JP2000153603A - Delivery ink measuring apparatus - Google Patents

Delivery ink measuring apparatus

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JP2000153603A
JP2000153603A JP32844298A JP32844298A JP2000153603A JP 2000153603 A JP2000153603 A JP 2000153603A JP 32844298 A JP32844298 A JP 32844298A JP 32844298 A JP32844298 A JP 32844298A JP 2000153603 A JP2000153603 A JP 2000153603A
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JP
Japan
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ink
recording
recording medium
measuring
ejection
Prior art date
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Withdrawn
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JP32844298A
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Japanese (ja)
Inventor
Kimiyuki Hayashizaki
公之 林崎
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Canon Inc
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To measure fluctuation in the volume of ink drop being ejected from an ink jet recording head in order to further enhance the quality of the recording head. SOLUTION: An ink drop 3 ejected from an ink jet recording head is received by a recording medium in the form of a laboratory dish having specified depth and width and then the recording medium is covered with a top plate 2. Consequently, the ink drop 3 is deformed tubularly and diameter at the upper or lower bottom of the deformed ink drop is measured and then the volume of the ink drop 3 is calculated based on the measured size.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は吐出インク測定装置
に関し、例えば、プリンタ、複写機、通信システムを有
するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッ
サ等において、紙、繊維、皮革、金属、プラスチック、
ガラス、木材、セラミックス等の記録媒体に対して記録
を行うために用いられるインクジェット記録ヘッドから
吐出されるインク液滴を測定する吐出インク測定装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge ink measuring apparatus, for example, paper, fiber, leather, metal, plastic, etc. in printers, copiers, facsimile machines having a communication system, word processors having a printer section, and the like.
The present invention relates to a discharge ink measuring device that measures ink droplets discharged from an ink jet recording head used for recording on a recording medium such as glass, wood, ceramics, and the like.

【0002】なお、本発明における「記録」には、文字
や図形等の意味を持つ画像を記録媒体に対して記録する
ことだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を記
録することも含むものである。
In the present invention, "recording" includes not only recording an image having a meaning such as a character or a figure on a recording medium but also recording an image having no meaning such as a pattern. It is a thing.

【0003】[0003]

【従来の技術】記録装置、或いは、複写機やファクシミ
リ等に備えられたプリンタ部は、画像情報に基づいて、
紙、プラスティック薄板、布等の記録媒体上にドットパ
ターンからなる画像を記録していくように構成されてい
る。
2. Description of the Related Art A recording unit, or a printer unit provided in a copying machine, a facsimile, or the like, operates based on image information.
It is configured to record an image composed of a dot pattern on a recording medium such as paper, a plastic thin plate, or cloth.

【0004】このようなプリント装置の中でも、基板上
に記録ドットに対応する複数の記録素子を配列させて構
成するインクジェット方式、サーマル方式、LED方式
等の記録ヘッドを搭載した記録装置は、ローコストな装
置として注目されている。
[0004] Among such printing apparatuses, a printing apparatus equipped with a recording head of an ink jet system, a thermal system, an LED system, or the like, in which a plurality of recording elements corresponding to recording dots are arranged on a substrate, is low cost. It is drawing attention as a device.

【0005】これらの記録素子を記録幅に対応させて配
列した記録ヘッドは、半導体製造工程と同様のプロセス
を用いて記録素子を製造できるため、それまで駆動用集
積回路を別体としていた形態から、近年においては記録
素子が配列されている同一基板内部に駆動用回路を構造
的に作り込む形態に変化しつつある。この結果、記録ヘ
ッドの駆動に関わる回路構成が複雑化することが防止さ
れ、記録装置の小型化、ローコスト化が達成されるので
ある。
A print head in which these print elements are arranged corresponding to the print width can manufacture print elements by using a process similar to a semiconductor manufacturing process. In recent years, there has been a change to a form in which a driving circuit is structurally formed inside the same substrate on which printing elements are arranged. As a result, it is possible to prevent the circuit configuration related to the driving of the recording head from becoming complicated, and to achieve the miniaturization and low cost of the recording apparatus.

【0006】なかでも、インクジェット記録方式は、例
えば、熱エネルギーによりインクを加熱して膜沸騰を生
じさせ、そのときに発生する気泡による圧力を利用して
インクを吐出させることができるので、記録信号に対す
る応答性が良く、インク吐出口の高密度化が容易である
こと等の利点を有している点で、他の記録方式に比較し
て優れた点が多く、注目を集めている記録方式であると
言える。
Above all, in the ink jet recording method, for example, the ink is heated by heat energy to cause film boiling, and the ink can be ejected by utilizing the pressure caused by bubbles generated at that time. It has many advantages compared to other printing methods, such as good responsiveness to printing, and the advantage of easy density increase of ink ejection ports. It can be said that

【0007】さらに、このようなインクジェット記録ヘ
ッドを用いた記録装置では画像の高解像度で記録した
り、種々の機能を付加するために、これまでにも吐出さ
れるインク滴のサイズを制御したり、そのサイズを小さ
くする技術が提案されている。例えば、インクを吐出す
るノズル内に2種類の記録素子を配列し、これら素子の
組み合わせて駆動させることにより、サイズの異なるイ
ンク滴を吐出を制御したり、ノズルアクチュエータの変
形を制御することで、インク滴の量を制御することが可
能になってきている。
Further, in a recording apparatus using such an ink jet recording head, recording is performed at a high resolution of an image, and in order to add various functions, the size of ink droplets to be ejected has been controlled. A technique for reducing the size has been proposed. For example, by arranging two types of printing elements in a nozzle that ejects ink and by driving these elements in combination, it is possible to control the ejection of ink droplets having different sizes or to control the deformation of a nozzle actuator. It has become possible to control the amount of ink drops.

【0008】従って、このような技術を用いることによ
り、高画質なカラー画像をローコストで出力することが
できるのである。
Therefore, by using such a technique, a high-quality color image can be output at low cost.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、インクジェット記録装置に搭載する記録ヘッド
の記録素子の高密度化により、吐出されるインク滴のば
らつきが画質そのものを左右してしまうようになってき
ている。例えば、複数の記録素子が高密度に配置された
インクジェット記録ヘッドには、インク吐出ノズル全て
から吐出されるインク滴の量が均一であるばかりか、同
一ノズルから吐出されるインク滴のサイズが安定してい
ることなどが要求されてくるのである。
However, in the above-mentioned conventional example, variations in the ink droplets to be ejected affect the image quality itself due to the increase in the density of the recording elements of the recording head mounted on the ink jet recording apparatus. Is coming. For example, in an ink jet recording head in which a plurality of recording elements are arranged at high density, not only the amount of ink droplets ejected from all ink ejection nozzles is uniform, but also the size of ink droplets ejected from the same nozzle is stable. What they do is required.

【0010】つまり、吐出インク滴のばらつきやゆらぎ
は、濃度むらやカラー画像における色調ずれ等の影響を
及ぼし、ローコストで高品位の画像記録を行うことがで
きるインクジェット記録装置の提供を妨げる要因となっ
ている。
That is, variations and fluctuations of the ejected ink droplets have effects such as density unevenness and color tone deviation in a color image, which hinders the provision of an ink jet recording apparatus capable of performing high quality image recording at low cost. ing.

【0011】さて、こうした問題を解決するためにはま
ず、インクジェット記録ヘッドのインク吐出特性の解析
を行なうことが必要であり、従来からも様々な要因を想
定した記録を試験的に行ったり吐出インクの観察等を行
なったりしてきたが、その記録ヘッドから吐出されるイ
ンク液滴によって記録媒体上に形成される記録ドット1
つずつのばらつきそのものを確認することは難しいのが
現状であった。
In order to solve such a problem, it is first necessary to analyze the ink ejection characteristics of the ink jet recording head. Of the recording dot 1 formed on the recording medium by ink droplets ejected from the recording head.
At present, it was difficult to confirm the variation itself.

【0012】なぜなら、インクジェット記録ヘッドのイ
ンク吐出周期は数百μS以下と高速であり、記録ヘッド
の同一インク吐出ノズルからの連続したインク吐出の事
象を個別にサンプリングするのは困難であるからであ
る。更に、インク吐出ノズル個別のインク吐出量の測定
については、予めインクタンクの質量を測定しておき、
その後規定量記録動作を行わせ、その後さらにそのイン
クタンクの質量を測定することにより、記録動作前後の
インク質量差から平均的なインク吐出量として算出する
しか方法がないのが現状である。
This is because the ink ejection cycle of the ink jet recording head is as fast as several hundreds μS or less, and it is difficult to individually sample events of continuous ink ejection from the same ink ejection nozzle of the recording head. . Furthermore, regarding the measurement of the ink discharge amount of each ink discharge nozzle, the mass of the ink tank is measured in advance,
At present, there is no alternative but to perform a specified amount recording operation and then measure the mass of the ink tank to calculate the average ink ejection amount from the difference in ink mass before and after the recording operation.

【0013】つまり、従来の技術では、吐出されるイン
ク液滴1つ1つを個別に直接測定することはできなかっ
た。
That is, in the conventional technique, it is not possible to directly measure each of the ejected ink droplets individually.

【0014】本発明は上記従来例に鑑みてなされたもの
であり、インクジェット記録ヘッドの更なる高画質化を
達成するために、その記録ヘッドから吐出されるインク
滴各々の吐出量のばらつきを測定することができる吐出
インク測定装置を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional example. In order to achieve higher image quality of an ink jet recording head, the present invention measures the variation in the ejection amount of each ink droplet ejected from the recording head. It is an object of the present invention to provide a discharge ink measuring device capable of performing the above-mentioned operations.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の吐出インク測定装置は、以下のような構成か
らなる。
In order to achieve the above object, a discharge ink measuring apparatus according to the present invention has the following configuration.

【0016】即ち、複数の記録要素を有したインクジェ
ット記録ヘッドから吐出されるインク量を測定する吐出
インク測定装置であって、前記インクジェット記録ヘッ
ドから吐出されるインク液滴の形状を変化させて保持す
る記録媒体と、前記インクジェット記録ヘッドを駆動し
て前記記録媒体に試験的にインク吐出して記録を行う記
録手段と、前記記録媒体に保持された形状の変化したイ
ンク液滴のサイズを測定する測定手段と、前記測定手段
によって測定されたサイズに基づいて、前記インク液滴
の体積を算出する算出手段とを有することを特徴とする
吐出インク測定装置を備える。
In other words, there is provided an ejection ink measuring apparatus for measuring an amount of ink ejected from an ink jet recording head having a plurality of recording elements, wherein the shape of an ink droplet ejected from the ink jet recording head is changed and held. A recording medium to be recorded, recording means for driving the ink jet recording head to eject ink onto the recording medium in a test manner to perform recording, and measuring a size of an ink droplet having a changed shape held on the recording medium. An ejection ink measurement device is provided, comprising: a measurement unit; and a calculation unit that calculates a volume of the ink droplet based on the size measured by the measurement unit.

【0017】ここで、前記測定手段は、形状の変化した
インク液滴のサイズを精査する顕微鏡と、その顕微鏡に
よる精査によって得られた情報を画像処理する画像処理
手段と、顕微鏡を三次元的に移動する移動手段とを有す
ることが望ましい。
The measuring means includes a microscope for inspecting the size of the ink droplet having changed shape, an image processing means for image-processing information obtained by the inspection by the microscope, and a three-dimensional microscope. It is desirable to have moving means for moving.

【0018】また、前記記録媒体は、インク液滴を受容
する受容部と、その受容部にインク液滴を受けた後に、
受容部を覆う天板とを有することが望ましい。
The recording medium may further include a receiving portion for receiving the ink droplets, and the receiving portion receiving the ink droplets.
It is desirable to have a top plate that covers the receiving portion.

【0019】このような記録媒体は、以下のような実施
態様が考えられる。
The following embodiment is conceivable for such a recording medium.

【0020】(1)受容部はインク液滴1滴1滴を受容
する部分が所定の深さと所定の幅とをもつシャーレの形
態とし、そのシャーレの体積をインク液滴の体積よりも
大きくする。この場合、シャーレの形態の受容部に吐出
されたインク液滴は、その受容部が天板によって覆われ
ることによって円筒状に変形する。そして、この場合に
は、測定手段が円筒状に変形したインク液滴の上底或は
下底の直径を測定すると良い。
(1) The receiving portion is in the form of a petri dish in which a portion for receiving one ink droplet has a predetermined depth and a predetermined width, and the volume of the petri dish is made larger than the volume of the ink droplet. . In this case, the ink droplet discharged to the receiving portion in the form of a petri dish is deformed into a cylindrical shape by covering the receiving portion with the top plate. In this case, the measuring unit may measure the diameter of the upper or lower bottom of the ink droplet deformed into a cylindrical shape.

【0021】(2)受容部はインク液滴1滴1滴を受容
する部分が所定の深さと所定の幅とをもつ直方体の形態
とする。この場合、直方体の形態の受容部に吐出された
インク液滴は、直方体を構成する側壁に沿って広がり変
形する。そして、この場合には、測定手段が直方体を構
成する側壁に沿って広がり変形したインク液滴の広がり
の幅を測定すると良い。
(2) The receiving portion has a rectangular parallelepiped shape in which a portion for receiving one ink droplet has a predetermined depth and a predetermined width. In this case, the ink droplets ejected to the rectangular parallelepiped receiving portion spread and deform along the side wall constituting the rectangular parallelepiped. In this case, it is preferable that the measuring unit measures the width of the spread of the ink droplet that has spread and deformed along the side wall constituting the rectangular parallelepiped.

【0022】(3)受容部は上記のようなシャーレ形態
とし、そのシャーレの形態の受容部にはインク液滴の組
成とは混合しない液体を満たす。この場合、その液体で
満たされたシャーレの形態の受容部に吐出されたインク
液滴はその液体内で球形に変形する。そして、この場合
には、測定手段が球形に変形したインク液滴の直径を測
定すると良い。
(3) The receiving portion is in the form of a petri dish as described above, and the receiving portion in the form of the petri dish is filled with a liquid that does not mix with the composition of the ink droplets. In this case, the ink droplets discharged to the receiving portion in the form of a petri dish filled with the liquid are deformed into a spherical shape in the liquid. In this case, the measuring means may measure the diameter of the spherically deformed ink droplet.

【0023】さて、記録媒体が上記いづれの形態であっ
ても、受容体或は天板のいづれかは光透過性の物質でで
きていることが望ましい。
Regardless of the above-mentioned recording medium, it is desirable that either the receptor or the top plate is made of a light-transmitting substance.

【0024】また、その記録媒体の受容部は、基板上を
パターニングすることによって、記録媒体上に複数個形
成されるようにすることが望ましい。
It is desirable that a plurality of receiving portions of the recording medium be formed on the recording medium by patterning the substrate.

【0025】なお、上記インクジェット記録ヘッドは、
熱エネルギーを利用してインクを吐出するため、インク
に与える熱エネルギを発生するための電気熱変換体を備
えていると良い。
The ink jet recording head is
In order to eject ink using thermal energy, it is preferable to provide an electrothermal converter for generating thermal energy to be applied to the ink.

【0026】さらに、上記構成の装置に、前記算出手段
によって算出されたインク液滴の体積に関するデータを
格納する記憶手段を設け、さらに、その記憶手段に格納
された情報を外部に転送する通信手段を備えるようにす
ることは、得られた情報を記録ヘッドの吐出特性を補正
するための補正データの生成や、その補正データによっ
て補正可能な記録ヘッドを製造することにも影響するの
で、好ましい。
Further, the apparatus having the above structure is provided with storage means for storing data on the volume of the ink droplet calculated by the calculation means, and further, communication means for transferring the information stored in the storage means to the outside. It is preferable to provide the correction information because it affects the generation of correction data for correcting the ejection characteristics of the recording head based on the obtained information and the manufacture of a recording head that can correct the obtained information using the correction data.

【0027】またさらに、記録媒体の大きさを、インク
ジェット記録ヘッドを搭載する記録装置が記録に用いる
記録媒体の大きさと同等の大きさにしたり、その記録装
置が通常の記録動作において記録媒体を搬送させるのと
同様な動作を行って記録媒体を搬送する搬送手段と、そ
の記録装置が通常の記録動作においてインクジェット記
録ヘッドを移動させるのを同様な動作を行ってインクジ
ェット記録ヘッドを移動させる走査手段とをさらに備え
ることは望ましい。
Further, the size of the recording medium is set to be equal to the size of the recording medium used for recording by the recording apparatus equipped with the ink jet recording head, or the recording apparatus transports the recording medium in a normal recording operation. Transport means for transporting the recording medium by performing the same operation as the scanning means, and scanning means for moving the inkjet recording head by performing a similar operation to move the inkjet recording head in the recording apparatus in a normal recording operation; It is desirable to further provide

【0028】以上の構成により本発明は、記録媒体に吐
出されたインク液滴のサイズを測定することによって、
そのインク液滴の体積を算出するよう動作する。
With the above arrangement, the present invention measures the size of ink droplets ejected on a recording medium,
It operates to calculate the volume of the ink droplet.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して、本発明
の好適な実施形態について詳細に説明する。 <ヘッド検査装置本体の槻略説明>図1は本発明の代表
的な実施形態であるインクジェット記録ヘッドのインク
吐出特性を検査するヘッド検査装置の主要部構成を示す
外観斜視図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. <Schematic Description of Head Inspection Apparatus Main Body> FIG. 1 is an external perspective view showing a main part of a head inspection apparatus for inspecting ink ejection characteristics of an ink jet recording head according to a typical embodiment of the present invention.

【0030】この装置によって検査されるインクジェッ
ト記録ヘッド(以下、記録ヘッドという)を採用したプ
リンタは、その記録ヘッドを搭載するキャリッジを記録
用紙などの記録媒体の搬送方向と直交する方向に往復走
査しながらその記録ヘッドのインク吐出面から所定距離
だけ離して保持された記録媒体にインクを吐出し、その
記録媒体上に画像を形成する。従って、この実施形態の
ヘッド検査装置(以下、検査装置)では、プリンタでの
通常の記録動作状態に限りなく近い形態で記録ヘッドか
ら吐出されるインク液滴の量を計測するために、記録ヘ
ッドのインク吐出ノズル(以下、ノズルという)の位置
から所定の距離を維持し、吐出されたインク液滴の計測
用記録媒体を配置させることが重要である。
A printer adopting an ink jet recording head (hereinafter, referred to as a recording head) inspected by this apparatus reciprocally scans a carriage on which the recording head is mounted in a direction orthogonal to a conveying direction of a recording medium such as recording paper. While discharging the ink onto a recording medium held at a predetermined distance from the ink discharge surface of the recording head, an image is formed on the recording medium. Therefore, in the head inspection apparatus (hereinafter referred to as an inspection apparatus) of this embodiment, the recording head is used to measure the amount of ink droplets ejected from the recording head in a form as close as possible to a normal recording operation state in a printer. It is important to maintain a predetermined distance from the position of the ink discharge nozzle (hereinafter, referred to as a nozzle) and arrange the recording medium for measuring the discharged ink droplets.

【0031】このため、この実施形態における検査装置
は、上記のように記録ヘッドとインク液滴の計測用記録
媒体との距離を一定に保持する構成と、任意の測定ポイ
ント3次元的に移動可能な高精度な画像処理部と、特殊
な構成の記録媒体のインク液滴の計測用記録媒体を具備
する。
For this reason, the inspection apparatus of this embodiment has a configuration in which the distance between the recording head and the recording medium for measuring the ink droplets is kept constant as described above, and is capable of three-dimensionally moving an arbitrary measurement point. A high-precision image processing unit and a recording medium for measuring ink droplets on a recording medium having a special configuration.

【0032】図1に示すように、検査対象となる記録ヘ
ッド11は通常のプリンタ装置と同様なキャリッジ10
に装着された後、その記録ヘッドから吐出されるインク
液滴のばらつき等を確認しやすいパターンを記録媒体1
上に記録する。なお、その検査装置は、装置全体や各構
成要素の動作を制御するCPU(後述)を備えている。
As shown in FIG. 1, a recording head 11 to be inspected is a carriage 10 similar to an ordinary printer.
After being mounted on the recording medium 1, a pattern in which variations in ink droplets ejected from the recording head can be easily checked.
Record above. The inspection apparatus includes a CPU (described later) that controls the operation of the entire apparatus and each component.

【0033】さて、画像処理部14は3次元的に移動可
能なために3つのステージ15、16、17の上に設け
られている。これらのステージはパルスモータ(不図
示)の駆動力によって、図1に示すように、ステージ1
5はx方向に、ステージ16はy方向に、ステージ17
はz方向に夫々移動可能となっている。これらステージ
は、測定精度の向上のために、夫々のピッチングとヨー
イングを極力押さえた構成となっている。従って、これ
らステージの上にある画像処理部14はこれらステージ
の移動を組み合わせることによって3次元的な移動が可
能となるのである。画像処理部14はその上部にリボル
バー付き顕微鏡13を装着している。顕微鏡13はその
リボルバに装填された拡大倍率の異なる複数の対物レン
ズから1つを選択して使用することができる。
The image processing section 14 is provided on three stages 15, 16 and 17 so as to be movable three-dimensionally. These stages are driven by a driving force of a pulse motor (not shown) as shown in FIG.
5 in the x direction, stage 16 in the y direction, stage 17
Are movable in the z direction. These stages have a configuration in which pitching and yawing are suppressed as much as possible to improve measurement accuracy. Therefore, the image processing unit 14 above these stages can be three-dimensionally moved by combining the movements of these stages. The image processing unit 14 has a microscope 13 with a revolver mounted thereon. The microscope 13 can be used by selecting one from a plurality of objective lenses with different magnifications loaded in the revolver.

【0034】記録媒体1は上述のように通常の記録装置
における記録用紙と同じように記録ヘッド11との紙間
距離をおいて配置される。そして、記録媒体1をキャリ
ッジ10の移動方向(矢印CR)とは垂直方向(矢印
P)に移動制御する搬送機構12により、この実施形態
の測定装置は通常の記録を行うのと同様の記録が達成さ
れる。このようにして記録媒体1に記録されたパターン
を構成するインク液滴の物理的な形状がリボルバー付き
顕微鏡13によって精査され、その結果得られた画像デ
ータが画像処理部14で処理されて検査結果が得られる
のである。
As described above, the recording medium 1 is disposed at a distance from the recording head 11 in the same manner as the recording paper in the ordinary recording apparatus. Then, by the transport mechanism 12 for controlling the movement of the recording medium 1 in the direction (arrow P) perpendicular to the direction of movement of the carriage 10 (arrow CR), the measuring apparatus of this embodiment performs the same recording as that of performing ordinary recording. Achieved. The physical shape of the ink droplets constituting the pattern recorded on the recording medium 1 in this way is closely inspected by the microscope 13 with a revolver, and the image data obtained as a result is processed by the image processing unit 14 and the inspection result is obtained. Is obtained.

【0035】なお、図1には示していないが、この測定
装置には記録ヘッド11によって記録がなされた記録媒
体1の表面からのインク蒸発などを防止するために、記
録完了直後にその表面をガラスなどで覆う記録媒体封止
機構が備えられている。
Although not shown in FIG. 1, this measuring device has a surface immediately after the completion of recording in order to prevent ink from evaporating from the surface of the recording medium 1 on which recording has been performed by the recording head 11. A recording medium sealing mechanism for covering with a glass or the like is provided.

【0036】<測定装置の制御構成>図2は測定装置の
制御構成を示すブロック図である。
<Control Configuration of Measurement Apparatus> FIG. 2 is a block diagram showing a control configuration of the measurement apparatus.

【0037】図2に示すように、装置全体はCPU10
1によって制御され、画像処理部14からの出力もまた
CPU101に転送され、CPU101によって記録ヘ
ッド11についての最終的な測定結果を算出している。
その測定結果は半導体メモリ、磁気ディスク、光磁気デ
ィスクなどのメモリ(MEM)102に格納される。そ
して、そのメモリに格納された測定結果は、ディスプレ
イ(DPY)103やプリンタ(PRT)104などの
出力装置に出力しても良いし、ヘッド吐出特性補正装置
1000などの他の装置にその測定結果を転送して、記
録ヘッドのインク吐出特性を補正するために用いるよう
にしてもよい。
As shown in FIG.
1, the output from the image processing unit 14 is also transferred to the CPU 101, and the CPU 101 calculates the final measurement result of the recording head 11.
The measurement result is stored in a memory (MEM) 102 such as a semiconductor memory, a magnetic disk, and a magneto-optical disk. The measurement result stored in the memory may be output to an output device such as the display (DPY) 103 or the printer (PRT) 104, or may be output to another device such as the head ejection characteristic correction device 1000. May be transferred and used to correct the ink ejection characteristics of the recording head.

【0038】また、CPU101はヘッド駆動制御部1
11とドライバ112とを介しては記録ヘッド11が所
定のパターンを記録する際に必要な駆動信号や制御信号
を出力し、記録ヘッドの記録動作を制御する。さらに、
上述した3つのステージ15〜17は画像処理部14に
よる画像処理の際に、CPU101によって制御される
ステージ制御部121によってその移動が制御される。
The CPU 101 has a head drive controller 1
Via the driver 11 and the driver 112, the printhead 11 outputs a drive signal and a control signal necessary for printing a predetermined pattern, and controls the print operation of the printhead. further,
The movement of the three stages 15 to 17 described above is controlled by the stage control unit 121 controlled by the CPU 101 during image processing by the image processing unit 14.

【0039】さらに、キャリッジ10の往復移動はキャ
リッジ制御部131、搬送機構12の制御は搬送制御部
141によって制御される。さらにまた、記録ヘッド1
1のインク吐出面と記録媒体1との距離は記録媒体保持
機構151によって一定に保持される。
Further, the reciprocating movement of the carriage 10 is controlled by the carriage control unit 131, and the control of the transport mechanism 12 is controlled by the transport control unit 141. Furthermore, the recording head 1
The distance between the first ink ejection surface and the recording medium 1 is kept constant by the recording medium holding mechanism 151.

【0040】またさらに、所定のパターンが記録された
記録媒体1の表面は、記録媒体封止機構161によりイ
ンクの蒸発などを防止するためにガラスなどによって封
止される。
Further, the surface of the recording medium 1 on which the predetermined pattern is recorded is sealed by glass or the like by the recording medium sealing mechanism 161 to prevent the evaporation of the ink.

【0041】<記録媒体の構造>次に、この測定装置お
いて用いられる記録媒体1の特徴について説明する。
<Structure of Recording Medium> Next, features of the recording medium 1 used in this measuring apparatus will be described.

【0042】図3は記録媒体1の構造を示す側断面図で
ある。
FIG. 3 is a side sectional view showing the structure of the recording medium 1.

【0043】記録ヘッド11から吐出されたインク液滴
を保持する記録媒体は、図3(a)に示されているよう
に、微視的にはシャーレのような形態をしている。この
記録媒体は、平面度の高いガラス基板、またはシリコン
ウエハ基板等でできており、インク液滴1滴を受容する
領域の回りには高さc(数〜数10μm程度)のセパレ
ータが設けられている。このようなセパレータは、この
基板上にDF(ドライフィルム)等をパターニングする
ことによって形成される。現在DFは、そのメーカから
数十μm程度の規定サイズにて販売されており、厚さ管
理精度は±0.5μm程度である。
The recording medium for holding the ink droplets ejected from the recording head 11 is microscopically shaped like a petri dish as shown in FIG. This recording medium is made of a glass substrate or a silicon wafer substrate having high flatness, and a separator having a height c (about several to several tens of μm) is provided around an area for receiving one ink droplet. ing. Such a separator is formed by patterning a DF (dry film) or the like on the substrate. At present, DF is sold by its manufacturer in a prescribed size of about several tens of μm, and the thickness control accuracy is about ± 0.5 μm.

【0044】さて、このような記録媒体にインク液滴3
が吐出されると、測定装置は上述したようにこの記録媒
体の表面を記録媒体封止機構161を用いてガラスやシ
リコンウェハなどで形成された天板2によって封止す
る。このような封止によって、インク液滴3は記録媒体
1と天板2とによって挟み込まれて変形し、図3(a)
に示すように、高さcにまで押し潰される。なお、この
ようにインク液滴3が押し潰された後、顕微鏡13によ
って光学的に精査されるので、記録媒体1或は天板2の
どちらか一方が透明のガラスであることが望ましい。ま
た、このような変形によって、インク液滴3が記録媒体
1や天板2に浸透していくことのないように、記録媒体
1と天板2の表面にはある程度の撥水性をもたせるよう
に、撥水膜が塗布されている。この塗布は、この装置の
測定信頼性を損うことのないように、その表面にわたり
撥水膜厚中心値に対し、±3%以内となるように精度よ
くなされている。
Now, the ink droplets 3 are formed on such a recording medium.
Is discharged, the measuring apparatus seals the surface of the recording medium with the top plate 2 made of glass, a silicon wafer, or the like using the recording medium sealing mechanism 161 as described above. By such sealing, the ink droplets 3 are sandwiched between the recording medium 1 and the top plate 2 and deformed, and FIG.
As shown in FIG. After the ink droplets 3 are crushed in this manner, the ink droplets 3 are optically inspected by the microscope 13, so that either the recording medium 1 or the top plate 2 is preferably made of transparent glass. In order to prevent the ink droplets 3 from penetrating into the recording medium 1 and the top plate 2 by such deformation, the surfaces of the recording medium 1 and the top plate 2 are given a certain degree of water repellency. , A water-repellent film is applied. This coating is performed accurately so as not to exceed ± 3% of the center value of the water-repellent film thickness over the surface thereof so as not to impair the measurement reliability of the apparatus.

【0045】従って、この押し潰されたインク液滴の形
状は円柱と近似することができ、これによって顕微鏡1
3による精査により、インク液滴3の直径(2r)が得
られると、インク液滴の体積を求めることができる。
Therefore, the shape of the crushed ink droplet can be approximated to a cylinder, and thereby the microscope 1
When the diameter (2r) of the ink droplet 3 is obtained by the detailed inspection by 3, the volume of the ink droplet can be obtained.

【0046】なお、インク液滴を受容する領域は記録媒
体1上に1つだけではなく、図3(b)に示すように、
予め記録媒体の表面にDF等のパターニングにより複数
のセパレータ4、5を形成することにより、複数個のイ
ンク液滴の受容領域をもてるようにしている。図3
(b)に示す構成では、シャーレ形態の記録媒体1の隣
り合うセパレータ4、5の間隔(w)が、インク液滴3
を押し潰した円柱の直径より大きくなる様になっている
(w>2r)。
The area for receiving the ink droplets is not limited to one on the recording medium 1, and as shown in FIG.
By forming a plurality of separators 4 and 5 on the surface of the recording medium in advance by patterning DF or the like, a plurality of ink droplet receiving areas are provided. FIG.
In the configuration shown in (b), the interval (w) between the adjacent separators 4 and 5 of the petri dish-shaped recording medium 1 is the ink droplet 3
Is larger than the diameter of the cylinder in which is crushed (w> 2r).

【0047】さて、顕微鏡13による精査によって得ら
れた円柱の直径(2r)からその円柱の上底或は下底の
面積(s)が画像処理によって得られる。ここで、セパ
レータの高さcは精度よく成形されるので、インク液滴
の体積、即ち、インク吐出量(v)は以下のように算出
される。
From the diameter (2r) of the cylinder obtained by the inspection with the microscope 13, the area (s) of the upper or lower base of the cylinder is obtained by image processing. Here, since the height c of the separator is accurately formed, the volume of the ink droplet, that is, the ink ejection amount (v) is calculated as follows.

【0048】v=s×c ここで、記録媒体1を小さいサイズのインク液滴に対応
させる場合は、セパレータ4、5の高さ(c)を更に小
さくすれば良い。この時、このセパレータは、金属のス
パッタリングによって形成可能である。
V = s × c Here, in order to make the recording medium 1 correspond to small-sized ink droplets, the height (c) of the separators 4 and 5 may be further reduced. At this time, the separator can be formed by sputtering metal.

【0049】また、このようなシャーレ形態の記録媒体
は大判ガラスによって構成し、プリンタによって通常の
記録に用いられるのと同様なサイズにすることが可能で
ある。このような大判ガラスからできた記録媒体を用い
るならば、実際に記録用紙に対するのと同じ記録動作の
全イベントにおいて吐出されたインク基づいたインク吐
出量測定が実現できる。これにより、今まで不可能だっ
た記録媒体1頁の記録動作期間におけるインク吐出量の
変化をモニタすることが可能になる。
Further, such a petri dish-shaped recording medium is made of large-sized glass, and can be made to have the same size as that used for ordinary recording by a printer. If a recording medium made of such a large-sized glass is used, it is possible to measure the ink ejection amount based on the ink ejected in all events of the same recording operation as that on the recording paper. This makes it possible to monitor the change in the ink ejection amount during the printing operation of one page of the printing medium, which has been impossible so far.

【0050】さて、記録媒体1は図3に示すようなシャ
ーレ形態のものでなくても良い。
The recording medium 1 does not have to be a petri dish as shown in FIG.

【0051】図4は記録媒体1の別の実施形態の構造を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing the structure of another embodiment of the recording medium 1.

【0052】図4において、(a)は記録媒体1の構造
を示す側断面図であり、(b)と(c)とは記録媒体1
の構造を示す上面図である。
In FIG. 4, (a) is a side sectional view showing the structure of the recording medium 1, and (b) and (c) show the recording medium 1.
3 is a top view showing the structure of FIG.

【0053】このような構造は、図3に示すシャーレ形
態のものと同じように平面度の高いガラス、またはシリ
コンウエハ等を基板とし、その基板上にセパレータをD
F等でパターニングすることにより形成される。
Such a structure uses a glass or silicon wafer having high flatness as a substrate as in the case of the petri dish shown in FIG.
It is formed by patterning with F or the like.

【0054】図4(a)から分かるようにセパレータの
高さは“c”であるが、図4(b)から分かるようにイ
ンクを受容する領域の形は矩形状をしている。この矩形
の長辺と短辺の比は少なくとも2倍以上で、その短辺の
長さが“a”であり、記録ヘッドから吐出されるインク
滴の吐出量に対し、充分広い収容体積とする。この矩形
領域にインク液滴が吐出されると、図4(b)或は図4
(c)に示すように、その液滴はセパレータを枠として
広がり変形する。そして、長辺の途中でその変形が収束
する。この矩形領域内には液滴の広がりをスムーズに行
わせるためにある程度の親水効果を持たせたり、場合に
よっては受容層を設けることも可能である。
As can be seen from FIG. 4A, the height of the separator is "c", but as can be seen from FIG. 4B, the shape of the area for receiving the ink is rectangular. The ratio of the long side to the short side of this rectangle is at least twice or more, and the length of the short side is “a”, which is a sufficiently large storage volume with respect to the ejection amount of the ink droplet ejected from the recording head. . When the ink droplets are ejected into this rectangular area, FIG. 4B or FIG.
As shown in (c), the droplet spreads and deforms using the separator as a frame. Then, the deformation converges in the middle of the long side. In this rectangular area, it is possible to have a certain degree of hydrophilic effect in order to smoothly spread the droplets, or to provide a receiving layer in some cases.

【0055】そして、顕微鏡13によって、この長辺の
長さを測定することによってインク吐出量が算出され
る。
Then, by measuring the length of the long side by the microscope 13, the ink ejection amount is calculated.

【0056】ここで、その短辺と長辺の比が大きい場
合、吐出量(v)の算出式は、短辺を“a”、長辺を
“b”、セパレータの高さを“c”とすると、 v=a×b×c である。この式に従えば、図1(b)に示すように、異
なるサイズのインク滴滴が矩形領域に吐出された場合、
短辺の長さは“a”で共通であるので、長辺の長さ
(b)にb1、b2のような違いを生じる。従って、こ
れら2つのインク液滴が隣接する2つのノズルからのも
のであるようにすれば、隣接ノズルからのインク吐出量
の違いを正確に測定できるのである。
Here, when the ratio of the short side to the long side is large, the formula for calculating the ejection amount (v) is “a” for the short side, “b” for the long side, and “c” for the height of the separator. Then, v = a × b × c. According to this equation, as shown in FIG. 1B, when ink droplets of different sizes are ejected to a rectangular area,
Since the length of the short side is common to "a", a difference such as b1 and b2 occurs in the length (b) of the long side. Therefore, if these two ink droplets are from two adjacent nozzles, it is possible to accurately measure the difference in the ink ejection amount from the adjacent nozzles.

【0057】更に、短辺と長辺の比が小さい場合等、図
4(c)に示すように、セパレータに確実に接している
部分をs1、そうでない部分の面積をs2として、 v=(s1+s2)×c という算出式に従って、吐出量(v)を計算してもよ
い。
Further, as shown in FIG. 4C, when the ratio of the short side to the long side is small, as shown in FIG. 4 (c), let s1 be the portion that is surely in contact with the separator and s2 be the area of the other portion, and v = ( The ejection amount (v) may be calculated according to a calculation formula of (s1 + s2) × c.

【0058】もちろん、これとは異なる他の算出式に従
って一括的に面積を測定するようにしても良い。そし
て、このような形態の記録媒体を図3を参照して説明し
たように大判ガラスからできた記録媒体として形成する
なら、記録媒体1頁に対する記録期間におけるインク吐
出量の変化をモニタすることができる。
Of course, the area may be collectively measured according to another calculation formula different from this. If the recording medium of such a form is formed as a recording medium made of large-format glass as described with reference to FIG. 3, it is possible to monitor the change in the ink ejection amount during the recording period for one page of the recording medium. it can.

【0059】なお、このような形態の記録媒体を用いる
ためには、記録ヘッドからインク液滴をその矩形領域に
ある程度の精度で吐出することが要求される他、インク
を受容する矩形領域のサイズと記録ヘッドの記録解像度
との間には一定の関係があることが要求されるので、こ
の記録媒体はノズル密度(ノズルピッチ)の比較的低い
(数10〜300dpi程度の記録解像度)の記録ヘッ
ドの測定に適している。
In order to use such a recording medium, it is necessary to eject ink droplets from the recording head to the rectangular area with a certain degree of accuracy. In addition, the size of the rectangular area for receiving ink is required. It is required that there is a certain relationship between the recording head and the recording resolution of the recording head. Therefore, this recording medium has a relatively low nozzle density (nozzle pitch) (a recording resolution of several tens to 300 dpi). Suitable for measuring.

【0060】さて、図3を用いて説明したシャーレ形態
の記録媒体1の変形例として、図5に示すような記録媒
体を用いても良い。
As a modification of the petri dish-shaped recording medium 1 described with reference to FIG. 3, a recording medium as shown in FIG. 5 may be used.

【0061】即ち、図5に示すように、シャーレ内に予
めインク滴の組成に対し混合しない物質(分離液体)6
をいれ、その記録媒体1を記録ヘッド11のインク吐出
面から一定距離となるように保持する。ここで、記録に
用いられるインクが水容性の染料インクであれば、分離
液体6を例えばオクタン系有機溶剤とするならば、図5
に示すように分離液体6内でインク液滴3はほぼ球形で
存在する。
That is, as shown in FIG. 5, a substance (separated liquid) 6 which is not mixed in advance with the composition of the ink droplets in the Petri dish
The recording medium 1 is held at a fixed distance from the ink ejection surface of the recording head 11. Here, if the ink used for recording is a water-soluble dye ink, if the separation liquid 6 is, for example, an octane-based organic solvent, the separation liquid 6 shown in FIG.
As shown in FIG. 7, the ink droplets 3 are substantially spherical in the separation liquid 6.

【0062】球体の場合には、その写像である円の直径
を顕微鏡13によって測定し、その測定値を画像処理す
ることで、インク吐出量(v)を求めることができる。
画像処理した際の写像円の半径をrとすると、吐出量
(v)は、 v=4/3・πr3 である。n−オクタンの場合、比重0.7025とイン
クより軽いため、インク液滴3はシャーレ形状の記録媒
体1の底面にほぼ球形で接触する。
In the case of a sphere, the diameter of a circle, which is an image of the sphere, is measured by the microscope 13 and the measured value is subjected to image processing, whereby the ink discharge amount (v) can be obtained.
Assuming that the radius of the mapping circle at the time of the image processing is r, the ejection amount (v) is v = 4/3 · πr 3 . In the case of n-octane, the specific gravity is 0.7025, which is lighter than that of the ink, so that the ink droplet 3 comes into substantially spherical contact with the bottom surface of the petri dish-shaped recording medium 1.

【0063】なお、この変形例では分離液体6にインク
液滴3を落下させることになるので、分離液体内をイン
ク液滴が沈降中にその落下点がずれる可能性がある。こ
の影響を少なくするため、分離液体の深さは小さい方が
測定の安定性からも望ましい。
In this modification, since the ink droplets 3 are dropped on the separation liquid 6, the drop point may be shifted while the ink droplets settle in the separation liquid. In order to reduce this effect, it is desirable that the depth of the separation liquid is small from the viewpoint of measurement stability.

【0064】上記のように、記録媒体の特性は多種多様
であるが、最終的に画像処理部14によって画像処理さ
れるまでに収束するインク液滴の形状変化の条件として
は、インク液滴の体積を計測する際に必要な測定パラメ
ータまたは形状のうち、少なくともひとつが固定され、
かつその固定要素が既知であるようにすることが必要と
なる。
As described above, the characteristics of the recording medium are various, but the condition of the shape change of the ink droplet that converges until the image processing is finally performed by the image processing unit 14 is as follows. At least one of the measurement parameters or shapes required when measuring the volume is fixed,
And it is necessary to ensure that the fixing element is known.

【0065】次に以上のような構成の測定装置と記録媒
体とを用いて実行するインク吐出量測定処理について、
図6に示すフローチャートを参照して説明する。ここで
は、通常の記録動作において用いられる例えばA4サイ
ズの記録用紙と同じサイズの記録媒体を用い、通常の記
録動作とほぼ同様の記録を行うとする。
Next, with respect to the ink discharge amount measuring process executed using the measuring apparatus and the recording medium having the above-described configurations,
This will be described with reference to the flowchart shown in FIG. Here, it is assumed that recording is performed in substantially the same manner as the normal recording operation, using a recording medium having the same size as, for example, A4 size recording paper used in the normal recording operation.

【0066】まず、ステップS10では、搬送機構12
によって記録媒体1を記録ヘッド11を搭載したキャリ
ッジの移動経路の下にまで搬送し、ステップS15では
通常の記録動作と同じように所定のパターンを記録媒体
1に記録する。さらに、この記録直後に、ステップS2
0では天板2によって記録媒体1の表面を覆う。
First, in step S10, the transport mechanism 12
Thus, the recording medium 1 is conveyed below the moving path of the carriage on which the recording head 11 is mounted, and a predetermined pattern is recorded on the recording medium 1 in step S15 in the same manner as a normal recording operation. Further, immediately after this recording, step S2
At 0, the top plate 2 covers the surface of the recording medium 1.

【0067】この記録動作により、上述したような記録
媒体1のシャーレ形態或は矩形状の領域にインクが吐出
されると、記録媒体1の各領域ではその特徴的な構造に
より、インク液滴の形状が変化する。この変化は、記録
媒体1の構成によって様々で、インク液滴の吐出と同時
に記録媒体の構造に規制されて物理的に変化したり、化
学的に分離する性質の物質(分離液体6)中で球状など
の特定形状に変化したりするなどして、各々独自の形状
になる。このようにして、インク液滴がたとえ微小な液
滴であっても、記録媒体1上でその形状が変化すること
により、画像処理部14での最小分解能で計測値誤差を
生じさせないレベルまで識別形状が拡大できるのであ
る。
When ink is ejected to the above-described petri dish or rectangular area of the recording medium 1 by this recording operation, each area of the recording medium 1 has a characteristic structure of ink droplets due to its characteristic structure. The shape changes. This change varies depending on the configuration of the recording medium 1, and is controlled by the structure of the recording medium at the same time as the ejection of ink droplets. Each has its own shape, for example, by changing to a specific shape such as a sphere. In this way, even if the ink droplet is a minute droplet, its shape changes on the recording medium 1 so that it can be identified to a level that does not cause a measurement value error at the minimum resolution in the image processing unit 14. The shape can be enlarged.

【0068】次に、これらの変化が収束した段階で、処
理はステップS25に進み、ステージ制御部121はス
テージ15〜17を三次元的に移動させて、画像処理部
14を特定の測定ポイントに位置させる。さらに、ステ
ップS30では顕微鏡13によって記録媒体1を精査
し、続くステップS35ではその精査によって得られた
インク滴の変化状態を示すデータを画像処理する。
Next, when these changes have converged, the process proceeds to step S25, in which the stage control unit 121 moves the stages 15 to 17 three-dimensionally to move the image processing unit 14 to a specific measurement point. Position. Further, in step S30, the recording medium 1 is closely inspected by the microscope 13, and in subsequent step S35, data indicating a change state of the ink droplet obtained by the inspecting is image-processed.

【0069】その結果、ステップS40では各インク液
滴毎の体積を計算し、各液滴毎のインク吐出量を得る。
その吐出量データはメモリ102に格納される。
As a result, in step S40, the volume of each ink droplet is calculated, and the ink ejection amount of each droplet is obtained.
The ejection amount data is stored in the memory 102.

【0070】このようにして、得られた吐出量データ
は、ディスプレイ103やプリンタ104から出力する
ことができる他に、記録ヘッド11の同一ノズルの事象
変化(ゆらぎ等)や隣接ノズルおよびノズル列ブロック
の事象変化(濃度むら等)にあわせて記録ヘッドの吐出
特性を補正するための補正データの生成処理を行うため
等に用いることができる。
The ejection amount data obtained in this manner can be output from the display 103 or the printer 104, as well as the event change (fluctuation etc.) of the same nozzle of the recording head 11, the adjacent nozzle and the nozzle row block. This can be used to generate correction data for correcting the ejection characteristics of the print head in accordance with the event change (density unevenness or the like).

【0071】また、これら測定データを記録ヘッドの種
々の特性に合わせて演算処理し、総合的な測定結果や判
定結果としてディスプレイ103にモニタ表示或はプリ
ンタ104にプリント出力したり、メモリ102にファ
イルとして出力できる。
The measurement data is subjected to arithmetic processing in accordance with various characteristics of the recording head, and is displayed on a monitor 103 or printed out on a printer 104 as a comprehensive measurement result or judgment result. Can be output as

【0072】更に、得られた測定データをLANなどの
通信手段を用いて記録ヘッド製造工程に転送し、その製
造工程における最終検査情報を迅速に製造プロセスに反
映できるようにしても良い。
Further, the obtained measurement data may be transferred to the printing head manufacturing process using a communication means such as a LAN, so that the final inspection information in the manufacturing process can be promptly reflected in the manufacturing process.

【0073】例えば、この実施形態において測定された
インク吐出量データに基づいて、図2に示すヘッド吐出
特性補正装置1000において記録ヘッドの吐出特性を
補正する補正データが生成されると、その記録ヘッドが
EEPROMなどのメモリを有している構成であれば、
そのEEPROMに補正データを書き込むようにするこ
とで、吐出特性が補正されより高品位な記録ができる記
録ヘッドが製造できることになる。
For example, when correction data for correcting the discharge characteristics of a print head is generated by the head discharge characteristic correction apparatus 1000 shown in FIG. 2 based on the ink discharge amount data measured in this embodiment, the print head Is a configuration having a memory such as an EEPROM,
By writing the correction data in the EEPROM, it is possible to manufacture a recording head capable of correcting the ejection characteristics and performing higher-quality recording.

【0074】従って以上説明した実施形態によれば、特
別な構造をした記録媒体に対して記録ヘッドからインク
を吐出し、その記録がなされた記録媒体を顕微鏡で精査
して得られたデータを画像処理することによりインク液
滴ごとの体積を求めることができる。
Therefore, according to the embodiment described above, ink is ejected from a recording head to a recording medium having a special structure, and data obtained by closely inspecting the recorded recording medium with a microscope is used as an image. By performing the processing, the volume of each ink droplet can be obtained.

【0075】また、このようにして得られたデータを用
いることにより、記録ヘッドの同一ノズルの事象変化
(ゆらぎ等)や隣接ノズルおよびノズル列ブロックの事
象変化(濃度むら等)を抑えてより高品位な記録を行う
ための補正データを生成したり、その補正データを内蔵
した記録ヘッドを製造することが可能になる。
Further, by using the data obtained in this manner, an event change (fluctuation, etc.) of the same nozzle of the recording head and an event change (density unevenness, etc.) of the adjacent nozzles and the nozzle row block can be suppressed to achieve a higher level. It is possible to generate correction data for performing high-quality printing and to manufacture a recording head incorporating the correction data.

【0076】さらに以上説明した実施形態に従えば、イ
ンク液滴1つ1つのばらつきを精度よく測定できるの
で、今後インクジェット記録ヘッドの更なる高画質を達
成するための有効な解析を行うことができるようにな
る。従って、このような測定装置を発展させ、更なる高
画質化へ向けたインクジェット記録ヘッドの品質を検査
する検査装置が実現できるようになる。
Further, according to the embodiment described above, the variation of each ink droplet can be measured accurately, so that effective analysis for achieving higher image quality of the ink jet recording head can be performed in the future. Become like Therefore, an inspection apparatus for inspecting the quality of the ink jet recording head for further improving the image quality can be realized by developing such a measuring apparatus.

【0077】さらに単なる検査装置にとどまらず、得ら
れた解析結果を記録ヘッドの吐出量補正に反映させるこ
とを目的とした補正データ生成装置にも発展しえる。ま
たさらには、このような解析結果を製造上の問題分析に
もフィードバックすることで、低コストで高画質なイン
クジェット記録ヘッドを提供することが可能な記録ヘッ
ド製造装置或はその製造プロセスの改良にも貢献する。
Further, the present invention can be applied not only to a simple inspection apparatus but also to a correction data generation apparatus for reflecting the obtained analysis result in the correction of the ejection amount of the recording head. Further, by feeding back such an analysis result to the analysis of a manufacturing problem, it is possible to provide a low-cost, high-quality inkjet recording head capable of providing a recording head manufacturing apparatus or an improvement in the manufacturing process thereof. Also contribute.

【0078】またさらに、以上説明した記録媒体は、イ
ンク滴そのものの形状を若干変位させることで、画像処
理の分解能を有効に活用できるようにインク滴形状の最
適化を図ることができる効果を呈するものであれば、本
発明は以上説明した実施形態での構成に限定されるもの
ではない。
Further, the recording medium described above has an effect that by slightly displacing the shape of the ink droplet itself, the shape of the ink droplet can be optimized so that the resolution of image processing can be effectively utilized. The present invention is not limited to the configuration in the embodiment described above.

【0079】またさらに、以上説明した記録媒体の利点
がインクジェット記録ヘッドの種類や解像度に左右され
るものではないことは言うまでもない。
Further, it goes without saying that the advantages of the recording medium described above do not depend on the type and resolution of the ink jet recording head.

【0080】以上の実施形態で用いられた記録ヘッドに
は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出
を行わせるために利用されるエネルギーとして熱エネル
ギーを発生する手段(例えば電気熱変換体やレーザ光
等)を備え、前記熱エネルギーによりインクの状態変化
を生起させる方式を用いることが記録の高密度化、高精
細化を達成する点からは望ましいと言える。
The recording head used in the above embodiment is provided with a means (for example, an electrothermal converter or a laser beam) for generating thermal energy as energy used for discharging ink, particularly in the ink jet recording method. And the like, and using a method of causing a change in the state of the ink by the thermal energy is preferable from the viewpoint of achieving higher density and higher definition of recording.

【0081】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に1対1で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも1つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体(イン
ク)の吐出が達成でき、より好ましい。
The typical configuration and principle are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740.
It is preferable to use the basic principle disclosed in the specification of Japanese Patent No. 796. This method can be applied to both the so-called on-demand type and the continuous type.
By applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding the film boiling to the electrothermal transducer arranged corresponding to the sheet or the liquid path holding the Since thermal energy is generated in the electrothermal transducer and film boiling occurs on the heat-acting surface of the recording head, bubbles in the liquid (ink) corresponding to this drive signal on a one-to-one basis can be formed. It is valid. By discharging the liquid (ink) through the discharge opening by the growth and contraction of the bubble, at least one droplet is formed. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of the liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable.

【0082】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. Further, if the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0083】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第4558333号明細書、米国特許第
4459600号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭59−138461号公報に基づいた構
成としても良い。
The configuration of the recording head is not limited to the combination of the discharge port, the liquid path, and the electrothermal converter (linear liquid flow path or right-angle liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications. A configuration using U.S. Pat. No. 4,558,333 or U.S. Pat. No. 4,459,600, which discloses a configuration in which a heat acting surface is arranged in a bent region, is also included in the present invention. In addition, for multiple electrothermal transducers,
JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which a common slot is used as a discharge part of an electrothermal transducer, and JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy corresponds to a discharge part. A configuration based on 138461 may be adopted.

【0084】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された1個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
Further, as a full-line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium that can be recorded by the recording apparatus, the length is determined by combining a plurality of recording heads as disclosed in the above specification. This may be either a configuration satisfying the above requirements or a configuration as a single recording head formed integrally.

【0085】加えて、上記の実施形態で説明した記録ヘ
ッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリ
ッジタイプの記録ヘッドのみならず、記録装置本体に装
着されることで、その装置本体との電気的な接続や装置
本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップ
タイプの記録ヘッドを構成してもよい。
In addition to the cartridge type recording head in which the ink tank is provided integrally with the recording head itself described in the above embodiment, the recording head can be connected to the recording apparatus main body by being mounted on the recording apparatus main body. A replaceable chip-type recording head that enables electrical connection and supply of ink from the apparatus main body may be configured.

【0086】また、以上説明した記録ヘッドを搭載して
記録を行う記録装置の構成に、その記録ヘッドに対する
回復手段、予備的な手段等を付加すると記録動作を一層
安定にできるので好ましい。これらの手段を具体的に挙
げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリ
ーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あ
るいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わ
せによる予備加熱手段などがある。また、記録とは別の
吐出を行う予備吐出モードを備えることも安定した記録
を行うために有効である。
It is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, and the like to the configuration of the recording apparatus which carries out recording by mounting the recording head described above, since the recording operation can be further stabilized. Specific examples of these means include a capping means for the recording head, a cleaning means, a pressurizing or suctioning means, a preheating means using an electrothermal transducer or another heating element or a combination thereof. is there. It is also effective to provide a preliminary ejection mode for performing ejection that is different from printing, in order to perform stable printing.

【0087】さらに、このような記録装置には黒色イン
クを吐出して記録を行う記録モードだけではなく、記録
ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによっ
てでも良いが、異なる色の複色カラー、または混色によ
るフルカラー記録を行う記録モードを備えることもでき
る。
Further, such a printing apparatus is not limited to a printing mode in which black ink is ejected to perform printing, and a printing head may be integrally formed or a combination of a plurality of printing heads. A recording mode for performing full-color recording using color or mixed colors may be provided.

【0088】以上説明した実施の形態においては、イン
クが液体であることを前提として説明しているが、室温
やそれ以下で固化するインクであっても、室温で軟化も
しくは液化するものを用いても良く、あるいはインクジ
ェット方式ではインク自体を30°C以上70°C以下
の範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範
囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、
使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば
よい。
In the embodiments described above, the description is made on the assumption that the ink is a liquid. However, even if the ink solidifies at room temperature or lower, it is possible to use an ink that softens or liquefies at room temperature. Or, in the ink jet method, generally, the temperature of the ink itself is controlled within a range of 30 ° C. or more and 70 ° C. or less to control the temperature so that the viscosity of the ink is in a stable ejection range.
It is sufficient that the ink is in a liquid state when the use recording signal is applied.

【0089】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭54−56847号公報あ
るいは特開昭60−71260号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
In addition, in order to positively prevent the temperature rise due to thermal energy as energy for changing the state of the ink from the solid state to the liquid state, the temperature is positively prevented.
Alternatively, in order to prevent evaporation of the ink, an ink which solidifies in a standing state and liquefies by heating may be used. In any case, the application of heat energy causes the ink to be liquefied by application of the heat energy according to the recording signal and the liquid ink to be ejected, or to start to solidify when reaching the recording medium. The present invention is also applicable to a case where an ink having a property of liquefying for the first time is used. In such a case, as described in JP-A-54-56847 or JP-A-60-71260, the ink is held in a liquid state or a solid state in the concave portion or through hole of the porous sheet. It is good also as a form which opposes an electrothermal transducer. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0090】さらに加えて、記録ヘッドを搭載して記録
を行う記録装置の形態としては、コンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を取る
ものであっても良い。
In addition, as a form of a recording apparatus which carries out recording by mounting a recording head, a recording apparatus which is integrally or separately provided as an image output terminal of an information processing apparatus such as a computer, or a copying apparatus which is combined with a reader or the like may be used. It may take the form of an apparatus, or a facsimile apparatus having a transmission / reception function.

【0091】[0091]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、記
録媒体に吐出されたインク液滴のサイズを測定すること
によって、そのインク液滴の体積を算出するので、吐出
されるインク液滴1滴1滴の量を正確に測定検査できる
という効果がある。
As described above, according to the present invention, the size of an ink droplet ejected to a recording medium is measured to calculate the volume of the ink droplet. There is an effect that the amount of each drop can be accurately measured and inspected.

【0092】そして、この測定により得られたデータを
用いることで、記録ヘッドの吐出特性を補正する補正デ
ータを生成することやその補正データによって補正され
る記録ヘッドを製造することが可能になるので、より高
品位なインクジェット記録ヘッドを提供することが可能
である。
By using the data obtained by this measurement, it becomes possible to generate correction data for correcting the ejection characteristics of the print head and to manufacture a print head corrected by the correction data. It is possible to provide a higher quality ink jet recording head.

【0093】[0093]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の代表的な実施形態であるインクジェッ
ト記録ヘッドのインク吐出特性を検査するヘッド検査装
置の主要部構成を示す外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view illustrating a main configuration of a head inspection apparatus that inspects ink ejection characteristics of an ink jet recording head according to a representative embodiment of the present invention.

【図2】測定装置の制御構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a control configuration of the measuring device.

【図3】記録媒体1の構造を示す側断面図である。FIG. 3 is a side sectional view showing the structure of the recording medium 1.

【図4】他の実施形態に従う記録媒体1の構造を示す側
断面図である。
FIG. 4 is a side sectional view showing a structure of a recording medium 1 according to another embodiment.

【図5】図3に示す記録媒体1の変形例のの構造を示す
側断面図である。
FIG. 5 is a side sectional view showing a structure of a modification of the recording medium 1 shown in FIG.

【図6】インク吐出量測定処理を示すフローチャートで
ある。
FIG. 6 is a flowchart illustrating an ink ejection amount measurement process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シャーレ 2 天板 3 インク液滴 4、5 セパレータ 6 分離液体 10 キャリッジ 11 記録ヘッド 12 搬送機構 13 顕微鏡 14 画像処理部 15〜17 ステージ 101 CPU 102 メモリ 103 ディスプレイ 104 プリンタ 111 ヘッド駆動制御部 112 ドライバ 121 ステージ制御部 131 キャリッジ制御部 151 記録媒体保持機構 161 記録媒体封止機構 1000 ヘッド吐出特性補正装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Petri dish 2 Top plate 3 Ink droplet 4, 5 Separator 6 Separation liquid 10 Carriage 11 Recording head 12 Transport mechanism 13 Microscope 14 Image processing part 15-17 Stage 101 CPU 102 Memory 103 Display 104 Printer 111 Head drive control part 112 Driver 121 Stage control unit 131 Carriage control unit 151 Recording medium holding mechanism 161 Recording medium sealing mechanism 1000 Head ejection characteristic correction device

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の記録要素を有したインクジェット
記録ヘッドから吐出されるインク量を測定する吐出イン
ク測定装置であって、 前記インクジェット記録ヘッドから吐出されるインク液
滴の形状を変化させて保持する記録媒体と、 前記インクジェット記録ヘッドを駆動して前記記録媒体
に試験的にインク吐出して記録を行う記録手段と、 前記記録媒体に保持された形状の変化したインク液滴の
サイズを測定する測定手段と、 前記測定手段によって測定されたサイズに基づいて、前
記インク液滴の体積を算出する算出手段とを有すること
を特徴とする吐出インク測定装置。
1. An ejection ink measuring device for measuring an amount of ink ejected from an ink jet recording head having a plurality of recording elements, wherein the shape of an ink droplet ejected from the ink jet recording head is changed and held. A recording medium to be driven; a recording unit for driving the ink jet recording head to eject ink onto the recording medium for recording; and measuring a size of an ink droplet having a changed shape held on the recording medium. An ejection ink measuring apparatus, comprising: a measuring unit; and a calculating unit that calculates a volume of the ink droplet based on the size measured by the measuring unit.
【請求項2】 前記測定手段は、 前記形状の変化したインク液滴のサイズを精査する顕微
鏡と、 前記顕微鏡による精査によって得られた情報を画像処理
する画像処理手段と、 前記顕微鏡を三次元的に移動する移動手段とを有するこ
とを特徴とする請求項1に記載の吐出インク測定装置。
2. A measuring device, comprising: a microscope for inspecting the size of the ink droplet having the changed shape; an image processing unit for image-processing information obtained by the inspection by the microscope; and a three-dimensional microscope. 2. A discharge ink measuring apparatus according to claim 1, further comprising a moving means for moving the ink.
【請求項3】 前記記録媒体は、 前記インク液滴を受容する受容部を有することを特徴と
する請求項1に記載の吐出インク測定装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the recording medium has a receiving portion that receives the ink droplet.
【請求項4】 前記記録媒体はさらに、 前記受容部にインク液滴を受けた後に、前記受容部を覆
う天板とを有することを特徴とする請求項3に記載の吐
出インク測定装置。
4. The ejection ink measuring apparatus according to claim 3, wherein the recording medium further includes a top plate that covers the receiving portion after receiving the ink droplets in the receiving portion.
【請求項5】 前記受容部は、前記インク液滴1滴1滴
を受容する部分が所定の深さと所定の幅とをもつシャー
レの形態をしており、 前記シャーレの体積は前記インク液滴の体積よりも大き
いことを特徴とする請求項4に記載の吐出インク測定装
置。
5. The receiving portion has a form of a petri dish in which a portion for receiving the ink droplet has a predetermined depth and a predetermined width, and the volume of the petri dish is the ink droplet. The ejected ink measuring device according to claim 4, wherein the volume is larger than the volume of the ejected ink.
【請求項6】 前記シャーレの形態の受容部に吐出され
たインク液滴は、前記受容部が前記天板によって覆われ
ることによって円筒状に変形することを特徴とする請求
項5に記載の吐出インク測定装置。
6. The ejection according to claim 5, wherein the ink droplets ejected to the receiving portion in the form of a petri dish are deformed into a cylindrical shape by covering the receiving portion with the top plate. Ink measuring device.
【請求項7】 前記測定手段は、前記円筒状に変形した
インク液滴の上底或は下底の直径を測定することを特徴
とする請求項6に記載の吐出インク測定装置。
7. The apparatus according to claim 6, wherein the measuring unit measures a diameter of an upper bottom or a lower bottom of the ink droplet deformed into a cylindrical shape.
【請求項8】 前記受容部は、前記インク液滴1滴1滴
を受容する部分が所定の深さと所定の幅とをもつ直方体
の形態をしていることを特徴とする請求項3に記載の吐
出インク測定装置。
8. The apparatus according to claim 3, wherein the receiving portion has a rectangular parallelepiped shape having a predetermined depth and a predetermined width at a portion for receiving the ink droplet. Ejection ink measuring device.
【請求項9】 前記直方体の形態の受容部に吐出された
インク液滴は、前記直方体を構成する側壁に沿って広が
り変形することを特徴とする請求項8に記載の吐出イン
ク測定装置。
9. The ejected ink measuring apparatus according to claim 8, wherein the ink droplet ejected to the rectangular parallelepiped receiving portion spreads and deforms along a side wall constituting the rectangular parallelepiped.
【請求項10】 前記測定手段は、前記直方体を構成す
る側壁に沿って広がり変形したインク液滴の広がりの幅
を測定することを特徴とする請求項9に記載の吐出イン
ク測定装置。
10. The ejection ink measuring apparatus according to claim 9, wherein the measuring unit measures the width of the spread of the ink droplet that has spread and deformed along the side wall constituting the rectangular parallelepiped.
【請求項11】 前記受容部は、前記インク液滴1滴1
滴を受容する部分が所定の深さと所定の幅とをもつシャ
ーレの形態をしており、 前記シャーレの体積は前記インク液滴の体積よりも大き
いことを特徴とする請求項3に記載の吐出インク測定装
置。
11. The ink receiving device according to claim 1, wherein the ink receiving section comprises:
The ejection according to claim 3, wherein a portion for receiving the droplet has a form of a petri dish having a predetermined depth and a predetermined width, and a volume of the petri dish is larger than a volume of the ink droplet. Ink measuring device.
【請求項12】 前記シャーレの形態の受容部にはイン
ク液滴の組成とは混合しない液体が満たされ、前記液体
で満たされたシャーレの形態の受容部に吐出されたイン
ク液滴は前記液体内で球形に変形することを特徴とする
請求項11に記載の吐出インク測定装置。
12. The petri dish-shaped receiving portion is filled with a liquid that is not mixed with the composition of the ink droplet, and the ink droplet discharged to the petri dish-shaped receiving portion filled with the liquid is the liquid. The ejected ink measuring device according to claim 11, wherein the device is deformed into a sphere inside.
【請求項13】 前記測定手段は、前記球形に変形した
インク液滴の直径を測定することを特徴とする請求項1
2に記載の吐出インク測定装置。
13. The apparatus according to claim 1, wherein said measuring means measures the diameter of said spherically deformed ink droplet.
3. The ejection ink measurement device according to 2.
【請求項14】 前記受容体或は前記天板のいづれかは
光透過性の物質でできていることを特徴とする請求項4
に記載の吐出インク測定装置。
14. The apparatus according to claim 4, wherein either the receptor or the top plate is made of a light transmissive substance.
3. An ejection ink measuring device according to claim 1.
【請求項15】 前記インクジェット記録ヘッドは、熱
エネルギーを利用してインクを吐出するため、インクに
与える熱エネルギを発生するための電気熱変換体を備え
ていることを特徴とする請求項1に記載の吐出インク測
定装置。
15. The ink-jet recording head according to claim 1, further comprising an electrothermal converter for generating thermal energy to be applied to the ink for discharging the ink using thermal energy. The ejected ink measuring device according to the above.
【請求項16】 前記算出手段によって算出されたイン
ク液滴の体積に関するデータを格納する記憶手段をさら
に有することを特徴とする請求項1に記載の吐出インク
測定装置。
16. The apparatus according to claim 1, further comprising storage means for storing data relating to the volume of the ink droplet calculated by the calculation means.
【請求項17】 前記記憶手段に格納された情報を外部
に転送する通信手段をさらに有することを特徴とする請
求項16に記載の吐出インク測定装置。
17. The apparatus according to claim 16, further comprising a communication unit that transfers information stored in the storage unit to the outside.
【請求項18】 前記記録媒体の大きさは、前記インク
ジェット記録ヘッドを搭載する記録装置が記録に用いる
記録媒体の大きさと同等の大きさであることを特徴とす
る請求項1に記載の吐出インク測定装置。
18. The ejection ink according to claim 1, wherein the size of the recording medium is the same as the size of a recording medium used for recording by a recording apparatus equipped with the inkjet recording head. measuring device.
【請求項19】 前記記録装置が通常の記録動作におい
て記録媒体を搬送させるのと同様な動作を行って記録媒
体を搬送する搬送手段と、 前記記録装置が通常の記録動作においてインクジェット
記録ヘッドを移動させるのを同様な動作を行ってインク
ジェット記録ヘッドを移動させる走査手段とをさらに有
することを特徴とする請求項1に記載の吐出インク測定
装置。
19. A transport unit for transporting a recording medium by performing the same operation as the recording apparatus transporting a recording medium in a normal recording operation, and moving the inkjet recording head in the normal recording operation. 2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a scanning unit that moves the inkjet recording head by performing a similar operation.
【請求項20】 前記記録媒体の受容部は、基板上をパ
ターニングすることによって前記記録媒体上に複数個形
成されることを特徴とする請求項4に記載の吐出インク
測定装置。
20. The apparatus according to claim 4, wherein a plurality of receiving portions of the recording medium are formed on the recording medium by patterning the substrate.
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