JP2000140745A - Method and device for film formation - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、成膜方法、特に
光学部材を構成する膜の形成方法および膜の形成に用い
る成膜装置の構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film forming method, and more particularly to a method for forming a film constituting an optical member and a structure of a film forming apparatus used for forming the film.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学部材としての眼鏡レンズは、一般的
に基材、プライマー層、ハードコート層および反射防止
膜（必要に応じて撥水膜が反射防止膜の上に設けられる
こともある。）をこの順に具えている。従来、基材上へ
のプライマー層又はハードコート層の形成は、ディッピ
ング法、スピンコート法、ディッピング法とスピンコー
ト法とを連続して行う方法およびスプレー法等を用いて
行われていた。2. Description of the Related Art Generally, a spectacle lens as an optical member is provided with a base material, a primer layer, a hard coat layer, and an antireflection film (a water-repellent film may be provided on the antireflection film if necessary). ) In this order. Conventionally, the formation of a primer layer or a hard coat layer on a substrate has been performed by using a dipping method, a spin coating method, a method of continuously performing the dipping method and the spin coating method, a spray method, or the like.
【０００３】また、眼鏡レンズのファッション性を向上
させたり、遮光性を付与したりするためにレンズに着色
することがよく行われている。従来、耐光性に優れた着
色プラスチックレンズとして、例えば、文献１（文献
１：特開平６−１３８４２０号公報）や文献２（文献
２：特開平６−２６５８３０号公報）に挙げられている
ものがある。これら文献１および２の着色プラスチック
レンズは、基材上に塗膜を形成し、これを着色層として
いる。そして、これら文献では、塗膜となる材料に顔料
を分散させて、これを、上述したプライマー層やハード
コート層の形成方法を用いて、基材に塗布することによ
り、着色プラスチックレンズを得ている。[0003] Further, in order to improve the fashionability of the spectacle lens or to impart a light-shielding property, it is common to color the lens. Conventionally, as a colored plastic lens having excellent light resistance, for example, those described in Document 1 (Document 1: JP-A-6-138420) and Document 2 (Document 2: JP-A-6-265830) are known. is there. These colored plastic lenses of Documents 1 and 2 form a coating film on a substrate and use this as a coloring layer. In these documents, a pigment is dispersed in a material to be a coating film, and this is applied to a substrate by using the above-described method for forming a primer layer or a hard coat layer, thereby obtaining a colored plastic lens. I have.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、ディッピング法を用いて塗膜を形成する場合には、
ディッピング槽から基材を引き上げると、得られる塗膜
に膜厚ムラが生じてしまう。しかも、形成される膜の厚
さは２μｍ程度である。また、スピンコート法を用いた
場合には、下地である基材上の一点に塗布液を滴下し
て、この基材を回転させることによって基材の表面全体
に塗布液を行き渡らせ、塗膜を形成している。このた
め、厚くても１μｍ程度の厚さの膜しか形成することが
できない。また、ディッピング法とスピンコート法を連
続して行う方法では、膜厚ムラは生じないが、ディッピ
ング法により基材上に形成された膜をスピンコート法に
よって回転させることによって、膜の厚さは薄くなるた
め、ディッピング法を用いて形成される膜よりも膜厚の
薄い膜しか得られない。また、スプレー法においては、
スプレーする液（プライマー層の材料）の粘性、吐出量
およびスプレー回数によって形成する膜の厚さを制御す
ることが出来る。しかしながら、得られる膜の表面の平
滑性はスピンコート法を用いた場合よりも劣っている。
基材上に形成する塗膜表面が平滑でないと光学部材とし
ての外観が損なわれるおそれがある。However, for example, when a coating film is formed by using a dipping method,
When the substrate is pulled up from the dipping tank, the resulting coating film has unevenness in film thickness. Moreover, the thickness of the formed film is about 2 μm. In the case where the spin coating method is used, the coating liquid is dropped on one point on the base material, which is the base, and the coating liquid is spread over the entire surface of the base material by rotating the base material. Is formed. Therefore, only a film having a thickness of about 1 μm can be formed at most. In the method in which the dipping method and the spin coating method are continuously performed, no film thickness unevenness occurs.However, by rotating the film formed on the base material by the dipping method by the spin coating method, the thickness of the film is reduced. Since the film is thin, only a film having a smaller thickness than a film formed by using the dipping method can be obtained. In the spray method,
The thickness of the film to be formed can be controlled by the viscosity of the liquid to be sprayed (the material of the primer layer), the discharge amount, and the number of sprays. However, the surface smoothness of the obtained film is inferior to the case where the spin coating method is used.
If the surface of the coating film formed on the substrate is not smooth, the appearance as an optical member may be impaired.
【０００５】また、塗膜を着色層として用いて、着色プ
ラスチックレンズを形成する場合、ディッピング法を用
いて基材上に塗膜を形成すると、着色する色毎にディッ
ピング槽を設ける必要がある。このため、作業スペース
を広くとらなければならない。また、ディッピング槽の
管理も繁雑となる。また、スピンコート法、ディッピン
グ法とスピンコート法とを組み合わせた方法、またはス
プレー法を用いて着色したプライマー層を形成する場合
においては、上述したように所望の膜厚は得られず、又
膜表面の平滑性が得られないといった問題が生じる。When a colored plastic lens is formed by using a coating film as a coloring layer, if a coating film is formed on a base material using a dipping method, it is necessary to provide a dipping tank for each color to be colored. For this reason, the work space must be widened. Also, the management of the dipping tank becomes complicated. Further, in the case of forming a colored primer layer using a spin coating method, a method combining the dipping method and the spin coating method, or a spray method, a desired film thickness cannot be obtained as described above, There arises a problem that surface smoothness cannot be obtained.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】このため、この発明の成
膜方法によれば、塗膜が成膜される下地の表面に、塗膜
となる塗布液を噴霧し、上記表面に塗布液を付着させる
付着工程と、表面の略中心を軸として、下地を軸回転さ
せて、表面に塗布液からなる塗膜を形成する成膜工程と
を含んでいる。Therefore, according to the film forming method of the present invention, a coating liquid to be a coating film is sprayed on a surface of a base on which a coating film is formed, and the coating liquid is applied to the surface. The method includes an attaching step of attaching the film, and a film forming step of forming a coating film made of a coating solution on the surface by rotating the base around the substantially center of the surface.
【０００７】このような形成方法によれば、まず、スプ
レー法を用いて、膜材料を含む溶液（塗布液とも称す
る。）を下地表面上に塗布する。次に、スピンコート法
により、この下地および塗布された液を回転させる。こ
れにより、塗布された液が膜状に広がって塗膜となり、
塗膜の膜厚が制御され、しかも膜の表面が平滑になる。According to such a forming method, first, a solution containing a film material (also referred to as a coating solution) is applied on the base surface by using a spray method. Next, the base and the applied liquid are rotated by a spin coating method. As a result, the applied liquid spreads in a film form and becomes a coating film,
The film thickness of the coating film is controlled, and the surface of the film becomes smooth.
【０００８】これにより、所望の厚さを有し、かつ表面
の平滑性に優れた厚膜を形成することが出来る。Thus, a thick film having a desired thickness and excellent surface smoothness can be formed.
【０００９】また、スプレー法により塗膜を形成する工
程における形成条件として、好ましくは、塗布液の霧化
圧を１．５〜５ｋｇ／ｃｍ2 とするのがよい。また、塗
布液の吐出速度は３〜１０ｃｃ／分とするのがよい。さ
らに塗布液の吐出部（例えば、スプレーノズルの先端）
から成膜表面までの距離は３０〜１００ｍｍとするのが
よい。[0009] As a forming condition in the step of forming a coating film by the spray method, preferably, the atomization pressure of the coating liquid is 1.5 to 5 kg / cm 2 . The discharge speed of the coating liquid is preferably set to 3 to 10 cc / min. Further, the application liquid discharge section (for example, the tip of a spray nozzle)
The distance from to the film formation surface is preferably 30 to 100 mm.
【００１０】また、下地および塗膜を回転させる工程に
おける製造条件として、好ましくは、回転速度を５００
〜３０００回転／分とするのがよい。また、この回転
は、同じ回転速度での１段階の回転工程で行っても良い
し、異なる回転速度で複数段階の回転工程に分けて行っ
ても良い。As a manufacturing condition in the step of rotating the base and the coating film, preferably, the rotation speed is set to 500
The speed is preferably 3000 rpm. In addition, this rotation may be performed in a single rotation step at the same rotation speed, or may be performed in a plurality of rotation steps at different rotation speeds.
【００１１】また、本発明において、下地をプラスチッ
ク成形物とし、かつ膜材料をプライマー層の材料として
もよい。In the present invention, the base may be a plastic molded product, and the film material may be a material for the primer layer.
【００１２】これにより、プラスチック成形物の表面に
所望の厚さのプライマー層を設けることが出来る。ま
た、表面の平滑性に優れたプライマー層を形成すること
ができる。よって、このプラスチック成形物と、プラス
チック成形物上に形成されるプライマー層とを含む部材
を、耐衝撃性に優れ、かつ光学的ユラギが低減された光
学部材として得ることができる。Thus, a primer layer having a desired thickness can be provided on the surface of the plastic molded product. In addition, a primer layer having excellent surface smoothness can be formed. Therefore, a member including the plastic molded product and the primer layer formed on the plastic molded product can be obtained as an optical member having excellent impact resistance and reduced optical swelling.
【００１３】また、プライマー層の材料を、顔料や染料
等の有色材料が均一に分散された樹脂とすることも可能
である。The material of the primer layer can be a resin in which colored materials such as pigments and dyes are uniformly dispersed.
【００１４】これにより、プラスチック成形物の表面に
形成されるプライマー層を、着色層とすることもでき
る。また、このプライマー層は所望の膜厚に形成するこ
とが出来るため、膜厚によって着色濃度を制御すること
が出来る。よって、プラスチック成形物とプライマー層
とを具えた光学部材を眼鏡用のレンズとして使用する場
合、プライマー層の材料に含まれる有色材料の種類を変
えることによって、形成されるプライマー層を所望の色
に着色することができる。このため、眼鏡用レンズに遮
光性を付与したり、およびまたはファッション性を向上
させたりすることができる。Thus, the primer layer formed on the surface of the plastic molded product can be used as a colored layer. Further, since this primer layer can be formed to have a desired film thickness, the coloring density can be controlled by the film thickness. Therefore, when an optical member including a plastic molded product and a primer layer is used as a lens for eyeglasses, by changing the type of a colored material included in the material of the primer layer, the formed primer layer has a desired color. Can be colored. For this reason, it is possible to provide a spectacle lens with a light shielding property and / or to improve fashionability.
【００１５】また、下地をプラスチック成形物とし、か
つ厚膜材料をハードコート層の材料としてもよい。Further, the base may be a plastic molded product, and the thick film material may be a material for the hard coat layer.
【００１６】これにより、プラスチック成形物の表面に
所望の厚さのハードコート層を設けることができる。ま
た、得られるハードコート層の表面の平滑性を従来より
も向上させることができる。このため、プラスチック成
形物とハードコート層とを含む部材を、耐擦傷性に優
れ、かつ光学的ユラギが低減された光学部材とすること
ができる。Thus, a hard coat layer having a desired thickness can be provided on the surface of the plastic molded product. Further, the smoothness of the surface of the obtained hard coat layer can be improved as compared with the related art. For this reason, a member including the plastic molded product and the hard coat layer can be an optical member having excellent scratch resistance and reduced optical glare.
【００１７】このハードコート層も前記プライマー層と
同様に有色材料を添加し、着色層とすることができる。This hard coat layer can be made into a colored layer by adding a colored material similarly to the primer layer.
【００１８】従来の着色レンズは、基材内部に染料を浸
透させることによって得ていた。しかしながら、基材の
種類によっては染料が浸透せず有色レンズの製造が困難
となる問題点があった。しかし、上述したようにプライ
マー層やハードコート層に染料や顔料等の有色材料を添
加し、本発明の方法で塗布すれば、基材の種類に依ら
ず、様々な材料からなる基材を有し、ユラギが低減され
た着色レンズが得られる。Conventional colored lenses have been obtained by infiltrating a dye into the inside of a substrate. However, depending on the type of the base material, there is a problem that the dye does not penetrate and the production of a colored lens becomes difficult. However, as described above, if a colored material such as a dye or a pigment is added to the primer layer or the hard coat layer and applied by the method of the present invention, a substrate made of various materials can be obtained regardless of the type of the substrate. As a result, a colored lens with reduced irritability is obtained.
【００１９】また、本発明に関わる成膜装置において、
好ましくは、被成膜部材の成膜表面の全体にわたって膜
材料を吐出するスプレーノズルと、被成膜部材を成膜表
面が略水平になるように支持し、かつ成膜部材を回転さ
せる回転機構とを具えているのがよい。In the film forming apparatus according to the present invention,
Preferably, a spray nozzle for discharging the film material over the entire surface of the film-forming member, and a rotation mechanism for supporting the film-forming member so that the film-forming surface is substantially horizontal and rotating the film-forming member It is good to have.
【００２０】尚、本発明において、被成膜部材（下地）
を成膜表面が略水平になるように支持する（又は水平面
内で回転させる）とあるが、この「水平」とは、被成膜
部材が回転したときに生じる回転面が、成膜装置の接地
面に対して略垂直に設けられた回転部が回転したときに
生じる回転軸に対して、略垂直になるように設置（また
は回転させる）されている状態を意味している。In the present invention, the member to be deposited (base)
Is supported (or rotated in a horizontal plane) so that the film-forming surface is substantially horizontal. This refers to a state in which the rotating unit provided substantially perpendicular to the ground plane is installed (or rotated) so as to be substantially perpendicular to a rotation axis generated when the rotating unit rotates.
【００２１】この成膜装置を用いて膜を形成すると、ま
ず、スプレーノズルから膜材料が吐出され、この膜材料
が被成膜部材である下地の、成膜表面の全体にわたって
吹き付けられる。次に、膜材料が設けられた下地を支持
している回転機構を用いて、この下地を略水平面内で回
転させる。回転機構の回転速度および回転数を制御する
ことによって所望の膜厚の膜が得られる。また、得られ
る膜の表面を平滑化することが出来る。When a film is formed using this film forming apparatus, first, a film material is discharged from a spray nozzle, and the film material is sprayed over the entire film forming surface of the base, which is a member to be formed. Next, the substrate is rotated in a substantially horizontal plane using a rotation mechanism that supports the substrate on which the film material is provided. A film having a desired film thickness can be obtained by controlling the rotation speed and the number of rotations of the rotation mechanism. Further, the surface of the obtained film can be smoothed.
【００２２】従って、この成膜装置を用いることによっ
て、所望の膜厚を有し、かつ表面の平滑性に優れた膜を
容易に形成することが出来る。Therefore, by using this film forming apparatus, it is possible to easily form a film having a desired film thickness and excellent surface smoothness.
【００２３】また、この成膜装置を用いて膜を形成する
際、膜材料はスプレーノズルから霧状となって吐出され
る。このスプレーノズルから吐出される厚膜材料の霧化
圧は１．５〜５ｋｇ／ｃｍ2 とするのが好ましい。ま
た、厚膜材料の吐出速度は３〜１０ｃｃ／分とするのが
よい。さらにスプレーノズルの先端から成膜表面までの
距離は３０〜１００ｍｍとするのがよい。When a film is formed using this film forming apparatus, the film material is discharged in a mist form from a spray nozzle. The atomization pressure of the thick film material discharged from the spray nozzle is preferably 1.5 to 5 kg / cm 2 . The discharge speed of the thick film material is preferably 3 to 10 cc / min. Further, the distance from the tip of the spray nozzle to the film formation surface is preferably 30 to 100 mm.
【００２４】[0024]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態とし
て、本発明の膜形成方法の一例について説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to an example of a film forming method of the present invention.
【００２５】下地の表面に膜を形成するにあたり、下地
の表面の全体にわたって膜材料を吹き付ける工程と、塗
布液が塗布された下地を、略水平面内で回転させる工程
とを含む。In forming a film on the surface of the base, a step of spraying a film material over the entire surface of the base and a step of rotating the base on which the coating liquid is applied in a substantially horizontal plane are included.
【００２６】下地に対して、このような工程の処理を行
うために用いる成膜装置として、例えば、図１に示され
ているような構造の装置を用いる。図１は、この実施の
形態で用いる成膜装置の概略的な構成を示す、断面図で
ある。図２は、成膜装置の支持台１３ａ付近の構造を示
す、概略的な拡大図である。As a film forming apparatus used for performing such a process on the base, for example, an apparatus having a structure as shown in FIG. 1 is used. FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a film forming apparatus used in this embodiment. FIG. 2 is a schematic enlarged view showing the structure near the support 13a of the film forming apparatus.
【００２７】この成膜装置１０は、スプレーノズル１１
と回転機構１３とを具えている。スプレーノズル１１
は、被成膜部材１２の成膜表面１２ａの全体にわたって
膜材料を吐出する手段である。回転機構１３は、支持台
１３ａと回転部１３ｂとを具えている。この支持台１３
ａは、被成膜部材１２を成膜表面１２ａが略水平になる
ように支持している。また、回転部１３ｂは被成膜部材
１２を支持している支持台１３ａを略水平面内で回転さ
せる。これらのスプレーノズル１１および回転機構１３
は、箱状のチャンバ１５内に具えられている。このチャ
ンバ１５として、この実施の形態では、ステンレス製の
チャンバを用いている。このため、チャンバ１５自体が
薬品等の腐蝕によって発塵するのを防ぐことができる。
そして、チャンバ１５の略中央に回転機構１３が支持部
材１７によって支持されている。この支持部材１７は、
回転機構１３の動作を制御している工業用ロボット１９
に接続されている。この工業用ロボット１９はチャンバ
１５の外側に設けられている。また、回転機構１３は、
ここでは回転数を任意に変化させることの出来る可変回
転機構とする。また、この回転機構１３の支持台１３ａ
によって、被成膜部材１２を、その成膜表面１２ａが略
水平になるように支持することができる。被成膜部材１
２としてレンズを使用した場合の成膜表面１２ａは凹面
でも凸面でもよい。特に眼鏡レンズにおいて、凹面（接
眼面）が非球面や累進焦点面に加工されたレンズに対し
て、本発明の成膜方法により凹面（接眼面）にプライマ
ー層やハードコート層、またはこれらを着色した着色層
の成膜に用いれば、より膜厚が均一で、ユラギの少な
い、光学特性に優れた眼鏡レンズを得ることが可能とな
る。図２に概略的に示してあるように、支持台１３ａ
は、その中央部に、被成膜部材１２を吸着するための吸
着パッド１４および真空手段１６を具えている。この吸
着パッド１４はゴム製で、真空手段１６を用いて吸着パ
ッド１４と被成膜部材１２との間を真空にする。これに
より、被成膜部材１２を支持台１３ａに成膜表面１２ａ
の反対側の面で吸着固定することができる（図２）。The film forming apparatus 10 includes a spray nozzle 11
And a rotation mechanism 13. Spray nozzle 11
Is a means for discharging a film material over the entire film-forming surface 12a of the film-forming member 12. The rotation mechanism 13 includes a support 13a and a rotation unit 13b. This support 13
“a” supports the deposition target member 12 so that the deposition surface 12a is substantially horizontal. In addition, the rotating unit 13b rotates the support table 13a that supports the deposition target member 12 in a substantially horizontal plane. These spray nozzle 11 and rotating mechanism 13
Are provided in a box-shaped chamber 15. In this embodiment, a stainless steel chamber is used as the chamber 15. Therefore, it is possible to prevent the chamber 15 itself from generating dust due to corrosion of a chemical or the like.
A rotation mechanism 13 is supported by a support member 17 at substantially the center of the chamber 15. This support member 17
Industrial robot 19 controlling the operation of the rotation mechanism 13
It is connected to the. This industrial robot 19 is provided outside the chamber 15. In addition, the rotation mechanism 13
Here, a variable rotation mechanism capable of arbitrarily changing the rotation speed is used. Also, the support 13a of the rotation mechanism 13
Accordingly, the film-forming member 12 can be supported such that the film-forming surface 12a is substantially horizontal. Deposition member 1
When a lens is used as 2, the film forming surface 12a may be concave or convex. In particular, in a spectacle lens, for a lens having a concave surface (eye surface) formed into an aspheric surface or a progressive focal plane, a primer layer, a hard coat layer, or these are colored on the concave surface (eye surface) by the film forming method of the present invention. When used for forming a colored layer formed as described above, it is possible to obtain a spectacle lens having a more uniform thickness, less irritability, and excellent optical characteristics. As schematically shown in FIG. 2, the support 13a
Is provided with a suction pad 14 and a vacuum means 16 for suctioning the film-forming member 12 at the center thereof. The suction pad 14 is made of rubber, and the space between the suction pad 14 and the film-forming member 12 is evacuated using a vacuum means 16. As a result, the film-forming member 12 is placed on the support base 13a, and
(See FIG. 2).
【００２８】また、スプレーノズル１１は、支持台１３
ａの上側に、吐出部が支持台１３ａ側に向くように固定
されている。このスプレーノズル１１は、成膜表面１２
ａの、より広い領域に厚膜材料を吐出させることが出来
るような加工がなされている。厚膜材料は空気と共にノ
ズル１１から噴出することによって、霧状となる。ここ
で用いられているスプレーノズル１１は、ノズル１１内
の空気の通路に、吐出部の側から見てスパイラル状の溝
が形成されているために、膜材料と空気とを同時に吐出
部から噴出した場合の霧化が向上して、成膜表面のより
広い領域に、霧状の膜材料を吐出することができる（図
示せず。なお、より詳しくは、特開平１０−１４８７９
９および特開平１０−１３７６７６を参照。）。なお、
スプレーノズルは、上記のような構造に限られるもので
はなく、従来のスプレー法で用いられているスプレーノ
ズルを用いても構わない。また、チャンバ１５の外部で
あって、スプレーノズル１１よりも上側には材料タンク
が設けてあって（図示せず。）、この材料タンクからス
プレーノズル１１に材料供給管１８を介して厚膜材料が
重力式によって供給される。The spray nozzle 11 is provided on the support table 13.
The discharge unit is fixed above the upper side a so as to face the support 13a. The spray nozzle 11 has a film forming surface 12.
Processing a is performed so that the thick film material can be discharged to a wider area of a. The thick film material is atomized by being ejected from the nozzle 11 together with the air. In the spray nozzle 11 used here, a spiral groove is formed in the air passage in the nozzle 11 when viewed from the discharge portion side, so that the film material and air are simultaneously discharged from the discharge portion. In this case, atomization is improved, and a mist-like film material can be discharged to a wider area of the film formation surface (not shown. More specifically, see Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-14879).
9 and JP-A-10-137676. ). In addition,
The spray nozzle is not limited to the structure described above, and a spray nozzle used in a conventional spray method may be used. A material tank is provided outside the chamber 15 and above the spray nozzle 11 (not shown), and the thick film material is supplied from the material tank to the spray nozzle 11 via a material supply pipe 18. Is supplied by gravity.
【００２９】また、回転機構１３においては、支持台１
３ａを、水平面（Ｘ−Ｙ平面）内をＸ軸方向およびＹ軸
方向に移動させることができる。従って、被成膜部材１
２が支持された支持台１３ａを略水平面内で移動させな
がら、スプレーノズル１１から膜の材料を成膜表面１２
ａに吐出することによって、成膜表面１２ａの全体に膜
の材料を行き渡らせることができる。また、チャンバ１
５内の上側にはクリーンエア供給装置２１が備えてあ
る。また、チャンバ１５内の下側には排気用開口部２３
が設けられていて、この開口部２３は管状の排気通路２
５と連通している。そして、この排気通路２５は排気フ
ァン２７に接続されている。また、排気通路２５内の２
箇所にミスト捕捉用フィルタ２９ａおよび２９ｂが設置
されている。これら排気用開口部２３、排気通路２５、
ミスト捕捉用フィルタ２９ａ，２９ｂおよび排気ファン
２７を含む構造部分を排気機構３１とする。この排気機
構３１とクリーンエア供給装置２１とで、チャンバ１５
内の雰囲気をクリーンにすることができる。具体的に
は、クリーンエア供給装置２１から排気機構３１に向か
って、チャンバ１５内にクリーンエアをダウンフローさ
せる。排気機構３１に到達したエアは、排気用開口部２
３から排気通路２５を通り、排気ファン２７から排気さ
れる。チャンバ１５内への呼気量およびチャンバ１５か
らの排気量は、インバータ制御されていて、クリーンエ
ア供給装置２１からチャンバ１５内へ吹き出されるクリ
ーンエアの風速は、ここでは０．８ｍ／秒と設定されて
いる。また、排気量に対して呼気量を、約１．０ｍ3 ／
分少なくなるようにしてある。このようにクリーンエア
の風速、排気量および呼気量を定めてあるために、チャ
ンバ１５内のクリーン度のクラスを１０００という好ま
しい値にすることができる。In the rotation mechanism 13, the support 1
3a can be moved in the X-axis direction and the Y-axis direction in the horizontal plane (XY plane). Therefore, the film-forming member 1
The material of the film is formed from the spray nozzle 11 onto the film forming surface 12 while moving the support 13a on which the substrate 2 is supported in a substantially horizontal plane.
By discharging the film material a, the material of the film can be spread over the entire film forming surface 12a. Also, chamber 1
A clean air supply device 21 is provided on the upper side of 5. Further, an exhaust opening 23 is provided below the chamber 15.
The opening 23 is provided in the tubular exhaust passage 2.
It is in communication with 5. The exhaust passage 25 is connected to an exhaust fan 27. Also, 2 in the exhaust passage 25
Mist trapping filters 29a and 29b are provided at the locations. These exhaust openings 23, exhaust passages 25,
The structure including the mist trapping filters 29a and 29b and the exhaust fan 27 is referred to as an exhaust mechanism 31. The exhaust mechanism 31 and the clean air supply device 21 form the chamber 15.
The atmosphere inside can be cleaned. Specifically, clean air is caused to flow down into the chamber 15 from the clean air supply device 21 toward the exhaust mechanism 31. The air that has reached the exhaust mechanism 31 is
3 passes through the exhaust passage 25 and is exhausted from the exhaust fan 27. The amount of expiration into the chamber 15 and the amount of exhaust from the chamber 15 are inverter-controlled, and the wind speed of the clean air blown into the chamber 15 from the clean air supply device 21 is set to 0.8 m / sec here. Have been. In addition, the exhalation volume is about 1.0 m 3 /
It has been reduced by a minute. Since the wind speed, exhaust volume, and exhalation volume of the clean air are determined in this way, the class of the degree of cleanness in the chamber 15 can be set to a preferable value of 1000.
【００３０】このような成膜装置１０を用いて、被成膜
部材１２である下地の表面１２ａに膜を形成する。Using such a film forming apparatus 10, a film is formed on the surface 12 a of the base, which is the member 12 on which the film is to be formed.
【００３１】下地１２として、例えばプラスチック成形
物を用いる。これは、眼鏡用レンズなどの光学部材とし
てよく用いられる。下地であるプラスチック成形物は、
例えばポリメチルメタクリレート、ポリメチルメタクリ
レートの共重合体、アクリロニトリルとスチレンとの共
重合体、ポリカーボネート、セルロースアセテート、ポ
リ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート、エポキシ
樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ジエチ
レングリコールビスアリルカーボネート（ＣＲ３９）の
重合体、ポリイソシアネートとポリオールとを含む単量
体混合物を重合させたもの、またはポリイソシアネート
とポリオールとポリチオールとを含む単量体混合物を重
合させたもので構成されたものを用いるのがよい。この
下地１２に形成する膜を、例えば下地１２の耐衝撃性を
向上させるプライマー層とすることができる。As the base 12, for example, a plastic molded product is used. This is often used as an optical member such as an eyeglass lens. The base plastic molding is
For example, polymethyl methacrylate, a copolymer of polymethyl methacrylate, a copolymer of acrylonitrile and styrene, polycarbonate, cellulose acetate, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, epoxy resin, unsaturated polyester resin, urethane resin, diethylene glycol bisallyl carbonate Use is made of a polymer of (CR39), a polymer obtained by polymerizing a monomer mixture containing polyisocyanate and polyol, or a polymer obtained by polymerizing a monomer mixture containing polyisocyanate, polyol and polythiol. Is good. The film formed on the base 12 can be, for example, a primer layer for improving the impact resistance of the base 12.
【００３２】まず、プライマー層の材料を含む塗布液を
用意する。そして、成膜装置１０の回転機構１３の上
に、プラスチック成形物１２を固定する。次に、スプレ
ーノズル１１から塗布液をプラスチック成形物１２上に
吐出させる。これにより、塗布液は霧状になってプラス
チック成形物１２の表面１２ａの全面に塗布される。そ
の後、プラスチック成形物１２を支持している回転機構
１３を一定時間回転させることによって、塗布膜の表面
を平滑にする。また、この回転時間を制御することによ
って塗布膜の厚さを制御することができる。又、塗布液
の噴霧量によっても、最終的に形成される膜の膜厚を制
御することが可能である。その後、塗膜が設けられたプ
ラスチック成形物をオーブンを用いて加熱処理する。こ
れにより、塗膜が乾燥および硬化してプライマー層とな
る。このようにして、所望の膜厚を有し、しかも表面の
平滑性に優れ、光学特性が優れ、成形物の耐衝撃性を向
上させる膜を形成することができる。First, a coating solution containing a material for the primer layer is prepared. Then, the plastic molding 12 is fixed on the rotating mechanism 13 of the film forming apparatus 10. Next, the coating liquid is discharged from the spray nozzle 11 onto the plastic molding 12. Thereby, the coating liquid is applied in the form of a mist and is applied to the entire surface 12 a of the plastic molded product 12. After that, the rotating mechanism 13 supporting the plastic molded product 12 is rotated for a certain period of time to smooth the surface of the coating film. Further, by controlling the rotation time, the thickness of the coating film can be controlled. Also, the thickness of the finally formed film can be controlled by the spray amount of the coating liquid. Thereafter, the plastic molded article provided with the coating film is subjected to heat treatment using an oven. Thereby, the coating film is dried and cured to form a primer layer. In this way, it is possible to form a film having a desired film thickness, excellent surface smoothness, excellent optical properties, and improved impact resistance of the molded product.
【００３３】プライマー層は薄すぎると耐衝撃性が得ら
れなくなり、また、厚すぎると耐熱性および面精度が劣
化してしまう。このため、プライマー層は０．１〜５μ
ｍの厚さを有しているのがよい。この範囲であると耐衝
撃性、耐熱性および面精度の一層の向上が図れる。ま
た、より好ましくは０．２〜３μｍの厚さにするのがよ
い。If the primer layer is too thin, impact resistance cannot be obtained, and if it is too thick, heat resistance and surface accuracy deteriorate. For this reason, the primer layer has a thickness of 0.1 to 5 μm.
m. Within this range, the impact resistance, heat resistance and surface accuracy can be further improved. Further, the thickness is more preferably set to 0.2 to 3 μm.
【００３４】耐衝撃性を付与するプライマー層の材料と
して、特に、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ブチラール樹脂またはメラミン樹脂を用いるのがよ
い。As a material of the primer layer for imparting impact resistance, it is particularly preferable to use a urethane resin, an acrylic resin, an epoxy resin, a butyral resin or a melamine resin.
【００３５】また、プライマー層には、追って記載する
ハードコート層に添加可能な無機微粒子を入れてもよ
い。The primer layer may contain inorganic fine particles which can be added to the hard coat layer described later.
【００３６】また、プライマー層を構成する厚膜材料と
して、顔料または染料が均一に分散された樹脂を用いて
もよい。上記で例示した樹脂に分散させる顔料として
は、下地の透明性を劣化させないような粒子径のものを
用いる。粒子径が０．３μｍ以下の超微粒子顔料を用い
るのがよく、より好ましくは、０．１μｍ以下の粒子径
の顔料がよい。このような顔料として、例えば、フタロ
シアニン系、キナクリドン系、スレン系、およびキノフ
タロン系の有機顔料や、カーボンブラック、酸化チタ
ン、雲母、群青、ホワイトカーボン、または酸化亜鉛の
無機顔料が挙げられる。これらの顔料のうちの一種を用
いてもよいし、また、二種以上を混合して用いてもよ
い。例えば、フタロシアニン系とカーボンブラックとを
混合させて用いるのがよい。As the thick film material constituting the primer layer, a resin in which a pigment or a dye is uniformly dispersed may be used. As the pigment to be dispersed in the resin exemplified above, a pigment having a particle size that does not deteriorate the transparency of the base is used. It is preferable to use an ultrafine pigment having a particle diameter of 0.3 μm or less, and more preferably a pigment having a particle diameter of 0.1 μm or less. Examples of such pigments include phthalocyanine-based, quinacridone-based, sulene-based, and quinophthalone-based organic pigments, and inorganic pigments of carbon black, titanium oxide, mica, ultramarine, white carbon, and zinc oxide. One of these pigments may be used, or two or more of them may be used in combination. For example, it is preferable to use a mixture of a phthalocyanine-based material and carbon black.
【００３７】また、染料としては、以下の分散染料を用
いることが出来る。例えば、C.I.DisperseYellow3,5,7,
33,42,54,64,83または198 、C.I.DisperseOrange1,3,1
3,29,31または61、C.I.DisperseRed1,4,11,17,60,73,91
または207 、C.I.DisperseViolet1,35,38 または43、
若しくはC.I.DisperseBlue1,3,7,56,60,79,81 または19
7 を用いるのがよい。The following disperse dyes can be used as the dye. For example, CIDisperseYellow3,5,7,
33,42,54,64,83 or 198, CIDisperseOrange1,3,1
3,29,31 or 61, CIDisperseRed1,4,11,17,60,73,91
Or 207, CIDisperseViolet1,35,38 or 43,
Or CIDisperseBlue1,3,7,56,60,79,81 or 19
7 should be used.
【００３８】また、膜材料をハードコート層の材料とす
る場合、この材料は、下記一般式（Ｉ）で表わされる有
機ケイ素化合物またはその加水分解物が好ましい。When the film material is used as the material of the hard coat layer, the material is preferably an organosilicon compound represented by the following general formula (I) or a hydrolyzate thereof.
【００３９】一般式（Ｉ）： Ｒ1 aＲ2 bＳｉ（ＯＲ3 ）4-(a+b) （但し、式中、Ｒ1 は、官能基を有する有機基又は不飽
和２重結合を有する有機基であり、Ｒ2 は、炭化水素基
又はハロゲン化炭化水素基であり、Ｒ3 はアルキル基、
アルコキシアルキル基又はアシル基であり、ａ及びｂ
は、それぞれ０又は１であり、かつａ＋ｂは、１又は２
である。また、Ｒ1 は炭素数１〜１４、Ｒ2は炭素数１
〜６、Ｒ3 は炭素数１〜４であることが好ましい。）。Formula (I): R 1 a R 2 b Si (OR 3 ) 4- (a + b) (wherein, R 1 represents an organic group having a functional group or an unsaturated double bond) R 2 is a hydrocarbon group or a halogenated hydrocarbon group, R 3 is an alkyl group,
An alkoxyalkyl group or an acyl group, a and b
Is 0 or 1 respectively, and a + b is 1 or 2
It is. R 1 has 1 to 14 carbon atoms, and R 2 has 1 carbon atom.
6, it is preferred that R 3 is from 1 to 4 carbon atoms. ).
【００４０】一般式（Ｉ）の化合物のうち、Ｒ1 がエポ
キシ基であるものは、エポキシシランとも呼ばれる。Among the compounds of the general formula (I), those in which R 1 is an epoxy group are also called epoxysilanes.
【００４１】エポキシシランの具体例としては、例え
ば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリメトキシエトキシシラン、γ−グ
リシドキシプロピルトリアセトキシシラン、γ−グリシ
ドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシド
キシプロピルメチルジエトキシシラン、またはβ−
（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキ
シシランが挙げられる。Specific examples of epoxysilane include, for example, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ
-Glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxyethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriacetoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane , Or β-
(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane.
【００４２】また、一般式（Ｉ）の化合物のうち、エポ
キシシラン以外（ａ＝０のものを含む）の例としては、
例えば次のものが使用される。メチルトリメトキシシラ
ン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキ
シシラン、ビニルトリメトキシエトキシシラン、γ−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、アミノメチ
ルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、フ
ェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メル
カプトプロピルトリエトキシシラン、３，３，３−トリ
フルオロプロピルトリメトキシシランなどの各種トリア
ルコキシシラン、トリアシロキシシランあるいはトリア
ルコキシアルコキシシラン化合物。Examples of the compounds of the general formula (I) other than epoxysilane (including those having a = 0) include:
For example, the following are used. Methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxyethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, aminomethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyl Trimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane And various trialkoxysilane, trisiloxysilane or trialkoxyalkoxysilane compounds.
【００４３】これら組成物を使用した場合、ハードコー
ト層の材料中に無機微粒子を添加することも可能であ
る。この無機微粒子を添加する理由は、ハードコート層
に硬度向上、干渉縞の防止、および帯電防止の諸効果を
付与するためである。無機微粒子としては、例えば、酸
化亜鉛、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化チタニウ
ム、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化ベリリウム、酸
化アンチモン、酸化タングステン、酸化セリウム、酸化
鉄、または酸化スズと酸化タングステンの複合微粒子と
いった無機微粒子が使用可能である。When these compositions are used, it is possible to add inorganic fine particles to the material of the hard coat layer. The reason for adding the inorganic fine particles is to impart various effects of improving hardness, preventing interference fringes, and preventing static charge to the hard coat layer. Examples of the inorganic fine particles include zinc oxide, silicon oxide, aluminum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, tin oxide, beryllium oxide, antimony oxide, tungsten oxide, cerium oxide, iron oxide, and composite fine particles of tin oxide and tungsten oxide. Inorganic fine particles can be used.
【００４４】また、これらの微粒子は、単独で使用する
だけでなく、必要に応じて２種以上の混合物の状態また
は固溶体の状態で使用することも可能である。この発明
での混合物としては、異なった物質からなる複数のもの
が、各々の物質の構造を保ったまま存在している状態を
言い、固溶体とは、異なった複数の物質同士が新たな化
学結合を形成して存在するものを称している。例えば、
酸化スズと酸化タングステンとの混合物や、酸化チタン
と酸化セリウムとの固溶体を用いることができる。These fine particles can be used not only alone, but also in the form of a mixture or a solid solution of two or more kinds, if necessary. A mixture according to the present invention is a state in which a plurality of different substances are present while maintaining the structure of each substance. Are formed and exist. For example,
A mixture of tin oxide and tungsten oxide, or a solid solution of titanium oxide and cerium oxide can be used.
【００４５】特に、酸化チタニウム、酸化アンチモン、
酸化タングステン、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、
および酸化スズのいずれかの無機微粒子を使用した場合
には、組成物の屈折率を高くすることができ、基材に高
屈折率のものを用いた場合、干渉縞の発生を抑止するこ
とが可能となる。In particular, titanium oxide, antimony oxide,
Tungsten oxide, cerium oxide, zirconium oxide,
When using any of inorganic fine particles of tin oxide and tin oxide, the refractive index of the composition can be increased, and when using a substrate having a high refractive index, the occurrence of interference fringes can be suppressed. It becomes possible.
【００４６】微粒子の粒子径は、１〜２００ｎｍ、特に
５〜１００ｎｍのものが好ましい。これより小さいと製
造が困難であり、微粒子自身の安定性も悪く、かつ効果
も小さい。これより大きいと、コーティング組成物の安
定性が低下したり、塗膜の透明性が失われたり、または
平滑性が低下したりする。The particle diameter of the fine particles is preferably from 1 to 200 nm, particularly preferably from 5 to 100 nm. If it is smaller than this, the production is difficult, the stability of the fine particles themselves is poor, and the effect is small. If it is larger than this, the stability of the coating composition is reduced, the transparency of the coating film is lost, or the smoothness is reduced.
【００４７】以上の成分の他に更に必要に応じて、ｐＨ
調節剤、粘度調節剤、レベリング剤、つや消し剤、安定
剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤などをハードコート層の
材料中に添加しても良い。In addition to the above components, if necessary,
A modifier, a viscosity modifier, a leveling agent, a matting agent, a stabilizer, an ultraviolet absorber, an antioxidant, and the like may be added to the material of the hard coat layer.
【００４８】また、顔料や染料などの有色材料は、上述
したようにプライマー層やハードコート層に添加する以
外に、プライマー層やハードコート層とは別に有色材料
を含む着色層として形成することも可能である。この場
合、顔料や染料が分散または溶解し易い下記のようなビ
ヒクルを用いることが好ましい。Colored materials such as pigments and dyes are not only added to the primer layer and the hard coat layer as described above, but may be formed as a colored layer containing a colored material separately from the primer layer and the hard coat layer. It is possible. In this case, it is preferable to use the following vehicles in which pigments and dyes are easily dispersed or dissolved.
【００４９】例えば、熱可塑性樹脂および熱硬化性樹脂
を用いるのが好ましい。これらの樹脂として、例えば、
塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリアミド、ポリエ
チレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、フェノール
樹脂、ポリプロピレン、フッ素樹脂ブチラール樹脂、メ
ラミン樹脂、ポリビニルアルコール、セルロース樹脂、
アルキド、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、ポリエステル、またはシリコン樹脂が挙げられる。
以上の樹脂を単独で用いてもよいし、２種類以上を混合
させて用いてもよい。For example, it is preferable to use a thermoplastic resin and a thermosetting resin. As these resins, for example,
Vinyl chloride resin, vinyl acetate resin, polyamide, polyethylene, polycarbonate, polystyrene, phenolic resin, polypropylene, fluororesin butyral resin, melamine resin, polyvinyl alcohol, cellulose resin,
Alkyd, acrylic resin, epoxy resin, urethane resin, polyester, or silicone resin can be used.
The above resins may be used alone or as a mixture of two or more.
【００５０】[0050]
【実施例】以下、いくつかの実施例により、この発明を
さらに詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる使用
材料、使用装置、また使用材料の使用量や工程中で述べ
る温度、圧力、膜厚、各部の寸法などの数値的条件は、
この発明の範囲内の一例に過ぎない。従ってこの発明は
これら条件に何ら限定されるものではない。The present invention will be described in more detail with reference to several examples. In addition, numerical conditions such as used materials used in the following description, used equipment, used amounts of used materials and temperature, pressure, film thickness, dimensions of each part described in the process are as follows.
This is only an example within the scope of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to these conditions.
【００５１】（第１の実施例）第１の実施例として、下
地であるプラスチック成形物上に、プライマー層を形成
する例について説明する。(First Embodiment) As a first embodiment, an example in which a primer layer is formed on a plastic molding as a base will be described.
【００５２】この例では、膜材料をメラミン樹脂とす
る。まず塗布液を調整する。メラミン樹脂７５ｇを溶媒
２５ｇに溶解させて、濃度７５重量％のメラミン樹脂系
の塗布液を得る。これをプラスチック成形物であるＮＬ
７０（商品名：（株）ニコン製）の凹面にスプレー法を
用いて塗布する。In this example, the film material is melamine resin. First, a coating solution is prepared. 75 g of melamine resin is dissolved in 25 g of a solvent to obtain a melamine resin-based coating solution having a concentration of 75% by weight. This is a plastic molded product, NL
70 (trade name: manufactured by Nikon Corporation) is applied by a spray method.
【００５３】ここでは、実施の形態で説明した成膜装置
１０を用いる（図１）。成膜装置１０のスプレーノズル
１１から、凹面１２ａがスプレーノズル１１の側に向く
ように支持台１３ａに固定されたプラスチック成形物１
２に、上記塗布液を塗布する。このとき、この例では、
スプレーノズル１１から吐出される塗布液の霧化圧を３
ｋｇ／ｃｍ2 とし、塗布液の吐出速度を５ｃｃ／分と
し、プラスチック成形物１２からノズル１１の先端まで
の距離を５０ｍｍとし、レンズ移動スピードを３００ｍ
ｍ／秒とする。そして３０秒間吐出させることによっ
て、プラスチック成形物１２の凹面１２ａ上に塗膜が形
成される。Here, the film forming apparatus 10 described in the embodiment is used (FIG. 1). From the spray nozzle 11 of the film forming apparatus 10, the plastic molded product 1 fixed to the support 13a such that the concave surface 12a faces the spray nozzle 11 side.
2 is coated with the above coating solution. Then, in this example,
The atomization pressure of the coating liquid discharged from the spray nozzle 11 is 3
kg / cm 2 , the discharge speed of the coating liquid is 5 cc / min, the distance from the plastic molding 12 to the tip of the nozzle 11 is 50 mm, and the lens moving speed is 300 m.
m / sec. Then, by discharging for 30 seconds, a coating film is formed on the concave surface 12a of the plastic molded product 12.
【００５４】その後、塗膜が形成されたプラスチック成
形物１２を支持している回転機構１３を回転させる。こ
の例では、１０００回転／秒の回転速度で５秒間の回転
を行う。After that, the rotating mechanism 13 supporting the plastic molding 12 on which the coating film is formed is rotated. In this example, rotation is performed for 5 seconds at a rotation speed of 1000 rotations / second.
【００５５】通常行われているスピンコート法では、回
転速度の遅い予備回転と、回転速度の速い本回転との２
段階の回転が行われる。この予備回転は、下地上に滴下
された塗布液を下地上面の全体に行き渡らせる目的で行
われている。この例では、スプレー法によって下地の上
面の全体に塗布液が塗布されている。このため予備回転
を行う必要がない。In the usual spin coating method, there are two rotations: a preliminary rotation having a low rotation speed and a main rotation having a high rotation speed.
A step rotation is performed. This preliminary rotation is performed for the purpose of spreading the coating liquid dropped on the base over the entire upper surface of the base. In this example, the coating liquid is applied to the entire upper surface of the base by a spray method. Therefore, it is not necessary to perform the preliminary rotation.
【００５６】その後、この塗膜を、１００℃かつ大気圧
雰囲気のオーブン中で１時間乾燥させる。この結果、塗
膜は硬化して、プラスチック成形物上に厚さ約３μｍの
プライマー層が得られる。Thereafter, the coating film is dried for 1 hour in an oven at 100 ° C. and atmospheric pressure. As a result, the coating film is cured, and a primer layer having a thickness of about 3 μm is obtained on the plastic molded product.
【００５７】このプライマー層の表面を、三波長型蛍光
灯を用いて観察したところ、干渉縞はほとんど見られな
かった。よって、表面の平滑性に優れたプライマー層で
あることが確認された。When the surface of the primer layer was observed using a three-wavelength fluorescent lamp, almost no interference fringes were observed. Therefore, it was confirmed that the primer layer had excellent surface smoothness.
【００５８】次に、このプライマー層の上面に、通常眼
鏡レンズに用いられている有機シリコン系ハードコート
層をディッピング法で形成した。そして、この上に真空
蒸着法により無機反射防止膜を設けた。この有機シリコ
ン系ハードコート層の厚さを約２μｍとする。また、無
機反射防止膜は、ＳｉＯ2 薄層およびＺｒＯ2 薄層とが
交互に６層積層された積層膜であり、全体の膜厚は２４
０ｎｍである。これにより、第１の実施例のレンズサン
プルが得られる。このようにハードコート層は、ディッ
ピング法で形成しても良いが、プライマー層を形成した
ような本発明の成膜方法を用いて形成してもよい。本発
明の成膜方法により、プライマー層及びハードコート層
を形成すれば、膜厚の制御が容易になり、表面の平滑性
に優れたプラスチック成形物を得ることが可能となる。Next, on the upper surface of the primer layer, an organic silicon-based hard coat layer usually used for spectacle lenses was formed by dipping. Then, an inorganic antireflection film was provided thereon by a vacuum evaporation method. The thickness of the organic silicon-based hard coat layer is about 2 μm. The inorganic anti-reflection film is a laminated film in which six thin SiO 2 layers and two thin ZrO 2 layers are alternately laminated, and the total film thickness is 24
0 nm. Thereby, the lens sample of the first embodiment is obtained. As described above, the hard coat layer may be formed by the dipping method, or may be formed by using the film forming method of the present invention in which the primer layer is formed. When the primer layer and the hard coat layer are formed by the film forming method of the present invention, the control of the film thickness is facilitated, and it is possible to obtain a plastic molded product having excellent surface smoothness.
【００５９】上記のように形成したレンズサンプルの視
感透過率を測定したところ９８％の値が得られた。この
値は優れた透過性を有していることを意味し、透過性の
点からは、この実施例のレンズサンプルを眼鏡レンズと
して用いて好適であることを示している。When the luminous transmittance of the lens sample formed as described above was measured, a value of 98% was obtained. This value indicates that the film has excellent transmittance, and from the viewpoint of transmittance, indicates that the lens sample of this example is suitable for use as a spectacle lens.
【００６０】また、このレンズサンプルの耐衝撃性を調
べる。この例では、衝撃試験機としてＤｙｎａｔｕｐ
（商品名：ジェネラルリサーチ社（General Research C
orp.)製）を用いて衝撃強度を測定する。この測定のし
くみを簡単に説明する。サンプルの上方から棒状の部材
を落下させ、レンズに部材が衝突して跳ね返る際の衝撃
の強度を測定する。衝撃の強度が高い方が耐衝撃性に優
れている。Further, the impact resistance of this lens sample is examined. In this example, Dynatup is used as an impact tester.
(Product name: General Research C
orp.)). The mechanism of this measurement will be briefly described. The rod-shaped member is dropped from above the sample, and the impact strength when the member collides with the lens and rebounds is measured. The higher the impact strength, the better the impact resistance.
【００６１】この結果、衝撃の強度は２．３６Ｊ（ジュ
ール）であり、この値から、本実施例のレンズサンプル
の耐衝撃性は優れていると言うことができる。As a result, the impact strength was 2.36 J (joules). From this value, it can be said that the lens sample of this example has excellent impact resistance.
【００６２】以上により、第１の実施例で形成された膜
は、３μｍの膜厚となり、これにより十分な耐衝撃性が
得られるプライマー層として得ることができた。また、
このプライマー層は表面の平滑性に優れている膜として
得られた。As described above, the film formed in the first example had a thickness of 3 μm, and was thus obtained as a primer layer having sufficient impact resistance. Also,
This primer layer was obtained as a film having excellent surface smoothness.
【００６３】（第２の実施例）第２の実施例として、第
１の実施例の構成において、膜であるプライマー層の材
料を、顔料が分散された樹脂とする例について説明す
る。以下、第１の実施例と相違する点について説明し、
同様の点については詳細な説明を省略する。(Second Embodiment) As a second embodiment, an example will be described in which the material of the primer layer, which is a film, is a resin in which a pigment is dispersed in the configuration of the first embodiment. Hereinafter, differences from the first embodiment will be described.
A detailed description of the same points will be omitted.
【００６４】まず、第１の実施例で用いられた塗布液と
同様の塗布液をビヒクルとして、顔料を分散させる。こ
の例では、粒子径０．０８μｍの青顔料と粒子径０．１
０μｍの赤顔料と粒子径０．１５μｍの黄色顔料とを、
重量比で青：赤：黄色＝１１：８：１１となるように混
合する。なお、この例では、青顔料としてPigment Blue
15 、赤顔料としてPigment Red 144 、および黄色顔料
としてPigment Yellow150を用いる。そして、この混合
した顔料１２ｇを、上記塗布液をビヒクルとして、この
ビヒクル４０ｇに分散させる。これにより、第２の実施
例の顔料含有コート液が得られる。この顔料含有コート
液を、第１の実施例と同様の下地であるＮＬ７０（商品
名：（株）ニコン製）の凹面に、第１の実施例と同様の
塗布条件で塗布し、さらに回転させる。次いで、形成さ
れた塗布膜を第１の実施例と同様にして乾燥させる。こ
れにより、第２の実施例の着色されたプライマー層が形
成される。このプライマー層の膜厚は、約３μｍで茶色
に着色されている。First, a pigment is dispersed using a coating liquid similar to the coating liquid used in the first embodiment as a vehicle. In this example, a blue pigment having a particle size of 0.08 μm and a particle size of 0.1
0 μm red pigment and 0.15 μm particle diameter yellow pigment,
Mix so that the weight ratio of blue: red: yellow = 11: 8: 11. In this example, Pigment Blue is used as the blue pigment.
15, Pigment Red 144 as a red pigment and Pigment Yellow 150 as a yellow pigment. Then, 12 g of the mixed pigment is dispersed in 40 g of the vehicle using the above-mentioned coating solution as a vehicle. Thereby, the pigment-containing coating liquid of the second embodiment is obtained. This pigment-containing coating liquid is applied to the concave surface of NL70 (trade name: manufactured by Nikon Corporation), which is the same base as in the first embodiment, under the same application conditions as in the first embodiment, and further rotated. . Next, the formed coating film is dried in the same manner as in the first embodiment. Thereby, the colored primer layer of the second embodiment is formed. The thickness of this primer layer is about 3 μm and is colored brown.
【００６５】第１の実施例と同様にして、このプライマ
ー層の表面を三波長型蛍光灯を用いて観察したところ、
干渉縞はほとんど見られなかった。このため表面の平滑
性に優れたプライマー層が得られたことが確認された。When the surface of the primer layer was observed using a three-wavelength fluorescent lamp in the same manner as in the first embodiment,
Almost no interference fringes were seen. Therefore, it was confirmed that a primer layer having excellent surface smoothness was obtained.
【００６６】また、第１の実施例と同様に、このプライ
マー層の上面に、有機シリコン系ハードコート層および
無機反射防止膜を、この順に設けて第２の実施例のレン
ズサンプルが得られる。As in the case of the first embodiment, an organic silicon-based hard coat layer and an inorganic anti-reflection film are provided on the upper surface of the primer layer in this order to obtain a lens sample of the second embodiment.
【００６７】このレンズサンプルの視感透過率は、７３
％であった。The luminous transmittance of this lens sample is 73
%Met.
【００６８】また、第１の実施例と同様にして耐衝撃性
の試験を行ったところ、得られた衝撃強度の値は２．２
５Ｊであり、このレンズサンプルは優れた耐衝撃性を有
していることが確認された。When an impact resistance test was conducted in the same manner as in the first embodiment, the value of the obtained impact strength was 2.2.
5J, confirming that this lens sample had excellent impact resistance.
【００６９】以上により、第２の実施例で形成された膜
は、３μｍの膜厚となり、これにより十分な耐衝撃性が
得られるプライマー層として得ることが出来た。また、
このプライマー層は表面の平滑性に優れた膜として得ら
れた。さらに、プライマー層を容易に着色することがで
きた。As described above, the film formed in the second embodiment had a thickness of 3 μm, and could be obtained as a primer layer having sufficient impact resistance. Also,
This primer layer was obtained as a film having excellent surface smoothness. Further, the primer layer could be easily colored.
【００７０】（第３の実施例）第３の実施例として、プ
ラスチック成形品上に膜としてハードコート層を形成す
る例につき説明する。以下、第１および第２の実施例と
相違する点のみ説明し、同様の点については詳細な説明
を省略する。(Third Embodiment) As a third embodiment, an example in which a hard coat layer is formed as a film on a plastic molded product will be described. Hereinafter, only differences from the first and second embodiments will be described, and detailed description of the same points will be omitted.
【００７１】γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン５５ｇ、エタノール１８０ｇを攪拌しながら混合
し、その後、この混合液中に、０．０５規定の塩酸水溶
液１６ｇを約３０分間かけて滴下した。その後、約０℃
で２４時間放置してハードコート層となるコート液を得
た（必要に応じて、このコート液中に無機酸化物微粒子
又は染料又は顔料を添加する。）。55 g of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane and 180 g of ethanol were mixed with stirring, and then 16 g of a 0.05 N hydrochloric acid aqueous solution was dropped into this mixture over about 30 minutes. Then about 0 ° C
For 24 hours to obtain a coating solution for forming a hard coat layer (addition of inorganic oxide fine particles or a dye or pigment to the coating solution as required).
【００７２】このハードコート液１０ｇをプラスチック
成形物であるＮＬ７０（商品名：（株）ニコン製）の凹
面にスプレー法を用いて塗布する。この例においても実
施の形態で説明した成膜装置を用いる。成膜条件を以下
のようにする。まずスプレーノズルから吐出されるハー
ドコート液の霧化圧を２．５ｋｇ／ｃｍ3 とし、ハード
コート液の吐出速度を６ｃｃ／分とし、プラスチック成
形物からノズルの先端までの距離を６０ｍｍとし、レン
ズ移動スピードを２５０ｍｍ／秒とする。そして３０秒
間吐出させることによって、プラスチック成形物の凹面
上に塗布膜が形成される。10 g of this hard coat liquid is applied to the concave surface of NL70 (trade name: manufactured by Nikon Corporation) which is a plastic molded product by a spray method. Also in this example, the film formation apparatus described in the embodiment is used. The film forming conditions are as follows. First, the atomization pressure of the hard coat liquid discharged from the spray nozzle was set to 2.5 kg / cm 3 , the discharge speed of the hard coat liquid was set to 6 cc / min, and the distance from the plastic molding to the tip of the nozzle was set to 60 mm. The moving speed is 250 mm / sec. Then, by discharging for 30 seconds, a coating film is formed on the concave surface of the plastic molded product.
【００７３】その後、第１の実施例と同様にして、塗膜
が形成されたプラスチック成形物を、スピンコート法
で、１０００回転／秒の回転速度で５秒間回転させる。
その後、この塗布膜を１００℃かつ大気圧雰囲気のオー
ブン中で１時間乾燥させる。これにより、塗布は硬化し
て、プラスチック成形物上に厚さ約３μｍのハードコー
ト層が得られる。Thereafter, in the same manner as in the first embodiment, the plastic molded article on which the coating film is formed is rotated by a spin coating method at a rotation speed of 1000 rotations / second for 5 seconds.
Thereafter, the coating film is dried for 1 hour in an oven at 100 ° C. and atmospheric pressure. Thereby, the application is cured, and a hard coat layer having a thickness of about 3 μm is obtained on the plastic molded product.
【００７４】このハードコート層の表面を、三波長型蛍
光灯を用いて観察したところ、干渉縞はほとんど見られ
なかった。よって、表面の平滑性に優れたハードコート
層であることが確認された。When the surface of the hard coat layer was observed using a three-wavelength fluorescent lamp, almost no interference fringes were observed. Therefore, it was confirmed that the hard coat layer had excellent surface smoothness.
【００７５】次に、このハードコート層の上面に、第１
の実施例と同じ無機反射防止膜を設ける。これにより、
プラスチック成形物上にハードコート層および無機反射
防止膜が形成された第３の実施例のレンズサンプルが形
成される。Next, on the upper surface of the hard coat layer, the first
The same inorganic anti-reflection film as in the embodiment is provided. This allows
The lens sample of the third embodiment in which the hard coat layer and the inorganic anti-reflection film are formed on the plastic molding is formed.
【００７６】上記のように形成されたレンズサンプルの
視感透過率は９９％で優れた透過性を有していることが
分かった。また、耐擦傷性も向上していた。The luminous transmittance of the lens sample formed as described above was 99%, indicating that the lens sample had excellent transmittance. In addition, the scratch resistance was also improved.
【００７７】これにより、第３の実施例では、この発明
の厚膜形成方法を用いて、厚さ３μｍで、表面の平滑性
に優れ、耐擦傷性が従来より向上したハードコート層を
形成することができた。Thus, in the third embodiment, a hard coat layer having a thickness of 3 μm, excellent surface smoothness, and improved scratch resistance is formed by using the thick film forming method of the present invention. I was able to.
【００７８】（比較例１）比較例１として、第１の実施
例で用いられたビヒクルを、プラスチック成形物に、ス
ピンコート法を用いて塗布する例について説明する。(Comparative Example 1) As Comparative Example 1, an example in which the vehicle used in the first example is applied to a plastic molded product by a spin coating method will be described.
【００７９】ここでは、プラスチック成形物であるＮＬ
７０の凹面に、塗布液３ｇを滴下する。次いで、塗布液
を載せたプラスチック成形物を、第１の実施例と同様に
５００回転／分の回転速度で５秒間予備回転して、その
後１０００回転／分の回転速度で５秒間本回転させる。
これにより、プラスチック成形物の凹面上に塗膜が得ら
れる。Here, NL which is a plastic molded product is used.
On the concave surface of 70, 3 g of the coating liquid is dropped. Next, the plastic molded product on which the coating liquid is placed is preliminarily rotated at a rotation speed of 500 rotations / minute for 5 seconds in the same manner as in the first embodiment, and then fully rotated at a rotation speed of 1000 rotations / minute for 5 seconds.
Thereby, a coating film is obtained on the concave surface of the plastic molded product.
【００８０】その後、この塗膜を１００℃かつ大気雰囲
気のオーブン中で１時間乾燥させる。この結果、塗膜は
硬化して、プラスチック成形物上に厚さ約０．８μｍの
プライマー層が得られる。スピンコート法のみでは、こ
れ以上の厚さを有する膜を形成するのは困難であった。Thereafter, the coating film is dried for 1 hour in an oven at 100 ° C. and in the atmosphere. As a result, the coating film is cured, and a primer layer having a thickness of about 0.8 μm is obtained on the plastic molded product. It has been difficult to form a film having a thickness greater than this using only the spin coating method.
【００８１】プライマー層上に、第１の実施例と同様に
スピンコート法により有機シリコン系ハードコート層を
形成し、その上に真空蒸着法により無機反射防止膜を設
ける。これにより、比較例１のレンズサンプルが得られ
る。An organic silicon-based hard coat layer is formed on the primer layer by spin coating in the same manner as in the first embodiment, and an inorganic antireflection film is provided thereon by vacuum evaporation. Thereby, a lens sample of Comparative Example 1 is obtained.
【００８２】このレンズサンプルの視感透過率は９８％
であった。The luminous transmittance of this lens sample is 98%.
Met.
【００８３】さらに、このレンズサンプルの耐衝撃性
を、第１の実施例と同様の衝撃試験機を用いて調べた。
この結果、衝撃の強度は０．８Ｊであった。従って、第
１の実施例と比べると、膜厚が薄い分耐衝撃性が劣って
いることが分かる。Further, the impact resistance of this lens sample was examined using the same impact tester as in the first embodiment.
As a result, the impact strength was 0.8 J. Therefore, it can be seen that the impact resistance is inferior to the first embodiment due to the thinner film thickness.
【００８４】（比較例２）比較例２として、第２の実施
例と同様の顔料含有コート液をプラスチック成形物にス
プレー法のみで塗布する例につき説明する。(Comparative Example 2) As Comparative Example 2, an example in which the same pigment-containing coating liquid as in the second example is applied to a plastic molded product by a spray method alone will be described.
【００８５】ここでは、プラスチック成形物であるＮＬ
７０の凹面に、第１の実施例で用いた成膜装置を用いて
顔料含有コート液を塗布する。このとき、スプレーノズ
ルから吐出されるコート液の霧化圧、吐出速度、プラス
チック成形物からノズルの先端までの距離、レンズ移動
スピードおよび吐出時間を含むコート液の塗布条件は、
第２の実施例と同様とする。これにより、プラスチック
成形物の凹面上に塗膜が得られる。Here, NL which is a plastic molded product is used.
The pigment-containing coating liquid is applied to the concave surface of the substrate 70 using the film forming apparatus used in the first embodiment. At this time, the application conditions of the coating liquid including the atomization pressure of the coating liquid discharged from the spray nozzle, the discharging speed, the distance from the plastic molding to the tip of the nozzle, the lens moving speed and the discharging time are as follows:
This is the same as the second embodiment. Thereby, a coating film is obtained on the concave surface of the plastic molded product.
【００８６】その後、この塗膜を１００℃かつ大気雰囲
気のオーブン中で１時間乾燥させる。この結果、塗膜は
硬化して、厚さが約５．８μｍのプライマー層となる。Thereafter, the coating film is dried for 1 hour in an oven at 100 ° C. and in the atmosphere. As a result, the coating film cures to a primer layer having a thickness of about 5.8 μm.
【００８７】このプライマー層の表面を三波長型蛍光灯
を用いて観察したところ、干渉縞が確認された。これに
より、表面の平滑性が第２の実施例で得られたプライマ
ー層よりも劣っていることが分かる。When the surface of the primer layer was observed using a three-wavelength fluorescent lamp, interference fringes were confirmed. This indicates that the surface smoothness is inferior to the primer layer obtained in the second example.
【００８８】また、このプライマー層上に第２の実施例
と同様の有機シリコン系ハードコート層および無機反射
防止膜を設けて、比較例２のレンズサンプルが得られ
る。A lens sample of Comparative Example 2 is obtained by providing an organic silicon-based hard coat layer and an inorganic antireflection film similar to those of the second embodiment on this primer layer.
【００８９】このレンズサンプルの視感透過率は５５％
であり、第２の実施例のレンズサンプルと比較して透明
性が劣化していることが分かる。The luminous transmittance of this lens sample is 55%.
It can be seen that the transparency is deteriorated as compared with the lens sample of the second embodiment.
【００９０】また、このレンズサンプルの耐衝撃性を、
第２の実施例と同様の衝撃試験機を用いて調べたとこ
ろ、衝撃の強度は３．８Ｊであり、第２の実施例よりも
耐衝撃性が優れていることが分かる。これは、この例で
得られたプライマー層の厚さが、５．８μｍという非常
に厚い層であることに起因すると考えられる。また、プ
ライマー層が５μｍよりも厚い層になると、耐熱性およ
び面精度が低下するおそれがあり、質の劣ったレンズで
あることが分かる。The impact resistance of this lens sample was
Examination using the same impact tester as in the second example revealed that the impact strength was 3.8 J, which means that the impact resistance was superior to that of the second example. This is considered to be due to the fact that the thickness of the primer layer obtained in this example is a very thick layer of 5.8 μm. Further, when the primer layer is thicker than 5 μm, heat resistance and surface accuracy may be reduced, and it can be seen that the lens is inferior in quality.
【００９１】（比較例３）比較例３として、第１の実施
例で得られた塗布液を、プラスチック成形物に、ディッ
ピング法のみを用いて塗布する例につき説明する。(Comparative Example 3) As Comparative Example 3, an example in which the coating solution obtained in the first example is applied to a plastic molded product using only the dipping method will be described.
【００９２】ここでは、塗布液中にプラスチック成形物
であるＮＬ７０を浸漬した後、これを引き上げることに
よってプラスチック成形物の表面に塗膜を形成する。こ
のときの引き上げ速度を６ｍｍ／分とする。Here, NL70, which is a plastic molded product, is immersed in a coating solution, and then is pulled up to form a coating film on the surface of the plastic molded product. The lifting speed at this time is 6 mm / min.
【００９３】その後、得られた塗膜を１００℃かつ大気
雰囲気のオーブン中で１時間乾燥させる。この結果、塗
膜は硬化してプラスチック成形物上に厚さ約１．５μｍ
のプライマー層が得られる。Thereafter, the obtained coating film is dried for 1 hour in an oven at 100 ° C. and in the atmosphere. As a result, the coating film hardens and has a thickness of about 1.5 μm on the plastic molding.
Is obtained.
【００９４】このプライマー層の表面を三波長型蛍光灯
を用いて観察したところ、干渉縞が観察された。よっ
て、本比較例で得られるプライマー層の表面の平滑性
は、第１の実施例よりも劣っていることが分かる。When the surface of the primer layer was observed using a three-wavelength fluorescent lamp, interference fringes were observed. Therefore, it can be seen that the smoothness of the surface of the primer layer obtained in this comparative example is inferior to that of the first embodiment.
【００９５】また、このプライマー層上に、第１の実施
例と同様の有機シリコン系ハードコート層および無機反
射防止膜を設ける。これにより、比較例３のレンズサン
プルが得られる。Further, on this primer layer, an organic silicon-based hard coat layer and an inorganic anti-reflection film are provided as in the first embodiment. Thereby, a lens sample of Comparative Example 3 is obtained.
【００９６】このレンズサンプルの視感透過率は９９％
であり、レンズとして用いて良好な透明性を有している
ことが分かった。The luminous transmittance of this lens sample is 99%.
It was found that the composition had good transparency when used as a lens.
【００９７】さらに、このレンズサンプルの耐衝撃性
を、第１の実施例と同様の衝撃試験機を用いて調べたと
ころ、衝撃の強度は０．６５Ｊであり、第１の実施例と
比べると耐衝撃性が劣っていることが示された。Further, when the impact resistance of this lens sample was examined using the same impact tester as in the first embodiment, the impact strength was 0.65 J, which was lower than that of the first embodiment. Poor impact resistance was shown.
【００９８】[0098]
【発明の効果】本発明の成膜方法によれば、成膜される
膜の膜厚を容易に制御することができる。そのため、膜
の用途に適した膜厚を有する膜を容易に成膜することが
でき、成膜された成形物の性能をより向上させることが
できる。According to the film forming method of the present invention, the thickness of the film to be formed can be easily controlled. Therefore, a film having a film thickness suitable for the use of the film can be easily formed, and the performance of the formed molded product can be further improved.
【００９９】例えば、本発明の成膜方法により、耐衝撃
性を向上させるプライマー層や耐擦傷性を向上させるハ
ードコート層を形成すれば、耐衝撃性や耐擦傷性の性能
がより発揮される膜厚に容易に成膜することができる。For example, if a primer layer for improving the impact resistance and a hard coat layer for improving the scratch resistance are formed by the film forming method of the present invention, the performance of the impact resistance and the scratch resistance is further exhibited. The film can be easily formed to a thickness.
【０１００】また、本発明の成膜方法によれば、膜厚を
より均一にすることができる。従って、光による干渉縞
がほとんど発生しない。よって、本発明の成膜方法を光
学物品の製造に用いれば、干渉縞の発生しない、より特
性の優れた光学物品が得られる。Further, according to the film forming method of the present invention, the film thickness can be made more uniform. Therefore, interference fringes due to light hardly occur. Therefore, when the film forming method of the present invention is used for manufacturing an optical article, an optical article with no interference fringes and excellent characteristics can be obtained.
【０１０１】また、有色材料を添加した着色層の形成に
本発明の成膜方法を適用させれば、容易に膜厚を制御す
ることができる。このため、着色濃度の制御が容易にな
り、様々な着色濃度を有する成形物が容易に製造でき
る。When the film forming method of the present invention is applied to the formation of a colored layer to which a colored material is added, the film thickness can be easily controlled. For this reason, the control of the coloring concentration becomes easy, and molded articles having various coloring concentrations can be easily manufactured.
【０１０２】また、本発明の成膜装置は、塗布液を下地
に付着させるスプレーノズルと、下地を軸回転させる回
転機構とを具えている。このため、干渉縞が発生しない
膜を効率よく成膜するこができる。Further, the film forming apparatus of the present invention includes a spray nozzle for applying the coating liquid to the substrate and a rotating mechanism for rotating the substrate axially. Therefore, a film free of interference fringes can be efficiently formed.
【図１】この発明の成膜装置の概略的な構成図であり、
断面の切り口で示した図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a film forming apparatus of the present invention;
It is the figure shown by the cut of a cross section.
【図２】成膜装置の支持台付近の構造を示す、概略的な
拡大図である。FIG. 2 is a schematic enlarged view showing a structure near a support base of the film forming apparatus.
１０：成膜装置 １１：スプレーノズル １２：被成膜部材（下地、プラスチック成形物） １２ａ：成膜表面（凹面） １３：回転機構 １３ａ：支持台 １３ｂ：回転部 １４：吸着パッド １５：チャンバ １６：真空手段 １７：支持部材 １８：材料供給管 １９：工業用ロボット ２１：クリーンエア供給装置 ２３：排気用開口部 ２５：排気通路 ２７：排気ファン ２９ａ，２９ｂ：ミスト捕捉用フィルタ ３１：排気機構 10: Film forming apparatus 11: Spray nozzle 12: Film forming member (base, plastic molded product) 12a: Film forming surface (concave surface) 13: Rotating mechanism 13a: Support table 13b: Rotating section 14: Suction pad 15: Chamber 16 : Vacuum means 17: Support member 18: Material supply pipe 19: Industrial robot 21: Clean air supply device 23: Exhaust opening 25: Exhaust passage 27: Exhaust fan 29 a, 29 b: Mist trapping filter 31: Exhaust mechanism
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D073 AA01 BB03 CB21 DB24 DB26 4D075 AA02 AA54 AA63 AA76 AA82 AA84 AC64 AC79 AC92 CA02 CA04 CB02 DA19 DB31 DC24 EA05 EB32 EB43 EC02 EC11 4F042 AA10 AA28 DF09 DF32 EB09 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page F term (reference) 4D073 AA01 BB03 CB21 DB24 DB26 4D075 AA02 AA54 AA63 AA76 AA82 AA84 AC64 AC79 AC92 CA02 CA04 CB02 DA19 DB31 DC24 EA05 EB32 EB43 EC02 EC11 4F042 AA32 DF09
Claims (5)
となる塗布液を噴霧し、前記表面に前記塗布液を付着さ
せる付着工程と、 前記表面の略中心を軸として前記下地を軸回転させて、
前記表面に前記塗布液からなる塗膜を形成する成膜工程
とを含むことを特徴とする成膜方法。An application step of spraying a coating liquid to be a coating film on a surface of a base on which a coating film is to be formed, and applying the coating liquid to the surface; Rotate the axis
A film forming step of forming a coating film made of the coating liquid on the surface.
するものであることを特徴とする請求項１に記載の成膜
方法。2. The film forming method according to claim 1, wherein the axial rotation is such that the base rotates substantially horizontally.
イマー層または耐擦傷性を向上させるハードコート層で
あることを特徴とする請求項１または２に記載の成膜方
法。3. The film forming method according to claim 1, wherein the coating film is a primer layer for improving impact resistance or a hard coat layer for improving scratch resistance.
特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の成膜方
法。4. The film forming method according to claim 1, wherein the coating liquid contains a pigment or a dye.
中心を軸として軸回転させる回転機構と、 前記下地の表面に対向し、かつ塗布液を前記表面に噴霧
する位置に設置可能なスプレーノズルとを有することを
特徴とする成膜装置。5. A rotation mechanism for holding a base and rotating the shaft about a substantially center of the surface of the base, and a rotating mechanism facing the surface of the base and spraying a coating liquid onto the surface. A film forming apparatus, comprising: a spray nozzle.
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|---|---|---|---|
| JP10314219A JP2000140745A (en) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | Method and device for film formation |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10314219A JP2000140745A (en) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | Method and device for film formation |
Publications (1)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |