JP2000111618A - Bist circuit and semiconductor integrated circuit - Google Patents

Bist circuit and semiconductor integrated circuit

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JP2000111618A
JP2000111618A JP10294498A JP29449898A JP2000111618A JP 2000111618 A JP2000111618 A JP 2000111618A JP 10294498 A JP10294498 A JP 10294498A JP 29449898 A JP29449898 A JP 29449898A JP 2000111618 A JP2000111618 A JP 2000111618A
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紳夫 井田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the occupying area of a wiring area of a BIST(built-in self test) circuit. SOLUTION: A BIST circuit is divided into a BIST sub-circuit 1, a data input circuit 4 with every memory 2A, 2B, 2C and a data output circuit 5. The data input circuit 4 generates test bit data 16, 17 by the bit number per one word of the memory 2A from respresentative one bit data 13 from the BIST sub-circuit 1 to be written in the memory 2A. The data output circuit 5 generates test bit data 18, 19 read out of the memory 2A and degeneracy one bit data 15 showing a difference from representative one bit data 14. The BIST sub-circuit 1 judges normality and abnormality of the memory 2A by the degeneracy one bit data 15 and the representative one bit data 14 read out of the memory 2A. The data input circuit 4 and the data output circuit 5 are arranged adjacently to the memory 2A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、メモリア
レイのマトリクス構成が異なる複数のメモリのように、
構成が異なる複数の被検査回路に対するBIST(Bu
ilt−in Self Test)回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, a plurality of memories having different matrix configurations of a memory array.
BIST (Bu) for a plurality of circuits under test having different configurations
lt-in Self Test) circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、LSIの大規模化に伴い、1つの
LSIに搭載されメモリの個数や容量が増加してきてお
り、また、メモリのマトリクス構成、つまり、ワード数
や1ワード当りのビット数が異なるメモリが搭載される
ことが多くなっている。このようなLSIをテストする
には、テストパタン長の増大とテスト端子の増大という
問題があり、このため、LSIの内部回路のみでLSI
の良否を判定できるBIST回路が広く使用されてい
る。しかし、搭載されたメモリの個数や容量の増加に比
例して、BIST回路およびBIST回路のテスト信号
配線の占積面積も増加したのではBIST方式を採用し
た意義が稀薄になる。
2. Description of the Related Art In recent years, as the size of LSIs has increased, the number and capacity of memories mounted on one LSI have been increasing. In addition, the memory matrix configuration, that is, the number of words and the number of bits per word, have been increasing. However, it is often the case that different memories are mounted. In order to test such an LSI, there is a problem that a test pattern length and a test terminal are increased.
BIST circuits that can judge pass / fail are widely used. However, if the area occupied by the BIST circuit and the test signal wiring of the BIST circuit increases in proportion to the increase in the number and the capacity of the mounted memories, the significance of adopting the BIST method is diminished.

【0003】図6は、特開平6−194421号公報に
記載されているメモリに対するBISTによるテスト方
式を示している。本BIST方式は、要するに、マトリ
クス構成が異なる3つのメモリ12A,12B、および
12Cを含む大規模半導体集積に、各メモリと1対1対
応のBIST回路100A,100B、および100C
を搭載して、それぞれのメモリとの間でデータ入出力信
号群10、アドレス信号群20およびコントロール信号
群21を授受しながらテストするものである。しかし、
これではBIST回路100A,100Bおよび100
C並びに信号群10,20,21の占有面積が大きくな
る。
FIG. 6 shows a test method by BIST for a memory described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-194421. In short, the BIST system is used for large-scale semiconductor integration including three memories 12A, 12B, and 12C having different matrix configurations, in a BIST circuit 100A, 100B, and 100C corresponding to each memory on a one-to-one basis.
And a test is performed while transmitting and receiving the data input / output signal group 10, the address signal group 20, and the control signal group 21 to and from each memory. But,
In this case, the BIST circuits 100A, 100B and 100
The area occupied by C and the signal groups 10, 20, 21 increases.

【0004】同上公報記載の技術は、この問題を解決す
るため、図7に示すBISTによるテスト方式を提案し
ている。このBIST方式は、32ビット×4Kワード
のメモリ12A,16ビット×16Kワードのメモリ1
2Bおよび8ビット×1Kワードのメモリ12Cに対し
て、1つのBIST回路100のみを設けて共有化する
ことにより、BIST回路の占有面積を削減したもので
ある。BIST回路100とメモリ12A,12Bおよ
び12Cの間は、バス30を介してデータ入力信号群1
1、データ出力信号群12、アドレス信号群20および
コントロール信号群21を授受するが、これらの信号群
は、すべてのメモリをカバーできるよう、最大のビット
数である32ビットと、最大のワード数である16Kワ
ードに対応したものが必要となる。なお、メモリ12
A,12B,12Cの選択はセレクト回路3によって行
われる。
The technique described in the above publication proposes a test method based on BIST shown in FIG. 7 to solve this problem. This BIST system is a 32 bit × 4K word memory 12A and a 16 bit × 16K word memory 1A.
Only one BIST circuit 100 is provided and shared with the memory 12C of 2B and 8 bits × 1K words, thereby reducing the occupied area of the BIST circuit. Between the BIST circuit 100 and the memories 12A, 12B and 12C, the data input signal group 1
1. A data output signal group 12, an address signal group 20, and a control signal group 21 are transmitted and received. These signal groups have a maximum bit number of 32 bits and a maximum word number so as to cover all memories. 16K words are required. The memory 12
Selection of A, 12B and 12C is performed by the select circuit 3.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7に
示した従来のBIST方式では、BIST回路をすべて
のメモリに隣接して配置することは困難であるため、隣
接配置できないメモリとの間の信号配線長は長くなり、
また、信号線の数も多いため、テスト信号線の配線領域
の占有面積が増加するという問題点がある。本発明は、
上記問題点を解消するためになされたものであり、BI
ST回路およびテスト信号線両方の占有面積を削減する
BIST回路を提供することを目的とする。なお、メモ
リの通常作動時に使用するバスを用いてテストすること
も考えられるが、それではバスの配線負荷の容量のため
高速動作が妨げられることになる。
However, in the conventional BIST system shown in FIG. 7, since it is difficult to arrange the BIST circuit adjacent to all the memories, the signal between the memory and the memory that cannot be arranged adjacent to each other is difficult. The wiring length becomes longer,
Further, since the number of signal lines is large, there is a problem that the area occupied by the wiring region of the test signal lines increases. The present invention
The purpose of the present invention is to solve the above-mentioned problems.
An object of the present invention is to provide a BIST circuit that reduces the area occupied by both the ST circuit and the test signal line. It is also conceivable to perform a test using a bus used during normal operation of the memory, but this would hinder high-speed operation due to the wiring load capacity of the bus.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の第1のBIST
回路は、構成が異なる複数の被検査回路に対するBIS
T回路であって、前記構成に応じたテストデータを生成
し前記被検査回路と授受する被検査回路ごとの個別回路
部と、該個別回路部のすべてに共通したテストデータを
縮退して個別回路部と授受する共通回路部とに分割され
たことを特徴とする。また、本発明の第2のBIST回
路は、メモリアレイのマトリクス構成が異なる複数のメ
モリに対するBIST回路であって、前記マトリクス構
成に応じたテストビットデータを生成し前記メモリと授
受するメモリごとのデータ入出力回路と、該入出力回路
のすべてに共通したテストビットデータを縮退してデー
タ入出力回路と授受するBISTサブ回路とに分割され
たことを特徴とする。また、本発明の第3のBIST回
路は、メモリアレイの1ワード線当りのビット数が異な
る複数のメモリに対するBIST回路であって、入力し
た代表1ビットデータから該代表1ビットデータを含む
前記ビット数のテストビットデータを生成し前記メモリ
に書き込むメモリごとのデータ入力回路と、該書き込ま
れた代表1ビットデータに対して前記メモリから読み出
されたテストビットデータの全ビットの異同を示す縮退
1ビットデータを出力するメモリごとのデータ出力回路
と、前記データ入力回路のすべてに代表1ビットデータ
を出力し、前記メモリから読み出された代表1ビットデ
ータおよび前記データ出力回路のすべてからの前記縮退
1ビットデータを入力するBISTサブ回路とに分割さ
れたことを特徴とする。また、本発明の半導体集積回路
は、メモリアレイの1ワード線当りのビット数が異なる
複数のメモリと、入力した代表1ビットデータから該代
表1ビットデータを含む前記ビット数のテストビットデ
ータを生成し前記メモリに書き込むメモリごとのデータ
入力回路と、該書き込まれた代表1ビットデータに対し
て前記メモリから読み出されたテストビットデータの全
ビットの異同を示す縮退1ビットデータを出力するメモ
リごとのデータ出力回路と、前記データ入力回路のすべ
てに代表1ビットデータを出力し、前記メモリから読み
出された代表1ビットデータおよび前記データ出力回路
のすべてからの前記縮退1ビットデータを入力するBI
STサブ回路を搭載したことを特徴とする。本発明で
は、BIST回路を、被検査回路の構成に応じたテスト
データを生成し被検査回路と授受する個別回路部と、個
別回路部のすべてに共通したデータを個別回路部と授受
する共通回路部とに分割したため、個別回路部を被検査
部に隣接配置できるようになるので、その間の多数の信
号線の長さを短くできる。さらに、共通回路部と個別回
路部間で授受されるテストデータは縮退されるため、そ
の間の比較的長い信号線の本数を少なくできる。したが
って、本発明によると、BIST回路の占有回路のみな
らず、信号線の占有面積をも削減できるのである。
SUMMARY OF THE INVENTION First BIST of the present invention
The circuit has a BIS for a plurality of circuits to be tested having different configurations.
A T circuit, which generates test data according to the configuration and transmits / receives the test data to / from the test target circuit, and an individual circuit which degenerates test data common to all the test target circuits. And a common circuit section for transmitting and receiving. Further, a second BIST circuit of the present invention is a BIST circuit for a plurality of memories having different matrix configurations of a memory array, and generates test bit data according to the matrix configuration, and transmits data to and from the memory for each memory. The input / output circuit is divided into a BIST sub-circuit for degenerating test bit data common to all of the input / output circuits and transmitting / receiving the data to / from the data input / output circuit. Further, the third BIST circuit of the present invention is a BIST circuit for a plurality of memories having different numbers of bits per word line of a memory array, wherein the bit including the representative 1-bit data is inputted from the representative 1-bit data. A data input circuit for each memory for generating and writing a number of test bit data to the memory; and a degeneration 1 indicating the difference between all the bits of the test bit data read from the memory with respect to the written representative 1-bit data. A data output circuit for each memory for outputting bit data, and representative 1-bit data output to all of the data input circuits, and the representative 1-bit data read from the memory and the degeneration from all of the data output circuits. And a BIST sub-circuit for inputting 1-bit data. Further, the semiconductor integrated circuit of the present invention generates a plurality of memories having different numbers of bits per word line of a memory array, and generates test bit data of the number of bits including the representative 1-bit data from the input representative 1-bit data. A data input circuit for each memory to be written to the memory; and a memory for outputting degenerated 1-bit data indicating all bits of test bit data read from the memory with respect to the written representative 1-bit data. And a BI which outputs representative 1-bit data to all of the data input circuits and inputs the representative 1-bit data read from the memory and the degenerated 1-bit data from all of the data output circuits.
The ST sub-circuit is mounted. According to the present invention, a BIST circuit is provided with an individual circuit unit for generating test data corresponding to the configuration of a circuit to be inspected and transmitting / receiving the data to / from the inspected circuit, Since the individual circuit sections can be arranged adjacent to the section to be inspected, the length of a large number of signal lines therebetween can be shortened. Further, since the test data transmitted and received between the common circuit unit and the individual circuit unit is degenerated, the number of relatively long signal lines therebetween can be reduced. Therefore, according to the present invention, not only the occupied circuit of the BIST circuit but also the occupied area of the signal line can be reduced.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明のBIST回路は、図1に示すよう
に、32ビット×4Kワードのメモリ2A,16ビット
×16Kワードのメモリ2Bおよび8ビット×1Kワー
ドのメモリ2Cをテストするものであって、これらのメ
モリと同一のLSIに搭載され、BISTサブ回路1
と、メモリ2A,2B,2Cと1対1対応の3つのデー
タ入力回路4およびデータ出力回路5とに分割されてい
る。データ入力回路4およびデータ出力回路5は、メモ
リ2A,2B,2Cに隣接して配置されるので、その間
のテストビットデータ16,17の信号線は短い。ま
た、BISTサブ回路1とデータ入力回路4およびデー
タ出力回路5との間は比較的離れているが、この間の代
表1ビット13,14および縮退1ビットデータの信号
線の本数は少ない。BISTサブ回路1は、代表1ビッ
トデータを3つのデータ入力回路4に出力し、3つのデ
ータ出力回路5から代表1ビットデータおよび縮退1ビ
ットデータを受け取るとともに、3つのメモリ2A,2
B,2Cとアドレス信号20およびコントロール信号群
21を授受する。この授受はバス30を介して行われ、
また、セレクト回路3はセレクト信号に応答して、3つ
のメモリ2A,2B,2Cのうちの1つのみにイネーブ
ル信号を出力して活性化する。データ入力回路4はメモ
リ2A,2B,2Cごとに設けられ、BISTサブ回路
1から入力した代表1ビットデータ13から、正相のテ
ストビットデータ16および逆相のテストビットデータ
17を生成し、対応するメモリに書き込む。なテストビ
ットデータ16には代表1ビットデータ13を含む。テ
ストビットデータ16と17の合計のビット数は、対応
するメモリの1語当りのビット数に等しい。したがっ
て、メモリ2Aに対して32ビット、メモリ2Bに対し
ては16ビットメモリ2Cに対しては8ビットである。
データ出力回路5もメモリ2A,2B,2Cごとに設け
られ、対応するメモリから、テストビットデータ16対
応のテストビットデータ18、およびテストビットデー
タ17対応のテストビットデータ19を読み出す。そし
て、テストビットデータ18中の代表1ビットデータ1
3対応の代表1ビットデータ14を除く余の部分とテス
トビットデータ19とから縮退1ビットデータ15を生
成してBISTサブ回路1に出力する。この縮退1ビッ
トデータ15は、代表1ビットデータ14とテストビッ
トデータ18,19との異同を示すものである。BIS
Tサブ回路1は、代表1ビットデータ14を受け取る
と、代表1ビットデータ13と比較することによって、
その異同により、メモリ2A,2B,2Cをテストでき
る。また、縮退1ビットデータ15を受け取ると、それ
が“1”か“0”かにより代表1ビットデータ14との
異同を知ることにより、メモリ2A,2B,2Cをテス
トできる。
Next, an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the BIST circuit of the present invention tests a memory 2A of 32 bits × 4K words, a memory 2B of 16 bits × 16K words, and a memory 2C of 8 bits × 1K words. BIST sub-circuit 1 mounted on the same LSI as the memory
And three data input circuits 4 and data output circuits 5 corresponding to the memories 2A, 2B and 2C on a one-to-one basis. Since the data input circuit 4 and the data output circuit 5 are arranged adjacent to the memories 2A, 2B, 2C, the signal lines of the test bit data 16, 17 therebetween are short. Although the BIST sub-circuit 1 is relatively far from the data input circuit 4 and the data output circuit 5, the number of representative 1-bit 13 and 14 and degenerate 1-bit data signal lines are small. The BIST sub-circuit 1 outputs the representative 1-bit data to the three data input circuits 4, receives the representative 1-bit data and the degenerated 1-bit data from the three data output circuits 5, and receives the three memories 2A, 2
B, 2C, and an address signal 20 and a control signal group 21 are exchanged. This exchange is performed via the bus 30,
The select circuit 3 outputs an enable signal to only one of the three memories 2A, 2B, and 2C in response to the select signal to activate the memory. The data input circuit 4 is provided for each of the memories 2A, 2B, and 2C, and generates the positive-phase test bit data 16 and the negative-phase test bit data 17 from the representative 1-bit data 13 input from the BIST sub-circuit 1. Write to memory. The test bit data 16 includes the representative 1-bit data 13. The total number of bits of the test bit data 16 and 17 is equal to the number of bits per word of the corresponding memory. Therefore, the memory 2A has 32 bits, the memory 2B has 16 bits, and the memory 2C has 8 bits.
The data output circuit 5 is also provided for each of the memories 2A, 2B and 2C, and reads out the test bit data 18 corresponding to the test bit data 16 and the test bit data 19 corresponding to the test bit data 17 from the corresponding memories. Then, the representative 1-bit data 1 in the test bit data 18
The degenerate 1-bit data 15 is generated from the remaining portion except the representative 1-bit data 14 corresponding to 3 and the test bit data 19 and output to the BIST sub-circuit 1. The degenerated 1-bit data 15 indicates the difference between the representative 1-bit data 14 and the test bit data 18 and 19. BIS
Upon receiving the representative 1-bit data 14, the T sub-circuit 1 compares the received data with the representative 1-bit data 13,
Due to the difference, the memories 2A, 2B and 2C can be tested. Also, when the degenerated 1-bit data 15 is received, the memory 2A, 2B, 2C can be tested by knowing whether it is different from the representative 1-bit data 14 depending on whether it is "1" or "0".

【0008】次に、データ入力回路4とデータ出力回路
5の詳細を図2と図3に示して詳細に説明する。図2に
示したデータ入力回路4は、代表1ビットデータ13か
ら8ビットのテストビットデータ16,17を生成する
メモリ2C用のものである。テストビットデータ16
は、代表1ビットデータ13を4分岐させた正相の4ビ
ットであり、メモリの偶数番のビット線に供給される。
また、テストビットデータ17は、代表1ビットデータ
13をインバータ41で反転した後に4分岐させた逆相
の4ビットであり、メモリ2Cの奇数番のビット線に供
給される。なお、メモリ2B用には、代表1ビットデー
タを、正相、逆相それぞれについて16分岐すればよ
い。 図3に示したデータ入力回路5も、メモリ2C用
のものであり、代表1ビットデータ13対応の代表1ビ
ットデータ14を出力するとともに、テストビットデー
タ16対応のテストビットデータ18と、テストビット
データ17対応のテストビットデータ19とから1ビッ
トの縮退1ビットデータ15を生成して出力する。この
データ入力回路5は、代表1ビットデータ14を反転す
るインバータ42と、テストビットデータ18対応の2
つのNAND回路44,45およびNOR回路46と、
テストビットデータ19対応の2つのNAND回路4
7,48およびNOR回路49と、NAND回路44、
47の出力の論理和演算を行うOR回路43とで構成さ
れている。その動作は以下のようである。
Next, the details of the data input circuit 4 and the data output circuit 5 will be described in detail with reference to FIGS. The data input circuit 4 shown in FIG. 2 is for the memory 2C that generates test bit data 16 and 17 of 8 bits from the representative 1-bit data 13. Test bit data 16
Are four bits of positive phase obtained by dividing the representative 1-bit data 13 into four, and are supplied to even-numbered bit lines of the memory.
The test bit data 17 is 4 bits of opposite phase obtained by inverting the representative 1-bit data 13 by the inverter 41 and branching into four, and is supplied to the odd-numbered bit lines of the memory 2C. Note that for the memory 2B, the representative 1-bit data may be divided into 16 branches for each of the normal phase and the negative phase. The data input circuit 5 shown in FIG. 3 is also for the memory 2C, outputs the representative 1-bit data 14 corresponding to the representative 1-bit data 13, and outputs the test bit data 18 corresponding to the test bit data 16 and the test bit data 18. From the test bit data 19 corresponding to the data 17, 1-bit degenerated 1-bit data 15 is generated and output. The data input circuit 5 includes an inverter 42 for inverting the representative 1-bit data 14 and a 2-bit corresponding to the test bit data 18.
Two NAND circuits 44 and 45 and a NOR circuit 46;
Two NAND circuits 4 corresponding to test bit data 19
7, 48 and a NOR circuit 49, a NAND circuit 44,
And an OR circuit 43 which performs a logical OR operation of the outputs of the 47 circuits. The operation is as follows.

【0009】いま、代表1ビットデータ14が“1”の
場合には、メモリ2Cが正常ならテストビットデータ1
8はオール“1”であるため、NAND回路45の出力
は“0”、NAND回路44の出力は“1”となる。こ
の場合、NOR回路46の出力は無関係である。また、
メモリ2Cが正常ならテストビットデータ19はオール
“0”であるため、NOR回路49の出力は“1”NA
ND回路47の出力は“1”となる。この場合、NAN
D回路48の出力は無関係である。したがって、OR回
路43からは“0”の縮退1ビットデータ15が出力さ
れ、メモリ2Cの正常が証明されたことになる。ところ
が、メモリ2Cに異常があり、テストビットデータ18
のうちのいずれかが“0”になると、NAND回路45
の出力は“1”、NOR回路46の出力は“0”となる
ためNAND回路44の出力は“0”になる。また、テ
ストビットデータ19のうちのいずれかが“1”になる
と、NOR回路49の出力は“0”、NAND回路48
の出力は“1”となるためNAND回路47の出力は
“0”になる。したがって、OR回路43からは、
“1”の縮退1ビットデータ15が出力され、メモリ2
Cの異常を告げることになる。代表1ビットデータ14
が“0”の場合についても、同様にして、メモリ2Cの
正常と異常を縮退1ビットデータ15が“0”であるか
“1”であるかによって確認できる。但し、この場合に
は、代表1ビットデータ14が“1”の場合におけるN
AND回路45の機能をNOR回路46が担い、NOR
回路49の機能をNAND回路48が担うことになる。
If the representative 1-bit data 14 is "1" and the memory 2C is normal, the test bit data 1
Since 8 is all “1”, the output of the NAND circuit 45 is “0” and the output of the NAND circuit 44 is “1”. In this case, the output of the NOR circuit 46 is irrelevant. Also,
If the memory 2C is normal, the test bit data 19 is all “0”, and the output of the NOR circuit 49 is “1” NA
The output of the ND circuit 47 becomes "1". In this case, NAN
The output of D circuit 48 is irrelevant. Therefore, the degenerated 1-bit data 15 of "0" is output from the OR circuit 43, which proves that the memory 2C is normal. However, there is an abnormality in the memory 2C, and the test bit data 18
Becomes "0", the NAND circuit 45
Is "1" and the output of the NOR circuit 46 is "0", so that the output of the NAND circuit 44 is "0". When any of the test bit data 19 becomes “1”, the output of the NOR circuit 49 becomes “0” and the NAND circuit 48 becomes
Is "1", the output of the NAND circuit 47 is "0". Therefore, from the OR circuit 43,
The degenerated 1-bit data 15 of “1” is output,
It will tell C's abnormality. Representative 1-bit data 14
Is "0", the normality and abnormality of the memory 2C can be similarly confirmed based on whether the degenerate 1-bit data 15 is "0" or "1". In this case, however, N in the case where the representative 1-bit data 14 is “1”
The NOR circuit 46 performs the function of the AND circuit 45,
The function of the circuit 49 is performed by the NAND circuit 48.

【0010】では、次に、以上のように構成された図1
のBIST回路の動作について説明する。いま、テスト
モードに設定後、セレクト信号1を“1”、セレクト信
号2を“0”にしてメモリ2Cのイネーブル端子(図示
せず)が“0”になると、メモリ2Cが選択され動作す
ることになる。BISTサブ回路1からアドレス信号群
20にてアドレス信号を、またコントロール信号群21
を出力すると、これらはメモリ2Cにおいてのみ有効と
なる。コントロール信号群21がライトを指定している
と、代表1ビットデータ13からデータ入力回路4によ
って生成されたテストビットデータ16,17がメモリ
に書き込まれる。続いて、コントロール信号群21がリ
ードを指定すると、メモリ2Cからテストビットデータ
18,19がデータ出力回路5に読み出され、代表1ビ
ットデータ14と、データ出力回路5がテストビットデ
ータ18,19から生成した縮退1ビットデータ15と
がBISTサブ回路1に出力される。BISTサブ回路
1は、代表1ビットデータ14と代表1ビットデータ1
3とを比較し、また、縮退1ビットデータ15が“1”
か“0”かであるかによってメモリ2Cが正常か異常か
を判断する。同様にして、セレクト信号1を“0”、セ
レクト信号2を“1”にしてメモリ2B、セレクト信号
1を“1”にしてメモリ2Aをテストする。
Next, FIG. 1 configured as described above will be described.
The operation of the BIST circuit will be described. When the select signal 1 is set to "1" and the select signal 2 is set to "0" after the test mode is set and the enable terminal (not shown) of the memory 2C is set to "0", the memory 2C is selected and operated. become. An address signal is transmitted from the BIST sub-circuit 1 in an address signal group 20 and a control signal group 21
Are valid only in the memory 2C. When the control signal group 21 specifies write, the test bit data 16 and 17 generated by the data input circuit 4 from the representative 1-bit data 13 are written to the memory. Subsequently, when the control signal group 21 designates reading, the test bit data 18 and 19 are read from the memory 2C to the data output circuit 5, and the representative 1-bit data 14 and the data output circuit 5 are tested by the test bit data 18 and 19. And the degenerated 1-bit data 15 generated from BIST are output to the BIST sub-circuit 1. The BIST sub-circuit 1 includes the representative 1-bit data 14 and the representative 1-bit data 1
3 and the degenerate 1-bit data 15 is "1".
It is determined whether the memory 2C is normal or abnormal depending on whether it is "0" or "0". Similarly, the memory 2B is tested by setting the select signal 1 to "0" and the select signal 2 to "1", and the memory 2A is tested by setting the select signal 1 to "1".

【0011】次に、本発明BIST回路の他の実施例を
図4に示す。本実施例は、図1の実施例では、すべての
データ出力回路5は個別にバス30を介してBISTサ
ブ回路1に縮退1ビットデータ15の出力していたのに
対し、すべてのデータ出力回路5からの縮退1ビットデ
ータ15をまとめてBISTサブ回路1に出力する不一
致保持回路6を設けている。これにより、各縮退1ビッ
トデータ15をテスト信号線によってBISTサブ回路
1に導く必要がなくなるため、図1の実施例におけるよ
りも、さらにテスト信号の配線領域を削減できる。
FIG. 4 shows another embodiment of the BIST circuit of the present invention. In the present embodiment, all the data output circuits 5 individually output the degenerated 1-bit data 15 to the BIST sub-circuit 1 via the bus 30 in the embodiment of FIG. 5 is provided with a mismatch holding circuit 6 that collectively outputs the degenerated 1-bit data 15 from the BIST 5 to the BIST sub-circuit 1. This eliminates the need to guide each of the degenerate 1-bit data 15 to the BIST sub-circuit 1 by a test signal line, so that the test signal wiring area can be further reduced as compared with the embodiment of FIG.

【0012】図5は不一致保持回路6の詳細を示し、D
型フリップフロップ50とOR回路51とから成る。O
R回路51は、3つのデータ出力回路5からの縮退1ビ
ットデータ15の論理和演算を行ない、D型フリップフ
ロップ50に出力する。したがって、D型フリップフロ
ップ50の出力が“1”ならメモリに異常ありと判断さ
れる。なお、D型フリップフロップ50の出力はテスト
端子60によって観測する。
FIG. 5 shows details of the mismatch holding circuit 6,
It comprises a flip-flop 50 and an OR circuit 51. O
The R circuit 51 performs a logical OR operation on the degenerated 1-bit data 15 from the three data output circuits 5 and outputs the result to the D-type flip-flop 50. Therefore, if the output of the D-type flip-flop 50 is “1”, it is determined that there is an abnormality in the memory. The output of the D-type flip-flop 50 is observed at the test terminal 60.

【0013】図1および図4に示した実施例において、
セレクタ回路3を取り除いてもよい。その場合には、3
つのメモリ2A,2B,2Cを同時にテストできる。但
し、メモリ2A,2B,2Cからの代表1ビットデータ
14および3つのデータ出力回路5からの縮退1ビット
データのすべてをBISTサブ回路1に同時に出力する
必要があるのは言うまでもない。
In the embodiment shown in FIGS. 1 and 4,
The selector circuit 3 may be omitted. In that case, 3
The two memories 2A, 2B, 2C can be tested simultaneously. However, it is needless to say that all of the representative 1-bit data 14 from the memories 2A, 2B, and 2C and the degenerated 1-bit data from the three data output circuits 5 must be simultaneously output to the BIST sub-circuit 1.

【0014】なお、図2に示したように、テストビット
データはビット線の奇遇交互に“0”と“1”となるよ
うに生成したが、本発明はこれに限定されることはな
く、オール“0”でもオール“1”でもよい。
As shown in FIG. 2, the test bit data is generated so that "0" and "1" are alternately and alternately applied to the bit lines. However, the present invention is not limited to this. It may be all “0” or all “1”.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明は、BI
ST回路を、被検査回路の構成に依存したテストデータ
を授受する個別回路部と、個別回路部に共通したテスト
データを授受するBISTサブ回路とに分割し、個別回
路部は被検査回路に隣接配置するとともに、BISTサ
ブ回路と個別回路部との間では縮退したテストデータを
授受することとしたため、BIST回路および、テスト
配線領域の占有面積を削減できる効果を有する。
As described above, according to the present invention, the BI
The ST circuit is divided into an individual circuit unit that exchanges test data depending on the configuration of the circuit under test and a BIST sub-circuit that exchanges test data common to the individual circuit unit, and the individual circuit unit is adjacent to the circuit under inspection. In addition to the arrangement, since the degenerated test data is transmitted and received between the BIST sub-circuit and the individual circuit unit, there is an effect that the occupied area of the BIST circuit and the test wiring area can be reduced.

【0016】例えば、図1に示した実施例においては、
従来技術によるときは、データ入出力線はメモリ2Aに
合わせて、64本が必要だったのに対し、本発明による
と3本でよく、61本が削減できる。また、セレクタ回
路3を設けず、3つのメモリ2A,2B,2Cを同時に
テストする例では、従来技術によると、データ入力線は
32本、データ出力線は56本で合計88本が必要だっ
たのに対し、本発明では、データ入力線は1本、データ
出力線は6本で合計7本となり、実に81本の削減とな
る。このような削減された配線領域は、図1および図4
において参照番号31で示している。
For example, in the embodiment shown in FIG.
According to the prior art, 64 data input / output lines were required in accordance with the memory 2A. On the other hand, according to the present invention, only three data input / output lines are required, and 61 lines can be reduced. Further, in an example in which three memories 2A, 2B, and 2C are tested at the same time without providing the selector circuit 3, according to the prior art, 32 data input lines and 56 data output lines required a total of 88 lines. In contrast, in the present invention, the number of data input lines is one and the number of data output lines is six, for a total of seven, a reduction of 81 lines. The reduced wiring area is shown in FIGS.
, Is indicated by reference numeral 31.

【0017】近年、LSIはますます大規模化してきて
いるため、テスト信号線の配線が増加することによる配
線面積の増加の影響は大きいので、このようなテスト信
号線の減少による効果は大きい。また、メモリの周辺の
配線は、もともと混雑しているため、テスト信号線の減
少により、LSIのレイアウト設計が容易化するという
効果もある。
In recent years, since the scale of LSIs has been increasing, the effect of an increase in the wiring area due to an increase in the number of test signal lines has a great effect. In addition, since the wiring around the memory is congested from the beginning, the reduction in the number of test signal lines has the effect of facilitating the layout design of the LSI.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のBIST回路の一実施例を示すブロ
ック図
FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a BIST circuit of the present invention.

【図2】 図1に示した実施例におけるデータ入力回路
の詳細図
FIG. 2 is a detailed diagram of a data input circuit in the embodiment shown in FIG.

【図3】 図1に示した実施例におけるデータ出力回路
の詳細図
FIG. 3 is a detailed diagram of a data output circuit in the embodiment shown in FIG. 1;

【図4】 本発明のBIST回路の他の実施例を示すブ
ロック図
FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the BIST circuit of the present invention.

【図5】 図4に示した実施例における不一致保持回路
の詳細図
FIG. 5 is a detailed diagram of a mismatch holding circuit in the embodiment shown in FIG. 4;

【図6】 従来技術の一例を示すブロック図FIG. 6 is a block diagram showing an example of a conventional technique.

【図7】 従来技術の他の例を示すブロック図FIG. 7 is a block diagram showing another example of the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…BISTサブ回路 2A,2B,2C…メモリ 12A,12B,12C…メモリ 3…セレクト回路 4…データ入力回路 5…データ出力回路 6…不一致保持回路 10…データ入出力信号群 11…データ入力信号群 12…データ出力信号群 13,14…代表1ビットデータ 15…縮退1ビットデータ 16,17,18,19…テストビットデータ 20…アドレス信号群 21…コントロール信号群 30…バス 31…削減された配線領域 41,42…インバータ 43,51…OR回路 44,45,47,48…NAND回路 46,49…NOR回路 50…D型フリップフロップ 60…テスト端子 100,100A…BIST回路 100B,100C…BIST回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... BIST sub-circuit 2A, 2B, 2C ... Memory 12A, 12B, 12C ... Memory 3 ... Select circuit 4 ... Data input circuit 5 ... Data output circuit 6 ... Mismatch holding circuit 10 ... Data input / output signal group 11 ... Data input signal Group 12 Data output signal group 13, 14 Representative 1-bit data 15 Reduced 1-bit data 16, 17, 18, 19 Test bit data 20 Address signal group 21 Control signal group 30 Bus 31 Reduced Wiring areas 41, 42 ... Inverters 43, 51 ... OR circuits 44, 45, 47, 48 ... NAND circuits 46, 49 ... NOR circuits 50 ... D-type flip-flops 60 ... Test terminals 100, 100A ... BIST circuits 100B, 100C ... BIST circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AA07 AD05 AE07 AE08 AE12 AG02 AG10 AH01 AK19 AL00 5L106 DD03 DD08 GG01 9A001 LL06 LZ06  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2G032 AA07 AD05 AE07 AE08 AE12 AG02 AG10 AH01 AK19 AL00 5L106 DD03 DD08 GG01 9A001 LL06 LZ06

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 構成が異なる複数の被検査回路に対する
BIST回路であって、前記構成に応じたテストデータ
を生成し前記被検査回路と授受する被検査回路ごとの個
別回路部と、該個別回路部のすべてに共通したテストデ
ータを縮退して個別回路と授受する共通回路部とに分割
されたことを特徴とするBIST回路。
1. A BIST circuit for a plurality of circuits under test having different configurations, comprising: an individual circuit section for each circuit under test for generating test data corresponding to the configuration and transmitting and receiving the test data to and from the circuit under test; A BIST circuit characterized in that test data common to all of the units is reduced and divided into an individual circuit and a common circuit unit for transmitting and receiving.
【請求項2】 メモリアレイのマトリクス構成が異なる
複数のメモリに対するBIST回路であって、前記マト
リクス構成に応じたテストビットデータを生成し前記メ
モリと授受するメモリごとのデータ入出力回路と、該デ
ータ入出力回路のすべてに共通したテストビットデータ
を縮退してデータ入出力回路と授受するBISTサブ回
路とに分割されたことを特徴とするBIST回路。
2. A BIST circuit for a plurality of memories having different matrix configurations of a memory array, comprising: a data input / output circuit for each memory for generating and transmitting test bit data corresponding to the matrix configuration to and from the memory; A BIST circuit characterized in that test bit data common to all of the input / output circuits is degenerated and divided into a data input / output circuit and a BIST sub-circuit for transmission / reception.
【請求項3】 メモリアレイの1ワード線当りのビット
数が異なる複数のメモリに対するBIST回路であっ
て、入力した代表1ビットデータから該代表1ビットデ
ータを含む前記ビット数のテストビットデータを生成し
前記メモリに書き込むメモリごとのデータ入力回路と、
該書き込まれた代表1ビットデータに対して前記メモリ
から読み出されたテストビットデータの全ビットの異同
を示す縮退1ビットデータを出力するメモリごとのデー
タ出力回路と、前記データ入力回路のすべてに代表1ビ
ットデータを出力し、前記メモリから読み出された代表
1ビットデータおよび前記データ出力回路のすべてから
の前記縮退1ビットデータを入力するBISTサブ回路
とに分割されたことを特徴とするBIST回路。
3. A BIST circuit for a plurality of memories having different numbers of bits per word line in a memory array, wherein test bit data of the number of bits including the representative 1-bit data is generated from input representative 1-bit data. A data input circuit for each memory to be written to the memory;
A data output circuit for each memory for outputting degenerated 1-bit data indicating the difference of all bits of the test bit data read from the memory with respect to the written representative 1-bit data; And a BIST sub-circuit for outputting representative 1-bit data and inputting the representative 1-bit data read from the memory and the degenerated 1-bit data from all of the data output circuits. circuit.
【請求項4】 前記データ出力回路のすべてから前記縮
退1ビットデータを直接に前記BISTサブ回路に入力
する代わりに、論理和演算した結果を保持し前記BIS
Tサブ回路に出力する不一致保持回路を設けたことを特
徴とする請求項3記載のBIST回路。
4. The system according to claim 1, wherein, instead of directly inputting said degenerated 1-bit data from all of said data output circuits to said BIST sub-circuit, a result of an OR operation is held and said BIS
4. The BIST circuit according to claim 3, further comprising a mismatch holding circuit for outputting to the T sub-circuit.
【請求項5】 前記被検査回路または前記メモリを選択
するセレクト回路を設けて、前記共通回路部と個別回路
部、前記BISTと、データ入出力回路または前記BI
STサブ回路とデータ入力回路およびデータ出力回路と
をバス接続し、これらの間で授受されるテストデータを
1式としたことを特徴とする請求項1ないし請求項4の
いずれかに記載のBIST回路。
5. A circuit for selecting said circuit under test or said memory, said common circuit section and individual circuit section, said BIST, and a data input / output circuit or said BI circuit.
5. The BIST according to claim 1, wherein the ST sub-circuit, the data input circuit and the data output circuit are connected by a bus, and a set of test data transmitted and received between the ST sub-circuit and the data input circuit and the data output circuit. circuit.
【請求項6】 前記データ入力回路は、前記代表1ビッ
トデータの正相と逆相とが交互に繰り返されるビットパ
ターンのテストビットデータを生成することを特徴とす
る請求項3ないし請求項5のいずれかに記載のBIST
回路。
6. The data input circuit according to claim 3, wherein the data input circuit generates test bit data having a bit pattern in which a normal phase and a negative phase of the representative 1-bit data are alternately repeated. BIST described in any
circuit.
【請求項7】 前記データ出力回路は、前記メモリから
読み出された代表1ビットデータと該代表1ビットデー
タ対応の他のすべてのテストビットデータとを比較し、
該テストビットデータのいずれかが前記代表1ビットデ
ータと異なっているか否かを示す前記縮退1ビットデー
タを出力することを特徴とする請求項3ないし請求項5
のいずれかに記載のBIST回路。
7. The data output circuit compares the representative 1-bit data read from the memory with all other test bit data corresponding to the representative 1-bit data.
6. The compressed 1-bit data indicating whether any of the test bit data is different from the representative 1-bit data is output.
The BIST circuit according to any one of the above.
【請求項8】 メモリアレイの1ワード線当りのビット
数が異なる複数のメモリと、入力した代表1ビットデー
タから該代表1ビットデータを含む前記ビット数のテス
トビットデータを生成し前記メモリに書き込むメモリご
とのデータ入力回路と、該書き込まれた代表1ビットデ
ータに対して前記メモリから読み出されたテストビット
データの全ビットの異同を示す縮退1ビットデータを出
力するメモリごとのデータ出力回路と、前記データ入力
回路のすべてに代表1ビットデータを出力し、前記メモ
リから読み出された代表1ビットデータおよび前記デー
タ出力回路のすべてからの前記縮退1ビットデータを入
力するBISTサブ回路を搭載したことを特徴とする半
導体集積回路。
8. A plurality of memories having different numbers of bits per word line of a memory array, and test bit data of the number of bits including the representative 1-bit data is generated from the input representative 1-bit data and written into the memory. A data input circuit for each memory, a data output circuit for each memory for outputting degenerated 1-bit data indicating all bits of test bit data read from the memory with respect to the written representative 1-bit data, A BIST sub-circuit that outputs representative 1-bit data to all of the data input circuits and inputs the representative 1-bit data read from the memory and the degenerated 1-bit data from all of the data output circuits. A semiconductor integrated circuit characterized by the above.
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