JP2000131217A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
近視野光を生成する、あるいは近視野光を散乱させて検出するための微小開口を設けたプローブによって対象物との近視野相互作用を起こす近視野光プローブにおいて、
前記微小開口あるいは前記微小開口付近に、前記微小開口の大きさよりも微小な構造を形成したことを特徴とする近視野光プローブ。
【請求項２】
前記微小な構造を形成することにより、所定の光強度分布からなる光学特性分布を有することを特徴とする請求項１に記載の近視野光プローブ。
【請求項３】
前記微小な構造は、前記微小開口の内部且つ開口端近傍に形成された凹凸形状を有する溝構造からなることを特徴とする請求項２に記載の近視野光プローブ。
【請求項４】
前記微小な構造は、前記微小開口の内部且つ開口端近傍に形成された材質の分布が所定の分布になるように配置されて形成された材質分布構造からなることを特徴とする請求項２に記載の近視野光プローブ。
【請求項５】
前記微小開口は、平面基板に貫通して形成された逆錐状の穴の底部であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の近視野光プローブ。
【請求項６】
前記微小開口は、先鋭化された光導波路の先端に形成されたものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の近視野光プローブ。
【請求項７】
前記微小開口は、先鋭な突起が形成されたカンチレバーの前記突起部に形成されたものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の近視野光プローブ。
上記の目的を達成するために、請求項１に係る近視野光プローブは、近視野光を生成する、あるいは近視野光を散乱させて検出するための微小開口を設けたプローブによって対象物との近視野相互作用を起こす近視野光プローブにおいて、前記微小開口あるいは前記微小開口付近に、前記微小開口の大きさよりも微小な構造を形成したことを特徴とする。
また請求項２に係る近視野光プローブは、請求項１の発明において、前記微小な構造を形成することにより、所定の光強度分布からなる光学特性分布を有することを特徴とする。
この発明によれば、前記開口のサイズに関わらず光学特性分布を変化させることによって前記微小構造を形成することが可能となり、容易で安価に高分解能顕微鏡あるいは高密度記録情報処理装置のための近視野光プローブを実現できる。
また請求項３に係る近視野光プローブは、請求項２の発明において、前記微小な構造は、前記微小開口の内部且つ開口端近傍に形成された凹凸形状を有する溝構造からなることを特徴とする。
この発明によれば、光プローブの先端の形状を加工するだけの変更であるので
、製造工程を大きく変更することなく新しい効果が得られる。
また請求項４に係る近視野光プローブは、請求項２の発明において、前記微小な構造は、前記微小開口の内部且つ開口端近傍に形成された材質の分布が所定の分布になるように配置されて形成された材質分布構造からなることを特徴とする。
この発明によれば、前記開口内に注入する材質とその粒子サイズを選択、制御することが容易であり、望む分解能あるいは記録密度を得ることができる。
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