JP2000140470A - Sewing machine and manufacture of sewing machine component - Google Patents

Sewing machine and manufacture of sewing machine component

Info

Publication number
JP2000140470A
JP2000140470A JP11249368A JP24936899A JP2000140470A JP 2000140470 A JP2000140470 A JP 2000140470A JP 11249368 A JP11249368 A JP 11249368A JP 24936899 A JP24936899 A JP 24936899A JP 2000140470 A JP2000140470 A JP 2000140470A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sewing machine
layer
coating layer
carbon
diamond
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11249368A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihide Shimizu
好秀 清水
Hideo Shinomiya
秀夫 篠宮
Akitoshi Itabashi
昭寿 板橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamato Sewing Machine Mfg Co Ltd
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Yamato Sewing Machine Mfg Co Ltd
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamato Sewing Machine Mfg Co Ltd, Citizen Watch Co Ltd filed Critical Yamato Sewing Machine Mfg Co Ltd
Priority to JP11249368A priority Critical patent/JP2000140470A/en
Priority to CN 99119357 priority patent/CN1247907A/en
Priority to TW90115996A priority patent/TW470800B/en
Publication of JP2000140470A publication Critical patent/JP2000140470A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sewing Machines And Sewing (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the wear and burning of a sliding component and to cope with the acceleration of an operation speed by forming a coating layer with diamond-like carbon put on a sliding surface through an intermediate layer. SOLUTION: A sewing machine component 1 is a bar-shaped member composed of a metal such as chrome molybdenum steel and a heat treatment layer 10 is formed so as to increase the hardness on the surface. Also, on the surface of the heat treatment layer 10, the coating layer 12 made of the diamond-like carbon is attached through the intermediate layer 11. The intermediate layer 11 improves the attaching strength of the coating layer 12 to the heat treatment layer 10. Thus, the generation of burning in a sliding part is evaded, the durability of the sewing machine component is improved and the stable high-speed operation is made possible over the long period of time.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、他部品との摺動面
に、摩耗及び焼付き防止用の被覆層を形成してなる摺動
部品を備えるミシン、及び前記摺動部品の摺動面に前記
被覆層を形成する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sewing machine provided with a sliding part having a coating layer for preventing abrasion and seizure formed on a sliding surface with another part, and a sliding surface of the sliding part. And a method for forming the coating layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の工業用ミシンにおいては、縫製作
業の能率向上を図るために運転速度の高速化が進められ
ている。このような高速化の実現に当たっては、ミシン
の各部に存在する摺動部の摩耗を低減し、焼付きの発生
を防止することが重要な課題となっている。
2. Description of the Related Art In recent industrial sewing machines, the operating speed has been increased in order to improve the efficiency of sewing work. In realizing such a high speed, it is important to reduce wear of sliding parts existing in each part of the sewing machine and prevent occurrence of seizure.

【0003】摩耗及び焼付きの発生を防止するために
は、摺動面の硬度を高めることが有効である。従来にお
いては、針棒、ルーパ棒等、他部品に対して高速度にて
摺動する摺動部品の素材として、クロムモリブデン鋼
(JIS SCM415)等の高硬度の金属材を用い、
更に、これらの摺動面に、例えば、浸炭・焼入れ及び焼
戻し等の熱処理を行って硬度を高める対策が施されてい
る。
In order to prevent the occurrence of wear and seizure, it is effective to increase the hardness of the sliding surface. Conventionally, a high-hardness metal material such as chrome molybdenum steel (JIS SCM415) is used as a material of a sliding component that slides at a high speed with respect to other components such as a needle bar and a looper bar.
Further, measures are taken to increase the hardness by performing a heat treatment such as carburizing, quenching and tempering on these sliding surfaces.

【0004】ところが、このような熱処理を行ったとし
ても、実際に得られる硬度は、高々Hv (ビッカース硬
さ)= 750〜800 (kgf/mm2 )程度であり、近年のミシ
ンにおける縫製速度の高速化の要求に対し十分に対応し
得ないという問題があり、更なる高硬度化が切望されて
いる。
[0004] However, even when subjected to such heat treatment, actually obtained hardness is at most H v (Vickers hardness) = 750~800 (kgf / mm 2 ) about, sewing speed in recent years of the sewing machine However, there is a problem that it is not possible to sufficiently cope with the demand for higher speed, and further higher hardness is strongly desired.

【0005】このような要求に応えるために特開平6-7
1076号公報等には、熱処理が施された摺動部品の表面
を、窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)等の
高硬度のセラミックス層により被覆し、更なる高硬度化
を図る技術が開示されている。このようなセラミックス
層の硬度は、Hv =2000(kgf/mm2 )前後にも達し、近
年におけるミシンの高速化要求にある程度応え得るもの
となっている。
To meet such a demand, Japanese Patent Laid-Open Publication No.
No. 1076 discloses a technique for further increasing the hardness by coating the surface of a heat-treated sliding part with a high-hardness ceramic layer such as titanium nitride (TiN) or titanium carbide (TiC). It has been disclosed. The hardness of such ceramic layer, H v = 2000 (kgf / mm 2) reaches to the front and rear, which is assumed capable of meeting a certain extent on the sewing machine speed requirements in recent years.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが以上の如きセ
ラミックス層は、PVD(物理蒸着)法により形成され
ており、十分な被着強度を得るためには、300 ℃以上、
望ましくは、 400〜450℃前後の処理温度が必要であ
り、この処理温度が前述した熱処理における焼戻し温度
( 200℃〜 250℃)を上回ることから、セラミックス層
の形成過程において母材となる摺動部品の表面硬度が、
v = 500(kgf/mm2 )程度に低下し、また前記処理温
度の影響によりミシン部品が変形して、その形状精度が
悪化するという問題があった。
However, the ceramic layer as described above is formed by a PVD (physical vapor deposition) method.
Desirably, a processing temperature of about 400 to 450 ° C. is required, and since this processing temperature is higher than the tempering temperature (200 ° C. to 250 ° C.) in the heat treatment described above, sliding as a base material in the process of forming the ceramic layer is performed. The surface hardness of the part is
Hv = 500 (kgf / mm 2 ), and there is a problem that the sewing precision is deteriorated due to the deformation of the sewing machine part due to the effect of the processing temperature.

【0007】このような硬度低下が生じた場合、ミシン
の動作中にセラミックス層を介して加わる負荷によりミ
シン部品の表面が局所的に変形し易くなり、この変形部
を覆うセラミックス層が剥離して、この剥離部において
摩耗及び焼付きが発生する虞れが高くなる。この問題を
解消すべく、前記特開平6-71076号公報には、ミシン部
品の表面に、これよりも硬度の高いNiP、NiB等の
メッキ層を形成し、このメッキ層の表面に前述したセラ
ミックス層を形成する2層構造とし、各層間の硬度差を
少なくすることが提案されているが、この場合、メッキ
層の形成のためのメッキ処理とセラミックス層の形成の
ための成膜処理とが併せて必要となる。
When such a decrease in hardness occurs, the surface of the sewing machine component is easily locally deformed by a load applied via the ceramic layer during operation of the sewing machine, and the ceramic layer covering the deformed portion is peeled off. In addition, there is a high possibility that abrasion and seizure occur in the peeled portion. In order to solve this problem, JP-A-6-71076 discloses that a plating layer of NiP, NiB or the like having a higher hardness is formed on the surface of a sewing machine component, and the above-described ceramic is formed on the surface of the plating layer. It has been proposed to adopt a two-layer structure in which layers are formed to reduce the difference in hardness between the layers. In this case, a plating process for forming a plating layer and a film forming process for forming a ceramic layer are performed. Also required.

【0008】また一方、セラミックス層の形成において
は、 400〜450 ℃前後の処理温度が依然として必要であ
ることから、ミシン部品の形状精度が悪化するという問
題は解消されず、処理済みの対象部品の全品に対して形
状検査を実施し、形状不良が生じている場合、高硬度の
セラミックス層の表面に対し形状修正のための追加加工
を施す必要があり、これらの検査及び加工に多大の工数
を要するという問題があった。
On the other hand, in the formation of the ceramic layer, a processing temperature of about 400 to 450 ° C. is still required, so that the problem that the shape accuracy of the sewing machine component is deteriorated is not solved. When shape inspection is performed on all products and a shape defect occurs, it is necessary to perform additional processing for shape correction on the surface of the high-hardness ceramic layer, and a large number of man-hours are required for these inspections and processing. There was a problem of cost.

【0009】更に、セラミックス層の表面粗度は、母材
となるミシン部品の表面粗度よりも低下することは避け
られないことから、ミシンに組み込んで使用した場合、
セラミックス層の表面に局所的な摺動抵抗が加わり、H
v =2000(kgf/mm2 )前後の表面硬度を有するにも拘わ
らず、満足すべき摩耗の低減効果が得られないという問
題があった。
Further, since it is inevitable that the surface roughness of the ceramic layer is lower than the surface roughness of the sewing machine component as a base material, when the ceramic layer is incorporated in a sewing machine,
Local sliding resistance is added to the surface of the ceramic layer, and H
Despite having a surface hardness of about v = 2000 (kgf / mm 2 ), there is a problem that a satisfactory effect of reducing wear cannot be obtained.

【0010】この問題は、摺動部への潤滑油の供給量を
多くすることにより緩和されるが、例えば、ミシンアー
ムの先端部において上下に摺動する針棒の潤滑油量を多
くした場合、針棒の上下動に伴って潤滑油が外部に飛散
し、ミシンアームの下方にて縫製される縫製物を汚損す
る虞れがあり、潤滑油の供給量を増すことは望ましい対
策ではない。
This problem can be alleviated by increasing the amount of lubricating oil supplied to the sliding portion. For example, when the amount of lubricating oil of the needle bar that slides up and down at the end of the sewing machine arm is increased. In addition, the lubricating oil may be scattered to the outside as the needle bar moves up and down, thereby contaminating sewing products sewn below the sewing machine arm. Therefore, increasing the supply amount of the lubricating oil is not a desirable measure.

【0011】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、針棒、ルーパ棒等の摺動部品の摩耗及び焼付き
の発生を効果的に防止し、運転速度の高速化に対応し得
るミシンを提供し、またこのミシンに用いるミシン部品
の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and effectively prevents the wear and seizure of sliding parts such as a needle bar, a looper bar and the like, and responds to an increase in operating speed. An object of the present invention is to provide a sewing machine to be obtained and to provide a method of manufacturing a sewing machine component used for the sewing machine.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の第1発明に係る
ミシンは、他部品との摺動面に被覆層が形成された摺動
部品を備えるミシンにおいて、前記被覆層は、前記摺動
面に中間層を介して被着されたダイヤモンドライクカー
ボンによって形成してあることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a sewing machine provided with a sliding part having a coating layer formed on a sliding surface with another part, wherein the coating layer is formed of the sliding part. It is characterized by being formed of diamond-like carbon applied to the surface via an intermediate layer.

【0013】本発明においては、摺動部品の他部品の摺
動面に、TiN,TiC等のセラミックスよりも硬度が
高いダイヤモンドライクカーボン(DLC)製の被覆層
を中間層を介して形成し、焼付きの発生を効果的に防止
する。ダイヤモンドライクカーボン製の被覆層は、炭素
を含む反応ガス雰囲気中でのプラズマCVD法により、
150℃〜 200℃程度の低温下にて形成することができ、
処理温度の影響による対象部品の硬度低下及び形状精度
の悪化が抑制され、形状修正のための追加加工が不要と
なる。またダイヤモンドライクカーボン製の被覆層は、
前記中間層の作用により、摺動部品の摺動面に高強度に
被着させることができる。被覆層を構成するダイヤモン
ドライクカーボンは、ダイヤモンドによく似た構造及び
性質を有する非結晶の炭素であり、Hv =2000(kgf/mm
2 )以上の硬度を有し、耐摩耗性に優れており、また、
摩擦係数が極めて小さい上に自己潤滑性を有しており、
多くの潤滑油量を要することなく摩耗を低減することが
できる。
In the present invention, a coating layer made of diamond-like carbon (DLC) having a higher hardness than ceramics such as TiN or TiC is formed on the sliding surface of another sliding component via an intermediate layer, Effectively prevent seizure. The coating layer made of diamond-like carbon is formed by a plasma CVD method in a reaction gas atmosphere containing carbon.
It can be formed at a low temperature of about 150 ° C to 200 ° C,
A decrease in hardness and a deterioration in shape accuracy of the target component due to the influence of the processing temperature are suppressed, and additional processing for shape correction is not required. The coating layer made of diamond-like carbon is
Due to the action of the intermediate layer, it is possible to adhere the sliding surface of the sliding component with high strength. Diamond-like carbon constituting the coating layer is a carbon of amorphous having a similar structure and properties to the diamond, H v = 2000 (kgf / mm
2 ) It has the above hardness and excellent abrasion resistance.
Has a very small coefficient of friction and self-lubricating properties,
Wear can be reduced without requiring a large amount of lubricating oil.

【0014】第2発明に係るミシンは、前記中間層が、
シリコン、チタン、タングステン、炭化チタン、炭化珪
素又は炭化クロムからなる単一層により構成してあるこ
とを特徴とする。
[0014] In the sewing machine according to the second invention, the intermediate layer may include:
It is characterized by comprising a single layer of silicon, titanium, tungsten, titanium carbide, silicon carbide or chromium carbide.

【0015】この発明においては、摺動部品の摺動面と
ダイヤモンドライクカーボン製の被覆層との間に、これ
ら双方との被着性に優れた材料、即ち、シリコン、チタ
ン、タングステン、炭化チタン、炭化珪素又は炭化クロ
ムからなる単一の中間層を介在させ、ダイヤモンドライ
クカーボン製の被覆層を、高い被着強度を有して簡素に
形成する。
In the present invention, a material having excellent adhesion between the sliding surface of the sliding component and the coating layer made of diamond-like carbon, that is, silicon, titanium, tungsten, titanium carbide A single intermediate layer made of silicon carbide or chromium carbide is interposed, and a coating layer made of diamond-like carbon is simply formed with high adhesion strength.

【0016】また第3発明に係るミシンは、前記中間層
が、クロム又はチタンを主体とする材料からなる前記摺
動面側の第1層と、シリコン又はゲルマニウムを主体と
する材料からなる前記被覆層側の第2層とを備えること
を特徴とする。
Further, in the sewing machine according to a third aspect of the present invention, in the sewing machine, the intermediate layer is formed of a material mainly composed of chromium or titanium and the first layer on the sliding surface side, and the coating is composed mainly of silicon or germanium. And a second layer on the layer side.

【0017】この発明においては、摺動部品の摺動面と
ダイヤモンドライクカーボン製の被覆層との間に、クロ
ム又はチタンを主体とし、摺動面に対する被着性に優れ
た材料からなる第1層と、シリコン又はゲルマニウムを
主体とし、前記第1層及び被覆層に対する被着性に優れ
た材料からなる第2層とを備える2層構造の中間層を介
在させ、前記被覆層の被着強度をより一層高める。
In the present invention, a first material mainly composed of chromium or titanium and made of a material having excellent adhesion to the sliding surface is provided between the sliding surface of the sliding component and the coating layer made of diamond-like carbon. An intermediate layer having a two-layer structure including a first layer and a second layer mainly composed of silicon or germanium and made of a material having excellent adhesion to the first layer and the coating layer. Is further enhanced.

【0018】更に第4発明に係るミシンは、前記被覆層
が、針棒及びルーパ棒の外面に形成してあることを特徴
とする。
Further, a sewing machine according to a fourth aspect of the present invention is characterized in that the coating layer is formed on outer surfaces of a needle bar and a looper bar.

【0019】この発明においては、高速度にて摺動する
針棒の外面、及び高い負荷が加わった状態で摺動と揺動
とを組み合わせた複雑な動作を行うルーパ棒の外面にダ
イヤモンドライクカーボン製の被覆層を形成し、これら
の摩耗及び焼付きの発生を防止する。
According to the present invention, diamond-like carbon is applied to the outer surface of a needle bar that slides at a high speed and the outer surface of a looper bar that performs a complex operation combining sliding and rocking under a high load. To prevent wear and seizure.

【0020】また本発明に係るミシン部品の第1の製造
方法は、他部品との摺動面にダイヤモンドライクカーボ
ン製の被覆層が形成されたミシンの摺動部品を製造する
方法であって、前記摺動面を洗浄した摺動部品を真空槽
内に配置する工程と、前記真空槽の内部を排気する工程
と、排気された真空槽の内部にアルゴンガスを導入して
イオン化し、シリコン、チタン、タングステン、炭化チ
タン、炭化珪素又は炭化クロムをターゲットとするスパ
ッタリング処理により、前記摺動面に中間層を形成する
工程と、前記真空槽の内部のアルゴンガスを排出し、該
真空槽内に炭素を含む反応ガスを導入する工程と、前記
真空槽の内部に導入された反応ガスをプラズマ化し、プ
ラズマCVD処理により前記中間層の表面にダイヤモン
ドライクカーボン製の被覆層を形成する工程とを含むこ
とを特徴とする。
A first method for manufacturing a sewing machine component according to the present invention is a method for manufacturing a sliding component of a sewing machine having a diamond-like carbon coating layer formed on a sliding surface with another component, Arranging the sliding component having the cleaned sliding surface in a vacuum chamber, evacuating the vacuum chamber, introducing argon gas into the evacuated vacuum chamber to ionize the silicon, silicon, A step of forming an intermediate layer on the sliding surface by a sputtering process using titanium, tungsten, titanium carbide, silicon carbide or chromium carbide as a target, and discharging the argon gas inside the vacuum chamber, into the vacuum chamber. A step of introducing a reaction gas containing carbon, and a step of converting the reaction gas introduced into the vacuum chamber into plasma, and forming a diamond-like carbon on the surface of the intermediate layer by a plasma CVD process. Characterized in that it comprises a step of forming a coating layer.

【0021】また本発明に係るミシン部品の第2の製造
方法は、他部品との摺動面にダイヤモンドライクカーボ
ン製の被覆層が形成されたミシンの摺動部品を製造する
方法であって、前記摺動面を洗浄した摺動部品を真空槽
内に配置する工程と、前記真空槽の内部を排気する工程
と、排気された真空槽の内部にアルゴンガスを導入して
イオン化し、クロム又はチタンをターゲットとするスパ
ッタリング処理により、前記摺動面に第1層を形成する
工程と、該工程に続いて、シリコン又はゲルマニウムを
ターゲットとするスパッタリング処理により、前記第1
層の表面に第2層を形成する工程と、前記真空槽の内部
のアルゴンガスを排出し、該真空槽内に炭素を含む反応
ガスを導入する工程と、前記真空槽の内部に導入された
反応ガスをプラズマ化し、プラズマCVD処理により前
記第2層の表面にダイヤモンドライクカーボン製の被覆
層を形成する工程とを含むことを特徴とする。
A second method for producing a sewing machine component according to the present invention is a method for producing a sliding component of a sewing machine having a diamond-like carbon coating layer formed on a sliding surface with another component, Arranging the sliding component having the cleaned sliding surface in a vacuum chamber, evacuating the inside of the vacuum chamber, introducing argon gas into the evacuated vacuum chamber to ionize the chromium or Forming a first layer on the sliding surface by a sputtering process using titanium as a target, and subsequently performing the first process by using a sputtering process using silicon or germanium as a target.
A step of forming a second layer on the surface of the layer, a step of discharging argon gas inside the vacuum chamber and introducing a reaction gas containing carbon into the vacuum chamber, and a step of introducing a reaction gas containing carbon into the vacuum chamber. Forming a coating layer made of diamond-like carbon on the surface of the second layer by plasma CVD treatment of the reaction gas.

【0022】これらの方法においては、ミシンの摺動部
品の摺動面へのダイヤモンドライクカーボン製の被覆層
を、摺動面との間に介在させる1層又は2層の中間層と
共に、一連の工程により一括して形成する。
In these methods, a series of a diamond-like carbon coating layer on the sliding surface of the sliding part of the sewing machine is formed together with one or two intermediate layers interposed between the sliding surface and the diamond-like carbon. It is formed collectively by a process.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下本発明をその実施の形態を示
す図面に基づいて詳述する。図1は、本発明に係るミシ
ンに用いられるミシン部品の要部拡大断面図である。図
示のミシン部品1は、クロムモリブデン鋼(JIS S
CM415)等の金属からなる棒状の部材であり、その
表面には、その硬度を高めるべく、例えば、浸炭・焼入
れの後に焼戻しを行って熱処理層10が形成されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings showing the embodiments. FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a sewing machine component used in the sewing machine according to the present invention. The illustrated sewing machine component 1 is made of chromium molybdenum steel (JIS S
A rod-shaped member made of a metal such as CM415) has a surface on which a heat treatment layer 10 is formed by tempering after carburizing and quenching, for example, in order to increase its hardness.

【0024】またこの熱処理層10の表面には、ダイヤモ
ンドライクカーボン製の被覆層12が中間層11を介して被
着されている。該中間層11は、熱処理層10に対する被覆
層12の被着強度を高めるために設けてあり、図1に示す
中間層11は、ミシン部品1を構成するクロムモリブデン
鋼、及び被覆層12を構成するダイヤモンドライクカーボ
ンの双方に対する被着性に優れた材料、具体的には、シ
リコン(Si)、チタン(Ti)、タングステン
(W)、炭化チタン(TiC)、炭化珪素(SiC)及
び炭化クロム(CrC)の内のいずれか一つからなる単
一層として、1μm程度の厚さを有して形成されてい
る。
On the surface of the heat treatment layer 10, a coating layer 12 made of diamond-like carbon is applied via an intermediate layer 11. The intermediate layer 11 is provided in order to increase the adhesion strength of the coating layer 12 to the heat treatment layer 10. The intermediate layer 11 shown in FIG. 1 forms the chromium molybdenum steel and the coating layer 12 that constitute the sewing machine component 1. Materials having excellent adhesion to both diamond-like carbons, specifically, silicon (Si), titanium (Ti), tungsten (W), titanium carbide (TiC), silicon carbide (SiC), and chromium carbide ( As a single layer made of any one of CrC), it has a thickness of about 1 μm.

【0025】図2は、本発明に係るミシンに用いられる
ミシン部品の他の実施の形態を示す要部拡大断面図であ
る。本図において、クロムモリブデン鋼等の金属からな
るミシン部品1の表面には、図1におけると同様の熱処
理層10が形成され、該熱処理層10の表面には、ダイヤモ
ンドライクカーボン製の被覆層12が、両者の被着強度を
高めるための中間層13を介して被着されている。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part showing another embodiment of a sewing machine component used for the sewing machine according to the present invention. In this figure, a heat treatment layer 10 similar to that in FIG. 1 is formed on the surface of a sewing machine component 1 made of a metal such as chromium molybdenum steel, and a coating layer 12 made of diamond-like carbon is formed on the surface of the heat treatment layer 10. Are applied via an intermediate layer 13 for increasing the adhesion strength between the two.

【0026】図2に示す中間層13は、図1に示す中間層
11と異なり、クロム(Cr)又はチタン(Ti)を主体
とし、熱処理層10を構成するクロムモリブデン鋼に対す
る被着性に優れた材料からなる熱処理層10側の第1層 1
3aと、シリコン(Si)又はゲルマニウム(Ge)を主
体とし、前記第1層 13aの構成材料及び前記被覆層12を
構成するダイヤモンドライクカーボンの双方に対する被
着性に優れた材料からなる第2層 13bとを備える2層構
造として、両層 13a,13bの夫々が0.5μm程度の厚さ
を有して形成されている。
The intermediate layer 13 shown in FIG. 2 is the same as the intermediate layer shown in FIG.
Unlike the first layer 11, the first layer 1 on the side of the heat treatment layer 10 made of a material mainly composed of chromium (Cr) or titanium (Ti) and having excellent adhesion to chromium molybdenum steel constituting the heat treatment layer 10
3a and a second layer mainly composed of silicon (Si) or germanium (Ge) and made of a material having excellent adhesion to both the constituent material of the first layer 13a and the diamond-like carbon constituting the coating layer 12 13b, the two layers 13a and 13b are each formed to have a thickness of about 0.5 μm.

【0027】前記被覆層12は、以上の如き中間層11又は
中間層13の表面に1μm程度の厚さを有して形成されて
いる。このような被覆層12を構成するダイヤモンドライ
クカーボンは、ダイヤモンド状薄膜、硬質カーボン被
膜、水素アモルファスカーボン被膜等とも称される非結
晶の炭素薄膜であって、Hv =2000(kgf/mm2 )以上の
硬度を有し、耐摩耗性に優れ、摩擦係数が極めて小さ
く、更には自己潤滑性を有しており、被覆層12を備える
ミシン部品1は、その表面を摺動面として有利に用いる
ことができる。
The coating layer 12 is formed on the surface of the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 with a thickness of about 1 μm. Diamond-like carbon forming such cover layer 12 is a diamond-like thin film, a hard carbon coating, a carbon thin film referred amorphous with hydrogen amorphous carbon film or the like, H v = 2000 (kgf / mm 2) The sewing machine component 1 having the above hardness, excellent wear resistance, extremely low friction coefficient, and self-lubricating property, and having the coating layer 12, is advantageously used on its surface as a sliding surface. be able to.

【0028】またダイヤモンドライクカーボン製の被覆
層12は、後に詳述する如く、高真空状態に維持された真
空槽の内部に、ベンゼン(C6 6 )ガス等の炭素を含
むガスを反応ガスとして導入し、該反応ガスをプラズマ
化して、前記真空槽の内部に配された対象物品の表面に
被着させるプラズマCVD法により、前記熱処理層10の
焼戻し温度( 200℃〜 250℃)を下回る 150℃〜 200℃
程度の低温下にて形成可能であり、母材となるミシン部
品1表面の熱処理層10は、浸炭・焼入れ及び焼戻しによ
り実現された本来の表面硬度を保つことができ、また、
被覆槽12の形成に伴うミシン部品1の形状精度の悪化を
軽微に抑えることができ、形状修正のための加工が不要
となる。
As will be described in detail later, the coating layer 12 made of diamond-like carbon is provided with a gas containing carbon such as benzene (C 6 H 6 ) gas inside a vacuum chamber maintained in a high vacuum state. The reaction gas is turned into a plasma, and the temperature is lowered below the tempering temperature (200 ° C. to 250 ° C.) of the heat treatment layer 10 by a plasma CVD method in which the reaction gas is turned into plasma and adhered to the surface of the target article arranged inside the vacuum chamber. 150 ℃ ~ 200 ℃
The heat treatment layer 10 on the surface of the sewing machine component 1 which can be formed at a low temperature of the order, and can maintain the original surface hardness realized by carburizing, quenching and tempering,
Deterioration of the shape accuracy of the sewing machine component 1 due to the formation of the coating tank 12 can be slightly suppressed, and processing for correcting the shape becomes unnecessary.

【0029】また、以上の如く形成される被覆層12の表
面粗度は、母材となるミシン部品1表面の熱処理層10の
表面粗度に比較して低く、その表面を摺動面とする使用
状態において、被覆層12の表面に局所的な摺動抵抗が加
わることは避けられないが、被覆層12の構成材料である
ダイヤモンドライクカーボンは、前述の如く自己潤滑性
を有する硬質の薄膜であるから、その表面を摺動面とす
るミシン部品1の使用状態において発生する摩耗を、潤
滑油の過度の使用を強いることなく軽微に抑えることが
でき、高い耐久性が得られる。
The surface roughness of the coating layer 12 formed as described above is lower than the surface roughness of the heat treatment layer 10 on the surface of the sewing machine component 1 serving as a base material, and the surface is used as a sliding surface. In use, local sliding resistance is inevitably added to the surface of the coating layer 12, but diamond-like carbon, which is a constituent material of the coating layer 12, is a hard thin film having self-lubricating properties as described above. Therefore, abrasion generated in the use state of the sewing machine component 1 having the surface as a sliding surface can be slightly suppressed without forcing excessive use of the lubricating oil, and high durability can be obtained.

【0030】更に前記被覆層12は、熱処理層10との間に
介在させた中間層11,13の作用により、高い被着強度を
有して熱処理層10に被着されている。従って、摺動部に
加わる負荷による熱処理層10の局所的な変形、及びこの
変形に伴う被覆層12の剥離を軽微に抑えることができ、
被覆層12の表面を摺動面とするミシン部品1の使用状態
において、摺動部における焼付きの発生を有効に回避す
ることができ、ミシン部品1の耐久性が飛躍的に向上
し、長期に亘って安定した高速運転を行わせることが可
能となる。
Further, the coating layer 12 is applied to the heat treatment layer 10 with high adhesion strength by the action of the intermediate layers 11 and 13 interposed between the coating layer 12 and the heat treatment layer 10. Therefore, local deformation of the heat treatment layer 10 due to a load applied to the sliding portion, and peeling of the coating layer 12 due to this deformation can be suppressed slightly.
In the use state of the sewing machine component 1 having the surface of the coating layer 12 as a sliding surface, the occurrence of seizure in the sliding portion can be effectively avoided, and the durability of the sewing machine component 1 is dramatically improved, And stable high-speed operation can be performed.

【0031】なお、1層構造の中間層11を設けた図1の
構成と、第1層 13aと第2層 13bとを備える2層構造の
中間層13を設けた図2の構成とを比較すると、図1の構
成においては、図2の構成に比較して、中間層11を含め
た被覆層12の形成工程が簡素化されるという利点があ
り、図2の構成においては、図1の構成に比較して、被
覆層12の被着強度をより一層高め得るという利点があ
る。即ち、図2の構成において第2層 13bを構成するシ
リコン(Si)又はゲルマニウム(Ge)は、ダイヤモ
ンドライクカーボンを構成する炭素と共に、周期律表上
にて第IVb 属に属し、いずれもダイヤモンド構造を有し
ているため、ダイヤモンドライクカーボン製の被覆層12
を高い被着強度にて形成することができる。
It should be noted that the configuration of FIG. 1 in which the intermediate layer 11 having a single-layer structure is provided is compared with the configuration of FIG. 2 in which an intermediate layer 13 having a two-layer structure including a first layer 13a and a second layer 13b is provided. Then, the configuration of FIG. 1 has an advantage that the process of forming the covering layer 12 including the intermediate layer 11 is simplified as compared with the configuration of FIG. 2, and the configuration of FIG. As compared with the configuration, there is an advantage that the coating strength of the coating layer 12 can be further increased. That is, in the configuration of FIG. 2, silicon (Si) or germanium (Ge) forming the second layer 13b, together with carbon forming the diamond-like carbon, belongs to Group IVb on the periodic table. Has a coating layer 12 made of diamond-like carbon.
Can be formed with high adhesion strength.

【0032】次に、ダイヤモンドライクカーボン製の被
覆層を形成してなる試料に対し、該被覆層の機械的性質
(主として耐摩耗性)を評価すべく行った引っかき試験
の結果について説明する。この試験は、前記被覆層の表
面物性を、該表面の引っかき時に生じる抵抗力を測定す
ることにより評価する構成としたHEIDON−14型
の表面物性試験機を用い、以下のA〜Eに示す5種の試
料に対して行い、夫々の結果を比較した。
Next, the results of a scratch test performed on a sample formed with a coating layer made of diamond-like carbon to evaluate the mechanical properties (mainly wear resistance) of the coating layer will be described. This test uses a HEIDON-14 type surface physical property tester configured to evaluate the surface physical properties of the coating layer by measuring the resistance generated when the surface is scratched. The test was performed on seed samples, and the respective results were compared.

【0033】試験に用いた試料は、いずれも、ミシンの
摺動部品として使用されるクロムモリブデン鋼からなる
基材の表面を研磨し、この研磨面に対し、以下に示す夫
々の条件にてダイヤモンドライクカーボンを被着して構
成されている。
In each of the samples used for the test, the surface of a chromium molybdenum steel base material used as a sliding part of a sewing machine was polished, and the polished surface was polished with diamond under the following conditions. It is constructed by applying like carbon.

【0034】A:基材の表面に直接ダイヤモンドライク
カーボン製の被覆層を形成した試料 B:基材の表面に、炭化チタン(TiC)からなる単一
の中間層を介してダイヤモンドライクカーボン製の被覆
層を形成した試料 C:基材の表面に、炭化シリコン(SiC)からなる単
一の中間層を介してダイヤモンドライクカーボン製の被
覆層を形成した試料 D:基材の表面に、チタン(Ti)からなる第1層とシ
リコン(Si)からなる第2層とを介してダイヤモンド
ライクカーボン製の被覆層を形成した試料 E:基材の表面に、チタン(Ti)からなる第1層と炭
化珪素(SiC)からなる第2層とを介してダイヤモン
ドライクカーボン製の被覆層を形成した試料
A: A sample in which a coating layer made of diamond-like carbon was directly formed on the surface of a substrate. B: A sample made of diamond-like carbon was formed on the surface of a substrate via a single intermediate layer made of titanium carbide (TiC). Sample having a coating layer formed thereon C: Sample having a coating layer made of diamond-like carbon formed on a surface of a substrate via a single intermediate layer made of silicon carbide (SiC) D: Titanium ( Sample in which a coating layer made of diamond-like carbon was formed via a first layer made of Ti) and a second layer made of silicon (Si) E: A first layer made of titanium (Ti) was formed on the surface of the base material Sample in which a coating layer made of diamond-like carbon is formed via a second layer made of silicon carbide (SiC)

【0035】なお、夫々の試料におけるダイヤモンドラ
イクカーボン製の被覆層の厚さは、いずれも1.0μm
とし、各中間層の厚さは、いずれも0.5μmとしてあ
る。またこれらの試料に対する引っかき試験は、先端の
角度が90°、先端の曲率半径が30μmであるダイヤモン
ド圧子を用い、引っかき速度が30mm/分なる条件下に
て、10〜 500gなる範囲で引っかき荷重を10g毎に変化
させて行った。
The thickness of the coating layer made of diamond-like carbon in each sample was 1.0 μm.
Each intermediate layer has a thickness of 0.5 μm. The scratch test on these samples was performed using a diamond indenter having a tip angle of 90 ° and a tip radius of curvature of 30 μm, and applying a scratch load in a range of 10 to 500 g under a condition of a scratching speed of 30 mm / min. The test was carried out by changing every 10 g.

【0036】図3は、以上の各試料に対する引っかき試
験の結果を示す図である。本図の横軸は引っかき荷重
を、縦軸は引っかき抵抗値を夫々示しており、図中の各
線は、前記A〜Eの各試料に対して前述した試験を実施
し、得られた測定値をグラフ上にプロットした各点を直
線近似して得られたものである。
FIG. 3 is a diagram showing the results of a scratch test on each of the above samples. The abscissa in this figure indicates the scratch load, and the ordinate indicates the scratch resistance value, and each line in the figure indicates the measured value obtained by performing the above-described test on each of the samples A to E. Are obtained by linear approximation of the points plotted on the graph.

【0037】本図に明らかな如く、前記試料A〜Eの夫
々において、引っかき荷重が所定の臨界荷重に達したと
き引っかき抵抗値が急激に増加する現象を示している。
このことは、前記臨界荷重以下においては、試験機の圧
子が被覆層の表面上にて滑っている状態にあり、臨界荷
重以上においては、前記圧子が被覆層の表面に発生した
亀裂に引っかかり、引っかき抵抗が急増するためである
と考えられる。従って図3上の各線の変曲点が、夫々に
対応する試料A〜E表面の被覆層に亀裂が発生する臨界
荷重であり、この値の大小により基材に対する被覆層の
被着性の良否を判定することができる。
As is apparent from the figure, in each of the samples A to E, a phenomenon in which the scratch resistance rapidly increases when the scratch load reaches a predetermined critical load is shown.
This means that, below the critical load, the indenter of the testing machine is in a state of sliding on the surface of the coating layer, and above the critical load, the indenter is caught by a crack generated on the surface of the coating layer, It is considered that the scratch resistance increased rapidly. Therefore, the inflection point of each line in FIG. 3 is a critical load at which a crack occurs in the coating layer on the surface of each of the samples A to E, and the magnitude of this value indicates whether the adherence of the coating layer to the base material is good or bad. Can be determined.

【0038】図3に示す如く、基材の表面に直接ダイヤ
モンドライクカーボン製の被覆層が形成された試料Aの
臨界荷重は、80gである。これに対し、基材の表面に単
一の中間層を介してダイヤモンドライクカーボン製の被
覆層が形成され、図1に示す実施の形態に対応する試料
B及びCの臨界荷重は、試料Bの場合が180g、試料Cの
場合が220gである。更に、基材の表面に2層の中間層を
介してダイヤモンドライクカーボン製の被覆層が形成さ
れ、図2に示す実施の形態に対応する試料D及びEの臨
界荷重は、試料Dの場合が350g、試料Eの場合が380gに
も達している。以上の結果から本発明によった場合、ダ
イヤモンドライクカーボン製の被覆層を高い被着強度に
て形成し得ることが明らかである。
As shown in FIG. 3, the critical load of the sample A in which the coating layer made of diamond-like carbon was formed directly on the surface of the substrate was 80 g. On the other hand, a coating layer made of diamond-like carbon was formed on the surface of the base material via a single intermediate layer, and the critical loads of Samples B and C corresponding to the embodiment shown in FIG. The weight is 180 g in the case and 220 g in the case of the sample C. Further, a coating layer made of diamond-like carbon is formed on the surface of the base material via two intermediate layers, and the critical loads of Samples D and E corresponding to the embodiment shown in FIG. In the case of 350 g and the sample E, it reaches 380 g. From the above results, it is clear that in the case of the present invention, a diamond-like carbon coating layer can be formed with high adhesion strength.

【0039】ダイヤモンドライクカーボン製の被覆層12
は、以下に示す一連の手順により、中間層11又は中間層
13と共に形成することができる。図4は、中間層11又は
中間層13の形成に使用するスパッタ装置の構成を模式的
に示す断面図である。
A coating layer 12 made of diamond-like carbon
Is the intermediate layer 11 or the intermediate layer by a series of procedures shown below.
13 can be formed. FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a sputtering apparatus used for forming the intermediate layer 11 or 13.

【0040】図示の如くスパッタ装置4は、ガス導入口
41と排気口42とを備える真空槽40内部に、一側壁の近傍
に配されたターゲットホルダ43と、他側壁の近傍に前記
ターゲットホルダ43に面して配された試料台44と、ター
ゲットホルダ43の配設部を他部と隔絶する図示しないシ
ャッタとを備えて構成されている。なお前記試料台44
は、その上部に後述の如くセットされるミシン部品1と
の間、又は前記真空槽40との間にて電気的絶縁を確保し
得るように設けられている。
As shown, the sputtering apparatus 4 has a gas inlet
A target holder 43 disposed in the vicinity of one side wall, a sample stage 44 disposed in the vicinity of the other side wall and facing the target holder 43, and a target holder. The shutter is provided with a shutter (not shown) that isolates the arrangement portion 43 from other portions. The sample table 44
Is provided on the upper portion thereof so as to secure electrical insulation between the sewing machine component 1 set as described later and the vacuum tank 40.

【0041】このようなスパッタ装置4を用い、ミシン
部品1の表面に中間層11又は13を形成する場合、まず、
真空槽40内部のターゲットホルダ43に中間層11又は中間
層13の素材からなるターゲット46を取付け、ターゲット
電源47に接続する一方、対象となるミシン部品1を、そ
の表面を洗浄して真空槽40内に導入し、前記ターゲット
46に対向するように前記試料台44上にセットし、直流電
源48に接続する。
When the intermediate layer 11 or 13 is formed on the surface of the sewing machine component 1 using such a sputtering apparatus 4, first,
A target 46 made of the material of the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 is attached to a target holder 43 inside the vacuum chamber 40 and connected to a target power source 47. On the other hand, the surface of the target sewing machine component 1 is cleaned and the vacuum chamber 40 is cleaned. Introduced into the target
It is set on the sample stage 44 so as to face 46 and is connected to a DC power supply 48.

【0042】次に、前記シャッタを閉じ、真空槽40の内
部を排気口42を介して3×10-5Torr以下になるま
で真空排気し、その後、ガス導入口41からスパッタガス
となるアルゴンガスを適量導入して、真空槽40の内部の
真空度を3×10-3Torrとなるように調整する。
Next, the shutter is closed and the inside of the vacuum chamber 40 is evacuated to 3 × 10 −5 Torr or less through the exhaust port 42, and then argon gas serving as a sputtering gas is supplied from the gas inlet 41. , And the degree of vacuum inside the vacuum chamber 40 is adjusted to 3 × 10 −3 Torr.

【0043】この状態で、直流電源48に接続されたミシ
ン部品1に−50Vの直流負電圧を、また、ターゲット
電源47に接続されたターゲット46に−500〜−600
Vの直流負電圧を夫々印加すると、真空槽40の内部にプ
ラズマが発生し、内部に導入されたアルゴンガスがイオ
ン化され、前記ミシン部品1の表面がイオンボンバード
されて該表面の酸化膜が除去される。
In this state, a DC negative voltage of −50 V is applied to the sewing machine component 1 connected to the DC power supply 48, and −500 to −600 is applied to the target 46 connected to the target power supply 47.
When a DC negative voltage of V is applied, plasma is generated inside the vacuum chamber 40, the argon gas introduced therein is ionized, and the surface of the sewing machine component 1 is ion bombarded to remove an oxide film on the surface. Is done.

【0044】次いで、前記シャッタを開き、ターゲット
46を露出させると、該ターゲット46の表面が、前記プラ
ズマ中のアルゴンイオンによりスパッタリングされ、該
表面から叩き出されたターゲット46の構成分子が前記ミ
シン部品1の表面に付着し、該表面に前記ターゲット46
の材料からなる中間層が形成される。
Next, the shutter is opened and the target
When the target 46 is exposed, the surface of the target 46 is sputtered by the argon ions in the plasma, and the constituent molecules of the target 46 that have been knocked out from the surface adhere to the surface of the sewing machine component 1 and the surface Target 46
Is formed.

【0045】図1に示す如く単一層として構成された中
間層11を形成する場合、前記ターゲット46として、シリ
コン(Si)、チタン(Ti)、タングステン(W)、
炭化チタン(TiC)、炭化珪素(SiC)又は炭化ク
ロム(CrC)を用いたスパッタリング処理を一回行え
ばよい。
When the intermediate layer 11 is formed as a single layer as shown in FIG. 1, the target 46 is made of silicon (Si), titanium (Ti), tungsten (W),
A single sputtering process using titanium carbide (TiC), silicon carbide (SiC), or chromium carbide (CrC) may be performed.

【0046】なお、前記炭化チタン又は炭化珪素からな
る中間層11を形成する場合には、前記ターゲット46とし
て、チタン(Ti)又はシリコン(Si)を用い、アル
ゴンイオンによるスパッタリングを行うと共に、前記真
空槽40の内部に、ガス導入口41から、メタン(CH4
ガス等、炭素を含むガスを適量導入し、該ガス中の炭素
分子と、スパッタされたチタン又はシリコンの分子とを
反応させつつ前記ミシン部品1の表面に付着させる反応
スパッタリング処理により、炭化チタン又は炭化珪素か
らなる中間層11を形成することも可能である。
When the intermediate layer 11 made of titanium carbide or silicon carbide is formed, titanium (Ti) or silicon (Si) is used as the target 46, and sputtering is performed using argon ions, Methane (CH 4 ) from the gas inlet 41 into the tank 40
A suitable amount of a gas containing carbon, such as a gas, is introduced, and the carbon molecules in the gas and the sputtered titanium or silicon molecules are reacted with each other while reacting to adhere to the surface of the sewing machine component 1 by using titanium carbide or It is also possible to form intermediate layer 11 made of silicon carbide.

【0047】図2に示す如く、第1層 13aと第2層 13b
とを備える2層構造の中間層13を形成する場合、真空槽
40の内部に、各別のシャッタにより隔絶された2つのタ
ーゲットホルダ43,43を備えるスパッタ装置4を用い、
一方のターゲットホルダ43に、クロム又はチタンからな
るターゲット46を、他方のターゲットホルダ43に、シリ
コン又はゲルマニウムからなるターゲット46を夫々セッ
トし、これらのターゲット46,46に対するスパッタリン
グ処理を順次実行すればよい。
As shown in FIG. 2, the first layer 13a and the second layer 13b
When forming the intermediate layer 13 having a two-layer structure comprising
Using a sputtering apparatus 4 having two target holders 43 and 43 separated by separate shutters inside 40,
A target 46 made of chromium or titanium may be set on one target holder 43, and a target 46 made of silicon or germanium may be set on the other target holder 43, and sputtering may be performed on these targets 46, 46 sequentially. .

【0048】以上の手順により形成される中間層11又は
中間層13の厚さは、スパッタリング処理時間の長短に対
応するから、夫々のスパッタリング処理を所定の厚さが
得られた時点で停止することにより所望の厚さを有する
中間層11又は中間層13を形成することができる。
Since the thickness of the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 formed according to the above procedure corresponds to the length of the sputtering process time, it is necessary to stop each sputtering process when a predetermined thickness is obtained. Thereby, the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 having a desired thickness can be formed.

【0049】次に、以上の如く形成された中間層11又は
中間層13の表面にダイヤモンドライクカーボンからなる
被覆層12を形成する手順について説明する。図5は、被
覆層12の形成に使用するプラズマCVD装置の構成を模
式的に示す断面図である。
Next, a procedure for forming the coating layer 12 made of diamond-like carbon on the surface of the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 formed as described above will be described. FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a plasma CVD apparatus used for forming the coating layer 12. As shown in FIG.

【0050】図示の如くプラズマCVD装置5は、ガス
導入口51と排気口52とを備える真空槽50の内側上部に、
アノード53及びフィラメント54を備える一方、内側下部
に前記アノード53に対向配置された試料台55を備えて構
成されている。
As shown in the figure, the plasma CVD apparatus 5 has an upper part inside a vacuum chamber 50 having a gas inlet 51 and an exhaust port 52.
While having an anode 53 and a filament 54, it is provided with a sample stage 55 disposed in the lower part of the inside facing the anode 53.

【0051】このようなプラズマCVD装置5を用い、
ダイヤモンドライクカーボンからなる被覆層12を形成す
る場合、前記中間層11又は中間層13の形成工程を終えた
ミシン部品1を真空槽50内に導入し、前記アノード53に
対向するように前記試料台55上にセットし、直流電源56
に接続する。
Using such a plasma CVD apparatus 5,
When forming the coating layer 12 made of diamond-like carbon, the sewing machine component 1 after the step of forming the intermediate layer 11 or the intermediate layer 13 is introduced into the vacuum chamber 50, and the sample table is placed so as to face the anode 53. 55 on the DC power supply 56
Connect to

【0052】次に、真空槽50の内部を排気口52を介して
3×10-5Torr以下になるまで真空排気し、その
後、ガス導入口51から、炭素を含む反応ガス、例えば、
ベンゼン(C6 6 )ガスを適量導入し、真空槽50の内
部の真空度を3×10-3Torrとなるように調整す
る。
Next, the inside of the vacuum chamber 50 is evacuated to 3 × 10 −5 Torr or less through an exhaust port 52, and then a reaction gas containing carbon, for example,
An appropriate amount of benzene (C 6 H 6 ) gas is introduced, and the degree of vacuum inside the vacuum chamber 50 is adjusted to 3 × 10 −3 Torr.

【0053】この状態で、前記直流電源56に接続された
ミシン部品1に−3kVの直流負電圧を、またアノード
電源57に接続されたアノード53に+50Vの直流電圧を
夫々印加し、更に、フィラメント電源58に接続されたフ
ィラメント54に、30Aの電流が流れるように10V前
後の交流電圧を印加する。これにより、真空槽50内部の
試料台55上にセットされたミシン部品1の周囲において
プラズマが発生し、前記反応ガスに含まれる炭素が、負
電圧が印加されたミシン部品1の表面に前記中間層11又
は13を介して蒸着せしめられてダイヤモンドライクカー
ボン製の被覆層12が形成される。
In this state, a DC negative voltage of -3 kV is applied to the sewing machine component 1 connected to the DC power source 56, and a DC voltage of +50 V is applied to the anode 53 connected to the anode power source 57. An AC voltage of about 10 V is applied to the filament 54 connected to the power supply 58 so that a current of 30 A flows. As a result, plasma is generated around the sewing machine component 1 set on the sample table 55 inside the vacuum chamber 50, and carbon contained in the reaction gas is deposited on the surface of the sewing machine component 1 to which the negative voltage has been applied. The coating layer 12 made of diamond-like carbon is deposited through the layer 11 or 13.

【0054】このように形成される被覆層12の厚さは、
以上の如きプラズマCVD処理の時間の長短に対応する
から、所定の時点で処理を停止することにより、所望の
厚さを有する被覆層12を形成することができる。
The thickness of the coating layer 12 thus formed is
Since the length of the plasma CVD process is as described above, by stopping the process at a predetermined time, the coating layer 12 having a desired thickness can be formed.

【0055】なお以上の説明においては、中間層11又は
13を形成するためのスパッタリング処理と、被覆層12を
形成するためのプラズマCVD処理とを別個の装置(ス
パッタ装置4及びプラズマCVD装置5)によって行う
こととしてあるが、これらの処理は共に真空槽内にて行
われるものであり、共通の装置により一括して行わせる
ことが可能である。この場合には、中間層11又は13の形
成工程を終えた後、真空槽内部のアルゴンガスを排出
し、炭素を含む反応ガスを導入すればよい。
In the above description, the intermediate layer 11 or
The sputtering process for forming the layer 13 and the plasma CVD process for forming the coating layer 12 are performed by separate apparatuses (a sputtering apparatus 4 and a plasma CVD apparatus 5). It is performed within the device and can be performed collectively by a common device. In this case, after the step of forming the intermediate layer 11 or 13 is completed, the argon gas in the vacuum chamber may be exhausted, and a reaction gas containing carbon may be introduced.

【0056】また、被覆層12を形成するためのプラズマ
CVD処理において用いられる反応ガスは、前述したベ
ンゼン(C6 6 )ガスに限らず、メタン(CH4 )ガ
ス、エチレン(C2 4 )ガス等の炭素を含むガス、ヘ
キサン(C6 14)等の炭素を含む液体の蒸気を用いる
ことができる。
The reaction gas used in the plasma CVD process for forming the coating layer 12 is not limited to the above-mentioned benzene (C 6 H 6 ) gas, but may be methane (CH 4 ) gas or ethylene (C 2 H 4 ) gas. A) Gas containing carbon such as gas, and liquid vapor containing carbon such as hexane (C 6 H 14 ) can be used.

【0057】更に、被覆層12の形成に用いるプラズマC
VD装置は、図5に示す構成の装置に限らず、種々の構
成のものが実用化されており、これらの装置を被覆層12
の形成に用いてもよいことは言うまでもない。
Further, the plasma C used to form the coating layer 12
The VD device is not limited to the device having the configuration shown in FIG. 5, but various types of devices are in practical use.
It is needless to say that it may be used for the formation of.

【0058】図6は、以上の如く処理された摺動面を備
えるミシン部品の一例としてのルーパ棒の動作説明図で
ある。図示のルーパ棒2は、オーバロックミシンの針板
上において上ルーパ20を動作させる丸棒状の部材であ
る。ルーパ棒2の支持部材となるルーパ支持メタル21
は、図示しないミシンベッド内に固設されており、該ル
ーパ支持メタル21の先端部には、円柱形をなすルーパ案
内22が、その軸心を略水平に保って回動自在に嵌め込み
支持されている。ルーパ案内22は、径方向に貫通するガ
イド孔23を備えており、ルーパ棒2は、その中途部を前
記ガイド孔23に挿通させ、軸長方向への摺動自在に支持
されている。
FIG. 6 is an explanatory diagram of the operation of a looper bar as an example of a sewing machine component having a sliding surface treated as described above. The illustrated looper bar 2 is a round bar-shaped member that operates the upper looper 20 on the needle plate of the overlock sewing machine. Looper support metal 21 serving as a support member for looper bar 2
Is fixedly installed in a sewing machine bed (not shown), and a looper guide 22 having a columnar shape is rotatably fitted and supported at the tip of the looper support metal 21 while keeping its axis substantially horizontal. ing. The looper guide 22 is provided with a guide hole 23 penetrating in the radial direction, and the looper bar 2 is supported so as to be slidable in the axial length direction with an intermediate portion thereof inserted through the guide hole 23.

【0059】ミシンベッド上に突出するルーパ棒2の上
端部には、上ルーパ20が取り付けてあり、またミシンベ
ッド内に位置するルーパ棒2の下端部は、ルーパクラン
ク24を介してルーパ軸Sに連結されている。ルーパ軸S
は、図示しない下軸からの伝動により所定の角度範囲内
において反復回動し、これに応じてルーパクランク24
は、その長手方向を含む面内において所定の角度範囲に
おいて揺動する。
An upper looper 20 is attached to the upper end of the looper bar 2 protruding above the sewing machine bed. The lower end of the looper bar 2 located in the sewing machine bed is connected to a looper shaft S via a looper crank 24. It is connected to. Looper shaft S
Is repeatedly rotated within a predetermined angle range by transmission from a lower shaft (not shown), and the looper crank 24
Swings within a predetermined angle range in a plane including its longitudinal direction.

【0060】このような揺動が生じた場合、ルーパ棒2
は、その下端の押し上げ及び引き下げにより、ルーパ案
内22のガイド孔23内にて高速度にて摺動しつつ、ルーパ
案内22の転動を伴って揺動し、図6(a)に示す状態と
図6(b)に示す状態とを反復する動作を行い、該ルー
パ棒2の上端に取り付けた上ルーパ20は、図6(a)に
示す左進位置と図6(b)に示す右退位置との間にて反
復動作する。
When such a swing occurs, the looper rod 2
When the lower end is pushed up and down, it slides at a high speed in the guide hole 23 of the looper guide 22 and swings with the rolling of the looper guide 22, and the state shown in FIG. 6B is repeated, and the upper looper 20 attached to the upper end of the looper bar 2 moves leftward as shown in FIG. 6A and rightward as shown in FIG. 6B. It repeatedly operates between the retreat position.

【0061】以上の動作をなすルーパ棒2には、ガイド
孔23の内面に対する摺動抵抗が作用すると共に、前記揺
動に伴って曲げ力が作用し、特に、ガイド孔23の開口縁
との接触部に摩耗及び焼付きが発生し易い。このような
摩耗及び焼付きは、ガイド孔23に対しての摺動面となる
ルーパ棒2の外面に、前述した如く、中間層11,13を介
して強固に被着されたダイヤモンドライクカーボン製の
被覆層12を形成することにより効果的に防止することが
でき、長期に亘って安定した動作を行わせることが可能
となる。なお前記被覆層12は、ガイド孔23の内面に形成
してもよい。
A sliding resistance against the inner surface of the guide hole 23 acts on the looper rod 2 performing the above operation, and a bending force acts on the looper rod 2 in accordance with the swing. Wear and seizure are likely to occur at the contact portion. Such wear and seizure is caused by the diamond-like carbon made of diamond-like carbon firmly adhered to the outer surface of the looper rod 2 serving as a sliding surface against the guide hole 23 via the intermediate layers 11 and 13 as described above. By forming the coating layer 12 of the above, it can be effectively prevented, and a stable operation can be performed for a long time. The coating layer 12 may be formed on the inner surface of the guide hole 23.

【0062】図7は、以上の如く処理された摺動面を備
えるミシン部品の他の一例としての針棒の動作説明図で
ある。図示の如く針棒3は、ミシンアームAの上,下壁
に夫々嵌着固定されたブッシュ30,31により軸長方向の
2か所を支持され、これらのブッシュ30,31の間に装着
された針棒抱き32を含む公知の伝動機構を介して、ミシ
ンアームA内部の図示しない上軸に連結されており、該
上軸の回転に応じて、上下のブッシュ30,31をガイドと
して上下動するようになしてある。
FIG. 7 is a diagram for explaining the operation of a needle bar as another example of a sewing machine component having a sliding surface treated as described above. As shown in the figure, the needle bar 3 is supported at two locations in the axial direction by bushes 30, 31 fitted and fixed respectively to the upper and lower walls of the sewing machine arm A, and is mounted between these bushes 30, 31. Is connected to an upper shaft (not shown) inside the sewing machine arm A via a known transmission mechanism including a needle bar holder 32, and the upper and lower bushes 30, 31 are used as guides in accordance with the rotation of the upper shaft. It is made to do.

【0063】ミシンアームAの下部に突出する針棒3の
下端部には、針止め33を介して針34が取り付けてある。
針棒3の上下動は、前記針34を上下動させるべく、図中
にHとして示す如く比較的長いストロークにて生じ、こ
の上下動に伴って針棒3の外面は、上下のブッシュ30,
31の内面に対して摺動し、この摺動速度はミシンの高速
化に伴って増大して摩耗及び焼付きの発生を招来する。
A needle 34 is attached via a needle stopper 33 to the lower end of the needle bar 3 projecting below the sewing machine arm A.
The vertical movement of the needle bar 3 is caused by a relatively long stroke as shown by H in the drawing in order to move the needle 34 up and down.
The inner sliding surface 31 slides, and the sliding speed increases with the speeding up of the sewing machine, causing wear and seizure.

【0064】このような摩耗及び焼付きは、高速での摺
動面となる針棒3の外面に、前述した如く、中間層11,
13を介して強固に被着されたダイヤモンドライクカーボ
ン製の被覆層12を形成することにより効果的に防止する
ことができ、長期に亘って安定した動作を行わせること
が可能となる。なお前記被覆層12は、ブッシュ30,31の
内面に形成してもよい。
As described above, such abrasion and seizure are caused on the outer surface of the needle bar 3 serving as a sliding surface at a high speed, as described above.
By forming the coating layer 12 made of diamond-like carbon firmly adhered through the layer 13, it can be effectively prevented, and a stable operation can be performed for a long time. The coating layer 12 may be formed on the inner surfaces of the bushes 30, 31.

【0065】また被覆層12を構成するダイヤモンドライ
クカーボンは、高硬度を有する非結晶の炭素薄膜であ
り、摩擦係数が極めて小さく、自己潤滑性を有してお
り、ミシンアームAの内部に比較的少量の潤滑油を供給
することにより良好な潤滑状態が得られ、下部のブッシ
ュ31との嵌合隙間を経て潤滑油が漏れ出し、針34により
縫製中の生地を汚損する虞れを緩和することができる。
The diamond-like carbon forming the coating layer 12 is an amorphous carbon thin film having a high hardness, having a very small friction coefficient and a self-lubricating property. By supplying a small amount of lubricating oil, a good lubricating state can be obtained, and the lubricating oil leaks through the fitting gap with the lower bush 31 and alleviates the risk of soiling the fabric being sewn by the needle 34. Can be.

【0066】なお、以上の如きダイヤモンドライクカー
ボン製の被覆層12の形成は、前述したルーパ棒2及び針
棒3の摺動面に限らず、摩耗及び焼付きの発生の虞れが
ある他部品との摺動面を有するミシン部品の全般に対し
て実施することができ、これにより、運転速度の高速化
に対応することができる。
The formation of the coating layer 12 made of diamond-like carbon as described above is not limited to the sliding surfaces of the looper bar 2 and the needle bar 3 described above, and other components that may cause abrasion and seizure may occur. The present invention can be applied to all sewing machine parts having a sliding surface with the above, and it is possible to cope with an increase in operating speed.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上詳述した如く本発明に係るミシンに
おいては、摺動部品の他部品との摺動面に、高硬度であ
ると共に摩擦係数が小さいダイヤモンドライクカーボン
製の被覆層を形成したから、摺動部における摩耗及び焼
付きの発生を有効に防止することができ、また前記被覆
層を中間層を介して被着させたから、強固な被着状態が
得られ長期に亘って安定した高速運転が可能となる。
As described above in detail, in the sewing machine according to the present invention, a coating layer made of diamond-like carbon having a high hardness and a small friction coefficient is formed on the sliding surface of the sliding part with other parts. Therefore, the occurrence of abrasion and seizure in the sliding portion can be effectively prevented, and since the coating layer is applied via the intermediate layer, a strong applied state is obtained and stable for a long time. High-speed operation becomes possible.

【0068】また摺動面と被覆層との間の中間層を、摺
動面及び被覆層の双方に対する被着性に優れた材料から
なる単一層により構成したから、この中間層を含めた被
覆層の形成工程を簡素化でき、形成された被覆層に十分
な被着強度を実現することができる。
Further, since the intermediate layer between the sliding surface and the coating layer is constituted by a single layer made of a material having excellent adhesion to both the sliding surface and the coating layer, the coating including the intermediate layer is included. The layer forming process can be simplified, and sufficient adhesion strength can be realized for the formed coating layer.

【0069】また摺動面と被覆層との間の中間層を、摺
動面に対する被着性に優れた材料からなる第1層と、第
1層及び被覆層の双方に対する被着性に優れた材料から
なる第2層とを備える2層構造としたから、前記被覆層
を良好な被着強度を有して形成することができ、摩耗及
び焼付きの発生をより確実に防止することができる。
Further, the intermediate layer between the sliding surface and the coating layer has a first layer made of a material having excellent adhesion to the sliding surface, and an excellent adhesion to both the first layer and the coating layer. And a second layer made of a material having a good quality, the coating layer can be formed with good adhesion strength, and the occurrence of wear and seizure can be more reliably prevented. it can.

【0070】またダイヤモンドライクカーボン製の被覆
層は、母材となる摺動部品表面の熱処理温度よりも低い
温度下にて形成することができ、母材の表面硬度が低下
することがなく、母材の変形に伴う被覆層の剥離を防止
して焼付きの発生をより効果的に防止することができ
る。
Further, the coating layer made of diamond-like carbon can be formed at a temperature lower than the heat treatment temperature of the surface of the sliding component as the base material, and the surface hardness of the base material does not decrease. The coating layer can be prevented from peeling off due to the deformation of the material, and the occurrence of seizure can be more effectively prevented.

【0071】また被覆層を構成するダイヤモンドライク
カーボンは、非結晶の炭素薄膜であり、自己潤滑性を有
するから、高速下においても少量の潤滑油により良好な
潤滑性能が得られ、余剰な潤滑油の飛散により縫製中の
生地が汚損される虞れが緩和される。
The diamond-like carbon constituting the coating layer is an amorphous carbon thin film and has a self-lubricating property. Therefore, even at high speed, a good amount of lubricating performance can be obtained with a small amount of lubricating oil, and excess lubricating oil can be obtained. The risk of the cloth being sewn being soiled due to the scattering of water is alleviated.

【0072】更に、高速度にて摺動する針棒、及び高負
荷の作用下にて摺動するルーパ棒の外面にダイヤモンド
ライクカーボン製の被覆層を形成したから、重要部品で
ある針棒及びルーパ棒における摩耗及び焼付きの発生を
有効に防止することができ、運転速度の高速化に対応し
得るようになる。
Further, since a coating layer made of diamond-like carbon was formed on the outer surface of the needle bar that slides at a high speed and the looper bar that slides under a high load, the needle bar which is an important part It is possible to effectively prevent the occurrence of wear and seizure on the looper bar, and it is possible to cope with an increase in operating speed.

【0073】また本発明に係るミシン部品の製造方法に
おいては、ミシンの摺動部品の摺動面へのダイヤモンド
ライクカーボン製の被覆層を、前記摺動面との間に介在
させる中間層と共に一連の工程により一括して形成する
ことができる等、本発明は優れた効果を奏する。
Further, in the method of manufacturing a sewing machine component according to the present invention, a coating layer made of diamond-like carbon is provided on the sliding surface of the sliding component of the sewing machine together with the intermediate layer interposed between the sliding surface and the sliding surface. The present invention has excellent effects, for example, it can be formed in a lump by the above steps.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るミシンに用いられるミシン部品の
要部拡大断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a sewing machine component used for a sewing machine according to the present invention.

【図2】本発明に係るミシンに用いられるミシン部品の
他の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part showing another embodiment of a sewing machine component used for the sewing machine according to the present invention.

【図3】種々の条件にてダイヤモンドライクカーボンの
被覆層を形成してなる試料に対して行った引っかき試験
の結果を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing the results of a scratch test performed on samples formed with a diamond-like carbon coating layer under various conditions.

【図4】中間層の形成に使用するスパッタ装置の構成を
模式的に示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a sputtering apparatus used for forming an intermediate layer.

【図5】被覆層の形成に使用するプラズマCVD装置の
構成を模式的に示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of a plasma CVD apparatus used for forming a coating layer.

【図6】ミシン部品の一例としてのルーパ棒の動作説明
図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of an operation of a looper bar as an example of a sewing machine component.

【図7】ミシン部品の他の一例としての針棒の動作説明
図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of an operation of a needle bar as another example of the sewing machine component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ミシン部品 2 ルーパ棒 3 針棒 4 スパッタ装置 5 プラズマCVD装置 10 熱処理層 11 中間層 12 被覆層 13 中間層 13a 第1層 13b 第2層 22 ルーパ案内 23 ガイド孔 30 ブッシュ 31 ブッシュ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sewing machine part 2 Looper bar 3 Needle bar 4 Sputtering device 5 Plasma CVD device 10 Heat treatment layer 11 Intermediate layer 12 Coating layer 13 Intermediate layer 13a First layer 13b Second layer 22 Looper guide 23 Guide hole 30 Bush 31 Bush

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠宮 秀夫 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内 (72)発明者 板橋 昭寿 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hideo Shinomiya 6-11-12 Honcho, Tanashi-shi, Tokyo Citizen Watch Co., Ltd. Inside Tanashi Factory (72) Inventor Akiju Itabashi 6-1-112, Honcho, Tanashi-shi, Tokyo No. Citizen Watch Co., Ltd. Tanashi Factory

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 他部品との摺動面に被覆層が形成された
摺動部品を備えるミシンにおいて、 前記被覆層は、前記摺動面に中間層を介して被着された
ダイヤモンドライクカーボンによって形成してあること
を特徴とするミシン。
1. A sewing machine provided with a sliding component having a coating layer formed on a sliding surface with another component, wherein the coating layer is formed of diamond-like carbon adhered to the sliding surface via an intermediate layer. A sewing machine characterized by being formed.
【請求項2】 前記中間層は、シリコン、チタン、タン
グステン、炭化チタン、炭化珪素又は炭化クロムからな
る単一層により構成してある請求項1記載のミシン。
2. The sewing machine according to claim 1, wherein the intermediate layer comprises a single layer made of silicon, titanium, tungsten, titanium carbide, silicon carbide or chromium carbide.
【請求項3】 前記中間層は、クロム又はチタンを主体
とする材料からなる前記摺動面側の第1層と、シリコン
又はゲルマニウムを主体とする材料からなる前記被覆層
側の第2層とを備える請求項1記載のミシン。
3. The intermediate layer has a first layer on the sliding surface side made of a material mainly composed of chromium or titanium, and a second layer on the side of the coating layer mainly composed of silicon or germanium. The sewing machine according to claim 1, further comprising:
【請求項4】 前記被覆層は、針棒及びルーパ棒の外面
に形成してある請求項1乃至請求項3のいずれかに記載
のミシン。
4. The sewing machine according to claim 1, wherein the coating layer is formed on outer surfaces of a needle bar and a looper bar.
【請求項5】 他部品との摺動面にダイヤモンドライク
カーボン製の被覆層が形成されたミシンの摺動部品を製
造する方法であって、 前記摺動面を洗浄した摺動部品を真空槽内に配置する工
程と、 前記真空槽の内部を排気する工程と、 排気された真空槽の内部にアルゴンガスを導入してイオ
ン化し、シリコン、チタン、タングステン、炭化チタ
ン、炭化珪素又は炭化クロムをターゲットとするスパッ
タリング処理により、前記摺動面に中間層を形成する工
程と、 前記真空槽の内部のアルゴンガスを排出し、該真空槽内
に炭素を含む反応ガスを導入する工程と、 前記真空槽の内部に導入された反応ガスをプラズマ化
し、プラズマCVD処理により前記中間層の表面にダイ
ヤモンドライクカーボン製の被覆層を形成する工程とを
含むことを特徴とするミシン部品の製造方法。
5. A method for manufacturing a sliding part of a sewing machine in which a coating layer made of diamond-like carbon is formed on a sliding surface with another part. And arranging the inside of the vacuum chamber, and introducing an argon gas into the evacuated vacuum chamber to ionize the silicon, titanium, tungsten, titanium carbide, silicon carbide or chromium carbide. A step of forming an intermediate layer on the sliding surface by sputtering as a target; a step of discharging argon gas inside the vacuum chamber and introducing a reaction gas containing carbon into the vacuum chamber; Forming a coating layer made of diamond-like carbon on the surface of the intermediate layer by plasma CVD processing of the reaction gas introduced into the inside of the tank. Sewing machine parts method of manufacture to be.
【請求項6】 他部品との摺動面にダイヤモンドライク
カーボン製の被覆層が形成されたミシンの摺動部品を製
造する方法であって、 前記摺動面を洗浄した摺動部品を真空槽内に配置する工
程と、 前記真空槽の内部を排気する工程と、 排気された真空槽の内部にアルゴンガスを導入してイオ
ン化し、クロム又はチタンをターゲットとするスパッタ
リング処理により、前記摺動面に第1層を形成する工程
と、 該工程に続いて、シリコン又はゲルマニウムをターゲッ
トとするスパッタリング処理により、前記第1層の表面
に第2層を形成する工程と、 前記真空槽の内部のアルゴンガスを排出し、該真空槽内
に炭素を含む反応ガスを導入する工程と、 前記真空槽の内部に導入された反応ガスをプラズマ化
し、プラズマCVD処理により前記第2層の表面にダイ
ヤモンドライクカーボン製の被覆層を形成する工程とを
含むことを特徴とするミシン部品の製造方法。
6. A method for manufacturing a sliding part of a sewing machine in which a coating layer made of diamond-like carbon is formed on a sliding surface with another part. And a step of evacuating the inside of the vacuum chamber; introducing an argon gas into the evacuated vacuum chamber to ionize it; and performing sputtering using a target of chromium or titanium to form the sliding surface. Forming a second layer on the surface of the first layer by a sputtering process using silicon or germanium as a target, followed by argon in the vacuum chamber. Discharging a gas and introducing a reaction gas containing carbon into the vacuum chamber; turning the reaction gas introduced into the vacuum chamber into plasma; and performing plasma CVD on the second layer. Forming a coating layer made of diamond-like carbon on the surface of the sewing machine.
JP11249368A 1998-09-11 1999-09-02 Sewing machine and manufacture of sewing machine component Pending JP2000140470A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11249368A JP2000140470A (en) 1998-09-11 1999-09-02 Sewing machine and manufacture of sewing machine component
CN 99119357 CN1247907A (en) 1998-09-11 1999-09-10 Method for manufacture of sewing machine and its parts
TW90115996A TW470800B (en) 1998-09-11 1999-09-10 Sewing machine and manufacture of sewing machine component

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25900398 1998-09-11
JP10-259003 1998-09-11
JP11249368A JP2000140470A (en) 1998-09-11 1999-09-02 Sewing machine and manufacture of sewing machine component

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000140470A true JP2000140470A (en) 2000-05-23

Family

ID=26539246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11249368A Pending JP2000140470A (en) 1998-09-11 1999-09-02 Sewing machine and manufacture of sewing machine component

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2000140470A (en)
CN (1) CN1247907A (en)
TW (1) TW470800B (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002335814A (en) * 2001-05-18 2002-11-26 Citizen Watch Co Ltd Fishhook and method for forming hard coating onto the fishhook
JP2003033591A (en) * 2001-07-19 2003-02-04 Juki Corp Sliding part of sewing machine
JP2003111990A (en) * 2001-10-09 2003-04-15 Brother Ind Ltd Sewing machine
JP2005052507A (en) * 2003-08-07 2005-03-03 Brother Ind Ltd Method for manufacturing sliding part and sliding part
KR100797726B1 (en) * 2001-04-09 2008-01-23 쥬키 가부시키가이샤 Parts for sewing machine
EP3483319B1 (en) 2017-11-09 2021-12-22 Groz-Beckert KG Textile tool with indicator film

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007167317A (en) * 2005-12-21 2007-07-05 Juki Corp Sewing machine components
JP5433897B2 (en) * 2009-10-22 2014-03-05 好孝 光田 Diamond-like carbon film forming member and method for producing the same
JP6552247B2 (en) 2015-04-01 2019-07-31 蛇の目ミシン工業株式会社 sewing machine
CN107345342A (en) * 2017-07-04 2017-11-14 杰克缝纫机股份有限公司 A kind of presser feet of sewing machine

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100797726B1 (en) * 2001-04-09 2008-01-23 쥬키 가부시키가이샤 Parts for sewing machine
JP2002335814A (en) * 2001-05-18 2002-11-26 Citizen Watch Co Ltd Fishhook and method for forming hard coating onto the fishhook
JP2003033591A (en) * 2001-07-19 2003-02-04 Juki Corp Sliding part of sewing machine
JP2003111990A (en) * 2001-10-09 2003-04-15 Brother Ind Ltd Sewing machine
JP2005052507A (en) * 2003-08-07 2005-03-03 Brother Ind Ltd Method for manufacturing sliding part and sliding part
EP3483319B1 (en) 2017-11-09 2021-12-22 Groz-Beckert KG Textile tool with indicator film

Also Published As

Publication number Publication date
CN1247907A (en) 2000-03-22
TW470800B (en) 2002-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101699774B1 (en) Diamond-like carbon film-formed material and method for producing the same
JP6177267B2 (en) Sliding member and sliding machine
JP6297049B2 (en) Component having coating and method for manufacturing the same
EP1783349A1 (en) Piston ring, piston, cylinder and piston pin having amorphous and hard carbon film
JP2000140470A (en) Sewing machine and manufacture of sewing machine component
JP2007169698A (en) Amorphous hard carbon coating film
WO2000053386A1 (en) Resin molding mold and method of forming hard coat on resin molding mold
Drábik et al. Influence of substrate material and its plasma pretreatment on adhesion and properties of WC/aC: H nanocomposite coatings deposited at low temperature
JP5145051B2 (en) Hard film covering member and method for manufacturing the same
JP4360082B2 (en) Method for producing amorphous carbon coating and sliding part with amorphous carbon coating
JP5077293B2 (en) Method for producing amorphous carbon coating and sliding part with amorphous carbon coating
JP4209815B2 (en) Medical instruments
JP6533818B2 (en) Sliding member and piston ring
JP6453826B2 (en) Sliding member and manufacturing method thereof
JP2018076873A5 (en) Liners for internal combustion engines
JP2866070B2 (en) Heating roller device
JPH11318520A (en) Exterior parts for wristwatch made of titanium metal and their surface treatment
JP4372663B2 (en) Engine valve system parts
JP2002036791A (en) Engraving needle for seal and method for forming hard coat on engraving needle for seal
CN114000147A (en) Wear-resistant rubber material and preparation method thereof
Sanchette et al. Single cycle plasma nitriding and hard coating deposition in a cathodic arc evaporation device
CN111910151A (en) Bullet body, preparation method thereof and medical instrument
CN109487226B (en) Titanium alloy protective coating and preparation method thereof
JP3107541B2 (en) Heating roller device
JP7302878B2 (en) Carbon film and sliding member

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040113

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040312

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040413

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040611

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20040616

A912 Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20040716