. As a specific example, when the mask frame is horizontally moved to adjust the penetration position of the mask material fixed to the mask frame, when the mask frame is horizontally moved so as to pass below the tip of the drill, The tip of the drill is caught in the mask frame. Therefore, when an arbitrary drill is positioned outside the mask frame in the horizontal direction, the drill cannot be positioned inside the mask frame and the penetration position cannot be adjusted. Further, when all the drills are positioned inside the mask frame and a through opening is formed at the peripheral edge of the mask material directly fixed to the mask frame, any drill can be used when the mask frame is horizontally moved. There is a risk that the drill around the mask will get caught in the mask frame. Then, when the drill is hooked in this way, any drill cannot be positioned above the penetrating position, and a penetrating opening cannot be formed at the peripheral edge of the mask material. In such a case, it is necessary to increase the dimensions of the mask material and the mask frame so as not to form a through opening on the peripheral edge of the mask material. Therefore, in this mask plate manufacturing method, each drill in the direction of the drill axis can be changed so that the maximum distance between the tip of each drill and the mask material attached to the drill mechanism can be changed larger than the height of the mask frame. Set the movement range of the mask material or both.

請求項２の発明は、印刷用マスクとして印刷パターン用の貫通開口部が形成されたメタルマスク又はプラスチックマスクを有するマスク版を製造するためのマスク版製造方法において、プラスチック板からなるマスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定したものと、互いに径が異なる複数のポンチ及びダイスを有するパンチプレス機構とを用意しておき、該マスク枠に固定された該マスク材と、任意のポンチとにおけるポンチ軸線方向と直交する方向の相対位置を変化させて、該任意のポンチの該マスク材に対する貫通位置を調整しながら、該任意のポンチにより上記貫通開口部を形成する工程で、各ポンチの先端と、該パンチプレス機構に装着した該マスク材との最大離間距離を、該マスク材が固定されている上記マスク枠の高さよりも大きく変化させ得るように、ポンチ軸線方向における各ポンチ、該マスク材又は両者の移動範囲を設定することを特徴とするものである。 The invention of claim 2 is a mask plate manufacturing method for manufacturing a mask plate having a metal mask or a plastic mask having a through opening for a printing pattern formed as a printing mask, wherein a mask material made of a plastic plate is used. to those fixed to the mask frame directly or via a thin film, by preparing a punch press mechanism having a plurality of punches and dice that have different diameters from each other, and the mask material, which is fixed to the mask frame, any by changing the relative position towards direction perpendicular to the punch axis direction of the punch, while adjusting the penetration position relative to the mask material of said given punch, by the optional punch in the step of forming the through opening, Each in the punch axis direction so that the maximum separation distance between the tip of each punch and the mask material attached to the punch press mechanism can be changed more than the height of the mask frame to which the mask material is fixed. It is characterized in that the movement range of the punch, the mask material, or both is set.

このマスク版製造方法においては、マスク材を、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定してから、パンチプレスにより、該マスク材に印刷パターン用の貫通開口部を形成する。このため、既に貫通開口部が形成されているプラスチックマスクを、直接あるいは薄膜を介してマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消することができる。
また、マスク枠と、該マスク枠に直接あるいは薄膜を介して固定されたマスク材とからなる版用部材を大量生産しておくことで、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができる。
また、このマスク版製造方法においては、マスク材に対するポンチの貫通位置を調整することができなかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成することができなかったりするという不具合を解消することができる。 In this mask plate manufacturing method, the mask material is fixed to the mask frame directly or through a thin film, and then a through opening for a printing pattern is formed in the mask material by punch press. Therefore, it is possible to eliminate the deformation and misalignment of the through opening caused by fixing the plastic mask having the through opening already formed to the mask frame directly or via a thin film.
Further, by mass-producing a plate member composed of a mask frame and a mask material fixed directly to the mask frame or via a thin film, a process that requires a long time such as an adhesive application / drying process is required. Can be done in advance.
Further, in this mask plate manufacturing method, it is possible to solve the problems that the penetrating position of the punch with respect to the mask material cannot be adjusted and the penetrating opening cannot be formed at the peripheral edge of the mask material. Can be done.

請求項３の発明は、請求項１又は２のマスク版製造方法において、上記最大離間距離に応じて、各ドリル又は各ポンチの軸線方向におけるストローク範囲を調整することを特徴とするものである。 The invention of claim 3 is characterized in that, in the mask plate manufacturing method of claim 1 or 2 , the stroke range in the axial direction of each drill or punch is adjusted according to the maximum separation distance.

【００５６】
【発明の効果】
請求項１乃至３の発明によれば、既に貫通開口部が形成されているメタルマスク又はプラスチックマスクをマスク枠に固定することにより生ずる該貫通開口部の変形や位置ずれを解消し得るので、製造後のマスク版におけるメタルマスク又はプラスチックマスクの貫通開口部の変形や位置ずれを低減することができるという優れた効果がある。
また、接着剤の塗布・乾燥工程などの長時間を要する工程を予め済ませておくことができるので、発注から納品までのリードタイムを短縮して生産性を向上させることがきるという優れた効果がある。 0056
【Effect of the invention】
According to the inventions of claims 1 to 3 , it is possible to eliminate the deformation and misalignment of the through opening caused by fixing the metal mask or the plastic mask on which the through opening is already formed to the mask frame. There is an excellent effect that deformation and misalignment of the through-opening of the metal mask or the plastic mask in the later mask plate can be reduced.
In addition, since it is possible to complete a process that requires a long time such as an adhesive application / drying process in advance, it has an excellent effect that the lead time from ordering to delivery can be shortened and productivity can be improved. is there.

また、請求項１乃至３の発明によれば、マスク材に対するドリル又はポンチの貫通位置を調整し得なかったり、マスク材の周縁部に貫通開口部を形成し得なかったりという不具合を解消することができるので、該貫通位置を確実に調整し、且つ、マスク枠及びマスク材の寸法の拡大化を回避することができるという優れた効果がある。
また、マスク枠及びマスク材の寸法の拡大化を回避することができるので、版用部材を印刷装置のワーク寸法規格に対応させることができるという優れた効果がある。 Further , according to the inventions of claims 1 to 3 , it is possible to solve the problems that the penetrating position of the drill or punch with respect to the mask material cannot be adjusted or the penetrating opening cannot be formed at the peripheral edge of the mask material. Therefore, there is an excellent effect that the penetration position can be surely adjusted and the enlargement of the dimensions of the mask frame and the mask material can be avoided.
Further, since it is possible to avoid enlarging the dimensions of the mask frame and the mask material, there is an excellent effect that the plate member can correspond to the work size standard of the printing apparatus.

また、請求項３の発明によれば、各ドリル又は各ポンチをマスク材に対して確実に貫通させ得るので、マスク材に対して印刷パターンを確実に形成することができるという優れた効果がある。 Further , according to the invention of claim 3 , since each drill or each punch can be surely penetrated through the mask material, there is an excellent effect that a print pattern can be surely formed on the mask material. ..