JP2000110800A - エジェクタ - Google Patents
エジェクタInfo
- Publication number
- JP2000110800A JP2000110800A JP10279493A JP27949398A JP2000110800A JP 2000110800 A JP2000110800 A JP 2000110800A JP 10279493 A JP10279493 A JP 10279493A JP 27949398 A JP27949398 A JP 27949398A JP 2000110800 A JP2000110800 A JP 2000110800A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- ejector
- air
- diffuser
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
度を得ることができるエジェクタを提供すること。 【解決手段】 本発明のエジェクタ1は、高圧エアを供
給するエア供給路11の延長上にノズル3及びディフュ
ーザ4を配し、ノズル3からの高速エアがディフューザ
4内に噴射されるもので、そのディフューザ4には、高
速エアがノズル3から噴射されて負圧になる空間18
に、排出する気体を吸い出すための排出流路13が連通
されたされたものであって、ノズル3の最狭部14pま
での流路径を一定にし、当該最狭部14p入口の細まり
部14Aに円味をつけた。
Description
おける配管内の残留ガス排気などに使用されるエジェク
タに関し、特に供給される一次圧が低下しても排気のた
めの高い真空度を発生させることができるエジェクタに
関する。
のエッチング等に腐食性ガスが使用され、その腐食ガス
を必要に応じて供給するガス供給装置が使用されてい
る。ところが、そのガス供給装置は、パイプ内に腐食性
ガスが残留したままで放置されると、その腐食性ガスに
よってパイプ内部の金属等が腐食してしまい、次にガス
を供給するときに不純物が混入してしまって半導体に悪
影響を与えることがある。そのため、ガス供給装置で
は、腐食性ガスを供給し終わった後に、内部に残留して
いる腐食性ガスを窒素ガス等の不活性ガスで置換する処
理が行われている。その際、置換処理には例えばエジェ
クタが使用され、ガス供給装置の内部から腐食性ガスを
引き抜く方法がとられている。
理などに利用される従来のエジェクタについて簡単に説
明する。図5は、従来のエジェクタを示した断面図であ
る。このエジェクタ100は、ガス供給装置の配管に接
続される排出流路111が形成された第1ブロック10
1と、高圧エアを供給する一次圧側に接続されるエア供
給流路112が形成された第2ブロック102とが一体
に組み合わされて構成されている。第1ブロック101
では、ノズル103及びディフューザ104を挿入可能
な挿入孔115が、排出流路111と直交方向に穿設さ
れている。そして、その挿入孔115内に装填されたノ
ズル103及びディフューザ104は、そのノズル流路
113及びディフューザ流路114がエア供給流路11
2と一直線上に位置している。
ノズル流路113の流路断面積を小さくする細まり部1
13A,113Bが2箇所に形成され、最狭部113p
にまで流路が2段階に絞られている。そして、その細ま
り部113A,113Bは、ノズル流路113の孔あけ
加工に利用したドリルの先端形状をそのまま残したテー
パ面をなしている。また、ディフューザ104には、排
出流路111に連続する環状溝106が形成され、ノズ
ル103の先端部外周の空間116に連通する連通孔1
07が穿設されている。
kPa程度の圧力に高められた高圧エアがエア供給流路
112内に送り込まれると、その高圧エアの圧力がノズ
ル流路113内で運動エネルギに変換される。運動エネ
ルギを得て流速を高めたエアは、ディフューザ流路11
4内へと噴射される。そして、ノズル103から高速の
エアが噴射されると、その噴射口周りの空間116の圧
力が低下して排出流路111側の気体が吸引される。従
って、ガス供給装置に残っている流路内の腐食性ガス
は、エジェクタ100へ高圧エアが供給され排出流路1
11内の圧力が下がることで、吸引されてディフューザ
114から排出されることとなる。
に送り込まれる高圧エアは、コンプレッサから分岐配管
を経てその一部が供給されるが、他の製造装置などの急
な稼働により供給圧力が低下してしまうことがある。そ
のような場合、従来のエジェクタ100では真空度が低
下してしてしまい、十分な吸引が行えず、ガス供給装置
内に腐食性ガスが残留してしまうことがあった。具体的
には、図3に示すように約600kPa程度で供給され
ていた高圧エアが約500kPaを下回ってしまうと、
急激に真空度が低下して十分な吸引ができなくなってい
た。
く、エアの供給圧力の低下によっても十分な真空度を得
ることができるエジェクタを提供することを目的とす
る。
高圧エアを供給するエア供給路の延長上にノズル及びデ
ィフューザを配し、ノズルからの高速エアがディフュー
ザ内に噴射されるもので、そのディフューザには、高速
エアが前記ノズルから噴射されて負圧になる空間に、排
出する気体を吸い出すための排出流路が連通されたされ
たものであって、ノズルの最狭部までの流路径を一定に
し、当該最狭部入口の細まり部に円味をつけたことを特
徴とする。よって、本発明のエジェクタでは、細まり部
の円味によってノズルを通過するエアのエネルギ損失が
少なくなり、エアの圧力を効率よく運動エネルギに変換
することで、エアの供給圧力が低下してもノズルから噴
出するエアの流速を落とすことなく十分な真空度を発生
させることができる。
部に設けられた円味の曲率半径は、前記最狭部の径の約
2倍以上であることを特徴とする。よって、本発明のエ
ジェクタでは、エア供給路からノズルの最狭部に流れ込
むエアの収縮によるエネルギ損失がより少なくなくな
り、エアの供給圧力の低下によっても十分な真空度を得
ることができる。
の一実施の形態について図面を参照して具体的に説明す
る。図1は、本実施の形態のエジェクタを示した断面図
である。エジェクタ1は、エア供給流路11及び挿入孔
12が一直線上に穿設された本体ブロック2から構成さ
れ、その挿入孔12には直交方向から排出流路13が連
通して形成されている。そして、その本体ブロック2の
挿入孔12内には、エア供給流路11に連通するノズル
3及び、排出流路13とノズル3とに連通するディフュ
ーザ4とが装填され、押エ部材5で位置決めされてい
る。ノズル3及びディフューザ4には、エア供給流路1
1と一直線上に連通するノズル流路14及びディフュー
ザ流路15が穿設されている。また、ディフューザ4に
は、排出流路13の開口部に位置する環状溝16が形成
され、その環状溝16には、ノズル3の先端部外周の空
間18に連通する連通孔17が穿設されている。
を示す。本エジェクタ1のノズル3は、ノズル流路14
がエア供給流路11と連続する同径部分から最狭部14
pへと絞られるように形成されている。そして、その最
狭部14pへと流路断面積の小さくなる細まり部14A
には円味がつけられている。具体的には、エア供給流路
11の直径r1が4.5mm、ノズル流路14の最狭部
14pの直径r2が0.5mmであって、細まり部14
Aには曲率半径Rが1.0mmの円味がつけられてい
る。そして、このような構成のエジェクタ1は、例えば
エア供給流路11が不図示の高圧エア供給管に接続さ
れ、排出流路13は不図示のガス供給装置のガス管に接
続され、腐食性ガスの排気に利用される。
1は、コンプレッサで作られた高圧エアが約600kP
aに調圧されて供給される。そのため、エア供給流路1
1から供給された高圧エアは、ノズル流路14を通る際
に絞られ、圧力が運動エネルギに変換されて高速エアと
して噴出される。そして、ノズル3から高速のエアが噴
射されると、その噴射口周りの空間18の圧力が低下し
て排出流路13側の気体が吸引される。従って、ガス供
給装置に残っている流路内の腐食性ガスは、エジェクタ
1へ高圧エアが供給され排出流路13内の圧力が下がる
ことで、吸引されてディフューザ4から排出されること
となる。
0と発明品であるエジェクタ1とについて行った比較試
験の結果を図3に示す。図3は、エアの供給圧力に対し
て発生する真空度の関係を示したグラフである。この結
果から、エアの供給圧力が約500〜600kPaで
は、両者ともほぼ同様な値で安定した真空度が発生して
いるが、供給圧力が約500kPaを下回るころから大
きな違いが見られた。即ち、本実施の形態のエジェクタ
1では、供給圧力が約500kPa以下に下がったとこ
ろでも真空度が増すように変位したのに対して、従来例
のエジェクタ100は、急激に真空度が低下していっ
た。なお、本実施の形態のエジェクタ1は、供給圧力が
約400kPaにまで低下したところから真空度が低下
し始めた。従って、本実施の形態のエジェクタ1は、供
給圧力が約400kPaに低下した辺りまで腐食性ガス
の排気能力を持ち得た。
生するためには、ノズル流路3から噴射される高速エア
と排出流路13から吸引される吸入気体(腐食性ガス)
との混合気体を、ディフューザ流路15入口に音速以上
の速度で流入させるようにすることが必要でる。従っ
て、エジェクタ1の真空度はノズル3から噴出される高
速エアの流速に大きく影響される。前述したように、高
圧で供給されたエアは、ノズル3の最狭部14pで圧力
が運動エネルギに変換され、速度を得てディフューザ流
路15内に噴射される。そのため、高い流速を得るには
圧力を効率よく運動エネルギに変換するようにノズル3
を通過させることが必要であり、本実施の形態のエジェ
クタ1は次のような点に着目して形成した。
ア供給流路11から直接ノズル14の最狭部14pにま
で流路を絞るようにしたため、従来例のように段階的に
断面積を変化させることで生じる余分なエネルギ損失を
なくした。また、本実施の形態のエジェクタ1は、ノズ
ル3の最狭部14pへの細まり部14Aに、最狭部14
pの径の2倍もの曲率半径Rをもった円味をつけたた
め、損失係数を大幅に小さくすることができた。流路の
断面積が急に縮小する細まり部は、円味が大きいほど流
れの収縮は起こらなくなるからである。これに対して従
来のエジェクタ100は細まり部113A,113Bが
テーパ面で形成されているが、その場合にでも円味がな
いと、そこを通過するエアの流が図4に示すようにFa
にまで一旦収縮してFbにまで広がるためにエネルギ損
失が生じてしまっていた。
14pの長さを短縮してエネルギ損失を減らし、流れが
音速になった後はラバール管の形態によって音速を超え
るようにして効率良く超音速流体を得ることができるよ
うにした。よって、本実施の形態のエジェクタ1は、前
述したように供給エアの圧力が500kPaを下回って
も十分な真空度を得ることができるようになった。
定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では細
まり部14Aの曲率半径Rを最狭部14pの直径の2倍
としたが、曲率半径Rの値は種々の条件から異なる値と
してもよい。
路の延長上にノズル及びディフューザを配し、ノズルか
らの高速エアがディフューザ内に噴射されるもので、そ
のディフューザには、高速エアが前記ノズルから噴射さ
れて負圧になる空間に、排出する気体を吸い出すための
排出流路が連通されたされたものであって、ノズルの最
狭部までの流路径を一定にし、当該最狭部入口の細まり
部に円味をつけた構成としたので、エアの供給圧力の低
下によっても十分な真空度を得ることができるエジェク
タを提供することが可能となった。
した断面図である。
である。
た図である。
縮を示した図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 高圧エアを供給するエア供給路の延長上
にノズル及びディフューザを配し、ノズルからの高速エ
アがディフューザ内に噴射されるものであって、そのデ
ィフューザには、高速エアが前記ノズルから噴射されて
負圧になる空間に、排出する気体を吸い出すための排出
流路が連通されたエジェクタにおいて、 ノズルの最狭部までの流路径を一定にし、当該最狭部入
口の細まり部に円味をつけたことを特徴とするエジェク
タ。 - 【請求項2】 請求項1に記載のエジェクタにおいて、 前記細まり部に設けられた円味の曲率半径は、前記最狭
部の径の約2倍以上であることを特徴とするエジェク
タ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27949398A JP3938394B2 (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | エジェクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27949398A JP3938394B2 (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | エジェクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000110800A true JP2000110800A (ja) | 2000-04-18 |
JP3938394B2 JP3938394B2 (ja) | 2007-06-27 |
Family
ID=17611825
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27949398A Expired - Fee Related JP3938394B2 (ja) | 1998-10-01 | 1998-10-01 | エジェクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3938394B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101157891B1 (ko) | 2012-03-22 | 2012-06-22 | 주식회사 세미라인 | 펌프용 이젝터 |
JP2015101957A (ja) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | 株式会社Tky | エジェクタ |
US20150354601A1 (en) * | 2012-12-21 | 2015-12-10 | Xerex Ab | Vacuum Ejector Nozzle With Elliptical Diverging Section |
US10202984B2 (en) | 2012-12-21 | 2019-02-12 | Xerex Ab | Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster |
US10457499B2 (en) | 2014-10-13 | 2019-10-29 | Piab Aktiebolag | Handling device with suction cup for foodstuff |
US10767663B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-09-08 | Piab Aktiebolag | Vacuum ejector with tripped diverging exit flow |
US10767662B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-09-08 | Piab Aktiebolag | Multi-stage vacuum ejector with molded nozzle having integral valve elements |
-
1998
- 1998-10-01 JP JP27949398A patent/JP3938394B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101157891B1 (ko) | 2012-03-22 | 2012-06-22 | 주식회사 세미라인 | 펌프용 이젝터 |
US20150354601A1 (en) * | 2012-12-21 | 2015-12-10 | Xerex Ab | Vacuum Ejector Nozzle With Elliptical Diverging Section |
JP2016500415A (ja) * | 2012-12-21 | 2016-01-12 | ゼレックス・アーベー | 楕円形の末広がりセクションを有する真空エジェクタノズル |
US10202984B2 (en) | 2012-12-21 | 2019-02-12 | Xerex Ab | Vacuum ejector with multi-nozzle drive stage and booster |
US10753373B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-08-25 | Piab Aktiebolag | Vacuum ejector nozzle with elliptical diverging section |
US10767663B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-09-08 | Piab Aktiebolag | Vacuum ejector with tripped diverging exit flow |
US10767662B2 (en) | 2012-12-21 | 2020-09-08 | Piab Aktiebolag | Multi-stage vacuum ejector with molded nozzle having integral valve elements |
JP2015101957A (ja) * | 2013-11-21 | 2015-06-04 | 株式会社Tky | エジェクタ |
US10457499B2 (en) | 2014-10-13 | 2019-10-29 | Piab Aktiebolag | Handling device with suction cup for foodstuff |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3938394B2 (ja) | 2007-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9322308B2 (en) | Ejector | |
US20080260544A1 (en) | Clamping Sleeve for an Ejector, and Mounting Procedure | |
JP6821383B2 (ja) | 高真空イジェクタ | |
JP2000110800A (ja) | エジェクタ | |
WO2009090775A1 (ja) | 真空発生装置 | |
JP2016523343A (ja) | ドライ低真空ポンプ | |
JP2001295800A (ja) | エゼクタ式真空発生器 | |
JPH10141299A (ja) | 粉体噴出用エゼクタ | |
EP1429032A3 (en) | A centrifugal compressor having inlet guide vanes | |
JPH06502900A (ja) | ガス状媒体のための噴射圧縮機 | |
JPH0224040A (ja) | ボルテックスチューブの冷気温度降下装置 | |
JP4048312B2 (ja) | エゼクタ | |
KR200389049Y1 (ko) | 초기 흡입유량을 증가시킨 진공 발생기 | |
KR200261384Y1 (ko) | 진공 이젝터 장치 | |
JPH1078270A (ja) | キャピラリチューブの冷媒吐出音防止構造 | |
JP2021152361A (ja) | アスピレータ | |
KR20030086716A (ko) | 진공 발생 장치의 에어 이젝터 | |
JPH07279900A (ja) | 真空発生器 | |
KR100567901B1 (ko) | 건식식각 챔버의 배기 매니폴드 | |
KR920004555Y1 (ko) | 에젝터 펌프 | |
KR20000056317A (ko) | 동축으로 배열된 복수의 원판형 배플을 구비한 콜드 트랩 | |
JP2000117045A (ja) | 排気ガス処理装置 | |
KR100519543B1 (ko) | 반도체소자 제조용 플라즈마 식각장치 | |
SU1656173A1 (ru) | Способ запуска жидкостно-газового эжектора | |
RU2074989C1 (ru) | Пневмоэжекторный вакуумный насос |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061121 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070321 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120406 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140406 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |